KR20210124612A - Transport track and transport apparatus - Google Patents

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KR20210124612A
KR20210124612A KR1020200041780A KR20200041780A KR20210124612A KR 20210124612 A KR20210124612 A KR 20210124612A KR 1020200041780 A KR1020200041780 A KR 1020200041780A KR 20200041780 A KR20200041780 A KR 20200041780A KR 20210124612 A KR20210124612 A KR 20210124612A
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transport
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KR1020200041780A
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전승근
강휘재
윤은상
이준호
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention provides a transport track and a transport device, which are used for transporting articles for manufacturing semiconductor devices. The transport track includes: a first track providing a first transport path for allowing a first transport robot to transport articles between a first port and an interface port while moving in a first horizontal direction; and a second track providing a second transport path for allowing a second transport robot to transport articles between a second port and the interface port while moving in a second horizontal direction different from the first horizontal direction. The first track consists of first rails having a first end and a second end, and the second track consists of second rails having a first end and a second end. The first rails and the second rails have an asymmetric structure in which a length of the second end of the first rails and a length of the first end of the second rails are different from each other, such that the second end of the first rails and the first end of the second rails are adjacent to each other. The present invention also provides a transport device having such a transport track.

Description

반송 트랙 및 반송 장치 {TRANSPORT TRACK AND TRANSPORT APPARATUS}TRANSPORT TRACK AND TRANSPORT APPARATUS

본 발명의 실시예는, 주로 반도체 등의 제조를 위하여 물품(article)을 반송하는 데 사용되는 반송 트랙, 그리고 이를 포함하는 반송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention An embodiment of the present invention relates to a conveying track mainly used for conveying articles for the manufacture of semiconductors and the like, and a conveying apparatus including the same.

일반적으로, 반도체나 디스플레이(display)의 제조 라인은 복층으로 구성되고, 이들 층 각각에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정을 수행하도록 구성된 설비들이 적절히 배치되며, 기판(substrate) 등 반도체나 디스플레이의 제조를 위한 물품은 타워 리프트(tower lift)에 의하여 목적하는 층으로 반송된다.In general, a semiconductor or display manufacturing line is composed of multiple layers, and facilities configured to perform processes such as deposition, exposure, etching, ion implantation, and cleaning are appropriately disposed on each of these layers, and a substrate, etc. Articles for the manufacture of semiconductors or displays are conveyed to the desired floor by a tower lift.

타워 리프트는, 수직 방향의 가이드(guide)를 제공하는 타워 프레임(tower frame), 가이드의 안내에 따라 수직 방향으로 이동 가능한 캐리지(carriage), 그리고 캐리지를 이동시키는 캐리지 구동 장치를 포함한다. 캐리지는 물품을 핸들링하는 캐리지 로봇(carriage robot)을 포함한다.The tower lift includes a tower frame providing a guide in a vertical direction, a carriage movable in a vertical direction according to the guide of the guide, and a carriage driving device for moving the carriage. The carriage includes a carriage robot that handles the articles.

이와 같은 타워 리프트의 인근에는 캐리지 로봇에 물품을 전달하거나 캐리지 로봇으로부터 물품을 전달 받는 반송 장치가 설치된다.In the vicinity of such a tower lift, a transport device for delivering goods to or from a carriage robot is installed.

반송 장치는 수평 방향으로 이동하면서 물품을 반송하는 반송 로봇을 포함한다. 반송 로봇에 의한 물품의 반송 경로는 일직선으로 설계하는 것이 구성 단순화 및 택트 타임(tact time) 단축 면에서 유리하다. 그런데, 타워 리프트의 레이아웃(layout) 등에 따라서는, 물품의 반송 경로를 일직선으로 설계하는 것이 불가하여 부득이 직각 등 굴절된 형상으로 설계하여야 할 수도 있다.The conveying apparatus includes a conveying robot that conveys articles while moving in a horizontal direction. It is advantageous in terms of configuration simplification and shortening of tact time to design the transport path of the article by the transport robot in a straight line. However, depending on the layout of the tower lift, etc., it is impossible to design the conveyance path of the article in a straight line, so it may inevitably have to be designed in a bent shape such as a right angle.

따라서, 굴절된 반송 경로를 따라 물품을 보다 효율적으로 반송할 수 있는 반송 장치가 시급히 요구되는 실정이다.Accordingly, there is an urgent need for a conveying apparatus capable of conveying articles more efficiently along a deflected conveying path.

대한민국 공개특허공보 제10-2010-0073670호(2010.07.01.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2010-0073670 (2010.07.01.) 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0047185호(2018.05.10.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0047185 (2018.05.10.)

본 발명의 실시예는 물품의 반송 효율 향상 면에서 보다 유리한 굴절형 반송 경로를 제공할 수 있는 반송 트랙 및 반송 장치를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An embodiment of the present invention is to provide a conveying track and conveying apparatus capable of providing a more advantageous articulated conveying path in terms of improving conveying efficiency of articles.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.Problems to be solved are not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 반송 로봇이 제1 수평 방향으로 이동하면서 물품을 제1 포트(first port)와 인터페이스 포트(interface port) 간에 반송하도록 제1 반송로를 제공하는 제1 트랙과; 제2 반송 로봇이 상기 제1 수평 방향과 다른 제2 수평 방향으로 이동하면서 상기 물품을 제2 포트(second port)와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하도록 제2 반송로를 제공하는 제2 트랙을 포함하되, 상기 제1 트랙은 제1 단부와 제2 단부를 가진 제1 레일(first rail)들로 구성되고, 상기 제2 트랙은 제1 단부와 제2 단부를 가진 제2 레일(second rail)들로 구성되며, 상기 제1 레일들과 상기 제2 레일들은 상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부가 서로 인접하도록 상기 제1 레일들의 상기 제2 단부의 길이와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부의 길이가 각각 서로 다른 비대칭 구조를 가진, 반송 장치용 반송 트랙이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, according to an embodiment of the present invention, the first transport robot moves in a first horizontal direction to transport an article between a first port and an interface port to transport the first transport robot. a first track providing a furnace; a second track providing a second conveying path for conveying the article between a second port and the interface port while the second conveying robot moves in a second horizontal direction different from the first horizontal direction; The first track consists of first rails having a first end and a second end, and the second track consists of second rails having a first end and a second end. and the first rails and the second rails have a length of the second end of the first rails and the second end of the first rails adjacent to each other such that the second end of the first rails and the first end of the second rails are adjacent to each other. A conveying track for a conveying device may be provided, having an asymmetrical structure in which the lengths of the first ends of the two rails are respectively different from each other.

상기 제1 레일들과 상기 제2 레일들은 각각 한 쌍이 구비될 수 있다.A pair of each of the first rails and the second rails may be provided.

상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부는 연접할 수 있다.The second end of the first rails may be connected to the first end of the second rails.

상기 제1 트랙과 상기 제2 트랙은 상기 제1 반송로와 상기 제2 반송로가 수직을 이루도록 배치될 수 있다.The first track and the second track may be arranged such that the first transport path and the second transport path are perpendicular to each other.

