KR102428402B1 - 마이크로 엘이디 검사 시스템 - Google Patents

마이크로 엘이디 검사 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102428402B1
KR102428402B1 KR1020200103364A KR20200103364A KR102428402B1 KR 102428402 B1 KR102428402 B1 KR 102428402B1 KR 1020200103364 A KR1020200103364 A KR 1020200103364A KR 20200103364 A KR20200103364 A KR 20200103364A KR 102428402 B1 KR102428402 B1 KR 102428402B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light source
objective lens
micro led
inspection
spectrometer
Prior art date
Application number
KR1020200103364A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220022325A (ko
Inventor
엄명선
김철원
Original Assignee
(주)뮤텍코리아
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)뮤텍코리아 filed Critical (주)뮤텍코리아
Priority to KR1020200103364A priority Critical patent/KR102428402B1/ko
Publication of KR20220022325A publication Critical patent/KR20220022325A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102428402B1 publication Critical patent/KR102428402B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0289—Field-of-view determination; Aiming or pointing of a spectrometer; Adjusting alignment; Encoding angular position; Size of measurement area; Position tracking
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J2001/4247—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors for testing lamps or other light sources
    • G01J2001/4252—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors for testing lamps or other light sources for testing LED's

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 각도 조절이 가능한 스캐너를 포함하는 특정 구조의 검사장치를 이용하여 마이크로 엘이디의 품질 검사를 보다 신속하게 수행할 수 있도록 한 마이크로 엘이디 검사 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템은, 백색의 광원으로서, 검사를 위한 마이크로 엘이디 시료 측에 각도조절부를 매개로 빛을 조사하는 조명부와; 상기 마이크로 엘이디 시료 상부에 설치되어 검사를 위한 각 마이크로 엘이디의 확대된 실상을 생성하는 오브젝티브 렌즈와; 소정 제어수단의 제어에 의해 동작되면서 상기 조명부로부터 조사된 광원 및 상기 오브젝티브 렌즈를 통과한 광원의 광경로를 일정 각도로 이동시키는 각도조절부와; 상기 오브젝티브 렌즈와 각도조절부 상호 간의 사이에 설치되어 빛을 반사하는 제 1미러와; 상기 각도조절부를 경유하는 상기 오브젝티브 렌즈로부터의 광원에 대해 스펙트로메터 측으로의 포커스가 형성되도록 하는 스펙트로메터 튜브 렌즈와; 상기 조명부로부터의 광원을 통과시켜 상기 각도조절부 측으로 제공함과 아울러, 상기 오브젝티브 렌즈로부터 생성되어 상기 각도조절부를 경유한 광원이 스펙스로메터 튜브 렌즈를 거쳐 스펙트로메터 측으로 제공되도록 하는 제 1빔 스플리터 및; 상기 제 1빔 스플리터를 통해 입력되는 광원의 파장을 분석하는 스펙트로메터;를 포함하여 구성된다.

Description

마이크로 엘이디 검사 시스템{INSPECTING SYSTEM FOR MICRO LED}
본 발명은 마이크로 엘이디 검사 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각도 조절이 가능한 스캐너를 포함하는 특정 구조의 검사장치를 매개로 마이크로 엘이디의 품질 검사를 빠른 시간에 실시할 수 있도록 한 마이크로 엘이디 검사 시스템에 관한 것이다.
주지된 바와 같이, 마이크로 엘이디(μLED)는 일반 발광 다이오드(LED) 칩 보다 길이가 10분의 1, 면적은 100분의 1 정도인 대략 10 내지 100 마이크로미터(μm) 크기를 갖는 초소형 LED로서, LCD 및 유기발광다이오드(OLED)를 대체할 수 있는 차세대 평판 디스플레이 기술이다.
상기 마이크로 엘이디는 기존의 LED 및 LCD 기술과 비교하여, 반응 속도가 빠르고, 낮은 전력, 높은 휘도를 지원하며, 긴 수명과 초경량의 무게를 갖음과 아울러, 디스플레이에 적용할 경우 휘어질 때 깨지지 않는 장점도 갖는다.
