KR20220028853A - Hand unit and transport apparatus having the same - Google Patents

Hand unit and transport apparatus having the same Download PDF

Info

Publication number
KR20220028853A
KR20220028853A KR1020200110438A KR20200110438A KR20220028853A KR 20220028853 A KR20220028853 A KR 20220028853A KR 1020200110438 A KR1020200110438 A KR 1020200110438A KR 20200110438 A KR20200110438 A KR 20200110438A KR 20220028853 A KR20220028853 A KR 20220028853A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
damping
members
carrier
grippers
horizontal
Prior art date
Application number
KR1020200110438A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
조재익
조길현
조충일
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020200110438A priority Critical patent/KR20220028853A/en
Publication of KR20220028853A publication Critical patent/KR20220028853A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

Disclosed are a hand unit and a transfer device including the same. According to an embodiment of the present invention, the purpose of the present invention is to provide the hand unit capable of damping vibration generated while a carrier is moving, and the transfer device including the same. The hand unit includes: a pair of grippers gripping a flange installed in an upper part of a carrier for transferring a material; and a gripper driving unit moving the grippers to be separated from each other and close to each other. The grippers include: support members for individually supporting both side parts of the flange; and upper frames each connected to the support members in the upper part of the flange supported by the support members. The griper driving unit includes operation members each connected to the upper frames. Vertical damping members for damping the vibration of a vertical direction in the grippers are individually arranged between the upper frames and the operation members.

Description

핸드 유닛 및 이를 갖는 이송 장치{Hand unit and transport apparatus having the same}Hand unit and transport apparatus having the same

본 발명은 핸드 유닛 및 이를 갖는 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어의 이송을 위해 상기 캐리어의 상부에 구비되는 플랜지를 파지하는 핸드 유닛 및 이를 갖는 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a hand unit and a transport device having the same, and more particularly, to a hand unit for gripping a flange provided on an upper portion of the carrier for transport of the carrier, and a transport device having the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들은 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are sequentially arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. Objects for performing the semiconductor device manufacturing process, for example, semiconductor wafers, may be provided to or recovered from each semiconductor process device while being accommodated in a carrier.

상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 상기 이송 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 캐리어를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 이송 차량을 포함한다.The carrier may be transported by a transport device such as an Overhead Hoist Transport (OHT) device. The transport apparatus includes a traveling rail provided along a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, and a transport vehicle that grips the carrier and travels along the traveling rail.

상기 이송 차량은 상기 캐리어의 상부에 구비되는 플랜지를 파지하기 위한 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈을 상기 주행 레일을 따라 이동시키기 위한 주행 모듈을 포함할 수 있다.The transport vehicle may include a hand unit for gripping a flange provided on an upper portion of the carrier, a hoist module for elevating the hand unit, and a traveling module for moving the hoist module along the traveling rail. .

한편, 상기 이송 차량이 주행함에 따라 발생되는 진동이 상기 핸드 유닛을 통해 상기 캐리어로 전달될 수 있으며, 이에 의해 상기 캐리어에 수납된 자재들의 손상 및 진동으로 인한 파티클 발생에 의해 상기 자재들이 오염되는 문제점이 발생될 수 있다. 아울러, 진동의 정도가 큰 경우 상기 캐리어가 상기 핸드 유닛으로부터 이탈되어 낙하되는 사고가 발생될 수도 있다.On the other hand, the vibration generated as the transport vehicle travels may be transmitted to the carrier through the hand unit, thereby causing damage to the materials accommodated in the carrier and contamination of the materials by particle generation due to vibration. This can happen. In addition, when the degree of vibration is large, an accident in which the carrier is separated from the hand unit and falls may occur.

본 발명의 실시예들은 캐리어의 이동 중에 발생되는 진동을 감쇠시킬 수 있는 핸드 유닛과 이를 포함하는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a hand unit capable of damping vibration generated during movement of a carrier and a transport device including the same.

본 발명의 일 측면에 따르면, 자재 이송을 위해 캐리어의 상부에 구비된 플랜지를 파지하는 한 쌍의 그리퍼들과 상기 그리퍼들을 서로 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 그리퍼 구동부를 포함하는 핸드 유닛에 있어서, 상기 그리퍼들은, 상기 플랜지의 양측 부위들을 각각 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 서포트 부재들에 의해 지지된 상기 플랜지의 상부에서 상기 서포트 부재들과 각각 연결되는 상부 프레임들을 포함하고, 상기 그리퍼 구동부는 상기 상부 프레임들에 각각 연결되는 가동 부재들을 포함하며, 상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에는 상기 그리퍼들의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 수직 감쇠 부재들이 각각 배치될 수 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided a hand unit including a pair of grippers for gripping a flange provided on an upper portion of a carrier for material transfer, and a gripper driving unit for moving the grippers in a direction toward and away from each other. The grippers include support members for supporting both sides of the flange, respectively, and upper frames connected to the support members at an upper portion of the flange supported by the support members, respectively, and the gripper The driving unit may include movable members respectively connected to the upper frames, and vertical damping members for damping vertical vibration of the grippers may be disposed between the upper frames and the movable members, respectively.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 그리퍼들은, 상기 상부 프레임들을 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 가동 부재들과 연결하는 가이드 부재들을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the grippers may further include guide members connecting the upper frames to the movable members to move the upper frames in a vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수직 감쇠 부재들은 상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the vertical damping members may include permanent magnets for generating a repulsive force between the upper frames and the movable members.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 그리퍼들은, 상기 서포트 부재들 상에 배치되며 상기 캐리어의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 제2 수직 감쇠 부재들을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the grippers may further include second vertical damping members disposed on the support members and configured to damp a vertical direction vibration of the carrier.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 서포트 부재들 상에는 상기 플랜지의 정렬을 위한 정렬 부재가 각각 배치되며, 상기 플랜지의 일측 부위에는 상기 정렬 부재가 삽입되는 리세스가 구비될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, alignment members for aligning the flange are respectively disposed on the support members, and a recess into which the alignment member is inserted may be provided at one side of the flange.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 그리퍼들은 상기 플랜지의 양쪽 측면들에 각각 밀착되는 제2 서포트 부재들을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the grippers may further include second support members respectively in close contact with both side surfaces of the flange.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 연결되어 그 내부에 자재 이송을 위한 캐리어를 수용하기 위한 공간을 갖는 하우징과, 상기 하우징에 장착되며 상기 캐리어를 승강 시키기 위한 호이스트 유닛과, 상기 캐리어의 상부에 구비된 플랜지를 파지하기 위한 한 쌍의 그리퍼들과 상기 그리퍼들을 서로 가까워지는 방향 또는 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 그리퍼 구동부들을 포함하는 이송 장치에 있어서, 상기 그리퍼들은, 상기 플랜지의 양측 부위들을 각각 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 서포트 부재들에 의해 지지된 상기 플랜지의 상부에서 상기 서포트 부재들과 각각 연결되는 상부 프레임들을 포함하고, 상기 그리퍼 구동부는 상기 상부 프레임들에 각각 연결되는 가동 부재들을 포함하며, 상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에는 상기 그리퍼들의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 수직 감쇠 부재들이 각각 배치될 수 있다.According to another aspect of the present invention, a traveling unit configured to be movable along a traveling rail, a housing connected to a lower portion of the traveling unit and having a space for accommodating a carrier for material transfer therein; A transport comprising a hoist unit mounted on the carrier and elevating the carrier, a pair of grippers for gripping a flange provided on the upper portion of the carrier, and gripper drivers for moving the grippers in a direction toward or away from each other In the device, the grippers include support members for respectively supporting both sides of the flange, and upper frames respectively connected to the support members at an upper portion of the flange supported by the support members, The gripper driver may include movable members respectively connected to the upper frames, and vertical damping members for damping vertical vibrations of the grippers may be disposed between the upper frames and the movable members, respectively.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수직 감쇠 부재들은 상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the vertical damping members may include permanent magnets for generating a repulsive force between the upper frames and the movable members.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 그리퍼들은, 상기 서포트 부재들 상에 배치되며 상기 캐리어의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 제2 수직 감쇠 부재들을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the grippers may further include second vertical damping members disposed on the support members and configured to damp a vertical direction vibration of the carrier.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하우징에 수용된 상기 캐리어의 수평 방향 진동을 감쇠하기 위한 수평 감쇠 유닛들 및 상기 수평 감쇠 유닛들을 상기 캐리어의 양쪽 측면들에 각각 밀착시키기 위해 상기 수평 감쇠 유닛들을 수평 방향으로 이동시키는 수평 감쇠 구동부를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, horizontal damping units for damping the horizontal vibration of the carrier accommodated in the housing and horizontal damping units are horizontally arranged to closely contact the horizontal damping units to both sides of the carrier, respectively. It may further include a horizontal damping drive for moving in the direction.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 감쇠 유닛들 각각은, 상기 캐리어의 측면에 밀착되는 감쇠 블록과, 상기 수평 감쇠 구동부들 각각에 연결되어 상기 수평 방향으로 이동되며 상기 감쇠 블록과 인접하게 배치되는 서포트 블록과, 상기 감쇠 블록과 상기 서포트 블록 사이에 배치되며 상기 감쇠 블록이 상기 캐리어의 측면에 밀착되도록 척력을 제공하는 수평 감쇠 부재를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, each of the horizontal damping units is a damping block in close contact with the side of the carrier, and is connected to each of the horizontal damping driving units to move in the horizontal direction and disposed adjacent to the damping block and a support block, which is disposed between the damping block and the support block, and may include a horizontal damping member that provides a repulsive force so that the damping block is in close contact with the side of the carrier.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 서포트 블록은 알파벳 'L'자 형태의 단면을 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the support block may have a cross section in the shape of an alphabet 'L'.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 감쇠 유닛들 각각은 상기 감쇠 블록과 상기 서포트 블록 사이에 배치되어 상기 수평 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, each of the horizontal damping units may further include an elastic member disposed between the damping block and the support block to provide an elastic force in the horizontal direction.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 캐리어의 이송 도중에 발생될 수 있는 수직 방향 진동은 상기 수직 감쇠 부재들 및 상기 제2 수직 감쇠 부재들에 의해 감쇠될 수 있으며, 이에 의해 상기 캐리어에 상기 수직 방향 진동이 전달되는 것을 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 수평 감쇠 부재들에 의해 상기 캐리어에 전달되는 수평 방향 진동이 감소될 수 있다. 따라서, 상기 수직 및 수평 방향 진동에 의해 상기 캐리어에 수납된 자재들의 손상 및 파티클 발생이 크게 감소될 수 있다. 아울러, 상기 캐리어의 이송 도중에 발생될 수 있는 상기 캐리어의 낙하 사고가 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, vertical vibration that may be generated during the transport of the carrier may be damped by the vertical damping members and the second vertical damping members, whereby the carrier It is possible to reduce the transmission of the vertical direction vibration. In addition, horizontal vibration transmitted to the carrier by the horizontal damping members may be reduced. Accordingly, damage and particle generation of materials accommodated in the carrier by the vertical and horizontal vibrations can be greatly reduced. In addition, a fall accident of the carrier that may occur during the transport of the carrier can be prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸드 유닛과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3는 리세스를 포함하는 플랜지를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4은 도1에 도시된 서포트 부재, 제2 서포트 부재 및 정렬 부재를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 수평 감쇠 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6은 탄성 부재로 연결된 수평 감쇠 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a hand unit and a transfer device including the same according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining the hand unit shown in FIG. 1 .
3 is a plan view illustrating a flange including a recess.
4 is a cross-sectional view illustrating the support member, the second support member, and the alignment member shown in FIG. 1 .
5 is a schematic cross-sectional view for explaining the horizontal attenuation unit shown in FIG.
6 is a plan view illustrating a horizontal damping unit connected by an elastic member.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화 될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에서 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Conversely, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 기술자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in ordinary dictionaries, shall be interpreted to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, for example variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be expected sufficiently. Accordingly, embodiments of the present invention are not described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather include variations in shapes, and elements described in the drawings are schematic in nature and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸드 유닛과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a hand unit and a transfer device including the same according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining the hand unit shown in FIG. 1 .

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 핸드 유닛(100)과 이를 포함하는 이송 장치(200)는, 일 예로서, 반도체 장치의 제조 공정에서 자재들의 이송을 위해 사용되는 캐리어(10)를 이송하기 위해 사용될 수 있다. 구체적으로, 예를 들면, 상기 이송 장치(200)는 반도체 웨이퍼들이 수납되는 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기를 이송하기 위해 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a hand unit 100 and a transport device 200 including the same according to an embodiment of the present invention include, as an example, a carrier 10 used for transporting materials in a semiconductor device manufacturing process. ) can be used to transport Specifically, for example, the transfer device 200 may be used to transfer a container such as a Front Opening Unified Pod (FOUP) in which semiconductor wafers are accommodated.

상기 이송 장치(200)는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 주행 모듈(20)과, 상기 주행 모듈(20)의 하부에 연결된 하우징(40)을 포함할 수 있다. 상기 하우징(40)은 상기 캐리어(10)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 가질 수 있다. 또한, 상기 캐리어(10)가 상기 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 하우징(40)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.The transport device 200 includes a traveling rail installed on the ceiling of the clean room, a traveling module 20 configured to be movable along the traveling rail, and a housing 40 connected to a lower portion of the traveling module 20 . may include The housing 40 may have a hollow interior to accommodate the carrier 10 . In addition, the housing 40 may have a lower surface and one side surface open in the Y-axis direction so that the carrier 10 can move in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

상기 이송 장치(200)는 상기 하우징(40)의 하부에 연결되어 상기 캐리어(10)를 승강시키기 위한 호이스트 모듈(30)을 포함할 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(30)은 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 캐리어(10)를 승강시킬 수 있다. 또한, 상기 호이스트 모듈(30)은 상기 캐리어(10)의 상부에 구비되는 플랜지(11)를 파지하기 위해 상기 핸드 유닛(100)을 사용할 수 있다.The transport device 200 may include a hoist module 30 connected to the lower portion of the housing 40 to elevate the carrier 10, and the hoist module 30 winds up or unwinds the belt. The carrier 10 may be raised and lowered. In addition, the hoist module 30 may use the hand unit 100 to hold the flange 11 provided on the upper portion of the carrier 10 .

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 핸드 유닛(100)은 상기 캐리어(10)의 상부에 구비된 플랜지(11)를 파지한다.Referring to FIG. 2 , the hand unit 100 according to an embodiment of the present invention grips the flange 11 provided on the upper portion of the carrier 10 .

상기 핸드 유닛(100)은 그리퍼(102)들 및 그리퍼 구동부(104)를 포함할 수 있다.The hand unit 100 may include grippers 102 and a gripper driving unit 104 .

상기 그리퍼(102)들 각각은 서포트 부재(111), 제2 서포트 부재(113), 정렬 부재(115), 상부 프레임(120), 가동 부재(130), 가이드 부재(140), 수직 감쇠 부재(150) 및 제2 수직 감쇠 부재(160)를 포함할 수 있다.Each of the grippers 102 includes a support member 111 , a second support member 113 , an alignment member 115 , an upper frame 120 , a movable member 130 , a guide member 140 , and a vertical damping member ( 150) and a second vertical damping member 160 may be included.

상기 그리퍼 구동부(104)는 상기 상부 프레임(120)에 각각 연결된 상기 가동 부재(130)들과 연결되어 상기 그리퍼(102)들이 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향인 X축 방향으로 상기 그리퍼(102)들을 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 그리퍼 구동부(104)는 한 쌍의 그리퍼들(102)을 동시에 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼 구동부(104)는 상기 가동 부재(130)들과 캠 구조 등으로 결합함으로써, 상기 그리퍼(102)들을 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 그리퍼 구동부(104)는, 도시되지는 않았으나, 상기 그리퍼들(102)에 장착되는 캠 팔로워들과, 상기 캠 팔로워들을 안내하기 위한 캠 슬롯이 형성된 캠 플레이트들과, 상기 캠 플레이트들을 왕복 이동시키기 위한 구동 기구를 포함할 수 있다. 또한, 상기 그리퍼 구동부(104)는 상기 가동 부재(130)를 수평 방향으로 안내하기 위한 가이드 기구, 예를 들면, 리니어 모션 가이드를 포함할 수 있다.The gripper driving unit 104 is connected to the movable members 130 respectively connected to the upper frame 120 to hold the grippers 102 in the X-axis direction, which is a direction in which the grippers 102 approach and a direction away from each other. can be moved Also, the gripper driving unit 104 may simultaneously move the pair of grippers 102 . For example, the gripper driving unit 104 may move the grippers 102 by coupling the movable members 130 with a cam structure or the like. For example, although not shown, the gripper driving unit 104 includes cam followers mounted on the grippers 102 , cam plates having cam slots for guiding the cam followers, and the cam plate. It may include a drive mechanism for reciprocating them. Also, the gripper driving unit 104 may include a guide mechanism for guiding the movable member 130 in a horizontal direction, for example, a linear motion guide.

한편, 상기 그리퍼(102)들에 각각에 포함된 상기 서포트 부재(111)는 상기 X축 방향을 따라 상기 캐리어(10)와 상기 플랜지(11) 사이의 공간으로 접근하여 상기 플랜지(11)를 지지할 수 있다.Meanwhile, the support member 111 included in each of the grippers 102 approaches the space between the carrier 10 and the flange 11 along the X-axis direction to support the flange 11 . can do.

상기 제2 서포트 부재(113)는 상기 서포트 부재(111) 상에 구비되어 상기 플랜지(11)의 상기 X축 방향의 측면에 밀착함으로써, 상기 플랜지(11)를 상기 수평 방향으로 고정할 수 있다.The second support member 113 may be provided on the support member 111 to be in close contact with the side surface of the flange 11 in the X-axis direction, thereby fixing the flange 11 in the horizontal direction.

한편, 상기 서포트 부재(111)와 상기 제2 서포트 부재(113)의 중앙 부위 상에 상기 정렬 부재(115)가 구비될 수 있다.Meanwhile, the alignment member 115 may be provided on a central portion of the support member 111 and the second support member 113 .

도 3은 리세스를 포함하는 플랜지를 설명하기 위한 평면도이다.3 is a plan view illustrating a flange including a recess.

도 3을 참조하면, 상기 플랜지(11)는 리세스(117)를 구비할 수 있다. 상기 정렬 부재(115)는 상기 플랜지(11)의 리세스(117)에 결합하여 상기 플랜지(11)를 상기 서포트 부재(111) 및 제2 서포트 부재(113)에 정위치하도록 안내할 뿐만 아니라 상기 캐리어(10)의 회전을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the flange 11 may include a recess 117 . The alignment member 115 engages the recess 117 of the flange 11 to guide the flange 11 into position on the support member 111 and the second support member 113 as well as the Rotation of the carrier 10 can be prevented.

상기 상부 프레임(120)은 상기 서포트 부재(111)와 수직 방향의 프레임 등에 의하여 결합할 수 있다.The upper frame 120 may be coupled to the support member 111 by a vertical frame or the like.

상기 가동 부재(130)는 상기 상부 프레임(120)의 하부에 배치되어 상기 상부 프레임(120)이 수직 방향으로 이동할 수 있도록 상기 상부 프레임(120)과 연결될 수 있다. 예를 들면, 상기 상부 프레임(120) 및 상기 가동 부재(130)는 상기 가이드 부재(140)를 통해 연결될 수 있다.The movable member 130 may be disposed under the upper frame 120 to be connected to the upper frame 120 so that the upper frame 120 moves in a vertical direction. For example, the upper frame 120 and the movable member 130 may be connected through the guide member 140 .

상기 가이드 부재(140)는 상기 상부 프레임(120)의 수직 방향의 이동을 위해 상기 상부 프레임(120) 및 상기 가동 부재(130)의 사이에 결합될 수 있다, 예를 들면, 상기 가이드 부재(140)가 리니어 가이드 부시 등으로 구성되어 상기 상부 프레임(120)의 수직 방향의 이동을 용이하게 할 수 있다.The guide member 140 may be coupled between the upper frame 120 and the movable member 130 for vertical movement of the upper frame 120 , for example, the guide member 140 . ) is composed of a linear guide bush, etc., to facilitate movement of the upper frame 120 in the vertical direction.

상기 상부 프레임(120)과 상기 가동 부재(130) 사이에 상기 수직 감쇠 부재(150)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 수직 감쇠 부재(150)는 영구자석들을 포함하며 상기 영구자석들 사이의 척력을 이용하여 상기 상부 프레임(120)을 상기 가동 부재(130)로부터 부상시킬 수 있다. 이로써, 상기 상부 프레임(120)은 상기 가동 부재(130)와 직접 접촉하지 않으며, 상기 영구자석들 사이의 척력과 상기 그리퍼(102)와 상기 그리퍼(102)에 의해 지지된 상기 캐리어(10)의 자중에 의해 수직 방향 진동이 감쇠될 수 있다.The vertical damping member 150 may be disposed between the upper frame 120 and the movable member 130 . For example, the vertical damping member 150 may include permanent magnets and may lift the upper frame 120 from the movable member 130 by using a repulsive force between the permanent magnets. Accordingly, the upper frame 120 does not directly contact the movable member 130 , and the repulsive force between the permanent magnets and the gripper 102 and the carrier 10 supported by the gripper 102 . Vibration in the vertical direction may be damped by its own weight.

상기 서포트 부재(111)와 상기 플랜지(11) 사이에 제2 수직 감쇠 부재(160)가 배치될 수 있다. 상기 제2 수직 감쇠 부재(160)는 상기 플랜지(11)가 상기 서포트 부재(111)에 의하여 지지되는 경우, 상기 플랜지(11)에 가해지는 진동을 감쇠시켜 상기 캐리어(10) 내부 자재들의 파손을 방지할 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 수직 감쇠 부재(160)로는 유연성을 갖는 고무 또는 실리콘 재질의 패드가 사용될 수 있다.A second vertical damping member 160 may be disposed between the support member 111 and the flange 11 . The second vertical damping member 160 attenuates the vibration applied to the flange 11 when the flange 11 is supported by the support member 111 to prevent damage to materials inside the carrier 10 . can be prevented As an example, the second vertical damping member 160 may be a pad made of a rubber or silicon material having flexibility.

도 4는 도1에 도시된 서포트 부재, 제2 서포트 부재 및 정렬 부재를 설명하기 위한 단면도이다.4 is a cross-sectional view for explaining the support member, the second support member, and the alignment member shown in FIG. 1 .

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제2 서포트 부재(113)는 상기 그리퍼(102)들이 멀어지는 방향으로 상기 서포트 부재(111)의 말단에 구비될 수 있다. 상기 제2 서포트 부재(113)는 상기 플랜지(11)의 양쪽 측면에 밀착되어 상기 플랜지(11)를 더욱 안전하게 파지할 수 있고, 상기 제2 서포트 부재(113)는 상기 주행 모듈(20)의 이동에 따라 발생하는 상기 캐리어(10)의 수평 방향 이동 및 진동을 제한할 수 있다.As shown in FIG. 4 , the second support member 113 may be provided at the distal end of the support member 111 in a direction in which the grippers 102 move away from each other. The second support member 113 may be in close contact with both sides of the flange 11 to more safely grip the flange 11 , and the second support member 113 may move the driving module 20 . It is possible to limit the horizontal movement and vibration of the carrier 10 generated according to the.

도 5는 도 1에 도시된 수평 감쇠 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.5 is a schematic cross-sectional view for explaining the horizontal attenuation unit shown in FIG.

도 6은 탄성 부재로 연결된 수평 감쇠 유닛을 설명하기 위한 평면도이다 6 is a plan view illustrating a horizontal damping unit connected by an elastic member;

도 1 및 도 5를 참조하면, 상기 이송 장치(200)는 수평 감쇠 유닛들(270) 및 수평 감쇠 유닛 구동부들(280)을 포함할 수 있다.1 and 5 , the transfer device 200 may include horizontal damping units 270 and horizontal damping unit driving units 280 .

상기 수평 감쇠 유닛들(270)은 상기 하우징(40)의 양측 하부에 각각 배치되어 상기 캐리어(10)로 전해지는 수평 방향 진동을 감쇠시키며 상기 캐리어(10)를 지지할 수 있다.The horizontal damping units 270 may be respectively disposed under both sides of the housing 40 to damp horizontal vibration transmitted to the carrier 10 and support the carrier 10 .

상기 각각의 수평 감쇠 유닛(270)은 감쇠 블록(271), 서포트 블록(273), 수평 감쇠 부재(275) 및 탄성 부재(277)를 포함할 수 있다.Each of the horizontal damping units 270 may include a damping block 271 , a support block 273 , a horizontal damping member 275 and an elastic member 277 .

상기 감쇠 블록(271)은 상기 서포트 블록(273) 상에 구비되어 상기 X축 방향으로 상기 캐리어(10)의 측면에 밀착됨으로써 상기 캐리어(10)를 지지할 수 있다.The damping block 271 may be provided on the support block 273 to support the carrier 10 by being in close contact with the side surface of the carrier 10 in the X-axis direction.

상기 서포트 블록(273)은 상기 수평 감쇠 유닛 구동부(280)와 연결된다. 상기 서포트 블록(273)의 일측 단부는 상기 캐리어(10)의 하부에 배치되어 상기 감쇠 블록(271)을 지지하고, 타측 단부는 상기 감쇠 블록(271)의 외측에 배치되어 수직 상방으로 연장되는 알파벳 'L'자 형태의 단면을 가질 수 있다. 이로써, 상기 캐리어(10)가 낙하되는 경우 상기 캐리어(10)의 하부면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(10)가 상기 핸드 유닛(100)으로부터 분리되더라도 상기 캐리어(10)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다.The support block 273 is connected to the horizontal damping unit driving unit 280 . One end of the support block 273 is disposed under the carrier 10 to support the damping block 271, and the other end of the support block 273 is disposed outside the damping block 271 and extends vertically upward. It may have an 'L'-shaped cross-section. Accordingly, when the carrier 10 is dropped, it is possible to support the lower surface of the carrier 10 . Accordingly, even if the carrier 10 is separated from the hand unit 100, it is possible to prevent the carrier 10 from falling.

상기 감쇠 블록(271)과 상기 서포트 블록(273)의 사이에 상기 수평 감쇠 부재(275)가 구비될 수 있다. 상기 수평 감쇠 부재(275)로는 복수의 영구자석들이 사용될 수 있다. 예를 들면, 복수의 영구자석들이 상기 감쇠 블록(271)과 상기 서포트 블록(273) 사이에서 척력을 발생시키도록 상기 감쇠 블록(271)과 상기 서포트 블록(273)에 장착될 수 있다.The horizontal damping member 275 may be provided between the damping block 271 and the support block 273 . A plurality of permanent magnets may be used as the horizontal damping member 275 . For example, a plurality of permanent magnets may be mounted to the damping block 271 and the support block 273 to generate a repulsive force between the damping block 271 and the support block 273 .

도 6을 참조하면, 상기 탄성 부재(277)는 상기 감쇠 블록(271) 및 상기 서포트 블록(273)이 분리되지 않도록 그 사이를 연결하며 상기 감쇠 블록(271)을 상기 서포트 블록(273)의 이동에 따라 이동하여 상기 캐리어(10)의 측면에 밀착할 수 있도록 가이드 할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the elastic member 277 connects the damping block 271 and the support block 273 so that they are not separated, and moves the damping block 271 to the support block 273 . It can move according to the guide so as to be in close contact with the side of the carrier (10).

한편, 상기 탄성 부재(277)의 탄성력이 강할수록 상기 수평 감쇠 유닛(200)의 진동 감쇠 효과는 감소하게 된다. 예를 들어, 상기 캐리어(10)의 수평 방향으로만 진동이 전해지는 경우에 있어서, 상기 수평 감쇠 유닛(200)의 감쇠비는 상기 탄성 부재(277)의 강성과 반비례하는 관계에 있다. 한편, 상기 탄성 부재(277)의 탄성력은 상기 탄성 부재(277)의 강성과 비례하는 관계, 즉, 상기 탄성 부재(277)의 강성이 커질수록 탄성력 또한 커지게 된다. 따라서, 상기 수평 감쇠 유닛(200)의 감쇠 효과를 증가시키기 위하여 상기 탄성 부재는(277)는 탄성력이 크지 않은 소재, 예를 들면, 판 스프링 또는 코일 스프링 등으로 구성될 수 있다On the other hand, as the elastic force of the elastic member 277 is stronger, the vibration damping effect of the horizontal damping unit 200 is reduced. For example, when vibration is transmitted only in the horizontal direction of the carrier 10 , the damping ratio of the horizontal damping unit 200 is in inverse proportion to the rigidity of the elastic member 277 . On the other hand, the elastic force of the elastic member 277 is proportional to the rigidity of the elastic member 277, that is, as the rigidity of the elastic member 277 increases, the elastic force also increases. Accordingly, in order to increase the damping effect of the horizontal damping unit 200, the elastic member 277 may be made of a material having low elastic force, for example, a plate spring or a coil spring.

또한, 상기 탄성 부재(277)가 상기 감쇠 블록(271) 및 상기 서포트 블록(273)을 연결하는 경우, 상기 탄성 부재(277)의 탄성력으로 인하여, 상기 탄성 부재(277)는 Y축 방향의 진동에 대하여 상기 수평 감쇠 부재(275)와 같이 작용하게 됨으로써, 상기 캐리어(10)로 전해지는 Y축 방향의 진동을 감쇠 시킬 수 있다. 이로써, 상기 수평 감쇠 유닛(270)은 상기 수평 감쇠 유닛(275) 및 상기 탄성 부재(277)로 인하여 상기 캐리어(10)에 전해지는 X축 방향 성분 및 Y축 방향 성분의 진동을 감쇠 시킬 수 있다.In addition, when the elastic member 277 connects the damping block 271 and the support block 273 , due to the elastic force of the elastic member 277 , the elastic member 277 vibrates in the Y-axis direction. By acting like the horizontal damping member 275 with respect to , it is possible to attenuate the vibration in the Y-axis direction transmitted to the carrier (10). Accordingly, the horizontal damping unit 270 can attenuate the vibration of the X-axis direction component and the Y-axis direction component transmitted to the carrier 10 due to the horizontal damping unit 275 and the elastic member 277 . .

상기 수평 감쇠 유닛 구동부(280)는 상기 수평 감쇠 유닛(270)과 연결되어 상기 수평 감쇠 유닛(270)을 상기 X축 방향으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 수평 감쇠 유닛 구동부(280)는 상기 서포트 블록(273)과 연결될 수 있고, 상기 수평 감쇠 유닛 구동부(280)는 상기 X축 방향으로 상기 수평 감쇠 유닛(270)을 왕복 이동시킴으로써 상기 감쇠 블록(271)을 상기 캐리어(10)에 밀착 및 해제 시킬 수 있다.The horizontal attenuation unit driving unit 280 may be connected to the horizontal attenuation unit 270 to move the horizontal attenuation unit 270 in the X-axis direction. Specifically, the horizontal attenuation unit driving unit 280 may be connected to the support block 273, and the horizontal attenuation unit driving unit 280 is the attenuation by reciprocating the horizontal attenuation unit 270 in the X-axis direction. The block 271 may be in close contact with and released from the carrier 10 .

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

10 : 캐리어 11 : 플랜지
20 : 주행 유닛 30: 호이스트 유닛
40 : 하우징 100 : 핸드 유닛
102 : 그리퍼 104 : 그리퍼 구동부
111 : 서포트 부재 113 : 제2 서포트 부재
115 : 정렬 부재 117 : 리세스
120 : 상부 프레임 130 : 가동 부재
140 : 가이드 부재 150 : 수직 감쇠 부재
160 : 제2 수직 감쇠 부재 200 : 이송 장치
270 : 수평 감쇠 유닛 271 : 감쇠 블록
273 : 서포트 블록 275 : 수평 감쇠 부재
277 : 탄성 부재 280 : 수평 감쇠 유닛 구동부10: carrier 11: flange
20: traveling unit 30: hoist unit
40: housing 100: hand unit
102: gripper 104: gripper driving unit
111: support member 113: second support member
115: alignment member 117: recess
120: upper frame 130: movable member
140: guide member 150: vertical damping member
160: second vertical damping member 200: transfer device
270: horizontal attenuation unit 271: attenuation block
273: support block 275: horizontal damping member
277: elastic member 280: horizontal damping unit driving unit

Claims (13)

자재 이송을 위한 캐리어의 상부에 구비된 플랜지를 파지하는 한 쌍의 그리퍼들과 상기 그리퍼들을 서로 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 그리퍼 구동부를 포함하는 핸드 유닛에 있어서,
상기 그리퍼들은, 상기 플랜지의 양측 부위들을 각각 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 서포트 부재들에 의해 지지된 상기 플랜지의 상부에서 상기 서포트 부재들과 각각 연결되는 상부 프레임들을 포함하고,
상기 그리퍼 구동부는 상기 상부 프레임들에 각각 연결되는 가동 부재들을 포함하며,
상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에는 상기 그리퍼들의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 수직 감쇠 부재들이 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛.A hand unit comprising: a pair of grippers for gripping a flange provided on an upper portion of a carrier for material transfer; and a gripper driving unit for moving the grippers in a direction toward and away from each other,
The grippers include support members for supporting both sides of the flange, respectively, and upper frames respectively connected to the support members at an upper portion of the flange supported by the support members,
The gripper driving unit includes movable members respectively connected to the upper frames,
Vertical damping members for damping vertical vibrations of the grippers are respectively disposed between the upper frames and the movable members. 제1항에 있어서. 상기 그리퍼들은, 상기 상부 프레임들을 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 가동 부재들과 연결하는 가이드 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛.The method of claim 1 . The grippers may further include guide members connecting the upper frames to the movable members to move the upper frames in a vertical direction. 제1항에 있어서, 상기 수직 감쇠 부재들은 상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛.The hand unit according to claim 1, wherein the vertical damping members include permanent magnets for generating a repulsive force between the upper frames and the movable members. 제1항에 있어서, 상기 그리퍼들은, 상기 서포트 부재들 상에 배치되며 상기 캐리어의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 제2 수직 감쇠 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛.The hand unit according to claim 1, wherein the grippers further include second vertical damping members disposed on the support members and configured to damp a vertical direction vibration of the carrier. 제1항에 있어서, 상기 서포트 부재들 상에는 상기 플랜지의 정렬을 위한 정렬 부재가 각각 배치되며,
상기 플랜지의 일측 부위에는 상기 정렬 부재가 삽입되는 리세스가 구비되는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛.The method according to claim 1, wherein alignment members for aligning the flanges are respectively disposed on the support members,
A hand unit, characterized in that a recess into which the alignment member is inserted is provided at one side portion of the flange. 제1항에 있어서, 상기 그리퍼들은 상기 플랜지의 양쪽 측면들에 각각 밀착되는 제2 서포트 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛.The hand unit according to claim 1, wherein the grippers further include second support members respectively closely attached to both side surfaces of the flange. 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 연결되어 그 내부에 자재 이송을 위한 캐리어를 수용하기 위한 공간을 갖는 하우징과, 상기 하우징에 장착되며 상기 캐리어를 승강시키기 위한 호이스트 유닛과, 상기 캐리어의 상부에 구비된 플랜지를 파지하기 위한 한 쌍의 그리퍼들과 상기 그리퍼들을 서로 가까워지는 방향 또는 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 그리퍼 구동부들을 포함하는 이송 장치에 있어서,
상기 그리퍼들은, 상기 플랜지의 양측 부위들을 각각 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 서포트 부재들에 의해 지지된 상기 플랜지의 상부에서 상기 서포트 부재들과 각각 연결되는 상부 프레임들을 포함하고,
상기 그리퍼 구동부는 상기 상부 프레임들에 각각 연결되는 가동 부재들을 포함하며,
상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에는 상기 그리퍼들의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 수직 감쇠 부재들이 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.A traveling unit configured to be movable along a traveling rail, a housing connected to a lower portion of the traveling unit and having a space therein for accommodating a carrier for material transport, and mounted on the housing for elevating the carrier In the transport device comprising: a hoist unit; a pair of grippers for gripping the flange provided on the upper portion of the carrier; and gripper drivers for moving the grippers in a direction toward or away from each other,
The grippers include support members for supporting both sides of the flange, respectively, and upper frames respectively connected to the support members at an upper portion of the flange supported by the support members,
The gripper driving unit includes movable members respectively connected to the upper frames,
Vertical damping members for damping vertical vibrations of the grippers are respectively disposed between the upper frames and the movable members. 제7항에 있어서, 상기 수직 감쇠 부재들은 상기 상부 프레임들과 상기 가동 부재들 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.8. The conveying apparatus of claim 7, wherein the vertical damping members include permanent magnets for generating a repulsive force between the upper frames and the movable members. 제7항에 있어서, 상기 그리퍼들은, 상기 서포트 부재들 상에 배치되며 상기 캐리어의 수직 방향 진동을 감쇠하기 위한 제2 수직 감쇠 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.8. The transport device according to claim 7, wherein the grippers further comprise second vertical damping members disposed on the support members and for damping vertical vibrations of the carrier. 제7항에 있어서, 상기 하우징에 수용된 상기 캐리어의 수평 방향 진동을 감쇠하기 위한 수평 감쇠 유닛들; 및
상기 수평 감쇠 유닛들을 상기 캐리어의 양쪽 측면들에 각각 밀착시키기 위해 상기 수평 감쇠 유닛들을 수평 방향으로 이동시키는 수평 감쇠 구동부를 더 포함하는 이송 장치.The apparatus of claim 7, further comprising: horizontal damping units for damping horizontal vibrations of the carrier accommodated in the housing; and
Conveying device further comprising a horizontal damping drive for moving the horizontal damping units in a horizontal direction in order to closely contact the horizontal damping units to both sides of the carrier, respectively. 제10항에 있어서, 상기 수평 감쇠 유닛들 각각은,
상기 캐리어의 측면에 밀착되는 감쇠 블록과,
상기 수평 감쇠 구동부들 각각에 연결되어 상기 수평 방향으로 이동되며 상기 감쇠 블록과 인접하게 배치되는 서포트 블록과,
상기 감쇠 블록과 상기 서포트 블록 사이에 배치되며 상기 감쇠 블록이 상기 캐리어의 측면에 밀착되도록 척력을 제공하는 수평 감쇠 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.11. The method of claim 10, wherein each of the horizontal attenuation units,
A damping block in close contact with the side of the carrier;
a support block connected to each of the horizontal damping driving units, moving in the horizontal direction, and disposed adjacent to the damping block;
It is disposed between the damping block and the support block, the transfer device comprising a horizontal damping member for providing a repulsive force so that the damping block is in close contact with the side of the carrier. 제11항에 있어서, 상기 서포트 블록은 알파벳 'L'자 형태의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 이송 장치.[Claim 12] The transport device according to claim 11, wherein the support block has a cross section in the shape of an alphabetic letter 'L'. 제11항에 있어서, 상기 수평 감쇠 유닛들 각각은 상기 감쇠 블록과 상기 서포트 블록 사이에 배치되어 상기 수평 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 11, wherein each of the horizontal damping unit is disposed between the damping block and the support block, the transfer device characterized in that it further comprises an elastic member for providing an elastic force in the horizontal direction.
KR1020200110438A 2020-08-31 2020-08-31 Hand unit and transport apparatus having the same KR20220028853A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200110438A KR20220028853A (en) 2020-08-31 2020-08-31 Hand unit and transport apparatus having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200110438A KR20220028853A (en) 2020-08-31 2020-08-31 Hand unit and transport apparatus having the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220028853A true KR20220028853A (en) 2022-03-08

Family

ID=80813017

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200110438A KR20220028853A (en) 2020-08-31 2020-08-31 Hand unit and transport apparatus having the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20220028853A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8579128B2 (en) Gripper device for transport vehicle, transport vehicle and overhead hoist transport vehicle
CN107097799B (en) Bridge type conveying vehicle
CN109890730B (en) Overhead carrying vehicle
JP2016094263A (en) Article conveyance vehicle
KR101854044B1 (en) Tower lift having a tension roller
KR102289021B1 (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the unit
KR20080080493A (en) Vibration isolation mechanism for article receiving container
US10640294B2 (en) Article transport body
CN108172540B (en) Transfer machine
JP7215457B2 (en) Goods transport equipment
KR20220028853A (en) Hand unit and transport apparatus having the same
JP7234754B2 (en) overhead carrier
KR20210128784A (en) Unit for fixing cassette and vehicle having the same
KR20220050478A (en) Vibration damping unit and transport apparatus having the same
KR102264857B1 (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the same
KR20210116999A (en) Overhead Hoist transport device
KR20220092381A (en) Article transport vehicle
CN113727918B (en) Overhead transport vehicle
KR20110029705A (en) Apparatus for transfering substrate
KR102221114B1 (en) Overhead Hoist transport device
JPH04217484A (en) Clamping tool, robot provided with clamping tool and use of robot and clamping tool
KR102336558B1 (en) Transferring unit and article transferring apparatus comprising the same
KR20230159959A (en) Grip unit for OHT device with wafer shaking preventing function
US20230159282A1 (en) Transfer apparatus
KR102454246B1 (en) Gripper and article transferring apparatus comprising the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination