KR20210114022A - 반도체 리소그래피용 투영 인쇄 설비의 라인 보호 장치 - Google Patents

반도체 리소그래피용 투영 인쇄 설비의 라인 보호 장치 Download PDF

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KR20210114022A
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토비아스 헤겔레
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칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
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Abstract

본 발명은 반도체 리소그래피용 투영 인쇄 설비(1)의 2개의 구성요소(60, 60') 사이의 라인(70)을 위한 보호 장치(30)에 관한 것으로서, 보호 장치(30)는 2개의 구성요소(60, 60')에 견고하게 연결되고, 적어도 하나의 제1 부분 영역(31) 및 적어도 하나의 제2 부분 영역(33)을 포함하고, 상기 제1 부분 영역(31) 및 제2 부분 영역(33)은 기계적 손상으로부터 라인(70)을 보호하도록 설계된다. 제1 부분 영역(31)은 적어도 간헐적으로 제1 구성요소(60)와 제2 구성요소(60) 사이의 기계적 분리를 위해 구성된다.

Description

반도체 리소그래피용 투영 인쇄 설비의 라인 보호 장치
본 출원은 독일 특허 출원 DE 10 2019 200 388.5호의 우선권을 주장하며, 그 내용은 본 명세서에 참조로 완전히 포함된다.
본 발명은 반도체 리소그래피용 투영 노광 장치의 라인 보호 장치에 관한 것이다.
에너지, 신호 및 기타 공급 매체는 라인을 통해 반도체 기술의 투영 노광 장치의 구성요소들 사이에서 교환되며, 이에 의해 서브시스템이 서로 연결된다. 이들 라인은 통상적으로 운송 및 조립 프로세스 중에 라인이 손상을 입지 않도록 보호 장치 내부에서 연장된다. 특히 광학 신호를 송신하기 위한 광 도파관은, 도구 또는 구성요소의 구조적 부품과의 충돌로 인한 것과 같은 외부로부터 기계적 영향에 대해 그리고 최소 굽힘 반경 미만이 되는 굽힘 반경에 대해 보호되어야 한다.
보호 장치의 라인은 바람직하지 않은 기계적 진동을 전달할 수도 있는 구성요소들 사이의 기계적 연결을 나타낸다. 이러한 이유로, 보호 장치는 하나의 구성요소로부터 그에 연결된 구성요소로 최소의 정적 및 동적 강성을 전달하도록, 즉 구성요소들을 서로 분리하도록 구현되어야 한다. 편향과 함께 정적 강성은 2개의 구성요소 사이의 상대 이동의 경우 2개의 구성요소에 작용하는 힘을 초래한다. 동적 강성은 구성요소의 제어성에 영향을 미치는 본체의 주파수 종속 강성을 설명한다.
종래 기술의 보호 장치는, 예를 들어 2개의 구성요소 또는 서브시스템 사이에 원호로 배열된 주름형 강철 튜브의 형태로 구현된다. 주름형 튜브는 충분한 기계적 보호를 제공하며, 대응 설계로, 광 도파관의 최소 굽힘 반경 미만이 되는 굽힘 반경에 대해 보호할 수도 있다. 이들 튜브는 가장 최근 세대의 투영 노광 장치에서 증가된 요구 사항에 대해 너무 높은 정적 및 동적 강성을 갖는다. 정적 및 동적 강성에 관한 요구 사항을 충족하는 대안적인 플라스틱 튜브는 가스를 과도하게 방출하는 경향이 있고 및/또는 너무 낮은 굽힘 반경에 대해 보호를 제공하지 않으므로 투영 노광 장치에 사용하기에 적합하지 않다.
본 발명의 목적은 앞서 설명한 종래 기술의 단점을 해결하는 장치를 제공하는 것이다.
이 목적은 독립 청구항의 특징을 갖는 장치에 의해 달성된다. 종속 청구항은 본 발명의 유리한 개발 및 변형에 관한 것이다.
반도체 리소그래피용 투영 노광 장치의 2개의 구성요소 사이의 라인을 위한 본 발명에 따른 보호 장치로서, 보호 장치는 2개의 구성요소에 견고하게 연결되고, 적어도 하나의 제1 부분 영역 및 적어도 하나의 제2 부분 영역을 포함하고, 제1 부분 영역 및 제2 부분 영역은 라인에 대한 기계적 손상으로부터 보호하도록 형성된다. 여기서, 제1 부분 영역은 제1 구성요소와 제2 구성요소 사이의 적어도 일시적인 기계적 분리를 위해 구성된다.
라인은 각각의 시점에서 보호 장치에 의해 기계적 손상으로부터 보호되고, 최소 굽힘 반경 미만이 되는 굽힘 반경은 또한 기계적 손상으로 고려되며, 전기 전도체 또는 광 도파관과 같은 광 가이드, 또는 유체용 다른 공급 라인의 형태로 구현될 수 있다. 제1 부분 영역의 분리 효과는 연결된 구성요소의 운송 중과 같은 특정 시점에 존재하지 않을 수 있으며, 이는 차례로 운송 중 기계적 손상에 대한 보호를 개선시킬 수 있는데, 라인의 더 작은 상대 이동이 가능하고 이러한 방식으로 예를 들어 보호 장치 내의 라인의 충격을 피할 수 있기 때문이다. 제2 부분 영역은, 예를 들어 주름형 튜브 또는 만곡된 강철 튜브의 형태로 구현될 수 있다.
본 발명의 한 변형예에서, 제2 부분 영역은 다중 세그먼트를 포함할 수 있다. 세그먼트는 서로 직접 연결되지 않고 기계적 손상 및 유연성에 대한 보호와 같은 동일한 기능을 갖는 부분 영역의 섹션이다. 세그면트는 흔히 거의 동일한 구성을 갖고, 예를 들어 제2 부분 영역의 모든 세그먼트는 주름형 튜브 또는 강철 튜브의 형태로 구현될 수 있고, 주름형 튜브와 강철 튜브의 조합도 고려할 수 있다. 이들 세그먼트는 분리 특성이 거의 또는 전혀 없다. 예를 들어, 보호 장치의 제1 부분 영역은 세그먼트 사이에 배열될 수 있다.
특히, 제2 부분 영역의 세그먼트는 상이한 길이를 나타내도록 설계될 수 있다. 고유 모드의 주파수 또는 세그먼트의 공진에 대응하는 기계적 진동이 이에 의해 강하게 전달될 수 있으며, 고유 모드는 특히 길이에 따라 달라진다. 제2 부분 영역의 세그먼트가 상이한 길이를 갖는 경우, 제1 세그먼트의 기계적 진동은 제1 세그먼트와 상이한 고유 모드의 제2 세그먼트를 여기시키지 않기 때문에 감쇠 방식으로만 제2 세그먼트에 의해 더 전달될 수 있다. 세그먼트를 상이한 길이를 갖게 형성하면 특정 주파수에 대한 진폭이 감소할 수 있다.
더욱이, 제1 부분 영역은 제2 부분 영역의 적어도 하나의 세그먼트에 견고하게 연결될 수 있다.
특히, 제1 부분 영역과 제2 부분 영역의 적어도 하나의 세그먼트 사이의 연결은 클램핑 연결일 수 있다. 클램핑 장치는 또한 보호 장치를 구성요소에, 즉, 구성요소와 제1 부분 영역, 그리고 구성요소와 제2 부분 영역 사이에 부착하는 데 사용될 수 있고, 나사 연결 또는 간단한 플러그인 연결도 고려할 수 있다.
본 발명의 한 변형예에서, 제1 부분 영역은 제1 및 제2 위치에서 제2 부분 영역의 적어도 하나의 세그먼트에 연결될 수 있다. 따라서, 2개의 부분 영역은 서로에 대해 이동 가능하도록 배열된다.
특히, 제1 위치에서 제1 부분 영역은 제2 부분 영역의 2개의 세그먼트를 서로에 대해 또는 제2 부분 영역의 하나의 세그먼트를 2개의 구성요소 중 적어도 하나에 견고하게 연결할 수 있다. 여기서, 제1 부분 영역은 부착 수단 및 슬리브를 포함할 수 있고, 부착 수단은 제2 부분 영역 또는 구성요소의 세그먼트에 연결하기 위해 구현되는 반면, 슬리브는 제2 부분 영역의 세그먼트 또는 구성요소에 직접 연결되지 않고 적어도 거의 완전히 둘러쌀 수 있다. 이러한 제1 위치에서, 제2 부분 영역이 2개의 세그먼트를 포함하는 경우, 예를 들어 강철 튜브의 형태로 구현되는 제2 부분 영역의 세그먼트 사이에 상대 이동이 이제는 없을 수 있도록 하는 방식으로 부착 수단을 사용하여 제2 부분 영역의 2개의 세그먼트가 서로 연결될 수 있다. 제2 부분 영역이 하나의 세그먼트만을 포함하는 경우, 제1 부분 영역은 제2 부분 영역의 세그먼트를 2개의 구성요소 중 하나에 연결할 수 있고, 이 제1 위치에서의 상대 이동도 마찬가지로 불가능하다.
더욱이, 제2 위치의 제1 부분 영역은 제2 부분 영역의 세그먼트 또는 구성요소에 견고하게 연결될 수 있다. 이 경우, 제1 부분 영역은 언급된 부분 중 하나에만 연결될 수 있으며, 그 결과 이 위치에서, 2개의 세그먼트 사이 또는 제2 부분 영역의 세그먼트와 구성요소 사이에 연결이 없고, 제2 부분 영역의 2개의 세그먼트 또는 제2 부분 영역의 세그먼트와 구성요소 사이의 상대 이동이 가능하다. 이러한 방식으로 2개의 구성요소 사이의 분리를 달성할 수 있다. 제1 부분 영역의 슬리브는 이 제2 위치에서 보호 장치의 제2 부분 영역에 의해 둘러싸이지 않는 라인의 영역이 다소 거리를 두고 슬리브에 의해 둘러싸일 수 있도록 위치 설정될 수 있다. 이러한 방식으로, 이 영역에서도 기계적 손상에 대한 보호가 존재한다.
제1 위치는, 예를 들어 구성요소의 운송 동안 및 투영 노광 장치의 조립 중에 사용될 수 있고, 일단 조립이 완료되면, 제1 부분 영역은 제1 위치로부터 제2 위치로 활주되며, 이러한 방식으로 서로에 대한 2개의 구성요소의 거의 완전한 분리가 보장될 수 있으며, 구성요소는 이제 라인 자체에 의해서만 서로 견고하게 연결된다.
본 발명의 한 변형예에서, 제1 부분 영역 및 제2 부분 영역의 정적 강성의 비율은 1보다 클 수 있다. 편향과 함께 정적 강성은 2개의 구성요소 사이의 상대 이동의 경우 2개의 구성요소에 작용하는 힘을 초래하여, 하나의 구성요소로부터 다른 구성요소로 이동이 전달될 수 있다. 정적 강성이 낮을수록, 동일한 편향에서 전달되는 힘이 더 낮아진다. 제1 부분 영역의 정적 강성을 선택함으로써, 특히 요구되는 최소 굽힘 반경이 관찰되는 것을 보장하는 것도 가능하다.
추가로, 500 Hz 내지 2000 Hz의 주파수 범위에서 제1 부분 영역과 제2 부분 영역의 동적 강성의 비율은 1/10 미만일 수 있다. 동적 강성은 특정 주파수 범위에 걸쳐 구성요소의 제어성에 영향을 미치는 본체의 주파수 종속 강성을 설명한다.
더욱이, 제1 부분 영역은 20% 초과의 고유 감쇠를 갖는 재료를 포함할 수 있다. 이는, 예를 들어 FFKM 또는 FKM으로도 공지된 퍼플루오로엘라스토머와 같은 플라스틱일 수 있다. 퍼플루오로엘라스토머는 가스 방출 속도가 매우 낮고 이에 따라 진공에서 사용하기에 적합하다.
본 발명의 한 변형예에서, 제1 부분 영역은 다중 세그먼트를 포함할 수 있다. 제1 부분 영역의 모든 세그먼트는 제1 부분 영역의 전체 분리 효과에 기여할 수 있다. 이 경우, 세그먼트는, 예를 들어 부싱 및 2개의 부착 수단을 포함할 수 있다. 부싱은 퍼플루오로엘라스토머로 제조될 수 있으며, 그 결과 부싱은 고유 감쇠를 가지며, 즉, 재료의 운동 에너지를 열 에너지로 변환할 수 있으며, 이러한 방식으로 기계적 에너지의 전달을 추가로 감쇠할 수 있다. 퍼플루오로엘라스토머는 보호 장치에서 굽힘을 허용할 만큼 충분히 유연한데도, 너무 작은 굽힘 반경에 대해 보호하기에 충분히 강하다. 부착 수단은 부싱을 제2 부분 영역의 세그먼트 또는 2개의 구성요소 중 하나에 연결하는 역할을 할 수 있다.
더욱이, 구성요소와 제1 및 제2 부분 영역의 세그먼트는 다음과 같이 연속적으로 배열될 수 있다:
- 제1 구성요소, 제1 부분 영역의 세그먼트, 제2 부분 영역의 세그먼트, 제2 구성요소 또는
- 제1 구성요소, 제2 부분 영역의 세그먼트, 제1 부분 영역의 세그먼트, 제2 구성요소 또는
- 제1 구성요소, 제1 부분 영역의 제1 세그먼트, 제2 부분 영역의 세그먼트, 제1 부분 영역의 제2 세그먼트, 제2 구성요소 또는
- 제1 구성요소, 제1 부분 영역의 제1 세그먼트, 제2 부분 영역의 제1 세그먼트, 제1 부분 영역의 제2 세그먼트, 제2 부분 영역의 제2 세그먼트, 제1 부분 영역의 제3 세그먼트, 제2 구성요소 또는
- 제1 구성요소, 제1 부분 영역의 제1 세그먼트, 제2 부분 영역의 제1 세그먼트, 제1 부분 영역의 제2 세그먼트, 제2 부분 영역의 제2 세그먼트, 제2 구성요소 또는
- 제1 구성요소, 제2 부분 영역의 제1 세그먼트, 제1 부분 영역의 제1 세그먼트, 제2 부분 영역의 제2 세그먼트, 제1 부분 영역의 제2 세그먼트, 제2 구성요소 또는
- 제1 구성요소, 제2 부분 영역의 제1 세그먼트, 제1 부분 영역의 세그먼트, 제2 부분 영역의 제2 세그먼트, 제2 구성요소.
제1 및 제2 부분 영역의 세그먼트의 수가 더 많은 경우, 추가 배열이 가능하다. 특히, 제1 부분 영역은 튜닝된 질량 댐퍼의 형태로 구현될 수 있다. 보호 장치가 하나의 구성요소로부터 다른 구성요소까지 슬링으로 형성되고, 예를 들어 슬링의 가장 낮은 지점에 배열되는 경우, 상기 지점은 추가 질량의 이동으로 인해 슬링의 이동을 감쇠하도록 설계될 수 있다.
더욱이, 보호 장치의 재료는 진공에 적합할 수 있고, 즉, 낮은 가스 방출 속도를 가질 수 있다. 이는 통상적으로 진공 하에서 작동되는 최신 세대의 투영 노광 장치에서의 사용을 가능하게 한다.
본 발명의 예시적인 실시예 및 변형예는 도면을 참조하여 아래에서 더 상세하게 설명되며, 도면에서:
도 1은 본 발명이 구현될 수 있는 EUV 투영 노광 장치의 기본 구성을 도시하고,
도 2는 종래 기술로부터 공지된 보호 장치를 도시하며,
도 3은 본 발명의 제1 실시예를 도시하고,
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 제1 실시예의 다른 변형예를 도시하며,
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 또 다른 실시예를 도시한다.
도 1은 본 발명이 용례를 찾을 수 있는 마이크로리소그래피 EUV 투영 노광 장치(1)의 기본 구성을 예로서 도시한다. 보호 장치는 예를 들어 제어기(예시되지 않음)와 투영 광학 유닛(9) 사이에 배열될 수 있다. 투영 노광 장치(1)의 조명 시스템은, 광원(3)에 추가하여, 물체 평면(6)에서 물체 필드(5)의 조명을 위한 조명 광학 유닛(4)을 갖는다. 광원(3)에 의해 생성된 광학적으로 사용된 방사선 형태의 EUV 방사선(14)은 광원(3)에 통합된 콜렉터에 의해 정렬되어, 방사선은 필드 패싯 거울(2)에 입사하기 전에 중간 초점면(15)의 영역에서 중간 초점을 통과한다. 필드 패싯 거울(2)의 하류에서, EUV 방사선(14)은 동공 패싯 거울(16)에 의해 반사된다. 동공 패싯 거울(16) 및 거울(18, 19, 20)을 갖는 광학 조립체(17)의 도움으로, 필드 패싯 거울(2)의 필드 패싯은 물체 필드(5)로 이미징된다.
물체 필드(5)에 배열되고 개략적으로 예시된 레티클 홀더(8)에 의해 유지되는 레티클(7)이 조명된다. 단순히 개략적으로 예시된 투영 광학 유닛(9)은 물체 필드(5)를 이미지 평면(11)의 이미지 필드(10)로 이미징하는 역할을 한다. 레티클(7) 상의 구조는 웨이퍼(12)의 감광층 상에 이미징되는데, 웨이퍼는 이미지 평면(11)의 이미지 필드(10) 영역에 배열되고 마찬가지로 부분적으로 표시된 웨이퍼 홀더(13)에 의해 유지된다. 광원(3)은 특히 5 nm 내지 120 nm의 파장 범위에서 사용된 방사선을 방출할 수 있다.
본 발명은 마찬가지로 예시되지 않은 DUV 장치에 사용될 수 있다. DUV 장치는 앞서 설명한 EUV 장치(1)와 같이 원론적으로 설정되며, 거울 및 렌즈 요소는 DUV 장치에서 광학 요소로서 사용될 수 있고 DUV 장치의 광원은 100 nm 내지 300 nm의 파장 범위에서 사용된 방사선을 방출한다.
특히, 본 발명은 또한 하나는 힘 프레임으로 공지된 곳에 배열되고 다른 하나는 센서 프레임으로 공지된 곳에 배열되는 구성요소들 사이에서 용례를 찾을 수 있다. 힘 프레임은 사용된 구성요소, 특히 그 중량으로부터 발생하는 힘을 흡수하는 투영 노광 장치의 운반 구조이다. 대조적으로, 센서 프레임은 실질적으로 센서 구성요소만을 운반하며, 예를 들어 가능한 한 정확한 위치 측정을 보장하기 위해 가능한 많이 힘 프레임의 기계적 영향으로부터 분리되어야 한다.
도 2는 주름형 튜브(40) 및 2개의 부착 수단(61)을 포함하는 종래 기술로부터 공지된 보호 장치(30)를 도시한다. 보호 장치(30)는 각각의 경우에 2개의 구성요소(60, 60') 중 하나에 부착 수단(61)에 의해 부착되고, 보호 장치(30)는 하나의 구성요소(60)로부터 다른 구성요소(60')까지 슬링(도면에 별도로 표시되지 않음)으로 연장된다. 슬링은 2개의 구성요소(60, 60') 사이의 상대 이동을 분리하는 역할을 하고, 기계적 진동은 주름형 튜브(40)를 통해 하나의 구성요소(60)로부터 다른 구성요소(60')로 전달될 수 있다. 기계적 손상에 대해 보호 장치(30)에 의해 보호되는 라인(70)은 점선으로 나타낸다.
도 3은 본 발명의 제1 변형예의 개략도를 도시하고, 보호 장치(30)는 2개의 세그먼트(32, 32')를 포함하는 제1 부분 영역(31), 및 주름형 튜브(40) 형태의 제2 부분 영역(33)을 갖는다. 여기서, 제1 부분 영역(31)의 세그먼트(32, 32')는 부싱(42) 및 2개의 부착 수단(41)을 포함한다. 부착 수단(41)은 각각의 경우에 부싱(42)을 제2 부분 영역(33)에 그리고 2개의 구성요소(60, 60') 중 하나에 연결한다. 부싱(42)은 플라스틱, 예를 들어 특히 퍼플루오로엘라스토머를 포함할 수 있다. 첫째, 제2 부분 영역(33)에 비교하여 부싱(42)의 유연성 또는 낮은 강성은 2개의 구성요소(60, 60') 사이의 분리를 초래하고, 둘째, 기계적 진동 에너지 형태로 시스템에 존재하는 에너지는 부싱(42)의 고유 감쇠로 인해 감소된다. 주름형 튜브(40)의 설계는 도 2에 도시된 종래 기술과 거의 동일하며, 추가 분리를 위한 슬링도 유지된다. 라인(70)은 다시 점선으로 표시된다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 보호 장치(30)의 다양한 변형예를 도시하고, 보호 장치(30)는 각각의 경우에 예시를 단순화하기 위해 슬링 없이 도시된다. 제1 부분 영역(31)의 세그먼트(32, 32', 32")는 도 3에 도시된 세그먼트(32, 32')와 실질적으로 동일하고 부싱(42) 및 2개의 부착 수단(41)을 각각 포함한다.
도 4a는 제1 부분 영역(31)이 단 하나의 세그먼트(32)를 포함하는 보호 장치(30)의 제1 변형예를 도시한다. 이 경우, 제1 부착 수단(41)은 부싱(42)을 구성요소(60)에 연결하고, 제2 부착 수단(41)은 다시 부싱(42)을 마찬가지로 단 하나의 세그먼트(34)를 갖는 제2 부분 영역(33)에 연결한다. 세그먼트(34)는 부착 수단(61)에 의해 구성요소(60')에 연결된다. 제1 부분 영역(31)의 분리 효과는 도 3에서 설명한 것과 거의 동일하다.
도 4b는 보호 장치(30)의 다른 변형예를 도시하고, 제1 부분 영역(31)은 마찬가지로 단 하나의 세그먼트(32)를 갖는다. 후자는 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34') 사이에 배열된다. 세그먼트(34, 34')는 부착 수단(61)을 사용하여 구성요소(60, 60')에 연결된다. 이러한 배열에서, 추가로 튜닝된 댐퍼로서 제1 부분 영역(31)을 구현하는 것을 고려할 수 있다. 이 경우, 부싱(42) 전체의 고유 감쇠 및 분리에 추가하여, 제1 부분 영역(31)은 흡수체로서 작용하여 보호 장치(30)의 공진 주파수의 진폭을 최소로 감소시킬 수 있다.
도 4c는 도 3 및 도 4a에 도시된 변형예의 조합에 대응하는, 즉, 제1 부분 영역(31)의 3개의 세그먼트(32, 32', 32") 및 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34')를 포함하는 보호 장치(30)의 다른 변형예를 도시한다. 제1 부분 영역(31)의 세그먼트(32, 32', 32")는 각각의 경우에 구성요소(60, 60')와 제2 부분 영역(33)의 각각의 세그먼트(34, 34') 사이 및 세그먼트(34, 34') 사이에 배열된다.
도 4d는 도 4c에 도시된 보호 장치(30)와 세그먼트(32, 32', 32", 34, 34')의 배열과 관련하여 거의 동일하도록 설계된 보호 장치(30)의 다른 변형예를 도시한다. 여기서, 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34')는 상이한 길이를 가지며, 그 결과 제1 세그먼트(34)의 공진 주파수에 대응하는 주파수를 갖는 기계적 진동의 추가 전달이 상당히 감소된다. 상이한 길이로 인해 서로 벗어난 세그먼트(34, 34')의 공진 주파수 때문에, 세그먼트(34)의 기계적 진동은 세그먼트(34')를 통해 완전히 전달되지 않는다. 예를 들어, 방음 글레이징의 경우, 이 효과는 상이한 두께를 갖는 판유리를 사용하여 달성된다.
도 5a 및 도 5b는 보호 장치(30)의 다른 실시예를 도시한다. 여기서, 보호 장치(30)는 제1 부분 영역(31)의 세그먼트(32)를 포함하고, 세그먼트(32)는 부착 수단(51) 및 슬리브(52)를 포함한다. 도시된 예의 보호 장치(30)는 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34')를 더 포함한다. 여기서, 제1 부분 영역(31) 및 제2 부분 영역(33)은 강철 튜브(50, 50')를 포함할 수 있다. 더욱이, 기능적 관점으로부터 제1 부분 영역(31)은 또한 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34') 사이의 영역을 포함한다.
도 5a에 도시된 제1 부분 영역(31)의 위치는, 예를 들어 운송을 위해 또는 투영 노광 장치의 설정 동안에 사용된다. 이 위치에서, 제1 부분 영역(31)의 부착 수단(51)은 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34')를 연결하고, 부착 수단(51)은 클램핑 장치의 형태로 구현된다. 파이프 섹션과 같이 형성된 슬리브(52)는 부착 수단(51)보다 내경이 더 크고 부착 수단에 견고하게 연결된다. 여기서, 내경은 슬리브(52)가 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(34, 34') 위에서 접촉 없이 이동될 수 있도록 선택된다.
도 5b는 제1 부분 영역(31)이 부착물(51)에 의해 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(34') 중 하나에만 부착되는 제2 위치에서 동일한 배열을 도시한다. 슬리브(52)는 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34') 사이의 영역에서 점선으로 나타낸 라인(70)을 둘러싸고, 여기서 라인(70)은 튜브(50, 50')에 의해 둘러싸이지 않는다. 이 영역에서, 슬리브(52)는 기계적 손상에 대해 라인(70)을 보호하는 역할을 하고, 슬리브(52)의 내경을 적절히 선택하여 또한 최소 굽힘 반경 미만이 되는 굽힘 반경을 피하는 역할을 한다. 제2 위치에서, 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34') 사이의 영역은 라인(70)을 통해서만 연결된 2개의 구성요소의 거의 완전한 분리를 가능하게 한다.
1 투영 노광 장치
2 패싯 미러
3 광원
4 조명 광학 유닛
5 물체 필드
6 물체 평면
7 레티클
8 레티클 홀더
9 투영 광학 유닛
10 이미지 필드
11 이미지 평면
12 웨이퍼
13 웨이퍼 홀더
14 EUV 방사선
15 중간 필드 초점면
16 동공 패싯 거울
17 조립체
18 거울
19 거울
20 거울
30 보호 장치
31 제1 부분 영역
32, 32', 32" 제1 부분 영역의 세그먼트
33 제2 부분 영역
34, 34' 제2 부분 영역의 세그먼트
40 주름형 튜브
41 고정 수단
42 부싱
50, 50' 튜브
51 고정 수단
52 슬리브
60, 60' 구성요소
61 부착 수단
70 라인

Claims (15)

  1. 반도체 리소그래피용 투영 노광 장치(1)의 2개의 구성요소(60, 60') 사이의 라인(70)을 위한 보호 장치(30)이며, 보호 장치(30)는 2개의 구성요소(60, 60')에 견고하게 연결되고, 적어도 하나의 제1 부분 영역(31) 및 적어도 하나의 제2 부분 영역(33)을 포함하고, 제1 부분 영역(31) 및 제2 부분 영역(33)은 라인(70)에 대한 기계적 손상으로부터 보호하도록 형성되고,
    제1 부분 영역(31)은 제1 구성요소(60)와 제2 구성요소(60') 사이의 적어도 일시적인 기계적 분리를 위해 구성되고 제2 부분 영역(33)은 다중 세그먼트(34, 34', 34")를 포함하는, 보호 장치(30).
  2. 제1항에 있어서,
    세그먼트(34, 34', 34")는 상이한 길이를 갖는, 보호 장치(30).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    제1 부분 영역(31)은 제2 부분 영역(33)의 적어도 하나의 세그먼트(34, 34', 34")에 견고하게 연결되는, 보호 장치(30).
  4. 제3항에 있어서,
    제1 부분 영역(31)과 제2 부분 영역(33)의 적어도 하나의 세그먼트(34, 34', 34") 사이의 연결은 클램핑 연결인, 보호 장치(30).
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    제1 부분 영역(31)은 제1 및 제2 위치에서 제2 부분 영역(33)의 적어도 하나의 세그먼트(34, 34', 34")에 연결될 수 있게 구성되는, 보호 장치(30).
  6. 제5항에 있어서,
    제1 위치에서 제1 부분 영역(31)은 제2 부분 영역(33)의 2개의 세그먼트(34, 34')를 서로에 대해 또는 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(34, 34')를 2개의 구성요소(60, 60') 중 적어도 하나에 견고하게 연결하는, 보호 장치(30).
  7. 제5항에 있어서,
    제2 위치에서 제1 부분 영역(31)은 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(34, 34') 또는 구성요소(60, 60')에 견고하게 연결되는, 보호 장치(30).
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 부분 영역(31)과 제2 부분 영역(33)의 정적 강성의 비율은 1보다 큰, 보호 장치(30).
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    500 Hz 내지 2000 Hz의 주파수 범위에서 제1 부분 영역(31)과 제2 부분 영역(33)의 동적 강성의 비율은 1/10 미만인, 보호 장치(30).
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 부분 영역(31)은 20% 초과의 고유 감쇠를 갖는 재료를 포함하는, 보호 장치(30).
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 부분 영역(31)은 다중 세그먼트(32, 32', 32")를 포함하는, 보호 장치(30).
  12. 제11항에 있어서,
    구성요소(60, 60')와 제1 부분 영역(31) 및 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(32, 32', 32", 34, 34')는:
    - 제1 구성요소(60), 제1 부분 영역(31)의 세그먼트(32), 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(34), 제2 구성요소(60') 또는
    - 제1 구성요소(60), 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(34), 제1 부분 영역(31)의 세그먼트(32), 제2 구성요소(60') 또는
    - 제1 구성요소(60), 제1 부분 영역(31)의 제1 세그먼트(32), 제2 부분 영역(33)의 세그먼트(34), 제1 부분 영역(31)의 제2 세그먼트(32'), 제2 구성요소(60') 또는
    - 제1 구성요소(60), 제1 부분 영역(31)의 제1 세그먼트(32), 제2 부분 영역(33)의 제1 세그먼트(34), 제1 부분 영역(31)의 제2 세그먼트(32'), 제2 부분 영역(33)의 제2 세그먼트(34'), 제1 부분 영역(31)의 제3 세그먼트(32"), 제2 구성요소(60') 또는
    - 제1 구성요소(60), 제1 부분 영역(31)의 제1 세그먼트(32), 제2 부분 영역(33)의 제1 세그먼트(34), 제1 부분 영역(31)의 제2 세그먼트(32'), 제2 부분 영역(33)의 제2 세그먼트(34'), 제2 구성요소(60') 또는
    - 제1 구성요소(60), 제2 부분 영역(33)의 제1 세그먼트(34), 제1 부분 영역(31)의 제1 세그먼트(32), 제2 부분 영역(33)의 제2 세그먼트(34'), 제1 부분 영역(31)의 제2 세그먼트(32'), 제2 구성요소(60') 또는
    - 제1 구성요소(60), 제2 부분 영역(33)의 제1 세그먼트(34), 제1 부분 영역(31)의 세그먼트(32), 제2 부분 영역(33)의 제2 세그먼트(34'), 제2 구성요소(60')와 같이 연속적으로 배열되는, 보호 장치(30).
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 부분 영역(31)은 튜닝된 질량 댐퍼의 형태로 구현되는, 보호 장치(30).
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    보호 장치(30)의 재료는 진공에 적합한, 보호 장치(30).
  15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 보호 장치(30)를 갖는 반도체 리소그래피용 투영 노광 장치(1).
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