즉, 상기 마이크로 엘이디가 적용된 디스플레이는 RGB 개개의 화소 요소를 이루는 마이크로 픽셀 엘이디 배열로 구성되고, 각 픽셀은 독립적으로 자체 발광하므로 반응속도, 밝기, 해상도, 수명 등에서 많은 이점을 가지고 있어, 그 활용범위가 매우 넓을 것으로 예상된다.
한편, 상술한 바와 같이, 많은 장점을 갖고 있는 상기 마이크로 엘이디는 초소형 사이즈의 엘이디로 이루어진 특성에 따라, 품질 측정과 배열에 있어서 많은 어려움이 따르는 문제점이 발생하게 된다.
국내 등록특허 제10-2038556호 국내 등록특허 제10-1959484호
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 각도 조절이 가능한 스캐너를 포함하는 특정 구조의 검사장치를 이용하여 마이크로 엘이디의 품질 검사를 보다 신속하게 수행할 수 있도록 한 마이크로 엘이디 검사 시스템를 제공하고자 하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템은, 백색의 광원으로서, 검사를 위한 마이크로 엘이디 시료 측에 각도조절부를 매개로 빛을 조사하는 조명부와; 상기 마이크로 엘이디 시료 상부에 설치되어 검사를 위한 각 마이크로 엘이디의 확대된 실상을 생성하는 오브젝티브 렌즈와; 소정 제어수단의 제어에 의해 동작되면서 상기 조명부로부터 조사된 광원 및 상기 오브젝티브 렌즈를 통과한 광원의 광경로를 일정 각도로 이동시키는 각도조절부와; 상기 오브젝티브 렌즈와 각도조절부 상호 간의 사이에 설치되어 빛을 반사하는 제 1미러와; 상기 각도조절부를 경유하는 상기 오브젝티브 렌즈로부터의 광원에 대해 스펙트로메터 측으로의 포커스가 형성되도록 하는 스펙트로메터 튜브 렌즈와; 상기 조명부로부터의 광원을 통과시켜 상기 각도조절부 측으로 제공함과 아울러, 상기 오브젝티브 렌즈로부터 생성되어 상기 각도조절부를 경유한 광원이 스펙스로메터 튜브 렌즈를 거쳐 스펙트로메터 측으로 제공되도록 하는 제 1빔 스플리터 및; 상기 제 1빔 스플리터를 통해 입력되는 광원의 파장을 분석하는 스펙트로메터를 포함하여 구성된 것;을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 오브젝티브 렌즈에는 제 2빔 스플리터가 연계 구성되어, 해당 렌즈를 통과한 상기 검사시료에 구비된 각 마이크로 엘이디의 광원은 상기 스펙트로메터 측으로 제공됨과 동시에 이미지 튜브 렌즈를 거쳐 이미지 카메라 측으로도 제공되면서 영상으로 검사가 수행되도록 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 오브젝티브 렌즈와 제 1미러 상호 간의 사이 및, 상기 제 1미러와 각도조절부 상호 간의 사이에는 주광선이 광축에 평행하도록 작용하는 텔레센트릭 렌즈가 각각 구비되어 구성됨이 바람직하다.
또, 상기 각도조절부는 소정 제어수단으로부터의 전기적인 신호에 의해 동작되는 스캐너로서, 스캐너 미러의 각도가 X축 및 Y축으로 변환됨에 따라, 해당 검사시료를 구성하는 다수 개의 RGB 셀에 대한 검사가 수행되도록 구성됨이 바람직하다.
상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 각도 조절이 가능한 스캐너 미러를 포함하는 특정 구조의 검사장치를 이용하여 다수 개의 마이크로 엘이디 셀이 구비된 검사시료의 품질 검사를 보다 빠르게 실시할 수 있는 효과가 있게 된다.
