KR20220078648A - 대유량 귀금속 채널 - Google Patents

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KR20220078648A
KR20220078648A KR1020227015043A KR20227015043A KR20220078648A KR 20220078648 A KR20220078648 A KR 20220078648A KR 1020227015043 A KR1020227015043 A KR 1020227015043A KR 20227015043 A KR20227015043 A KR 20227015043A KR 20220078648 A KR20220078648 A KR 20220078648A
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쇼우 펭
총 장
양 지앙
리앙마오 진
지퀴앙 카오
롱구이 지앙
민 구안
밍리우 주
야구오 션
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트라이엄프 사이언스 앤드 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드
벵부 차이나 옵토일렉트로닉 테크놀로지 컴퍼니 리미티드
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Abstract

본 발명은 대유량 귀금속 채널을 제공하고, 이는 유리액 혼류교반 섹션을 포함한다. 유리액 혼류교반 섹션의 일단에는 적어도 두개의 유리액 가열정화냉각 섹션이 병렬연결되어 있고, 유리액 혼류교반 섹션의 다른 일단에는 또 액공급탱크가 연통되어 있다. 본 발명은 8.5세대 및 그 이상의 고세대 TFT 유리 생산과정중의 대유량 고온 유리액의 정화, 균일화에 주로 사용되고, 후속의 플로트 성형 또는 오버플로 성형 공법을 위하여 기포가 없고 줄무늬가 없는 고질량 유리액을 제공한다.

Description

대유량 귀금속 채널
본 출원은 중국특허청에 2020년 6월 8일 제출하고, 출원번호가 202010510893.X이며, 발명명칭이 "대유량 귀금속 채널"인 중국특허 출원의 우선권을 주장하고, 그 전부 내용은 인용을 통하여 본 출원중에 결합된다.
본 발명은 전자유리 제조설비 기술분야에 관한 것이고, 특히 8.5세대 및 그 이상의 고세대 TFT 유리기판 생산과정중에 주로 사용되는 대유량 귀금속 채널에 관한 것이다.
귀금속 채널을 이용하여 유리액을 처리하는 기술은 현재 TFT 유리를 생산하는데 가장 흔히 사용되는 방법이다. 이런 방법은 귀금속의 내온성이 좋고 직접 통전 가열할 수 있고 연전성이 좋은 등의 장점을 이용하였고, 통전하여 1650℃까지 직접 가열할 수 있고, TFT 기판 유리액이 고온 조건하에서 효과적으로 기포를 배출하는 것을 실현할 수 있으며, 고질량 정화균일화의 작용에 도달하고, TFT 유리를 생산하는 핵심 기술장비이며, 대량생산을 쉽게 실현한다. 국내외의 많은 특허와 문헌은 이 방면의 공법에 관련되어 있다.
이를테면 중국 발명 특허 CN101935146B에서는 백금채널중 유리액의 처리방법을 논술하였다. 하나의 정화창고, 하나의 냉각창고, 하나의 교반창고, 하나의 균질창고와 하나의 원료공급창고의 5단 처리 단계를 통해 5~20톤/일의 유리액 유량의 정화균일화를 실현하였다. 하지만, 이 방법의 처리 능력은 아직 매우 제한적이고, 20톤/일 이상의 대유량 유리액에 필요한 백금관이 너무 커서 고온 기계강도를 보장할 수 없고, 고질량 안정정화를 실현할 수 없다.
중국 발명 특허 CN105948462A는 백금채널 가열장치, 방법 및 백금채널과 유리생산 시스템에 관한 것이고, 상기 장치를 이용하여 교번 자기장을 생성하고, 백금채널에 감응 와전류를 발생시겨, 와전류는 백금채널을 흘러 열량을 발생하여, 백금채널에 대한 균일한 가열을 실현한다. 하지만, 상기 발명에는 대유량 유리액의 구체적인 처리방법에 관한 것이 없다.
본 발명은 종래기술중의 부족을 극복하기 위하여, 대유량 귀금속 채널을 제공한다. 본 출원은 이하 기술방안을 제공한다.
