KR20220012442A

KR20220012442A - 잉크젯 프린트 장치 및 이를 이용한 잉크젯 프린트 방법

Info

Publication number: KR20220012442A
Application number: KR1020200090812A
Authority: KR
Inventors: 이선욱; 한강수; 임채호; 조돈찬; 최학범
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2020-07-22
Filing date: 2020-07-22
Publication date: 2022-02-04
Also published as: US20220024208A1; US11618257B2; CN113968080A

Abstract

잉크젯 프린트 장치가 제공된다. 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치는 내부에 헤드 챔버가 배치되는 유로 플레이트, 및 유로 플레이트의 하부에 배치되고 헤드 챔버와 공간적으로 연결되며 하면을 통해 개구된 노즐을 포함하는 복수의 노즐 플레이트를 포함하되, 복수의 노즐 플레이트는 상호 적층되고, 각 노즐 플레이트는 서로 중첩하는 관통홀을 포함하며, 노즐은 서로 중첩하는 관통홀을 포함하여 이루어진다.

Description

잉크젯 프린트 장치 및 이를 이용한 잉크젯 프린트 방법{INKJET PRINT DEVICE AND INKJET PRINT METHOD USING THE SAME}

본 발명은 잉크젯 프린트 장치 및 이를 이용한 잉크젯 프린트 방법에 관한 것이다.

잉크젯 프린팅 공정은 격벽에 의해 구획되어 있는 소정 영역에 잉크를 분사하여 각각의 잉크가 착색된 이미지를 구현하는 기술로서, 최근에는 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display, OLED), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 등과 같은 표시 장치의 제조 공정에 널리 사용되고 있다. 잉크젯 프린팅 공정에 의해 표시 장치의 패턴을 인쇄할 경우, 증착 공정에 비해 적은 양의 재료만으로도 소자를 생산할 수 있고, 제조 공정의 단순화에 따른 비용을 크게 절감할 수 있다.

다만, 잉크가 분사되는 노즐에 얼룩이나 부분 막힘 현상이 발생할 경우, 잉크의 직진성이 확보되지 못하여 잉크 탄착 위치의 재현성이 저하될 수 있다. 이 경우, 정확한 형상의 패턴이 인쇄되지 않는 불량이 발생할 수 있다. 또한, 노즐의 얼룩이나 막힘을 제거하기 위한 유지(maintenance) 작업으로 인한 생산성이 저하될 수 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 헤드 유닛의 교체 주기를 늘려 생산 효율을 향상시킬 수 있는 잉크젯 프린트 장치를 제공하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 헤드 유닛의 교체 주기를 늘려 생산 효율을 향상시킬 수 있는 잉크젯 프린트 장치를 이용한 잉크젯 프린트 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치는 내부에 헤드 챔버가 배치되는 유로 플레이트; 및 상기 유로 플레이트의 하부에 배치되고 상기 헤드 챔버와 공간적으로 연결되며 하면을 통해 개구된 노즐을 포함하는 복수의 노즐 플레이트를 포함하되, 상기 복수의 노즐 플레이트는 상호 적층되고, 상기 각 노즐 플레이트는 서로 중첩하는 관통홀을 포함하며, 상기 노즐은 상기 서로 중첩하는 상기 관통홀을 포함하여 이루어진다.

상기 각 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며, 외측으로 돌출된 돌출부를 포함할 수 있다.

상기 각 노즐 플레이트의 하면에는 발수층이 배치될 수 있다.

상기 발수층 및 상기 발수층 하부에 배치된 상기 노즐 플레이트 사이에는 접착층이 배치될 수 있다.

상기 접착층 및 상기 노즐 플레이트 간의 접착력은 상기 접착층 및 상기 발수층 간의 접착력보다 클 수 있다.

상기 각 관통홀 내부의 상측은 제1 폭을 갖고, 하측은 제2 폭을 갖되, 상기 제1 폭은 상기 제2 폭보다 클 수 있다.

하부에 배치되는 상기 노즐 플레이트의 상기 제1 폭은 상부에 배치되는 상기 노즐 플레이트의 상기 제1 폭보다 클 수 있다.

상기 복수의 노즐 플레이트는, 제1 노즐 플레이트; 및 상기 제1 노즐 플레이트 상에 배치되는 제2 노즐 플레이트를 포함할 수 있다.

상기 제2 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며 상기 제1 노즐 플레이트보다 외측으로 돌출된 돌출부를 포함할 수 있다.

상기 제1 노즐 플레이트의 하면에는 제1 발수층이 배치되고, 상기 제2 노즐 플레이트의 하면에는 제2 발수층이 배치될 수 있다.

상기 제2 발수층 및 상기 제1 노즐 플레이트 사이에는 접착층이 배치될 수 있다.

상기 제1 노즐 플레이트 및 상기 접착층 간의 접착력은 상기 제2 발수층 및 상기 접착층 간의 접착력보다 클 수 있다.

상기 제1 노즐 플레이트에 포함된 관통홀의 일측의 폭은 상기 제2 노즐 플레이트에 포함된 관통홀의 일측의 폭보다 클 수 있다.

상기 유로 플레이트 상에 배치되는 멤브레인; 및 상기 멤브레인 상에 배치되며 입력 신호에 따라 부피가 변화하는 압전 구동부를 더 포함하되, 상기 압전 구동부는 상기 멤브레인의 모양을 변형시킬 수 있다.

상기 압전 구동부는 상기 헤드 챔버의 부피를 변화시킬 수 있다.

상기 각 노즐 플레이트는 일 방향으로 배열된 복수개의 서브 노즐 플레이트를 포함할 수 있다.

상기 각 서브 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며, 외측으로 돌출된 돌출부를 포함할 수 있다.

상기 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 방법은 관통홀이 서로 중첩된 복수의 노즐 플레이트를 포함하는 잉크젯 프린트 장치를 이용하여 잉크를 분사하는 단계; 상기 분사된 잉크 패턴의 불량 여부를 판단하는 단계; 상기 분사된 잉크 패턴이 불량이면 상기 복수의 노즐 플레이트 중 최외곽 노즐 플레이트를 제거하는 단계; 및 잔류하는 상기 노즐 플레이트의 상기 관통홀을 이용하여 잉크를 분사하는 단계를 포함한다.

상기 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며, 외측으로 돌출된 돌출부를 포함하되, 상기 최외곽 노즐 플레이트를 제거하는 단계는 상기 돌출부를 파지하여 상기 노즐 플레이트를 탈착하는 과정을 포함할 수 있다.

상기 잉크를 분사하는 단계는 서로 중첩된 상기 관통홀을 포함하며 이루어진 노즐을 통해 잉크가 토출되는 과정을 포함할 수 있다.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치에 의하면 프린트 헤드 유닛의 노즐에 얼룩이나 부분 막힘 현상이 발생하더라도, 해당 현상이 발생한 노즐 플레이트를 제거하여 프린트 헤드 유닛을 지속적으로 사용할 수 있다. 즉, 프린트 헤드 유닛의 교체 주기가 길어져 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 3 내지 도 7은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 일부를 나타낸 단면도들이다.
도 8은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치의 사시도이다.
도 9는 일 실시예에 따른 헤드 유닛의 측면도이다.
도 10은 일 실시예에 따른 헤드 유닛의 저면도이다.
도 11은 도 10의 I-I'을 따라 자른 단면도이다.
도 12는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치를 검사하는 과정을 나타낸 순서도이다.
도 13 및 도 14은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치를 이용하여 탄착점을 형성한 기판의 사시도이다.
도 15 내지 도 17은 오염된 헤드 유닛에서 노즐 플레이트를 제거하는 과정을 나타낸 단면도이다.
도 18은 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트를 나타낸 사시도이다.
도 19는 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트를 나타낸 사시도이다.
도 20은 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트를 나타낸 사시도이다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트의 노즐의 단면도이다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트의 노즐의 단면도이다.
도 23은 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트의 노즐의 단면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 실시예들에 대해 설명한다.

도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.

표시 장치(1)는 표시 화면을 제공하는 모든 전자 장치를 지칭할 수 있다. 예를 들어, 표시 화면을 제공하는 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 모바일 폰, 스마트 폰, 태블릿 PC(Personal Computer), 전자 시계, 스마트 워치, 워치 폰, 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(Portable Multimedia Player), 네비게이션, 게임기, 디지털 카메라, 사물 인터넷 등이 표시 장치(1)에 포함될 수 있다. 도 1에 예시된 표시 장치(1)는 텔레비전이다. 표시 장치(1)는 이에 제한되는 것은 아니지만, HD, UHD, 4K, 8K 등의 고해상도 내지 초고해상도를 가질 수 있다.

표시 장치(1)는 신호를 전달하거나, 위치별 빛의 파장을 변경하기 위한 다양한 패턴들을 포함할 수 있다. 표시 장치(1)의 패턴들은 패터닝 과정을 통해 형성된다. 상기 패터닝 과정은 포토 공정, 잉크젯 공정 등을 포함할 수 있다. 일부의 패턴들은 잉크젯 프린트 장치(도 8의 '1000')를 이용한 잉크젯 공정으로 형성될 수 있다. 이하의 실시예는 일부 패턴들이 잉크젯 공정을 통해 형성된 표시 장치(1)를 예시한다.

표시 장치(1)는 표시 방식에 따라 다양하게 분류될 수 있다. 예를 들어, 표시 장치(1)의 분류는 유기 발광 표시 장치(OLED), 무기 발광 표시 장치(inorganic EL), 퀀텀닷 발광 표시 장치(QED), 마이크로 LED 표시 장치(micro-LED), 나노 LED 표시 장치(nano-LED), 플라즈마 표시 장치(PDP), 전계 방출 표시 장치(FED), 음극선 표시 장치(CRT), 액정 표시 장치(LCD), 전기 영동 표시 장치(EPD) 등을 포함할 수 있다. 이하에서는 표시 장치(1)로서 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하며, 특별한 구분을 요하지 않는 이상 실시예에 적용된 유기 발광 표시 장치를 단순히 표시 장치(1)로 약칭할 것이다. 그러나, 실시예가 유기 발광 표시 장치에 제한되는 것은 아니고, 기술적 사상을 공유하는 범위 내에서 상기 열거된 또는 본 기술분야에 알려진 다른 표시 장치(1)가 적용될 수도 있다.

도 1을 참조하면, 표시 장치(1)는 표시 영역(DPA)과 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다.

표시 영역(DPA)은 복수의 화소(PX)를 포함할 수 있다. 복수의 화소(PX)는 행렬 방향으로 배열될 수 있다. 각 화소(PX)의 형상은 평면도상 직사각형 또는 정사각형일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니고 각 변이 표시 장치(1)의 일변 방향에 대해 기울어진 마름모 형상일 수도 있다. 복수의 화소(PX)는 여러 색 화소(PX)를 포함할 수 있다. 예를 들어 복수의 화소(PX)는, 이에 제한되는 것은 아니지만, 적색의 제1 색 화소(PX), 녹색의 제2 색 화소(PX) 및 청색의 제3 색 화소(PX)를 포함할 수 있다. 각 색 화소(PX)는 스트라이프 타입 또는 펜타일 타입으로 교대 배열될 수 있다.

표시 영역(DPA)의 주변에는 비표시 영역(NDA)이 배치될 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DPA)을 전부 또는 부분적으로 둘러쌀 수 있다. 표시 영역(DPA)은 직사각형 형상이고, 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DPA)의 4변에 인접하도록 배치될 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 장치(1)의 베젤을 구성할 수 있다.

비표시 영역(NDA)에는 표시 영역(DPA)을 구동하는 구동 회로나 구동 소자가 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 표시 장치(1)의 제1 장변(도 1에서 하변)에 인접 배치된 제1 비표시 영역(NDA)과 제2 장변(도 1에서 상변)에 인접 배치된 제2 비표시 영역(NDA)에는 표시 장치(1)의 표시 기판 상에 패드부가 마련되고, 상기 패드부의 패드 전극 상에 외부 장치(EXD)가 실장될 수 있다. 상기 외부 장치(EXD)의 예로는 연결 필름, 인쇄회로기판, 구동칩(DIC), 커넥터, 배선 연결 필름 등을 들 수 있다. 표시 장치(1)의 제1 단변(도 1에서 좌변)에 인접 배치된 제3 비표시 영역(NDA)에는 표시 장치(1)의 표시 기판 상에 직접 형성된 스캔 구동부(SDR) 등이 배치될 수 있다.

도 2는 일 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.

도 2를 참조하면, 표시 장치(1)는 제1 표시 기판(10), 제1 표시 기판(20)에 대향하는 제2 표시 기판(20) 및 제1 표시 기판(10)과 제2 표시 기판(20) 사이에 개재되어 이들을 결합하는 충진층(30)을 포함할 수 있다.

제1 표시 기판(10)은 제1 기판(11), 제1 기판(11)의 화소(PX)마다 배치된 화소 전극(PXE), 제1 기판(11)의 화소(PX)의 경계를 따라 배치된 화소 정의막(PDL), 화소 정의막(PDL)에 의해 노출된 개구부 내에 위치하며 화소 전극(PXE) 상에 배치된 발광층(EML), 발광층(EML) 및 화소 정의막(PDL) 상에 배치되며 복수의 화소(PX)에 걸쳐 배치된 공통 전극(CME), 공통 전극(CME) 상에 배치된 봉지 구조물(ECL)을 포함할 수 있다.

화소 정의막(PDL)은 화소 전극(PXE)의 에지 부분과 중첩할 수 있다. 발광층(EML)은 유기 발광 물질을 포함한다. 발광층(EML)의 유기 발광 물질은 색 화소(PX)와 무관하게 동일한 색을 발광할 수 있다. 예를 들어, 발광층(EML)은 적색 화소(PX), 녹색 화소(PX), 청색 화소(PX)에서 모두 청색의 빛을 발광할 수 있다. 그러나, 실시예가 이에 제한되는 것은 아니다. 화소 정의막(PDL)은 화소 전극(PXE)을 노출하는 개구부를 포함할 수 있다. 화소 정의막(PDL) 및 그 개구부에 의해 투광 영역(TA)과 차광 영역(BA)이 구분될 수 있다.

박막 봉지 구조물(ECL)은 적어도 하나의 박막 봉지층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 박막 봉지층은 제1 무기막(17), 유기막(18) 및 제2 무기막(19)을 포함할 수 있다.

제2 표시 기판(20)은 제2 기판(21), 제1 기판(11)을 향하는 제2 기판(21)의 일면 상에 배치된 차광 부재(BML), 차광 부재(BML)에 의해 정의된 개구부 내의 제2 기판(21)의 일면 상에 배치된 컬러 필터층(CFL), 컬러 필터층(CFL) 상에 배치된 제1 캡핑층(22), 제1 캡핑층(22) 상에 배치되며, 차광 부재(BML)와 중첩하는 격벽(PTL), 격벽(PTL)에 의해 둘러싸인 공간 내에 배치된 파장 변환층(WCL)과 투광층(TPL), 파장 변환층(WCL), 투광층(TPL) 및 격벽(PTL) 상에 배치된 제2 캡핑층(23)을 포함할 수 있다.

차광 부재(BML)는 화소 정의막(PDL)과 중첩하며, 차광 영역(BA)에 위치하며, 투광 영역(TA)과 중첩하는 제2 기판(21)의 일면을 노출하는 개구부를 포함할 수 있다.

컬러 필터층(CFL)은 제1 색 화소(PX)에 배치되는 제1 컬러 필터층(CFL1), 제2 색 화소(PX)에 배치되는 제2 컬러 필터층(CFL2) 및 제3 색 화소(PX)에 배치되는 제3 컬러 필터층(CFL2)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 컬러 필터층(CFL1)은 적색 컬러 필터층이고, 제2 컬러 필터층(CFL2)은 녹색 컬러 필터이고, 제3 컬러 필터층(CFL3)은 청색 컬러 필터층일 수 있다.

파장 변환층(WCL)은 제1 색 화소(PX)에 배치되는 제1 파장 변환 패턴(WCL1)과 제2 색 화소(PX)에 배치되는 제2 파장 변환 패턴(WCL2)을 포함할 수 있다. 제3 색 화소(PX)에는 투광층(TPL)이 배치될 수 있다.

제1 파장 변환 패턴(WCL1)은 제1 베이스 수지(BRS1) 및 제1 베이스 수지(BRS1) 내에 배치된 제1 파장 변환 물질(WCP1)을 포함할 수 있다. 제2 파장 변환 패턴(WCL2)은 제2 베이스 수지(BRS2) 및 제2 베이스 수지(BRS2) 내에 배치된 제2 파장 변환 물질(WCP2)을 포함할 수 있다. 투광층(TPL)은 제3 베이스 수지(BRS3) 및 그 내부에 배치된 산란체(SCP)를 포함할 수 있다.

제1 내지 제3 베이스 수지(BRS1, BRS2, BRS3)는 투광성 유기 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 내지 제3 베이스 수지(BRS1, BRS2, BRS3)는 에폭시계 수지, 아크릴계 수지, 카도계 수지 또는 이미드계 수지 등을 포함하여 이루어질 수 있다. 제1 내지 제3 베이스 수지(BRS1, BRS2, BRS3)는 모두 동일한 물질로 이루어질 수 있지만, 이에 제한되지 않는다.

산란체(SCP)는 금속 산화물 입자 또는 유기 입자일 수 있다. 상기 금속 산화물로는 산화 티타늄(TiO2), 산화 지르코늄(ZrO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 산화 인듐(In2O3), 산화 아연(ZnO) 또는 산화 주석(SnO2) 등이 예시될 수 있고, 상기 유기 입자 재료로는 아크릴계 수지 또는 우레탄계 수지 등이 예시될 수 있다.

제1 파장 변환 물질(WCP1)은 제3 색을 제1 색으로 변환하고, 제2 파장 변환 물질(WCP2)은 제3 색을 제2 색으로 변환하는 물질일 수 있다. 제1 파장 변환 물질(WCP1)과 제2 파장 변환 물질(WCP2)은 양자점, 양자 막대, 형광체 등일 수 있다. 상기 양자점은 IV족계 나노 결정, II-VI족계 화합물 나노 결정, III-V족계 화합물 나노 결정, IV-VI족계 나노 결정 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 제1 파장 변환 패턴(WCL1)과 제2 파장 변환 패턴(WCL2)은 파장 변환 효율을 증가시키는 산란체(SCP)를 더 포함할 수 있다.

제3 색 화소(PX)에 배치되는 투광층(TPL)은 발광층(EML)에서 입사되는 제3 색의 빛의 파장을 유지한 채 투과시킨다. 투광층(TPL)의 산란체(SCP)는 투광층(TPL)을 통해 출사되는 빛의 출사 경로를 조절하는 역할을 할 수 있다. 투광층(TPL)은 파장 변환 물질을 불포함할 수 있다.

제1 표시 기판(10)과 제2 표시 기판(20) 사이에는 충진층(30)이 배치될 수 있다. 충진층(30)은 제1 표시 기판(10)과 제2 표시 기판(20) 사이의 공간을 충진하는 한편, 이들을 상호 결합하는 역할을 할 수 있다. 충진층(30)은 제1 표시 기판(10)의 박막 봉지 구조물(ECL)과 제2 표시 기판(20)의 제2 캡핑층(23) 사이에 배치될 수 있다.

상기한 바와 같이, 표시 장치(1)는 화소 전극(PXE), 화소 정의막(PDL), 발광층(EML), 차광 패턴(BML), 컬러 필터층(CFL), 격벽(PTL), 파장 변환층(WCL)과 투광층(TPL) 등은 특정한 패턴 형상을 갖는다. 이와 같은 부재들을 형성하기 위해서는 포토 공정이나 잉크젯 공정이 사용될 수 있다. 이하에서, 제2 표시 기판(20)의 예시적인 제조 공정을 통해 패터닝 공정에 대해 구체적으로 설명한다.

도 3 내지 도 7은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정 중 일부를 나타낸 단면도들이다.

도 3 내지 도 7에서는 제2 표시 기판(20)의 제조 공정에 대하여 개략적으로 도시하고 있다.

도 3 내지 도 7을 참조하면, 먼저 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 기판(21)의 일면 상에 차광 부재(BML)를 형성한다. 차광 부재(BML)는 예를 들어, 차광 물질을 코팅한 후, 노광/현상 공정이나 포토 리소그래피 공정을 통해 패터닝될 수 있다. 차광 부재(BML)는 제2 기판(21)의 일면 상에서 격자형 패턴을 이룰 수 있다.

다음으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 기판(21)의 일면 상에서 차광 부재(BML)들 사이에 컬러 필터층(CFL)을 형성한다. 컬러 필터층(CFL)은 각 투광 영역(TA)과 중첩하는 영역에 형성될 수 있다. 컬러 필터층(CFL)은 노광/현상 공정, 포토 리소그래피 공정을 통해 패터닝되거나, 잉크젯 프린트 장치(도 8의 '1000')를 이용하여 패터닝될 수 있다.

이어, 도 5에 도시된 바와 같이, 컬러 필터층(CFL) 및 차광 부재(BML)를 커버하는 제1 캡핑층(22)을 형성하고, 제1 차광 영역(BA1) 내지 제3 차광 영역(BA3)과 중첩하는 영역에 격벽(PTL)을 형성한다. 격벽(PTL)은 예를 들어, 노광/현상 공정이나 포토 리소그래피 공정을 통해 패터닝될 수 있다.

이후, 격벽(PTL)에 의해 둘러싸인 공간 내에 파장 변환층(WCL) 및 투광층(TPL)을 형성한다. 일 실시예에서, 파장 변환층(WCL) 및 투광층(TPL)은 잉크젯 프린트 장치(1000)를 이용하여 형성될 수 있다.

예를 들어, 도 5의 단계 후 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 투광 영역(TA1)에 잉크젯 프린트 장치(1000)를 통해 잉크를 분사하여 제1 파장 변환 패턴(WCL1)을 형성할 수 있다. 제1 파장 변환 패턴(WCL1)은 격벽(PTL)에 둘러싸인 제1 투광 영역(TA1)에 형성될 수 있다. 제1 파장 변환 패턴(WCL1)은 잉크젯 프린트 장치(1000)의 노즐을 통해 제1 투광 영역(TA1)에 분사될 수 있다.

다음으로 도 7에 도시된 바와 같이, 제2 투광 영역(TA2)에 잉크젯 프린트 장치(1000)를 통해 잉크를 분사하여 제2 파장 변환 패턴(WCL2)을 형성할 수 있다. 제2 파장 변환 패턴(WCL2)은 격벽(PTL)에 둘러싸인 제2 투광 영역(TA2)에 형성될 수 있다. 제2 파장 변환 패턴(WCL2)은 제1 파장 변환 패턴(WCL1)을 형성하는 데 사용된 노즐과 다른 노즐, 또는 다른 잉크젯 프린트 헤드를 통해 제2 투광 영역(TA2)에 분사될 수 있다. 또 다른 예로, 제2 파장 변환 패턴(WCL2)은 제1 파장 변환 패턴(WCL1)을 형성하는 데 사용된 잉크젯 프린트 장치(1000)와 다른 잉크젯 프린트 장치를 이용하여 형성할 수도 있다.

도시되지 않았지만, 투광층(TPL)을 형성하는 과정은 제1 파장 변환 패턴(WCL1) 및 제2 파장 변환 패턴(WCL2)을 형성하는 과정과 유사하다. 투광층(TPL)은 격벽(PTL)에 둘러싸인 제3 투광 영역(TA3)에 형성될 수 있다. 투광층(TPL)은 제1 파장 변환 패턴(WCL1) 및 제2 파장 변환 패턴(WCL2)을 형성하는데 사용된 노즐과 다른 노즐을 통해 제3 투광 영역(TA3)에 분사될 수 있다.

이하, 상술한 잉크젯 프린트 장치(1000)에 대해 상세히 설명한다.

도 8은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치를 나타낸 사시도이다.

도 8을 참조하면, 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000)는 베이스 프레임(130), 스테이지(150), 스테이지 이동부(160), 프린트 헤드 이동부(320, 330, 340) 및 헤드 유닛(700)을 포함할 수 있다.

스테이지(150)는 베이스 프레임(130) 상에 배치될 수 있다. 스테이지(150)는 대상 기판(SUB)이 배치되는 공간을 제공한다. 즉, 프린트 공정이 진행되는 대상 기판(SUB)은 스테이지(150) 상면 상에 안착될 수 있다. 대상 기판(SUB)의 얼라인을 위해 스테이지(150) 상부에는 기판 얼라이너(미도시)가 설치될 수 있다. 상기 기판 얼라이너는 석영이나 세라믹 물질로 이루어질 수 있고, 정전척 등의 형태로 제공될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.

스테이지(150)는 광을 투과시킬 수 있는 투명 또는 반투명 재질, 또는 광을 반사시킬 수 있는 불투명한 재질로 만들어질 수 있다. 스테이지(150)의 전반적인 평면 형상은 대상 기판(SUB)의 평면 형상을 추종할 수 있다. 예를 들어, 대상 기판(SUB)이 직사각형 형상일 경우 스테이지(150)의 전반적인 형상은 직사각형이 되고, 대상 기판(SUB)이 원형일 경우 스테이지(150)의 전반적인 형상은 원형이 될 수 있다. 도면에서는 장변이 제2 방향(D2)으로 배치되고, 단변이 제1 방향(D1)으로 배치된 직사각형 형상의 스테이지(150)가 예시되어 있다.

