KR20220077384A - 블록 위치 조정장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 연마공정시 웨이퍼가 부착되는 블록을 정위치로 정렬시키기 위한 블록 위치 조정장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 웨이퍼의 연마 작업시 상기 웨이퍼가 접착되고 회전수단의 상부에 안착되어 회전하는 블록을 상기 회전수단의 상부에 정위치시키기 위한 블록 위치 조정장치에 있어서, 상기 블록의 좌우에 대향되는 형태로 한 쌍으로 구성되어 상기 블록으로부터 일정 간격 이격되어 형성되며, 상기 블록의 좌우 위치(X축)를 교정시키는 좌우이송수단과 상기 좌우이송수단의 상하 위치(Y축)를 교정시키는 상하이송수단으로 구성되는 교정부; 상기 블록의 회전시 상기 블록의 회전 변위량을 감지하는 센싱부; 및 상기 센싱부로부터 감지된 정보를 바탕으로 상기 교정부를 동작시키는 처리부;를 포함하는 블록 위치 조정장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

블록 위치 조정장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ADJUSTING POSITION OF POLISHING BLOCK}
본 발명은 블록 위치 조정장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼의 연마공정시 웨이퍼가 부착되는 블록을 정위치로 정렬시키기 위한 블록 위치 조정장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼(wafer) 제조공정에서는 웨이퍼의 평탄도를 향상시키기 위하여 경면 연마공정을 수행하고 있는데, 이러한 웨이퍼의 연마공정은 웨이퍼를 세라믹 블록(block) 위에 왁스(wax)를 이용하여 수평 상태로 접착시킨 다음, 세라믹 블록이 결합된 회전수단을 회전시켜 세라믹 블록에 접착된 웨이퍼를 연마하고 있다.
이때, 블록의 센터를 정위치에 정렬시키기 위해 블록의 좌우에 위치한 정렬장치를 사용한다. 정렬장치는 실린더에 의해 직선 왕복운동을 하는 구조이며, 블록에 접촉되는 정렬장치의 단부는 블록의 외측 둘레부에 대응되는 형상을 갖는다.
따라서, 실린더(Cylinder)의 위치(Positon)가 틀어지게 되면 블록의 센터링(Centering)이 틀어지게 되고, 이로 인해 웨이퍼(Wafer)를 블록에 마운트(Mount)하는 과정에서 웨이퍼가 균일하게 마운팅(Mounting)되지 않아 블록 끝과 웨이퍼 사이의 간격이 달라지게 된다. 이와 같이 마운팅된 웨이퍼는 연마장치가 가동될 경우, 테이퍼(Taper) 불량 문제가 발생할 수 밖에 없다.
(0001) 국내공개특허 제10-2014-0042925호
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 센싱부를 통해 블록의 회전 변위량을 측정하여 블록의 편심 방향 및 편심률을 파악할 수 있음은 물론, 블록을 좌우상하로 정렬시킬 수 있는 교정부를 통해 편심된 블록을 정위치로 교정시킬 수 있는 블록 위치 조정장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 블록을 정위치로 정렬시킴으로써 센터링(Centering) 틀어짐으로 인한 테이퍼(Taper) 불량 문제를 개선할 수 있는 블록 위치 조정장치 및 방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명인 블록 위치 조정장치는, 웨이퍼의 연마 작업시 상기 웨이퍼가 접착되고 회전수단의 상부에 안착되어 회전하는 블록을 상기 회전수단의 상부에 정위치시키기 위한 블록 위치 조정장치에 있어서, 상기 블록의 좌우에 대향되는 형태로 한 쌍으로 구성되어 상기 블록으로부터 일정 간격 이격되어 형성되며, 상기 블록의 좌우 위치(X축)를 교정시키는 좌우이송수단과 상기 좌우이송수단의 상하 위치(Y축)를 교정시키는 상하이송수단으로 구성되는 교정부; 상기 블록의 회전시 상기 블록의 회전 변위량을 감지하는 센싱부; 및 상기 센싱부로부터 감지된 정보를 바탕으로 상기 교정부를 동작시키는 처리부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 좌우이송수단은 모터 실린더에 의해 X축 방향으로 이동하고, 상기 상하이송수단은 상기 좌우이송수단이 결합된 이동몸체가 LM 가이드를 따라 서보 모터에 