KR20220050288A - Cassette equipped with a glass cell floating prevention device using air bubbles - Google Patents

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KR20220050288A
KR20220050288A KR1020200133563A KR20200133563A KR20220050288A KR 20220050288 A KR20220050288 A KR 20220050288A KR 1020200133563 A KR1020200133563 A KR 1020200133563A KR 20200133563 A KR20200133563 A KR 20200133563A KR 20220050288 A KR20220050288 A KR 20220050288A
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Abstract

A cassette equipped with a glass cell floating prevention device using air bubbles according to the present invention comprises: a cassette body in which thin film glass irradiated with a laser beam is internally loaded along a cutting path corresponding to the outer shape of a glass cell to be manufactured; and a glass cell floating prevention means for preventing the glass cell cut and separated from the thin film glass by an etching solution from floating inside the cassette body when the cassette body is immersed in the etching solution to prevent the cut glass cell from colliding with an internal structure of the cassette body or the thin film glass from which the glass cell is cut and separated. Accordingly, a glass cell of good quality without damage to the surface of the glass cell can be manufactured.

Description

공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트{Cassette equipped with a glass cell floating prevention device using air bubbles}Cassette equipped with a glass cell floating prevention device using air bubbles

본 발명은 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 박막 글라스가 내부 고정된 카세트를 식각액에 침지시켰을 때, 박막 글라스로부터 절단된 글라스 셀이 카세트 내부에서 부상되는 것을 방지하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette equipped with a device for preventing floating of a glass cell using air bubbles, and more particularly, when the cassette in which the thin glass is fixed inside is immersed in an etchant, the glass cell cut from the thin glass is removed from the inside of the cassette. It relates to a cassette equipped with a glass cell floatation prevention device using air bubbles to prevent floatation.

근래에는 스마트폰과 같은 전자 제품의 슬림화로 인해 종래 사용되던 글라스나 아크릴이 박막 글라스로 대체되고 있다.In recent years, due to the slimming of electronic products such as smartphones, conventionally used glass or acrylic is being replaced with thin glass.

이러한 박막 글라스는 스마트폰이나, 폴더블 스마트폰, 일반 휴대폰, PMP, MP3와 같은 휴대용 전자 제품의 디스플레이 창으로 사용되는데, 상기 박막 글라스는 두께가 얇을 수록 디자인성이나 휴대성에서 우월하다.Such thin glass is used as a display window of portable electronic products such as smart phones, foldable smart phones, general mobile phones, PMPs, and MP3s. The thinner the thin glass, the superior in design and portability.

한편, 상기 전자 제품의 디스플레이 창 크기에 알맞는 글라스 셀을 박막 글라스로부터 절단하기 위해서는 첫번째 단계로 글라스 셀의 형상을 따라 박막 글라스에 레이저 빔을 조사한다. 이때, 레이저 빔이 조사된 박막 글라스는 개질된다.Meanwhile, in order to cut a glass cell suitable for the display window size of the electronic product from the thin glass, a laser beam is irradiated to the thin glass along the shape of the glass cell as a first step. At this time, the thin glass to which the laser beam is irradiated is modified.

다음, 단계로 카세트에 박막 글라스를 적재한 후 카세트를 식각액에 침지시키면 식각액이 레이저 빔에 의해 개질된 박막 글라스 안으로 침투되어 박막 글라스로부터 글라스 셀이 절단된다.Next, after loading the thin glass on the cassette and immersing the cassette in the etchant, the etchant penetrates into the thin glass modified by the laser beam and the glass cell is cut from the thin glass.

한편, 박막 글라스로부터 글라스셀을 절단시키기 위해 본 출원인에 의해 출원된 출원번호 "10-2020-0053188"호의 "박막 글라스 커팅 및 이송용 카세트"가 현재 심사 대기중에 있는데, 상기 박막 글라스 커팅 및 이송용 카세트는 도면 12에 도시한 바와 같이, 본체부(e1) 및 덮개부(e2)를 포함하는 박막 글라스 이송용 카세트로서, 상기 카세트의 본체부(e1)는 상부가 개방되어 커팅 전 박막 글라스를 내부에 위치시킬 수 있고, 상기 박막 글라스를 받칠 수 있는 복수의 지지대(e3)가 형성되며, 상기 덮개부(e2)는 하부가 개방되어 상기 본체부(e1)를 덮을 수 있고, 상기 본체부(e1)의 지지대(e3)에 대응되는 위치에 박막 글라스를 고정하기 위한 복수의 고정대(e4)가 형성되며, 상기 본체부(e1)의 하부면은 식각액이 통과할 수 있는 제1 통과홀(e5)이 형성되고, 상기 덮개부(e2)의 상부면은 식각액이 통과할 수 있는 제2 통과홀(e6)이 형성된다. On the other hand, the "cassette for thin film glass cutting and transport" of the application number "10-2020-0053188" filed by the present applicant for cutting the glass cell from the thin film is currently awaiting examination. As shown in FIG. 12, the cassette is a cassette for transferring thin glass including a body part (e1) and a cover part (e2). A plurality of supports (e3) capable of supporting the thin glass are formed, and the cover portion (e2) has an open lower portion to cover the body portion (e1), and the body portion (e1) ) is formed with a plurality of fixtures e4 for fixing the thin glass at positions corresponding to the supports e3, and the lower surface of the main body e1 has a first through hole e5 through which the etchant can pass. is formed, and a second passage hole e6 through which the etchant can pass is formed on the upper surface of the cover portion e2 .

하지만, 상기 박막 글라스 커팅 및 이송용 카세트는 박막 글라스로부터 절단된 글라스셀이 본체부(e1) 바닥에 가라앉아 있어야 하나 경우에 따라 부력에 의해 뜬 글라스셀이 카세트 내부에서 유동되어 카세트 내부 구조물과 충돌하거나 부유된 글라스 셀이 절단 완료된 박막 글라스와 충돌하여 손상됨에 따라 상품 가치가 떨어지는 문제점이 있었다.However, in the cassette for thin-film glass cutting and transport, the glass cell cut from the thin-film glass must sink to the bottom of the body part (e1). There was a problem in that the commercial value fell as the floating glass cell collided with the cut thin-film glass and was damaged.

