KR20210121859A - 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치 및 케미컬 공급방법 - Google Patents

복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치 및 케미컬 공급방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 복수의 펌프를 직렬로 연결하여 모든 펌프를 가동할 수 있어 배관 내 데드존이 형성되는 것을 방지할 수 있는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치 및 케미컬 공급방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 케미컬 공급장치는, 케미컬 공급원의 케미컬을 케미컬 소요처로 공급하기 위한 케미컬 공급라인; 상기 케미컬 공급라인 상에 직렬로 구비된 복수의 펌프; 상기 복수의 펌프 각각의 펌프 전단과 후단에 연결된 상기 케미컬 공급라인에 일측 단부와 타측 단부가 연결되되, 상기 케미컬이 상기 펌프를 바이패스하여 상기 케미컬 소요처를 향해 유동하도록 연결된 복수의 바이패스라인을 포함한다.

Description

복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치 및 케미컬 공급방법{Chemical supply apparatus with multiple pumps connected in series and chemical supply method}
본 발명은 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치 및 케미컬 공급방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 펌프를 직렬로 연결하여 모든 펌프를 가동할 수 있어 배관 내 데드존이 형성되는 것을 방지할 수 있는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치 및 케미컬 공급방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조, 평판 디스플레이 제조, 솔라셀(Solar Cell) 제조시에는 다양한 종류의 케미컬을 사용하고 있고, 이러한 케미컬을 케미컬 소요처에 필요로 하는 유량만큼 펌프를 이용하여 공급한다.
도 1은 종래기술에 의한 케미컬 공급장치를 보여주는 도면이다.
종래의 케미컬 공급장치는, 케미컬을 저장하는 케미컬 저장탱크(10), 상기 케미컬 저장탱크(10)와 케미컬 소요처(70) 사이를 연결하여 상기 케미컬 저장탱크(10)의 케미컬을 이송하기 위한 케미컬 공급라인(51,52), 상기 케미컬 공급라인(51,52) 상에 구비되어 상기 케미컬 저장탱크(10)의 케미컬을 케미컬 소요처(70)로 압송하기 위해 구동되는 복수의 펌프(21,22), 상기 케미컬 공급라인(52) 상에 구비되어 공급되는 케미컬의 유량을 측정하는 유량센서(30), 상기 케미컬 공급라인(52)을 통해 공급되는 케미컬의 공급압력을 측정하는 압력센서(40), 상기 케미컬 공급라인(52)에서 분기되어 케미컬 저장탱크(10)로 연결되는 리턴라인(60)을 포함한다.
상기 케미컬 공급라인(51)은 상기 복수의 펌프(21,22)에 대응되는 개수의 분기라인(53a,53b)로 분기되고, 상기 각각의 분기라인(53a,53b) 상에 상기 펌프(21,22)가 각각 구비된다. 상기 분기라인(53a,53b)은 하나의 케미컬 공급라인(52)으로 합쳐져 케미컬 소요처(70)에 연결된다.
이와 같은 종래의 케미컬 공급장치에 의하면, 병렬로 연결된 복수의 펌프(21,22) 중 일부 펌프(구동펌프)만 구동되고, 나머지 펌프(대체펌프)는 구동펌프의 고장 등과 같은 문제 발생시에 대체 펌프로 가동할 수 있도록 가동하지 않고 대기상태로 있게 된다.
이때 대기상태에 있던 대체펌프는 장시간 방치될 수 있고, 장시간 방치될 경우 펌프 내부에 고장 등의 문제가 발생할 수 있다.
만약 상기 구동펌프에 고장이 발생하면, 상기 대체펌프를 가동하게 되는데, 상기 대체펌프의 장시간 방치로 인해 고장이 나 있을 경우 이를 미리 인지할 수 없으므로, 새로운 대체펌프로 대체하기까지 케미컬 공급이 중단되는 문제점이 있었다.
또한, 복수의 펌프가 병렬로 연결되어 구동되지 않고 대체펌프로 대기상태로 있게 되면, 대체펌프에 연결된 배관인 상기 분기라인(53a,53b) 중 어느 하나의 내부에는 케미컬이 유동하지 않고 정체된 상태가 되는 데드존(Dead Zone)이 발생하게 된다.
또한, 케미컬 소요처(70)에서 케미컬 사용량이 순간적으로 많아져 압력 및 유량이 변동하는 경우에도 상기 펌프의 회전수 가변 제어를 하지 않아 케미컬의 안정된 공급이 이루어지지 않는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 복수의 펌프를 직렬로 연결하여 모든 펌프를 가동할 수 있어 배관 내 데드존이 형성되는 것을 방지할 수 있는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치 및 케미컬 공급방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 케미컬 공급장치는, 케미컬 공급원의 케미컬을 케미컬 소요처로 공급하기 위한 케미컬 공급라인; 상기 케미컬 공급라인 상에 직렬로 구비된 복수의 펌프; 상기 복수의 펌프 각각의 펌프 전단과 후단에 연결된 상기 케미컬 공급라인에 일측 단부와 타측 단부가 연결되되, 상기 케미컬이 상기 펌프를 바이패스하여 상기 케미컬 소요처를 향해 유동하도록 연결된 복수의 바이패스라인을 포함한다.
상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프의 구동이 미가동되면, 상기 케미컬이 상기 미가동된 펌프를 바이패스하는 바이패스라인을 통해 유동하도록 복수의 밸브가 구비될 수 있다.
상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프가 미가동되고, 나머지 펌프가 가동되는 경우, 상기 가동되는 펌프를 바이패스하는 바이패스라인을 통해 상기 케미컬의 유동이 이루어지지 않도록 상기 바이패스라인을 차단시키는 복수의 밸브가 구비될 수 있다.
상기 복수의 펌프와 케미컬 소요처 사이를 연결하는 케미컬 공급라인을 유동하는 케미컬의 공급압력을 측정하기 위한 압력센서; 상기 케미컬 소요처에서 필요로 하는 케미컬의 목표압력에 대한 정보가 수신되어 저장되는 목표압력 저장부; 상기 압력센서에 의해 측정된 공급압력이 상기 목표압력이 되도록 상기 복수의 펌프의 가동을 제어하는 제어부가 구비될 수 있다.
상기 복수의 펌프마다 상기 케미컬을 토출할 수 있는 토출압력에 대한 정보가 저장되는 토출압력정보 저장부; 상기 제어부는 상기 복수의 펌프 각각에 대한 토출압력을 더한 값이 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 가동을 제어할 수 있다.
상기 제어부는 상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프의 가동을 중지시키는 경우, 나머지 펌프의 토출압력을 최대 토출압력까지 변동시키면서 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 가동을 제어할 수 있다.
상기 복수의 펌프와 케미컬 소요처 사이를 연결하는 케미컬 공급라인을 유동하는 케미컬의 공급유량을 측정하기 위한 유량센서가 더 구비되고; 상기 제어부는 상기 유량센서에서 측정된 공급유량이 상기 케미컬 소요처로 공급하기 위한 목표유량을 충족하도록 상기 복수의 펌프를 제어할 수 있다.
본 발명의 케미컬 공급방법은, a) 케미컬 공급원의 케미컬을 케미컬 소요처로 공급하기 위해 케미컬 공급라인 상에 직렬로 구비된 복수의 펌프가 가동되는 단계; b) 상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프가 미가동 상태인 경우, 상기 케미컬 공급원으로부터 공급된 케미컬은 상기 미가동 상태의 펌프를 바이패스하여 상기 케미컬 소요처를 향해 유동하도록 제어부가 제어하는 단계를 포함한다.
상기 복수의 펌프와 케미컬 소요처 사이를 연결하는 케미컬 공급라인을 유동하는 케미컬의 공급압력을 압력센서에서 측정하고; 상기 제어부는 상기 공급압력이 상기 케미컬 소요처에서 필요로 하는 케미컬의 목표압력이 되도록 상기 복수의 펌프의 가동을 제어할 수 있다.
상기 제어부는 상기 복수의 펌프마다 상기 케미컬을 토출할 수 있는 토출압력을 더한 값이 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 가동을 제어할 수 있다.
상기 제어부는 상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프의 가동을 중지시키고, 상기 가동이 중지된 펌프를 제외한 나머지 펌프의 토출압력을 최대 토출압력까지 변동시키면서 상기 목표압력을 충족하도록 제어할 수 있다.
상기 제어부는 상기 복수의 펌프의 회전수를 가변시킴으로써 상기 목표압력을 충족시킬 수 있다.
본 발명에 의하면, 복수의 펌프를 직렬로 연결하여 모든 펌프를 가동할 수 있어 배관 내 데드존이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 케미컬 공급라인에 바이패스라인을 연결하여 직렬로 연결된 펌프 중 하나가 고장나더라도 공급압력의 변화없이 케미컬을 케미컬 소요처에 공급할 수 있어 케미컬의 안정적인 공급이 가능하게 된다.
도 1은 종래기술에 의한 케미컬 공급장치를 보여주는 도면
도 2는 본 발명에 의한 케미컬 공급장치를 보여주는 도면
도 3은 본 발명에 의한 케미컬 공급장치의 제어구성을 보여주는 도면
이하 본 발명에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2와 도 3을 참조하여 본 발명에 의한 케미컬 공급장치에 대해 설명한다.
본 발명의 케미컬 공급장치(1)는, 케미컬 공급원(10)의 케미컬을 케미컬 소요처(70)로 공급하기 위한 케미컬 공급라인(510,520,530,540), 상기 케미컬 공급라인(510,520,530,540) 상에 직렬로 구비된 복수의 펌프(210,220,230), 상기 복수의 펌프(210,220,230) 각각의 펌프 전단과 후단에 연결된 상기 케미컬 공급라인에 일측 단부와 타측 단부가 연결되되 상기 케미컬이 상기 펌프를 바이패스하여 상기 케미컬 소요처(70)를 향해 유동하도록 연결된 복수의 바이패스라인(550,560,570)을 포함한다.
상기 케미컬 공급원(10)은 케미컬을 저장하는 케미컬 저장탱크로 이루어질 수 있다.
상기 복수의 펌프(210,220,230)는 케미컬 공급원(10)과 케미컬 소요처(70) 사이에 구비되고, 설치된 순서대로 제1 펌프(210)와 제2 펌프(220) 및 제3 펌프(230)가 구비되고, 전부 직렬로 연결된다. 본 실시예에서는 3개의 펌프가 구비된 것으로 예시하였으나, 펌프의 개수는 필요에 따라 변동 가능하다.
상기 복수의 펌프(210,220,230)는 케미컬을 토출하는 토출압력이 설정범위 내에서 가변되도록 구성될 수 있다.
또한, 복수의 펌프(210,220,230) 각각에서의 최대 토출압력은 케미컬 소요처(70)에서 필요로 하는 공급압력을 충족시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 즉, 하나의 펌프만으로도 케미컬 소요처(70)에서 필요로 하는 공급압력을 충족시킬 수 있다.
상기 케미컬 공급라인(510,520,530,540)은, 케미컬 공급원(10)과 제1 펌프(210) 사이를 연결하는 제1 케미컬 공급라인(510), 상기 제1 펌프(210)와 제2 펌프(220) 사이를 연결하는 제2 케미컬 공급라인(520), 상기 제2 펌프(220)와 제3 펌프(230) 사이를 연결하는 제3 케미컬 공급라인(530), 상기 제3 펌프(230)와 케미컬 소요처(70) 사이를 연결하는 제4 케미컬 공급라인(540)으로 이루어질 수 있다.
상기 제4 케미컬 공급라인(540)에서 분기되어 케미컬 공급원(10)으로 연결되는 리턴라인(60)이 구비될 수 있다. 케미컬 공급원(70)에서 케미컬 사용이 없는 경우에는 케미컬 공급원(10)의 케미컬이 제1 내지 제3 펌프(210,220,230), 제4 케미컬 공급라인(540), 리턴라인(60)을 순환하도록 되어 있다. 케미컬 공급원(70)에서 케미컬 사용을 위한 케미컬 사용 신호가 제어부(100)에 수신되면, 케미컬 공급원(70)의 케미컬이 제1 내지 제3 펌프(210,220,230) 중 적어도 하나의 가동에 의해 케미컬 소요처(70)로 공급된다.
상기 제2 케미컬 공급라인(520) 상에는 상기 제1 펌프(210)의 가동시 개방되고, 상기 제1 펌프(210)의 미가동시 상기 제2 케미컬 공급라인(520)을 차단하는 제1 케미컬 공급밸브(610)가 구비되어 있다.
상기 제3 케미컬 공급라인(530) 상에는 상기 제2 펌프(220)의 가동시 개방되고, 상기 제2 펌프(220)의 미가동시 상기 제3 케미컬 공급라인(530)을 차단하는 제2 케미컬 공급밸브(630)가 구비되어 있다.
상기 제4 케미컬 공급라인(540) 상에는 상기 제3 펌프(230)의 가동시 개방되고, 상기 제3 펌프(230)의 미가동시 상기 제4 케미컬 공급라인(540)에서 제3 펌프(230)의 출구 측을 차단하는 제3 케미컬 공급밸브(650)가 구비되어 있다.
상기 바이패스라인(550,560,570)은, 상기 제1 케미컬 공급라인(510)과 제2 케미컬 공급라인(520)에 일측 단부와 타측 단부가 연결된 제1 바이패스라인(550), 상기 제2 케미컬 공급라인(520)과 제3 케미컬 공급라인(530)에 일측 단부와 타측 단부가 연결된 제2 바이패스라인(560), 상기 제3 케미컬 공급라인(530)과 제4 케미컬 공급라인(540)에 일측 단부와 타측 단부가 연결된 제3 바이패스라인(570)으로 이루어진다.
상기 제1 바이패스라인(550)에는 상기 제1 펌프(210)의 미가동시 케미컬이 상기 제1 펌프(210)를 바이패스하여 상기 제1 바이패스라인(550)을 통해 유동하도록 개방되고, 상기 제1 펌프(210)의 가동시 케미컬이 상기 제1 바이패스라인(550)을 통해 유동하지 않도록 상기 제1 바이패스라인(550)을 차단하는 제1 바이패스밸브(620)가 구비되어 있다.
상기 제2 바이패스라인(560)에는 상기 제2 펌프(220)의 미가동시 케미컬이 상기 제2 펌프(220)를 바이패스하여 상기 제2 바이패스라인(560)을 통해 유동하도록 개방되고, 상기 제2 펌프(220)의 가동시 케미컬이 상기 제2 바이패스라인(560)을 통해 유동하지 않도록 상기 제2 바이패스라인(560)을 차단하는 제2 바이패스밸브(640)가 구비되어 있다.
상기 제3 바이패스라인(570)에는 상기 제3 펌프(230)의 미가동시 케미컬이 상기 제3 펌프(230)를 바이패스하여 상기 제3 바이패스라인(570)을 통해 유동하도록 개방되고, 상기 제3 펌프(230)의 가동시 케미컬이 상기 제3 바이패스라인(570)을 통해 유동하지 않도록 상기 제3 바이패스라인(570)을 차단하는 제3 바이패스밸브(660)가 구비되어 있다.
이와 같이 상기 복수의 펌프(210,220,230) 중 적어도 하나의 펌프가 미가동 상태가 되면, 상기 케미컬이 상기 미가동 상태의 펌프를 바이패스하는 바이패스라인(550,560,570)을 통해 유동하도록 복수의 밸브가 구비되어 있다. 또한, 상기 복수의 펌프(210,220,230) 중 적어도 하나의 펌프가 미가동 상태이고, 나머지 펌프가 가동되는 경우, 상기 가동되는 펌프를 바이패스하는 바이패스라인을 통해 상기 케미컬의 유동이 이루어지지 않도록 상기 제1 내지 제3 바이패스밸브(620,640,660)가 구비되어 있다.
상기 제4 케미컬 공급라인(540) 상에는 케미컬 소요처(70)로 공급되는 케미컬의 공급압력을 측정하기 위한 압력센서(40)가 구비되어 있다. 또한, 상기 케미컬 소요처(70)에서 필요로 하는 케미컬의 목표압력에 대한 정보가 수신되어 저장되는 목표압력 저장부(110)가 구비될 수 있다. 상기 압력센서(40)에 의해 측정된 공급압력이 상기 목표압력이 되도록 상기 복수의 펌프(210,220,230)의 구동을 제어하는 제어부(100)가 구비될 수 있다.
상기 복수의 펌프(210,220,230)마다 상기 케미컬을 토출할 수 있는 토출압력에 대한 정보가 저장되는 토출압력정보 저장부(120)가 구비될 수 있다. 상기 제어부(100)는 상기 복수의 펌프(210,220,230) 각각에 대한 토출압력을 더한 값이 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 구동을 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어부(100)는 상기 복수의 펌프(210,220,230) 중 적어도 하나의 펌프가 미가동 상태인 경우, 나머지 가동되는 펌프의 토출압력을 최대 토출압력까지 변동시키면서 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 구동을 제어할 수 있다.
상기 복수의 펌프(210,220,230)와 케미컬 소요처(70) 사이를 연결하는 케미컬 공급라인(제4 케미컬 공급라인)을 유동하는 케미컬의 공급유량을 측정하기 위한 유량센서(30)가 더 구비될 수 있다. 상기 제어부(100)는 상기 유량센서(30)에서 측정된 공급유량이 상기 케미컬 소요처(70)로 공급하기 위한 목표유량을 충족하도록 상기 복수의 펌프를 제어할 수 있다.
본 발명의 케미컬 공급방법에 대해 설명한다.
케미컬 공급원(10)의 케미컬을 케미컬 소요처(70)로 공급하기 위해 케미컬 공급라인(510,520,530,540) 상에 직렬로 구비된 복수의 펌프(210,220,230)가 구동된다.
상기 복수의 펌프(210,220,230)에 고장이 발행하거나, 기타 펌프를 가동할 수 없는 상황이 아닌 경우에는 직렬로 연결된 모든 펌프(210,220,230)를 가동한다.
상기 복수의 펌프(210,220,230) 중 적어도 하나의 펌프가 미가동 상태인 경우, 상기 케미컬 공급원(10)으로부터 공급된 케미컬은 상기 미가동 상태의 펌프를 바이패스하여 상기 케미컬 소요처(70)를 향해 유동하도록 제어부(100)가 제어한다.
이 경우 제어부(100)는 상기 복수의 펌프(210,220,230)마다 상기 케미컬을 토출할 수 있는 토출압력을 더한 값이 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 구동을 제어할 수 있다.
또한, 제어부(100)는 상기 복수의 펌프(210,220,230) 중 적어도 하나의 펌프의 가동을 미가동 상태로 하고, 상기 미가동 상태의 펌프를 제외한 나머지 펌프의 토출압력을 최대 토출압력까지 변동시키면서 상기 목표압력을 충족하도록 제어할 수 있다.
상기 복수의 펌프(210,220,230)는 펌프마다 토출압력이 가변될 수 있도록 설정되어 있고, 최대 토출압력이 설정되어 있다. 상기 펌프의 회전수를 가변시키면 상기 펌프의 토출압력이 가변될 수 있다. 제어부는 펌프의 회전수를 가변시킴으로써 목표압력을 충족시키도록 제어할 수 있다.
일례로, 각 펌프의 최대 토출압력 300이고, 케미컬 소요처(70)에서 필요로 하는 공급압력(목표압력)이 300으로 설정될 수 있다. 이 경우 복수의 펌프(210,220,230) 각각의 토출압력을 100으로 설정하면, 목표압력인 300을 충족시킬 수 있다. 또한, 케미컬 소요처(70)에서 필요로 하는 케미컬이 증가하여, 목표압력이 600으로 변경될 수 있다. 이 경우 복수의 펌프(210,220,230) 각각의 토출압력을 200으로 설정하면, 목표압력인 600을 충족시킬 수 있다. 이와 같은 방법으로 케미컬 소요처(70)에서 필요로 하는 목표압력이 900인 경우까지 3개의 펌프로 케미컬 공급이 가능하다.
케미컬 소요처(70)에서 필요로 하는 목표압력이 600이고, 각 펌프(210,220,230)의 최대 토출압력이 600인 경우, 3개의 펌프 중 하나 이상의 펌프가 고장나서 미가동 상태인 경우에 대해 설명한다.
제1 펌프(210)가 고장나서 미가동 상태인 경우, 제1 케미컬 공급밸브(610)는 닫힘으로써 제2 케미컬 공급라인(520)으로 케미컬의 유동이 차단되고, 제1 바이패스밸브(620)가 개방되어 케미컬은 제1 바이패스라인(550)과 제2 케미컬 공급라인(520)을 순차 통과한 후 제2 펌프(220)로 유동한다. 상기 제2 펌프(220)와 제3 펌프(230)에서의 토출압력을 각각 300으로 설정하면, 목표압력 600을 충족시킬 수 있다.
만약, 제1 펌프(210)와 제2 펌프(220)가 고장나서 미가동 상태인 경우, 제1 바이패스밸브(620)와 제2 바이패스밸브(640)는 개방되고, 제1 케미컬 공급밸브(610)와 제2 케미컬 공급밸브(620)는 닫혀 케미컬의 유동이 차단시키면, 케미컬은 제1 바이패스라인(550)과 제2 케미컬 공급라인(520)과 제2 바이패스라인(560) 및 제3 케미컬 공급라인(530)을 순차 통과한 후 제3 펌프(230)로 유동한다. 상기 제3 펌프(230)에서의 토출압력을 최대 토출압력인 600으로 설정을 변동하면, 목표압력 600을 충족시킬 수 있다.
상기에서는 압력센서(40)에서 측정한 공급압력이 목표압력을 충족하도록 제어하는 경우에 대해 설명하였으나, 공급압력 뿐만 아니라 공급유량이 목표유량을 충족하도록 구성할 수도 있다.
전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
10 : 케미컬 공급원 21,22 : 펌프
30 : 유량센서 40 : 압력센서
51,52 : 케미컬 공급라인 60 : 리턴라인
70 : 케미컬 소요처 100 : 제어부
110 : 목표압력 저장부 120 : 토출압력정보 저장부
210,220,230 : 펌프 510,520,530,540 : 케미컬 공급라인
550,560,570 : 바이패스라인 610,630,650 : 케미컬 공급밸브
620,640,660 : 바이패스밸브

Claims (12)

  1. 케미컬 공급원의 케미컬을 케미컬 소요처로 공급하기 위한 케미컬 공급라인;
    상기 케미컬 공급라인 상에 직렬로 구비된 복수의 펌프;
    상기 복수의 펌프 각각의 펌프 전단과 후단에 연결된 상기 케미컬 공급라인에 일측 단부와 타측 단부가 연결되되, 상기 케미컬이 상기 펌프를 바이패스하여 상기 케미컬 소요처를 향해 유동하도록 연결된 복수의 바이패스라인;
    을 포함하는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프의 구동이 미가동되면, 상기 케미컬이 상기 미가동된 펌프를 바이패스하는 바이패스라인을 통해 유동하도록 복수의 밸브가 구비된 것을 특징으로 하는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프가 미가동되고, 나머지 펌프가 가동되는 경우, 상기 가동되는 펌프를 바이패스하는 바이패스라인을 통해 상기 케미컬의 유동이 이루어지지 않도록 상기 바이패스라인을 차단시키는 복수의 밸브가 구비된 것을 특징으로 하는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 펌프와 케미컬 소요처 사이를 연결하는 케미컬 공급라인을 유동하는 케미컬의 공급압력을 측정하기 위한 압력센서;
    상기 케미컬 소요처에서 필요로 하는 케미컬의 목표압력에 대한 정보가 수신되어 저장되는 목표압력 저장부;
    상기 압력센서에 의해 측정된 공급압력이 상기 목표압력이 되도록 상기 복수의 펌프의 가동을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 펌프마다 상기 케미컬을 토출할 수 있는 토출압력에 대한 정보가 저장되는 토출압력정보 저장부;
    상기 제어부는 상기 복수의 펌프 각각에 대한 토출압력을 더한 값이 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 가동을 제어하는 것;
    을 특징으로 하는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프의 가동을 중지시키는 경우, 나머지 펌프의 토출압력을 최대 토출압력까지 변동시키면서 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 가동을 제어하는 것을 특징으로 하는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치
  7. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 펌프와 케미컬 소요처 사이를 연결하는 케미컬 공급라인을 유동하는 케미컬의 공급유량을 측정하기 위한 유량센서가 더 구비되고;
    상기 제어부는 상기 유량센서에서 측정된 공급유량이 상기 케미컬 소요처로 공급하기 위한 목표유량을 충족하도록 상기 복수의 펌프를 제어하는 것;
    을 특징으로 하는 복수의 펌프가 직렬로 연결된 케미컬 공급장치
  8. a) 케미컬 공급원의 케미컬을 케미컬 소요처로 공급하기 위해 케미컬 공급라인 상에 직렬로 구비된 복수의 펌프가 가동되는 단계;
    b) 상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프가 미가동 상태인 경우, 상기 케미컬 공급원으로부터 공급된 케미컬은 상기 미가동 상태의 펌프를 바이패스하여 상기 케미컬 소요처를 향해 유동하도록 제어부가 제어하는 단계;
    를 포함하는 케미컬 공급방법
  9. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 펌프와 케미컬 소요처 사이를 연결하는 케미컬 공급라인을 유동하는 케미컬의 공급압력을 압력센서에서 측정하고;
    상기 제어부는 상기 공급압력이 상기 케미컬 소요처에서 필요로 하는 케미컬의 목표압력이 되도록 상기 복수의 펌프의 가동을 제어하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급방법
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 복수의 펌프마다 상기 케미컬을 토출할 수 있는 토출압력을 더한 값이 상기 목표압력을 충족하도록 상기 펌프의 가동을 제어하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급방법
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 복수의 펌프 중 적어도 하나의 펌프의 가동을 중지시키고, 상기 가동이 중지된 펌프를 제외한 나머지 펌프의 토출압력을 최대 토출압력까지 변동시키면서 상기 목표압력을 충족하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급방법
  12. 제8항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 복수의 펌프의 회전수를 가변시킴으로써 상기 목표압력을 충족시키는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급방법
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