KR20220031108A - 방사상 오프셋 및 각도 오프셋을 조정하기 위한 시일링 인터페이스 (sealing interface) - Google Patents

Abstract

시일링 인터페이스는 볼록한 표면을 갖는 단부를 갖는 제 1 튜브 및 볼록한 표면을 갖는 단부를 갖는 제 2 튜브를 포함한다. 스페이서는 제 1 튜브와 제 2 튜브의 각각의 단부 사이에 배치된다. 스페이서의 일 측면은 제 1 튜브의 단부의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖고, 그리고 스페이서의 또 다른 측면은 제 2 튜브의 단부의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖는다. 스페이서는 제 1 튜브의 유체 통로 및 제 2 튜브의 유체 통로와 유체로 연통하는 쓰루 홀을 포함한다. 결속 엘리먼트들이 제 1 튜브 및 제 2 튜브에 각각 커플링되고, 결속 엘리먼트들은 제 1 튜브와 스페이서 사이에 압축력을 인가하고, 그리고 제 2 튜브와 스페이서 사이에 압축력을 인가한다.

Description

방사상 오프셋 및 각도 오프셋을 조정하기 위한 시일링 인터페이스 (sealing interface)

머신들에서, 허용 오차 누적 (tolerance stack-up) 은 컴포넌트들을 어셈블하기 어렵게 만들 수 있다. 예로서, 반도체 프로세싱 툴에서, 튜브들은 매니폴드로부터 밸브로 그리고 밸브로부터 프로세싱 챔버 내로 가스를 이송하도록 사용될 수도 있다. 허용 오차 누적은 일부 경우들에서, 결합될 (join) 튜브들의 단부들 사이 또는 튜브의 단부와 튜브의 단부가 결합될 연결 컴포넌트 (connected component), 예를 들어, 유체 분배를 위해 매니폴드에 연결 컴포넌트 사이에 최대 1/4인치의 상대적으로 큰 오프셋을 발생시킬 수 있다. 결합될 컴포넌트들 사이의 이러한 상대적으로 큰 오프셋은 설치 프로세스를 어렵게 그리고 시간 소모적으로 만들 수 있다.

이러한 맥락에서 실시 예들이 발생한다.

예시적인 실시 예에서, 시일링 인터페이스 (sealing interface) 는 볼록한 표면을 갖는 단부를 갖는 제 1 튜브 및 볼록한 표면을 갖는 단부를 갖는 제 2 튜브를 포함한다. 스페이서가 제 1 튜브와 제 2 튜브의 각각의 단부들 사이에 배치되고, 스페이서는 제 1 측면, 제 2 측면, 및 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면을 포함한다. 스페이서의 제 3 측면은 스페이서의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면을 갖는다. 스페이서의 제 1 측면은 제 1 튜브의 단부의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖고, 그리고 스페이서의 또 다른 측면은 제 2 튜브의 단부의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖는다. 스페이서는 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 쓰루 홀 (through hole) 을 포함하고, 쓰루 홀은 제 1 튜브의 유체 통로 및 제 2 튜브의 유체 통로와 유체로 연통한다. 복수의 결속 엘리먼트들 (tying elements) 이 제 1 튜브 및 제 2 튜브에 각각 커플링되고, 복수의 결속 엘리먼트들은 제 1 튜브와 스페이서 사이에 압축력을 인가하고, 그리고 복수의 결속 엘리먼트들은 제 2 튜브와 스페이서 사이에 압축력을 인가한다.

일 실시 예에서, 제 1 튜브의 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 환형 채널 내에 있고 시일링 부재의 일부가 스페이서의 제 1 측면과 콘택트하도록 시일링 부재가 제 1 튜브의 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된다. 일 실시 예에서, 제 1 튜브의 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된 시일링 부재는 O-링이다.

일 실시 예에서, 제 2 튜브의 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 환형 채널 내에 있고 시일링 부재의 일부가 스페이서의 제 2 측면과 콘택트하도록 시일링 부재가 제 2 튜브의 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된다. 일 실시 예에서, 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 단부들에 규정된 환형 채널들 내에 배치된 시일링 부재들 각각은 O-링이다.

일 실시 예에서, 제 1 튜브의 단부는 이로부터 연장하는 플랜지를 갖고, 제 2 튜브의 단부는 이로부터 연장하는 플랜지를 갖고, 그리고 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 단부들로부터 연장하는 플랜지들 각각은 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는다. 일 실시 예에서, 복수의 결속 엘리먼트들은 제 1 튜브의 플랜지의 복수의 홀들 및 제 2 튜브의 플랜지의 복수의 홀들에 각각 커플링된다. 일 실시 예에서, 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함한다.

일 실시 예에서, 제 1 튜브의 단부로부터 연장하는 플랜지는 제 1 튜브와 일체로 형성되거나 제 2 튜브의 단부로부터 연장하는 플랜지는 제 2 튜브와 일체로 형성된다. 일 실시 예에서, 제 1 튜브의 단부로부터 연장하는 플랜지는 제 1 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트에 의해 규정되거나 제 2 튜브의 단부로부터 연장하는 플랜지는 제 2 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트에 의해 규정된다. 일 실시 예에서, 제 1 튜브 또는 제 2 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트는 와셔 (washer) 이다.

일 실시 예에서, 복수의 돌출부들이 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 단부들에 근접하게 제공되고, 복수의 돌출부들은 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들 둘레에 이격된다. 일 실시 예에서, 복수의 돌출부들은 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 단부들의 외측 주변부의 충돌을 피하기 (clear) 충분한 거리로 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 포스트들 (posts) 을 포함하고, 그리고 복수의 결속 엘리먼트들은 제 1 튜브의 포스트들의 외측 단부들 및 제 2 튜브의 포스트들의 외측 단부들에 각각 커플링된다. 일 실시 예에서, 복수의 돌출부들은 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 단부들의 외측 주변부의 충돌을 피하기 충분한 거리로 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 탭들을 포함하고, 탭들 각각은 이들의 외측 단부에 근접하게 내부에 규정된 홀을 갖고, 그리고 복수의 결속 엘리먼트들은 제 1 튜브의 탭들의 복수의 홀들 및 제 2 튜브의 탭들의 복수의 홀들에 각각 커플링된다.

또 다른 예시적인 실시 예에서, 시일링 인터페이스는 제 1 단부, 제 2 단부, 및 제 1 단부로부터 제 2 단부로 연장하는 내부 통로를 갖는 연결 컴포넌트 (connected component) 를 포함한다. 제 1 단부는 유체 소스로부터의 유체가 연결 컴포넌트의 내부 통로를 통해 소스로부터 멀어지게 가이드되도록 유체 소스에 연결되도록 구성된다. 제 2 단부는 볼록한 표면 및 플랜지를 포함하고, 플랜지는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는다. 시일링 인터페이스는 또한 볼록한 표면 및 플랜지를 갖는 단부를 갖는 튜브를 포함하고, 플랜지는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는다. 스페이서가 연결 컴포넌트의 제 2 단부와 튜브의 단부 사이에 배치되고, 스페이서는 제 1 측면, 제 2 측면, 및 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면을 포함한다. 스페이서의 제 3 측면은 스페이서의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면을 갖는다. 스페이서의 제 1 측면은 연결 컴포넌트의 제 2 단부의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖고, 그리고 스페이서의 제 2 측면은 튜브의 단부의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖는다. 스페이서는 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 쓰루 홀을 포함하고, 쓰루 홀은 연결 컴포넌트의 내부 통로 및 튜브의 유체 통로와 유체로 연통한다. 복수의 결속 엘리먼트들이 연결 컴포넌트의 플랜지의 복수의 홀들 및 튜브의 플랜지의 복수의 홀들에 각각 커플링되고, 복수의 결속 엘리먼트들은 연결 컴포넌트와 스페이서 사이에 압축력을 인가하고, 그리고 복수의 결속 엘리먼트들은 튜브와 스페이서 사이에 압축력을 인가한다.

일 실시 예에서, 연결 컴포넌트의 제 2 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 환형 채널 내에 있고 시일링 부재의 일부가 스페이서의 제 1 측면과 콘택트하도록 시일링 부재가 연결 컴포넌트의 제 2 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된다. 일 실시 예에서, 연결 컴포넌트의 제 2 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된 시일링 부재는 O-링이다.

일 실시 예에서, 튜브의 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 환형 채널 내에 있고 시일링 부재의 일부가 스페이서의 제 2 측면과 콘택트하도록 시일링 부재가 튜브의 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된다. 일 실시 예에서, 연결 컴포넌트 및 튜브의 각각의 단부들에 규정된 환형 채널들 내에 배치된 시일링 부재들 각각은 O-링이다.

일 실시 예에서, 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들을 포함한다. 일 실시 예에서, 복수의 결속 엘리먼트들은 와이어들 또는 볼트들을 포함한다. 일 실시 예에서, 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함한다.

일 실시 예에서, 연결 컴포넌트의 플랜지는 내부에 규정된 4 개의 홀들을 갖고, 4 개의 홀들은 연결 컴포넌트의 플랜지의 외측 주변부 둘레에 실질적으로 고르게 이격된다. 튜브의 플랜지는 내부에 규정된 4 개의 홀들을 갖고, 4 개의 홀들은 튜브의 플랜지의 외측 주변부 둘레에 실질적으로 고르게 이격된다. 4 개의 결속 엘리먼트들은 연결 컴포넌트의 플랜지에 규정된 4 개의 홀들 및 튜브의 플랜지의 4 개의 홀들에 각각 커플링된다. 일 실시 예에서, 4 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들이다. 또 다른 실시 예에서, 4 개의 결속 엘리먼트들은 와이어들 또는 볼트들이다. 또 다른 실시 예에서, 4 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합이다.

일 실시 예에서, 연결 컴포넌트의 플랜지는 내부에 규정된 적어도 5 개의 홀들을 갖고, 적어도 5 개의 홀들은 연결 컴포넌트의 플랜지의 외측 주변부 둘레에 이격된다. 튜브의 플랜지는 내부에 규정된 적어도 5 개의 홀들을 갖고, 적어도 5 개의 홀들은 튜브의 플랜지의 외측 주변부 둘레에 이격된다. 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 연결 컴포넌트의 플랜지에 규정된 적어도 5 개의 홀들 및 튜브의 플랜지의 적어도 5 개의 홀들에 각각 커플링된다. 일 실시 예에서, 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들 중 제 1 개수의 결속 엘리먼트는 연결 컴포넌트의 플랜지의 일 측면에 규정된 홀들 및 튜브의 플랜지의 일 측면에 규정된 홀들에 각각 커플링되고, 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들 중 제 2 개수의 결속 엘리먼트는 연결 컴포넌트의 플랜지의 또 다른 측면에 규정된 홀들 및 튜브의 플랜지의 또 다른 측면에 규정된 홀들에 각각 커플링된다. 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들 중 제 1 개수의 결속 엘리먼트는 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들의 제 2 개수의 결속 엘리먼트보다 크다.

일 실시 예에서, 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들을 포함한다. 일 실시 예에서, 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함한다.

또 다른 예시적인 실시 예에서, 시일링 인터페이스는 단부를 갖는 제 1 튜브를 포함한다. 스페이서가 제 1 측면, 제 2 측면, 및 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면을 갖는다. 스페이서의 제 3 측면은 스페이서의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면을 갖는다. 스페이서의 제 1 측면은 제 1 튜브의 단부에 부착되고, 스페이서의 제 2 측면은 오목한 표면을 갖는다. 스페이서는 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 쓰루 홀을 포함하고, 쓰루 홀은 제 1 튜브의 유체 통로와 유체로 연통한다. 제 2 튜브가 스페이서의 제 2 측면의 오목한 표면과 실질적으로 매칭하는 볼록한 표면을 갖는 단부를 갖고, 제 2 튜브의 단부는 스페이서의 쓰루 홀이 제 2 튜브의 유체 통로와 유체로 연통하도록 스페이서의 제 2 측면과 대향하는 관계로 배치된다. 복수의 결속 엘리먼트들이 제 1 튜브 및 제 2 튜브에 각각 커플링되거나 스페이서 및 제 2 튜브에 각각 커플링되고, 복수의 결속 엘리먼트들은 제 2 튜브와 스페이서 사이에 압축력을 인가한다.

일 실시 예에서, 제 2 튜브의 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 환형 채널 내에 있고 시일링 부재의 일부가 스페이서의 제 2 측면과 콘택트하도록 시일링 부재가 제 2 튜브의 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된다. 일 실시 예에서, 제 2 튜브의 단부에 규정된 환형 채널 내에 배치된 시일링 부재는 O-링이다.

일 실시 예에서, 복수의 돌출부들이 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 단부들에 근접하게 제공되고, 복수의 돌출부들은 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들 둘레에 이격된다. 일 실시 예에서, 복수의 돌출부들은 스페이서 및 제 2 튜브의 각각의 외측 주변부의 충돌을 피하기 충분한 거리로 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 포스트들을 포함하고, 그리고 복수의 결속 엘리먼트들은 제 1 튜브의 포스트들의 외측 단부들 및 제 2 튜브의 포스트들의 외측 단부들에 각각 커플링된다.

일 실시 예에서, 복수의 돌출부들은 스페이서 및 제 2 튜브의 각각의 외측 주변부의 충돌을 피하기 충분한 거리로 제 1 튜브 및 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 탭들을 포함하고, 탭들 각각은 이들의 외측 단부에 근접하게 내부에 규정된 홀을 갖고, 그리고 복수의 결속 엘리먼트들은 제 1 튜브의 탭들의 복수의 홀들 및 제 2 튜브의 탭들의 복수의 홀들에 각각 커플링된다.

일 실시 예에서, 플랜지는 스페이서의 외측 표면으로부터 연장하고, 스페이서의 플랜지는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는다. 제 2 튜브의 단부는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는 플랜지를 포함하고, 그리고 복수의 결속 엘리먼트들은 스페이서의 플랜지의 복수의 홀들 및 제 2 튜브의 플랜지의 복수의 홀들에 각각 커플링된다. 일 실시 예에서, 제 2 튜브의 플랜지는 제 2 튜브와 일체로 형성된다. 일 실시 예에서, 제 2 튜브의 플랜지는 제 2 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트에 의해 규정된다. 일 실시 예에서, 제 2 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트는 와셔이다.

일 실시 예에서, 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들을 포함한다. 일 실시 예에서, 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함한다.

본 명세서의 개시들의 다른 양태들 및 이점들은 예로서 본 개시들의 원리들을 예시하는, 첨부된 도면들과 함께 취해진 이하의 상세한 기술로부터 명백해질 것이다.

도 1은 일 실시 예에 따른, 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브들을 도시하는 간략화된 개략도이다.
도 2a는 또 다른 실시 예에 따른, 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브들을 도시하는 간략화된 개략도이다.
도 2b는 또 다른 예시적인 실시 예에 따른, 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브들을 도시하는 간략화된 개략도이다.
도 3은 예시적인 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트 및 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다.
도 4는 또 다른 예시적인 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트 및 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다.
도 5는 예시적인 실시 예에 따른, 결속 엘리먼트들의 포지셔닝을 예시하는 시일링 인터페이스의 등축도 (isometric view) 이다.
도 6은 예시적인 실시 예에 따른, 플랜지의 일 측면 상의 보다 많은 결속 엘리먼트들의 사용을 예시하는 시일링 인터페이스의 등축도이다.
도 7a는 일 실시 예에 따른, 도 3 내지 도 5에 도시된 튜브의 부가적인 상세들을 예시하는 등축도이다.
도 7b는 일 실시 예에 따른, 도 7a에 도시된 튜브의 측면도이다.
도 7c는 예시적인 실시 예에 따른, 도 7b에 도시된 튜브의 제 1 단부의 확대된 단면도를 도시한다.
도 8a 및 도 8b는 일 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트의 부가적인 상세들을 각각 예시하는 등축 전면도 및 등축 후면도이다.
도 8c는 일 실시 예에 따른, 도 8a 및 도 8b에 도시된 연결 컴포넌트의 측면도이다.
도 8d는 예시적인 실시 예에 따른, 도 8a 및 도 8b에 도시된 연결 컴포넌트의 단면도를 도시한다.
도 9a는 일 실시 예에 따른, 도 3 및 도 4에 도시된 스페이서의 부가적인 상세들을 예시하는 등축도이다.
도 9b는 일 실시 예에 따른, 도 9a에 도시된 스페이서의 제 1 측면과 대면하는 도면이다.
도 9c는 일 실시 예에 따른, 도 9b에 도시된 라인 A-A를 따라 취해진 스페이서의 단면도이다.
도 10은 또 다른 예시적인 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트 및 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다.
도 11은 예시적인 실시 예에 따른, 스페이서가 튜브에 부착되는 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브 및 연결 컴포넌트를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다.

이하의 기술 (description) 에서, 예시적인 실시 예들의 완전한 이해를 제공하기 위해 수많은 구체적 상세들이 제시된다. 그러나, 예시적인 실시 예들이 이들 구체적인 상세들의 일부 없이 실시될 수도 있다는 것이 당업자들에게 명백할 것이다. 다른 예들에서, 프로세스 동작들 및 구현 예 상세들은, 이미 공지되었다면 상세히 기술되지 않았다.

본 발명의 실시 예들은 튜브들을 연결하도록 사용될 수 있는 시일링 인터페이스 (sealing interface) 를 제공한다. 예로서, 시일링 인터페이스는 일 튜브를 또 다른 튜브에 연결하도록 사용될 수 있다. 시일링 인터페이스는 또한 시스템의 또 다른 컴포넌트, 예를 들어, 시스템 내에 유체들을 분배하기 위해 매니폴드에 연결 컴포넌트 (connected component) 에 튜브를 연결하도록 사용될 수 있다. 시일링 인터페이스는 튜브들, 특히 튜브 내부의 압력이 외부 압력보다 낮은 튜브들의 방사상 오프셋 및 각도 오프셋을 수용한다. 시일링 인터페이스는 튜브의 일 단부 또는 튜브의 양 단부들에서 사용될 수 있다. 또한, 보다 큰 오프셋들을 수용하기 위해 필요하다면, 시일링 인터페이스는 일련의 튜브들에서 복수 회 구현될 수 있다.

도 1은 일 실시 예에 따른, 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브들을 도시하는 간략화된 개략도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 스페이서 (102) 는 튜브들 (104 및 106) 의 대향하는 단부들 사이에 배치된다. 튜브 (104) 의 단부는 볼록한 표면 (104a) 을 갖고, 튜브 (106) 의 단부는 볼록한 표면 (106a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 는 제 1 측면 (102-1), 제 2 측면 (102-2), 및 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면 (102-3) 을 포함한다. 제 3 측면 (102-3) 은 스페이서 (102) 의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면 (102-3a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 의 제 1 측면 (102-1) 은 튜브 (104) 의 볼록한 표면 (104a) 과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면 (102-1a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 의 제 2 측면 (102-2) 은 튜브 (106) 의 볼록한 표면 (106a) 과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면 (102-2a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 는 또한 제 1 측면 (102-1) 으로부터 제 2 측면 (102-2) 으로 연장하는 쓰루 홀 (through hole) (102h) 을 포함한다. 복수의 돌출부들 (104-P) 이 튜브 (104) 의 외측 표면 (104s) 둘레에 이격되고, 복수의 돌출부들 (106-P) 이 튜브 (106) 의 외측 표면 (106s) 둘레에 이격된다. 튜브 (104) 와 튜브 (106) 를 연결하기 위해 복수의 결속 엘리먼트들 (tying elements) (108) 이 사용된다. 특히, 결속 엘리먼트들 (108) 각각은 튜브 (104) 의 돌출부들 (104-P) 중 하나 및 튜브 (106) 의 돌출부들 (106-P) 중 하나에 각각 커플링된다. 결속 엘리먼트들은 튜브 (104) 와 스페이서 (102) 사이에 압축력을 인가하고, 튜브 (106) 와 스페이서 (102) 사이에 압축력을 인가한다. 각각의 튜브들 (104 및 106) 과 스페이서 (102) 사이에 인가된 압축력은 스페이서를 튜브들 사이에 포지셔닝시킨 채로 유지한다.

튜브들 (104 및 106) 사이의 스페이서 (102) 의 존재는 스페이서가 튜브들의 상대적인 포지셔닝으로 하여금 튜브들의 방사상 오프셋 및 각도 오프셋을 수용하도록 조정되게 하기 때문에, 튜브들의 각각의 단부들이 상대적으로 신속하고 효율적으로 연결되게 한다. 특히, 튜브 (104) 의 볼록한 표면 (104a) 과 스페이서 (102) 의 오목한 표면 (102-1a) 은 오목한 표면 (102-1a) 의 형상이 볼록한 표면 (104a) 의 형상과 실질적으로 매칭하기 때문에 서로에 대해 이동될 수 있다. 유사하게, 튜브 (106) 의 볼록한 표면 (106a) 과 스페이서 (102) 의 오목한 표면 (102-2a) 은 오목한 표면 (102-2a) 의 형상이 볼록한 표면 (106a) 의 형상과 실질적으로 매칭하기 때문에 서로에 대해 이동될 수 있다. 스페이서 (102) 의 쓰루 홀 (102h) 은 튜브들의 상대적인 위치들이 튜브들의 방사상 오프셋 및 각도 오프셋을 수용하도록 조정될 때, 튜브 (104) 의 유체 통로 (104x) 가 튜브 (106) 의 유체 통로 (106x) 와 유체로 연통한 채 남아 있게 한다.

튜브 (104) 둘레에 이격된 복수의 돌출부들 (104-P) 및 튜브 (106) 둘레에 이격된 복수의 돌출부들 (106-P) 은 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다. 예로서, 돌출부들 (104-P 및 106-P) 은 포스트들 (posts), 로드들 (rods), 또는 탭들일 수 있다. 돌출부들 (104-P 및 106-P) 은 각각의 튜브들 (104 및 106) 과 일체로 형성될 수 있거나, 적합한 결합 기법, 예를 들어, 용접을 사용하여 각각의 튜브들의 표면들에 개별적으로 부착될 수 있다. 일 예시적인 실시 예에서, 4 개의 돌출부들 (104-P) 이 튜브 (104) 둘레에 실질적으로 고르게 이격되고, 4 개의 돌출부들 (106-P) 이 튜브 (106) 둘레에 실질적으로 고르게 이격된다. 당업자는 돌출부들의 개수가 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 가변될 수도 있다는 것을 인식할 것이다. 튜브 (104) 의 돌출부들 (104-P) 및 튜브 (106) 의 돌출부들 (106-P) 에 각각 커플링된 결속 엘리먼트들 (108) 은 기계적 적용에 적합한 결속 엘리먼트들의 군으로부터 선택될 수 있다. 예로서, 복수의 결속 엘리먼트들 (108) 은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 이들 엘리먼트들의 임의의 조합을 포함할 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) 이 스프링들인 예에서, 스프링들은 돌출부들의 외측 단부들에 규정된 홀들 내로 스프링들의 단부들의 후크들을 삽입함으로써 돌출부들 (104-P 및 106-P) 에 커플링될 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) 이 볼트들인 예에서, 볼트들은 돌출부들의 외측 단부들에 규정된 홀들을 통해 볼트들을 삽입하고 볼트들의 단부들에 적합한 너트들을 패스닝함으로써 (fastening) 돌출부들 (104-P 및 106-P) 에 커플링될 수 있다. 필요하다면, 적합한 와셔들 (washers), 예를 들어, 구형 와셔들 (spherical washers) 이 너트들과 돌출부들 사이에 배치될 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) 이 와이어들인 예에서, 와이어들은 예로서, 돌출부들의 단부들에 와이어들을 결속하는 단계, 돌출부들의 단부들 둘레에 와이어들을 랩핑하는 단계, 및 돌출부들의 단부들에 규정된 홀들을 통해 와이어들을 연결하고 (run) 적합한 메커니즘, 예를 들어, 턴버클 (turnbuckle) 로 와이어들을 조이는 (tighten) 단계를 포함하는, 임의의 적합한 방식으로 돌출부들 (104-P 및 106-P) 에 부착될 수 있다.

도 2a는 또 다른 실시 예에 따른, 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브들을 도시하는 간략화된 개략도이다. 도 2a의 예시적인 실시 예는 도 1의 예시적인 실시 예와 유사하지만, 결속 엘리먼트들이 각각의 튜브들의 단부들에서 플랜지들에 각각 커플링된다는 점에서 상이하다. 특히, 튜브 (104) 의 단부는 볼록한 표면 (104a) 의 외측 주변부로부터 연장하는 플랜지 (104f) 를 포함한다. 튜브 (106) 의 단부는 볼록한 표면 (106a) 의 외측 주변부로부터 연장하는 플랜지 (106f) 를 포함한다. 결속 엘리먼트들 (108) 이 스프링들인 예에서, 스프링들은 플랜지들 각각에 규정된 복수의 홀들 내로 스프링들의 단부들의 후크들을 삽입함으로써 플랜지 (104f) 및 플랜지 (106f) 에 커플링될 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) 이 볼트들인 예에서, 볼트들은 플랜지들에 규정된 홀들을 통해 볼트들을 삽입하고 볼트들의 단부들에 적합한 너트들을 패스닝함으로써 플랜지 (104f) 및 플랜지 (106f) 에 커플링될 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) 이 와이어들인 예에서, 와이어들은 예로서, 와이어들을 플랜지들의 홀들에 결속하는 단계, 플랜지들의 홀들 둘레에 와이어들을 랩핑하는 단계, 및 플랜지들에 규정된 홀들을 통해 와이어들을 연결하고 적합한 메커니즘, 예를 들어, 턴버클로 와이어들을 조이는 단계를 포함하는, 임의의 적합한 방식으로 플랜지 (104f) 및 플랜지 (106f) 에 부착될 수 있다. 도 2에 도시된 예시적인 실시 예에서, 플랜지 (104f) 는 튜브 (104) 의 단부와 일체로 형성되고, 플랜지 (106f) 는 튜브 (106) 의 단부와 일체로 형성된다. 플랜지들은 또한 도 2b를 참조하여 이하에 보다 상세히 기술된 바와 같이, 튜브들 상에 장착된 별도의 엘리먼트들, 예를 들어, 와셔 또는 다른 링-유사 컴포넌트에 의해 규정될 수 있다는 것이 명백할 것이다.

도 2b는 또 다른 예시적인 실시 예에 따른, 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브들을 도시하는 간략화된 개략도이다. 도 2b의 예시적인 실시 예는 도 2a의 예시적인 실시 예와 유사하지만, 튜브들 중 하나가 별도의 플랜지 엘리먼트를 포함한다는 점에서 상이하다. 특히, 도 2b에 도시된 바와 같이, 튜브 (106') 는 상부에 장착된 플랜지 엘리먼트 (112) 를 갖는다. 일 예시적인 실시 예에서, 플랜지 (112) 는 와셔로 하여금 튜브 (106') 상에 장착되게 하기에 충분한 내경을 규정하는 중심 홀을 갖는 와셔이다. 플랜지 엘리먼트 (112) 는 볼록한 표면 (106'a) 의 외측 주변부에 규정된 바와 같이, 튜브 (106') 의 단부의 외경보다 큰 외경을 갖는다. 이와 같이, 플랜지 엘리먼트 (112) 의 외측 주변부는 플랜지 (106f) (도 2a 참조) 에 대해 상기 기술된 동일한 기법들을 사용하여 결속 엘리먼트들 (108) 에 커플링될 수 있다. 일 예시적인 실시 예에서, 복수의 홀들이 플랜지 엘리먼트 (112) 의 외측 주변부에 규정되고, 이들 홀들은 목표된 간격들로 플랜지 엘리먼트의 외측 주변부 둘레에 이격된다.

도 3은 예시적인 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트 및 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다. 연결 컴포넌트 (204) 의 제 1 단부는 유체 소스로부터의 유체가 연결 컴포넌트의 내부 통로 (204x) 를 통해 소스로부터 멀어지게 가이드되도록, 유체 소스에 연결되게 구성된다. 일 예시적인 실시 예에서, 유체 소스는 매니폴드, 예를 들어, 반도체 프로세싱 툴에서 유체를 분배하기 위한 매니폴드이다. 연결 컴포넌트에 관한 부가적인 상세들은 도 8a 내지 도 8d를 참조하여 이하에 기술된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 스페이서 (102) 는 연결 컴포넌트 (204) 의 제 2 단부와 튜브 (206) 의 일 단부 사이에 배치된다. 연결 컴포넌트 (204) 의 제 2 단부는 볼록한 표면 (204a) 을 갖고, 튜브 (206) 의 단부는 볼록한 표면 (206a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 의 제 1 측면 (102-1) 은 연결 컴포넌트 (204) 의 볼록한 표면 (204a) 과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면 (102-1a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 의 제 2 측면 (102-2) 은 튜브 (206) 의 볼록한 표면 (206a) 과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면 (102-2a) 을 갖는다. 연결 컴포넌트 (204) 의 제 2 단부는 볼록한 표면 (204a) 의 외측 주변부에 근접한 연결 컴포넌트의 제 2 단부의 외측 표면으로부터 연장하는 플랜지 (204f) 를 포함한다. 튜브 (206) 의 단부는 볼록한 표면 (206a) 의 외측 주변부에 근접한 튜브의 단부의 외측 표면으로부터 연장하는 플랜지 (206f) 를 포함한다. 도 3의 예시적인 실시 예에서, 결속 엘리먼트들 (108) 은 스프링들이다. 스프링들은 플랜지 (204f) 에 규정된 홀들 (204f-1) 및 플랜지 (206f) 에 규정된 홀들 (206f-1) 내로 스프링들의 단부들의 후크들을 삽입함으로써 플랜지들 (204f 및 206f) 에 커플링될 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) (이 예에서 스프링들) 은 연결 컴포넌트 (204) 와 스페이서 (102) 사이에 압축력을 인가하고 튜브 (206) 와 스페이서 (102) 사이에 압축력을 인가한다. 이들 압축력들은 스페이서 (102) 를 연결 컴포넌트 (204) 와 튜브 (206) 사이에 포지셔닝시킨 채로 유지한다.

도 3의 예시적인 실시 예에서, 시일링 부재 (208-1) 는 연결 컴포넌트 (204) 와 스페이서 (102) 사이에 제공되고, 시일링 부재 (208-2) 는 튜브 (206) 와 스페이서 (102) 사이에 제공된다. 특히, 환형 채널은 연결 컴포넌트 (204) 의 제 2 단부에서 볼록한 표면 (204a) 내에 규정되고, 시일링 부재 (208-1) 는 환형 채널 내에 배치된다. 시일링 부재 (208-1) 는 시일링 부재의 일부가 환형 채널 내에 있고 시일링 부재의 일부가 스페이서 (102) 의 오목한 표면 (102-1a) 과 콘택트하도록 환형 채널 내에 배치될 수 있다. 유사하게, 환형 채널은 튜브 (206) 의 단부에서 볼록한 표면 (206a) 내에 규정되고, 시일링 부재 (208-2) 는 환형 채널 내에 배치된다. 시일링 부재 (208-2) 는 시일링 부재의 일부가 환형 채널 내에 있고 시일링 부재의 일부가 스페이서 (102) 의 오목한 표면 (102-2a) 과 콘택트하도록 환형 채널 내에 배치될 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) (이 예에서 스프링들) 에 의해 인가된 압축력은 시일링 부재들 (208-1 및 208-2) 에 의해 제공된 각각의 시일들 (seals) 의 무결성을 유지한다. 예로서, 시일링 부재들 (208-1 및 208-2) 은 O-링들일 수 있다; 그러나, 당업자는 임의의 적합한 시일링 부재가 사용될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 연결 컴포넌트 및 튜브의 볼록한 표면들에 규정된 환형 채널들에 관한 부가적인 상세들은 예를 들어, 도 7a 및 도 8a를 참조하여 이하에 기술된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 연결 컴포넌트 (204) 의 중심선 (204c) 은 튜브 (206) 의 중심선 (206c) 으로부터 방사상으로 오프셋된다. 연결 컴포넌트 (204) 및 튜브 (206) 의 단부들의 각각의 프로파일들과 실질적으로 매칭하는 프로파일을 갖는 측면들을 포함하는 스페이서 (102) 의 구성은, 튜브 및 연결 컴포넌트에 대한 스페이서의 위치로 하여금 연결 컴포넌트와 튜브 사이의 방사상 오프셋을 수용하도록 조정되게 한다. 이와 같이, 연결 컴포넌트 및 튜브는 방사상으로 오프셋됨에도 불구하고 상대적으로 신속하게 연결될 수 있다. 또한, 스페이서 (102) 의 쓰루 홀 (102h) 은 연결 컴포넌트의 유체 통로 (204x) 및 튜브의 유체 통로 (206x) 와 유체로 연통한다. 따라서, 연결 컴포넌트 (204) 와 튜브 (206) 사이의 방사상 오프셋에도 불구하고, 유체 통로들 (204x 및 206x) 은 연결 컴포넌트 및 튜브가 스페이서 (102) 에 의해 연결될 때 유체로 연통한다.

도 4는 또 다른 예시적인 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트 및 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다. 도 4의 예시적인 실시 예는 도 3의 예시적인 실시 예와 유사하지만, 연결 컴포넌트 (204) 와 튜브 (206) 사이에 각도 오프셋이 있다는 점에서 상이하다. 도 3 및 도 4 모두에 도시된 바와 같이, 연결 컴포넌트 (204) 의 중심선 (204c) 은 실질적으로 수평 라인을 규정한다. 도 3에서, 튜브 (206) 의 중심선 (206c) 은 또한 실질적으로 수평 라인을 규정한다; 그러나, 이 수평 라인은 연결 컴포넌트 (204) 의 중심 라인 (204c) 에 의해 규정된 수평 라인으로부터 방사상으로 오프셋된다. 도 4에서, 튜브 (206) 의 중심선 (206c) 은 연결 컴포넌트 (204) 의 중심선 (204c) 에 의해 규정된 수평 라인에 대해 비스듬히 (at an angle) 배치되는 라인을 규정한다. 이와 같이, 도 4에서, 연결 컴포넌트 (204) 와 튜브 (206) 사이에 각도 오프셋이 있다.

스페이서 (102) 의 구성은 연결 컴포넌트 (204) 및 튜브 (206) 에 대한 스페이서의 위치로 하여금 연결 컴포넌트와 튜브 사이의 각도 오프셋을 수용하도록 조정되게 한다. 이와 같이, 연결 컴포넌트 (204) 및 튜브 (206) 는 연결 컴포넌트와 튜브 사이의 각도 오프셋에도 불구하고 상대적으로 신속하게 연결될 수 있다. 또한, 스페이서 (102) 의 쓰루 홀 (102h) 은 연결 컴포넌트의 유체 통로 (204x) 및 튜브의 유체 통로 (206x) 와 유체로 연통한다. 따라서, 연결 컴포넌트 (204) 와 튜브 (206) 사이의 각도 오프셋에도 불구하고, 유체 통로들 (204x 및 206x) 은 연결 컴포넌트 및 튜브가 스페이서 (102) 에 의해 연결될 때 유체로 연통한다.

도 5는 예시적인 실시 예에 따른, 결속 엘리먼트들의 포지셔닝을 예시하는 시일링 인터페이스의 등축도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 홀들 (206f-1) 이 튜브 (206) 의 플랜지 (206f) 의 외측 주변부에 규정된다. 이 예시적인 실시 예에서 스프링들인 복수의 결속 엘리먼트들 (108) 은, 스프링들의 일 단부에서 후크들을 홀들 내로 삽입함으로써 홀들 (206f-1) 에 커플링된다. 도 5에서 보이지 않지만, 스프링들의 다른 단부의 후크들은 예를 들어, 연결 컴포넌트 (204) 의 플랜지 (204f) 의 외측 주변부에 규정된 홀들에 각각 커플링된다. 도 5의 예시적인 실시 예에서, 4 개의 홀들 (206f-1) 이 플랜지 (206f) 의 외측 주변부에 규정되고, 이들 4 개의 홀들은 플랜지 둘레에 이격된다. 일 예에서, 4 개의 홀들 (206f-1) 은 약 90 도의 간격들로 플랜지 (206f) 둘레에 실질적으로 고르게 이격된다. 본 명세서에 사용된 바와 같이, 용어 "약" 및 "대략"은 명시된 파라미터가 예를 들어, ± 20 ％의 적정한 허용 오차 내에서 가변할 수 있다는 것을 의미한다. 당업자는 플랜지 둘레의 홀들의 간격뿐만 아니라 홀들의 개수가 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 가변될 수 있다는 것을 인식할 것이다.

일부 적용 예들에서, 보다 많은 압축력들이 시일링 인터페이스의 측면 상의 스페이서에 인가될 수 있도록, 플랜지 (206f) 의 일 측면 상에 보다 많은 결속 엘리먼트들 (108) 을 갖는 것이 유리할 수도 있다. 도 6은 예시적인 실시 예에 따른, 플랜지의 일 측면 상의 보다 많은 결속 엘리먼트들의 사용을 예시하는 시일링 인터페이스의 등축도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 8 개의 홀들 (206f-1) 이 튜브 (206) 의 플랜지 (206f) 의 외측 주변부에 규정되고, 이들 8 개의 홀들은 플랜지 둘레에 이격된다. 일 예에서, 8 개의 홀들 (206f-1) 은 약 45 도의 간격들로 플랜지 (206f) 둘레에 실질적으로 고르게 이격된다. 8 개의 홀들 (206f-1) 의 위치들은 도 6에서 A 내지 H로 라벨링된다. 이 예시적인 실시 예에서 스프링들인 5 개의 결속 엘리먼트들 (108) 이 플랜지 (206) 내에 규정된 홀들 (206f-1) 중 일부에 커플링된다. 위치 A 및 위치 E에 위치된 홀들 (206f-1) 에 커플링된 2 개의 스프링들은 플랜지 (206) 를 2 개의 측면들: 측면 1 및 측면 2로 분리하는 라인을 규정한다. 위치 B 및 위치 D에 위치된 홀들 (206f-1) 에 커플링된 2 개의 스프링들은 플랜지 (206) 의 측면 1 상에 있고, 위치 G에 위치된 홀 (206f-1) 에 커플링된 스프링은 플랜지의 측면 2 상에 있다. 도 6에서 보이지 않지만, 당업자는 5 개의 스프링들의 다른 단부의 후크들이 예를 들어, 연결 컴포넌트 (204) 의 플랜지 (204f) 의 외측 주변부에 규정된 홀들에 각각 커플링된다는 것을 이해할 것이다 (예를 들어, 도 3 및 도 4 참조). 스프링들이 실질적으로 동일한 탄성률 (spring rate) 을 갖는 표준 스프링들이라고 가정하면, 스페이서에 인가된 압축력은 단지 하나의 스프링을 갖는 플랜지의 측면 2 상에서보다 2 개의 스프링들을 갖는 플랜지의 측면 1상에서 보다 클 것이다. 홀들의 개수 및 간격뿐만 아니라 스프링들의 상대적인 포지셔닝은 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 도 6에 도시된 것으로부터 가변될 수 있다는 것이 당업자에게 명백할 것이다. 또한, 당업자는 시일링 인터페이스의 측면들 상의 스페이서에 인가된 상대적인 양의 압축력이 상이한 탄성률들을 갖는 맞춤 (custom) 스프링들을 사용함으로써 가변될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 이러한 맞춤 스프링들의 사용은 플랜지의 각각의 측면 상에서 동일한 개수의 스프링들을 사용하는 동안, 스페이서에 인가된 압축력이 다른 측면보다 플랜지의 일 측면 상에서 보다 클 수 있게 한다.

도 7a는 일 실시 예에 따른, 도 3 내지 도 5에 도시된 튜브의 부가적인 상세들을 예시하는 등축도이다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 튜브 (206) 는 튜브형 바디 부분 (206b), 제 1 단부 (206s), 및 제 2 단부 (206p) 를 포함한다. 튜브 (206) 의 유체 통로 (206x) 는 제 1 단부 (206s) 로부터 제 2 단부 (206p) 로 연장한다. 튜브 (206) 의 제 1 단부 (206s) 는 스페이서 (예를 들어, 도 3 및 도 4의 스페이서 (102) 참조) 와 인터페이싱하도록 구성된다. 특히, 제 1 단부 (206s) 는 내부에 규정된 환형 채널 (206h) 을 갖는 볼록한 표면 (206a) 을 포함한다. 환형 채널 (206h) 은 도 3을 참조하여 상기 기술된 바와 같이 시일링 부재의 일부를 수용하도록 구성된다. 플랜지 (206f) 는 볼록한 표면 (206a) 의 외측 주변부에 근접한 튜브 바디 부분 (206b) 의 외측 표면으로부터 연장한다. 이와 같이, 플랜지 (206f) 의 외측 주변부는 튜브 바디 부분 (206b) 의 외측 표면에 의해 규정된 주 치수 (major dimension) 보다 큰 주 치수 (예를 들어, 직경) 를 규정한다. 복수의 홀들 (206f-1) 이 플랜지 (206f) 내에 규정되고, 홀들은 목표된 간격들로 플랜지 둘레에 이격된다. 상기 기술된 바와 같이, 복수의 홀들 (206f-1) 은 튜브 (206) 의 플랜지 (206) 에 결속 엘리먼트들을 커플링하도록 사용된다. 튜브 (206) 의 제 2 단부 (206p) 는 튜브가 또 다른 컴포넌트, 예를 들어, 또 다른 튜브에 연결되게 하도록 구성된다. 이와 같이, 제 2 단부 (206p) 는 임의의 적합한 기계적 패스닝 기법, 예를 들어, 쓰레드된 (threaded) 패스닝, 스냅 피팅 (snap fitting), 압축 피팅, 등을 구현하도록 구성될 수 있다.

도 7b는 일 실시 예에 따른, 도 7a에 도시된 튜브 (206) 의 측면도이다. 도 7b에 도시된 바와 같이, 볼록한 표면 (206a) 내에 규정된 환형 채널 (206h) 은 볼록한 표면을 2 개의 섹션들로 분할한다. 도 7c는 예시적인 실시 예에 따른, 도 7b에 도시된 튜브 (206) 의 제 1 단부 (206s) 의 확대된 단면도를 도시한다. 도 7c의 예시적인 실시 예에서, 볼록한 표면 (206a) 은 반경 R을 갖는 구의 일부를 규정한다. 예로서, 반경 R은 약 1 인치 내지 약 3 인치의 범위일 수 있다. 당업자는 반경 R이 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 가변될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 볼록한 표면 (206a) 이 구형 구성을 갖는 이 예시적인 실시 예에서, 스페이서의 상보적인 측면의 오목한 표면은 도 9a 내지 도 9c를 참조하여 이하에 보다 상세히 기술된 바와 같이, 실질적으로 매칭하는 구형 구성을 갖는다. 당업자는 튜브 (206) 의 제 1 단부 (206s) 의 볼록한 표면 (206a) 의 구성이 구형 구성으로 제한되지 않고, 대신 튜브의 단부 및 스페이서의 상보적인 측면의 상대적인 위치들로 하여금 조정되게 하는 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다는 것을 인식할 것이다. 예를 들어, 튜브의 제 1 단부는 스페이서의 상보적인 표면과 매칭하는 각진 (angled) 표면 시일들을 구비할 수 있거나, 튜브의 제 1 단부의 일부만이 구형 구성을 가질 수 있다.

도 8a 및 도 8b는 일 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트의 부가적인 상세들을 각각 예시하는 등축 전면도 및 등축 후면도이다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 연결 컴포넌트 (204) 는 제 1 단부 (204-1), 제 2 단부 (204-2), 및 제 1 단부로부터 제 2 단부로 연장하는 내부 통로 (204x) 를 포함한다. 연결 컴포넌트 (204) 의 제 1 단부 (204-1) 는 스페이서 (예를 들어, 도 3 및 도 4의 스페이서 (102) 참조) 와 인터페이싱하도록 구성된다. 특히, 제 1 단부 (204-1) 는 내부에 형성된 환형 채널 (204h) 을 갖는 볼록한 표면 (204a) 을 포함한다. 환형 채널 (204h) 은 도 3을 참조하여 상기 기술된 바와 같이 시일링 부재의 일부를 수용하도록 구성된다. 플랜지 (204f) 는 볼록한 표면 (204a) 의 외측 주변부에 근접한 커넥터 부분 (204p) 의 외측 표면으로부터 연장한다. 이와 같이, 플랜지 (204f) 의 외측 주변부는 커넥터 부분 (204p) 의 외측 표면에 의해 규정된 주 치수보다 큰 주 치수 (예를 들어, 직경) 를 규정한다. 복수의 홀들 (204f-1) 이 플랜지 (204f) 내에 규정되고, 홀들은 목표된 간격들로 플랜지 둘레에 이격된다. 상기 기술된 바와 같이, 복수의 홀들 (204f-1) 은 결속 엘리먼트들을 연결 컴포넌트 (204) 의 플랜지 (204) 에 커플링하도록 사용된다. 연결 컴포넌트 (204) 의 커넥터 부분 (204p) 은 연결 컴포넌트의 제 1 단부 (204-1) 로부터 멀어지게 연장하고 연결 컴포넌트의 제 2 단부 (204-2) 에서 종단된다. 커넥터 부분 (204p) 은 도 8b를 참조하여 보다 상세히 기술될 바와 같이, 연결 컴포넌트가 또 다른 컴포넌트, 예를 들어, 유체 소스에 연결되게 하도록 구성된다.

도 8b에 도시된 바와 같이, 플랜지 (204) 는 약 90 도의 간격들로 플랜지 둘레에 실질적으로 고르게 이격된 4 개의 홀들 (204f-1) 을 포함한다. 본 명세서에 제시된 바와 같이, 플랜지 둘레의 홀들의 간격뿐만 아니라 홀들의 개수는 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 가변될 수 있다. 커넥터 부분 (204p) 은 제 1 단부 (204-1) 로부터 멀어지게 연장하고 제 2 단부 (204-2) 에서 종단된다. 커넥터 부분 (204p) 은 일반적으로 직사각형 구성을 갖는 세그먼트 (204p-1) 및 원통형 구성을 갖는 세그먼트 (204p-2) 를 포함한다. 세그먼트 (204p-1) 는 커브된 에지들 (204p-1a) 을 갖고, 커브된 에지들의 외측 표면들은 세그먼트 (204p-2) 의 원통형 외측 표면과 정렬된다. 커넥터 부분 (204p) 의 기능은 연결 컴포넌트 (204) 로 하여금 또 다른 컴포넌트, 예를 들어, KF 플랜지, 테스트 벤치, 등에 연결되게 하는 것이다. 따라서, 당업자는 커넥터 부분 (204) 의 구성이 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 도 8a 및 도 8b에 도시된 구성으로부터 가변될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 예를 들어, 연결 컴포넌트는 또 다른 컴포넌트 상에 쓰레드되거나 또 다른 컴포넌트에 용접될 수 있다. 일 예시적인 실시 예에서, 연결 컴포넌트 (204) 는 유체 소스, 예를 들어, 시스템의 유체 분배를 위한 매니폴드에 연결되도록 구성된다. 이 예시적인 실시 예에서, 유체 소스로부터의 유체는 연결 컴포넌트의 내부 통로를 통해 유체 소스로부터 멀어지게 가이드된다.

도 8c는 일 실시 예에 따른, 도 8a 및 도 8b에 도시된 연결 컴포넌트 (204) 의 측면도이다. 도 8c에 도시된 바와 같이, 볼록한 표면 (204a) 내에 규정된 환형 채널 (204h) 은 볼록한 표면을 2 개의 섹션들로 분할한다. 이에 더하여, 커넥터 부분 (204p) 의 세그먼트 (204p-1) 의 커브된 에지들 (204p-1) 의 외측 표면들은 세그먼트 (204p-2) 의 원통형 외측 표면으로부터 연장한다. 도 8d는 예시적인 실시 예에 따른, 도 8a 및 도 8b에 도시된 연결 컴포넌트 (204) 의 단면도를 도시한다. 도 8d의 예시적인 실시 예에서, 볼록한 표면 (204a) 은 반경 R을 갖는 구의 일부를 규정한다. 예로서, 반경 R은 약 1 인치 내지 약 3 인치의 범위일 수 있다. 당업자는 반경 R이 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 가변될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 볼록한 표면 (204a) 이 구형 구성을 갖는 이 예시적인 실시 예에서, 스페이서의 상보적인 측면의 오목한 표면은 도 9a 내지 도 9c를 참조하여 이하에 보다 상세히 기술된 바와 같이, 실질적으로 매칭하는 구형 구성을 갖는다. 당업자는 연결 컴포넌트 (204) 의 제 1 단부 (204-1) 의 볼록한 표면 (204a) 의 구성이 구형 구성으로 제한되지 않고, 대신 연결 컴포넌트의 단부 및 스페이서의 상보적인 측면의 상대적인 위치들로 하여금 조정되게 하는 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다는 것을 인식할 것이다. 예로서, 연결 컴포넌트의 제 1 단부는 스페이서의 상보적인 표면과 매칭하는 각진 표면 시일들 (seals) 을 구비할 수 있거나, 연결 컴포넌트의 제 1 단부의 일부만이 구형 구성을 가질 수 있다.

도 9a는 일 실시 예에 따른, 도 3 및 도 4에 도시된 스페이서의 부가적인 상세들을 예시하는 등축도이다. 도 9a에 도시된 바와 같이, 스페이서 (102) 는 제 1 측면 (102-1), 제 2 측면 (102-2) (제 1 측면 (102-1) 의 반대편이지만 도 9a에서 보이지 않음), 및 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면 (102-3) 을 포함한다. 제 3 측면 (102-3) 은 스페이서 (102) 의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면 (102-3a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 의 제 1 측면 (102-1) 은 스페이서를 사용하여 연결될 컴포넌트들 (예를 들어, 튜브 및/또는 연결 컴포넌트) 중 하나의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면 (102-1a) 을 갖는다. 스페이서 (102) 의 제 2 측면 (102-2) 은 스페이서를 사용하여 연결되도록 컴포넌트들 중 하나의 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면 (102-2a) 을 갖는다 (예를 들어, 도 9c 참조). 스페이서 (102) 는 또한 제 1 측면 (102-1) 으로부터 제 2 측면 (102-2) 으로 연장하는 쓰루 홀 (102h) 을 포함한다. 쓰루 홀 (102h) 은 제 3 측면 (102-3) 의 내측 표면 (102-3b) 에 의해 규정된다. 완만한 코너부 (102e) 가 오목한 표면 (102-1a) 과 내측 표면 (102-3b) 의 교차점에서뿐만 아니라 오목한 표면 (102-2a) (예를 들어, 도 9c 참조) 과 내측 표면 (102-3b) 의 교차점에서 제공된다. 완만한 코너부 (102e) 는 스페이서 (102) 가 예를 들어, 2 개의 튜브들 또는 튜브와 연결 컴포넌트 사이에 배치될 때 유체가 쓰루 홀 (102h) 을 보다 쉽게 흐르게 하도록 제공되고, 스페이서의 일부는 유체의 플로우 경로 내로 연장한다. 완만한 코너부 (102e) 는 예로서, 베벨부 (bevel), 챔퍼부 (chamfer), 라운딩되거나 커브된 에지, 등을 사용하여 구현될 수 있다.

도 9b는 일 실시 예에 따른, 도 9a에 도시된 스페이서 (102) 의 제 1 측면 (102-1) 과 대면하는 도면이다. 도 9c는 일 실시 예에 따른, 도 9b에 도시된 라인 A-A를 따라 취해진 스페이서의 단면도이다. 도 9c에 도시된 바와 같이, 완만한 코너부들 (102e) 은 1) 오목한 표면 (102-1a) 과 내측 표면 (102-3b) 의 교차점, 및 2) 오목한 표면 (102-2a) 과 내측 표면 (102-3b) 의 교차점에 제공된다. 일 예시적인 실시 예에서, 오목한 표면 (102-1a) 및 오목한 표면 (102-2a) 모두는 구의 일부를 규정한다. 예로서, 구의 반경은 약 1 인치 내지 약 3 인치의 범위일 수 있다. 당업자는 구의 반경이 특정한 적용 예들의 필요들을 충족시키도록 가변될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 오목한 표면들 (102-1a 및 102-2a) 각각이 구형 구성을 갖는 이 예시적인 실시 예에서, 튜브들 (또는 튜브 및 연결 컴포넌트) 의 상보적인 단부들의 볼록한 표면들은 실질적으로 매칭하는 구형 구성들을 갖는다. 당업자는 스페이서 (102) 의 오목한 표면들 (102-1a 및 102-2a) 의 구성이 구형 구성으로 제한되지 않고, 대신 스페이서의 측면들 및 조정될 튜브들 (또는 튜브 및 연결 컴포넌트) 의 상보적인 단부들의 상대적인 위치들을 가능하게 하는 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다는 것을 인식할 것이다. 예로서, 스페이서의 오목한 표면들은 원뿔형 구성을 가질 수 있고 그리고/또는 스페이서는 튜브들 (또는 튜브 및 연결 컴포넌트) 의 단부들의 상보적인 표면들과 매칭하는 2 개의 각진 표면 시일들을 구비할 수 있다.

도 10은 또 다른 예시적인 실시 예에 따른, 연결 컴포넌트 및 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다. 도 3에 도시된 도면과 유사하게, 도 10에서, 연결 컴포넌트 (204) 는 튜브 (206) 로부터 방사상으로 오프셋된다. 이 방사상 오프셋으로 인해, 튜브 (206) 의 볼록한 표면 (206a) 의 일부는 연결 컴포넌트 (204), 스페이서 (102), 및 튜브 (206) (도 3 참조) 를 통해 이동하는 유체의 플로우 경로 내로 돌출하고, 이에 따라 유체의 플로우를 방해할 수 있는 급격한 장애물 (abrupt obstacle) 로서 작용한다. 이러한 방사상 오프셋의 경우 임의의 플로우 중단을 줄이기 위해, 완만한 코너부가 튜브의 단부 및 연결 컴포넌트의 단부 중 하나 또는 모두에 제공될 수 있다. 특히, 도 10에 도시된 바와 같이, 완만한 코너부 (204e) 는 유체 통로 (204x) 와 연결 컴포넌트 (204) 의 볼록한 표면 (204a) 의 교차점에 제공된다. 완만한 코너부 (206e) 는 유체 통로와 튜브 (206) 의 볼록한 표면 (206a) 의 교차점에 제공된다. 완만한 코너부들 (204e 및 206e) 은 예로서, 베벨부, 챔퍼부, 라운딩되거나 커브된 에지, 등을 사용하여 구현될 수 있다. 유체 통로 (204x) 로부터 (스페이서 (102) 를 통해) 유체 통로 (206x) 로 이동하는 유체의 경우, 플로우 경로에서 완만한 코너부 (206e) 의 존재는 유체 플로우의 중단을 줄일 수도 있고, 이에 따라 예로서, 플로우 레이트, 난류, 등을 포함하는 하나 이상의 플로우 파라미터들을 개선할 수도 있다.

예를 들어, 도 1, 도 2a 및 도 2b, 도 3, 도 4, 및 도 10에 도시된 예시적인 실시 예들에서, 스페이서는 2 개의 튜브들 사이 (도 1, 도 2a, 및 도 2b) 에 배치되거나 연결 컴포넌트와 튜브 사이 (도 3, 도 4 및 도 10) 에 배치된다. 이들 예시적인 실시 예들에서, 스페이서는 결속 엘리먼트들에 의해 생성된 압축력에 의해 튜브들 사이 (또는 연결 컴포넌트와 튜브 사이) 에 제자리에 홀딩된다. 일부 적용 예들에서, 스페이서의 일 측면을 튜브에 부착하는 것이 바람직할 수도 있다. 이 시나리오에서, 스페이서의 일 측면만이 또 다른 튜브 또는 연결 컴포넌트의 상보적인 단부와 실질적으로 매칭하는 표면을 가질 것이다. 도 11은 예시적인 실시 예에 따른, 스페이서가 튜브에 부착되는 시일링 인터페이스에 의해 연결된 튜브 및 연결 컴포넌트를 도시하는 간략화된 개략적인 단면도이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 스페이서 (102') 는 제 1 측면 (102'-1), 제 2 측면 (102'-2), 및 제 1 측면으로부터 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면 (102'-3) 을 포함한다. 스페이서 (102') 는 또한 제 1 측면 (102'-1) 으로부터 제 2 측면 (102'-2) 으로 연장하는 쓰루 홀 (102'h) 을 포함한다. 스페이서 (102') 의 제 2 측면 (102'-2) 은 튜브 (306) 의 단부에 부착된다. 스페이서 (102') 의 제 2 측면 (102'-2) 은 스페이서 및 튜브가 형성되는 재료들에 적합한 임의의 기법을 사용하여 튜브 (306) 의 단부에 부착될 수 있다. 예로서, 스페이서는 용접, 접착 (gluing) (또는 또 다른 접착 (adhesive) 재료 사용), 및 기계적 패스닝 (볼트들, 스크루들, 클립들, 쓰레드들, 등) 과 같은 기법들을 사용하여 튜브의 단부에 부착될 수 있다. 당업자는 스페이서가 또한 튜브에 부착되는 별도의 컴포넌트로서 형성되는 대신, 튜브와 일체로 형성될 수 있다는 것을 인식할 것이다.

도 11에 도시된 바와 같이, 플랜지 (102'f) 는 스페이서 (102') 의 제 3 측면 (102'-3) 의 외측 표면으로부터 연장한다. 일 예시적인 실시 예에서, 플랜지 (102'f) 는 제 1 측면 (102'-1) 과 제 2 측면 (102'-2) 사이의 대략 중간 위치에서 스페이서 (102') 의 제 3 측면 (102'-3) 으로부터 연장한다; 그러나, 당업자는 스페이서 상의 플랜지의 위치가 가변될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 플랜지는 플랜지의 외측 주변부에 규정된 복수의 홀들 (102'f-1) 을 갖고, 이들 홀들은 플랜지 둘레에 이격된다. 도 11에 도시된 연결 컴포넌트 (204) 는 예를 들어, 도 3을 참조하여 본 명세서에 기술된 것과 동일하다. 스페이서 (102') 의 제 1 측면 (102'-1) 은 연결 컴포넌트 (204) 의 볼록한 표면 (204a) 과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면 (102'-1a) 을 갖는다. 연결 컴포넌트 (204) 의 단부는 볼록한 표면 (204a) 의 외측 주변부에 근접한 연결 컴포넌트의 단부의 외부 표면으로부터 연장하는 플랜지 (204f) 를 포함한다. 도 11의 예시적인 실시 예에서, 결속 엘리먼트들 (108) 은 스프링들이다. 스프링들은 플랜지 (204f) 에 규정된 홀들 (204f-1) 및 플랜지 (102'f) 에 규정된 홀들 (102'f-1) 내로 스프링들의 단부들의 후크들을 삽입함으로써 플랜지들 (204f 및 102'f) 에 커플링될 수 있다. 결속 엘리먼트들 (108) (이 예에서 스프링들) 은 튜브 (306) 에 부착되는, 연결 컴포넌트 (204) 와 스페이서 (102') 사이에 압축력을 인가한다. 이 압축력은 연결 컴포넌트 (204) 의 단부 및 스페이서 (102') 를 서로 근접한 위치로 유지한다. 연결 컴포넌트 (204) 의 볼록한 표면 (204a) 과 스페이서 (102') 의 오목한 표면 (102'-1a) 의 실질적으로 매칭하는 구성들은 연결 컴포넌트와 스페이서/튜브 사이의 임의의 방사상 오프셋 또는 각도 오프셋을 수용하도록, 튜브 (306) 에 부착되는 스페이서에 대한 연결 컴포넌트의 위치를 조정 가능하게 한다.

본 명세서에 기술된 튜브들 및 스페이서는 시일링 인터페이스가 사용되는 특정한 적용 예에 적합한 임의의 재료로 형성될 수 있다. 튜브들이 반도체 프로세싱 툴에서 리모트 플라즈마를 이송하도록 사용되는 일 예에서, 튜브들 및 스페이서는 알루미늄 또는 세라믹 재료로 형성된다. 이들 재료들은 리모트 플라즈마가 튜브들 및 스페이서의 내측 표면들을 부식시키는 정도를 최소화하기에 충분한 특성들 (예를 들어, 내열성, 내화학성 (chemical resistance), 등) 을 갖는다. 튜브들이 공기 및 물과 같은 유체들을 이송하도록 사용되는 다른 예들에서, 튜브들 및 스페이서는 금속 재료들 (예를 들어, 스테인리스 스틸, 알루미늄, 등), 세라믹 재료들, 및 플라스틱 재료들 (예를 들어, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (PET)) 을 포함하는, 보다 넓은 범위의 재료들로부터 형성될 수 있다.

일부 구현 예들에서, 제어기는 상기 기술된 예들의 일부일 수도 있는 시스템의 일부이다. 이러한 시스템들은 프로세싱 툴 또는 툴들, 챔버 또는 챔버들, 프로세싱용 플랫폼 또는 플랫폼들, 및/또는 특정 프로세싱 컴포넌트들 (웨이퍼 페데스탈, 가스 플로우 시스템, 등) 을 포함하는, 반도체 프로세싱 장비를 포함할 수 있다. 이들 시스템들은 반도체 웨이퍼 또는 기판의 프로세싱 이전에, 프로세싱 동안에, 그리고 프로세싱 이후에 그들의 동작을 제어하기 위한 전자장치와 통합될 수도 있다. 전자장치는 시스템 또는 시스템들의 다양한 컴포넌트들 또는 하위부분들을 제어할 수도 있는 "제어기"로서 지칭될 수도 있다. 제어기는, 시스템의 프로세싱 요건들 및/또는 타입에 따라서, 프로세싱 가스들의 전달, 온도 설정사항들 (예를 들어, 가열 및/또는 냉각), 압력 설정사항들, 진공 설정사항들, 전력 설정사항들, 무선 주파수 (RF) 생성기 설정사항들, RF 매칭 회로 설정사항들, 주파수 설정사항들, 플로우 레이트 설정사항들, 유체 전달 설정사항들, 위치 및 동작 설정사항들, 툴 및 다른 이송 툴들 및/또는 특정 시스템과 연결되거나 인터페이싱된 로드 록들 내외로의 웨이퍼 이송들을 포함하는, 본 명세서에 개시된 프로세스들 중 임의의 프로세스들을 제어하도록 프로그래밍될 수도 있다.

일반적으로 말하면, 제어기는 인스트럭션들을 수신하고, 인스트럭션들을 발행하고, 동작을 제어하고, 세정 동작들을 인에이블하고 (enable), 엔드포인트 측정들을 인에이블하는, 등을 하는 다양한 집적 회로들, 로직, 메모리, 및/또는 소프트웨어를 갖는 전자장치로서 규정될 수도 있다. 집적 회로들은 프로그램 인스트럭션들을 저장하는 펌웨어의 형태의 칩들, 디지털 신호 프로세서들 (DSPs), ASICs (Application Specific Integrated Circuits) 로서 규정되는 칩들, 및/또는 프로그램 인스트럭션들 (예를 들어, 소프트웨어) 을 실행하는 하나 이상의 마이크로프로세서들, 또는 마이크로제어기들을 포함할 수도 있다. 프로그램 인스트럭션들은 반도체 웨이퍼 상에서 또는 반도체 웨이퍼에 대한 특정 프로세스를 실행하기 위한 동작 파라미터들을 규정하는, 다양한 개별 설정사항들 (또는 프로그램 파일들) 의 형태로 제어기로 또는 시스템으로 전달되는 인스트럭션들일 수도 있다. 일부 실시 예들에서, 동작 파라미터들은 하나 이상의 층들, 재료들, 금속들, 산화물들, 실리콘, 이산화실리콘, 표면들, 회로들, 및/또는 웨이퍼의 다이들의 제조 동안에 하나 이상의 프로세싱 단계들을 달성하도록 프로세스 엔지니어들에 의해서 규정된 레시피의 일부일 수도 있다.

제어기는, 일부 구현 예들에서, 시스템에 포함되거나, 시스템에 커플링되거나, 이와 달리 시스템에 네트워킹되거나, 또는 이들의 조합으로 될 수 있는 컴퓨터에 커플링되거나 이의 일부일 수도 있다. 예를 들어, 제어기는 웨이퍼 프로세싱의 원격 액세스를 가능하게할 수 있는 공장 (fab) 호스트 컴퓨터 시스템의 전부 또는 일부이거나 "클라우드" 내에 있을 수도 있다. 컴퓨터는 제조 동작들의 현 진행을 모니터링하거나, 과거 제조 동작들의 이력을 조사하거나, 복수의 제조 동작들로부터 경향들 또는 성능 계측치들을 조사하거나, 현 프로세싱의 파라미터들을 변경하거나, 현 프로세싱을 따르는 프로세싱 단계들을 설정하거나, 새로운 프로세스를 시작하기 위해서, 시스템으로의 원격 액세스를 인에이블할 수도 있다. 일부 예들에서, 원격 컴퓨터 (예를 들어, 서버) 가 로컬 네트워크 또는 인터넷을 포함할 수도 있는 네트워크를 통해 프로세스 레시피들을 시스템에 제공할 수 있다. 원격 컴퓨터는 차후에 원격 컴퓨터로부터 시스템으로 전달될 파라미터들 및/또는 설정사항들의 입력 또는 프로그래밍을 인에이블하는 사용자 인터페이스를 포함할 수도 있다. 일부 예들에서, 제어기는 하나 이상의 동작들 동안 수행될 프로세싱 단계들 각각에 대한 파라미터들을 특정하는, 데이터의 형태의 인스트럭션들을 수신한다. 파라미터들은 제어기가 제어하거나 인터페이싱하도록 구성되는 툴의 타입 및 수행될 프로세스의 타입에 특정적일 수도 있다는 것이 이해되어야 한다. 따라서 상기 기술된 바와 같이, 제어기는 예컨대 본 명세서에 기술된 프로세스들 및 제어들과 같은, 공동의 목적을 향해 함께 네트워킹되고 작동하는 하나 이상의 개별 제어기들을 포함함으로써 분산될 수도 있다. 이러한 목적들을 위한 분산형 제어기의 예는 챔버 상의 프로세스를 제어하도록 조합되는 (예컨대 플랫폼 레벨에서 또는 원격 컴퓨터의 일부로서) 원격으로 위치한 하나 이상의 집적 회로들과 통신하는 챔버 상의 하나 이상의 집적 회로들일 것이다.

비한정적으로, 예시적인 시스템들은 플라즈마 에칭 챔버 또는 모듈, 증착 챔버 또는 모듈, 스핀-린스 챔버 또는 모듈, 금속 도금 챔버 또는 모듈, 세정 챔버 또는 모듈, 베벨 에지 에칭 챔버 또는 모듈, PVD (Physical Vapor Deposition) 챔버 또는 모듈, CVD (Chemical Vapor Deposition) 챔버 또는 모듈, ALD 챔버 또는 모듈, ALE (Atomic Layer Etch) 챔버 또는 모듈, 이온 주입 챔버 또는 모듈, 트랙 (track) 챔버 또는 모듈, 및 반도체 웨이퍼들의 제조 및/또는 제작 시에 사용되거나 연관될 수도 있는 임의의 다른 반도체 프로세싱 시스템들을 포함할 수도 있다.

상술한 바와 같이, 툴에 의해서 수행될 프로세스 단계 또는 단계들에 따라서, 제어기는, 반도체 제작 공장 내의 툴 위치들 및/또는 로드 포트들로부터/로드 포트들로 웨이퍼들의 컨테이너들을 이동시키는 재료 이송 시에 사용되는, 다른 툴 회로들 또는 모듈들, 다른 툴 컴포넌트들, 클러스터 툴들, 다른 툴 인터페이스들, 인접 툴들, 이웃하는 툴들, 공장 도처에 위치한 툴들, 메인 컴퓨터, 또 다른 제어기, 또는 툴들 중 하나 이상과 통신할 수도 있다.

방법 동작들이 특정한 순서로 기술될 수도 있지만, 다른 하우스 키핑 동작들이 동작들 사이에 수행될 수도 있거나, 동작들이 약간 상이한 시간들에 발생하도록 조정될 수도 있거나, 또는 오버레이 동작들의 프로세싱이 목표된 방식으로 수행되는 한, 프로세싱과 연관된 다양한 인터벌들로 프로세싱 동작들의 발생을 허용하는 시스템에서 분산될 수도 있다.

따라서, 예시적인 실시 예들의 개시는 이하의 청구항들 및 이들의 등가물들에 제시되는 개시들의 범위를 제한하는 것이 아니라, 예시적인 것으로 의도된다. 개시들의 예시적인 실시 예들이 이해의 명확성의 목적들을 위해 다소 상세히 기술되었지만, 특정한 변화들 및 수정들이 이하의 청구항들의 범위 내에서 실시될 수 있다는 것이 명백할 것이다. 이하의 청구항들에서, 엘리먼트들 및/또는 단계들은 청구항들에 명시적으로 언급되거나 본 개시에 의해 암시적으로 요구되지 않는 한, 임의의 특정한 동작의 순서를 암시하지 않는다.

Claims (46)

1. 시일링 인터페이스 (sealing interface) 에 있어서,
   볼록한 표면을 갖는 단부를 갖는 제 1 튜브;
   볼록한 표면을 갖는 단부를 갖는 제 2 튜브;
   상기 제 1 튜브와 상기 제 2 튜브의 각각의 단부들 사이에 배치된 스페이서로서, 상기 스페이서는 제 1 측면, 제 2 측면, 및 상기 제 1 측면으로부터 상기 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면을 포함하고, 상기 제 3 측면은 상기 스페이서의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면을 갖고, 상기 스페이서의 상기 제 1 측면은 상기 제 1 튜브의 상기 단부의 상기 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖고, 상기 스페이서의 상기 제 2 측면은 상기 제 2 튜브의 상기 단부의 상기 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖고, 그리고 상기 스페이서는 상기 제 1 측면으로부터 상기 제 2 측면으로 연장하는 쓰루 홀 (through hole) 을 포함하고, 상기 쓰루 홀은 상기 제 1 튜브의 유체 통로 및 상기 제 2 튜브의 유체 통로와 유체로 연통하는, 상기 스페이서; 및
   상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브에 각각 커플링된 복수의 결속 엘리먼트들 (tying elements) 로서, 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 1 튜브와 상기 스페이서 사이에 압축력을 인가하고, 그리고 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 2 튜브와 상기 스페이서 사이에 압축력을 인가하는, 상기 복수의 결속 엘리먼트들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 튜브의 상기 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 상기 환형 채널 내에 있고 상기 시일링 부재의 일부가 상기 스페이서의 상기 제 1 측면과 콘택트하도록 상기 시일링 부재가 상기 제 1 튜브의 상기 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치되는, 시일링 인터페이스.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 제 1 튜브의 상기 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치된 상기 시일링 부재는 O-링인, 시일링 인터페이스.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 제 2 튜브의 상기 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 상기 환형 채널 내에 있고 상기 시일링 부재의 일부가 상기 스페이서의 상기 제 2 측면과 콘택트하도록 상기 시일링 부재가 상기 제 2 튜브의 상기 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치되는, 시일링 인터페이스.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 단부들에 규정된 상기 환형 채널들 내에 배치된 상기 시일링 부재들 각각은 O-링인, 시일링 인터페이스.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 튜브의 상기 단부는 이로부터 연장하는 플랜지를 갖고, 상기 제 2 튜브의 상기 단부는 이로부터 연장하는 플랜지를 갖고, 그리고 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 단부들로부터 연장하는 상기 플랜지들 각각은 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는, 시일링 인터페이스.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 1 튜브의 상기 플랜지의 상기 복수의 홀들 및 상기 제 2 튜브의 상기 플랜지의 상기 복수의 홀들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함하는, 시일링 인터페이스.
9. 제 6 항에 있어서,
   상기 제 1 튜브의 상기 단부로부터 연장하는 상기 플랜지는 상기 제 1 튜브와 일체로 형성되거나 상기 제 2 튜브의 상기 단부로부터 연장하는 상기 플랜지는 상기 제 2 튜브와 일체로 형성되는, 시일링 인터페이스.
10. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 튜브의 상기 단부로부터 연장하는 상기 플랜지는 상기 제 1 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트에 의해 규정되거나 상기 제 2 튜브의 상기 단부로부터 연장하는 상기 플랜지는 상기 제 2 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트에 의해 규정되는, 시일링 인터페이스.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 튜브 또는 상기 제 2 튜브 상에 장착된 상기 별도의 엘리먼트는 와셔 (washer) 인, 시일링 인터페이스.
12. 제 1 항에 있어서,
    복수의 돌출부들이 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 단부들에 근접하게 제공되고, 상기 복수의 돌출부들은 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들 둘레에 이격되는, 시일링 인터페이스.
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 복수의 돌출부들은 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 단부들의 외측 주변부의 충돌을 피하기 (clear) 충분한 거리로 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 포스트들 (posts) 을 포함하고, 그리고 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 1 튜브의 상기 포스트들의 외측 단부들 및 상기 제 2 튜브의 상기 포스트들의 외측 단부들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
14. 제 12 항에 있어서,
    상기 복수의 돌출부들은 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 상기 각각의 단부들의 외측 주변부의 충돌을 피하기 충분한 거리로 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 탭들을 포함하고, 상기 탭들 각각은 이들의 외측 단부에 근접하게 내부에 규정된 홀을 갖고, 그리고 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 1 튜브의 상기 탭들의 상기 복수의 홀들 및 상기 제 2 튜브의 상기 탭들의 상기 복수의 홀들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
15. 시일링 인터페이스에 있어서,
    제 1 단부, 제 2 단부, 및 상기 제 1 단부로부터 상기 제 2 단부로 연장하는 내부 통로를 갖는 연결 컴포넌트 (connected component) 로서, 상기 제 1 단부는 유체 소스로부터의 유체가 상기 연결 컴포넌트의 상기 내부 통로를 통해 상기 유체 소스로부터 멀어지게 가이드되도록 상기 유체 소스에 연결되게 구성되고, 상기 제 2 단부는 볼록한 표면 및 플랜지를 포함하고, 상기 플랜지는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는, 상기 연결 컴포넌트;
    볼록한 표면 및 플랜지를 갖는 단부를 갖는 튜브로서, 상기 플랜지는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는, 상기 튜브;
    상기 연결 컴포넌트의 상기 제 2 단부와 상기 튜브의 상기 단부 사이에 배치된 스페이서로서, 상기 스페이서는 제 1 측면, 제 2 측면, 및 상기 제 1 측면으로부터 상기 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면을 포함하고, 상기 제 3 측면은 상기 스페이서의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면을 갖고, 상기 스페이서의 상기 제 1 측면은 상기 연결 컴포넌트의 상기 제 2 단부의 상기 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖고, 상기 스페이서의 상기 제 2 측면은 상기 튜브의 상기 단부의 상기 볼록한 표면과 실질적으로 매칭하는 오목한 표면을 갖고, 그리고 상기 스페이서는 상기 제 1 측면으로부터 상기 제 2 측면으로 연장하는 쓰루 홀을 포함하고, 상기 쓰루 홀은 상기 연결 컴포넌트의 상기 내부 통로 및 상기 튜브의 유체 통로와 유체로 연통하는, 상기 스페이서; 및
    상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지의 상기 복수의 홀들 및 상기 튜브의 상기 플랜지의 상기 복수의 홀들에 각각 커플링된 복수의 결속 엘리먼트들로서, 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 연결 컴포넌트와 상기 스페이서 사이에 압축력을 인가하고, 그리고 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 튜브와 상기 스페이서 사이에 압축력을 인가하는, 상기 복수의 결속 엘리먼트들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
16. 제 15 항에 있어서,
    상기 연결 컴포넌트의 상기 제 2 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 상기 환형 채널 내에 있고 상기 시일링 부재의 일부가 상기 스페이서의 상기 제 1 측면과 콘택트하도록 상기 시일링 부재가 상기 연결 컴포넌트의 상기 제 2 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치되는, 시일링 인터페이스.
17. 제 16 항에 있어서,
    상기 연결 컴포넌트의 상기 제 2 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치된 상기 시일링 부재는 O-링인, 시일링 인터페이스.
18. 제 16 항에 있어서,
    상기 튜브의 상기 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 상기 환형 채널 내에 있고 상기 시일링 부재의 일부가 상기 스페이서의 상기 제 2 측면과 콘택트하도록 상기 시일링 부재가 상기 튜브의 상기 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치되는, 시일링 인터페이스.
19. 제 18 항에 있어서,
    상기 연결 컴포넌트 및 상기 튜브의 각각의 단부들에 규정된 상기 환형 채널들 내에 배치된 상기 시일링 부재들 각각은 O-링인, 시일링 인터페이스.
20. 제 15 항에 있어서,
    상기 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
21. 제 15 항에 있어서,
    상기 복수의 결속 엘리먼트들은 와이어들 또는 볼트들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
22. 제 15 항에 있어서,
    상기 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함하는, 시일링 인터페이스.
23. 제 15 항에 있어서,
    상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지는 내부에 규정된 4 개의 홀들을 갖고, 상기 4 개의 홀들은 상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지의 외측 주변부 둘레에 실질적으로 고르게 이격되고, 상기 튜브의 상기 플랜지는 내부에 규정된 4 개의 홀들을 갖고, 상기 4 개의 홀들은 상기 튜브의 상기 플랜지의 외측 주변부 둘레에 실질적으로 고르게 이격되고, 그리고 4 개의 결속 엘리먼트들은 상기 튜브의 상기 플랜지의 상기 4 개의 홀들 및 상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지 내에 규정된 상기 4 개의 홀들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
24. 제 23 항에 있어서,
    상기 4 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들인, 시일링 인터페이스.
25. 제 23 항에 있어서,
    상기 4 개의 결속 엘리먼트들은 와이어들 또는 볼트들인, 시일링 인터페이스.
26. 제 23 항에 있어서,
    상기 4 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합인, 시일링 인터페이스.
27. 제 15 항에 있어서,
    상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지는 내부에 규정된 적어도 5 개의 홀들을 갖고, 상기 적어도 5 개의 홀들은 상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지의 외측 주변부 둘레에 이격되고, 상기 튜브의 상기 플랜지는 내부에 규정된 적어도 5 개의 홀들을 갖고, 상기 적어도 5 개의 홀들은 상기 튜브의 상기 플랜지의 외측 주변부 둘레에 이격되고, 그리고 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 상기 튜브의 상기 플랜지의 상기 적어도 5 개의 홀들 및 상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지 내에 규정된 상기 적어도 5 개의 홀들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
28. 제 27 항에 있어서,
    상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들 중 제 1 개수의 결속 엘리먼트는 상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지의 일 측면에 규정된 홀들 및 상기 튜브의 상기 플랜지의 일 측면에 규정된 홀들에 각각 커플링되고, 상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들 중 제 2 개수의 결속 엘리먼트는 상기 연결 컴포넌트의 상기 플랜지의 또 다른 측면에 규정된 홀들 및 상기 튜브의 상기 플랜지의 또 다른 측면에 규정된 홀들에 각각 커플링되고, 그리고 상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들의 상기 제 1 개수는 상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들의 상기 제 2 개수보다 큰, 시일링 인터페이스.
29. 제 27 항에 있어서,
    상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
30. 제 27 항에 있어서,
    상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함하는, 시일링 인터페이스.
31. 제 28 항에 있어서,
    상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
32. 제 28 항에 있어서,
    상기 적어도 5 개의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함하는, 시일링 인터페이스.
33. 시일링 인터페이스에 있어서,
    단부를 갖는 제 1 튜브;
    제 1 측면, 제 2 측면, 및 상기 제 1 측면으로부터 상기 제 2 측면으로 연장하는 제 3 측면을 갖는 스페이서로서, 상기 제 3 측면은 상기 스페이서의 외측 주변부를 규정하는 외측 표면을 갖고, 상기 스페이서의 상기 제 1 측면은 상기 제 1 튜브의 상기 단부에 부착되고, 상기 스페이서의 상기 제 2 측면은 오목한 표면을 갖고, 그리고 상기 스페이서는 상기 제 1 측면으로부터 상기 제 2 측면으로 연장하는 쓰루 홀을 포함하고, 상기 쓰루 홀은 상기 제 1 튜브의 유체 통로와 유체로 연통하는, 상기 스페이서;
    상기 스페이서의 상기 제 2 측면의 상기 오목한 표면과 실질적으로 매칭하는 볼록한 표면을 갖는 단부를 갖는 제 2 튜브로서, 상기 제 2 튜브의 상기 단부는 상기 스페이서의 상기 쓰루 홀이 상기 제 2 튜브의 유체 통로와 유체로 연통하도록 상기 스페이서의 상기 제 2 측면과 대향하는 관계로 배치되는, 상기 제 2 튜브;
    상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브에 각각 커플링되거나 상기 스페이서 및 상기 제 2 튜브에 각각 커플링되는 복수의 결속 엘리먼트들로서, 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 2 튜브와 상기 스페이서 사이에 압축력을 인가하는, 상기 복수의 결속 엘리먼트들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
34. 제 33 항에 있어서,
    상기 제 2 튜브의 상기 단부는 내부에 규정된 환형 채널을 갖고, 그리고 시일링 부재의 일부가 상기 환형 채널 내에 있고 상기 시일링 부재의 일부가 상기 스페이서의 상기 제 2 측면과 콘택트하도록 상기 시일링 부재가 상기 제 2 튜브의 상기 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치되는, 시일링 인터페이스.
35. 제 34 항에 있어서,
    상기 제 2 튜브의 상기 단부에 규정된 상기 환형 채널 내에 배치된 상기 시일링 부재는 O-링인, 시일링 인터페이스.
36. 제 33 항에 있어서,
    복수의 돌출부들이 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 단부들에 근접하게 제공되고, 상기 복수의 돌출부들은 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들 둘레에 이격되는, 시일링 인터페이스.
37. 제 36 항에 있어서,
    상기 복수의 돌출부들은 상기 스페이서 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 주변부의 충돌을 피하기 충분한 거리로 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 포스트들을 포함하고, 그리고 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 1 튜브의 상기 포스트들의 외측 단부들 및 상기 제 2 튜브의 상기 포스트들의 외측 단부들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
38. 제 36 항에 있어서,
    상기 복수의 돌출부들은 상기 스페이서 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 주변부의 충돌을 피하기 충분한 거리로 상기 제 1 튜브 및 상기 제 2 튜브의 각각의 외측 표면들로부터 연장하는 탭들을 포함하고, 상기 탭들 각각은 이들의 외측 단부에 근접하게 내부에 규정된 홀을 갖고, 그리고 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 제 1 튜브의 상기 탭들의 복수의 홀들 및 상기 제 2 튜브의 상기 탭들의 복수의 홀들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
39. 제 33 항에 있어서,
    플랜지가 상기 스페이서의 상기 외측 표면으로부터 연장되고, 상기 스페이서의 상기 플랜지는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖고, 상기 제 2 튜브의 상기 단부는 내부에 규정된 복수의 홀들을 갖는 플랜지를 포함하고, 그리고 상기 복수의 결속 엘리먼트들은 상기 스페이서의 상기 플랜지의 상기 복수의 홀들 및 상기 제 2 튜브의 상기 플랜지의 상기 복수의 홀들에 각각 커플링되는, 시일링 인터페이스.
40. 제 39 항에 있어서,
    상기 제 2 튜브의 상기 플랜지는 상기 제 2 튜브와 일체로 형성되는, 시일링 인터페이스.
41. 제 39 항에 있어서,
    상기 제 2 튜브의 상기 플랜지는 상기 제 2 튜브 상에 장착된 별도의 엘리먼트에 의해 규정되는, 시일링 인터페이스.
42. 제 40 항에 있어서,
    상기 제 2 튜브 상에 장착된 상기 별도의 엘리먼트는 와셔인, 시일링 인터페이스.
43. 제 33 항에 있어서,
    상기 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들을 포함하는, 시일링 인터페이스.
44. 제 37 항에 있어서,
    상기 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함하는, 시일링 인터페이스.
45. 제 38 항에 있어서,
    상기 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함하는, 시일링 인터페이스.
46. 제 39 항에 있어서,
    상기 복수의 결속 엘리먼트들은 스프링들, 또는 와이어들, 또는 볼트들, 또는 스프링들, 및/또는 와이어들, 및/또는 볼트들의 조합을 포함하는, 시일링 인터페이스.

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