KR20210154113A - Control valve and system capable of maintaining steadily vaporization and preliminary purge using the same - Google Patents

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KR20210154113A KR1020210164628A KR20210164628A KR20210154113A KR 20210154113 A KR20210154113 A KR 20210154113A KR 1020210164628 A KR1020210164628 A KR 1020210164628A KR 20210164628 A KR20210164628 A KR 20210164628A KR 20210154113 A KR20210154113 A KR 20210154113A
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, disclosed is a gasifier system which comprises: a canister in a tank shape for storing source, and having an inlet, which is able to receive a fluid from outside, and an outlet, which is able to discharge gasified gas to the outside; a first line providing a path to move a fluid to the inlet of the canister; a second line providing a path to move the material leaked from the outlet of the canister to a processing facility; a branch line branched from the first line and joining the second line to provide a path to move at least a part of the fluid moving through the first line to the second line; and a control valve placed on the branch line to control the volume of the fluid moved through the branch line. The present invention aims to provide a gasifier system which is able to keep a uniform volume of gasified gas.

Description

컨트롤 밸브 및 이를 이용한 예비 퍼지가 가능한 기화 시스템{CONTROL VALVE AND SYSTEM CAPABLE OF MAINTAINING STEADILY VAPORIZATION AND PRELIMINARY PURGE USING THE SAME}CONTROL VALVE AND SYSTEM CAPABLE OF MAINTAINING STEADILY VAPORIZATION AND PRELIMINARY PURGE USING THE SAME

본 발명은 컨트롤 밸브 및 이를 이용한 예비 퍼지가 가능한 기화 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a control valve and a vaporization system capable of preliminary purge using the same.

반도체, 디스플레이, 발광다이오드 등 전자재료의 제조 공정에 있어서 필수적인 박막을 입히는 화학기상장치(CVD)나 원자층 증착장치(ALD) 등과 같은 처리 설비에 사용되는 각종 원료(소스)는 가스, 액체, 또는 고체의 형태로 공급된다. Various raw materials (sources) used in processing facilities such as chemical vapor deposition (CVD) or atomic layer deposition (ALD), which coat a thin film essential in the manufacturing process of electronic materials such as semiconductors, displays, and light emitting diodes, are gas, liquid, or It is supplied in solid form.

가스의 형태를 가진 원료의 경우는 압력을 조절하여 일정량을 공급할 수 있는 방법으로 사용되지만 액체나 고체의 경우에는 자체적인 압력이 매우 낮기 때문에 대부분 캐니스터라는 앰플에 담아서, 캐리어 가스(불활성 가스)를 이용한 버블링이나 가열을 통한 증기 발생을 통해서 기화를 시킨 이후에 반응 챔버로 공급하는 방법을 사용하고 있다. In the case of raw materials in the form of gas, it is used as a method that can supply a certain amount by controlling the pressure, but in the case of liquids or solids, since their own pressure is very low, most of them are put in an ampoule called a canister, and a carrier gas (inert gas) is used. After vaporization through steam generation through bubbling or heating, a method of supplying it to the reaction chamber is used.

캐니스터에 액체 형태의 원료를 넣은 후 일정량씩 기화시켜 사용하는 방법에 대하여 다양한 기술들이 공지되어 있고, 고체 형태의 원료를 기화시키기 위해서도 다양한 기술들이 공지되어 있다. 예를 들면, 고체 원료를 기화시키는 종래 기술의 하나로서 한국특허 공개공보 제10-2010-0137016호(2010. 12. 29)("기화기, 기화기 사용 방법, 기화 장치 사용 방법, 용기, 기화기 유닛 및 반도체 프로세스 챔버용 증기 발생 방법")나 미국특허등록공보 US6,296,025(2001. 10. 2)("Chemical Delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques")에 개시된 기술들이 있다.Various techniques are known for a method of vaporizing a predetermined amount of a raw material in a liquid form into a canister and then using it, and various techniques are also known for vaporizing a raw material in a solid form. For example, as one of the prior art for vaporizing solid raw materials, Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2010-0137016 (2010. 12. 29) (“Vaporizer, method of using vaporizer, method of using vaporizer, container, vaporizer unit and There are techniques disclosed in US Patent Registration No. 6,296,025 (October 2, 2001) (“Chemical Delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques”).

통상적으로 캐니스터에는 소스가 채워진 유로가 구비되어 있고, 그러한 소스 위를 캐리어 가스가 이동하면서 소스의 기화를 촉진시킨다. 유로에 채워진 소스는 소정의 압력과 온도에서 기화되며, 캐리어 가스와 접촉됨으로써 소스의 기화가 촉진되게 된다. Typically, a canister is provided with a flow path filled with a source, and the carrier gas moves over the source to promote vaporization of the source. The source filled in the flow path is vaporized at a predetermined pressure and temperature, and the vaporization of the source is promoted by being in contact with the carrier gas.

한편, 처리 설비에 제공되는 기화량은 일정해야 바람직한데 여러 가지 요인에 의해 기화량을 일정하게 유지하는 것이 쉽지 않다. 예를 들면, 캐니스터에 저장된 소스의 레벨에 따라 기화량이 다를 수 있고, 공정 횟수에 따라 소스의 기화열에 의해 온도가 미세하게 떨어지므로 기화량이 달라질 수 있다. On the other hand, although the amount of vaporization provided to the treatment facility should be constant, it is not easy to keep the amount of vaporization constant due to various factors. For example, the amount of vaporization may vary depending on the level of the source stored in the canister, and the vaporization amount may vary because the temperature is slightly lowered by the heat of vaporization of the source according to the number of processes.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기화량을 일정하게 유지하면서 예비 퍼지가 가능한 기화 시스템 또는 기화 방법에 사용될 수 있는 컨트롤 밸브가 제공된다.According to one embodiment of the present invention, there is provided a control valve that can be used in a vaporization system or vaporization method capable of preliminary purge while maintaining a constant vaporization amount.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기화량을 일정하게 유지하면서 예비 퍼지가 가능한 기화 시스템 및 기화 방법이 제공된다. According to an embodiment of the present invention, a vaporization system and a vaporization method capable of performing preliminary purging while maintaining a constant vaporization amount are provided.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기화 모드에서 캐니스터로 주입되는 캐리어 가스의 양을 조절함으로써 기화량을 일정하게 유지할 수 있는 기화 시스템 및 기화 방법이 제공된다. According to an embodiment of the present invention, there is provided a vaporization system and a vaporization method capable of maintaining a constant vaporization amount by controlling an amount of a carrier gas injected into a canister in vaporization mode.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기화 모드에서 기화량을 일정하게 유지하면서 동시에 퍼지 동작을 수행할 수 있는 기화 시스템 및 기화 방법이 제공된다. According to an embodiment of the present invention, a vaporization system and a vaporization method capable of simultaneously performing a purge operation while maintaining a vaporization amount constant in a vaporization mode are provided.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 소스를 저장할 수 있는 통형상을 가지며 외부로부터 유체를 유입 받을 수 있는 인렛과 기화된 가스를 외부로 유출할 수 있는 아웃렛을 가진 캐니스터; 상기 캐니스터의 인렛으로 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공하는 제1라인; 상기 캐니스터의 아웃렛으로부터 유출되는 물질이 처리 설비로 이동할 수 있는 경로를 제공하는 제2라인; 제1라인으로부터 분기되어 제2라인으로 합류하는 분기 라인으로서, 제1라인을 통해서 이동하는 유체의 적어도 일부가 제2라인으로 이동할 수 있는 경로를 제공하는 상기 분기 라인; 및 상기 분기 라인에 위치되어 상기 분기 라인을 통해서 이동되는 유체의 양을 조절할 수 있는 컨트롤 밸브;를 포함하는 기화기 시스템이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a canister having a cylindrical shape capable of storing a source and having an inlet capable of receiving a fluid from the outside and an outlet capable of discharging a vaporized gas to the outside; a first line providing a path for the fluid to move to the inlet of the canister; a second line providing a path for the material flowing out from the outlet of the canister to move to a treatment facility; a branch line branching from the first line and joining the second line, the branch line providing a path through which at least a portion of the fluid moving through the first line can move to the second line; and a control valve positioned on the branch line to control the amount of fluid moved through the branch line.

본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 기화 모드에서 캐리어 가스의 일부를 분기 라인으로 흐르게 함으로써 캐니스터로 주입되는 캐리어 가스의 양을 조절하여 기화량을 일정하게 유지할 수 있고, 동시에 기화 모드에서도 퍼지 동작을 수행할 수 있는 효과가 있다.According to one or more embodiments of the present invention, the vaporization amount can be maintained constant by controlling the amount of carrier gas injected into the canister by flowing a part of the carrier gas to the branch line in the vaporization mode, and at the same time, the purge operation is performed even in the vaporization mode. There is an effect that can be done.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 제1실시예를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4 내지 도 6는 본 발명의 제2실시예를 설명하기 위한 도면들이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 설정 값을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨트롤 밸브를 설명하기 위한 도면들이다.1 to 3 are views for explaining a first embodiment of the present invention.
4 to 6 are views for explaining a second embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining a setting value according to an embodiment of the present invention.
8 is a view for explaining a vaporization method according to an embodiment of the present invention.
9 to 18 are views for explaining a control valve according to an embodiment of the present invention.

이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will be easily understood through the following preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed subject matter may be thorough and complete, and that the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art.

본 명세서의 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장되거나 축소된 것이다. In the drawings of the present specification, the thickness of the components is exaggerated or reduced for effective description of technical content.

본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다. In various embodiments of the present specification, terms such as first, second, etc. are used to describe various components, but these components should not be limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Embodiments described and illustrated herein also include complementary embodiments thereof.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, the terms 'comprises' and/or 'comprising' do not exclude the presence or addition of one or more other components.

용어의 정의Definition of Terms

본원 명세서에서, '유로'는 가스가 이동될 수 있는 공간을 의미한다. In the present specification, a 'channel' means a space through which a gas may be moved.

본원 명세서에서, '흐름을 조절'한다고 함은 흐름을 막거나, 흐름을 허용하거나, 흐르는 양을 조절하는 것을 포함하는 개념이다. 예를 들면, 유체의 흐름을 조절할 수 있는 구성요소는 유체의 흐름을 막거나, 유체의 흐름을 허용하거나, 흐르는 유체의 양을 조절하는 있는 구성요소로서, 밸브나 유체 부하가 있을 수 있다.As used herein, 'controlling the flow' is a concept including blocking the flow, allowing the flow, or controlling the amount of flow. For example, a component capable of regulating the flow of a fluid is a component that blocks the flow of the fluid, permits the flow of the fluid, or regulates the amount of the flowing fluid, such as a valve or a fluid load.

본원 명세서에서, '밸브'는 유체의 흐름을 조절할 수 있는 구성요소이며, 유체의 흐름을 막거나 유체의 흐름을 허용하거나 흐르는 유체의 양을 조절할 수 있는 구성요소를 의미하며, 예를 들면 온-오프 밸브와 컨트롤 밸브와 같은 기기들일 수 있다.In the present specification, a 'valve' is a component that can control the flow of a fluid, and it means a component that can block the flow of the fluid, allow the flow of the fluid, or control the amount of the flowing fluid, for example, on- They may be devices such as off valves and control valves.

본원 명세서에서, '온-오프 밸브'는 유체의 흐름을 막거나 유체의 흐름을 허용하는 밸브를 의미하고, '컨트롤 밸브'는 유체의 흐름을 막거나 유체의 흐름을 허용하거나 흐르는 유체의 양을 조절할 수 있는 밸브를 의미한다.As used herein, the 'on-off valve' refers to a valve that blocks the flow of a fluid or allows the flow of a fluid, and the 'control valve' blocks the flow of a fluid or allows the flow of a fluid or controls the amount of a flowing fluid A valve that can be adjusted.

본원 명세서에서, '상류'와 '하류'는 유체가 흐르는 라인('유로')에서의 위치를 나타내기 위한 용어들로서, 구성요소 A가 구성요소 B보다 상류에 위치한다고 함은 유체가 구성요소 A에 먼저 도달하고 구성요소 A에 도달한 유체 중 적어도 일부의 유체가 구성요소 B에 도달하는 것을 의미한다. 또한, 구성요소 A가 구성요소 B보다 하류에 위치한다고 함은 유체가 구성요소 B에 먼저 도달하고 구성요소 B에 도달한 유체 중 적어도 일부의 유체가 구성요소 A에 도달하는 것을 의미한다. In this specification, 'upstream' and 'downstream' are terms for indicating a position in a line ('flow path') through which a fluid flows, and that the component A is located upstream than the component B means that the fluid is the component A It means that at least some of the fluids that arrive first and reach the component A reach the component B. Also, that the component A is located downstream of the component B means that the fluid arrives at the component B first, and that at least some of the fluids that reach the component B reach the component A.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기화 모드에서 캐니스터로 주입되는 캐리어 가스의 양을 조절함으로써 기화량을 일정하게 유지한다. 구체적으로, 캐리어 가스의 일부를 분기 라인으로 흐르게 함으로써, 캐니스터로 주입되는 캐리어 가스의 양을 조절한다. 이렇게 기화 모드에서 캐리어 가스의 일부를 분기 라인으로 흐르게 함으로써 예비적인 퍼지 동작을 수행할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the vaporization amount is maintained constant by adjusting the amount of the carrier gas injected into the canister in the vaporization mode. Specifically, by flowing a part of the carrier gas to the branch line, the amount of the carrier gas injected into the canister is controlled. In this way, a preliminary purge operation may be performed by flowing a portion of the carrier gas to the branch line in the vaporization mode.

이하, 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 제1실시예를 설명하기 위한 도면들이다. 1 to 3 are views for explaining a first embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예에 따른 기화 시스템은 소스를 기화시켜서 처리 설비로 제공하는 장치이다.A vaporization system according to a first embodiment of the present invention is an apparatus for vaporizing a source and providing it to a processing facility.

여기서, 처리 설비는 예를 들면 화학증기증착(CVD: chemical vapor deposition) 장치 또는 이온 주입장치(ion implanter)와 같은 반도체 가공장비의 공정챔버(process chamber)와 같은 장치들이 될 수 있다.Here, the processing equipment may be, for example, a chemical vapor deposition (CVD) apparatus or apparatus such as a process chamber of a semiconductor processing equipment such as an ion implanter.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 기화 시스템은 소스를 저장할 수 있는 통 형상을 가지며, 외부로부터 유체를 유입 받을 수 있는 인렛과 기화된 가스를 외부로 배출할 수 있는 아웃렛을 가진 캐니스터(B100), 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공하는 라인들, 라인들에 흐르는 유체들의 흐름을 조절하기 위한 구성요소들, 질량유량제어기(MASS FLOW CONTROLLER:이하, 'MFC'), 질량 유량계(MASS FLOW METER: 이하, 'MFM'), 및 제어 모듈을 포함할 수 있다. 1, the vaporization system according to the first embodiment of the present invention has a cylindrical shape that can store a source, and includes an inlet that can receive a fluid from the outside and an outlet that can discharge the vaporized gas to the outside. Excitation canister (B100), lines providing a path for the fluid to move, components for controlling the flow of fluids flowing in the lines, MASS FLOW CONTROLLER (hereinafter, 'MFC'), mass flow meter (MASS FLOW METER: hereinafter 'MFM'), and may include a control module.

여기서, 소스는 고체 소스 또는 액체 소스일 수 있으며, 예를 들면 붕소(B: boron), 인(P: phosphorous), 구리(Cu: copper), 갈륨(Ga:gallium), 비소(As:arsenic), 루테늄(Ru: ruthenium), 인듐(In: indium), 안티몬(Sb: antimony), 란탄(La: lanthanum), 탄탈륨(Ta: tantalum), 이리듐(Ir: iridium), 데카보란(B10H14: decaborane), 사염화 하프늄(HfCl4: hafnium tetrachloride), 사염화 지르코늄(ZrCl4: zirconium tetrachloride), 삼염화 인듐(InCl3: indium trichloride), 금속 유기 베타-디케토네이트 착물(metal organic β-diketonate complex), 사이클로펜타디에닐 사이클로헵타트리에틸 티타늄(CpTiChT:cyclopentadienyl cycloheptatrienyl titanium), 삼염화 알루미늄(AlCl3: aluminum trichloride), 요오드화 티타늄(TixIy:titanium iodide), 사이클로옥타테트라엔 사이틀로펜타디에닐 티타늄((Cot)(Cp)Ti: cyclooctatetraene cyclopentadienyltitanium), 비스(사이클로펜타디에닐)티타늄 디아지드 [bis(cyclopentadienyl)titanium diazide], 텅스텐 카르보닐(Wx(CO)y: tungsten carbonyl)(여기서, x와 y는 자연수), 비스(사이클로펜타디에닐)루테늄(II)[Ru(Cp)2: bis(cyclopentadienyl)ruthenium (II)], 삼염화 루테늄(RuCl3: ruthenium trichloride), 및/또는 텅스텐 클로라이드(WxCly)(여기서, x와 y는 자연수)을 포함하는 물질일 수 있다. 상술한 소스들은 예시적인 것으로서 본원 발명은 그러한 소스들에만 한정되는 것이 아님을 당업자는 알아야 한다. Here, the source may be a solid source or a liquid source, for example, boron (B: boron), phosphorous (P: phosphorous), copper (Cu: copper), gallium (Ga: gallium), arsenic (As: arsenic) , ruthenium (Ru: ruthenium), indium (In: indium), antimony (Sb: antimony), lanthanum (La: lanthanum), tantalum (Ta: tantalum), iridium (Ir: iridium), decaborane (B10H14: decaborane) , hafnium tetrachloride (HfCl4), zirconium tetrachloride (ZrCl4: zirconium tetrachloride), indium trichloride (InCl3), metal organic β-diketonate complex, cyclopentadienyl cyclo Heptatriethyl titanium (CpTiChT:cyclopentadienyl cycloheptatrienyl titanium), aluminum trichloride (AlCl3), titanium iodide (TixIy:titanium iodide), cyclooctatetraene cyclopentadienyl titanium ((Cot)(Cp)Ti: cyclooctatetraene cyclopentadienyltitanium), bis(cyclopentadienyl)titanium diazide [bis(cyclopentadienyl)titanium diazide], tungsten carbonyl (Wx(CO)y: tungsten carbonyl) (where x and y are natural numbers), bis(cyclopentadiene nyl)ruthenium(II)[Ru(Cp)2: bis(cyclopentadienyl)ruthenium (II)], ruthenium trichloride (RuCl3: ruthenium trichloride), and/or tungsten chloride (WxCly), where x and y are natural numbers. It may be a material containing. It should be appreciated by those skilled in the art that the sources described above are exemplary and that the present invention is not limited to such sources.

제1실시예에 따른 기화 시스템은 히터(미 도시)를 더 포함할 수 있고, 히터는 캐니스터(B100)의 내부에 저장된 소스를 기화시키기 위해서 캐니스터(B100)에 열을 가할 수 있다. The vaporization system according to the first embodiment may further include a heater (not shown), and the heater may apply heat to the canister B100 to vaporize the source stored in the canister B100.

인렛은 유체를 주입하기 위한 주입구를 포함한다. 주입구는 캐니스터(B100)의 상부에 형성될 수 있다.The inlet includes an inlet for injecting a fluid. The injection hole may be formed in the upper portion of the canister B100.

인렛은 밸브(V105)를 더 포함할 수 있다. 밸브(V015)는 예를 들면 주입구에 결합되어 주입구로 주입되는 유체의 흐름을 막거나 허용할 수 있는 온-오프 밸브일 수 있다. 아웃렛은 물질을 배출하기 위한 배출구를 포함한다. 여기서, 배출구는 캐니스터(B100)의 상부에 형성될 수 있다. 아웃렛은 밸브(V106)를 더 포함할 수 있다. 밸브(V106)는 예를 들면 배출구에 결합되어 배출구로 배출되는 유체의 흐름을 막거나 허용할 수 있는 온-오프 밸브일 수 있다.The inlet may further include a valve V105. The valve V015 may be, for example, an on-off valve coupled to the inlet to block or allow the flow of fluid injected into the inlet. The outlet includes an outlet for discharging the material. Here, the outlet may be formed in the upper portion of the canister B100. The outlet may further include a valve V106. Valve V106 may be, for example, an on-off valve coupled to the outlet to block or allow the flow of fluid discharged to the outlet.

제1실시예에 따르면, 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공하는 라인들은, 제1라인(L11), 제2라인(L12), 및 분기 라인(L13)을 포함할 수 있다. According to the first embodiment, the lines providing a path through which the fluid may move may include a first line L11 , a second line L12 , and a branch line L13 .

제1라인(L11)은 캐니스터(B100)의 인렛으로 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공할 수 있다. The first line L11 may provide a path through which the fluid may move to the inlet of the canister B100 .

제1실시예에서, 제1라인(L11)에 질량유량제어기(MFC)와 밸브(V101)가 위치될 수 있다. 여기서, 질량유량제어기(MFC)는 밸브(V101)의 상류에 위치한다. 밸브(V101)는 분기 라인(L13)이 분기되는 분기점(P11)으로부터 인렛 사이에 위치되는 구성요소이다. 한편, 밸브(V101)는 온-오프 밸브 또는 컨트롤 밸브로 구현될 수 있다. In the first embodiment, the mass flow controller MFC and the valve V101 may be located in the first line L11. Here, the mass flow controller MFC is located upstream of the valve V101. The valve V101 is a component located between the inlet from the branch point P11 to which the branch line L13 branches. Meanwhile, the valve V101 may be implemented as an on-off valve or a control valve.

일 대안으로, 제1라인(L11)에 질량유량제어기(MFC)와 유체 부하가 위치될 수 있다. 여기서, 질량유량제어기(MFC)는 유체 부하의 상류에 위치한다. 유체 부하는 분기 라인(L13)이 분기되는 분기점(P11)으로부터 인렛 사이에 위치되는 구성요소이다. 유체 부하는 예를 들면 오리피스와 같이 유체의 흐름을 방해하는 구성요소일 수 있다. 유체 부하의 다른 예를 들면 유로가 제1라인보다 좁은 밸브일 수 있다. Alternatively, the mass flow controller MFC and the fluid load may be located in the first line L11. Here, the mass flow controller (MFC) is located upstream of the fluid load. The fluid load is a component located between the inlet from the branch point P11 to which the branch line L13 branches. A fluid load may be a component that impedes the flow of a fluid, for example an orifice. Another example of the fluid load may be a valve in which the flow path is narrower than the first line.

다른 대안으로, 제1라인(L11)에 질량유량제어기(MFC), 밸브(V101), 및 유체 부하가 위치될 수 있다. 유체 부하와 밸브(V101)는 분기 라인(L13)이 분기되는 분기점(P11)으로부터 인렛 사이에 위치되는 구성요소들이다. 여기서, 질량유량제어기(MFC)는 유체 부하와 밸브(V101)의 상류에 위치하고, 유체 부하는 밸브(V101)의 상류에 위치한다. Alternatively, a mass flow controller MFC, a valve V101, and a fluid load may be located in the first line L11. The fluid load and the valve V101 are components located between the inlet from the branch point P11 where the branch line L13 is branched. Here, the mass flow controller MFC is located upstream of the fluid load and the valve V101, and the fluid load is located upstream of the valve V101.

질량유량제어기(MFC)는 분기 라인(L13)이 분기되는 분기점(P11) 이전의 제1라인(L11)에 위치되어 제1라인(L11)에 흐르는 유체의 양을 일정하게 조절할 수 있다.The mass flow controller MFC may be positioned in the first line L11 before the branch point P11 at which the branch line L13 is branched to constantly control the amount of fluid flowing in the first line L11 .

제2라인(L12)은 캐니스터(B100)의 아웃렛으로부터 처리설비까지 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공할 수 있다. The second line L12 may provide a path through which the fluid may move from the outlet of the canister B100 to the treatment facility.

제2라인(L12)에는 질량 유량계(MFM)와 밸브(V104)가 위치된다. 밸브(V104)는 온-오프 밸브 또는 컨트롤 밸브일 수 있다.A mass flow meter MFM and a valve V104 are located in the second line L12. Valve V104 may be an on-off valve or a control valve.

제1실시예에 따르면, 질량 유량계(MFM)는 밸브(V104)의 하류에 위치한다. 예를 들면, 질량 유량계(MFM)는 분기 라인(L13)과 제2라인(L12)이 합류하는 합류점(P12)보다 하류에 위치될 수 있으며, 제2라인(L12)에 흐르는 유체의 양을 측정할 수 있다. 합류점(P12)보다 하류의 제2라인(L12)에는 분기 라인(L13)에 흐르던 유체와 캐니스터(B100)에서 기화된 소스가 합쳐진 것이므로, 질량 유량계(MFM)에 의해 측정되는 유체는, 분기 라인(L13)에 흐르는 유체와 기화된 소스가 합쳐진 것이다.According to a first embodiment, a mass flow meter MFM is located downstream of valve V104. For example, the mass flow meter MFM may be located downstream of the junction P12 at which the branch line L13 and the second line L12 join, and measures the amount of fluid flowing in the second line L12. can do. In the second line L12 downstream of the junction P12, the fluid flowing in the branch line L13 and the source vaporized in the canister B100 are combined, so the fluid measured by the mass flow meter (MFM) is the branch line ( The fluid flowing in L13) and the vaporized source are combined.

일 대안으로, 질량 유량계(MFM)가 합류점(P12)과 아웃렛 사이에 위치될 수 있다. 다른 대안으로, 질량 유량계(MFM)는 밸브(V104)와 아웃렛 사이에 위치될 수 있다. 이러한 대안들에 따르면, 질량 유량계(MFM)는 캐니스터(B100)로부터 배출되는 가스의 양을 측정할 수 있다. As an alternative, a mass flow meter (MFM) may be located between the confluence point P12 and the outlet. Alternatively, a mass flow meter (MFM) may be positioned between valve V104 and the outlet. According to these alternatives, the mass flow meter MFM may measure the amount of gas exiting the canister B100.

분기 라인(L13)은 제1라인으로부터 분기되어 제2라인으로 합류하는 라인으로서, 제1라인을 통해서 이동하는 유체의 적어도 일부가 제2라인으로 이동할 수 있는 경로를 제공한다. The branch line L13 is a line branching from the first line and joining the second line, and provides a path through which at least a portion of the fluid moving through the first line can move to the second line.

분기 라인(L13)에는 분기 라인(L13)에 흐르는 유체를 조절할 수 있는 컨트롤 밸브(CV100)가 위치된다. 제1실시예에서 컨트롤 밸브(CV100)는 제어 모듈의 제어하에 분기 라인(L13)에 흐르는 유체의 양을 조절할 수 있다.A control valve CV100 capable of regulating the fluid flowing in the branch line L13 is positioned in the branch line L13. In the first embodiment, the control valve CV100 may adjust the amount of fluid flowing in the branch line L13 under the control of the control module.

분기 라인(L13)에는 밸브(V103)가 추가적으로 위치될 수 있고, 밸브(V103)는 컨트롤 밸브(CV100)의 하류에 위치된다. 예를 들면, 밸브(V103)는 컨트롤 밸브(CV100)와 합류점(P12) 사이에 위치된다. 밸브(V103)는 온-오프 밸브 또는 컨트롤 밸브일 수 있다. A valve V103 may be additionally located in the branch line L13 , and the valve V103 is located downstream of the control valve CV100 . For example, the valve V103 is located between the control valve CV100 and the junction P12. The valve V103 may be an on-off valve or a control valve.

제1실시예에 따른 기화 시스템은 커플러들(C101, C102)을 추가적으로 포함할 수 있다. 커플러(C101)는 분리 및 결합 가능한 구조를 가지며, 제1라인에 위치되어 인렛과 밸브(V101)를 연결시킬 수 있다. 또한, 커플러(C102)도 분리 및 결합 가능한 구조를 가지며, 제2라인에 위치되어 아웃렛과 밸브(V104)를 연결시킬 수 있다.The vaporization system according to the first embodiment may additionally include couplers C101 and C102. The coupler C101 has a structure capable of being separated and coupled, and is located on the first line to connect the inlet and the valve V101. In addition, the coupler C102 also has a structure capable of being separated and coupled, and is located in the second line to connect the outlet and the valve V104.

제어 모듈은 설정(SET) 값과 질량 유량계(MFM)에 의해 측정된 유체의 양에 기초하여 컨트롤 밸브(CV100)를 제어할 수 있다. 컨트롤 밸브(CV100)는 제어 모듈의 제어에 의해 분기 라인(L13)에 흐르는 유체의 양을 조절할 수 있다. The control module may control the control valve CV100 based on the SET value and the amount of fluid measured by the mass flow meter MFM. The control valve CV100 may adjust the amount of fluid flowing in the branch line L13 under the control of the control module.

본 실시예에서, 제어 모듈은 기화되는 소스의 양을 일정하게 유지하기 위해서 질량 유량계(MFM)의 측정값을 이용한다. 제어 모듈은 질량 유량계(MFM)의 측정값의 변화 정도에 따라서, 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스의 양을 조절한다. 캐리어 가스는 예를 들면 N2, Ar, 및/또는 He 와 같은 유체일 수 있다. In this embodiment, the control module uses the measurement of the mass flow meter (MFM) to keep the amount of the source being vaporized constant. The control module adjusts the amount of the carrier gas provided to the canister B100 according to the degree of change in the measured value of the mass flow meter MFM. The carrier gas may be, for example, a fluid such as N2, Ar, and/or He.

구체적으로, 제어 모듈은 분기 라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스의 양을 조절함으로써, 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스의 양을 조절한다. 본 실시예에서, 제어 모듈은 질량 유량계(MFM)의 측정값의 변화 정도에 따라서 분기 라인(L13)에 위치된 컨트롤 밸브(CV)를 PID(proportional integral derivative control) 제어함으로써 분기 라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스의 양을 조절한다.Specifically, the control module adjusts the amount of the carrier gas provided to the canister B100 by adjusting the amount of the carrier gas flowing through the branch line L13. In this embodiment, the control module controls the control valve (CV) located in the branch line (L13) according to the degree of change of the measured value of the mass flow meter (MFM) by PID (proportional integral derivative control) control to the branch line (L13). Controls the amount of flowing carrier gas.

제어 모듈은 질량 유량계(MFM)의 측정값의 변화 정도를 알기 위해서, 설정(SET) 값을 이용한다. 설정(SET) 값은 일종의 기준 값으로서, 제어 모듈은 질량 유량계(MFM)의 측정값과 설정(SET) 값의 차이에 기초하여 기화량의 변화 정도를 알 수 있다. The control module uses the SET value to know the degree of change in the measurement value of the mass flow meter (MFM). The set (SET) value is a kind of reference value, and the control module can know the degree of change in the vaporization amount based on the difference between the measured value of the mass flow meter (MFM) and the set (SET) value.

예를 들면, 제어 모듈은 질량 유량계(MFM)가 측정한 측정값이 설정 값 보다 커지면, 분기 라인(L13)으로 흐르는 유체(예를 들면 캐리어 가스)의 양이 증가 되도록(즉, 인렛으로 주입되는 유체(예를 들면 캐리어 가스)의 양은 감소되도록) 컨트롤 밸브(CV100)의 동작을 제어한다. For example, if the measured value measured by the mass flow meter (MFM) is greater than the set value, the control module may be configured to increase the amount of fluid (eg, carrier gas) flowing into the branch line L13 (ie, to be injected into the inlet). Controls the operation of the control valve CV100 so that the amount of fluid (eg carrier gas) is reduced.

한편, 제어 모듈은 질량 유량계(MFM)가 측정한 측정값이 설정 값 보다 작아지면, 분기 라인(L13)으로 흐르는 유체(예를 들면 캐리어 가스)의 양이 감소되도록(즉, 인렛으로 주입되는 유체(예를 들면 캐리어 가스)의 양은 증가되도록) 컨트롤 밸브(CV100)의 동작을 제어한다. On the other hand, when the measured value measured by the mass flow meter (MFM) becomes smaller than the set value, the control module is configured to reduce the amount of the fluid (eg, carrier gas) flowing into the branch line L13 (ie, the fluid injected into the inlet). The operation of the control valve CV100 is controlled (such that the amount of carrier gas, for example) is increased.

본 발명에 따른 실시예들에서, 설정 값은 다음 수식In embodiments according to the present invention, the set value is expressed by the following formula

ZERO 값 < 설정 값 < SPAN 값ZERO value < set value < SPAN value

을 만족하도록 정해질 수 있고, ZERO 값과 SPAN 값을 결정하는 방법은 도 10을 참조하여 상세히 후술하기로 한다.may be determined to satisfy , and a method of determining the ZERO value and the SPAN value will be described later in detail with reference to FIG. 10 .

제1실시예는 기화 모드와 퍼지 모드와 같은 동작모드를 포함할 수 있으며, 이하에서는, 도 2와 도 3을 참조하여 동작모드들을 순차적으로 설명하기로 한다. The first embodiment may include an operation mode such as a vaporization mode and a purge mode. Hereinafter, the operation modes will be sequentially described with reference to FIGS. 2 and 3 .

기화 vaporization 모드mode

도 2를 참조하면, 기화 모드는 캐니스터(B100)에 저장된 소스가 기화되는 동작이 수행되는 모드이며, 소스의 기화를 위한 열이 히터(미 도시)에 의해 캐니스터(B100)에게 제공된다.Referring to FIG. 2 , the vaporization mode is a mode in which an operation in which the source stored in the canister B100 is vaporized is performed, and heat for vaporizing the source is provided to the canister B100 by a heater (not shown).

기화 모드에서, 제1라인(L11)에 위치된 밸브(V101)와 밸브(V105)는 제1라인(L11)에 캐리어 가스가 캐니스터(B100)로 흐르도록 개방되어 있고, 분기라인(L13)에 위치된 컨트롤 밸브(CV100)는 분기 라인(L13)에 캐리어 가스의 일부가 흐르도록 개방되어 있고, 밸브(V103)는 분기 라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스가 합류점(P12)으로 흐르도록 개방되어 있고, 밸브(V104)는 캐니스터(B100)에서 기화된 소스가 처리 설비 방향으로 흐르도록 개방된 상태이다.In the vaporization mode, the valve V101 and the valve V105 located in the first line L11 are opened so that the carrier gas flows into the canister B100 in the first line L11, and the branch line L13 is The located control valve CV100 is opened to allow a portion of the carrier gas to flow to the branch line L13, and the valve V103 is opened to allow the carrier gas flowing to the branch line L13 to flow to the confluence point P12, , the valve V104 is in an open state so that the source vaporized in the canister B100 flows toward the treatment facility.

질량유량제어기(MFC)는 제1라인(L11)으로 일정한 양의 캐리어 가스가 흐르도록 동작한다. 질량유량제어기(MFC)에 의해 제공되는 캐리어 가스의 양은 일정하게 유지되므로, 분기 라인(L13)으로 흐르는 캐리어 가스의 양을 조절함으로써 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스의 양을 조절할 수 있다. The mass flow controller MFC operates to flow a predetermined amount of the carrier gas to the first line L11. Since the amount of the carrier gas provided by the mass flow controller MFC is kept constant, the amount of the carrier gas provided to the canister B100 may be adjusted by adjusting the amount of the carrier gas flowing to the branch line L13 .

예를 들면, 분기 라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스의 양이 감소되면, 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스는 증가된다. 이렇게 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스가 증가되면 기화되는 소스의 양이 증가 된다. 한편, 분기 라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스의 양이 증가되면, 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스는 감소된다. 이렇게 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스가 감소되면 기화되는 소스의 양(즉, 기화량)이 감소된다. 즉, 처리 설비에 기화량을 일정하게 제공하기 위해서, 캐니스터(B100)에 제공되는 캐리어 가스의 양을 조절하는 것이다.For example, if the amount of the carrier gas flowing in the branch line L13 is decreased, the carrier gas provided to the canister B100 is increased. In this way, when the carrier gas provided to the canister B100 is increased, the amount of the vaporized source is increased. On the other hand, when the amount of the carrier gas flowing in the branch line L13 is increased, the carrier gas provided to the canister B100 is decreased. When the carrier gas provided to the canister B100 is reduced in this way, the amount of the vaporized source (ie, the vaporized amount) is reduced. That is, the amount of the carrier gas provided to the canister B100 is adjusted in order to provide a constant vaporization amount to the processing facility.

질량유량제어기(MFC)를 경유한 캐리어 가스의 일부는 인렛을 통해서 캐니스터(B100)에 제공되고, 나머지 캐리어 가스는 분기 라인(L13)으로 흐른다. 분기 라인(L13)을 흐르는 캐리어 가스는 제2라인(L12)과 분기 라인(L13)이 합류하는 합류점(P12)에서 기화된 가스(즉, 소스가 기화된 것임)와 합류하여 제2라인(L12)을 흐르게 된다. 합류점(P12)의 하류에 위치된 질량유량계(MFM)는 제2라인(L12)에 흐르는 유체의 양을 측정한다. 여기서 측정되는 유체는, 캐리어 가스(인렛으로 주입된 캐리어 가스 + 분기 라인을 통해서 흐르는 캐리어 가스)와 소스가 기화된 가스이다. A portion of the carrier gas passed through the mass flow controller MFC is provided to the canister B100 through the inlet, and the remaining carrier gas flows to the branch line L13. The carrier gas flowing through the branch line L13 joins the vaporized gas (that is, the source is vaporized) at the junction P12 where the second line L12 and the branch line L13 join, and then joins the second line L12 ) will flow. A mass flow meter MFM located downstream of the confluence point P12 measures the amount of fluid flowing in the second line L12. The fluid to be measured here is a carrier gas (carrier gas injected into the inlet + carrier gas flowing through the branch line) and the gas from which the source is vaporized.

한편, 분기 라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스의 양은 컨트롤 밸브(CV100)에 의해 조절되며, 컨트롤 밸브(CV100)의 동작은 제어 모듈에 의해 제어된다. Meanwhile, the amount of the carrier gas flowing in the branch line L13 is controlled by the control valve CV100, and the operation of the control valve CV100 is controlled by the control module.

질량유량계(MFM)의 측정값은 제어 모듈로 제공되며, 제어 모듈은 설정(SET) 값과 질량유량계(MFM)에 의해 측정된 값을 비교하여, 컨트롤 밸브(CV100)의 동작을 제어한다. 예를 들면, 제어 모듈은 설정(SET) 값과 질량유량계(MFM)에 의해 측정된 값을 비교하여, 소스의 기화량이 높거나 낮다고 판단할 경우 분기라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스의 양을 높이거나 낮추는 동작을 수행한다. 즉, 제어 모듈은 컨트롤 밸브(CV100)의 동작을 제어함으로써, 컨트롤 밸브(CV100)는 제어 모듈의 제어에 따라서 분기 라인(L13)에 흐르는 캐리어 가스의 양을 조절한다. The measured value of the mass flow meter (MFM) is provided to the control module, and the control module controls the operation of the control valve (CV100) by comparing the set value (SET) with the value measured by the mass flow meter (MFM). For example, the control module compares the set (SET) value with the value measured by the mass flow meter (MFM), and when determining that the vaporization amount of the source is high or low, increases the amount of the carrier gas flowing in the branch line L13. or lowering it. That is, the control module controls the operation of the control valve CV100 so that the control valve CV100 adjusts the amount of the carrier gas flowing in the branch line L13 according to the control of the control module.

본 실시예에 따르면, 기화 모드에서 캐리어 가스의 일부가 분기 라인(P13)으로 흐르므로, 밸브들에 잔류하는 유체를 제거할 수 있게 된다. 즉, 퍼지 모드가 수행되기 전에 기화 모드에서도 퍼지 동작이 예비적으로 수행되게 된다. According to the present embodiment, since a part of the carrier gas flows to the branch line P13 in the vaporization mode, it is possible to remove the fluid remaining in the valves. That is, the purge operation is preliminarily performed even in the vaporization mode before the purge mode is performed.

퍼지 Fudge 모드mode

도 3을 참조하면, 퍼지 모드는 캐니스터(B100)에 연결된 라인들(L11, L12, L13)과 밸브들을 청소시키기 위한 동작이 수행되는 모드이다. Referring to FIG. 3 , the purge mode is a mode in which an operation for cleaning the lines L11 , L12 , and L13 connected to the canister B100 and the valves is performed.

퍼지 모드에서, 캐리어 가스는 모두 분기 라인(L13)으로 흐르게 된다. In the purge mode, all of the carrier gas flows to the branch line L13.

퍼지 모드에서, 밸브들(V101, V104)은 폐쇄된(Closed) 상태이고 컨트롤 밸브(CV100)와 밸브(V103)는 개방된 상태이다. 따라서, 퍼지 가스는 분기 라인을 통해서 외부로 배출된다. In the purge mode, the valves V101 and V104 are in a closed state and the control valve CV100 and the valve V103 are in an open state. Accordingly, the purge gas is discharged to the outside through the branch line.

도 4 내지 도 6는 본 발명의 제2실시예를 설명하기 위한 도면들이다. 4 to 6 are views for explaining a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2실시예에 따른 기화 시스템은 소스를 저장할 수 있는 통 형상을 가지며, 외부로부터 유체를 유입 받을 수 있는 인렛과 기화된 가스를 외부로 유출할 수 있는 아웃렛을 가진 캐니스터(B200), 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공하는 라인들, 라인들에 흐르는 유체들을 조절하기 위한 구성요소들, 질량유량제어기(MFC), 질량 유량계(MFM), 및 제어 모듈을 포함할 수 있다. The vaporization system according to the second embodiment of the present invention has a cylindrical shape capable of storing a source, and a canister (B200) having an inlet capable of receiving a fluid from the outside and an outlet capable of discharging vaporized gas to the outside; It may include lines that provide a path for the fluid to travel, components for regulating fluids flowing in the lines, a mass flow controller (MFC), a mass flow meter (MFM), and a control module.

제2실시예에 따른 기화 시스템도 히터(미 도시)를 더 포함할 수 있으며, 히터는 캐니스(B200)의 내부에 저장된 소스를 기화시키기 위해서 캐니스터(B200)에 열을 가할 수 있다. The vaporization system according to the second embodiment may further include a heater (not shown), and the heater may apply heat to the canister B200 to vaporize the source stored in the canister B200.

제1실시예와 제2실시예를 비교하면, 제2실시예는 밸브들(V103, V104)를 포함하지 않다는 점에서만 제1실시예와 차이가 있다. 즉, 제2실시예에서, 분기 라인(L23)에 제1실시예의 밸브(V103)에 대응되는 밸브가 없고, 제2라인(L22)에 제1실시예의 밸브(V104)에 대응되는 밸브가 없다. Comparing the first embodiment with the second embodiment, the second embodiment differs from the first embodiment only in that it does not include the valves V103 and V104. That is, in the second embodiment, there is no valve corresponding to the valve V103 of the first embodiment in the branch line L23, and there is no valve corresponding to the valve V104 of the first embodiment in the second line L22 .

제1실시예와 제2실시예의 공통되는 구성요소들은 동일한 기능을 하므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Components common to the first embodiment and the second embodiment have the same function, and thus overlapping descriptions will be omitted.

이제, 도 5와 도 6을 참조하여 제2실시예의 동작을 설명하기로 한다. 제2실시예도 기화 모드와 퍼지 모드와 같은 동작모드를 포함할 수 있다.Now, the operation of the second embodiment will be described with reference to FIGS. 5 and 6 . The second embodiment may also include an operation mode such as a vaporization mode and a purge mode.

기화 모드vaporization mode

도 5를 참조하면, 기화 모드는 캐니스터(B200)에 저장된 소스가 기화되는 동작이 수행되는 모드이며, 소스의 기화를 위한 열이 히터(미 도시)에 의해 캐니스터(B200)에게 제공된다. Referring to FIG. 5 , the vaporization mode is a mode in which an operation in which the source stored in the canister B200 is vaporized is performed, and heat for vaporizing the source is provided to the canister B200 by a heater (not shown).

기화 모드에서, 제1라인(L21)에 위치된 밸브(V201)와 밸브(V205)는 제1라인(L21)에 캐리어 가스가 캐니스터(B200)로 흐르도록 개방되어 있고, 분기라인(L23)에 위치된 컨트롤 밸브(CV200)는 분기 라인(L23)에 캐리어 가스의 일부가 흐르도록 개방되어 있다.In the vaporization mode, the valve V201 and the valve V205 located in the first line L21 are opened so that the carrier gas flows into the canister B200 in the first line L21, and the branch line L23 is The located control valve CV200 is opened to allow a portion of the carrier gas to flow to the branch line L23.

질량유량제어기(MFC)는 제1라인(L21)으로 일정한 양의 캐리어 가스가 흐르도록 동작한다. 질량유량제어기(MFC)에 의해 제공되는 캐리어 가스의 양은 일정하게 유지되므로, 분기 라인(L23)으로 흐르는 캐리어 가스의 양을 조절함으로써 캐니스터(B200)에 제공되는 캐리어 가스의 양을 조절할 수 있다. 제1실시예처럼 제2실시예 역시, 처리 설비에 기화량을 일정하게 제공하기 위해서, 캐니스터(B200)에 제공되는 캐리어 가스의 양을 조절하는 것이다.The mass flow controller MFC operates to flow a predetermined amount of the carrier gas to the first line L21. Since the amount of the carrier gas provided by the mass flow controller MFC is kept constant, the amount of the carrier gas provided to the canister B200 may be adjusted by adjusting the amount of the carrier gas flowing to the branch line L23 . Like the first embodiment, the second embodiment also adjusts the amount of the carrier gas provided to the canister B200 in order to provide a constant vaporization amount to the processing equipment.

질량유량제어기(MFC)를 경유한 캐리어 가스의 일부는 인렛을 통해서 캐니스터(B200)에 제공되고, 나머지 캐리어 가스는 분기 라인(L23)으로 흐른다. 분기 라인(L23)을 흐르는 캐리어 가스는 제2라인(L22)과 분기 라인(L23)이 합류하는 합류점(P12)에서 기화된 가스와 합류하여 제2라인(L22)을 흐르게 된다. 합류점(P22)의 하류에 위치된 질량유량계(MFM)는 제2라인(L22)에 흐르는 유체의 양을 측정한다. A portion of the carrier gas passing through the mass flow controller MFC is provided to the canister B200 through the inlet, and the remaining carrier gas flows to the branch line L23. The carrier gas flowing through the branch line L23 joins the vaporized gas at the junction P12 where the second line L22 and the branch line L23 join and flows through the second line L22. A mass flow meter MFM located downstream of the confluence point P22 measures the amount of fluid flowing in the second line L22.

여기서 측정되는 유체는, 질량유량제어기(MFC)에 의해 제1라인(L21)에 흐르도록 조절된 캐리어 가스(인렛으로 주입된 캐리어 가스 + 분기 라인을 통해서 흐르는 캐리어 가스)와 기화된 소스이다. The fluid to be measured here is a carrier gas (carrier gas injected into the inlet + carrier gas flowing through the branch line) adjusted to flow in the first line L21 by the mass flow controller MFC and a vaporized source.

한편, 분기 라인(L23)에 흐르는 캐리어 가스의 양은 컨트롤 밸브(CV200)에 의해 조절되며, 컨트롤 밸브(CV100)의 동작은 제어 모듈에 의해 제어된다. Meanwhile, the amount of the carrier gas flowing in the branch line L23 is controlled by the control valve CV200, and the operation of the control valve CV100 is controlled by the control module.

질량유량계(MFM)의 측정값은 제어 모듈로 제공되며, 제어 모듈은 설정(SET) 값과 질량유량계(MFM)의 측정값을 비교하여, 컨트롤 밸브(CV200)의 동작을 제어한다. 예를 들면, 제어 모듈은 설정(SET) 값과 질량유량계(MFM)의 측정값을 비교하여, 소스의 기화량이 기준보다 높거나 낮다고 판단할 경우 분기라인(L23)에 흐르는 캐리어 가스의 양을 높이거나 낮추는 동작을 수행한다. 즉, 제어 모듈은 컨트롤 밸브(CV200)의 동작을 제어함으로써, 컨트롤 밸브(CV200)는 제어 모듈의 제어에 따라서 분기 라인(L23)에 흐르는 캐리어 가스의 양을 조절한다. The measured value of the mass flow meter (MFM) is provided to the control module, and the control module controls the operation of the control valve (CV200) by comparing the set value (SET) with the measured value of the mass flow meter (MFM). For example, the control module compares the set (SET) value with the measured value of the mass flow meter (MFM) and, when determining that the vaporization amount of the source is higher or lower than the reference, increases the amount of the carrier gas flowing in the branch line L23. or lowering it. That is, the control module controls the operation of the control valve CV200 so that the control valve CV200 adjusts the amount of the carrier gas flowing in the branch line L23 according to the control of the control module.

본 실시예에 따르면, 기화 모드에서 캐리어 가스의 일부가 분기 라인(P23)으로 흐르므로, 밸브들에 잔류하는 유체를 제거할 수 있게 된다. 즉, 퍼지 모드가 수행되기 전에 기화 모드에서도 퍼지 동작이 예비적으로 수행되게 된다. According to the present embodiment, since a part of the carrier gas flows to the branch line P23 in the vaporization mode, it is possible to remove the fluid remaining in the valves. That is, the purge operation is preliminarily performed even in the vaporization mode before the purge mode is performed.

퍼지 모드fuzzy mode

도 6을 참조하면, 퍼지 모드는 캐니스터(B200)에 연결된 라인들(L21, L22, L23)과 밸브들을 청소시키기 위한 동작이 수행되는 모드이다. Referring to FIG. 6 , the purge mode is a mode in which an operation for cleaning the lines L21 , L22 , and L23 connected to the canister B200 and valves is performed.

퍼지 모드에서, 캐리어 가스는 모두 분기 라인(L23)으로 흐르게 된다. In the purge mode, all of the carrier gas flows to the branch line L23.

퍼지 모드에서, 밸브(V201)는 폐쇄된(Closed) 상태이고 컨트롤 밸브(CV200)는 개방된 상태이다. 퍼지 가스는 분기 라인을 통해서 외부로 배출된다. In the purge mode, the valve V201 is in a closed state and the control valve CV200 is in an open state. The purge gas is discharged to the outside through a branch line.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 설정 값을 설명하기 위한 도면이다. 7 is a view for explaining a setting value according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 설정 값을 결정하는 방법은, ZERO 값을 측정하는 단계(S101), SPAN 값을 측정하는 단계(S103), 및 설정(SET) 값을 설정하는 단계(S105)를 포함할 수 있다. The method for determining the set value according to an embodiment of the present invention includes the steps of measuring a ZERO value (S101), measuring a SPAN value (S103), and setting a setting (SET) value (S105) may include

ZERO 값은 캐리어 가스를 캐니스터에 주입하지 않은 상태에서 소스를 기화시켰을 때 측정되는 값이고, SPAN 값은 캐리어 가스를 분기 라인으로 보내지 않고(즉, 컨트롤 밸브가 분기 라인에 캐리어 가스가 흐르지 못하도록 동작하는 상태) 모든 캐리어 가스를 캐니스터로 주입되는 상태에서 소스를 기화시켰을 때 측정되는 값이다. 즉, 질량유량제어기(MFC)에 의해 일정량의 캐리어 가스가 제1라인으로 제공되는데, 제공된 캐리어 가스 전부가 캐니스터로 제공될 때 측정되는 값이 SPAN 값이고, 캐리어 가스가 캐니스터로 전혀 제공하지 않은 상태에서 측정되는 값이 ZERO 값이다. The ZERO value is a value measured when the source is vaporized without injecting the carrier gas into the canister, and the SPAN value is the value measured when the carrier gas is not sent to the branch line (that is, the control valve operates to prevent the carrier gas from flowing into the branch line). State) This is a value measured when the source is vaporized while all carrier gases are injected into the canister. That is, a predetermined amount of carrier gas is provided to the first line by the mass flow controller (MFC), and the value measured when all of the provided carrier gas is provided to the canister is the SPAN value, and the carrier gas is not provided to the canister at all. The measured value is the ZERO value.

이하에서는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 기화기에 본 발명의 일 실시예에 따른 설정 값을 결정하는 방법을 적용되었다고 가정하고, 본 방법을 설명하기로 한다. Hereinafter, it is assumed that the method for determining a set value according to an embodiment of the present invention is applied to the carburetor described with reference to FIGS. 1 to 3 , and the present method will be described.

ZERO 값을 측정하는 단계(S101)는, 기화모드에서, 밸브(V101) 또는 밸브(V105)가 폐쇄된 상태에서 제2라인(L12)에 흐르는 유체(기화된 소스가 포함되어 있음)를 질량유량계(MFM)가 측정하는 단계이다. In the step S101 of measuring the ZERO value, in the vaporization mode, the fluid (including the vaporized source) flowing in the second line L12 in the closed state of the valve V101 or V105 is measured by a mass flow meter. (MFM) is the measurement step.

SPAN 값을 측정하는 단계(S103)는, 기화모드에서, 밸브(V101)와 밸브(V105)가 완전히 개방되어 있고 컨트롤 밸브(CV100)는 완전히 폐쇄된 상태이고 밸브(V104)과 밸브(V106)는 완전히 개방된 상태에서, 제2라인(L12)에 흐르는 유체(기화된 소스가 포함되어 있음)를 질량유량계(MFM)가 측정하는 단계이다. In the step of measuring the SPAN value (S103), in the vaporization mode, the valve (V101) and the valve (V105) are fully open, the control valve (CV100) is in a completely closed state, and the valve (V104) and the valve (V106) are This is a step in which the mass flow meter (MFM) measures the fluid (including the vaporized source) flowing through the second line L12 in the fully opened state.

설정(SET) 값을 설정하는 단계(S105)는 다음 수식The step (S105) of setting the setting (SET) value is performed by the following formula

ZERO 값 < SET 값 < SPAN 값ZERO value < SET value < SPAN value

을 만족하도록 설정(SET) 값을 결정하는 단계이다. 상술한 바와 같이 S105 단계에서 결정된 설정(SET) 값은 제어 모듈에 저장된다. It is the step of determining the SET value to satisfy . As described above, the setting (SET) value determined in step S105 is stored in the control module.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기화 방법을 설명하기 위한 도면이다. 8 is a view for explaining a vaporization method according to an embodiment of the present invention.

본 기화 방법은 본 발명의 실시예들에 따른 기화기 시스템이 기화 모드를 수행함으로써 소스를 기화시키고, 기화 모드에서 질량 유량계가 분기 라인과 제2라인의 합류점보다 하류에 흐르는 유체의 양을 측정하는 단계(S201), 제어 모듈이 질량 유량계의 측정값과 설정(SET) 값에 기초하여 기화량이 변화되었는지를 판단하고(S203), 그 판단결과에 따라서 컨트롤 밸브를 구동(즉, 제어)하는 단계(S205)를 포함할 수 있다. In the vaporization method, the vaporizer system according to embodiments of the present invention vaporizes the source by performing vaporization mode, and in the vaporization mode, the mass flow meter measures the amount of fluid flowing downstream from the junction of the branch line and the second line (S201), the control module determines whether the vaporization amount is changed based on the measured value and the set (SET) value of the mass flow meter (S203), and drives (ie, controls) the control valve according to the determination result (S205) ) may be included.

S203 단계에서 제어 모듈이 기화량이 변화되었는지를 판단하는 방법은, 질량 유량계의 측정값과 설정(SET) 값의 차이가 있는지 여부를 확인함으로써 수행될 수 있다. The method in which the control module determines whether the vaporization amount is changed in step S203 may be performed by checking whether there is a difference between the measured value of the mass flow meter and the set (SET) value.

S205 단계는, 질량 유량계의 측정값과 설정(SET) 값의 차이의 정도에 따라서 컨트롤 밸브를 제어하는 동작을 수행한다.In step S205, an operation of controlling the control valve according to the degree of difference between the measured value of the mass flow meter and the set value is performed.

상술한 기화 방법은 질량 유량계(MFM)가 분기 라인과 제2라인의 합류점보다 하류에 위치된 경우에 적용될 수 있다. The above-described vaporization method may be applied when the mass flow meter (MFM) is located downstream from the junction of the branch line and the second line.

한편, 질량 유량계(MFM)가 합류점(P12)과 아웃렛 사이에 위치되는 대안적 실시예의 경우, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기화 방법은 다음과 같은 방식으로 수행될 수 있다. Meanwhile, in the case of an alternative embodiment in which the mass flow meter MFM is located between the confluence point P12 and the outlet, the vaporization method according to another embodiment of the present invention may be performed in the following manner.

즉, 기화기 시스템이 기화 모드를 수행함으로써 소스를 기화시키고, 기화 모드에서 질량 유량계가 합류점(P12)과 아웃렛 사이에 흐르는 유체의 양을 측정하는 단계, 제어 모듈이 질량 유량계의 측정값과 설정(SET) 값에 기초하여 기화량이 변화되었는지를 판단하고, 그 판단결과에 따라서 컨트롤 밸브를 구동(즉, 제어)하는 단계를 포함할 수 있다. That is, the vaporizer system vaporizes the source by performing the vaporization mode, the mass flow meter measures the amount of fluid flowing between the confluence point (P12) and the outlet in the vaporization mode; ), determining whether the vaporization amount is changed based on the value, and driving (ie, controlling) the control valve according to the determination result.

질량 유량계(MFM)가 합류점(P12)과 아웃렛 사이에 위치되거나, 질량 유량계(MFM)가 밸브(V104)와 아웃렛 사이에 위치되는 대안적 실시예들의 경우, 본 발명에 따른 기화 방법은 다음과 같은 방식으로 수행될 수 있다. For alternative embodiments in which the mass flow meter (MFM) is located between the confluence point (P12) and the outlet, or the mass flow meter (MFM) is located between the valve (V104) and the outlet, the vaporization method according to the present invention is as follows: can be done in this way.

즉, 기화기 시스템이 기화 모드를 수행함으로써 소스를 기화시키고, 기화 모드에서 질량 유량계가 합류점(P12)과 아웃렛 사이에 흐르는 유체의 양을 측정하는 단계, 제어 모듈이 질량 유량계의 측정값과 설정(SET) 값에 기초하여 기화량이 변화되었는지를 판단하고, 그 판단결과에 따라서 컨트롤 밸브를 구동(즉, 제어)하는 단계를 포함할 수 있다.That is, the vaporizer system vaporizes the source by performing the vaporization mode, the mass flow meter measures the amount of fluid flowing between the confluence point (P12) and the outlet in the vaporization mode; ), determining whether the vaporization amount is changed based on the value, and driving (ie, controlling) the control valve according to the determination result.

도 9 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨트롤 밸브를 설명하기 위한 도면들이다. 9 to 18 are views for explaining a control valve according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 컨트롤 밸브(이하, '본 컨트롤 밸브')는 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 기화기 시스템에서의 컨트롤 밸브로 사용될 수 있다. 한편, 본 컨트롤 밸브는 상술한 기화기 시스템 뿐만 아니라 유체를 양 방향으로 분기할 필요가 있는 시스템이나 장치에도 사용될 수 있다. The control valve (hereinafter, 'this control valve') according to an embodiment of the present invention may be used as a control valve in the carburetor system described with reference to FIGS. 1 to 8 . On the other hand, the present control valve can be used not only in the above-described vaporizer system, but also in systems or devices that need to branch the fluid in both directions.

도 9 내지 도 18을 참조하여 설명하는 컨트롤 밸브는 유체의 흐름을 막거나 유체의 흐름을 허용하거나 흐르는 유체의 양을 조절할 수 있고 있다. 특히, 본 컨트롤 밸브는 유체를 일 방향으로 분기하거나 또는 양 방향으로 분기할 수 있다. 또한, 본 컨트롤 밸브는 양 방향으로 유체를 분기할 때 동등한 양으로 유체를 분기하거나 또는 서로 다른 양으로 유체를 분기할 수 있다. The control valve described with reference to FIGS. 9 to 18 may block the flow of the fluid, allow the flow of the fluid, or control the amount of the flowing fluid. In particular, the present control valve may branch the fluid in one direction or in both directions. In addition, the control valve may branch the fluid in an equal amount or branch the fluid in different amounts when branching the fluid in both directions.

도 9 내지 도 18을 참조하면, 본 컨트롤 밸브는 바디부, 유입부, 제1유출부, 제2유출부, 제1액츄에이터, 및 제2액츄에이터를 포함할 수 있다. 여기서, 엑츄에이터는 에너지원(예를 들면, 전류, 작동유압, 또는 기력압 등)에 의해 동작하며 이러한 에너지를 움직임(예를 들면, 전진 또는 후진)으로 변환시키는 장치이다. 9 to 18 , the control valve may include a body, an inlet, a first outlet, a second outlet, a first actuator, and a second actuator. Here, the actuator is a device that operates by an energy source (eg, current, hydraulic pressure, or pneumatic pressure, etc.) and converts this energy into motion (eg, forward or backward).

유입부는 유체를 유입 받으며, 유입부에 의해 유입된 유체는 바디부에서 일 방향 또는 양 방향으로 분기된다. 바디부는 제1액츄에이터와 제2액츄에이터의 제어에 의해 유체를 다음과 같이 분기하도록 구성되어 있다. The inlet receives the fluid, and the fluid introduced by the inlet is branched from the body in one or both directions. The body part is configured to branch the fluid as follows under the control of the first actuator and the second actuator.

i) 유입부를 통해서 유입받은 유체의 적어도 일부가 제1유출부로만 유출되도록 함i) at least a portion of the fluid received through the inlet flows out only through the first outlet

ii) 유입부를 통해서 유입받은 유체의 적어도 일부가 제2유출부로만 유출되도록 함ii) at least a portion of the fluid received through the inlet flows out only through the second outlet

iii) 유입부를 통해서 유입받은 유체의 적어도 일부가 제1유출부와 제2유출부로 유출되도록 함(이 경우, 제1유출부로 유출되는 유체의 양과 제2유출부로 유출되는 양은 서로 같거나 다를 수 있음) iii) At least a portion of the fluid received through the inlet flows out to the first outlet and the second outlet (in this case, the amount of fluid flowing out to the first outlet and the amount flowing out to the second outlet may be the same or different )

유입부는 유체를 외부로부터 유입받고 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공하고, 또한 유체 제공 라인과 분리 가능하게 결합될 수 있는 결합 기능을 제공한다.The inlet unit receives a fluid from the outside and provides a path through which the fluid can move, and also provides a coupling function that can be separably coupled to the fluid providing line.

제1유출부는 바디부로부터 유출되는 유체를 유입받아 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공하고, 또한 외부 장치(예를 들면, 캐니스터) 또는 유체 배출 라인(이하, '제1유체 배출 라인')과 분리 가능하게 결합될 수 있는 결합 기능을 제공한다. 본 실시예가 도 1을 참조하여 설명한 기화시스템에 적용된다면, 제1유출부는 예를 들면 캐니스터(B100)의 인렛으로 유체가 이동할 수 있는 경로와 연결될 수 있을 것이다. The first outlet receives the fluid flowing out from the body and provides a path through which the fluid can move, and is also separated from an external device (eg, a canister) or a fluid discharge line (hereinafter, 'first fluid discharge line'). It provides a binding function that can be possibly combined. If this embodiment is applied to the vaporization system described with reference to FIG. 1 , the first outlet may be connected to a path through which the fluid may move to the inlet of the canister B100, for example.

제2유출부는 바디부로부터 유출되는 유체를 유입받아 유체가 이동할 수 있는 경로를 제공하고, 또한 유체 배출 라인(이하, '제2유체 배출 라인')과 분리 가능하게 결합될 수 있는 결합 기능을 제공한다. 본 실시예가 도 1을 참조하여 설명한 기화시스템에 적용된다면, 제2유출부는 예를 들면 분기 라인(L13)과 연결될 수 있을 것이다. The second outlet receives the fluid flowing out from the body portion and provides a path through which the fluid can move, and also provides a coupling function that can be separably coupled to the fluid discharge line (hereinafter, 'second fluid discharge line'). do. If this embodiment is applied to the vaporization system described with reference to FIG. 1 , the second outlet may be connected to, for example, the branch line L13.

바디부는 유입부로부터 유체를 유입 받을 수 있는 유입구, 제1유출부로 유체를 배출할 수 있는 배출구(이하, '제1배출구'), 및 제2유출부로 유체를 배출할 수 있는 배출구(이하, '제2배출구')를 포함할 수 있다. The body part has an inlet through which the fluid can be introduced from the inlet, an outlet through which the fluid can be discharged to the first outlet (hereinafter, 'first outlet'), and an outlet through which the fluid can be discharged through the second outlet (hereinafter, ' It may include a second outlet ').

본 실시예에서, 유입부를 통해서 유입되는 유체는 유입구로 이동될 수 있도록, 유입부와 유입구는 결합되어 있다. 또한, 제1배출구를 통해서 유체가 제1배출부로 이동될 수 있도록, 제1배출구와 제1배출부가 결합되어 있고, 제2배출구를 통해서 유체가 제2배출부로 이동될 수 있도록 제2배출구와 제2배출부가 결합되어 있다. 즉, 유입부와 유입구는 유체가 흐를 수 있도록 서로 연통되어 있고, 제1배출구와 제1배출부도 유체가 흐를 수 있도록 서로 연통되어 있고, 제2배출구와 제2배출부도 유체가 흐를 수 있도록 서로 연통되어 있다. In this embodiment, the inlet and the inlet are coupled so that the fluid introduced through the inlet can be moved to the inlet. In addition, the first outlet and the first outlet are coupled so that the fluid can move to the first outlet through the first outlet, and the second outlet and the second outlet are coupled so that the fluid can be moved to the second outlet through the second outlet. 2 outlets are combined. That is, the inlet and the inlet are in communication with each other so that the fluid can flow, the first outlet and the first outlet are also communicated with each other so that the fluid can flow, and the second outlet and the second outlet are also communicated with each other so that the fluid can flow. has been

바디부는, 또한, 유입라인, 제1배출라인, 및 제2배출라인을 더 포함할 수 있다.The body portion may further include an inlet line, a first discharge line, and a second discharge line.

본 실시예에서, 유입라인은 유체가 이동할 수 있는 유로를 포함하며, 그러한 유로는 유체를 유입 받을 수 있는 입구(이하, '유입라인 입구'라고 함)와, 유입라인 입구를 통해서 유입받은 유체의 적어도 일부를 제1배출라인으로 배출하기 위한 출구(이하, '유입라인 제1출구'라고 함)와, 유입라인 입구를 통해서 유입받은 유체의 적어도 일부를 제2배출라인으로 배출하기 위한 출구(이하, '유입라인 제2출구'라고 함)를 가진다. 여기서, '유입라인 입구'는 상술한 '유입구'이며, 이들 용어는 서로 구별할 필요가 있을 경우를 제외하고는 혼용하기로 한다. In this embodiment, the inlet line includes a flow path through which a fluid can move, and such a flow path includes an inlet through which the fluid can be introduced (hereinafter, referred to as 'inlet line inlet'), and An outlet for discharging at least a portion to the first discharge line (hereinafter referred to as 'inlet line first outlet') and an outlet for discharging at least a portion of the fluid received through the inlet line inlet to the second discharge line (hereinafter referred to as 'inlet line first outlet') , called 'inlet line 2nd exit'). Here, the 'inlet line inlet' is the above-mentioned 'inlet port', and these terms will be used interchangeably except when it is necessary to distinguish them from each other.

본 실시예에서, 유입라인의 유로는 메인 유로와 분기 유로를 포함한다. 메인 유로의 일 단부는 유입라인 입구(즉, 유입구)이고, 메인 유로의 나머지 단부는 분기 유로와 유체가 연통되도록 결합되어 있다. 분기 유로의 일 단부는 유입라인 제1출구이고, 분기 유로의 나머지 단부는 유입라인 제2출구이다. 따라서, 메인 유로의 유입 라인 입구로 유입된 유체는 분기 유로로 이동되며, 분기 유로의 유체는, 그 일부 또는 전부가 제1출구 또는 제2출구로 이동될 수 있다. In this embodiment, the flow path of the inlet line includes a main flow path and a branch flow path. One end of the main flow path is an inlet line (ie, an inlet), and the other end of the main flow path is coupled to the branch flow path to fluidly communicate. One end of the branch flow path is the first outlet of the inlet line, and the other end of the branch flow path is the second outlet of the inlet line. Accordingly, the fluid introduced into the inlet line inlet of the main flow path may be moved to the branch flow path, and some or all of the fluid in the branch flow path may be moved to the first outlet or the second outlet.

본 실시예에서, 제1배출라인은 유체가 이동될 수 있는 유로(이하, '제1배출라인 유로'라고 함)를 포함하며, 이러한 유로는 유입라인 제1출구로부터 배출되는 유체를 유입받을 수 있는 입구(이하, '제1배출라인 입구'라고 함)와, 제1배출라인 입구를 통해서 유입받은 유체를 제1배출부로 배출하기 위한 출구(이하, '제1배출라인 출구'라고 함)를 가진다. 후술하겠지만, 제1엑츄에이터에 의해 유입라인 제1출구와 제1배출라인 입구는 유체가 흐르도록 연통되거나 또는 유체가 흐르지 않도록 불통된다. 또한, 제1엑츄에이터는 제1출구로부터 제1배출라인 입구로 유체가 이동되는 양을 제어할 수 있다. 여기서, '제1배출라인 출구'는 상술한 '제1배출구'이며, 이들 용어는 서로 구별할 필요가 있을 경우를 제외하고는 혼용하기로 한다. In this embodiment, the first discharge line includes a flow path through which the fluid can move (hereinafter referred to as a 'first discharge line flow path'), and this flow path can receive the fluid discharged from the first outlet of the inflow line. an inlet (hereinafter referred to as 'first discharge line inlet') and an outlet for discharging the fluid received through the first discharge line inlet to the first discharge unit (hereinafter referred to as 'first discharge line outlet') have As will be described later, by the first actuator, the first outlet of the inlet line and the inlet of the first outlet line communicate with each other to allow the fluid to flow or to stop the fluid from flowing. In addition, the first actuator may control the amount of fluid moving from the first outlet to the first outlet line inlet. Here, the 'first discharge line outlet' is the above-mentioned 'first outlet', and these terms will be used interchangeably, except when it is necessary to distinguish them from each other.

도 11과 도 13의 bb' 단면을 참조하면, 제1배출라인과 유입라인 간의 연통 구조를 쉽게 이해할 수 있을 것이다. 11 and 13 , a communication structure between the first discharge line and the inlet line can be easily understood.

본 실시예에서, 제2배출라인은 유체가 이동될 수 있는 유로(이하, '제2배출라인 유로'라고 함)를 포함하며, 이러한 유로는 유입라인 제2출구로부터 배출되는 유체를 유입받을 수 있는 입구(이하, '제2배출라인 입구'라고 함)와, 제2배출라인 입구를 통해서 유입받은 유체를 제2배출부로 배출하기 위한 출구(이하, '제2배출라인 출구'라고 함)를 가진다. 후술하겠지만, 제2엑츄에이터에 의해 유입라인 제2출구와 제2배출라인 입구는 유체가 흐르도록 연통되거나 또는 유체가 흐르지 않도록 불통된다. 또한, 제2엑츄에이터는 유입라인 제2출구로부터 제2배출라인 입구로 유체가 이동되는 양을 제어할 수 있다. 여기서, '제2배출라인 출구'는 상술한 '제2배출구'이며, 이들 용어는 서로 구별할 필요가 있을 경우를 제외하고는 혼용하기로 한다. In this embodiment, the second discharge line includes a flow path through which the fluid can move (hereinafter referred to as a 'second discharge line flow path'), and this flow path can receive the fluid discharged from the second outlet of the inflow line. an inlet (hereinafter referred to as 'second discharge line inlet') and an outlet for discharging the fluid received through the second discharge line inlet to the second discharge unit (hereinafter referred to as 'second discharge line outlet') have As will be described later, the second outlet of the inlet line and the inlet of the second outlet line communicate with each other so that the fluid flows or are not communicated with each other so that the fluid does not flow by the second actuator. In addition, the second actuator may control the amount of fluid moving from the second outlet of the inlet line to the inlet of the second outlet line. Here, the 'second discharge line outlet' is the above-mentioned 'second outlet', and these terms will be used interchangeably, except when it is necessary to distinguish them from each other.

도 11과 도 13의 aa' 단면을 참조하면, 제2배출라인과 유입라인 간의 연통 구조를 쉽게 이해할 수 있을 것이다. 11 and 13 , a communication structure between the second discharge line and the inlet line can be easily understood.

이하에서는 도 10, 도 11, 도 14, 도 15, 도 17, 및 도18를 특히 참조하여, 제1엑츄에이터가 유입라인 제1출구와 제1배출라인 입구를 연통 또는 불통시키는 동작을 설명하기로 한다. Hereinafter, with particular reference to FIGS. 10, 11, 14, 15, 17, and 18, an operation in which the first actuator communicates between the first outlet of the inlet line and the inlet of the first outlet line will be described. do.

위 도면들을 참조하면, 본 실시예에서, 제1액츄에이터는 구동부(이하, '제1구동부'라고 함) 및 차단부(이하, '제1차단부'라고 함)를 포함하고, 제2액츄에이터도 이와 동일하게 구동부(이하, '제2구동부'라고 함) 및 차단부(이하, '제2차단부'라고 함)를 포함할 수 있다. Referring to the drawings above, in this embodiment, the first actuator includes a driving unit (hereinafter referred to as a 'first driving unit') and a blocking unit (hereinafter referred to as a 'first blocking unit'), and the second actuator is also In the same way, it may include a driving unit (hereinafter referred to as a 'second driving unit') and a blocking unit (hereinafter referred to as a 'second blocking unit').

본 실시예에서, 제1차단부는 결합부(이하, '제1결합부'라고 함)와 슬라이딩부(이하, '제1슬라이딩부'라고 함)를 포함한다. In this embodiment, the first blocking portion includes a coupling portion (hereinafter, referred to as a 'first coupling portion') and a sliding portion (hereinafter referred to as a 'first sliding portion').

제1결합부는 바디부의 유입라인 제1출구 또는 제1배출라인 입구가 위치된 바디부와 소정거리 이격되어 결합될 수 있다. 예를 들면, 제1결합부는 바디부의 유입라인 제1출구와 제1배출라인 입구가 위치된 면(F1)과 소정거리 이격되어 바디부와 결합된다. 이러한 바디부(예를 들면 면(F1))와 제1결합부가 형성하는 이격 공간(S1)은 유입라인 제1출구로부터 유출되는 유체가 제1배출라인 입구로 이동될 수 있는 유로로서의 기능을 수행한다. 후술하겠지만, 유입라인 제1출구가 제1슬라이딩부에 의해 차단되지 않으면, 유입라인 제1출구로부터의 유체가 상기 이격 공간(S1)을 통해서 제1배출라인 입구로 유입될 수 있다. 유입라인 제1출구와 제1슬라이딩부의 밀착의 정도(즉, 이격 거리)에 따라서, 유입라인 제1출구로부터 제1배출라인 입구로 유입되는 유체의 양이 결정될 수 있다. 유입라인 제1출구와 제1슬라이딩부가 완전히 밀착하면 유입라인 제1출구와 제1배출라인 입구는 유체가 이동될 수 없도록 불통되고, 유입라인 제1출구와 제1슬라이딩부가 유체가 이동할 수 있을 정도로 이격되면, 그러한 이격의 정도에 따른 유체의 양이 제1출구를 통해 유출되어 상기 이격 공간(S1)을 경유한 후 제1배출라인 입구를 통해서 유입되게 된다. The first coupling part may be coupled to the body part in which the first outlet of the inlet line or the inlet of the first outlet line of the body part is located and spaced apart from the body part by a predetermined distance. For example, the first coupling part is spaced apart from the surface F1 where the first outlet of the inlet line and the inlet of the first outlet line of the body part by a predetermined distance and is coupled to the body part. The space S1 formed by the body portion (for example, the surface F1) and the first coupling portion functions as a flow path through which the fluid flowing out from the inlet line first outlet can be moved to the first outlet line inlet. do. As will be described later, if the first outlet of the inlet line is not blocked by the first sliding part, the fluid from the first outlet of the inlet line may be introduced into the inlet of the first outlet line through the separation space S1. The amount of fluid flowing from the first outlet of the inlet line to the inlet of the first outlet may be determined according to the degree of close contact between the first outlet of the inlet line and the first sliding portion (ie, the separation distance). When the first outlet of the inlet line and the first sliding part are completely in close contact, the first outlet of the inlet line and the inlet of the first outlet line are closed so that the fluid cannot move, and the first outlet of the inlet line and the first sliding part can move the fluid. When spaced, the amount of fluid according to the degree of such separation flows out through the first outlet, passes through the separation space S1, and then flows in through the inlet of the first discharge line.

제1결합부는 그 내부에 제1슬라이딩부가 전진 또는 후진 운동을 할 수 있는 공간을 가지며, 제1슬라이딩부는 제1구동부에 의해 전진 또는 후진 운동을 한다. 즉, 제1슬라이딩부는 전진 또는 후진 운동을 할 수 있도록 제1결합부와 결합되어 있다. The first coupling part has a space inside which the first sliding part can move forward or backward, and the first sliding part moves forward or backward by the first driving part. That is, the first sliding part is coupled to the first coupling part so that the forward or backward movement can be performed.

도 18을 참조하면, 본 실시예는 제1슬라이딩부와 유입라인 제1출구간의 거리를 유지하기 위한 스프링이 추가적으로 포함할 수 있다. 이러한 실시예의 경우, 구동부가 동작하지 않을 경우에는 제1슬라이딩부와 유입라인 제1출구간의 거리가 일정하게 유지된다. 한편, 제1구동부가 동작하여 제1슬라이딩부가 유입라인 제1출구 방향으로 이동하면 제1출구와의 이격 거리에 대응하여 이격 공간(S1)에 흐르는 유체의 양이 조절될 수 있다. 도 18을 참조하여 설명한 스프링의 기능 및 구성은 후술하는 제2액츄에이터에도 같은 방식으로 포함될 수 있다. Referring to FIG. 18 , the present embodiment may additionally include a spring for maintaining a distance between the first sliding unit and the first outlet section of the inlet line. In the case of this embodiment, when the driving unit does not operate, the distance between the first sliding unit and the first outlet section of the inlet line is constantly maintained. Meanwhile, when the first driving unit operates and the first sliding unit moves in the direction of the first outlet of the inflow line, the amount of fluid flowing in the separation space S1 may be adjusted in response to the separation distance from the first outlet. The function and configuration of the spring described with reference to FIG. 18 may be included in the second actuator to be described later in the same manner.

제1슬라이딩부는 탄성력을 제공하는 구성요소(예를 들면, 스프링)와 결합되어 있으며, 제1구동부가 동작하지 않을 경우에 유입라인 제1출구와의 거리를 일정하게 유지할 수 있게 된다. 한편, 제1슬라이딩부와 결합된 탄성력을 제공하는 구성요소의 탄성력은 구동부에 의한 제1슬라이딩부의 움직임을 막을수는 없을 정도이다. 따라서, 제1구동부는 상기 탄성력을 제공하는 구성요소의 탄성력을 극복하고, 제1슬라이딩부를 전진시킬 수 있다. The first sliding part is coupled to a component (eg, a spring) that provides an elastic force, and when the first driving part does not operate, it is possible to maintain a constant distance from the first outlet of the inlet line. On the other hand, the elastic force of the component providing the elastic force combined with the first sliding part is not enough to prevent the movement of the first sliding part by the driving part. Accordingly, the first driving unit can overcome the elastic force of the component providing the elastic force, and advance the first sliding unit.

본 실시예에서, 제1슬라이딩부는 제1구동부에 의해 전진 또는 후진하게 된다. 여기서, '전진'은 제1출구 방향으로 이동하는 것을 의미하고, '후진'은 제1출구 방향으로부터 멀어지는 방향을 의미한다. 따라서, 제1슬라이딩부 전진 또는 후진은, 유입라인 제1출구와 제1배출라인 입구가 위치된 바디부의 면과 제1결합부간의 이격 공간(S1)을 통과하여 수행된다.In this embodiment, the first sliding part is moved forward or backward by the first driving part. Here, 'forward' means moving in the direction of the first exit, and 'backward' means moving away from the direction of the first exit. Accordingly, the first sliding part forward or backward is performed by passing through the space S1 between the first coupling part and the surface of the body part where the inlet line first outlet and the first outlet line inlet are located.

도 15를 참조하면, 구동부는 케이스, 가압부, 및 체결수단을 포함할 수 있다. 케이스는 내부에 가압부가 슬라이딩 운동할 수 있도록 구성된 통 형상을 가지고, 가압부는 자체로 에너지원을 가지거나 또는 외부의 에너지원으로부터 제공받아서, 케이스 내부에서 전진 또는 후진 운동을 하게 된다. Referring to FIG. 15 , the driving unit may include a case, a pressing unit, and a fastening means. The case has a cylindrical shape configured to allow the pressing unit to slide therein, and the pressing unit has its own energy source or is provided from an external energy source to move forward or backward within the case.

가압부는 케이스 내부에 위치되어 전진 또는 후진 방향으로 슬라이딩 운동할 수 있도록, 가압부와 케이스가 결합되어 있다. The pressing unit and the case are coupled to each other so that the pressing unit is positioned inside the case to slide in a forward or backward direction.

