KR20210078050A - 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 스토커의 센서 테스트 장치는, 선반에 놓여지는 캐리어를 감지하는 감지 센서를 장착하기 위한 제1 장착부와, 상기 선반으로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하는 유량 센서를 장착하기 위한 제2 장착부와, 상기 유량 센서의 테스트를 위해 상기 제2 장착부에 장착되는 상기 유량 센서로 상기 질소 가스를 공급하기 위한 배관과, 상기 배관에 구비되며, 상기 배관으로 공급되는 상기 질소 가스의 유량을 측정하는 기준 유량 센서 및 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 기준 유량 센서와 전기적으로 연결되며, 상기 감지 센서의 이상 여부 및 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하기 위한 제어 모듈을 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스토커의 선반에 구비되는 대상물을 감지하는 감지 센서 및 상기 선반으로 공급되는 질소 가스의 유량을 감지하는 유량 센서를 테스트하는 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 캐리어들의 예로는 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다.
상기 선반들에는 상기 캐리어의 수납 여부를 감지하는 감지 센서가 구비될 수 있다. 또한, 상기 선반들로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하는 유량 센서 및 상기 질소 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 밸브가 장착될 수 있다.
상기 스토커의 초기 설정시 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브의 이상 여부 및 상기 유량 센서의 초기 값을 설정하는 테스트를 수행해야 한다. 작업자가 상기 각 선반들을 따라 이동하면서 상기 테스트를 수행해야 하므로, 상기 작업자가 낙하할 위험이 있으며 상기 테스트에 많은 시간이 소요될 수 있다.
본 발명은 감지 센서, 유량 센서 및 유량 밸브의 이상 여부를 신속하고 안정적으로 확인할 수 있는 스토커의 센서 테스트 장치를 제공한다.
본 발명은 상기 스토커의 센서 테스트 장치를 이용한 스토커의 센서 테스트 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 스토커의 센서 테스트 장치는, 선반에 놓여지는 캐리어를 감지하는 감지 센서를 장착하기 위한 제1 장착부와, 상기 선반으로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하는 유량 센서를 장착하기 위한 제2 장착부와, 상기 유량 센서의 테스트를 위해 상기 제2 장착부에 장착되는 상기 유량 센서로 상기 질소 가스를 공급하기 위한 배관과, 상기 배관에 구비되며, 상기 배관으로 공급되는 상기 질소 가스의 유량을 측정하는 기준 유량 센서 및 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 기준 유량 센서와 전기적으로 연결되며, 상기 감지 센서의 이상 여부 및 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하기 위한 제어 모듈을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 모듈은 상기 기준 유량 센서의 기준 유량 측정값과 한 쌍이 구비되는 상기 유량 센서들의 유량 측정값들을 비교하여 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커의 센서 테스트 장치는, 상기 유량 센서와 상기 기준 유량 센서 사이의 상기 배관에 구비되며, 상기 질소 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 밸브를 장착하기 위한 제3 장착부 및 상기 제3 장착부에 구비되는 상기 유량 밸브의 개폐 정도를 감지하며, 상기 제어 모듈과 전기적으로 연결되는 밸브 센서를 더 포함하고, 상기 제어 모듈은 상기 밸브 센서에서 측정된 상기 유량 밸브의 개폐 정도와 상기 유량 센서의 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 밸브의 이상 여부를 확인할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 모듈은 상기 유량 센서 및 상기 기준 유량 센서의 초기 값을 설정할 수 있다.
본 발명에 따른 스토커의 센서 테스트 방법은, 제1 장착부에 선반에 놓여지는 캐리어를 감지하는 감지 센서를 장착하고, 제2 장착부에 상기 선반으로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하는 유량 센서를 장착하고, 제3 장착부에 상기 질소 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 밸브를 장착하는 단계와, 상기 감지 센서를 눌러 상기 감지 센서의 이상 여부를 확인하는 단계와, 상기 감지 센서가 정상인 경우, 상기 감지 센서가 눌려진 상태에서 상기 제2 장착부에 장착되는 상기 유량 센서로 배관을 통해 상기 질소 가스를 공급하는 단계 및 상기 배관에 구비된 기준 유량 센서의 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서의 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커의 센서 테스트 방법은, 상기 감지 센서의 이상 여부를 확인하는 단계 이전에, 상기 유량 센서 및 상기 기준 유량 센서의 초기 값을 설정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커의 센서 테스트 방법은, 상기 유량 센서가 정상인 경우 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하는 단계 이후에, 상기 제3 장착부에 구비되는 상기 유량 밸브의 개폐 정도를 조절하는 단계 및 밸브 센서에서 측정되는 상기 유량 밸브의 개폐 정도와 상기 유량 센서의 상기 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 밸브의 이상 여부를 확인하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법을 이용하여 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브를 상기 스토커에 장착하기 전에 테스트할 수 있다. 따라서, 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브의 이상 여부를 신속하고 안정적으로 확인할 수 있고, 상기 유량 센서의 초기 값을 용이하게 설정할 수 있다. 또한, 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브의 이상 발생시 즉시 교체가 가능하므로, 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브의 교체에 소요되는 시간과 노력을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커의 센서 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커의 센서 테스트 장치를 이용한 스토커의 센서 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커의 센서 테스트 장치를 이용한 스토커의 센서 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커의 센서 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 스토커의 센서 테스트 장치(100)는 스토커의 선반들에 구비되는 감지 센서(10), 유량 센서(20) 및 유량 밸브(30)를 이상 여부를 확인하고, 상기 유량 센서(20)의 초기 값을 설정하는 테스트를 수행하기 위한 것으로, 제1 장착부(110), 제2 장착부(120), 배관(130), 기준 유량 센서(140), 제3 장착부(150), 밸브 센서(160) 및 제어 모듈(170)을 포함할 수 있다.
상기 감지 센서(10)는 상기 선반들에 놓여지는 캐리어를 감지하기 위한 것이고, 상기 유량 센서(20)는 상기 선반들로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하기 위한 것이고, 상기 유량 밸브(30)는 상기 선반들로 공급되는 상기 질소 가스의 유량을 조절하기 위한 것이다.
상기 제1 장착부(110)에는 테스트를 위해 상기 감지 센서(10)가 장착될 수 있다. 상기 제1 장착부(110)는 한 쌍이 구비될 수 있다.
상기 제2 장착부(120)에는 테스트를 위해 상기 유량 센서(20)가 장착될 수 있다. 상기 제2 장착부(120)에는 한 쌍의 유량 센서(20)가 장착될 수 있다.
상기 배관(130)은 상기 유량 센서(20)의 테스트를 위해 상기 제2 장착부(120)에 장착되는 상기 유량 센서(20)로 상기 질소 가스를 공급한다. 일 예로, 상기 제2 장착부(120)는 상기 배관(130)의 일단부에 배치될 수 있다.
상기 기준 유량 센서(140)는 상기 배관(130)에 구비되며, 상기 배관(130)으로 공급되는 상기 질소 가스의 유량을 측정한다. 일 예로, 상기 기준 유량 센서(140)는 상기 일단부와 반대되는 상기 배관(130)의 타단부에 배치될 수 있다.
상기 제3 장착부(150)는 상기 유량 센서(20)와 상기 기준 유량 센서(140) 사이의 상기 배관(130)에 구비되며, 상기 유량 밸브(30)를 장착할 수 있다.
상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)가 각각 상기 제1 장착부(110), 상기 제2 장착부(120) 및 상기 제3 장착부(150)에 장착되므로, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 교체가 편리하다. 따라서, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)를 신속하게 테스트할 수 있다.
상기 밸브 센서(160)는 상기 제3 장착부(150)에 장착되는 상기 유량 밸브(30)의 개폐 정도를 감지할 수 있다.
상기 제어 모듈(170)은 상기 제1 장착부(110)에 장착되는 상기 감지 센서(10), 상기 제2 장착부(120)에 장착되는 상기 유량 센서(20) 및 상기 제3 장착부(150)에 장착되는 상기 유량 밸브(30)와 각각 전기적으로 연결되며, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 이상 여부를 확인할 수 있다.
구체적으로, 작업자가 상기 감지 센서(10)를 누르면, 상기 제어 모듈(170)이 상기 감지 센서(10)의 작동 여부를 확인한다. 상기 감지 센서(10)를 누른 상태에서 상기 제어 모듈(170)에서 상기 감지 센서(10)의 동작을 확인하면, 상기 제어 모듈(170)은 상기 감지 센서(10)를 정상으로 판단한다. 상기 감지 센서(10)를 누른 상태에서 상기 제어 모듈(170)에서 상기 감지 센서(10)의 동작을 확인하지 못하면, 상기 제어 모듈(170)은 상기 감지 센서(10)를 이상으로 판단한다. 따라서, 상기 감지 센서(10)의 이상 여부를 확인할 수 있다.
상기 제어 모듈(170)은 상기 기준 유량 센서(140)에서 측정되는 상기 질소 가스의 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서(20)에서 측정되는 상기 질소 가스의 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 센서(20)의 이상 여부를 확인할 수 있다.
상기 정상인 감지 센서(10)를 누르고, 상기 유량 밸브(30)를 완전히 개방한 상태에서 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값이 동일한 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서(20)를 정상으로 판단한다. 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값이 다른 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서(20)를 이상으로 판단한다.
또한, 상기 유량 센서(20)가 한 쌍이 구비되는 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서들(20)의 상기 유량 측정값들을 비교하여 상기 유량 센서들(20)의 이상 여부를 확인할 수 있다.
상기 정상인 감지 센서(10)를 누르고, 상기 유량 밸브(30)를 완전히 개방한 상태에서 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서들(20)의 상기 유량 측정값이 동일한 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서들(20)을 정상으로 판단한다. 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서들(20)의 상기 유량 측정값이 다른 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서들(20) 중 상기 유량 측정값이 상기 기준 유량 측정값과 다른 유량 센서(20)를 이상으로 판단한다.
상기 제어 모듈(170)은 상기 밸브 센서(160)에서 측정된 상기 유량 밸브(30)의 개폐 정도와 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 밸브(30)의 이상 여부를 확인할 수 있다.
상기 유량 밸브(30)의 개폐 비율과 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값에 대한 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값의 비율이 일치하는 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 밸브(30)를 정상으로 판단한다.
상기 유량 밸브(30)의 개폐 비율과 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값에 대한 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값의 비율이 일치하지 않는 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 밸브(30)를 이상으로 판단한다.
따라서, 상기 제어 모듈(170)은 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 이상 여부를 신속하고 정확하게 확인할 수 있다. 또한, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 이상이 있는 경우, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)를 신속하게 교체할 수 있다.
한편, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서(20)의 초기 값을 설정할 수 있다. 이때, 상기 유량 센서(20)의 초기 값은 상기 기준 유량 센서(140)의 초기 값과 동일할 수도 있고 다를 수도 있다. 따라서, 상기 스토커에서 요구되는 상기 유량 센서(20)의 초기 값을 용이하게 설정할 수 있다.
상기 스토커의 센서 테스트 장치(100)는 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)를 상기 스토커에 장착하기 전에 테스트할 수 있다. 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 이상 발생시 즉시 교체가 가능하므로, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 교체에 소요되는 시간과 노력을 절감할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커의 센서 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 먼저, 제1 장착부(110)에 선반에 놓여지는 캐리어를 감지하는 감지 센서(10)를 장착하고, 제2 장착부(120)에 상기 선반으로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하는 유량 센서(20)를 장착하고, 제3 장착부(150)에 상기 질소 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 밸브(30)를 장착한다. (S110)
상기 제1 장착부(110)에는 테스트를 위해 상기 감지 센서(10)가 장착될 수 있다. 상기 제1 장착부(110)는 한 쌍이 구비될 수 있다.
상기 제2 장착부(120)에는 테스트를 위해 상기 유량 센서(20)가 장착될 수 있다. 상기 제2 장착부(120)에는 한 쌍의 유량 센서(20)가 장착될 수 있다.
상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)가 각각 상기 제1 장착부(110), 상기 제2 장착부(120) 및 상기 제3 장착부(150)에 장착되므로, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 교체가 편리하다. 따라서, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)를 신속하게 테스트할 수 있다.
상기 유량 센서(20)의 초기 값을 설정한다. (S120)
상기 유량 센서(20)의 초기 값은 상기 기준 유량 센서(140)의 초기 값과 동일할 수도 있고 다를 수도 있다. 따라서, 상기 스토커에서 요구되는 상기 유량 센서(20)의 초기 값을 용이하게 설정할 수 있다.
이후, 상기 감지 센서(10)를 눌러 상기 감지 센서(20)의 이상 여부를 확인한다. (S130)
구체적으로, 작업자가 상기 감지 센서(10)를 누르면, 상기 제어 모듈(170)이 상기 감지 센서(10)의 작동 여부를 확인한다. 상기 감지 센서(10)를 누른 상태에서 상기 제어 모듈(170)에서 상기 감지 센서(10)의 동작을 확인하면, 상기 제어 모듈(170)은 상기 감지 센서(10)를 정상으로 판단한다. 상기 감지 센서(10)를 누른 상태에서 상기 제어 모듈(170)에서 상기 감지 센서(10)의 동작을 확인하지 못하면, 상기 제어 모듈(170)은 상기 감지 센서(10)를 이상으로 판단한다. 따라서, 상기 감지 센서(10)의 이상 여부를 확인할 수 있다.
다음으로, 상기 정상인 감지 센서(20)가 눌려진 상태에서 상기 제2 장착부(120)에 장착되는 상기 유량 센서(20)로 배관(130)을 통해 상기 질소 가스를 공급한다. (S140)
상기 제어 모듈(170)은 정상인 상기 감지 센서(20)가 눌려지면 상기 배관(130)을 통해 상기 질소 가스를 공급할 수 있다.
이후, 상기 배관(130)에 구비된 상기 기준 유량 센서(140)의 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서(20)의 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 센서(20)의 이상 여부를 확인한다. (S150)
구체적으로, 상기 정상인 감지 센서(10)를 누르고, 상기 유량 밸브(30)를 완전히 개방한 상태에서 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값이 동일한 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서(20)를 정상으로 판단한다. 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값이 다른 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서(20)를 이상으로 판단한다.
또한, 상기 유량 센서(20)가 한 쌍이 구비되는 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서들(20)의 상기 유량 측정값들을 비교하여 상기 유량 센서들(20)의 이상 여부를 확인할 수 있다.
상기 정상인 감지 센서(10)를 누르고, 상기 유량 밸브(30)를 완전히 개방한 상태에서 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서들(20)의 상기 유량 측정값이 동일한 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서들(20)을 정상으로 판단한다. 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서들(20)의 상기 유량 측정값이 다른 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 센서들(20) 중 상기 유량 측정값이 상기 기준 유량 측정값과 다른 유량 센서(20)를 이상으로 판단한다.
상기 유량 센서(20)가 정상인 경우, 상기 제3 장착부(150)에 구비되는 상기 유량 밸브(30)의 개폐 정도를 조절한다. (S160)
상기 밸브 센서(160)로 상기 제3 장착부(150)에 장착되는 상기 유량 밸브(30)의 개폐 정도를 감지할 수 있다.
이후, 상기 밸브 센서(160)에서 측정되는 상기 유량 밸브(30)의 개폐 정도와 상기 유량 센서(20)의 측정값을 비교하여 상기 유량 밸브(30)의 이상 여부를 확인한다. (S170)
구체적으로, 상기 유량 밸브(30)의 개폐 비율과 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값에 대한 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값의 비율이 일치하는 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 밸브(30)를 정상으로 판단한다.
상기 유량 밸브(30)의 개폐 비율과 상기 기준 유량 센서(140)의 상기 기준 유량 측정값에 대한 상기 유량 센서(20)의 상기 유량 측정값의 비율이 일치하지 않는 경우, 상기 제어 모듈(170)은 상기 유량 밸브(30)를 이상으로 판단한다.
따라서, 상기 제어 모듈(170)은 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 이상 여부를 신속하고 정확하게 확인할 수 있다. 또한, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)의 이상이 있는 경우, 상기 감지 센서(10), 상기 유량 센서(20) 및 상기 유량 밸브(30)를 신속하게 교체할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 상기 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법을 이용하여 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브를 상기 스토커에 장착하기 전에 테스트할 수 있다. 따라서, 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브의 이상 여부를 신속하고 안정적으로 확인할 수 있고, 상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 유량 밸브의 교체에 소요되는 시간과 노력을 절감할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스토커의 센서 테스트 장치
110 : 제1 장착부
120 : 제2 장착부 130 : 배관
140 : 기준 유량 센서 150 : 제3 장착부
160 : 밸브 센서 170 : 제어 모듈
10 : 감지 센서 20 : 유량 센서
30 : 유량 밸브
120 : 제2 장착부 130 : 배관
140 : 기준 유량 센서 150 : 제3 장착부
160 : 밸브 센서 170 : 제어 모듈
10 : 감지 센서 20 : 유량 센서
30 : 유량 밸브
Claims (7)
- 선반에 놓여지는 캐리어를 감지하는 감지 센서를 장착하기 위한 제1 장착부;
상기 선반으로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하는 유량 센서를 장착하기 위한 제2 장착부;
상기 유량 센서의 테스트를 위해 상기 제2 장착부에 장착되는 상기 유량 센서로 상기 질소 가스를 공급하기 위한 배관;
상기 배관에 구비되며, 상기 배관으로 공급되는 상기 질소 가스의 유량을 측정하는 기준 유량 센서; 및
상기 감지 센서, 상기 유량 센서 및 상기 기준 유량 센서와 전기적으로 연결되며, 상기 감지 센서의 이상 여부 및 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하기 위한 제어 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커의 센서 테스트 장치. - 제1항에 있어서, 상기 제어 모듈은 상기 기준 유량 센서의 기준 유량 측정값과 한 쌍이 구비되는 상기 유량 센서들의 유량 측정값들을 비교하여 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하는 것을 특징으로 하는 스토커의 센서 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유량 센서와 상기 기준 유량 센서 사이의 상기 배관에 구비되며, 상기 질소 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 밸브를 장착하기 위한 제3 장착부; 및
상기 제3 장착부에 구비되는 상기 유량 밸브의 개폐 정도를 감지하며, 상기 제어 모듈과 전기적으로 연결되는 밸브 센서를 더 포함하고,
상기 제어 모듈은 상기 밸브 센서에서 측정된 상기 유량 밸브의 개폐 정도와 상기 유량 센서의 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 밸브의 이상 여부를 확인하는 것을 특징으로 하는 스토커의 센서 테스트 장치. - 제1항에 있어서, 상기 제어 모듈은 상기 유량 센서 및 상기 기준 유량 센서의 초기 값을 설정하는 것을 특징으로 하는 스토커의 센서 테스트 장치.
- 제1 장착부에 선반에 놓여지는 캐리어를 감지하는 감지 센서를 장착하고, 제2 장착부에 상기 선반으로 공급되는 질소 가스의 유량을 측정하는 유량 센서를 장착하고, 제3 장착부에 상기 질소 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 밸브를 장착하는 단계;
상기 감지 센서를 눌러 상기 감지 센서의 이상 여부를 확인하는 단계;
상기 감지 센서가 정상인 경우, 상기 감지 센서가 눌려진 상태에서 상기 제2 장착부에 장착되는 상기 유량 센서로 배관을 통해 상기 질소 가스를 공급하는 단계; 및
상기 배관에 구비된 기준 유량 센서의 기준 유량 측정값과 상기 유량 센서의 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커의 센서 테스트 방법. - 제5항에 있어서, 상기 감지 센서의 이상 여부를 확인하는 단계 이전에,
상기 유량 센서 및 상기 기준 유량 센서의 초기 값을 설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커의 센서 테스트 방법. - 제5항에 있어서, 상기 유량 센서가 정상인 경우, 상기 유량 센서의 이상 여부를 확인하는 단계 이후에,
상기 제3 장착부에 구비되는 상기 유량 밸브의 개폐 정도를 조절하는 단계; 및
밸브 센서에서 측정되는 상기 유량 밸브의 개폐 정도와 상기 유량 센서의 상기 유량 측정값을 비교하여 상기 유량 밸브의 이상 여부를 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커의 센서 테스트 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190169721A KR102277216B1 (ko) | 2019-12-18 | 2019-12-18 | 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190169721A KR102277216B1 (ko) | 2019-12-18 | 2019-12-18 | 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20210078050A true KR20210078050A (ko) | 2021-06-28 |
| KR102277216B1 KR102277216B1 (ko) | 2021-07-14 |
Family
ID=76607903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020190169721A Active KR102277216B1 (ko) | 2019-12-18 | 2019-12-18 | 스토커의 센서 테스트 장치 및 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102277216B1 (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005267572A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Jfe Steel Kk | 流量制御の異常判定方法及び装置 |
| KR20090086936A (ko) * | 2006-12-05 | 2009-08-14 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유량제어장치의 검정방법 |
| KR20150002481A (ko) * | 2013-06-28 | 2015-01-07 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 |
-
2019
- 2019-12-18 KR KR1020190169721A patent/KR102277216B1/ko active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20191218 |
|
| PA0201 | Request for examination | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
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|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20210625 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
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|
| PR1002 | Payment of registration fee |
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|
| PG1601 | Publication of registration | ||
| PR1001 | Payment of annual fee |
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