JP6353999B1 - 分光器 - Google Patents
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Abstract
Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
[第4実施形態]
[分光器の小型化と分光部の曲率半径との関係]
[分光部から光検出部に至る光路の優位性]
Claims (8)
- 半導体材料からなる基板、前記基板に設けられた光通過部、及び前記基板に作り込まれた光検出部を有する光検出素子と、
前記光通過部及び前記光検出部との間に空間を介して前記光検出素子と対向するベース壁部、及び、前記ベース壁部と一体的に形成され、前記光検出素子が固定された側壁部を有し、前記光検出部に電気的に接続された配線が設けられた支持体と、
前記ベース壁部における前記空間側の表面に設けられ、前記空間において、前記光通過部を通過した光を前記光検出部に対して分光すると共に反射する分光部と、を備え、
前記光検出素子の少なくとも一部と前記側壁部の端面の少なくとも一部とは、前記ベース壁部の厚さ方向から見た場合に、互いに重なっており、
前記光検出素子は、前記ベース壁部における前記空間側の前記表面と対向するように前記側壁部に固定されており、
前記配線における前記光検出部側の第1端部は、前記側壁部に設けられ、前記光検出素子に設けられた端子に電気的に接続されており、
前記配線における前記光検出部側とは反対側の第2端部は、前記支持体における前記空間側とは反対側の表面に位置している、分光器。 - 前記ベース壁部には、前記空間側に開口する凹部が形成されており、
前記分光部は、前記凹部の内面に設けられている、請求項1記載の分光器。 - 前記支持体に設けられ、前記空間において、前記光通過部を通過した光を反射する第1反射部と、
前記光検出素子に設けられ、前記空間において、前記第1反射部で反射された光を前記分光部に対して反射する第2反射部と、を更に備える、請求項1又は2記載の分光器。 - 前記配線の前記第1端部は、前記側壁部の前記端面に設けられている、請求項1〜3のいずれか一項記載の分光器。
- 前記配線の前記第1端部は、前記光検出素子の少なくとも一部と前記側壁部の前記端面の少なくとも一部とが互いに重なった固定部において、前記光検出素子の前記端子に接続されている、請求項4記載の分光器。
- 前記支持体の材料は、セラミックである、請求項1〜5のいずれか一項記載の分光器。
- 前記空間は、前記光検出素子及び前記支持体を構成として含むパッケージによって、気密に封止されている、請求項1〜6のいずれか一項記載の分光器。
- 前記空間は、前記光検出素子及び前記支持体を収容するパッケージによって、気密に封止されている、請求項1〜6のいずれか一項記載の分光器。
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