JP7170551B2 - 分光器 - Google Patents
分光器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7170551B2 JP7170551B2 JP2019014161A JP2019014161A JP7170551B2 JP 7170551 B2 JP7170551 B2 JP 7170551B2 JP 2019014161 A JP2019014161 A JP 2019014161A JP 2019014161 A JP2019014161 A JP 2019014161A JP 7170551 B2 JP7170551 B2 JP 7170551B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- space
- cover
- light
- widened portion
- spectroscopic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 43
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 22
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 11
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 6
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0262—Constructional arrangements for removing stray light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0286—Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by temperature, humidity or pressure, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a spectrometer, e.g. vacuum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Description
[分光器の構成]
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (10)
- 底壁部、及び前記底壁部の一方の側において分光空間を包囲する側壁部を有する支持体と、
前記側壁部によって構成された開口部に配置され、光透過部が設けられたカバーと、
前記カバーと前記開口部との間に配置された接合部材と、
前記分光空間と前記カバーとの間において、前記底壁部における前記一方の側の表面と向かい合うように、前記側壁部によって支持された光検出素子と、
前記底壁部における前記一方の側の前記表面に設けられた光学機能部と、を備え、
前記支持体、前記カバー及び前記接合部材の少なくとも1つには、通気口が設けられており、
前記通気口は、前記支持体、前記カバー及び前記光検出素子によって画定された空間と外部とに開口しており、
前記支持体、前記カバー及び前記光検出素子によって画定された前記空間は、前記分光空間と連通している、分光器。 - 前記通気口が開口する方向は、前記カバーを介して前記分光空間に光が入射する方向と交差している、請求項1に記載の分光器。
- 前記カバーは、光透過部材と、光通過開口が形成された遮光層と、を有する、請求項1又は2に記載の分光器。
- 前記支持体には、前記分光空間の前記一方の側において前記分光空間よりも拡幅された第1拡幅部と、前記第1拡幅部の前記一方の側において前記第1拡幅部よりも拡幅された第2拡幅部と、が設けられており、
前記光検出素子は、前記第1拡幅部に配置されており、
前記カバーは、前記開口部である前記第2拡幅部に配置されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の分光器。 - 前記第1拡幅部及び前記第2拡幅部は、前記カバーを介して前記分光空間に光が入射する方向と交差する方向を長手方向とする形状を呈しており、
前記通気口は、前記長手方向における前記第2拡幅部の端部に位置するように、前記接合部材に設けられている、請求項4に記載の分光器。 - 前記第1拡幅部及び前記第2拡幅部は、前記カバーを介して前記分光空間に光が入射する方向と交差する方向を長手方向とする形状を呈しており、
前記通気口は、前記長手方向における前記第1拡幅部の端部に開口するように、前記支持体に設けられている、請求項4又は5に記載の分光器。 - 前記第1拡幅部には、配線の端部が配置されており、
前記光検出素子の端子と前記配線の前記端部とは、接続部材によって電気的に接続されており、
前記光検出素子と前記第1拡幅部との間には、前記接続部材を覆うように補強部材が配置されている、請求項4~6のいずれか一項に記載の分光器。 - 前記光学機能部は、分光部である、請求項1~7のいずれか一項に記載の分光器。
- 前記光学機能部は、ミラーである、請求項1~8のいずれか一項に記載の分光器。
- 前記通気口と前記分光空間との間に配置された遮光部材を更に備える、請求項1~9のいずれか一項に記載の分光器。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019014161A JP7170551B2 (ja) | 2019-01-30 | 2019-01-30 | 分光器 |
KR1020217026199A KR20210119446A (ko) | 2019-01-30 | 2020-01-28 | 분광기 |
CH70110/21A CH717185B1 (de) | 2019-01-30 | 2020-01-28 | Spektrometer. |
CN202080011229.9A CN113366290B (zh) | 2019-01-30 | 2020-01-28 | 分光器 |
PCT/JP2020/003016 WO2020158745A1 (ja) | 2019-01-30 | 2020-01-28 | 分光器 |
DE112020000606.9T DE112020000606T5 (de) | 2019-01-30 | 2020-01-28 | Spektrometer |
US17/426,133 US20220099487A1 (en) | 2019-01-30 | 2020-01-28 | Spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019014161A JP7170551B2 (ja) | 2019-01-30 | 2019-01-30 | 分光器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020122699A JP2020122699A (ja) | 2020-08-13 |
JP7170551B2 true JP7170551B2 (ja) | 2022-11-14 |
Family
ID=71842157
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019014161A Active JP7170551B2 (ja) | 2019-01-30 | 2019-01-30 | 分光器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220099487A1 (ja) |
JP (1) | JP7170551B2 (ja) |
KR (1) | KR20210119446A (ja) |
CH (1) | CH717185B1 (ja) |
DE (1) | DE112020000606T5 (ja) |
WO (1) | WO2020158745A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008038453A1 (fr) | 2006-09-27 | 2008-04-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Panneau d'affichage à cristaux liquides doté d'un réseau de microlentilles, procédé de fabrication du panneau d'affichage à cristaux liquides et dispositif d'affichage à cristaux liquides |
WO2014024759A1 (ja) | 2012-08-06 | 2014-02-13 | シャープ株式会社 | 表示装置 |
JP2017138320A (ja) | 2015-08-04 | 2017-08-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP2018043562A (ja) | 2016-09-13 | 2018-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 車載光学センサ装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4609617B2 (ja) * | 2000-08-01 | 2011-01-12 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の実装方法及び実装構造体 |
JP4409860B2 (ja) | 2003-05-28 | 2010-02-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器を用いた分光器 |
JP5205242B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器の製造方法 |
JP2010256670A (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Konica Minolta Sensing Inc | 回折格子およびそれを用いる分光ユニット、分光計ならびに回折格子の作成方法 |
JP6061542B2 (ja) * | 2012-08-06 | 2017-01-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
US11035727B2 (en) * | 2018-03-13 | 2021-06-15 | Kla Corporation | Spectrometer for vacuum ultraviolet measurements in high-pressure environment |
JP6353999B1 (ja) * | 2018-04-12 | 2018-07-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
-
2019
- 2019-01-30 JP JP2019014161A patent/JP7170551B2/ja active Active
-
2020
- 2020-01-28 KR KR1020217026199A patent/KR20210119446A/ko unknown
- 2020-01-28 US US17/426,133 patent/US20220099487A1/en active Pending
- 2020-01-28 WO PCT/JP2020/003016 patent/WO2020158745A1/ja active Application Filing
- 2020-01-28 CH CH70110/21A patent/CH717185B1/de unknown
- 2020-01-28 DE DE112020000606.9T patent/DE112020000606T5/de active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008038453A1 (fr) | 2006-09-27 | 2008-04-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Panneau d'affichage à cristaux liquides doté d'un réseau de microlentilles, procédé de fabrication du panneau d'affichage à cristaux liquides et dispositif d'affichage à cristaux liquides |
WO2014024759A1 (ja) | 2012-08-06 | 2014-02-13 | シャープ株式会社 | 表示装置 |
JP2017138320A (ja) | 2015-08-04 | 2017-08-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP2018043562A (ja) | 2016-09-13 | 2018-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 車載光学センサ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210119446A (ko) | 2021-10-05 |
CH717185B1 (de) | 2022-07-29 |
DE112020000606T5 (de) | 2021-10-14 |
WO2020158745A1 (ja) | 2020-08-06 |
US20220099487A1 (en) | 2022-03-31 |
JP2020122699A (ja) | 2020-08-13 |
CN113366290A (zh) | 2021-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI655415B (zh) | 分光器、及分光器之製造方法 | |
TWI655414B (zh) | 分光器、及分光器之製造方法 | |
JP6113940B1 (ja) | 分光器 | |
JP6106811B1 (ja) | 分光器、及び分光器の製造方法 | |
TW201534875A (zh) | 分光器、及分光器之製造方法 | |
TWI607203B (zh) | Splitter | |
CN108731804B (zh) | 分光器 | |
JP7170551B2 (ja) | 分光器 | |
CN113366290B (zh) | 分光器 | |
JP7186104B2 (ja) | 分光器、及び分光器の製造方法 | |
JP6759409B2 (ja) | 分光器 | |
JP2017078722A (ja) | 分光器 | |
CN112384771A (zh) | 分光模块和分光模块的制造方法 | |
JP2018105883A (ja) | 分光器 | |
JP2018040811A (ja) | 分光器、及び分光器の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220809 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221101 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7170551 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |