KR20210065078A - Array substrate and organic light emitting display device including the same - Google Patents

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Abstract

An array substrate and an organic light emitting diode display device including the same are provided. The array substrate according to one embodiment of the present invention includes: a substrate; a barrier layer disposed on the substrate; a buffer layer disposed on the barrier layer; a first insulating film disposed on the buffer layer; a second insulating film disposed on the first insulating layer; a plurality of wiring patterns interposed between the first insulating film and the second insulating film or disposed on the second insulating film, spaced apart from each other, and extending toward one side of the substrate; a recess pattern recessed by a predetermined depth from the upper surface of the second insulating film to at least partially expose the upper surface of the substrate; and an organic insulating film disposed on the second insulating layer and at least partially exposing a top surface of the substrate exposed by the recess pattern.

Description

어레이 기판 및 이를 포함하는 유기 발광 표시 장치{ARRAY SUBSTRATE AND ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE INCLUDING THE SAME}Array substrate and organic light emitting display device including same {ARRAY SUBSTRATE AND ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE INCLUDING THE SAME}

본 발명은 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시 장치에 대한 것으로 보다 상세하게는 표시 영역과 비표시 영역을 포함하는 어레이 기판 및 이를 포함하는 표지 장치에 대한 것이다. The present invention relates to an array substrate and a display device including the same, and more particularly, to an array substrate including a display area and a non-display area, and a display device including the same.

액정표시장치(LCD) 또는 유기발광표시장치(OLED)등과 같은 표시 장치는 표시 영역과 표시 영역에 외측에 배치되는 비표시 영역을 포함하는 어레이 기판을 포함할 수 있다. 상기와 같은 표시 장치는 영상을 표시하기 위한 기본 구성 요소로서, 표시 영역 내에 다수의 화소를 포함하고, 각 화소는 독립적인 구동을 위해서 스위칭 소자를 포함한다. A display device such as a liquid crystal display (LCD) or an organic light emitting display (OLED) may include an array substrate including a display area and a non-display area disposed outside the display area. The display device as described above is a basic component for displaying an image, and includes a plurality of pixels in a display area, and each pixel includes a switching element for independent driving.

한편, 어레이 기판은 액정 표시 장치나 유기 발광 표시 장치 등에서 각 화소를 독립적으로 구동하기 위한 회로 기판으로 사용된다. 어레이 기판 상에는 주사 신호를 전달하는 게이트 배선과 화상 신호를 전달하는 데이터 배선, 박막 트랜지스터, 각종 유기 또는 무기 절연막 등이 배치되어 있고, 이 중 박막 트랜지스터는 게이트 배선의 일부인 게이트 전극과 채널을 형성하는 반도체층, 데이터 배선의 일부인 소스 전극과 드레인 전극 등으로 이루어져, 스위칭 소자로서의 역할을 한다. Meanwhile, the array substrate is used as a circuit board for independently driving each pixel in a liquid crystal display device, an organic light emitting display device, or the like. A gate line transmitting a scan signal, a data line transmitting an image signal, a thin film transistor, and various organic or inorganic insulating films are disposed on the array substrate. Among them, the thin film transistor is a semiconductor forming a channel with a gate electrode, which is a part of the gate wiring. It consists of a layer, a source electrode and a drain electrode that are part of the data wiring, and serves as a switching element.

표시 영역의 외측에 배치되는 비표시 영역에는 표시 영역의 게이트 라인 또는 데이터 라인과 연결되는 복수의 배선이 배치된다. 복수의 배선은 다양한 형태로 연장되며 그 일단이 어레이 기판 하부 패드부에 배치된 패드들과 연결될 수 있다. A plurality of wirings connected to gate lines or data lines of the display area are disposed in the non-display area disposed outside the display area. The plurality of wirings may extend in various forms, and one end thereof may be connected to pads disposed in a pad portion of the lower array substrate.

이와 같은 어레이 기판은 그 제조 공정에서부터 다양한 충격에 노출될 수 있다. 구체적으로, 어레이 기판을 운반하거나, 각종 검사 작업 수행 시 어레이 기판에 일정한 충격이 가해질 수 있는데, 이러한 충격에 의해 어레이 기판에는 크랙이 형성될 수 있다. 이러한 크랙은 기판 상에 배치되는 무기 절연막 층을 통하여 성장하거나, 전파되는 경향성을 갖는다. 즉, 예시적으로 비표시 영역의 일부분에 크랙이 발생되면, 이와 같은 크랙은 무기 절연막을 타고 표시 영역까지 전파될 수 있으며, 이로 인해 표시 영역의 신뢰성 불량을 초래할 수 있다. 이러한 문제들을 해결하기 위해, 충격에 강한 어레이 기판의 구조 및 비표시 영역에서 발생한 크랙의 전파를 억제할 수 있는 어레이 기판의 구조에 대한 다양한 기술적 시도가 행해지고 있는 실정이다. Such an array substrate may be exposed to various impacts from the manufacturing process thereof. Specifically, a certain impact may be applied to the array substrate when transporting the array substrate or performing various inspection tasks, and cracks may be formed in the array substrate by such impact. Such cracks have a tendency to grow or propagate through the inorganic insulating film layer disposed on the substrate. That is, for example, when a crack is generated in a portion of the non-display area, the crack may propagate to the display area through the inorganic insulating layer, which may result in poor reliability of the display area. In order to solve these problems, various technical attempts are being made on the structure of the array substrate resistant to impact and the structure of the array substrate capable of suppressing the propagation of cracks generated in the non-display area.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 크랙의 발생을 방지하는 구조를 갖는 어레이 기판을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an array substrate having a structure that prevents the occurrence of cracks.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 발생한 크랙의 전파를 억제하는 구조를 갖는 어레이 기판을 제공하는 것이다. Another object to be solved by the present invention is to provide an array substrate having a structure that suppresses propagation of generated cracks.