의해 Y축 방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 센싱부는, 레이저 동축 변위 센서를 포함한 적어도 하나의 센서로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 처리부는, 상기 센싱부로부터 감지된 정보가 설정된 기준값과 차이가 나는 경우 기준 테이블값을 바탕으로 제어신호를 생성하여 전달하는 제어부; 및 상기 제어부로부터 생성된 상기 제어신호를 바탕으로 상기 좌우이송수단과 상기 상하이송수단 중 적어도 어느 하나를 구동시키는 드라이버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명인 블록 위치 조정방법은, 웨이퍼의 연마 작업시 상기 웨이퍼가 접착되고 회전수단의 상부에 안착되어 회전하는 블록을 상기 회전수단의 상부에 정위치시키기 위한 블록 위치 조정방법에 있어서, 처리부에서 상기 회전수단을 구동시켜 상기 블록을 회전시키는 블록 회전단계; 센싱부에서 상기 블록의 회전각에 따른 변위량을 감지하는 블록위치 센싱단계; 및 처리부에서 상기 센싱부로부터 감지된 정보를 바탕으로 상기 블록의 변위량을 파악하고, 교정부를 통해 상기 블록의 위치를 교정하는 블록위치 교정단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 블록위치 센싱단계에서는, 상기 블록을 0~90도(1구간), 90~180도(2구간), 180~270도(3구간) 및 270~360도(4구간) 4개의 구간으로 구분하고, 상기 블록의 회전시 구간별 변위량을 감지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블록위치 교정단계는, 상기 4개의 구간별 변위량 중 최대 변위값이 측정된 구간을 파악하고, 상기 1구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 3구간 방향으로, 상기 2구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 4구간 방향으로, 상기 3구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 1구간 방향으로, 상기 4구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 2구간 방향으로 각각 설정된 거리만큼 이송시키는 블록 이송단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블록 이송단계 이후 상기 블록 회전단계와 상기 블록위치 센싱단계를 수행하며, 상기 4개의 구간별 변위량이 동일할 때까지 제1항에 기재된 단계를 반복적으로 수행하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 교정부는, 상기 블록의 좌우에 대향되는 형태로 한 쌍으로 구성되어 상기 블록으로부터 일정 간격 이격되어 형성되며, 상기 블록의 좌우 위치(X축)를 교정시키는 좌우이송수단; 및 상기 좌우이송수단의 상하 위치(Y축)를 교정시키는 상하이송수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 좌우이송수단은 모터 실린더에 의해 X축 방향으로 이동하고, 상기 상하이송수단은 상기 좌우이송수단이 결합된 이동몸체가 LM 가이드를 따라 서보 모터에 의해 Y축 방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 센싱부는, 적어도 하나의 센서로 구성되며, 레이저 동축 변위 센서를 포함하는 블록 위치 조정방법.
또한, 상기 처리부는, 상기 센싱부로부터 감지된 정보가 설정된 기준값과 차이가 나는 경우 기준 테이블값을 바탕으로 제어신호를 생성하여 전달하는 제어부; 및 상기 제어부로부터 생성된 상기 제어신호를 바탕으로 상기 좌우이송수단과 상기 상하이송수단 중 적어도 어느 하나를 구동시키는 드라이버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 본 발명인 블록 위치 조정장치 및 방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
먼저, 센싱부를 통해 블록의 편심된 방향 및 편심률을 파악하여 교정 데이터로 활용할 수 있다.
또한, 센싱부로부터 취득한 데이터를 바탕으로 X축과 Y축 방향으로 블록의 위치를 교정할 수 있는 교정부를 이용하여 블록의 위치를 교정할 수 있다.
또한, 블록을 정위치로 교정함으로써 블록의 센터링(Centering) 틀어짐으로 인한 테이퍼(Taper) 불량 문제를 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 블록 위치 조정장치의 일 실시례에 따른 구성을 개념적으로 나타낸 도면,
도 2는 본 발명에 의한 블록 위치 조정장치의 일 실시례에 따른 블록과 교정부 및 센싱부의 구성을 개념적으로 나타낸 도면,
도 3은 본 발명에 의한 블록 위치 조정방법의 일 실시례에 따른 구성도,
도 4는 블록 회전시 블록의 편심 상태를 개념적으로 나타낸 도면,
도 5는 도 4와 같은 블록의 편심 상태 발생시 본 발명에 따른 블록위치 교정단계를 나타낸 도면.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시례를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도면에서 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니며, 동일한 참조번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명에 의한 블록 위치 조정장치의 일 실시례에 따른 구성을 개념적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명에 의한 블록 위치 조정장치의 일 실시례에 따른 블록과 교정부 및 센싱부의 구성을 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명인 블록 위치 조정장치를 설명하면 다음과 같다.
본 발명인 블록(block) 위치 조정장치는, 웨이퍼(wafer)의 연마 작업시 웨이퍼(1)가 왁스(wax)로 접착되고 회전수단(3)의 상부에 안착되어 회전하는 블록(2)을 회전수단(3)의 상부에 정위치시키기 위한 것으로, 교정부(10)와 센싱부(20) 및 처리부(30)를 포함하여 구성된다.
먼저, 블록(2)은 세라믹 재질로 구성되며, 소정 두께를 갖는 원판 형상으로 이루어진다. 블록(2)의 상부에는 왁스(wax)가 도포되어 웨이퍼(1)가 부착(wax mount)된다. 블록(2)은 회전수단(3)의 상부 중심에 그 중심부가 위치되어 회전한다. 그러나, 블록(2)의 편심 결합시 웨이퍼(1)를 블록(2)에 마운트(mount)하는 과정에서 웨이퍼(1)가 균일하게 마운팅되지 않아 블록(2)의 가장자리와 웨이퍼(1) 사이의 간격이 달라지게 된다. 이와 같은 상태에서 연마 작업시 웨이퍼(1)에 테이퍼(taper) 불량이 발생된다. 이를 해결하기 위해 종래에는 좌우이송수단(11)만을 구성하여 블록(2)의 위치를 조정하였으나, 좌우이송수단(11)의 이송축이 틀어지거나 위치가 변경될 경우 블록(2)의 위치가 정위치에 정렬되지 않는 문제가 발생하였다.
본 발명은 이를 해결하기 위해 좌우이송수단(11) 이외에도 좌우(X축) 방향으로만 이동하는 좌우이송수단(11)을 상하(Y축) 방향으로도 이동할 수 있도록 상하이송수단(12)을 더 구비하였다. 즉, 본 발명에 따른 교정부(10)는 블록(2)의 좌우에 대향되는 형태로 한 쌍으로 구성되어 블록(2)으로부터 일정 간격 이격되어 형성되는 것으로, 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)을 포함한다.
도 2를 참조하면, 좌우이송수단(11)은 모터 실린더에 의해 블록(2)의 양 측에서 각각 좌우 방향(C, D 방향)으로 이동된다. 모터 실린더의 이동축 단부에는 정렬부재(도면부호 미기재)가 형성된다. 블록(2)에 접촉되는 상기 정렬부재의 내측 둘레부는 블록의 외측 둘레부에 대응되는 형상을 갖는다.
상하이송수단(12)은 좌우이송수단(11) 전체를 각각 블록(2)의 상하 방향(A, B 방향)으로 이동시키는 것으로, 도 2에는 개념적으로만 도시하였으나, 좌우이송수단(11)이 결합된 이동몸체가 LM 가이드를 따라 서보 모터에 의해 Y축 방향으로 이동하면서 좌우이송수단(11)을 블록(2)의 상하 방향으로 이동시킨다. 블록(2)은 대부분 좌우 방향으로 편심되고, 상하 방향으로는 좌우 방향에 비해 편심률이 작다. 따라서, 상하이송수단(12)은 서보 모터에 의해 미세 거리 조정이 가능하도록 구성하는 것이 바람직하다.
