KR20220019917A - Probe - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 예를 들면 카메라모듈과 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브에 관한 것이다.The present invention relates to a probe for inspecting electrical characteristics of an object to be inspected, such as, for example, a camera module.
피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브(1)는 도 1에 나타낸 바와 같이, 원통형의 배럴(11), 배럴(1)의 일측에 고정되는 제1플런저(12), 배럴(11)의 타측에 부분 삽입되어 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 제2플런저(13) 및 배럴(11) 내에 제1플런저(12)와 제2플런저(13) 사이에 마련된 스프링(14)을 포함한다.As shown in FIG. 1 , the probe 1 for inspecting the electrical characteristics of the object is a
제1플런저(12)는 피검사체의 단자에 접촉하는 접촉팁 및 배럴(11)에 삽입되는 배럴삽입부를 포함한다. 배럴삽입부는 원주방향을 따라 파여진 홈을 포함한다. 배럴삽입부는 배럴(11)에 삽입된 후, 홈에 대응하는 부분을 딤플 또는 롤링 작업에 의해 가압 변형시킴으로써 고정될 수 있다.The
피검사접점 피치는 제품의 소형화로 인해 점점 더 좁아지고, 그 결과 검사를 위한 프로브(1)의 크기도 매우 작아지고 있다. 예를 들면, 직경 1mm 이하의 배럴(11)에 제1플런저(12)를 삽입한 후 딤플 또는 롤링 작업을 수행하는 것은 매우 까다롭고 어려운 작업이다. The pitch of the contact point to be inspected is getting narrower due to the miniaturization of the product, and as a result, the size of the probe 1 for inspection is also becoming very small. For example, it is very difficult and difficult to perform a dimple or rolling operation after inserting the
특히, 카메라모듈과 같은 특정 피검사체의 피검사접점은 BGA 타입과 달리 곡면 형상을 가진 단자를 가질 수 있다. 따라서, 도 1에 나타낸 바와 같은 종래의 제1플런저(12)의 팁(121)은 검사 시에 접촉 에러가 발생하기 때문에 접촉하기에 적합한 형태의 접촉팁을 가진 판상의 터미널이 사용될 수 있다.In particular, the test contact point of a specific test object such as a camera module may have a terminal having a curved shape unlike the BGA type. Accordingly, the
이러한 판재 형상의 터미널은 금형이나 MEMS(Microelectro mechanical systems) 공정에 의해 대향 생산이 가능한 장점이 있으나, 원통형상의 배럴(11)에 삽입한 후 딤플작업 또는 롤링작업에 의해 고정하기도 어렵고, 가능하더라도 그 작업성이 더 떨어지는 문제가 있다.Such a plate-shaped terminal has the advantage that it can be produced oppositely by a mold or MEMS (Microelectro mechanical systems) process, but it is difficult to fix it by a dimple operation or a rolling operation after inserting it into the
본 발명의 목적은 대량 생산이 가능하고 작업성이 우수한 구조를 가진 프로브를 제공하는데에 있다.It is an object of the present invention to provide a probe having a structure capable of mass production and excellent workability.
본 발명의 과제를 달성하기 위한 프로브가 제공된다. 프로브는, 중공을 가지며, 일단부에 내측으로 돌출하는 내향돌기가 마련된 배럴, 상기 배럴 내에 삽입 고정되고, 상기 내향돌기에 걸리는 걸림부 및 상기 배럴의 일단부에 삽입될 때에 상기 내향돌기에 의해 상기 걸림부가 상기 배럴의 중심축을 향해 탄성 변형되게 하는 탄성변형부를 가진 터미널 및 상기 배럴의 타단부에 길이방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 수용되는 플런저를 포함한다.A probe for achieving the object of the present invention is provided. The probe has a hollow and is provided with an inward protrusion protruding inward at one end thereof, being inserted and fixed in the barrel, a locking portion caught by the inward protrusion, and the inward protrusion when inserted into one end of the barrel. and a terminal having an elastically deformable portion for causing the locking portion to elastically deform toward the central axis of the barrel, and a plunger accommodated at the other end of the barrel to be slidably movable along the longitudinal direction.
상기 탄성변형부는 길이방향으로 따라 연장하는 슬롯을 사이에 둔 한 쌍의 텐션바를 포함할 수 있다.The elastically deformable part may include a pair of tension bars having a slot extending in the longitudinal direction therebetween.
상기 슬롯은 폐쇄형 또는 오픈형 슬롯을 포함할 수 있다.The slot may include a closed or open slot.
상기 슬롯은 폭방향으로 확장하는 확장슬롯를 포함할 수 있다.The slot may include an extension slot extending in the width direction.
상기 걸림부는 단부 측에서 두께 방향으로 연장하는 걸림연장부를 포함할 수 있다.The locking part may include a locking extension extending from the end side in the thickness direction.
상기 터미널은 MEMS공정에 의해 제조될 수 있다.The terminal may be manufactured by a MEMS process.