본 출원은 유리액 혼류교반 섹션을 포함하는 대유량 귀금속 채널을 제공하고, 상기 유리액 혼류교반 섹션의 일단에는 적어도 두개의 유리액 가열정화냉각 섹션이 병렬연결되어 있고, 유리액 혼류교반 섹션의 다른 일단에는 액공급탱크가 연통되어 있으며, 상기 유리액 가열정화냉각 섹션은 일단이 용융로와 연통된 가열채널을 포함하고, 가열채널의 다른 일단에는 정화탱크와 냉각채널이 차례로 연통되어 있으며, 상기 유리액 혼류교반 섹션은 합류채널을 포함하고, 합류채널의 일단은 상기 냉각채널과 연통되어 있고, 합류채널내에는 한세트의 스포일러가 설치되어 있으며, 합류채널의 다른 일단에는 교반채널이 연통되어 있으며, 상기 교반채널은 적어도 하나의 유리액 교반탱크를 포함하고, 유리액 교반탱크의 액배출구는 액공급탱크와 연통되어 있다는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일부 실시형태중에서, 상기의 한세트의 스포일러중의 각 스포일러는 어긋나게 분포되어 있고, 한세트의 스포일러의 분할을 통하여 합류채널내에 1단의 S형 유동채널을 분할한다.
본 발명의 일부 실시형태중에서, 합류채널의 다른 일단에는 적어도 하나의 유리액 교반탱크가 차례로 연통되어 있고, 인접한 두개의 유리액 교반탱크의 교반방향이 다르다.
본 발명의 일부 실시형태중에서, 상기 가열채널의 직경은 150mm-300mm이고, 길이는 500mm-1500mm이며, 상기 정화탱크의 직경은 250mm-400mm이고, 길이는 3000mm-8000mm이며, 상기 냉각채널의 직경은 220mm-360mm이고, 길이는 2000mm-6000mm이며, 상기 합류채널의 직경은 300mm-500mm이고, 길이는 2000mm-5000mm이며, 상기 유리액 교반탱크의 직경은 350mm-550mm이고, 교반 회전속도는 2-20바퀴/분이며, 상기 액공급탱크의 직경은 300mm-500mm이고, 길이는 1000mm-2000mm이다.
본 발명의 일부 실시형태중에서, 상기 가열채널 작업시의 최고온도는 1650℃이고, 상기 정화탱크 작업시의 최고온도는 1670℃이며, 상기 냉각채널 작업시의 온도는 1500℃~1550℃이고, 상기 액공급탱크 작업시의 온도는 1200℃~1400℃이다.
본 발명의 일부 실시형태중에서, 상기 가열채널, 정화탱크, 냉각채널, 합류채널, 유리액 교반탱크, 스포일러 및 액공급탱크는 백금로듐 합금 또는 백금이리듐 합금 또는 백금으로 제조된다. 상기 가열채널, 정화탱크, 냉각채널, 합류채널, 유리액 교반탱크, 스포일러 및 액공급탱크는 각각 독립적으로 백금로듐 합금 또는 백금이리듐 합금 또는 백금으로 제조되고, 서로 동일할 수도 있고 다를 수도 있다. 바람직하게는, 상기 가열채널, 정화탱크, 냉각채널, 합류채널, 유리액 교반탱크, 스포일러 및 액공급탱크는 동일한 일종의 백금로듐 합금 또는 백금이리듐 합금 또는 백금으로 제조된다.
본 발명 실시예에서 제공하는 대유량 귀금속 채널은, 기술장비가 간단하고, 조작성이 높고, 정화 균일화 효과가 우수하고, 적어도 두개의 병행하는 유리액 가열정화냉각 섹션을 설치하여, 대유량 유리액 고온가열정화를 실현할 수 있으며, 동시에 고온하에서의 백금의 사용수명과 고온기계강도도 충분히 보장할 수 있고, 고생산량을 확보하는 전제하에서, 하나의 대직경 유리액 채널을 제조할 시 고온조건하에서 대유량 고액위 유리액의 압력작용에 인하여 붕괴를 발생하는 리스크 문제를 피하였다.
본 발명의 실시예와 종래기술의 기술방안을 더 명확하게 설명하기 위하여, 이하 실시예와 종래기술중에 사용되는 도면에 대하여 간단히 소개한다. 명백히 알다시피, 이하 서술중의 도면은 본 발명의 일부 실시예일 뿐이고, 본 출원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 도면에 근거하여 기타 도면을 얻을 수 있다.
