KR20220069378A - 마이크로 led 검사 장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치는, 마이크로 LED 검사에 사용될 제1 광을 생성하여 조사하는 광 조사부, 제1 광이 검사 대상 마이크로 LED를 향하도록 처리하는 광학계, 및 제1 광에 의해 각 마이크로 LED에서 발생된 제2 광에 기초하여 검사 정보를 획득하는 검출부를 포함하며, 제1 광의 조사와 검출부에서의 검사 정보 획득은, 직선을 이루는 복수 개의 마이크로 LED 단위인 '검사 영역 단위'로 이루어진다. 검사 정보에는 각 마이크로 LED의 위치인 공간정보, 파장 대역별 크기를 나타내는 분광정보, 영상 정보 등이 포함될 수 있다. 본 발명에 따르면, 각 마이크로 LED 칩의 전극에 전압을 인가하지 않고도 칩의 상태(불량 여부, 오염 상태 등)를 검사하고, 그 특성을 확인할 수 있다. 그러므로, 다수의 마이크로 LED 칩들이 기판상에 배열된 이후뿐만 아니라 칩 프로세싱 과정 중 그 어디에서나 칩의 상태를 검사할 수 있다.
Description
본 발명은 마이크로 LED 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 다수의 마이크로 LED를 신속하고 정확하게 검사할 수 있도록 한다.
마이크로 LED(micro LED)는 1~100μm 정도 크기의 LED(Light Emitting Diode)를 말하며, RGB로 이루어진 픽셀을 구성하여 디스플레이로 실현되면, 소형 디스플레이부터 대형 TV까지 현존하는 모든 디스플레이에 사용 가능하다. 마이크로 LED 디스플레이는 마이크로 LED 칩 자체를 발광 재료로 사용한다.
도 1은 마이크로 LED 디스플레이 패널의 생산 공정을 개락적으로 나타낸 것이고, 도 2는 Epi 웨이퍼(wafer)로부터 디스플레이 패널 제작까지의 제작 프로세스를 개략적으로 나타낸 것이다.
마이크로 LED 디스플레이 패널의 생산 공정은 Epi 웨이퍼 제작 단계(Step 1), 칩(또는 픽셀)의 정밀 절단 및 분리 단계(Step 2), CMOS 기판 위에 칩을 정밀 배열하고 접착하는 단계(Step 3)로 이루어질 수 있다.
이러한 Step 1 내지 Step 3은 LED 칩 프로세싱 단계라고 지칭될 수 있다.
마이크로 LED 칩(chip)들은 디스플레이에 사용되어야 하기 때문에, 각 마이크로 LED 칩을 발광시킨 후, 분광 스펙트럼 검사와 외형 검사 등이 필수적으로 수행되어야 한다.
구체적인 예를 들자면, 4K UHD TV를 가정할 때, 검사해야 하는 마이크로 LED 칩의 개수는 대략 24,800,000개이며, 이 칩들은 도 2에 도시된 제작 프로세스의 각 단계마다 검사가 필요하다.
마이크로 LED의 불량 문제와 관련하여, 한국공개특허 제10-2019-0114334호는 마이크로 LED의 양품 또는 불량 여부를 검사하여, 불량 마이크로 LED를 양품의 마이크로 LED로 교체하는 마이크로 LED 검사 및 리페어 방법을 개시하고 있다.
그러나, 종래의 LED 검사는 칩 프로세싱 과정을 거쳐 LED 칩들이 기판상에 배열된 후, 전극에 전압을 인가하여, 칩(픽셀) 하나하나를 개별적으로 검사하므로, 검사 시간이 매우 오래 걸리는 문제가 있다.
또한, 종래 마이크로 LED 검사는, 칩의 크기가 수십 마이크로미터 크기로 매우 작아서, 일부의 마이크로 LED 칩만을 부분적으로 샘플링하여 검사하는 방법으로 해당 패널 자체의 불량 여부 등을 판단하였다. 이 때문에 정확한 판단이 이루어지지 못하는 문제가 있었다.
즉, 마이크로 LED를 발광시키기 위해서는 전기 신호를 인가해야 하지만, 최종 패널 제작이 완료된 이후가 아니면 전기 신호를 인가할 수 없어서, 필요한 각 공정에서 마이크로 LED를 검사하기 어렵다.
또한, 마이크로 LED 칩의 작은 크기와, 많은 검사 수량 등으로 원활한 검사가 이루어지기 어렵기 때문에, 현재 기술로는 마이크로 LED를 효과적으로 검사하는 데 한계가 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 마이크로 LED 칩들이 기판에 배치된 이후뿐만 아니라, 배치되기 이전이라도, 그 어느 과정에서든 마이크로 LED 칩의 상태를 검사(확인)할 수 있는, 마이크로 LED 검사 장치 및 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 전극에 전압을 인가하지 않고도 마이크로 LED 칩의 상태를 검사할 수 있도록 하는 데 있다.
다만, 본 발명의 각 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치는, 마이크로 LED 검사에 사용될 제1 광을 생성하여 조사하는 광 조사부; 상기 광 조사부에서 조사된 제1 광이, 배열되어 있는 다수의 검사 대상 마이크로 LED를 향하도록 처리하는 광학계; 및 상기 제1 광에 의해 복수 개의 마이크로 LED에서 발생된 제2 광에 기초하여, 검사 정보를 획득하는 검출부를 포함하여 이루어진다.
이때, 상기 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사와 상기 검출부에서의 검사 정보 획득은, 직선을 이루는 복수 개의 마이크로 LED 단위인 '검사 영역 단위'로 이루어질 수 있다.
상기 검사 정보는 각 마이크로 LED의 위치인 공간정보, 및 파장 대역별 크기를 나타내는 분광정보를 포함할 수 있다.
상기 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사는 각 마이크로 LED에 대해 순차적으로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 순차적 광 조사는, 미러의 회전 각도를 조절함으로써 이루어질 수 있다.
또한, 상기 검사 영역 단위에 속한 전체 마이크로 LED에 대한 광 조사는 상기 검출부에서 검사 정보를 획득하는 속도보다 빠르도록 구성될 수 있다.
상기 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사는 라인 광으로 동시에 이루어지도록 구성될 수도 있다.
상기 광 조사부는, 각각 서로 다른 파장대의 광을 생성하는 복수 개의 광 생성부; 상기 각 광 생성부에 대응하여, 각 광 생성부에서 생성된 광을 라인 형태로 확장하는 복수 개의 익스팬더부; 상기 각 익스팬더부를 통해 확장된 광을 미러를 통해 수신하여, 하나의 광신호로 통합하는 먹스 필터부; 상기 먹스 필터부의 광 출력 파워를 조절하는 ND 필터부; 및 상기 각 광 생성부의 동작을 선택적으로 제어하는 파장선택 제어부를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 광 생성부는 375nm 또는 405nm 파장을 갖는 광을 생성하는 제1 광생성부; 및 532nm 이상 610nm 이하 중 어느 파장을 갖는 광을 생성하는 제2 광생성부를 포함할 수 있다.
상기 파장선택 제어부는 배열되어있는 검사 대상 마이크로 LED가 녹색(Green) 마이크로 LED나 청색(Blue) 마이크로 LED를 포함하는지, 또는 적색(Red) 마이크로 LED를 포함하는지에 따라, 상기 제1 광생성부와 제2 광생성부를 선택적으로 동작시킬 수 있다.
상기 광학계는, 상기 광 조사부에서 조사되는 광이 라인 광의 형태를 가지도록 처리하는 빔 제너레이터; 전후방향에 대해 기울어져 배치되고, 상기 빔 제너레이터에서 처리된 광이 입사되는 빔 스플리터부; 및 상기 빔 스플리터부로부터 입사되는 광을 상기 마이크로 LED로 전달하는 대물 렌즈를 포함할 수 있으며, 상기 검출부는 상기 제2 광의 분광정보를 획득하는 분광부를 포함할 수 있다.
상기 제1 광은 상기 전후방향과 직교하는 방향에서 상기 빔 스플리터부를 향해 입사되고, 상기 빔 스플리터부는, 상기 입사되는 제1 광을 전방에 위치한 상기 각 마이크로 LED를 향해 반사시키되, 상기 각 마이크로 LED로부터 발생되는 상기 제2 광은 통과시켜 후방에 위치한 상기 분광부로 전달할 수 있다.
여기서, 상기 전후방향은 상기 마이크로 LED가 배치되는 전방과, 상기 분광부가 배치되는 후방을 잇는 방향일 수 있다.
상기 빔 제너레이터는 미러의 회전 각도를 조절함으로써 상기 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 순차적 광 조사가 이루어지도록 처리할 수 있다.
상기 빔 제너레이터는 상기 광 조사부에서 조사된 광을 라인 광으로 변환하도록 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치는, 상기 대물 렌즈의 초점거리에 따라 배율을 결정할 수 있도록 하는 튜브 렌즈를 더 포함할 수 있다.
상기 검출부는 상기 제2 광의 상이 맺히게 하는 촬상부를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 광학계는 상기 제2 광을 모두 상기 촬상부로 전달하거나, 상기 분광부로 모두 전달하거나, 또는 상기 촬상부와 분광부에 각각 일정 비율로 전달하는 검출 경로 선택부를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 방법은, 상기 각 실시예의 마이크로 LED 검사 장치를 통해 다수의 검사 대상 마이크로 LED를 검사하는 방법으로서, 현재 검사 순서의 각 마이크로 LED에 상기 제1 광을 조사하도록 상기 광 조사부와 광학계를 제어하는 단계; 및 상기 제1 광의 조사에 의해 각 마이크로 LED에서 발생된 제2 광에 기초한 검사 정보를 상기 검출부를 통해 획득하는 단계를, 모든 검사 대상 마이크로 LED에 대해 수행하도록 구성될 수 있다.
이때, 상기 제1 광의 조사와 검사 정보 획득은, 직선을 이루는 복수 개의 마이크로 LED 단위인 '검사 영역 단위'로 이루어질 수 있다.
상기 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사는, 각 마이크로 LED에 대해 순차적으로 이루어지거나, 또는 라인 광으로 동시에 이루어질 수 있다.
본 발명의 마이크로 LED 검사 장치는 각 마이크로 LED 칩의 전극에 전압을 인가하지 않고도, 각 마이크로 LED 칩의 상태(불량 여부, 오염 상태 등)를 검사하고, 그 특성을 확인할 수 있다.
그러므로, 다수의 마이크로 LED 칩들이 기판상에 배열(배치)된 이후 뿐만 아니라 배열되기 이전에도, 칩 프로세싱 과정 중 그 어디에서나 마이크로 LED 칩의 상태를 검사(확인)할 수 있다.
이에 따라, 최종 단계에서 검사를 수행하는 종래의 비젼 검사와 달리, 공정에 직접 개입하여 수율을 향상시키고 손실을 감소시킬 수 있다.
다만, 본 발명을 통해 얻을 수 있는 효과는 상기된 효과들로 한정되지 않으며, 또 다른 효과들이 존재할 수 있다.
도 1은 마이크로 LED 디스플레이 패널의 생산 공정을 개락적으로 나타낸 것,
도 2는 Epi 웨이퍼로부터 디스플레이 패널 제작까지의 제작 프로세스를 개략적으로 나타낸 것,
도 3은 본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치의 일 실시예,
도 4는 광 조사부의 구체적인 실시예,
도 5는 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치에 적용될 수 있는 광학계 구조에 관한 하나의 예를 개략적으로 나타낸 것,
도 6은 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치에 적용될 수 있는 광학계 구조에 관한 또 다른 예를 개략적으로 나타낸 것,
도 7은 본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 방법의 일 실시예,
도 8은 촬상부를 통해 획득된 각 마이크로 LED의 영상 정보에 관한 예,
도 9는 각 마이크로 LED의 발광 상태와 분광 정보 등 다양한 검사 정보가 출력된 GUI 화면의 예,
도 10은 본 발명과 종래 마이크로 LED 검사 장치의 성능을 비교한 예이다.
도 2는 Epi 웨이퍼로부터 디스플레이 패널 제작까지의 제작 프로세스를 개략적으로 나타낸 것,
도 3은 본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치의 일 실시예,
도 4는 광 조사부의 구체적인 실시예,
도 5는 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치에 적용될 수 있는 광학계 구조에 관한 하나의 예를 개략적으로 나타낸 것,
도 6은 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치에 적용될 수 있는 광학계 구조에 관한 또 다른 예를 개략적으로 나타낸 것,
도 7은 본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 방법의 일 실시예,
도 8은 촬상부를 통해 획득된 각 마이크로 LED의 영상 정보에 관한 예,
도 9는 각 마이크로 LED의 발광 상태와 분광 정보 등 다양한 검사 정보가 출력된 GUI 화면의 예,
도 10은 본 발명과 종래 마이크로 LED 검사 장치의 성능을 비교한 예이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 3은 본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치(100)의 일 실시예를 보인 것으로서, 마이크로 LED 검사에 사용되는 제1 광을 생성하여 조사하는 광 조사부(110), 광 조사부(110)에서 조사된 제1 광이, 배열되어있는 다수의 검사 대상 마이크로 LED를 향하도록 처리하는 광학계(120), 광학계(120)를 통해 입사된 제1 광에 의해 각 마이크로 LED에서 발생된 제2 광에 기초하여 검사 정보를 획득하는 검출부(130)를 포함하여 이루어진다.
다수의 검사 대상 마이크로 LED들은 기판 등의 부재에 가로 세로로 나란하게 배열되어 시료 거치대(71)에 놓여 있을 수 있으며, 광 조사부(110)에서 생성된 제1 광을 각 마이크로 LED에 조사하고, 그로 인해 각 마이크로 LED에서 발생되는 제2 광을 통해 각 마이크로 LED에 관한 검사 정보를 획득한다.
이때, 마이크로 LED에 대한 광 조사와 검출부(130)에서의 검사 정보 검출은 검사 영역 단위로 이루어진다.
검사 영역 단위란 직선을 이루는 복수 개의 마이크로 LED 단위를 말한다. 그러므로, 각 검사는 배열된 다수의 마이크로 LED 중 직선을 이루는 일부 마이크로 LED 단위로 이루어진다.
예를 들자면, 배열된 다수의 마이크로 LED 칩 중 하나의 행(가로 줄)에 해당하는 라인 또는 하나의 열(세로 줄)에 해당하는 라인 중에서 특정 개수의 마이크로 LED 단위로 검사될 수 있다.
제1 광에 의해 각 마이크로 LED에서 발생되는 제2 광은 다양한 종류의 광일 수 있다. 예를 들어 PL광, 형광 등일 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치(100)는 PL(Photoluminescence)이라는 발광 기법을 기반으로 검사 대상 마이크로 LED를 발광시킬 수 있다. 즉, 광 조사부(110)로부터 조사되는 제1 광을 여기광(excitation light)으로 사용하여, 마이크로 LED를 발광시킬 수 있다. 이를 통해, 각 마이크로 LED의 전극에 전압을 인가하지 않고도, 전극으로 발광시키는 것과 동일하거나, 그에 상응하는 발광 효과가 이루어지도록 처리할 수 있다.
검출부(130)가 제2 광을 통해 획득하는 검사 정보는 다양하게 구성될 수 있는 것으로서 특별히 한정되지 않는다.
구체적인 예로서, 검출부(130)는 분광 정보를 획득하는 분광부(131)를 포함할 수 있다. 이때, 분광부(131)가 제2 광을 통해 획득하는 검사 정보는, 검사 영역 단위를 이루는 각 마이크로 LED의 공간정보, 및 파장 대역별 크기를 나타내는 분광정보를 포함할 수 있다.
배열된 다수의 마이크로 LED에 대한 검사가 검사 영역 단위로 이루어지는 과정에서, 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED가 직선을 이루므로, 각 마이크로 LED에 대한 광 조사는 라인 형태로 이루어질 수 있다.
검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사를 라인 형태로 수행하는 구체적인 실시예로서, 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사는 각 마이크로 LED에 대해 순차적으로 이루어질 수 있다(point scan 방식).
예를 들어, 검사 영역 단위가 직선을 이루는 n개의 마이크로 LED 단위라고 가정할 때, 어느 하나에 대한 광 조사 후, 그 다음에 위치한 것에 대한 광 조사가 이루어지도록 하는 방식이다.
순차적인 광 조사가 이루어지도록 하는 방식은 다양하게 구성될 수 있다.
