KR20220056641A - Connector for electrical connection - Google Patents

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KR20220056641A
KR20220056641A KR1020200141404A KR20200141404A KR20220056641A KR 20220056641 A KR20220056641 A KR 20220056641A KR 1020200141404 A KR1020200141404 A KR 1020200141404A KR 20200141404 A KR20200141404 A KR 20200141404A KR 20220056641 A KR20220056641 A KR 20220056641A
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Abstract

According to an embodiment disclosed in the present invention, a connector for electrical connection, as a connector for electrical connection disposed between a device to be tested and test equipment and conducting the device to be tested and the test equipment in a vertical direction so as to electrically connect the same, comprises: a shielding unit which divides a plurality of lattice areas arranged in a lattice pattern and extends in a vertical direction; a conductive unit which extends vertically from the lattice area and conducts an upper end of the lattice area and a lower end of the lattice area; and an insulating unit which insulates the conductive unit from the shielding unit in the lattice area.

Description

전기 접속용 커넥터{CONNECTOR FOR ELECTRICAL CONNECTION}Connector for electrical connection

본 개시는 피검사 디바이스와 테스트 장비 사이에 배치되는 전기 접속용 커넥터에 관한 것이다.The present disclosure relates to a connector for electrical connection disposed between a device under test and test equipment.

제조된 반도체 디바이스와 같은 피검사 디바이스의 불량 여부를 판단하기 위한 검사 공정에서, 피검사 디바이스와 테스트(test) 장비의 사이에 전기 접속용 커넥터가 배치된다. 전기 접속용 커넥터는 피검사 디바이스와 테스트 장비를 전기적으로 연결시켜, 피검사 디바이스와 테스트 장비의 통전 여부를 기초로 피검사 디바이스의 불량 여부를 판단하는 검사 방법이 알려져 있다.In an inspection process for determining whether a device under test, such as a manufactured semiconductor device, is defective, a connector for electrical connection is disposed between the device under test and test equipment. A connector for electrical connection electrically connects a device to be tested and a test equipment, and an inspection method for determining whether a device to be inspected is defective based on whether the device to be inspected and the test equipment is energized is known.

만약 전기 접속용 커넥터가 없이 피검사 디바이스의 단자가 테스트 장비의 단자에 직접 접촉하게 되면, 반복적인 검사 과정에서 테스트 장비의 단자가 마모 또는 파손되어 테스트 장비 전체를 교체해야 하는 소요가 발생할 수 있다. 전기 접속용 커넥터를 이용하여 테스트 장비 전체를 교체하는 소요의 발생을 막을 수 있다.If the terminal of the device under test comes into direct contact with the terminal of the test equipment without the connector for electrical connection, the terminals of the test equipment may be worn or damaged in the repeated inspection process, requiring replacement of the entire test equipment. The need to replace the entire test equipment can be prevented by using a connector for electrical connection.

전기 접속용 커넥터는 고주파 신호인 RF(Radio Frequency) 신호를 이용한 검사 방법에 사용될 수 있다. RF 신호를 이용한 검사 방법의 경우, RF 신호의 주파수 영역에 따라 전기 접속용 커넥터의 임피던스 값을 매칭시킬 필요가 있다.The connector for electrical connection may be used in an inspection method using a radio frequency (RF) signal, which is a high frequency signal. In the case of the inspection method using an RF signal, it is necessary to match the impedance value of the connector for electrical connection according to the frequency domain of the RF signal.

전기 접속용 커넥터는, 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 도전부를 포함할 수 있다. 복수의 도전부에 RF 신호가 인가됨으로써 피검사 디바이스와 테스트 장비의 통전 여부를 확인할 수 있다. 복수의 도전부에 RF 신호가 인가되면 복수의 도전부는 서로에 대해 전자기적으로 영향을 미칠 수 있다.The connector for electrical connection may include a plurality of conductive portions in contact with the terminals of the device under test. By applying the RF signal to the plurality of conductive parts, it is possible to check whether the device under test and the test equipment are energized. When an RF signal is applied to the plurality of conductive parts, the plurality of conductive parts may electromagnetically affect each other.

본 개시의 실시예들은 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적인 연결을 제공하며, 임피던스 값을 매칭하기 용이한 전기 접속용 커넥터를 제공한다.Embodiments of the present disclosure provide a connector for electrical connection that provides a stable electrical connection with a device under test and is easy to match an impedance value.

또한, 본 개시의 실시예들은 복수의 도전부가 서로에 대하여 미칠 수 있는 전자기적 영향을 감소시키는 전기 접속용 커넥터를 제공한다.Further, embodiments of the present disclosure provide a connector for electrical connection that reduces electromagnetic influence that a plurality of conductive parts may have on each other.

RF 신호를 이용한 검사 방법에서 전기 접속용 커넥터는 검사 방법의 조건에 따라 매칭되는 임피던스 값을 가질 필요가 있다. 전기 접속용 커넥터는 검사 방법의 조건에 따라 임피던스 값을 매칭시킴과 동시에 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적 연결을 제공할 필요가 있다. 적절한 임피던스 매칭이 제공되지 않으면 검사 신호의 반사 등으로 신뢰성 있는 검사에 한계가 있을 수 있다.In a test method using an RF signal, a connector for electrical connection needs to have an impedance value that is matched according to the conditions of the test method. The connector for electrical connection needs to match the impedance value according to the condition of the test method and at the same time provide a stable electrical connection with the device under test. If proper impedance matching is not provided, reliable inspection may be limited due to reflection of inspection signals.

전기 접속용 커넥터는 도전부의 횡단면 면적 내지는 크기가 클수록 피검사 디바이스와 전기 접속용 커넥터 사이의 전기적 연결이 안정적으로 제공될 수 있다. 그러나 피검사 디바이스의 미세화 경향, 하기에 설명할 전자기적 간섭 내지는 크로스 토크 등을 고려할 때 도전부의 크기를 원하는 수준으로 하는데에는 기술적 어려움이 있다. In the connector for electrical connection, as the cross-sectional area or size of the conductive part increases, the electrical connection between the device under test and the connector for electrical connection can be stably provided. However, there is a technical difficulty in setting the size of the conductive part to a desired level in consideration of the miniaturization tendency of the device under test and electromagnetic interference or crosstalk to be described below.

RF 신호를 이용한 테스트에서 복수의 도전부는 서로 전자기적으로 간섭될 수 있다. 전기 접속용 커넥터에 크로스 토크(cross talk; 신호 간섭)가 발생할 수 있다. 전기 접속용 커넥터에 크로스 토크가 발생할 경우, 전기 접속용 커넥터의 통전 여부가 제대로 측정되지 않을 수 있다. 크로스 토크가 발생할 경우, 전기 접속용 커넥터를 이용한 검사 방법의 신뢰도가 낮아질 수 있다. 본 개시의 실시예들은 이러한 문제를 해결한다.In a test using an RF signal, a plurality of conductive parts may electromagnetically interfere with each other. Cross talk (signal interference) may occur in the connector for electrical connection. If crosstalk occurs in the connector for electrical connection, whether the connector for electrical connection is energized may not be properly measured. When crosstalk occurs, the reliability of an inspection method using a connector for electrical connection may be lowered. Embodiments of the present disclosure solve this problem.

본 개시의 실시예들은 이러한 문제를 해결하여, 임피던스 값을 용이하게 매칭시키며 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적 연결을 제공할 수 있다.Embodiments of the present disclosure can solve this problem, easily match the impedance value and provide a stable electrical connection with the device under test.

본 개시의 실시예들은 도전부의 크기에 대해 더 많은 설계 마진을 제공할 수 있다.Embodiments of the present disclosure may provide a larger design margin for the size of the conductive part.

또한, 본 개시의 실시예들은 전기 접속용 커넥터의 복수의 도전부가 서로 전자기적으로 간섭되는 것을 방지할 수 있다.In addition, embodiments of the present disclosure may prevent a plurality of conductive parts of a connector for electrical connection from electromagnetically interfering with each other.

본 개시의 일 측면은 전기 접속용 커넥터의 실시예들을 제공한다.One aspect of the present disclosure provides embodiments of a connector for electrical connection.

일 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터는, 피검사 디바이스와 테스트 장비 사이에 배치되고 피검사 디바이스와 테스트 장비를 서로 전기적으로 연결시키도록 상하 방향으로 도전하는 전기 접속용 커넥터이며, 격자 패턴으로 배치된 복수의 격자 영역을 구획하며 상하 방향으로 연장하는 차폐부; 상기 격자 영역에서 상하 방향으로 연장하며 상기 격자 영역의 상단과 상기 격자 영역의 하단을 도전시키는 도전부; 및 상기 격자 영역에서 상기 도전부와 상기 차폐부를 절연하는 절연부를 포함한다.A connector for electrical connection according to an embodiment is a connector for electrical connection disposed between a device under test and a test equipment and conducting in a vertical direction to electrically connect the device under test and the test equipment to each other, and arranged in a grid pattern a shield that partitions a plurality of grid regions and extends in the vertical direction; a conductive part extending in a vertical direction from the grid area and conducting an upper end of the grid area and a lower end of the grid area; and an insulating part insulating the conductive part and the shielding part in the grid region.

상기 차폐부는 일 측으로 연장하고 상기 일 측을 가로지르는 타 측으로 서로 이격된 복수의 제1 차폐벽; 및 상기 타 측으로 연장하고 상기 일 측으로 서로 이격된 복수의 제2 차폐벽을 포함할 수 있다.The shielding portion may include a plurality of first shielding walls extending to one side and spaced apart from each other to the other side crossing the one side; and a plurality of second shielding walls extending to the other side and spaced apart from each other at the one side.

상기 차폐부는 상기 절연부의 상단으로부터 상기 절연부의 하단까지 상하 방향으로 연장할 수 있다.The shielding part may extend in a vertical direction from an upper end of the insulating part to a lower end of the insulating part.

상기 차폐부의 상하 방향 길이는 상기 도전부의 상하 방향 길이와 같거나 상기 도전부의 상하 방향 길이보다 클 수 있다.A vertical length of the shielding part may be the same as a vertical length of the conductive part or greater than a vertical length of the conductive part.

상기 차폐부는 금속 재료로 형성될 수 있다.The shield may be formed of a metallic material.

상기 차폐부는 상기 복수의 격자 영역 각각에 위치하는 상기 도전부로의 전자기적 간섭을 감소시키도록 횡방향에서 상기 도전부의 외면을 에워쌀 수 있다.The shielding portion may enclose an outer surface of the conductive portion in a lateral direction to reduce electromagnetic interference to the conductive portion located in each of the plurality of grating regions.

상기 격자 영역의 횡방향 단면은 직사각형 형상일 수 있다.A transverse cross-section of the grid region may have a rectangular shape.

상기 도전부는 도전성 입자와 도전성 와이어 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 도전성 입자와 도전성 와이어 중 적어도 하나는 실리콘 고무에 의해 유지되며, 상기 절연부는 상기 실리콘 고무와 동일한 재질일 수 있다.The conductive part may include at least one of conductive particles and a conductive wire, at least one of the conductive particles and the conductive wire may be held by a silicone rubber, and the insulating part may be made of the same material as the silicone rubber.

상기 도전부의 횡방향 단면의 직경 길이와 상기 격자 영역의 횡방향 단면의 단변 길이의 비율은 1:2 내지 1:5일 수 있다.A ratio of a diameter length of a transverse cross-section of the conductive part to a short-side length of a transverse cross-section of the grid region may be 1:2 to 1:5.

상기 도전부의 횡방향 단면의 직경 길이와 상기 격자 영역의 횡방향 단면의 대각선 길이의 비율은 1:4 내지 1:7일 수 있다.A ratio of a diameter length of a transverse cross-section of the conductive part to a diagonal length of a transverse cross-section of the grid region may be 1:4 to 1:7.

상기 차폐부는 구리, 알루미늄, 스테인리스강, 구리 합금, 알루미늄 합금 및 스테인리스강 합금 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 절연부는 실리콘 고무를 포함할 수 있다.The shielding part may include at least one of copper, aluminum, stainless steel, a copper alloy, an aluminum alloy, and a stainless steel alloy, and the insulating part may include silicon rubber.

상기 절연부는 다공성 폼 구조를 형성할 수 있다.The insulating portion may form a porous foam structure.

상기 도전부의 상단에 부착되는 상단 필름; 및 상기 도전부의 하단에 부착되는 하단 필름을 더 포함할 수 있다.an upper film attached to the upper end of the conductive part; and a lower film attached to the lower end of the conductive part.

상기 상단 필름은 상기 도전부의 상부와 전기적으로 연결되는 상단 패드를 포함하고, 상기 하단 필름은 상기 도전부의 하부와 전기적으로 연결되는 하단 패드를 포함하며, 상기 상단 패드, 상기 도전부 및 상기 하단 패드는 상하 방향으로 도전하는 도전 채널을 형성하고, 상기 도전 채널의 상하 방향 길이는 상기 차폐부의 상하 방향 길이보다 클 수 있다.The upper film includes an upper pad electrically connected to the upper part of the conductive part, the lower film includes a lower pad electrically connected to the lower part of the conductive part, and the upper pad, the conductive part and the lower pad include A vertical conductive channel may be formed, and a vertical length of the conductive channel may be greater than a vertical length of the shielding unit.

본 개시의 실시예들에 의하면, 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적인 연결이 제공될 수 있다.According to the embodiments of the present disclosure, a stable electrical connection with the device under test may be provided.

본 개시의 실시예들에 의하면, 전기 접속용 커넥터의 임피던스 값을 매칭하기 용이할 수 있다.According to embodiments of the present disclosure, it may be easy to match an impedance value of a connector for electrical connection.

본 개시의 실시예들에 의하면, 전기 접속용 커넥터의 도전부는 크기에 대한 설계 마진이 더 클 수 있다.According to embodiments of the present disclosure, a design margin for the size of the conductive portion of the connector for electrical connection may be larger.

본 개시의 실시예들에 의하면, 전기 접속용 커넥터의 복수의 도전부가 서로에 대하여 미칠 수 있는 전자기적 영향을 감소시킬 수 있다.According to the embodiments of the present disclosure, it is possible to reduce the electromagnetic influence that a plurality of conductive parts of the connector for electrical connection may have on each other.

도 1은 일 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터의 상하 방향 단면도이다.
도 2는 도 1의 'A' 방향에서 바라본 전기 접속용 커넥터의 평면도의 일 예시이다.
도 3은 도 1의 'A' 방향에서 바라본 전기 접속용 커넥터의 평면도의 다른 예시이다.
도 4는 도 3에 도시된 전기 접속용 커넥터의 일 부분의 사시도이다.
도 5는 도 4의 'B' 방향에서 바라본 전기 접속용 커넥터의 일 부분의 평면도이다.
도 6은 다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터의 일 부분의 사시도이다.
도 7은 또 다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터의 상하 방향 단면도이다.1 is a vertical cross-sectional view of a connector for electrical connection according to an embodiment.
FIG. 2 is an example of a plan view of a connector for electrical connection viewed from the 'A' direction of FIG. 1 .
FIG. 3 is another example of a plan view of a connector for electrical connection when viewed from the 'A' direction of FIG. 1 .
FIG. 4 is a perspective view of a portion of the connector for electrical connection shown in FIG. 3 .
FIG. 5 is a plan view of a portion of a connector for electrical connection when viewed from a direction 'B' of FIG. 4 .
6 is a perspective view of a portion of a connector for electrical connection according to another embodiment.
7 is a vertical cross-sectional view of a connector for electrical connection according to another embodiment.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.Embodiments of the present disclosure are exemplified for the purpose of explaining the technical spirit of the present disclosure. The scope of rights according to the present disclosure is not limited to the embodiments presented below or specific descriptions of these embodiments.

본 개시에서 '실시예'는 본 개시의 기술적 사상을 용이하게 설명하기 위한 임의의 구분으로서, 실시예 각각이 서로 배타적일 필요는 없다. 예를 들어, 일 실시예에 개시된 구성들은 다른 실시예에 적용 및 구현될 수 있으며, 본 개시의 범위를 벗어나지 않는 한도에서 변경되어 적용 및 구현될 수 있다.In the present disclosure, an 'embodiment' is an arbitrary division for easily explaining the technical idea of the present disclosure, and each of the embodiments is not necessarily mutually exclusive. For example, configurations disclosed in one embodiment may be applied and implemented in other embodiments, and may be changed and applied and implemented without departing from the scope of the present disclosure.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.All technical and scientific terms used in this disclosure, unless otherwise defined, have the meanings commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this disclosure belongs. All terms used in the present disclosure are selected for the purpose of more clearly describing the present disclosure and not to limit the scope of the present disclosure.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.As used in this disclosure, expressions such as "comprising", "including", "having", etc. are open-ended terms connoting the possibility of including other embodiments, unless otherwise stated in the phrase or sentence in which the expression is included. (open-ended terms).

본 개시에서 사용되는 해당 구성 "만으로 구성되는" 등과 같은 표현은, 해당 구성 외에 다른 구성을 포함할 가능성을 배제하는 폐쇄형 용어(closed-ended terms)로 이해되어야 한다.Expressions such as "consisting of only" a corresponding component used in the present disclosure should be understood as closed-ended terms excluding the possibility of including other components in addition to the corresponding component.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.Expressions in the singular in this disclosure may include the meaning of the plural unless otherwise stated, and the same applies to expressions in the singular in the claims.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.Expressions such as “first” and “second” used in the present disclosure are used to distinguish a plurality of components from each other, and do not limit the order or importance of the corresponding components.

본 개시에서 사용되는 "상측", "상" 등의 방향지시어는 전기 접속용 커넥터(100)를 기준으로 피검사 디바이스가 접촉되도록 설정된 방향을 의미하고, "하측", "하" 등의 방향지시어는 상측 방향의 반대 방향을 의미한다. 도 1을 참조하면 상측 방향은 "U"로 표시된 방향일 수 있으며, 하측 방향은 "D"로 표시된 방향일 수 있다. 또한, 본 개시에서 "횡방향"은 "상하 방향"을 가로지르는 방향을 의미한다. 이는 어디까지나 본 개시가 명확하게 이해될 수 있도록 설명하기 위한 기준이며, 기준을 어디에 두느냐에 따라 상측 및 하측을 다르게 정의할 수도 있음은 물론이다.Direction indicators such as “upper” and “upper” used in the present disclosure mean a direction set so that the device to be tested is in contact with the connector 100 for electrical connection, and direction indicators such as “lower” and “bottom” denotes a direction opposite to the upward direction. Referring to FIG. 1 , the upper direction may be a direction indicated by “U”, and the lower direction may be a direction indicated by “D”. Also, in the present disclosure, “transverse direction” means a direction transverse to “up-down direction”. This is a standard for explaining so that the present disclosure can be clearly understood to the last, and it goes without saying that the upper side and the lower side may be defined differently depending on where the standard is placed.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 개시의 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. In the accompanying drawings, the same or corresponding components are assigned the same reference numerals. In addition, in the description of the embodiments below, overlapping description of the same or corresponding components may be omitted. However, even if descriptions regarding components are omitted, it is not intended that such components are not included in any embodiment.

도 1은 일 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)의 상하 방향 단면도이다.1 is a vertical cross-sectional view of a connector 100 for electrical connection according to an embodiment.

일 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)는 피검사 디바이스와 테스트 장비 사이에 배치될 수 있다. 전기 접속용 커넥터(100)는 피검사 디바이스와 테스트 장비를 서로 전기적으로 연결시킬 수 있다. 전기 접속용 커넥터(100)는 상하 방향으로 도전하는 이방성일 수 있다.The connector 100 for electrical connection according to an embodiment may be disposed between the device under test and the test equipment. The electrical connection connector 100 may electrically connect the device under test and the test equipment to each other. The electrical connection connector 100 may be anisotropic that conducts in the vertical direction.

전기 접속용 커넥터(100)는 복수의 영역(115)을 구획하는 차폐부(110)를 포함할 수 있다. 차폐부(110)는 상하 방향으로 연장할 수 있다. 차폐부(110)는 상하 방향으로 연장하며 복수의 영역(115)을 구획할 수 있다.The electrical connection connector 100 may include a shielding part 110 partitioning a plurality of regions 115 . The shielding part 110 may extend in the vertical direction. The shielding part 110 may extend in the vertical direction and partition a plurality of regions 115 .

차폐부(110)에 의해 둘러싸이며 구획된 영역(115)은 편의를 위해 차폐부(110)와 소정 간격 이격된 것으로 도시될 수 있지만, 이에 제한되지 않고 영역(115)은 차폐부(110)의 내면과 접하는 영역일 수 있다. 복수의 영역(115)은 각각 분리될 수 있다. 복수의 영역(115)은 동일한 간격으로 이격될 수 있다. 복수의 영역(115)의 이격 거리는 차폐부(110)의 횡방향 두께일 수 있다. 복수의 영역(115)의 배치 및 이에 따른 전기 접속용 커넥터(100)의 형상은 이하에서 도 2 및 도 3을 참조한다.The region 115 surrounded and partitioned by the shielding part 110 may be illustrated as being spaced apart from the shielding part 110 by a predetermined distance for convenience, but is not limited thereto and the region 115 is the shielding part 110 . It may be an area in contact with the inner side. The plurality of regions 115 may be separated from each other. The plurality of regions 115 may be spaced apart from each other at the same interval. A distance between the plurality of regions 115 may be a lateral thickness of the shielding unit 110 . The arrangement of the plurality of regions 115 and the shape of the connector 100 for electrical connection according thereto will be described with reference to FIGS. 2 and 3 below.

전기 접속용 커넥터(100)는 전기 전도성의 도전부(120)를 포함할 수 있다. 도전부(120)는 영역(115)에서 상하 방향으로 연장하며 영역(115)의 상단과 영역(115)의 하단을 도전시킬 수 있다. 도전부(120)의 상단은 피검사 디바이스의 단자와 접촉할 수 있다. 도전부(120)의 하단은 테스트 장비의 단자와 접촉할 수 있다. 도전부(120)의 상단과 피검사 디바이스의 단자 사이에는 전기 전도성이 있는 구성, 예를 들어 탄성 도전체, 금속판 등이 추가로 배치될 수 있다. 이러한 구성은 테스트 장비와의 전기적 접촉을 추가적으로 개선할 수 있다. 도전부(120)의 하단과 테스트 장비의 단자 사이에는 전기 전도성이 있는 구성이 동일하거나 유사한 형태로 추가 배치될 수 있다.The electrical connection connector 100 may include an electrically conductive conductive part 120 . The conductive part 120 may extend vertically in the region 115 and may conduct an upper end of the region 115 and a lower end of the region 115 . The upper end of the conductive part 120 may be in contact with the terminal of the device under test. The lower end of the conductive part 120 may be in contact with a terminal of the test equipment. An electrically conductive component, for example, an elastic conductor, a metal plate, or the like, may be additionally disposed between the upper end of the conductive part 120 and the terminal of the device under test. This configuration may further improve electrical contact with the test equipment. An electrically conductive configuration may be additionally disposed between the lower end of the conductive part 120 and the terminal of the test equipment in the same or similar form.

도전부(120)는 복수의 영역(115)에 각각 배치될 수 있다. 복수의 영역(115)에 각각 배치된 복수의 도전부(120) 중 일부는 피검사 디바이스의 그라운드 단자와 접촉하는 그라운드 도전부일 수 있다. 그라운드 도전부는 피검사 디바이스에서 발생할 수 있는 누설 전류, 정전기 등을 전기 접속용 커넥터(100) 밖으로 내보낼 수 있다. 그라운드 도전부(120)는 누설 전류, 정전기 등을 전기 접속용 커넥터(100) 밖으로 내보내 전기 접속용 커넥터(100)에서 크로스 토크(crosstalk; 신호 간섭)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그라운드 도전부가 도전부 사이의 전자기적 간섭이나 크로스 토크를 제거할 수 있음은 물론이다.The conductive parts 120 may be respectively disposed in the plurality of regions 115 . Some of the plurality of conductive parts 120 respectively disposed in the plurality of regions 115 may be ground conductive parts in contact with the ground terminal of the device under test. The ground conductive part may transmit leakage current, static electricity, etc. that may occur in the device under test to the outside of the connector 100 for electrical connection. The ground conductive part 120 may prevent crosstalk (signal interference) from occurring in the electrical connection connector 100 by discharging leakage current, static electricity, and the like to the outside of the electrical connection connector 100 . It goes without saying that the ground conductive part can eliminate electromagnetic interference or crosstalk between the conductive parts.

전기 접속용 커넥터(100)는 영역(115)에서 도전부(120)와 차폐부(110)를 절연하는 절연부(130)를 포함할 수 있다. 절연부(130)는 절연성의 절연 물질을 포함할 수 있다. 절연부(130)는 영역(115)에서 도전부(120)와 차폐부(110) 사이에 채워질 수 있다. 절연부(130)는 횡방향에서 도전부(120)의 외면 및 차폐부(110)의 내면과 접촉할 수 있다.The electrical connection connector 100 may include an insulating part 130 that insulates the conductive part 120 and the shielding part 110 from the region 115 . The insulating part 130 may include an insulating insulating material. The insulating part 130 may be filled between the conductive part 120 and the shielding part 110 in the region 115 . The insulating part 130 may contact the outer surface of the conductive part 120 and the inner surface of the shielding part 110 in the lateral direction.

도 2는 도 1의 'A' 방향에서 바라본 전기 접속용 커넥터(100)의 평면도의 일 예시이다.FIG. 2 is an example of a plan view of the connector 100 for electrical connection viewed from the 'A' direction of FIG. 1 .

전기 접속용 커넥터(100)의 일 예시로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 차폐부(110)는 원통형의 영역(115)을 구획할 수 있다. 원통형의 영역(115)은 차폐부(110)에 의해 둘러 싸일 수 있다. 영역(115)이 원통형일 때 영역(115)은 원형 형상의 횡방향 단면을 가질 수 있다. 영역(115)에 배치된 도전부(120)의 횡방향 단면은 원형 형상일 수 있다.As an example of the connector 100 for electrical connection, as shown in FIG. 2 , the shielding part 110 may partition the cylindrical region 115 . The cylindrical region 115 may be surrounded by the shield 110 . When the region 115 is cylindrical, the region 115 may have a transverse cross-section of a circular shape. A transverse cross-section of the conductive part 120 disposed in the region 115 may have a circular shape.

영역(115)과 도전부(120)가 모두 원형 형상의 횡방향 단면을 가질 때, 도전부(120)와 차폐부(110)는 소정 거리 이격될 수 있다. 횡방향에서 도전부(120)의 외면과 차폐부(110)의 내면은 동일한 간격으로 이격될 수 있다. 도전부(120)의 외면과 차폐부(110)의 내면 사이의 거리는 도전부(120)의 외주를 따라 일정할 수 있다. 도전부(120)의 외면은 도전성 입자 및/또는 도전성 와이어가 배치된 가상의 경계면일 수 있다. 가상의 경계면은 도전성 입자 및/또는 도전성 와이어가 배치된 가상의 경계면의 평균 크기에 기초하여 정해질 수 있다.When both the region 115 and the conductive part 120 have a circular cross-section, the conductive part 120 and the shielding part 110 may be spaced apart from each other by a predetermined distance. In the transverse direction, the outer surface of the conductive part 120 and the inner surface of the shielding part 110 may be spaced apart from each other by the same distance. The distance between the outer surface of the conductive part 120 and the inner surface of the shielding part 110 may be constant along the outer periphery of the conductive part 120 . The outer surface of the conductive part 120 may be a virtual interface on which conductive particles and/or conductive wires are disposed. The virtual interface may be determined based on an average size of the virtual interface on which the conductive particles and/or the conductive wire are disposed.

전기 접속용 커넥터(100)는 도전부(120)와 차폐부(110) 사이에 도전부(120)와 차폐부(110)를 절연하는 절연부(130)를 포함할 수 있다. 절연부(130)의 횡방향 단면은 내부 공동이 형성된 실린더 형상일 수 있다. 절연부(130)의 횡방향 두께는 도전부(120)의 외주를 따라 일정할 수 있다. 절연부(130)의 횡방향 두께는 도전부(120)의 외면과 차폐부(110)의 내면 사이의 횡방향 거리일 수 있다. 절연부(130)는 횡방향에서 도전부(120)의 외면과 차폐부(110)의 내면과 접촉할 수 있다. 절연부(130)의 내면은 도전부(120)의 외면과 접촉하고 절연부(130)의 외면은 차폐부(110)의 내면과 접촉할 수 있다.The electrical connection connector 100 may include an insulating part 130 between the conductive part 120 and the shielding part 110 to insulate the conductive part 120 and the shielding part 110 . A transverse cross-section of the insulating part 130 may have a cylindrical shape in which an inner cavity is formed. The lateral thickness of the insulating part 130 may be constant along the outer periphery of the conductive part 120 . The lateral thickness of the insulating part 130 may be a lateral distance between the outer surface of the conductive part 120 and the inner surface of the shielding part 110 . The insulating part 130 may contact the outer surface of the conductive part 120 and the inner surface of the shielding part 110 in the lateral direction. The inner surface of the insulating part 130 may contact the outer surface of the conductive part 120 , and the outer surface of the insulating part 130 may contact the inner surface of the shielding part 110 .

도 3은 도 1의 'A' 방향에서 바라본 전기 접속용 커넥터(100)의 평면도의 다른 예시이다.FIG. 3 is another example of a plan view of the connector 100 for electrical connection viewed from the 'A' direction of FIG. 1 .

전기 접속용 커넥터(100)의 다른 예시로서, 도 3에 도시된 바와 같이, 차폐부(110)는 직사각 기둥(정사각 기둥을 포함한다)의 영역(115)을 구획할 수 있다. 격자 패턴을 가진 영역(115)은 격자 영역(115)이라 지칭될 수 있다. 직사각 기둥의 영역(115)은 차폐부(110)에 의해 둘러싸일 수 있다. 영역(115)은 직사각형(정사각형을 포함한다) 형상의 횡방향 단면을 가질 수 있다. 이때, 영역(115) 내부에 배치된 도전부(120)의 횡방향 단면은 원형 형상일 수 있다.As another example of the connector 100 for electrical connection, as shown in FIG. 3 , the shielding unit 110 may partition an area 115 of a rectangular pole (including a square pole). The region 115 having the grid pattern may be referred to as a grid region 115 . The region 115 of the rectangular pillar may be surrounded by the shielding unit 110 . Region 115 may have a transverse cross-section in the shape of a rectangle (including a square). In this case, the transverse cross-section of the conductive part 120 disposed inside the region 115 may have a circular shape.

차폐부(110)가 직사각 기둥의 영역(115)을 구획할 때, 차폐부(110)는 상하 방향으로 연장하는 벽을 포함할 수 있다. 차폐부(110)는 횡방향에서 일 측으로 연장하고, 일 측을 가로지르는 타 측으로 서로 이격된 복수의 제1 차폐벽(110a)을 포함할 수 있다. 차폐부(110)는 타 측으로 연장하고 일 측으로 서로 이격된 복수의 제2 차폐벽(110b)을 포함할 수 있다.When the shielding part 110 partitions the area 115 of the rectangular pillar, the shielding part 110 may include walls extending in the vertical direction. The shielding part 110 may include a plurality of first shielding walls 110a that extend to one side in the transverse direction and are spaced apart from each other to the other side crossing the one side. The shielding part 110 may include a plurality of second shielding walls 110b extending to the other side and spaced apart from each other on one side.

복수의 제1 차폐벽(110a)이 서로 이격되는 거리와, 복수의 제2 차폐벽(110b)이 서로 이격되는 거리는 동일할 수 있다. 복수의 제1 차폐벽(110a)과 복수의 제2 차폐벽(110b)은 서로를 가로지르도록 배치될 수 있다. 영역(115)은 복수의 제1 차폐벽(110a)과 복수의 제2 차폐벽(110b)에 의해 구획될 수 있다.A distance by which the plurality of first shielding walls 110a are spaced apart from each other may be the same as a distance by which the plurality of second shielding walls 110b are spaced apart from each other. The plurality of first shielding walls 110a and the plurality of second shielding walls 110b may be disposed to cross each other. The region 115 may be partitioned by a plurality of first shielding walls 110a and a plurality of second shielding walls 110b.

전기 접속용 커넥터(100)에서 영역(115)은 격자 패턴으로 배치될 수 있다. 영역(115)은 서로에 대하여 동일한 간격으로 배치될 수 있다. 영역(115)은 서로에 대하여 나란하게 배치될 수 있다.In the connector 100 for electrical connection, the regions 115 may be arranged in a grid pattern. Regions 115 may be spaced equally spaced from each other. Regions 115 may be arranged side by side with respect to each other.

영역(115)이 직사각형 형상의 횡방향 단면을 가질 때, 도전부(120)와 차폐부(110)는 사이의 거리는 도전부(120)의 외주를 따라 달라질 수 있다. 횡방향에서 도전부(120)의 외면과 차폐부(110)의 내면은 도전부(120)의 외주를 따라 서로 다른 간격으로 이격될 수 있다. 도전부(120)와 차폐부(110) 사이의 이격 간격의 변화에 따라 임피던스 값의 매칭이 보다 용이할 수 있다. 도전부(120)와 차폐부(110) 사이의 이격 간격의 변화에 따른 임피던스 값의 매칭은 도 5를 참조하여 이하에서 보다 상세히 살펴보도록 한다.When the region 115 has a rectangular cross section, a distance between the conductive part 120 and the shielding part 110 may vary along the outer periphery of the conductive part 120 . In the transverse direction, the outer surface of the conductive part 120 and the inner surface of the shielding part 110 may be spaced apart from each other at different intervals along the outer periphery of the conductive part 120 . According to a change in the spacing between the conductive part 120 and the shielding part 110 , matching of impedance values may be easier. Matching of impedance values according to a change in the spacing between the conductive part 120 and the shielding part 110 will be described in more detail below with reference to FIG. 5 .

전기 접속용 커넥터(100)는 도전부(120)와 차폐부(110) 사이에 도전부(120)와 차폐부(110)를 절연하는 절연부(130)를 포함할 수 있다. 절연부(130)의 횡방향 단면은 내부에 원형 공간이 형성된 직사각형 형상일 수 있다. 절연부(130)의 횡방향 두께는 도전부(120)의 외주를 따라 변경될 수 있다. 절연부(130)는 도전부(120)의 외면과 차폐부(110)의 내면과 접촉할 수 있다. 절연부(130)의 내면은 도전부(120)의 외면과 접촉하고 절연부(130)의 외면은 차폐부(110)의 내면과 접촉할 수 있다. 절연부(130)의 내면은 도전부(120)가 형성된 가상의 경계면인 도전부(120)의 외면과 접촉할 수 있다.The electrical connection connector 100 may include an insulating part 130 between the conductive part 120 and the shielding part 110 to insulate the conductive part 120 and the shielding part 110 . A transverse cross-section of the insulating part 130 may have a rectangular shape with a circular space formed therein. The lateral thickness of the insulating part 130 may be changed along the outer periphery of the conductive part 120 . The insulating part 130 may contact the outer surface of the conductive part 120 and the inner surface of the shielding part 110 . The inner surface of the insulating part 130 may contact the outer surface of the conductive part 120 , and the outer surface of the insulating part 130 may contact the inner surface of the shielding part 110 . The inner surface of the insulating part 130 may be in contact with the outer surface of the conductive part 120 , which is an imaginary interface on which the conductive part 120 is formed.

도 4는 도 3에 도시된 전기 접속용 커넥터(100)의 일 부분의 사시도이다.FIG. 4 is a perspective view of a portion of the connector 100 for electrical connection shown in FIG. 3 .

도 4에 도시된 전기 접속용 커넥터(100)의 일 부분은 전기 접속용 커넥터(100)의 상측과 전기 접속용 커넥터(100)의 하측을 도전시키는 전기 접속용 커넥터(100)의 일 단위 구성일 수 있다.A portion of the connector 100 for electrical connection shown in FIG. 4 is one unit configuration of the connector 100 for electrical connection that conducts the upper side of the connector 100 for electrical connection and the lower side of the connector 100 for electrical connection can

전기 접속용 커넥터(100)의 차폐부(110)는 금속 재료로 형성될 수 있다. 금속 재료는 예를 들어, 구리, 알루미늄, 스테인리스 강, 구리 합금, 알루미늄 합금 및 스테인리스 강 합금 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 금속 재료로 형성된 차폐부(110)는 횡방향에서 복수의 영역(115) 각각에 위치하는 도전부(120)의 외면을 에워쌀 수 있다.The shielding part 110 of the connector 100 for electrical connection may be formed of a metal material. The metallic material may include, for example, at least one of copper, aluminum, stainless steel, a copper alloy, an aluminum alloy, and a stainless steel alloy. The shielding part 110 formed of a metal material may surround the outer surface of the conductive part 120 positioned in each of the plurality of regions 115 in the lateral direction.

복수의 영역(115) 각각에 위치하는 복수의 도전부(120)는 서로에 대해 전자기적으로 영향을 미칠 수 있다. 금속 재료로 형성된 차폐부(110)는 복수의 도전부(120) 각각의 외면을 횡방향에서 에워싸 도전부(120) 각각에 발생할 수 있는 전자기적 영향을 감소시킬 수 있다. 차폐부(110)는 접지되어 전자기적인 간섭을 감소시키는 영역을 형성할 수 있다.The plurality of conductive parts 120 positioned in each of the plurality of regions 115 may electromagnetically affect each other. The shielding part 110 formed of a metal material may reduce electromagnetic effects that may be generated on each of the conductive parts 120 by enclosing the outer surface of each of the plurality of conductive parts 120 in the transverse direction. The shielding unit 110 may be grounded to form a region that reduces electromagnetic interference.

차폐부(110)는 도전부(120)의 외면을 횡방향에서 에워싸 도전부(120)로의 전자기적 간섭을 감소시킬 수 있다. 도전부(120)는 차폐부(110)에 의해 전자기적으로 일정 비율 차폐될 수 있다. 차폐부(110)가 도전부(120)로의 전자기적 간섭을 감소시킴에 따라 전기 접속용 커넥터(100)에 전자기적 노이즈와 같은 크로스 토크가 발생하는 것이 방지될 수 있다. 이에 따라, 전기 접속용 커넥터(100)를 이용한 검사 방법의 신뢰도가 향상될 수 있다.The shielding part 110 may reduce electromagnetic interference to the conductive part 120 by enclosing the outer surface of the conductive part 120 in the transverse direction. The conductive part 120 may be electromagnetically shielded at a certain rate by the shielding part 110 . As the shielding part 110 reduces electromagnetic interference to the conductive part 120 , it is possible to prevent crosstalk such as electromagnetic noise from occurring in the electrical connection connector 100 . Accordingly, the reliability of the inspection method using the connector 100 for electrical connection can be improved.

전기 접속용 커넥터(100)의 도전부(120)는 도전성 입자 및/또는 도전성 와이어(121)를 포함할 수 있다. 도전부(120)는 도전성 입자 및/또는 도전성 와이어(121)를 유지시키는 유지부(122)를 포함할 수 있다. 유지부(122)는 실리콘 고무를 포함할 수 있다. 도전부(120)가 유지부(122)로서 실리콘 고무를 포함함에 따라, 탄성을 가질 수 있다.The conductive part 120 of the electrical connection connector 100 may include conductive particles and/or a conductive wire 121 . The conductive part 120 may include a holding part 122 for holding the conductive particles and/or the conductive wire 121 . The holding part 122 may include silicone rubber. As the conductive part 120 includes silicone rubber as the holding part 122 , it may have elasticity.

전기 접속용 커넥터(100)의 절연부(130)는 실리콘 고무와 동일한 재질일 수 있다. 전기 접속용 커넥터(100)의 절연부(130)는 절연 물질을 포함할 수 있다. 절연부(130)는 절연 물질로서 실리콘 고무를 포함할 수 있다. 절연부(130)의 절연 물질은 도전성 입자 및/또는 도전성 와이어(121)를 유지하는 도전부(120)의 유지부(122)와 동일한 재질일 수 있다. 절연부(130)가 절연 물질로서 실리콘 고무를 포함함에 따라 절연부(130)가 탄성을 가질 수 있다.The insulating part 130 of the electrical connection connector 100 may be made of the same material as the silicone rubber. The insulating part 130 of the electrical connection connector 100 may include an insulating material. The insulating part 130 may include silicone rubber as an insulating material. The insulating material of the insulating part 130 may be the same material as the holding part 122 of the conductive part 120 holding the conductive particles and/or the conductive wire 121 . As the insulating part 130 includes silicon rubber as an insulating material, the insulating part 130 may have elasticity.

전기 접속용 커넥터(100)의 차폐부(110)는 절연부(130)의 상단으로부터 절연부(130)의 하단까지 연장할 수 있다. 차폐부(110)의 상단은 절연부(130)의 상단과 같은 높이에 위치할 수 있다. 차폐부(110)의 하단은 절연부(130)의 하단과 같은 높이에 위치할 수 있다. 차폐부(110)는 횡방향에서 절연부(130)의 외면과 접촉하며 절연부(130)의 상하 방향 전체에 대해 연장할 수 있다.The shielding part 110 of the electrical connection connector 100 may extend from an upper end of the insulating part 130 to a lower end of the insulating part 130 . The upper end of the shielding unit 110 may be positioned at the same height as the upper end of the insulating unit 130 . The lower end of the shielding unit 110 may be positioned at the same height as the lower end of the insulating unit 130 . The shielding part 110 may contact the outer surface of the insulating part 130 in the lateral direction and may extend with respect to the entire vertical direction of the insulating part 130 .

차폐부(110)의 상하 방향 길이는 도전부(120)의 상하 방향 길이와 같을 수 있다. 도전부(120)가 절연부(130)의 상단으로부터 절연부(130)의 하단까지 연장할 때 차폐부(110)는 절연부(130)의 상단으로부터 절연부(130)의 하단까지 연장할 수 있다. 여기서, 도전부(120)의 상하 방향 길이와 차폐부(110)의 상하 방향 길이는 동일할 수 있다.The vertical length of the shielding part 110 may be the same as the vertical length of the conductive part 120 . When the conductive part 120 extends from the upper end of the insulating part 130 to the lower end of the insulating part 130 , the shielding part 110 may extend from the upper end of the insulating part 130 to the lower end of the insulating part 130 . there is. Here, the vertical length of the conductive part 120 and the vertical length of the shielding part 110 may be the same.

차폐부(110)의 상하 방향 길이는 도전부(120)의 상하 방향 길이보다 클 수 있다. 도전부(120)는 절연부(130)의 상하 방향 길이의 일 부분만큼 연장할 수 있다. 예를 들어, 도전부(120)는 절연부(130)의 상하 방향 길이의 0.2 배 내지 0.8 배만큼 연장할 수 있다. 차폐부(110)는 절연부(130)의 상단으로부터 절연부(130)의 하단까지 연장할 수 있다. 여기서, 차폐부(110)의 상하 방향 길이는 도전부(120)의 상하 방향 길이보다 클 수 있다.A vertical length of the shielding part 110 may be greater than a vertical length of the conductive part 120 . The conductive part 120 may extend by a portion of the vertical length of the insulating part 130 . For example, the conductive part 120 may extend by 0.2 to 0.8 times the vertical length of the insulating part 130 . The shielding unit 110 may extend from an upper end of the insulating unit 130 to a lower end of the insulating unit 130 . Here, the vertical length of the shielding part 110 may be greater than the vertical length of the conductive part 120 .

차폐부(110)의 상하 방향 길이가 도전부(120)의 상하 방향 길이와 같거나, 도전부(120)의 상하 방향 길이보다 더 클 수 있음에 따라, 차폐부(110)는 횡방향에서 도전부(120)를 상하 방향 길이 전체에 대하여 감쌀 수 있다.As the vertical length of the shielding part 110 may be the same as the vertical length of the conductive part 120 or greater than the vertical length of the conductive part 120 , the shielding part 110 conducts in the lateral direction. The part 120 may be wrapped with respect to the entire length in the vertical direction.

도 5는 도 4의 'B' 방향에서 바라본 전기 접속용 커넥터(100)의 일 부분의 평면도이다. 도 5를 참조하여 전기 접속용 커넥터(100)의 임피던스 값의 매칭에 대해 보다 상세히 개시한다.5 is a plan view of a portion of the connector 100 for electrical connection viewed from the 'B' direction of FIG. With reference to FIG. 5, the matching of the impedance value of the connector 100 for electrical connection is disclosed in more detail.

전기 접속용 커넥터(100)가 고주파 신호인 RF(Radio Frequency) 신호를 이용한 검사 방법에 사용될 때, 전력 전송 효율을 상승시키고 신호 파형 왜곡의 감소를 위해, RF 신호의 주파수 영역에 따라 전기 접속용 커넥터(100)의 임피던스 값을 매칭시킬 필요가 있다. 전기 접속용 커넥터(100)의 임피던스 값은 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 일 구성인 영역(115)의 임피던스 값에 기초할 수 있다.When the connector 100 for electrical connection is used in an inspection method using a radio frequency (RF) signal, which is a high-frequency signal, in order to increase power transmission efficiency and reduce signal waveform distortion, the connector for electrical connection according to the frequency range of the RF signal It is necessary to match the impedance value of (100). The impedance value of the connector 100 for electrical connection may be based on the impedance value of the region 115 that is a component in contact with the terminal of the device under test.

전기 접속용 커넥터(100)는 임피던스 값을 매칭시킴과 동시에 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적 연결을 제공할 필요가 있다. 전기 접속용 커넥터(100)가 접촉하는 피검사 디바이스는 기 설계된 단자 사이의 거리인 피치(pitch)에 따라 단자의 크기가 다를 수 있다. 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적 연결을 위해 전기 접속용 커넥터(100)는 피검사 디바이스의 단자의 크기에 대응되는 크기의 도전부(120)를 가질 필요가 있다.The connector 100 for electrical connection needs to match impedance values and at the same time provide a stable electrical connection with the device under test. The size of the terminal of the device to be inspected to which the connector for electrical connection 100 is in contact may have a different size according to a pitch that is a distance between the terminals designed in advance. For stable electrical connection with the device under test, the connector 100 for electrical connection needs to have a conductive portion 120 having a size corresponding to the size of the terminal of the device under test.

도 5를 참조하면, 도전부(120)의 횡방향 단면의 직경 길이는 a일 수 있다. 도전부(120)의 횡방향 단면의 직경은 도전부(120)의 도전성 입자 및/또는 도전성 와이어(121; 도 4 참조)가 배치된 가상의 경계면인 도전부(120)의 외면을 기준으로 측정되는 직경 길이의 평균일 수 있다.Referring to FIG. 5 , the diameter length of the transverse cross-section of the conductive part 120 may be a. The diameter of the transverse section of the conductive part 120 is measured based on the outer surface of the conductive part 120, which is an imaginary interface on which the conductive particles and/or the conductive wire 121 (refer to FIG. 4) of the conductive part 120 are disposed. It may be an average of the lengths of the diameters.

영역(115)의 횡방향 단면은 직사각형 형상일 수 있다. 예를 들어, 영역(115)의 횡방향 단면의 형상은 정사각형일 수 있다. 영역(115)의 횡방향 단면의 단변 길이는 b1일 수 있다. 영역(115)의 횡방향 단면의 대각선 길이는 b2일 수 있다. 대각선은 영역(115)의 횡방향 단면에서 서로 이웃하지 않는 두 꼭지점을 잇는 선일 수 있다. 영역(115)이 정사각형일 때, 영역(115)의 횡방향 단면의 4개의 변의 길이는 동일하므로 영역상기 단변 길이는 상기 4개의 변 중 임의의 하나의 변의 길이를 의미한다.The transverse cross-section of region 115 may be rectangular in shape. For example, the shape of the transverse cross-section of the region 115 may be square. A short side length of the transverse section of the region 115 may be b1. The diagonal length of the transverse cross-section of the region 115 may be b2. The diagonal line may be a line connecting two vertices that are not adjacent to each other in the transverse section of the region 115 . When the region 115 is square, the lengths of four sides of the transverse section of the region 115 are the same, so the length of the short side of the region means the length of any one of the four sides.

전기 접속용 커넥터(100)에서 영역(115)의 임피던스 값은 다음의 수식에 의해 구해질 수 있다.The impedance value of the region 115 in the electrical connection connector 100 may be obtained by the following equation.

Figure pat00001
Figure pat00001

수학식 1에서 a는 횡방향 단면에서 도전부(120)의 직경 길이일 수 있으며, b는 횡방향 단면에서 도전부(120)를 감싸는 부분, 즉 절연부(130)가 채워진 영역(115)의 평균 변 길이일 수 있다. 또한, 수학식 1에서 ε은 유전율(permittivity; εγ은 유전 상수), μ는 투과율(permeability), L은 유도용량(inductance), C는 전기용량(capacitance)일 수 있다.In Equation 1, a may be the diameter length of the conductive part 120 in the transverse section, and b is the portion surrounding the conductive part 120 in the transverse section, that is, the region 115 filled with the insulating part 130 . It may be an average side length. Also, in Equation 1, ε may be a permittivity (ε γ is a dielectric constant), μ may be a transmittance, L may be an inductance, and C may be a capacitance.

이하에서는 영역(115)이 원형 형상의 단면을 가질 경우와 영역(115)이 직사각형 형상의 단면을 가질 경우를 비교하여 본다.Hereinafter, a case in which the region 115 has a circular cross-section and a case in which the region 115 has a rectangular cross-section will be compared.

도 2를 참조하면, 영역(115)이 원형 형상의 단면을 가질 경우, 영역(115)의 평균 변 길이 b는 영역(115)의 직경일 수 있다.Referring to FIG. 2 , when the region 115 has a circular cross-section, the average side length b of the region 115 may be the diameter of the region 115 .

도 2에 도시된 바와 같이, 도전부(120)에서 차폐부(110)까지의 거리가 도전부(120)의 외주를 따라 동일하다. 따라서 영역(115)의 평균 변 길이 b가 정해지면, 임피던스 값을 매칭시키기 위한 도전부(120)의 직경 길이 a 또한 b에 따라 정해질 수 있다.As shown in FIG. 2 , the distance from the conductive part 120 to the shielding part 110 is the same along the outer periphery of the conductive part 120 . Accordingly, when the average side length b of the region 115 is determined, the diameter length a of the conductive part 120 for matching the impedance value may also be determined according to b.

피검사 디바이스와의 안정적인 전기적 연결을 위해 전기 접속용 커넥터(100)는 피검사 디바이스의 단자의 크기에 대응되는 도전부(120)의 크기를 가질 필요가 있다. 임피던스 값 Z0가 정해졌을 때, 도전부(120)의 직경 길이 a는 영역(115)의 평균 변 길이(영역(115)의 원형 단면의 직경) b에 따라 정해진다. 이에 따라, 도전부(120)의 직경을 변경할 수 있는 설계 마진이 줄어들 수 있어, 도전부(120)의 직경을 크게 하는데 어려움이 있을 수 있다. 따라서, 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적 연결이 어려울 수 있다.For stable electrical connection with the device under test, the connector 100 for electrical connection needs to have a size of the conductive part 120 corresponding to the size of the terminal of the device under test. When the impedance value Z 0 is determined, the diameter length a of the conductive portion 120 is determined according to the average side length (diameter of the circular cross-section of the region 115 ) b of the region 115 . Accordingly, a design margin for changing the diameter of the conductive part 120 may be reduced, and it may be difficult to increase the diameter of the conductive part 120 . Therefore, it may be difficult to make a stable electrical connection with the device under test.

도 3을 참조하면, 영역(115)이 직사각형 형상의 단면을 가질 경우, 영역(115)의 평균 변 결이 b는 영역(115)의 단변 길이, 장변 길이 및 대각선 길이에 기초하여 구해질 수 있다.Referring to FIG. 3 , when the region 115 has a rectangular cross-section, the average length b of the region 115 may be obtained based on the short side length, the long side length, and the diagonal length of the region 115 . .

도 5에 도시된 바와 같이, 도전부(120)에서 차폐부(110)까지의 거리는 도전부(120)의 외주를 따라 변경될 수 있다. 영역(115)의 횡방향 단면의 단변 길이는 b1일 수 있고, 영역(115)의 횡방향 단면의 대각선 길이는 b2일 수 있다. 영역(115)의 평균 변 길이 b는 도 5에 도시된 b1과 b2 사이의 값으로 정해질 수 있다. 영역(115)의 횡방향 단면의 대각선 길이 b2는 단변 길이 b1보다 길다. 따라서, 영역(115)의 평균 변 길이 b는 단변 길이 b1보다 클 수 있다.5 , the distance from the conductive part 120 to the shielding part 110 may be changed along the outer periphery of the conductive part 120 . A short side length of the transverse cross-section of the region 115 may be b1 , and a diagonal length of the transverse cross-section of the region 115 may be b2 . The average side length b of the region 115 may be determined as a value between b1 and b2 illustrated in FIG. 5 . The diagonal length b2 of the transverse section of the region 115 is longer than the short side length b1. Accordingly, the average side length b of the region 115 may be greater than the short side length b1 .

종합하면, 영역(115)이 정사각형 형상의 단면을 가지면, 영역(115)이 원형 형상의 단면을 가지는 경우보다 더 큰 영역(115)의 평균 변 길이 b를 가질 수 있다. 따라서, 임피던스 값을 매칭시키기 위한 도전부(120)의 직경 a가 더 커질 수 있다.In summary, when the region 115 has a square-shaped cross-section, the average side length b of the region 115 may be larger than when the region 115 has a circular-shaped cross-section. Accordingly, the diameter a of the conductive part 120 for matching the impedance values may be increased.

피검사 디바이스와의 안정적인 전기적 연결을 위해 전기 접속용 커넥터(100)는 피검사 디바이스의 단자의 크기에 대응되는 도전부(120)의 크기를 가질 필요가 있다. 영역(115)이 직사각형 형상의 단면을 가지는 경우, 평균 변 길이 b가 상대적으로 커질 수 있으므로, 설계 임피던스 Zo가 설정되기 위한 도전부(120)의 직경 a도 더 커질 수 있다. 이에 따라, 피검사 디바이스와의 안정적인 전기 연결이 제공될 수 있다. 또한, 전기 접속용 커넥터(100)의 설계 마진이 더 클 수 있다.For stable electrical connection with the device under test, the connector 100 for electrical connection needs to have a size of the conductive part 120 corresponding to the size of the terminal of the device under test. When the region 115 has a rectangular cross-section, since the average side length b may be relatively large, the diameter a of the conductive part 120 for which the design impedance Zo is set may also be increased. Accordingly, a stable electrical connection with the device under test can be provided. In addition, the design margin of the connector 100 for electrical connection may be larger.

전기 접속용 커넥터(100)의 적정 임피던스 값 Z0가 기 결정될 때, 도전부(120)의 횡방향 단면의 직경 길이 a와 영역(115)의 횡방향 단면의 단변 길이 b1의 비율은 1:2 내지 1:5일 수 있다.When the appropriate impedance value Z 0 of the connector 100 for electrical connection is predetermined, the ratio of the diameter length a of the transverse section of the conductive part 120 to the short side length b1 of the transverse section of the region 115 is 1:2 to 1:5.

전기 접속용 커넥터(100)의 적정 임피던스 값 Z0가 기 결정될 때, 도전부(120)의 횡방향 단면의 직경 길이 a와 영역(115)의 횡방향 단면의 대각선 길이 b2의 비율은 1:4 내지 1:7일 수 있다.When the appropriate impedance value Z 0 of the electrical connection connector 100 is predetermined, the ratio of the diameter length a of the transverse section of the conductive part 120 to the diagonal length b2 of the transverse section of the region 115 is 1:4 to 1:7.

도 6은 다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)의 일 부분의 사시도이다.6 is a perspective view of a portion of a connector 100 for electrical connection according to another embodiment.

다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)는 일 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)의 구성 요소를 동일하게 포함할 수 있다. 도면에서 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 의미할 수 있다.The connector 100 for electrical connection according to another embodiment may include the same components of the connector 100 for electrical connection according to the embodiment. In the drawings, the same reference numerals may refer to the same components.

다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)에서 절연부(130)는 다공성 폼 구조를 형성할 수 있다. 절연부(130)의 다공성 폼 구조에는 복수의 기공이 형성될 수 있다. 절연부(130)가 다공성 폼 구조를 형성함에 따라 절연부(130)의 유전율(誘電率; permittivity)이 낮아질 수 있다. 절연부(130)의 유전율이 낮아질 경우 전기 접속용 커넥터(100)의 복수의 도전부(120)가 서로 전자기적으로 간섭되는 것이 보다 효과적으로 방지될 수 있다. 절연부(130)가 다공성 폼 구조를 형성함에 따라 절연부(130)는 탄성을 가질 수 있다.In the connector 100 for electrical connection according to another embodiment, the insulating part 130 may form a porous foam structure. A plurality of pores may be formed in the porous foam structure of the insulating part 130 . As the insulating part 130 forms a porous foam structure, the dielectric constant of the insulating part 130 may be lowered. When the dielectric constant of the insulating part 130 is lowered, electromagnetic interference between the plurality of conductive parts 120 of the connector 100 for electrical connection can be more effectively prevented. As the insulating part 130 forms a porous foam structure, the insulating part 130 may have elasticity.

도 7은 또 다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)의 상하 방향 단면도이다.7 is a vertical cross-sectional view of the connector 100 for electrical connection according to another embodiment.

또 다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)는 도전부(120)의 상단에 부착되는 상단 필름(140)을 포함할 수 있다. 상단 필름(140)은 도전부(120)의 상부와 전기적으로 연결되는 상단 패드(141)를 포함할 수 있다. 상단 필름(140)은 도전부(120)의 상부와 접촉할 수 있다. 상단 패드(141)는 도전부(120)의 형상 및 크기와 대응되는 형상 및 크기를 가질 수 있다. 상단 패드(141)는 전기 전도성일 수 있다. 상단 패드(141)는 도전성 입자를 포함할 수 있다. 상단 필름(140)은 상단 패드(141)를 유지하는 상단 유지 시트(142)를 포함할 수 있다. 상단 유지 시트(142)는 실리콘, 실리콘 고무 및 합성 수지(예를 들어 폴리이미드) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 유지 시트(142)는 필름 형상으로서 실리콘, 실리콘 고무 및 합성 수지를 포함할 수 있다.The connector 100 for electrical connection according to another embodiment may include an upper film 140 attached to the upper end of the conductive part 120 . The upper film 140 may include an upper pad 141 electrically connected to the upper portion of the conductive part 120 . The upper film 140 may be in contact with the upper portion of the conductive part 120 . The upper pad 141 may have a shape and size corresponding to the shape and size of the conductive part 120 . The top pad 141 may be electrically conductive. The upper pad 141 may include conductive particles. The top film 140 may include a top retention sheet 142 that holds the top pad 141 . The upper holding sheet 142 may include at least one of silicone, silicone rubber, and synthetic resin (eg, polyimide). The holding sheet 142 may have a film shape and may include silicone, silicone rubber, and synthetic resin.

또 다른 실시예에 따른 전기 접속용 커넥터(100)는 도전부(120)의 하단에 부착되는 하단 필름(150)을 포함할 수 있다. 하단 필름(150)은 도전부(120)의 상부와 전기적으로 연결되는 하단 패드(151)를 포함할 수 있다. 하단 필름(150)은 도전부(120)의 상부와 접촉할 수 있다. 하단 패드(151)는 도전부(120)의 형상 및 크기와 대응되는 형상 및 크기를 가질 수 있다. 하단 패드(151)는 전기 전도성일 수 있다. 하단 패드(151)는 도전성 입자를 포함할 수 있다. 하단 필름(150)은 하단 패드(151)를 유지하는 하단 유지 시트(152)를 포함할 수 있다. 하단 유지 시트(152)는 실리콘, 실리콘 고무 및 합성 수지(예를 들어 폴리이미드) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The connector 100 for electrical connection according to another embodiment may include a lower film 150 attached to the lower end of the conductive part 120 . The lower film 150 may include a lower pad 151 electrically connected to the upper portion of the conductive part 120 . The lower film 150 may be in contact with the upper portion of the conductive part 120 . The lower pad 151 may have a shape and size corresponding to the shape and size of the conductive part 120 . The bottom pad 151 may be electrically conductive. The lower pad 151 may include conductive particles. The lower film 150 may include a lower retaining sheet 152 for holding the lower pad 151 . The lower holding sheet 152 may include at least one of silicone, silicone rubber, and synthetic resin (eg, polyimide).

상단 패드(141), 도전부(120) 및 하단 패드(151)는 상하 방향으로 도전하는 도전 채널(160)을 형성할 수 있다. 전기 접속용 커넥터(100)의 상단과 전기 접속용 커넥터(100)의 하단은 도전 채널(160)을 통하여 전도될 수 있다.The upper pad 141 , the conductive part 120 , and the lower pad 151 may form a conductive channel 160 conducting in the vertical direction. The upper end of the connector 100 for electrical connection and the lower end of the connector 100 for electrical connection may be conductive through the conductive channel 160 .

도전부(120)의 상하 방향 길이는 차폐부(110)의 상하 방향 길이와 같거나, 차폐부(110)의 상하 방향 길이보다 작을 수 있다. 상단 패드(141), 도전부(120) 및 하단 패드(151)를 포함하는 도전 채널(160)의 상하 방향 길이는 차폐부(110)의 상하 방향 길이보다 클 수 있다.The vertical length of the conductive part 120 may be the same as the vertical length of the shielding part 110 or may be smaller than the vertical length of the shielding part 110 . The vertical length of the conductive channel 160 including the upper pad 141 , the conductive part 120 , and the lower pad 151 may be greater than the vertical length of the shielding part 110 .

실시예들은 피검사 디바이스와의 안정적인 전기적인 연결이 제공하는 전기 접속용 커넥터(100)를 제공한다. 본 개시의 실시예들에 의하면, 전기 접속용 커넥터(100)의 임피던스 값을 매칭하기 용이할 수 있다. 또한, 본 개시의 실시예들에 의하면, 전기 접속용 커넥터(100)의 복수의 도전부(120)가 서로에 대하여 미칠 수 있는 전자기적 영향을 감소시킬 수 있다.Embodiments provide a connector 100 for electrical connection provided by a stable electrical connection with a device under test. According to embodiments of the present disclosure, it may be easy to match the impedance value of the connector 100 for electrical connection. In addition, according to embodiments of the present disclosure, it is possible to reduce the electromagnetic influence that the plurality of conductive parts 120 of the connector 100 for electrical connection may have on each other.

이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.Although the technical spirit of the present disclosure has been described by the examples shown in some embodiments and the accompanying drawings, it does not depart from the technical spirit and scope of the present disclosure that can be understood by those of ordinary skill in the art to which the present disclosure belongs It should be understood that various substitutions, modifications, and alterations within the scope may be made. Further, such substitutions, modifications, and alterations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 전기 접속용 커넥터, 110: 차폐부, 110a: 제1 차폐벽, 110b: 제2 차폐벽, 115: 영역, 120: 도전부: 121: 도전성 입자 및/또는 도전성 와이어, 130: 절연부, 140: 상단 필름, 141: 상단 패드, 142: 상단 유지 시트, 150: 하단 필름, 151: 하단 패드, 152: 하단 유지 시트, 160: 도전 채널100: connector for electrical connection, 110: shielding part, 110a: first shielding wall, 110b: second shielding wall, 115: region, 120: conductive part: 121: conductive particles and/or conductive wire, 130: insulating part; 140: upper film, 141: upper pad, 142: upper retaining sheet, 150: lower film, 151: lower pad, 152: lower retaining sheet, 160: conductive channel

Claims (14)

피검사 디바이스와 테스트 장비 사이에 배치되고 피검사 디바이스와 테스트 장비를 서로 전기적으로 연결시키도록 상하 방향으로 도전하는 전기 접속용 커넥터이며,
격자 패턴으로 배치된 복수의 격자 영역을 구획하며 상하 방향으로 연장하는 차폐부;
상기 격자 영역에서 상하 방향으로 연장하며 상기 격자 영역의 상단과 상기 격자 영역의 하단을 도전시키는 도전부; 및
상기 격자 영역에서 상기 도전부와 상기 차폐부를 절연하는 절연부를 포함하는,
전기 접속용 커넥터.It is a connector for electrical connection disposed between the device under test and the test equipment and conducting in the vertical direction to electrically connect the device under test and the test equipment to each other,
a shielding unit partitioning a plurality of grid regions arranged in a grid pattern and extending in a vertical direction;
a conductive part extending in a vertical direction from the grid area and conducting an upper end of the grid area and a lower end of the grid area; and
and an insulating part insulating the conductive part and the shielding part in the grid region,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 차폐부는 일 측으로 연장하고 상기 일 측을 가로지르는 타 측으로 서로 이격된 복수의 제1 차폐벽; 및
상기 타 측으로 연장하고 상기 일 측으로 서로 이격된 복수의 제2 차폐벽을 포함하는,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The shielding portion may include a plurality of first shielding walls extending to one side and spaced apart from each other to the other side crossing the one side; and
and a plurality of second shielding walls extending to the other side and spaced apart from each other on the one side,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 차폐부는 상기 절연부의 상단으로부터 상기 절연부의 하단까지 상하 방향으로 연장하는,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The shielding portion extends in a vertical direction from an upper end of the insulating portion to a lower end of the insulating portion,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 차폐부의 상하 방향 길이는 상기 도전부의 상하 방향 길이와 같거나 상기 도전부의 상하 방향 길이보다 큰,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The vertical length of the shield is equal to the vertical length of the conductive part or greater than the vertical length of the conductive part,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 차폐부는 금속 재료로 형성되는,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The shield is formed of a metal material,
Connector for electrical connection. 제5항에 있어서,
상기 차폐부는 상기 복수의 격자 영역 각각에 위치하는 상기 도전부로의 전자기적 간섭을 감소시키도록 횡방향에서 상기 도전부의 외면을 에워싸는,
전기 접속용 커넥터.6. The method of claim 5,
wherein the shield encloses an outer surface of the conductive portion in a transverse direction to reduce electromagnetic interference to the conductive portion located in each of the plurality of grating regions;
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 격자 영역의 횡방향 단면은 직사각형 형상인,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The transverse cross-section of the grid region is rectangular in shape,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 도전부는 도전성 입자와 도전성 와이어 중 적어도 하나를 포함하고,
상기 도전성 입자와 도전성 와이어 중 적어도 하나는 실리콘 고무에 의해 유지되며,
상기 절연부는 상기 실리콘 고무와 동일한 재질인,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The conductive part includes at least one of conductive particles and a conductive wire,
At least one of the conductive particles and the conductive wire is held by silicone rubber,
The insulating part is made of the same material as the silicone rubber,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 도전부의 횡방향 단면의 직경 길이와 상기 격자 영역의 횡방향 단면의 단변 길이의 비율은 1:2 내지 1:5인,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The ratio of the diameter length of the transverse cross-section of the conductive part to the short-side length of the transverse cross-section of the grid region is 1:2 to 1:5,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 도전부의 횡방향 단면의 직경 길이와 상기 격자 영역의 횡방향 단면의 대각선 길이의 비율은 1:4 내지 1:7인,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
A ratio of a diameter length of a transverse cross-section of the conductive portion to a diagonal length of a transverse cross-section of the grid region is 1:4 to 1:7,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 차폐부는 구리, 알루미늄, 스테인리스강, 구리 합금, 알루미늄 합금 및 스테인리스 강 합금 중 적어도 하나를 포함하고,
상기 절연부는 실리콘 고무를 포함하는,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The shield includes at least one of copper, aluminum, stainless steel, a copper alloy, an aluminum alloy, and a stainless steel alloy;
The insulating part comprises a silicone rubber,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 절연부는 다공성 폼 구조를 형성하는,
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
The insulating portion to form a porous foam structure,
Connector for electrical connection. 제1항에 있어서,
상기 도전부의 상단에 부착되는 상단 필름; 및
상기 도전부의 하단에 부착되는 하단 필름을 더 포함하는
전기 접속용 커넥터.According to claim 1,
an upper film attached to the upper end of the conductive part; and
Further comprising a lower film attached to the lower end of the conductive part
Connector for electrical connection. 제13항에 있어서,
상기 상단 필름은 상기 도전부의 상부와 전기적으로 연결되는 상단 패드를 포함하고,
상기 하단 필름은 상기 도전부의 하부와 전기적으로 연결되는 하단 패드를 포함하며,
상기 상단 패드, 상기 도전부 및 상기 하단 패드는 상하 방향으로 도전하는 도전 채널을 형성하고,
상기 도전 채널의 상하 방향 길이는 상기 차폐부의 상하 방향 길이보다 큰,
전기 접속용 커넥터.14. The method of claim 13,
The upper film includes an upper pad electrically connected to the upper portion of the conductive part,
The lower film includes a lower pad electrically connected to the lower portion of the conductive part,
The upper pad, the conductive part, and the lower pad form a conductive channel conducting in a vertical direction,
The vertical length of the conductive channel is greater than the vertical length of the shield,
Connector for electrical connection.
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