KR20220050478A - Vibration damping unit and transport apparatus having the same - Google Patents

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KR20220050478A
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조재익
조길현
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세메스 주식회사
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Abstract

A damping unit and a transfer device including the same are disclosed. The damping unit includes: a contact member in close contact with the side of a carrier for material transport; a support member disposed adjacent to an adhesion member; a connecting member connecting the adhesion member and the support member; a damping member disposed between the adhesion member and the support member and providing a repulsive force so that the adhesion member is in close contact with the side surface of the carrier; and a driving unit connected to the support member to move the support member in the horizontal direction. The horizontal vibrations which may occur during transport of the carrier may be reduced by the damping members and second damping members, thereby reducing transmission of the horizontal vibrations to the carrier.

Description

감쇠 유닛 및 이를 갖는 이송 장치{Vibration damping unit and transport apparatus having the same}Damping unit and transport apparatus having the same

본 발명은 감쇠 유닛 및 이를 갖는 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어의 이송을 위해 상기 캐리어의 양측면을 지지하는 지지 유닛 및 이를 갖는 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a damping unit and a transport device having the same, and more particularly, to a support unit for supporting both sides of the carrier for transport of the carrier, and a transport device having the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들은 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are sequentially arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. Objects for performing the semiconductor device manufacturing process, for example, semiconductor wafers, may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in a carrier or may be recovered from each semiconductor processing apparatus.

상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 상기 이송 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 캐리어를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 이송 차량을 포함한다.The carrier may be transported by a transport device such as an Overhead Hoist Transport (OHT) device. The transport apparatus includes a traveling rail provided along a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, and a transport vehicle that grips the carrier and travels along the traveling rail.

상기 이송 차량은 상기 캐리어를 파지 및 승강시키기 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈을 상기 주행 레일을 따라 이동시키기 위한 주행 모듈을 포함할 수 있다. 한편, 상기 이송 차량이 주행함에 따라 발생되는 진동이 상기 캐리어로 전달될 수 있으며, 이에 의해 상기 캐리어에 수납된 자재들의 손상 및 진동으로 인한 파티클 발생에 의해 상기 자재들이 오염되는 문제점이 발생될 수 있다. 아울러, 진동의 정도가 큰 경우 상기 캐리어가 상기 호이스트 모듈로부터 이탈되어 낙하되는 사고가 발생할 수 있다.The transport vehicle may include a hoist module for holding and elevating the carrier, and a driving module for moving the hoist module along the traveling rail. On the other hand, vibration generated as the transport vehicle travels may be transmitted to the carrier, thereby causing damage to the materials accommodated in the carrier and contamination of the materials due to particle generation due to vibration. . In addition, when the degree of vibration is large, an accident in which the carrier is separated from the hoist module and falls may occur.

본 발명의 실시예들은 캐리어의 이동 중에 발생되는 진동을 감쇠시킬 수 있는 감쇠 유닛과 이를 포함하는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a damping unit capable of damping vibrations generated during movement of a carrier and a transport device including the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 감쇠 유닛은, 자재 이송을 위한 캐리어의 측면을 지지하기 위한 밀착 부재와, 상기 밀착 부재와 인접하게 배치되는 서포트 부재와, 상기 밀착 부재와 상기 서포트 부재를 연결하는 연결 부재와, 상기 밀착 부재 및 서포트 부재 사이에 배치되어 상기 캐리어의 수평 방향 진동을 감쇠하기 위한 감쇠 부재와, 상기 서포트 부재와 연결되어 상기 서포트 부재를 수평 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.Damping unit according to an aspect of the present invention for achieving the above object, a contact member for supporting the side of the carrier for material transfer, a support member disposed adjacent to the contact member, and the contact member and the support A connecting member for connecting members, a damping member disposed between the adhesion member and the support member to damp horizontal vibration of the carrier, and a driving unit connected to the support member to move the support member in a horizontal direction can do.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 연결 부재들은 수평 방향으로 탄성력을 제공할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the connecting members may provide an elastic force in a horizontal direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 감쇠 부재는 상기 밀착 부재와 상기 서포트 부재 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the damping member may include permanent magnets for generating a repulsive force between the adhesion member and the support member.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 부재는 알파벳 'L'자 형태의 단면을 가질 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the support member may have a cross-section in the shape of an alphabet 'L'.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 부재는 상기 서포트 부재의 일측 단부가 상기 캐리어의 하부에 배치되고 타측 단부가 상기 밀착 부재의 일측에서 수직 상방으로 연장하는 알파벳 'L'자 형태의 단면을 가지며, 상기 밀착 부재는 하방으로 개방되는 알파벳 'C'자 형태의 단면을 갖고 상기 서포트 부재의 수직 상방으로 연장된 부분의 상부를 덮는 형태로 구성되며, 상기 밀착 부재 및 상기 서포트 부재 사이를 상기 연결 부재가 연결하며, 상기 감쇠 부재 및 상기 서포트 부재가 마주보는 면들 사이에 각각 감쇠 부재들이 배치되어 상기 밀착 부재 및 상기 서포트 부재 사이에 척력을 제공할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the support member, one end of the support member is disposed under the carrier and the other end of the support member extends vertically upward from one side of the adhesion member. has a cross-section in the shape of an alphabetic 'C' that is opened downward and is configured to cover the upper portion of the vertically upwardly extending portion of the support member, and a space between the contact member and the support member is provided. A connection member may connect, and the damping members may be respectively disposed between the surfaces of the damping member and the support member facing each other to provide a repulsive force between the adhesion member and the support member.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 감쇠 유닛은, 상기 서포트 부재와 상기 구동부 사이에 배치되는 제2 감쇠 부재를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the damping unit may further include a second damping member disposed between the support member and the driving unit.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 연결되어 자재 이송을 위한 캐리어를 수용하기 위한 공간을 갖는 하우징과, 상기 하우징에 장착되며 상기 캐리어를 승강시키기 위한 호이스트 유닛과, 상기 캐리어의 수평 방향 진동을 감쇠시키기 위해 상기 캐리어의 양쪽 측면들에 밀착되는 감쇠 유닛들을 포함하는 이송 장치에 있어서, 상기 감쇠 유닛들 각각은, 상기 캐리어의 측면에 밀착되는 밀착 부재와, 상기 밀착 부재와 인접하게 배치되는 서포트 부재와, 상기 밀착 부재와 상기 서포트 부재 사이를 연결하는 연결 부재와, 상기 밀착 부재 및 상기 서포트 부재 사이에 배치되며 상기 밀착 부재가 상기 캐리어의 측면에 밀착되도록 척력을 제공하는 감쇠 부재와, 상기 서포트 부재와 연결되어 상기 서포트 부재를 상기 수평 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. According to another aspect of the present invention, a traveling unit configured to be movable along a traveling rail, a housing connected to a lower portion of the traveling unit and having a space for accommodating a carrier for material transport, is mounted on the housing and the In the transport device comprising a hoist unit for elevating the carrier, and damping units in close contact with both sides of the carrier in order to damp the horizontal vibration of the carrier, each of the damping units is on the side of the carrier A contact member to be in close contact, a support member disposed adjacent to the contact member, a connecting member connecting the contact member and the support member, and disposed between the contact member and the support member, wherein the contact member is the carrier It may include a damping member providing a repulsive force so as to be in close contact with the side of the , and a driving unit connected to the support member to move the support member in the horizontal direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 감쇠 부재는 상기 서포트 부재와 상기 밀착 부재 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the damping member may include permanent magnets for generating a repulsive force between the support member and the adhesion member.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 부재는 알파벳 'L'자 형태의 단면을 가질 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the support member may have a cross-section in the shape of an alphabet 'L'.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 캐리어의 이송 도중에 발생될 수 있는 수평 방향 진동은 상기 감쇠 부재들 및 제2 감쇠 부재들에 의해 감소될 수 있으며, 이에 의해 상기 캐리어에 상기 수평 방향 진동이 전달되는 것을 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 수평 방향 진동에 의해 상기 캐리어에 수납된 자재들의 손상 및 파티클 발생이 크게 감소될 수 있다. 아울러 상기 캐리어의 이송 도중에 발생될 수 있는 상기 캐리어의 낙하 사고가 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the horizontal vibration that may be generated during the transport of the carrier may be reduced by the damping members and the second damping members, whereby the horizontal vibration of the carrier Transmission of directional vibrations can be reduced. Accordingly, damage to materials accommodated in the carrier and generation of particles by the horizontal vibration can be greatly reduced. In addition, a fall accident of the carrier that may occur during the transport of the carrier can be prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 감쇠 유닛과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 감쇠 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 감쇠 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 감쇠 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a damping unit and a transfer device including the same according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining the attenuation unit shown in FIG. 1 .
3 is a plan view for explaining the attenuation unit.
4 is a schematic configuration diagram for explaining an attenuation unit according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화 될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에서 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Conversely, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 기술자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in ordinary dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, for example variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and elements described in the drawings are entirely schematic and their shape It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 감쇠 유닛과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a damping unit and a transfer device including the same according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 감쇠 유닛(100)과 이를 포함하는 이송 장치(300)는, 일 예로서, 반도체 장치의 제조 공정에서 자재들의 이송을 위해 사용되는 캐리어(10)를 이송하기 위해 사용될 수 있다. 구체적으로, 예를 들면, 상기 이송 장치(300)는 반도체 웨이퍼들이 수납되는 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기를 이송하기 위해 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a damping unit 100 and a transport device 300 including the same according to an embodiment of the present invention are, as an example, a carrier 10 used for transporting materials in a semiconductor device manufacturing process. ) can be used to transport Specifically, for example, the transfer device 300 may be used to transfer a container such as a Front Opening Unified Pod (FOUP) in which semiconductor wafers are accommodated.

상기 이송 장치(300)는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 X축 방향으로 이동 가능하도록 구성되는 주행 모듈(20)과, 상기 주행 모듈(20)의 하부에 고정된 하우징(30)을 포함할 수 있다. 상기 하우징 (30)은 상기 캐리어(10)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 가질 수 있다. 또한, 상기 캐리어(10)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 하우징(30)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.The transfer device 300 includes a traveling rail installed on the ceiling of the clean room, a traveling module 20 configured to be movable in the X-axis direction along the traveling rail, and fixed to the lower portion of the traveling module 20 . It may include a built-in housing 30 . The housing 30 may have a hollow interior to accommodate the carrier 10 . In addition, the housing 30 may have a lower surface and one side surface open in the Y-axis direction so that the carrier 10 can move in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

상기 이송 장치(300)는 상기 하우징(30)에 장착되며 상기 캐리어(10)를 승강시키기 위한 호이스트 모듈(40)을 포함할 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(40)은 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 캐리어(10)를 승강시킬 수 있다.The transport device 300 is mounted on the housing 30 and may include a hoist module 40 for elevating the carrier 10, and the hoist module 40 winds up or unwinds the belt to the carrier. (10) can be raised and lowered.

또한, 상기 하우징(30) 내부의 양측 하부에 배치되는 감쇠 유닛들(100)은 상기 주행 모듈(20)의 주행에 의해 발생되는 수평 방향 진동이 캐리어(10)로 전달되는 것을 감소시킬 수 있으며, 또한 상기 캐리어(10)의 낙하를 방지하기 위해 사용될 수 있다.In addition, the damping units 100 disposed on both sides of the lower portion inside the housing 30 can reduce the horizontal vibration generated by the traveling of the traveling module 20 from being transmitted to the carrier 10, It can also be used to prevent the carrier 10 from falling.

도 2는 도 1에 도시된 감쇠 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining the attenuation unit shown in FIG. 1 .

도 3은 감쇠 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.3 is a plan view for explaining the attenuation unit.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 감쇠 유닛(100)은, 상기 주행 모듈(20)의 주행 시 발생하는 진동으로 상기 캐리어(10) 내부에 수납된 자재들의 손상을 방지하기 위해 상기 캐리어(10)로 전달되는 수평 방향 진동을 감쇠하기 위해 사용될 수 있다.2 and 3 , the damping unit 100 according to an embodiment of the present invention causes damage to materials accommodated in the carrier 10 due to vibrations generated during driving of the driving module 20 . It can be used to damp the horizontal vibration transmitted to the carrier 10 to prevent .

상기 감쇠 유닛(100)은, 상기 캐리어(10)의 측면에 밀착되어 상기 캐리어(10)의 수평 방향 이동을 제한하는 밀착 부재(110)와, 상기 밀착 부재(110)를 지지하는 서포트 부재(120)를 포함할 수 있다.The damping unit 100 is closely attached to the side surface of the carrier 10 to limit the horizontal movement of the carrier 10, the contact member 110, and the support member 120 for supporting the contact member 110 ) may be included.

상기 서포트 부재(120)는, 도시된 바와 같이, 일측 단부가 상기 캐리어(10)의 하부에 배치되어 상기 밀착 부재(110)를 지지하고, 타측 단부는 상기 밀착 부재(110)의 일측에 배치되어 수직 상방으로 연장되는 알파벳 'L'자 형상의 단면을 가질 수 있다. 이로써, 상기 서포트 부재(120)는 상기 캐리어(10)의 낙하를 방지할 수 있다. 예를 들면, 상기 캐리어(10)가 상기 호이스트 모듈(40)에서 분리되더라도 상기 서포트 부재(120)가 상기 캐리어(10)의 하면을 지지함으로써, 상기 캐리어(10)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다.The support member 120, as shown, one end is disposed under the carrier 10 to support the adhesion member 110, the other end is disposed on one side of the adhesion member 110, It may have a cross section of the letter 'L' shape extending vertically upward. Accordingly, the support member 120 may prevent the carrier 10 from falling. For example, even when the carrier 10 is separated from the hoist module 40, the support member 120 supports the lower surface of the carrier 10, thereby preventing the carrier 10 from falling. .

또한, 상기 감쇠 유닛(100)은 상기 밀착 부재(110)와 상기 서포트 부재(120)를 연결해주는 연결 부재(130)를 포함할 수 있다. 이로 인해, 상기 연결 부재(130)는 밀착 부재(110)와 상기 서포트 부재(120)가 분리되는 것을 방지할 수 있으며, 상기 연결 부재(130)는 상기 서포트 부재(120)의 이동에 따라 상기 밀착 부재(110)의 이동을 유도할 수 있다. 또한, 상기 연결 부재(130)는 수평 방향으로 탄성력을 제공하는 소재로 구성될 수 있다. 그러나, 상기 연결 부재(130)의 탄성력이 강할수록 상기 감쇠 유닛(100)의 진동 감쇠 효과는 감소하는 관계에 있다. 예를 들어, 상기 캐리어(10)로 수평 방향으로만 전해지는 경우에 있어서, 상기 감쇠 유닛(100)의 감쇠비와 상기 연결 부재(130)의 강성은 반비례의 관계에 있으므로, 상기 연결 부재(130)의 강성이 증가할수록 상기 감쇠 유닛(100)의 감쇠비는 감소하게 된다. 이에 반하여, 상기 연결 부재(130)의 탄성력은 상기 연결 부재(130)의 강성과 비례하는 관계, 즉, 상기 연결 부재(130)의 강성이 증가할수록 상기 연결 부재(130)의 탄성력이 증가하게 된다. 따라서, 상기 감쇠 유닛(100)의 감쇠 능력을 증가시키기 위하여 상기 연결 부재(130)는 탄성력이 크지 않은 소재, 예를 들면, 판 스프링 또는 코일 스프링 등으로 구성될 수 있다. 또한, 상기한 바와 같이 상기 연결 부재(130)가 탄성력을 가지는 소재로 구성되어 있을 경우, 상기 연결 부재(130)의 탄성력으로 인하여, 상기 연결 부재(130)는 상기 밀착 부재(110) 및 상기 서포트 부재(130)의 사이에서 상기 캐리어(10)로 전해지는 Y축 방향의 진동을 감쇠시킬 수 있다.In addition, the damping unit 100 may include a connection member 130 connecting the adhesion member 110 and the support member 120 . For this reason, the connecting member 130 can prevent the adhesion member 110 and the support member 120 from being separated, and the connecting member 130 is in close contact with the movement of the support member 120 . Movement of the member 110 may be induced. In addition, the connecting member 130 may be made of a material that provides an elastic force in a horizontal direction. However, as the elastic force of the connection member 130 is stronger, the vibration damping effect of the damping unit 100 decreases. For example, in the case of being transmitted only in the horizontal direction to the carrier 10, since the damping ratio of the damping unit 100 and the rigidity of the connecting member 130 are in inverse proportion to each other, the connecting member 130 As the stiffness of , the damping ratio of the damping unit 100 decreases. In contrast, the elastic force of the connecting member 130 is proportional to the rigidity of the connecting member 130 , that is, as the rigidity of the connecting member 130 increases, the elastic force of the connecting member 130 increases. . Accordingly, in order to increase the damping ability of the damping unit 100, the connecting member 130 may be made of a material having a low elastic force, for example, a leaf spring or a coil spring. In addition, as described above, when the connecting member 130 is made of a material having an elastic force, due to the elastic force of the connecting member 130 , the connecting member 130 is connected to the adhesion member 110 and the support. Vibration in the Y-axis direction transmitted to the carrier 10 between the members 130 may be attenuated.

또한, 상기 감쇠 유닛(100)은 상기 밀착 부재(110)와 상기 서포트 부재(120) 사이에 구비되는 감쇠 부재(141)들을 포함할 수 있다. 상기 감쇠 부재(141)들은 척력을 발생시키는 소재로 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 감쇠 부재(141)들이 영구자석으로 구성될 수 있다. 이로 인해 상기 감쇠 부재(141)들 사이에서 발생하는 자기력으로 상기 캐리어(10)의 진동을 감쇠시킬 수 있다. 예를 들면, 주행 모듈(20)의 주행으로 인하여 발생하는 수평 방향 진동으로 인하여 상기 감쇠 부재(141)들이 서로 가까워지는 방향으로 이동할 경우, 상기 감쇠 부재(141)들 사이의 자기력이 증가하므로, 상기 캐리어(10)로 전해지는 수평 방향 진동을 감쇠시킬 수 있다.In addition, the damping unit 100 may include damping members 141 provided between the adhesion member 110 and the support member 120 . The damping members 141 may be made of a material that generates a repulsive force. For example, the damping members 141 may be formed of permanent magnets. Accordingly, the vibration of the carrier 10 may be attenuated by the magnetic force generated between the damping members 141 . For example, when the damping members 141 move in a direction closer to each other due to the horizontal vibration generated by the driving of the driving module 20 , the magnetic force between the damping members 141 increases, so that the It is possible to damp the horizontal vibration transmitted to the carrier (10).

또한, 상기 감쇠 유닛(100)은 상기 서포트 부재(120)와 서포트 부재(120)를 진퇴 시키는 구동부(150)의 사이에 제2 감쇠 부재(143)를 구비할 수 있다. 상기 제2 감쇠 부재(143)는 상기 밀착 부재(110)가 상기 캐리어(10)와 접촉할 때, 상기 구동부(150)가 상기 캐리어(10)에 접근하는 방향으로 힘을 가함으로써, 상기 제2 감쇠 부재(143)가 수축할 수 있다. 따라서, 상기 제2 감쇠 부재(143)는 상기 밀착 부재(110)가 상기 캐리어(10)와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키고, 상기 캐리어(10)를 지지할 수 있다. 또한, 상기 제2 감쇠 부재(143)가 추가로 배치됨으로써, 상기 캐리어(10)에 전해지는 진동을 더 감쇠시킬 수 있다.In addition, the damping unit 100 may include a second damping member 143 between the support member 120 and the driving unit 150 for advancing and retreating the support member 120 . The second damping member 143 applies a force in a direction in which the driving unit 150 approaches the carrier 10 when the contact member 110 comes into contact with the carrier 10 , thereby forming the second damping member 143 . The damping member 143 may be contracted. Accordingly, the second damping member 143 may reduce an impact generated when the contact member 110 comes into contact with the carrier 10 and support the carrier 10 . In addition, by further disposing the second damping member 143 , it is possible to further attenuate vibration transmitted to the carrier 10 .

상기 구동부(150)는 상기 서포트 부재(120)와 연결되어 상기 캐리어(10)와 서로 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향으로 상기 서포트 부재(120)를 이동시킬 수 있다. 상기 구동부(150)는 리니어 모터, 공압 실린더 등과 같이 직선 방향 구동력을 제공하는 장치들로 구성될 수 있다.The driving unit 150 may be connected to the support member 120 to move the support member 120 in a direction toward and away from the carrier 10 . The driving unit 150 may be composed of devices that provide a linear driving force, such as a linear motor or a pneumatic cylinder.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 감쇠 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.4 is a schematic configuration diagram for explaining an attenuation unit according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 감쇠 유닛(200)은 상기 캐리어(10)에 밀착되는 밀착 부재(211)와, 상기 밀착 부재(211)를 지지하며 상기 캐리어(10)의 낙하를 방지할 수 있는 서포트 부재(220)와, 상기 밀착 부재(211)와 상기 서포트 부재(220)를 연결하는 연결 부재(231)를 포함할 수 있다. 상기 밀착 부재(211)는 하방으로 개방되는 알파벳'C'자 형태 또는 채널 형태의 단면을 가질 수 있다. 상기 밀착 부재(211)는 상기 서포트 부재(220)의 수직 방향으로 연장되어 상기 캐리어(10)의 일측에 배치되는 일단 상부에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 4 , the damping unit 200 according to another embodiment of the present invention includes a contact member 211 that is in close contact with the carrier 10 , and a contact member 211 that supports the contact member 211 of the carrier 10 . It may include a support member 220 capable of preventing a drop, and a connection member 231 connecting the adhesion member 211 and the support member 220 . The contact member 211 may have a cross-section in the shape of an alphabetic 'C' or a channel shape that is opened downward. The adhesion member 211 may extend in a vertical direction of the support member 220 and may be disposed on one end of the carrier 10 disposed on one side.

상기 연결 부재(231)는 상기 밀착 부재(211)가 수평 방향으로 원활하게 이동할 수 있도록 상기 수직 방향으로 연장되는 서포트 부재(220)의 일단의 상부와 상기 밀착 부재(211) 사이에 링크 형태로 연결될 수 있다.The connecting member 231 may be connected in the form of a link between the upper end of one end of the support member 220 extending in the vertical direction and the adhesion member 211 so that the adhesion member 211 can move smoothly in the horizontal direction. can

또한, 상기 감쇠 유닛(200)은, 상기 밀착 부재(211)의 내부면들과, 수직 방향으로 연장되는 상기 서포트 부재(220)의 일단 상부의 마주보는 면들 사이에 배치되는 감쇠 부재(241)들을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 감쇠 부재들(241)로는 영구자석들이 사용될 수 있다.In addition, the damping unit 200, the inner surfaces of the contact member 211 and the damping members 241 disposed between the opposite surfaces of the upper end of the support member 220 extending in the vertical direction. may include As an example, permanent magnets may be used as the damping members 241 .

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

10 : 캐리어 20 : 주행 모듈
30 : 하우징 40: 호이스트 유닛
100, 200 : 감쇠 유닛 110 : 밀착 부재
120, 220 : 서포트 부재 130 : 연결 부재
141, 241 : 감쇠 부재 143, 243 : 제2 감쇠 부재
145, 245: 연결축 150, 250 : 구동부
211 : 밀착 부재 231 : 연결 부재
300 : 이송 장치10: carrier 20: driving module
30: housing 40: hoist unit
100, 200: damping unit 110: adhesion member
120, 220: support member 130: connecting member
141, 241: damping member 143, 243: second damping member
145, 245: connecting shaft 150, 250: driving part
211: adhesion member 231: connection member
300: transfer device

Claims (9)

자재 이송을 위한 캐리어의 측면을 지지하기 위한 밀착 부재;
상기 밀착 부재와 인접하게 배치되는 서포트 부재;
상기 밀착 부재와 상기 서포트 부재를 연결하는 연결 부재;
상기 밀착 부재 및 서포트 부재 사이에 배치되어 상기 캐리어의 수평 방향 진동을 감쇠하기 위한 감쇠 부재; 및
상기 서포트 부재와 연결되어 상기 서포트 부재를 수평 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 감쇠 유닛.Adhesive member for supporting the side of the carrier for material transport;
a support member disposed adjacent to the adhesion member;
a connection member connecting the adhesion member and the support member;
a damping member disposed between the adhesion member and the support member to damp a horizontal vibration of the carrier; and
Damping unit comprising a driving unit connected to the support member to move the support member in a horizontal direction. 제1항에 있어서, 상기 연결 부재는 수평 방향으로 탄성력을 제공하는 것을 특징으로 하는 감쇠 유닛.The damping unit according to claim 1, wherein the connecting member provides an elastic force in a horizontal direction. 제1항에 있어서, 상기 감쇠 부재는 상기 밀착 부재와 상기 서포트 부재 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함하는 것을 특징으로 하는 감쇠 유닛. The damping unit according to claim 1, wherein the damping member comprises permanent magnets for generating a repulsive force between the adhesion member and the support member. 제1항에 있어서, 상기 서포트 부재는 알파벳 'L'자 형태의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 감쇠 유닛.The damping unit according to claim 1, wherein the support member has a cross section in the shape of an alphabet 'L'. 제1항에 있어서, 상기 서포트 부재는 상기 서포트 부재의 일측 단부가 상기 캐리어의 하부에 배치되고 타측 단부가 상기 밀착 부재의 일측에서 수직 상방으로 연장하는 알파벳 'L'자 형태의 단면을 가지며,
상기 밀착 부재는 하방으로 개방되는 알파벳 'C'자 형태의 단면을 갖고 상기 서포트 부재의 수직 상방으로 연장된 부분의 상부를 덮는 형태로 구성되며,
상기 밀착 부재 및 상기 서포트 부재 사이를 상기 연결 부재가 연결하며,
상기 감쇠 부재 및 상기 서포트 부재가 마주보는 면들 사이에 각각 감쇠 부재들이 배치되어 상기 밀착 부재 및 상기 서포트 부재 사이에 척력을 제공하는 것을 특징으로 하는 감쇠 유닛.According to claim 1, wherein the support member has one end of the support member is disposed under the carrier and the other end has a cross section in the form of an alphabetic 'L' extending vertically upward from one side of the adhesion member,
The adhesion member has a cross section of the letter 'C' shape that is opened downward and is configured in a form to cover the upper portion of the vertically upwardly extending portion of the support member,
The connecting member connects between the adhesion member and the support member,
Damping unit, characterized in that each of the damping members are disposed between the opposite surfaces of the damping member and the support member to provide a repulsive force between the adhesion member and the support member. 제1항에 있어서, 상기 서포트 부재와 상기 구동부 사이에는 제2 감쇠 부재가 배치되는 것을 특징으로 하는 감쇠 유닛.The damping unit according to claim 1, characterized in that a second damping member is disposed between the support member and the driving part. 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 연결되어 자재 이송을 위한 캐리어를 수용하기 위한 공간을 갖는 하우징과, 상기 하우징에 장착되며 상기 캐리어를 승강시키기 위한 호이스트 유닛과, 상기 캐리어의 수평 방향 진동을 감쇠시키기 위해 상기 캐리어의 양쪽 측면들에 밀착되는 감쇠 유닛들을 포함하는 이송 장치에 있어서,
상기 감쇠 유닛들 각각은,
상기 캐리어의 측면에 밀착되는 밀착 부재와,
상기 밀착 부재와 인접하게 배치되는 서포트 부재와,
상기 밀착 부재와 상기 서포트 부재 사이를 연결하는 연결 부재와,
상기 밀착 부재 및 상기 서포트 부재 사이에 배치되며 상기 밀착 부재가 상기 캐리어의 측면에 밀착되도록 척력을 제공하는 감쇠 부재와,
상기 서포트 부재와 연결되어 상기 서포트 부재를 상기 수평 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.A traveling unit configured to be movable along a traveling rail, a housing connected to a lower portion of the traveling unit and having a space for accommodating a carrier for material transport, a hoist unit mounted on the housing and configured to elevate the carrier; , In the transport device comprising damping units in close contact with both sides of the carrier to damp the horizontal vibration of the carrier,
Each of the attenuation units,
And a contact member in close contact with the side of the carrier;
a support member disposed adjacent to the contact member;
a connecting member connecting the adhesion member and the support member;
a damping member disposed between the adhesion member and the support member and providing a repulsive force so that the adhesion member is in close contact with the side surface of the carrier;
and a driving unit connected to the support member to move the support member in the horizontal direction. 제7항에 있어서, 상기 감쇠 부재는 상기 서포트 부재와 상기 밀착 부재 사이에서 척력을 발생시키기 위한 영구자석들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.8. The conveying apparatus according to claim 7, wherein the damping member includes permanent magnets for generating a repulsive force between the support member and the contact member. 제7항에 있어서, 상기 서포트 부재는 알파벳 'L'자 형태의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying device according to claim 7, wherein the support member has a cross section in the shape of an alphabetic letter 'L'.
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