KR20220003017U - 센서 브래킷 - Google Patents

Abstract

본 고안은 센서 브래킷에 관한 것으로서, 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정 등에서 각종 약액들을 기판에 공급하기 위한 이송 튜브 또는 이송 튜브로 약액을 제공하기 위한 약액 보관 용기에 센서를 고정되게 설치하기 위한 것이며, 일측에 센서의 일부가 삽입되어 고정되기 위한 센서 삽입 홀이 형성되고, 타측에는 이송 튜브가 몸체와 교차되는 방향으로 삽입되기 위하여 절개되어 튜브 홀이 형성된 몸체; 상기 몸체의 튜브 홀에 이송 튜브가 삽입되어 고정되도록 상기 몸체와 착탈가능하게 결합되는 결합 링을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.

Description

센서 브래킷{Sensor braket}

본 고안은 센서 브래킷에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정에서 사용되는 약액의 이송 튜브 또는 약액의 보관 용기 액면계에 설치되기 위한 센서를 고정시키되, 착탈이 간편하여 설치 및 위치 이동이 용이하도록 한 센서 브래킷에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체소자 또는 액정디스플레이장치를 제조하기 위해서는, 기판에 포토리소그라피, 식각, 에싱, 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행되는데, 이러한 공정들은 기판 상에 다양한 약액들을 공급하면서 수행이 이루어지게 된다.

따라서, 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정에는 다양한 약액들을 기판에 공급하기 위한 이송 튜브가 구비되고, 이러한 이송 튜브로 약액을 제공하기 위한 약액 보관 용기가 구비된다.

이와 같이, 반도체 제조공정 또는 액정디스플레이장치 제조공정은 매우 정밀한 공정이 요구되기 때문에, 약액도 기판에 설정된 양으로 정밀하게 공급되어야 하는바, 약액의 이송 튜브 및 약액의 보관 용기에는 각종 센서가 장착되게 된다.

즉, 약액의 이송 튜브에는 이 이송 튜브를 통과하는 약액의 유량과 유속 등을 감지하기 위한 센서가 설치되고, 약액의 보관 용기에는 약액의 잔량 등을 감지하기 위한 센서가 설치된다.

이와 같은 센서는 이송 튜브 등에 직접 설치가 곤란하므로, 별도의 브래킷에 의해 고정되게 설치가 이루어지게 되는데, 종래에는 이송 튜브에 별도의 서포트를 설치하고, 이 서포트에 센서가 고정되게 설치되는 브래킷을 구비한 후, 브래킷을 서포트에 결합시킴에 따라 센서를 이송 튜브에 설치하였었다.

그러나, 상기한 센서의 설치 구조는, 이송 튜브에 별도의 서포트를 설치하여야 함으로써, 그 설치 및 분해가 용이하지 못하는 등 작업성이 좋지 못하고, 또한 서포트 설치를 위한 별도의 공간을 필요로 하는바, 공간이 협소한 위치에는 센서의 설치가 어려운 문제점이 있었다.

이에, 최근에는 도 1에 도시된 바와 같이, 센서(S)가 삽입되어 고정되는 브래킷(20)을 이송 튜브(10)에 교차되는 방향으로 배치시킨 상태에서, 브래킷(20)의 선단에 형성되는 암나사부에 별도의 수나사 캡(30)을 나사체결시킴으로써, 이송 튜브(10)에 센서(S)가 설치되도록 하고 있으나, 이의 경우에도 공간이 협소한 위치에서 작업자가 나사체결하기가 용이하지 못하는 등 작업성이 좋지 못한 문제점이 있었으며, 나사체결이 제대로 이루어지지 않는 경우 센서가 제 위치에 고정되지 못하고 이탈됨에 따라 반도체 또는 액정디스플레이장치의 제조공정이 원활히 이루어지지 못하게 되는 문제점이 있었다.

한국등록특허 제10-1931969호(2018.12.18.) 한국등록특허 제10-0823303호(2008.04.11.)

본 고안은 상기와 같은 제반 문제점에 착안하여 안출된 것으로서, 본 고안이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정에서 사용되는 약액의 이송 튜브 또는 약액의 보관 용기 액면계에 설치되기 위한 센서를 고정시키되, 착탈이 간편하여 설치 및 위치 이동이 용이하도록 한 센서 브래킷을 제공하는 것이다.

즉, 본 고안이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 이송 튜브 또는 약액의 보관용기 액면계 등의 원하는 위치에 센서를 간단히 고정되게 결합시키되, 그 착탈이 용이하여 그 위치 이동도 간편히 이루어질 수 있도록 함은 물론, 공간이 협소한 위치에서도 작업자가 용이하게 센서를 설치 및 분리할 수 있도록 함으로써, 전체적인 작업성을 향상시킬 수 있는 센서 브래킷을 제공하는 것이다.