구체적인 예로서, 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 순차적 광 조사는 광학계(120)를 구성하는 미러의 회전 각도를 조절함으로써 이루어질 수 있다.
이때, Galvano mirror scanner, mems mirror scanner 등을 이용하여, 미러의 기계적 움직임을 통해 광을 임의 형태로.구성할 수 있다.
검사 영역 단위에 속한 전체 마이크로 LED에 대한 광 조사는 검출부(130)에서 검사 정보를 획득하는 속도보다 빠르도록 구성할 수 있다. 그러면, 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 광 조사가 순차적으로 이루어지더라도, 한꺼번에 광 조사가 이루어진 것과 같이 처리될 수 있다.
검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사를 라인 형태로 수행하는 또 다른 실시예로서, 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사가 라인 광을 통해 동시에 이루어지도록 구성될 수 있다(line scan 방식).
이러한 line scan 방식은 cylindrical lens, DOE, powell lens와 같은 렌즈 광학 소자를 사용하여, 기계적 움직임 없이 광을 라인 형태로 구성하고, 일괄적으로 조사할 수 있다.
광 조사부(110)는 마이크로 LED 검사에 사용되는 제1 광을 생성하여 조사하기 위하여 다양하게 구성될 수 있다.
도 4는 광 조사부(110)에 관한 일 실시예를 보인 것으로서, 서로 다른 파장대의 광을 생성하는 복수 개의 광 생성부(111, 114), 각 광 생성부(111, 114)에서 생성된 광을 라인 형태로 확장하는 복수 개의 익스팬더부(Beam expander, 112, 115), 각 익스팬더부(112, 115)에서 확장된 광을 미러(Mirror, 113, 116)를 통해 수신하여 하나의 광신호로 통합하는 먹스 필터부(Laser mux filter, 117), 먹스 필터부(117)의 광 출력을 조절하는 ND 필터부(118), 각 광 생성부(111, 114)의 동작을 선택적으로 제어하는 파장선택 제어부(119)를 포함하여 이루어질 수 있다.
도 4에는 서로 다른 파장의 광을 생성하는 두 개의 광 생성부(111, 114)를 나타내었지만, 광 생성부의 개수는 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있는 것으로서, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4에서 광 생성부는 375nm 또는 405nm 파장을 갖는 광(빔, 레이저 빔)을 생성하는 제1 광생성부(111), 및 532nm 이상 610nm 이하의 파장을 갖는 광을 생성하는 제2 광생성부(114)를 포함할 수 있다.
검사 대상으로 배열되어있는 마이크로 LED 칩들은 적색(Red) 마이크로 LED, 녹색(Green) 마이크로 LED, 청색(Blue) 마이크로 LED 등 3가지 유형의 마이크로 LED를 포함할 수 있다.
이때, 제1 광생성부(111)는 3가지 유형의 마이크로 LED(RGB 마이크로 LED) 중, 녹색 마이크로 LED와 청색 마이크로 LED의 발광을 측정하기 위해 이용되는 레이저 광을 생성할 수 있다. 또한, 제2 광생성부(114)는 3가지 유형의 마이크로 LED 중 적색 마이크로 LED의 발광을 측정하기 위해 이용되는 레이저 광을 생성할 수 있다. 제1 광생성부(111)는 그린/블루 LED 발광용 레이저, A 레이저 등으로 지칭될 수 있고, 제2 광생성부(114)는 레드 LED 발광용 레이저, B 레이저 등으로 지칭될 수도 있다.
각 익스팬더부(112, 115)는 각 광 생성부(111, 114)에 대응하여 구비되고, 각 광 생성부(111, 114)에서 생성된 광을 라인 형태로 확장할 수 있다.
ND 필터부(118)는 광 조사부(110)에서 조사되는 광의 출력을 조절하는 용도로 사용될 수 있는 것으로서, 광의 출력 파워(power)를 조절할 수 있다.
파장선택 제어부(119)는 각 광 생성부(111, 114)의 동작을 선택적으로 제어하며, 광 조사부(110)의 전반적인 제어를 담당할 수 있다.
특히, 파장선택 제어부(119)는 배열되어있는 검사 대상 마이크로 LED가 녹색(Green) 마이크로 LED나 청색(Blue) 마이크로 LED인지, 또는 적색(Red) 마이크로 LED인지에 따라, 제1 광생성부(111) 또는 제2 광생성부(114)가 동작하도록 선택적으로 제어할 수 있다.
즉, 검사가 이루어지는 검사 대상이 적색 마이크로 LED 웨이퍼, 녹색 마이크로 LED 웨이퍼, 청색 마이크로 LED 웨이퍼 중 하나라면, 파장선택 제어부(119)는 검사 대상 웨이퍼의 유형에 따라, 제1 광생성부(111)와 제2 광생성부(114)를 선택적으로 동작시킬 수 있다.
구체적으로, 파장선택 제어부(119)는 검사 대상이 녹색 마이크로 LED 웨이퍼 또는 청색 마이크로 LED 웨이퍼일 때는, 제1 광생성부(111)가 동작하여 해당 파장의 레이저 광을 생성하도록 제어하고, 검사 대상이 적색 마이크로 LED 웨이퍼일 때는, 제2 광생성부(114)가 동작하여 해당 파장의 레이저 광을 생성하도록 제어할 수 있다.
먹스 필터부(117)는 제1 광생성부(111)와 제2 광생성부(114)로부터 생성되어 확장된 광을 받아 하나의 광신호로 통합하고, 하나로 통합된 광은 ND 필터부(118)에 의해 광 출력 파워가 조절될 수 있다. 그리고, ND 필터부(118)에 의해 출력 파워가 조절된 제1 광이 광 조사부(110)에서 조사될 수 있다.