또한, 기존의 카세트는 박막 글라스가 적재된 카세트를 식각액에 담궜을 때 박막 글라스와 상기 박막 글라스로부터 절단된 글라스 셀 주변에 기포가 맺히게 되고, 기포가 맺힌 박막 글라스 또는 글라스 셀 표면에는 식각액이 침투하지 못하여 기포가 맺힌 부분이 절단되지 않거나, 매끄럽게 가공될 수 없다는 문제점이 있었다.In addition, in the existing cassette, when the cassette loaded with thin film glass is immersed in the etchant, bubbles form around the thin glass and the glass cell cut from the thin glass, and the etchant does not penetrate the thin glass or glass cell surface on which the bubbles are formed. Therefore, there was a problem that the part where the bubbles were formed was not cut or could not be processed smoothly.

대한민국 특허공개번호 "10-2017-0019698" (2017.02.22)Korean Patent Publication No. "10-2017-0019698" (2017.02.22)

이에 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 박막 글라스로부터 여러 장의 글라스 셀을 얻기 위해 박막 글라스가 적재된 카세트를 식각액에 침지시켰을 때 식각액에 의해 절단 완료된 글라스 셀이 부력에 의해 부상되어 카세트 내부 구조물이나 글라스 셀이 절단 분리된 박막 글라스와 충돌되는 것을 예방함으로써 양질의 글라스 셀을 제조할 수 있는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트를 제공하는데 본 발명의 목적이 있다.Accordingly, in order to solve the above problem, in the present invention, when a cassette loaded with thin-film glass is immersed in an etchant to obtain several glass cells from thin-film glass, the glass cells cut by the etchant are levitated by buoyancy, and thus the cassette internal structure or glass It is an object of the present invention to provide a cassette equipped with a glass cell floatation prevention device using air bubbles capable of manufacturing a high-quality glass cell by preventing the cell from collided with the cut and separated thin-film glass.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 박막 글라스가 적재된 카세트를 식각액 안에 침지시켰을 때 카세트 내부에서 발생된 기포를 카세트 바깥으로 배출시킴으로써 글라스 절단이 완료되지 않은 박막 글라스나 절단 완료된 글라스의 표면에 식각액이 고르게 침투되도록 한 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to discharge the bubbles generated inside the cassette to the outside of the cassette when the cassette loaded with the thin film glass is immersed in the etchant. An object of the present invention is to provide a cassette equipped with a glass cell injury prevention device using air bubbles to penetrate evenly.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트는 제조하고자 하는 글라스 셀의 외형과 맞대응되는 절단 경로를 따라 레이저 빔이 조사된 박막 글라스가 내부 적재되는 카세트 본체와; 상기 카세트 본체에 장착되되, 상기 카세트 본체를 식각액에 침지시켰을 때 식각액에 의해 상기 박막 글라스로부터 절단 분리된 글라스 셀이 카세트 본체 내부에서 부상(Floating)되지 않도록 하여 절단 완료된 글라스 셀이 카세트 본체 내부 구조물이나 글라스 셀이 절단 분리된 박막 글라스와 충돌되는 것을 방지하는 글라스 셀 부상 방지 수단을 포함한다.In order to achieve the above object, a cassette equipped with a device for preventing injury of a glass cell using air bubbles according to the present invention for achieving the above object is a cassette in which a thin glass irradiated with a laser beam is loaded along a cutting path corresponding to the outer shape of a glass cell to be manufactured. a body; It is mounted on the cassette body, and when the cassette body is immersed in the etchant, the glass cell cut and separated from the thin glass by the etchant is not floated inside the cassette body so that the cut glass cell is the internal structure of the cassette body or and a glass cell injury preventing means for preventing the glass cell from collided with the cut and separated thin glass.

이러한 구조로 이루어진 본 발명에 따른 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트는 식각액 안에 박막 글라스가 안착된 카세트 본체를 침지시켰을 때 박막 글라스로부터 절단 분리된 글라스 셀이 부력에 의해 카세트 본체 내부에서 부상되지 않도록 한다.In the cassette equipped with the device for preventing floating of glass cells using air bubbles according to the present invention having such a structure, when the cassette body on which the thin glass is seated is immersed in the etchant, the glass cells cut and separated from the thin glass are buoyant inside the cassette body to avoid injury from

따라서, 본 발명에 따른 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트는 식각액에 의해 절단 분리된 글라스 셀이 부력에 의해 부상되어 카세트 본체 내부 구조물이나 글라스 셀이 절단 분리된 박막 글라스와 충돌되는 것을 예방함으로써 글라스 셀 표면에 손상이 없는 양질의 글라스 셀을 제조할 수 있다.Therefore, in the cassette equipped with the device for preventing glass cell floatation using air bubbles according to the present invention, the glass cells cut and separated by the etchant are floated by buoyancy, so that the internal structure of the cassette body or the glass cells collide with the cut and separated thin glass. By preventing this, it is possible to manufacture a high-quality glass cell without damage to the surface of the glass cell.

또한, 본 발명은 박막 글라스가 적재된 카세트를 식각액 안에 침지시켰을 때 카세트 본체 내부에서 발생된 기포를 카세트 본체 바깥으로 배출시킴으로써 박막 글라스나 절단 완료된 글라스 셀의 표면에 식각액이 고르게 침투되도록 하여 양질의 글라스 셀을 제조할 수 있다.In addition, the present invention discharges air bubbles generated inside the cassette body to the outside of the cassette body when the cassette loaded with thin-film glass is immersed in the etchant so that the etchant evenly penetrates the surface of the thin-film glass or the cut glass cell. cells can be made.

도면 1은 본 발명의 결합 사시도,
도면 2는 본 발명의 분해 사시도,
도면 3은 카세트 몸체의 사시도,
도면 4는 카세트 몸체의 글라스 셀 안착 공간부에 박막 글라스로부터 절단 분리된 글라스 셀이 안착된 상태도,
도면 5a는 카세트 몸체의 평면도,
도면 5b는 도면 5a에 도시된 카세트 몸체를 A-A 방향으로 자른 단면도,
도면 6은 카세트 덮개의 사시도,
도면 7은 카세트 덮개의 밑면을 설명하기 위한 도면,
도면 8은 카세트 덮개의 평면도,
도면 9는 장홈 덮개에 설치된 공기 전달 수단을 설명하기 위한 도면,
도면 10은 장홈 덮개의 하부를 설명하기 위한 도면,
도면 11은 본 출원인에 의해 출원되어 심사 대기중인 출원번호 "10-2020-0053188"호의 대표 도면.1 is a combined perspective view of the present invention;
2 is an exploded perspective view of the present invention;
3 is a perspective view of the cassette body;
4 is a view of a state in which a glass cell cut and separated from thin glass is seated in the glass cell seating space of the cassette body;
Figure 5a is a top view of the cassette body;
Figure 5b is a cross-sectional view taken in the direction AA of the cassette body shown in Figure 5a,
6 is a perspective view of the cassette cover;
7 is a view for explaining the underside of the cassette cover;
8 is a plan view of the cassette cover;
9 is a view for explaining the air delivery means installed on the long groove cover,
Figure 10 is a view for explaining the lower part of the long groove cover,
11 is a representative view of application number "10-2020-0053188" which has been filed by the present applicant and is awaiting examination.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 자세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트는 도면 1 내지 도면 2에 도시한 바와 같이, 제조하고자 하는 글라스 셀(GC)의 외형과 맞대응되는 절단 경로를 따라 레이저 빔이 조사된 박막 글라스(UTG)가 내부 적재되는 카세트 본체(1)와; 상기 카세트 본체(1)에 장착되되, 상기 카세트 본체(1)를 식각액에 침지시켰을 때 식각액에 의해 상기 박막 글라스(UTG)로부터 절단 분리된 글라스 셀(GC)이 카세트 본체(1) 내부에서 부상(Floating)되지 않도록 하여 절단 완료된 글라스 셀(GC)이 카세트 본체(1) 내부 구조물이나 글라스 셀(GC)이 절단 분리된 박막 글라스(UTG)와 충돌되는 것을 방지하는 글라스 셀 부상 방지 수단(2)을 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 2, the cassette equipped with the device for preventing glass cell injury using air bubbles according to the present invention is irradiated with a laser beam along a cutting path corresponding to the outer shape of the glass cell (GC) to be manufactured. a cassette body (1) on which thin film glass (UTG) is loaded; The glass cell (GC) mounted on the cassette body (1), cut and separated from the thin film glass (UTG) by the etchant when the cassette body (1) is immersed in the etchant, floats inside the cassette body (1) ( Glass cell injury prevention means (2) to prevent floating and to prevent the cut glass cell (GC) from colliding with the internal structure of the cassette body (1) or the cut and separated thin glass (UTG) of the glass cell (GC) include

상기 카세트 본체(1)는 도면 2에 도시한 바와 같이, 박막 글라스(UTG)가 안착되는 카세트 몸체(11)와; 상기 카세트 몸체(11) 위에 덮어 씌워져 상기 박막 글라스(UTG)가 카세트 몸체(11)로부터 벗어나는 것을 방지하는 카세트 덮개(12); 상기 카세트 몸체(11)에 상기 카세트 덮개(12)를 고정시켜 상기 카세트 덮개(12)가 카세트 몸체(11)로부터 분리되는 것을 방지하는 분리 방지 수단을 포함한다.The cassette body 1 includes a cassette body 11 on which thin glass (UTG) is seated, as shown in FIG. 2 ; a cassette cover (12) overlaid on the cassette body (11) to prevent the thin glass (UTG) from escaping from the cassette body (11); and separation prevention means for fixing the cassette cover 12 to the cassette body 11 to prevent the cassette cover 12 from being separated from the cassette body 11 .

상기 카세트 몸체(11)는 도면 3과 도면 4에 도시한 바와 같이, 상기 카세트 몸체(11)의 윗면에 박막 글라스(UTG)의 가장자리가 걸쳐 고정되는 박막 글라스 고정용 단턱(111)과; 상기 박막 글라스(UTG)로부터 절단되어 분리된 글라스 셀(GC)이 안착되는 글라스 셀 안착 공간부(112); 상기 카세트 몸체(11)를 상기 카세트 몸체(11)의 높이 방향으로 관통하여 상기 카세트 본체(1) 안으로 식각액이 유입되도록 하는 몸체측 식각액 통과홀(113); 및 상기 박막 글라스(UTG)로부터 절단되어 분리된 글라스 셀(GC)의 가장자리가 걸쳐 고정되는 글라스 셀 고정용 단턱(114)을 포함한다.The cassette body 11 is, as shown in Figures 3 and 4, a step 111 for fixing the thin film glass (UTG) is fixed over the edge of the thin film glass (UTG) on the upper surface of the cassette body 11; a glass cell seating space 112 in which the glass cell GC cut and separated from the thin glass UTG is seated; an etchant passage hole 113 passing through the cassette body 11 in the height direction of the cassette body 11 and allowing the etchant to flow into the cassette body 1; and a step 114 for fixing the glass cell to which the edge of the glass cell GC cut and separated from the thin glass UTG is fixed over.

상기 몸체측 식각액 통과홀(113)은 도면 3에 도시한 바와 같이, 상기 글라스 셀 안착 공간부(112)의 밑면에 가공된다.As shown in FIG. 3 , the body-side etchant passage hole 113 is machined on the underside of the glass cell seating space 112 .

상기 글라스 셀 안착 공간부(112)의 가장자리에는 서로 마주보게 형성된 한 쌍의 글라스 셀 파지용 홈(115)이 가공된다.A pair of grooves 115 for holding glass cells formed to face each other are machined at an edge of the glass cell seating space 112 .

상기 글라스 셀 파지용 홈(115)은 상기 글라스 셀 안착 공간부(112)의 상부 가장자리에 소정 깊이로 가공되되, 상기 글라스 셀 안착 공간부(112)의 좌·우측단이나 전·후단에 서로 마주보게 가공된다.The groove 115 for holding the glass cell is machined to a predetermined depth on the upper edge of the glass cell seating space 112 , and faces each other at left and right ends or front and rear ends of the glass cell seating space 112 . processed to see

상기 글라스 셀 안착 공간부(112)와 상기 몸체측 식각액 통과홀(113)은 상기 카세트 몸체(11)에 2개 이상 갖추어지되, 상기 몸체측 식각액 통과홀(113)은 격자 형상의 몸체측 구획 분할용 격자형 살(116)에 의해 분할 된다.Two or more of the glass cell seating space 112 and the body-side etchant passage hole 113 are provided in the cassette body 11, and the body-side etchant passage hole 113 is divided into a grid-shaped body-side partition. The dragon is divided by lattice ribs (116).

또, 상기 몸체측 구획 분할용 격자형 살(116)의 높이는 상기 카세트 몸체(11)의 높이보다 낮게 형성되어 상기 몸체측 구획 분할용 격자형 살(116)과 카세트 몸체(11) 사이에 높이 단차가 발생한다.In addition, the height of the lattice-type rib 116 for dividing the body-side is formed lower than the height of the cassette body 11, so that the height difference between the lattice-shaped rib 116 for dividing the body-side and the cassette body 11 occurs

상기 카세트 몸체(11)의 상부 좌·우측단 또는 상부 전·후단에는 도면 3에 도시한 바와 같이, 카세트 덮개(12)와 카세트 몸체(11)를 용이하게 분리시키기 위해 카세트 본체 분리용 홈(15)이 가공된다.As shown in FIG. 3, at the upper left and right ends or upper front and rear ends of the cassette body 11, grooves 15 for separating the cassette body 11 to easily separate the cassette cover 12 and the cassette body 11 ) is processed.

상기 글라스 셀 안착 공간부(112)의 내부 측면은 도면 5a와 도면 5b에 도시한 바와 같이, 수평면 대비 95도 이상 경사지게 형성되어 박막 글라스(UTG)로부터 절단 분리된 글라스 셀(GC)이 상기 글라스 셀 안착 공간부(112)의 하부로 용이하게 이동되도록 한다.As shown in FIGS. 5A and 5B , the inner side of the glass cell seating space 112 is inclined at least 95 degrees from the horizontal plane, so that the glass cell GC cut and separated from the thin film UTG is the glass cell. It is to be easily moved to the lower part of the seating space 112 .

상기 카세트 덮개(12)에는 도면 6에 도시한 바와 같이, 카세트 본체(1)안으로 식각액이 유입되도록 덮개측 식각액 통과홀(121)이 관통된다.As shown in FIG. 6 , the cassette cover 12 has an etchant passage hole 121 through the cover so that the etchant flows into the cassette body 1 .

상기 덮개측 식각액 통과홀(121)은 상기 카세트 덮개(12)에 2개 이상 갖추어지고, 2개 이상의 상기 덮개측 식각액 통과홀(121)은 격자 형태의 덮개측 구획 분할용 격자형 살(122)에 의해 분할된다.The cover-side etchant passage hole 121 is provided with two or more in the cassette cover 12, and the two or more cover-side etchant passage holes 121 are grid-type ribs 122 for partitioning on the cover side in a grid shape. is divided by

또, 상기 덮개측 구획 분할용 격자형 살(122)의 하부는 도면 7에 도시한 바와 같이, 상기 카세트 덮개(12)의 하부로 돌출된다.In addition, as shown in FIG. 7 , the lower part of the lattice-shaped rib 122 for dividing the cover side protrudes to the lower part of the cassette cover 12 .

또, 상기 카세트 덮개(12)를 상기 카세트 몸체(11) 위에 덮어 씌웠을 때 상기 덮개측 구획 분할용 격자형 살(122)은 상기 몸체측 구획 분할용 격자형 살(116)과 마주보게 설치된다.In addition, when the cassette cover 12 is overlaid on the cassette body 11, the lattice ribs 122 for dividing the cover side are installed to face the lattice ribs 116 for dividing the body side. .

상기 분리 방지 수단은 제1 실시 예로서, 상기 카세트 몸체(11) 또는 카세트 덮개(12)에 장착된 볼트나, 카세트 몸체(11) 또는 카세트 덮개(12)에 설치되는 너트로 구성되되, 상기 카세트 몸체(11)에 볼트가 장착되면 상기 카세트 덮개(12)에 너트가 장착되고, 상기 카세트 몸체(11)에 너트가 장착되면 상기 카세트 덮개(12)에는 볼트가 장착된다.As a first embodiment, the separation preventing means is composed of a bolt mounted on the cassette body 11 or the cassette cover 12 or a nut installed on the cassette body 11 or the cassette cover 12, the cassette When the bolt is mounted on the body 11 , a nut is mounted on the cassette cover 12 , and when the nut is mounted on the cassette body 11 , the bolt is mounted on the cassette cover 12 .

또한, 상기 분리 방지 수단(13)은 제2 실시 예로서, 상기 카세트 덮개(12)에 매립 설치된 상부 자석과, 상기 카세트 덮개(12)가 상기 카세트 몸체(11) 위에 덮어 씌워졌을 때 상기 상부 자석을 마주보는 카세트 몸체(11)에 매립 설치된 하부 자석을 포함한다.In addition, as a second embodiment, the separation preventing means 13 includes an upper magnet embedded in the cassette cover 12 , and the upper magnet when the cassette cover 12 is overlaid on the cassette body 11 . It includes a lower magnet embedded in the cassette body 11 facing the.

상기 분리 방지 수단(13)은 카세트 덮개(12)와 카세트 몸체(11)의 가장자리 라인을 따라 2개 이상 설치된다.Two or more separation preventing means 13 are installed along the edge line of the cassette cover 12 and the cassette body 11 .

상기 글라스 셀 부상 방지 수단(2)은 도면 1에 도시한 바와 같이, 카세트 본체(1) 상부를 통해 카세트 본체(1) 내부로 공기 방울을 공급시켜 글라스 셀(GC)의 부상을 방지한다.As shown in FIG. 1 , the glass cell floatation preventing means 2 supplies air bubbles into the cassette body 1 through the upper portion of the cassette body 1 to prevent the glass cells GC from being floated.

상기 글라스 셀 부상 방지 수단(2)은 도면 6과 도면 8 그리고 도면 9에 도시한 바와 같이, 카세트 본체(1) 윗면에 가공되되 상기 카세트 본체(1)의 가로 방향이나 세로 방향으로 연장된 장홈(21)과; 상기 장홈(21)의 안쪽 밑면에 장홈(21)의 길이 방향을 따라 복수 개가 관통되되 카세트 본체(1) 윗면을 통해 카세트 본체(1) 내부로 공기가 통과되도록 하는 공기 배출 구멍(22); 상기 장홈(21) 위에 덮어 씌워져 장홈(21) 내부를 밀봉시키는 장홈 덮개(23); 외부로부터 공급된 공기를 상기 장홈 덮개(23)를 통해 장홈(21)안으로 전달하는 공기 전달 수단(24)을 포함한다.As shown in Figures 6, 8 and 9, the glass cell injury prevention means (2) is a long groove ( 21) and; An air outlet hole 22 through the inner bottom surface of the long groove 21 in the longitudinal direction of the long groove 21 so that air passes into the cassette body 1 through the upper surface of the cassette body 1; The long groove cover 23 is covered on the long groove 21 to seal the inside of the long groove 21; and an air delivery means 24 for delivering air supplied from the outside into the long groove 21 through the long groove cover 23 .

상기 공기 전달 수단(24)은 도면 9에 도시한 바와 같이, 2구 이상의 커플러(Coupler)와 공기 전달 관로를 2개 이상 조합하여 구성한다.As shown in FIG. 9, the air transmission means 24 is configured by combining two or more couplers and two or more air transmission lines.

상기 카세트 본체(1)에는 도면 1에 도시한 바와 같이, 박막 글라스(UTG)가 적재된 카세트 본체(1)를 식각액에 침지시켰을 때 카세트 본체(1) 내부에서 발생되는 기포를 카세트 본체(1) 바깥으로 배출시키는 기포 배출 수단(14)을 더 포함한다.As shown in FIG. 1 in the cassette body 1, when the cassette body 1 loaded with thin film glass (UTG) is immersed in the etchant, air bubbles generated inside the cassette body 1 are removed from the cassette body (1). It further includes a bubble discharging means 14 for discharging to the outside.

상기 기포 배출 수단(14)은 도면 3에 도시한 바와 같이, 카세트 본체(1)의 측부 둘레면을 관통하여 카세트 본체(1)의 안쪽과 카세트 본체(1)의 바깥쪽이 서로 연통되도록 하는 2개 이상의 기포 배출용 홈(141)으로 구성될 수 있다.As shown in FIG. 3, the bubble discharging means 14 penetrates the peripheral surface of the side of the cassette body 1 so that the inside of the cassette body 1 and the outside of the cassette body 1 communicate with each other. It may be composed of one or more grooves 141 for discharging air bubbles.

상기 기포 배출용 홈(141)은 도면 3에 도시한 바와 같이, 상기 카세트 몸체(11) 윗면 외곽에 카세트 몸체(11) 외곽을 따라 형성된 홈으로서 글라스 셀 안착 공간부(112) 내부의 기포를 카세트 몸체(11) 바깥으로 배출시킨다.As shown in FIG. 3, the bubble discharging groove 141 is a groove formed along the outer side of the cassette body 11 on the outer side of the upper surface of the cassette body 11, and the air bubbles inside the glass cell seating space 112 are inserted into the cassette. Discharge to the outside of the body (11).

상기 기포 배출용 홈(141)의 상부는 개방되고 상기 기포 배출용 홈(141)의 입구는 상기 카세트 몸체(11) 내부에 형성된 글라스 셀 안착 공간부(112)와 연통되며 상기 기포 배출용 홈(141)의 출구는 상기 카세트 몸체(11) 외부와 연통된다.An upper portion of the groove 141 for discharging bubbles is opened, and an inlet of the groove 141 for discharging bubbles communicates with a glass cell seating space 112 formed inside the cassette body 11, and the groove for discharging bubbles ( The outlet of 141 communicates with the outside of the cassette body 11 .

또한, 상기 기포 배출 수단(14)은 도면 3에 도시한 바와 같이, 상기 카세트 몸체(11)에 갖추어진 몸체측 구획 분할용 격자형 살(116)의 윗면에 가공된 몸체측 기포 이동용 홈(142)을 더 포함하고, In addition, the bubble discharging means 14 is, as shown in FIG. 3, a groove 142 for moving the bubbles on the body side processed on the upper surface of the lattice type rib 116 for dividing the body side provided in the cassette body 11 ) further comprising,

상기 몸체측 기포 이동용 홈(142)의 입구와 출구는 상기 카세트 몸체(11)에 이웃 설치된 한 쌍의 글라스 셀 안착 공간부(112)와 각각 연결된다. An inlet and an outlet of the groove 142 for moving the bubbles on the body side are respectively connected to a pair of glass cell seating spaces 112 installed adjacent to the cassette body 11 .

또, 상기 기포 배출 수단(14)은 도면 7에 도시한 바와 같이, 상기 카세트 덮개(12)에 갖추어진 덮개측 구획 분할용 격자형 살(122)의 밑면에 가공된 덮개측 기포 이동용 홈(143)을 더 포함하고, 상기 덮개측 기포 이동용 홈(143)은 상기 카세트 덮개(12)를 카세트 몸체(11) 위에 덮어씌웠을 때 상기 몸체측 기포 이동용 홈(142)과 서로 마주보게 가공된다.In addition, as shown in FIG. 7 , the bubble discharging means 14 is a cover-side bubble moving groove 143 machined on the underside of the cover-side division lattice rib 122 provided in the cassette cover 12 . ) is further included, and the cover-side bubble moving groove 143 is processed to face the body-side bubble moving groove 142 when the cassette cover 12 is overlaid on the cassette body 11 .

상기 덮개측 기포 이동용 홈(143)은 밑면이 개방되되, 서로 마주보는 전·후면 또는 좌·우측면이 개방된다.The cover-side bubble movement groove 143 has an open bottom, and front/rear or left/right sides facing each other are open.

이러한 구조로 이루어진 본 발명에 따른 공기 방울을 이용한 글라스 셀(GC) 부상 방지 장치가 장착된 카세트는 식각액 안에 박막 글라스(UTG)가 안착된 카세트본체(1)를 침지시켰을 때 박막 글라스(UTG)로부터 절단 분리된 글라스 셀(GC)이 부력에 의해 카세트 본체(1) 내부에서 부상되지 않도록 한다.A cassette equipped with a glass cell (GC) floatation prevention device using air bubbles according to the present invention having such a structure is formed from a thin film glass (UTG) when the cassette body (1) on which a thin film glass (UTG) is seated is immersed in an etchant. The cut and separated glass cells GC are prevented from floating inside the cassette body 1 due to buoyancy.

따라서, 본 발명에 따른 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트는 식각액에 의해 절단 분리된 글라스 셀(GC)이 부력에 의해 부상되어 카세트 본체(1) 내부 구조물이나 글라스 셀이 절단 분리된 박막 글라스(UTG)와 충돌되는 것을 예방함으로써 글라스 셀(GC) 표면에 손상이 없는 양질의 글라스 셀(GC)을 제조할 수 있다.Therefore, in the cassette equipped with the device for preventing glass cell floatation using air bubbles according to the present invention, the glass cells (GC) cut and separated by the etchant are floated by buoyancy, so that the internal structure of the cassette body 1 or the glass cells are cut and separated By preventing collision with the thin film glass (UTG), a high-quality glass cell (GC) without damage to the surface of the glass cell (GC) can be manufactured.

또한, 본 발명은 박막 글라스(UTG)가 적재된 카세트를 식각액 안에 침지시켰을 때 카세트 본체(1) 내부에서 발생된 기포를 카세트 본체(1) 바깥으로 배출시킴으로써 박막 글라스(UTG)나 절단 완료된 글라스 셀의 표면에 식각액이 고르게 침투되도록 하여 양질의 글라스 셀(GC)을 제조할 수 있다.In addition, according to the present invention, when a cassette loaded with thin film glass (UTG) is immersed in an etchant, air bubbles generated inside the cassette body 1 are discharged to the outside of the cassette body 1 to form a thin film glass (UTG) or a cut glass cell. A high-quality glass cell (GC) can be manufactured by allowing the etchant to evenly penetrate the surface of the

1. 카세트 본체 11. 카세트 몸체
111. 박막 글라스 고정용 단턱 112. 글라스 셀 안착 공간부
113. 몸체측 식각액 통과홀 114. 글라스 셀 고정용 단턱
115. 글라스 셀 파지용 홈 116. 몸체측 구획 분할용 격자형 살
12. 카세트 덮개 GC. 글라스 셀
121. 덮개측 식각액 통과홀 122. 덮개측 구획 분할용 격자형 살
14. 기포 배출 수단 141. 기포 배출용 홈
142. 몸체측 기포 이동용 홈 143. 덮개측 기포 이동용 홈
2. 글라스 셀 부상 방지 수단 21. 장홈
22. 공기 배출 구멍 23. 장홈 덮개
24. 공기 전달 수단 UTG. 박막 글라스1. Cassette body 11. Cassette body
111. Step for fixing thin glass 112. Glass cell seating space
113. Body side etchant passage hole 114. Glass cell fixing step
115. Groove for holding glass cell 116. Grating shape for dividing body side division
12. Cassette cover GC. glass cell
121. Cover-side etchant passage hole 122. Cover-side lattice type for partition division
14. Bubble evacuation means 141. Bubble evacuation groove
142. Groove for moving air bubbles on the body side 143. Groove for moving air bubbles on the cover side
2. Glass cell injury prevention means 21. Long groove
22. Air exhaust hole 23. Groove cover
24. Air delivery means UTG. thin glass

Claims (10)

제조하고자 하는 글라스 셀(GC)의 외형과 맞대응되는 절단 경로를 따라 레이저 빔이 조사된 박막 글라스(UTG)가 내부 적재되는 카세트 본체(1)와;
상기 카세트 본체(1)에 장착되되, 상기 카세트 본체(1)를 식각액에 침지시켰을 때 식각액에 의해 상기 박막 글라스(UTG)로부터 절단 분리된 글라스 셀(GC)이 카세트 본체(1) 내부에서 부상(Floating)되지 않도록 하여 절단 완료된 글라스 셀(GC)이 카세트 본체(1) 내부 구조물이나 글라스 셀(GC)이 절단 분리된 박막 글라스(UTG)와 충돌되는 것을 방지하는 글라스 셀 부상 방지 수단(2)을 포함하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
a cassette body 1 on which thin glass (UTG) irradiated with a laser beam is loaded along a cutting path corresponding to the outer shape of the glass cell (GC) to be manufactured;
The glass cell (GC) mounted on the cassette body (1), cut and separated from the thin film glass (UTG) by the etchant when the cassette body (1) is immersed in the etchant, floats inside the cassette body (1) ( Glass cell injury prevention means (2) to prevent floating and to prevent the cut glass cell (GC) from colliding with the internal structure of the cassette body (1) or the cut and separated thin glass (UTG) of the glass cell (GC) Cassette equipped with a glass cell injury prevention device using an air bubble containing
 제1 항에 있어서,
상기 카세트 본체(1)는 박막 글라스(UTG)가 안착되는 카세트 몸체(11)와;
상기 카세트 몸체(11) 위에 덮어 씌워져 상기 박막 글라스(UTG)가 카세트 몸체(11)로부터 벗어나는 것을 방지하는 카세트 덮개(12);
상기 카세트 몸체(11)에 상기 카세트 덮개(12)를 고정시켜 상기 카세트 덮개(12)가 카세트 몸체(11)로부터 분리되는 것을 방지하는 분리 방지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
According to claim 1,
The cassette body 1 includes a cassette body 11 on which thin glass (UTG) is seated;
a cassette cover (12) overlaid on the cassette body (11) to prevent the thin glass (UTG) from escaping from the cassette body (11);
Glass cell using air bubbles, characterized in that it includes a separation preventing means for fixing the cassette cover 12 to the cassette body 11 to prevent the cassette cover 12 from being separated from the cassette body 11 Cassette with injury protection device.
 제1 항에 있어서,
상기 카세트 본체(1)는 박막 글라스(UTG)가 안착되는 카세트 몸체(11)를 포함하고,
상기 카세트 몸체(11)는 상기 카세트 몸체(11)의 윗면에 박막 글라스(UTG)의 가장자리가 걸쳐 고정되는 박막 글라스 고정용 단턱(111)과;
상기 박막 글라스(UTG)로부터 절단되어 분리된 글라스 셀(GC)이 안착되는 글라스 셀 안착 공간부(112);
상기 카세트 몸체(11)를 상기 카세트 몸체(11)의 높이 방향으로 관통하여 상기 카세트 본체(1) 안으로 식각액이 유입되도록 하는 몸체측 식각액 통과홀(113);
및 상기 박막 글라스(UTG)로부터 절단되어 분리된 글라스 셀(GC)의 가장자리가 걸쳐 고정되는 글라스 셀 고정용 단턱(114)을 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
According to claim 1,
The cassette body 1 includes a cassette body 11 on which thin glass (UTG) is seated,
The cassette body 11 includes a step 111 for fixing the thin film glass that is fixed over the edge of the thin glass (UTG) on the upper surface of the cassette body 11;
a glass cell seating space 112 in which the glass cell GC cut and separated from the thin glass UTG is seated;
an etchant passage hole 113 passing through the cassette body 11 in the height direction of the cassette body 11 and allowing the etchant to flow into the cassette body 1;
and a step 114 for fixing the glass cell to which the edge of the glass cell (GC) cut and separated from the thin film glass (UTG) is fixed over. cassette.
 제1 항에 있어서,
상기 글라스 셀 부상 방지 수단(2)은 카세트 본체(1) 상부를 통해 카세트 본체(1) 내부로 공기 방울을 공급시켜 글라스 셀(GC)의 부상을 방지하는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
According to claim 1,
The glass cell floatation preventing means (2) supplies air bubbles into the cassette body (1) through the upper part of the cassette body (1) to prevent the glass cells (GC) from being floated. Cassette with injury protection device.
 제1 항에 있어서,
상기 글라스 셀 부상 방지 수단(2)은 카세트 본체(1) 윗면에 가공되되 상기 카세트 본체(1)의 가로 방향이나 세로 방향으로 연장된 장홈(21)과;
상기 장홈(21)의 안쪽 밑면에 장홈(21)의 길이 방향을 따라 복수 개가 관통되되 카세트 본체(1) 윗면을 통해 카세트 본체(1) 내부로 공기가 통과되도록 하는 공기 배출 구멍(22);
상기 장홈(21) 위에 덮어 씌워져 장홈(21) 내부를 밀봉시키는 장홈 덮개(23);
및 외부로부터 공급된 공기를 상기 장홈 덮개(23)를 통해 장홈(21)안으로 전달하는 공기 전달 수단(24)을 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
According to claim 1,
The glass cell injury prevention means (2) is processed on the upper surface of the cassette body (1) and a long groove (21) extending in the horizontal or vertical direction of the cassette body (1);
An air outlet hole 22 through the inner bottom surface of the long groove 21 in the longitudinal direction of the long groove 21 so that air passes into the cassette body 1 through the upper surface of the cassette body 1;
The long groove cover 23 is covered on the long groove 21 to seal the inside of the long groove 21;
and an air delivery means (24) for delivering air supplied from the outside into the long groove (21) through the long groove cover (23).
 제1 항에 있어서,
상기 카세트 본체(1)에는 박막 글라스(UTG)가 적재된 카세트 본체(1)를 식각액에 침지시켰을 때 카세트 본체(1) 내부에서 발생되는 기포를 카세트 본체(1) 바깥으로 배출시키는 기포 배출 수단(14)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
According to claim 1,
The cassette body (1) has a bubble discharging means ( 14) Cassette equipped with a glass cell injury prevention device using air bubbles, characterized in that it further comprises.
 제6 항에 있어서,
상기 기포 배출 수단(14)은 카세트 본체(1)의 측부 둘레면을 관통하여 카세트 본체(1)의 안쪽과 카세트 본체(1)의 바깥쪽이 서로 연통되도록 하는 2개 이상의 기포 배출용 홈(141)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
7. The method of claim 6,
The bubble discharging means 14 penetrates through the circumferential surface of the side of the cassette body 1 to allow the inside of the cassette body 1 and the outside of the cassette body 1 to communicate with each other, two or more bubble discharging grooves 141 ) Cassette equipped with a glass cell injury prevention device using air bubbles, characterized in that consisting of.
 제7 항에 있어서,
상기 카세트 본체(1)는 박막 글라스(UTG)가 안착되는 카세트 몸체(11)를 포함하고,
상기 카세트 몸체(11)는 상기 박막 글라스(UTG)로부터 절단되어 분리된 글라스 셀(GC)이 안착되는 글라스 셀 안착 공간부(112)를 포함하며,
상기 기포 배출용 홈(141)은 상기 카세트 몸체(11) 윗면 외곽에 카세트 몸체(11) 외곽을 따라 형성된 홈으로서 글라스 셀 안착 공간부(112) 내부의 기포를 카세트 몸체(11) 바깥으로 배출시키는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
8. The method of claim 7,
The cassette body 1 includes a cassette body 11 on which thin glass (UTG) is seated,
The cassette body 11 includes a glass cell seating space 112 in which the glass cell GC cut and separated from the thin glass UTG is seated,
The bubble discharging groove 141 is a groove formed along the outer side of the cassette body 11 on the outer side of the upper surface of the cassette body 11 to discharge the air bubbles inside the glass cell seating space 112 to the outside of the cassette body 11 . Cassette equipped with a glass cell injury prevention device using air bubbles, characterized in that.
 제6 항에 있어서,
상기 카세트 본체(1)는 박막 글라스(UTG)가 안착되는 카세트 몸체(11)와;
상기 카세트 몸체(11) 위에 덮어 씌워져 상기 박막 글라스(UTG)가 카세트 몸체(11)로부터 벗어나는 것을 방지하는 카세트 덮개(12)를 포함하고,
상기 카세트 덮개(12)에는 카세트 본체(1)안으로 식각액이 유입되도록 덮개측 식각액 통과홀(121)이 관통되고,
2개 이상의 덮개측 식각액 통과홀(121)은 격자 형태의 덮개측 구획 분할용 격자형 살(122)에 의해 분할되며,
상기 기포 배출 수단(14)은 상기 덮개측 구획 분할용 격자형 살(122)의 밑면에 가공된 덮개측 기포 이동용 홈(143)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.
7. The method of claim 6,
The cassette body 1 includes a cassette body 11 on which thin glass (UTG) is seated;
and a cassette cover (12) overlaid on the cassette body (11) to prevent the thin glass (UTG) from escaping from the cassette body (11),
The cassette cover 12 has an etchant passage hole 121 through the cover side so that the etchant flows into the cassette body 1 ,
The two or more cover-side etchant passage holes 121 are divided by lattice-shaped ribs 122 for partitioning the cover-side partition in the form of a grid,
The bubble discharging means 14 is a glass cell floatation prevention device using air bubbles, characterized in that it further comprises a cover-side bubble movement groove 143 processed on the underside of the lattice-shaped rib 122 for dividing the cover side. Cassette equipped with
 제6 항에 있어서,
상기 카세트 본체(1)는 박막 글라스(UTG)가 안착되는 카세트 몸체(11)를 포함하고,
상기 기포 배출 수단(14)은 상기 카세트 몸체(11)에 갖추어진 몸체측 구획 분할용 격자형 살(116)의 윗면에 가공된 몸체측 기포 이동용 홈(142)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 방울을 이용한 글라스 셀 부상 방지 장치가 장착된 카세트.7. The method of claim 6,
The cassette body 1 includes a cassette body 11 on which thin glass (UTG) is seated,
The bubble discharging means 14 is air characterized in that it further comprises a groove 142 for moving the body side air bubbles processed on the upper surface of the lattice type rib 116 for dividing the body side provided in the cassette body 11. Cassette equipped with droplet protection against glass cell injury.
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060064919A (en) * 2004-12-09 2006-06-14 원용권 Semiconductor package substrate cleaning jig and semiconductor package substrate cleaning transportation method which it uses
KR100976617B1 (en) * 2009-11-19 2010-08-18 주식회사 제온시스 Jig for vapor depositing the substrate
KR20120036708A (en) * 2010-10-09 2012-04-18 이대천 Method of manufacturing tempered glass for display
JP2013155057A (en) * 2012-01-26 2013-08-15 Sanwa Frost Industry Co Ltd Method for etching lcd glass substrate and apparatus therefor
KR20140034561A (en) * 2012-09-12 2014-03-20 (주)에스티아이 Jig for glass etching
KR20170019698A (en) 2015-08-12 2017-02-22 엠엔지솔루션 주식회사 Method of Cutting Glass
KR20180055734A (en) * 2016-11-16 2018-05-25 (주)유티아이 Manufacturing method of window using sheet like process
JP2019109411A (en) * 2017-12-20 2019-07-04 株式会社Ｎｓｃ Method for manufacturing liquid crystal panel

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060064919A (en) * 2004-12-09 2006-06-14 원용권 Semiconductor package substrate cleaning jig and semiconductor package substrate cleaning transportation method which it uses
KR100976617B1 (en) * 2009-11-19 2010-08-18 주식회사 제온시스 Jig for vapor depositing the substrate
KR20120036708A (en) * 2010-10-09 2012-04-18 이대천 Method of manufacturing tempered glass for display
JP2013155057A (en) * 2012-01-26 2013-08-15 Sanwa Frost Industry Co Ltd Method for etching lcd glass substrate and apparatus therefor
KR20140034561A (en) * 2012-09-12 2014-03-20 (주)에스티아이 Jig for glass etching
KR20170019698A (en) 2015-08-12 2017-02-22 엠엔지솔루션 주식회사 Method of Cutting Glass
KR20180055734A (en) * 2016-11-16 2018-05-25 (주)유티아이 Manufacturing method of window using sheet like process
JP2019109411A (en) * 2017-12-20 2019-07-04 株式会社Ｎｓｃ Method for manufacturing liquid crystal panel

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