본 고안의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷은, 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정 등에서 각종 약액들을 기판에 공급하기 위한 이송 튜브 또는 이송 튜브로 약액을 제공하기 위한 약액 보관 용기에 센서를 고정되게 설치하기 위한 것으로서, 일측에 센서의 일부가 삽입되어 고정되기 위한 센서 삽입 홀이 형성되고, 타측에는 이송 튜브가 몸체와 교차되는 방향으로 삽입되기 위하여 절개되어 튜브 홀이 형성된 몸체; 상기 몸체의 튜브 홀에 이송 튜브가 삽입되어 고정되도록 상기 몸체와 착탈가능하게 결합되는 결합 링을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.

여기서, 상기 몸체의 타측에 형성되는 튜브 홀에 의해 서로 마주보는 방향으로 한 쌍의 파지부가 형성되고, 상기 한 쌍의 파지부는 절개된 튜브 홀을 사이에 두고 포개어지거나 벌어지게 되면서 튜브 홀의 간격을 조절할 수 있다.

이 때, 상기 한 쌍의 파지부에서 선단 측 내면은 후단을 향할수록 내측 방향으로 일정 길이만큼 가이드 경사면을 이루고, 선단 측 외면 또한 후단을 향할수록 외측 방향으로 삽입 경사면을 이룸에 따라 선단 측으로부터 후단 측을 향할수록 점차적으로 그 두께가 두껍게 형성될 수 있다.

또한, 상기 한 쌍의 파지부에서 후단 측 둘레에는 일정 깊이만큼 패인 안착 홈이 형성되고, 선단 측 외면에 형성되는 상기 삽입 경사면은 안착 홈까지 형성될 수 있다.

한편, 상기 결합 링의 일측 단 내면 둘레에는 내측으로 향할수록 점차적으로 지름이 감소되게 테이퍼 면이 형성될 수 있다.

본 고안의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷에 의하면, 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정에서 사용되는 약액의 이송 튜브 또는 약액의 보관 용기 액면계에 설치되기 위한 센서가 고정되되, 착탈이 간편하여 설치 및 위치 이동이 용이해지는 효과가 제공될 수 있다.

즉, 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷에 의하면, 이송 튜브 또는 약액의 보관용기 액면계 등의 원하는 위치에 센서를 간단히 고정되게 결합시키되, 그 착탈이 용이하여 그 위치 이동도 간편히 이루어질 수 있음은 물론, 공간이 협소한 위치에서도 작업자가 용이하게 센서를 설치 및 분리할 수 있게 됨으로써, 전체적인 작업성이 향상되는 효과가 제공될 수 있다.

본 고안에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 종래의 이송 튜브에 센서 브래킷이 설치된 상태의 일부 단면도.
도 2는 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷에 의해 센서가 이송 튜브에 설치되는 상태의 분리 사시도.
도 3은 도 2의 결합 사시도.
도 4는 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷에 의해 센서가 이송 튜브에 설치되는 상태의 분리 단면도.
도 5는 도 4의 결합 단면도.

본 고안의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 고안은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 고안의 개시가 완전하도록 하고, 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 고안의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 고안은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

따라서, 몇몇 실시 예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 고안이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 고안을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계 및/또는 동작 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계 및/또는 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 그리고, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 고안의 이상적인 예시도인 사시도, 단면도, 측면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 고안의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함되는 것이다. 또한, 본 고안의 실시 예에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다.

이하, 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷에 의해 센서가 이송 튜브에 설치되는 상태의 분리 사시도이고, 도 3은 도 2의 결합 사시도이다.

또한, 도 4는 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷에 의해 센서가 이송 튜브에 설치되는 상태의 분리 단면도이고, 도 5는 도 4의 결합 단면도이다.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷(100)은, 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정 등에서 각종 약액들을 기판에 공급하기 위한 이송 튜브(10) 또는 이송 튜브(10)로 약액을 제공하기 위한 약액 보관 용기(이하, 이송 튜브(10)로 총칭하여 설명하기로 함)에 센서(S)를 고정되게 설치하기 위한 것으로서, 몸체(110)와 결합 링(130)을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.

몸체(110)는, 일측에 센서의 일부가 삽입되어 고정되기 위한 센서 삽입 홀(112)이 형성되고, 타측에는 이송 튜브(10)가 몸체(110)와 교차되는 방향으로 삽입되기 위하여 절개되어 튜브 홀(140)이 형성된 구성으로 이루어질 수 있다.

여기서, 몸체(110)의 타측에 형성되는 튜브 홀(140)에 의해 서로 마주보는 방향으로 한 쌍의 파지부(120)가 형성될 수 있으며, 이에 따라 한 쌍의 파지부(120)는 절개된 튜브 홀(140)을 사이에 두고 포개어지거나 벌어지게 되면서 튜브 홀(140)의 간격을 조절할 수 있게 된다.

참고로, 센서 브래킷(100)의 몸체(110)는 합성수지재질로 제작된 것이 제공되는 것이 바람직하며, 이에 따라 소정의 탄성을 발휘하여 한 쌍의 파지부(120)가 서로 마주보는 방향으로 포개어지거나 반대로 벌어지도록 구현할 수 있다.

한 쌍의 파지부(120)에서 선단 측 내면은 후단을 향할수록 내측 방향으로 일정 길이만큼 가이드 경사면(122)을 이루고, 선단 측 외면 또한 후단을 향할수록 외측 방향으로 삽입 경사면(124)을 이룸에 따라 선단 측으로부터 후단 측을 향할수록 점차적으로 그 두께가 두껍게 형성될 수 있다.

또한, 한 쌍의 파지부(120)에서 후단 측 둘레에는 일정 깊이만큼 패인 안착 홈(126)이 형성될 수 있으며, 선단 측 외면에 형성되는 삽입 경사면(124)은 안착 홈(126)까지 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 한 쌍의 파지부(120)의 후단 측에는 각각 개구 홀(114)이 형성될 수 있는데, 이 개구 홀(114)은 튜브 홀(140)과 동일 선상에 형성되는 것이 바람직하다.

그 이유는, 튜브 홀(140)에 이송 튜브(10)가 삽입된 상태에서, 개구 홀(114)을 통해 이송 튜브(10)를 통과하는 약액을 작업자가 육안으로 확인하기 용이하도록 하기 위함이다.

결합 링(130)은, 몸체(110)에서 한 쌍의 파지부(120)를 감싸도록 삽입되어 안착부에 안착됨에 따라 한 쌍의 파지부(120)를 서로 마주보는 방향으로 포개어지도록 가압력을 제공하는 것으로서, 일측 단의 내면 둘레에는 내측으로 향할수록 점차적으로 지름이 감소되게 테이퍼 면(132)이 형성될 수 있다.

상기와 같은 구성으로 이루어질 수 있는 센서 브래킷(100)을 이용하여 이송 튜브(10)의 선택된 위치에 센서를 고정되게 결합시키는 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 센서 브래킷(100)의 몸체(110) 일측에 형성된 센서 삽입 홀(112)에 센서를 삽입하여 고정시킨 상태에서, 센서 브래킷(100)의 몸체(110) 타측에 형성된 튜브 홀(140)에 이송 튜브(10)의 선택된 부위를 삽입시킨다.

이 때, 이송 튜브(10)는 한 쌍의 파지부(120) 사이에 절개된 부위를 통해 삽입시키면 되는데, 한 쌍의 파지부(120) 사이 간격이 이송 튜브(10)의 직경보다 작은 경우, 한 쌍의 파지부(120)는 탄성에 의해 서로 대향되는 방향으로 벌어지게 되면서 삽입이 이루어질 수 있게 된다.

또한, 한 쌍의 파지부(120)는 선단 측 내면에 가이드 경사면(122)이 형성되어 있는바, 이송 튜브(10)가 가이드 경사면(122)을 따라 튜브 홀(140)로 보다 용이하게 삽입이 이루어질 수 있게 된다.

이와 같이, 몸체(110)의 튜브 홀(140)에 이송 튜브(10)가 삽입되어 이송 튜브(10)와 센서 브래킷(100)의 몸체(110) 및 센서가 교차되는 방향으로 배치된 상태에서, 작업자가 한 손으로 몸체(110)를 지지시킨 상태에서, 다른 한 손으로 결합 링(130)을 잡고 몸체(110)의 파지부(120)들에 삽입시키면 된다.

즉, 결합 링(130)의 내주 면에 한 쌍의 파지부(120)들을 삽입시키면 되는데, 이 때 일측에 테이퍼 면(132)이 형성된 부위를 먼저 삽입시키도록 한다.

따라서, 결합 링(130)의 테이퍼 면(132)은 파지부(120)들의 외측 둘레 면에 형성된 삽입 경사면(124)을 타고 미끄러지면서 점차적으로 삽입이 이루어지게 되며, 이에 따라 한 쌍의 파지부(120)들은 서로 마주보는 방향으로 좁혀질 수 있게 된다.

계속해서, 결합 링(130)을 몸체(110) 쪽으로 밀어 넣음에 따라 결합 링(130)이 안착 홈(126)에 다다르게 되면, 한 쌍의 파지부(120)들이 자체 탄성에 의해 살짝 벌어지면서 결합 링(130)이 몸체(110)의 안착 홈(126)에 안착된 상태를 유지하게 된다.

따라서, 결합 링(130)이 몸체(110)의 안착 홈(126)에 안착되어 한 쌍의 파지부(120)들을 서로 마주보는 방향으로 가압시킨 상태를 유지하게 되는바, 이송 튜브(10)의 선택된 위치는 튜브 홀(140)에 삽입된 상태에서 고정된 상태를 이루게 된다.

참고로, 몸체(110)의 튜브 홀(140)에 이송 튜브(10)가 삽입된 상태에서, 이송 튜브(10)는 몸체(110)의 개구 홀(114)과 동일 선상에 위치되며, 이에 따라 이송 튜브(10)를 통과하는 약액의 이송상태는 개구 홀(114)을 통해 외부로 드러날 수 있게 되는바, 작업자가 육안으로 용이하게 확인할 수 있게 된다.

이와 같이 센서 브래킷(100)에 의하여 센서가 이송 튜브(10)의 선택된 위치에 교차되는 방향으로 고정되게 결합된 상태에서, 센서는 이송 튜브(10)를 통과하는 약액의 유량 또는 유속 등을 감지하여 제어부로 신호를 송신할 수 있게 된다.

한편, 상기와 같은 구성의 센서 브래킷(100)에 의해 센서가 이송 튜브(10)의 선택된 위치에 교차되는 방향으로 고정되게 결합된 상태에서, 센서 브래킷(100)을 분리하고자 하는 경우에는, 작업자가 한 손으로 파지부(120)들을 서로 마주보는 방향으로 오므린 후, 결합 링(130)을 결합 방향의 반대 방향으로 당겨서 분리하면 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷(100)에 의하면, 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정에서 사용되는 약액의 이송 튜브(10) 또는 약액의 보관 용기 액면계에 설치되기 위한 센서가 고정되되, 착탈이 간편하여 설치 및 위치 이동이 용이해지는 효과가 제공될 수 있다.

즉, 고안의 실시 예에 따른 센서 브래킷(100)에 의하면, 이송 튜브(10) 또는 약액의 보관용기 액면계 등의 원하는 위치에 센서를 간단히 고정되게 결합시키되, 그 착탈이 용이하여 그 위치 이동도 간편히 이루어질 수 있음은 물론, 공간이 협소한 위치에서도 작업자가 용이하게 센서를 설치 및 분리할 수 있게 됨으로써, 전체적인 작업성이 향상되는 효과가 제공될 수 있다.

본 고안이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 고안이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 고안의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 고안의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

S : 센서 10 : 이송 튜브
100 : 센서 브래킷 110 : 몸체
112 : 센서 삽입 홀 114 : 개구 홀
120 : 파지부 122 : 가이드 경사면
124 : 삽입 경사면 126 : 안착 홈
130 : 결합 링 132 : 테이퍼 면
140 : 튜브 홀

Claims (5)

1. 반도체 제조공정이나 액정디스플레이장치 제조공정 등에서 각종 약액들을 기판에 공급하기 위한 이송 튜브 또는 이송 튜브로 약액을 제공하기 위한 약액 보관 용기에 센서를 고정되게 설치하기 위한 것으로서,
   일측에 센서의 일부가 삽입되어 고정되기 위한 센서 삽입 홀이 형성되고, 타측에는 이송 튜브가 몸체와 교차되는 방향으로 삽입되기 위하여 절개되어 튜브 홀이 형성된 몸체;
   상기 몸체의 튜브 홀에 이송 튜브가 삽입되어 고정되도록 상기 몸체와 착탈가능하게 결합되는 결합 링을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 브래킷.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 몸체의 타측에 형성되는 튜브 홀에 의해 서로 마주보는 방향으로 한 쌍의 파지부가 형성되고,
   상기 한 쌍의 파지부는 절개된 튜브 홀을 사이에 두고 포개어지거나 벌어지게 되면서 튜브 홀의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 센서 브래킷.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 한 쌍의 파지부에서 선단 측 내면은 후단을 향할수록 내측 방향으로 일정 길이만큼 가이드 경사면을 이루고, 선단 측 외면 또한 후단을 향할수록 외측 방향으로 삽입 경사면을 이룸에 따라 선단 측으로부터 후단 측을 향할수록 점차적으로 그 두께가 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 센서 브래킷.
   
4. 제 3항에 있어서,
   상기 한 쌍의 파지부에서 후단 측 둘레에는 일정 깊이만큼 패인 안착 홈이 형성되고, 선단 측 외면에 형성되는 상기 삽입 경사면은 안착 홈까지 형성되는 것을 특징으로 하는 센서 브래킷.
   
5. 제 1항에 있어서,
   상기 결합 링의 일측 단 내면 둘레에는 내측으로 향할수록 점차적으로 지름이 감소되게 테이퍼 면이 형성된 것을 특징으로 하는 센서 브래킷.

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