즉, 검사장치에 구비된 스캐너 미러의 각도조절을 통해 검사시료의 이동없이 빠른 시간안에 스펙트럼 분석을 통해 RGB 셀의 검사를 수행할 수 있게 되며, 또한 동시에 이미지 카메라를 매개로 한 영상 검사도 실시됨에 따라, 마이크로 엘이디 품질검사의 정확성 및 효율성을 높일 수 있는 있는 효과도 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템의 구성을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템의 광경로를 나타내는 도면,
도 3은 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템에 구비된 각도조절부를 매개로 소정 검사시료에 대한 스펙트럼 분석이 이루어지는 상태를 나타내는 도면,
도 4a는 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템에 구비된 각도조절부의 동작상태를 나타내는 도면,
도 4b는 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템의 각도조절부를 매개로 소정 검사시료에 구비된 다수 개 셀의 검사가 진행되는 과정을 나타내는 도면,
도 5는 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템을 통해 소정 검사시료에 대한 영상검사가 이루어지는 상태를 나타내는 도면이다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
먼저, 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템은, 각도 조절이 가능한 스캐너 미러를 포함하는 특정 구조의 마이크로 엘이디 검사 시스템을 이용하여 다수 개의 마이크로 엘이디가 포함된 검사시료의 품질 검사를 보다 효율적으로 실시할 수 있도록 구현된다.
이를 위해, 본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템은, 다수 개의 RGB 셀이 실장된 검사시료(100)에 대한 스펙트럼 분석 및 영상 검사를 동시에 실시할 수 있도록 구성되되, 소정 검사시료에 대한 스펙트럼 분석을 위해 조명부(10)와 제 1빔 스플리터(20)와 오브젝티브 렌즈(50)와 각도조절부(30)와 제 1미러(40)와 텔레센트릭 렌즈(60)와 스펙트로메터 튜브 렌즈(72) 및 스펙트로메터(70) 등이 구비되어 구성됨과 아울러, 소정 검사시료에 대한 영상 검사를 위해 제 2 및 제 3빔 스플리터(22,24)와 제 2미러(42)와 이미지 튜브 렌즈(82) 및 이미지 카메라(80) 등이 구비되어 구성된다.
상기 조명부(10)는 소정 검사시료 측에 각도조절부(30)를 매개로 빛을 조사하도록 제공되는 백색 광원으로, 상기 검사시료(100)를 맞고 돌아오는 파장이 상기 스펙트로메터(70) 측으로 입력되도록 소정 광원을 제공하는 기능을 수행하도록 구성된다.
상기 조명부(10)의 전방에는 빛의 경로를 두 개 이상으로 분할하는 광학소자인 제 1빔 스플리터(20)가 설치되어, 상기 조명부(10)로부터의 광원이 상기 검사시료(100) 측으로 조사되도록 함과 아울러, 상기 검사시료를 맞고 돌아오는 파장은 상기 스펙트로메터(70) 측으로 유도되도록 광경로를 제어하게 된다.
상기 오브젝티브 렌즈(50)는 상기 검사시료(100)의 상부에 설치되는 초점거리가 극히 짧은 렌즈로서, 상기 검사시료(100)에 구비된 각 마이크로 엘이디의 확대된 실상을 생성하는 기능을 수행하도록 구성된다.
상기 오브젝티브 렌즈(50)의 전방에는 제 2빔 스플리터(22)가 설치되어, 상기 오브젝티브 렌즈(50)를 통과하는 해당 검사시료(100)의 광원이 스펙트럼 분석을 위한 스펙트로메터(70) 및 이미지 검사를 위한 이미지 카메라(80) 측으로 동시에 전달될 수 있도록 광경로를 분할하는 기능을 수행하도록 구성된다.
그리고, 상기 오브젝티브 렌즈(50)와 각도조절부(30) 상호 간의 사이에는 제 1미러(40)가 설치되어 상호 간의 사이에 전달되는 빛을 대략 직각으로 반사하도록 구성되며, 또한 상기 오브젝티브 렌즈(50)와 상기 제 1미러(40) 상호 간의 사이 및, 상기 제 1미러(40)와 상기 각도조절부(30) 상호 간의 사이에는 텔레센트릭 렌즈(60)가 구비되어, 주광선이 광축에 평행하도록 작용하면서 원근법의 오류를 제거할 수 있도록 구성된다.
상기 각도조절부(30)는 소정 제어수단(도시안됨)의 제어에 의해 전기적 신호를 발생시켜 상기 조명부(10)로부터 조사된 광원 및 상기 오브젝티브 렌즈(50)를 통과한 광원의 광경로를 일정 각도만큼 이동 시켜주는 장치로서, 상기 각도조절부(30)로는 스캐너 미러가 적용되어 광원의 각도를 X축 및 Y축으로 변환시킴에 따라, 상기 검사시료(100)를 구성하는 다수 개의 RGB 셀에 대한 검사가 연속적으로 수행될 수 있도록 구성된다.