발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 크랙의 발생을 방지하는 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an organic light emitting diode display having a structure that prevents cracks from occurring.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 발생한 크랙의 전파를 억제하는 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an organic light emitting diode display having a structure for suppressing propagation of generated cracks.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판은 기판, 기판 상에 배치되는 배리어층, 배리어층 상에 배치되는 버퍼층, 버퍼층 상에 배치되는 제1 절연막, 제1 절연막 상에 배치되는 제2 절연막, 제1 절연막과 제2 절연막 사이에 개재되거나, 제2 절연막 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막을 포함한다.An array substrate according to an embodiment of the present invention for solving the above problems is provided with a substrate, a barrier layer disposed on the substrate, a buffer layer disposed on the barrier layer, a first insulating layer disposed on the buffer layer, and a first insulating layer disposed on the first insulating layer a plurality of wiring patterns interposed between the first insulating film and the second insulating film, or disposed on the second insulating film, spaced apart from each other and extending toward one side of the substrate, a predetermined depth recessed from the upper surface of the second insulating film and a recess pattern at least partially exposing the top surface of the substrate and an organic insulating layer disposed on the second insulating layer and at least partially exposing the top surface of the substrate exposed by the recess pattern.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판은 표시 영역과 상기 표시 영역 외측에 배치되는 비표시 영역을 포함하되, 비표시 영역은 기판, 기판 상에 배치되는 배리어층, 배리어층 상에 배치되는 버퍼층, 버퍼층 상에 배치되는 제1 절연막, 제1 절연막 상에 배치되는 제2 절연막, 제1 절연막과 제2 절연막 사이에 개재되거나, 제2 절연막 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막을 포함한다. An array substrate according to an embodiment of the present invention for solving the above problems includes a display area and a non-display area disposed outside the display area, wherein the non-display area includes a substrate, a barrier layer disposed on the substrate, and a barrier layer a buffer layer disposed on the buffer layer, a first insulating layer disposed on the buffer layer, a second insulating layer disposed on the first insulating layer, interposed between the first insulating layer and the second insulating layer, or disposed on the second insulating layer, the substrate being spaced apart from each other a plurality of wiring patterns extending toward one side of the plurality of wiring patterns, a recess pattern recessed by a predetermined depth from the upper surface of the second insulating film to at least partially expose the upper surface of the substrate, and disposed on the second insulating film, by the recess pattern and an organic insulating layer at least partially exposing the exposed upper surface of the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 표시 영역과 표시 영역 외측에 배치되는 비표시 영역을 갖는 어레이 기판으로서, 비표시 영역은 기판, 기판 상에 배치되는 배리어층, 배리어층 상에 배치되는 버퍼층, 버퍼층 상에 배치되는 제1 절연막, 제1 절연막 상에 배치되는 제2 절연막, 제1 절연막과 제2 절연막 사이에 개재되거나, 제2 절연막 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막을 포함하는 어레이 기판 및 어레이 기판 상에 배치되는 봉지 부재를 포함한다. An organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment is an array substrate having a display area and a non-display area disposed outside the display area, wherein the non-display area is disposed on a substrate, a barrier layer disposed on the substrate, and the barrier layer a buffer layer, a first insulating film disposed on the buffer layer, a second insulating film disposed on the first insulating film, interposed between the first insulating film and the second insulating film, or disposed on the second insulating film, spaced apart from each other to form one side of the substrate a plurality of wiring patterns extending toward the upper surface, a recess pattern recessed by a predetermined depth from the upper surface of the second insulating film to at least partially expose the upper surface of the substrate; and a plurality of wiring patterns disposed on the second insulating film and exposed by the recess pattern An array substrate including an organic insulating layer at least partially exposing an upper surface of the substrate, and an encapsulation member disposed on the array substrate.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.According to the embodiments of the present invention, there are at least the following effects.

즉, 외부의 충격에 의해 어레이 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다. That is, it is possible to prevent cracks from occurring in the array substrate due to an external impact.

또한, 외부에 충격에 의해 발생한 크랙이 성장하거나, 전파되는 것을 억제할 수 있다. In addition, it is possible to suppress the growth or propagation of cracks generated by external impact.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effect according to the present invention is not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이고,
도 2는 도 1의 'A' 부분을 확대한 부분 확대도이며,
도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 도 1의 'B' 부분을 확대한 부분 확대도이고,
도 5는 도 4의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따라 절단한 단면도이며,
도 6은 도 4의 Ⅲ-Ⅲ'라인을 따라 절단한 단면도이고,
도 7은 도 4의 Ⅳ-Ⅳ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 8은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 9는 도 8의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 10은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 11는 도 10의 Ⅴ-Ⅴ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 12은 도 10의 Ⅵ-Ⅵ'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 13은 도 11의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 14는 도 12의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 15는 도 10의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 16은 도 15의 Ⅶ-Ⅶ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 17은 도 6의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 18은 도 7의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 20은 도 19의 Ⅷ-Ⅷ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다.
도 22는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이다.
도 23은 도 22의 'C'부분을 확대한 부분 확대도이다.
도 24는 도 23의 Ⅸ-Ⅸ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 25는 도 22의 'D'부분을 확대한 부분 확대도이다.
도 26는 도 25의 Ⅹ-Ⅹ라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 27은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 28은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
1 is a plan view of an array substrate according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a partial enlarged view of part 'A' of Figure 1,
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line I-I' of FIG. 2 .
4 is a partial enlarged view of part 'B' of FIG. 1,
5 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 4;
6 is a cross-sectional view taken along line III-III' of FIG. 4;
7 is a cross-sectional view taken along line IV-IV' of FIG. 4 .
8 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modification of FIG. 4 .
9 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 8 .
FIG. 10 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 4 .
11 is a cross-sectional view taken along line V-V' of FIG. 10 .
12 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of FIG. 10 .
13 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modified example of FIG. 11 .
14 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modified example of FIG. 12 .
15 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 10 .
16 is a cross-sectional view taken along line VII-VII' of FIG. 15 .
17 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 6 .
18 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 7 .
19 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention.
20 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII' of FIG. 19 .
21 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention.
22 is a plan view of an array substrate according to another embodiment of the present invention.
23 is a partially enlarged view of part 'C' of FIG. 22 .
24 is a cross-sectional view taken along line IX-IX' of FIG. 23 .
FIG. 25 is a partially enlarged view of part 'D' of FIG. 22 .
26 is a cross-sectional view taken along line X-X of FIG. 25 .
27 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment.
28 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Reference to an element or layer “on” another element or layer includes any intervening layer or other element directly on or in the middle of the other element or layer. Like reference numerals refer to like elements throughout.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, these elements are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the spirit of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이고, 도 2는 도 1의 'A' 부분을 확대한 부분 확대도이며, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.1 is a plan view of an array substrate according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged partial view of part 'A' of FIG. 1, and FIG. 3 is a view taken along line Ⅰ-I' of FIG. It is a cross section.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판(100)은 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외측에 배치되는 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 1 to 3 , the array substrate 100 according to an exemplary embodiment may include a display area DA and a non-display area NDA disposed outside the display area DA. .

표시 영역(DA)은 일방향으로 연장되는 복수개의 게이트 라인(50), 게이트 라인(50)과 교차하는 방향으로 연장되는 복수개의 데이터 라인(60)을 포함할 수 있다. 또한, 복수의 게이트 라인(50)과 데이터 라인(60)에 의해 둘러 쌓인 화소 영역이 정의될 수 있다. 복수의 게이트 라인(50)과 데이터 라인(60)에 의해 정의된 각 화소 영역에는 게이트 라인(50) 및 데이터 라인(60)과 연결된 박막 트랜지스터가 형성될 수 있다. The display area DA may include a plurality of gate lines 50 extending in one direction and a plurality of data lines 60 extending in a direction crossing the gate lines 50 . Also, a pixel area surrounded by the plurality of gate lines 50 and data lines 60 may be defined. A thin film transistor connected to the gate line 50 and the data line 60 may be formed in each pixel area defined by the plurality of gate lines 50 and data lines 60 .

표시 영역(DA)에 대한 자세한 설명을 위해 도 2 및 도 3이 참조된다. 2 and 3 are referenced for a detailed description of the display area DA.

기판(10)은 판 형상을 갖는 부재로서, 후술하는 다른 구성들을 지지하는 역할을 할 수 있다. 기판(10)은 절연 기판으로서, 유리 또는 플라스틱을 포함하는 고분자 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 기판(10)은 폴리 이미드(Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 기판(10)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The substrate 10 is a member having a plate shape, and may serve to support other components to be described later. The substrate 10 is an insulating substrate and may be formed of a polymer material including glass or plastic. In an exemplary embodiment, the substrate 10 may be formed of poly imide (PI), but this is exemplary and the material of the substrate 10 is not limited thereto.

기판(10)은 경성(rigid) 기판(10)일 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 연성이나 가요성을 갖는 기판(10)일 수 있다. 즉, 본 명세서에서, "기판"이라 함은 구부리거나(bending), 접거나(folding), 마는 것(rolling)이 가능한 플렉서블 기판을 포함하는 개념으로 이해될 수 있다.The substrate 10 may be a rigid substrate 10 , but is not limited thereto, and may be a flexible or flexible substrate 10 . That is, in this specification, the term "substrate" may be understood as a concept including a flexible substrate capable of bending, folding, or rolling.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판(10)은 단일층 구조를 가질 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 즉, 다른 예시적인 실시예에서 기판(10)은 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다. 다시 말하면, 기판(10)은 베이스층 및 베이스층 상에 배치되는 보호층을 포함할 수 있다. As shown in FIG. 2 , the substrate 10 may have a single-layer structure, but is not limited thereto. That is, in another exemplary embodiment, the substrate 10 may have a stacked structure in which two or more layers are stacked. In other words, the substrate 10 may include a base layer and a protective layer disposed on the base layer.

베이스 층은 절연 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서 베이스층은 폴리이미드 (Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 베이스 층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 베이스층 상에는 보호층이 배치될 수 있다. 보호층은 유기 물질 또는 무기 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 보호층은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, Polyehtylene terephthalate) 및 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN, Polyethylene naphthalate)에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하여 이루어질 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 보호층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The base layer may be formed of an insulating material. In an exemplary embodiment, the base layer may be formed of poly imide (PI), but the material of the base layer is not limited thereto. A protective layer may be disposed on the base layer. The protective layer may be made of an organic material or an inorganic material. For example, the protective layer may include any one or more selected from polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), but this is exemplary and the material of the protective layer is not limited thereto. .

기판(10) 상에는 배리어층(11)이 배치될 수 있다. 배리어층(11)은 기판(10)으로부터 불순 원소의 침투를 방지하는 역할을 할 수 있다. 예시적인 실시예에서 배리어층(11)은 산화규소(SiOx) 및 질화규소(SiNx)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하여 형성될 수 있으나, 배리어층(11)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 배리어층(11)은 단일막 구조 또는 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다, 배리어층(11)이 두 개의 층을 갖는 예시적인 실시예에서, 두 개의 층은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 층은 산화 규소로 이루어지고, 제2 층은 질화 규소로 이루어질 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 배리어층(11)의 구조가 이에 제한되지는 않는다. A barrier layer 11 may be disposed on the substrate 10 . The barrier layer 11 may serve to prevent penetration of impurity elements from the substrate 10 . In an exemplary embodiment, the barrier layer 11 may include at least one selected from the group consisting of silicon oxide (SiOx) and silicon nitride (SiNx), but the material of the barrier layer 11 is not limited thereto. The barrier layer 11 may have a single layer structure or a stacked structure in which two or more layers are stacked. In an exemplary embodiment in which the barrier layer 11 has two layers, the two layers are formed of different materials. can be For example, the first layer may be made of silicon oxide and the second layer may be made of silicon nitride. However, this is exemplary and the structure of the barrier layer 11 is not limited thereto.

또한, 다른 예시적인 실시예에서 배리어층(11)은 기판(10)의 재질 또는 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다. Also, in another exemplary embodiment, the barrier layer 11 may be omitted depending on the material of the substrate 10 or process conditions.

배리어층(11) 상에는 배리어층(11)을 덮는 버퍼층(12)이 배치될 수 있다. 버퍼층(12)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 버퍼층(12)은 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 산화알루미늄(AlOx) 및 산질화규소(SiON)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하여 형성될 수 있으나, 버퍼층(12)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 버퍼층(12)은 단일막 구조 또는 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다, 버퍼층(12)이 두 개의 층을 갖는 예시적인 실시예에서, 두 개의 층은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 층은 산화 규소로 이루어지고, 제2 층은 질화 규소로 이루어질 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 버퍼층(12)의 구조가 이에 제한되지는 않는다. A buffer layer 12 covering the barrier layer 11 may be disposed on the barrier layer 11 . The buffer layer 12 may be an inorganic layer formed of an inorganic material. In an exemplary embodiment, the buffer layer 12 may be formed including at least one selected from the group consisting of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), aluminum oxide (AlOx), and silicon oxynitride (SiON), but the buffer layer ( 12) is not limited thereto. In addition, the buffer layer 12 may have a single layer structure or a stacked structure in which two or more layers are stacked. In an exemplary embodiment in which the buffer layer 12 has two layers, the two layers are formed of different materials. can be For example, the first layer may be made of silicon oxide and the second layer may be made of silicon nitride. However, this is exemplary and the structure of the buffer layer 12 is not limited thereto.

반도체층(40)은 비정질 규소 또는 다결정 규소를 포함하여 이루어질 수 있다. 예시적인 실시예에서 반도체층(40)은 비정질 규소를 도포하고 패터닝한 후 이를 결정화하는 방법으로 형성될 수 있으나, 반도체층(40)의 형성 방법이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에서 "반도체층"이라고 지칭되는 것은 산화물 반도체를 포함하는 것으로 이해될 수 있다. The semiconductor layer 40 may include amorphous silicon or polycrystalline silicon. In an exemplary embodiment, the semiconductor layer 40 may be formed by applying and patterning amorphous silicon and then crystallizing it, but the method of forming the semiconductor layer 40 is not limited thereto. In addition, it may be understood that what is referred to as a “semiconductor layer” in this specification includes an oxide semiconductor.

반도체층(40) 상에는 게이트 절연막(20)이 형성될 수 있다. 게이트 절연막(20)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 게이트 절연막(20)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 게이트 절연막(20)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. A gate insulating layer 20 may be formed on the semiconductor layer 40 . The gate insulating layer 20 may include silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx), but the material of the gate insulating layer 20 is not limited thereto. The gate insulating layer 20 may have a single layer structure, but is not limited thereto, and may have a multilayer structure including at least two insulating layers having different physical properties.

게이트 절연막(20) 상에는 게이트 라인(50), 게이트 전극(51) 및 게이트 패드(55)를 포함하는 게이트 배선이 배치될 수 있다. 게이트 배선은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하여 형성될 수 있으나, 게이트 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 게이트 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A gate wiring including a gate line 50 , a gate electrode 51 , and a gate pad 55 may be disposed on the gate insulating layer 20 . Gate wiring consists of aluminum-based metals such as aluminum (Al) and aluminum alloys, silver-based metals such as silver (Ag) and silver alloys, copper-based metals such as copper (Cu) and copper alloys, and molybdenum-based metals such as molybdenum (Mo) and molybdenum alloys. , chromium (Cr), tantalum (Ta) and titanium (Ti) may be formed including any one or more materials selected from the group consisting of, but the material of the gate wiring is not limited thereto, and as a conductive material, transparent or A translucent material may be used to form the gate wiring.

게이트 라인(50)은 앞서 설명한 바와 같이 복수개 배치되며, 서로 평행하도록 일 방향으로 연장될 수 있다. As described above, a plurality of gate lines 50 may extend in one direction to be parallel to each other.

게이트 배선 상에는 게이트 배선을 덮는 층간 절연막(30)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(30)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 층간 절연막(30)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 층간 절연막(30)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 층간 절연막(30)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 다층막 구조를 갖는 층간 절연막(30)에 대해서는 후술하기로 한다.An interlayer insulating layer 30 covering the gate wiring may be disposed on the gate wiring. The interlayer insulating layer 30 may be an inorganic layer formed of an inorganic material. In an exemplary embodiment, the interlayer insulating layer 30 may include silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx), but the material of the interlayer insulating layer 30 is not limited thereto. The interlayer insulating layer 30 may have a single layer structure, but is not limited thereto, and may have a multilayer structure including at least two insulating layers having different physical properties. The interlayer insulating film 30 having a multilayer structure will be described later.

층간 절연막(30) 상에는 소스 전극(61), 드레인 전극(62) 및 데이터 라인(60)을 포함하는 데이터 배선이 배치될 수 있다. 데이터 배선은 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있으나, 데이터 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 데이터 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A data line including a source electrode 61 , a drain electrode 62 , and a data line 60 may be disposed on the interlayer insulating layer 30 . The data wiring may be formed of a refractory metal such as molybdenum, chromium, tantalum and titanium or an alloy thereof, but the material of the data wiring is not limited thereto, and a transparent or translucent material as a conductive material is used to form the data wiring. can be used

데이터 라인(60)은 데이터 신호를 전달하며, 게이트 라인(50)과 교차하도록 배치될 수 있다. 즉, 예시적인 실시예에서 게이트 라인(50)은 가로 방향으로 연장되고, 데이터 라인(60)은 이와 교차하도록 세로 방향으로 연장될 수 있다. The data line 60 transmits a data signal and may be disposed to cross the gate line 50 . That is, in the exemplary embodiment, the gate line 50 may extend in a horizontal direction, and the data line 60 may extend in a vertical direction to intersect the same.

도 2에서는 데이터 라인(60) 및 게이트 라인(50)이 일직선 형상인 경우를 예시하였으나, 예시적인 실시예에서 데이터 라인(60) 및 게이트 라인(50)은 절곡부를 포함할 수도 있다. 다만, 이는 당업자에게 자명한 것으로 본 발명의 범위가 모호해지는 것을 막기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다. 2 illustrates a case in which the data line 60 and the gate line 50 have a straight line shape, but in an exemplary embodiment, the data line 60 and the gate line 50 may include bent portions. However, this is obvious to those skilled in the art, and detailed description thereof will be omitted to avoid obscuring the scope of the present invention.

소스 전극(61)은 데이터 라인(60)의 일부로서 데이터 라인(60)과 동일선 상에 배치될 수 있다. 드레인 전극(62)은 소스 전극(61)과 나란하게 뻗도록 형성될 수 있으며, 이 경우, 드레인 전극(62)은 데이터 라인(60)의 일부와 나란할 수 있다. The source electrode 61 is a part of the data line 60 and may be disposed on the same line as the data line 60 . The drain electrode 62 may be formed to extend parallel to the source electrode 61 . In this case, the drain electrode 62 may be parallel to a portion of the data line 60 .

게이트 전극(51), 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62))은 반도체층(40)과 함께 하나의 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(61)과 드레인 전극(62) 사이의 반도체층(40)에서 형성될 수 있다. The gate electrode 51 , the source electrode 61 , and the drain electrode 62 form one thin film transistor (TFT) together with the semiconductor layer 40 , and a channel of the thin film transistor is a source electrode It may be formed in the semiconductor layer 40 between the 61 and the drain electrode 62 .

데이터 배선 상에는 데이터 배선 및 층간 절연막(30)을 덮는 평탄화막(70)이 배치될 수 있다. 평탄화막(70)의 두께는 층간 절연막(30)에 비해 상대적으로 두꺼울 수 있다. 이러한, 두께차로 인하여, 평탄화막(70)의 상면은 층간 절연막(30) 및 소스/드레인 전극(62)과 접하는 하면에 비해 상대적으로 평탄할 수 있다. 평탄화막(70)은 기판(10) 상의 단차를 완화하기 위해 예컨대, 아크릴, BCB(Benzocyclicbutene) 및 폴리이미드로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 평탄화막(70)은 감광이 가능한 물질로 이루어질 수 있다. A planarization layer 70 covering the data line and the interlayer insulating layer 30 may be disposed on the data line. The thickness of the planarization layer 70 may be relatively thicker than that of the interlayer insulating layer 30 . Due to the thickness difference, the upper surface of the planarization film 70 may be relatively flat compared to the lower surface in contact with the interlayer insulating film 30 and the source/drain electrodes 62 . The planarization layer 70 may include, for example, at least one material selected from the group consisting of acryl, benzocyclic butene (BCB), and polyimide in order to alleviate the step difference on the substrate 10 , but is not limited thereto. In addition, the planarization layer 70 may be made of a photosensitive material.

평탄화막(70)에는 드레인 전극(62)을 적어도 부분적으로 노출시키는 제1 콘택홀(71)이 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 콘택홀(71)은 평탄화막(70)을 관통하며, 드레인 전극(62)의 상면을 부분적으로 노출시킬 수 있다. A first contact hole 71 exposing at least partially exposing the drain electrode 62 may be formed in the planarization layer 70 . Specifically, the first contact hole 71 may pass through the planarization layer 70 and partially expose the top surface of the drain electrode 62 .

평탄화막(70) 및 노출된 드레인 전극(62) 상에는 제1 전극(80)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 전극(80)이 평탄화막(70), 제1 콘택홀의 측벽 및 드레인 전극(62)의 상면을 덮도록 배치될 수 있으며, 이에 의해 제1 전극(80)과 드레인 전극(62)이 전기적으로 연결될 수 있다. 예시적인 실시예에서 제1 전극(80)은 애노드(Anode)전극일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 제1 전극(80)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide, IZO) 등으로 이루어질 수 있으나, 제1 전극(80)의 재질이 이에 제한되지는 않는다. 제1 전극(80) 상에는 화소 정의막, 유기층 및 제2 전극이 배치될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다. A first electrode 80 may be disposed on the planarization layer 70 and the exposed drain electrode 62 . That is, the first electrode 80 may be disposed to cover the planarization layer 70 , the sidewall of the first contact hole, and the upper surface of the drain electrode 62 , whereby the first electrode 80 and the drain electrode 62 . This can be electrically connected. In an exemplary embodiment, the first electrode 80 may be an anode electrode, but is not limited thereto. The first electrode 80 may be made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), but the material of the first electrode 80 is not limited thereto. A pixel defining layer, an organic layer, and a second electrode may be disposed on the first electrode 80 . A detailed description thereof will be provided later.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 비표시 영역(NDA)에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, the non-display area NDA of the array substrate according to an embodiment of the present invention will be described.

다시 도 1을 참조하면, 표시 영역(DA)의 외측에 배치되는 비표시 영역(NDA)에는 스캔 드라이버(200), 에미션 드라이버(300), 및 스캔 드라이버(200), 에미션 드라이버(300) 또는 표시 영역(DA)과 연결되는 복수개의 배선 패턴이 배치될 수 있다. 배선 패턴은 스캔 드라이버(200), 에미션 드라이버(300) 또는 표시 영역(DA)으로부터 연장되는 배선 라인부(401)와 배선 라인부(401)의 일단부에 배치되며, 타단이 배선 라인부(401)보다 넓은 폭을 갖는 배선 패드부(402)를 포함할 수 있다. 배선 패턴의 구조에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다. Referring back to FIG. 1 , the non-display area NDA disposed outside the display area DA includes a scan driver 200 , an emission driver 300 , and a scan driver 200 and an emission driver 300 . Alternatively, a plurality of wiring patterns connected to the display area DA may be disposed. The wiring pattern is disposed at one end of the scan driver 200 , the emission driver 300 or the wiring line unit 401 extending from the display area DA and the wiring line unit 401 , and the other end of the wiring line unit ( The wiring pad part 402 having a width wider than that of the 401 may be included. A detailed description of the structure of the wiring pattern will be described later.

비표시 영역(NDA)에 대한 보다 구체적인 설명을 위해, 도 4 내지 도 7이 참조된다.For a more detailed description of the non-display area NDA, reference is made to FIGS. 4 to 7 .

도 4는 도 1의 'B' 부분을 확대한 부분 확대도이고, 도 5는 도 4의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따라 절단한 단면도이며, 도 6은 도 4의 Ⅲ-Ⅲ'라인을 따라 절단한 단면도이고, 도 7은 도 4의 Ⅳ-Ⅳ' 라인을 따라 절단한 단면도이다. 4 is a partially enlarged view of part 'B' of FIG. 1 , FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 4 , and FIG. 6 is a cross-sectional view cut along line Ⅲ-III' of FIG. 4 . It is a cross-sectional view, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line IV-IV' of FIG. 4 .

도 4 내지 도 7을 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 비표시 영역(NDA)은 기판(10), 기판(10) 상에 배치되는 배리어층(11), 배리어층(11) 상에 배치되는 버퍼층(12), 버퍼층(12) 상에 배치되는 제1 절연막(25), 제1 절연막(25) 상에 배치되는 제2 절연막(35),제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴, 제2 절연막(35) 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막(75)을 포함한다. 4 to 7 , the non-display area NDA of the array substrate according to an embodiment of the present invention includes a substrate 10 , a barrier layer 11 disposed on the substrate 10 , and a barrier layer 11 . The buffer layer 12 disposed thereon, the first insulating layer 25 disposed on the buffer layer 12 , the second insulating layer 35 disposed on the first insulating layer 25 , the first insulating layer 25 and the second A plurality of wiring patterns interposed between the insulating layers 35 or disposed on the second insulating layer 35, spaced apart from each other and extending toward one side of the substrate 10, a predetermined depth from the upper surface of the second insulating layer 35 A recess pattern that is recessed to at least partially expose the upper surface of the substrate 10 and an organic insulating film 75 disposed on the second insulating film and at least partially exposing the upper surface of the substrate exposed by the recess pattern includes

기판(10), 배리어층(11) 및 버퍼층(12)에 대한 것은 앞서 도 1 내지 도 3에서 설명한 바와 실질적으로 동일할 수 있으므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.Since the substrate 10 , the barrier layer 11 , and the buffer layer 12 may be substantially the same as those described with reference to FIGS. 1 to 3 , a description thereof will be omitted.

버퍼층(12) 상에는 제1 절연막(25)이 배치될 수 있다. 제1 절연막(25)은 무기 물질로 형성된 무기 절연막일 수 있다. 제1 절연막(25)은 예컨대, 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함하여 형성될 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 제1 절연막(25)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. A first insulating layer 25 may be disposed on the buffer layer 12 . The first insulating layer 25 may be an inorganic insulating layer formed of an inorganic material. The first insulating layer 25 may include, for example, silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx), but this is an example and the material of the first insulating layer 25 is not limited thereto.

예시적인 실시예에서 제1 절연막(25)은 표시 영역(DA)의 게이트 절연막(20)과 실질적으로 동일한 물질로 형성될 수 있다. 다시 말하면, 비표시 영역(NDA)의 제1 절연막(25)은 표시 영역(DA)의 게이트 절연막(20)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 비표시 영역(NDA)의 제1 절연막(25)과 표시 영역(DA)의 게이트 절연막(20)이 각각 별개의 구성으로서 독립적으로 형성될 수도 있다. In an exemplary embodiment, the first insulating layer 25 may be formed of substantially the same material as the gate insulating layer 20 of the display area DA. In other words, the first insulating layer 25 of the non-display area NDA may be formed substantially simultaneously with the gate insulating layer 20 of the display area DA. However, this is not limited thereto, and the first insulating layer 25 of the non-display area NDA and the gate insulating layer 20 of the display area DA may be independently formed as separate components.

제1 절연막(25) 상에는 제2 절연막(35)이 배치될 수 있다. 제2 절연막(35)은 제1 절연막(25)과 마찬가지로 무기 물질로 형성된 무기 절연막일 수 있다. 제2 절연막(35)도 제1 절연막(25)과 같이 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함하여 형성될 수 있다. 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35)은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35)은 서로 동일한 물질로 형성될 수도 있다. 예시적인 실시예에서 제2 절연막은 표시 영역의 층간 절연막과 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 제2 절연막은 표시 영역의 층간 절연막과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 표시 영역의 층간 절연막과 비표시 영역의 제2 절연막은 독립한 별개의 구성으로서, 각각 독립적으로 형성될 수도 있다. A second insulating layer 35 may be disposed on the first insulating layer 25 . Like the first insulating layer 25 , the second insulating layer 35 may be an inorganic insulating layer formed of an inorganic material. Like the first insulating layer 25 , the second insulating layer 35 may also include silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx). The first insulating layer 25 and the second insulating layer 35 may be formed of different materials, but the present invention is not limited thereto, and the first insulating layer 25 and the second insulating layer 35 may be formed of the same material. have. In an exemplary embodiment, the second insulating layer may be made of substantially the same material as the interlayer insulating layer of the display area. That is, the second insulating layer may be formed substantially simultaneously with the interlayer insulating layer of the display area. However, this is not limited thereto, and the interlayer insulating layer of the display area and the second insulating layer of the non-display area are independent and separate components, and may be formed independently.

제1 절연막(25) 또는 제2 절연막(35) 상에는 배선 패턴이 배치될 수 있다. 다시 말하면, 배선 패턴은 제1 절연막(25) 상에 배치되어, 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 배치될 수 있다. 또한, 예시적인 실시예에서 배선 패턴의 일부는 제1 절연막(25) 상에 형성되고, 잔부는 제2 절연막(35) 상에 형성될 수도 있다.A wiring pattern may be disposed on the first insulating layer 25 or the second insulating layer 35 . In other words, the wiring pattern may be disposed on the first insulating layer 25 , interposed between the first insulating layer 25 and the second insulating layer 35 , or disposed on the second insulating layer 35 . Also, in an exemplary embodiment, a portion of the wiring pattern may be formed on the first insulating layer 25 , and the remainder may be formed on the second insulating layer 35 .

배선 패턴은 표시 영역(DA), 스캔 드라이버(200) 또는 에미션 드라이버(300)와 연결되어, 신호를 전달하거나, 전달 받는 역할을 할 수 있다. 이를 위해 배선 패턴은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하여 형성될 수 있으나, 배선 패턴의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 도전체는 배선 패턴을 형성하는데 사용될 수 있다. The wiring pattern may be connected to the display area DA, the scan driver 200 or the emission driver 300 to transmit or receive a signal. For this purpose, the wiring pattern consists of an aluminum-based metal such as aluminum (Al) or an aluminum alloy, a silver-based metal such as silver (Ag) or a silver alloy, a copper-based metal such as copper (Cu) or a copper alloy, and molybdenum such as molybdenum (Mo) or a molybdenum alloy It may be formed of at least one material selected from the group consisting of a series metal, chromium (Cr), tantalum (Ta), and titanium (Ti), but the material of the wiring pattern is not limited thereto, and a conductive conductor having conductivity can be used to form a wiring pattern.

예시적인 실시예에서, 배선 패턴은 배선 라인부(401), 배선 패드부(402) 및 배선 접속부(403)를 포함할 수 있다. In an exemplary embodiment, the wiring pattern may include a wiring line part 401 , a wiring pad part 402 , and a wiring connection part 403 .

*배선 라인부(401)는 표시 영역(DA), 스캔 드라이버(200) 또는 에미션 드라이버(300)와 전기적으로 연결되며, 표시 영역(DA), 스캔 드라이버(200) 또는 에미션 드라이버(300)로부터 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성될 수 있다. 배선 라인부(401)는 일정 간격 이격되어 복수개 배치될 수 있으며, 각 배선 라인부(401)는 일직선으로 연장되거나, 적어도 하나 이상의 절곡부를 가지며 기판(10)의 일측을 향해 연장될 수 있다. * The wiring line unit 401 is electrically connected to the display area DA, the scan driver 200 or the emission driver 300 , and the display area DA, the scan driver 200 or the emission driver 300 . It may be formed extending toward one side of the substrate 10 from the. A plurality of wiring line units 401 may be disposed to be spaced apart from each other by a predetermined interval, and each wiring line unit 401 may extend in a straight line or may have at least one bent portion and extend toward one side of the substrate 10 .

예시적인 실시예에서 배선 라인부(401)는 제1 절연막(25) 상에 배치될 수 있다. 즉, 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 배선 라인부(401)가 개재될 수 있다. 배선 라인부(401)는 표시 영역(DA)의 게이트 배선과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 다시 말하면, 배선 라인부(401)는 표시 영역(DA)의 게이트 배선과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 비표시 영역(NDA)의 배선 라인부(401)와 표시 영역(DA)의 게이트 배선은 각각 독립적으로 형성될 수도 있다. In an exemplary embodiment, the wiring line unit 401 may be disposed on the first insulating layer 25 . That is, the wiring line part 401 may be interposed between the first insulating layer 25 and the second insulating layer 35 . The wiring line unit 401 may be formed of the same material as the gate wiring of the display area DA. In other words, the wiring line unit 401 may be formed substantially simultaneously with the gate wiring of the display area DA. However, the present invention is not limited thereto, and the wiring line unit 401 of the non-display area NDA and the gate wiring of the display area DA may be formed independently.

배선 라인부(401)의 일단은 후술하는 배선 패드부(402)의 타단과 부분적으로 중첩될 수 있다. One end of the wiring line unit 401 may partially overlap the other end of the wiring pad unit 402 to be described later.

배선 패드부(402)는 배선 라인부(401)의 일단과 전기적으로 연결되며, 배선 라인부(401)의 일단으로부터 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성될 수 있다. 배선 패드부(402)는 복수개 배치될 수 있으며, 각 배선 패드부(402)는 상기 기판(10)의 일측변을 따라 정렬되어 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 연장된 배선 패드부(402)의 일단은 기판(10)의 일측변과 접할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 배선 패드부(402) 타단의 폭은 배선 라인부(401)의 폭보다 상대적으로 클 수 있다. 배선 패드부(402)에는 기판(10)의 성능 검사 등을 위한 검사 장치 또는 인쇄회로기판(10)과 연결된 연성회로기판(10)(Flexible Printed Circuit, FPC) 등의 외부 회로 모듈이 연결될 수 있는데, 배선 패드부(402)가 배선 라인부(401)에 비해 넓은 폭을 갖는 경우, 회로 모듈과의 전기적 접촉이 보다 용이하게 이루어질 수 있다. The wiring pad unit 402 is electrically connected to one end of the wiring line unit 401 , and may be formed to extend from one end of the wiring line unit 401 toward one side of the substrate 10 . A plurality of wire pad parts 402 may be disposed, and each wire pad part 402 may be arranged along one side of the substrate 10 . In an exemplary embodiment, one end of the extended wiring pad part 402 may contact one side of the substrate 10 , but is not limited thereto. The width of the other end of the wiring pad part 402 may be relatively larger than the width of the wiring line part 401 . An external circuit module such as a flexible printed circuit board (FPC) connected to a test device for performance test of the board 10 or the printed circuit board 10 may be connected to the wiring pad part 402. , when the wiring pad part 402 has a wider width than the wiring line part 401, electrical contact with the circuit module can be made more easily.

