KR20220040602A - 캐리어 보관 장치 - Google Patents

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KR20220040602A
KR20220040602A KR1020200123474A KR20200123474A KR20220040602A KR 20220040602 A KR20220040602 A KR 20220040602A KR 1020200123474 A KR1020200123474 A KR 1020200123474A KR 20200123474 A KR20200123474 A KR 20200123474A KR 20220040602 A KR20220040602 A KR 20220040602A
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Abstract

캐리어 보관 장치가 개시된다. 상기 캐리어 보관 장치는, 캐리어를 지지하기 위한 선반과, 상기 캐리어의 이송을 위한 천장 이송 장치의 주행 레일의 일측에 배치되어 상기 선반이 수평 상태로 유지되도록 상기 선반이 장착된 프레임과, 상기 주행 레일과 평행한 방향으로 제1방향으로 배치되는 회전축을 포함하고, 상기 회전축을 중심으로 상기 선반이 회전 가능하도록 상기 선반과 상기 프레임 사이를 연결하는 힌지 유닛을 포함한다.

Description

캐리어 보관 장치{CARRIER STORAGE APPARATUS}
본 발명의 실시예들은 캐리어 보관 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼와 같은 기판의 이송을 위한 캐리어를 임시로 보관하는 캐리어 보관 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물, 예를 들면, 실리콘 웨이퍼와 같은 기판을 캐리어에 수납한 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공하거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수할 수 있다.
상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 이송 장치의 비히클에 의해 이송될 수 있다. 상기 비히클은 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 기 설정된 위치로 반송할 수 있다.
상기 비히클은 클린룸의 천장 부위에 설치되는 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 주행 모듈의 하부에 장착되며 상기 캐리어의 승강을 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 한편, 상기 주행 레일의 일측에는 상기 캐리어의 보관을 위한 캐리어 보관 장치가 배치될 수 있다.
상기 캐리어 보관 장치는 상기 캐리어를 지지하기 위한 선반과, 상기 클린룸의 천장 부위에 설치되며 상기 선반이 장착되는 프레임을 포함할 수 있다. 그러나, 상기 천장 이송 장치의 유지 보수 작업을 수행하는 경우 상기 캐리어 보관 장치를 철거해야 하는 문제점이 있으며, 이에 의해 상기 천장 이송 장치의 유지 보수에 소요되는 시간과 비용이 증가될 수 있다. 아울러, 상기 캐리어 보관 장치의 철거 및 재설치에 추가적인 비용과 시간이 요구될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 철거하지 않고도 천장 이송 장치의 유지 보수 작업을 가능하게 하는 캐리어 보관 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 캐리어 보관 장치는, 캐리어를 지지하기 위한 선반과, 상기 캐리어의 이송을 위한 천장 이송 장치의 주행 레일의 일측에 배치되어 상기 선반이 수평 상태로 유지되도록 상기 선반이 장착된 프레임과, 상기 주행 레일과 평행한 방향으로 제1방향으로 배치되는 회전축을 포함하고 상기 회전축을 중심으로 상기 선반이 회전 가능하도록 상기 선반과 상기 프레임 사이를 연결하는 힌지 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 선반에는 캐리어의 내부로 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 노즐과 상기 캐리어로 공급된 상기 퍼지 가스를 회수하기 위한 회수 노즐이 구비되고, 상기 캐리어에는 상기 캐리어가 상기 선반 상에 놓여지는 경우 상기 공급 노즐과 결합하는 공급 포트 및 상기 회수 노즐과 결합하는 회수 포트가 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치는, 상기 공급 노즐과 연결되어 상기 캐리어 내부에 퍼지 가스를 공급하는 공급 배관과, 상기 회수 노즐과 연결되어 상기 캐리어 내부의 퍼지 가스를 회수하는 회수 배관을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치, 상기 공급 노즐 및 공급 배관 사이를 연결해주는 제1 연결 배관과, 상기 회수 노즐 및 회수 배관 사이를 연결해주는 제2 연결 배관을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치는, 상기 공급 배관과 제1 연결 배관을 연결하는 제1 로터리 피팅과, 상기 회수 배관과 제2 연결배관을 연결하는 제2 로터리 피팅을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 연결배관들은 플렉시블 배관일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 힌지 유닛은 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치는, 상기 프레임에 장착되며 상기 힌지 유닛을 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 안내하기 위한 가이드 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가이드 유닛은, 가이드 레일 및 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 가동 블록을 포함하고, 상기 힌지 유닛은 상기 가동 블록에 장착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 힌지 유닛은 상기 가동 블록에 장착되는 제1 힌지 부재와, 선반의 일측에 결합되는 제2 힌지 부재를 포함하고, 상기 제1 및 제2 힌지 부재들은 상기 회전축에 의해 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치는, 상기 선반이 회전된 상태를 고정시키기 위한 고정부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 고정부는 상기 프레임에 배치되어 상기 선반을 고정시키는 그리퍼를 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치는, 상기 가동 부재가 상기 가이드 레일로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 가동 부재의 이동을 제한하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 선반은 회전할 수 있으며, 상기 선반에 상기 캐리어가 놓인 경우, 상기 선반에 구비된 가스 퍼지가 가능하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 선반이 회전할 경우, 상기 선반 상의 상기 가스 퍼지 부재들이 손상되지 않도록 로터리 피팅들을 사용하거나 플렉시블 배관을 사용할 수 있다. 한편 상기 선반은 회전뿐만 아니라 회전축과 결합한 부분도 상기 제2 수평 방향으로 이동할 수 있으며, 상기 선반이 회전 또는 이동 상태를 유지하기 위해 그리퍼를 구비할 수 있다. 따라서, 상기한 바와 같이 상기 캐리어를 보관이 용이하며, 또한, 상기 캐리어 보관 장치를 철거하지 않고도 상기 천장 이송 장치의 유지 보수가 가능하다. 결과적으로, 상기 천장 이송 장치의 유지 보수에 소요되는 시간 및 비용이 크게 절감될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5는 도 4에 도시된 힌지 유닛의 결합 관계를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화 될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에서 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 기술자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 캐리어 보관 장치(100)는 캐리어의 이송을 위한 천장 이송 장치(20)의 주행 레일(22)의 일측에 배치되며, 상기 천장 이송 장치가 이송하는 캐리어(10)를 보관한다. 상기 캐리어(10)는 FOUP(Front Opening Unified Pod), FOSB(Front Opening Shipping Box), 매거진 등일 수 있다.
상기 캐리어 보관 장치(100)는 선반(110), 프레임(120) 및 회전축(131)을 구비한 힌지 유닛(130)을 포함할 수 있다.
상기 선반(110)은 상기 프레임(120)에 장착되어 상기 캐리어(10)를 지지할 수 있다. 상기 프레임(120)은 천장에 고정될 수 있다. 예를 들어, 상기 천장에 몰드바가 구비되며, 고정 부재들이 상기 프레임(120)을 상기 몰드바에 고정할 수 있다. 상기 몰드바는 서로 나란한 형태 또는 격자 형태를 가질 수 있다. 상기 고정 부재들의 예로는 전산 볼트, 턴 버클 등을 들 수 있다. 다른 예로서, 상기 고정 부재들은 상기 천장에 직접 고정될 수 있다.
상기 프레임(120)은 격자 형태를 가질 수 있으며, 상기 선반(110)은 상기 프레임의 하부에 장착될 수 있다. 또한, 상기 프레임(120)은 다층 구조를 가질 수 있고, 상기 주행 레일(22)과 평행한 제1 수평 방향으로 복수개의 선반들이 상기 프레임에 장착될 수 있다.
상기 힌지 유닛(130)은 상기 주행 레일(22)과 평행한 상기 제1 수평 방향으로 연장되는 회전축(131)을 포함할 수 있다. 상기 회전축(131)은 상기 선반(110)의 일측에 결합하여 상기 선반(110)의 회전 중심이 될 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어 보관 장치(200)는 공급 노즐(231), 공급 포트(233), 공급 배관(235) 및 제1 연결 배관(237)을 포함할 수 있다.
상기 선반(210)에 상기 캐리어(10)가 놓인 경우, 상기 캐리어(10)의 내부에는 퍼지 가스가 공급될 수 있다. 예를 들면, 상기 캐리어(10) 내부로 퍼지 가스를 공급할 수 있는 상기 공급 노즐(231)은 상기 선반(210) 상에 구비될 수 있다.
또한, 상기 공급 노즐(231)과 결합하여 상기 캐리어(10) 내부로 퍼지 가스를 공급하는 상기 공급 포트(233)는 상기 캐리어(10) 저면에 구비될 수 있다.
한편, 상기 공급 노즐(231) 및 공급 포트(233)에 퍼지 가스를 제공하는 상기 공급 배관(235)이 상기 프레임(220)의 측면에 배치될 수 있다.
예를 들어, 상기 공급 배관(235)이 가스 저장소와 연결되어 있어 상기 가스 저장소로부터 상기 가스를 상기 공급 배관(245)을 통해 상기 공급 노즐(231) 및 공급 포트(233)에 제공할 수 있다.
상기 제1 연결 배관(237)은 상기 공급 배관(235)의 단부에 결합하여 상기 공급 노즐(231)과 상기 공급 배관(235) 사이를 연결할 수 있다. 상기 제1 연결 배관(237)은 상기 공급 배관(235)으로부터 공급받은 퍼지 가스를 상기 공급 노즐(231)에 제공함으로써, 상기 공급 노즐(231)이 상기 캐리어(10) 내부로 상기 퍼지 가스를 공급할 수 있다.
또한, 상기 캐리어 보관 장치(200)는 회수 노즐(241), 회수 포트(243), 회수 배관(345) 및 제2 연결 배관(247)을 포함할 수 있다.
상기 캐리어(10) 내부의 퍼지 가스를 회수하는 상기 회수 노즐(241)은 상기 선반(210) 상에 배치될 수 있다. 상기 회수 노즐(241)과 결합하여 상기 캐리어(10) 내부의 퍼지 가스를 회수할 수 있는 상기 회수 포트(243)는 상기 캐리어(10)의 저면에 구비될 수 있다.
한편, 상기 캐리어(10) 내부의 퍼지 가스를 회수할 수 있는 상기 회수 배관(245)은 상기 프레임(230)의 다른 측면에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 회수 배관(245)은 외부로 이어지는 배관과 연결되어 상기 회수된 퍼지 가스를 외부로 배출할 수 있다.
상기 회수 노즐(241)과 상기 회수 배관(245)의 사이를 연결하는 상기 제2 연결 배관(247)은 상기 회수 배관(245)의 단부에 연결될 수 있다. 상기 제2 연결 배관(247)은 상기 회수 노즐(241)로부터 회수되는 퍼지 가스를 상기 회수 배관(245)에 전달할 수 있다.
한편, 상기 공급 배관(235)과 제1 연결 배관(237) 사이는 제1 로터리 피팅(251)에 의해 연결될 수 있다. 상기 제1 로터리 피팅(251)은 상기 선반(210)이 회전함에 따라 발생하는 상기 공급 배관(235)과 제1 연결 배관(237) 사이의 간섭을 방지할 수 있다. 예를 들면, 상기 공급 배관(235) 및 제1 연결 배관(237)이 강관으로 구성되어 있고, 상기 공급 배관(235)과 상기 제1 연결 배관(237)이 일반적인 고정형 밸브로 연결되는 경우, 상기 제1 로터리 피팅(251)은 상기 선반(210)의 회전으로 발생하는 상기 공급 배관(235)과 상기 제1 연결 배관(237) 사이의 간섭을 해결할 수 있다.
또한, 상기 회수 배관(245)과 제2 연결 배관(247) 사이는 제2 로터리 피팅(253)에 의해 연결될 수 있다. 상기 제2 로터리 피팅(253)은 상기 선반(210)이 회전함에 따라 발생하는 상기 회수 배관(245)과 제2 연결 배관(247) 사이의 간섭을 방지할 수 있다. 예를 들면, 상기 회수 배관(245) 및 제2 연결 배관(247)이 강관으로 구성되어 있고, 상기 회수 배관(245)과 상기 제2 연결 배관(247)이 일반적인 고정형 밸브로 연결되는 경우, 상기 제2 로터리 피팅(253)은 상기 선반(210)의 회전으로 발생하는 상기 회수 배관(245)과 상기 제2 연결 배관(247) 사이의 간섭을 해결할 수 있다.
한편, 상기 선반(210)의 회전에 따른 상기 배관들의 간섭을 방지하기 위해 상기 배관들은 플렉시블 배관으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 상기 공급 배관(235) 및 제1 연결 배관(237)이 플렉시블 배관으로 구성됨으로써, 상기 공급 배관(235) 및 상기 제1 연결 배관(237)이 상기 선반(210)의 회전 시 발생하는 간섭을 방지할 수 있다. 또한, 상기 회수 배관(245) 및 제2 연결 배관(247) 플렉시블 배관으로 구성됨으로써, 상기 회수 배관(245) 및 상기 제2 연결 배관(247)이 상기 선반(210)의 회전 시 발생하는 간섭을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. 도 5는 도 4에 도시된 힌지 유닛의 결합 관계를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어 보관 장치(300)는 선반(310), 프레임(320), 힌지 유닛(330), 가이드 유닛(340) 및 그리퍼(351)를 포함할 수 있다.
상기 선반(310)은 회전이 유지된 상태로 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직한 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이로 인해, 상기 천장 이송 장치(20)를 유지 또는 보수함에 있어, 상기 캐리어 보관 장치(300)를 해체하지 않고 유지 또는 보수할 수 있다. 예를 들면, 작업자는 상기 천장 이송 장치(20)의 유지 보수를 위해 상기 프레임(320)의 내측으로 진입할 수 있으며, 상기 프레임(320)의 내측에서 상기 천장 이송 장치(20)의 주행 레일(22)에 대한 유지 보수 작업을 수행할 수 있다.
상기 힌지 유닛(330)은 회전축(331), 제1 힌지 부재(333) 및 제2 힌지 부재(335)를 포함할 수 있다.
상기 선반(310)의 일측에 결합하고 상기 제1 수평 방향으로 연장되는 상기 회전축(331)을 중심으로, 상기 선반(310)을 회전시키는 상기 힌지 유닛(330)은 상기 가이드 유닛(340)에 의해 상기 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이로 인해, 상기 선반(310)이 상기 힌지 유닛(330)과 함께 상기 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다.
제1 힌지 부재(333)는 상기 선반(310) 및 상기 회전축(331)의 사이에 연결됨으로써, 상기 회전축(331)의 회전 시 상기 선반(310)을 회전시킬 수 있다.
한편, 상기 회전축(331)과 상기 가이드 유닛(240)을 연결하는 상기 제2 힌지 부재(335)는 상기 회전축(331)과 가이드 유닛(340)의 사이에 배치될 수 있다.
상기 가이드 유닛(340)은 상기 가이드 레일(341) 및 가동 블록(343)으로 구성될 수 있다.
상기 가이드 블록(343)을 상기 제2 수평 방향으로 안내하는 상기 가이드 레일(341)은 상기 프레임(320)의 측면에 배치될 수 있다.
상기 가이드 레일(341)은 다양한 형태로 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드 레일은(341) LM 가이드, 텔레스코프 가이드, 슬라이드 가이드 등의 형태로 구성될 수 있다.
한편, 상기 제2 힌지 부재(335)를 통해 상기 회전축(331)과 결합하는 상기 가동 블록(343)은 상기 가이드 레일(341)과 결합함으로써, 상기 가이드 레일(341)이 안내하는 상기 제2 수평 방향으로 상기 선반(310)을 이동시킬 수 있다.
상기 그리퍼(351)는 상기 프레임(320) 양측에 구비 될 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼(351)는 상기 선반(310)을 보다 작은 힘으로 고정하기 위해 상기 프레임(320)의 상단에 위치하여 상기 선반(310)을 고정할 수 있다.
상기 그리퍼(351)는 상기 회전된 상태의 선반(310)을 고정하거나 상기 회전된 상태로 제2 수평 방향으로 이동한 상기 선반(310)을 고정할 수 있다.
상기 그리퍼(351)는 스냅 핏, 핀 체결 구조 등 다양한 형태로 구비될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100,200,300 : 캐리어 보관 장치
10 : 캐리어 20 : 천장 이송 장치
22 : 주행 레일 110,210,310 : 선반
120,220,320 : 프레임 130,330 : 힌지 유닛
131,331 : 회전축 231 : 공급 노즐
233 : 공급 포트 235 : 공급 배관
237 : 제1 연결 배관 241 : 회수 노즐
243 : 회수 포트 245 : 회수 배관
247 : 제2 연결 배관 251 : 제1 로터리 피팅
253: 제2 로터리 피팅 333 : 제1 힌지 부재
335: 제2 힌지 부재 340 : 가이드 유닛
341 : 가이드 레일 343 : 가동 블록
351 : 그리퍼

Claims (13)

  1. 캐리어를 지지하기 위한 선반;
    상기 캐리어의 이송을 위한 천장 이송 장치의 주행 레일의 일측에 배치되어 상기 선반이 수평 상태로 유지되도록 상기 선반이 장착된 프레임; 및
    상기 주행 레일과 평행한 방향으로 제1방향으로 배치되는 회전축을 포함하고, 상기 회전축을 중심으로 상기 선반이 회전 가능하도록 상기 선반과 상기 프레임 사이를 연결하는 힌지 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 선반에는 캐리어의 내부로 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 노즐과 상기 캐리어로 공급된 상기 퍼지 가스를 회수하기 위한 회수 노즐이 구비되고,
    상기 캐리어에는 상기 캐리어가 상기 선반 상에 놓여지는 경우 상기 공급 노즐과 결합하는 공급 포트 및 상기 회수 노즐과 결합하는 회수 포트가 구비되는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 공급 노즐과 연결되어 상기 캐리어 내부에 퍼지 가스를 공급하는 공급 배관;
    상기 회수 노즐과 연결되어 상기 캐리어 내부의 퍼지 가스를 회수하는 회수 배관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장지.
  4. 제3항에 있어서, 상기 공급 노즐 및 공급 배관 사이를 연결해주는 제1 연결 배관; 및
    상기 회수 노즐 및 회수 배관 사이를 연결해주는 제2 연결 배관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 공급 배관과 제1 연결 배관을 연결하는 제1 로터리 피팅; 및
    상기 회수 배관과 제2 연결배관을 연결하는 제2 로터리 피팅을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결배관은 플렉시블 배관인 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 힌지 유닛은 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 프레임에 장착되며 상기 힌지 유닛을 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 안내하기 위한 가이드 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  9. 제8항에 있어서 상기 가이드 유닛은,
    가이드 레일 및 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 가동 블록을 포함하고,
    상기 힌지 유닛은 상기 가동 블록에 장착되는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 힌지 유닛은 상기 가동 블록에 장착되는 제1 힌지 부재; 및
    선반의 일측에 결합되는 제2 힌지 부재를 포함하고,
    상기 제1 및 제2 힌지 부재들은 상기 회전축에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 선반이 회전된 상태를 고정시키기 위한 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 고정부는 상기 프레임에 배치되어 상기 선반을 고정시키는 그리퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 가동 부재가 상기 가이드 레일로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 가동 부재의 이동을 제한하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
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