KR20210065078A - Array substrate and organic light emitting display device including the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시 장치에 대한 것으로 보다 상세하게는 표시 영역과 비표시 영역을 포함하는 어레이 기판 및 이를 포함하는 표지 장치에 대한 것이다. The present invention relates to an array substrate and a display device including the same, and more particularly, to an array substrate including a display area and a non-display area, and a display device including the same.
액정표시장치(LCD) 또는 유기발광표시장치(OLED)등과 같은 표시 장치는 표시 영역과 표시 영역에 외측에 배치되는 비표시 영역을 포함하는 어레이 기판을 포함할 수 있다. 상기와 같은 표시 장치는 영상을 표시하기 위한 기본 구성 요소로서, 표시 영역 내에 다수의 화소를 포함하고, 각 화소는 독립적인 구동을 위해서 스위칭 소자를 포함한다. A display device such as a liquid crystal display (LCD) or an organic light emitting display (OLED) may include an array substrate including a display area and a non-display area disposed outside the display area. The display device as described above is a basic component for displaying an image, and includes a plurality of pixels in a display area, and each pixel includes a switching element for independent driving.
한편, 어레이 기판은 액정 표시 장치나 유기 발광 표시 장치 등에서 각 화소를 독립적으로 구동하기 위한 회로 기판으로 사용된다. 어레이 기판 상에는 주사 신호를 전달하는 게이트 배선과 화상 신호를 전달하는 데이터 배선, 박막 트랜지스터, 각종 유기 또는 무기 절연막 등이 배치되어 있고, 이 중 박막 트랜지스터는 게이트 배선의 일부인 게이트 전극과 채널을 형성하는 반도체층, 데이터 배선의 일부인 소스 전극과 드레인 전극 등으로 이루어져, 스위칭 소자로서의 역할을 한다. Meanwhile, the array substrate is used as a circuit board for independently driving each pixel in a liquid crystal display device, an organic light emitting display device, or the like. A gate line transmitting a scan signal, a data line transmitting an image signal, a thin film transistor, and various organic or inorganic insulating films are disposed on the array substrate. Among them, the thin film transistor is a semiconductor forming a channel with a gate electrode, which is a part of the gate wiring. It consists of a layer, a source electrode and a drain electrode that are part of the data wiring, and serves as a switching element.
표시 영역의 외측에 배치되는 비표시 영역에는 표시 영역의 게이트 라인 또는 데이터 라인과 연결되는 복수의 배선이 배치된다. 복수의 배선은 다양한 형태로 연장되며 그 일단이 어레이 기판 하부 패드부에 배치된 패드들과 연결될 수 있다. A plurality of wirings connected to gate lines or data lines of the display area are disposed in the non-display area disposed outside the display area. The plurality of wirings may extend in various forms, and one end thereof may be connected to pads disposed in a pad portion of the lower array substrate.
이와 같은 어레이 기판은 그 제조 공정에서부터 다양한 충격에 노출될 수 있다. 구체적으로, 어레이 기판을 운반하거나, 각종 검사 작업 수행 시 어레이 기판에 일정한 충격이 가해질 수 있는데, 이러한 충격에 의해 어레이 기판에는 크랙이 형성될 수 있다. 이러한 크랙은 기판 상에 배치되는 무기 절연막 층을 통하여 성장하거나, 전파되는 경향성을 갖는다. 즉, 예시적으로 비표시 영역의 일부분에 크랙이 발생되면, 이와 같은 크랙은 무기 절연막을 타고 표시 영역까지 전파될 수 있으며, 이로 인해 표시 영역의 신뢰성 불량을 초래할 수 있다. 이러한 문제들을 해결하기 위해, 충격에 강한 어레이 기판의 구조 및 비표시 영역에서 발생한 크랙의 전파를 억제할 수 있는 어레이 기판의 구조에 대한 다양한 기술적 시도가 행해지고 있는 실정이다. Such an array substrate may be exposed to various impacts from the manufacturing process thereof. Specifically, a certain impact may be applied to the array substrate when transporting the array substrate or performing various inspection tasks, and cracks may be formed in the array substrate by such impact. Such cracks have a tendency to grow or propagate through the inorganic insulating film layer disposed on the substrate. That is, for example, when a crack is generated in a portion of the non-display area, the crack may propagate to the display area through the inorganic insulating layer, which may result in poor reliability of the display area. In order to solve these problems, various technical attempts are being made on the structure of the array substrate resistant to impact and the structure of the array substrate capable of suppressing the propagation of cracks generated in the non-display area.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 크랙의 발생을 방지하는 구조를 갖는 어레이 기판을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an array substrate having a structure that prevents the occurrence of cracks.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 발생한 크랙의 전파를 억제하는 구조를 갖는 어레이 기판을 제공하는 것이다. Another object to be solved by the present invention is to provide an array substrate having a structure that suppresses propagation of generated cracks.
발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 크랙의 발생을 방지하는 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an organic light emitting diode display having a structure that prevents cracks from occurring.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 발생한 크랙의 전파를 억제하는 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an organic light emitting diode display having a structure for suppressing propagation of generated cracks.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판은 기판, 기판 상에 배치되는 배리어층, 배리어층 상에 배치되는 버퍼층, 버퍼층 상에 배치되는 제1 절연막, 제1 절연막 상에 배치되는 제2 절연막, 제1 절연막과 제2 절연막 사이에 개재되거나, 제2 절연막 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막을 포함한다.An array substrate according to an embodiment of the present invention for solving the above problems is provided with a substrate, a barrier layer disposed on the substrate, a buffer layer disposed on the barrier layer, a first insulating layer disposed on the buffer layer, and a first insulating layer disposed on the first insulating layer a plurality of wiring patterns interposed between the first insulating film and the second insulating film, or disposed on the second insulating film, spaced apart from each other and extending toward one side of the substrate, a predetermined depth recessed from the upper surface of the second insulating film and a recess pattern at least partially exposing the top surface of the substrate and an organic insulating layer disposed on the second insulating layer and at least partially exposing the top surface of the substrate exposed by the recess pattern.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판은 표시 영역과 상기 표시 영역 외측에 배치되는 비표시 영역을 포함하되, 비표시 영역은 기판, 기판 상에 배치되는 배리어층, 배리어층 상에 배치되는 버퍼층, 버퍼층 상에 배치되는 제1 절연막, 제1 절연막 상에 배치되는 제2 절연막, 제1 절연막과 제2 절연막 사이에 개재되거나, 제2 절연막 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막을 포함한다. An array substrate according to an embodiment of the present invention for solving the above problems includes a display area and a non-display area disposed outside the display area, wherein the non-display area includes a substrate, a barrier layer disposed on the substrate, and a barrier layer a buffer layer disposed on the buffer layer, a first insulating layer disposed on the buffer layer, a second insulating layer disposed on the first insulating layer, interposed between the first insulating layer and the second insulating layer, or disposed on the second insulating layer, the substrate being spaced apart from each other a plurality of wiring patterns extending toward one side of the plurality of wiring patterns, a recess pattern recessed by a predetermined depth from the upper surface of the second insulating film to at least partially expose the upper surface of the substrate, and disposed on the second insulating film, by the recess pattern and an organic insulating layer at least partially exposing the exposed upper surface of the substrate.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 표시 영역과 표시 영역 외측에 배치되는 비표시 영역을 갖는 어레이 기판으로서, 비표시 영역은 기판, 기판 상에 배치되는 배리어층, 배리어층 상에 배치되는 버퍼층, 버퍼층 상에 배치되는 제1 절연막, 제1 절연막 상에 배치되는 제2 절연막, 제1 절연막과 제2 절연막 사이에 개재되거나, 제2 절연막 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막을 포함하는 어레이 기판 및 어레이 기판 상에 배치되는 봉지 부재를 포함한다. An organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment is an array substrate having a display area and a non-display area disposed outside the display area, wherein the non-display area is disposed on a substrate, a barrier layer disposed on the substrate, and the barrier layer a buffer layer, a first insulating film disposed on the buffer layer, a second insulating film disposed on the first insulating film, interposed between the first insulating film and the second insulating film, or disposed on the second insulating film, spaced apart from each other to form one side of the substrate a plurality of wiring patterns extending toward the upper surface, a recess pattern recessed by a predetermined depth from the upper surface of the second insulating film to at least partially expose the upper surface of the substrate; and a plurality of wiring patterns disposed on the second insulating film and exposed by the recess pattern An array substrate including an organic insulating layer at least partially exposing an upper surface of the substrate, and an encapsulation member disposed on the array substrate.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.According to the embodiments of the present invention, there are at least the following effects.
즉, 외부의 충격에 의해 어레이 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다. That is, it is possible to prevent cracks from occurring in the array substrate due to an external impact.
또한, 외부에 충격에 의해 발생한 크랙이 성장하거나, 전파되는 것을 억제할 수 있다. In addition, it is possible to suppress the growth or propagation of cracks generated by external impact.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effect according to the present invention is not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이고,
도 2는 도 1의 'A' 부분을 확대한 부분 확대도이며,
도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 도 1의 'B' 부분을 확대한 부분 확대도이고,
도 5는 도 4의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따라 절단한 단면도이며,
도 6은 도 4의 Ⅲ-Ⅲ'라인을 따라 절단한 단면도이고,
도 7은 도 4의 Ⅳ-Ⅳ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 8은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 9는 도 8의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 10은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 11는 도 10의 Ⅴ-Ⅴ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 12은 도 10의 Ⅵ-Ⅵ'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 13은 도 11의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 14는 도 12의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 15는 도 10의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 16은 도 15의 Ⅶ-Ⅶ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 17은 도 6의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 18은 도 7의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 20은 도 19의 Ⅷ-Ⅷ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 22는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이다.
도 23은 도 22의 'C'부분을 확대한 부분 확대도이다.
도 24는 도 23의 Ⅸ-Ⅸ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 25는 도 22의 'D'부분을 확대한 부분 확대도이다.
도 26는 도 25의 Ⅹ-Ⅹ라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 27은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 28은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.1 is a plan view of an array substrate according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a partial enlarged view of part 'A' of Figure 1,
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line I-I' of FIG. 2 .
4 is a partial enlarged view of part 'B' of FIG. 1,
5 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 4;
6 is a cross-sectional view taken along line III-III' of FIG. 4;
7 is a cross-sectional view taken along line IV-IV' of FIG. 4 .
8 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modification of FIG. 4 .
9 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 8 .
FIG. 10 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 4 .
11 is a cross-sectional view taken along line V-V' of FIG. 10 .
12 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of FIG. 10 .
13 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modified example of FIG. 11 .
14 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modified example of FIG. 12 .
15 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 10 .
16 is a cross-sectional view taken along line VII-VII' of FIG. 15 .
17 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 6 .
18 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 7 .
19 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention.
20 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII' of FIG. 19 .
21 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention.
22 is a plan view of an array substrate according to another embodiment of the present invention.
23 is a partially enlarged view of part 'C' of FIG. 22 .
24 is a cross-sectional view taken along line IX-IX' of FIG. 23 .
FIG. 25 is a partially enlarged view of part 'D' of FIG. 22 .
26 is a cross-sectional view taken along line X-X of FIG. 25 .
27 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment.
28 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Reference to an element or layer “on” another element or layer includes any intervening layer or other element directly on or in the middle of the other element or layer. Like reference numerals refer to like elements throughout.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, these elements are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the spirit of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이고, 도 2는 도 1의 'A' 부분을 확대한 부분 확대도이며, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.1 is a plan view of an array substrate according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged partial view of part 'A' of FIG. 1, and FIG. 3 is a view taken along line Ⅰ-I' of FIG. It is a cross section.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판(100)은 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외측에 배치되는 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 1 to 3 , the
표시 영역(DA)은 일방향으로 연장되는 복수개의 게이트 라인(50), 게이트 라인(50)과 교차하는 방향으로 연장되는 복수개의 데이터 라인(60)을 포함할 수 있다. 또한, 복수의 게이트 라인(50)과 데이터 라인(60)에 의해 둘러 쌓인 화소 영역이 정의될 수 있다. 복수의 게이트 라인(50)과 데이터 라인(60)에 의해 정의된 각 화소 영역에는 게이트 라인(50) 및 데이터 라인(60)과 연결된 박막 트랜지스터가 형성될 수 있다. The display area DA may include a plurality of
표시 영역(DA)에 대한 자세한 설명을 위해 도 2 및 도 3이 참조된다. 2 and 3 are referenced for a detailed description of the display area DA.
기판(10)은 판 형상을 갖는 부재로서, 후술하는 다른 구성들을 지지하는 역할을 할 수 있다. 기판(10)은 절연 기판으로서, 유리 또는 플라스틱을 포함하는 고분자 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 기판(10)은 폴리 이미드(Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 기판(10)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The
기판(10)은 경성(rigid) 기판(10)일 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 연성이나 가요성을 갖는 기판(10)일 수 있다. 즉, 본 명세서에서, "기판"이라 함은 구부리거나(bending), 접거나(folding), 마는 것(rolling)이 가능한 플렉서블 기판을 포함하는 개념으로 이해될 수 있다.The
도 2에 도시된 바와 같이, 기판(10)은 단일층 구조를 가질 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 즉, 다른 예시적인 실시예에서 기판(10)은 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다. 다시 말하면, 기판(10)은 베이스층 및 베이스층 상에 배치되는 보호층을 포함할 수 있다. As shown in FIG. 2 , the
베이스 층은 절연 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서 베이스층은 폴리이미드 (Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 베이스 층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 베이스층 상에는 보호층이 배치될 수 있다. 보호층은 유기 물질 또는 무기 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 보호층은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, Polyehtylene terephthalate) 및 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN, Polyethylene naphthalate)에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하여 이루어질 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 보호층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The base layer may be formed of an insulating material. In an exemplary embodiment, the base layer may be formed of poly imide (PI), but the material of the base layer is not limited thereto. A protective layer may be disposed on the base layer. The protective layer may be made of an organic material or an inorganic material. For example, the protective layer may include any one or more selected from polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), but this is exemplary and the material of the protective layer is not limited thereto. .
기판(10) 상에는 배리어층(11)이 배치될 수 있다. 배리어층(11)은 기판(10)으로부터 불순 원소의 침투를 방지하는 역할을 할 수 있다. 예시적인 실시예에서 배리어층(11)은 산화규소(SiOx) 및 질화규소(SiNx)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하여 형성될 수 있으나, 배리어층(11)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 배리어층(11)은 단일막 구조 또는 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다, 배리어층(11)이 두 개의 층을 갖는 예시적인 실시예에서, 두 개의 층은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 층은 산화 규소로 이루어지고, 제2 층은 질화 규소로 이루어질 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 배리어층(11)의 구조가 이에 제한되지는 않는다. A
또한, 다른 예시적인 실시예에서 배리어층(11)은 기판(10)의 재질 또는 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다. Also, in another exemplary embodiment, the
배리어층(11) 상에는 배리어층(11)을 덮는 버퍼층(12)이 배치될 수 있다. 버퍼층(12)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 버퍼층(12)은 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 산화알루미늄(AlOx) 및 산질화규소(SiON)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하여 형성될 수 있으나, 버퍼층(12)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 버퍼층(12)은 단일막 구조 또는 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다, 버퍼층(12)이 두 개의 층을 갖는 예시적인 실시예에서, 두 개의 층은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 층은 산화 규소로 이루어지고, 제2 층은 질화 규소로 이루어질 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 버퍼층(12)의 구조가 이에 제한되지는 않는다. A
반도체층(40)은 비정질 규소 또는 다결정 규소를 포함하여 이루어질 수 있다. 예시적인 실시예에서 반도체층(40)은 비정질 규소를 도포하고 패터닝한 후 이를 결정화하는 방법으로 형성될 수 있으나, 반도체층(40)의 형성 방법이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에서 "반도체층"이라고 지칭되는 것은 산화물 반도체를 포함하는 것으로 이해될 수 있다. The
반도체층(40) 상에는 게이트 절연막(20)이 형성될 수 있다. 게이트 절연막(20)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 게이트 절연막(20)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 게이트 절연막(20)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. A
게이트 절연막(20) 상에는 게이트 라인(50), 게이트 전극(51) 및 게이트 패드(55)를 포함하는 게이트 배선이 배치될 수 있다. 게이트 배선은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하여 형성될 수 있으나, 게이트 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 게이트 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A gate wiring including a
게이트 라인(50)은 앞서 설명한 바와 같이 복수개 배치되며, 서로 평행하도록 일 방향으로 연장될 수 있다. As described above, a plurality of
게이트 배선 상에는 게이트 배선을 덮는 층간 절연막(30)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(30)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 층간 절연막(30)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 층간 절연막(30)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 층간 절연막(30)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 다층막 구조를 갖는 층간 절연막(30)에 대해서는 후술하기로 한다.An interlayer insulating
층간 절연막(30) 상에는 소스 전극(61), 드레인 전극(62) 및 데이터 라인(60)을 포함하는 데이터 배선이 배치될 수 있다. 데이터 배선은 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있으나, 데이터 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 데이터 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A data line including a
데이터 라인(60)은 데이터 신호를 전달하며, 게이트 라인(50)과 교차하도록 배치될 수 있다. 즉, 예시적인 실시예에서 게이트 라인(50)은 가로 방향으로 연장되고, 데이터 라인(60)은 이와 교차하도록 세로 방향으로 연장될 수 있다. The
도 2에서는 데이터 라인(60) 및 게이트 라인(50)이 일직선 형상인 경우를 예시하였으나, 예시적인 실시예에서 데이터 라인(60) 및 게이트 라인(50)은 절곡부를 포함할 수도 있다. 다만, 이는 당업자에게 자명한 것으로 본 발명의 범위가 모호해지는 것을 막기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다. 2 illustrates a case in which the
소스 전극(61)은 데이터 라인(60)의 일부로서 데이터 라인(60)과 동일선 상에 배치될 수 있다. 드레인 전극(62)은 소스 전극(61)과 나란하게 뻗도록 형성될 수 있으며, 이 경우, 드레인 전극(62)은 데이터 라인(60)의 일부와 나란할 수 있다. The
게이트 전극(51), 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62))은 반도체층(40)과 함께 하나의 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(61)과 드레인 전극(62) 사이의 반도체층(40)에서 형성될 수 있다. The
데이터 배선 상에는 데이터 배선 및 층간 절연막(30)을 덮는 평탄화막(70)이 배치될 수 있다. 평탄화막(70)의 두께는 층간 절연막(30)에 비해 상대적으로 두꺼울 수 있다. 이러한, 두께차로 인하여, 평탄화막(70)의 상면은 층간 절연막(30) 및 소스/드레인 전극(62)과 접하는 하면에 비해 상대적으로 평탄할 수 있다. 평탄화막(70)은 기판(10) 상의 단차를 완화하기 위해 예컨대, 아크릴, BCB(Benzocyclicbutene) 및 폴리이미드로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 평탄화막(70)은 감광이 가능한 물질로 이루어질 수 있다. A
평탄화막(70)에는 드레인 전극(62)을 적어도 부분적으로 노출시키는 제1 콘택홀(71)이 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 콘택홀(71)은 평탄화막(70)을 관통하며, 드레인 전극(62)의 상면을 부분적으로 노출시킬 수 있다. A
평탄화막(70) 및 노출된 드레인 전극(62) 상에는 제1 전극(80)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 전극(80)이 평탄화막(70), 제1 콘택홀의 측벽 및 드레인 전극(62)의 상면을 덮도록 배치될 수 있으며, 이에 의해 제1 전극(80)과 드레인 전극(62)이 전기적으로 연결될 수 있다. 예시적인 실시예에서 제1 전극(80)은 애노드(Anode)전극일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 제1 전극(80)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide, IZO) 등으로 이루어질 수 있으나, 제1 전극(80)의 재질이 이에 제한되지는 않는다. 제1 전극(80) 상에는 화소 정의막, 유기층 및 제2 전극이 배치될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다. A
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 비표시 영역(NDA)에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, the non-display area NDA of the array substrate according to an embodiment of the present invention will be described.
다시 도 1을 참조하면, 표시 영역(DA)의 외측에 배치되는 비표시 영역(NDA)에는 스캔 드라이버(200), 에미션 드라이버(300), 및 스캔 드라이버(200), 에미션 드라이버(300) 또는 표시 영역(DA)과 연결되는 복수개의 배선 패턴이 배치될 수 있다. 배선 패턴은 스캔 드라이버(200), 에미션 드라이버(300) 또는 표시 영역(DA)으로부터 연장되는 배선 라인부(401)와 배선 라인부(401)의 일단부에 배치되며, 타단이 배선 라인부(401)보다 넓은 폭을 갖는 배선 패드부(402)를 포함할 수 있다. 배선 패턴의 구조에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다. Referring back to FIG. 1 , the non-display area NDA disposed outside the display area DA includes a
비표시 영역(NDA)에 대한 보다 구체적인 설명을 위해, 도 4 내지 도 7이 참조된다.For a more detailed description of the non-display area NDA, reference is made to FIGS. 4 to 7 .
도 4는 도 1의 'B' 부분을 확대한 부분 확대도이고, 도 5는 도 4의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따라 절단한 단면도이며, 도 6은 도 4의 Ⅲ-Ⅲ'라인을 따라 절단한 단면도이고, 도 7은 도 4의 Ⅳ-Ⅳ' 라인을 따라 절단한 단면도이다. 4 is a partially enlarged view of part 'B' of FIG. 1 , FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 4 , and FIG. 6 is a cross-sectional view cut along line Ⅲ-III' of FIG. 4 . It is a cross-sectional view, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line IV-IV' of FIG. 4 .
도 4 내지 도 7을 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 비표시 영역(NDA)은 기판(10), 기판(10) 상에 배치되는 배리어층(11), 배리어층(11) 상에 배치되는 버퍼층(12), 버퍼층(12) 상에 배치되는 제1 절연막(25), 제1 절연막(25) 상에 배치되는 제2 절연막(35),제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막(35) 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막(75)을 포함한다. 4 to 7 , the non-display area NDA of the array substrate according to an embodiment of the present invention includes a
기판(10), 배리어층(11) 및 버퍼층(12)에 대한 것은 앞서 도 1 내지 도 3에서 설명한 바와 실질적으로 동일할 수 있으므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.Since the
버퍼층(12) 상에는 제1 절연막(25)이 배치될 수 있다. 제1 절연막(25)은 무기 물질로 형성된 무기 절연막일 수 있다. 제1 절연막(25)은 예컨대, 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함하여 형성될 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 제1 절연막(25)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. A first insulating
예시적인 실시예에서 제1 절연막(25)은 표시 영역(DA)의 게이트 절연막(20)과 실질적으로 동일한 물질로 형성될 수 있다. 다시 말하면, 비표시 영역(NDA)의 제1 절연막(25)은 표시 영역(DA)의 게이트 절연막(20)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 비표시 영역(NDA)의 제1 절연막(25)과 표시 영역(DA)의 게이트 절연막(20)이 각각 별개의 구성으로서 독립적으로 형성될 수도 있다. In an exemplary embodiment, the first insulating
제1 절연막(25) 상에는 제2 절연막(35)이 배치될 수 있다. 제2 절연막(35)은 제1 절연막(25)과 마찬가지로 무기 물질로 형성된 무기 절연막일 수 있다. 제2 절연막(35)도 제1 절연막(25)과 같이 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함하여 형성될 수 있다. 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35)은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35)은 서로 동일한 물질로 형성될 수도 있다. 예시적인 실시예에서 제2 절연막은 표시 영역의 층간 절연막과 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 제2 절연막은 표시 영역의 층간 절연막과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 표시 영역의 층간 절연막과 비표시 영역의 제2 절연막은 독립한 별개의 구성으로서, 각각 독립적으로 형성될 수도 있다. A second insulating
제1 절연막(25) 또는 제2 절연막(35) 상에는 배선 패턴이 배치될 수 있다. 다시 말하면, 배선 패턴은 제1 절연막(25) 상에 배치되어, 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 배치될 수 있다. 또한, 예시적인 실시예에서 배선 패턴의 일부는 제1 절연막(25) 상에 형성되고, 잔부는 제2 절연막(35) 상에 형성될 수도 있다.A wiring pattern may be disposed on the first insulating
배선 패턴은 표시 영역(DA), 스캔 드라이버(200) 또는 에미션 드라이버(300)와 연결되어, 신호를 전달하거나, 전달 받는 역할을 할 수 있다. 이를 위해 배선 패턴은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하여 형성될 수 있으나, 배선 패턴의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 도전체는 배선 패턴을 형성하는데 사용될 수 있다. The wiring pattern may be connected to the display area DA, the
예시적인 실시예에서, 배선 패턴은 배선 라인부(401), 배선 패드부(402) 및 배선 접속부(403)를 포함할 수 있다. In an exemplary embodiment, the wiring pattern may include a
*배선 라인부(401)는 표시 영역(DA), 스캔 드라이버(200) 또는 에미션 드라이버(300)와 전기적으로 연결되며, 표시 영역(DA), 스캔 드라이버(200) 또는 에미션 드라이버(300)로부터 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성될 수 있다. 배선 라인부(401)는 일정 간격 이격되어 복수개 배치될 수 있으며, 각 배선 라인부(401)는 일직선으로 연장되거나, 적어도 하나 이상의 절곡부를 가지며 기판(10)의 일측을 향해 연장될 수 있다. * The
예시적인 실시예에서 배선 라인부(401)는 제1 절연막(25) 상에 배치될 수 있다. 즉, 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 배선 라인부(401)가 개재될 수 있다. 배선 라인부(401)는 표시 영역(DA)의 게이트 배선과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 다시 말하면, 배선 라인부(401)는 표시 영역(DA)의 게이트 배선과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 비표시 영역(NDA)의 배선 라인부(401)와 표시 영역(DA)의 게이트 배선은 각각 독립적으로 형성될 수도 있다. In an exemplary embodiment, the
배선 라인부(401)의 일단은 후술하는 배선 패드부(402)의 타단과 부분적으로 중첩될 수 있다. One end of the
배선 패드부(402)는 배선 라인부(401)의 일단과 전기적으로 연결되며, 배선 라인부(401)의 일단으로부터 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성될 수 있다. 배선 패드부(402)는 복수개 배치될 수 있으며, 각 배선 패드부(402)는 상기 기판(10)의 일측변을 따라 정렬되어 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 연장된 배선 패드부(402)의 일단은 기판(10)의 일측변과 접할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 배선 패드부(402) 타단의 폭은 배선 라인부(401)의 폭보다 상대적으로 클 수 있다. 배선 패드부(402)에는 기판(10)의 성능 검사 등을 위한 검사 장치 또는 인쇄회로기판(10)과 연결된 연성회로기판(10)(Flexible Printed Circuit, FPC) 등의 외부 회로 모듈이 연결될 수 있는데, 배선 패드부(402)가 배선 라인부(401)에 비해 넓은 폭을 갖는 경우, 회로 모듈과의 전기적 접촉이 보다 용이하게 이루어질 수 있다. The
예시적인 실시예에서 배선 패드부(402)는 제2 절연막(35) 상에 배치될 수 있다. 즉, 배선 패드부(402)는 배선 라인부(401)와 서로 상이한 레벨을 갖도록 배치될 수 있다. 다시 말하면, 배선 패드부(402)와 배선 라인부(401)는 서로 다른 층에 배치될 수 있다. In an exemplary embodiment, the
배선 라인부(401) 배선 패드부(402)는 전기적으로 연결될 수 있다. 구체적으로 배선 라인부(401)의 일단과 배선 패드부(402)의 타단이 전기적으로 연결될 수 있다. 배선 라인부(401)가 제1 절연막(25) 상에 배치되고, 배선 패드부(402)가 제2 절연막(35) 상에 배치되는 예시적인 실시예에서, 배선 패드부(402)와 배선 라인부(401)는 배선 접속부(403)를 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 배선 접속부(403)에 대한 구체적인 설명을 위해 도 5가 참조된다. The
도 5를 참조하면, 배선 라인부(401) 상에 제2 절연막(35)이 배치되되, 제2 절연막(35)이 배선 라인부(401)를 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 즉, 배선 패드부(402)가 제2 절연막(35)에 의해 노출된 배선 라인부(401) 상에 배치됨으로써, 배선 패드부(402)와 배선 라인부(401)가 전기적으로 연결될 수 있다. Referring to FIG. 5 , a second insulating
복수개의 배선 패턴과 인접하도록, 적어도 하나의 리세스 패턴(500)이 배치될 수 있다. 리세스 패턴(500)은 제2 절연막(35) 상면으로부터 일정 간격 리세스되어 형성될 수 있다. 제2 절연막(35) 상면으로부터 일정 간격 리세스되어 형성되는 리세스 패턴(500)은 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출할 수 있다. 바꾸어 말하면, 리세스 패턴(500)의 바닥면은 적어도 부분적으로 기판(10)의 상면을 포함할 수 있다. At least one
바꾸어 설명하면, 리세스 패턴(500)은 배리어층(11), 버퍼층(12), 제1 절연막(25), 제2 절연막(35)을 관통하여, 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 즉, 예시적인 실시예에서, 리세스 패턴(500)의 바닥면은 기판(10)의 상면으로 이루어지고, 리세스 패턴(500)의 측벽은 배리어층(11), 버퍼층(12), 제1 절연막(25), 및 제2 절연막(35)의 내측면으로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 제2 절연막(35)과 기판(10) 사이에 중간층이 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 또 다른 층이 배치되는 경우, 리세스 패턴(500)의 측벽은 중간층의 내측면 및 제2 절연막(35) 상에 배치되는 또 다른 층의 내측면을 포함하여 이루어질 수도 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.In other words, the
예시적인 실시예에서 적어도 하나의 리세스 패턴(500)은 배선 라인부(401)와 인접하게 또는 하나의 배선 라인부와 다른 배선 라인부 사이에 배치될 수 있다. In an exemplary embodiment, the at least one
도 4 및 도 6에서는 리세스 패턴(500)이 배선 라인부(401)와 인접하되, 배선 라인부(401)로부터 일정 간격 이격되어 있는 것을 예시하고 있으나, 이에 제한되지 않으며, 리세스 패턴(500)은 적어도 부분적으로 배선 라인부(401)와 접하도록 형성될 수도 있다. 4 and 6 illustrate that the
이와 같이, 기판(10) 상에 적어도 하나 이상의 무기 절연막을 관통하는 리세스 패턴(500)이 형성되는 경우, 어레이 기판의 제조 공정, 검사 공정 및 운반 공정 등에서 가해진 충격에 의해 발생되는 크랙의 전파가 억제될 수 있다. 즉, 각종 충격에 의해 발생한 크랙은 기판(10)의 무기 절연막을 통해 성장하거나, 전파되는 경향성을 갖는데, 상술한 바와 같이 무기 절연막을 제거한 리세스 패턴(500)을 배치하는 경우, 리세스 패턴(500)이 크랙이 진행하는 경로를 차단하여, 크랙이 전파되는 것을 억제할 수 있다. 즉, 비표시 영역(NDA)에서 발생한 크랙이 성장하여, 표시 영역(DA)까지 도달하는 것을 차단할 수 있다. 바꾸어 말하면, 리세스 패턴(500)은 크랙 스토퍼(Crack Stopper)의 역할을 할 수 있다. As described above, when the
제2 절연막(35) 상에는 유기 절연막(75)이 배치될 수 있다. 유기 절연막(75)은 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예시적으로 유기 절연막(75)는 아크릴, BCB(Benzocyclicbutene) 및 폴리이미드로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 유기 절연막(75)은 감광이 가능한 물질로 이루어질 수 있다. . An organic insulating
배선 라인부(401)가 형성되는 영역에서 제2 절연막(35) 상에 배치되는 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(500)을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. (도 6 참조) 즉, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(500)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 바꾸어 말하면, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(500)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면의 전부 또는 일부를 노출시킬 수 있다. The organic insulating
배선 패드부(402)가 배치되는 영역에서 유기 절연막(75)은 제2 절연막(35) 및 제2 절연막(35) 상에 배치되는 배선 패드부(402)의 일부를 덮을 수 있다. (도 7 참조) 즉, 유기 절연막(75)은 배선 패드부(402)의 일부를 노출시킬 수 있다. 다시 말하면, 유기 절연막(75)은 유기 절연막(75)을 관통하여 배선 패드부(402)의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 콘택부(72)를 포함할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 배선 패드부(402)에는 기판(10)의 성능을 검사하기 위한 각종 검사 장치 또는 인쇄회로기판(10)과 연결된 연성회로기판(10)(Flexible Printed Circuit, FPC)등이 접속될 수 있다. 즉, 콘택부는 배선 패드부(402)를 노출시킴으로써, 상기한 장치 등과 배선 패드부(402)가 접속되도록 유도할 수 있다. In the region where the
예시적인 실시예에서 유기 절연막(75)은 표시 영역(DA)의 평탄화막(70)과 실질적으로 동일한 물질로 형성될 수 있다. 바꾸어 말하면, 유기 절연막(75)은 표시 영역(DA)에서 평탄화막 (70)을 형성함과 동시에 형성할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 표시 영역(DA)의 평탄화막(70)과 비표시 영역(NDA)의 유기 절연막(75)은 각각 별개의 구성으로서, 각자가 독립적으로 형성될 수도 있다. In an exemplary embodiment, the organic insulating
이하, 본 발명의 다른 실시예들에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서 이미 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 번호로서 지칭하며, 중복 설명은 생략하거나 간략화하기로 한다.Hereinafter, other embodiments of the present invention will be described. In the following embodiments, the same components as those already described are referred to by the same reference numerals, and duplicate descriptions will be omitted or simplified.
도 8은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 8을 참조하면, 본 발명의 변형예에 따른 어레이 기판은 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에 복수개의 리세스 패턴(507)이 형성되는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 8 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modification of FIG. 4 . Referring to FIG. 8 , the array substrate according to the modified example of the present invention is different from the embodiment of FIG. 4 in that a plurality of
하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에는 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(507)이 배치될 수 있다. 도 8은 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에 3 개의 리세스 패턴(507)이 일렬로 정렬되어 배치되는 것을 예시하고 있으나, 리세스 패턴(507)의 개수와 배열은 이에 제한되지 않는다. 즉, 리세스 패턴(507)은 복수개 일 수 있으며, 복수개의 리세스 패턴(507)은 일렬로 정렬되거나 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배열될 수도 있다. 이에 대해서는 후술한다.At least one
도 9는 도 8의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 9를 참조하면, 본 발명의 변형예에 따른 어레이 기판은 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에 복수개의 리세스 패턴(508)이 배치되되, 복수개의 리세스 패턴(508)이 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배열된 점이 도 8의 변형예와 다른 점이다. 9 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 8 . Referring to FIG. 9 , in an array substrate according to a modified example of the present invention, a plurality of
앞서 설명한 바와 같이 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에는 복수개의 리세스 패턴(508)이 배치될 수 있다. 복수개의 리세스 패턴(508)은 일렬로 정렬되거나 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 도 9는 복수개의 리세스 패턴(508)이 3행 곱하기 2열 형태인 것을 예시하나, 이는 예시적인 것으로, 리세스 패턴(508)의 배열 형상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 행의 수와 열의 수는 2보다 크거나 같을 수 있다. 또한, 도 9는 복수개의 리세스 패턴(508)이 규칙적으로 배열된 것을 예시하나, 이에 제한되는 것은 아니며, 복수개의 리세스 패턴(508)은 불규칙적으로 산개하여 배치될 수도 있다. As described above, a plurality of
도 10은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이고, 도 11는 도 10의 Ⅴ-Ⅴ' 라인을 따라 절단한 단면도이며, 도 12은 도 10의 Ⅵ-Ⅵ'라인을 따라 절단한 단면도이다. 10 is a partially enlarged view of the array substrate according to the modified example of FIG. 4 , FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line V-V' of FIG. 10, and FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of FIG. 10 . It is one cross section.
도 10 내지 도 12을 참조하면, 도 4의 변형예예에 따른 어레이 기판은 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)이 배선 패드부(402) 사이까지 연장되어 형성되는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 10 to 12 , in the array substrate according to the modified example of FIG. 4 , a
한 배선 라인부(401)와 다른 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)은 한 배선 라인부와 연결된 배선 패드부와 다른 배선 라인부와 연결된 배선 패드부 사이까지 연장될 수 있다. 즉, 서로 인접하는 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)은 기판(10)의 일측을 향해 연장될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 배선 패드부(402)의 폭은 배선 라인부(401)의 폭에 비해 상대적으로 클 수 있다. 이에 따라, 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)의 폭(d1)에 비해 배선 패드부(402) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)의 폭(d2)이 상대적으로 작을 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)과 배선 패드부(402) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)의 폭은 실질적으로 동일할 수도 있다. The
도 13은 도 11의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이고, 도 14는 도 12의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이다. 13 is a cross-sectional view of the array substrate according to the modified example of FIG. 11 , and FIG. 14 is a cross-sectional view of the array substrate according to the modified example of FIG. 12 .
도 13 및 도 14를 참조하면, 제2 절연막(35) 상에 배치되는 유기 절연막(75)이 리세스 패턴(501)에 의해 노출된 기판(10)을 덮는 점이 도 11 및 도 12의 실시예와 다른 점이다.13 and 14 , the organic insulating
앞서 설명한 바와 같이 제2 절연막(35) 상에는 유기 절연막(75)이 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(501)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면을 완전하게 덮을 수 있다.즉, 유기 절연막(75)은 제2 절연막(35), 리세스 패턴(500)의 측벽 및 리세스 패턴(500)의 바닥면을 덮을 수 있다. 도 11 및 도 12는 유기 절연막(75)이 리세스 패턴(501)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면 을 완전하게 덮는 것을 예시하고 있지만, 이에 제한되는 것은 아니며, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(501)에 의해 노출되는 기판(10) 상면의 전부 또는 일부를 노출시킬 수 있다. 유기 절연막(75)에 배선 패드부(402)를 적어도 부분적으로 노출시키는 콘택부(72)가 형성될 수 있음은 앞서, 도 7에서 설명한 바와 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.As described above, the organic insulating
도 15는 도 10의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 16은 도 15의 Ⅶ-Ⅶ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.15 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 10 . 16 is a cross-sectional view taken along line VII-VII' of FIG. 15 .
도 15 및 도 16을 참조하면, 도 10의 변형예에 따른 어레이 기판은 배선 패드부(402)의 내측에 배치되며, 배선 패드부(402)를 관통하여 기판(10)의 상면을 노출시키는 리세스 홈(502)을 더 포함하는 점이 도 8과 다른 점이다. 15 and 16 , the array substrate according to the modified example of FIG. 10 is disposed inside the
배선 패드부(402)의 내측에는 리세스 홈(502)이 배치될 수 있다. 구체적으로 리세스 홈(502)은 배선 패드부(402)의 외주의 내측에 배치될 수 있다. A
리세스 홈(502)은 배선 패드부(402), 제2 절연막(35), 제1 절연막(25), 버퍼층(12) 및 배리어층(11)을 순차적으로 관통하여 기판(10)의 상면을 노출시킬 수 있다. 즉, 리세스 홈(502)의 바닥면은 기판(10)의 상면을 포함하고, 리세스 홈(502)의 측벽은 배선 패드부(402), 제2 절연막(35), 제1 절연막(25), 버퍼층(12) 및 배리어층(11)의 내측면을 포함할 수 있다.The
앞서 설명한 바와 같이 제2 절연막(35) 및 배선 패드부(402) 상에는 유기 절연막(75)이 배치될 수 있다. 도 16은 유기 절연막(75)이 제2 절연막(35), 배선 패드부(402) 및 리세스 홈(502)에 의해 노출된 기판(10)의 상면을 전부 노출시키는 것을 예시하고 있지만, 상술한 바와 같이 이에 제한되는 것은 아니며, 유기 절연막(75)은 리세스 홈(502)에 의해 노출된 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 덮을 수도 있다. 배선 패드부(402)에 배선 패드부(402)를 관통하여 기판(10)의 상면을 노출시키는 리세스 홈(502)이 배치되는 경우, 배선 패드부(402)에 기판(10) 검사 장치나 FPC 등이 접속되거나, 접속 해제 시 배선 패드부(402)에 가해지는 충격에 의해 발생한 크랙이 배선 패드부(402) 또는 배선 패드부(402) 하부에 배치되는 무기 절연막을 통해 표시 영역(DA)으로 전파되는 것을 차단할 수 있다. As described above, the organic insulating
도 17은 도 6의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다. 도 18은 도 7의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다. 17 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 6 . 18 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 7 .
도 17 및 도 18을 참조하면, 도 6 및 도 7의 변형예에 따른 어레이 기판은 제2 절연막(35)이 제1 서브 절연막(31) 및 제2 서브 절연막(32)을 포함하는 점이 도 6 및 도 7의 실시예와 다른 점이다. Referring to FIGS. 17 and 18 , in the array substrate according to the modified example of FIGS. 6 and 7 , the second insulating
앞서 설명한 바와 같이, 제2 절연막(35)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 적어도 두개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 설명의 편의상, 제1 절연막(25)을 덮는 절연막을 제1 서브 절연막(31), 제1 서브 절연막(31)을 덮는 절연막을 제2 서브 절연막(32)으로 지칭하기로 한다. As described above, the second insulating
제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)은 무기 재질로 이루어진 무기 절연막일 수 있다. 예컨대, 제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)은 산화규소 및 질화규소에서 선택된 하나 이상을 포함할 수 있으나, 제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)의 재질이 이에 제한되지 않는다. 제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)은 서로 상이한 물질로 이루어질 수 있다.The first
제2 절연막(35)이 다층막 구조를 갖는 것은 표시 영역(DA)의 구조에 기인할 수 있다. 구체적으로, 도면에 도시하지는 않았지만, 표시 영역(DA)에는 박막 트랜지스터와 인접하게 스토리지 캐패시터가 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 스토리지 캐패시터는 게이트 절연막(20) 상에 배치되는 제1 게이트 메탈, 제1 게이트 메탈 상에 배치되는 제1 서브 절연막(31), 제1 서브 절연막(31) 상에 배치되는 제2 서브 절연막(32) 및 제2 서브 절연막(32) 상에 배치되는 제2 게이트 메탈을 포함할 수 있다. 또한, 이 같은 스토리지 캐패시터에 대응하여, 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극(62)은 제2 서브 절연막(32) 상에 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 표시 영역(DA)의 구체적인 구조가 이에 제한되지 않음은 물론이다.The fact that the second insulating
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 20은 도 19의 Ⅷ-Ⅷ'선을 따라 절단한 단면도이다. 19 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention. 20 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII' of FIG. 19 .
도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 배선 라인부(411)가 기판(10)의 일측을 향해 연장되되, 지그 재그 형상을 갖는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 19 and 20 , in the array substrate according to another embodiment of the present invention, the
배선 라인부(411)는 적어도 하나 이상의 절곡부를 가질 수 있다. 예시적인 실시예에서 배선 라인부(411)는 지그 재그 형상을 가지며, 기판(10)의 일측을 향해 연장될 수 있다. 설명의 편의상 기판(10)의 일측을 향하는 방향을 제1 방향으로 정의하기로 한다. 또한, 제1 방향과 수직한 방향을 제2 방향, 제2 방향과 반대 방향을 제3 방향으로 지칭하기로 한다.The
도 19에 도시된 바와 같이, 제1 방향으로 연장되는 배선 라인부(411)는 제2 방향으로 일정 간격 연장되고, 다시 제1 방향으로 일정 간격 연장된 후에, 제3 방향으로 일정 간격 연장되고, 재차 제1 방향으로 연장될 수 있다. 즉, 제1 방향, 제2 방향, 제1 방향, 제3 방향 및 제1 방향의 순서로 순차적으로 연장될 수 있다. As shown in FIG. 19 , the
예시적인 실시예에서 제2 방향으로 연장된 거리와 제3 방향으로 연장된 거리는 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. In an exemplary embodiment, the distance extending in the second direction and the distance extending in the third direction may be substantially the same, but is not limited thereto.
다시 말하면, 배선 라인부(411)는 제1 방향, 제2 방향, 제1 방향, 제3 방향 및 제1 방향의 순서로 순차적으로 연장되되, 이와 같은 순서를 적어도 한 번 이상 반복하며 연장될 수 있다. In other words, the
상술한 바와 같이 배선 라인부(411)가 제1 방향, 제2 방향, 제1 방향, 제3 방향 및 제1 방향의 순서로 순차적으로 연장되면, 제2 방향, 제1 방향 및 제3 방향 또는 제3 방향, 제1 방향 및 제2 방향으로 연장된 배선 라인부(411)의 내측에는 일정한 공간이 구획될 수 있다. 예시적인 실시예에서 리세스 패턴(503)은 제2 방향, 제1 방향 및 제3 방향 또는 제3 방향, 제1 방향 및 제2 방향으로 연장된 배선 라인부(411)에 의해 구획되는 공간에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 배선 라인부(411)는 각 리세스 패턴(503) 외주와 인접하게 배치되며, 각 리세스 패턴(503) 외주의 일부를 따라 배치될 수 있다. 바꾸어 말하면, 리세스 패턴(503)은 지그 재그 형상으로 연장되는 각 배선 라인부(411)의 사이 사이에 배치될 수 있다. 즉, 리세스 패턴(503)은 각 배선 라인부(411) 사이에서 적어도 하나 이상 배치될 수 있다. As described above, when the
리세스 패턴(503)을 기준으로 다시 설명하면, 복수개의 리세스 패턴(503)이 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배치되고, 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상을 갖는 리세스 패턴(503) 사이 사이에 지그 재그 형상으로 연장된 배선 라인부(411)가 배치될 수 있다. 도 19는 복수개의 리세스 패턴(503)이 행 방향으로 일직선을 따라 정렬되고, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되는 경우를 예시하고 있으나, 리세스 패턴(503)의 배열 형상이 이에 제한되는 것은 아니며, 복수개의 리세스 패턴(503)은 행과 열 방향으로 일직선을 따라 정렬되거나, 행 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 열 방향으로 일직선으로 정렬되거나, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 행 방향으로 일직선을 따라 정렬될 수도 있다. Referring back to the
또한, 배선 라인부(411)는 매트릭스 형상으로 배열된 리세스 패턴(503) 사이 사이에 배치될 수 있으며, 하나의 배선 라인부(411)와 다른 배선 라인부(411) 사이에는 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(503)이 배치될 수 있다. Also, the
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 21을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 배선 라인부(421)가 피치(pitch)를 갖는 곡선 형태로 연장되는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 21 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 21 , the array substrate according to another embodiment of the present invention is different from the embodiment of FIG. 4 in that the wiring line parts 421 extend in a curved shape having a pitch.
본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판에서 배선 라인부(421)는 피치를 갖는 곡선 형태로 연장될 수 있다. 다시 말하면, 배선 라인부(421)는 주름진 형상을 가질 수 있다. 바꾸어 말하면, 배선 라인부(421)는 완만한 곡선을 그리며 구불구불하게 연장될 수 있다. In the array substrate according to another embodiment of the present invention, the wiring line part 421 may extend in a curved shape having a pitch. In other words, the wiring line portion 421 may have a corrugated shape. In other words, the wiring line portion 421 may extend in a meandering manner while drawing a gentle curve.
배선 라인부(421)가 피치를 갖는 곡선 형태로 연장되는 경우, 배선 라인부(421)의 양측에는 골부와 마루부가 형성될 수 있다. 즉, 각 배선 라인부(421)의 일측에는 골부와 마루부가 적어도 한 번 이상 반복되고, 이와 대응되도록 각 배선 라인부(421)의 타측에는 마루부와 골부가 적어도 한 번 이상 반복될 수 있다. When the wiring line unit 421 extends in a curved shape having a pitch, valleys and ridges may be formed on both sides of the wiring line unit 421 . That is, the valleys and the ridges may be repeated at least once on one side of each wiring line unit 421 , and the valleys and the valleys may be repeated at least once on the other side of each wiring line unit 421 to correspond thereto.
리세스 패턴(504)은 배선 라인부(421)의 골부와 인접하도록 배치될 수 있다. 리세스 패턴(504)은 각 배선 라인부(421) 일측 및 타측에 형성된 골부와 인접하도록 적어도 하나 이상 배치될 수 있다. 도 19는 배선 라인부(421)가 골부와 인접한 경우를 예시하나, 이에 제한되는 것은 아니며, 리세스 패턴(504)은 배선 라인부(421)의 골부와 부분적으로 접할 수도 있다. The
리세스 패턴(504)을 기준으로 다시 설명하면, 복수개의 리세스 패턴(504)이 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배치되고, 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상을 갖는 리세스 패턴(504) 사이 사이에 피치를 갖는 곡선 형상을 가지며 연장된 배선 라인부(421)가 배치될 수 있다.Referring back to the
도 19는 복수개의 리세스 패턴(504)이 행 방향으로 일직선을 따라 정렬되고, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되는 경우를 예시하고 있으나, 리세스 패턴(504)의 배열 형상이 이에 제한되는 것은 아니며, 복수개의 리세스 패턴(504)은 행과 열 방향으로 일직선을 따라 정렬되거나, 행 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 열 방향으로 일직선으로 정렬되거나, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 행 방향으로 일직선을 따라 정렬될 수도 있다. 19 illustrates a case in which the plurality of
또한, 배선 라인부(421)는 매트릭스 형상으로 배열된 리세스 패턴(504) 사이 사이에 배치될 수 있으며, 하나의 배선 라인부(421)와 다른 배선 라인부(421) 사이에는 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(504)이 배치될 수 있다. In addition, the wiring line part 421 may be disposed between the
도 222는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이다. 도 23은 도 22의 'C'부분을 확대한 부분 확대도이다. 도 24는 도 23의 Ⅸ-Ⅸ' 라인을 따라 절단한 단면도이다. 도 25는 도 22의 'D'부분을 확대한 부분 확대도이다. 도 26는 도 25의 Ⅹ-Ⅹ라인을 따라 절단한 단면도이다.222 is a plan view of an array substrate according to another embodiment of the present invention. 23 is a partially enlarged view of part 'C' of FIG. 22 . 24 is a cross-sectional view taken along line IX-IX' of FIG. 23 . FIG. 25 is a partially enlarged view of part 'D' of FIG. 22 . 26 is a cross-sectional view taken along line X-X of FIG. 25 .
도 22 내지 도 25를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 비표시 영역(NDA)에 셀아이디 패턴(45) 및/또는 절단 라인(700)이 형성된 점이 도 1의 실시예와 다른 점이다. 22 to 25 , in the array substrate according to another embodiment of the present invention, the
본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 비표시 영역(NDA)에 셀아이디 패턴(45) 및/또는 절단 라인(700)을 포함할 수 있다. The array substrate according to another embodiment of the present invention may include the
셀아이디 패턴(45)은 비표시 영역(NDA)에 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 셀아이디 패턴(45)은 복수개의 배선 라인부(401) 중 최외곽에 배치된 배선 라인부(401) 외측에 배치될 수 있다. 즉, 최외곽에 배치되는 배선 라인부(401)와 인접하도록 배치될 수 있다. 셀아이디 패턴(45) 상에는 어레이 기판을 식별하기 위한 고유 번호나 각종 도형 및 식별 부호 등이 패터닝될 수 있다. 즉, 셀아이디 패턴(45) 상에 패터닝된 고유 번호, 각종 도형 및 식별 부호 등을 통해 어레이 기판에 대한 정보를 취득할 수 있다. The
셀 아이디 패턴에 대한 자세한 설명을 위해, 도 23 내지 24가 참조된다. For a detailed description of the cell ID pattern, reference is made to FIGS. 23 to 24 .
도 23 및 도 24는 셀아이디 패턴(45)이 사각형 형상을 갖는 것을 예시한다. 다만, 셀아이디 패턴(45)의 형상이 이에 제한되는 것은 아니며, 셀아이디 패턴(45)의 형상은 원 형상이거나, 적어도 부분적으로 곡선을 포함하는 형상일 수 있다. 23 and 24 illustrate that the
앞서 설명한 바와 같이 셀아이디 패턴(45) 상에는 고유 번호, 각종 도형 또는 식별 부호 등이 패터닝될 수 있다. 도 23은 셀아이디 패턴(45) 상에 십자가 형상의 도형(46)이 패터닝된 경우를 예시하나, 이는 예시적인 것으로, 셀아이디 패턴(45) 상에 형성되는 각종 도형 등의 형상이 이에 제한되는 것은 아니다. As described above, a unique number, various figures, or identification codes may be patterned on the
예시적인 실시예에서 셀아이디 패턴(45)은 버퍼층(12) 상에 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 셀아이디 패턴(45)의 위치가 이에 제한되는 것은 아니다. 셀아이디 패턴(45)이 버퍼층(12) 상에 배치되는 경우, 셀아이디 패턴(45)은 표시 영역(DA)의 반도체층(40)과 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 표시 영역(DA)의 반도체층(40)과 동시에 비표시 영역(NDA)의 셀아이디 패턴(45)을 형성할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 셀 아이디 패턴은 표시 영역(DA)의 반도체층(40)과 별개로 독립적으로 형성될 수도 있다.In an exemplary embodiment, the
셀아이디 패턴(45) 외주를 따라 리세스 패턴(505)이 배치될 수 있다. 리세스 패턴(505)은 셀아이디 패턴(45) 외주와 접하거나, 외주와 인접하도록 배치될 수 있다. 셀아이디 패턴(45)이 사각형 형상을 갖는 예시적인 실시예에서 리세스 패턴(505)은 중공을 갖는 사각형 형상일 수 있으나, 앞서 설명한 바와 같이 셀아이디 패턴(45)의 형상은 제한되지 않으며, 리세스 패턴(505)은 셀아이디 패턴(45)의 외주의 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 셀아이디 패턴(45) 외주를 따라 리세스 패턴(505)이 배치되는 경우, 어레이 기판의 제조 공정 또는 운반 공정 중에 발생한 크랙이 셀아이디 패턴(45)으로 전파되어, 셀아이디 패턴(45)에 손상을 가하는 것을 막을 수 있다. A recess pattern 505 may be disposed along the outer periphery of the
본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 비표시 영역(NDA)에는 절단 라인(700)이 형성될 수 있다. 제품의 종류에 따라, 어레이 기판 비표시 영역(NDA)의 모서리부는 절단될 수 있다. 즉, 어레이 기판의 모서리 부분이 모따기(chamfering) 될 수 있다. A
이를 위해, 어레이 기판 상에는 절단 라인(700)이 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서 절단 라인(700)은 어레이 기판 비표시 영역(NDA)의 양측에 사선 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 즉, 절단 라인(700)은 어레이 기판을 적어도 부분적으로 가로지를 수 있다. To this end, a
절단 라인(700)과 어레이 기판 일측변이 이루는 각은 제한되지 않는다. 즉, 적용되는 제품에 따라 절단 라인(700)과 어레이 기판의 일측변이 이루는 각은 달라질 수 있다. An angle between the cutting
절단 과정에서 발생할 수 있는 크랙을 예방하기 위해, 절단 라인(700)은 제2 절연막(35) 상면으로부터 소정 간격 리세스될 수 있다. 즉, 도 26의 단면도에서 도시한 바와 같이 절단 라인(700)은 제2 절연막(35) 상면으로부터 리세스 되어 기판(10)의 상면을 노출시킬 수 있다. 다시 말하면, 절단 라인(700)의 바닥면은 기판(10)의 상면을 포함하고, 절단 라인(700)의 측벽은 배리어층(11), 버퍼층(12), 제1 절연막(25) 및 제2 절연막(35)의 내측면을 포함할 수 있다. In order to prevent cracks that may occur during the cutting process, the
절단 라인(700)과 인접하도록 리세스 패턴(506)이 배치될 수 있다. 구체적으로 리세스 패턴(506)은 절단 라인(700)의 타측부와 인접하게 배치될 수 있다. 다시 말하면, 절단 공정에 의해 어레이 기판이 절단 라인(700)을 따라 절단되면, 절단 라인(700)의 일측부는 제거되고, 절단 라인(700)의 타측부는 그대로 유지될 수 있다. 리세스 패턴(506)은 절단 라인(700)의 타측부와 인접하게 배치되며, 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(506)이 산개되어 배치될 수 있다. 리세스 패턴(506)은 열과 행 방향으로 정렬되어 배치될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 규칙적 또는 불규칙적으로 배치될 수 있다. A
절단 공정에 의해 절단 라인(700)의 일측부가 제거되면, 절단 라인(700)의 타측부는 충격에 취약해질 수 있다. 이 경우, 절단 라인(700)의 타측부에 충격이 가해지면, 그 충격으로 인해 크랙이 발생하고, 발생한 크랙이 성장하여, 표시 영역(DA)까지 전파될 수 있다. 절단 라인(700)의 타측부와 인접하게 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(506)이 배치되는 경우, 리세스 패턴(506)은 크랙 스토퍼(Crack stopper)의 역할을 할 수 있다. 즉, 발생한 크랙의 전파가 리세스 패턴(506)에 의해 차단될 수 있다. When one side of the
도 27은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다. 27 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment.
도 27을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA) 외측에 배치되는 비표시 영역(NDA)을 갖는 어레이 기판으로서, 비표시 영역(NDA)은 기판(10), 기판(10) 상에 배치되는 배리어층(11), 배리어층(11) 상에 배치되는 버퍼층(12), 버퍼층(12) 상에 배치되는 제1 절연막(25), 제1 절연막(25) 상에 배치되는 제2 절연막(35), 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴 제2 절연막(35) 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막(75)을 포함하는 어레이 기판 및 어레이 기판 상에 배치되는 봉지 부재를 포함한다. Referring to FIG. 27 , an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment is an array substrate having a display area DA and a non-display area NDA disposed outside the display area DA, and the non-display area ( NDA) is a
도 27은 설명의 편의를 위해 하나의 단위 화소 영역을 한정하여 도시한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치가 이에 제한되지 않음은 물론이다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수개의 단위 화소 영역을 포함할 수 있음은 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 어레이 기판에서 설명한 바와 같다. 27 illustrates one unit pixel area by limiting it for convenience of description, and it goes without saying that the organic light emitting diode display according to the exemplary embodiment is not limited thereto. That is, the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention may include a plurality of unit pixel areas as described above with respect to the array substrate according to some embodiments of the present invention.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서 어레이 기판의 표시 영역(DA)에 대해 설명하기로 한다. First, the display area DA of the array substrate in the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention will be described.
기판(10)은 판 형상을 갖는 부재로서, 후술하는 다른 구성들을 지지하는 역할을 할 수 있다. 기판(10)은 절연 기판(10)으로서, 유리 또는 플라스틱을 포함하는 고분자 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 기판(10)은 폴리 이미드(Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 기판(10)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The
기판(10)은 경성(rigid) 기판(10)일 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 연성이나 가요성을 갖는 기판(10)일 수 있다. 즉, 본 명세서에서, "기판(10)"이라 함은 구부리거나(bending), 접거나(folding), 마는 것(rolling)이 가능한 플렉서블 기판(10)을 포함하는 개념으로 이해될 수 있다.The
도 27에 도시된 바와 같이, 기판(10)은 단일층 구조를 가질 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 즉, 다른 예시적인 실시예에서 기판(10)은 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다. 다시 말하면, 기판(10)은 베이스층 및 베이스층 상에 배치되는 보호층을 포함할 수 있다. 27 , the
베이스 층은 절연 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서 베이스층은 폴리이미드 (Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 베이스 층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 베이스층 상에는 보호층이 배치될 수 있다. 보호층은 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 보호층은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, Polyehtylene terephthalate) 및 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN, Polyethylene naphthalate)에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하여 이루어질 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 보호층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The base layer may be formed of an insulating material. In an exemplary embodiment, the base layer may be formed of poly imide (PI), but the material of the base layer is not limited thereto. A protective layer may be disposed on the base layer. The protective layer may be made of an organic material. For example, the protective layer may include any one or more selected from polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), but this is exemplary and the material of the protective layer is not limited thereto. .
기판(10) 상에는 배리어층(11)이 배치될 수 있다. 배리어층(11)은 불순 원소의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하는 역할을 할 수 있다. 예시적이 실시예에서 배리어층(11)은 산화규소(SiOx) 또는 질화규소(SiNx)를 포함하여 형성될 수 있으나, 배리어층(11)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 다른 예시적인 실시예에서 배리어층(11)은 기판(10)의 재질 또는 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다. A
배리어층(11) 상에는 배리어층(11)을 덮는 버퍼층(12)이 배치될 수 있다. 버퍼층(12)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 버퍼층(12)은 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 산화알루미늄(AlOx) 및 산질화규소(SiON)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하여 형성될 수 있으나, 버퍼층(12)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 버퍼층(12)은 단일막 구조 또는 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다, 버퍼층(12)이 두 개의 층을 갖는 예시적인 실시예에서, 두 개의 층은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 층은 산화 규소로 이루어지고, 제2 층은 질화 규소로 이루어질 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 버퍼층(12)의 구조가 이에 제한되지는 않는다. A
반도체층(40)은 비정질 규소 또는 다결정 규소를 포함하여 이루어질 수 있다. 예시적인 실시예에서 반도체층(40)은 비정질 규소를 도포하고 패터닝한 후 이를 결정화하는 방법으로 형성될 수 있으나, 반도체층(40)의 형성 방법이 이에 제한되는 것은 아니다. 본 명세서에서 "반도체층(40)"이라고 지칭되는 것은 산화물 반도체를 포함하는 것으로 이해될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The
반도체층(40) 상에는 게이트 절연막(20)이 형성될 수 있다. 게이트 절연막(20)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 게이트 절연막(20) 의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 게이트 절연막(20)(20)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. A
게이트 절연막(20) 상에는 게이트 라인(50), 게이트 전극(51) 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선이 배치될 수 있다. 게이트 배선은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하여 형성될 수 있으나, 게이트 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 게이트 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A gate line including a
게이트 라인(50)은 앞서 설명한 바와 같이 복수개 배치되며, 서로 평행하도록 일 방향으로 연장될 수 있다. As described above, a plurality of
게이트 배선 상에는 게이트 배선을 덮는 층간 절연막(30)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(30)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 층간 절연막(30)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 층간 절연막(30)(20)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 층간 절연막(30)(20)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 다층막 구조를 갖는 층간 절연막(30)에 대해서는 후술하기로 한다.An interlayer insulating
층간 절연막(30) 상에는 소스 전극(61), 드레인 전극(62) 및 데이터 라인(60)을 포함하는 데이터 배선이 배치될 수 있다. 데이터 배선은 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있으나, 데이터 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 데이터 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A data line including a
데이터 라인(60)은 데이터 신호를 전달하며, 게이트 라인(50)과 교차하도록 배치될 수 있다. 즉, 예시적인 실시예에서 게이트 라인(50)은 가로 방향으로 연장되고, 데이터 라인(60)은 이와 교차하도록 세로 방향으로 연장될 수 있다. The
예시적인 실시예에서 데이터 라인(60) 및 게이트 라인(50) 은 절곡부를 포함할 수도 있다. 다만, 이는 당업자에게 자명한 것으로 본 발명의 범위가 모호해지는 것을 막기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다. In an exemplary embodiment, the
소스 전극(61) 은 데이터 라인(60) 의 일부로서 데이터 라인(60) 과 동일선 상에 배치될 수 있다. 드레인 전극(62) 은 소스 전극(61) 과 나란하게 뻗도록 형성될 수 있으며, 이 경우, 드레인 전극(62) 은 데이터 라인(60) 의 일부와 나란할 수 있다. The
게이트 전극(51), 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62) 은 반도체층(40) 과 함께 하나의 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(61) 과 드레인 전극(62) 사이의 반도체층(40) 에서 형성될 수 있다. The
데이터 배선 상에는 데이터 배선 및 층간 절연막(30)을 덮는 평탄화막(70)이 배치될 수 있다. 평탄화막(70)의 두께는 층간 절연막(30)에 비해 상대적으로 두꺼울 수 있다. 이러한, 두께차로 인하여, 평탄화막(70)의 상면은 층간 절연막(30) 및 소스/드레인 전극(62)과 접하는 하면에 비해 상대적으로 평탄할 수 있다. A
평탄화막(70)에는 드레인 전극(62)을 적어도 부분적으로 노출시키는 제1 콘택홀이 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 콘택홀은 평탄화막(70)을 관통하며, 드레인 전극(62)의 상면을 부분적으로 노출시킬 수 있다. A first contact hole for at least partially exposing the
평탄화막(70) 및 노출된 드레인 전극(62) 상에는 제1 전극(80)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 전극(80)이 평탄화막(70), 제1 콘택홀의 측벽 및 드레인 전극(62)의 상면을 덮도록 배치될 수 있으며, 이에 의해 제1 전극(80)과 드레인 전극(62)이 전기적으로 연결될 수 있다. 예시적인 실시예에서 제1 전극(80)은 애노드(Anode) 전극일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 제1 전극(80)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide, IZO) 등으로 이루어질 수 있으나, 제1 전극(80)(70)의 재질이 이에 제한되지는 않는다.A
제1 전극(80) 상에는 화소 정의막이 배치될 수 있다. 화소 정의막은 제1 전극(80)을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 화소 정의막(40)은 벤조사이클로부텐(Benzo Cyclo Butene, BCB), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리아마이드(poly amide, PA), 아크릴 수지 및 페놀수지 등으로부터 선택된 적어도 하나의 유기 물질을 포함하여 이루어지거나, 실리콘 질화물 등과 같은 무기 물질을 포함하여 이루어질 수도 있다. 화소 정의막(40)은 또한 검정색 안료를 포함하는 감광제로 이루어질 수 있는데, 이 경우 화소 정의막(40)은 차광 부재의 역할을 할 수 있다.A pixel defining layer may be disposed on the
화소 정의막에 의해 노출된 제1 전극(80) 상에는 유기층이 배치될 수 있다. 유기층(91)은 유기 발광 표시 장치(100)에 포함되는 유기 물질층들, 즉, 발광층(organic light emitting layer, EML), 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transport layer, HTL), 전자 주입층(electron injection layer, EIL), 전자 수송층(electron transport layer, ETL) 등을 포함할 수 있다. 유기층(91)은 상기 유기 물질층들 중에서 선택된 하나를 포함하는 단일막 구조를 갖거나 2 이상을 포함하는 다층막 구조를 가질 수 있다.An organic layer may be disposed on the
유기층(91) 상에는 제2 전극(92)이 형성될 수 있다. 제2 전극(92)은 화소 정의막(90) 및 유기층(91)을 덮을 수 있다. 예시적인 실시예에서 제2 전극(92)은 화소 정의막(90) 및 유기층(91)을 덮는 전면 전극일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 예시적인 실시예에서 제2 전극(92)은 캐소드(Cathode)전극일 수 있다. A
제2 전극(92)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide, IZO) 등으로 이루어질 수 있으나, 제2 전극(92)의 재질이 이에 제한되지는 않는다.The
어레이 기판의 비표시 영역(NDA)은 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 대한 어레이 기판에서 설명한 바와 실질적으로 동일할 수 있으며, 따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.The non-display area NDA of the array substrate may be substantially the same as that described above for the array substrate according to some embodiments of the present invention, and thus a detailed description thereof will be omitted.
*어레이 기판 상에는 봉지부재가 배치될 수 있다. 본 명세서에서 봉지 부재는 봉지막(803) 또는 봉지 기판(800)일 수 있다. 도 27은 봉지 부재가 봉지 기판(800)인 경우를 예시하나, 봉지 부재가 이에 제한되는 것은 아니다. 봉지 부재가 봉지막(803)인 경우에 대해서는 도 28에서 설명하기로 한다. 예시적인 실시예에서, 봉지 기판(800)(10)은 봉지재(도시하지 않음)에 의해 어레이 기판과 접착되어 밀봉될 수 있다. * An encapsulation member may be disposed on the array substrate. In this specification, the encapsulation member may be the
봉지 기판(800) 이 어레이 기판과 접착될 수 있도록 하기 위해, 봉지재는 접착성이 있는 에폭시 접착제, 자외선 경화 접착제, 프릿트(frit) 및 그 등가물 중 선택된 적어도 어느 하나일 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 봉지재의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. In order to allow the
봉지기판(10)은 상술한 봉지재에 의해 어레이 기판과 접착되어 결합될 수 있다. 예시적인 실시예에서 봉지 기판(800) 은 투명 글래스, 투명 플라스틱, 투명 폴리머 및 그 등가물 중 선택된 어느 하나로 형성될 수 있으나, 봉지 기판(800) 의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The
어레이 기판과 대향하는 봉지 기판(800) 의 일면에는 도전막(801)이 형성될 수 있다. 이러한 도전막(801)은 유기 발광 표시 장치 외부에서 발생되어 봉지기판(10)을 통해 유입되는 정전기를 접지시키는 역할을 할 수 있다. 다만, 이에 대한 것은 당업자에게 자명한 것으로, 본 발명의 범위를 모호하게 하지 않기 위해, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.A
도 28은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.28 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment.
도 28을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 봉지 부재가 봉지막인 점이 도 28 의 실시예와 다른 점이다. Referring to FIG. 28 , the organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment is different from the exemplary embodiment of FIG. 28 in that an encapsulation member is an encapsulation film.
앞서 설명한 바와 같이 예시적인 실시예에서 봉지 부재는 봉지막(803)일 수 있다. 봉지막(803)은 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)를 덮을 수 있다. 예시적인 실시예에서 봉지막(803)은 배선 라인부(401) 및/또는 배선 패드부(402)를 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. As described above, in the exemplary embodiment, the encapsulation member may be the
봉지막(803)은 유기 물질 및/또는 무기 물질로 이루어질 수 있다. The
봉지막(803)을 형성하기 위한 유기 물질은 예컨대, 에폭시, 아크릴레이트 및 우레탄아크릴레이트일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 봉지막(803)을 형성하기 위한 무기 물질은 예컨대, 알루미늄 산화물 또는 실리콘 산화물일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The organic material for forming the
도 28은 봉지막(803)이 단일층 구조를 갖는 것을 예시하나, 봉지막(803)의 구조는 이에 제한되지 않으며, 봉지막(803)은 하나 이상의 층이 적층된 적층구조를 가질 수도 있다. 예시적인 실시예에서 봉지막(803)은 유기막과 무기막이 적어도 한번 교번하여 적층된 구조를 가질 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 봉지막(803)의 구조가 이에 제한되는 것은 아니다. 28 illustrates that the
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. you will be able to understand Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.
100: 어레이 기판
50: 게이트 라인
60: 데이터 라인
402: 배선 라인부
401: 배선 패드부
403: 배선 접속부
500, 501, 503, 504, 505, 506, 507, 508: 리세스 패턴
502: 리세스 홈
200: 스캔 드라이버
300: 에미션 드라이버
10: 기판
11: 배리어층
12: 버퍼층
20: 게이트 절연막
30: 층간절연막
70: 평탄화막
80: 제1 전극
90: 화소 정의막
91: 유기층
92: 제2 전극
51: 게이트 전극
61: 소스 전극
62: 드레인 전극
72: 콘택부
75: 유기 절연막
35: 제2 절연막
25: 제1 절연막
45: 셀아이디 패턴
700: 절단 라인
800: 봉지 기판
803: 봉지막100: array substrate
50: gate line
60: data line
402: wiring line part
401: wiring pad part
403: wiring connection part
500, 501, 503, 504, 505, 506, 507, 508: recess pattern
502: recess home
200: scan driver
300: emission driver
10: substrate
11: barrier layer
12: buffer layer
20: gate insulating film
30: interlayer insulating film
70: planarization film
80: first electrode
90: pixel defining layer
91: organic layer
92: second electrode
51: gate electrode
61: source electrode
62: drain electrode
72: contact part
75: organic insulating film
35: second insulating film
25: first insulating film
45: cell ID pattern
700: cutting line
800: encapsulation substrate
803: encapsulation film
Claims (17)
상기 기판 상에 위치하고 상기 표시 영역 내에 위치하며 반도체층을 포함하는 박막 트랜지스터;
상기 기판 상에 위치하고 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역 내에 위치하는 제1 절연막;
상기 제1 절연막 상에 위치하고 상기 비표시 영역 내에 위치하며 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 배선 패턴;
상기 비표시 영역 내에 위치하고 상기 배선 패턴과 인접하게 배치되되, 상기 제1 절연막을 관통하는 리세스 패턴; 및
상기 배선 패턴 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면과 접하는 유기 절연막을 포함하고,
상기 배선 패턴은 상기 제1 절연막과 직접 접촉하고,
상기 반도체층은 상기 기판과 상기 제1 절연막 사이에 위치하는 어레이 기판. a substrate including a display area and a non-display area;
a thin film transistor positioned on the substrate, positioned in the display area, and including a semiconductor layer;
a first insulating layer positioned on the substrate and positioned in the display area and the non-display area;
a wiring pattern located on the first insulating layer, located in the non-display area, and electrically connected to the thin film transistor;
a recess pattern positioned in the non-display area and disposed adjacent to the wiring pattern and penetrating the first insulating layer; and
an organic insulating layer disposed on the wiring pattern and in contact with an upper surface of the substrate exposed by the recess pattern;
The wiring pattern is in direct contact with the first insulating film,
The semiconductor layer is an array substrate positioned between the substrate and the first insulating layer.
상기 리세스 패턴의 바닥면은 상기 기판의 상면을 포함하고, 상기 리세스 패턴의 측벽은 상기 제1 절연막의 내측면을 포함하는 어레이 기판. The method of claim 1,
A bottom surface of the recess pattern includes a top surface of the substrate, and a sidewall of the recess pattern includes an inner surface of the first insulating layer.
상기 배선 패턴은 복수개이고,
상기 리세스 패턴은 복수개이고, 상기 복수개의 리세스 패턴은 상기 복수개의 배선 패턴 사이사이에 배치되는 어레이 기판. The method of claim 1,
The wiring pattern is plural,
The plurality of recess patterns is plural, and the plurality of recess patterns are disposed between the plurality of wiring patterns.
상기 각 배선 패턴은 상기 기판의 일측을 향해 연장되는 배선 라인부;
타단이 상기 배선 라인부와 적어도 부분적으로 중첩되고, 일단이 상기 배선 라인부보다 넓은 폭을 갖는 배선 패드부; 및
상기 배선 라인부와 상기 배선 패드부가 접하여 전기적으로 연결되는 배선 접속부를 포함하는 어레이 기판. 4. The method of claim 3,
Each of the wiring patterns may include a wiring line portion extending toward one side of the substrate;
a wiring pad unit having a second end at least partially overlapping the wiring line unit and having one end wider than the wiring line unit; and
and a wiring connection part electrically connected to the wiring line part and the wiring pad part in contact with each other.
상기 리세스 패턴은 서로 인접하는 배선 라인부 사이에 배치되고, 서로 인접하는 배선 패드부 사이까지 연장되는 어레이 기판. 5. The method of claim 4,
The recess pattern is disposed between adjacent interconnection line portions and extends to between adjacent interconnection pad portions.
상기 배선 라인부 사이에 배치되는 리세스 패턴의 폭은 상기 배선 패드부 사이에 배치되는 리세스 패턴의 폭보다 큰 어레이 기판. 6. The method of claim 5,
A width of the recess pattern disposed between the wiring line parts is greater than a width of the recess pattern disposed between the wiring pad parts.
상기 배선 라인부는 지그 재그 형상으로 연장되고, 상기 리세스 패턴은 인접하는 상기 배선 라인부 사이에서 적어도 하나 이상 배치되는 어레이 기판. 5. The method of claim 4,
The wiring line portion extends in a zigzag shape, and the recess pattern is at least one disposed between the adjacent wiring line portions.
상기 리세스 패턴은 복수개의 배선 라인부 사이사이에 배치되되, 복수개의 열과 복수개의 행을 갖는 매트릭스 형태로 배열되는 어레이 기판. 8. The method of claim 7,
The recess pattern is disposed between a plurality of wiring line portions, and is arranged in a matrix form having a plurality of columns and a plurality of rows.
상기 배선 패드부의 내측에 배치되며, 상기 배선 패드부, 상기 제1 절연막 및 버퍼층을 관통하여 상기 기판의 상면을 노출시키는 리세스 홈을 더 포함하는 어레이 기판. 5. The method of claim 4,
and a recess groove disposed inside the wiring pad unit and penetrating through the wiring pad unit, the first insulating layer, and the buffer layer to expose a top surface of the substrate.
상기 리세스 패턴은 상기 복수개의 배선 라인부 중 최외곽에 배치되는 배선 라인부의 외측에 배치되는 어레이 기판. 5. The method of claim 4,
The recess pattern is disposed outside the wiring line portion disposed at the outermost of the plurality of wiring line portion.
상기 복수개의 배선 라인부 중 최외곽에 배치되는 배선 라인부의 외측에 배치되는 셀아이디 패턴을 더 포함하고, 상기 리세스 패턴은 상기 셀아이디 패턴의 외주를 따라 배치되는 어레이 기판. 11. The method of claim 10,
The array substrate further includes a cell ID pattern disposed outside the outermost wiring line portion among the plurality of wiring line portions, wherein the recess pattern is disposed along an outer periphery of the cell ID pattern.
상기 기판 상에 상기 기판을 적어도 부분적으로 가로지르는 적어도 하나 이상의 절단 라인이 정의되고, 상기 리세스 패턴은 상기 절단 라인과 인접하도록 배치되는 어레이 기판. The method of claim 1,
At least one cut line is defined on the substrate at least partially crossing the substrate, and the recess pattern is disposed adjacent to the cut line.
상기 제1 절연막은 산화규소 또는 질화규소를 포함하여 이루어지는 어레이 기판. The method of claim 1,
The first insulating layer is an array substrate comprising silicon oxide or silicon nitride.
상기 기판은 가요성 기판인 어레이 기판. The method of claim 1,
The substrate is an array substrate which is a flexible substrate.
상기 기판 상에 위치하고 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역 내에 위치하는 제1 절연막;
상기 제1 절연막 상에 위치하고 상기 표시 영역 내에 위치하며 반도체층을 포함하는 박막 트랜지스터;
상기 제1 절연막 상에 위치하고 상기 비표시 영역 내에 위치하며 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 배선 패턴;
상기 비표시 영역 내에 위치하고 상기 배선 패턴과 인접하게 배치되되, 상기 제1 절연막을 관통하는 리세스 패턴; 및
상기 배선 패턴 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면과 접하는 유기 절연막을 포함하고,
상기 유기 절연막은 상기 리세스 패턴을 정의하는 상기 제1 절연막의 측면과 직접 접촉하는 어레이 기판. a substrate including a display area and a non-display area;
a first insulating layer positioned on the substrate and positioned in the display area and the non-display area;
a thin film transistor positioned on the first insulating layer, positioned in the display area, and including a semiconductor layer;
a wiring pattern located on the first insulating layer, located in the non-display area, and electrically connected to the thin film transistor;
a recess pattern positioned in the non-display area and disposed adjacent to the wiring pattern and penetrating the first insulating layer; and
an organic insulating layer disposed on the wiring pattern and in contact with an upper surface of the substrate exposed by the recess pattern;
The organic insulating layer is in direct contact with a side surface of the first insulating layer defining the recess pattern.
상기 제1 절연막과 상기 배선 패턴 사이에 위치하는 제2 절연막을 더 포함하고,
상기 박막 트랜지스터의 상기 반도체층은 상기 제1 절연막과 상기 제2 절연막 사이에 위치하는 어레이 기판. 16. The method of claim 15,
Further comprising a second insulating film positioned between the first insulating film and the wiring pattern,
The semiconductor layer of the thin film transistor is disposed between the first insulating layer and the second insulating layer.
상기 리세스 패턴은 상기 제2 절연막의 측면에 의해 더 정의되고,
상기 유기 절연막은 상기 리세스 패턴을 정의하는 상기 제2 절연막의 측면과 직접 접촉하는 어레이 기판.17. The method of claim 16,
The recess pattern is further defined by a side surface of the second insulating layer,
The organic insulating layer is in direct contact with a side surface of the second insulating layer defining the recess pattern.
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