본 발명의 실시예에 따르면, 반송 트랙과; - 여기서, 상기 반송 트랙은, 상기 제1 반송로와 상기 제2 반송로를 제공하는 상기 제1 트랙과 상기 제2 트랙을 포함하여 상기 제1 트랙의 상기 제1 레일들과 상기 제2 트랙의 상기 제2 레일들이 각각 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 가지며 상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부가 비대칭 구조에 의하여 서로 인접한다. - 상기 제1 레일들의 상기 제1 단부의 상방에 제공된 제1 포트, 상기 제2 레일들의 상기 제2 단부의 상방에 제공된 제2 포트 및 상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부 사이의 상방에 제공된 인터페이스 포트와; 상기 제1 반송로를 따라 이동하면서 물품을 상기 제1 포트와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하는 제1 반송 로봇 및 상기 제2 반송로를 따라 이동하면서 상기 물품을 상기 제2 포트와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하는 제2 반송 로봇을 포함하는, 반송 장치가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a conveying track; - wherein the conveying track comprises the first rails and the second track of the first track including the first track and the second track providing the first conveying path and the second conveying path. The second rails each have the first end and the second end, and the second end of the first rails and the first end of the second rails are adjacent to each other by an asymmetric structure. - a first port provided above the first end of the first rails, a second port provided above the second end of the second rails and the second end of the first rails and of the second rails an interface port provided above between the first ends; a first transport robot that transports goods between the first port and the interface port while moving along the first transport path, and a first transport robot that transports the goods between the second port and the interface port while moving along the second transport path A conveying apparatus, comprising a second conveying robot, may be provided.

상기 제1 반송 로봇은 상기 제1 레일 각각에 상기 제1 레일들을 따라 이동 가능하게 결합되고 상기 제1 레일들의 비대칭 구조에 대응하는 비대칭 구조로 배치된 제1 블록(first block)들을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제2 반송 로봇은 상기 제2 레일 각각에 상기 제2 레일들을 따라 이동 가능하게 결합되고 상기 제2 레일들의 비대칭 구조에 대응하는 비대칭 구조로 배치된 제2 블록(second block)들을 포함할 수 있다. 상기 제1 레일들과 상기 제1 블록들 및 상기 제2 레일들과 상기 제2 블록들은 각각 리니어 모션 가이드(linear motion guide)를 구성할 수 있다.The first transport robot may include first blocks movably coupled to each of the first rails along the first rails and arranged in an asymmetric structure corresponding to the asymmetric structure of the first rails. . In addition, the second transport robot may include second blocks movably coupled to each of the second rails along the second rails and arranged in an asymmetric structure corresponding to the asymmetric structure of the second rails. can The first rails, the first blocks, and the second rails and the second blocks may each constitute a linear motion guide.

본 발명의 실시예에 따른 반송 장치는, 각각 하부에 상기 제1 트랙 및 상기 제2 트랙이 설치된 제1 프레임 및 제2 프레임을 가진 프레임 어셈블리(frame assembly)를 더 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 인터페이스 포트는 각각 상기 프레임 어셈블리에서 상기 제1 프레임의 상부, 상기 제2 프레임의 상부 및 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임 사이의 상부에 배치될 수 있다.The conveying apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a frame assembly having a first frame and a second frame in which the first track and the second track are installed thereunder, respectively. And, the first port, the second port, and the interface port are respectively disposed on the upper portion of the first frame, the upper portion of the second frame, and the upper portion between the first frame and the second frame in the frame assembly. can

상기 프레임 어셈블리는 상부에 상기 제1 반송로와 상기 제2 반송로를 따라 연장된 노출 개구가 형성될 수 있다. 그리고, 상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 인터페이스 포트 각각은 상기 노출 개구의 주변 영역에 장착되고 상기 물품을 받치는 복수의 서포트(support)를 가질 수 있다. 또, 상기 제1 반송 로봇과 상기 제2 반송 로봇 각각은, 상기 물품을 지지하는 새들(saddle)과; 상기 새들을 이동시키는 수평 구동 유닛과; 상기 새들을 승강시키는 승강 구동 유닛을 더 포함할 수 있다.The frame assembly may have an exposed opening extending along the first transport path and the second transport path at an upper portion thereof. In addition, each of the first port, the second port, and the interface port may have a plurality of supports mounted in a peripheral area of the exposed opening and supporting the article. In addition, each of the first transfer robot and the second transfer robot, a saddle (saddle) for supporting the article; a horizontal drive unit for moving the saddle; It may further include an elevating drive unit for elevating the saddle.

상기 제1 반송 로봇과 상기 제2 반송 로봇 중 적어도 어느 하나 이상은 상기 새들을 회전시키는 회전 구동 유닛을 더 포함할 수 있다.At least one of the first transport robot and the second transport robot may further include a rotation driving unit configured to rotate the saddle.

상기 제1 반송 로봇의 상기 수평 구동 유닛 또는 상기 제2 반송 로봇의 상기 수평 구동 유닛은, 상기 제1 반송로의 양단 영역 또는 상기 제2 반송로의 양단 영역에 각각 회전 가능하게 적용된 구동 풀리(driving pulley)와 종동 풀리(driven pulley) 및 상기 구동 풀리와 상기 종동 풀리에 걸린 벨트(belt)와; 상기 새들과 상기 벨트를 연결하는 커넥터(connector)를 포함할 수 있다.The horizontal driving unit of the first transport robot or the horizontal driving unit of the second transport robot is a driving pulley rotatably applied to both ends of the first transport path or both ends of the second transport path, respectively. pulley) and a driven pulley, and a belt caught between the driving pulley and the driven pulley; A connector for connecting the saddle and the belt may be included.

본 발명의 실시예에 따르면, 제1 반송 로봇과; 상기 제1 반송 로봇이 제1 수평 방향으로 이동하면서 물품을 제1 포트와 인터페이스 포트 간에 반송하도록 제1 반송로를 제공하는 제1 트랙과; 제2 반송 로봇과; 상기 제2 반송 로봇이 상기 제1 수평 방향과 다른 제2 수평 방향으로 이동하면서 상기 물품을 제2 포트와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하도록 제2 반송로를 제공하는 제2 트랙을 포함하고, 상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 인터페이스 포트 각각은 상기 물품이 놓이는 스테이지를 포함하며, 상기 스테이지 각각은 상기 물품의 정렬을 위한 복수의 얼라인먼트 핀(alignment pin)을 포함하는, 반송 장치가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a first transport robot; a first track providing a first conveying path for conveying articles between the first port and the interface port while the first conveying robot moves in a first horizontal direction; a second transport robot; and a second track providing a second conveying path for conveying the article between a second port and the interface port while the second conveying robot moves in a second horizontal direction different from the first horizontal direction; A port, the second port and the interface port each include a stage on which the article is placed, and each of the stages includes a plurality of alignment pins for alignment of the article. .

본 발명의 실시예에 따르면, 제1 반송 로봇과; 상기 제1 반송 로봇이 제1 수평 방향으로 이동하면서 물품을 제1 포트와 인터페이스 포트 간에 반송하도록 제1 반송로를 제공하는 제1 트랙과; 제2 반송 로봇과; 상기 제2 반송 로봇이 상기 제1 수평 방향과 다른 제2 수평 방향으로 이동하면서 상기 물품을 제2 포트와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하도록 제2 반송로를 제공하는 제2 트랙을 포함하고, 상기 제1 반송 로봇과 상기 제2 반송 로봇 각각은 상기 물품을 지지하는 새들을 포함하며, 상기 새들 각각은 상기 물품의 정렬을 위한 복수의 얼라인먼트 핀을 포함하는, 반송 장치가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a first transport robot; a first track providing a first conveying path for conveying articles between the first port and the interface port while the first conveying robot moves in a first horizontal direction; a second transport robot; and a second track providing a second conveying path for conveying the article between a second port and the interface port while the second conveying robot moves in a second horizontal direction different from the first horizontal direction; A conveying apparatus may be provided, wherein each of the conveying robot and the second conveying robot includes a saddle for supporting the article, and each of the saddles includes a plurality of alignment pins for aligning the article.

과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.Means of solving the problem will be more specific and clear through the examples, drawings, etc. described below. In addition, various solutions other than the solutions mentioned below may be additionally suggested.

본 발명의 실시예에 의하면, 타워 리프트의 레이아웃상 물품의 직선 반송이 불가한 곳에 적용되어 물품을 반송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it can be applied to a place where linear transport of the article is impossible due to the layout of the tower lift, so that the article can be transported.

또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 구성을 보다 단순화할 수 있고, 택트 타임(tact time)을 보다 단축할 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, the configuration can be further simplified, and the tact time can be further shortened.

발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.Effects of the invention are not limited thereto, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치에서 제1, 제2 반송 로봇의 이동 메커니즘(moving mechanisms)이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치에서 제1 반송 로봇에 의한 물품 반송 과정을 도 2의 A 방향에서 본 상태가 도시된 정면도이다.
도 8 내지 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치에서 제2 반송 로봇에 의한 물품 반송 과정을 도 2의 B 방향에서 본 상태가 도시된 정면도이다.1 is a perspective view schematically showing a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view schematically illustrating a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 are plan views schematically illustrating moving mechanisms of the first and second transport robots in the transport apparatus according to the embodiment of the present invention.
5 to 7 are front views illustrating an article transport process by the first transport robot in the transport apparatus according to an embodiment of the present invention, viewed from the direction A of FIG. 2 .
8 to 12 are front views illustrating an article transport process by a second transport robot in a transport device according to an embodiment of the present invention, viewed from the direction B of FIG. 2 .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성 요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For reference, in the drawings referenced to describe the embodiment of the present invention, the size of the component, the thickness of the line, etc. may be expressed somewhat exaggeratedly for the convenience of understanding. In addition, the terms used to describe the embodiments of the present invention are mainly defined in consideration of functions in the present invention, and thus may vary according to the intentions and customs of users and operators. Therefore, it would be appropriate to interpret the terms based on the content throughout the present specification.

본 발명의 실시예에 따른 반송 장치는 반도체, 디스플레이 등을 제조하기 위하여 요구되는 물품을 수평 방향으로 반송하는 데 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치는 물품을 타워 리프트로 반송하거나 타워 리프트로부터의 물품을 반송할 수 있다.The conveying apparatus according to an embodiment of the present invention may be used to horizontally convey articles required for manufacturing semiconductors, displays, and the like. For example, a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention may convey an article to or from a tower lift.

여기에서, 물품(반송 대상)은 웨이퍼(wafer), 글라스(glass) 등의 기판을 포함할 수 있다. 구체적으로, 물품은 기판들이 수납된 컨테이너(container)일 수 있다. 물론, 물품은 빈 컨테이너일 수도 있다. 이때, 컨테이너는 수납된 기판들을 각종 분순물로부터 보호할 수 있는 밀폐 구조를 가질 수 있다. 일례로, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.Here, the article (transfer object) may include a substrate such as a wafer or glass. Specifically, the article may be a container in which substrates are accommodated. Of course, the article may be an empty container. In this case, the container may have a sealed structure that can protect the accommodated substrates from various impurities. As an example, the sealed container may be a front opening unified pod (FOUP).

본 발명의 실시예에 따른 반송 장치의 구성이 도 1 내지 도 4에 개략적으로 도시되어 있다. 도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치는, 프레임 어셈블리(100), 반송 트랙(200), 세 포트(310, 320, 330) 및 두 반송 로봇(410A, 410B)을 포함하는바, 프레임 어셈블리(100)에 반송 트랙(200)과 세 포트(310, 320, 330)가 적용되고, 두 반송 로봇(410A, 410B)이 반송 트랙(200)을 따라 이동하면서 물품(5)을 세 포트(310, 320, 330) 간에 반송하도록 구성된다.A configuration of a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention is schematically shown in FIGS. 1 to 4 . 1 to 4 , the transport apparatus according to an embodiment of the present invention includes a frame assembly 100 , a transport track 200 , three ports 310 , 320 , 330 , and two transport robots 410A and 410B. Including a bar, the transport track 200 and the three ports 310, 320, 330 are applied to the frame assembly 100, and the two transport robots 410A and 410B move along the transport track 200 while moving the article ( 5) is configured to carry between the three ports (310, 320, 330).

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 반송 트랙(200)은, 제1 트랙(210A)과 제2 트랙(210B)을 포함하고, 굴절된 반송 경로를 제공하도록 구성된다.2-4, the conveying track 200 includes a first track 210A and a second track 210B, and is configured to provide a deflected conveying path.

제1 트랙(210A)은, 제1 수평 방향으로 연장되어 제1 반송로를 제공하고, 한쪽의 제1 단부(211 참조) 및 다른 쪽의 제2 단부(212 참조)를 가진다. 제2 트랙(210B)은, 제1 수평 방향과 다른 제2 수평 방향으로 연장되어 제2 반송로를 제공하고, 제1 반송 트랙(210A)의 제2 단부(212 참조)와 인접되는 한쪽의 제1 단부(215 참조) 및 다른 쪽의 제2 단부(216 참조)를 가진다. 반송 경로는 제1 반송로와 제2 반송로로 구성되어 굴절된 구조를 가진다.The first track 210A extends in a first horizontal direction to provide a first transport path, and has a first end 211 on one side and a second end 212 on the other side. The second track 210B extends in a second horizontal direction different from the first horizontal direction to provide a second conveying path, and is adjacent to the second end 212 of the first conveying track 210A. It has one end (see 215) and the other second end (see 216). The conveying path is composed of a first conveying path and a second conveying path and has a bent structure.

반송 경로는 다양한 각도로 굴절될 수 있으나, 본 발명의 실시예는, 제1 수평 방향이 X축 방향이고, 제2 수평 방향이 Y축 방향이며, 이에 제1 반송로와 제2 반송로가 수직을 이루도록 배치되어 반송 경로가 90도 각도로 굴절된 것을 중심으로 살펴보기로 한다.The conveying path may be bent at various angles, but in an embodiment of the present invention, the first horizontal direction is the X-axis direction, the second horizontal direction is the Y-axis direction, and the first conveying path and the second conveying path are vertical It is arranged to form a , and the transport path is refracted at an angle of 90 degrees.

도 1 등에 도시된 바와 같이, 프레임 어셈블리(100)는, 제1 트랙(210A)이 설치된 제1 프레임(110A), 그리고 제2 트랙(210B)이 설치된 제2 프레임(110B)을 포함한다. 제1 프레임(110A)은 제1 트랙(210A)과 마찬가지로 제1 수평 방향인 X축 방향으로 연장되고, 제2 프레임(110B)은 제2 트랙(210B)과 마찬가지로 제2 수평 방향인 Y축 방향으로 연장된다. 이러한 제1 프레임(110A)과 제2 프레임(110B)은 반송 경로와 동일한 각도로 굴절된 구조를 가지도록 서로 연결된다.1 and the like, the frame assembly 100 includes a first frame 110A in which a first track 210A is installed, and a second frame 110B in which a second track 210B is installed. The first frame 110A extends in a first horizontal X-axis direction like the first track 210A, and the second frame 110B extends in a second horizontal Y-axis direction like the second track 210B. is extended to The first frame 110A and the second frame 110B are connected to each other so as to have a structure bent at the same angle as the transport path.

프레임 어셈블리(100)는 상부가 제1 반송로와 제2 반송로를 따라 개방된 구조를 가지도록 구성된다. 이를 위하여, 프레임 어셈블리(100)의 상부에는 노출 개구가 마련된다. 노출 개구는 제1 반송로와 제2 반송로를 따라 연장된 형상으로 형성된다.The frame assembly 100 is configured to have a structure in which an upper portion is opened along the first and second transport paths. To this end, an exposure opening is provided at an upper portion of the frame assembly 100 . The exposure opening is formed in a shape extending along the first conveyance path and the second conveyance path.

보다 자세하게는, 제1 프레임(110A)은, Y축 방향으로 서로 이격된 두 사이드 프레임(side frame, 111), 그리고 두 사이드 프레임(111)의 하단을 연결하는 바닥 부재(112)를 포함함으로써, 제1 반송로를 따라 연장된 제1 노출 개구를 제공한다. 제2 프레임(110B)은, X축 방향으로 서로 이격된 두 사이드 프레임(115), 그리고 두 사이드 프레임(115)의 하단을 연결하는 바닥 부재(116)를 포함함으로써, 제2 반송로를 따라 연장된 제2 노출 개구를 제공한다.In more detail, the first frame 110A includes two side frames 111 spaced apart from each other in the Y-axis direction, and a bottom member 112 connecting the lower ends of the two side frames 111, and provide a first exposed opening extending along the first conveyance path. The second frame 110B includes two side frames 115 spaced apart from each other in the X-axis direction, and a bottom member 116 connecting the lower ends of the two side frames 115, thereby extending along the second conveying path. a second exposed opening.

제1 프레임(110A)의 두 사이드 프레임(111)과 제2 프레임(110B)의 두 사이드 프레임(115)은 서로 연결되고, 제1 프레임(110A)의 바닥 부재(112)와 제2 프레임(110B)의 바닥 부재(116)는 서로 연결되며, 노출 개구를 구성하는 제1 노출 개구와 제2 노출 개구는 서로 연결되는바, 제1 프레임(110A)과 제2 프레임(110B) 사이의 연결 부분은 인터페이스부를 구성한다.The two side frames 111 of the first frame 110A and the two side frames 115 of the second frame 110B are connected to each other, and the bottom member 112 of the first frame 110A and the second frame 110B are connected to each other. ) of the bottom member 116 are connected to each other, and the first exposure opening and the second exposure opening constituting the exposure opening are connected to each other, and the connecting portion between the first frame 110A and the second frame 110B is Configure the interface.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 트랙(210A)은 제1 프레임(110A)의 하부에 배치되고, 제2 트랙(210B)은 제2 프레임(110B)의 하부에 배치된다. 제1 트랙(210A)은 X축 방향 한쪽의 제1 단부(211)와 X축 방향 다른 쪽의 제2 단부(212)를 가진 제1 레일들(213, 214)로 구성된다. 제2 트랙(210B)은 Y축 방향 한쪽의 제1 단부(215)와 Y축 방향 다른 쪽의 제2 단부(216)를 가진 제2 레일들(217, 218)로 구성된다.1 to 3 , the first track 210A is disposed under the first frame 110A, and the second track 210B is disposed under the second frame 110B. The first track 210A is composed of first rails 213 and 214 having a first end 211 on one side in the X-axis direction and a second end 212 on the other side in the X-axis direction. The second track 210B is composed of second rails 217 and 218 having a first end 215 on one side in the Y-axis direction and a second end 216 on the other side in the Y-axis direction.

여기에서, 제1 레일들(213, 214)과 제2 레일들(217, 218)은 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)와 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)가 서로 아주 가까이 인접할 수 있게 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)의 길이와 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)의 길이가 각각 서로 다른 비대칭 구조를 가진다.Here, the first rails 213 , 214 and the second rails 217 , 218 are the second end 212 of the first rails 213 , 214 and the second rails 217 , 218 . the length of the second end 212 of the first rails 213 , 214 and the length of the first end 215 of the second rails 217 , 218 such that the first end 215 abuts very closely together. Each has an asymmetric structure of different lengths.

구체적으로, 제1 레일들(213, 214)과 제2 레일들(217, 218)은 각각 한 쌍이 구비될 수 있는바, 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)는 굴절된 반송 경로를 기준으로 내측 레일(213)과 외측 레일(214) 중 외측 레일(214)이 더 길게 형성되어 비대칭 구조를 가지고, 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)는 굴절된 반송 경로를 기준으로 내측 레일(217)과 외측 레일(218) 중 외측 레일(218)이 더 길게 형성되어 비대칭 구조를 가질 수 있으며, 이로써 제1 레일들(213, 214)과 제2 레일들(217, 218)은 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)와 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)가 서로 인접할 수 있다.Specifically, a pair of the first rails 213 and 214 and the second rails 217 and 218 may be provided, respectively, so that the second end 212 of the first rails 213 and 214 is bent. The outer rail 214 is formed longer among the inner rail 213 and the outer rail 214 based on the transport path, and has an asymmetric structure, and the first end 215 of the second rails 217 and 218 is The outer rail 218 is formed longer among the inner rail 217 and the outer rail 218 based on the refracted conveyance path to have an asymmetric structure, whereby the first rails 213 and 214 and the second rail The second ends 212 of the first rails 213 and 214 and the first end 215 of the second rails 217 and 218 may be adjacent to each other.

물론, 제1 레일들(213, 214)과 제2 레일들(217, 218)은 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)와 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)가 비대칭 구조인 것에 의하여 서로 이어지도록 연접할 수도 있다. 이때, 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)와 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)는 서로 이어지도록 연접하는 빗면을 가질 수 있다.Of course, the first rails 213 , 214 and the second rails 217 , 218 are the second end 212 of the first rails 213 , 214 and the second of the second rails 217 , 218 . One end 215 may be connected to each other due to an asymmetric structure. In this case, the second end 212 of the first rails 213 and 214 and the first end 215 of the second rails 217 and 218 may have bevel surfaces that connect to each other.

한편, 제1 레일들(213, 214)과 제2 레일들(217, 218)은 제1 레일들(213, 214)의 제1 단부(211)의 길이와 제2 레일들(217, 218)의 제2 단부(216)의 길이가 각각 서로 동일하도록 대칭 구조를 가질 수 있다.On the other hand, the first rails 213 and 214 and the second rails 217 and 218 are the length of the first end 211 of the first rails 213 and 214 and the second rails 217 and 218 . It may have a symmetrical structure such that the lengths of the second ends 216 of each are equal to each other.

도 1, 도 2 등에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치는 세 포트(310, 320, 330)로서 제1 포트(310), 제2 포트(320) 및 인터페이스 포트(330)를 포함한다. 제1 포트(310)는 제1 레일들(213, 214)의 제1 단부(211)의 상방에 제공된다. 제2 포트(320)는 제2 레일들(217, 218)의 제2 단부(216)의 상방에 제공된다. 인터페이스 포트(330)는 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)와 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215) 사이 영역인 인터페이스부의 상방에 제공된다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the transport apparatus according to an embodiment of the present invention includes three ports 310 , 320 , and 330 , a first port 310 , a second port 320 , and an interface port 330 . includes The first port 310 is provided above the first end 211 of the first rails 213 , 214 . A second port 320 is provided above the second end 216 of the second rails 217 , 218 . The interface port 330 is provided above the interface portion, which is a region between the second end 212 of the first rails 213 and 214 and the first end 215 of the second rails 217 and 218 .

제1 포트(310)는 제1 프레임(110A)의 상부에 배치된다. 제2 포트(320)는 제2 프레임(110B)의 상부에 배치된다. 인터페이스 포트(330)는 제1 프레임(110A)과 제2 프레임(110B) 사이 영역인 인터페이스부의 상부에 배치된다. 제1 포트(310), 제2 포트(320) 및 인터페이스 포트(330) 각각은 노출 개구의 주변 영역에 장착된 서포트(311, 321, 331)들을 포함한다. 제1 포트(310), 제2 포트(320) 및 인터페이스 포트(330) 각각의 서포트(311, 321, 331)들은 로딩(loading)된 물품(5)을 하측에서 받치는 역할을 수행하는 스테이지를 구성한다.The first port 310 is disposed on the first frame 110A. The second port 320 is disposed on the second frame 110B. The interface port 330 is disposed above the interface unit, which is a region between the first frame 110A and the second frame 110B. Each of the first port 310 , the second port 320 , and the interface port 330 includes supports 311 , 321 , 331 mounted on a peripheral area of the exposed opening. The first port 310 , the second port 320 , and the interface port 330 , each of the supports 311 , 321 , 331 , constitute a stage serving to support the loaded article 5 from the lower side. do.

두 반송 로봇(410A, 410B) 중에서, 제1 반송 로봇(410A)은 제1 레일들(213, 214)에 의하여 제공된 제1 반송로를 따라 이동하면서 물품(5)을 제1 포트(310)와 인터페이스 포트(330) 간에 반송하고, 제2 반송 로봇(410B)은 제2 레일들(217, 218)에 의하여 제공된 제2 반송로를 따라 이동하면서 물품(5)을 제2 포트(320)와 인터페이스 포트(330) 간에 반송한다.Among the two transport robots 410A and 410B, the first transport robot 410A moves the article 5 to the first port 310 and Transporting between the interface ports 330 , the second transport robot 410B interfaces the article 5 with the second port 320 while moving along the second transport path provided by the second rails 217 and 218 . It carries between ports 330 .

도 3에 도시된 바와 같이, 제1 반송 로봇(410A)은 제1 블록(414)들을 포함하고, 제2 반송 로봇(410B)은 제2 블록(419)들을 포함한다. 제1 블록(414)들은 제1 레일 각각(213, 214)에 제1 레일들(213, 214)을 따라 이동 가능하게 결합되고, 제2 블록(419)들은 제2 레일 각각(217, 218)에 제2 레일들(217, 218)을 따라 이동 가능하게 결합된다.As shown in FIG. 3 , the first transport robot 410A includes first blocks 414 , and the second transport robot 410B includes second blocks 419 . The first blocks 414 are movably coupled to the first rails 213 and 214, respectively, along the first rails 213 and 214, and the second blocks 419 are the second rails 217 and 218, respectively. The second rails 217 and 218 are movably coupled to each other.

제1 블록(414)들은 비대칭 구조인 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)에 대응하는 비대칭 구조로 배치되고, 제2 블록(419)들은 비대칭 구조인 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)에 대응하는 비대칭 구조로 배치된다.The first blocks 414 are arranged in an asymmetric structure corresponding to the second ends 212 of the first rails 213 and 214 having an asymmetric structure, and the second blocks 419 are the second rails ( It is arranged in an asymmetrical structure corresponding to the first end 215 of the 217 and 218 .

예를 들어, 제1 블록(414)들은, 제1 레일들(213, 214)의 내측 레일(213)과 외측 레일(214)에 결합되어 Y축 방향으로 이격되고 서로 대향하도록 배치된 한 쌍의 블록, 그리고 한 쌍의 블록으로부터 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212) 쪽으로 이격되며 제1 레일들(213, 214)의 외측 레일(214)에 결합된 단독의 블록으로 구성됨으로써, 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)에 대응하는 비대칭 구조로 배치될 수 있다. 제2 블록(419)들은, 제2 레일들(217, 218)의 내측 레일(217)과 외측 레일(218)에 결합되어 X축 방향으로 이격되고 서로 대향하도록 배치된 한 쌍의 블록, 그리고 한 쌍의 블록으로부터 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215) 쪽으로 이격되며 제2 레일들(217, 218)의 외측 레일(218)에 결합된 단독의 블록으로 구성됨으로써, 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)에 대응하는 비대칭 구조로 배치될 수 있다. 이때, 제1 레일들(213, 214)과 제2 레일들(217, 218)은 LM 가이드 레일이고, 제1 블록(414)들과 제2 블록(419)들은 LM 블록일 수 있다.For example, the first blocks 414 are coupled to the inner rail 213 and the outer rail 214 of the first rails 213 and 214 to be spaced apart in the Y-axis direction and disposed to face each other. Consists of a block and a single block spaced from the pair of blocks toward the second end 212 of the first rails 213 and 214 and coupled to the outer rail 214 of the first rails 213 and 214 Accordingly, the first rails 213 and 214 may be disposed in an asymmetrical structure corresponding to the second end 212 of the rails 213 and 214 . The second blocks 419 are coupled to the inner rail 217 and the outer rail 218 of the second rails 217 and 218, a pair of blocks spaced apart in the X-axis direction and disposed to face each other, and one Consisting of a single block spaced from the pair of blocks toward the first end 215 of the second rails 217 , 218 and coupled to the outer rail 218 of the second rails 217 , 218 , the second It may be arranged in an asymmetric structure corresponding to the first end 215 of the rails 217 and 218 . In this case, the first rails 213 and 214 and the second rails 217 and 218 may be LM guide rails, and the first blocks 414 and the second blocks 419 may be LM blocks.

도 1, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 반송 로봇(410A)과 제2 반송 로봇(410B) 각각은, 물품(5)을 하측에서 지지하는 새들(411, 415), 새들(411, 415)을 이동시키는 수평 구동 유닛(412, 416), 그리고 Z축 방향을 따라 새들(411, 415)을 승강시키는 승강 구동 유닛(413, 417)을 포함한다. 두 반송 로봇(410A, 410B) 중 제2 반송 로봇(410B)은 새들(415)을 Z축 방향의 축을 중심으로 회전시키는 회전 구동 유닛(418, 도 8 내지 도 12 참조)을 더 포함한다. 제1 반송 로봇(410A)도 새들(411)을 Z축 방향의 축을 중심으로 회전시키는 회전 구동 유닛을 더 포함할 수 있다.1 and 4 , each of the first transport robot 410A and the second transport robot 410B includes saddles 411 and 415 and saddles 411 and 415 for supporting the article 5 from the lower side. ) and horizontal drive units 412 and 416 for moving, and elevating drive units 413 and 417 for elevating the saddles 411 and 415 along the Z-axis direction. Among the two transport robots 410A and 410B, the second transport robot 410B further includes a rotation driving unit 418 (refer to FIGS. 8 to 12 ) for rotating the saddle 415 about an axis in the Z-axis direction. The first transport robot 410A may further include a rotation driving unit for rotating the saddle 411 about an axis in the Z-axis direction.

제1 반송 로봇(410A)은, 새들(411)의 하부에 승강 구동 유닛(413)이 연결되고, 승강 구동 유닛(413)의 하부에 제1 블록(414)들이 적용될 수 있다. 제2 반송 로봇(410B)은, 새들(415)의 하부에 회전 구동 유닛(418)이 연결되고, 회전 구동 유닛(418)의 하부에 승강 구동 유닛(417)이 연결되며, 승강 구동 유닛(417)의 하부에 제1 블록(419)들이 적용될 수 있다.In the first transport robot 410A, a lifting driving unit 413 is connected to a lower portion of the saddle 411 , and first blocks 414 may be applied to a lower portion of the lifting driving unit 413 . In the second transport robot 410B, a rotation drive unit 418 is connected to a lower portion of the saddle 415 , a lift drive unit 417 is connected to a lower portion of the rotation drive unit 418 , and a lift drive unit 417 is connected to the lower portion of the rotation drive unit 418 . ), the first blocks 419 may be applied to the lower portion.

제1 반송 로봇(410A)과 제2 반송 로봇(410B)의 승강 구동 유닛(413, 417)은 리니어 액추에이터(linear actuator)를 포함할 수 있다. 회전 구동 유닛(418)은 제2 반송 로봇(410B)은, 새들(415)에 회전력을 제공하는 모터(motor)를 포함할 수 있다.The lifting driving units 413 and 417 of the first transport robot 410A and the second transport robot 410B may include a linear actuator. The rotation driving unit 418 may include a motor that provides a rotational force to the saddle 415 , the second transfer robot 410B.

제1 반송 로봇(410A)의 수평 구동 유닛(412)은 제1 프레임(110A)의 바닥 부재(112) 상에 적용될 수 있고, 제2 반송 로봇(410B)의 수평 구동 유닛(416)은 제2 프레임(110B)의 바닥 부재(116) 상에 적용될 수 있다.The horizontal driving unit 412 of the first conveying robot 410A may be applied on the bottom member 112 of the first frame 110A, and the horizontal driving unit 416 of the second conveying robot 410B may be applied to the second It can be applied on the bottom member 116 of the frame 110B.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 반송 로봇(410A)의 수평 구동 유닛(412)은, 제1 반송로의 양단 영역에 각각 Y축 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 구동 풀리(412a)와 종동 풀리(412b), 구동 풀리(412a)와 종동 풀리(412b)에 걸린 벨트(412c), 구동 풀리(412a)에 회전력을 제공하여 구동 풀리(412a)를 양쪽 방향으로 회전시키는 구동 모터(412d), 그리고 제1 반송 로봇(410A)의 승강 구동 유닛(413)의 비운동 부분에 한쪽이 결합되고 벨트(412c)에 다른 쪽이 결합되어 제1 반송 로봇(410A)의 새들(411)과 벨트(412c)를 연결하는 커넥터(412e)를 포함할 수 있다. 이러한 제1 반송 로봇(410A)의 수평 구동 유닛(412)은, 구동 모터(412d)를 작동시키면, 커넥터(412e)가 X축 방향으로 이동되므로, 새들(411)을 제1 레일들(213, 214)을 따라 이동시킬 수 있다.As shown in Fig. 4, the horizontal driving unit 412 of the first transport robot 410A includes a driving pulley 412a rotatably installed about an axis in the Y-axis direction in both end regions of the first transport path, respectively. The driven pulley 412b, the driving pulley 412a and the belt 412c caught on the driven pulley 412b, and a driving motor 412d for providing rotational force to the driving pulley 412a to rotate the driving pulley 412a in both directions And, one side is coupled to the non-moving part of the lifting drive unit 413 of the first conveying robot 410A and the other side is coupled to the belt 412c, so that the saddle 411 and the belt of the first conveying robot 410A (410A) A connector 412e for connecting 412c may be included. The horizontal drive unit 412 of the first transfer robot 410A operates the drive motor 412d, the connector 412e moves in the X-axis direction, so that the saddle 411 moves the first rails 213, 214) can be moved.

제2 반송 로봇(410B)의 수평 구동 유닛(416)은, 제2 반송로의 양단 영역에 각각 X축 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 구동 풀리(416a)와 종동 풀리(416b), 구동 풀리(416a)와 종동 풀리(416b)에 걸린 벨트(416c), 구동 풀리(416a)에 회전력을 제공하여 구동 풀리(416a)를 양쪽 방향으로 회전시키는 구동 모터(416d), 그리고 제2 반송 로봇(410B)의 승강 구동 유닛(417)의 비운동 부분에 한쪽이 결합되고 벨트(416c)에 다른 쪽이 결합되어 제2 반송 로봇(410B)의 새들(415)과 벨트(416c)를 연결하는 커넥터(416e)를 포함할 수 있다. 이러한 제2 반송 로봇(410B)의 수평 구동 유닛(416)은, 구동 모터(416d)를 작동시키면, 커넥터(416e)가 Y축 방향으로 이동되므로, 새들(415)을 제2 레일들(217, 218)을 따라 이동시킬 수 있다.The horizontal driving unit 416 of the second transport robot 410B includes a driving pulley 416a, a driven pulley 416b, and a driving pulley which are respectively rotatably installed about an axis in the X-axis direction in both end regions of the second transport path. A belt 416c caught on the 416a and the driven pulley 416b, a driving motor 416d that provides rotational force to the driving pulley 416a to rotate the driving pulley 416a in both directions, and a second transport robot 410B ), one side is coupled to the non-moving part of the elevating drive unit 417 and the other side is coupled to the belt 416c to connect the saddle 415 and the belt 416c of the second conveying robot 410B to the connector 416e ) may be included. The horizontal drive unit 416 of the second transfer robot 410B operates the drive motor 416d, the connector 416e moves in the Y-axis direction, so that the saddle 415 moves the second rails 217, 218) can be moved.

본 발명의 실시예에 따른 반송 장치의 작동이 도 5 내지 도 12에 개략적으로 도시되어 있다.The operation of a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention is schematically shown in FIGS. 5 to 12 .

제1 포트(310)와 인터페이스 포트(330) 간에는 물품(5)이 다음과 같이 반송될 수 있다.The article 5 may be transported between the first port 310 and the interface port 330 as follows.

제1 반송 로봇(410A)은 제1 포트(310)에 로딩된 물품(5)을 언로딩(unloading)하기 위하여 제1 포트(310)의 하방에 위치된 상태에서 승강 구동 유닛(413)을 작동시켜 새들(411)을 상승시킨다. 이때, 도 5에 도시된 바와 같이, 상승되는 새들(411)은 로딩된 물품(5)을 지지하고 들어 올린다.The first transport robot 410A operates the lifting driving unit 413 in a state positioned below the first port 310 to unload the article 5 loaded in the first port 310 . to raise the saddles 411. At this time, as shown in FIG. 5 , the raised saddle 411 supports and lifts the loaded article 5 .

다음, 제1 반송 로봇(410A)은 언로딩된 물품(5)을 인터페이스 포트(330)의 상방으로 운반하기 위하여 수평 구동 유닛(412)에 의하여 새들(411)을 X축 방향을 따라 이동시켜 새들(411)을 인터페이스 포트(330)의 하방에 위치시킨다(도 6 참조). 이때, 새들(411)은 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)가 비대칭 구조이고 제1 블록(414)들이 제1 레일들(213, 214)의 제2 단부(212)에 대응하는 비대칭 구조로 배치되므로 인터페이스 포트(330) 쪽으로 이동되어 인터페이스 포트(330)의 하방에 위치될 수 있다.Next, the first transport robot 410A moves the saddle 411 along the X-axis direction by the horizontal driving unit 412 to transport the unloaded article 5 upward of the interface port 330 to the saddle. Position 411 below the interface port 330 (see FIG. 6). At this time, the saddle 411 has an asymmetric structure at the second end 212 of the first rails 213 and 214 and the first block 414 includes the second end 212 of the first rails 213 and 214 . Since it is disposed in an asymmetric structure corresponding to , it may be moved toward the interface port 330 and located below the interface port 330 .

그 다음, 제1 반송 로봇(410A)은 운반된 물품(5)을 인터페이스 포트(330)에 로딩하기 위하여 승강 구동 유닛(413)을 작동시켜 새들(411)을 하강시킨다. 이때, 도 7에 도시된 바와 같이, 물품(5)이 하강됨에 따라 물품(5)이 인터페이스 포트(330)에 로딩되고 물품(5)에 대한 새들(411)의 지지가 해제된다.Then, the first transport robot 410A lowers the saddle 411 by operating the lifting driving unit 413 to load the transported article 5 into the interface port 330 . At this time, as shown in FIG. 7 , as the article 5 is lowered, the article 5 is loaded into the interface port 330 and the support of the saddle 411 with respect to the article 5 is released.

제2 포트(320)와 인터페이스 포트(330) 간에는 물품(5)이 다음과 같이 반송될 수 있다.The article 5 may be transported between the second port 320 and the interface port 330 as follows.

제2 반송 로봇(410B)은 수평 구동 유닛(416)에 의하여 새들(415)을 Y축 방향을 따라 이동시켜 새들(415)을 인터페이스 포트(330)의 하방에 위치시킨다(도 8 참조). 이때, 새들(415)은 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)가 비대칭 구조이고 제2 블록(419)들이 제2 레일들(217, 218)의 제1 단부(215)에 대응하는 비대칭 구조로 배치되므로 인터페이스 포트(330) 쪽으로 이동되어 인터페이스 포트(330)의 하방에 위치될 수 있다.The second transport robot 410B moves the saddle 415 along the Y-axis direction by the horizontal driving unit 416 to position the saddle 415 below the interface port 330 (see FIG. 8 ). At this time, the saddle 415 has an asymmetric structure at the first end 215 of the second rails 217 and 218 and the second block 419 includes the first end 215 of the second rails 217 and 218 . Since it is disposed in an asymmetric structure corresponding to , it may be moved toward the interface port 330 and located below the interface port 330 .

다음, 제2 반송 로봇(410B)은 제1 반송 로봇(410A)에 의하여 인터페이스 포트(330)에 로딩된 물품(5)을 언로딩하기 위하여 승강 구동 유닛(417)을 작동시켜 새들(415)을 상승시킨다. 이때, 도 9에 도시된 바와 같이, 상승되는 새들(415)은 로딩된 물품(5)을 지지하고 들어 올린다.Next, the second transfer robot 410B operates the elevating drive unit 417 to unload the article 5 loaded into the interface port 330 by the first transfer robot 410A to move the saddle 415 . elevate At this time, as shown in FIG. 9 , the raised saddle 415 supports and lifts the loaded article 5 .

그 다음, 제2 반송 로봇(410B)은 언로딩된 물품(5)을 제2 포트(320)의 상방으로 운반하기 위하여 수평 구동 유닛(416)에 의하여 새들(415)을 Y축 방향을 따라 이동시켜 새들(415)을 제2 포트(320)의 하방에 위치시킨다(도 10 참조).Then, the second transport robot 410B moves the saddle 415 along the Y-axis direction by the horizontal drive unit 416 to transport the unloaded article 5 upward of the second port 320 . to position the saddle 415 below the second port 320 (see FIG. 10).

다음, 제2 반송 로봇(410B)은 운반된 물품(5)을 회전 구동 유닛(418)에 의하여 회전시켜 물품(5)의 방향을 요구의 방향으로 전환한다(도 11 참조).Next, the second transport robot 410B rotates the transported article 5 by the rotation drive unit 418 to change the direction of the article 5 to the requested direction (see Fig. 11).

그 다음, 제2 반송 로봇(410B)은 회전된 물품(5)을 제2 포트(320)에 로딩하기 위하여 승강 구동 유닛(417)을 작동시켜 새들(415)을 하강시킨다. 이때, 도 12에 도시된 바와 같이, 물품(5)이 하강됨에 따라 물품(5)이 제2 포트(320)에 로딩되고 물품(5)에 대한 새들(415)의 지지가 해제된다.Then, the second transfer robot 410B lowers the saddle 415 by operating the lifting drive unit 417 to load the rotated article 5 into the second port 320 . At this time, as shown in FIG. 12 , as the article 5 is lowered, the article 5 is loaded into the second port 320 and the support of the saddle 415 with respect to the article 5 is released.

살펴본 바와 같이 물품(5)을 반송하는 과정에서 물품(5)을 보다 정확하게 로딩하고 언로딩하기 위하여, 제1 포트(310)의 선택된 서포트(311)들, 제2 포트(320)의 선택된 서포트(321)들 및 인터페이스 포트(330)의 선택된 서포트(331)들은 각각의 상부에 물품(5)의 정렬을 위한 얼라인먼트 핀이 돌출된 형태로 마련될 수 있고, 제1 반송 로봇(410A)과 제2 반송 로봇(410B)의 새들(411, 415) 각각의 상부에도 물품(5)의 정렬을 위한 얼라인먼트 핀들이 돌출된 형태로 마련될 수 있다. 물론, 물품(5)의 하부에는 로딩 시 세 포트(310, 320, 330)의 얼라인먼트 핀들이 삽입되고 언로딩 시 두 반송 로봇(410A, 410B)의 얼라인먼트 핀들이 삽입되는 슬롯(slot)이 마련될 수 있다.As described above, in order to more accurately load and unload the article 5 in the process of transporting the article 5, the selected supports 311 of the first port 310 and the selected supports 311 of the second port 320 ( 321 ) and the selected supports 331 of the interface port 330 may be provided in the form of protruding alignment pins for aligning the article 5 on top of each, the first transfer robot 410A and the second Alignment pins for aligning the article 5 may be provided in a protruding form also on each of the saddles 411 and 415 of the transfer robot 410B. Of course, in the lower portion of the article 5, the alignment pins of the three ports (310, 320, 330) are inserted during loading, and the alignment pins of the two transport robots (410A, 410B) are inserted during unloading A slot is provided. can

이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.Although the present invention has been described above, the present invention is not limited by the disclosed embodiments and the accompanying drawings, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. In addition, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently, or two or more may be implemented in combination with each other.

5: 물품
100: 프레임 어셈블리
110A: 제1 프레임
110B: 제2 프레임
200: 반송 트랙
210A: 제1 반송 트랙
210B: 제2 반송 트랙
310: 제1 포트
320: 제2 포트
330: 인터페이스 포트
410A: 제1 반송 로봇
410B: 제2 반송 로봇5: Goods
100: frame assembly
110A: first frame
110B: second frame
200: bounce track
210A: first conveying track
210B: second conveying track
310: first port
320: second port
330: interface port
410A: first transfer robot
410B: second transfer robot

Claims (12)

제1 반송 로봇이 제1 수평 방향으로 이동하면서 물품을 제1 포트와 인터페이스 포트 간에 반송하도록 제1 반송로를 제공하는 제1 트랙과;
제2 반송 로봇이 상기 제1 수평 방향과 다른 제2 수평 방향으로 이동하면서 상기 물품을 제2 포트와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하도록 제2 반송로를 제공하는 제2 트랙을 포함하되,
상기 제1 트랙은 제1 단부와 제2 단부를 가진 제1 레일들로 구성되고,
상기 제2 트랙은 제1 단부와 제2 단부를 가진 제2 레일들로 구성되며,
상기 제1 레일들과 상기 제2 레일들은 상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부가 서로 인접하도록 상기 제1 레일들의 상기 제2 단부의 길이와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부의 길이가 각각 서로 다른 비대칭 구조를 가진,
반송 장치용 반송 트랙.a first track providing a first conveying path for conveying articles between the first port and the interface port while the first conveying robot moves in a first horizontal direction;
a second track providing a second conveying path for conveying the article between the second port and the interface port while the second conveying robot moves in a second horizontal direction different from the first horizontal direction;
the first track consists of first rails having a first end and a second end;
the second track consists of second rails having a first end and a second end;
The first rails and the second rails have a length of the second end of the first rails and the length of the second rail so that the second end of the first rails and the first end of the second rails are adjacent to each other. having an asymmetric structure in which the length of the first end is different from each other,
Conveying track for conveying equipment. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 레일들과 상기 제2 레일들은 각각 한 쌍이 구비된,
반송 장치용 반송 트랙.The method according to claim 1,
Each of the first rails and the second rails is provided with a pair,
Conveying track for conveying equipment. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부는 연접하는,
반송 장치용 반송 트랙.The method according to claim 1 or 2,
wherein the second end of the first rails and the first end of the second rails are contiguous,
Conveying track for conveying equipment. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 제1 트랙과 상기 제2 트랙은 상기 제1 반송로와 상기 제2 반송로가 수직을 이루도록 배치된,
반송 장치용 반송 트랙.The method according to claim 1 or 2,
The first track and the second track are arranged such that the first conveying path and the second conveying path are perpendicular to each other,
Conveying track for conveying equipment. 청구항 1에 기재된 상기 제1 반송로와 상기 제2 반송로를 제공하는 상기 제1 트랙과 상기 제2 트랙을 포함하여 상기 제1 트랙의 상기 제1 레일들과 상기 제2 트랙의 상기 제2 레일들이 각각 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 가지며 상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부가 비대칭 구조에 의하여 서로 인접한 반송 트랙과;
상기 제1 레일들의 상기 제1 단부의 상방에 제공된 제1 포트와;
상기 제2 레일들의 상기 제2 단부의 상방에 제공된 제2 포트와;
상기 제1 레일들의 상기 제2 단부와 상기 제2 레일들의 상기 제1 단부 사이의 상방에 제공된 인터페이스 포트와;
상기 제1 반송로를 따라 이동하면서 물품을 상기 제1 포트와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하는 제1 반송 로봇과;
상기 제2 반송로를 따라 이동하면서 상기 물품을 상기 제2 포트와 상기 인터페이스 포트 간에 반송하는 제2 반송 로봇을 포함하는,
반송 장치.The first rails of the first track and the second rail of the second track, comprising the first track and the second track providing the first and second conveyance paths according to claim 1 . a conveying track each having the first end and the second end, wherein the second end of the first rails and the first end of the second rails are adjacent to each other by an asymmetric structure;
a first port provided above the first end of the first rails;
a second port provided above the second end of the second rails;
an interface port provided above the second end of the first rails and the first end of the second rails;
a first transport robot that transports articles between the first port and the interface port while moving along the first transport path;
and a second transport robot that transports the article between the second port and the interface port while moving along the second transport path.
conveying device. 청구항 5에 있어서,
상기 제1 반송 로봇은 상기 제1 레일 각각에 상기 제1 레일들을 따라 이동 가능하게 결합되고 상기 제1 레일들의 비대칭 구조에 대응하는 비대칭 구조로 배치된 제1 블록들을 포함하고,
상기 제2 반송 로봇은 상기 제2 레일 각각에 상기 제2 레일들을 따라 이동 가능하게 결합되고 상기 제2 레일들의 비대칭 구조에 대응하는 비대칭 구조로 배치된 제2 블록들을 포함하는,
반송 장치.6. The method of claim 5,
The first transport robot includes first blocks movably coupled to each of the first rails along the first rails and arranged in an asymmetric structure corresponding to the asymmetric structure of the first rails,
The second transport robot comprises second blocks movably coupled to each of the second rails along the second rails and arranged in an asymmetric structure corresponding to the asymmetric structure of the second rails,
conveying device. 청구항 5에 있어서,
각각 하부에 상기 제1 트랙 및 상기 제2 트랙이 설치된 제1 프레임 및 제2 프레임을 가진 프레임 어셈블리를 더 포함하고,
상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 인터페이스 포트는 상기 프레임 어셈블리에서 상기 제1 프레임의 상부, 상기 제2 프레임의 상부 및 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임 사이의 상부에 각각 배치된,
반송 장치.6. The method of claim 5,
Further comprising a frame assembly having a first frame and a second frame in which the first track and the second track are installed on the lower portion, respectively,
the first port, the second port and the interface port are respectively disposed on an upper portion of the first frame, an upper portion of the second frame, and an upper portion between the first frame and the second frame in the frame assembly;
conveying device. 청구항 7에 있어서,
상기 프레임 어셈블리는 상부에 상기 제1 반송로와 상기 제2 반송로를 따라 연장된 노출 개구가 형성되고,
상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 인터페이스 포트 각각은 상기 노출 개구의 주변 영역에 장착되고 상기 물품을 받치는 복수의 서포트를 가지며,
상기 제1 반송 로봇과 상기 제2 반송 로봇 각각은,
상기 물품을 지지하는 새들과;
상기 새들을 이동시키는 수평 구동 유닛과;
상기 새들을 승강시키는 승강 구동 유닛을 포함하는,
반송 장치.8. The method of claim 7,
The frame assembly is formed with an exposed opening extending along the first and second transport paths at an upper portion,
each of the first port, the second port and the interface port having a plurality of supports mounted to a peripheral area of the exposed opening and supporting the article;
Each of the first transport robot and the second transport robot,
saddles for supporting the article;
a horizontal drive unit for moving the saddle;
Comprising a lift drive unit for elevating the saddle,
conveying device. 청구항 8에 있어서,
상기 제1 반송 로봇과 상기 제2 반송 로봇 중 적어도 어느 하나 이상은 상기 새들을 회전시키는 회전 구동 유닛을 더 포함하는,
반송 장치.9. The method of claim 8,
At least one of the first transport robot and the second transport robot further comprises a rotation drive unit for rotating the saddle,
conveying device. 청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,
상기 제1 반송 로봇의 상기 수평 구동 유닛 또는 상기 제2 반송 로봇의 상기 수평 구동 유닛은,
상기 제1 반송로의 양단 영역 또는 상기 제2 반송로의 양단 영역에 각각 회전 가능하게 적용된 구동 풀리와 종동 풀리 및 상기 구동 풀리와 상기 종동 풀리에 걸린 벨트와;
상기 새들과 상기 벨트를 연결하는 커넥터를 포함하는,
반송 장치.10. The method according to claim 8 or 9,
The horizontal driving unit of the first transport robot or the horizontal driving unit of the second transport robot,
a driving pulley and a driven pulley respectively rotatably applied to both ends of the first conveying path or both ends of the second conveying path, and a belt caught between the driving and driven pulleys;
A connector for connecting the saddle and the belt,
conveying device. 청구항 5에 있어서,
상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 인터페이스 포트 각각은 상기 물품이 놓이는 스테이지를 포함하고,
상기 스테이지 각각은 상기 물품의 정렬을 위한 복수의 얼라인먼트 핀을 포함하는,
반송 장치.6. The method of claim 5,
each of the first port, the second port and the interface port comprises a stage on which the article is placed;
each of said stages comprising a plurality of alignment pins for alignment of said articles;
conveying device. 청구항 5에 있어서,
상기 제1 반송 로봇과 상기 제2 반송 로봇 각각은 상기 물품을 지지하는 새들을 포함하고,
상기 새들 각각은 상기 물품의 정렬을 위한 복수의 얼라인먼트 핀을 포함하는,
반송 장치.6. The method of claim 5,
Each of the first transport robot and the second transport robot includes a saddle for supporting the article,
each of the saddles comprising a plurality of alignment pins for alignment of the article;
conveying device.
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