스테이지(150)는 스테이지 이동부(160)에 고정되어 있으며, 스테이지 이동부(160)의 움직임에 따라 함께 이동할 수 있다. 스테이지 이동부(160)는 베이스 프레임(130) 상에 설치되어, 베이스 프레임(130) 상에서 제1 방향(D1)을 따라 이동할 수 있다. 스테이지 이동부(160)가 존재하는 경우, 헤드 유닛(700)을 제1 방향(D1)으로 이동시키는 제2 수평 이동부(320)는 생략될 수도 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.

헤드 유닛(700)은 스테이지(150) 상부(제3 방향(D3))에 배치될 수 있다. 헤드 유닛(700)은 대상 기판(SUB)에 잉크를 인쇄하는 역할을 한다. 잉크젯 프린트 장치(1000)는 잉크 카트리지와 같은 잉크 제공부를 더 포함할 수 있고, 잉크 제공부로부터 공급된 잉크는 헤드 유닛(700)을 통해 대상 기판(SUB) 측으로 분사(토출)될 수 있다.

잉크는 용액 상태로 제공될 수 있다. 잉크는 예를 들어, 용매 및 용매 내에 포함된 유기물을 포함할 수 있다. 유기물은 용매 내에 분산되어 있을 수 있다. 유기물은 도 2를 참조하여 상술한 베이스 수지, 산란체 및 파장 변환 물질일 수 있다. 유기물은 용매가 제거된 후 최종적으로 대상 기판(SUB) 상에 잔류할 수 있다. 용매는 상온 또는 열에 의해 기화되거나 휘발되는 물질일 수 있다. 용매는 아세톤, 물, 알코올, 톨루엔 등일 수 있다.

헤드 유닛(700)은 지지부(310) 상에 거치되어 스테이지(150)로부터 소정 거리 이격될 수 있다. 지지부(310)는 수평 방향으로 연장된 수평 지지부(311) 및 수평 지지부(311)와 연결되고 수직 방향인 제3 방향(D3)으로 연장된 수직 지지부(312)를 포함할 수 있다. 수평 지지부(311)의 연장 방향은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)과 동일할 수 있다. 수직 지지부(312)의 단부는 베이스 프레임(130) 상에 놓일 수 있다.

헤드 유닛(700)과 스테이지(150)의 이격 거리는 지지부(310)의 높이에 의해 조절될 수 있다. 헤드 유닛(700)과 스테이지(150)의 이격 거리는 스테이지(150) 상에 대상 기판(SUB)이 배치되었을 때 헤드 유닛(700)이 대상 기판(SUB)으로부터 어느 정도의 간격을 가져 공정 공간이 확보될 수 있는 범위 내에서 조절될 수 있다.

한편, 도면에서는 하나의 헤드 유닛(700)이 예시되어 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 대상 기판(SUB)에 복수의 잉크를 제공하는 공정의 경우, 잉크의 종류와 동일한 수의 헤드 유닛(700)이 배치될 수 있다.

헤드 유닛(700)은 프린트 헤드 이동부에 의해 수평 또는 수직 방향으로 이동될 수 있다. 프린트 헤드 이동부는 제1 수평 이동부(330), 제2 수평 이동부(320), 및 수직 이동부(340)를 포함할 수 있다.

제1 수평 이동부(330)는 수평 지지부(311) 상에 설치되고, 제2 수평 이동부(320)는 베이스 프레임(130) 상에 설치될 수 있다.

제1 수평 이동부(330)는 헤드 유닛(700)을 수평 지지부(311) 상에서 제2 방향(D2)으로 이동시키고, 제2 수평 이동부(320)는 수직 지지부(312)를 제1 방향(D1)으로 이동시켜 지지부(310)에 거치된 헤드 유닛(700)을 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다.

제1 수평 이동부(330)와 제2 수평 이동부(320)에 의한 수평 이동을 통해 대상 기판(SUB)보다 면적이 작은 헤드 유닛(700)으로도 대상 기판(SUB) 전 영역에 잉크를 분사하여 프린트 공정을 수행할 수 있다.

수직 이동부(340)는 수평 지지부(311) 상에서 헤드 유닛(700)의 위치를 수직 방향으로 승강시켜 헤드 유닛(700)과 스테이지(150) 간의 간격을 조절할 수 있다. 즉, 수직 이동부(340)에 의해 스테이지(150) 상에 대상 기판(SUB)이 배치되었을 때 헤드 유닛(700)이 대상 기판(SUB)으로부터 어느 정도의 간격을 가질 수 있도록 공정 공간이 확보될 수 있는 범위 내에서 조절될 수 있다.

도 9는 일 실시예에 따른 헤드 유닛의 사시도이다. 도 10은 일 실시예에 따른 헤드 유닛의 저면도이다. 도 11은 도 10의 I-I'을 따라 자른 단면도이다. 도 9 내지 도 11을 참조하여 헤드 유닛(700)의 구성에 대해 보다 상세히 설명한다.

헤드 유닛(700)은 헤드부(710) 및 바디부(720)를 포함할 수 있다.

바디부(720)는 내부에 형성된 바디 챔버(미도시)를 포함할 수 있다. 바디부(720)의 바디 챔버(미도시)에는 잉크가 공급되고, 공급된 잉크는 후술할 헤드부(710)의 제1 내부 유로(SM)를 통해 헤드 챔버(HC)에 공급될 수 있다. 후술하겠지만, 노즐(NZ)을 통해 토출되지 않은 잉크는 제2 내부 유로(RM)를 통해 다시 바디 챔버(미도시)로 돌아올 수 있다.

헤드부(710)는 헤드 유닛(700)의 저면을 이룰 수 있다. 즉, 헤드부(710)는 헤드 유닛(700)의 하부에 배치된 스테이지(150)와 대향할 수 있다. 헤드부(710)는 일 방향을 따라 연장된 형상을 가질 수 있다. 헤드부(710)의 연장 방향은 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 헤드부(710) 연장 방향은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)일 수 있다.

헤드부(710)는 노즐(NZ), 내부 유로(SM, RM) 및 헤드 챔버(HC)를 포함할 수 있다. 헤드부(710)는 또한 적층된 복수의 플레이트(NP, PP)를 포함하여 이루어질 수 있다. 복수의 플레이트(NP, PP)는 하나 이상의 노즐 플레이트(NP)와 하나 이상의 유로 플레이트(PP)를 포함할 수 있다. 하나 이상의 노즐 플레이트(NP)는 하나 이상의 유로 플레이트(PP)에 비해 상대적으로 하측에 배치될 수 있다. 적층된 플레이트(NP, PP)들은 일부 영역에서 제거되어 특정 공간을, 예컨대 노즐(NZ), 내부 유로(SM, RM) 및 헤드 챔버(HC) 등을 정의할 수 있다. 노즐(NZ)은 하나 이상의 노즐 플레이트(NP)에 의해 형성되고, 내부 유로(SM, RM)와 헤드 챔버(HC)는 하나 이상의 유로 플레이트(PP)에 의해 형성될 수 있다.

내부 유로(SM, RM)는 바디 챔버(미도시)로부터 헤드 챔버(HC)로 잉크가 이동하는 경로를 제공하는 제1 내부 유로(SM) 및 노즐(NZ)을 통해 토출되지 않은 잉크가 다시 바디 챔버(미도시)로 되돌아가는 경로를 제공하는 제2 내부 유로(RM)를 포함할 수 있다.

내부 유로(SM, RM)의 내부에는 잉크에 포함되어 있는 이물질을 제거하기 위한 필터(FT1, FT2)가 설치될 수 있다. 제1 내부 유로(SM)의 내부에는 제1 필터(FT1)가 배치되고, 제2 내부 유로(RM)의 내부에는 제2 필터(FT2)가 배치될 수 있다. 제1 필터(FT1) 및 제2 필터(FT2)는 잉크는 통과시키되, 기포 등 이물질은 통과시키지 않을 수 있다.

제1 필터(FT1)는 제1 내부 유로(SM)의 폭 전체를 커버하고, 제2 필터(FT2)는 제2 내부 유로(RM)의 폭 전체를 커버할 수 있다. 따라서, 제1 내부 유로(SM)를 지나는 잉크는 전량 제1 필터(FT1)를 통과하고, 제2 내부 유로(RM)를 지나는 잉크는 전량 제2 필터(FT2)를 통과할 수 있다.

헤드 챔버(HC)는, 헤드부(710) 내에서 잉크가 저장되는 공간을 제공할 수 있다. 후술하겠지만, 헤드 챔버(HC)는 상부에 배치된 멤브레인(MB)의 변형을 통해 부피가 변화할 수 있다.

