KR20210119446A

KR20210119446A - 분광기

Info

Publication number: KR20210119446A
Application number: KR1020217026199A
Authority: KR
Inventors: 다카후미 요키노; 도시테루 스즈키; 가츠히코 가토; 잇세이 오시마; 다카시 오바
Original assignee: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2019-01-30
Filing date: 2020-01-28
Publication date: 2021-10-05
Also published as: CN113366290B; DE112020000606T5; US20220099487A1; CN113366290A; WO2020158745A1; CH717185B1; JP7170551B2; JP2020122699A; US12066326B2

Abstract

분광기는 저벽부, 및 저벽부의 일방의 측에 있어서 분광 공간을 포위하는 측벽부를 가지는 지지체와, 측벽부에 의해서 구성된 개구부에 배치되고, 광 투과부가 마련된 커버와, 커버와 개구부와의 사이에 배치된 접합 부재와, 분광 공간과 커버와의 사이에 있어서, 저벽부에 있어서의 일방의 측의 표면과 서로 마주보도록, 측벽부에 의해서 지지된 광 검출 소자와, 저벽부에 있어서의 일방의 측의 표면에 마련된 광학 기능부를 구비한다. 지지체, 커버 및 접합 부재 중 적어도 1개에는, 통기구가 마련되어 있다. 통기구는 지지체, 커버 및 광 검출 소자에 의해서 획정된 공간과 외부로 개구하고 있다. 지지체, 커버 및 광 검출 소자에 의해서 획정된 공간은, 분광 공간과 연통하고 있다.

Description

분광기

본 개시는 분광기에 관한 것이다.

지지체와, 지지체의 저벽(底壁)부의 표면에 마련된 분광부와, 분광부와 서로 마주보도록 지지체의 측벽부에 의해서 지지된 광 검출 소자를 구비하는 분광기가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

특허문헌 1: 일본 특허공개번호 제2004－354176호

상술한 것 같은 분광기에 있어서는, 분광 공간에 수분이 진입하는 것을 억제하기 위해서, 분광 공간을 기밀(氣密)하게 실링하는 구성을 채용하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 분광 공간을 기밀하게 실링하면, 분광기의 사용 환경의 온도 변화에 따라서 내압이 변화하기 때문에, 분광부가 마련되고 또한 광 검출 소자를 지지하는 지지체가 변형되어, 분광 정밀도가 저하될 우려가 있다. 특히, 분광기가 소형화되면 될수록, 지지체의 변형이 분광 정밀도에 주는 영향이 커진다.

이에, 본 개시는 신뢰성이 높은 분광기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일 측면의 분광기는, 저벽부, 및 저벽부의 일방의 측에 있어서 분광 공간을 포위하는 측벽부를 가지는 지지체와, 측벽부에 의해서 구성된 개구부에 배치되고, 광 투과부가 마련된 커버와, 커버와 개구부와의 사이에 배치된 접합 부재와, 분광 공간과 커버와의 사이에 있어서, 저벽부에 있어서의 일방의 측의 표면과 서로 마주보도록, 측벽부에 의해서 지지된 광 검출 소자와, 저벽부에 있어서의 일방의 측의 표면에 마련된 광학 기능부를 구비하고, 지지체, 커버 및 접합 부재 중 적어도 1개에는, 통기구가 마련되어 있고, 통기구는 지지체, 커버 및 광 검출 소자에 의해서 획정된 공간과 외부로 개구되어 있고, 지지체, 커버 및 광 검출 소자에 의해서 획정된 공간은, 분광 공간과 연통하고 있다.

이 분광기에서는, 지지체, 커버 및 접합 부재 중 적어도 1개에 마련된 통기구에 의해서, 분광 공간과 외부가 연통하게 된다. 그 때문에, 분광기의 사용 환경의 온도가 변화해도, 내압의 변화에 기인하는 지지체의 변형이 억제된다. 따라서, 광학 기능부 및 광 검출 소자 등의 위치 관계에 어긋남이 생기기 어려워진다. 또한, 통기구가 지지체, 커버 및 광 검출 소자에 의해서 획정된 공간과 외부로 개구되어 있고, 해당 공간이 분광 공간과 연통하고 있다. 이것에 의해, 외부로부터 통기구에 미광(迷光)이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간으로 진입하기 어려워진다. 따라서, 이 분광기에 의하면, 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기에서는, 통기구가 개구되는 방향은, 커버를 통해서 분광 공간으로 광이 입사되는 방향과 교차하고 있어도 된다. 이것에 의해, 외부로부터 통기구에 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기에서는, 커버는 광 투과 부재와, 광 통과 개구가 형성된 차광층을 가져도 된다. 이것에 의해, 분광 공간으로의 파티클의 진입을 억제하면서, 적절한 상태로 분광 공간으로 광을 입사시킬 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기에서는, 지지체에는 분광 공간의 일방의 측에 있어서 분광 공간보다도 확폭(擴幅)된 제1 확폭부와, 제1 확폭부의 일방의 측에 있어서 제1 확폭부보다도 확폭된 제2 확폭부가 마련되어 있고, 광 검출 소자는 제1 확폭부에 배치되어 있고, 커버는 개구부인 제2 확폭부에 배치되어 있어도 된다. 이것에 의해, 광 검출 소자 및 커버를 안정적으로 지지하면서, 통기구가 개구되는 공간을, 지지체, 커버 및 광 검출 소자에 의해서 확실하게 획정할 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기에서는, 제1 확폭부 및 제2 확폭부는, 커버를 통해서 분광 공간으로 광이 입사되는 방향과 교차하는 방향을 길이 방향으로 하는 형상을 나타내고 있고, 통기구는 길이 방향에 있어서의 제2 확폭부의 단부에 위치하도록, 접합 부재에 마련되어 있어도 된다. 이것에 의해, 통기구의 위치가 분광 공간 내의 광로로부터 떨어진 위치로 되기 때문에, 외부로부터 통기구에 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기에서는, 제1 확폭부 및 제2 확폭부는, 커버를 통해서 분광 공간으로 광이 입사되는 방향과 교차하는 방향을 길이 방향으로 하는 형상을 나타내고 있고, 통기구는 길이 방향에 있어서의 제1 확폭부의 단부로 개구되도록, 지지체에 마련되어 있어도 된다. 이것에 의해, 통기구의 위치가 분광 공간 내의 광로로부터 떨어진 위치가 되기 때문에, 외부로부터 통기구에 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기에서는, 제1 확폭부에는 배선의 단부가 배치되어 있고, 광 검출 소자의 단자와 배선의 단부는, 접속 부재에 의해서 전기적으로 접속되어 있고, 광 검출 소자와 제1 확폭부와의 사이에는, 접속 부재를 덮도록 보강 부재가 배치되어 있어도 된다. 이것에 의해, 보강 부재가 차광 부재로서 기능하기 때문에, 외부로부터 통기구에 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기에서는, 광학 기능부는 분광부여도 된다. 이것에 의해, 분광부에 원하는 광학 기능을 확실하게 발휘시킬 수 있다.

광학 기능부는 미러여도 된다. 이것에 의해, 미러에 원하는 광학 기능을 확실하게 발휘시킬 수 있다.

본 개시의 일 측면의 분광기는, 통기구와 분광 공간과의 사이에 배치된 차광 부재를 더 구비하고 있어도 된다. 이것에 의해, 외부로부터 통기구에 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

본 개시에 의하면, 신뢰성이 높은 분광기를 제공할 수 있다.

도 1은 일 실시 형태의 분광기의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시되는 II－II선을 따른 분광기의 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시되는 III－III선을 따른 분광기의 단면도이다.
도 4는 변형예의 통기구를 구비하는 분광기의 평면도이다.
도 5는 변형예의 통기구를 구비하는 분광기의 단면도이다.

이하, 본 개시의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 덧붙여, 각 도면에 있어서 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 부여하고, 중복하는 설명을 생략한다.

［분광기의 구성］

도 1에 도시되는 것처럼, 분광기(1)는 지지체(10)와, 커버(20)를 구비하고 있다. 분광기(1)에서는 지지체(10) 및 커버(20)에 의해서 상자 형태의 패키지(2)가 구성되어 있다. 지지체(10)는 성형 회로 부품(MID：Molded Interconnect Device)으로서 구성되어 있고, 지지체(10)에는 복수의 배선(11)이 마련되어 있다. 일례로서, 분광기(1)는 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 각각의 방향에 있어서의 길이가 15mm 이하의 직육면체 모양의 형상을 나타내고 있다. 특별히, 분광기(1)는 Y축 방향에 있어서의 길이가 수mm 정도로까지 박형화되어 있다.

도 2 및 도 3에 도시되는 것처럼, 패키지(2) 내에는, 광 검출 소자(30), 수지 성형층(40) 및 반사층(50)이 마련되어 있다. 반사층(50)은 광학 기능부로서, 미러(51) 및 분광부(52)를 구성하고 있다. 광 검출 소자(30)에는 광 통과부(31), 미러(32) 및 광 검출부(33)가 마련되어 있다. 광 통과부(31), 미러(51), 미러(32), 분광부(52) 및 광 검출부(33)는, Z축 방향에서 보았을 경우에, X축 방향과 평행한 동일 직선 상에 늘어서 있다.

분광기(1)에서는, Z축 방향을 따라서 광 통과부(31)를 통과한 광(L1)은, 미러(51)에서 반사되고, 미러(51)에서 반사된 광(L1)은, 미러(32)에서 반사된다. 미러(32)에서 반사된 광(L1)은, 분광부(52)에서 분광됨과 아울러 반사된다. 분광부(52)에서 분광됨과 아울러 반사된 광 중 0차광 이외의 광(L2)은, 광 검출부(33)에 입사되어 광 검출부(33)에서 검출된다. 이와 같이, 분광기(1)에서는, 광 통과부(31)로부터 분광부(52)에 도달하는 광(L1)의 광로, 및 분광부(52)로부터 광 검출부(33)에 도달하는 광(L2)의 광로를 포함하는 분광 공간(S)이 패키지(2) 내에 형성되어 있다.

지지체(10)는 저벽부(12) 및 측벽부(13)를 가지고 있다. 저벽부(12) 및 측벽부(13)는, 예를 들면 LCP(Liquid Crystal Polymer) 등의 합성 수지에 의해서 일체적으로 형성되어 있다. 저벽부(12)에 있어서의 분광 공간(S) 측(일방의 측)의 표면(12a)에는, 오목부(14) 및 주변부(15, 16)가 마련되어 있다. 측벽부(13)는 저벽부(12)의 분광 공간(S) 측에 배치되어 있다. 측벽부(13)는 저벽부(12)의 분광 공간(S) 측에 있어서 분광 공간(S)을 포위하고 있다. 본 실시 형태에서는, 측벽부(13)는 Z축 방향에서 보았을 경우에 오목부(14) 및 주변부(15, 16)를 포위하는 직사각형 프레임 모양의 형상을 나타내고 있다. 보다 구체적으로는, 측벽부(13)는 한 쌍의 제1 측벽(17) 및 한 쌍의 제2 측벽(18)을 가지고 있다. 한 쌍의 제1 측벽(17)은, Z축 방향에서 보았을 경우에, X축 방향에 있어서 분광 공간(S)을 사이에 두고 서로 마주보고 있다. 한 쌍의 제2 측벽(18)은, Z축 방향에서 보았을 경우에, Y축 방향에 있어서 분광 공간(S)을 사이에 두고 서로 마주보고 있다.

측벽부(13)에는 제1 확폭(擴幅)부(13a) 및 제2 확폭부(13b)가 마련되어 있다. 제1 확폭부(13a)는 분광 공간(S)에 대해서 저벽부(12)와는 반대측(분광 공간(S)의 일방의 측)에 있어서, 분광 공간(S)보다도, X축 방향으로 확폭된 단차(段差)부이다. 제2 확폭부(13b)는 제1 확폭부(13a)에 대해서 저벽부(12)와는 반대측(제1 확폭부(13a)의 일방의 측)에 있어서, 제1 확폭부(13a) 보다도, X축 방향 및 Y축 방향의 각각의 방향으로 확폭된 단차부이다. 제2 확폭부(13b)는 측벽부(13)에 의해서 구성된 개구부이다. 제1 확폭부(13a)의 저면(底面)에는, 각 배선(11)의 일방의 단부가 단자(11a)로서 배치되어 있다. 각 배선(11)은 제1 확폭부(13a)로부터, 제2 확폭부(13b), 및 제1 측벽(17)의 외측 표면을 거쳐, 도 1에 도시되는 것처럼, 일방의 제2 측벽(18)의 외측 표면(18b)에 도달해 있다. 외측 표면(18b)에는, 각 배선(11)의 다른 쪽의 단부가 단자(11b)로서 배치되어 있다.

도 2에 도시되는 것처럼, X축 방향에 있어서 서로 마주보는 제1 확폭부(13a)의 측면(13a₂)은, 제1 확폭부(13a)의 저면(13a₁)과 둔각을 이루도록 경사져 있다. X축 방향에 있어서 서로 마주보는 제2 확폭부(13b)의 측면(13b₂)은, 제2 확폭부(13b)의 저면(13b₁)과 둔각을 이루도록 경사져 있다. 이것들에 의해, 배선(11)을 용이하고 또한 정밀도 좋게 끌어 당길 수 있음과 아울러, 배선(11)에 생기는 응력을 저감시킬 수 있다. 또, 지지체(10)에 있어서의 저벽부(12)와는 반대측의 단면(10a) 중, 배선(11)이 배치되는 영역(10a₁)은 저벽부(12) 측으로 패여 있다. 이것에 의해, 예를 들면 분광기(1)의 실장시 등에, 배선(11)이 다른 부재와 접촉하는 것을 방지할 수 있음과 아울러, 배선(11)의 길이를 저감시킬 수 있다.

도 2 및 도 3에 도시되는 것처럼, 오목부(14)의 내면은, 요곡면(14a)이다. 즉, 저벽부(12)의 표면(12a)은, 요곡면(14a)을 포함하고 있다. 본 실시 형태에서는, 요곡면(14a)은 X축 방향 및 Y축 방향의 각각의 방향에 있어서 곡면 모양으로 만곡(灣曲)되어 있다. 요곡면(14a)은, 예를 들면, 구면의 일부에 대응하는 형상을 나타내고 있다. 각 주변부(15, 16)는 X축 방향에 있어서 오목부(14)와 인접해 있다. 주변부(15)는 Z축 방향에서 보았을 경우에, 오목부(14)에 대해서 일방의 제1 측벽(17) 측에 위치하고 있다. 주변부(16)는 Z축 방향에서 보았을 경우에, 오목부(14)에 대해서 타방의 제1 측벽(17) 측에 위치하고 있다. 주변부(15)는 경사면(15a)을 포함하고 있다. 경사면(15a)은 X축 방향을 따라서 오목부(14)로부터 멀어질수록 Z축 방향을 따라서 광 검출 소자(30)로부터 멀어지도록, 경사져 있다.

광 검출 소자(30)는 측벽부(13)의 제1 확폭부(13a)에 배치되어 있다. 광 검출 소자(30)는 분광 공간(S)을 사이에 두고, 저벽부(12)의 표면(12a)과 서로 마주보도록, 측벽부(13)에 의해서 지지되어 있다. 광 검출 소자(30)는 기판(35)을 가지고 있다. 기판(35)은 반도체 재료(예를 들면, 실리콘 등)에 의해서 직사각형 판 모양으로 형성되어 있다. 광 통과부(31)는 기판(35)에 형성된 광 통과 구멍이다. 본 실시 형태에서는, 광 통과부(31)는 Y축 방향으로 연장되는 슬릿이며, 광 통과부(31)에 있어서의 광(L1)의 입사 측의 단부는, X축 방향 및 Y축 방향의 각각의 방향에 있어서, 광(L1)의 입사 측을 향해 점점 넓어지게 되어 있다. 미러(32)는 기판(35)에 있어서의 분광 공간(S) 측의 표면(35a) 중, 광 통과부(31)와 광 검출부(33) 사이의 영역에 마련되어 있다. 미러(32)는, 예를 들면, Al, Au 등으로 이루어지는 금속막이다. 본 실시 형태에서는, 미러(32)는 평면 미러이다.

광 검출부(33)는 기판(35)의 표면(35a)에 마련되어 있다. 보다 구체적으로는, 광 검출부(33)는 기판(35)에 접착되어 있는 것이 아니라, 반도체 재료로 이루어지는 기판(35)에 만들어져 있다. 즉, 광 검출부(33)는 반도체 재료로 이루어지는 기판(35) 내의 제1 도전형의 영역과, 그 영역 내에 마련된 제2 도전형의 영역에서 형성된 복수의 포토 다이오드에 의해서, 구성되어 있다. 광 검출부(33)는, 예를 들면, 포토 다이오드 어레이, C－MOS 이미지 센서, CCD 이미지 센서 등으로서 구성된 것으로, X축 방향을 따라서 늘어서는 복수의 광 검출 채널을 가지고 있다. 광 검출부(33)의 각 광 검출 채널에는, 상이한 파장을 가지는 광(L2)이 입사된다. 광 검출부(33)는 표면 입사형의 포토 다이오드로서 구성되어 있고, 기판(35)의 표면(35a)에는 광 검출부(33)에 대해서 전기 신호를 입출력하기 위한 복수의 단자(36)가 마련되어 있다.

제1 확폭부(13a)에 있어서 서로 마주보는 광 검출 소자(30)의 단자(36)와 배선(11)의 단자(11a)는, 예를 들면, Au, 땜납 등으로 이루어지는 복수의 범프(접속 부재)(61)에 의해서, 전기적으로 또한 물리적으로 접속되어 있다. 광 검출 소자(30)와 제1 확폭부(13a)의 사이에는, 복수의 범프(61)를 덮도록, 수지로 이루어지는 보강 부재(차광 부재)(7)가 배치되어 있다.

커버(20)는 측벽부(13)의 제2 확폭부(13b)에 배치되어 있다. 커버(20)는 광 검출 소자(30)로부터 이격되어 있다. 커버(20)와 제2 확폭부(13b)의 사이에는, 수지로 이루어지는 접합 부재(4)가 배치되어 있다. 커버(20), 광 투과 부재(21) 및 차광층(22)을 가지고 있다. 광 투과 부재(21)는 광(L1)을 투과시키는 재료(예를 들면, 석영, 붕규산 유리(BK7), 파이렉스(등록상표) 유리, 코바(Kovar) 유리 등)에 의해서 직사각형 판 모양으로 형성되어 있다. 차광층(22)은 광 투과 부재(21)에 있어서의 분광 공간(S) 측의 표면(21a)에 마련되어 있다. 차광층(22)에는, Z축 방향에 있어서 광 검출 소자(30)의 광 통과부(31)와 서로 마주보도록, 광 통과 개구(22a)가 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 광 통과 개구(22a)는 Y축 방향으로 연장되는 슬릿이다. 커버(20)는 광 투과 부재(21), 및 차광층(22)의 광 통과 개구(22a)를 통해서, Z축 방향을 따라 광(L1)을 투과시킨다. 이와 같이, 커버(20)에 있어서는, 광 투과 부재(21) 중, Z축 방향에서 보았을 경우에 광 통과 개구(22a)와 겹치는 부분이, 광 투과부(20a)로서 기능한다.

덧붙여, 광(L1)이 적외역의 광인 경우에는, 광 투과 부재(21)의 재료로서 실리콘, 게르마늄 등도 유효하다. 또, 광 투과 부재(21)에, AR(Anti Reflection) 코트를 실시하거나, 소정 파장의 광만을 투과시키는 필터 기능을 갖게 하거나 해도 된다. 또, 차광층(22)의 재료로서는, 예를 들면, 흑(黑)레지스터, Al 등을 이용할 수 있다.

수지 성형층(40)은 저벽부(12)의 표면(12a)에 마련되어 있다. 수지 성형층(40)은 성형 재료인 수지 재료를 소정의 형상으로 경화(예를 들면, 자외선 등에 의한 광경화, 열경화 등)시킴으로써, 형성되어 있다. 성형 재료인 수지 재료는, 예를 들면, 광경화성의 에폭시 수지, 아크릴 수지, 불소계 수지, 실리콘, 유기·무기 하이브리드 수지 등의 레플리카용 광학 수지 등이다.

수지 성형층(40)은 제1 부분(41) 및 제2 부분(42)을 가지고 있다. 제1 부분(41)은 미러(51) 및 분광부(52)에 대응하는 형상을 가지는 부분이며, 저벽부(12)의 표면(12a) 중 요곡면(14a)에 마련되어 있다. 보다 구체적으로는, 제1 부분(41)은 미러(51)에 대응하는 형상을 가지는 부분(41a), 및 분광부(52)에 대응하는 형상을 가지는 부분(41b)을 포함하고 있다. 본 실시 형태에서는, 미러(51)에 대응하는 형상은, 오목면 미러 패턴이며, 분광부(52)에 대응하는 형상은, 그레이팅 패턴이다. 제2 부분(42)은 제1 부분(41)을 포위하고 또한 제1 부분(41)보다도 얇은 부분이다. 본 실시 형태에서는, 제2 부분(42)은 저벽부(12)의 표면(12a) 중 경사면(15a), 주변부(16) 측의 제1 측벽(17)의 내측 표면(17a), 및 각 제2 측벽(18)의 내측 표면(18a)에 도달해 있고, 주변부(15) 측의 제1 측벽(17)의 내측 표면(17a)에 도달해 있지 않다. 이와 같이, 제2 부분(42)의 적어도 일부는, 저벽부(12)의 표면(12a)과 측벽부(13)에 있어서의 분광 공간(S) 측의 표면의 경계 영역을 넘어서, 측벽부(13)에 있어서의 분광 공간(S) 측의 표면에 도달해 있다.

덧붙여, 제1 부분(41)이 저벽부(12)의 표면(12a)의 전체에 마련되고, 제2 부분(42)이 저벽부(12)의 표면(12a)에 마련되어 있지 않아도 된다. 또, 제1 부분(41)의 적어도 일부가 측벽부(13)에 있어서의 분광 공간(S) 측의 표면에 도달해 있어도 된다. 즉, 제1 부분(41)은 저벽부(12)의 표면(12a)의 적어도 일부에 마련되어 있으면 되고, 제2 부분(42)은 제1 부분(41)을 포위하고 또한 제1 부분(41)보다도 얇은 부분이면, 저벽부(12)의 표면(12a) 및 측벽부(13)에 있어서의 분광 공간(S) 측의 표면 중, 그러한 적어도 일부에 마련되어 있으면 된다.

저벽부(12)의 표면(12a)의 적어도 일부에 마련된 제1 부분(41)은, 해당 적어도 일부의 표면 형상을 따르도록 확장되는 부분이다. 저벽부(12)의 표면(12a) 및 측벽부(13)에 있어서의 분광 공간(S) 측의 표면 중, 그러한 적어도 일부에 마련된 제2 부분(42)은, 해당 적어도 일부의 표면 형상을 따르도록, 예를 들면 대략 균일한 두께로 확장되는 부분이다. 본 실시 형태에서는, 제1 부분(41)의 두께는 21μm~210μm이고, 제2 부분(42)의 두께는 1μm~10μm이다. 제1 부분(41) 및 제2 부분(42) 각각의 두께에 관한 수치는, 지지체(10)의 표면의 요철을 메운 상태의 표면을 0이라고 했을 경우의 수치이다. 덧붙여, 제1 부분(41)의 두께(제1 부분(41)의 각부에 있어서의 지지체(10)의 내측 표면으로부터의 거리)가 변화하고 있는 경우에는, 그 평균값을 제1 부분(41)의 두께라고 파악할 수 있다. 또, 제2 부분(42)의 두께(제2 부분(42)의 각부에 있어서의 지지체(10)의 내측 표면으로부터의 거리)가 변화하고 있는 경우에는, 그 평균값을 제2 부분(42)의 두께라고 파악할 수 있다..

반사층(50)은 수지 성형층(40) 상에 마련되어 있다. 반사층(50)은, 예를 들면, Al, Au 등으로 이루어지는 금속막이다. 반사층(50)은 수지 성형층(40) 중 적어도 제1 부분(41)(보다 구체적으로는, 적어도 부분(41a, 41b)을 덮음으로써, 저벽부(12) 상에 있어서 미러(51) 및 분광부(52)를 구성하고 있다. 본 실시 형태에서는, 미러(51)는 오목면 미러이고, 분광부(52)는 X축 방향을 따라서 늘어서는 복수의 그레이팅 홈(52a)을 가지는 반사형 그레이팅이다. 이와 같이, 미러(51) 및 분광부(52)는, 수지 성형층(40)을 사이에 두고, 저벽부(12)의 표면(12a)에 마련되어 있다..

상술한 것처럼 수지 성형층(40)이 구성되어 있음으로써, 저벽부(12)의 표면 상태의 영향이 나타나기 어렵고, 또한 분광기(1)의 사용 환경의 온도 변화에 의한 변형량이 커지기 어려운, 필요 충분한 두께를 제1 부분(41)에서 확보하면서, 제1 부분(41)보다도 얇은 제2 부분(42)에 의해서, 지지체(10)로부터 수지 성형층(40)이 벗겨지는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 반사층(50)에 있어서 미러(51) 및 분광부(52)에 원하는 광학 기능을 적절히 발휘시킬 수 있다.

도 2에 도시되는 것처럼, 분광기(1)에서는, 광 검출 소자(30)가 분광 공간(S)과 커버(20)와의 사이에 있어서 측벽부(13)에 의해서 지지되어 있지만, 공간(G)이 분광 공간(S)과 연통하고 있다. 공간(G)은 지지체(10), 커버(20) 및 광 검출 소자(30)에 의해서 획정된 공간이다. 본 실시 형태에서는, 적어도 광 통과부(31)에 의해서, 공간(G)과 분광 공간(S)이 연통하고 있다.

접합 부재(4)에는 공간(G)과 외부로 개구되는 통기구(8)가 마련되어 있다. 보다 구체적으로는, 커버(20)를 통해서 분광 공간(S)으로 광이 입사하는 방향(Z축 방향)과 교차하는 방향(X축 방향)을 길이 방향으로 하는 형상을 나타내는 제2 확폭부(13b)에 있어서, 통기구(8)는 길이 방향에 있어서의 제2 확폭부(13b)의 일방의 단부에 위치하도록, 접합 부재(4)에 마련되어 있다. 통기구(8)가 개구하는 방향은, 커버(20)를 통해서 분광 공간(S)에 광(L1)이 입사하는 방향과 교차하고 있다. 통기구(8)가 개구하는 방향이란, 통기구(8)에 있어서의 공간(G) 측의 개구의 중심 및 통기구(8)에 있어서의 외부 측의 개구의 중심을 통과하는 방향이다. 덧붙여, 통기구(8)에 있어서의 외부 측의 개구로부터는, 분광 공간(S)을 볼 수 없다.

［작용 및 효과］

분광기(1)에서는, 접합 부재(4)에 마련된 통기구(8)에 의해서, 분광 공간(S)과 외부가 연통하게 된다. 그 때문에, 분광기(1)의 실장시에 지지체(10)가 가열되거나, 분광기(1)의 사용 환경의 온도가 변화하거나 해도, 내압의 변화에 기인하는 지지체(10)의 변형이 억제된다. 따라서, 미러(51), 분광부(52) 및 광 검출 소자(30) 등의 위치 관계에 어긋남이 생기기 어려워진다. 또한, 통기구(8)가 공간(G)과 외부로 개구되어 있고, 공간(G)이 분광 공간(S)과 연통하고 있다. 이것에 의해, 외부로부터 통기구(8)로 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간(S)에 진입하기 어려워진다. 따라서, 미러(51) 및 분광부(52)에 원하는 광학 기능을 적절히 발휘시킬 수 있다. 따라서, 분광기(1)에 의하면, 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.

덧붙여, 예를 들면, 차광성을 가지는 재료에 의해서 커버(20)를 형성하고, 해당 커버(20)에, 광 투과부(20a)를 대신하여, 공간인 슬릿을 마련하는 것은 바람직하지 않다. 그 경우, 공간인 슬릿을 통해서 분광 공간(S)으로 파티클이 진입하기 쉬워져, 분광기(1)의 열화로 이어지기 때문이다. 본 실시 형태의 분광기(1)에서는, 분광 공간(S)에 광 L0를 입사시키는 구성으로서, 공기를 통과시키지 않는 광 투과부(20a)가 커버(20)에 마련되어 있고, 분광 공간(S)에 광 L0를 입사시키는 위치와는 상이한 위치에 통기구(8)가 마련되어 있기 때문에, 분광 공간(S)으로 파티클이 진입하기 어려워진다. 특별히, 본 실시 형태의 분광기(1)에서는, Z축 방향에서 보았을 경우에, 커버(20)의 광 투과부(20a)의 적어도 일부와 광 검출 소자(30)의 광 통과부(31)의 적어도 일부가 겹쳐 있기 때문에, 공기를 통과시키지 않는 광 투과부(20a)를 커버(20)에 마련하고, 분광 공간(S)으로 광 L0를 입사시키는 위치와는 상이한 위치에 통기구(8)를 마련하는 것은, 매우 중요하다.

또, 분광기(1)에서는, 통기구(8)가 개구하는 방향이, 커버(20)를 통해서 분광 공간(S)으로 광이 입사하는 방향과 교차하고 있다. 이것에 의해, 외부로부터 통기구(8)로 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간(S)으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

또, 분광기(1)에서는, 커버(20)가 광 투과 부재(21)와, 광 통과 개구(22a)가 형성된 차광층(22)을 가지고 있다. 이것에 의해, 분광 공간(S)으로의 파티클의 진입을 억제하면서, 적절한 상태로 분광 공간(S)으로 광(L1)을 입사시킬 수 있다.

또, 분광기(1)에서는, 광 검출 소자(30)가 지지체(10)의 제1 확폭부(13a)에 배치되어 있고, 커버(20)가 지지체(10)의 제2 확폭부(13b)에 배치되어 있다. 이것에 의해, 광 검출 소자(30) 및 커버(20)를 안정적으로 지지하면서, 통기구(8)가 개구되는 공간(G)을, 지지체(10), 커버(20) 및 광 검출 소자(30)에 의해서 확실히 확정할 수 있다.

또, 분광기(1)에서는, 제2 확폭부(13b)의 측면(13b₂)이, 제2 확폭부(13b)의 저면(13b₁)과 둔각을 이루도록 경사져 있고, 제2 확폭부(13b)의 측면(13b₂)과 커버(20)의 측면이 거리가, 제2 확폭부(13b)의 저면(13b₁)에 가까워질수록 좁아져 있다. 이것에 의해, 외부로부터 통기구(8)로 입사하는 미광이 감쇠되기 때문에, 해당 미광이 분광 공간(S)으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

또, 분광기(1)에서는, 통기구(8)가 길이 방향에 있어서의 제2 확폭부(13b)의 단부에 위치하도록, 접합 부재(4)에 마련되어 있다. 이것에 의해, 통기구(8)의 위치가 분광 공간(S) 내의 광로로부터 떨어진 위치가 되기 때문에, 외부로부터 통기구(8)로 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간(S)으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

또, 분광기(1)에서는, 광 검출 소자(30)와 제1 확폭부(13a)의 사이에, 범프(61)를 덮도록 보강 부재(7)가 배치되어 있다. 이것에 의해, 보강 부재(7)가 차광 부재로서 기능하기 때문에, 외부로부터 통기구(8)로 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간(S)으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

또, 분광기(1)에서는, 통기구(8)와 분광 공간(S)과의 사이에 보강 부재(7)가 배치되어 있다. 이것에 의해, 보강 부재(7)가 차광 부재로서 기능하기 때문에, 외부로부터 통기구(8)로 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간(S)으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

［변형예］

본 개시는 상술한 실시 형태로 한정되지 않는다. 예를 들면, 분광기(1)는 복수의 배선을 가지는 플렉서블 배선 기판에 의해서 구성된 배선 유닛을 더 구비하고 있어도 된다. 그 경우, 배선 유닛에 있어서의 각 배선의 일방의 단부는, 지지체(10)의 외측 표면(18b)에 배치된 각 배선(11)의 단자(11b)와 전기적으로 또한 물리적으로 접속되고(도 1 참조), 배선 유닛에 있어서의 각 배선의 타방의 단부는, 예를 들면 커넥터로서 구성된다. 또, 지지체(10)는 합성 수지에 의해서 형성된 것으로 한정되지 않고, 예를 들면, AlN, Al₂O₃ 등의 세라믹에 의해서 형성된 것이어도 된다. 또, 지지체(10)는 사각형 통 모양의 측벽부(13)를 가지는 것으로 한정되지 않고, 사각형 통 모양 이외의 다각형 통 모양의 측벽부(13)를 가지는 것이어도 되고, 원형 통 모양, 타원형 통 모양 등의 측벽부(13)를 가지는 것이어도 된다. 또, 측벽부(13)에는 제1 확폭부(13a) 및 제2 확폭부(13b)가 마련되어 있지 않아도 된다. 또, 지지체(10)에는, 배선(11)이 마련되어 있지 않아도 된다. 그 경우, 지지체(10)와는 별체로 마련된 플렉서블 배선 기판이 광 검출 소자(30)와 전기적으로 접속되어 있어도 되고, 광 검출 소자(30)가 외부 배선과 전기적으로 접속되도록 구성되어 있어도 된다. 또, 지지체(10)에 있어서, 저벽부(12)의 표면(12a)에 마련된 오목부(14)의 내면은, 요곡면(14a)으로 한정되지 않고, 예를 들면, 평탄한 저면을 포함하는 것이어도 된다.

또, 광 검출 소자(30)에는, 예를 들면 미러(32)와 분광부(52)의 사이에 위치하도록, 0차광 포착부(예를 들면, 기판(35)에 형성된 광 통과 구멍 등)가 마련되어 있어도 된다. 이것에 의해, 분광부(52)에서 분광됨과 아울러 반사된 광 중 0차광을 0차광 포착부에 입사시켜 0차광 포착부에서 포착할 수 있다. 또, 광 검출 소자(30)는, 예를 들면, 지지체(10)에 장착된 다른 부재에 장착됨으로써, 지지체(10)에 지지되어 있어도 된다. 일례로서, 광 검출 소자(30)는 측벽부(13)에 걸쳐 놓여지는 지지 부재에 장착됨으로써, 측벽부(13)에 의해서 지지되어 있어도 된다. 그 경우, 광 통과부(31), 미러(32) 및 0차광 포착부 중 적어도 1개가 해당 지지 부재에 마련되어 있어도 된다.

또, 제1 확폭부(13a)에 있어서 서로 마주보는 광 검출 소자(30)의 단자(36)와 배선(11)의 단자(11a)는, 땜납층(접속 부재)에 의해서, 전기적으로 또한 물리적으로 접속되어 있어도 된다. 또, 광 검출부(33)는 이면 입사형의 포토 다이오드로서 구성되어 있어도 된다. 그 경우, 기판(35)에 있어서의 표면(35a)과는 반대측의 표면에 복수의 단자(36)가 배치되기 때문에, 대응하는 광 검출 소자(30)의 단자(36)와 배선(11)의 단자(11a)가 와이어(접속 부재)에 의해서 전기적으로 접속되어 있어도 된다. 또, 예를 들면, 분광부(52)가 이동 가능 또는 요동(搖動) 가능하게 구성됨으로써, 분광부(52)에서 분광됨과 아울러 반사된 복수의 광(L2)(상이한 파장을 가지는 복수의 광(L2))이 광 검출부(33)에 차례로 입사되는 경우에는, 광 검출부(33)는 단(單)소자(1개의 광 검출 채널을 가지는 것)로서 구성되어 있어도 된다. 그 경우, 분광부(52)는 광 검출 소자(30) 측에 마련되어 있어도 된다. 일례로서, 분광부(52)는 광 검출 소자(30)에 있어서 이동 가능 또는 요동 가능하게 구성되어 있어도 되고, 광 검출 소자(30)가 장착된 다른 부재에 있어서 이동 가능 또는 요동 가능하게 구성되어 있어도 되고, 커버(20)에 있어서 이동 가능 또는 요동 가능하게 구성되어 있어도 된다.

또, 광 통과부(31)를 통과한 광(L1)이 분광부에서 분광됨과 아울러 반사되고, 분광부에서 분광됨과 아울러 반사된 광(L2)이 광 검출부(33)에 입사되도록, 분광기(1)가 구성되어 있는 경우, 반사층(50)은 광학 기능부로서, 분광부를 구성하고 있으면 된다. 또, 광 통과부(31)를 통과한 광(L1)이 제1 미러에서 반사되고, 제1 미러에서 반사된 광(L1)이 분광부에서 분광됨과 아울러 반사되고, 분광부에서 분광됨과 아울러 반사된 광(L2)이 제2 미러에서 반사되고, 제2 미러에서 반사된 광(L2)이 광 검출부(33)에 입사되도록, 분광기(1)가 구성되어 있는 경우, 반사층(50)은 광학 기능부로서, 제1 미러 및 제2 미러를 구성하고 있으면 된다.

또, 통기구(8)는, 도 4의 (a) 및 (b)에 도시되는 것처럼, 길이 방향에 있어서의 제2 확폭부(13b)의 양의 단부 각각에 위치하도록, 접합 부재(4)에 마련되어 있어도 된다. 도 4의 (a)에 도시되는 것처럼, 1개의 단부에 1개의 통기구(8)가 마련되어 있어도 되고, 도 4의 (b)에 도시되는 것처럼, 1개의 단부에 복수(이 예에서는, 모서리부에 2개)의 통기구(8)가 마련되어 있어도 된다. 덧붙여, 도 4에서는, 지지체(10)에 있어서 배선(11)의 도시가 생략되어 있다.

또, 도 5에 도시되는 것처럼, 공간(G)과 외부로 개구되는 통기구(9)가 커버(20) 및 지지체(10) 중 적어도 한쪽에 마련되어 있어도 된다. 도 5에 도시되는 분광기(1)에서는, 커버(20)를 통해서 분광 공간(S)으로 광이 입사하는 방향(Z축 방향)과 교차하는 방향(X축 방향)을 길이 방향으로 하는 형상을 나타내는 제1 확폭부(13a)에 있어서, 통기구(9)는 길이 방향에 있어서의 제1 확폭부(13a)의 양의 단부 각각으로 개구하도록, 커버(20) 및 측벽부(13) 중 적어도 한쪽에 마련되어 있다. 특히, 측벽부(13)에 마련된 통기구(9)가 개구하는 방향은, 커버(20)를 통해서 분광 공간(S)에 광(L1)이 입사하는 방향과 교차하고 있다. 통기구(9)가 개구하는 방향이란, 통기구(9)에 있어서의 공간(G) 측의 개구의 중심 및 통기구(9)에 있어서의 외부 측의 개구의 중심을 통과하는 방향이다. 덧붙여, 어느 통기구(9)에 대해서도, 외부 측의 개구로부터는, 분광 공간(S)을 볼 수 없다.

측벽부(13)에 마련된 통기구(9)는, 외부와 제1 확폭부(13a)의 단부로 개구하도록, X축 방향을 따라서 연장되어 있어도 된다. 혹은, 측벽부(13)에 마련된 통기구(9)는 외부와 제1 확폭부(13a)의 단부로 개구하도록, Y축 방향을 따라서 연장되어 있어도 된다. 혹은, 측벽부(13)에 마련된 통기구(9)는, 무게 경감부(17c)와 제1 확폭부(13a)의 단부로 개구하도록, Z축 방향을 따라서 연장되어 있어도 된다. 무게 경감부(17c)는 외부로 개구하도록 제1 측벽(17)에 형성되어 있다. 덧붙여, 지지체(10)에는, 이들 통기구(9) 중 적어도 1개가 마련되어 있으면 된다.

도 5에 도시되는 분광기(1)에서는, 커버(20) 및 지지체(10) 중 적어도 한쪽에 마련된 통기구(9)에 의해서, 분광 공간(S)과 외부가 연통하게 된다. 그 때문에, 분광기(1)의 실장시에 지지체(10)가 가열되거나, 분광기(1)의 사용 환경의 온도가 변화하거나 해도, 내압의 변화에 기인하는 지지체(10)의 변형이 억제된다. 따라서, 미러(51), 분광부(52) 및 광 검출 소자(30) 등의 위치 관계에 어긋남이 생기기 어려워진다. 또한, 통기구(9)가 공간(G)과 외부로 개구되어 있고, 공간(G)이 분광 공간(S)과 연통하고 있다. 이것에 의해, 외부로부터 통기구(9)로 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간(S)에 진입하기 어려워진다. 따라서, 미러(51) 및 분광부(52)에 원하는 광학 기능을 적절히 발휘시킬 수 있다. 따라서, 도 5에 도시되는 분광기(1)에 의하면, 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.

또, 도 5에 도시되는 분광기(1)에서는, 통기구(9)가 길이 방향에 있어서의 제1 확폭부(13a)의 단부로 개구되도록, 지지체(10)에 마련되어 있다. 이것에 의해, 통기구(9)의 위치가 분광 공간(S) 내의 광로로부터 떨어진 위치가 되기 때문에, 외부로부터 통기구(9)로 미광이 입사됐다고 해도, 해당 미광이 분광 공간(S)으로 진입하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

또, 분광기(1)에는, 접합 부재(4)에 마련된 통기구(8), 커버(20)에 마련된 통기구(9), 및 지지체(10)에 마련된 통기구(9) 중 적어도 1개가 채용되어 있으면 된다. 각 통기구(8, 9)는 확정된 공간(G)과 외부로 개구되는 것이면, 상술한 위치, 형상 등으로 한정되지 않는다. 또, 광 검출 소자(30)는 분광 공간(S)과 공간(G)이 연통하도록, 측벽부(13)에 의해서 지지되어 있어도 된다. 일례로서, 광 검출 소자(30)와 측벽부(13)와의 사이에 간극이 마련된 상태에서, 광 검출 소자(30)가 측벽부(13)에 의해서 지지되어 있어도 된다. 혹은, 광 검출 소자(30)의 기판(35)에, 광 통과부(31) 이외의 구멍, 노치 등이 형성되어 있어도 된다. 또, 예를 들면, 측벽부(13)에 걸쳐 놓여지는 지지 부재에 광 검출 소자(30)가 장착되어 있는 경우에는, 해당 지지 부재와 측벽부(13)와의 사이에 간극이 마련된 상태에서, 광 검출 소자(30)가 측벽부(13)에 의해서 지지되어 있어도 된다. 혹은, 해당 지지 부재에, 광 통과부, 광 통과부 이외의 구멍, 노치 등이 형성되어 있어도 된다.

또, 접합 부재(4)는 커버(20)를 지지체(10)에 구조적으로(기계적으로) 접합하는 것이어도 된다. 또, 각 통기구(8, 9)와 분광 공간(S)과의 사이에, 보강 부재(7) 이외의 차광 부재(예를 들면, 광 검출 소자(3)에 마련된 차광판 등)가 배치되어 있어도 된다. 각 통기구(8, 9)에 입사한 광에 대해서 보강 부재(7)가 불투명(예를 들면, 검정색)인 경우에는, 상기 실시 형태와 같이 보강 부재(7)를 차광 부재로서 기능시킬 수 있지만, 각 통기구(8, 9)로 입사된 광에 대해서 보강 부재(7)가 투명한 경우에는, 보강 부재(7) 이외의 차광 부재를 마련하는 것이 유효하다.

또, 미러(51)는 미러 소자로서 구성되고, 저벽부(12)의 표면(12a)에 장착된 것이어도 된다. 또, 분광부(52)는 분광 소자로서 구성되고, 저벽부(12)의 표면(12a)에 장착된 것이어도 된다.

또, 분광기(1)가 구비하는 각 구성에는, 상술한 재료 및 형상의 일례로 한정되지 않고, 다양한 재료 및 형상을 적용할 수 있다. 또, 상술한 일 실시 형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성은, 다른 실시 형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성에 임의로 적용할 수 있다.

1… 분광기 4… 접합 부재
7… 보강 부재(차광 부재) 8, 9… 통기구
10… 지지체 12… 저벽부
12a… 표면 13… 측벽부
13a… 제1 확폭부 13b… 제2 확폭부(개구부)
20… 커버 20a… 광 투과부
21… 광 투과 부재 22… 차광층
22a… 광 통과 개구 30… 광 검출 소자
51… 미러(광학 기능부) 52… 분광부(광학 기능부)
61… 범프(접속 부재) G… 공간
S… 분광 공간

Claims

저벽부, 및 상기 저벽부의 일방의 측에 있어서 분광 공간을 포위하는 측벽부를 가지는 지지체와,
상기 측벽부에 의해서 구성된 개구부에 배치되고, 광 투과부가 마련된 커버와,
상기 커버와 상기 개구부의 사이에 배치된 접합 부재와,
상기 분광 공간과 상기 커버와의 사이에 있어서, 상기 저벽부에 있어서의 상기 일방의 측의 표면과 서로 마주보도록, 상기 측벽부에 의해서 지지된 광 검출 소자와,
상기 저벽부에 있어서의 상기 일방의 측의 상기 표면에 마련된 광학 기능부를 구비하고,
상기 지지체, 상기 커버 및 상기 접합 부재 중 적어도 1개에는, 통기구가 마련되어 있고,
상기 통기구는 상기 지지체, 상기 커버 및 상기 광 검출 소자에 의해서 획정된 공간과 외부로 개구되어 있고,
상기 지지체, 상기 커버 및 상기 광 검출 소자에 의해서 획정된 상기 공간은, 상기 분광 공간과 연통하고 있는, 분광기.
청구항 1에 있어서,
상기 통기구가 개구되는 방향은, 상기 커버를 통해서 상기 분광 공간으로 광이 입사되는 방향과 교차하고 있는, 분광기.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 커버는 광 투과 부재와, 광 통과 개구가 형성된 차광층을 가지는, 분광기.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지체에는, 상기 분광 공간의 상기 일방의 측에 있어서 상기 분광 공간보다도 확폭(擴幅)된 제1 확폭부와, 상기 제1 확폭부의 상기 일방의 측에 있어서 상기 제1 확폭부보다도 확폭된 제2 확폭부가 마련되어 있고,
상기 광 검출 소자는 상기 제1 확폭부에 배치되어 있고,
상기 커버는 상기 개구부인 상기 제2 확폭부에 배치되어 있는, 분광기.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 확폭부 및 상기 제2 확폭부는, 상기 커버를 통해서 상기 분광 공간으로 광이 입사되는 방향과 교차하는 방향을 길이 방향으로 하는 형상을 나타내고 있고,
상기 통기구는 상기 길이 방향에 있어서의 상기 제2 확폭부의 단부에 위치하도록, 상기 접합 부재에 마련되어 있는, 분광기.
청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
상기 제1 확폭부 및 상기 제2 확폭부는, 상기 커버를 통해서 상기 분광 공간으로 광이 입사되는 방향과 교차하는 방향을 길이 방향으로 하는 형상을 나타내고 있고,
상기 통기구는 상기 길이 방향에 있어서의 상기 제1 확폭부의 단부로 개구되도록, 상기 지지체에 마련되어 있는, 분광기.
청구항 4 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 확폭부에는 배선의 단부가 배치되어 있고,
상기 광 검출 소자의 단자와 상기 배선의 상기 단부는, 접속 부재에 의해서 전기적으로 접속되어 있고,
상기 광 검출 소자와 상기 제1 확폭부와의 사이에는, 상기 접속 부재를 덮도록 보강 부재가 배치되어 있는, 분광기.
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광학 기능부는 분광부인, 분광기.
청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광학 기능부는 미러인, 분광기.
청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,
상기 통기구와 상기 분광 공간과의 사이에 배치된 차광 부재를 더 구비하는, 분광기.