상술한 바와 같이, '전진'은 유입라인 제1출구 방향으로 이동하는 것을 의미하고, '후진'은 제1출구 방향으로부터 멀어지는 방향을 의미한다. 본 실시예가 상술한 기화 시스템에 적용될 경우, 제어 모듈의 제어하에 구동부의 가압부는 전진 또는 후진 운동을 하게 된다. 이처럼, 가압부에 의한 운동은 제1슬라이딩부에 전달되어, 제1슬라이딩부가 전진 또는 후진 운동을 하게 된다.As described above, 'forward' means moving in the direction of the first outlet of the inlet line, and 'backward' means moving away from the direction of the first outlet. When this embodiment is applied to the above-described vaporization system, the pressing unit of the driving unit moves forward or backward under the control of the control module. As such, the motion by the pressing unit is transmitted to the first sliding unit, so that the first sliding unit moves forward or backward.

본 실시예에서, 가압부에는 접촉구가 구비되어 있고, 이러한 접착구는 상술한 제1슬라이딩부와 결합된다. 이에 의해, 가압부의 전진 또는 후진 운동은 접촉구를 통해서 제1슬라이딩부에 전달되게 된다.In this embodiment, the pressing portion is provided with a contact hole, and this adhesive portion is coupled to the first sliding portion described above. Accordingly, the forward or backward motion of the pressing unit is transmitted to the first sliding unit through the contact hole.

체결수단은 본 실시예에서, 구동부의 케이스와 제1결합부를 바디부와 결합시키는 기능을 수행하며, 예를 들면 나사와 같은 것이 될 수 있다. The fastening means performs a function of coupling the case and the first coupling part of the driving part to the body part in this embodiment, and may be, for example, a screw.

도 10, 도 11, 도 14, 도 15, 도 17, 및 도 18을 다시 참조하면, 본 실시예에서, 제2액츄에이터는 구동부(이하, '제2구동부'라고 함) 및 (이하, '제2차단부'라고 함)를 포함할 수 있다.Referring back to FIGS. 10, 11, 14, 15, 17, and 18, in this embodiment, the second actuator includes a driving unit (hereinafter, referred to as a 'second driving unit') and (hereinafter referred to as a 'second actuator'). 2nd blocking part) may be included.

본 실시예에서, 제2차단부는 결합부(이하, '제2결합부'라고 함)와 슬라이딩부(이하, '제2슬라이딩부'라고 함)를 포함한다. In this embodiment, the second blocking part includes a coupling part (hereinafter, referred to as a 'second coupling part') and a sliding part (hereinafter, referred to as a 'second sliding part').

제2결합부는 바디부의 유입라인 제2출구와 제2배출라인 입구가 위치된 바디부와 소정거리 이격되어 결합된다. 예를 들면, 제2결합부는 바디부의 유입라인 제2출구와 제2배출라인 입구가 위치된 면(F2)과 소정거리 이격되어 바디부와 결합된다. 이러한 바디부(예를 들면, 면(F2))과 제2결합부가 형성하는 이격 공간(S2)은 유입라인 제2출구로부터 유출되는 유체가 제2배출라인 입구로 이동될 수 있는 유로로서의 기능을 수행한다. 후술하겠지만, 유입라인 제2출구가 제2슬라이딩부에 의해 차단되지 않으면, 유입라인 제2출구로부터의 유체가 상기 이격 공간(S2)을 통해서 제1배출라인 입구로 유입될 수 있다. 유입라인 제2출구와 제2슬라이딩부의 밀착의 정도에 따라서, 유입라인 제2출구로부터 제2배출라인 입구로 유입되는 유체의 양이 결정될 수 있다. 유입라인 제2출구와 제2슬라이딩부가 완전히 밀착하면 유입라인 제2출구와 제2배출라인 입구는 유체가 이동될 수 없도록 불통되고, 유입라인 제2출구와 제2슬라이딩부가 유체가 이동할 수 있을 정도로 이격되면, 그러한 이격의 정도에 따른 유체의 양이 제1출구를 통해 유출되어 상기 이격 공간(S2)을 경유한 후 제2배출라인 입구를 통해서 유입되게 된다. The second coupling portion is coupled to the body portion in which the second outlet of the inlet line and the inlet of the second discharge line of the body portion are positioned to be spaced apart from each other by a predetermined distance. For example, the second coupling part is spaced apart from the surface F2 where the inlet line second outlet and the second outlet line inlet of the body part are located by a predetermined distance and is coupled to the body part. The separation space S2 formed by the body portion (for example, the surface F2) and the second coupling portion functions as a flow path through which the fluid flowing out from the inlet line second outlet can be moved to the second outlet line inlet. carry out As will be described later, if the second outlet of the inlet line is not blocked by the second sliding part, the fluid from the second outlet of the inlet line may be introduced into the inlet of the first outlet line through the separation space S2. The amount of fluid flowing from the second outlet of the inlet line to the inlet of the second outlet may be determined according to the degree of close contact between the second outlet of the inlet line and the second sliding part. When the second outlet of the inlet line and the second sliding part are completely in close contact, the second outlet of the inlet line and the inlet of the second outlet line are closed so that the fluid cannot move, and the second outlet of the inlet line and the second sliding part are in such a way that the fluid can move. When spaced, the amount of fluid according to the degree of the separation flows out through the first outlet, passes through the space S2, and then flows in through the inlet of the second discharge line.

제2엑츄에이터에 대한 보다 상세한 설명은 제1엑츄에이터의 설명을 참조하기 바란다. For a more detailed description of the second actuator, refer to the description of the first actuator.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As such, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, it should be said that such modifications or variations are included in the claims of the present invention.

캐니스터:B100, B200
밸브: V101, V102, V103, V104. V105
커플러: C101, C102
라인: L11, L12, L13Canister: B100, B200
Valves: V101, V102, V103, V104. V105
Coupler: C101, C102
Lines: L11, L12, L13

Claims (8)

기화기 시스템에 있어서,
소스를 저장할 수 있는 통형상을 가지며, 외부로부터 유체를 유입 받을 수 있는 인렛과 기화된 가스를 외부로 유출할 수 있는 아웃렛을 가진 캐니스터(B100);
상기 캐니스터의 인렛으로 캐리어 가스를 공급하는 경로를 제공하는 제1 라인(L11);
상기 캐니스터의 아웃렛으로부터 유출되는 물질이 처리 설비로 이동할 수 있는 경로를 제공하는 제2 라인(L12);
제1 라인과 제2 라인을 연결하도록 구성되어, 제1 라인을 통해 이동하는 캐리어 가스의 적어도 일부를 제2 라인으로 공급하는 경로를 제공하는 분기 라인(L13); 및
상기 분기 라인에 위치되어, 상기 분기 라인을 통해서 이동되는 캐리어 가스의 양을 조절할 수 있는 컨트롤 밸브(CV100);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기 시스템.A vaporizer system comprising:
A canister (B100) having a cylindrical shape that can store the source, and having an inlet capable of receiving a fluid from the outside and an outlet capable of discharging the vaporized gas to the outside;
a first line (L11) providing a path for supplying a carrier gas to the inlet of the canister;
a second line (L12) providing a path for the material flowing out from the outlet of the canister to move to the treatment facility;
a branch line (L13) configured to connect the first line and the second line to provide a path for supplying at least a portion of the carrier gas moving through the first line to the second line; and
and a control valve (CV100) positioned in the branch line to control the amount of carrier gas moved through the branch line. 제 1 항에 있어서,
상기 분기 라인에 위치되고 상기 컨트롤 밸브와 상기 분기 라인과 제2 라인이 합류하는 합류점 사이에 위치된 밸브(V103);를 더 포함하며,
상기 밸브(V103)는 상기 분기 라인에서 상기 합류점으로 흐르는 캐리어 가스를 적어도 부분적으로 차단 또는 허용할 수 있는 것인, 기화기 시스템. The method of claim 1,
It further includes; a valve (V103) located in the branch line and located between the control valve and the junction where the branch line and the second line join,
wherein the valve (V103) is capable of at least partially blocking or permitting carrier gas flowing from the branch line to the junction. 제 2 항에 있어서
제2 라인에서 상기 분기 라인과 제2 라인이 합류하는 합류점과 상기 아웃렛 사이에 위치된 밸브(V104);를 더 포함하며,
상기 밸브(V104)는 상기 제2 라인에 흐르는 캐리어 가스의 적어도 일부를 차단하거나 허용하는 것인, 기화기 시스템.3. The method of claim 2
It further includes; a valve (V104) located between the outlet and the junction where the branch line and the second line join in the second line;
wherein the valve (V104) blocks or permits at least a portion of the carrier gas flowing in the second line. 제 1 항에 있어서,
제1 라인 상에 위치되고 상기 분기 라인이 분기되는 분기점으로부터 상기 인렛 사이에 위치되는 유체 부하;를 더 포함하고,
상기 유체 부하는 오리피스 또는 유로가 제1 라인보다 좁은 밸브인 것인, 기화기 시스템. The method of claim 1,
A fluid load positioned on the first line and positioned between the inlet from a branch point at which the branch line branches off;
wherein the fluid load is a valve having an orifice or flow path narrower than the first line. 제 1 항에 있어서,
상기 분기 라인이 분기되는 분기점 이전의 제1 라인 상에 위치되어 제1 라인에 흐르는 캐리어 가스의 양을 제어할 수 있는 질량유량제어기(MFC);를 더 포함하는 것인, 기화기 시스템. The method of claim 1,
A mass flow controller (MFC) that is positioned on the first line before the branch point at which the branch line is branched to control the amount of carrier gas flowing in the first line; further comprising a vaporizer system. 제 1 항에 있어서,
제2 라인 상에 상기 분기 라인과 제2 라인이 합류하는 합류점보다 하류에 위치되어 제2 라인에 흐르는 유체의 유량을 측정할 수 있는 질량 유량계(MFM); 및
상기 질량 유량계가 측정한 유량에 기초하여 상기 컨트롤 밸브(CV100)를 제어하는 제어모듈;을 더 포함하는 것인, 기화기 시스템. The method of claim 1,
a mass flow meter (MFM) located on a second line downstream of a junction where the branch line and the second line join to measure the flow rate of the fluid flowing in the second line; and
The carburetor system further comprising a; control module for controlling the control valve (CV100) based on the flow rate measured by the mass flow meter. 제 6 항에 있어서,
상기 컨트롤 밸브는, 상기 질량 유량계가 측정한 유량과 기설정된 설정 값에 기초하여 상기 컨트롤 밸브를 제어하는 것인, 기화기 시스템.7. The method of claim 6,
wherein the control valve controls the control valve based on the flow rate measured by the mass flow meter and a preset set value. 제 7 항에 있어서,
상기 설정 값은
ZERO 값 < 설정 값 < SPAN 값
을 만족하며,
상기 기화기 시스템이 기화 모드에서 동작할 때, 상기 ZERO 값은 캐리어 가스를 상기 캐니스터로 제공하지 않은 상태에서 제2 라인에 흐르는 유체의 양을 상기 질량 유량계가 측정한 값이고,
상기 SPAN 값은 캐리어 가스 전부가 상기 캐니스터로 제공되고 상기 분기 라인으로는 캐리어 가스가 흐르지 않는 상태에서 제2 라인에 흐르는 유체의 양을 상기 질량 유량계가 측정한 값인 것인, 기화기 시스템.8. The method of claim 7,
The set value is
ZERO value < setting value < SPAN value
is satisfied with
When the vaporizer system operates in the vaporization mode, the ZERO value is a value measured by the mass flow meter of the amount of fluid flowing in the second line without providing a carrier gas to the canister;
Wherein the SPAN value is a value measured by the mass flow meter of the amount of fluid flowing in the second line in a state where all of the carrier gas is provided to the canister and the carrier gas does not flow to the branch line.
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