센싱부(20)는 블록(2) 회전시 블록(2)의 회전 변위량을 감지한다. 센싱부(20)는 블록(2)의 둘레부로부터 일정 간격 이격되어 블록(2)의 회전 동작 및 교정부(10)의 이동 동작 등에 간섭되지 않도록 설치되며, 감지된 회전 변위량은 처리부(30)로 전달된다. 도면상에는 센싱부(20)를 90°~ 180°사이에 하나로 구성된 상태를 도시하였으나, 센싱부(20)는 적어도 하나로 구성될 수 있으며, 레이저 동축 변위센서를 포함할 수 있다. 일례로, 레이저 동축 변위센서를 4개로 구성할 수 있으며, 이 경우 0°~ 90°, 90°~ 180°, 180°~ 270°및 270°~ 360°(0°) 범위에 하나씩 구성할 수 있다. 센싱부(20)를 네 개로 구성할 경우 블록(2)을 회전시키지 않고도 블록(2)의 편심 방향 및 편심률을 알 수 있으나, 센싱부(20)를 하나로 구성하여 제작 단가를 낮추는 것이 보다 바람직할 것이다. 즉, 블록(2)을 회전시켜 블록(2)의 회전 변위량(값)을 센싱부(20)를 통해 감지할 수 있으며, 이를 통해 블록(2)이 어느 방향으로 편심되었는지 여부를 알 수 있다. 센싱부(20)를 통해 측정된 값은 처리부(30)로 전송되며, 전술한 교정부(10), 즉 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)의 동작을 제어하기 위한 기준데이터로 사용된다.
센싱부(20)로부터 감지된 정보를 전달받아 동작하는 처리부(30)는 제어부(31) 및 드라이버(32)를 포함하여 구성된다.
제어부(31)는 센싱부(20)로부터 측정된 값을 전달받으며, 전달받은 측정값이 설정된 기준값과 차이가 나는 경우 기준 테이블값을 바탕으로 제어신호를 생성하여 드라이버(32)로 전달한다. 상기 기준값이란 블록(2)이 정위치에 정렬되어 회전할 때의 회전 변위량으로 정할 수 있으며, 블록(2)이 정위치에 정렬된 경우 회전 변위량은 제로값('0')으로 나타날 수 있다. 따라서, 제어부(31)는 블록(2)의 중심점이 회전수단(3)의 결합 중심점으로부터 편심되었을 경우 편심된 위치와 거리에 따라 기 저장된 상기 기준 테이블값을 바탕으로 정위치로 정렬시키기 위해 어느 방향으로 얼마만큼 이동하면 되는지를 계산한 다음 이에 따라 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)에 대한 구동 제어신호를 생성하여 드리이버(32)로 전달한다. 또한, 제어부(31)는 블록(2)이 편심되었을 경우 편심된 반대 방향으로 기본 단위의 거리만큼 이동하도록 제어신호를 생성할 수도 있다.
한편, 제어부(31)에는 기준 테이블값 등이 저장되는 메모리(미도시)가 더 구비될 수 있다.
드라이버(32)는 교정부(10), 즉 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)을 구동시키기 위한 장치로써, 제어부(31)로부터 교정부(10)를 동작시키기 위한 제어신호를 전달받아 블록(2)의 편심된 미세 간격을 조정하도록 좌우이송수단(11) 및 상하이동수단(12) 중 적어도 어느 하나를 동작시킨다. 교정부(10)의 구동 상태는 후술할 블록 위치 조정방법을 통해 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명에 의한 블록 위치 조정방법의 일 실시례에 따른 구성도이고, 도 4는 블록 회전시 블록의 편심 상태를 개념적으로 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4와 같은 블록의 편심 상태 발생시 본 발명에 따른 블록위치 교정단계를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2와 함께 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명인 블록 위치 조정 방법을 설명하면 다음과 같다.
본 발명인 블록 위치 조정방법은 웨이퍼(1)의 연마 작업시 웨이퍼(1)가 접착되고 회전수단(3)의 상부에 안착되어 회전하는 블록(2)을 회전수단(3)의 상부에 정위치시키기 위한 것으로, 블록 회전단계(S10), 블록위치 센싱단계(S20), 블록위치 교정단계(S30)를 포함하며, 블록위치 교정단계(S30)는 블록 이송단계(S31)를 더 포함할 수 있다.
블록 회전단계(S10)에서는 처리부(30)에서 센싱부(20)를 통해 블록(2)의 회전각에 따른 변위량을 감지하기 위해 회전수단(3)을 구동시켜 블록(2)을 회전시키는 단계이다. 회전수단(3)은 구동모터(도면부호 미기재)와 연동되어 회전하며, 처리부(30) 또는 처리부(30)와 연결된 별도의 구동부(미도시)에 의해 컨트롤될 수 있다. 블록(2)을 회전시킬 경우 1회전 또는 그 이상 회전시킬 수 있다.
블록위치 센싱단계(S20)에서는 센싱부(20)에서 블록(2)의 회전각에 따른 변위량을 감지하는 단계이다. 블록(2)의 회전각에 따른 변위량 감지시 블록(2)을 0~90도(1구간), 90~180도(2구간), 180~270도(3구간) 및 270~360도(4구간) 4개의 구간으로 구분하고, 블록(2)의 회전시 구간별 변위량을 감지할 수 있다.
도 4를 참조하면, 상부에 위치한 도면은 블록(2)이 정위치된 상태에서 블록(2)을 회전시켜 회전각 변위량을 측정한 상태를 나타낸 도면이다. 블록(2)이 정위치에 정렬되어 회전하면 회전각에 따른 변위량은 제로값('0')으로 동일하게 나타난다. 그러나, 하부에 위치한 도면에 도시된 바와 같이, 블록(2)이 90도 정방향으로 일정 간격 편심되었을 경우 회전각에 따른 변위량은 90도에서 최고치를 나타내고, 반대 방향인 270도 방향에서는 최저치를 나타내며, 180도와 360도에서는 제로값을 나타낸다. 이는 도 4의 하부에 도시된 도면과 같이, 블록(2)이 90도 우측 수평 방향으로 편심되었음을 나타낸다.
블록위치 교정단계(S30)는 센싱부(20)로부터 감지된 정보를 바탕으로 처리부(30)에서 블록(2)의 변위량을 파악하고, 교정부(10)를 통해 블록(2)의 위치를 설정된 거리만큼 이송시켜 교정하는 단계이다. 도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 블록위치 교정단계(S30)는 블록 이송단계(S31)를 더 포함하며, 블록 이송단계(S31)에서는 전술한 4개의 구간별 변위량 중 최대 변위값이 측정된 구간을 파악하고, 상기 1구간(0 ~ 90도)에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 블록(2)을 회전각과 변위 크기에 따라 상기 3구간(180 ~ 270도) 방향, 즉 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)을 각각 'B'와 'C' 방향으로 이동시킨다. 또한, 상기 2구간(90 ~ 180도)에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 블록(2)을 회전각과 변위 크기에 따라 상기 4구간(270 ~ 360도) 방향, 즉 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)을 각각 'A'와 'C' 방향으로 이동시킨다. 또한, 상기 3구간(180 ~ 270도)에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 블록(2)을 회전각과 변위 크기에 따라 상기 1구간(0 ~ 90도) 방향, 즉 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)을 각각 'A'와 'D' 방향으로 이동시킨다. 또한, 상기 4구간(270 ~ 360도)에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 블록(2)을 상기 2구간(90 ~ 180도) 방향, 즉 좌우이송수단(11) 및 상하이송수단(12)을 각각 'B'와 'D' 방향으로 이동시킨다.
