KR20220015668A - 처리액을 공급 및 회수하는 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
본 명세서의 실시예는 제동 장치 및 제동 장치를 포함하는 기판 검사 장치를 제공한다. 본 명세서의 실시예에 따른 기판 검사 장치는, 상기 챔버에서 상기 기판을 지지하는 척과, 상기 척에 결합되어 상기 기판을 검사하기 위한 프로브 카드를 촬상하는 하부 카메라와, 상기 척으로부터 이격된 위치에서 수평 방향으로 이동 가능하도록 구성되면서, 상기 기판을 촬상하는 상부 카메라와, 상기 카메라를 이동 상태에서 정지 상태로 전환하기 위한 제동 장치를 포함한다. 여기서, 상기 제동 장치는, 서로 직교하는 자기장 방향을 갖는 자성체들이 인접하여 배열된 제1 할바흐(halbach) 어레이와, 상기 제1 할바흐 어레이와 제1 간격만큼 이격되며, 서로 직교하는 자기장 방향을 갖는 자성체들이 인접하여 배열되는 제2 할바흐(halbach) 어레이와, 상기 제1 할바흐 어레이와 상기 제2 할바흐 어레이 사이에 제2 간격을 각각 두고 삽입될 수 있으면서, 와전류(eddy current)를 통해 감쇄력을 발생시키는 전도체를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 처리액을 공급 및 회수하는 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 처리액을 공급한 후 회수하기 위한 회수 용기의 높이를 조절하기 위한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
반도체(또는 디스플레이) 제조 공정은 기판(예: 웨이퍼) 상에 반도체 소자를 제조하기 위한 공정으로서, 예를 들어 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등을 포함한다. 특히, 기판 상에는 다양한 유기 및 무기 이물질들이 존재한다. 따라서, 제조 수율 향상을 위해서는 기판 상의 이물질을 효과적으로 제거하는 것이 매우 중요하다.
이물질 제거를 위해 처리액(세정액)을 이용한 세정 공정이 주로 사용된다. 세정 공정은 기판을 지지한 스핀척을 회전시키면서 기판 상면 또는 후면에 처리액을 공급하여 수행될 수 있으며, 세정 처리 후에는 린스액을 이용한 린스 공정, 건조 기체를 이용한 건조 공정이 수행된다.
한편, 기판 상에 공급된 처리액의 배출 또는 재사용을 위하여 처리액을 회수할 필요가 있다. 기판으로부터 비산되는 처리액의 회수를 위하여 기판 주변부에 형성된 회수 용기(컵 또는 바울)가 배치될 수 있다. 처리액을 효과적으로 회수하기 위하여, 회수 용기는 처리액의 공급 시점에 맞추어 기판 보다 높은 위치로 승강하게 되는데, 다양한 공정 조건에 따라 처리액이 비산되는 특성(높이, 속도)이 상이하기 때문에 회수 용기의 높이를 적절하게 조절할 필요가 있다.
따라서, 본 발명의 실시예는 처리액을 회수하기 위한 회수 용기의 높이를 적절하게 조절할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 공정 조건에 따라 다른 특성으로 비산되는 처리액을 효과적으로 회수할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부와, 상기 기판으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 상기 약액 회수부는, 상기 기판 지지부를 둘러싸면서 상기 처리액을 회수하는 회수 용기와, 상기 회수 용기를 고정된 제1 거리만큼 승강키시는 실린더와, 상기 실린더를 조절 가능한 제2 거리만큼 승강시키는 LM(Linear Motor) 구동부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 LM 구동부를 제어하는 제어기를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 거리는 사용자 입력, 상기 기판 상의 막질, 상기 기판 지지부의 회전 속도, 상기 처리액의 종류, 또는 상기 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 LM 구동부는 상기 실린더의 하부에 설치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 실린더는 고정된 스트로크(stroke)에 의해 설정된 상기 제1 거리만큼 상기 회수 용기를 승강시키고, 상기 LM 구동부는 상기 제1 거리보다 짧은 상기 제2 거리만큼 상기 실린더를 승강시킬 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부와, 상기 기판으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 상기 약액 회수부는, 상기 기판 지지부를 둘러싸면서 상기 처리액을 회수하는 복수의 회수 용기들과, 상기 회수 용기들에 결합되고, 상기 회수 용기들 각각을 고정된 제1 거리만큼 승강시키는 실린더와, 상기 실린더의 하부에 결합되어, 상기 실린더를 조절 가능한 제2 거리만큼 승강시키는 LM(Linear Motor) 구동부와, 상기 LM 구동부를 제어하는 제어기를 포함한다. 상기 실린더는, 유체가 유입되는 유입구를 갖는 실리더 바디와, 상단 회수 용기와 결합된 내측 샤프트와, 상기 내측 샤프트를 감싸며, 하단 회수 용기와 결합된 외측 샤프트를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 LM 구동부에 의한 승강 거리는, 사용자 입력, 상기 기판 상의 막질, 상기 기판 지지부의 회전 속도, 상기 처리액의 종류, 또는 상기 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 실린더는 고정된 스트로크(stroke)에 의해 설정된 상기 제1 거리만큼 상기 회수 용기를 승강시키고, 상기 LM 구동부는 상기 제1 거리보다 짧은 상기 제2 거리만큼 상기 실린더를 승강시킬 수 있다.
일 실시예에서, 제1 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는 상기 제1 처리액에 대응하는 제1 조정 거리만큼 상기 실린더를 승강시키도록 상기 LM 구동부를 제어하고, 상기 실린더가 승강된 상태에서 상기 내측 샤프트를 승강시킬 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 처리액 이후 제2 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는, 상기 제2 처리액에 대응하는 제2 조정 거리만큼 상기 실린더를 승강시키도록 상기 LM 구동부를 제어하고, 상기 실린더가 승강된 상태에서, 상기 내측 샤프트 및 상기 외측 샤프트를 승강시키고, 상기 외측 샤프트가 승강된 상태에서 상기 내측 샤프트를 하강시킬 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부와, 상기 기판으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 상기 약액 회수부는, 상기 기판 지지부를 둘러싸면서 상기 처리액을 회수하는 제1 회수 용기, 상기 제1 회수 용기의 하단에 위치하는 제2 회수 용기, 상기 제2 회수 용기의 하단에 위치하는 제3 회수 용기, 및 상기 제3 회수 용기의 하단에 위치하는 제4 회수 용기를 포함하는 복수의 회수 용기들과, 상기 제1 회수 용기 및 상기 제2 회수 용기의 일측에 결합되는 제1 실린더와, 상기 제1 회수 용기 및 상기 제2 회수 용기의 타측에 결합되는 제2 실린더와, 상기 제3 회수 용기 및 제4 회수 용기의 일측에 결합된 제3 실린더와, 상기 제3 회수 용기 및 제4 회수 용기의 타측에 결합된 제4 실린더와, 상기 제3 실린더의 하부에 결합되어, 상기 제3 실린더를 승강시키는 제1 LM(Linear Motor) 구동부와, 상기 제4 실린더의 하부에 결합되어, 상기 제4 실린더를 승강시키는 제2 LM 구동부와, 상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부를 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더 각각은, 유체가 유입되는 유입구를 갖는 실리더 바디와, 제3 회수 용기와 결합된 내측 샤프트와, 상기 내측 샤프트를 감싸며, 제4 회수 용기와 결합된 외측 샤프트를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 실린더 및 상기 제2 실린더는 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더의 내측 샤프트의 승강시 함께 승강할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 실린더와 상기 제2 실린더는 상기 기판 지지부의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 실린더와 상기 제4 실린더는 상기 기판 지지부의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 LM 구동부에 의한 승강 거리는, 사용자 입력, 상기 기판 상의 막질, 상기 기판 지지부의 회전 속도, 상기 처리액의 종류, 또는 상기 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더는 고정된 스트로크(stroke)에 의해 설정된 상기 제1 거리만큼 상기 회수 용기들을 승강시키고, 상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부는 상기 제1 거리보다 짧은 상기 제2 거리만큼 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더를 승강시킬 수 있다.
일 실시예에서, 제1 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는, 상기 제1 처리액에 대응하는 제1 조정 거리만큼 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더를 승강시키도록 상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부를 제어하고, 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더가 승강된 상태에서 상기 제1 처리액에 대응하는 상기 제1 회수 용기를 승강시킬 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 처리액 이후 제2 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는, 상기 제2 처리액에 대응하는 제2 조정 거리만큼 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더를 승강시키도록 상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부를 제어하고, 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더가 승강된 상태에서, 상기 제1 회수 용기 및 상기 제2 처리액에 대응하는 상기 제2 회수 용기를 승강시키고, 상기 제2 회수 용기가 승강된 상태에서 상기 제1 회수 용기를 상기 제2 회수 용기 상단에 하강시킬 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 LM 구동부와 상기 제2 LM 구동부는, 하나의 구동원 및 2 개의 동력 전달부에 의해 동기화되어 구동할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 조절 가능한 거리만큼 실린더를 승강시키는 LM(Linear Motion) 구동부를 사용함으로써 회수 용기를 적절한 높이로 승강시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 공정 조건에 따라 조절되는 거리만큼 실린더를 승강시킴으로써 기판으로부터 비산되는 처리액을 효과적으로 회수할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판을 처리하기 위한 챔버에 제공되는 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 3 내지 도 6은 처리액 별로 회수 용기가 승강하는 경우의 예를 나타낸다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 의 예를 도시한다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 실린더의 구조의 예를 도시한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판을 처리하기 위한 챔버에 제공되는 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 3 내지 도 6은 처리액 별로 회수 용기가 승강하는 경우의 예를 나타낸다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 의 예를 도시한다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 실린더의 구조의 예를 도시한다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 인덱스부(100)와 공정 처리부(200)를 포함한다.
인덱스부(100)는 로드 포트(120)와 인덱스 챔버(140)를 포함할 수 있다. 로드 포트(120), 인덱스 챔버(140) 및 공정 처리부(200)는 순차적으로 일렬로 배열될 수 있다. 이하, 로드 포트(120), 인덱스 챔버(140) 및 공정 처리부(200)가 배열된 방향을 제1 방향(12)이라 한다. 그리고 상부에서 바라볼 때 제1 방향(12)과 수직한 방향을 제2 방향(14)이라 하고, 제1 방향(12)과 제2 방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3 방향(16)이라 한다.
로드 포트(120)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(C)가 안착된다. 로드 포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2 방향(14)을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 도 1에서는 4개의 로드 포트(120)가 제공된 것으로 도시하였다. 그러나 로드 포트(120)의 개수는 공정 처리부(200)의 공정 효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가되거나 감소될 수 있다. 캐리어(C)로는 전면 개방 일체형 포드(FOUP; Front Opening Unified Pod)가 사용될 수 있다.
인덱스 챔버(140)는 로드 포트(120)와 공정 처리부(200) 사이에 위치된다. 인덱스 챔버(140)는 전면 패널, 후면 패널 그리고 양측면 패널을 포함하는 직육면체의 형상을 가지며, 그 내부에는 로드 포트(120)에 안착된 캐리어(C)와 로드락 챔버(220) 간에 기판(W)을 반송하기 위한 인덱스 로봇(144)이 제공된다. 도시하지는 않았지만, 인덱스 챔버(140)는 내부 공간으로 파티클이 유입되는 것을 방지하기 위하여, 벤트들(vents), 층류 시스템(laminar flow system)과 같은 제어된 공기 유동 시스템을 포함할 수 있다.
공정 처리부(200)는 로드락 챔버(220), 이송 챔버(240), 액 처리 챔버(260)를 포함할 수 있다. 이송 챔버(240)는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 배치될 수 있다. 제2 방향(14)을 따라 이송 챔버(240)의 일측 및 타측에는 각각 액 처리 챔버(260)들이 배치될 수 있다.
액 처리 챔버(260)들 중 일부는 이송 챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 액 처리 챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치될 수 있다.
즉, 이송 챔버(240)의 일측에는 액 처리 챔버(260)들이 A X B(A와 B는 각각 1 이상의 자연수)의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1 방향(12)을 따라 일렬로 제공된 액 처리 챔버(260)의 수이고, B는 제3 방향(16)을 따라 일렬로 제공된 액 처리 챔버(260)의 수이다.
로드락 챔버(220)는 인덱스 챔버(140)와 이송 챔버(240)사이에 배치된다. 로드락 챔버(220)는 이송 챔버(240)와 인덱스 챔버(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)을 임시 적재하는 공간을 제공한다. 로드락 챔버(220)는 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3 방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다. 로드락 챔버(220)에서 인덱스 챔버(140)와 마주보는 면과 이송 챔버(240)와 마주보는 면 각각이 개방된 형태로 제공될 수 있다.
이송 챔버(240)는 로드락 챔버(220)와 액 처리 챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송할 수 있다. 이송 챔버(240)에는 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)이 제공될 수 있다. 가이드 레일(242)은 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하도록 배치된다. 메인 로봇(244)은 가이드 레일(242) 상에 설치되고, 가이드 레일(242) 상에서 제1 방향(12)을 따라 직선 이동될 수 있도록 구비된다.
이하에서는, 기판(W)을 반송하는 구성들을 이송 유닛으로 정의한다. 일 예로, 이송 유닛에는 이송 챔버(240) 및 인덱스 챔버(140)가 포함될 수 있다. 또한, 이송 유닛에는 이송 챔버(240)에 제공되는 메인 로봇(244) 및 인덱스 로봇(144)이 포함될 수 있다.
액 처리 챔버(260) 내에는 기판(W)에 대해 액 처리 공정, 예를 들어 세정 공정을 수행하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다. 예컨대, 상기 세정 공정은 알콜 성분이 포함된 처리 유체들을 사용하여 기판(W) 세정, 스트립, 유기 잔여물(organic residue)을 제거하는 공정일 수 있다. 각각의 액 처리 챔버(260) 내에 제공된 기판 처리 장치는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 각각의 액 처리 챔버(260) 내의 기판 처리 장치는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 액 처리 챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 액 처리 챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치들은 서로 동일한 구조를 가지고, 상이한 그룹에 속하는 액 처리 챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치들은 서로 상이한 구조를 가질 수 있다. 이하에서는 액 처리 챔버(260)에 제공되는 기판 처리 장치의 일 예에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판을 처리하기 위한 챔버에 제공되는 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다. 도 2를 참고하면, 기판 처리 장치는 기판(W)을 지지하는 기판 지지부(2610), 기판(W)으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부(2620)와, 기판(W)으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 약액 회수부는 복수 개(예: 4개)의 회수 용기들(2632)과 회수 용기들(2632)을 승강시키기 위한 실린더(2633 내지 2636)를 포함할 수 있다.
기판 지지부(2610)는 공정 진행 중 기판을 지지 및 회전시킨다. 기판 지지부(2610)는 지지판, 지지핀, 척핀, 그리고 회전 구동 부재를 포할할 수 있다. 지지판은 대체로 원형의 판 형상으로 제공된다. 지지핀은 지지판에서 상부로 돌출되어 기판의 후면을 지지하도록 복수 개 제공된다.
척핀은 지지판으로부터 상부로 돌출되어 기판(W)의 측부를 지지하도록 복수 개 제공된다. 척핀은 지지판이 회전될 때 기판(W)이 정위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀은 지지판의 반경 방향을 따라 외측 위치와 내측 위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 기판(W)이 지지판에 로딩 또는 언로딩 시 척핀은 외측 위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척 핀은 내측 위치에 위치된다. 내측 위치는 척핀과 기판(W)의 측부가 서로 접촉되는 위치이고, 외측 위치는 척핀과 기판(W)이 서로 이격되는 위치이다.
회전 구동 부재는 지지판을 회전시킨다. 지지판은 회전 구동 부재에 의해 중심축을 중심으로 회전 가능하다. 회전 구동 부재는 지지축 및 구동부를 포함한다. 지지축은 통 형상을 가질 수 있다. 지지축의 상단은 지지판의 저면에 고정 결합될 수 있다. 구동부는 지지축이 회전되도록 구동력을 제공한다. 지지축은 구동부에 의해 회전되고, 지지판은 지지축과 함께 회전될 수 있다.
실린더(2633 내지 2636)는 회수 용기(2632)를 상하 방향으로 직선 이동시킨다. 회수 용기(2632)가 상하로 이동됨에 따라 지지판에 대한 회수 용기(2632)의 상대 높이가 변경된다. 실린더(2633 내지 2636)는 기판(W)이 지지판(2642)에 로딩되거나, 언로딩될 때 지지판이 회수 용기(2632)의 상부로 돌출되도록 회수 용기(2632)는 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수 용기(2632)로 유입될 수 있도록 회수 용기(2632)의 높이가 조절된다. 실린더(2633 내지 2636)는 브라켓, 이동축(샤프트) 및 실린더 바디를 포함할 수 있다. 브라켓은 회수 용기(2632)의 외벽에 고정 설치되고, 브라켓에는 실린더(2633 내지 2636)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축이 고정 결합될 수 있다.
도 2를 참조하면, 회수 용기(2632)는 복수 개로 제공되며, 각 회수 용기에 대응하는 실린더들(2633 내지 2636)이 제공될 수 있다. 예를 들어, 최상단에 위치한 제1 회수 용기에 제1 실린더(2633)가 결합되고, 제1 회수 용기의 하단에 위치한 제2 회수 용기에 제2 실린더(2634)가 결합되고, 제2 회수 용기의 하단에 위치한 제3 회수 용기에 제3 실린더(2635)가 결합되고, 제3 회수 용기의 하단에 위치한 제4 회수 용기에 제4 실린더(2636)가 결합될 수 있다. 도 2에 도시된 것과 같이, 제1 실린더(2633)와 제2 실린더(2634)는 기판 지지부(2610)의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치할 수 있다. 또한, 제3 실린더(2635)와 제4 실린더(2636)는 기판 지지부(2610)의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치할 수 있다.
처리액 공급부(2620)는 기판(W)으로 처리액을 공급한다. 처리액 공급부(2620)는 복수 개로 제공되며, 각각은 서로 상이한 종류의 처리액들을 공급할 수 있다. 처리액 공급부(2620)는 이동 부재 및 노즐을 포함할 수 있다. 이동 부재는 노즐을 공정 위치 및 대기 위치로 이동시킨다. 여기서 공정 위치는 노즐이 기판 지지부(2610)에 지지된 기판(W)과 대향되는 위치이고, 대기 위치는 노즐이 공정 위치를 벗어난 위치일 수 있다.
이동 부재는 지지축, 아암 및 구동기를 포함할 수 있다. 지지축은 챔버 내 일측에 위치된다. 지지축은 수직 방향으로 연장된 로드 형상일 수 있다. 지지축은 구동기에 의해 회전 가능하도록 제공된다. 지지축은 승강 이동이 가능하도록 제공될 수 있다. 아암은 지지축의 상단에 결합되어, 지지축으로부터 수직하게 연장될 수 있다. 아암의 끝단에는 노즐이 고정 결합된다. 지지축이 회전됨에 따라 노즐은 아암과 함께 스윙 이동 가능하다. 노즐은 스윙 이동되어 공정 위치 및 대기 위치로 이동될 수 있다. 선택적으로 아암은 그 길이 방향을 향해 전진 및 후진 이동이 가능하도록 제공될 수 있다. 상부에서 바라볼 때 노즐이 이동되는 경로는 공정 위치에서 기판(W)의 중심축과 일치될 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시되지는 않았으나, 기판 처리 장치에서 각 모듈의 동작을 제어하기 위한 제어기가 제공될 수 있다. 예를 들어, 제어기는 하나 또는 그 이상의 프로세서들로 구현될 수 있다.
도 3 내지 도 6은 처리액 별로 회수 용기가 승강하는 경우의 예를 나타낸다. 도 3 내지 도 6을 참조하면, 기판 지지부(2610) 상에 기판(W)이 안착되기 전에, 기판(W)으로 제공되는 처리액의 종류에 따라 해당 처리액을 적절히 배출 또는 회수하기 위하여 회수 용기(2632)가 승강할 수 있다. 도 3 내지 도 6은 실린더를 사용하여 회수 용기(2632)를 승강하는 경우를 나타낸다. 도 3은 최상단에 위치한 제1 회수 용기(2632-1)가 처리액을 회수하기 위하여 승강한 경우, 도 4는 제1 회수 용기(2632-1)의 하단에 위치한 제2 회수 용기(2632-2)가 처리액을 회수하기 위하여 승강한 경우, 도 5는 제2 회수 용기(2632-2)의 하단에 위치한 제3 회수 용기(2632-3)가 처리액을 회수하기 위하여 승강한 경우, 도 6은 제3 회수 용기(2632-3)의 하단에 위치한 제4 회수 용기(2632-4)가 처리액을 회수하기 위하여 승강한 경우를 나타낸다. 하단의 용기가 승강한 경우, 해당 용기의 상단에 위치한 용기들 또한 함께 승강할 것이다.
제1 회수 용기(2632-1)와 제2 회수 용기(2632-2)는 제1 실린더(2633) 및 제2 실린더(2634)에 결합되고, 제3 회수 용기(2632-3)와 제4 회수 용기(2632-4)는 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)에 결합된다. 설명의 편의를 위하여, 도 3 내지 도 6은 제2 실린더(2634)와 제4 실린더(2636)가 생략된 상태로 회수 용기가 승강 하는 경우를 나타낸다.
도 3 내지 도 6에서, 제1 실린더(2633)(및 제2 실린더(2634))는 유체가 유입되는 유입구를 갖는 실린더 바디와, 제1 회수 용기(2632-1)와 결합된 내측 샤프트(2650)와, 내측 샤프트(2635-1)를 감싸며, 제2 회수 용기(2632-2)와 결합된 외측 샤프트(2655)를 포함할 수 있다. 또한, 제3 실린더(2635)(및 제4 실린더(2636))는 유체가 유입되는 유입구를 갖는 실린더 바디와, 제3 회수 용기(2632-3)와 결합된 내측 샤프트(2660)와, 내측 샤프트(2660)를 감싸며, 제4 회수 용기(2632-5)와 결합된 외측 샤프트(2660)를 포함할 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 실린더는 듀얼 샤프트의 형태로 구현될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 도 3과 같이 제1 처리액(예: 순수)이 공급되는 경우, 제1 처리액에 대응하는 제1 회수 용기(2632-1)를 승강시키기 위하여 제1 실린더(2633)의 내측 샤프트(2650)가 승강할 수 있다. 제1 처리액 이후 제2 처리액(예: SC1)이 공급되는 경우, 제2 회수 용기(2632-2)를 승강시키기 위하여 내측 샤프트(2650)와 외측 샤프트(2655)가 함께 승강한 이후 내측 샤프트(2650)가 하강함으로써 도 4와 같이 제2 회수 용기(2632-2)가 승강할 수 있다.
마찬가지로, 도 5과 같이 제3 처리액(예: IPA)이 공급되는 경우, 제3 처리액에 대응하는 제3 회수 용기(2632-3)를 승강시키기 위하여 제3 실린더(2635)의 내측 샤프트(2660)가 승강할 수 있다. 제3 처리액 이후 제4 처리액(예: 린스액)이 공급되는 경우, 제4 회수 용기(2632-4)를 승강시키기 위하여 내측 샤프트(2660)와 외측 샤프트(2665)가 함께 승강한 이후 내측 샤프트(2660)가 하강함으로써 도 6와 같이 제4 회수 용기(2632-4)가 승강할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 실린더(2633)와 제3 실린더(2635)는 기계적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제3 실린더(2635)의 내측 샤프트(2665)가 승강하는 경우 제1 실린더(2633)의 실린더 바디가 함께 승강하도록 구성될 수 있다.
이하, 회수 용기의 승강 높이를 가변적으로 조절할 수 있는 기판 처리 장치에 대해 설명한다. 본 발명의 실시예에 따르면, 제3 실린더(2635)(및 제4 실린더(2636))의 하부에 결합된 LM(Linear Motion) 구동부에 의해 제3 실린더(2635)(및 제4 실린더(2636))의 높이를 조정한 상태에서 실린더를 사용하여 회수 용기를 승강시킴으로써 공정 조건에 따라 회수 용기의 승강 높이를 가변적으로 조절할 수 있다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 의 예를 도시한다. 도 7을 참조하면, 제3 회수 용기(2632-3) 및 제4 회수 용기(2632-4)에 결합된 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)의 하부에 각각 결합된 제1 LM 구동부(2641) 및 제2 LM 구동부(2642)가 제공된다. LM 구동부는 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)를 승강시키면서, 승강 높이를 가변적으로 조절할 수 있다. LM 구동부는 리니어 모터, 전자기 기반 액츄에이터, 피에조 액츄에이이터(Piezoelectric Actuator) 등으로 구현될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면 LM 구동부는 동기 샤프트 방식을 통해 모터 1개로도 구현될 수 있다. 예를 들어, 제1 LM 구동부(2641)와 제2 LM 구동부(2642)는 하나의 구동원 및 2 개의 동력 전달부에 의해 동기화되어 구동할 수 있다.
상술한 바와 같이, 제1 실린더(2633), 제2 실린더(2634)는 제3 실린더(2635), 제4 실린더(2636)와 기계적으로 연결되어 있으므로 제3 실린더(2635), 제4 실린더(2636) 본체의 높이를 조절함으로써 모든 회수 용기의 높이 조절이 가능하다.
본 발명의 실시예에 따르면, LM 구동부에 의한 승강 거리는 사용자 입력, 기판(W) 상의 막질, 기판 지지부(2610)의 회전 속도, 처리액의 종류, 또는 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정될 수 있다.
도 8은 제1 LM 구동부(2641)에 의해 제3 실린더(2635)(및 제4 실린더(3636))의 본체 높이 조절을 통해 제1 내지 제4 회수 용기들(2632-1 내지 2632-4)의 위치가 조절되는 경우를 나타낸다. 도 3 내지 도 7을 참조하여 설명한 것과 같이, 제1 실린더(2633)와 제3 실린더(2635)는 기계적으로 연결되어 있으므로, 제3 실린더(2635) 본체의 높이를 조절함으로써 모든 회수 용기들의 높이 조절이 가능하다.
도 9는 회수 용기의 높이를 LM 구동부(리니어 액츄에이터)를 통해 미세 조정하는 과정을 나타낸다. 먼저, 실린더를 통해 회수 용기를 상승시킨다. 이후, 원하는 높이만큼 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)의 높이를 조절함으로써 회수 용기의 높이를 조절할 수 있다.
제3 실린더(2635)(또는 제4 실린더(2636))의 본체 높이는 도 10의 실린더 지지부(1010)와 실린더 본체(1020) 사이의 공간을 조절함으로써 결정될 수 있다. 도 10을 참고하면, 제3 실린더(2635)는 챔버 하부(1030)에 대하여 볼트로 체결될 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 처리 장치는 기판(W)을 지지하는 기판 지지부(2610)와, 기판(W)으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부(2620)와, 기판(W)으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 여기서 약액 회수부는, 기판 지지부(2610)를 둘러싸면서 처리액을 회수하는 회수 용기(2632)와, 회수 용기(2632)를 고정된 제1 거리만큼 승강키시는 실린더(2633 내지 2636)와, 실린더(2633 내지 2636)를 조절 가능한 제2 거리만큼 승강시키는 LM 구동부(2641 또는 2642)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판 처리 장치는 LM 구동부를 제어하는 제어기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, LM 구동부에 의해 조절 가능한 제2 거리는 사용자 입력, 기판(W) 상의 막질, 기판 지지부(2610)의 회전 속도, 처리액의 종류, 또는 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, LM 구동부(2641, 2642)는 실린더(2635, 2636)의 하부에 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 실린더(제3 실린더(2635))는 고정된 스트로크(stroke)에 의해 설정된 제1 거리(d1)만큼 회수 용기(제3 회수 용기(2632-3))를 승강시키고, LM 구동부(2641)는 제1 거리(d1)보다 짧은 제2 거리(d2)만큼 실린더(제3 실린더(2635))를 승강시킬 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판 처리 장치는 기판(W)을 지지하는 기판 지지부(2610)와, 기판(W)으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부(2620)와, 기판(W)으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 약액 회수부는, 기판 지지부(2610)를 둘러싸면서 처리액을 회수하는 복수의 회수 용기들(제1 회수 용기(2632-1) 내지 제4 회수 용기(2632-4))과, 회수 용기들에 결합되고 회수 용기들 각각을 고정된 제1 거리만큼 승강시키는 실린더(제1 실린더(2633) 내지 제4 실린더(2636))와, 실린더의 하부에 결합되어 실린더를 조절 가능한 제2 거리만큼 승강시키는 LM 구동부(제1 LM 구동부(2641) 또는 제2 구동부(2632)와, LM 구동부를 제어하는 제어기를 포함한다. 여기서 실린더는, 유체가 유입되는 유입구를 갖는 실리더 바디와, 상단 회수 용기와 결합된 내측 샤프트와, 내측 샤프트를 감싸며 하단 회수 용기와 결합된 외측 샤프트를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, LM 구동부에 의해 조절 가능한 제2 거리는 사용자 입력, 기판(W) 상의 막질, 기판 지지부(2610)의 회전 속도, 처리액의 종류, 또는 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 실린더(제3 실린더(2635))는 고정된 스트로크에 의해 설정된 제1 거리(d1)만큼 회수 용기(제3 회수 용기(2632-3))를 승강시키고, LM 구동부(2641)는 제1 거리(d1)보다 짧은 제2 거리(d2)만큼 실린더(제3 실린더(2635))를 승강시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 처리액이 공급되는 경우, 제어기는 제1 처리액에 대응하는 제1 조정 거리만큼 실린더(제3 실린더(2635), 제4 실린더(2636))를 승강시키도록 LM 구동부를 제어하고, 실린더(제3 실린더(2635), 제4 실린더(2636))가 승강된 상태에서 내측 샤프트를 승강시킬 수 있다. 그리하여, 제3 실린더(2635)(또는 제1 실린더(2633))의 내측 샤프트에 결합된 제3 회수 용기(2632-3)(또는 제1 회수 용기(2632-1)가 회수를 위한 위치로 승강할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 제1 처리액 이후 제2 처리액이 공급되는 경우, 제어기는, 상기 제2 처리액에 대응하는 제2 조정 거리만큼 실린더(제3 실린더(2635), 제4 실린더(2636))를 승강시키도록 LM 구동부를 제어하고, 실린더(제3 실린더(2635), 제4 실린더(2636))가 승강된 상태에서 내측 샤프트 및 외측 샤프트를 승강시키고, 외측 샤프트가 승강된 상태에서 내측 샤프트를 하강시킬 수 있다. 그리하여, 제3 실린더(2635)(또는 제1 실린더(2633))의 외측 샤프트에 결합된 제4 회수 용기(2632-4)(또는 제2 회수 용기(2632-2))가 회수를 위한 위치로 승강하고, 제3 회수 용기(2632-3)(또는 제1 회수 용기(2632-1)는 제4 회수 용기(2632-4)(또는 제2 회수 용기(2632-2)의 상단에 밀착할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판 처리 장치는 기판(W)을 지지하는 기판 지지부(2610)와, 기판(W)으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부(2620)와, 기판(W)으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 약액 회수부는, 기판 지지부(2610)를 둘러싸면서 처리액을 회수하는 제1 회수 용기(2632-1), 제1 회수 용기(2632-1)의 하단에 위치하는 제2 회수 용기(2632-2), 제2 회수 용기(2632-2)의 하단에 위치하는 제3 회수 용기(2632-3), 및 제3 회수 용기(2632-3)의 하단에 위치하는 제4 회수 용기(2632-4)를 포함하는 복수의 회수 용기들과, 제1 회수 용기(2632-1) 및 제2 회수 용기(2632-2)의 일측에 결합되는 제1 실린더(2633)와, 제1 회수 용기(2632-1) 및 상기 제2 회수 용기(2632-2)의 타측에 결합되는 제2 실린더(2634)와, 제3 회수 용기(2632-3) 및 제4 회수 용기(2632-4)의 일측에 결합된 제3 실린더(2635)와, 제3 회수 용기(2632-3) 및 제4 회수 용기(2632-4)의 타측에 결합된 제4 실린더(2636)와, 제3 실린더(2635)의 하부에 결합되어 제3 실린더(2635)를 승강시키는 제1 LM 구동부(2641)와, 제4 실린더(2636)의 하부에 결합되어 제4 실린더(2636)를 승강시키는 제2 LM 구동부(2642)와, 제1 LM 구동부(2641) 및 상기 LM 구동부(2642)를 제어하는 제어기를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636) 각각은, 유체가 유입되는 유입구를 갖는 실리더 바디와, 제3 회수 용기(2632-3)와 결합된 내측 샤프트와, 내측 샤프트를 감싸며 제4 회수 용기(2632-4)와 결합된 외측 샤프트를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 실린더(2633) 및 제2 실린더(2634)는 제3 실린더(2633) 및 제4 실린더(2634)의 내측 샤프트의 승강시 함께 승강할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 실린더(2633)와 상기 제2 실린더(2634)는 기판 지지부(2610)의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제3 실린더(2635)와 제4 실린더(2636)는 기판 지지부(2610)의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, LM 구동부에 의해 조절 가능한 제2 거리는 사용자 입력, 기판(W) 상의 막질, 기판 지지부(2610)의 회전 속도, 처리액의 종류, 또는 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제3 실린더(2635) 및 상기 제4 실린더(2636)는 고정된 스트로크에 의해 설정된 상기 제1 거리(d1)만큼 회수 용기들을 승강시키고, 제1 LM 구동부(2641) 및 제2 LM 구동부(2642)는 제1 거리(d1)보다 짧은 제2 거리(d2)만큼 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)를 승강시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는 제1 처리액에 대응하는 제1 조정 거리만큼 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)를 승강시키도록 제1 LM 구동부(2641) 및 제2 LM 구동부(2642)를 제어하고, 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)가 승강된 상태에서 내측 샤프트를 승강시킴으로써 제1 처리액에 대응하는 제1 회수 용기(2632-1)를 승강시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1 처리액 이후 제2 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는 제2 처리액에 대응하는 제2 조정 거리만큼 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)를 승강시키도록 제1 LM 구동부(2641) 및 제2 LM 구동부(2642)를 제어하고, 제3 실린더(2635) 및 제4 실린더(2636)가 승강된 상태에서 내측 샤프트 및 상기 외측 샤프트를 승강시킴으로써 제1 회수 용기(2632-1) 및 제2 처리액에 대응하는 제2 회수 용기(2632-2)를 승강시키고, 외측 샤프트가 승강된 상태(제2 회수 용기(2632-2))가 승강한 상태)에서 내측 샤프트를 하강시킴으로써 제1 회수 용기(2632-1)를 제2 회수 용기(2632-2)의 상단에 하강시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 LM 구동부(2641)와 제2 LM 구동부(2642)는 하나의 구동원 및 2 개의 동력 전달부에 의해 동기화되어 구동할 수 있다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
Claims (20)
- 기판을 지지하는 기판 지지부;
상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부; 및
상기 기판으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함하고,
상기 약액 회수부는,
상기 기판 지지부를 둘러싸면서 상기 처리액을 회수하는 회수 용기;
상기 회수 용기를 고정된 제1 거리만큼 승강키시는 실린더;
상기 실린더를 조절 가능한 제2 거리만큼 승강시키는 LM(Linear Motor) 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 LM 구동부를 제어하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제2항에 있어서,
상기 제2 거리는 사용자 입력, 상기 기판 상의 막질, 상기 기판 지지부의 회전 속도, 상기 처리액의 종류, 또는 상기 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 LM 구동부는 상기 실린더의 하부에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 실린더는 고정된 스트로크(stroke)에 의해 설정된 상기 제1 거리만큼 상기 회수 용기를 승강시키고,
상기 LM 구동부는 상기 제1 거리보다 짧은 상기 제2 거리만큼 상기 실린더를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 기판을 지지하는 기판 지지부;
상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부; 및
상기 기판으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함하고,
상기 약액 회수부는,
상기 기판 지지부를 둘러싸면서 상기 처리액을 회수하는 복수의 회수 용기들;
상기 회수 용기들에 결합되고, 상기 회수 용기들 각각을 고정된 제1 거리만큼 승강시키는 실린더;
상기 실린더의 하부에 결합되어, 상기 실린더를 조절 가능한 제2 거리만큼 승강시키는 LM(Linear Motor) 구동부; 및
상기 LM 구동부를 제어하는 제어기를 포함하고,
상기 실린더는,
유체가 유입되는 유입구를 갖는 실리더 바디;
상단 회수 용기와 결합된 내측 샤프트; 및
상기 내측 샤프트를 감싸며, 하단 회수 용기와 결합된 외측 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제6항에 있어서,
상기 LM 구동부에 의한 승강 거리는, 사용자 입력, 상기 기판 상의 막질, 상기 기판 지지부의 회전 속도, 상기 처리액의 종류, 또는 상기 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제6항에 있어서,
상기 실린더는 고정된 스트로크(stroke)에 의해 설정된 상기 제1 거리만큼 상기 회수 용기를 승강시키고,
상기 LM 구동부는 상기 제1 거리보다 짧은 상기 제2 거리만큼 상기 실린더를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제6항에 있어서,
제1 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는,
상기 제1 처리액에 대응하는 제1 조정 거리만큼 상기 실린더를 승강시키도록 상기 LM 구동부를 제어하고,
상기 실린더가 승강된 상태에서 상기 내측 샤프트를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제9항에 있어서,
상기 제1 처리액 이후 제2 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는,
상기 제2 처리액에 대응하는 제2 조정 거리만큼 상기 실린더를 승강시키도록 상기 LM 구동부를 제어하고,
상기 실린더가 승강된 상태에서, 상기 내측 샤프트 및 상기 외측 샤프트를 승강시키고,
상기 외측 샤프트가 승강된 상태에서 상기 내측 샤프트를 하강시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 기판을 지지하는 기판 지지부;
상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부; 및
상기 기판으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함하고,
상기 약액 회수부는,
상기 기판 지지부를 둘러싸면서 상기 처리액을 회수하는 제1 회수 용기, 상기 제1 회수 용기의 하단에 위치하는 제2 회수 용기, 상기 제2 회수 용기의 하단에 위치하는 제3 회수 용기, 및 상기 제3 회수 용기의 하단에 위치하는 제4 회수 용기를 포함하는 복수의 회수 용기들;
상기 제1 회수 용기 및 상기 제2 회수 용기의 일측에 결합되는 제1 실린더;
상기 제1 회수 용기 및 상기 제2 회수 용기의 타측에 결합되는 제2 실린더;
상기 제3 회수 용기 및 제4 회수 용기의 일측에 결합된 제3 실린더;
상기 제3 회수 용기 및 제4 회수 용기의 타측에 결합된 제4 실린더;
상기 제3 실린더의 하부에 결합되어, 상기 제3 실린더를 승강시키는 제1 LM(Linear Motor) 구동부;
상기 제4 실린더의 하부에 결합되어, 상기 제4 실린더를 승강시키는 제2 LM 구동부; 및
상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부를 제어하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제11항에 있어서,
상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더 각각은,
유체가 유입되는 유입구를 갖는 실리더 바디;
제3 회수 용기와 결합된 내측 샤프트; 및
상기 내측 샤프트를 감싸며, 제4 회수 용기와 결합된 외측 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제12항에 있어서,
상기 제1 실린더 및 상기 제2 실린더는 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더의 내측 샤프트의 승강시 함께 승강하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제11항에 있어서,
상기 제1 실린더와 상기 제2 실린더는 상기 기판 지지부의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제11항에 있어서,
상기 제3 실린더와 상기 제4 실린더는 상기 기판 지지부의 중심점을 기준으로 서로 대향되는 방향에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제11항에 있어서,
상기 LM 구동부에 의한 승강 거리는, 사용자 입력, 상기 기판 상의 막질, 상기 기판 지지부의 회전 속도, 상기 처리액의 종류, 또는 상기 처리액의 온도 중 적어도 하나에 기반하여 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제11항에 있어서,
상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더는 고정된 스트로크(stroke)에 의해 설정된 상기 제1 거리만큼 상기 회수 용기들을 승강시키고,
상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부는 상기 제1 거리보다 짧은 상기 제2 거리만큼 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제11항에 있어서,
제1 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는,
상기 제1 처리액에 대응하는 제1 조정 거리만큼 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더를 승강시키도록 상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부를 제어하고,
상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더가 승강된 상태에서 상기 제1 처리액에 대응하는 상기 제1 회수 용기를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제18항에 있어서,
상기 제1 처리액 이후 제2 처리액이 공급되는 경우, 상기 제어기는,
상기 제2 처리액에 대응하는 제2 조정 거리만큼 상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더를 승강시키도록 상기 제1 LM 구동부 및 상기 제2 LM 구동부를 제어하고,
상기 제3 실린더 및 상기 제4 실린더가 승강된 상태에서 상기 제1 회수 용기 및 상기 제2 처리액에 대응하는 상기 제2 회수 용기를 승강시키고,
상기 제2 회수 용기가 승강된 상태에서 상기 제1 회수 용기를 상기 제2 회수 용기 상단에 하강시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제11항에 있어서,
상기 제1 LM 구동부와 상기 제2 LM 구동부는, 하나의 구동원 및 2 개의 동력 전달부에 의해 동기화되어 구동하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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| KR1020200095983A KR102616246B1 (ko) | 2020-07-31 | 2020-07-31 | 처리액을 공급 및 회수하는 기판 처리 장치 |
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|---|---|---|---|---|
| US20200407179A1 (en) * | 2019-06-26 | 2020-12-31 | Semes Co., Ltd. | Transport robot and substrate treating apparatus comprising the same |
| KR20230172933A (ko) * | 2022-06-16 | 2023-12-26 | 세메스 주식회사 | 회수 용기 승강 조립체 및 기판 처리 장치 |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR101570168B1 (ko) * | 2014-06-30 | 2015-11-19 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
-
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- 2020-07-31 KR KR1020200095983A patent/KR102616246B1/ko active IP Right Grant
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| US20200407179A1 (en) * | 2019-06-26 | 2020-12-31 | Semes Co., Ltd. | Transport robot and substrate treating apparatus comprising the same |
| US11702299B2 (en) * | 2019-06-26 | 2023-07-18 | Semes Co., Ltd. | Transport robot and substrate treating apparatus comprising the same |
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