KR20220060971A - 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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KR20220060971A
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이승국
천범준
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삼성디스플레이 주식회사
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H41/00—Machines for separating superposed webs

Abstract

본 발명의 표시 장치의 제조 장치는 원장 기판 및 원장 기판 상부에 부착된 작업 보호필름이 절단되어표시 영역 및 패드 영역을 포함하는 디스플레이 유닛, 및 디스플레이 유닛에 부착되며, 표시 영역에 대응하는 표시 필름부 및 패드 영역에 대응하는 패드 필름부를 포함하는 보호필름 유닛을 포함하는 복수의 셀 유닛들로 분리되는 제1 스테이지, 복수의 셀 유닛들의 패드 필름부가 박리되는 제2 스테이지, 및 복수의 셀 유닛들을 제1 스테이지에서 제2 스테이지로 이송하고, 패드 필름부를 박리하는 트랜스퍼를 포함하며, 트랜스퍼는 일면 및 일면에 대향하는 타면을 포함하는 바디 부재, 바디 부재 일면 상에 제1 방향을 따라 정의된 라인을 따라 배치된 복수의 핀들, 바디 부재 일면 상에 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배치된 복수의 흡착 패드들, 및 바디 부재 타면 상에 제1 방향을 따라 정의된 라인에 배치되고, 박리 테이프를 공급하는 제1 릴 및 박리 테이프를 회수하는 제2 릴을 포함한다.

Description

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 {THE APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE AND THE METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 보호필름을 제거할 때 사용되는 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diode), TSP(Touch Screen Panel) 등 최근의 표시 장치 제조 분야에서는 다양한 종류의 패널을 사용한다.
이러한 제조 공정 수행 중에 다양한 공간을 이동하면서 공정이 이루어진다. 공정 공간 이동 중에 표시 장치의 표면이 오염 또는 손상되는 것을 방지하기 위하여 표시 장치 표면에 보호필름이 부착되며, 이러한 보호필름은 내부의 배선 또는 패드 등을 연결하는 단계에서 제거되어야 한다. 따라서, 패널 표면에 부착되어 있는 보호필름을 박리하기 위한 장치들이 제안되고 있다.
표시 장치의 패드 영역에 접착된 보호필름을 박리하는 과정에서 기존 셀 단위의 박리 공법은 많은 시간이 소요되고, 셀의 안착 오차 및 패드부 너비 변화에 따라 불량이 발생하게 된다.
본 발명은 공정 시간을 단축시키는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 원장 기판 및 상기 원장 기판 상부에 부착된 작업 보호필름이 절단되어 표시 영역 및 패드 영역을 포함하는 디스플레이 유닛, 및 상기 디스플레이 유닛에 부착되며, 상기 표시 영역에 대응하는 표시 필름부 및 상기 패드 영역에 대응하는 패드 필름부를 포함하는 보호필름 유닛을 포함하는 복수의 셀 유닛들로 분리되는 제1 스테이지, 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부가 박리되는 제2 스테이지, 및 상기 복수의 셀 유닛들을 상기 제1 스테이지에서 상기 제2 스테이지로 이송하고, 상기 패드 필름부를 박리하는 트랜스퍼를 포함하며, 상기 트랜스퍼는 일면 및 상기 일면에 대향하는 타면을 포함하는 바디 부재, 상기 바디 부재의 상기 일면 상에 제1 방향을 따라 정의된 라인을 따라 배치된 복수의 핀들, 상기 바디 부재 일면 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배치된 복수의 흡착 패드들, 및 상기 바디 부재의 상기 타면 상에 박리 테이프를 공급하는 릴 부재를 포함한다.
상기 복수의 핀들은 상기 제1 방향을 따라 정의된 복수의 라인들을 따라 서로 이격되어 일렬로 배치될 수 있다.
상기 복수의 셀 유닛들 각각은 상기 복수의 핀들 중 적어도 어느 하나와 대응되도록 배치될 수 있다.
상기 릴 부재는 복수로 제공되고,복수의 상기 릴 부재 각각은 상기 제2 방향을 따라 이격되어 배치될 수 있다.
복수의 상기 릴 부재 각각은 상기 박리 테이프를 공급하는 제1 릴, 및 상기 제1 릴과 마주하고, 상기 박리 테이프를 회수하는 제2 릴을 포함할 수 있다.
상기 복수의 흡착 패드들은 상기 표시 필름부를 흡착할 수 있다.
상기 복수의 흡착 패드들은 상기 복수의 셀 유닛들 각각에 적어도 두 개 이상의 흡착 패드들이 흡착되도록 배치될 수 있다.
상기 복수의 흡착 패드들 각각은 셀 유닛을 흡착하는 흡착부, 상기 흡착부와 연결되는 완충부, 및 상기 완충부와 상기 바디 부재를 연결하는 연결부를 포함하고, 상기 흡착부 및 상기 완충부는 고무 재질을 포함할 수 있다.
상기 흡착부는 진공 흡착력을 가질 수 있다.
상기 복수의 핀들 각각은 상기 박리 테이프와 접촉하는 접촉부, 상기 접촉부로부터 연장되어 상기 바디 부재를 관통하여 형성된 홀에 삽입되는 지지부, 및 상기 접촉부와 접하고, 상기 지지부의 내측에 배치되는 스프링을 포함할 수 있다.
상기 복수의 핀들은 동시에 수직 하강 및 수직 상승할 수 있다.
상기 트랜스퍼를 구동하는 장치 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 스테이지는 상기 복수의 셀 유닛들을 고정하는 고정 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 스테이지 상에 각각이 표시 영역 및 패드 영역을 포함하는 복수의 디스플레이 유닛들을 포함하는 원장 기판 및 상기 원장 기판에 부착되며, 상기 표시 영역에 대응하는 표시 필름부 및 상기 패드 영역에 대응하는 패드 필름부를 포함하는 작업 보호필름을 포함하는 작업 기판을 제공하는 단계, 상기 작업 기판을 절단하여 각각이 상기 복수의 디스플레이 유닛들 중 하나의 디스플레이 유닛과 상기 작업 보호필름 중 상기 디스플레이 유닛에 대응하는 보호필름 유닛을 포함하는 복수의 셀 유닛으로 분리하는 단계, 바디 부재, 및 상기 바디 부재의 일면 상에 제1 방향을 따라 정의된 복수의 라인을 따라 배치된 복수의 핀들, 및 상기 바디 부재의 상기 일면 상에 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향을 따라 정의된 복수의 라인들에 배치된 복수의 흡착 패드들을 포함하는 트랜스퍼가 상기 복수의 셀 유닛들을 제2 스테이지로 이송하는 단계, 상기 복수의 핀들이 수직 하강하여 박리 테이프를 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부에 부착하는 단계, 및 상기 트랜스퍼 또는 상기 복수의 핀들이 상승하여 상기 박리 테이프에 부착된 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부를 박리하는 단계를 포함한다.
상기 복수의 셀 유닛들을 상기 제2 스테이지로 이송하는 단계는, 상기 복수의 흡착 패드들이 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 표시 필름부를 흡착하는 단계, 및 상기 제2 스테이지 상에서 상기 복수의 셀 유닛들이 상기 복수의 흡착 패드들과 분리되어 상기 제2 스테이지 상에 안착되는 단계를 포함할 수 있다.
상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부를 박리하는 단계 이후에 상기 바디 부재의 상기 일면과 대향하는 타면 양측에 배치된 복수의 릴 부재들이 회전하여 상기 박리 테이프를 회수하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 릴 부재들 각각은 상기 박리 테이프를 공급하는 제1 릴, 및 상기 제1 릴과 마주하고 상기 박리 테이프를 회수하는 제2 릴을 포함하고, 상기 박리 테이프를 회수하는 단계에서 상기 제1 릴은 상기 제2 릴과 동기화되어 회전할 수 있다.
상기 복수의 셀 유닛들을 분리하는 단계는, 상기 작업 기판을 상기 복수의 디스플레이 유닛들 각각의 테두리에 대응하는 제1 절단선을 따라 제1 커팅하는 단계, 및 상기 디스플레이 유닛의 상기 표시 영역과 상기 패드 영역 사이에 대응하는 제2 절단선을 따라 상기 작업 보호필름을 제2 커팅하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 스테이지는 상기 복수의 셀 유닛들을 고정하는 고정 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 셀 유닛들을 상기 제2 스테이지로 이송하는 단계와 상기 박리 테이프를 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부에 부착하는 단계는 동시에 수행될 수 있다.
표시 장치의 패드 영역에 접착된 보호필름을 박리하는 단계에서 종래의 셀 단위의 박리 공법 대신 원장 단위의 박리 공법으로 보호필름을 박리할 수 있다. 따라서, 공정 시간을 절약할 수 있고, 셀의 안착 오차 및 패드부 너비 변화에 따른 불량을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 a-a'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 단면도이다.
도 3은 도 1의 b-b'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 원장 기판 제공 단계를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 유닛의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 화소의 등가회로도이다.
도 8는 본 발명의 일 실시예에 따른 작업 보호필름이 부착된 원장 기판을 포함하는 작업 기판을 도시한 도면이다.
도 9는 도 8의 I-I'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 유닛의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 절단선을 커팅하여 셀 유닛들을 분리하는 단계를 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 절단선이 형성된 셀 유닛의 평면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 다른 제2 절단선이 형성된 셀 유닛의 단면도이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 동작을 도시한 측면도이다.
도 15는 본 발명의 셀 유닛들의 패드 필름부를 박리하는 단계를 세분화한 순서도이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 동작을 도시한 측면도이다.
도 17 내지 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 동작을 도시한 정면도이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 “상에 있다”, “연결 된다”, 또는 “결합된다”고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. “및/또는”은 연관된 구성요소들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, “아래에”, “하측에”, “위에”, “상측에” 등의 용어는 도면에 도시된 구성요소들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하 는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 사시도이다. 도 2는 도 1의 a-a'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 단면도이다. 도 3은 도 1의 b-b'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 제1 스테이지(1000), 제2 스테이지(2000), 및 트랜스퍼(TR)를 포함한다. 본 실시예에서 트랜스퍼(TR)와 장치 구동부(400)의 연결관계를 간략히 도시하였다. 트랜스퍼(TR)는 장치 구동부(400)와 전기적 신호를 송수신하기 위해 케이블을 통해 연결되거나 무선 통신모듈을 통해 연결될 수 있다.
도 1 및 도 8을 같이 참조하면, 제1 스테이지(1000) 상에는 각각이 패드 영역(PA)과 표시 영역(AA)을 포함하는 복수의 셀 유닛들(CA, 이하 셀 유닛들)이 복수의 행들과 복수의 열들을 이루며 형성될 수 있다. 셀 유닛들(CA)은 작업 보호필름(300)이 부착된 원장 기판(100)을 포함하는 작업 기판(110)를 커팅함으로써 형성될 수 있다. 작업 기판(110)은 레이저 공정에 의하여 셀 유닛들(CA)로 절단될 수 있다. 하지만, 이에 제한되지 않고, 작업 기판(110)은 스크라이빙 공정에 의하여 절단될 수 있다.
제2 스테이지(2000) 상에서는 셀 유닛들(CA)의 패드 영역(PA)에 배치된 패드 필름부가 박리될 수 있다. 이 때, 트랜스퍼(TR)는 셀 유닛들(CA)을 제1 스테이지(1000)에서 제2 스테이지(2000)로 이송시킨 후나 이송시키는 중에 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부를 박리할 수 있다.
제2 스테이지(2000)는 셀 유닛들(CA)을 고정하는 고정 부재(미도시)를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 셀 유닛에 직접적인 접촉하는 고정 부재를 통해 셀 유닛들(CA)을 고정하거나, 진공 흡착하는 고정 부재를 통해 셀 유닛들(CA)을 고정시킬 수 있다. 제2 스테이지가 고정 부재(미도시)를 포함할 경우, 트랜스퍼(TR)에 의해 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부가 박리될 때 제2 스테이지(2000) 상에 셀 유닛들(CA)이 안정적으로 고정될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 트랜스퍼(TR)는 바디 부재(BC), 복수의 핀들(20, 이하 핀들), 복수의 흡착 패드들(30, 이하 흡착 패드들), 및 복수의 릴 부재들(RCa, RCb)을 포함할 수 있다.
바디 부재(BC)는 일면 및 일면에 대향하는 타면을 포함하는 직육면체 형상을 가질 수 있다.
바디 부재(BC) 일면 상에 제1 방향을 따라 정의된 라인을 따라 핀들(20)이 배치된다. 바디 부재(BC) 일면 상에 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 흡착 패드들(30)이 배치된다.
핀들(20)은 바디 부재(BC)의 일면 상에 제1 방향(DR1)을 따라 정의된 복수의 라인들을 따라 서로 이격되어 일렬로 배치될 수 있다.
핀들(20) 각각은 접촉부(21), 지지부(22), 및 스프링(23)을 포함할 수 있다. 접촉부(21)는 핀(20)의 가장 아래 위치하여 박리 테이프(PT)와 접촉하는 부재일 수 있다. 지지부(22)는 접촉부(21)로부터 연장되어 바디 부재(BC)를 관통하여 형성된 홀에 삽입될 수 있다. 지지부(22) 내부에는 탄성체인 스프링(23)이 위치할 수 있다.
핀들(20)은 박리 테이프(PT)의 진행 방향인 제1 방향(DR1)에 대하여 대략 수직인 방향으로 배치될 수 있으며, 수직 방향으로 상승 또는 하강 운동할 수 있다.
지그(10)는 핀들(20)을 수직 상승 또는 수직 하강시키는 구동원 역할을 할 수 있다. 예컨대, 지그(10)의 구동에 의하여 스프링(23)은 바디 부재와 멀어지는 방향으로 탄성력을 가하여 핀(20)을 수직 하강시킬 수 있다.
지그(10)는 핀(20)의 스프링(23)과 연결되는 몸체부(12)와 바디 부재(BC) 일면에 돌출된 상태로 배치되고 몸체부(12)와 연결되는 누름 부재(11)를 포함할 수 있다.
핀들(20)은 동시에 수직 하강 및 수직 상승할 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 핀들(20)은 순차적으로 수직 하강 및 수직 상승 할 수 있다.
핀들(20)은 수직 하강하여 제1 릴(RCa)들로부터 공급된 박리 테이프(PT)를 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부에 부착시킬 수 있다. 핀들(20)은 박리 테이프(PT) 상에 배치되어 있으므로, 핀들(20)이 수직 하강하면 박리 테이프(PT)의 점착면에 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부에 부착되게 된다. 이 때, 셀 유닛들(CA) 각각은 핀들(20) 중 적어도 어느 하나와 대응되도록 제1 스테이지(1000)상에 배치될 수 있다.
흡착 패드들(30)은 원통형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 흡착 패드들(30)은 다각형의 형상을 가질 수 있다.
흡착 패드들(30)은 고무 재질을 포함할 수 있다. 흡착 패드들(30)이 고무 재질을 포함할 경우, 흡착 패드들(30)이 셀 유닛들(CA)을 흡착할 때 셀 유닛들(CA)의 상부면이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
흡착 패드들(30)은 진공 펌프(미도시)와 연결될 수 있다. 따라서, 흡착 패드들(30)은 진공 흡착력을 가지고 셀 유닛들(CA)을 흡착시켜 이송시킬 수 있다.
흡착 패드들(30) 각각은 흡착부(31), 흡착부(31) 상에 연결된 완충부(32), 및 완충부(32) 상에 배치되어 완충부(32)를 트랜스퍼(TR)의 바디 부재(BC) 일면 상에 연결하는 연결부(33)을 포함할 수 있다.
흡착부(31)는 셀 유닛(CA)에 직접 접촉하는 부분으로, 진공 흡착력을 가지고 셀 유닛(CA)을 흡착할 수 있다. 흡착부(31) 하부의 지름은 흡착부(31) 상부의 지름보다 클 수 있다.
완충부(32)는 벨로즈(bellows) 형상을 가질 수 있다. 완충부(32)가 벨로즈 형상을 가짐에 따라, 완충부(32)는 상하 방향인 제3 방향(DR3)으로 소정의 완충력을 가질 수 있다.
바디 부재(BC) 타면 상에 제1 방향을 따라 정의된 라인 양측에는 박리 테이프를 공급하는 제1 릴(RCa) 및 박리 테이프를 회수하는 제2 릴(RCb)을 포함하는 릴 부재가 배치된다.
일 실시예에서, 트랜스퍼(TR)은 복수의 릴 부재들을 포함할 수 있다. 즉, 복수의 릴 부재들은 바디 부재(BC) 타면 상에 제1 방향을 따라 정의된 복수의 라인들에 대응되도록 바디 부재(BC) 타면 양측에 배치될 수 있다. 이 때, 복수의 릴 부재들 각각의 제1 릴(RCa)은 제1 릴(RCa)과 마주하며 배치된 제2 릴(RCb)와 동기화되어 회전할 수 있다.
박리 테이프(PT)는 제1 릴(RCa)에서 권출되어 바디 부재(BC) 일면 상을 지나 제1 릴(RCa)과 마주보는 제2 릴(RCb)에 권입될 수 있다. 즉, 제1 릴(RCa) 및 제2 릴(RCb)의 회전을 통해 권취되어 있던 박리 테이프(PT)가 제1 릴(RCa)에서 제2 릴(RCb) 측으로 진행하면서 박리 테이프(PT)를 공급할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은, 제1 스테이지 상에 작업 보호필름이 부착된 원장 기판을 포함하는 작업 기판을 제공하는 단계(S100), 작업 기판을 셀 유닛들로 분리하는 단계(S200), 셀 유닛들을 제2 스테이지로 이송하는 단계(S300), 및 셀 유닛들의 패드 필름부를 박리하는 단계(S400)를 포함한다.
우선, 도 5에 도시된 바와 같이 대면적의 원장 기판(100)이 준비될 수 있다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 원장 기판 제공 단계를 도시한 도면이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 유닛의 평면도이다. 도 7 은 본 발명의 일 실시예에 따른 화소(PXi)의 등가회로도이다. 도 5 내지 도 7을 참조하여 복수의 디스플레이 유닛들을 포함하는 원장 기판 제공 단계를 설명한다.
도 5를 참조하면, 원장 기판(100) 상에 복수의 디스플레이 유닛(200)들이 형성될 수 있다. 구체적으로, 원장 기판(100)은 복수의 디스플레이 유닛(200)들이 형성될 수 있는 크기의 모 기판이다. 원장 기판(100)은 유리, 또는 플렉서빌리티(flexibility)를 갖는 플라스틱 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 폴리이미드(polyimide) 등과 같은 플라스틱 물질로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않는다.
원장 기판(100)은 복수의 디스플레이 영역들이 형성되는 구간인 활성 영역(100-1)들 및 활성 영역(100-1)들 이외의 부분인 비활성 영역(100-2)으로 정의된다. 원장 기판(100)의 활성 영역(100-1)들은 증착, 패터닝, 박막층 형성, 에칭 공정 등에 의해 완성된 복수의 디스플레이 유닛(200)들이 형성되는 영역이며, 복수의 디스플레이 유닛(200)들은 동일 공정에 의해 동시에 제공될 수 있다.
각각이 복수의 디스플레이 유닛(200)들은 표시 영역(210) 및 패드 영역(220)을 포함한다. 복수의 디스플레이 유닛(200)들은 원장 기판(100) 상에 이격되어 배열된다.
도 6 및 도 7을 참조하여 하나의 디스플레이 유닛(200)에 대해 상세히 설명한다. 도 6은 디스플레이 유닛(200)에 포함된 배선들(SGL) 및 화소들(PX)의 평면상 배치관계를 도시하였다.
도 6에 도시된 것과 같이, 디스플레이 유닛(200)의 표시 영역(210)은 평면상에서 화소영역(DA)과 주변영역(NDA1)을 포함한다. 본 실시예에서 주변영역(NDA1)은 화소영역(DA)의 테두리를 따라 정의될 수 있다.
디스플레이 유닛(200)은 구동회로(GDC), 복수의 배선들(SGL, 이하 배선들), 복수의 신호패드들(PD, 이하 신호패드들) 및 복수의 화소들(PX, 이하 화소들)을 포함할 수 있다. 화소들(PX)은 화소영역(DA)에 배치된다. 화소들(PX) 각각은 유기발광 다이오드(OLED)와 그에 연결된 화소 구동회로를 포함한다. 구동회로(GDC), 배선들(SGL), 및 화소 구동회로는 후술하는 회로 소자층(CL: 도 9 참조)에 포함될 수 있다.
구동회로(GDC)는 주사 구동회로를 포함할 수 있다. 주사 구동회로는 복수 개의 주사 신호들(이하, 주사 신호들)을 생성하고, 주사 신호들을 복수의 주사 라인들(GL, 이하 주사 라인들)에 순차적으로 출력한다. 주사 구동회로는 화소들(PX)의 구동회로에 또 다른 제어 신호를 더 출력할 수 있다.
주사 구동회로는 화소들(PX)의 구동회로와 동일한 공정, 예컨대 LTPS(Low Temperature Polycrystaline Silicon) 공정 또는 LTPO(Low Temperature Polycrystalline Oxide) 공정을 통해 형성된 복수 개의 박막 트랜지스터들(이하, 트랜지스터들)을 포함할 수 있다.
배선들(SGL)은 주사 라인들(GL), 데이터 라인들(DL), 전원 라인(PL), 및 제어신호 라인(CSL)을 포함한다. 주사 라인들(GL)은 화소들(PX) 중 대응하는 화소(PX)에 각각 연결되고, 데이터 라인들(DL)은 화소들(PX) 중 대응하는 화소(PX)에 각각 연결된다. 전원 라인(PL)은 화소들(PX)에 연결된다. 제어신호 라인(CSL)은 주사 구동회로에 제어신호들을 제공할 수 있다.
배선들(SGL)은 화소영역(DA), 주변영역(NDA1), 및 비표시영역(NDA2)에 중첩한다. 신호패드들(PD)은 배선들(SGL) 중 대응하는 배선에 연결된다.
실질적으로 라인부가 배선들(SGL)의 대부분을 구성하고, 화소(PX)에 연결된다. 라인부는 화소(PX)의 트랜지스터들에 연결된다. 라인부는 단층/다층 구조를 가질 수 있고, 라인부는 일체의 형상(single body)이거나, 2 이상의 부분들을 포함할 수 있다. 2 이상의 부분들은 서로 다른 층 상에 배치되고, 2 이상의 부분들 사이에 배치된 절연층(미도시)를 관통하는 컨택홀(미도시)을 통해 서로 연결될 수 있다.
도 7에는 복수의 데이터 라인들(DL) 중 k번째 데이터 라인(DLk)에 연결된 i번째 화소(PXi)를 예시적으로 도시하였다. i번째 화소(PXi)는 i번째 주사 라인(SLi)에 인가된 i번째 주사 신호(Si)에 응답하여 활성화된다.
i번째 화소(PXi)는 발광소자(OLED)를 제어하는 화소 구동회로를 포함할 수 있다. 화소 구동회로는 7개의 박막 트랜지스터들(T1~T7) 및 하나의 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 다만, 7개의 박막 트랜지스터들(T1~T7) 및 하나의 커패시터(Cst)를 포함하는 화소 구동회로를 예시적으로 도시한 것이고, 화소 구동회로는 다양하게 변형될 수 있다.
구동 트랜지스터는 발광소자(OLED)에 공급되는 구동전류를 제어할 수 있다. 제2 트랜지스터(T2)의 출력전극은 발광소자(OLED)와 전기적으로 연결된다. 제2 트랜지스터(T2)의 출력전극은 제6 트랜지스터(T6)를 경유하여 발광소자(OLED)에 연결될 수 있다.
제6 트랜지스터(T6)는 제1 트랜지스터(T1)의 출력전극과 발광소자(OLED)의 애노드전극 사이에 접속된다. 그리고, 제6 트랜지스터(T6)의 제어 전극은 i번째 발광제어 라인(ELi)에 접속된다.
제어 트랜지스터의 제어 전극은 제어 신호를 수신할 수 있다. i번째 화소(PXi)에 인가되는 제어 신호는 i-1번째 주사 신호(Si-1), i번째 주사 신호(Si), i+1번째 주사 신호(Si+1), 데이터 신호(Dk), 및 i번째 발광 제어 신호(Ei)를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에서 제어 트랜지스터는 제1 트랜지스터(T1) 및 제3 내지 제7 트랜지스터들(T3~T7)을 포함할 수 있다.
제1 트랜지스터(T1)는 k번째 데이터 라인(DLk)에 접속된 감지전극, i번째 주사 라인(GLi)에 접속된 제어 전극, 및 제2 트랜지스터(T2)의 출력전극에 접속된 출력전극을 포함할 수 있다. 제1 트랜지스터(T1)는 i번째 주사 라인(GLi)에 인가된 주사 신호(Si, 이하 i번째 주사 신호)에 의해 턴-온되고, k번째 데이터 라인(DLk)에 인가된 데이터 신호(Dk)를 스토리지 커패시터(Cst)에 제공할 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 원장 기판(100)이 형성된 이후에 원장 기판(100) 상에 작업 보호필름을 부착하여 작업 기판(110)을 제공하는 단계(S100)를 진행할 수 있다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 작업 보호필름이 부착된 원장 기판을 포함하는 작업 기판을 도시한 도면이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 유닛(도 8의 I-I')의 단면도이다.
작업 보호필름(300)은 복수의 디스플레이 유닛(200)들이 형성된 원장 기판(100) 상부에 부착될 수 있다. 이에 따라, 원장 기판(100) 상에 작업 보호필름(300)이 부착된 작업 기판(110)이 형성될 수 있다. 도시하지 않았으나, 원장 기판(100) 하부에도 작업 보호필름(300)이 부착될 수 있다.
도 8에서 작업 보호필름(300)을 원장 기판(100)보다 작은 면적으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않는다. 작업 보호필름(300)은 원장 기판(100)을 보호할 수 있는 면적이라면 제한되지 않고 적절한 면적으로 설정될 수 있다. 예를 들어, 작업 보호필름(300)은 원장 기판(100)과 실질적으로 동일한 면적을 가질 수 있다.
작업 보호필름(300)은 복수의 디스플레이 유닛(200: 도 5 참조)들 내부로 외부의 수분 또는 이물 유입을 방지하거나, 공정 시 발생하는 크랙을 방지할 수 있다. 작업 보호필름(300)은 유연성을 가지는 소재, 예를 들어 고분자 수지로 형성될 수 있다.
작업 보호필름(300)은 활성 영역(100-1: 도 5 참조) 및 비활성 영역(100-2: 도 5 참조)에 각각 대응하는 보호필름 유닛(300-1) 및 비활성 필름영역(300-C)을 포함한다.
보호필름 유닛(300-1)은 디스플레이 유닛(200: 도 5 참조)의 표시 영역(210) 및 패드 영역(220)에 각각이 대응하는 표시 필름부(310) 및 패드 필름부(320)을 포함한다. 본 발명에서, 패드 필름부(320)는 박리 단계에서 제거되는 부분이다.
도 9에 도시된 것과 같이, 하나의 셀 유닛(CA)은 디스플레이 유닛(200), 디스플레이 유닛(200) 상에 배치된 보호필름 유닛(300-1), 및 보호필름 유닛(300-1)과 디스플레이 유닛(200) 사이에 배치된 접착층(ADL)을 포함할 수 있다. 도시하지는 않았으나, 디스플레이 유닛(200) 하에 제2 보호필름 유닛(미도시)이 더 배치될 수 있고, 제2 보호필름 유닛(미도시)과 디스플레이 유닛(200) 사이에는 제2 접착층(미도시)을 더 포함할 수도 있다.
보호필름 유닛(300-1)은 디스플레이 유닛(200)의 최상층과 접착층(ADL)을 통해서 결합될 수 있다. 이에 따라, 디스플레이 유닛(200)의 최상층은 영역에 따라 단차가 정의될 수 있다.
접착층(ADL)은 보호필름 유닛(300-1)과 접착되는 상부면의 접착력이 박막 봉지층(TFE)과 접착되는 하부면의 접착력보다 더 강할 수 있다. 이는, 박리 과정 시 접착층(ADL)이 디스플레이 유닛(200)으로부터 용이하게 제거되기 위함이다.
접착층(ADL)과 패드 영역(220) 사이에는 제1 두께(TH1)를 갖는 빈 공간이 형성된다. 패드 영역(220)은 표시 소자층(OL)이 증착되지 않는 영역에 해당됨으로 단차가 발생하여 제1 두께(TH1)를 갖는 빈 공간이 형성된다. 패드 영역(220)에는 회로 소자층(CL)이 패터닝되어 배선들(SGL: 도 6 참조)이 형성된 이후 접착층(ADL) 및 보호필름 유닛(300-1)이 적층된다.
접착층(ADL)의 제2 두께(TH2)는 보호필름 유닛(300-1)과 접착되는 상부면에서 박막 봉지층(TFE)이 접착되는 하부면 까지의 거리로 정의될 수 있다.
접착층(ADL)의 제2 두께(TH2)는 50㎛ 내지 75㎛ 에 해당되며, 제1 두께(TH1)은 30㎚ 내지 70㎚ 에 해당됨으로 빈 공간에 의한 작업 보호필름(300)의 평탄면 형상은 영향을 미지치 않을 수 있다. 설명의 편의를 위하여 제2 두께(TH2)보다 제1 두께(TH1)를 확대하여 도시하였다.
셀 유닛(CA)은 베이스층(BL), 베이스층(BL) 상에 배치된 회로 소자층(CL), 표시 소자층(OL), 박막 봉지층(TFE), 접착층(ADL), 및 보호필름 유닛(300-1)을 포함한다. 별도로 도시되지 않았으나, 셀 유닛(CA)은 반사방지층, 굴절률 조절층 등과 같은 기능성층들을 더 포함할 수 있다.
베이스층(BL)은 합성수지 필름을 포함할 수 있다. 디스플레이 유닛(200)의 제조 시에 이용되는 원장 기판(100: 도 5 참조) 상에 합성수지층을 형성한다. 이후 합성수지층 상에 도전층 및 절연층 등을 형성한다. 합성수지층은 폴리이미드계 수지층일 수 있고, 그 재료는 특별히 제한되지 않는다. 그밖에 베이스층(BL)은 유리 기판, 메탈 기판, 도는 유/무기 복합재료 기판 등을 포함할 수 있다.
회로 소자층(CL)은 적어도 하나의 중간 절연층과 회로 소자를 포함한다. 중간 절연층은 적어도 하나의 중간 무기막과 적어도 하나의 중간 유기막을 포함한다. 회로 소자는 구동회로(GDC: 도 6 참조), 배선들(SGL: 도 6 참조), 및 화소 구동회로 등을 포함한다.
회로 소자층(CL)은 코팅, 증착 등에 의한 절연층 및 도전층 형성공정과 포토리소그래피 공정에 의한 도전층 및/또는 반도체층의 패터닝 공정을 통해 형성될 수 있다.
표시 소자층(OL)은 발광 소자를 포함한다. 표시 소자층(OL)는 유기발광 다이오드들을 포함할 수 있다. 표시 소자층(OL)는 화소 정의막과 같은 유기막을 더 포함할 수 있다.
박막 봉지층(TFE)은 표시 소자층(OL)를 밀봉한다. 박막 봉지층(TFE)는 적어도 하나의 절연층을 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 봉지층(TFE)는 적어도 하나의 무기막(이하, 봉지 무기막)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 봉지층(TFE)은 적어도 하나의 유기막(이하 봉지 유기막) 및 적어도 하나의 봉지 무기막을 포함할 수 있다.
봉지 무기막은 수분/산소로부터 표시 소자층(OL)를 보호하고, 봉지 유기막은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 표시 소자층(OL)를 보호한다. 봉지 무기막은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄옥사이드층, 또는 알루미늄옥사이드층 등을 포함할 수 있다. 봉지 유지막은 아크릴 계열 유기막을 포함할 수 있고, 특별히 제한되지 않는다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 유닛들을 분리하는 단계(S200)를 도시한 도면이다.
도 10를 참조하면, 작업 기판(110)은 셀 유닛들(CA)을 포함한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 유닛들(CA)은 보호필름 유닛(300-1: 도 8 참조)이 부착된 디스플레이 유닛(200: 도 5 참조)으로 정의될 수 있다.
일 실시예의 셀 유닛 분리 단계(S200)에서, 제1 장치(CT1)를 통해 작업 기판(110)에서 복수의 셀 유닛들(CA) 각각이 개별적인 셀 유닛(CA)으로 절단될 수 있다. 제1 장치(CT1)는 셀 유닛들(CA)의 가장자리에 형성된 제1 절단선(TL)을 따라 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 이동하면서 절단할 수 있다. 따라서, 작업 기판(110) 상에 형성된 셀 유닛들(CA)은 개별적인 셀 유닛(CA)으로 분리되게 된다. 일 예시로 제1 장치(CT1)는 레이저를 조사하여 작업 기판(110)을 절단할 수 있다. 미도시 되었으나, 제1 장치(CT1)는 레이저 발진부, 레이저 광학부, 레이저 집광부로 이루어질 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 절단선이 형성된 셀 유닛의 평면도이다.
제2 절단선(HC)은 표시 필름부(310) 및 패드 필름부(320)의 경계를 따라 형성된다. 제2 절단선(HC)은 제2 장치(CT2)를 이용한다. 제2 장치(CT2)는 제1 장치(CT1)과 동일한 설비를 이용할 수 있다. 이때, 레이저의 세기를 조절하여 절단되는 면의 깊이를 조절할 수 있다. 제2 절단선(HC)은 이후 박리 공정 시 박리 대상이 되는 영역의 기준선이 된다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 다른 제2 절단선이 형성된 셀 유닛의 단면도이다. 이하, 도 12를 참조하여 제2 절단선(HC)을 상세하게 설명한다.
제2 절단선(HC)는 보호필름 유닛(300-1)과 디스플레이 유닛(200)의 최상층 사이에 배치된 접착층(ADL)의 일부가 외부에 노출되도록 보호필름 유닛(300-1)의 두께 방향에서 보호필름 유닛(300-1)이 완전하게 제거된다. 제2 절단선(HC)이 형성된 부분에 남아 있는 접착층(ADL)의 두께는 25μm 내지 40μm 일 수 있다. 제2 절단선(HC) 형성 이후 남아있는 접착층(ADL)의 두께가 25μm 미만인 경우, 박리 과정 이전에 보호필름 유닛(300-1)이 탈착 되어 수분 도는 이물 등이 유입될 수 있으며, 접착층(ADL)의 두께가 40μm 초과인 경우, 접착력에 의해 박리 불량이 발생할 수 있다.
미도시 되었으나, 박리 단계를 진행하기 전에 박리 작업의 실패확률을 낮추기 위하여 박리 대상의 모서리 부분의 접착력을 약화시킬 수 있다. 일 예시로서 박리 대상의 모서리 부분을 타격하여 접착층(ADL)의 접착력을 약화시킨 뒤, 박리 단계가 진행될 수 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 동작을 도시한 측면도이다. 이하, 도 1 내지 도 3에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해 상세한 설명은 생략한다.
도 13을 참조하면, 장치 구동부(400: 도 1 참조)의 구동에 따라 트랜스퍼(TR)는 셀 유닛들(CA)을 포함하는 제1 스테이지(1000) 상에 배치될 수 있다. 트랜스퍼(TR)가 하강하면서 흡착 패드들(30)은 셀 유닛들(CA)의 표시 필름부(310)에 접촉될 수 있다. 이후, 흡착 패드들(30)에 연결된 진공 펌프(미도시)에 의해 흡착 패드들(30)은 진공 흡착력을 갖도록 구동될 수 있다. 따라서, 진공 흡착력에 의해 흡착 패드들(30)에 셀 유닛들(CA)이 흡착될 수 있다.
하지만, 흡착 패드들(30)의 구동은 이에 한정되지 않고, 흡착 패드들(30)이 셀 유닛들(CA)에 접촉되기 전에 진공 흡착력이 구동되어 흡착 패드들(30)에 셀 유닛들(CA)이 흡착될 수도 있다.
일 실시예에서, 하나의 셀 유닛(CA)에는 적어도 두 개 이상의 흡착 패드(30)들이 배치될 수 있다. 도 13 및 도 14에서는 하나의 셀 유닛(CA)에 두 개의 흡착 패드(30)가 흡착된 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
도 14를 참조하면, 흡착 패드들(30)에 의해 흡착된 셀 유닛들(CA)은 트랜스퍼(TR)가 상승함에 따라 제1 스테이지(1000)로부터 들어 올려질 수 있다. 이후 셀 유닛들(CA)은 제2 스테이지(2000, 도 1 참조)로 이송되어 안착될 수 있다.
흡착 패드들(30)이 셀 유닛들(CA)을 흡착할 때 핀들(20)이 수직 하강하여 박리 테이프(PT)를 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)에 부착시킬 수 있다. 예컨대, 셀 유닛들(CA)이 제2 스테이지(2000, 도 1 참조)로 이송되는 단계와 박리 테이프(PT)를 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)에 부착하는 단계는 동시에 수행될 수 있다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 핀들(20)은 셀 유닛들(CA)이 제2 스테이지(2000, 도 1 참조)로 이송된 이후에 수직 하강하여 박리 테이프(PT)를 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)에 부착할 수 있다.
셀 유닛들(CA)이 제2 스테이지(2000, 도 1 참조)로 이송되는 단계에서 박리 테이프(PT)를 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)에 부착할 경우, 제2 스테이지(2000, 도 1 참조)로 이송되는 중에 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)를 박리시킬 수 있고, 이에 따라 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
이하에서는, 도 15 내지 도 19를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 유닛들의 패드 필름부를 박리하는 단계(S400)를 상세하게 설명한다. 이하, 도 1 내지 도 3에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해 상세한 설명은 생략한다.
도 15는 본 발명의 셀 유닛들의 패드 필름부를 박리하는 단계(S400)를 세분화한 순서도이다. 도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 동작을 도시한 측면도이다. 도 17 내지 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 동작을 도시한 정면도이다.
도 16은 셀 유닛들의 패드 필름부가 박리되는 초기 단계에 제2 스테이지 상에서 트랜스퍼의 구동을 제1 방향에서 바라본 측면도이고, 도 17 내지 도 19는 셀 유닛들의 패드 필름부가 박리되는 단계에 제2 스테이지 상에서 트랜스퍼의 구동을 제2 방향에서 바라본 정면도이다.
도 15를 참조하면, 본 발명의 셀 유닛들의 패드 필름부를 박리하는 단계(S400)는, 핀들이 수직 하강하여 박리 테이프를 셀 유닛들의 패드 필름부에 부착하는 단계(S401), 트랜스퍼 또는 핀들이 상승하여 셀 유닛들의 패드 필름부를 박리하는 단계(S402), 및 복수의 릴 부재들이 회전하여 박리된 복수의 셀 유닛들의 패드 필름부가 부착된 박리 테이프를 회수하는 단계(S403)을 포함할 수 있다.
도 16을 참조하면, 장치 구동부(미도시)의 구동에 따라 트랜스퍼(TR)는 셀 유닛들(CA)을 제2 스테이지(2000) 상으로 이송할 수 있다.
일 실시예에서, 셀 유닛들(CA)을 제2 스테이지(2000)로 이송하는 단계는 제1 스테이지(1000, 도 13 참조)에서 흡착 패드들(30)이 셀 유닛들(CA)의 표시 필름부(310)를 흡착하는 단계와 제2 스테이지(2000) 상에서 셀 유닛들(CA)이 흡착 패드들(30)과 분리되어 제2 스테이지(2000) 상에 안착되는 단계를 더 포함할 수 있다.
도 16 및 도 17을 참조하면, 셀 유닛들(CA)이 제2 스테이지(2000) 상에 안착된 후에 핀들(20)이 수직 하강하여 박리 테이프(PT)를 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)에 부착시킬 수 있다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)에 박리 테이프(PT)가 부착된 이후에 트랜스퍼(TR)가 상승하여 박리 테이프(PT)에 부착된 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)가 박리될 수 있다.
도 18에는 트랜스퍼(TR)가 상승하여 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)가 박리되는 것을 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 트랜스퍼(TR)가 상승하기 전에 핀들(20)이 수직 상승하여 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)가 박리될 수 있고, 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)가 박리된 이후에 트랜스퍼(TR)가 상승할 수 있다.
일 실시예에서, 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)를 박리하는 단계 이후에는 제1 릴(RCa) 및 제2 릴(RCb)이 회전하여 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)가 부착된 박리 테이프(PT)를 회수할 수 있다.
도 18 및 도 19를 참조하면, 제1 릴(RCa) 및 제2 릴(RCb)이 회전에 의하여 셀 유닛들(CA)의 패드 필름부(320)가 부착된 박리 테이프(PT)가 회수된 이후에 트랜스퍼(TP)는 제1 스테이지(1000, 도 13 참조)로 다시 이동하여 전술한 공정 단계를 반복 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법은 원장 단위의 박리 공법을 적용함으로써 기존 셀 단위 박리 공법에서 발생되던 셀의 안착 오차 및 패드부 너비 변화에 따른 불량을 방지할 수 있어, 표시 장치의 신뢰성이 향상될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 원장 단위로 박리 공정이 진행됨에 따라 공정이 단순화되어 공정 시간이 감소될 수 있다. 종래에는 표시 장치의 패드 영역에 접착된 보호필름을 박리하는 과정에서 셀 단위로 박리를 진행함으로써 박리 시간이 오래 걸리며 이로 인해 생산성 및 효율성이 저하되었다. 반면, 본 발명에서는 셀의 사이즈와 개수에 상관없이 원장 기판을 형성하고, 각각의 셀 유닛에 부착된 보호필름을 원장 단위로 동시에 박리를 진행함으로써 공정 시간이 감소되어 생산성 및 효율성이 향상될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
1000 : 제1 스테이지 2000 : 제2 스테이지
400 : 장치 구동부 TR : 트랜스퍼
BC : 바디 부재 PT : 박리 테이프
RCa : 제1 릴 RCb : 제2 릴
CA : 셀 유닛 AA : 표시 영역
PA : 패드 영역 10 : 지그
20 : 핀 30 : 흡착 패드

Claims (20)

  1. 원장 기판 및 상기 원장 기판 상부에 부착된 작업 보호필름이 절단되어 표시 영역 및 패드 영역을 포함하는 디스플레이 유닛, 및 상기 디스플레이 유닛에 부착되며, 상기 표시 영역에 대응하는 표시 필름부 및 상기 패드 영역에 대응하는 패드 필름부를 포함하는 보호필름 유닛을 포함하는 복수의 셀 유닛들로 분리되는 제1 스테이지;
    상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부가 박리되는 제2 스테이지; 및
    상기 복수의 셀 유닛들을 상기 제1 스테이지에서 상기 제2 스테이지로 이송하고, 상기 패드 필름부를 박리하는 트랜스퍼; 를 포함하며,
    상기 트랜스퍼는
    일면 및 상기 일면에 대향하는 타면을 포함하는 바디 부재;
    상기 바디 부재의 상기 일면 상에 제1 방향을 따라 정의된 라인을 따라 배치된 복수의 핀들;
    상기 바디 부재 일면 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배치된 복수의 흡착 패드들; 및
    상기 바디 부재의 상기 타면 상에 박리 테이프를 공급하는 릴 부재; 를 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 핀들은 상기 제1 방향을 따라 정의된 복수의 라인들을 따라 서로 이격되어 일렬로 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 셀 유닛들 각각은 상기 복수의 핀들 중 적어도 어느 하나와 대응되도록 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 릴 부재는 복수로 제공되고,
    복수의 상기 릴 부재 각각은 상기 제2 방향을 따라 이격되어 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    복수의 상기 릴 부재 각각은
    상기 박리 테이프를 공급하는 제1 릴; 및
    상기 제1 릴과 마주하고, 상기 박리 테이프를 회수하는 제2 릴; 을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 흡착 패드들은 상기 표시 필름부를 흡착하는 표시 장치의 제조 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 흡착 패드들은 상기 복수의 셀 유닛들 각각에 적어도 두 개 이상의 흡착 패드들이 흡착되도록 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 흡착 패드들 각각은
    셀 유닛을 흡착하는 흡착부;
    상기 흡착부와 연결되는 완충부; 및
    상기 완충부와 상기 바디 부재를 연결하는 연결부; 를 포함하고,
    상기 흡착부 및 상기 완충부는 고무 재질을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 흡착부는 진공 흡착력을 가지는 표시 장치의 제조 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 핀들 각각은
    상기 박리 테이프와 접촉하는 접촉부;
    상기 접촉부로부터 연장되어 상기 바디 부재를 관통하여 형성된 홀에 삽입되는 지지부; 및
    상기 접촉부와 접하고, 상기 지지부의 내측에 배치되는 스프링; 을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 핀들은 동시에 수직 하강 및 수직 상승하는 표시 장치의 제조 장치.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 트랜스퍼를 구동하는 장치 구동부를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 스테이지는 상기 복수의 셀 유닛들을 고정하는 고정 부재를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  14. 제1 스테이지 상에 각각이 표시 영역 및 패드 영역을 포함하는 복수의 디스플레이 유닛들을 포함하는 원장 기판 및 상기 원장 기판에 부착되며, 상기 표시 영역에 대응하는 표시 필름부 및 상기 패드 영역에 대응하는 패드 필름부를 포함하는 작업 보호필름을 포함하는 작업 기판을 제공하는 단계;
    상기 작업 기판을 절단하여 각각이 상기 복수의 디스플레이 유닛들 중 하나의 디스플레이 유닛과 상기 작업 보호필름 중 상기 디스플레이 유닛에 대응하는 보호필름 유닛을 포함하는 복수의 셀 유닛으로 분리하는 단계;
    바디 부재, 및 상기 바디 부재의 일면 상에 제1 방향을 따라 정의된 복수의 라인을 따라 배치된 복수의 핀들, 및 상기 바디 부재의 상기 일면 상에 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향을 따라 정의된 복수의 라인들에 배치된 복수의 흡착 패드들을 포함하는 트랜스퍼가 상기 복수의 셀 유닛들을 제2 스테이지로 이송하는 단계;
    상기 복수의 핀들이 수직 하강하여 박리 테이프를 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부에 부착하는 단계; 및
    상기 트랜스퍼 또는 상기 복수의 핀들이 상승하여 상기 박리 테이프에 부착된 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부를 박리하는 단계; 를 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 복수의 셀 유닛들을 상기 제2 스테이지로 이송하는 단계는,
    상기 복수의 흡착 패드들이 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 표시 필름부를 흡착하는 단계; 및
    상기 제2 스테이지 상에서 상기 복수의 셀 유닛들이 상기 복수의 흡착 패드들과 분리되어 상기 제2 스테이지 상에 안착되는 단계; 를 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부를 박리하는 단계 이후에 상기 바디 부재의 상기 일면과 대향하는 타면 양측에 배치된 복수의 릴 부재들이 회전하여 상기 박리 테이프를 회수하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 복수의 릴 부재들 각각은
    상기 박리 테이프를 공급하는 제1 릴; 및
    상기 제1 릴과 마주하고 상기 박리 테이프를 회수하는 제2 릴; 을 포함하고,
    상기 박리 테이프를 회수하는 단계에서 상기 제1 릴은 상기 제2 릴과 동기화되어 회전하는 표시 장치 제조 방법.
  18. 제14 항에 있어서,
    상기 복수의 셀 유닛들을 분리하는 단계는,
    상기 작업 기판을 상기 복수의 디스플레이 유닛들 각각의 테두리에 대응하는 제1 절단선을 따라 제1 커팅하는 단계; 및
    상기 디스플레이 유닛의 상기 표시 영역과 상기 패드 영역 사이에 대응하는 제2 절단선을 따라 상기 작업 보호필름을 제2 커팅하는 단계; 를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  19. 제14 항에 있어서,
    상기 제2 스테이지는 상기 복수의 셀 유닛들을 고정하는 고정 부재를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  20. 제14 항에 있어서,
    상기 복수의 셀 유닛들을 상기 제2 스테이지로 이송하는 단계와 상기 박리 테이프를 상기 복수의 셀 유닛들의 상기 패드 필름부에 부착하는 단계는 동시에 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
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