전술한 블록 이송단계(S31) 이후 블록 회전단계(S10)와 블록위치 센싱단계(S20)를 더 수행하며, 상기 4개의 구간별 변위량이 동일할 때까지 제1항에 기재된 단계를 반복적으로 수행하도록 구성할 수 있다.
한편, 교정부(10), 센싱부(20) 및 처리부(30)에 대한 구성과 동작 상태 등은 전술한 블록 위치 조정장치의 설명을 참조할 수 있으며, 이상에서 설명한 본 발명의 사용 상태를 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명하도록 한다.
먼저, 블록(2)의 정렬 상태를 검사하기 위해 제어부(31)에서 블록(2)에 대한 회전 제어신호를 전달하고, 드라이버(32)는 회전수단(3)의 구동모터를 구동시킨다. 구동모터에 의해 블록(2)이 회전하면 센싱부(20)인 레이저 동축 변위 센서는 블록(2)의 회전에 따른 4개의 구간별 변위량을 측정한다. 측정된 블록(2)의 회전 변위량은 제어부(31)로 전달된다. 제어부(31)는 측정된 블록(2)의 회전 변위량을 기 저장된 기준값과 비교하고, 블록(2)이 정위치에서 이탈되었을 경우 기 저장된 기준 테이블값을 바탕으로 블록(2)에 대한 위치 변경 제어신호를 생성하여 드라이버(32)로 전달한다. 즉, 도 4의 하부에 도시된 도면과 같이 블록(2)의 회전 변위량이 90도에서 최대치를 나타내고, 270도에서 최저치를 나타내며, 180도와 360도에서는 제로치로 나타났다고 가정할 경우, 블록(2)을 270도 방향인 도 2의 'C' 방향으로 이동시켜야 한다. 따라서, 드라이버(32)는 좌우이송수단(11)만을 동작시켜 블록(2)을 270도 방향으로 이동시켜 블록(2)을 정위치에 정렬시킨다. 이후 블록(2)을 다시 회전시키고 센싱부(20)를 통해 블록(2)의 회전에 따른 4개의 구간별 변위량을 측정하고, 측정된 블록(2)의 회전 변위량이 기 저장된 기준값과 동일하면 블록(2)이 정위치에 위치한 것으로 판단하고 블록 위치 조정단계를 완료한다. 그러나, 블록(2)의 회전에 따른 4개의 구간별 변위량이 기 저장된 기준값과 동일하지 않을 경우 전술한 정렬 동작을 반복하여 블록(2)을 정위치시킨다.
이상에서 설명한 본 발명에 따르면, 블록(2)을 정위치로 교정함으로써 블록(2)의 센터링(Centering) 틀어짐으로 인한 테이퍼(Taper) 불량 문제를 개선할 수 있다.
이상에서 실시례들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시례에 포함되며, 반드시 하나의 실시례에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시례에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시례들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시례들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 : 웨이퍼 2 : 블록
3 : 회전수단
10 : 교정부 11 : 좌우이송수단
12 : 상하이송수단 20 : 센싱부
30 : 처리부 31 : 제어부
32 : 드라이버
S10 : 블록 회전단계 S20 : 블록위치 센싱단계
S30 : 블록위치 교정단계 S31 : 블록 이송단계

Claims (12)

  1. 웨이퍼의 연마 작업시 상기 웨이퍼가 접착되고 회전수단의 상부에 안착되어 회전하는 블록을 상기 회전수단의 상부에 정위치시키기 위한 블록 위치 조정장치에 있어서,
    상기 블록의 좌우에 대향되는 형태로 한 쌍으로 구성되어 상기 블록으로부터 일정 간격 이격되어 형성되며, 상기 블록의 좌우 위치(X축)를 교정시키는 좌우이송수단과 상기 좌우이송수단의 상하 위치(Y축)를 교정시키는 상하이송수단으로 구성되는 교정부;
    상기 블록의 회전시 상기 블록의 회전 변위량을 감지하는 센싱부; 및
    상기 센싱부로부터 감지된 정보를 바탕으로 상기 교정부를 동작시키는 처리부;를 포함하는 블록 위치 조정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 좌우이송수단은 모터 실린더에 의해 X축 방향으로 이동하고,
    상기 상하이송수단은 상기 좌우이송수단이 결합된 이동몸체가 LM 가이드를 따라 서보 모터에 의해 Y축 방향으로 이동하는 블록 위치 조정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 센싱부는,
    레이저 동축 변위 센서를 포함한 적어도 하나의 센서로 구성되는 블록 위치 조정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 처리부는,
    상기 센싱부로부터 감지된 정보가 설정된 기준값과 차이가 나는 경우 기준 테이블값을 바탕으로 제어신호를 생성하여 전달하는 제어부; 및
    상기 제어부로부터 생성된 상기 제어신호를 바탕으로 상기 좌우이송수단과 상기 상하이송수단 중 적어도 어느 하나를 구동시키는 드라이버;를 포함하는 블록 위치 조절장치.
  5. 웨이퍼의 연마 작업시 상기 웨이퍼가 접착되고 회전수단의 상부에 안착되어 회전하는 블록을 상기 회전수단의 상부에 정위치시키기 위한 블록 위치 조정방법에 있어서,
    처리부에서 상기 회전수단을 구동시켜 상기 블록을 회전시키는 블록 회전단계;
    센싱부에서 상기 블록의 회전각에 따른 변위량을 감지하는 블록위치 센싱단계; 및
    처리부에서 상기 센싱부로부터 감지된 정보를 바탕으로 상기 블록의 변위량을 파악하고, 교정부를 통해 상기 블록의 위치를 교정하는 블록위치 교정단계;를 포함하는 블록 위치 조정방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 블록위치 센싱단계에서는,
    상기 블록을 0~90도(1구간), 90~180도(2구간), 180~270도(3구간) 및 270~360도(4구간) 4개의 구간으로 구분하고, 상기 블록의 회전시 구간별 변위량을 감지하는 블록 위치 조정방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 블록위치 교정단계는,
    상기 4개의 구간별 변위량 중 최대 변위값이 측정된 구간을 파악하고,
    상기 1구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 3구간 방향으로, 상기 2구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 4구간 방향으로, 상기 3구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 1구간 방향으로, 상기 4구간에서 상기 최대 변위값이 측정된 경우 상기 블록을 상기 2구간 방향으로 각각 설정된 거리만큼 이송시키는 블록 이송단계;를 더 포함하는 블록 위치 조정방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 블록 이송단계 이후 상기 블록 회전단계와 상기 블록위치 센싱단계를 수행하며, 상기 4개의 구간별 변위량이 동일할 때까지 제1항에 기재된 단계를 반복적으로 수행하는 블록 위치 조정방법.
  9. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 교정부는,
    상기 블록의 좌우에 대향되는 형태로 한 쌍으로 구성되어 상기 블록으로부터 일정 간격 이격되어 형성되며,
    상기 블록의 좌우 위치(X축)를 교정시키는 좌우이송수단; 및
    상기 좌우이송수단의 상하 위치(Y축)를 교정시키는 상하이송수단;을 포함하는 블록 위치 조정방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 좌우이송수단은 모터 실린더에 의해 X축 방향으로 이동하고,
    상기 상하이송수단은 상기 좌우이송수단이 결합된 이동몸체가 LM 가이드를 따라 서보 모터 의해 Y축 방향으로 이동하는 블록 위치 조정방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 센싱부는,
    적어도 하나의 센서로 구성되며, 레이저 동축 변위 센서를 포함하는 블록 위치 조정방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 처리부는,
    상기 센싱부로부터 감지된 정보가 설정된 기준값과 차이가 나는 경우 기준 테이블값을 바탕으로 제어신호를 생성하여 전달하는 제어부; 및
    상기 제어부로부터 생성된 상기 제어신호를 바탕으로 상기 좌우이송수단과 상기 상하이송수단 중 적어도 어느 하나를 구동시키는 드라이버;를 포함하는 블록 위치 조절방법.
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