KR20220062858A - 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전극 슬러리가 집전체 상에 도포된 전극 기재를 열풍에 의하여 가열 건조하는 오븐;
상기 오븐의 외부에 설치되어 열풍 내의 파티클을 카운트하는 파티클 카운터;
일단이 상기 파티클 카운터에 연결되고, 타단이 상기 오븐의 내부에 설치되는 에어 튜브로서, 상기 타단은 확대된 입구부를 가지는 에어 튜브; 및
상기 오븐 외부에서 상기 에어 튜브를 냉각하는 공냉식 냉각부재를 포함하는 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 오븐 외부에 설치된 공냉식 냉각부재에 의하여 에어 튜브 내의 공기를 냉각시킴으로써, 전극 오븐 내의 파티클 수준을 측정할 수 있다.

Description

전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템{SYSTEM FOR MEASURING PARTICLE IN HOT AIR IN ELECTRODE OVEN}
본 발명은 전극 오븐 내의 열풍에 존재하는 파티클을 측정하기 위한 파티클 측정 시스템에 관한 것이다.
개인 휴대단말, 전기 자동차 분야를 포함하여 여러 분야에서 에너지원으로서 이차전지의 수요가 급격히 증가하고 있다. 그 중에서도, 리튬 이차전지는 에너지 밀도와 작동전압이 높고 보존과 수명 특성이 우수하다는 점에서, 각종 모바일 기기는 물론 다양한 전자 제품들의 에너지원으로 널리 사용되고 있다.
상기 리튬 이차전지는 케이스 내부에 전기 에너지를 충방전하는 전극조립체가 내장되는 구조를 갖는다. 상기 전극 조립체를 구성하는 전극(양극, 음극)은 이온의 교환을 통해서 전류를 발생시키며, 양극 및 음극 각각은 알루미늄 또는 구리 박판으로 제조된 집전체의 표면에 전극 슬러리를 도포한 후 건조 과정을 거친 전극 기재에 탭을 가공하고 적당한 크기로 절단하여 제조된다. 전극 슬러리는 용매와 활물질이 혼합된 형태로 집전체 표면에 도포되어 전극 기재로 제조된다. 상기 전극 기재는 전극 슬러리의 용매를 기화시켜 전극 활물질이 집전체 표면에서 경화되도록 건조과정을 거친다.
도 1은 전극 기재를 건조시키는 가열 건조장치의 단순 개략도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 집전체(2a)가 권출롤러(1a)에서 풀리고 권취롤러(1b)에 감기는 동안에, 상기 집전체(2a)의 표면에 코터(7)를 통해 전극 슬러리가 도포된 전극 기재(2)가 롤러(6)에 의하여 전극 오븐(4)을 통과하여 가열 건조된 후 권취롤러(1b)에 감기게 된다. 상기 전극 오븐(4)은 하나 이상의 건조실들(4a, 4b, 4c)을 가지며, 각 건조실들은 가열기(5)에서 생성되는 열에 의해 온도가 제어되도록 구성된다.
한편, 이러한 전극 오븐(4)에는 보다 신속한 건조를 위하여 전극 기재의 상하면으로부터 열풍을 분사하는 방법이 일반적이다. 따라서, 전극 오븐(4) 내에는 고온(약 180℃ 이상)의 열풍이 존재한다. 그런데, 이 열풍 내에는 외기로부터 혼입되는 파티클, 전극 슬러리에 포함된 용매 휘발과 관련된 파티클, 롤러(6)와 전극 기재 사이의 마찰에 의하여 발생하는 파티클이 불가피하게 발생한다. 이러한 파티클은 전극 기재의 품질에 악영향을 미치며, 제품 불량, 신뢰성과 크게 연관이 있다. 이와 같이, 제품의 신뢰성과 연관이 있는 파티클을 관리하기 위해서는 파티클 발생 수준을 측정하고 관리할 필요가 있다.
도 2는 종래의 전극 오븐에서의 파티클 측정의 곤란성을 나타내는 개념도이다.
도 2는 파티클 카운터로 전극 오븐 내부의 파티클을 측정하려 할 경우의 어려움을 나타내고 있다. 즉, 종래의 파티클 카운터는 카운터 내부의 센서 작동 범위가 5~45℃이므로, 고온(약 180℃ 이상)의 전극 오븐 내에 파티클 카운터를 설치할 경우, 파티클 카운터가 오작동되어 정확한 파티클 수준의 측정을 할 수 없었다.
따라서, 전극 오븐 내의 열풍의 파티클을 정확하게 측정할 수 있는 기술의 개발이 요망되고 있다.
한국 등록특허공보 제10-2111715호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 만들어진 것으로서, 전극 오븐 내의 열풍 환경에서도 파티클의 측정이 가능한 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한, 본 발명의 파티클 측정 시스템은, 전극 슬러리가 집전체 상에 도포된 전극 기재를 열풍에 의하여 가열 건조하는 오븐; 상기 오븐의 외부에 설치되어 열풍 내의 파티클을 카운트하는 파티클 카운터; 일단이 상기 파티클 카운터에 연결되고, 타단이 상기 오븐의 내부에 설치되는 에어 튜브로서, 상기 타단은 확대된 입구부를 가지는 에어 튜브; 및 상기 오븐 외부에서 상기 에어 튜브를 냉각하는 공냉식 냉각부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 에어 튜브의 타단의 확대된 입구부는 깔때기 모양인 것이 바람직하다.
본 발명에서, 상기 에어 튜브는 상기 오븐의 열풍에 견딜 수 있는 내고온성 재질이다. 일 실시예에서, 상기 에어 튜브는 스테인레스 재질이다.
구체적으로, 상기 에어 튜브의 길이는 3m 이하이다.
하나의 실시예에서, 상기 에어 튜브의 확대된 입구부에는 필터가 설치될 수 있다.
상기 공냉식 냉각부재는 상기 전기 오븐과 파티클 카운터 사이의 상기 에어 튜브에 설치된다.
하나의 예로서, 상기 에어 튜브 내로 유입된 열풍은 5~45℃의 온도 범위로 냉각할 수 있으며, 바람직하게는 5~25℃의 온도 범위로 냉각할 수 있다.
하나의 실시예에서, 상기 파티클 카운터에는 펌프가 내장될 수 있다.
본 발명에 따른 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템은, 오븐 외부에 설치된 공냉식 냉각부재에 의하여 에어 튜브 내의 공기를 냉각시킴으로써, 전극 오븐 내의 파티클 수준을 측정할 수 있게 한다.
도 1은 전극 기재를 건조시키는 가열 건조장치의 단순 개략도이다.
도 2는 종래의 전극 오븐에서의 파티클 측정의 곤란성을 나타내는 개념도이다.
도 3은 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 파티클 측정 시스템을 나타내는 개략도이다.
도 4는 본 발명의 파티클 측정 시스템을 실제 전극 오븐 생산라인에 적용한 상태를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면과 여러 실시예에 의하여 본 발명의 세부 구성을 상세하게 설명한다. 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위하여 예시적으로 나타낸 것이며, 또한 첨부된 도면은 발명의 이해를 돕기 위하여 실제 축척대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명은 전극 오븐 내 열풍의 파티클을 효율적으로 측정할 수 있는 시스템을 제공한다.
본 발명의 파티클 측정 시스템은, 전극 슬러리가 집전체 상에 도포된 전극 기재를 열풍에 의하여 가열 건조하는 오븐; 상기 오븐의 외부에 설치되어 열풍 내의 파티클을 카운트하는 파티클 카운터; 일단이 상기 파티클 카운터에 연결되고, 타단이 상기 오븐의 내부에 설치되는 에어 튜브로서, 상기 타단은 확대된 입구부를 가지는 에어 튜브; 및 상기 오븐 외부에서 상기 에어 튜브를 냉각하는 공냉식 냉각부재를 포함한다.
본 발명의 특징적인 점 중 하나는, 전극 오븐의 내부에 열풍을 추출하기 위한 에어 튜브를 직접 연결하였다는 점이다. 예컨대, 전극 오븐에서 배기되는 배관이나 기타 열풍 순환 경로에 에어 튜브를 연결하면, 열풍 순환 과정에서 열풍의 온도가 낮아지므로 냉각에 소요되는 에너지를 고려하면 배관 등에 설치하는 것이 더 유리하다.
하지만, 본 발명에서는 전극 오븐의 내부에 직접 에어 튜브의 단부를 설치하였다. 그 이유는, 배관 등 전극 외부로 도출되는 열풍에 포함된 파티클에는, 전극 오븐에서 가라앉아 전극 기재에 퇴적되어 버리는 파티클이나 열풍 순환 과정에서 배관 등에 퇴적되어 버리는 파티클은 포함되지 않으므로, 전극 오븐 내부의 파티클의 양을 정확하게 측정하기 곤란하기 때문이다. 이 때문에, 본 발명에서는 전극 오븐의 내부에 직접 에어 튜브를 연결하여 오븐 내에서 실시간으로 존재하는 정확한 파티클의 측정을 도모하고 있다.
본 발명의 특징적인 점 중 다른 하나는, 전극 오븐의 외부에 냉각수단의 일종인 공냉식 냉각부재를 설치하였다는 것이다. 상술한 바와 같이, 열풍은 180℃ 이상의 온도를 가지므로, 전극 오븐에 직접 파티클 카운터를 설치하는 것은 장치의 오작동을 초래하여 상정하기 곤란하다. 본 발명에서는 전극 오븐 내에 에어 튜브를 연결하고, 이를 파티클 카운터에 연결하되, 에어 튜브를 냉각할 수 있는 공냉식 냉각부재를 전극 오븐 외부에 설치함으로써, 파티클 카운터가 냉각된 공기 내의 파티클을 측정할 수 있게 한 것이다.
(제1 실시 형태)
도 3은 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 파티클 측정 시스템을 나타내는 개략도이다.
전극 오븐(10)은 복수개의 건조실을 포함하는 등 보다 복잡한 형태지만, 본 도면에서는 단순화하여 나타내었다. 이 오븐(10) 내에서 전극 슬러리가 집전체에 도포된 전극 기재가 롤러에 의하여 이동되면서 열풍에 의하여 가열 건조된다.
파티클을 측정할 수 있는 파티클 카운터(20)는 상기 전극 오븐(10)의 외부에 설치된다. 단, 본 발명에서는 열풍의 파티클을 바로 측정하는 것이 아니라, 후술하는 바와 같이 냉각된 공기 내의 파티클을 측정하게 된다. 파티클 카운터는 측정 대상 유체에 함유된 미세 입자를 단위 부피당 질량 또는 단위 부피당 개수로 산출하기 위해 측정 대상 유체 함유되어 있는 미세입자의 개수를 계수하는 장치를 말한다. 이와 같은 파티클 카운터는 미세입자를 측정하는 방식에 따라 광의 산란과 흡수를 이용하는 것, 전기 이동도를 이용하는 것, 입자의 질량에 따른 관성을 이용하는 것 등으로 다양하게 분류될 수 있다. 본 실시예에서는 레이저가 미세입자와 만날 때 산란하게 되는 성질을 이용하는 파티클 카운터를 사용하고 있다.
레이저의 산란하는 성질을 이용하는 파티클 카운터는 미세입자의 크기에 따라 약 300 nm 크기의 입자까지 측정할 수 있는 것과 약 2.5 nm 크기의 입자까지 측정할 수 있는 것 등으로 나뉜다.