광학계(120)는 광 조사부(110)에서 조사된 제1 광이, 배열되어있는 다수의 검사 대상 마이크로 LED를 향하도록 처리한다.
도 5와 도 6은 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치에 적용될 수 있는 광학계 구조에 관한 예를 개략적으로 나타낸 것으로서, 도 3과 함께 참조하여, 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치를 구성하는 광학계(120)의 일 실시예를 설명한다.
광학계(120)는 광 조사부(110)에서 조사되는 제1 광을 라인 광 형태로 처리하는 빔 제너레이터(121)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이때, 빔 제너레이터(121)가 제1 광을 라인 광 형태로 처리하는 방식은 다양하게 구성될 수 있다.
하나의 예로서, 빔 제너레이터(121)는 미러의 회전 각도를 조절함으로써 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 순차적 광 조사가 이루어지도록 처리할 수 있다(point scan 방식). 또 다른 예로서, 빔 제너레이터(121)는 광 조사부(110)에서 조사된 제1 광을 갈바노 스캐너(galvano scanner), 파월 렌즈(Powell lens), 실린더형 렌즈(cylindrical lens) 등을 이용하여, 라인 광으로 변환할 수도 있다(line scan 방식).
즉, 광 조사부(110)에서 조사되는 제1 광은 빔 제너레이터(121)에 의해 point scan 방식 또는 line scan 방식의 라인 광 형태로 빔 스플리터부(123)에 입사될 수 있다.
광학계(120)는 빔 제너레이터(121), 전후방향에 대해 기울어져 배치되는 빔 스플리터부(123), 빔 스플리터부(123)로부터 입사되는 광을 검사 대상 마이크로 LED로 전달하는 대물 렌즈(125) 등을 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 제1 광은 전후방향과 직교하는 방향에서 빔 스플리터를 향해 입사될 수 있다. 여기서, 전후방향은 검사 대상 마이크로 LED들이 배치되는 전방과, 분광부(131)가 배치되는 후방을 잇는 방향을 의미할 수 있다.
즉, 전후방향은 다수의 검사 대상 마이크로 LED 칩이 배열된 기판의 상면과 수직하는 방향을 의미할 수 있다.
전후방향은 도 5의 예에서 4시-10시 방향, 도 3의 예에서 6시-12시 방향을 의미하고, 전후방향과 직교하는 방향은 도 5의 예에서 1시-7시 방향, 도 3의 예에서 3시-9시 방향을 의미할 수 있지만, 이러한 방향 설정은 설명의 이해를 돕기 위한 예일 뿐, 이에 한정되는 것은 아니다.
빔 스플리터부(123)는, 광 조사부(110)로부터 빔 제너레이터(121)를 통해 입사되는 라인 형태의 광을 빔 스플리터부(123)의 전방에 위치한 각 마이크로 LED를 향해 반사시키고, 또한 각 마이크로 LED로부터 발생되는 제2 광을 통과시켜 빔 스플리터부(123)의 후방으로 전달할 수 있다.
예를 들어, 405nm 파장의 제1 광을 조사하여, 시료(마이크로 LED)에서 450nm 대역의 형광 혹은 PL 신호가 발생한다면, 빔 스플리터부(123)는 405nm 파장의 제1 광은 시료 측으로 반사시키고. 시료에서 발생한 450nm 대역의 제2 광은 분광부(131) 측으로 투과시킬 수 있다.
빔 스플리터는 입구 슬릿(Eentrance slit), 다이크로익 미러(dichroic mirror) 등으로 달리 지칭될 수 있다.
대물 렌즈(125)는 빔 스플리터부(123)의 전방에 배치되고, 오브젝티브 렌즈(Objective lens), 프론트 렌즈(Front Lens) 등으로 달리 지칭될 수 있다.
검출부(130)는 제2 광의 분광정보를 검출하는 분광부(131)를 포함하여 구성될 수 있으며, 분광부(131)는 빔 스플리터부(123)의 후방에 배치될 수 있다.
또한, 빔 스플리터부(123)와 분광부(131)의 사이에 제2 렌즈가 배치될 수 있는 데, 제2 렌즈는 A-렌즈, 콜리메이터(collimator) 등으로 달리 지칭될 수 있다.
빔 스플리터부(123)는 입사된 라인 형태의 광이 대물 렌즈(125)의 전방에 위치하는 검사 대상 마이크로 LED 칩으로 전달되도록 반사할 수 있다. 이에 따라, 빔 스플리터부(123)가 반사시킨 라인 형태의 광이 시료의 초점면에 조사되고, 직선을 이루는 검사 영역 단위에 속한 복수 개의 마이크로 LED로부터 라인 형태의 제2 광이 발생될 수 있다.
이러한 제2 광은 반사광으로서 다시 빔 스플리터부(123)를 향해 되돌아올 수 있으며, 빔 스플리터부(123)는 마이크로 LED로부터 반사되어 되돌아오는 광을 통과시켜, 빔 스플리터부(123)의 후방에 위치하는 분광부(131)로 전달할 수 있다.
분광부(131)는 빔 스플리터부(123)를 통해 전달받은 광을 회절시켜 통과시킴으로써, 라인 형태의 광 조사가 이루어진 각 검사 대상 마이크로 LED에 대한 검사 정보를 획득할 수 있다. 여기서, 검사 정보에는 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED의 공간정보, 및 분광정보가 포함될 수 있다.
특히, 분광부(131)는 분광정보로서 파장 대역별 크기 정보를 획득할 수 있다.
또한, 빔 스플리터부(123)와 대물 렌즈(125)의 사이에는 튜브 렌즈(124)가 배치될 수 있다. 튜브 렌즈(124)는 대물 렌즈(125)와 같이 사용되어, 대물 렌즈(125)의 초점거리에 따라 배율을 결정할 수 있도록 한다.
한편, 검출부(130)는 제2 광의 상이 맺히게 하는 촬상부(132)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 광학계(120)는 제2 광을 촬상부(132)와 분광부(131)에 배분하는 검출 경로 선택부(126)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
이때, 검출 경로 선택부(126)는 제2 광을 모두 촬상부(132)로 전달하거나, 모두 분광부(131)로 전달하거나, 또는 촬상부(132)와 분광부(131)에 각각 일정 비율로 전달하도록 구성될 수 있다.
검사 대상 마이크로 LED에 도달한 광에.의해 제2 광(예: PL 또는 형광신호)이 발생하고, 이 신호는 다시 대물렌즈(125), 튜브 렌즈(124), 빔 스플리터부(123, 다이크로익 필터)를 지나 검출 경로 선택부(126)에서 결정되는 경로로 전달된다.
검출 경로 선택부(126)는 Mirror/beam splitter/black 모드 선택 기능을 수행하여, 제2 광을 촬상부(132)와 분광부(131)에 배분할 수 있다.
촬상부(132)는 다양하게 구성될 수 있다. 구체적인 예로서 촬상부(132)는 CCD(charge-coupled device)를 이용하여 구성될 수 있다. 촬상부(132)를 통해 분광정보 뿐 아니라, 픽셀의 외형 정보를 동시에 획득할 수 있다.
시료에서 발생한 제2 광(형광, PL 광)은 튜브 렌즈(124)에 의해 분광부(131) 또는 촬상부(132)에 뚜렷한 상으로 맺힐 수 있다.
검출 경로 선택부(126)는 다양하게 구성될 수 있으며, 하나의 예로서, 빔 스플리터를 이용하여 구성될 수 있다.
검출 경로 선택부(126)가 Mirror 모드를 선택하면, 제2 광을 모두 반사하여 촬상부(132)로 보내 CCD에 상이 맺히게 되고, beam splitter 모드를 선택하면, 투과되는 일부 광은 분광부(131)로 들어가고, 일부는 촬상부(132)로 들어간다.
빔 스플리터(beam splitter)는 투과와 반사를 일정한 비율로.분배하는 광학 특성(예: 50:50)을 가지므로, 이러한 특성을 이용하여 분광부(131)와 촬상부(132)에서 제2 광을 동시에 측정할 수 있다.
만일 검출 경로 선택부(126)가 blank 모드를 선택하면, 제2 광은 모두 분광부(131)로 들어간다.
대물 렌즈(125)의 전방에 위치하는 다수의 검사 대상 마이크로 LED는 그 위치가 변동될 수 있다.
즉, 현재 순서의 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사와, 이로 인해 각 마이크로 LED로부터 발생한 제2 광에 기초한 검사 정보가 획득되면, 다음 순서의 검사 영역 단위에 속한 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사가 이루어져야 한다. 이를 위하여, 다수의 검사 대상 마이크로 LED가 놓이는 시료 거치대(71)는 이동 가능하게 구성될 수 있다.
그리고, 마이크로 LED 검사 장치(100)는 다수의 검사 대상 마이크로 LED가 놓이는 시료 거치대(71)를 이동시키는 시료 이동 제어부(151)를 포함하여 구성될 수 있다.
시료 이동 제어부(151)는 일정 시간 주기에 따라 시료 거치대(71)를 이동시킬 수 있다. 여기서, 일정 시간 주기는 광 조사부(110)로부터 제1 광이 조사된 시점부터 검출부(130)에 의한 검사 정보 획득이 종료되는 시점까지의 기간(주기)과 관련될 수 있다.
시료 이동 제어부(151)에 의한 제어에 의해, 다수의 검사 대상 마이크로 LED에 대한 검사 영역 단위의 검사 정보 획득이 연속적으로 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 방법은 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치(100)를 이용하여 다수의 검사 대상 마이크로 LED를 검사하는 방법이다.
도 7을 참조하자면, 검사가 시작됨에 따라(S211), 현재 검사 순서의 각 마이크로 LED에 제1 광을 조사하도록 광 조사부(110)와 광학계(120)를 제어하는 단계(S213), 및 제1 광의 조사에 의해 각 마이크로 LED에서 발생된 제2 광에 기초한 검사 정보를 검출부(130)를 통해 획득하는 단계(S214)가 이루어진다.
단계 S213에서의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사와, 단계 S214에서의 검출부(130)를 통한 검사 정보 획득은 검사 영역 단위로 이루어질 수 있다.
단계 S213과 단계 S214는 모든 검사 대상 마이크로 LED에 대하여 검사 영역 단위로 연속하여 이루어진다(S212, S215, S216).
그리고, 모든 검사 대상 마이크로 LED에 대하여 단계 S213과 단계 S214가 실행되면, 검사가 종료된다(S217).
단계 S214에서 획득되는 검사 정보는, 각 검사 영역 단위를 이루는 각 마이크로 LED의 공간정보, 및 파장대역별 크기를 나타내는 분광정보를 포함할 수 있으며, 각 마이크로 LED의 발광 상태를 촬상한 영상을 포함할 수 있다.
검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사를 라인 형태로 수행하는 일 실시예는 광 조사를 각 마이크로 LED에 대해 순차적으로 수행하는 방식(point scan 방식)이다.
순차적인 광 조사가 이루어지도록 하는 방식은 다양하게 구성될 수 있으며, 구체적인 예로서 미러의 회전 각도를 조절함으로써 이루어질 수 있다.
이때, 검사 영역 단위에 속한 전체 마이크로 LED에 대한 광 조사는 검출부(130)에서 검사 정보를 획득하는 속도보다 빠르도록 구성하는 것이 바람직하다.
그러면, 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 광 조사가 순차적으로 이루어지더라도, 한꺼번에 광 조사가 이루어진 것과 같이 처리될 수 있다.
검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사를 라인 형태로 수행하는 또 다른 실시예는, 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사가 라인 광으로 동시에 이루어지도록 하는 것이다(line scan 방식).
예를 들어, cylindrical lens, DOE, powell lens와 같은 렌즈 광학 소자를 사용하여, 기계적 움직임 없이, 라인 광을 구성하여, 일괄 조사할 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통해 실행될 수 있는 프로그램 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 기록될 수 있다. 여기서 컴퓨터 수단은 다양하게 구성될 수 있는 것으로서 특별한 제한은 없다.
예를 들어, 컴퓨터 수단은 마이크로 LED 검사 장치(100)와 연동하고, 그래픽 유저 인터페이스(GUI)를 제공하면서, 마이크로 LED 검사 장치(100)에 대한 제어 명령을 내릴 수 있도록 하고, 다양한 마이크로 LED 검사 관련 기능을 제공하는 컴퓨터 장치일 수 있다.
컴퓨터 판독 가능 기록 매체는 컴퓨터 수단에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록 장치를 포함하며, 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나, 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다.
컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크, 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다.
프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다.
본 발명을 이용하면, 촬상부(132, CCD)를 통해 획득한 각 마이크로 LED 소자의 영상 정보, 분광부(131)를 통해 획득한 각 마이크로 LED 소자의 분광학적 특성 정보를 통해, 다수의 마이크로 LED에 관한 상태를 확인할 수 있다.
도 8은 촬상부(132, CCD)를 통해 획득한 각 마이크로 LED 소자의 영상 정보에 관한 예를 보인 것이고, 도 9는 각 마이크로 LED의 영상 정보와 분광 정보 등 다양한 검사 정보가 출력된 GUI 화면의 예를 나타낸 것이다.
도 9의 A 영역에는 각 마이크로 LED의 영상 정보가 나타나 있고, 영역 B와 C에는 영역 A의 각 마이크로 LED에 관한 밝기의 세기가 그래프 형식으로 나타나 있다. 또한, 영역 D에는 영역 A에서 현재 선택된 부분((cross-hair)의 개별 마이크로 LED에 대한 분광정보가 그래프의 형식으로 나타나 있고, 영역 E에는 분광정보를 통해 산출된 발광정보(예: 중심파장, 반치폭, 색순도, 색좌표 등)가 수치 형식으로 나타나 있다.
이러한 예와 같이, 본 발명을 사용하면, 다수의 마이크로 LED에 대하여, Peak, FWHM, Integration value, 색좌표(x, y), 휘도, 색정보, defect 등 LED 발광의 모든 특성을 정확하고 신속하게 검사할 수 있다.
도 10은 본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치(100)의 성능과 종래 검사 장치의 성능을 비교한 것으로서, '기존 PL mapper'는 예를 들어 Rθ 회전 방식으로 검사를 수행하는 사례를 나타내고, '자사 PL mapper'는 본 발명의 마이크로 LED 검사 장치(100)에 의한 검사를 수행하는 사례를 나타낸다.
본 발명의 마이크로 LED 검사 장치(100)는 PL 방식으로 검사를 수행하며, 전극에 대한 전압 인가가 필요없고, 분광 정보뿐만 아니라 픽셀 외형 정보를 동시에 획득할 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치(100)에 의한 검사 방법은 데이터 획득 속도가 종래의 기술 대비 분(min) 단위에서 초(s) 단위로 현저히 짧게 변화되었음을 확인할 수 있고. 웨이퍼에 대한 데이터 획득 속도 역시 현저히 짧게 변화되었음을 확인할 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 LED 검사 장치(100)는 종래 기술과 비교할 때, 전체 검사 소요시간을 줄이면서도 정확하게 다수 마이크로 LED의 상태 검사 내지 특성 검사를 수행할 수 있다.
상기에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 기술적 특징이나 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있다는 것은 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이다.
71: 시료 거치대
100: 마이크로 LED 검사 장치
110: 광 조사부
111, 114: 광 생성부
112, 115: 익스팬더부
113, 116: 미러
117: 먹스 필터부
118: ND 필터부
119: 파장선택 제어부
120: 광학계
121: 빔 제너레이터
123: 빔 스플리터부
124: 튜브 렌즈
125: 대물 렌즈
126: 검출 경로 선택부
130: 검출부
131: 분광부
132: 촬상부
151: 시료 이동 제어부
100: 마이크로 LED 검사 장치
110: 광 조사부
111, 114: 광 생성부
112, 115: 익스팬더부
113, 116: 미러
117: 먹스 필터부
118: ND 필터부
119: 파장선택 제어부
120: 광학계
121: 빔 제너레이터
123: 빔 스플리터부
124: 튜브 렌즈
125: 대물 렌즈
126: 검출 경로 선택부
130: 검출부
131: 분광부
132: 촬상부
151: 시료 이동 제어부
Claims (17)
- 마이크로 LED 검사에 사용될 제1 광을 생성하여 조사하는 광 조사부;
상기 광 조사부에서 조사된 제1 광이, 배열되어있는 다수의 검사 대상 마이크로 LED를 향하도록 처리하는 광학계; 및
상기 제1 광에 의해 복수 개의 마이크로 LED에서 발생된 제2 광에 기초하여, 검사 정보를 획득하는 검출부를 포함하고,
상기 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사와 상기 검출부에서의 검사 정보 획득은, 직선을 이루는 복수 개의 마이크로 LED 단위인 '검사 영역 단위'로 이루어지는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 검사 정보는 각 마이크로 LED의 위치인 공간정보, 및 파장 대역별 크기를 나타내는 분광정보를 포함하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사는 각 마이크로 LED에 대해 순차적으로 이루어지는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 순차적 광 조사는, 미러의 회전 각도를 조절함으로써 이루어지는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 검사 영역 단위에 속한 전체 마이크로 LED에 대한 광 조사는 상기 검출부에서 검사 정보를 획득하는 속도보다 빠른 것을 특징으로 하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 검사 영역 단위에 속한 각 마이크로 LED에 대한 제1 광의 조사는 라인 광으로 동시에 이루어지는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 광 조사부는,
각각 서로 다른 파장대의 광을 생성하는 복수 개의 광 생성부;
상기 각 광 생성부에 대응하여, 각 광 생성부에서 생성된 광을 라인 형태로 확장하는 복수 개의 익스팬더부;
상기 각 익스팬더부를 통해 확장된 광을 미러를 통해 수신하여, 하나의 광신호로 통합하는 먹스 필터부;
상기 먹스 필터부의 광 출력 파워를 조절하는 ND 필터부; 및
상기 각 광 생성부의 동작을 선택적으로 제어하는 파장선택 제어부를 포함하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 광 생성부는 375nm 또는 405nm 파장을 갖는 광을 생성하는 제1 광생성부; 및 532nm 이상 610nm 이하 중 어느 파장을 갖는 광을 생성하는 제2 광생성부를 포함하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 파장선택 제어부는
배열되어 있는 검사 대상 마이크로 LED가 녹색(Green) 마이크로 LED나 청색(Blue) 마이크로 LED를 포함하는지,
또는 적색(Red) 마이크로 LED를 포함하는지에 따라,
상기 제1 광생성부와 제2 광생성부를 선택적으로 동작시키는 것을 특징으로 하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 광학계는,
상기 광 조사부에서 조사되는 광이 라인 광의 형태를 가지도록 처리하는 빔 제너레이터;
전후방향에 대해 기울어져 배치되고, 상기 빔 제너레이터에서 처리된 광이 입사되는 빔 스플리터부; 및
상기 빔 스플리터부로부터 입사되는 광을 상기 마이크로 LED로 전달하는 대물 렌즈를 포함하고,
상기 검출부는 상기 제2 광의 분광정보를 획득하는 분광부를 포함하며,
상기 제1 광은 상기 전후방향과 직교하는 방향에서 상기 빔 스플리터부를 향해 입사되고, 상기 빔 스플리터부는, 상기 입사되는 제1 광을 전방에 위치한 상기 각 마이크로 LED를 향해 반사시키되, 상기 각 마이크로 LED로부터 발생되는 상기 제2 광은 통과시켜 후방에 위치한 상기 분광부로 전달하며,
상기 전후방향은 상기 마이크로 LED가 배치되는 전방과, 상기 분광부가 배치되는 후방을 잇는 방향인, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 빔 제너레이터는 미러의 회전 각도를 조절함으로써 상기 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 순차적 광 조사가 이루어지도록 처리하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 빔 제너레이터는 상기 광 조사부에서 조사된 광을 라인 광으로 변환하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 대물 렌즈의 초점거리에 따라 배율을 결정할 수 있도록 하는 튜브 렌즈를 더 포함하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 검출부는 상기 제2 광의 상이 맺히게 하는 촬상부를 더 포함하고,
상기 광학계는 상기 제2 광을 모두 상기 촬상부로 전달하거나, 상기 분광부로 모두 전달하거나, 또는 상기 촬상부와 분광부에 각각 일정 비율로 전달하는 검출 경로 선택부를 더 포함하는, 마이크로 LED 검사 장치. - 제1항 내지 제14항 중 어느 하나의 항에 기재된 마이크로 LED 검사 장치를 통해 다수의 검사 대상 마이크로 LED를 검사하는 마이크로 LED 검사 방법으로서,
현재 검사 순서의 각 마이크로 LED에 상기 제1 광을 조사하도록 상기 광 조사부와 광학계를 제어하는 단계; 및
상기 제1 광의 조사에 의해 각 마이크로 LED에서 발생된 제2 광에 기초한 검사 정보를 상기 검출부를 통해 획득하는 단계를,
모든 검사 대상 마이크로 LED에 대해 수행하고,
상기 제1 광의 조사와 검사 정보 획득은, 직선을 이루는 복수 개의 마이크로 LED 단위인 '검사 영역 단위'로 이루어지는, 마이크로 LED 검사 방법. - 제 15 항에 있어서,
상기 검사 영역 단위의 각 마이크로 LED에 대한 광 조사는, 각 마이크로 LED에 대해 순차적으로 이루어지거나, 또는 라인 광으로 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는, 마이크로 LED 검사 방법. - 제 15 항에 기재된 마이크로 LED 검사 방법을, 컴퓨터에서 실행하기 위한 프로그램이 기록된, 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
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| KR102540012B1 (ko) | 2022-12-29 | 2023-06-05 | 비전코웍 주식회사 | 적분구를 이용한 비전 검사 시스템 |
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2020
- 2020-11-20 KR KR1020200156429A patent/KR102485363B1/ko active IP Right Grant
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