헤드부(710)의 노즐(NZ)은 복수개일 수 있다. 일 실시예에서, 일 헤드부(710)에 포함된 노즐(NZ)의 수는 128개 내지 1800개일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.

복수의 노즐(NZ)은 잉크가 분사되는 경로를 제공할 수 있다. 복수의 노즐(NZ)은 노즐 플레이트(NP)를 관통하여 내부 유로(SM, RM) 및 헤드 챔버(HC)와 공간적으로 연결될 수 있다. 노즐(NZ)의 구체적인 형상에 대해서는 후술하기로 한다.

노즐(NZ)은 노즐 플레이트(NP)의 내부에 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이, 헤드 유닛(700)은 복수개의 노즐 플레이트(NP)를 포함할 수 있다. 복수개의 노즐 플레이트(NP)는 적층 구조를 형성할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 헤드 유닛(700)은 3개의 노즐 플레이트(NP)를 포함할 수 있다. 이하에서는, 제2 내부 유로(RM)의 저면을 구성하는 제1 노즐 플레이트(NP1), 제1 노즐 플레이트(NP1)의 하부에 배치된 제2 노즐 플레이트(NP2) 및 제2 노즐 플레이트(NP2)의 하부에 배치된 제3 노즐 플레이트(NP3) 등 3개의 노즐 플레이트(NP)를 포함하는 헤드 유닛(700)를 예로 하여 설명하지만, 일 헤드 유닛(700)에 포함되는 노즐 플레이트(NP)의 개수는 이에 제한되지 않는다.

각 노즐 플레이트(NP)의 저면에는 발수층(AW)이 배치될 수 있다. 발수층(AW)은 각 노즐 플레이트(NP)의 저면 전체를 커버할 수 있다. 여기서 발수의 의미는 물뿐만 아니라, 잉크 등 모든 액체에 의해 젖는 것을 방지한다는 것을 의미할 수 있다. 구체적으로, 제1 노즐 플레이트(NP1)의 저면에는 제1 발수층(AW1)이 배치되고, 제2 노즐 플레이트(NP2)의 저면에는 제2 발수층(AW2)이 배치되고, 제3 노즐 플레이트(NP3)의 저면에는 제3 발수층(AW3)이 배치될 수 있다.

노즐 플레이트(NP)의 표면 성질은 잉크 잉크 액체 방울을 크기, 잉크 토출 성능 및 안정성에 영향을 미칠 수 있다.

노즐 플레이트(NP)의 저면이 친수성(hydrophilicity)을 갖는 경우, 잉크 토출이 반복적으로 이루어짐에 따라 노즐 플레이트(NP)의 저면이 잉크 등에 의해 젖을 수 있다. 노즐 플레이트(NP)의 표면이 젖으면 잉크가 노즐 플레이트(NP)의 표면에 젖어있는 잉크와 덩어리를 형성하게 되어 잉크가 완전한 액체 방울의 형태를 가지지 못한 채 흘러내리는 방식으로 토출될 수 있다. 그 결과, 잉크의 토출 방향이 왜곡되고 토출 속도가 감소되어 인쇄품질이 저하되고, 잉크 토출 후 형성되는 메니스커스(meniscus)도 불안정하게 될 수 있다.

발수층(AW)은 노즐 플레이트(NP)의 저면이 잉크에 의해 젖는 것을 방지하여 상술한 노즐(NZ) 토출 품질을 개선하는 역할을 할 수 있다. 발수층(AW)은 실리콘계 화합물 또는 불소계 화합물을 사용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 테플론계 물질인 PTFE(polytetra teflon ethyleneglycol)이 사용될 수 있다. 또한, 발수층(AW)은 여러 가지 코팅 또는 증착 방법에 의해 형성될 수 있다. 예를 들어, 발수층(AW)은 스핀 코팅, 물리적 기상 증착법(PVD, Physical Vapor Deposition), 화학적 기상 증착법(CVD, Chemical Vapor Deposition), 또는 원자층 증착법(ALD, Atomic Layer Deposition) 등으로 형성될 수 있다.

각 노즐 플레이트(NP) 사이에는 접착층(AL)이 개재될 수 있다. 각 노즐 플레이트(NP)는 접착층(AL)을 통해 상호 결합할 수 있다. 구체적으로, 일 접착층(AL)의 상면은 상부 노즐 플레이트(NP)의 하면에 배치된 발수층(AW)과 접하고, 접착층(AL)의 하면은 하부 노즐 플레이트(NP)의 상면과 접할 수 있다. 접착층(AL)은 해당 접착층(AL)과 접하는 노즐 플레이트(NP)의 상면 전체를 커버할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 발수층(AW1) 및 제2 노즐 플레이트(NP2) 사이에는 제1 접착층(AL1)이 개재되고, 제2 발수층(AW1) 및 제3 노즐 플레이트(NP3) 사이에는 제2 접착층(AL2)이 개재될 수 있다.

접착층(AL) 및 접착층(AL)과 접하는 노즐 플레이트(NP)의 상면 간의 접착력은 접착층(AL) 및 접착층(AL)과 접하는 발수층(AW) 간의 접착력보다 클 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 하부 노즐 플레이트(NP) 탈착시 상부 노즐 플레이트(NP)의 하면에 배치되는 발수층(AW)은 탈착되지 않을 수 있다. 접착층(AL)은 열경화성 수지를 포함하는 열경화성 접착시트일 수 있으나, 이에 제한되지 않고 기타 다양한 재료를 포함하는 접착제를 포함할 수도 있다.

노즐 플레이트(NP)는 각 노즐 플레이트(NP)를 두께방향으로 관통하는 복수개의 관통홀을 포함할 수 있다. 각 관통홀의 내부 구조는 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 구조를 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않고 일정한 폭을 갖거나 제3 방향(D3) 일측으로 갈수록 폭이 넓어지는 구조를 가질 수도 있다. 예를 들어, 관통홀의 상측의 폭은 하측의 폭보다 클 수 있다.

노즐 플레이트(NP)의 관통홀은 격자 구조로 형성될 수 있다. 노즐 플레이트(NP)의 관통홀은 1열 또는 복수개의 열로 배열되며, 각 열은 복수개의 관통홀을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 노즐 플레이트(NP)는 제1 방향(D1)으로 4열, 제2 방향(D2)으로 320행의 격자 구조로 형성된 관통홀을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.

각 노즐 플레이트(NP)에 형성된 각 관통홀들은, 노즐 플레이트(NP)들이 적층 구조로 형성됨에 따라 상호 중첩할 수 있다. 적층 구조 노즐 플레이트(NP)의 상호 중첩하는 복수의 관통홀들은 노즐(NZ)을 구성할 수 있다. 즉, 노즐(NZ)은 상호 중첩하는 노즐 플레이트(NP)의 관통홀들의 집합일 수 있다. 노즐(NZ)의 내부 구조는 상술한 관통홀의 내부 구조가 노즐 플레이트(NP)의 개수만큼 반복되는 구조일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 복수의 노즐(NZ)은 제1 방향(D1)으로 4열, 제2 방향(D2)으로 320행의 격자 구조로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.

제1 내부 유로(SM)으로부터 공급된 잉크는 복수의 노즐(NZ)을 통해 분사될 수 있다. 복수의 노즐(NZ)을 통해 분사된 잉크는 대상 기판(SUB)의 상면으로 공급될 수 있다. 일 실시예에서, 각 노즐(NZ)의 1회 토출량은 1 내지 50pl(picoliter)일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 노즐(NZ)을 통한 잉크의 분사량은 압전 구동부(PZD)에 의해 조절될 수 있다. 압전 구동부(PZD)에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.

노즐 플레이트(NP)는 외측으로 돌출된 돌출부(PT1, PT2)를 포함할 수 있다. 돌출부(PT1, PT2)는 일 노즐 플레이트(NP)에서 상부에 배치된 노즐 플레이트(NP)에 비해 외측으로 돌출된 부분일 수 있다. 돌출부(PT1, PT2)는 해당 돌출부(PT1, PT2)와 물리적으로 연결된 노즐 플레이트(NP)의 탈착을 용이할 수 있다. 예를 들어, 펜치 또는 니퍼 등의 공구를 통해 돌출부(PT1, PT2)를 파지하여 해당 돌출부(PT1, PT2)가 연결된 노즐 플레이트(NP)를 탈착할 수 있다.

돌출부(PT1, PT2)는 노즐 플레이트(NP)의 여러 변 중, 하나의 변에 배치될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 복수의 변에 배치될 수도 있다. 돌출부(PT1, PT2)를 포함하는 노즐 플레이트(NP)에서, 돌출부(PT1, PT2)는 일 측면의 전체에 걸쳐 외측으로 돌출될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.