이러한 파티클 카운터 내 센서는 온도에 매우 민감하여, 전극 오븐과 같은 열풍 환경 하에서는 정확한 파티클의 측정이 어렵다. 파티클 카운터 자체가 고가이므로, 내온성의 센서를 개발하거나 온도 보호 장비를 파티클 카운터에 별도로 설치하는 것은 그 자체로 비경제적이다. 본 발명은 간편한 방식으로 저비용으로 종래의 파티클 카운터를 이용하여 전극 오븐 내의 파티클을 적합하게 측정할 수 있다는 장점이 있다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 전극 오븐(10)과 파티클 카운터(20)를 에어 튜브(30)가 연결하는 형태를 취하고 있다. 에어 튜브(30)의 일단은 상기 파티클 카운터(20)에 연결되어 에어 튜브(30)로부터 도입되는 공기 내 파티클을 파티클 카운터(20)가 측정하도록 한다. 에어 튜브(30)의 타단은 전극 오븐(10)의 내부에 설치되어 오븐 내 열풍을 도입하도록 하고 있다.
이러한 에어 튜브(30)는 전극 오븐(10)의 열풍에 견딜 수 있는 재질로 하여야 한다. 바람직하게는, 고온 환경에서 안정적인 스테인레스 재질로 하는 것이 좋다.
또한, 에어 튜브(30)의 길이가 너무 길면 파티클 카운터(20)에서의 측정 오차가 발생할 수 있으므로, 측정 정밀도를 해치지 않는 범위에서 그 길이를 정하여야 한다. 하나의 실시예에서, 상기 에어 튜브(30)의 길이는 3m 이내로 하는 것이 바람직하다. 에어 튜브(30)의 길이가 짧을수록 파티클 카운터(20)의 정확도에는 유리하지만, 후술하는 공냉식 냉각부재의 설치공간, 고온의 전극 오븐(10)의 영향 등을 고려하여 에어 튜브(30) 길이의 하한을 적절하게 설정할 필요가 있다. 구체적인 예로서, 각 구성요소의 설치공간, 오븐의 영향 등을 고려하여 에어 튜브(30) 길이의 하한은 0.5~1.5m, 바람직하게는 1~1.2m로 할 수 있다.
상기 에어 튜브(30)의 두께도 열풍 유량과 압력을 고려하여 적절하게 결정할 수 있다. 하나의 실시예에서, 상기 튜브(30)의 내경을 18mm로 할 수 있다.
상기 전극 오븐(10) 내에 설치되는 에어 튜브(30)의 타단부는 확대된 입구부(31)를 구비하여, 열풍이 이 확대된 입구부(31)로 용이하게 도입될 수 있다. 상기 타단부의 폭이나 입구부(31)의 테이퍼진 확대부의 테이퍼(경사)각도 등은 상기 열풍의 유량과 압력을 고려하여 역시 적절하게 결정할 수 있다. 바람직하게는, 상기 확대된 입구부(31)의 형상을 깔때기 모양으로 하는 것이 좋다. 도시된 바와 같이, 입구부(31)를 물흐르듯이 매끈한 깔때기 모양으로 하면 열풍의 도입이 보다 신속하고 용이하게 이루어질 수 있다.
상기 전극 오븐(10)의 외부(클린 룸)에는, 오븐의 외부로 도출된 에어 튜브(30)를 냉각하기 위한 공냉식 냉각부재(40)가 설치된다. 공냉식 냉각부재(40)는 방열핀 등을 구비하여 공기로 상기 에어 튜브(30)를 설정온도까지 냉각한다.
본 발명에서는 냉각수가 매체를 냉각하는 수냉식 냉각부재의 사용은 배제된다. 예컨대 수냉식 라디에이터는 냉각수를 이용하여 냉각하므로, 냉각을 부위별로 고르게 일정하게 할 수 있다는 장점이 있다. 하지만, 수냉식 라디에이터는 냉각수에 의한 온도 하강시 에어 튜브 내벽에 액적(이슬)이 맺히게 하며, 이러한 액적은 파티클 카운터에서 파티클로 잘못 인식할 우려가 있다. 따라서, 본 발명에서는 공냉식 냉각부재(40)를 이용하여 파티클 카운터(20)의 측정 정밀도를 유지할 수 있도록 한 것이다.
상기 공냉식 냉각부재(40)는 공냉식 라디에이터인 것이 바람직하다.
공냉식 라디에이터는 냉각핀를 보유하였을 뿐 아니라, 내부에 곡선 또는 꺾어진 직선 등의 연장된 유로를 구비하여, 공냉식 라디에이터에 연결된 에어 튜브(30) 내의 열풍이 이 유로를 지나면서 상대적으로 짧은 거리(폭) 내에서 효율적으로 공기에 의하여 냉각될 수 있다. 다만, 본 발명에서는 에어 튜브(30)의 열풍을 설정 거리 내에서 단시간에 냉각하는 목적을 달성할 수 있다면 공냉식 라디에이터의 세부 구조는 크게 문제삼지 않는다. 따라서, 공냉식 라디에이터의 냉각핀 형상, 유로 형상이나 개수, 별도의 냉각 팬 구비 여부와 관계 없이 본 발명에 적용할 수 있다.
도시된 바와 같이, 본 발명에서 공냉식 냉각부재(40)는 상기 전극 오븐(10)과 파티클 카운터(20) 사이의 에어 튜브(30)에 설치된다. 공냉식 냉각부재에 의하여 에어 튜브(30)로 도입된 열풍의 온도를 5~45℃의 온도범위로 냉각할 수 있다. 이 정도의 온도라면 파티클 카운터(20)의 최적 작동범위에 속하므로, 열풍 내의 파티클을 적절하게 측정할 수 있다. 더 바람직하게는, 에어 튜브(30)의 열풍의 온도를 25℃ 이하, 즉 5~25℃의 온도범위로 냉각할 수 있다.
(제2실시 형태)
도 3의 요부 확대도를 이용하여, 본 발명의 제2 실시형태를 또한 설명한다.
도 3의 에어 튜브의 단부의 확대도에는 제2 실시형태가 도시된다.
본 실시형태는 에어 튜브(30)의 전극 오븐(10) 내부에 설치되는 입구부(31)에 필터(32)가 설치된 점이 특징이다. 상기 필터(32)는 전극 오븐(10) 내의 파티클을 크기에 따라 필터링할 수 있다.
상술한 바와 같이, 파티클 카운터(20)는 종류에 따라 측정할 수 있는 입자 크기가 제한적이다. 따라서, 필터(32)를 설치하여 파티클 카운터(20)의 종류에 대응하여 해당되는 크기의 입자만을 에어 튜브(30)로 도입하여 정확하게 측정할 수 있다.
혹은, 전극 오븐(10) 내에서 제품 불량에 관계되는 크기의 파티클, 또는 제품의 품질에 직접 영향이 있는 종류의 파티클의 개수만을 측정하고자 할 때 상기 필터(32)의 설치가 유용하다. 필터(32)를 설치하는 것만으로 다양한 종류의 파티클 카운터(20)를 사용할 수 있으므로, 파티클 관리의 자유도를 높일 수 있다. 또한, 파티클의 종류에 대응하여 여러 종류의 필터를 교체함으로써, 파티클 종류/수준과 제품 불량과의 상관성 분석이 더욱 용이하게 된다.
이상의 본 발명의 파티클 측정 시스템은 상술한 예 외에 그 기술적사항의 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다.
예컨대, 상기 도 3에서는 공냉식 냉각부재(40)와 파티클 카운터(20)를 별도로 형성하였지만, 상기 2개의 부재를 일체로 형성할 수도 있다. 적절한 냉각 효과가 보장되고 파티클 카운터(20)의 작동을 방해하지 않는 한에서 공냉식 냉각부재(40)와 파티클 카운터(20)를 결합하여 모듈화할 수 있다.
그 외 에어 튜브(30)의 유로 형성은 반드시 직선형일 필요는 없으며, 전극 오븐 생산라인이나 다른 장치와의 간섭을 피하기 위하여 곡선형 혹은 그 외의 다른 형상을 택할 수 있다.