이때, 상기 각도조절부(30)로는 스캐너 미러 이외에 갈바노 미러나 FSM 등을 비롯한 다양한 소재가 적용될 수 있음은 물론이다.
상기 스펙트로메터 튜브 렌즈(72)는 상기 각도조절부(30)를 경유하는 상기 오브젝티브 렌즈(50)로부터의 광원에 대해 스펙트로메터(70) 측으로의 포커스가 형성되도록 상기 각도조절부(30)의 일측에 구비되어 제공되며, 상기 스펙트로메터(70)는 스펙트로메터 튜브 렌즈(72)를 통과한 후 상기 제 1빔 스플리터(20)를 매개로 입력된 광원에 대한 파장을 분석하는 기능을 수행하게 된다.
참조부호 74는 원형의 패널에 미세한 홀이 천공되어 제공되는 핀홀을 나타낸다.
한편, 상기 오브젝티브 렌즈(50) 전방에 구비된 제 2빔 스플리터(22)의 일측에는 이미지 튜브 렌즈(82) 및 이미지 카메라(80)가 구비되어, 해당 검사시료(100)에 대한 영상 검사가 수행되도록 구성된다.
상기 이미지 튜브 렌즈(82)는 대물렌즈와 함께 구성된 것으로, 상기 오브젝티브 렌즈(50)를 통과하는 상기 검사시료(100)로부터의 광원을 상기 제 2빔 스플리터(22)로부터 제 2미러(42) 및 제 3빔 스플리터(24)를 경유하여 전달받아 해당 광원이 상기 이미지 카메라(80) 측으로 포커스가 형성되도록 작용하게 되며, 이에 상기 이미지 카메라(80)에서는 해당 검사시료(100)의 정보를 통해 영상으로 검사를 수행하도록 구성된다.
이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 마이크로 엘이디 검사 시스템은, 도 2에 도시된 바와 같은 광경로를 통해 소정 마이크로 엘이디 검사시료(100)에 대하여, 상기 스펙트로메터(70)를 통한 빛의 파장 검사 및 상기 이미지 카메라(80)를 통한 영상 검사가 동시에 이루어질 수 있게 된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 스펙트로메터(70)를 통한 빛의 소정 검사시료에 대한 스펙트럼 분석에 있어서는 스캐너 미러로 이루어진 상기 각도조절부(30)를 이용하여 해당 검사시료(100)를 이동시키기 않으면서도 빠른 시간안에 스펙트럼 분석을 실시하여 RGB 셀의 검사를 수행할 수가 있게 된다.
즉, 소정 프로그램이 탑제된 PC 등의 제어수단(도시안됨)을 통해 상기 각도조절부(30) 측으로 전기적인 신호를 인가함에 따라, 상기 각도조절부(30)를 구성하는 스캐너 미러는 X축 및 Y축 방향으로 선택적으로 회전이 이루어지게 되며, 이에 상기 검사시료(100)에 구비된 다수 개의 RGB 셀에 대한 검사가 연속적으로 진행될 수 있게 된다(도 4a 참조).
본 발명의 실시예에서, 상기 각도조절부(30)를 구성하는 스캐너 미러의 각도가 X축 및 Y축 방향으로 선택적으로 회전됨에 따라, 해당 검사시료(100)에 다수 행 및 다수 열로 배치된 다수 개의 RGB 셀은 1행의 일측에서 타측 방향으로 검사가 진행된 후, 2행의 타측에서 일측 방향으로 검사가 진행되며, 다시 3행의 일측에서 타측 방향으로 검사가 진행되면서 대략 "ㄹ" 형태로 다수 개의 셀에 대한 검사가 순차적 및 연속적으로 진행되게 된다(도 4b 참조).
이에, 상기 광원부(10)로부터의 발산된 광원은 상기 검사시료(100)에 도달한 후 상기 제 2빔 스플리터(22)와 제 1미러(40), 한 쌍의 텔레센트릭 렌즈(60) 및 스펙트로메터 튜브 렌즈(72) 등을 경유하여 상기 스펙트로메터(70) 측에 도달함에 따라, 해당 검사시료(100)에 실장된 각 셀에 대한 파장 분석이 이루어질 수 있게 된다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 2빔 스플리터(22)를 매개로는 상기 검사시료(100)에 구비된 각 셀에 대한 영상 정보가 상기 이미지 튜브 렌즈(82)를 경유하여 이미지 카메라(80) 측으로 입력되도록 제어가 이루어지게 되며, 이를 통해 소정 검사시료(100)에 대한 영상검사가 상기 스펙트로메터(70)를 통한 스펙트럼 분석과 동시에 이루어질 수 있게 된다.
한편, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 및 수정이 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형 및 수정 발명들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되는 것이다.
10: 조명부, 20,22,24: 제 1 내지 제 3빔 스플리터,
30: 각도조절부, 40,42: 제 1 및 제 2미러,
50: 오브젝티브 렌즈, 60: 텔레센트릭 렌즈,
70: 스펙트로메터, 72: 스펙트로메터 튜브 렌즈,
74: 핀홀, 80: 이미지 카메라,
82: 이미지 튜브 렌즈, 100: 검사시료.

Claims (4)

  1. 백색의 광원으로서 검사를 위한 마이크로 엘이디 시료 측에 각도조절부를 매개로 빛을 조사하는 조명부와, 상기 마이크로 엘이디 시료 상부에 설치되어 검사를 위한 각 마이크로 엘이디의 확대된 실상을 생성하는 오브젝티브 렌즈와, 소정 제어수단의 제어에 의해 동작되면서 상기 조명부로부터 조사된 광원 및 상기 오브젝티브 렌즈를 통과한 광원의 광경로를 일정 각도로 이동시키는 각도조절부와, 상기 오브젝티브 렌즈와 각도조절부 상호 간의 사이에 설치되어 빛을 반사하는 제 1미러와, 상기 각도조절부를 경유하는 상기 오브젝티브 렌즈로부터의 광원에 대해 스펙트로메터 측으로의 포커스가 형성되도록 하는 스펙트로메터 튜브 렌즈와, 상기 조명부로부터의 광원을 통과시켜 상기 각도조절부 측으로 제공함과 아울러 상기 오브젝티브 렌즈로부터 생성되어 상기 각도조절부를 경유한 광원이 스펙스로메터 튜브 렌즈를 거쳐 스펙트로메터 측으로 제공되도록 하는 제 1빔 스플리터 및, 상기 제 1빔 스플리터를 통해 입력되는 광원의 파장을 분석하는 스펙트로메터를 포함하여 구성되되;
    상기 오브젝티브 렌즈에는 제 2빔 스플리터가 연계 구성되어, 해당 렌즈를 통과한 상기 마이크로 엘이디 시료에 구비된 각 마이크로 엘이디의 광원은 상기 스펙트로메터 측으로 제공됨과 동시에 이미지 튜브 렌즈를 거쳐 이미지 카메라 측으로도 제공되면서 영상으로 검사가 수행되도록 구성되며, 이때 상기 이미지 튜브 렌즈는 대물렌즈와 함께 구성되어 상기 오브젝티브 렌즈를 통과하는 상기 마이크로 엘이디 시료로부터의 광원을 상기 제 2빔 스플리터로부터 제 2미러 및 제 3빔 스플리터를 경유하여 전달받아 해당 광원이 상기 이미지 카메라 측으로 포커스가 형성되게 작용하도록 구성되고;
    상기 오브젝티브 렌즈와 제 1미러 상호 간의 사이 및, 상기 제 1미러와 각도조절부 상호 간의 사이에는 주광선이 광축에 평행하도록 작용하여 원근법의 오류를 제거하는 텔레센트릭 렌즈가 각각 구비되어 구성되며;
    상기 각도조절부는 소정 제어수단으로부터의 전기적인 신호에 의해 동작되는 스캐너로서, 스캐너 미러의 각도가 X축 및 Y축으로 변환됨에 따라, 해당 검사시료를 구성하는 다수 개의 RGB 셀에 대한 검사가 수행되도록 구성된 것;을 특징으로 하는 마이크로 엘이디 검사 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
KR1020200103364A 2020-08-18 2020-08-18 마이크로 엘이디 검사 시스템 KR102428402B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200103364A KR102428402B1 (ko) 2020-08-18 2020-08-18 마이크로 엘이디 검사 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200103364A KR102428402B1 (ko) 2020-08-18 2020-08-18 마이크로 엘이디 검사 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220022325A KR20220022325A (ko) 2022-02-25
KR102428402B1 true KR102428402B1 (ko) 2022-08-02

Family

ID=80490316