예시적인 실시예에서, 제2 노즐 플레이트(NP2)는 제1 돌출부(PT1)를 포함하고, 제3 노즐 플레이트(NP3)는 제2 돌출부(PT2)를 포함할 수 있다. 유로 플레이트(PP)와 접하는 제1 노즐 플레이트(NP1)는 돌출부(PT1, PT2)를 포함하지 않을 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.

노즐 플레이트(NP)는 미세 가공성이 양호한 재질의 기판으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 노즐 플레이트(NP)는 스테인리스 기판 또는 실리콘 기판으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 노즐 플레이트(NP)의 두께는 약 20um 내지 100um일 수 있다. 예를 들어, 노즐 플레이트(NP)는 약 50um의 두께를 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.

노즐 플레이트(NP) 상부에는 유로 플레이트(PP)가 배치될 수 있다. 유로 플레이트(PP)는 상술한 내부 유로(SM, RM) 및 헤드 챔버(HC)를 형성할 수 있다.

일 실시예에 따른 헤드 유닛(700)은 복수개의 유로 플레이트(PP)를 포함할 수 있다. 복수개의 유로 플레이트(PP)는 적층 구조를 형성할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 헤드 유닛(700)은 5개의 유로 플레이트(PP)를 포함할 수 있다. 이하에서는, 노즐 플레이트(NP)상에 배치되는 제5 유로 플레이트(PP5), 제5 유로 플레이트(PP5) 상에 배치되는 제4 유로 플레이트(PP4), 제4 유로 플레이트(PP4) 상에 배치되는 제3 유로 플레이트(PP3), 제3 유로 플레이트(PP3) 상에 배치되는 제2 유로 플레이트(PP2), 및 제2 유로 플레이트(PP2) 상에 배치되는 제1 유로 플레이트(PP1) 등 5개의 유로 플레이트(PP)를 포함하는 헤드 유닛(700)을 예로 하여 설명하지만, 일 헤드 유닛(700)에 포함되는 유로 플레이트(PP)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 또한, 유로 플레이트(PP) 내부에 형성되는 내부 유로(SM, RM) 및 헤드 챔버(HC) 등도 다양한 형태로 다양하게 배치될 수 있다.

유로 플레이트(PP) 내부에는 내부 유로(SM, RM) 및 헤드 챔버(HC)가 형성될 수 있다. 바디부(720)의 바디 챔버(미도시)로부터 공급된 잉크는 잉크 인렛(IL)을 거쳐 유로 플레이트(PP)의 내부로 유입될 수 있다. 헤드 챔버(HC)는 유로 플레이트(PP) 내부에 형성되며, 제1 내부 유로(SM)을 통해 유입된 잉크가 저장될 수 있다. 유로 플레이트(PP) 내부에는 잉크 인렛(IL)과 헤드 챔버(HC)를 연결하는 제1 내부 유로(SM)가 형성될 수 있다. 헤드 챔버(HC)에 채워진 잉크는 노즐(NZ)을 통하여 액체 방울의 형태로 토출될 수 있다. 헤드 챔버(HC)는 노즐(NZ) 각각에 대해 하나씩 대응되어 배치될 수 있다. 노즐(NZ)을 통하여 토출되지 않은 잉크는 제2 내부 유로(RM)를 통해 잉크 아웃렛(OL)을 거쳐 바디부(720)의 바디 챔버(미도시)로 되돌아 갈 수 있다.

잉크 인렛(IL)은 가장 상부에 위치한 기판, 즉 제1 유로 플레이트(PP1)을 관통하도록 형성될 수 있으며, 헤드 챔버(HC)는 멤브레인(MB)과 제4 유로 플레이트(PP4) 사이에 형성될 수 있다.

제1 내부 유로(SM)는 제2 유로 플레이트(PP2)와 제4 유로 플레이트(PP4)사이에 형성되고, 제2 내부 유로(RM)은 제4 유로 플레이트(PP4)와 노즐 플레이트(NP) 사이에 형성될 수 있다.

유로 플레이트(PP)는 미세 가공성이 양호한 재질의 기판으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 유로 플레이트(PP)는 스테인리스 기판 또는 실리콘 기판으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 유로 플레이트(PP)의 두께는 약 20um 내지 100um일 수 있다. 예를 들어, 유로 플레이트(PP)는 약 50um의 두께를 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.

유로 플레이트(PP)는 노즐 플레이트(NP)와 동일한 재질로 이루어질 수 있으며, 동일한 두께를 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.

도시되지 않았지만, 적층 구조를 형성하는 각각의 유로 플레이트(PP) 사이에는 접착층(미도시)이 개재될 수 있다. 유로 플레이트(PP) 사이에 개재되는 접착층(미도시)은 노즐 플레이트(NP) 사이에 개재되는 접착층(AL)과 동일한 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.

일 실시예에 따른 헤드 유닛(700)은 압전 구동부(PZD)를 더 포함할 수 있다. 압전 구동부(PZD)는 각 노즐(NZ)의 잉크 분사량을 조절하며, 각 노즐(NZ)마다 하나씩 배치될 수 있다. 압전 구동부(PZD)는 헤드 챔버(HC)의 상부에 배치될 수 있다. 압전 구동부(PZD) 및 헤드 챔버(HC) 사이에는 멤브레인(MB)이 배치될 수 있다. 멤브레인(MB)은 헤드 챔버(HC)의 천장을 이룰 수 있다.

압전 구동부(PZD)에 구동 신호를 인가하면, 압전 구동부(PZD)와 함께 그 아래의 멤브레인(MB)이 변형되면서 헤드 챔버(HC)의 부피가 감소하며, 헤드 챔버(HC) 내 압력이 증가할 수 있다. 헤드 챔버(HC)내의 압력 증가에 의해 헤드 챔버(HC)내의 잉크는 노즐(NZ)을 통해 외부로 토출될 수 있다.

압전 구동부(PZD)에 전달되는 구동 신호는 헤드 유닛(700) 외부에 배치되는 압전 제어부(PZC)에 의해 제어될 수 있다.

도 12는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치를 검사하는 과정을 나타낸 순서도이다. 도 13 및 도 14은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치를 이용하여 탄착점을 형성한 기판의 사시도이다. 도 15 내지 도 17은 오염된 헤드 유닛에서 노즐 플레이트를 제거하는 과정을 나타낸 단면도이다.

도 12, 도 13 및 도 14를 참조하면, 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치를 검사하는 과정은 대상 기판 상에 잉크젯 프린팅 n회 반복(S11)하는 과정을 포함할 수 있다. 대상 기판(SUB1)에는 잉크젯 프린트 장치(1000)로부터 잉크가 토출되어 탄착점(HP)들을 형성할 수 있다. 탄착점(HP)들은 일렬로 배열될 수 있다. 일렬로 배열된 탄착점(HP)들은 가상의 탄착 라인(HL)을 형성할 수 있다.

잉크젯 프린트 장치(1000)를 이용하여 잉크젯 프린팅을 복수회 시행할 경우, 시행될수록 잉크젯 프린트 장치(1000)의 노즐(NZ)에 오염물이 형성되어 도 14에 도시된 바와 같이, 탄착점(HP)들은 탄착 라인(HL)으로부터 이격되어 형성될 수 있다. 표시 장치(1)의 성능을 고려할 때, 탄착 라인(HL)으로부터 탄착점(HP)까지의 얼라인 오차(d)는 약 10um 이하인 것이 바람직할 수 있다.

따라서, 잉크젯 프린팅 장치(1000)를 테스트하는 과정으로서 대상 기판(SUB1) 상에 잉크젯 프린팅을 n회 반복할 때마다 시험용 기판(SUB2) 상에 얼라인 오차(d)를 확인하는 과정(S21)이 시행될 수 있다. 대상 기판(SUB1)에 대한 잉크젯 프린팅 반복 시행에 대하여 n회로 기재하였으나, 러닝 타임을 기준으로 약 10시간 내지 20시간일 수 있다.

시험용 기판(SUB2)에 찍힌 탄착점(HP)들은 탄착 라인(HL)으로부터 이격되어 얼라인 오차(d)를 형성할 수 있는데, 얼라인 오차(d)가 10um 이상인 탄착점(HP)이 없을 경우, 다시 대상 기판(SUB1)에 잉크젯 프린팅하는 공정(S11)이 수행될 수 있다. 이 경우에는 앞서 수행한 잉크젯 프린팅 공정보다 짧은 러닝 타임동안 수행될 수 있다. 그 이후에는 다시 잉크젯 프린팅 장치(1000)를 테스트하는 과정(S21)이 수행될 수 있다.

