KR20220022102A - 샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이의 감소 - Google Patents

샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이의 감소 Download PDF

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KR20220022102A
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에이브러햄 아부디
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어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
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Abstract

샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이를 감소시키기 위한 방법, 비-일시적인 컴퓨터 판독가능 매체, 및 시스템. 방법은, 전자 빔 툴의 적재 포트에 위치된 샘플들의 표적 온도를 결정하는 단계; 적재 포트에 위치된 샘플들의 온도를 표적 온도를 설정하는 단계; 적재 포트로부터 척으로 샘플을 이동시키는 단계 ― 척은 진공 챔버 내에 위치되고, 샘플은 샘플들에 속함 ―; 및 척 상에 샘플을 위치시키는 단계를 포함할 수 있으며, 척 상에 위치될 때, 샘플의 온도는 척의 온도와 실질적으로 동일하다.

Description

샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이의 감소{REDUCING A TEMPERATURE DIFFERENCE BETWEEN A SAMPLE AND A CHUCK OF AN ELECTRON BEAM TOOL}
상호 참조들
본 출원은, 2020년 8월 17일자로 출원된 미국 출원 제16/995,058호를 우선권으로 주장한다. 상기 출원의 개시내용은 그 전체가 모든 목적들을 위해 인용에 의해 본원에 포함된다.
주사 전자 현미경은, 샘플, 이를테면 반도체 웨이퍼를 평가하기 위한 고해상도 툴이다.
의심되는 결함들을 검토하는 데 사용되는 검토 주사 전자 현미경, 및 샘플의 마이크로스코픽 구조들(microscopic structures)의 임계 치수들을 측정하는 데 사용되는 임계 치수 주사 전자 현미경을 포함하는 상이한 유형들의 주사 전자 현미경들이 존재한다.
각각의 주사 전자 현미경에서, 샘플은 주사 전자 현미경의 진공 챔버 내에 위치되어 있는 동안 평가된다.
샘플은 척에 의해 지지된다. 척은 기계적 스테이지에 의해 이동된다. 기계적 스테이지는, 엔진들, 및 이동 동안 가열될 수 있어서 그에 의해 척을 가열하는 다른 구성요소들을 포함한다.
주사 전자 현미경은 나노미터 규모 해상도를 나타내야 한다. 이러한 나노미터 규모 해상도는, 매우 작은 단면을 갖는 전자 빔으로 샘플의 영역을 스캐닝함으로서 획득된다. 샘플들의 다수의 영역들은, 일반적으로 영역별로 차례로 스캐닝될 수 있다.
샘플의 영역은 나노미터 규모 관심 피처들을 포함할 것으로 예상된다. 예컨대, 나노미터 규모 관심 피처들은 의심되는 결함들로 어려움을 겪을 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 나노미터 규모 관심 피처들은 측정되어야 하는 피처들일 수 있다.
영역을 스캐닝하기 전에, 기계적 스테이지는, 영역이 전자 빔의 시야 내에 위치되도록 샘플을 이동시킬 수 있다.
나노미터 규모 관심 피처들을 스캐닝하기 위해서는, 전자 빔의 위치가 매우 정확해야 한다.
척의 가열로 인해, 척과 샘플 사이에 상당한 온도 차이가 존재할 수 있으며, 이에 따라, 샘플이 척 상에 위치될 때, 샘플은 약간 변형될 수 있다.
샘플의 변형은 허용가능하지 않은 위치 오류들을 도입할 수 있다.
척과 샘플 사이의 상당한 온도 차이를 효과적으로 감소시킬 필요성이 커지고 있다.
척과 샘플 사이의 온도 차이를 감소시키기 위한 방법, 비-일시적인 컴퓨터 판독가능 매체, 및 검출 시스템이 제공될 수 있다.
본 개시내용의 실시예들로 간주되는 주제는 본 명세서의 결론 부분에서 상세히 언급되고 명료하게 청구된다. 그러나, 본 개시내용의 실시예들은, 본 개시내용의 목표들, 피처들, 및 장점들과 함께, 동작의 방법 및 구성 둘 모두에 관하여, 첨부된 도면들과 함께 읽을 때 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다.
도 1은 방법의 예를 예시한다.
도 2는 전자 빔 시스템의 예를 예시한다.
도 3은 전자 빔 시스템의 예를 예시한다.
다음의 상세한 설명에서는, 본 개시내용의 실시예들의 철저한 이해를 제공하기 위해, 많은 특정 세부사항들이 기재된다.
그러나, 본 개시내용의 실시예들은 이러한 특정 세부사항들 없이도 실시될 수 있다는 것이 관련 기술분야의 통상의 기술자들에 의해 이해될 것이다. 다른 예시들에서, 잘 알려진 방법들, 절차들, 및 구성요소들은, 본 개시내용의 실시예들을 불명료하게 하지 않기 위해 상세히 설명되지 않는다.
본 개시내용의 실시예들로 간주되는 주제는 본 명세서의 결론 부분에서 상세히 언급되고 명료하게 청구된다. 그러나, 본 개시내용의 실시예들은, 본 개시내용의 목표들, 피처들, 및 장점들과 함께, 동작의 방법 및 구성 둘 모두에 관하여, 첨부된 도면들과 함께 읽을 때 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다.
예시의 간략화 및 명확화를 위해, 도면들에 도시된 요소들이 반드시 실측으로 도시된 것은 아니라는 것이 인식될 것이다. 예컨대, 요소들 중 일부의 치수들은, 명확화를 위해 다른 요소들에 비해 과장될 수 있다. 추가로, 적절한 것으로 고려되는 경우, 대응하는 또는 유사한 요소들을 표시하기 위해 참조 번호들이 도면들 사이에서 반복될 수 있다.
본 개시내용의 예시된 실시예들은 대개 관련 기술분야의 통상의 기술자들에게 알려져 있는 전자 부품들 및 회로들을 사용하여 구현될 수 있기 때문에, 그 세부사항들은, 본 개시내용의 실시예들의 기본 개념들의 이해 및 인식을 위해 그리고 본 개시내용의 실시예들의 교시들을 모호하게 하거나 혼란스럽게 하지 않기 위해, 위에 예시된 바와 같이 필요한 것으로 여겨지는 것을 어느 정도 초과하여 설명되지는 않을 것이다.
방법에 대한 본 명세서에서의 임의의 참조는, 방법을 실행할 수 있는 시스템에 준용하여 적용되어야 하고, 비-일시적이고 방법을 실행하기 위한 명령어들을 저장하는 컴퓨터 판독가능 매체에 준용하여 적용되어야 한다.
시스템에 대한 본 명세서에서의 임의의 참조는, 시스템에 의해 실행될 수 있는 방법에 준용하여 적용되어야 하고, 비-일시적이고 시스템에 의해 실행가능한 명령어들을 저장하는 컴퓨터 판독가능 매체에 준용하여 적용되어야 한다.
비-일시적인 컴퓨터 판독가능 매체에 대한 본 명세서에서의 임의의 참조는, 컴퓨터 판독가능 매체에 저장된 명령어들을 실행할 때 적용될 수 있는 방법에 준용하여 적용되어야 하고, 컴퓨터 판독가능 매체에 저장된 명령어들을 실행하도록 구성되는 시스템에 준용하여 적용되어야 한다.
"및/또는"이라는 용어는 부가적으로 또는 대안적으로를 의미한다.
"전자 빔 툴"이라는 용어는, 하나 이상의 전자 빔을 생성하고 하나 이상의 전자 빔으로 샘플(또는 샘플의 영역)을 스캐닝할 수 있는 툴을 지칭한다. 주사 전자 현미경은 전자 빔 툴의 비-제한적인 예이다.
도 1은 샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이를 감소시키기 위한 방법(100)을 예시한다.
방법(100)은, 전자 빔 툴의 적재 포트에 위치된 샘플들의 표적 온도를 결정하는 단계(110)로 시작될 수 있다.
"적재 포트에 위치된 샘플들"이라는 문구는, 적재 포트 내에 위치되는 샘플들, 적재 포트에 의해 지지되는 샘플들, 적재 포트 상에 위치되는 샘플들, 적재 포트 내에 위치된 샘플 홀더 내에 위치되는 샘플들, 적재 포트에 의해 지지되는 샘플 홀더에 위치되는 샘플들, 적재 포트 상에 위치되는 샘플 홀더에 위치되는 샘플들 등을 포함할 수 있다.
단계(110)는, 척의 온도를 모니터링하는 단계(112)를 포함할 수 있다.
척의 온도는 시간 경과에 따라 변할 수 있다. 한편으로는, 기계적 스테이지의 이동이 척을 가열할 수 있다. 다른 한편으로는, 하나의 이동과 다른 이동 사이에서 척의 온도가 감소할 수 있다.
모니터링은, 온도 변화들 또는 적어도 관련 시간 윈도우들 동안의 온도를 추적해야 한다. 관련 시간 윈도우는 샘플들의 각각의 샘플의 척으로의 제공에 선행할 수 있다.
모니터링은, 척의 하나 이상의 위치 또는 온도를 측정하는 것을 포함할 수 있다. 모니터링은, 척에 열적으로 결합되는 하나 이상의 위치 또는 척과 알려진 온도 관계를 갖는 임의의 위치 또는 온도를 측정하는 것을 포함할 수 있다. 온도의 측정은, 연속적인 방식, 비-연속적인 방식 등으로 실행될 수 있다.
온도는, 예컨대, 샘플들 중 하나 이상이 척에 보내지기 전에 모니터링될 수 있다. 모니터링은, 보내지기 전에 샘플의 온도가 표적 온도로 설정될 수 있도록, 샘플을 척에 보내기 전에 충분한 시간 동안 발생할 수 있다.
척의 온도는 온도를 모니터링함이 없이 추정될 수 있다. 예컨대, 척의 온도의 추정은 온도의 모의(simulation), 또는 이동들로 인한 척의 예상되는 온도 변화들의 임의의 다른 추정에 기반할 수 있다.
단계(110)는 또한 단계(116)를 포함할 수 있다. 단계(112) 이후에, 단계(112)의 결과에 기반하여 표적 온도를 결정하는 단계(116)가 후속될 수 있다.
단계(116)는 또한, 적재 포트로부터 척으로의 샘플의 이동 동안의 샘플의 온도 변화에 응답할 수 있다. 온도 변화는, 임의의 다른 방식으로, 모니터링될 수 있거나, 추정될 수 있거나, 계산될 수 있다. 샘플의 온도는, 샘플 홀더로부터 척으로의 샘플의 이송 동안 감소할 것으로 예상된다.
단계(110)는 또한, 적재 포트로부터 척으로의 샘플의 이동 동안 샘플의 온도의 변화를 모니터링하는 단계(114)를 포함할 수 있다. 이는, 샘플의 경로를 따른 상이한 위치들로부터의 온도 측정들을 제공하는 것을 포함할 수 있다.
단계(114)가 실행될 때, 단계(116)가 또한 단계(114)의 결과에 응답한다.
단계(110) 이후에, 적재 포트에 위치된 샘플들의 온도를 표적 온도로 설정하는 단계(120)가 후속될 수 있다.
(샘플들이 적재 포트에 위치되어 있는 동안의) 다수의 샘플들의 온도의 설정은, 샘플이 웨이퍼 챔버로 이동될 때에만 샘플의 온도를 설정함으로써 도입되는 병목현상 또는 임의의 지연을 방지한다.
단계(120)는, 단일 샘플의 척으로의 직렬 제공에서의 지연들을 제공함으로써 시스템의 처리량을 증가시킨다.
단계(120)는, 샘플 홀더 내의 샘플들을 향해, 제어된 온도를 갖는 가스를 유동시키는 것을 포함할 수 있다.
샘플들은, 적재 포트에 위치되어 있는 동안 샘플 홀더 내에 위치될 수 있다. 샘플 홀더는, 카세트, 전방 개방 통합 포트(FOUP) 등일 수 있다.
단계(120)는, 샘플 홀더의 하나 이상의 가스 분배기에 제어된 온도의 가스를 제공하는 것을 포함할 수 있다. 가스 분배기는, 상이한 높이들에 그리고/또는 가스 분배기의 폭을 따라 상이한 위치들에 위치되는 가스 도관 및 유입구 및 다수의 배출구들을 포함할 수 있다. 유입구는, 임의의 다른 가스 유동 제어 요소의 값에 의해 선택적으로 폐쇄될 수 있다.
단계(120)는, 샘플 홀더 외부에 위치된, 예컨대, 샘플 이송 유닛에 위치된 하나 이상의 가스 분배기에 제어된 온도의 가스를 제공하는 것을 포함할 수 있다.
단계(120) 이후에, 적재 포트로부터 척으로 (샘플들 중에서) 샘플을 이동시키는 단계(130)가 후속될 수 있다. 척은 진공 챔버 내에 위치된다. 샘플은 샘플 홀더로부터 가져온다.
샘플의 이동은, (a) (예컨대, 자동화된 물질 취급 시스템, 이를테면 샘플 이송 유닛의 로봇에 의해) 샘플을 로드 록으로 이동시키는 것, 및 (b) 샘플을 로드 록으로부터 진공 챔버로 이동시키는 것을 포함할 수 있다.
단계(130) 이후에, 척 상에 샘플을 위치시키는 단계(140)가 후속될 수 있으며, 여기서, 척 상에 위치될 때, 샘플의 온도는 실질적으로 척의 온도와 동일하다.
단계(140) 이후에, 평가 기간 동안 샘플을 평가하는 것이 후속될 수 있다. 평가는, 샘플을 검토하는 것, 샘플의 치수들(이를테면, 임계 치수들)을 측정하는 것 등 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 척의 온도는, 평가 기간의 적어도 일부 시점들 동안 모니터링될 수 있다.
샘플의 온도는, 샘플의 온도와 척의 온도 사이의 온도 차이가 (a) 온도 임계치 미만, 예컨대 섭씨 0.5 도 미만일 때, 그리고 부가적으로 또는 대안적으로, (b) 샘플 뒤틀림 임계치 미만인, 예컨대, 100 나노미터 미만인 샘플 뒤틀림을 도입하는 값을 가질 때, 척의 온도와 실질적으로 동일한 것으로 간주될 수 있다. 섭씨 0.5 도 및 100 나노미터 이외의 값들이 제공될 수 있다.
단계들(110, 120, 130, 및 140)은 다수 회 반복될 수 있다. 각각의 반복 동안, 하나 이상의 샘플이 적재 포트로부터 척으로 이동된다. 예컨대, 단계들(110, 120, 130, 및 140)의 각각의 반복이 단일 샘플과 연관되는 경우, 적재 포트에 있는 다수의 샘플들에 대해 다수의 반복들이 실행된다.
샘플의 평가가 종료된 후에, 샘플은 다시 적재 포트로 보내질 수 있다.
샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이를 감소시키기 위한 시스템이 제공될 수 있다. 시스템은 전자 빔 툴일 수 있거나, 시스템은 전자 빔 툴에 포함될 수 있거나, 시스템은 전자 빔 툴에 부가되는 적어도 하나의 유닛을 가질 수 있다.
도 2 및 도 3은 전자 빔 툴(10)의 예들을 예시한다.
도 2 및 도 3에서, 시스템은 전자 빔 툴(10)에 포함되는 것으로 가정된다.
전자 빔 툴(10)은, 적재 포트(12), 샘플 이송 유닛(13), 로드 록(14), 자동화된 물질 취급 시스템을 포함할 수 있는 이동 메커니즘(18), 척(20), 기계적 스테이지(22), 진공 챔버(24), 전자 빔 컬럼(26), 제어기(28), 프로세서(30), 하나 이상의 온도 제어 유닛(32), 하나 이상의 온도 센서(34), 및 모니터(36)를 포함한다.
샘플들(40(1)-40(N))은 샘플 홀더(42)에 보유될 수 있다. N은 1을 초과하는 정수이다. 단일 샘플이 42(n)으로 표시되며, n은 범위가 1 내지 N이다.
샘플 홀더(42)는 적재 포트(12)에 위치될 수 있다. 샘플 이송 유닛(13)의 도어(13(1))를 통해 적재 포트(12) 또는 오히려 샘플 홀더(42)가 샘플 이송 유닛(13)과 인터페이싱한다.
도어(13(1))는 폐쇄되어 샘플 이송 유닛의 내측 공간(13(2))을 정의할 수 있다.
샘플 홀더(42)는, 도어(13(1)) 앞에 위치될 수 있는 샘플 홀더 도어(42(1))를 포함할 수 있는 하우징을 포함할 수 있다.
하우징은, 샘플 홀더 도어(42(1))가 개방될 때 도어(13(1))에 노출될 수 있는 폐쇄 환경을 제공할 수 있다.
샘플은, 도어(13(1))를 통해 그리고 샘플 홀더 도어(42(1))를 통해 샘플 홀더(42)로부터 가져오거나 샘플 홀더(42)로 반환될 수 있다.
샘플 홀더(42) 내의 샘플들의 온도는, 샘플 이송 유닛(13)의 적어도 일부 내의 온도를 설정함으로써, 특히, 제어된 온도의 가스를 도어(13(1))를 통해 그리고 이어서 샘플 홀더 도어(42(1))를 통해 유동하도록 지향시킴으로써 설정될 수 있다.
도 2에서, 하나 이상의 온도 제어 유닛(32)은 샘플 홀더(42) 외부에 위치되고, 도어(13(1))에 대면하게 샘플 이송 유닛(13) 내에 위치된다.
도 2는 또한, 가스 분배기, 이를테면, 샘플들(40(1)-42(N))에 대면하도록 위치될 수 있는 다수의 애퍼처들(33(1)-33(K))을 갖는 파이프(33)를 포함하는 온도 제어 유닛의 측면도를 예시한다. N은 K와 동일할 수 있다. K는 N보다 작을 수 있다. 예컨대, K는 N의 절반과 동일할 수 있다. K는 N을 초과할 수 있다. 파이프(33)에는 외부 가스 공급 유닛(35)에 의해 가스가 공급될 수 있다. 애퍼처들은 컬럼을 형성할 수 있고, 2차원 어레이에 대한 것일 수 있고, 상이한 높이들에 위치되고 파이프의 상이한 폭 좌표들에 위치될 수 있다.
자동화된 물질 취급 시스템(18)은, 샘플(40(n))을 샘플 홀더(42)로부터 로드 록(14)으로 이동시키도록 구성될 수 있다.
로드 록(14)은, 샘플을 수용하고, 로드 록(14) 내에 원하는 진공 수준을 도입하고, 이어서, 샘플(40(n))을 진공 챔버(24)에 노출시키도록 구성된다.
로봇 또는 다른 기계적 유닛(도시되지 않음)이 샘플을 로드 록(14)으로부터 척(20)으로 이동시킬 수 있다. 척(20)은, 기계적 스테이지(22)에 의해 지지되고, 기계적 스테이지(22)에 의해 진공 챔버 내에서 이동되고, 기계적 스테이지(22)에 의해 가열된다.
도 2에서, 하나 이상의 온도 센서(34)는, 척(20)에 열적으로 결합되고 척(20)의 온도를 측정하도록 구성되는 단일 온도 센서인 것으로서 예시된다.
척의 온도는, 하나 이상의 위치에 위치된 하나 이상의 센서로부터 취해진 측정들에 기반하여 추정될 수 있다.
하나 이상의 온도 센서(34)는, 적재 포트(12)의 샘플 홀더(42), 샘플(40(n)), 로드 록(14), 기계적 스테이지(22) 등 중 적어도 하나의 온도를 측정할 수 있다는 것이 유의되어야 한다.
임의의 온도 센서의 온도 측정들은 모니터(36)에 공급될 수 있다. 모니터(36)는, 척의 온도를 결정하고 척의 온도에 관한 온도 정보를 제어기(28)에 전송할 수 있다.
제어기(28)는, 온도 정보에 기반하여, 샘플 홀더 내의 샘플들의 표적 온도를 결정할 수 있다.
제어기(28) 및 모니터(36)는 병합될 수 있거나, 그 온도 모니터링 작업이 제어기(28)에 의해 적어도 부분적으로 실행될 수 있다는 것이 유의되어야 한다.
온도는, (샘플(40(n))이 척 상에 위치되는 때의) 척의 온도가 (척 상에 위치되는 때의) 샘플(40(n))의 온도와 실질적으로 동일하도록 설정된다. 척의 온도는, 샘플의 표적 온도에서, 샘플 홀더로부터 척으로의 샘플(40(n))의 이동에 의해 도입되는 온도 변화를 뺀 것과 실질적으로 동일해야 한다.
척은, (샘플 홀더(42) 내에 어떠한 온도 설정도 적용되지 않을 때) 샘플 홀더 내의 샘플보다 더 고온일 수 있다. 온도의 설정은 일반적으로, 샘플 홀더에 있는 샘플들을 가열하는 것을 수반한다.
그럼에도 불구하고, 척의 온도는 변하고, 일반적으로, 기계적 스테이지가 이동을 중단한 후에 일정 시간 윈도우들 동안 감소할 수 있다. 그러한 경우들에서, 샘플들의 표적 온도는 낮아질 수 있다.
도 3에서, 하나 이상의 온도 제어 유닛(32)이 샘플 홀더에 포함된다.
도 3은 또한, 가스 분배기, 이를테면, 샘플 홀더에 포함되는 다수의 애퍼처들(33(1)-33(K))을 갖는 파이프(33)를 예시한다. 파이프는, 샘플 홀더 외부에 위치된 외부 가스 공급 유닛(35)에 의해 공급받을 수 있다.
도 3에서, 하나 이상의 온도 센서(34)는, (a) 척(20)에 열적으로 결합되고 척(20)의 온도를 측정하도록 구성되는 온도 센서, 및 (b) 샘플 홀더에 있는 샘플들의 온도를 감지하도록 구성되는 다른 온도 센서를 포함하는 것으로서 예시된다.
전술한 명세서에서, 본 개시내용의 실시예들이 본 개시내용의 실시예들의 특정 예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 첨부된 청구항들에 기재된 바와 같은 본 개시내용의 실시예들의 더 넓은 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서, 그 특정 예들에서 다양한 수정들 및 변경들이 이루어질 수 있다는 것이 명백할 것이다.
더욱이, 설명에서의 그리고 청구항들에서의 "앞", "뒤", "최상부", "최하부", "위", "아래" 등의 용어들은, 존재한다면, 설명의 목적들을 위해 사용되고, 반드시 불변의 상대적인 위치들을 설명하기 위해 사용되는 것은 아니다. 그렇게 사용되는 용어들은, 본원에서 설명된 본 개시내용들의 실시예들이, 예컨대, 본원에서 예시되거나 다른 방식으로 설명된 것들과 다른 배향들로 동작할 수 있도록, 적절한 환경들 하에서 상호교환가능하다는 것이 이해된다.
본원에서 논의된 바와 같은 연결들은, 예컨대 중간 디바이스들을 통해, 개개의 노드들, 유닛들, 또는 디바이스들로부터 또는 이들로 신호들을 전달하기에 적합한 임의의 유형의 연결일 수 있다. 따라서, 다르게 암시되거나 언급되지 않는 한, 연결들은, 예컨대, 직접 연결들 또는 간접 연결들일 수 있다. 연결들은, 단일 연결, 복수의 연결들, 단방향 연결들, 또는 양방향 연결들인 것으로 참조되어 예시 또는 설명될 수 있다. 그러나, 상이한 실시예들은 연결들의 구현을 변화시킬 수 있다. 예컨대, 양방향 연결들이 아니라 별개의 단방향 연결들이 사용될 수 있고, 그 반대가 또한 가능하다. 또한, 복수의 연결들은, 시간 다중화된 방식으로 또는 직렬로 다수의 신호들을 전달하는 단일 연결로 대체될 수 있다. 마찬가지로, 다수의 신호들을 반송하는 단일 연결들은, 이 신호들의 서브세트들을 반송하는 다양한 상이한 연결들로 분리될 수 있다. 따라서, 신호들을 전달하는 것에 대해 많은 옵션들이 존재한다.
동일한 기능성을 달성하기 위한 구성요소들의 임의의 배열은, 원하는 기능성이 달성되도록 효과적으로 "연관된다". 그러므로, 특정 기능성을 달성하도록 조합된 본원에서의 임의의 2개의 구성요소는, 아키텍처들 또는 중간 구성요소들과 무관하게, 원하는 기능성이 달성되도록 서로 "연관된" 것으로 볼 수 있다. 마찬가지로, 그렇게 연관된 임의의 2개의 구성요소는 또한, 원하는 기능성을 달성하도록 서로에 대해 "동작가능하게 연결된" 또는 "동작가능하게 결합된" 것으로 볼 수 있다.
또한, 위에서 설명된 동작들 사이의 경계들은 단지 예시적이라는 것을 관련 기술분야의 통상의 기술자들은 인지할 것이다. 다수의 동작들은 단일 동작으로 조합될 수 있고, 단일 동작은 부가적인 동작들로 분산될 수 있고, 동작들은 시간상 적어도 부분적으로 겹쳐서 실행될 수 있다. 더욱이, 대안적인 실시예들은, 특정 동작의 다수의 예시들을 포함할 수 있고, 동작들의 순서는 다양한 다른 실시예들에서 변경될 수 있다.
또한, 예컨대, 일 실시예에서, 예시된 예들은 단일 집적 회로 상에 또는 동일한 디바이스 내에 위치된 회로로서 구현될 수 있다. 대안적으로, 예들은, 적합한 방식으로 서로 상호연결된, 임의의 수의 별개의 집적 회로들 또는 별개의 디바이스들로서 구현될 수 있다.
그러나, 다른 수정들, 변형들, 및 대안들이 또한 가능하다. 따라서, 본 명세서 및 도면들은, 제한적인 의미보다는 예시적인 것으로 간주되어야 한다.
청구항들에서, 괄호들 사이에 배치된 임의의 참조 기호들은 청구항을 제한하는 것으로 해석되어서는 안된다. '포함'이라는 단어는, 청구항에서 열거된 것들 이외의 다른 요소들 또는 단계들의 존재를 배제하지 않는다. 또한, 본원에서 사용되는 바와 같은 본원의 영문 명세서에서의 부정관사 용어들("a" 또는 "an")은 하나 또는 하나 초과로서 정의된다. 또한, 청구항들에서의 "적어도 하나" 및 "하나 이상"과 같은 서두의 문구들의 사용은, 본원의 영문 명세서에서의 "a" 또는 "an"의 부정 관사들에 의한 다른 청구항 요소의 서두가, 심지어 동일한 청구항이 "하나 이상" 또는 "적어도 하나"의 서두의 문구들 및 본원의 영문 명세서에서의 "a" 또는 "an"과 같은 부정 관사들을 포함하는 경우에도, 그러한 서두가 있는 청구항 요소를 포함하는 임의의 특정 청구항을, 그러한 요소를 오직 하나만 포함하는 본 개시내용의 실시예들로 제한한다고 암시하는 것으로 해석되어서는 안된다. 이는 정관사들의 사용에 대해서도 마찬가지이다. 달리 언급되지 않는 한, "제1" 및 "제2"와 같은 용어들은, 그러한 용어들이 설명하는 요소들을 임의로 구별하기 위해 사용된다. 따라서, 이러한 용어들은, 반드시, 그러한 요소들의 시간적인, 또는 다른 우선순위화를 나타내도록 의도된 것은 아니다. 특정 측정치들이 서로 상이한 청구항들에서 언급된다는 단순한 사실은, 이러한 측정치들의 조합이, 유리하게 하는 데에 사용될 수 없다는 것을 나타내지 않는다.
본 개시내용의 실시예들의 특정 특징들이 본원에서 예시되고 설명되었지만, 많은 수정들, 치환들, 변경들, 및 등가물들이 이제 관련 기술분야의 통상의 기술자들에게 떠오를 것이다. 따라서, 첨부된 청구항들은 본 개시내용의 실시예들의 실제 사상 내에 속하는 모든 그러한 수정들 및 변경들을 망라하도록 의도된다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (17)

  1. 샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이를 감소시키기 위한 방법으로서,
    상기 전자 빔 툴의 적재 포트에 위치된 샘플들의 표적 온도를 결정하는 단계;
    상기 적재 포트에 위치된 상기 샘플들의 온도를 상기 표적 온도로 설정하는 단계;
    상기 적재 포트로부터 상기 척으로 상기 샘플을 이동시키는 단계 ― 상기 척은 진공 챔버 내에 위치되고, 상기 샘플은 상기 샘플들에 속함 ―; 및
    상기 척 상에 상기 샘플을 위치시키는 단계
    를 포함하며, 상기 척 상에 위치될 때, 상기 샘플의 온도는 상기 척의 온도와 실질적으로 동일한, 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 척의 온도를 모니터링하는 단계를 포함하는, 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 표적 온도를 결정하는 단계는 상기 척의 온도, 및 상기 적재 포트로부터 상기 척으로의 상기 샘플의 이동 동안의 상기 샘플의 온도 변화에 기반하는, 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 적재 포트로부터 상기 척으로의 이동 동안 상기 샘플의 온도 변화를 모니터링하는 단계를 포함하는, 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 적재 포트로부터 상기 척으로 상기 샘플들 중 다른 샘플을 이동시키는 단계; 및
    상기 척 상에 상기 다른 샘플을 위치시키는 단계
    를 포함하며, 상기 척 상에 위치될 때, 상기 다른 샘플의 온도는 상기 척의 온도와 실질적으로 동일한, 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 샘플을 이동시킨 후에 그리고 상기 다른 샘플을 이동시키기 전에 상기 표적 온도를 결정하는 것을 반복하는 단계를 포함하는, 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 온도를 설정하는 단계는 샘플 홀더에 제어된 온도를 갖는 가스를 유동시키는 단계를 포함하는, 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 샘플들은 상기 적재 포트에 위치되어 있는 동안 샘플 홀더 내에 위치되고, 상기 온도를 설정하는 단계는 상기 샘플 홀더의 하나 이상의 가스 분배기에 제어된 온도의 가스를 제공하는 단계를 포함하는, 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가스 분배기는 유입구, 및 상이한 높이들에 위치되는 다수의 배출구들을 포함하는, 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 샘플들은 상기 적재 포트에 위치되어 있는 동안 샘플 홀더 내에 위치되고, 상기 온도를 설정하는 단계는 상기 샘플 홀더 외부에 위치된 하나 이상의 가스 분배기에 제어된 온도의 가스를 제공하는 단계를 포함하는, 방법.
  11. 샘플과 전자 빔 툴의 척 사이의 온도 차이를 감소시키기 위한 시스템으로서,
    상기 전자 빔 툴의 적재 포트에 위치된 샘플들의 표적 온도를 결정하도록 구성되는 제어기;
    상기 적재 포트에 위치된 상기 샘플들의 온도를 상기 표적 온도로 설정하도록 구성되는 하나 이상의 온도 제어 유닛; 및
    이동 메커니즘
    을 포함하며, 상기 이동 메커니즘은,
    상기 적재 포트로부터 상기 척으로 상기 샘플을 이동시키고 ― 상기 척은 진공 챔버 내에 위치되고, 상기 샘플은 상기 샘플들에 속함 ―,
    상기 척 상에 상기 샘플을 위치시키도록
    구성되며, 상기 척 상에 위치될 때, 상기 샘플의 온도는 상기 척의 온도와 실질적으로 동일한, 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 척의 온도를 모니터링하도록 구성되는 모니터를 포함하는, 시스템.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 척의 온도, 및 상기 적재 포트로부터 상기 척으로의 상기 샘플의 이동 동안의 상기 샘플의 온도 변화에 기반하여 상기 표적 온도를 결정하도록 구성되는, 시스템.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 하나 이상의 온도 제어 유닛은 상기 샘플 홀더에 제어된 온도를 갖는 가스를 유동시킴으로써 상기 온도를 설정하도록 구성되는, 시스템.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 샘플들은 상기 적재 포트에 위치되어 있는 동안 샘플 홀더 내에 위치되고, 상기 하나 이상의 온도 제어 유닛은 상기 샘플 홀더의 하나 이상의 가스 분배기를 포함하는, 시스템.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 샘플들은 상기 적재 포트에 위치되어 있는 동안 샘플 홀더 내에 위치되고, 상기 하나 이상의 온도 제어 유닛은 상기 샘플 홀더 외부에 위치된 하나 이상의 가스 분배기를 포함하는, 시스템.
  17. 명령어들을 저장하는 비-일시적인 컴퓨터 판독가능 매체로서,
    상기 명령어들은,
    전자 빔 툴의 적재 포트에 위치된 샘플들의 표적 온도를 결정하고;
    상기 적재 포트에 위치된 상기 샘플들의 온도의 설정을 상기 표적 온도로 제어하고;
    상기 샘플들 중의 샘플을 상기 적재 포트로부터 척으로 이동시키는 것을 제어하고 ― 상기 척은 진공 챔버 내에 위치됨 ―;
    상기 척 상에 상기 샘플을 위치시키는 것을 제어하기
    위한 것이며, 상기 척 상에 위치될 때, 상기 샘플의 온도는 상기 척의 온도와 실질적으로 동일한, 비-일시적인 컴퓨터 판독가능 매체.
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