상기 터미널은, 본체부, 상기 본체부의 일측로부터 일체로 연장하고 피검사체의 피검사접점에 접촉하는 팁을 가진 접촉부 및 상기 본체부의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 상기 배럴에 삽입되는 배럴삽입부를 포함할 수 있다.The terminal includes a body portion, a contact portion integrally extending from one side of the main body portion and having a tip contacting a contact point of the object under test, and a barrel insertion integrally extending from the other side opposite to one side of the body portion and inserted into the barrel. may include wealth.
상기 본체부는 상기 배럴삽입부가 상기 배럴에 삽입되는 것을 제한하는 멈춤턱을 포함할 수 있다.The body portion may include a stopper for restricting the insertion of the barrel insertion portion into the barrel.
상기 본체부는 타이바를 연결하는 타이바연결부를 포함할 수 있다.The main body may include a tie bar connecting portion for connecting the tie bar.
상기 타이바연결부는 상기 멈춤턱의 반대 측 단부에 위치할 수 있다.The tie bar connection part may be located at an end opposite to the stopper.
상기 터미널은 중첩되어 상기 배럴 내에 삽입되는 제1 및 제2터미널을 포함하며, 상기 제1 및 제2터미널은 각각 서로 다른 위치에 마련된 접촉부를 포함할 수 있다.The terminal may include first and second terminals overlapping and inserted into the barrel, and the first and second terminals may include contact portions provided at different positions, respectively.
본 발명의 프로브는 MEMS(Microelectro mechanical systems) 공정에 의해 대량으로 복잡한 형상의 터미널을 제조하여 배럴에 조립함으로써 제조비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 프로브의 조립성을 향상시킬 수 있다.The probe of the present invention can reduce manufacturing cost and improve assembling properties of the probe by manufacturing a terminal having a complex shape in large quantities by means of a microelectro mechanical systems (MEMS) process and assembling it in a barrel.
도 1은 종래의 프로브를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 터미널을 나타내는 도면이다.
도 4는 다수의 터미널들을 포함하는 터미널세트를 나타내는 도면이다.
도 5는 다수의 터미널세트의 패텀홈을 가진 희생기판을 나타내는 도면이다.
도 6a 내지 6f는 도 5의 A-A를 따라 절취한 단면을 기준으로 터미널세트를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 7 a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 프로브의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 제5실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제6실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 14는 도 13의 B-B부분을 절취하여 나타낸 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 제1 및 제2터미널을 나타내는 도면이다.
도 16은 도 15의 제1 및 제2터미널을 중첩한 터미널을 나타낸 도면이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional probe.
2 is a diagram illustrating a probe according to a first embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating the terminal of FIG. 2 .
4 is a diagram illustrating a terminal set including a plurality of terminals.
5 is a diagram illustrating a sacrificial substrate having a lateral groove of a plurality of terminal sets.
6A to 6F are views illustrating a process of manufacturing a terminal set based on a cross-section taken along line AA of FIG. 5 .
7A to 7D are diagrams illustrating a method of manufacturing a probe according to an embodiment of the present invention.
8A to 8C are diagrams illustrating a method of manufacturing a probe according to another embodiment of the present invention.
9 is a diagram illustrating a terminal according to a second embodiment of the present invention.
10 is a diagram illustrating a terminal according to a third embodiment of the present invention.
11 is a diagram illustrating a terminal according to a fourth embodiment of the present invention.
12 is a diagram illustrating a terminal according to a fifth embodiment of the present invention.
13 is a diagram illustrating a terminal according to a sixth embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view showing a portion BB of FIG. 13 .
15 is a diagram illustrating first and second terminals according to a seventh embodiment of the present invention.
16 is a diagram illustrating a terminal in which the first and second terminals of FIG. 15 are overlapped.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프로브(100)를 상세하게 설명한다.Hereinafter, the
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브(100)를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 터미널(120)을 나타내는 도면이다.2 is a diagram illustrating the
도 2를 참조하면, 프로브(100)는 중공의 통형 배럴(110), 배럴(110)의 일단부에 고정되는 터미널(120), 배럴(110)의 타단부에 슬라이딩 이동 가능하게 부분 삽입되는 플런저(130) 및 배럴(110) 내의 터미널(120)과 플런저(130) 사이에 배치되는 스프링(140)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2 , the
배럴(110)은 파이프 형상으로 관통하는 중공을 가진다. 배럴(110)은 도전성 재질, 예를 들면 황동으로 이루지고, 전체적으로 동(CU), 금(Au), 또는 은(Ag)으로 도금될 수 있다. The
배럴(110)은 터미널(120)이 삽입되는 단부에 내측으로 돌출하는 내향돌기(111)를 포함할 수 있다. 내향돌기(111)는 딤플 또는 롤링 작업으로 제조될 수 있다. 내향돌기(111)는 터미널(120)이 삽입되기 전에 사전 형성될 수 있다. The
배럴(110)은 플런저(130)가 삽입되는 타측의 단부에 직경이 축소되는 축경부(112)를 포함할 수 있다. 축경부(112)는 내향돌기(111)와 달리 배럴(110)의 타측 단부에 플런저(130)를 삽입한 후에 오므림 작업이 형성될 수 있다. The
터미널(120)은 후술하는 MEMS 공정에 의해 제조될 수 있다. 터미널(120)은 예를 들면 니켈(Ni), 니켈코발트(Ni-Co), 니켈철(NiF) 합금 등으로 이루어질 수 있다.The
도 3을 참조하면, 터미널(120)은 본체부(121), 본체부(121)의 일측으로부터 일체로 연장하는 접촉부(122), 및 본체부(121)의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 배럴삽입부(123)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the
본체부(121)는 직사각형 형상으로 제1장변의 일측으로부터 접촉부(122)가 연장하고, 제1장변에 대향하는 제2장변으로부터 배럴삽입부(123)가 연장할 수 있다. 본체부(121)는 제1장변에 후술하는 타이바가 연결되는 타이바연결부(1211) 및 제2장변에 배럴(110)의 외경보다 큰 길이로 이루어진 멈춤턱(1214)를 포함할 수 있다. 타이바연결부(1212)는 설계에 따라 양단변에 마련될 수도 있다.The
접촉부(122)는 피검사접점에 접촉하는 팁(1221)을 포함할 수 있다. 팁(1221)은 단일 또는 다수 개로 이루어질 수 있다.The
배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 폐쇄형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다. The
한 쌍의 걸림부(1231) 간의 최대 거리(L)는 완전한 고정을 위해 적어도 배럴(110)의 내경과 같거다 다소 크게 형성될 수 있다. 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 효과적으로 걸릴 수 있도록 미늘 형상으로 이루어질 수 있다.The maximum distance L between the pair of
슬롯(1232)은 양단부에 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯(1234)을 포함할 수 있다.The
탄성변형부(1233)는 슬롯(1232)을 사이에 두고 형성된 한 쌍의 텐션바(1235,1236)를 포함할 수 있다. The elastically
상술한 바와 같이, 배럴삽입부(123)를 배럴(110)의 일측 단부에 삽입할 때 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 부딪히고, 텐션바(1235,1236)가 배럴(110)의 중심축 방향으로 탄성변형될 수 있다. 그 결과, 걸림부(1231)는 내향돌기(111)를 넘어간 후, 탄성 복원되어 걸림이 이루질 수 있다. 이때, 배럴삽입부(123)는 멈춤턱(1214)이 배럴(110)의 단부에 접촉하면서 더 이상 삽입되지 않고 고정될 수 있다. As described above, when the
도 4는 다수의 터미널들(120)을 포함하는 터미널세트(150)를 나타내는 도면이다.4 is a diagram illustrating a
터미널세트(150)는 MEMS공정 또는 몰드(mold)공정에 의해 제조될 수 있다. 터미널세트(150)는 지지프레임(151), 지지프레임(151)에 분리 가능하게 연결된 다수의 터미널(120) 및 지지프레임(151)에 다수의 터미널(120)를 연결하는 타이바(152)를 포함할 수 있다.The terminal set 150 may be manufactured by a MEMS process or a mold process. The terminal set 150 includes a
타이바(152)는 후술하는 프로브(100)의 제조공정 중에 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입되는 과정에 방해가 되지 않는 위치라면 터미널(120)의 본체부(121) 어디에든 연결될 수 있다. 타이바(152)는 배럴삽입부(123)가 연결된 본체부(121) 제1변의 반대측 제2변에 연결되는 것이 바람직하다. 그 이유는, 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입될 때에 가해지는 압력에 의해 타이바(152)가 본체부(121)로부터 분리되는 것을 방지하기 위한 것이다. 특히, 타이바(152)는 배럴삽입부(123)의 연장방향에 평행하게 연장하도록 위치하는 것이 좋다.The
도 5는 다수의 터미널세트(150)의 패텀홈(220)을 가진 희생기판(200)을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a view showing the
희생기판(200)은 제한되지 않는, 실리콘 기판, 적층 세라믹 기판, 또는 실리콘 웨이퍼가 바람직하게 사용될 수 있다.The
도 5를 참조하면, 터미널세트(150)에 대응하는 패턴홈(220)을 형성하여 터미널(120)을 구성하는 재료, 예를 들면 니켈, 니켈코발트 합금, 또는 니켈철 합금을 도금 공정을 통해 채워 넣어 터미널세트(150)를 제조할 수 있다. 5, the pattern groove 220 corresponding to the terminal set 150 is formed and a material constituting the terminal 120, for example, nickel, nickel cobalt alloy, or nickel iron alloy is filled through a plating process. Put the terminal set 150 can be manufactured.
도 6a 내지 6f는 도 5의 A-A를 따라 절취한 단면을 기준으로 터미널세트(150)를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.6A to 6F are diagrams illustrating a process of manufacturing the terminal set 150 based on a cross-section taken along line A-A of FIG. 5 .
도 6a를 참조하면, 희생기판(200)의 상면에 감광성의 제1포토레지스트층(210)을 도포하고, 제1포토레지스트층(210)에 노광마스크를 이용하여 터미널세트(150)의 형상에 대응하는 패턴으로 노광하고, 솔벤트를 이용하여 노광된 터미널세트 패턴(212)에 해당하는 제1포토레지스트층(210)을 제거한다.Referring to FIG. 6A , a photosensitive
도 6b를 참조하면, 희생기판(200)의 노출된 터미널세트 패턴을 제한되지 않는, 이방성 식각하여 패턴홈(220)을 형성한다.Referring to FIG. 6B , the
도 6c를 참조하면, 패턴홈(220)을 포함한 희생기판(200) 상에 전도성 물질층(230)을 스퍼터링 또는 화학 기상 성장법(chemical vapor deposition, CVD)에 의해 형성한다. 전도성 물질층(230)은 티탄층과 구리층이 순차적으로 형성되도록 스퍼터링될 수 있다. 전도성 물질층(230)은 후술하는 전기 도금 공정에서 전극으로 이용될 수 있다.Referring to FIG. 6C , the
도 6d를 참조하면, 전도성 물질층(230)이 도포된 희생 기판(200)의 상면에 감광성의 제2포토레지스트층(240)을 도포하고, 제2포토레지스트층(240)에 노광마스크를 이용하여 터미널세트(150)의 형상에 대응하는 패턴으로 노광하고, 솔벤트를 이용하여 노광된 터미널세트 패턴에 해당하는 제2포토레지스트층(240)을 제거한다. 결과적으로, 희생기판(200)의 상면은 터미널세트(150)의 패턴에 해당하는 부분, 즉 패턴홈(220)의 바닥에 위치한 전도성 물질층(230)이 노출될 수 있다.Referring to FIG. 6D , a photosensitive
도 6e를 참조하면, 전기도금 공정에 의해 패턴홈(220) 내에 제한되지 않는, 니켈, 니켈 코발트 합금 또는 니켈 철 합금 등의 금속층(250)을 채울 수 있다.Referring to FIG. 6E , a
도 6f를 참조하면, 패턴홈(220)의 외부로 돌출된 부분을 예를 들면 화학 기계 연마(CMP) 등으로 연마할 수 있다. Referring to FIG. 6F , the portion protruding to the outside of the
이후, 희생기판(200), 제1 및 제2포토레지스트층(210, 240) 및 전도성 물질층(230)을 선별 식각하면, 도 4에 나타낸 바와 같은 터미널세트(150)가 제조될 수 있다.Thereafter, when the
추가적으로, 터미널세트(150)는 전체적으로 제한되지 않는, 금(Au)으로 도금될 수 있다.Additionally, the terminal set 150 may be plated with gold (Au), which is not limited as a whole.
도 7 a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 프로브(100)의 제조방법을 나타내는 도면이다.7A to 7D are diagrams illustrating a method of manufacturing the
도 7a는 프로브(100)를 조립하기 위한 제조장치(300)를 나타내는 도면이다. 제조장치(300)는 바닥부(310) 및 바닥부(310)의 일변에 세워진 밀림방지벽(320)을 포함할 수 있다.7A is a view showing a
바닥부(310)는 밀림방지벽(320)에 접하고 밀림방지벽(320)을 따라 소정 폭으로 연장하는 세트탑재부(311),세트탑재부(311)로부터 이격된 배럴탑재부(312) 및 세트탑재부(311)와 배럴탑재부(312) 사이에 파여진 함몰부(313)를 포함할 수 있다.The
도 7b를 참조하면, 세트탑재부(311)는 연장방향을 따라 다수의 터미널(120)들이 나란히 배열되도록 터미널세트(150)가 탑재될 수 있다. 이때, 터미널세트(150)의 지지프레임(151)은 밀림방지벽(320)에 접촉하며, 그 결과, 후술하는 배럴(110) 삽입과정에서의 밀림이 방지될 수 있다.Referring to FIG. 7B , the terminal set 150 may be mounted on the
배럴탑재부(312)는 세트탑재부(311)에 탑재된 터미널세트(150)의 다수 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 연장방향에 나란하게 연장하는 배럴수용홈(3121)을 포함할 수 있다.The
함몰부(313)는 세트탑재부(311)에 탑재된 터미널세트(150)의 다수 터미널(120)의 본체부(121)와 배럴삽입부(123)가 플로팅으로 위치할 수 있다. 여기서, 배럴삽입부(123)가 연결된 본체부(121)의 제1변 반대측 제2변은 함몰부(313)의 제2벽, 즉 세트탑재부(311)에 접한 제2벽에 부분적으로 접촉할 수 있다. 그 결과, 후술하는 배럴(110) 삽입과정에서의 터미널(120)의 밀림에 대항할 수 있다.In the recessed
도 7c는 세트탑재부(311)에 터미널세트(150)가 탑재된 상태에서 배럴탑재부(312)의 배럴수용홈(3121)에 배럴(110)이 탑재된 상태를 나타내는 도면이다. 여기서, 배럴(110)은 화살표 방향을 따라 탑재된 터미널세트(150)의 각 터미널(120)을 향해 슬라이딩 이동시킬 수 있다. 여기서, 배럴(110)은 일단부에 외주면을 따라 내측으로 딤플 또는 롤링 작업에 의해 내향돌기(111)가 사전 형성되어 있다. 또한, 배럴(110)의 내부에는 스프링(140)과 플런저(130)가 삽입된 상태에서 플런저(130)가 빠지지 않도록 배럴(110)의 타단부가 오므림되어 있는 상태이다.7C is a view showing a state in which the
도 7d는 도 7c에서 배럴(110)을 슬라이딩 이동시켜 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 삽입시켜 고정한 상태를 나타내는 도면이다. 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입될 때, 배럴삽입부(123)의 걸림부(131)가 내향돌기(111)에 지나면서 탄성변형부(1233)의 텐션바(1235, 1236)가 배럴(110)의 중심축 방향으로 탄성변형될 수 있다. 이후, 배럴삽입부(123)의 걸림부(131)가 내향돌기(111)를 통과하면, 탄성변형부(1233)의 텐션바(1235, 1236)가 탄성 복원되고, 동시에 본체부(121)의 멈춤턱(1212)가 배럴(110)의 단부에 걸리면서 걸림부(1231)는 내향돌기(111)에 체결되어 고정될 수 있다.FIG. 7D is a view showing a state in which the
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브(100)의 제조방법을 나타내는 도면이다.8A to 8C are diagrams illustrating a method of manufacturing the
도 8a를 참조하면, 배럴(110)은 일단부 측에 내향돌기(111)가 형성되어 있으나, 도 7c에서와 다르게 내부에 스프링(140)과 플런저(130)가 삽입되어 있지 않다. 여기서, 제조장치(300)의 배럴탑재부(320)는 도 7a와 다르게 탑재되는 배럴(110)의 타단부가 빈 공간 상에 놓이도록 형성되어 있다. 이는 후술하는 배럴(110) 타단부의 오므림 처리를 용이하게 하기 위한 것이다.Referring to FIG. 8A , the
도 8b는 도 8a에서 배럴(110)을 슬라이딩 이동시켜 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 삽입시켜 고정한 상태를 나타내는 도면이다.8B is a view showing a state in which the
도 8c는 도 8b에서 스프링(140)을 삽입하고 플런저(130)를 부분 삽입한 후에 배럴(110)의 타단부를 오므림 처리할 수 있다. 결과적으로, 프로브(100)는 도 7d에 나타낸 바와 같은 형태와 동일하게 제조될 수 있다.In FIG. 8C , after inserting the
배럴(110)은 예를 들면 1mm이하의 직경으로 크기가 매우 작기 때문에, 터미널세트(150)의 터미널(120)에 삽입 고정하기 이전에, 개별적으로 스프링(140) 및 플런저(130)를 삽입한 후에 오므림 처리하는 것은 어려울 수도 있다. 따라서, 도 8b에 나타낸 바와 같이, 터미널세트(150)에 연결된 다수의 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 배럴(110)을 삽입시켜 고정한 상태에서 스프링(140)과 플런저(130)를 삽입하고 오므림 처리하는 것이 더 편리할 수 있다.Since the
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.9 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a second embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the first embodiment shown in FIG. 3 will be omitted.
배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다. The
한 쌍의 걸림부(1231) 사이의 최대 거리는 배럴의 내경과 같거나 더 크게 형성될 수 있다.The maximum distance between the pair of locking
슬롯(1232)은 선단부에서 길이방향을 따라 후방으로 연장하다가 양측의 걸림부(1231)를 지난 후 길이방향의 단부를 향해 외측으로 진행하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)의 선단부에는 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯(1234)을 포함할 수 있다.The
탄성변형부(1233)는 슬롯(1232)을 사이에 두고 형성된 한 쌍의 텐션바(1235,1236)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 텐션바(1235,1236) 중 하나는 오픈형 슬롯(1232)에 의해 캔틸레버 형태로 이루어질 수 있다.The elastically
상술한 바와 같이, 배럴삽입부(123)를 배럴(110)의 일측 단부에 삽입할 때 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 부딪히고, 텐션바(1235,1236)가 슬롯(1232)의 폭을 좁히는 방향으로 탄성변형될 수 있다. 이때, 캔틸레버 타입의 텐션바(1235)는 나머지 텐션바(1236)에 비해 더 크게 변형될 수 있다.As described above, when the
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.10 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a third embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the first embodiment shown in FIG. 3 will be omitted.
배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다.The
슬롯(1232)은 후단부에서 선단부를 향해 길이방향을 따라 전방으로 연장하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)의 후단부에는 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯을 포함할 수 있다.The
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 9에 나타낸 제2실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.11 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a fourth embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the second embodiment shown in FIG. 9 will be omitted.
배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다. The
한 쌍의 걸림부(1231) 사이의 최대 거리는 배럴의 내경과 같거나 더 크게 형성될 수 있다.The maximum distance between the pair of locking
슬롯(1232)은 후단부에서 선단부를 향해 길이방향을 따라 전방으로 연장하다가 걸림부(1231)를 지나 길이방향의 단부를 행해 진행하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)의 후단부에는 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯을 포함할 수 있다.The
도 12는 본 발명의 제5실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 10에 나타낸 제3실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.12 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a fifth embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the third embodiment shown in FIG. 10 will be omitted.
배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232), 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233) 및 슬롯(1232) 사이에 마련된 탄성지지부(1237)를 포함할 수 있다. The
탄성지지부(127)는 슬롯(1232) 내에서 제1텐션바(1235)로부터 제2텐션바(1236)를 향해 연장할 수 있다. 탄성지지부(1237)는 제2텐션바(1236)으로부터 분리되거나 일체로 형성될 수 있다. 탄성지지부(1237)는 소정을 곡률을 가진 아크형상 또는 소정의 예각으로 꺽인 띠 형상으로 이루어질 수 있다. The elastic support part 127 may extend from the
탄성지지부(1237)는 도 9와 도 11에 나타낸 제2 및 제4실시예에 따른 터미널(120)에도 유사하게 적용될 수 있다.The
도 13은 본 발명의 제6실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이고, 도 14는 도 13의 B-B부분을 절취하여 나타낸 단면도이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.13 is a view showing a terminal 120 according to a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 13 . A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the first embodiment shown in FIG. 3 will be omitted.
도13 및 도 14를 참조하면, 배럴삽입부(123)는 걸림부(1231)의 단부 측에서 두께방향으로 연장하는 걸림연장부(1238)를 포함할 수 있다.13 and 14 , the
이와 같은 걸림연장부(1238)는 판상의 터미널(120)이 더욱 견고하게 배럴(110)에 고정될 수 있게 한다. This engaging
도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 나타내는 도면이고, 도 16은 도 15의 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 중첩한 터미널(420)을 나타낸 도면이다.15 is a view showing the first and second terminals 420-1 and 420-2 according to the seventh embodiment of the present invention, and FIG. 16 is the first and second terminals 420-1 and 420-2 of FIG. It is a diagram showing the superimposed
도 15 및 16을 참조하면, 터미널(420)은 두께방향으로 서로 중첩될 수 있는 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 포함할 수 있다.15 and 16 , the terminal 420 may include first and second terminals 420-1 and 420-2 that may overlap each other in the thickness direction.
제1터미널(420-1)은 제1본체부(421-1), 제1본체부(421-1)의 일측으로부터 일체로 연장하는 제1접촉부(422-1), 및 제1본체부(421-1)의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 제1배럴삽입부(423-1)를 포함할 수 있다.The first terminal 420-1 includes a first body part 421-1, a first contact part 422-1 extending integrally from one side of the first body part 421-1, and a first body part ( 421-1) extending integrally from the other side opposite to one side and may include a first barrel insertion part 423-1 inserted into the
제2터미널(420-2)은 제2본체부(421-2), 제2본체부(421-2)의 일측으로부터 일체로 연장하는 제2접촉부(422-2), 및 제2본체부(421-2)의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 제2배럴삽입부(423-2)를 포함할 수 있다.The second terminal 420-2 includes a second body part 421-2, a second contact part 422-2 extending integrally from one side of the second body part 421-2, and a second body part ( It may include a second barrel insertion portion 423 - 2 integrally extending from the other side opposite to one side of 421 - 2 and inserted into the
제1배럴삽입부(423-1) 및 제1본체부(421-1)는 제1접촉부(422-1)의 두께에 1/2로 형성될 수 있다.The first barrel insertion part 423-1 and the first body part 421-1 may be formed to have a thickness of 1/2 of the first contact part 422-1.
마찬가지로, 제2배럴삽입부(423-2) 및 제2본체부(421-2)는 제2접촉부(422-2)의 두께에 1/2로 형성될 수 있다. Similarly, the second barrel insertion portion 423 - 2 and the second body portion 421 - 2 may be formed to have a thickness of 1/2 of the second contact portion 422 - 2 .
제1 및 제2배럴삽입부(423-1,423-2)는 각각 도 3에 나타낸 배럴삽입부(123)과 유사한 구조를 가진다. 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)가 두께방향으로 중첩된 상태에서 제1 및 제2배럴삽입부(423-1,423-2)는 배럴의 일단부에 삽입 고정될 수 있다.The first and second barrel inserting parts 423-1 and 423-2 each have a structure similar to the
터미널(420)은 동일한 구조로 제작된 제1 및 제2터미널(420-1,420-2) 중 어느 하나를 뒤집어 중첩함으로써 형성할 수 있다. 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)가 중첩된 상태에서 제1접촉부와 제2접촉부(422-1,422-2)는 서로 다른 위치에 배열될 수 있다. 도 16에 나타낸 바와 같이, 중첩된 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)은 포크 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1접촉부와 제2접촉부(422-1,422-2)는 동일 평면상에 위치될 수 있다.The terminal 420 may be formed by inverting any one of the first and second terminals 420-1 and 420-2 manufactured with the same structure and overlapping them. In a state in which the first and second terminals 420-1 and 420-2 overlap, the first and second contact portions 422-1 and 422-2 may be arranged at different positions. As shown in FIG. 16 , the overlapping first and second terminals 420-1 and 420-2 may have a fork shape. Also, the first contact portion and the second contact portion 422-1 and 422-2 may be positioned on the same plane.
지금까지 터미널(120)의 접촉부(121)는 판상으로 도시하고 설명하였지만, 원기둥 또는 4각기둥의 단면의 형상을 가질 수 있다.The
앞서 설명한 명세서에서, 본 발명 및 그 장점들이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 아래의 청구항에서 설명하는 바와 같은 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변경이 가능함은 이 기술 분야에서 보통의 기술을 가진 자에게 명백할 것이다. 이에 따라, 명세서와 도면은 한정 보다는 본 발명의 예시로서 간주되어야 한다. 모든 이러한 가능한 수정들은 본 발명의 범위 내에서 이루어져야 한다.In the foregoing specification, the invention and its advantages have been described with reference to specific embodiments. However, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention as set forth in the claims below. Accordingly, the specification and drawings are to be regarded as illustrative of the invention rather than limiting. All such possible modifications should be made within the scope of the present invention.
100: 프로브
110: 배럴
111: 내향돌기
120: 터미널
121: 본체부
122: 접촉부
123: 배럴삽입부
1231: 걸림부
1232: 슬롯
1233: 탄성변형부
1234: 확장슬롯
1235,1236: 텐션바
1237: 탄성지지부
1238: 걸림연장부
130: 플런저
140: 스프링
150: 터미널 세트
151: 지지프레임
152: 타이바
200: 희생기판
210: 제1포토레지스트층
212: 터미널 세트 패턴
220: 패턴홈
230: 전도성 물질층
240: 제2포토레지시트층
300: 제조장치
310: 바닥판
311: 터미널 탑재부
312: 배럴탑재부
313: 함몰부
320: 밀림방지벽
100: probe
110: barrel
111: introvert
120: terminal
121: body part
122: contact
123: barrel insert
1231: catch
1232: slot
1233: elastic deformation part
1234: expansion slot
1235, 1236: tension bar
1237: elastic support
1238: jam extension
130: plunger
140: spring
150: terminal set
151: support frame
152: tie bar
200: sacrificial substrate
210: first photoresist layer
212: terminal set pattern
220: pattern home
230: conductive material layer
240: second photoresist sheet layer
300: manufacturing device
310: bottom plate
311: terminal mount
312: barrel mounting unit
313: depression
320: slip barrier
Claims (5)
중공을 가지며, 일단부에 내측으로 돌출하는 내향돌기가 마련된 배럴;
상기 배럴 내에 삽입 고정되고, 상기 내향돌기에 걸리는 걸림부 및 상기 배럴의 일단부에 삽입될 때에 상기 내향돌기에 의해 상기 걸림부가 상기 배럴의 중심축을 향해 탄성 변형되게 하는 탄성변형부를 가진 터미널; 및
상기 배럴의 타단부에 길이방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 수용되는 플런저를 포함하는 프로브.In the probe,
a barrel having a hollow and provided with an inward protrusion protruding inward at one end thereof;
a terminal inserted and fixed in the barrel and having a locking portion caught on the inward projection and an elastically deformable portion configured to elastically deform the locking portion toward the central axis of the barrel by the inward projection when inserted into one end of the barrel; and
A probe including a plunger accommodated at the other end of the barrel to be slidably movable along the longitudinal direction.
상기 탄성변형부는 길이방향으로 따라 연장하는 슬롯을 사이에 둔 한 쌍의 텐션바를 포함하는 프로브.The method of claim 1,
The elastically deformable portion probe including a pair of tension bars having a slot extending along the longitudinal direction therebetween.
상기 터미널은,
본체부;
상기 본체부의 일측로부터 일체로 연장하고 피검사체의 피검사접점에 접촉하는 팁을 가진 접촉부; 및
상기 본체부의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 상기 배럴에 삽입되는 배럴삽입부를 포함하는 프로브.The method of claim 1,
The terminal is
body part;
a contact part extending integrally from one side of the body part and having a tip contacting the test contact point of the subject; and
A probe including a barrel insertion portion integrally extending from the other side opposite to one side of the body portion and inserted into the barrel.
상기 본체부는 상기 배럴삽입부가 상기 배럴에 삽입되는 것을 제한하는 멈춤턱을 포함하는 프로브.4. The method of claim 3,
The body portion includes a stopper for restricting the insertion of the barrel insertion portion into the barrel probe.
상기 본체부는 타이바를 연결하는 타이바연결부를 포함하며,
상기 타이바연결부는 상기 멈춤턱의 반대 측 단부에 위치하는 프로브.5. The method of claim 4,
The main body includes a tie bar connecting portion for connecting the tie bar,
The tie bar connection portion is located at the opposite end of the stopper probe.
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01287484A (en) * | 1988-05-16 | 1989-11-20 | Hitachi Ltd | Probe head and its manufacture and semiconductor lsi inspecting device using same |
US20090075529A1 (en) * | 2007-09-18 | 2009-03-19 | Johnston Charles J | Spring contact assembly |
KR20130003406A (en) * | 2011-06-30 | 2013-01-09 | 리노공업주식회사 | A conductive contactor |
JP5847576B2 (en) * | 2011-12-29 | 2016-01-27 | 株式会社エンプラス | Probe pin and socket for electrical parts |
KR20170020314A (en) * | 2014-04-21 | 2017-02-22 | 주식회사 오킨스전자 | Probe pin and ic socket |
KR20170119998A (en) * | 2016-04-20 | 2017-10-30 | 퀄맥스시험기술 주식회사 | Probe pin equipped with insulator |
JP2018066711A (en) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 日本コネクト工業株式会社 | Probe pin for heavy current |
KR101904265B1 (en) * | 2018-04-13 | 2018-10-05 | (주)에이치엠티 | Probe pin for pin block |
KR102166677B1 (en) * | 2019-08-09 | 2020-10-16 | 주식회사 오킨스전자 | MEMS pogo pin and testing method using same |
KR102182784B1 (en) * | 2019-05-31 | 2020-11-25 | 주식회사 오킨스전자 | MEMS Kelvin spring pin, and Kelvin test socket using the same |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170000572A (en) * | 2015-06-24 | 2017-01-03 | 주식회사 메가터치 | Probe apparatus for test of electronic device |
US10168357B2 (en) * | 2015-12-21 | 2019-01-01 | Intel Corporation | Coated probe tips for plunger pins of an integrated circuit package test system |
JP6610322B2 (en) * | 2016-02-15 | 2019-11-27 | オムロン株式会社 | Probe pin and inspection apparatus using the same |
JP6740630B2 (en) * | 2016-02-15 | 2020-08-19 | オムロン株式会社 | Probe pin and inspection device using the same |
KR101954086B1 (en) * | 2017-11-07 | 2019-03-06 | 리노공업주식회사 | A test probe assembly and test socket |
TWI671529B (en) * | 2017-12-22 | 2019-09-11 | 馬來西亞商宇騰精密探針集團 | Contact probe with compression spring assembly |
CN210690650U (en) * | 2018-11-08 | 2020-06-05 | 欧姆龙株式会社 | Probe, inspection jig, and inspection unit |
-
2020
- 2020-08-11 KR KR1020200100205A patent/KR102456449B1/en active IP Right Grant
-
2021
- 2021-07-13 TW TW110125645A patent/TWI794879B/en active
- 2021-08-03 CN CN202110884624.4A patent/CN114076838A/en active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01287484A (en) * | 1988-05-16 | 1989-11-20 | Hitachi Ltd | Probe head and its manufacture and semiconductor lsi inspecting device using same |
US20090075529A1 (en) * | 2007-09-18 | 2009-03-19 | Johnston Charles J | Spring contact assembly |
KR20130003406A (en) * | 2011-06-30 | 2013-01-09 | 리노공업주식회사 | A conductive contactor |
JP5847576B2 (en) * | 2011-12-29 | 2016-01-27 | 株式会社エンプラス | Probe pin and socket for electrical parts |
KR20170020314A (en) * | 2014-04-21 | 2017-02-22 | 주식회사 오킨스전자 | Probe pin and ic socket |
KR20170119998A (en) * | 2016-04-20 | 2017-10-30 | 퀄맥스시험기술 주식회사 | Probe pin equipped with insulator |
JP2018066711A (en) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 日本コネクト工業株式会社 | Probe pin for heavy current |
KR101904265B1 (en) * | 2018-04-13 | 2018-10-05 | (주)에이치엠티 | Probe pin for pin block |
KR102182784B1 (en) * | 2019-05-31 | 2020-11-25 | 주식회사 오킨스전자 | MEMS Kelvin spring pin, and Kelvin test socket using the same |
KR102166677B1 (en) * | 2019-08-09 | 2020-10-16 | 주식회사 오킨스전자 | MEMS pogo pin and testing method using same |
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