또한, 파티클 카운터의 내부에는 펌프(도시하지 않음)를 설치할 수 있다. 파티클 카운터가 펌프를 내장함으로써, 전극 오븐(10) 내의 열풍을 에어 튜브(30)로 보다 용이하게 흡인할 수 있다. 파티클의 종류에 따라 혹은 전극 오븐(10) 내 상황에 따라 파티클이 공기 중에 편재하여 존재할 수 있다. 혹은 열풍 중에 존재하는 파티클의 개수가 너무 미세하거나 적으면 열풍 압력에 의하여 흡인하여도 파티클의 존재를 파티클 카운터(20)에서 계측하지 못할 수 있다. 따라서, 파티클 카운터가 펌프를 구비함에 의하여 강한 압력으로 편재된 파티클까지 흡인할 수 있다. 혹은, 파티클 카운터 내의 펌프 압력을 달리 하여 각각의 압력에 따른 파티클의 수를 계측하여 보다 정밀한 파티클 관리를 도모할 수 있다.
도 4는 본 발명의 파티클 측정 시스템을 실제 전극 오븐 생산라인에 적용한 상태를 나타내는 도면이다.
도면에 도시된 생산라인에서는 전극 슬러리가 도포된 전극 기재의 전극 오븐(10)이 2단(2층)으로 구성되어 1층에서는 상부 도포층의 가열 건조가, 2층에서는 하부 도포층의 가열 건조가 이루어진다.
따라서, 실제 생산라인에서는 전극 기재가 전극 오븐(10) 내를 연속적으로 이동하면서 전극 기재의 상면과 하면이 연속적으로 가열 건조되는 자동화 공정이 행해지게 된다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 파티클 측정 시스템은 1층 건조라인의 시단부 및 종단부에 각각 설치하여 오븐 내 파티클을 측정하도록 하였다. 에어 튜브(30)의 형상은 건조 라인 내의 배치를 고려하여 절곡된 형상이 되어 있다.
상기 파티클 측정 시스템은 2층의 건조 라인에도 설치될 수 있다. 물론, 본 도면에 도시한 다른 종류의 건조 라인에도 에어 튜브의 형상을 적절하게 변형하는 등에 의하여 본 발명의 파티클 측정 시스템을 적용할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 파티클 측정 시스템은 모든 제품의 불량, 신뢰성과 연관되는 파티클의 수준을 측정하여 실시간으로 모니터링할 수 있다. 이에 의하여 해당 공정에서 발생되는 파티클 수준과 제품 불량과의 상관성 분석이 가능하게 된다.
이상, 도면과 실시예 등을 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하였다. 그러나, 본 명세서에 기재된 도면 또는 실시예 등에 기재된 구성은 본 발명의 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
10: 전극 오븐
20: 파티클 카운터
30: 에어 튜브
31: 확대된 개구부
32: 필터
40: 공냉식 냉각부재 (공냉식 라디에이터)

Claims (11)

  1. 전극 슬러리가 집전체 상에 도포된 전극 기재를 열풍에 의하여 가열 건조하는 오븐;
    상기 오븐의 외부에 설치되어 열풍 내의 파티클을 카운트하는 파티클 카운터;
    일단이 상기 파티클 카운터에 연결되고, 타단이 상기 오븐의 내부에 설치되는 에어 튜브로서, 상기 타단은 확대된 입구부를 가지는 에어 튜브; 및
    상기 오븐 외부에서 상기 에어 튜브를 냉각하는 공냉식 냉각부재를 포함하는 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 타단의 확대된 입구부는 깔때기 모양인 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 튜브는 상기 오븐의 열풍에 견딜 수 있는 내고온성 재질인 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 에어 튜브는 스테인레스 재질인 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 튜브의 길이는 3m 이하인 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 튜브의 확대된 입구부에 설치되는 필터를 구비한 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 공냉식 냉각부재는 공냉식 라디에이터인 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 공냉식 냉각부재는 상기 전기 오븐과 파티클 카운터 사이의 상기 에어 튜브에 설치되는 전극 오븐내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 공냉식 냉각부재는 상기 에어 튜브 내로 유입된 열풍을 5~45℃의 온도 범위로 냉각하는 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 공냉식 냉각부재는 상기 에어 튜브 내로 유입된 열풍을 5~25℃의 온도 범위로 냉각하는 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 파티클 카운터는 펌프를 내장한 전극 오븐 내 열풍의 파티클 측정 시스템.
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