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200103364A KR102428402B1 (ko) 2020-08-18 2020-08-18 마이크로 엘이디 검사 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102428402B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240045829A (ko) 2022-09-30 2024-04-08 주식회사 미르기술 미니 엘이디 장착 검사 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101186464B1 (ko) * 2011-04-13 2012-09-27 에스엔유 프리시젼 주식회사 Ｔｓｖ 측정용 간섭계 및 이를 이용한 측정방법
JP2017106887A (ja) * 2015-11-26 2017-06-15 株式会社リコー 分光計測ユニット、分光計測装置、画像形成装置及び分光計測方法
KR101959484B1 (ko) * 2018-10-17 2019-03-18 주식회사 아이프리시전 마이크로 led 특성 측정 장치 및 그 측정 방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101861919B1 (ko) * 2016-06-16 2018-05-28 한국과학기술원 반도체의 고속 광학 검사방법
KR102038556B1 (ko) 2018-03-09 2019-10-31 주식회사 효광 마이크로 엘이디 검사장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101186464B1 (ko) * 2011-04-13 2012-09-27 에스엔유 프리시젼 주식회사 Ｔｓｖ 측정용 간섭계 및 이를 이용한 측정방법
JP2017106887A (ja) * 2015-11-26 2017-06-15 株式会社リコー 分光計測ユニット、分光計測装置、画像形成装置及び分光計測方法
KR101959484B1 (ko) * 2018-10-17 2019-03-18 주식회사 아이프리시전 마이크로 led 특성 측정 장치 및 그 측정 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240045829A (ko) 2022-09-30 2024-04-08 주식회사 미르기술 미니 엘이디 장착 검사 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220022325A (ko) 2022-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106441571A (zh) 一种光源模块及应用其的线扫描多光谱成像系统
RU2009114719A (ru) Устройство и способ проверки образца волос
KR102373287B1 (ko) 이음새없이 형성된 텔레센트릭 명시야 및 환형 암시야 조명
US20060203240A1 (en) Spectrophotometer with light emitting diode illuminator
US7817271B2 (en) Confocal microscope and method for detecting by means of a confocal microscope
US11714120B2 (en) Semiconductor inspection device
KR102428402B1 (ko) 마이크로 엘이디 검사 시스템
CN215493172U (zh) 基于单光子计数法的显微圆偏振荧光光谱探测系统
CN209992396U (zh) 一种显微成像全谱段高压模块时间分辨荧光测量系统
CN113484293B (zh) 基于单光子计数法的显微圆偏振荧光光谱探测系统及方法
CN111721720B (zh) 一种光谱成像系统
CN216350391U (zh) 一种基于led投影模组的检测照明系统
US11340114B2 (en) Spectrum measurement system
WO2022111592A1 (zh) 色度仪
CN113884199A (zh) 一种用于mems法珀腔芯片的标定装置及其标定方法
KR101808218B1 (ko) 이미지 생성장치 및 이를 이용한 생체 이미지 분석장치
JP2021089146A (ja) 試料の測定装置、測定方法およびプログラム
KR102269706B1 (ko) 적응 광학을 이용한 다채널 광섬유 광도 측정 시스템
TWI758088B (zh) 陣列式發光效率檢測方法
JP6909195B2 (ja) 半導体検査装置
TWI770809B (zh) 快速發光效率檢測方法
TW201818879A (zh) 多波長光學系統
CN217605122U (zh) 一种基于荧光高光谱成像系统的匀化光路结构
CN115585884A (zh) 一种步进式Micro LED光强光谱检测用光学模组
CN116625941A (zh) 一种非旋转式旋光仪及测量旋光度方法

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant