KR20210087723A - 프로브 카드 및 프로브 카드를 구비한 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시 예에 따른 테스트 장치는 웨이퍼의 다이에 각각 대응되는 복수의 구역을 포함하도록 형성되되, 렌즈가 장착된 제1 영역과 렌즈가 미 장착된 제2 영역이 형성된 트레이를 포함하는 프로브 카드; 및 검사 대상 다이들에 제1 영역 또는 제2 영역이 대향되게 위치하도록 트레이를 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동시키는 구동제어 신호를 발생시키는 테스터를 포함할 수 있다.

Description

프로브 카드 및 프로브 카드를 구비한 테스트 장치{PROBE CARD AND TEST APPARATUS HAVING PROBE CARD}
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 프로브 카드 및 프로브 카드를 구비한 테스트 장치에 관한 것이다.
CIS(CMOS image sensor)는 CMOS 구조를 가진 저전력 촬상 소자로 피사체 정보를 읽어 전기적인 영상신호로 변환해주는 이미지 센서이다. 빛 에너지를 전기 에너지로 변환해 영상으로 만드는데, 카메라 필름과 같은 역할을 수행할 수 있다.
상술한 CIS는 제어회로 및 신호처리회로를 주변회로로 사용하는 CMOS 기술을 이용하여 화소수 만큼의 MOS 트랜지스터를 만들고 이것을 이용하여 순차적으로 출력을 검출하는 스위칭 방식을 채용하는 소자이다.
한편, CIS 픽셀(CMOS image sensor pixel) 기술이 발전함에 따라, CIS 웨이퍼를 테스트할 때, 렌즈가 장착된 프로브 카드와 렌즈가 미 장착된 프로브 카드가 모두 요구되고 있는 실정이다.
본 발명의 실시 예는 웨이퍼의 테스트 성능이 향상된 프로브 카드 및 프로브 카드를 구비한 테스트 장치를 제공한다.
본 발명의 실시 예에 따른 테스트 장치는, 웨이퍼의 다이에 각각 대응되는 복수의 구역을 포함하도록 형성되되, 렌즈가 장착된 제1 영역과 렌즈가 미 장착된 제2 영역이 형성된 트레이를 포함하는 프로브 카드; 및 검사 대상 다이들에 상기 제1 영역 또는 상기 제2 영역이 대향되게 위치하도록 상기 트레이를 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동시키는 구동제어 신호를 발생시키는 테스터를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드는, 지지 플레이트; 웨이퍼의 다이에 각각 대응되는 사이즈의 복수의 구역으로 구분되어 형성되되, 렌즈가 장착된 제1 영역과 렌즈가 미 장착된 제2 영역을 포함하는 트레이; 상기 트레이 및 상기 지지 플레이트와 연결되게 형성된 트레이 가이드; 및 상기 트레이를 상기 트레이 가이드에 따라 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 실시 예들에 따르면, CIS 웨이퍼의 테스트를 수행할 때, 렌즈가 필요한 웨이퍼 테스트 또는 렌즈가 요구되지 않는 웨이퍼 테스트 모두를 하나의 프로브 카드를 이용하여 수행하기 때문에, 두 번의 공정을 하나의 공정으로 단일화할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따르면, 프로브 카드의 교체 과정이 생략되어 웨이퍼의 테스트 시간을 단축시킬 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 장치의 외관을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 트레이의 예를 나타내는 도면이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 동작방법의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 분해 사시도를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 장치의 외관을 나타내는 도면이다.
도 1을 참고하면, 테스트 장치(300)는 조명기(illuminator)(20), 프로브 카드(probe card)(100) 및 테스터(200)를 포함할 수 있다.
조명기(20)는 웨이퍼(10)에 테스트를 위한 광원을 조사하는 구성일 수 있다.
이때, 웨이퍼(10)는 CIS(CMOS Image Sensor) 웨이퍼일 수 있으며, 이에 한정되지 않는다. 도시하지 않았지만, CIS는 수광 부분인 포토 다이오드를 포함하는 액티브 픽셀 센서부와 주변 회로부로 구성될 수 있다. 이때, 2차원적으로 배열된 다수의 픽셀 어레이(pixel array)는 광학 영상을 전기 신호로 변환하는 역할을 수행할 수 있고, 주변 회로부는 타이밍 제너레이터(timing generator), 행/열 Scanner(Row/column scanner), CDS(Correlated Double Sampler), 증폭기(Gain amp) 등의 블록들과 ADC converter로 구성될 수 있다.
CIS와 같은 이미지 디바이스의 성능은 감도, 노이즈, 동작 범위 등 다양한 항목들의 측정에 의해 결정되는데, 전기적인 특성들 이외에는 대부분 측정의 입력원이 광원일 수 있다. 이때, 광원을 조명기(20)를 통해 제공하는 것이다.
프로브 카드(probe card)(100)는 조명기(20)와 웨이퍼(10) 사이에 위치하여 웨이퍼(10)를 검사하기 위한 구성으로 렌즈(125)가 장착된 영역과 미 장착된 영역을 포함하여 형성될 수 있다.
테스터(200)는 조명기(20) 및 프로브 카드(100)의 동작을 제어하기 위한 구성일 수 있다.
도 1에서 도시하는 바와 같이, 조명기(20)를 통과하는 광원들은 프로브 카드(100)의 렌즈 장착 영역 및 렌즈 미장착 영역 모두를 통과하여 웨이퍼(10)로 전달될 수 있다.
이때, 테스터(200)는 테스트 대상이 되는 다이를 웨이퍼(10)에서 사전에 지정하기 때문에, 웨이퍼(10) 전 영역에 광원이 입사되더라도 특정 다이에 대한 테스트를 진행할 수 있다. 이때, 테스터(200)는 테스트 대상이 아닌 다이로 입사된 광원이 테스트 대상의 다이에 영향을 주지 않도록 제어할 수 있다. 예를 들어, 테스터(200)는 테스터 대상의 다이에 영향을 주는 테스트 대상이 아닌 다이에 입사되는 광원에 대해 보상을 수행하는 등 다양한 방법을 통해 제어할 수 있다.
테스터(200)는 조명기(20)로부터 발광되는 광원의 각종 조건을 제어할 수 있다.
또한, 테스터(200)는 프로브 카드(100)의 렌즈(125)가 장착된 영역 또는 미 장착된 영역이 선택적으로 테스트 대상인 다이에 대향되게 배치되도록 프로브 카드(100)의 이동을 제어할 수 있다. 이에 대한 상세 설명은 후술하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 장치의 구성을 나타내는 도면일 수 있다. 이하에서는, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 트레이의 예를 나타내는 도 4를 참고하여 설명하기로 한다.
도 2를 참고하면, 테스트 장치(300)는 프로브 카드(100) 및 테스터(200)를 포함할 수 있다.
도시하지 않았지만, 테스트 장치(300)는 조명기(도 1의 20)를 더 포함할 수 있다.
도 4를 참고하면, 프로브 카드(100)는 웨이퍼(10)의 다이에 각각 대응되는 복수의 구역(121a, 121b, 121c, 121d, 123a, 123b, 123c, 123d)을 포함하도록 형성되되, 렌즈(125)가 장착된 제1 영역(121)과 렌즈가 미 장착된 제2 영역(123)이 형성된 트레이(120)를 포함할 수 있다.
테스터(200)는 검사 대상 다이들에 트레이(120)의 제1 영역(121) 또는 제2 영역(123)이 대향되게 위치하도록 트레이(120)를 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동시키는 구동제어 신호를 발생시킬 수 있다.
이때, 트레이(120)의 제1 방향 또는 제2 방향으로의 이동 시, 이동 거리는 각 다이 단위에 대응되는 거리로 사전에 설정될 수 있다.
예를 들어, 트레이(120)의 제1 영역(121)이 특정 다이에 대향되게 위치한 상태에서 구동제어 신호에 따라 이동하는 경우, 제1 영역(121)은 특정 다이에서 인접한 옆 다이(좌 또는 우)에 대향되게 이동할 수 있는 것이다.
도 2를 참고하면, 테스터(200)는 조명기(도 1의 20) 및 프로브 카드(100)와 제어 신호를 비롯한 각종 신호를 송수신하기 위한 신호 송수신부(210), 트레이(120)의 이동 거리, 렌즈 장착 영역과 렌즈 미 장착 영역을 포함하는 트레이 정보, 조명기(20)의 광원 제어 정보 및 테스트 결과를 비롯하여 테스터(200)와 관련된 각종 정보를 저장하기 위한 메모리(220), 테스터(200)와 관련된 정보를 시각적으로 제공하기 위한 디스플레이(230) 및 조명기(20) 또는 프로브 카드(100)의 동작을 제어하기 위한 제어부(240)를 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 구성을 나타내는 도면이다.
이하에서는, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 트레이의 예를 나타내는 도 4 내지 도 6, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 동작방법의 일 예를 나타내는 도 9 및 도 10, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 다른 예를 나타내는 도 11 및 도 12를 참고하여 설명하기로 한다.
도 3을 참고하면, 프로브 카드(100)는 지지 플레이트(110), 트레이(120) 및 트레이 가이드(130)를 포함할 수 있다.
도 4 내지 도 6을 참고하면, 트레이(120)는 웨이퍼(10)의 다이에 각각 대응되는 사이즈의 복수의 구역(121a, 121b, 121c, 121d, 123a, 123b, 123c, 123d)으로 구분되어 형성되되, 렌즈(125)가 장착된 제1 영역(121)과 렌즈가 미 장착된 제2 영역(123)을 포함할 수 있다.
도 4를 참고하면, 트레이(120)는 제1 영역(121)과 제2 영역(123)이 각각 복수의 다이로 이루어진 다이 열과 대응되게 형성되되, 제1 영역(121)과 제2 영역(123)이 번갈아 배열된 형태로 구현될 수 있다.
도 5를 참고하면, 트레이(120)는 도 4와 같이 제1 영역(121)과 제2 영역(123)이 번갈아 배열되되, 제1 영역(121) 및 제2 영역(123)이 각각 복수 열을 포함하도록 구현될 수 있다.
도 6을 참고하면, 트레이(120)는 제1 영역(121)과 제2 영역(123)이 각각 복수의 그룹 형태로 구현될 수 있다.
구체적으로, 트레이(120)는 제1 영역(121)과 제2 영역(123)이 각각 복수의 다이에 대응되는 그룹을 형성하도록 배열될 수 있는 것이다.
도 7 및 도 8을 참고하면, 트레이(120)는 제1 영역(121)과 제2 영역(123)이 서로 체크 보드식(도 7) 또는 십자형 구조(도 8)를 이루도록 배열될 수 있다.
트레이(120)에 렌즈(125)가 장착된 제1 영역(121)과 렌즈가 미 장착된 제2 영역(123)이 구현되는 예는 도 4 내지 도 6에 한정되지 않고, 운용자의 필요에 따라 변경 가능하다 할 것이다.
트레이 가이드(130)는 트레이(120) 및 지지 플레이트(110)와 연결되게 형성될 수 있다.
일 예로, 트레이 가이드(130)는 트레이(120)의 일측과 타측에 연결된 상태로 지지 플레이트(110)와 연결되게 형성될 수 있다.
트레이(120)는 제1 영역(121) 또는 제2 영역(123)이 테스트 대상인 다이와 대향되도록 하기 위해 트레이 가이드(130)를 따라 방향 전환 및 이동할 수 있다.
구동부(140a, 140b, 150a, 150b)는 트레이(120)를 트레이 가이드(130)에 따라 제1 방향(도 9 및 도 11의 A) 또는 제2 방향(도 10 및 도 12의 B)으로 이동시키는 구성일 수 있다.
구체적으로, 구동부(140a, 140b, 150a, 150b)는 테스터(200)로부터 전달되는 구동제어 신호에 따라 트레이(120)를 트레이 가이드(130)에 따라 제1 방향(도 9 및 도 11의 A) 또는 제2 방향(도 10 및 도 12의 B)으로 이동시킬 수 있다.
이때, 제1 방향은 도 9에 도시하는 바와 같이, 지지 플레이트(110)의 일 측을 향하는 방향을 의미하는 것으로서, 참조번호 140a와 참조번호 140b의 구동부가 모두 트레이(120)를 지지 플레이트(110)의 일 측으로 이동하도록 움직이는 방향인 것이다. 제2 방향 역시 도 10에서 도시하는 바와 같이, 지지 플레이트(110)의 타측을 향하는 방향을 의미하는 것으로서, 참조번호 140a와 참조번호 140b의 구동부가 모두 트레이(120)를 지지 플레이트(110)의 타측으로 이동하도록 움직이는 방향인 것이다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 구동부(140a, 140b)는 트레이(120)와 연결되어, 테스터(200)로부터 제1 신호가 입력되면 트레이(120)를 제1 방향(A)으로 이동시킬 수 있다.
또한, 구동부(140a, 140b)는 테스터(200)로부터 제2 신호가 입력되면 트레이(120)를 제2 방향(B)으로 이동시킬 수 있다.
상술한 제1 신호는 스위치의 온(ON) 신호, 제2 신호는 스위치의 오프(OFF) 신호 형태로 구현될 수 있다.
도 9 및 도 10에서 도시하는 바와 같이, 구동부(140a, 140b)가 복수 개로 구현될 경우, 복수 개의 구동부(140a, 140b) 중 하나(예를 들어, 140a)는 트레이(120)의 일 측과 지지 플레이트(110)를 연결하도록 형성되고, 다른 하나(140b)는 트레이(120)의 타측과 지지 플레이트(110)를 연결하도록 각각 형성될 수 있다.
상술한 구동부(140a, 140b)는 모터를 포함하여 이루질 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 동력을 이용하여 트레이(120)를 특정 방향으로 이동시킬 수 있는 구성이라면 모두 적용 가능하다 할 것이다.
도 11 및 도 12를 참고하면, 구동부는 제1 전자석(150a) 및 제2 전자석(150b)을 포함할 수 있다.
도 11을 참고하면, 제1 전자석(150a)은 지지 플레이트(110)의 일측에 형성되어 테스터(200)로부터 제1 신호가 입력되면 트레이(120)를 제1 방향으로 끌어당길 수 있다.
도 12를 참고하면, 제2 전자석(150b)은 상기 지지 플레이트의 타측에 형성되어 상기 테스터로부터 제2 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제2 방향으로 끌어당길 수 있다.
상술한 구동부를 전자석으로 구현하는 경우, 트레이(120)는 자성체로 이루어질 수 있다.
한편, 테스터(200)는 필요에 따라 제1 및 제2 전자석(150a, 150b)의 자력의 크기를 조정하여 트레이(120)를 끌어당기는 능력을 조절할 수 있다.
도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 카드의 분해 사시도를 나타내는 도면이다.
이하에서 개시하는 프로브 카드의 구성 중 상술한 도 1 내지 도 12의 설명과 동일한 구성에 대한 상세 설명은 생략하기로 한다.
도 13을 참고하면, 프로브 카드(100)는 지지 플레이트(110), 트레이(120) 및 트레이 가이드(130)를 포함할 수 있다.
도 4 내지 도 6을 참고하면, 트레이(120)는 웨이퍼(10)의 다이에 각각 대응되는 사이즈의 복수의 구역(121a, 121b, 121c, 121d, 123a, 123b, 123c, 123d)으로 구분되어 형성되되, 렌즈(125)가 장착된 제1 영역(121)과 렌즈가 미 장착된 제2 영역(123)을 포함할 수 있다.
트레이 가이드(130)는 트레이(120) 및 지지 플레이트(110)와 연결되게 형성될 수 있다.
일 예로, 트레이 가이드(130)는 트레이(120)의 일측과 타측에 연결된 상태로 지지 플레이트(110)와 연결되게 형성될 수 있다.
도시하지 않았지만, 프로브 카드(100)는 트레이(120)를 트레이 가이드(130)에 따라 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 구동부(140a, 140b, 150a, 150b)는 테스터(200)로부터 전달되는 구동제어 신호에 따라 트레이(120)를 트레이 가이드(130)에 따라 제1 방향(도 9 및 도 11의 A) 또는 제2 방향(도 10 및 도 12의 B)으로 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 방향은 도 9에 도시하는 바와 같이, 지지 플레이트(110)의 일 측을 향하는 방향을 의미하는 것으로서, 참조번호 140a와 참조번호 140b의 구동부가 모두 트레이(120)를 지지 플레이트(110)의 일 측으로 이동하도록 움직이는 방향인 것이다. 제2 방향 역시 도 10에서 도시하는 바와 같이, 지지 플레이트(110)의 타측을 향하는 방향을 의미하는 것으로서, 참조번호 140a와 참조번호 140b의 구동부가 모두 트레이(120)를 지지 플레이트(110)의 타측으로 이동하도록 움직이는 방향인 것이다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 구동부(140a, 140b)는 트레이(120)와 연결되어, 테스터(200)로부터 제1 신호가 입력되면 트레이(120)를 제1 방향(A)으로 이동시킬 수 있다.
또한, 구동부(140a, 140b)는 테스터(200)로부터 제2 신호가 입력되면 트레이(120)를 제2 방향(B)으로 이동시킬 수 있다.
상술한 제1 신호는 스위치의 온(ON) 신호, 제2 신호는 스위치의 오프(OFF) 신호 형태로 구현될 수 있다.
도 9 및 도 10에서 도시하는 바와 같이, 구동부(140a, 140b)가 복수 개로 구현될 경우, 복수 개의 구동부(140a, 140b)는 트레이(120)의 일 측과 지지 플레이트(110)를 연결하도록 형성되고, 트레이(120)의 타측과 지지 플레이트(110)를 연결하도록 각각 형성될 수 있다.
상술한 구동부(140a, 140b)는 모터를 포함하여 이루질 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 동력을 이용하여 트레이(120)를 특정 방향으로 이동시킬 수 있는 구성이라면 모두 적용 가능하다 할 것이다.
도 11 및 도 12를 참고하면, 구동부는 제1 전자석(150a) 및 제2 전자석(150b)을 포함할 수 있다.
도 11을 참고하면, 제1 전자석(150a)은 지지 플레이트(110)의 일측에 형성되어 테스터(200)로부터 제1 신호가 입력되면 트레이(120)를 제1 방향으로 끌어당길 수 있다.
도 12를 참고하면, 제2 전자석(150b)은 상기 지지 플레이트의 타측에 형성되어 상기 테스터로부터 제2 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제2 방향으로 끌어당길 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 웨이퍼 100 : 프로브 카드
110 : 지지 플레이트 120 : 트레이
130 : 트레이 가이드 200 : 테스터
300 : 테스트 장치

Claims (20)

  1. 웨이퍼의 다이에 각각 대응되는 복수의 구역을 포함하도록 형성되되, 렌즈가 장착된 제1 영역과 렌즈가 미 장착된 제2 영역이 형성된 트레이를 포함하는 프로브 카드; 및
    검사 대상 다이들에 상기 제1 영역 또는 상기 제2 영역이 대향되게 위치하도록 상기 트레이를 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동시키는 구동제어 신호를 발생시키는 테스터;
    를 포함하는 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 카드는,
    지지 플레이트;
    웨이퍼의 다이에 각각 대응되는 사이즈의 복수의 구역으로 구분되어 형성되되, 렌즈가 장착된 제1 영역과 렌즈가 미 장착된 제2 영역을 포함하는 트레이;
    상기 트레이 및 상기 지지 플레이트와 연결되게 형성된 트레이 가이드; 및
    상기 구동제어 신호에 따라 상기 트레이를 상기 트레이 가이드에 따라 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동시키는 구동부;
    를 포함하는 테스트 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 트레이와 연결되어, 상기 테스터로부터 제1 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제1 방향으로 이동시키고, 상기 테스터로부터 제2 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제2 방향으로 이동시키는 테스트 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동부가 복수 개로 구현될 경우,
    상기 복수 개의 구동부는 상기 트레이의 일 측과 상기 지지 플레이트를 연결하도록 형성되고, 상기 트레이의 타측과 상기 지지 플레이트를 연결하도록 각각 형성되는 테스트 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 구동부는 모터를 포함하여 이루어진 테스트 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 지지 플레이트의 일측에 형성되어 상기 테스터로부터 제1 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제1 방향으로 끌어당기는 제1 전자석; 및
    상기 지지 플레이트의 타측에 형성되어 상기 테스터로부터 제2 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제2 방향으로 끌어당기는 제2 전자석;
    을 포함하는 테스트 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 트레이는 자성체로 이루어진 테스트 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 트레이는,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 각각 복수의 다이로 이루어진 다이 열과 대응되게 형성되되, 상기 제1 영역과 제2 영역이 번갈아 배열된 테스트 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 트레이는,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 각각 복수의 다이에 대응되는 그룹을 형성하도록 배열된 테스트 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 트레이는,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 서로 체크 보드식 또는 십자형 구조를 이루도록 배열된 테스트 장치.
  11. 지지 플레이트;
    웨이퍼의 다이에 각각 대응되는 사이즈의 복수의 구역으로 구분되어 형성되되, 렌즈가 장착된 제1 영역과 렌즈가 미 장착된 제2 영역을 포함하는 트레이;
    상기 트레이 및 상기 지지 플레이트와 연결되게 형성된 트레이 가이드; 및
    상기 트레이를 상기 트레이 가이드에 따라 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동시키는 구동부;
    를 포함하는 프로브 카드.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 트레이와 연결되어, 테스터로부터 제1 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제1 방향으로 이동시키고, 상기 테스터로부터 제2 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제2 방향으로 이동시키는 프로브 카드.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 구동부가 복수 개로 구현될 경우,
    상기 복수 개의 구동부는 상기 트레이의 일 측과 상기 지지 플레이트를 연결하도록 형성되고, 상기 트레이의 타측과 상기 지지 플레이트를 연결하도록 각각 형성되는 프로브 카드.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 구동부는 모터를 포함하여 이루어진 프로브 카드.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 지지 플레이트의 일측에 형성되어 테스터로부터 제1 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제1 방향으로 끌어당기는 제1 전자석; 및
    상기 지지 플레이트의 타측에 형성되어 상기 테스터로부터 제2 신호가 입력되면 상기 트레이를 상기 제2 방향으로 끌어당기는 제2 전자석;
    을 포함하는 프로브 카드.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 트레이는 자성체로 이루어진 프로브 카드.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 트레이 가이드는,
    상기 트레이의 일측과 타측에 연결된 상태로 상기 지지 플레이트와 연결되게 형성된 프로브 카드.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 트레이는,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 각각 복수의 다이로 이루어진 다이 열과 대응되게 형성되되, 상기 제1 영역과 제2 영역이 번갈아 배열된 프로브 카드.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 트레이는,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 각각 복수의 다이에 대응되는 그룹을 형성하도록 배열된 프로브 카드.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 트레이는,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 서로 체크 보드식 또는 십자형 구조를 이루도록 배열된 프로브 카드.
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