시험용 기판(SUB2)에 형성된 복수의 탄착점(HP)들 중 탄착 라인(HL)으로부터의 얼라인 오차(d)가 10um 이상인 탄착점(HP)이 적어도 하나 존재할 경우, 최외곽 노즐 플레이트를 분리할 수 있다(S31). 헤드 유닛(700)에서 최외곽 노즐 플레이트(NP3)를 분리함으로써, 노즐(NZ) 주변에 형성된 오염물을 제거할 수 있다.

이와 같은 과정은 노즐 플레이트(NP)가 0개가 될 때까지 반복될 수 있다(S41).

이하, 헤드 유닛(700)에서 오염물이 쌓인 노즐 플레이트(NP)를 제거하는 과정에 대해 설명한다.

도 15 내지 도 17을 참조하면, 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000)를 통해 잉크 토출 과정을 반복할 경우, 노즐(NZ)의 토출구 부근에는 잉크에 포함된 유기물 또는 무기물을 포함하는 오염물(CT)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 오염물(CT)은 도 2를 참조하여 상술한 파장 변환 물질(WCP1, WCP2), 산란체(SCP) 및 베이스 수지(BRS1, BSR2, BSR3)을 포함할 수 있다.

이와 같이, 노즐(NZ)의 토출구 부근에 오염물(CT)이 형성되면 노즐(NZ)이 막히거나 또는 잉크의 토출 경로가 변화함에 따라 도 14에 도시된 바와 같은 잉크의 탄착 불량이 발생할 수 있다.

도 15에는 최외곽 노즐 플레이트(NP)인 제3 노즐 플레이트(NP3)에만 오염물(CT)이 형성된 경우를 예시하였으나, 이에 제한되지 않고 오염물(CT)은 복수의 노즐 플레이트(NP)에 형성될 수 있다.

이를 해결하기 위하여 오염물(CT)이 형성된 노즐 플레이트(NP)를 제거할 수 있다. 제2 돌출부(PT2)를 파지하여 오염물(CT)이 형성된 제3 노즐 플레이트(NP3)를 탈착할 수 있다. 구체적인 탈착 방법은 돌출부(PT1, PT2)에 관한 설명에서 상술한 바와 같다.

오염물(CT)이 형성된 제3 노즐 플레이트(NP3)가 탈착되면 노즐(NZ)의 통해 토출되는 잉크는 도 13에서 도시된 바와 같이 일정한 탄착 라인(HL)을 따라 탄착점(HP)을 형성할 수 있다.

일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000)는 적층 구조의 복수의 노즐 플레이트(NP)를 포함하고, 각각의 노즐 플레이트(NP)들은 용이하게 탈착될 수 있다. 따라서, 노즐(NZ)에 문제가 발생할 경우, 해당 노즐(NZ)을 포함하는 노즐 플레이트(NP)만을 제거하여 헤드 유닛(700) 교체 비용을 절감할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(700)의 교체 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

이하, 잉크젯 프린트 장치(1000)에 대한 다른 실시예에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서, 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하거나 간략화하고, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.

도 18은 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트를 나타낸 사시도이다.

도 18을 참조하면, 본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_1)는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000)에 포함되는 노즐 플레이트(NP)와 다른 노즐 플레이트(NP_1)를 포함한다는 점에서 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000)와 차이가 있다. 이하, 일 실시예에 따른 노즐 플레이트(NP)와 본 실시예에 따른 노즐 플레이트(NP_1)의 차이점을 위주로 설명한다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_1)는 노즐 플레이트(NP_1)의 일 측면에서 부분적으로 외측으로 돌출된 돌출부(PT1_1, PT2_1)를 포함할 수 있다. 도 18에는 노즐 플레이트(NP_1)의 단변을 포함하는 측면에 배치된 돌출부(PT1_1, PT2_1)를 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 노즐 플레이트(NP_1)의 장변을 포함하는 측면에 배치될 수도 있다. 또한, 일 노즐 플레이트(NP_1)에는 복수개의 돌출부(PT1_1, PT2_1)가 배치될 수도 있다.

돌출부(PT1_1, PT2_1)의 폭은 각 돌출부(PT1_1, PT2_1)가 배치된 각 측면의 폭보다 작을 수 있다. 또한, 돌출부(PT1_1, PT2_1)의 두께는 각 돌출부(PT1_1, PT2_1)와 물리적으로 연결된 각 노즐 플레이트(NP_1)의 두께와 동일할 수 있으나, 이에 제한되지 않고 보다 작은 두께를 가질 수도 있다. 각 돌출부(PT1_1), PT2_1)는 파지되기 용이하도록 두께 방향으로 중첩하지 않을 수 있다.

예시적인 실시예에서, 제2 노즐 플레이트(NP2_1)는 제1 돌출부(PT1_1)를 포함하고, 제3 노즐 플레이트(NP3_1)는 제2 돌출부(PT2_1)를 포함할 수 있다. 제1 돌출부(PT1_1)는 제2 노즐 플레이트(NP2_1)의 일측면의 일부를 커버하고, 제2 돌출부(PT2_1)는 제3 노즐 플레이트(NP3_1)의 일측면의 일부를 커버할 수 있다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_1)는 적층 구조의 복수의 노즐 플레이트(NP_1)를 포함하고, 각각의 노즐 플레이트(NP_1)들은 용이하게 탈착될 수 있다. 따라서, 노즐(NZ_1)에 문제가 발생할 경우, 해당 노즐(NZ_1)을 포함하는 노즐 플레이트(NP_1)만을 제거하여 헤드 유닛(700_1) 교체 비용을 절감할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(700_1)의 교체 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

도 19는 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트를 나타낸 사시도이다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_2)는 영역별로 구분된 노즐 플레이트(NP_2)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 본 실시예에 따른 노즐 플레이트(NP_2)는 장변을 따라 배열된 복수개의 서브 노즐 플레이트들로 구분될 수 있다. 일 노즐 플레이트(NP_2)에 포함되는 서브 노즐 플레이트의 개수는 2개 이상이며, 장변을 따라 배치된 노즐(NZ_2)의 개수보다 작거나 같을 수 있다. 제2 노즐 플레이트(NP2_2) 및 제3 노즐 플레이트(NP3_2)의 장변을 포함하는 측면에는 돌출부(PT_2)들이 배치될 수 있다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_2)는 적층 구조의 복수의 노즐 플레이트(NP_2)를 포함하고, 각각의 노즐 플레이트(NP_2)들은 용이하게 탈착될 수 있다. 따라서, 노즐(NZ_2)에 문제가 발생할 경우, 해당 노즐(NZ_2)을 포함하는 노즐 플레이트(NP_2)만을 제거하여 헤드 유닛(700_2) 교체 비용을 절감할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(700_2)의 교체 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

도 20은 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트를 나타낸 사시도이다.

도 20을 참조하면, 본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_3)는 영역별로 구분된 노즐 플레이트(NP_3)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 본 실시예에 따른 노즐 플레이트(NP_3)는 단변을 따라 배열된 복수개의 서브 노즐 플레이트들로 구분될 수 있다. 일 노즐 플레이트(NP_3)에 포함되는 서브 노즐 플레이트의 개수는 둘 이상이며, 단변을 따라 배치된 노즐(NZ_3)의 개수보다 작거나 같을 수 있다. 일 실시예에 따른 노즐 플레이트(NP_3)는 4개의 서브 노즐 플레이트를 포함할 수 있으나, 서브 노즐 플레이트의 개수는 이에 제한되지 않는다. 제2 노즐 플레이트(NP2_3) 및 제3 노즐 플레이트(NP3_3)의 단변을 포함하는 측면에는 돌출부(PT_3)들이 배치될 수 있다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_3)는 적층 구조의 복수의 노즐 플레이트(NP_3)를 포함하고, 각각의 노즐 플레이트(NP_3)들은 용이하게 탈착될 수 있다. 따라서, 노즐(NZ_3)에 문제가 발생할 경우, 해당 노즐(NZ_3)을 포함하는 노즐 플레이트(NP_3)만을 제거하여 헤드 유닛(700_3) 교체 비용을 절감할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(700_3)의 교체 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

도 21은 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트의 노즐의 단면도이다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_4)는 각 노즐 플레이트(NP_4)에 형성된 관통홀이 정렬되지 않을 수 있다. 구체적으로, 제1 노즐 플레이트(NP1_4)에 포함된 관통홀의 중심을 통과하는 제1 가상선(L1), 제2 노즐 플레이트(NP2_4)에 포함된 관통홀의 중심을 통과하는 제2 가상선(L2) 및 제3 노즐 플레이트(NP3_4)에 포함된 관통홀의 중심을 통과하는 제3 가상선(L3)은 정렬되지 않을 수 있다. 본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_4)에서 토출되는 잉크는 대체로 제1 내지 제3 가상선(L1, L2, L3)을 따라 토출될 수 있다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_4)는 적층 구조의 복수의 노즐 플레이트(NP_4)를 포함하고, 각각의 노즐 플레이트(NP_4)들은 용이하게 탈착될 수 있다. 따라서, 노즐(NZ_4)에 문제가 발생할 경우, 해당 노즐(NZ_4)을 포함하는 노즐 플레이트(NP_4)만을 제거하여 헤드 유닛(700_4) 교체 비용을 절감할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(700_4)의 교체 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

도 22는 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트의 노즐의 단면도이다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_5)는 각 노즐 플레이트(NP_5)에 형성된 관통홀의 폭이 상이할 수 있다. 구체적으로, 제1 노즐 플레이트(NP1_5)에 포함된 관통홀의 폭인 제1 폭(W1), 제2 노즐 플레이트(NP2_5)에 포함된 관통홀의 폭인 제2 폭(W2) 및 제3 노즐 플레이트(NP3_5)에 포함된 관통홀의 폭인 제3 폭(W3)은 상이할 수 있다.

예시적인 실시예에서, 적층 구조를 형성하는 노즐 플레이트(NP_5)에서 하측으로 갈수록 노즐(NZ_5)의 폭이 커질 수 있다. 예를 들어, 제2 폭(W2)은 제1 폭(W1)보다 크고, 제3 폭(W3)은 제2 폭(W2)보다 클 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 하측으로 갈수록 폭이 커질 경우, 토출되는 잉크가 받는 노즐(NZ_5)의 영향을 최소화할 수 있다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_5)는 적층 구조의 복수의 노즐 플레이트(NP_5)를 포함하고, 각각의 노즐 플레이트(NP_5)들은 용이하게 탈착될 수 있다. 따라서, 노즐(NZ_5)에 문제가 발생할 경우, 해당 노즐(NZ_5)을 포함하는 노즐 플레이트(NP_5)만을 제거하여 헤드 유닛(700_5) 교체 비용을 절감할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(700_5)의 교체 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

도 23은 또 다른 실시예에 따른 노즐 플레이트의 노즐의 단면도이다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_6)는 각 노즐 플레이트(NP1_6, NP2_6, NP3_6)에 형성된 관통홀의 폭이 일정하여 노즐 플레이트(NP_6)에 형성된 노즐(NZ_6)의 폭(W_6)이 노즐 플레이트(NP_6)의 전체에 걸쳐 일정할 수 있다. 제1 노즐 플레이트(NP1_6)에 포함된 관통홀의 폭, 제2 노즐 플레이트(NP2_6)에 포함된 관통홀의 폭 및 제3 노즐 플레이트(NP3_6)에 포함된 관통홀은 동일할 수 있다.

본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000_6)는 적층 구조의 복수의 노즐 플레이트(NP_6)를 포함하고, 각각의 노즐 플레이트(NP_6)들은 용이하게 탈착될 수 있다. 따라서, 노즐(NZ_6)에 문제가 발생할 경우, 해당 노즐(NZ_6)을 포함하는 노즐 플레이트(NP_6)만을 제거하여 헤드 유닛(700_6) 교체 비용을 절감할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(700_6)의 교체 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 본 발명을 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

1000: 잉크젯 프린트 장치
700: 헤드 유닛
NZ: 노즐
NP: 노즐 플레이트
PP: 유로 플레이트
AW: 발수층
AL: 접착층

Claims

내부에 헤드 챔버가 배치되는 유로 플레이트; 및
상기 유로 플레이트의 하부에 배치되고 상기 헤드 챔버와 공간적으로 연결되며 하면을 통해 개구된 노즐을 포함하는 복수의 노즐 플레이트를 포함하되,
상기 복수의 노즐 플레이트는 상호 적층되고,
상기 각 노즐 플레이트는 서로 중첩하는 관통홀을 포함하며,
상기 노즐은 상기 서로 중첩하는 상기 관통홀을 포함하여 이루어지는 잉크젯 프린트 장치.
제1 항에 있어서,
상기 각 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며, 외측으로 돌출된 돌출부를 포함하는 잉크젯 프린트 장치.
제1 항에 있어서,
상기 각 노즐 플레이트의 하면에는 발수층이 배치되는 잉크젯 프린트 장치.
제3 항에 있어서,
상기 발수층 및 상기 발수층 하부에 배치된 상기 노즐 플레이트 사이에는 접착층이 배치되는 잉크젯 프린트 장치.
제4 항에 있어서,
상기 접착층 및 상기 노즐 플레이트 간의 접착력은 상기 접착층 및 상기 발수층 간의 접착력보다 큰 잉크젯 프린트 장치.
제1 항에 있어서,
상기 각 관통홀 내부의 상측은 제1 폭을 갖고, 하측은 제2 폭을 갖되,
상기 제1 폭은 상기 제2 폭보다 큰 잉크젯 프린트 장치.
제6 항에 있어서,
하부에 배치되는 상기 노즐 플레이트의 상기 제1 폭은 상부에 배치되는 상기 노즐 플레이트의 상기 제1 폭보다 큰 잉크젯 프린트 장치.
제1 항에 있어서,
상기 복수의 노즐 플레이트는,
제1 노즐 플레이트; 및
상기 제1 노즐 플레이트 상에 배치되는 제2 노즐 플레이트를 포함하는 잉크젯 프린트 장치.
제8 항에 있어서,
상기 제2 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며 상기 제1 노즐 플레이트보다 외측으로 돌출된 돌출부를 포함하는 잉크젯 프린트 장치.
제8 항에 있어서,
상기 제1 노즐 플레이트의 하면에는 제1 발수층이 배치되고, 상기 제2 노즐 플레이트의 하면에는 제2 발수층이 배치되는 잉크젯 프린트 장치.
제10 항에 있어서,
상기 제2 발수층 및 상기 제1 노즐 플레이트 사이에는 접착층이 배치되는 잉크젯 프린트 장치.
제11 항에 있어서,
상기 제1 노즐 플레이트 및 상기 접착층 간의 접착력은 상기 제2 발수층 및 상기 접착층 간의 접착력보다 큰 잉크젯 프린트 장치.
제8 항에 있어서,
상기 제1 노즐 플레이트에 포함된 관통홀의 일측의 폭은 상기 제2 노즐 플레이트에 포함된 관통홀의 일측의 폭보다 큰 잉크젯 프린트 장치.
제1 항에 있어서,
상기 유로 플레이트 상에 배치되는 멤브레인; 및
상기 멤브레인 상에 배치되며 입력 신호에 따라 부피가 변화하는 압전 구동부를 더 포함하되,
상기 압전 구동부는 상기 멤브레인의 모양을 변형시키는 잉크젯 프린트 장치.
제14 항에 있어서,
상기 압전 구동부는 상기 헤드 챔버의 부피를 변화시키는 잉크젯 프린트 장치.
제1 항에 있어서,
상기 각 노즐 플레이트는 일 방향으로 배열된 복수개의 서브 노즐 플레이트를 포함하는 잉크젯 프린트 장치.
제16 항에 있어서,
상기 각 서브 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며, 외측으로 돌출된 돌출부를 포함하는 잉크젯 프린트 장치.
관통홀이 서로 중첩된 복수의 노즐 플레이트를 포함하는 잉크젯 프린트 장치를 이용하여 잉크를 분사하는 단계;
상기 분사된 잉크 패턴의 불량 여부를 판단하는 단계;
상기 분사된 잉크 패턴이 불량이면 상기 복수의 노즐 플레이트 중 최외곽 노즐 플레이트를 제거하는 단계; 및
잔류하는 상기 노즐 플레이트의 상기 관통홀을 이용하여 잉크를 분사하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린트 방법.
제18 항에 있어서,
상기 노즐 플레이트는 일측면에 배치되며, 외측으로 돌출된 돌출부를 포함하되,
상기 최외곽 노즐 플레이트를 제거하는 단계는 상기 돌출부를 파지하여 상기 노즐 플레이트를 탈착하는 과정을 포함하는 잉크젯 프린트 방법.
제18 항에 있어서,
상기 잉크를 분사하는 단계는 서로 중첩된 상기 관통홀을 포함하며 이루어진 노즐을 통해 잉크가 토출되는 과정을 포함하는 잉크젯 프린트 방법.