도1은 본 발명이 제공한 실시예1~4의 공정도이다.
본 발명의 목적, 기술방안 및 장점을 보다 명확하게 하기 위하여, 이하 도면을 참조하고 실시예를 들어, 본 발명에 대하여 진일보 상세히 설명한다. 명백하게 서술한 실시예는 본 발명의 일부 실시예일 뿐이지, 전부의 실시예는 아니다. 본 출원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명중의 실시예에 근거하여 얻은 모든 기타 실시예는 모두 본 발명의 청구 범위에 속한다.
[실시예1]
도1에서 표시한 바와 같이, 대유량 귀금속 채널은 유리액 혼류교반 섹션1을 포함하고, 상기 유리액 혼류교반 섹션1은 직경이 400mm이고 길이가 3000mm인 합류채널1a을 포함한다. 합류채널1a의 일단은 직경이 280mm이고 길이가 3000mm인 상기 두개 냉각채널2c과 연통되어 있다. 합류채널1a내에는 한세트의 스포일러1c가 용접되어 있다. 상기 한세트의 스포일러1c는상호 어긋나게 분포된 스포일러1c 8개를 포함하고, 상기 8개 스포일러1c를 통하여 합류채널1a내에 1단의 S형 유동채널4을 분할한다.
S형 유동채널4의 일단의 합류채널1a상에는 세개 유리액 교반탱크1b가 차례로 연통되어 있다. 상기 세개 유리액 교반탱크1b는 직경이 400mm이고, 회전속도가 3바퀴/분이며, 각각 시계 반대 방향, 시계 방향, 시계 반대 방향인 교반방향으로 회전교반한다. 마지막 하나의 유리액 교반탱크1b의 액배출구에는 직경이 360mm이고 길이가 1600mm인 액공급탱크3가 연통되어 있다.
합류채널1a의 다른 일단에는 사이즈 구조가 동일한 두개의 유리액 가열정화냉각 섹션2이 연결되어 있다. 상기 유리액 가열정화냉각 섹션2는 일단이 용융로5와 연통되고, 직경이 200mm이고 길이가 1000mm인 가열채널2a을 포함한다. 가열채널2a의 다른 일단에는 직경이 300mm이고 길이가 5000mm인 정화탱크2b와 냉각채널2c이 차례로 연통되어 있다. 상기 두개 유리액 가열정화냉각 섹션2의 냉각채널2c의 액배출구는 모두 합류채널1a과 연통된다.
상기 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a, 유리액 교반탱크1b, 스포일러1c 및 액공급탱크3는 모두 귀금속인 백금로듐 합금으로 제조된다. 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a 및 액공급탱크3상에는 모두 전선 및 열전대가 연통되어 있다. 상기 전선 및 열전대는 모두 도면중에 표시되지 않은 콘솔과 연결되어 있다. 열전대가 전달한 신호를 통하여, 콘솔을 이용하여 검측한 온도를 모니터링하고 전류입력의 공율을 제어하며, 진일보 가열채널2a의 작업온도가 1630℃, 정화탱크2b의 작업온도가 1650℃, 냉각채널2c의 작업온도가 1520℃, 합류채널1a의 작업온도가 1470℃, 액공급탱크3의 작업온도가 1300℃되도록 제어한다.
최종 유리액은 액공급탱크3를 통과하여 플로트 주석탱크(tin bath of float process)중에 진입해, 정밀성형을 진행하여, 8.5세대 플로트 TFT-LCD 유리기판을 생산한다. 후속 품질 검측한 결과, 생산한 8.5세대 플로트 TFT-LCD 유리기판중에는 기포와 줄무늬가 없었다. 본 실시예의 유리로의 일용융화량은 35톤/일이다.
[실시예2]
도1에서 표시한 바와 같이, 대유량 귀금속 채널은 유리액 혼류교반 섹션1을 포함하고, 상기 유리액 혼류교반 섹션1은 직경이 300mm이고 길이가 5000mm인 합류채널1a을 포함한다. 합류채널1a의 일단은 직경이 220mm이고 길이가 2000mm인 상기 두개 냉각채널2c과 연통되어 있다. 합류채널1a내에는 한세트의 스포일러1c가 용접되어 있다. 상기 한세트의 스포일러1c는 5개의 상호 어긋나게 분포된 스포일러1c를 포함하고, 상기 5개의 스포일러1c를 통하여 합류채널1a내에 일단의 S형 유동채널4을 분할한다.
S형 유동채널4의 일단의 합류채널1a에는 세개 유리액 교반탱크1b가 차례로 연통되어 있다. 상기 세개 유리액 교반탱크1b는 직경이 350mm이고, 회전속도가 8바퀴/분이며, 각각 시계 반대 방향, 시계 방향, 시계 반대 방향인 교반방향으로 회전교반한다. 마지막 하나의 유리액 교반탱크1b의 액배출구에는 직경이 300mm이고 길이가 2000mm인 액공급탱크3가 연통되어 있다.
합류채널1a의 다른 일단에는 사이즈 구조가 동일한 두개의 유리액 가열정화냉각 섹션2이 연결되어 있다. 상기 유리액 가열정화냉각 섹션2는 일단이 용융로5와 연통되고, 직경이 150mm이고 길이가 500mm인 가열채널2a을 포함한다. 가열채널2a의 다른 일단에는 직경이 250mm이고 길이가 3000mm인 정화탱크2b와 냉각채널2c이 차례로 연통되어 있다. 상기 두개 유리액 가열정화냉각 섹션2의 냉각채널2c의 액배출구는 모두 합류채널1a과 연통된다.
상기 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a, 유리액 교반탱크1b, 스포일러1c 및 액공급탱크3는 모두 귀금속인 백금으로 제조된다. 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a 및 액공급탱크3에는 모두 전선 및 열전대가 연통되어 있다. 상기 전선 및 열전대는 모두 도면중에 표시되지 않은 콘솔과 연결되어 있다. 열전대가 전달한 신호를 통하여, 콘솔을 이용하여 검측한 온도를 모니터링하고 전류입력의 공율을 제어하며, 진일보 가열채널2a의 작업온도가 1620℃, 정화탱크2b의 작업온도가 1640℃, 냉각채널2c의 작업온도가 1500℃, 합류채널1a의 작업온도가 1450℃, 액공급탱크3의 작업온도가 1200℃되도록 제어한다.
최종 유리액은 액공급탱크3를 통과하여 쟝촘(overflow)탱크중에 진입해, 정밀성형을 진행하여, 8.5세대 TFT-LCD 유리기판을 오버플로 생산한다. 후속 품질 검측한 결과, 오버플로 생산한 8.5세대 TFT-LCD 유리기판중에는 기포와 줄무늬가 없었다. 본 실시예의 유리로의 일용융화량는 20톤/일이다.
[실시예3]
도1에서 표시한 바와 같이, 대유량 귀금속 채널은 유리액 혼류교반 섹션1을 포함하고, 상기 유리액 혼류교반 섹션1은 직경이 500mm이고 길이가 2000mm인 합류채널1a을 포함한다. 합류채널1a의 일단은 직경이 360mm이고 길이가 6000mm인 상기 두개 냉각채널2c과 연통되어 있다. 합류채널1a내에는 한세트의 스포일러1c가 용접되어 있다. 상기 한세트의 스포일러1c는 12편의 상호 어긋나게 분포된 스포일러1c를 포함하고, 상기 12편 스포일러1c를 통하여 합류채널1a내에 일단락의 S형 유동채널4을 분할한다.
S형 유동채널4의 일단의 합류채널1a에는 세개 유리액 교반탱크1b가 차례로 연통되어 있다. 상기 세개 유리액 교반탱크1b는 직경이 550mm이고, 회전속도가 18바퀴/분이며, 각각 시계 반대 방향, 시계 방향, 시계 반대 방향인 교반방향으로 회전교반한다. 마지막 하나의 유리액 교반탱크1b의 액배출구에는 직경이 500mm이고 길이가 1000mm인 액공급탱크3가 연통되어 있다.
합류채널1a의 다른 일단에는 사이즈 구조가 동일한 두개의 유리액 가열정화냉각 섹션2이 연결되어 있다. 상기 유리액 가열정화냉각 섹션2는 일단이 용융로5와 연통되고, 직경이 300mm이고 길이가 1500mm인 가열채널2a을 포함한다. 가열채널2a의 다른 일단에는 직경이 400mm이고 길이가 8000mm인 정화탱크2b와 냉각채널2c이 차례로 연통되어 있다. 상기 두개 유리액 가열정화냉각 섹션2의 냉각채널2c의 액배출구는 모두 합류채널1a과 연통된다.
상기 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a, 유리액 교반탱크1b, 스포일러1c 및 액공급탱크3는 모두 귀금속 백금이리듐 합금으로 제조된다. 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a 및 액공급탱크3에는 모두 전선 및 열전대가 연통되어 있다. 상기 전선 및 열전대는 모두 도면중에 표시되지 않은 콘솔과 연결되어 있다. 열전대가 전달한 신호를 통하여, 콘솔을 이용하여 검측한 온도를 모니터링하고 전류입력의 공율을 제어하며, 진일보 가열채널2a의 작업온도가 1650℃, 정화탱크2b의 작업온도가 1670℃, 냉각채널2c의 작업온도가 1550℃, 합류채널1a의 작업온도가 1500℃, 액공급탱크3의 작업온도가 1400℃되도록 제어한다.
최종 유리액은 액공급탱크3를 통과하여 플로트 주석탱크중에 진입해, 정밀성형을 진행하여, 11세대 플로트 TFT-LCD 유리기판을 생산한다. 후속 품질 검측한 결과, 생산한 11세대 플로트 TFT-LCD 유리기판중에는 기포와 줄무늬가 없었다. 본 실시예의 유리로의 일용융화량은 100톤/일이다.
[실시예4]
도1에서 표시한 바와 같이, 대유량 귀금속 채널은 유리액 혼류교반 섹션1을 포함하고, 상기 유리액 혼류교반 섹션1은 직경이 450mm이고 길이가 2600mm인 합류채널1a을 포함한다. 합류채널1a의 일단은 직경이 330mm이고 길이가 5500mm인 상기 두개 냉각채널2c과 연통되어 있다. 합류채널1a내에는 한세트의 스포일러1c가 용접되어 있다. 상기 한세트의 스포일러1c는 10편의 상호 어긋나게 분포된 스포일러1c를 포함하고, 상기 10편 스포일러1c를 통하여 합류채널1a내에 일단락의 S형 유동채널4을 분할한다.
S형 유동채널4의 일단의 합류채널1a에는 세개 유리액 교반탱크1b가 차례로 연통되어 있다. 상기 세개 유리액 교반탱크1b는 직경이 500mm이고, 회전속도가 13바퀴/분이며, 각각 시계 반대 방향, 시계 방향, 시계 반대 방향인 교반방향으로 회전교반한다. 마지막 하나의 유리액 교반탱크1b의 액배출구에는 직경이 450mm이고 길이가 1200mm인 액공급탱크3가 연통되어 있다.
합류채널1a의 다른 일단에는 사이즈 구조가 동일한 두개의 유리액 가열정화냉각 섹션2이 연결되어 있다. 상기 유리액 가열정화냉각 섹션2는 일단이 용융로5와 연통되고, 직경이 280mm이고 길이가 1300mm인 가열채널2a을 포함한다. 가열채널2a의 다른 일단에는 직경이 380mm이고 길이가 7000mm인 정화탱크2b와 냉각채널2c이 차례로 연통되어 있다. 상기 두개 유리액 가열정화냉각 섹션2의 냉각채널2c의 액배출구는 모두 합류채널1a과 연통된다.
상기 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a, 유리액 교반탱크1b, 스포일러1c 및 액공급탱크3는 모두 귀금속 백금이리듐 합금으로 제조된다. 가열채널2a, 정화탱크2b, 냉각채널2c, 합류채널1a 및 액공급탱크3에는 모두 전선 및 열전대가 연통되어 있다. 상기 전선 및 열전대는 모두 도면중에 표시되지 않은 콘솔과 연결되어 있다. 열전대가 전달한 신호를 통하여, 콘솔을 이용하여 검측한 온도를 모니터링하고 전류입력의 공율을 제어하며, 진일보 가열채널2a의 작업온도가 1650℃, 정화탱크2b의 작업온도가 1650℃, 냉각채널2c의 작업온도가 1510℃, 합류채널1a의 작업온도가 1470℃, 액공급탱크3의 작업온도가 1350℃되도록 제어한다.
최종 유리액은 액공급탱크3를 통과하여 오버플로탱크중에 진입해, 정밀성형을 진행하여, 10.5세대 TFT-LCD 유리기판을 오버플로 생산한다. 후속 품질 검측한 결과, 오버플로 생산한 10.5세대 TFT-LCD 유리기판중에는 기포와 줄무늬가 없었다. 본 실시예의 유리로의 일용융화량는 70톤/일이다.
이상의 서술은 단지 본 발명의 바람직한 실시형태일 뿐이고, 본 출원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 창조구상을 벗어나지 않는 전제하에서 약간의 개선과 변환을 실시할 수 있으며, 이는 모두 본 발명의 보호범위에 속한다는 것을 지적해야 한다.
1: 유리액 혼류교반 섹션
1a: 합류채널
1b: 유리액 교반탱크
1c: 스포일러
2: 유리액 가열정화냉각 섹션
2a: 가열채널
2b: 정화탱크
2c: 냉각채널
3: 액공급탱크
4: S형 유동채널
5: 용융로.

Claims (6)

  1. 유리액 혼류교반 섹션(1)을 포함하고,
    상기 유리액 혼류교반 섹션(1)의 일단에는 적어도 두개의 유리액 가열정화냉각 섹션(2)이 병렬연결되어 있고, 유리액 혼류교반 섹션(1)의 다른 일단에는 또 액공급탱크(3)가 연통되어 있으며,
    상기 유리액 가열정화냉각 섹션(2)은 일단이 용융로(5)와 연통된 가열채널(2a)을 포함하고, 가열채널(2a)의 다른 일단에는 정화탱크(2b)와 냉각채널(2c)이 차례로 연통되어 있으며,
    상기 유리액 혼류교반 섹션(1)은 합류채널(1a)을 포함하고, 합류채널(1a)의 일단은 상기 냉각채널(2c)과 연통되어 있고, 합류채널(1a)내에는 한세트의 스포일러(1c)가 설치되어 있으며, 합류채널(1a)의 다른 일단에는 교반채널이 연통되어 있으며, 상기 교반채널은 적어도 하나의 유리액 교반탱크(1b)를 포함하고, 유리액 교반탱크(1b)의 액배출구는 액공급탱크(3)와 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 대유량 귀금속 채널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기의 한세트의 스포일러(1c)중의 각 스포일러(1c)는 어긋나게 분포되어 있고, 한세트의 스포일러(1c)의 분할을 통하여 합류채널(1a)내에 한단락의 S형 유동채널(4)을 분할하는 것을 특징으로 하는 대유량 귀금속 채널.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 합류채널(1a)의 다른 일단에는 적어도 하나의 유리액 교반탱크(1b)가 차례로 연통되어 있고, 인접한 두개의 유리액 교반탱크(1b)의 교반방향이 다른 것을 특징으로 하는 대유량 귀금속 채널.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열채널(2a)의 직경은 150mm-300mm이고, 길이는 500mm-1500mm이며,
    상기 정화탱크(2b)의 직경은 250mm-400mm이고, 길이는 3000mm-8000mm이며,
    상기 냉각채널(2c)의 직경은 220mm-360mm이고, 길이는 2000mm-6000mm이며,
    상기 합류채널(1a)의 직경은 300mm-500mm이고, 길이는 2000mm-5000mm이며,
    상기 유리액 교반탱크(1b)의 직경은 350mm-550mm이고, 교반 회전속도는 2-20바퀴/분이며,
    상기 액공급탱크(3)의 직경은 300mm-500mm이고, 길이는 1000mm-2000mm인 것을 특징으로 하는 대유량 귀금속 채널.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열채널(2a) 작업시의 최고온도는 1650℃이고, 상기 정화탱크(2b) 작업시의 최고온도는 1670℃이며, 상기 냉각채널(2c) 작업시의 온도는 1500℃~1550℃이며, 상기 액공급탱크(3) 작업시의 온도는 1200℃~1400℃인 것을 특징으로 하는 대유량 귀금속 채널.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열채널(2a), 정화탱크(2b), 냉각채널(2c), 합류채널(1a), 유리액 교반탱크(1b), 스포일러(1c) 및 액공급탱크(3)는 백금로듐 합금 또는 백금이리듐 합금 또는 백금으로 제조된 것을 특징으로 하는 대유량 귀금속 채널.
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