KR20210121916A

KR20210121916A - Scrubber system

Info

Publication number: KR20210121916A
Application number: KR1020200039364A
Authority: KR
Inventors: 조태형
Original assignee: 조태형
Priority date: 2020-03-31
Filing date: 2020-03-31
Publication date: 2021-10-08
Also published as: KR102378727B1

Abstract

A scrubber system according to an embodiment of the present invention can include: a combustion unit for burning waste gas; a water tank that is coupled to the lower part of the combustion unit to store a solution so that the burned waste gas can be dissolved; and a mixing unit that is installed inside the water tank to apply rotational force to the solution to increase the solubility of the waste gas.

Description

Scrubber system {SCRUBBER SYSTEM}

본 발명은 스크러버 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a scrubber system.

일반적으로, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 상에 박막을 형성하거나 또는 식각을 위해 사용되는 다양한 종류의 반응가스는 폭발성, 맹독성, 질식성 및 부식성이 강하기 때문에, 이를 그대로 배출할 경우 인체에 유해할 뿐만 아니라 환경 오염을 유발하는 원인이 되기도 한다. In general, various types of reactive gases used for forming a thin film on a wafer or for etching in a semiconductor manufacturing process are explosive, highly toxic, suffocating, and corrosive. It may also cause

따라서, 이러한 배기 가스는 유해성분의 함량을 허용 농도 이하로 낮추는 정화처리과정이 반드시 필요하며, 이와 같은 독성물질을 제거하는 가스정화처리를 위해 스크러버 시스템이 적용될 수 있다.Therefore, the exhaust gas must be subjected to a purification process for lowering the content of harmful components to below the allowable concentration, and a scrubber system can be applied to the gas purification process to remove such toxic substances.

반도체 제조 공정 등에서 배출되는 유해성 가스를 처리하는 스크러버 시스템은 버닝(burning) 방식, 히팅(Heating) 방식, 플라즈마(plasma) 방식 및 습식(Wetting) 방식이 있다. 버닝 방식은 주로 수소기 등을 함유한 발화성 가스를 고온의 연소실에서 분해, 반응 또는 연소시켜 배기 가스를 처리하는 방식이고, 습식 방식은 주로 수용성 가스를 수조에 저장된 용해액을 통과시키는 동안 용해액에 용해하여 배기 가스를 처리하는 방식이며, 플라즈마 방식은 플라즈마 토치를 이용하여 플라즈마를 발생시키고 플라즈마에 폐가스를 유입시켜 폐가스를 연소시키는 방식이다.A scrubber system for treating harmful gases emitted from a semiconductor manufacturing process, etc. includes a burning method, a heating method, a plasma method, and a wet method. The burning method is a method of treating exhaust gas by decomposing, reacting, or burning flammable gas containing mainly hydrogen gas in a high-temperature combustion chamber. It is a method of dissolving the exhaust gas and treating the exhaust gas, and the plasma method is a method of generating plasma using a plasma torch and burning the waste gas by introducing the waste gas into the plasma.

예를 들어, 일반적인 스크러버 시스템은 버닝 방식인 경우 연소실 하부에 연소 탱크와 수조 탱크가 설치되고, 히팅 방식인 경우 히팅부 하부에 연소 탱크와 수조 탱크가 설치되며, 플라즈마 방식인 경우 플라즈마 토치의 하부에 연소 탱크와 수조 탱크가 설치될 수 있다.For example, in a general scrubber system, a combustion tank and a water tank are installed in the lower part of the combustion chamber in the case of a burning method, a combustion tank and a water tank are installed in the lower part of the heating unit in the case of a heating method, and in the case of a plasma method, the lower part of the plasma torch Combustion tanks and bath tanks may be installed.

이에 따라, 버닝 방식이나 히팅 방식 또는 플라즈마 방식에 따라 연소 및 분해된 연소가스는 연소탱크를 걸쳐서 배관을 통하여 습식타워로 보내지며, 이때 연소가스 또는 분해가스는 수조 탱크에 저장되어 있는 물에 직접 접촉되지 않으며 배관을 통하여 바로 습식타워로 보내지게 된다.Accordingly, the combustion gas burned and decomposed according to the burning method, the heating method, or the plasma method is sent to the wet tower through the pipe through the combustion tank, where the combustion gas or the decomposition gas is in direct contact with the water stored in the water tank. It does not work, and it is sent directly to the wet tower through the pipe.

따라서, 연소가스 내에 존재하는 수용성 유해가스는 습식타워에서 분사되는 용해액에 의해서만 제거되므로 수용성 유해가스의 제거효율이 떨어지게 된다. 또한, 이러한 분사 방식은 용해액을 고르게 분사하기 위한 분사노즐 등의 설비가 요구되고, 분사량, 분사압 등의 흡수액 분사제어를 위한 기술이 추가적으로 필요하며, 또한 노즐의 막힘 등과 같은 분사 설비들에 따른 유지 보수 비용이 발생하는 문제점이 있었다. Therefore, the water-soluble noxious gas existing in the combustion gas is removed only by the solution sprayed from the wet tower, so the removal efficiency of the water-soluble noxious gas is reduced. In addition, this injection method requires equipment such as a spray nozzle for evenly spraying the solution, and additionally requires a technique for controlling the absorption liquid injection such as injection amount and injection pressure, and also depends on the injection equipment such as clogging of the nozzle. There was a problem in that maintenance costs occurred.

상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 용해액과 폐가스에 포함된 수용성 유해가스와의 접촉 효율 및 용해도를 향상시켜 수용성 유해가스의 포집 및 제거가 용이한 스크러버 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.It was devised based on the above technical background, and aims to provide a scrubber system that facilitates the collection and removal of water-soluble noxious gases by improving the contact efficiency and solubility between the dissolved solution and the water-soluble noxious gas contained in the waste gas. .

본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템은 폐가스를 연소시키는 연소부, 상기 연소부의 하부에 결합되어 상기 연소된 폐가스가 용해되도록 용해액을 저장하는 수조탱크 및 상기 수조탱크 내부에 설치되어 상기 폐가스의 용해도를 높이기 위해 상기 용해액에 회전력을 가하는 혼합부를 포함할 수 있다.A scrubber system according to an embodiment of the present invention includes a combustion unit that burns waste gas, a water tank coupled to a lower portion of the combustion unit to store a solution so that the burned waste gas is dissolved, and a water tank installed inside the water tank tank of the waste gas It may include a mixing unit for applying a rotational force to the solution in order to increase solubility.

상기 수조탱크 상부에 결합되어 상기 수조탱크로부터 유입되는 폐가스에 용해액을 분사하는 습식타워를 더 포함할 수 있다.It may further include a wet tower coupled to the upper portion of the water tank to spray a solution to the waste gas flowing from the water tank.

상기 혼합부로부터 유입되는 용해액의 불순물을 포집하는 여과부를 더 포함할 수 있다.It may further include a filtration unit for collecting impurities of the solution introduced from the mixing unit.

상기 혼합부는, 상기 수조탱크 내부에 설치되어, 일측에 용해액이 유입되도록 용해액유입관이 형성되고 타측은 상기 연소부와 연통되는 가스유입관이 형성된 혼합하우징, 상기 혼합하우징의 중심축에 배치되는 축부재. 외측면을 따라 복수개의 제1 돌출부가 형성되고, 상기 축부재에 설치되어 상기 축부재의 회전력을 상기 용해액에 전달하는 회전판 및 상기 회전판을 둘러싸도록 상기 혼합하우징의 내측면에 설치되고, 상기 회전판과 대향되는 일측면에 제2 돌출부가 형성되는 고정판을 포함할 수 있다.The mixing unit is installed in the water tank tank, a solution inlet pipe is formed on one side so that the solution is introduced, and the other side is a mixing housing having a gas inlet pipe communicating with the combustion unit, disposed on the central axis of the mixing housing shaft member. A plurality of first protrusions are formed along the outer surface, and are installed on the shaft member and installed on the inner surface of the mixing housing to surround the rotary plate and the rotary plate for transmitting the rotational force of the shaft member to the solution, the rotary plate It may include a fixing plate having a second protrusion formed on one side opposite to the side.

상기 혼합하우징은, 일단부로 갈수록 단면적이 감소하는 경사부가 형성될 수 있다.The mixing housing may be formed with an inclined portion whose cross-sectional area decreases toward one end.

상기 가스유입관은, 일측면에 설치되어 내부에 유입된 폐가스의 압력에 따라 개폐 가능한 개폐부재를 포함할 수 있다.The gas inlet pipe may include an opening and closing member that is installed on one side and can be opened and closed according to the pressure of the waste gas introduced therein.

상기 여과부는, 일단부에 상기 혼합부로부터 용해액이 유입되는 유입구가 형성되고 타단부에 여과한 용해액이 배출되는 유출구가 형성되는 여과하우징, 상기 여과하우징의 내부에 배치되는 제1 여과부재 및 상기 제1 여과부재의 외측면에 접하도록 배치되는 제2 여과부재를 포함할 수 있다.The filtration unit includes a filtration housing having an inlet through which the dissolved solution flows from the mixing unit at one end and an outlet through which the filtered solution is discharged at the other end, a first filtration member disposed in the filter housing, and It may include a second filtering member disposed in contact with the outer surface of the first filtering member.

본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템은, 용해액에 회전력을 가함으로써 수용성 유해가스의 용해도를 높여, 수용성 유해가스를 용이하게 포집 및 제거할 수 있는 효과가 있다.The scrubber system according to an embodiment of the present invention has the effect of increasing the solubility of the water-soluble noxious gas by applying a rotational force to the dissolving solution, so that the water-soluble noxious gas can be easily collected and removed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 변형예를 도시한 개략도이다.
도 4는 도 3에 도시된 수조탱크의 평면도이다.
도 5는 도 4의 A-A'단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합부의 요부 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과부의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과부의 정면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 여과부의 측면도이다.1 is a front view of a scrubber system according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic diagram of a scrubber system according to an embodiment of the present invention;
3 is a schematic diagram illustrating a modified example of a scrubber system according to an embodiment of the present invention.
4 is a plan view of the water tank shown in FIG. 3 .
5 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 4 .
6 is an exploded perspective view of a main part of a mixing unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view of a filtration unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a front view of a filter unit according to an embodiment of the present invention.
9 is a side view of a filter unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참고부호를 붙였다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are attached to the same or similar components throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In the present specification, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Further, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be “on” another part, this includes not only the case where the other part is “directly on” but also the case where there is another part in between. Conversely, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be “under” another part, this includes not only cases where it is “directly under” another part, but also a case where another part is in between.

본 명세서에서 사용되는 용어에 대해 간략히 설명하고, 본 발명에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.Terms used in this specification will be briefly described, and the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 정면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 개략도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 변형예를 도시한 개략도이다.1 is a front view of a scrubber system according to an embodiment of the present invention. 2 is a schematic diagram of a scrubber system according to an embodiment of the present invention; 3 is a schematic diagram illustrating a modified example of a scrubber system according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 스크러버 시스템(10)은 플라즈마 토치(100) 및 연소탱크(200)를 갖는 연소부, 수조탱크(300), 혼합부(500), 여과부(600) 및 습식타워(700)를 포함할 수 있다. 이러한 스크러버 시스템(10)은 반도체 공정의 제조설비(20)에서 발생하는 다양한 폐가스를 진공펌프(30)를 통해 공급받아 연소부에서 연소시켜 연소가스로 만들며, 수조탱크(300), 혼합부(500), 여과부(600) 및 습식타워(700)에서 연소가스에 포함되어 있는 수용성 유해가스와 불순물 입자를 포집할 수 있다. 스크러버 시스템(10)에서 정화되어 무해 성분 상태로 배출된 가스는 습식타워(700)와 연결되는 덕트(42)로 유입된 후 블로워(44)에 의해 옥상스크러버(40)로 공급됨으로써 재처리 될 수 있다.1 to 3 , the scrubber system 10 includes a combustion unit having a plasma torch 100 and a combustion tank 200 , a water tank 300 , a mixing unit 500 , a filtering unit 600 and a wet type. A tower 700 may be included. The scrubber system 10 receives various waste gases generated from the manufacturing facility 20 of the semiconductor process through the vacuum pump 30 and combusts them in the combustion unit to make combustion gas, the water tank 300, the mixing unit 500 ), the filtration unit 600 and the wet tower 700 may collect water-soluble harmful gas and impurity particles contained in the combustion gas. The gas purified in the scrubber system 10 and discharged as a harmless component flows into the duct 42 connected to the wet tower 700 and then supplied to the rooftop scrubber 40 by the blower 44 to be reprocessed. have.

연소부는 플라즈마 토치(100) 및 연소탱크(200)를 포함할 수 있다.The combustion unit may include a plasma torch 100 and a combustion tank 200 .

플라즈마 토치(100)는 반도체 공정에 사용되어 배출되는 폐가스와 플라즈마 공급 가스가 내부에 공급될 수 있다. 예를 들어, 플라즈마 토치(100)는 연료가스유입구(111,113) 및 폐가스유입구(112)를 포함할 수 있다. 연료가스유입구(111,113)에는 플라즈마를 형성하기 위한 플라즈마 공급 가스가 유입될 수 있다. 폐가스유입구(112)에는 반도체 공정의 제조설비(20)로부터 발생하는 다양한 종류의 폐가스가 진공펌프(30)를 통해 유입될 수 있다.In the plasma torch 100 , a waste gas and a plasma supply gas that are used and discharged in a semiconductor process may be supplied therein. For example, the plasma torch 100 may include fuel gas inlets 111 and 113 and a waste gas inlet 112 . A plasma supply gas for forming plasma may be introduced into the fuel gas inlets 111 and 113 . Various types of waste gases generated from the manufacturing equipment 20 of the semiconductor process may be introduced into the waste gas inlet 112 through the vacuum pump 30 .

플라즈마 토치(100)는 플라즈마 공급 가스에 음극 전극 및 양극 전극을 통해 방전을 일으키고, 이에 따라 내부 공간에 플라즈마를 형성할 수 있다. 이러한 플라즈마는 플라즈마 토치(100) 내부로 유입되는 폐가스를 연소시킬 수 있다.The plasma torch 100 may generate a discharge in the plasma supply gas through the cathode electrode and the anode electrode, thereby forming plasma in the inner space. Such plasma may burn the waste gas introduced into the plasma torch 100 .

연소탱크(200)는 플라즈마 토치(100)의 하부에 배치될 수 있다. 연소탱크(200)는 플라즈마에 의하여 연소되는 폐가스가 계속적으로 연소될 수 있도록 공간을 형성할 수 있다. 연소탱크(200)의 하부에는 수조탱크(300)가 연결되어, 연소탱크(200)를 통과한 연소가스가 수조탱크(300)로 유입될 수 있다.The combustion tank 200 may be disposed under the plasma torch 100 . The combustion tank 200 may form a space so that the waste gas combusted by the plasma can be continuously combusted. A water tank 300 is connected to the lower portion of the combustion tank 200 , and the combustion gas passing through the combustion tank 200 may be introduced into the water tank 300 .

수조탱크(300)는 연소탱크(200)의 하부에 위치하며, 상부의 연소탱크(200)로부터 유입되는 연소가스가 용해액에 접촉되도록 하여 연소가스에 포함되어 있는 수용성 유해가스 및 불순물 입자를 포집할 수 있다. 이때, 수조탱크(300)에서 용해액에 용해되지 않은 연소가스가 상부의 습식타워(700)로 유입될 수 있다.The water tank 300 is located at the lower part of the combustion tank 200, and collects the water-soluble harmful gas and impurity particles contained in the combustion gas by allowing the combustion gas flowing from the upper combustion tank 200 to contact the solution. can do. At this time, the combustion gas that is not dissolved in the solution in the water tank 300 may be introduced into the upper wet tower 700 .

또한, 수조탱크(300)의 바닥면에는 수집부(340)가 형성될 수 있다. 수집부(340)는 판 형상으로, 상면에는 용해액에 포함된 불순물 입자가 유입될 수 있는 유입홀(343)이 형성되고, 유입홀(343)의 하부에는 유입된 불순물 입자를 수용할 수 있도록 수집홈(344)이 형성될 수 있다. In addition, a collecting part 340 may be formed on the bottom surface of the water tank 300 . The collecting unit 340 has a plate shape, and an inlet hole 343 through which the impurity particles contained in the solution can be introduced is formed on the upper surface thereof, and the lower portion of the inlet hole 343 is formed to accommodate the introduced impurity particles. A collection groove 344 may be formed.

예를 들어, 유입홀(343)은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 감소하는 형태일 수 있다. 이에 따라, 유입홀(343)의 상부를 통해 불순물 입자의 유입이 용이하게 발생하나, 유입홀(343)의 하부로 배출되어 수집홈(344)에 수용된 불순물 입자가 다시 상측으로 역류하는 것이 방지될 수 있다. For example, the inlet hole 343 may have a shape in which the cross-sectional area decreases from the top to the bottom. Accordingly, although the inflow of the impurity particles easily occurs through the upper part of the inlet hole 343, the impurity particles discharged to the lower part of the inlet hole 343 and accommodated in the collecting groove 344 are prevented from flowing back upward again. can

즉, 수집부(340)가 수조탱크(300)에 설치됨으로써 용해액에 포함된 불순물 입자를 포집할 수 있고, 용해액이 요동하는 경우에도 불순물 입자가 다시 상승하는 것을 방지할 수 있다.That is, since the collecting unit 340 is installed in the water tank 300 , it is possible to collect the impurity particles included in the dissolved solution, and it is possible to prevent the impurity particles from rising again even when the dissolved solution is fluctuated.

수조탱크(300) 내부에는 후술할 혼합부(500)가 더 설치될 수 있다. 혼합부(500)는 용해액에 회전력을 가하여 유입되는 연소가스의 용해도를 높이면서도 불순물 입자를 분쇄할 수 있다.A mixing unit 500 to be described later may be further installed inside the water tank 300 . The mixing unit 500 may pulverize impurity particles while increasing the solubility of the incoming combustion gas by applying a rotational force to the dissolved solution.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템(10)은 여과부(600)를 더 포함할 수 있다. 여과부(600)는 혼합부(500)에서 유입된 용해액에 포함된 침전물 및 연소 부산물 등의 불순물 입자를 포집한 뒤 여과된 용해액을 배출할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 3 , the scrubber system 10 according to an embodiment of the present invention may further include a filtering unit 600 . The filtering unit 600 may discharge the filtered solution after collecting impurity particles such as sediment and combustion by-products included in the dissolved solution introduced from the mixing unit 500 .

습식타워(700)는 수조탱크(300)의 상부에 위치하여, 수조탱크(300)로부터 연소가스가 유입될 수 있다. 수조탱크(300)로부터 유입된 연소가스는 습식타워(700)를 관통하여 옥상스크러버(40)로 이동될 수 있다. The wet tower 700 is located above the water tank 300 , and combustion gas may be introduced from the water tank 300 . The combustion gas introduced from the water tank 300 may pass through the wet tower 700 and move to the rooftop scrubber 40 .

습식타워(700)에는 노즐(710)과 노즐(710)의 작동을 제어하는 밸브(720)가 설치될 수 있다. 밸브(720)는 수조탱크(300)로부터 노즐을 연결하는 공급관(370)에 설치될 수 있다. 밸브(720)는 일반적으로 닫혀 있을 수 있다. 예를 들면, 밸브(720)가 닫혀 있을 경우 노즐이 작동하지 않으므로, 수조탱크(300)를 통과한 연소가스가 보다 빨리 습식타워(700)로부터 이송될 수 있다.A nozzle 710 and a valve 720 for controlling the operation of the nozzle 710 may be installed in the wet tower 700 . The valve 720 may be installed in the supply pipe 370 connecting the nozzles from the water tank 300 . Valve 720 may be normally closed. For example, since the nozzle does not operate when the valve 720 is closed, the combustion gas passing through the water tank 300 can be transferred from the wet tower 700 more quickly.

즉, 습식타워(700) 내부의 기압은 대기압과 크게 차이가 나지 않아 노즐(710)의 작동시에는 용해된 연소가스의 흐름이 느려 질 수 있다. 이에 따라, 혼합부(500)의 작동으로 용해액에 연소가스의 용해도가 높아질 경우 노즐의 작동없이 습식타워로부터 바로 제거할 수 있다.That is, the atmospheric pressure inside the wet tower 700 is not significantly different from the atmospheric pressure, so that the flow of the dissolved combustion gas may be slowed during the operation of the nozzle 710 . Accordingly, when the solubility of the combustion gas in the solution increases due to the operation of the mixing unit 500, it can be directly removed from the wet tower without the operation of the nozzle.

다른 예로, 혼합부(500)의 작동에 이상이 있을 경우, 밸브가 작동되어 개방됨으로써 공급관(370)으로부터 용해액이 유입될 수 있다. 이 경우, 밸브의 개방에 의해 복수개의 노즐이 작동될 수 있다. 연소탱크(200)로부터 온도가 높아진 폐가스는 혼합부(500)의 작동이상으로 혼합부(500) 상부의 가스유입관(512)에 쌓이면서 압력이 높아질 수 있다.As another example, when there is an abnormality in the operation of the mixing unit 500 , the valve may be operated and opened so that the solution may be introduced from the supply pipe 370 . In this case, the plurality of nozzles may be operated by opening the valve. The pressure of the waste gas having an increased temperature from the combustion tank 200 may be increased while being accumulated in the gas inlet pipe 512 above the mixing unit 500 beyond the operation of the mixing unit 500 .

이때, 가스유입관(512)의 압력이 높아짐에 따라, 가스유입관(512)에 설치된 개폐부재(512a)가 열릴 수 있다. 한번 열린 개폐부재는 혼합부(500)의 작동이 정상으로 돌아오기 전까지 계속해서 열려 있을 수 있다. 따라서, 가스유입관(512) 내부의 연소가스는 혼합부(500)를 거치지 않고 수조탱크(300)로 유입되고, 수조탱크(300)와 연결된 습식타워(700)로 이동하게 된다. 이때, 습식타워(700) 내부에서 작동하는 노즐이 용해액을 분사하면서 연소가스는 용해액과 혼합될 수 있다.At this time, as the pressure of the gas inlet pipe 512 increases, the opening and closing member 512a installed in the gas inlet pipe 512 may be opened. The opening/closing member once opened may be continuously opened until the operation of the mixing unit 500 returns to normal. Accordingly, the combustion gas inside the gas inlet pipe 512 flows into the water tank 300 without passing through the mixing unit 500 , and moves to the wet tower 700 connected to the water tank 300 . At this time, the combustion gas may be mixed with the solution while the nozzle operating inside the wet tower 700 sprays the solution.

즉, 개폐부재(512a)가 개방됨에 따라, 연소가스는 역류하지 않고 습식타워(700)로 유도됨으로써, 유해가스 등에 의한 산업재해를 방지할 수 있다. 또한, 노즐의 작동을 통해 연소가스를 용해액에 용해시키고 불순물은 수조탱크(300)로 낙하시켜 여과한 후, 무해 성분 상태로 배출된 연소가스는 덕트(42) 내에서 블로워(44)를 통해 옥상에 위치한 옥상스크러버(40)에 이송시킬 수 있어, 혼합부의 이상작동에 보다 효율적으로 대응할 수 있다. That is, as the opening/closing member 512a is opened, the combustion gas is guided to the wet tower 700 without a reverse flow, thereby preventing industrial accidents caused by harmful gases. In addition, after dissolving the combustion gas in the solution through the operation of the nozzle and filtering the impurities by falling into the water tank 300, the combustion gas discharged as a harmless component in the duct 42 through the blower 44 Since it can be transferred to the rooftop scrubber 40 located on the roof, it is possible to more efficiently respond to abnormal operation of the mixing unit.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 수조탱크의 평면도이다. 도 5는 도 4의 A-A'단면도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합부의 요부 분해 사시도이다.4 is a plan view of a water tank according to an embodiment of the present invention. 5 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 4 . 6 is an exploded perspective view of a main part of a mixing unit according to an embodiment of the present invention.

도 4 및 도 5을 참고하면, 수조탱크(300)는 수조하우징(310), 분리판(320), 경사판(330), 배출관(360) 및 공급관(370)을 포함할 수 있다. 또한, 수조탱크(300)의 내부에는 혼합부(500) 및 여과부(600)가 설치될 수 있다.4 and 5 , the water tank 300 may include a water tank housing 310 , a separation plate 320 , an inclined plate 330 , a discharge pipe 360 , and a supply pipe 370 . In addition, the mixing unit 500 and the filtering unit 600 may be installed inside the water tank 300 .

수조하우징(310)은 중공형의 박스 형상으로, 플라즈마 토치(100) 및 연소탱크(200)에서 연소된 폐가스가 유입될 수 있다. 수조하우징(310)의 내부공간은 분리판(320)에 의해 제1 영역(312) 및 제2 영역(314)으로 분리될 수 있다. 제1 영역(312)에는 후술할 혼합부(500) 및 여과부(600)가 설치될 수 있다.The tank housing 310 has a hollow box shape, and waste gas burned in the plasma torch 100 and the combustion tank 200 may be introduced thereinto. The inner space of the water tank housing 310 may be divided into a first area 312 and a second area 314 by a separating plate 320 . A mixing unit 500 and a filtering unit 600, which will be described later, may be installed in the first region 312 .

분리판(320)은 소정 면적을 갖는 판 형상으로, 수조하우징(310)의 바닥면과 수직하게 배치되며, 분리판(320)의 전방에는 제1 영역(312), 후방에는 제2 영역(314)이 형성될 수 있다. 또한, 분리판(320)의 일측면에는 관통부(322)가 형성되고, 관통부(322)에는 입자를 필터링 할 수 있는 판형의 필터(324)가 장착될 수 있다.The separator plate 320 has a plate shape having a predetermined area, is disposed perpendicular to the bottom surface of the water tank housing 310 , and has a first area 312 in front of the separator plate 320 and a second area 314 in the rear of the separator plate 320 . ) can be formed. In addition, a through portion 322 is formed on one side of the separation plate 320 , and a plate-shaped filter 324 capable of filtering particles may be mounted on the through portion 322 .

수조하우징(310)은 제1 영역(312)의 상부에 가스유입구(316) 및 가스유출구(318)가 형성될 수 있다. 가스유입구(316)는 수조하우징(310) 상부에 위치한 연소탱크(200)와 연결되어 있다. 이때, 가스유입구(316)는 혼합부(500)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 가스유입구(316)는 연소탱크(200)로부터 유입되는 연소가스를 혼합부(500)로 유입시킬 수 있다.In the water tank housing 310 , a gas inlet 316 and a gas outlet 318 may be formed in the upper portion of the first region 312 . The gas inlet 316 is connected to the combustion tank 200 located above the water tank housing 310 . In this case, the gas inlet 316 may be connected to the mixing unit 500 . Accordingly, the gas inlet 316 may introduce the combustion gas flowing from the combustion tank 200 into the mixing unit 500 .

경사판(330)은 제1 영역(312)에서 용해액에 포함되어 있던 불순물을 수조하우징(310)의 일측 구석으로 유도할 수 있다. 경사판(330)은 소정의 경사를 갖는 판으로, 제1 영역(312)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 경사판은 수조하우징(310)의 좌측벽으로부터 우측으로 갈수록 하향 경사지게 설치될 수 있다. 즉, 경사판(330)에 의해 불순물이 제1 영역(312)의 하단으로 유도될 수 있다.The swash plate 330 may guide impurities contained in the solution in the first region 312 to one corner of the water tank housing 310 . The inclined plate 330 is a plate having a predetermined inclination and may be installed in the first region 312 . For example, the inclined plate may be installed to be inclined downward from the left wall of the water tank housing 310 toward the right. That is, impurities may be guided to the lower end of the first region 312 by the swash plate 330 .

배출관(360)은 수조하우징(310)의 일측벽을 통해 수조하우징(310)의 하부에 연결될 수 있다. 이에 따라, 수조하우징(310)의 하부에 모인 불순물은 배출관(360)을 통해 용이하게 배출되어 제거될 수 있다.The discharge pipe 360 may be connected to the lower portion of the water tank housing 310 through one side wall of the water tank housing 310 . Accordingly, impurities collected in the lower portion of the water tank housing 310 may be easily discharged and removed through the discharge pipe 360 .

수조하우징(310)은 제2 영역(314)의 일측에 공급관(370)이 연결될 수 있다. 이때, 제2 영역(314)에는 제1 영역(312)에서 배출관(360)을 통해 불순물이 제거되고, 필터(324)를 통과하면서 불순물이 재 여과된 물이 유입될 수 있다. 공급관(370)은 제2 영역(314) 내부와 연통되어 용해액을 흡입할 수 있다. 공급관(370)은 습식타워(700)와 연결되며, 공급관(370) 상에는 공급펌프(372)가 설치되어 펌프에 의해 제2 영역(314)의 용해액을 습식타워(700)로 공급하여 습식타워(700) 내부에 분사시킬 수 있다.The water tank housing 310 may have a supply pipe 370 connected to one side of the second area 314 . In this case, impurities may be removed from the first region 312 through the discharge pipe 360 into the second region 314 , and water from which the impurities are re-filtered may be introduced while passing through the filter 324 . The supply pipe 370 may be in communication with the inside of the second region 314 to suck the solution. The supply pipe 370 is connected to the wet tower 700, and a supply pump 372 is installed on the supply pipe 370 to supply the solution in the second area 314 to the wet tower 700 by the pump. (700) can be sprayed inside.

한편, 도 6을 참고하면, 혼합부(500)는 혼합하우징(510), 모터(530), 축부재(532), 제1 회전판(533), 제2 회전판(534), 제1 고정판(535), 제2 고정판(536) 및 용해액유출관(540)을 포함할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 6 , the mixing unit 500 includes a mixing housing 510 , a motor 530 , a shaft member 532 , a first rotating plate 533 , a second rotating plate 534 , and a first fixed plate 535 . ), a second fixing plate 536 and a solution outlet pipe 540 may be included.

혼합하우징(510)은 수조하우징(210)의 내부에 배치되며, 전체적으로 원통형으로 형성될 수 있다. 혼합하우징(510)은 일측에 용해액이 유입되도록 용해액유입관(511)이 형성되고, 타측에는 연소탱크(200)와 연통되는 가스유입관(512)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 혼합하우징(510)의 상부 일측에는 용해액유입관(511)이 설치되어, 외부 또는 수조하우징(310) 내부의 용해액을 유입시킬 수 있다. 또한 혼합하우징(510)의 상부 타측에는 가스유입관(512)이 설치되며, 이는 수조탱크(300)의 가스유입구(316)와 연결되어 연소가스를 유입시킬 수 있다.The mixing housing 510 is disposed inside the water tank housing 210 and may be formed in a cylindrical shape as a whole. The mixing housing 510 may have a solution inlet pipe 511 formed on one side so that the solution flows in, and a gas inlet pipe 512 communicating with the combustion tank 200 on the other side thereof. For example, a solution inlet pipe 511 is installed at an upper side of the mixing housing 510 to introduce a solution inside or outside the water tank housing 310 . In addition, a gas inlet pipe 512 is installed on the other upper side of the mixing housing 510 , which is connected to the gas inlet 316 of the water tank 300 to introduce combustion gas.

한편, 가스유입관(512)의 일측면에는 개폐부재(512a)가 형성될 수 있다. 개폐부재(512a)는 선택적으로 개폐되어 가스유입관(512)으로 유입되는 연소가스의 적어도 일부를 배출시킬 수 있다. 예를 들어, 연소가스 중 용해액에 용해되지 않는 가스에 의해 가스유입관(512) 내의 압력이 높아질 수 있다. 이에 따라, 개폐부재(512a)가 개방되므로 연소가스가 유출되어 수조탱크(300) 상부공간으로 이동할 수 있다. 이러한 연소가스는 수조탱크(300)의 상부공간을 따라 이동하면서 용해액에 직접 접촉할 수 있다.On the other hand, the opening and closing member (512a) may be formed on one side of the gas inlet pipe (512). The opening and closing member 512a may be selectively opened and closed to discharge at least a portion of the combustion gas flowing into the gas inlet pipe 512 . For example, the pressure in the gas inlet pipe 512 may be increased by a gas that is not dissolved in a solution of the combustion gas. Accordingly, since the opening/closing member 512a is opened, the combustion gas may flow out and move to the upper space of the water tank 300 . Such combustion gas may be in direct contact with the solution while moving along the upper space of the water tank 300 .

또한, 혼합하우징(510)의 일단부는 외측으로 갈수록 단면적이 감소하는 원뿔형의 경사부(513)가 형성될 수 있다. 경사부(513)에 복수개의 회전판(533,534) 및 복수개의 고정판(535,536)로부터 회전력을 받은 용해액이 모이게 되며, 용해액이 원뿔형 벽을 따라 선회하면서 체류시간이 길어질 수 있다.In addition, one end of the mixing housing 510 may be formed with a conical inclined portion 513 having a reduced cross-sectional area toward the outside. The solution receiving the rotational force from the plurality of rotating plates 533 and 534 and the plurality of fixed plates 535 and 536 is collected in the inclined portion 513, and the residence time may be prolonged as the solution rotates along the conical wall.

이때, 경사부(513)의 내측면에는 복수개의 돌기(514)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 경사부(513)를 따라 회전하던 용해액이 돌기(514)에 부딪히면서, 용해액에 포함되어 있던 침전물 및 연소 부산물 등의 불순물 입자를 분쇄시킬 수 있다.In this case, a plurality of protrusions 514 may be formed on the inner surface of the inclined portion 513 . Accordingly, while the dissolving solution rotating along the inclined portion 513 collides with the protrusions 514 , impurity particles such as sediment and combustion by-products included in the dissolving solution may be crushed.

모터(530)는 수조하우징(310)의 외측면에 설치되어, 축부재(532)가 연결될 수 있다. 모터(530)는 축부재(532)가 회전할 수 있도록 동력을 제공할 수 있다.The motor 530 is installed on the outer surface of the water tank housing 310 , and the shaft member 532 may be connected thereto. The motor 530 may provide power so that the shaft member 532 may rotate.

축부재(532)는 봉 형상으로 혼합하우징(510) 중심축 방향으로 배열될 수 있다. 이때, 축부재(532)는 모터(530)의 작동에 따라 회전할 수 있다. 또한, 축부재(532)의 외측면에는 길이방향을 따라 돌출되는 결합부재(532a)가 형성될 수 있다.The shaft member 532 may be arranged in a bar shape in the direction of the central axis of the mixing housing 510 . In this case, the shaft member 532 may rotate according to the operation of the motor 530 . In addition, a coupling member 532a protruding along the longitudinal direction may be formed on the outer surface of the shaft member 532 .

제1 회전판(533)은 링형 단면을 갖는 판 형상으로, 중심부에는 축부재(532)가 관통될 수 있다. 이때, 제1 회전판(533)의 내측면에는 축부재(532)의 결합부재(532a)와 대응되는 제1 결합홈(533a)이 형성될 수 있다. 또한, 제1 회전판(533)의 외측면에는 직경방향 외측으로 연장되는 제1 돌출부(533b)가 형성될 수 있다. 제1 돌출부(533b)는 제1 회전판(533)의 외측면에 원주방향을 따라 복수개가 이격되어 배치될 수 있다.The first rotating plate 533 may have a plate shape having a ring-shaped cross-section, and a shaft member 532 may pass through the center thereof. In this case, a first coupling groove 533a corresponding to the coupling member 532a of the shaft member 532 may be formed on the inner surface of the first rotating plate 533 . In addition, a first protrusion 533b extending radially outwardly may be formed on the outer surface of the first rotating plate 533 . A plurality of first protrusions 533b may be disposed on the outer surface of the first rotating plate 533 to be spaced apart from each other in the circumferential direction.

한편, 제1 회전판(533)은 복수개가 축부재(532)의 축방향으로 배열되어 축부재(532)에 결합될 수 있으며, 각 제1 회전판(533)의 제1 돌출부(533b)는 인접한 다른 제1 회전판(533)의 제1 돌출부(533b)와 서로 어긋나도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 인접한 제1 회전판(533)을 어긋나게 배치하기 위해서 각각의 제1 회전판(533) 소정의 위치에 제1 결합홈(533a)을 형성하여 축부재(532)의 결합부재(532a)에 결합시킬 수 있다.On the other hand, a plurality of first rotation plates 533 may be arranged in the axial direction of the shaft member 532 and coupled to the shaft member 532 , and the first protrusions 533b of each first rotation plate 533 are adjacent to the other The first protrusion 533b of the first rotating plate 533 may be displaced from each other. Accordingly, in order to displace the adjacent first rotation plates 533 , a first coupling groove 533a is formed at a predetermined position of each first rotation plate 533 to be coupled to the coupling member 532a of the shaft member 532 . can do it

제2 회전판(534)은 링형 단면을 갖는 판 형상으로, 중심부에는 축부재(532)가 관통될 수 있다. 이때 제2 회전판(534)은 복수개의 제1 회전판(533)보다 외측에 배치될 수 있다. 이때 제2 회전판(534)의 내측면에는 축부재(532)의 결합부재(532a)와 대응되는 제2 결합홈(534a)이 형성될 수 있다. 또한, 제2 회전판(534)의 일면에는 경사부(513) 측으로 연장되는 제2 돌출부(534b)가 형성될 수 있다. 제2 돌출부(534b)는 제2 회전판(534)의 일면에서 복수개가 이격되어 배치될 수 있다.The second rotating plate 534 has a plate shape having a ring-shaped cross-section, and the shaft member 532 may pass through the center thereof. In this case, the second rotation plate 534 may be disposed outside the plurality of first rotation plates 533 . In this case, a second coupling groove 534a corresponding to the coupling member 532a of the shaft member 532 may be formed on the inner surface of the second rotating plate 534 . In addition, a second protrusion 534b extending toward the inclined portion 513 may be formed on one surface of the second rotating plate 534 . A plurality of second protrusions 534b may be disposed to be spaced apart from each other on one surface of the second rotating plate 534 .

이에 따라, 축부재(532)의 축방향과 동일한 방향으로 형성되는 제2 돌출부(534b)가 형성됨으로써, 제2 회전판(534)이 회전시 제2 돌출부(534b)가 혼합하우징(510)에 수용된 용해액에 회전력을 가하여 수용성 유해가스와 용해액의 접촉 면적 및 접촉 시간을 증대시킬 수 있다. Accordingly, the second protrusion 534b formed in the same direction as the axial direction of the shaft member 532 is formed, so that the second protrusion 534b is accommodated in the mixing housing 510 when the second rotating plate 534 rotates. By applying rotational force to the solution, the contact area and contact time between the water-soluble harmful gas and the solution can be increased.

제1 고정판(535) 및 제2 고정판(536)은 링형 단면을 갖는 판 형상으로, 혼합하우징(510)의 내측면에 설치되어 제1 회전판(533) 및 제2 회전판(534)을 감싸는 형태로 형성될 수 있다. The first fixing plate 535 and the second fixing plate 536 have a plate shape having a ring-shaped cross section, and are installed on the inner surface of the mixing housing 510 to surround the first rotation plate 533 and the second rotation plate 534 . can be formed.

예를 들어, 혼합하우징(510)의 내측면에는 상하방향을 따라 돌출되는 결합돌기(미도시)가 형성되고, 제1 고정판(535) 및 제2 고정판(536) 각각의 외측면에는 결합돌기와 대응되는 제1 삽입홈(535a) 및 제2 삽입홈(536a)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 고정판(535) 및 제2 고정판(536)은 제1 삽입홈(535a)을 결합돌기에 결합시킴으로써 혼합하우징(510)의 내측면에 고정될 수 있다.For example, a coupling protrusion (not shown) protruding along the up-down direction is formed on the inner surface of the mixing housing 510 , and the first fixing plate 535 and the second fixing plate 536 correspond to the coupling protrusion on the outer surface of each. A first insertion groove (535a) and a second insertion groove (536a) to be formed may be formed. Accordingly, the first fixing plate 535 and the second fixing plate 536 may be fixed to the inner surface of the mixing housing 510 by coupling the first insertion groove 535a to the coupling protrusion.

한편, 제1 고정판(535) 및 제2 고정판(536)은 전체적으로 동일하게 형성되나, 제2 고정판(536)에는 직경방향 내측으로 연장되는 제3 돌출부(535b)가 추가로 형성될 수 있다. 제3 돌출부(535b)는 제2 고정판(536)의 내측면에 원주방향을 따라 복수개가 이격되어 배치될 수 있다.Meanwhile, the first fixing plate 535 and the second fixing plate 536 are formed in the same way as a whole, but a third protrusion 535b extending in the radial direction may be additionally formed on the second fixing plate 536 . A plurality of third protrusions 535b may be disposed to be spaced apart from each other along the circumferential direction on the inner surface of the second fixing plate 536 .

즉, 제1 고정판(535)은 링 형으로 형성되고, 인접한 제2 고정판(536)에는 제3 돌출부(535b)가 추가로 형성되어, 제1 고정판(535) 및 제2 고정판(536) 사이에 압력차가 발생할 수 있고, 이에 따라 유입되는 용해액의 속력이 증가하여 연소가스와 용해액이 효과적으로 혼합되어 수용성 유해가스의 용해도가 증대될 수 있다.That is, the first fixing plate 535 is formed in a ring shape, and a third protrusion 535b is additionally formed on the adjacent second fixing plate 536 , between the first fixing plate 535 and the second fixing plate 536 . A pressure difference may occur, and accordingly, the speed of the introduced dissolved solution is increased, so that the combustion gas and the dissolved solution are effectively mixed, thereby increasing the solubility of the water-soluble harmful gas.

혼합부(500)는 모터(530)의 구동에 의해 축부재(532)와 제1 회전판(533) 및 제2 회전판(534)이 회전할 경우, 제1 돌출부(533b) 및 제2 돌출부(534b)가 용해액에 회전력을 전달할 수 있고, 이는 제1 및 제2 회전판(533,534)과 제1 및 제2 고정판(535,536) 사이에서 용해액의 와류를 발생시킬 수 있다. 또한 와류가 발생된 용해액이 경사부(513) 측으로 이동하며 이때 경사부(513)의 원뿔형 벽을 따라 용해액이 선회할 수 있다.When the shaft member 532, the first rotating plate 533, and the second rotating plate 534 rotate by the driving of the motor 530, the mixing unit 500 includes the first protrusion 533b and the second protrusion 534b. ) may transmit a rotational force to the solution, which may generate a vortex of the solution between the first and second rotating plates 533 and 534 and the first and second fixed plates 535 and 536 . In addition, the vortex-generated solution moves toward the inclined portion 513 , and at this time, the dissolved solution may rotate along the conical wall of the inclined portion 513 .

즉, 혼합부(500)는 혼합하우징(510) 내에 수용된 용해액에 회전력을 가하며 이러한 용해액이 경사부(513)를 따라 선회하도록 하여 수용성 유해가스와 용해액의 접촉 면적 및 접촉 시간이 증대되므로, 수용성 유해가스의 용해도가 향상될 수 있다. 또한, 경사부(513)에 형성된 돌기(514)에 용해액이 부딪히면서 용해액에 포함되어 있던 침전물 및 연소 부산물 등의 불순물 입자를 분쇄시킬 수 있다.That is, the mixing unit 500 applies a rotational force to the dissolved solution accommodated in the mixing housing 510 and causes the dissolved solution to rotate along the inclined portion 513 to increase the contact area and contact time between the water-soluble harmful gas and the dissolved solution. , the solubility of water-soluble harmful gases can be improved. In addition, as the dissolving solution collides with the protrusions 514 formed on the inclined portion 513 , impurity particles such as precipitates and combustion by-products included in the dissolving solution may be crushed.

한편, 혼합하우징(510)의 하부에는 혼합하우징(510)의 용해액을 여과부(600) 측으로 공급하기위한 용해액유출관(540)이 연결될 수 있다.On the other hand, a solution outlet pipe 540 for supplying the solution of the mixing housing 510 to the filtration unit 600 side may be connected to the lower portion of the mixing housing 510 .

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과부의 사시도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과부의 정면도이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 여과부의 측면도이다.7 is a perspective view of a filtration unit according to an embodiment of the present invention. 8 is a front view of a filter unit according to an embodiment of the present invention. 9 is a side view of a filter unit according to an embodiment of the present invention.

도 7 및 도 8을 참고하면, 여과부(600)는 여과하우징(610), 고정부(630) 제1 여과부재(650) 및 제2 여과부재(670)를 포함할 수 있다. 7 and 8 , the filtering unit 600 may include a filtering housing 610 , a fixing unit 630 , a first filtering member 650 , and a second filtering member 670 .

여과하우징(610)은 전체적으로 원통 형상으로 형성되며, 일단부에는 혼합하우징(510)의 용해액유출관(540)과 연결되도록 유입구(611)가 형성되고, 타단부에는 유출구(613)가 형성될 수 있다. 여과하우징(610)의 내측면에는 원통형인 제1 여과부재(650) 및 제2 여과부재(670)를 고정시키도록 고정부(630)가 설치될 수 있다.The filter housing 610 is formed in a cylindrical shape as a whole, and an inlet 611 is formed at one end to be connected to the solution outlet pipe 540 of the mixing housing 510, and an outlet 613 is formed at the other end. can A fixing part 630 may be installed on the inner surface of the filtration housing 610 to fix the cylindrical first filtration member 650 and the second filtration member 670 .

고정부(630)는 제1 고정부재(631) 및 제2 고정부재(632)를 포함할 수 있다.The fixing part 630 may include a first fixing member 631 and a second fixing member 632 .

제1 고정부재(631)는 링 형상으로 형성되어, 제1 여과부재(650) 및 제2 여과부재(670)의 외측을 감싸도록 형성될 수 있다. 제1 고정부재(631)의 외경은 여과하우징(610)의 내경부다 작게 형성되어, 제1 고정부재(631)가 여과하우징(610)의 내측면으로부터 이격되어 배치될 수 있다.The first fixing member 631 may be formed in a ring shape to surround the outside of the first filtering member 650 and the second filtering member 670 . The outer diameter of the first fixing member 631 is formed to be smaller than the inner diameter of the filter housing 610 , so that the first fixing member 631 may be disposed to be spaced apart from the inner surface of the filter housing 610 .

제2 고정부재(632)는 제1 고정부재(631)를 여과하우징(610)의 내측면에 고정시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 고정부재(632)는 제1 고정부재(631)의 외측면에 원주방향을 따라 복수개가 돌출 형성되는 것으로, 여과하우징(610)의 내측면에 결합될 수 있다. 이에 따라, 제1 고정부재(631)는 제2 고정부재(632)에 의해 여과하우징(610)의 내측면과 이격된 채 고정될 수 있다.The second fixing member 632 may fix the first fixing member 631 to the inner surface of the filter housing 610 . For example, a plurality of the second fixing member 632 protrudes along the circumferential direction on the outer surface of the first fixing member 631 , and may be coupled to the inner surface of the filter housing 610 . Accordingly, the first fixing member 631 may be fixed while being spaced apart from the inner surface of the filter housing 610 by the second fixing member 632 .

제1 여과부재(650)는 원통형으로써 여과하우징(610)의 내부 중심축 방향으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 여과부재(650)의 외경은 제1 고정부재(631)의 내경보다 작게 형성될 수 있다. The first filtering member 650 may be arranged in a cylindrical shape in the direction of the inner central axis of the filter housing (610). For example, the outer diameter of the first filtering member 650 may be formed smaller than the inner diameter of the first fixing member (631).

제1 여과부재(650)는 용해액이 통과할 수 있도록 중심부에 축방향을 따라 제1 관통홀(651)이 형성될 수 있다. 또한, 제1 여과부재(650)는 제1 관통홀(651)로부터 연장되는 복수개의 제2 관통홀(652)이 형성될 수 있다. 제2 관통홀(652)은 제1 관통홀(651)을 중심으로 방사형으로 형성될 수 있다. 이러한 제2 관통홀(652)은 제1 관통홀(651)로부터 제1 여과부재(650)의 외측면까지 연장될 수 있다. The first filtering member 650 may have a first through hole 651 formed in the center along the axial direction so that the solution may pass therethrough. In addition, the first filtering member 650 may have a plurality of second through-holes 652 extending from the first through-holes 651 . The second through-hole 652 may be formed radially with respect to the first through-hole 651 . The second through-hole 652 may extend from the first through-hole 651 to the outer surface of the first filtering member 650 .

제2 여과부재(670)는 원통형으로써 여과하우징(610)의 축방향으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 여과부재(670)는 복수개가 제1 여과부재(650)의 외측면을 따라 배치될 수 있다. 이때 복수개의 제2 여과부재(670)는 제1 고정부재(631)의 내측면에 접하도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 여과부재(650) 및 복수개의 제2 여과부재(670)는 링 형의 제1 고정부재(631)에 삽입되어, 여과하우징(610)의 내측면과 이격되어 배치될 수 있다.The second filtering member 670 is cylindrical and may be disposed in the axial direction of the filter housing 610 . For example, a plurality of second filtering members 670 may be disposed along the outer surface of the first filtering member 650 . In this case, the plurality of second filtering members 670 may be formed to be in contact with the inner surface of the first fixing member 631 . Accordingly, the first filtration member 650 and the plurality of second filtration members 670 may be inserted into the ring-shaped first fixing member 631 and disposed to be spaced apart from the inner surface of the filter housing 610 . .

제2 여과부재(670)는 용해액이 통과할 수 있도록 축방향을 따라 제3 관통홀(671)이 형성될 수 있다. 이때, 제3 관통홀(671)은 제2 관통홀(652)과 연결되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 제3 관통홀(671)은 제2 관통홀(652)과 접하고 있는 제2 여과부재(670)의 외측면으로부터 제2 여과부재(670)의 중심방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 이에 따라, 제2 여과부재(670)를 제1 여과부재(650) 주변으로 복수개로 배치하고, 제1 여과부재(650)에 제1 및 제2 관통홀(651,652)을 형성시키고 제2 여과부재(670)에 이와 연장되는 제3 관통홀(671)을 형성시킴으로써, 용해액의 접촉면적이 증가하여 여과효율이 향상될 수 있다.The second filtering member 670 may have a third through hole 671 formed along the axial direction so that the solution may pass therethrough. In this case, the third through-hole 671 may be formed to be connected to the second through-hole 652 . For example, the third through-hole 671 may be formed to extend from the outer surface of the second filtering member 670 in contact with the second through-hole 652 in the central direction of the second filtering member 670 . . Accordingly, a plurality of second filtration members 670 are disposed around the first filtration member 650 , and first and second through holes 651 and 652 are formed in the first filtration member 650 , and the second filtration member By forming the third through-hole 671 extending thereto in the 670, the contact area of the solution is increased, so that the filtration efficiency can be improved.

한편, 제1 여과부재(650) 및 제2 여과부재(670)의 외측면 및 내측면에는 제1 내지 제3 관통홀(651,652,671)을 통과하는 용해액이 여과되는 복수개의 여과홀(673)이 형성될 수 있다.On the other hand, a plurality of filtration holes 673 through which the dissolved solution passing through the first to third through holes 651, 652, and 671 is filtered is provided on the outer and inner surfaces of the first filtration member 650 and the second filtration member 670 . can be formed.

도 9에 도시된 바와 같이, 유입구(611)를 통해 혼합부(500)로부터 유입된 용해액이 제1 여과부재(650) 및 제2 여과부재(670)를 통해 여과되어 유출구(613)를 통해 수조탱크(300)로 유출될 수 있다. 예를 들어, 여과하우징(610)으로 유입된 용해액은 제1 여과부재(650) 및 제2 여과부재(670)의 제1 내지 제3 관통홀(671)을 따라 흐르고, 이때 제1 여과부재(650) 및 제2 여과부재(670)의 여과홀(673)을 통과하며 불순물 입자가 포집된 용해액이 내부공간(615)으로 빠져나와 유출구(613)를 통해 배출될 수 있다. As shown in FIG. 9 , the dissolved solution introduced from the mixing unit 500 through the inlet 611 is filtered through the first filter member 650 and the second filter member 670 through the outlet 613 . It may flow out into the water tank 300 . For example, the solution introduced into the filtration housing 610 flows along the first to third through holes 671 of the first filtration member 650 and the second filtration member 670 , at this time the first filtration member The dissolved solution in which the impurity particles are collected passing through the filtration holes 673 of the 650 and the second filtration member 670 may be discharged into the inner space 615 and discharged through the outlet 613 .

한편, 혼합부(500) 및 여과부(600)를 통해 수용성 유해가스가 용해되어 포집되고 침전물 및 연소 부산물이 제거된 용해액이 수조탱크(300)의 제1 영역(312)으로 배출될 수 있다. 또한, 수조탱크(300)의 가스유출구(318)를 통해 연소가스가 유출되어, 상부에 형성되어 있는 습식타워(700)로 흐를 수 있다. 이때 습식타워(700)는 유입된 연소가스에 용해액을 분사하여 연소가스에 포함되어 있는 미세한 불순물을 낙하시킬 수 있다.On the other hand, the soluble harmful gas is dissolved and collected through the mixing unit 500 and the filtering unit 600 , and the dissolved solution from which the sediment and combustion by-products are removed may be discharged to the first area 312 of the water tank 300 . . In addition, the combustion gas may flow out through the gas outlet 318 of the water tank 300 and flow to the wet tower 700 formed thereon. At this time, the wet tower 700 may drop the fine impurities contained in the combustion gas by injecting a solution into the introduced combustion gas.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although one embodiment of the present invention has been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented herein, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention can add components within the scope of the same spirit. , changes, deletions, additions, etc. may easily suggest other embodiments, but this will also fall within the scope of the present invention.

10: 스크러버 시스템 20: 제조설비
30: 진공펌프 40: 옥상스크러버
42: 덕트 44: 블로워
100: 플라즈마 토치 111,113: 연료가스유입구
112: 폐가스유입구 200: 연소탱크
300: 수조탱크 310: 수조하우징
312: 제1 영역 314: 제2 영역
316: 가스유입구 318: 가스유출구
320: 분리판 322: 관통부
324: 여과부재 330: 경사판
340: 수집부 343: 유입홀
344: 수집홈
360: 배출관 370: 공급관
372: 공급펌프
500: 혼합부 510: 혼합하우징
511: 용해액유입관 512: 가스유입관
512a: 개폐부재
513: 경사부 514: 돌기
530: 모터 532: 축부재
532a: 결합부재 533: 제1 회전판
533a: 제1 결합홈 533b: 제1 돌출부
534: 제2 회전판 534a: 제2 결합홈
534b: 제2 돌출부 535: 제1 고정판
535a: 제1 삽입홈 535b: 제3 돌출부
536: 제2 고정판 536a: 제2 삽입홈
540: 용해액유출관
600: 여과부 610: 여과하우징
611: 유입구 613: 유출구
630: 고정부 631: 제1 고정부재
632: 제2 고정부재 650: 제1 여과부재
651: 제1 관통홀 652: 제2 관통홀
670: 제2 여과부재 671: 제3 관통홀
673: 여과홀 700: 습식타워
710: 노즐 720: 제어밸브10: scrubber system 20: manufacturing equipment
30: vacuum pump 40: roof scrubber
42: duct 44: blower
100: plasma torch 111,113: fuel gas inlet
112: waste gas inlet 200: combustion tank
300: water tank tank 310: water tank housing
312: first area 314: second area
316: gas inlet 318: gas outlet
320: separator 322: through part
324: filtering member 330: swash plate
340: collection unit 343: inlet hole
344: collection home
360: discharge pipe 370: supply pipe
372: supply pump
500: mixing unit 510: mixing housing
511: solution inlet pipe 512: gas inlet pipe
512a: opening and closing member
513: inclined portion 514: protrusion
530: motor 532: shaft member
532a: coupling member 533: first rotating plate
533a: first coupling groove 533b: first protrusion
534: second rotating plate 534a: second coupling groove
534b: second protrusion 535: first fixing plate
535a: first insertion groove 535b: third protrusion
536: second fixing plate 536a: second insertion groove
540: solution outlet pipe
600: filtration unit 610: filter housing
611: inlet 613: outlet
630: fixing part 631: first fixing member
632: second fixing member 650: first filtering member
651: first through hole 652: second through hole
670: second filtering member 671: third through hole
673: filtration hole 700: wet tower
710: nozzle 720: control valve

Claims

a combustion unit for burning waste gas;
a tank tank coupled to a lower portion of the combustion unit to store a solution so that the burned waste gas is dissolved; and
A scrubber system including a mixing unit installed inside the water tank to apply a rotational force to the solution in order to increase the solubility of the waste gas.

The method of claim 1,
The scrubber system further comprising a wet tower coupled to the upper portion of the water tank and spraying a solution to the waste gas flowing from the water tank.

The method of claim 1,
The scrubber system further comprising a filtration unit for collecting impurities of the solution introduced from the mixing unit.

The method of claim 1,
The mixing unit,
a mixing housing installed inside the water tank, having a solution inlet pipe formed on one side so that the solution flows in, and a gas inlet pipe communicating with the combustion unit at the other side;
a shaft member disposed on the central axis of the mixing housing;
A plurality of first protrusions are formed along the outer surface, the rotating plate is installed on the shaft member to transmit the rotational force of the shaft member to the solution; and
A scrubber system including a fixing plate installed on an inner surface of the mixing housing to surround the rotating plate, and having a second protrusion formed on one side opposite to the rotating plate.

5. The method of claim 4,
The mixing housing is
A scrubber system in which an inclined portion that decreases in cross-sectional area toward one end is formed.

5. The method of claim 4,
The gas inlet pipe,
A scrubber system including an opening and closing member that is installed on one side and can be opened and closed according to the pressure of the waste gas introduced therein.

4. The method of claim 3,
The filter unit,
a filtration housing in which an inlet through which the dissolved solution flows from the mixing unit is formed at one end and an outlet through which the filtered solution is discharged at the other end;
a first filtration member disposed inside the filtration housing; and
A scrubber system including a second filtering member disposed in contact with the outer surface of the first filtering member.