예시적인 실시예에서 배선 패드부(402)는 제2 절연막(35) 상에 배치될 수 있다. 즉, 배선 패드부(402)는 배선 라인부(401)와 서로 상이한 레벨을 갖도록 배치될 수 있다. 다시 말하면, 배선 패드부(402)와 배선 라인부(401)는 서로 다른 층에 배치될 수 있다. In an exemplary embodiment, the wiring pad part 402 may be disposed on the second insulating layer 35 . That is, the wiring pad unit 402 may be disposed to have a different level from that of the wiring line unit 401 . In other words, the wiring pad unit 402 and the wiring line unit 401 may be disposed on different layers.

배선 라인부(401) 배선 패드부(402)는 전기적으로 연결될 수 있다. 구체적으로 배선 라인부(401)의 일단과 배선 패드부(402)의 타단이 전기적으로 연결될 수 있다. 배선 라인부(401)가 제1 절연막(25) 상에 배치되고, 배선 패드부(402)가 제2 절연막(35) 상에 배치되는 예시적인 실시예에서, 배선 패드부(402)와 배선 라인부(401)는 배선 접속부(403)를 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 배선 접속부(403)에 대한 구체적인 설명을 위해 도 5가 참조된다. The wiring line unit 401 and the wiring pad unit 402 may be electrically connected to each other. Specifically, one end of the wiring line unit 401 and the other end of the wiring pad unit 402 may be electrically connected. In the exemplary embodiment in which the wiring line part 401 is disposed on the first insulating film 25 and the wiring pad part 402 is disposed on the second insulating film 35 , the wiring pad part 402 and the wiring line The part 401 may be electrically connected through a wiring connection part 403 . For a detailed description of the wiring connection portion 403 , reference is made to FIG. 5 .

도 5를 참조하면, 배선 라인부(401) 상에 제2 절연막(35)이 배치되되, 제2 절연막(35)이 배선 라인부(401)를 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 즉, 배선 패드부(402)가 제2 절연막(35)에 의해 노출된 배선 라인부(401) 상에 배치됨으로써, 배선 패드부(402)와 배선 라인부(401)가 전기적으로 연결될 수 있다. Referring to FIG. 5 , a second insulating layer 35 is disposed on the wiring line unit 401 , and the second insulating layer 35 may at least partially expose the wiring line unit 401 . That is, since the wiring pad part 402 is disposed on the wiring line part 401 exposed by the second insulating layer 35 , the wiring pad part 402 and the wiring line part 401 may be electrically connected.

복수개의 배선 패턴과 인접하도록, 적어도 하나의 리세스 패턴(500)이 배치될 수 있다. 리세스 패턴(500)은 제2 절연막(35) 상면으로부터 일정 간격 리세스되어 형성될 수 있다. 제2 절연막(35) 상면으로부터 일정 간격 리세스되어 형성되는 리세스 패턴(500)은 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출할 수 있다. 바꾸어 말하면, 리세스 패턴(500)의 바닥면은 적어도 부분적으로 기판(10)의 상면을 포함할 수 있다. At least one recess pattern 500 may be disposed to be adjacent to the plurality of wiring patterns. The recess pattern 500 may be formed by being recessed at a predetermined interval from the upper surface of the second insulating layer 35 . The recess pattern 500 formed by being recessed at a predetermined distance from the top surface of the second insulating layer 35 may at least partially expose the top surface of the substrate 10 . In other words, the bottom surface of the recess pattern 500 may at least partially include the top surface of the substrate 10 .

바꾸어 설명하면, 리세스 패턴(500)은 배리어층(11), 버퍼층(12), 제1 절연막(25), 제2 절연막(35)을 관통하여, 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 즉, 예시적인 실시예에서, 리세스 패턴(500)의 바닥면은 기판(10)의 상면으로 이루어지고, 리세스 패턴(500)의 측벽은 배리어층(11), 버퍼층(12), 제1 절연막(25), 및 제2 절연막(35)의 내측면으로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 제2 절연막(35)과 기판(10) 사이에 중간층이 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 또 다른 층이 배치되는 경우, 리세스 패턴(500)의 측벽은 중간층의 내측면 및 제2 절연막(35) 상에 배치되는 또 다른 층의 내측면을 포함하여 이루어질 수도 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.In other words, the recess pattern 500 penetrates the barrier layer 11 , the buffer layer 12 , the first insulating layer 25 , and the second insulating layer 35 , and at least partially exposes the upper surface of the substrate 10 . can do it That is, in the exemplary embodiment, the bottom surface of the recess pattern 500 is formed as the top surface of the substrate 10 , and the sidewalls of the recess pattern 500 are the barrier layer 11 , the buffer layer 12 , and the first The insulating layer 25 and the inner surface of the second insulating layer 35 may be formed. However, the present invention is not limited thereto, and when an intermediate layer is interposed between the second insulating layer 35 and the substrate 10 or another layer is disposed on the second insulating layer 35 , the sidewall of the recess pattern 500 . The silver layer may include an inner surface of the intermediate layer and an inner surface of another layer disposed on the second insulating layer 35 . A detailed description thereof will be provided later.

예시적인 실시예에서 적어도 하나의 리세스 패턴(500)은 배선 라인부(401)와 인접하게 또는 하나의 배선 라인부와 다른 배선 라인부 사이에 배치될 수 있다. In an exemplary embodiment, the at least one recess pattern 500 may be disposed adjacent to the wiring line unit 401 or between one wiring line unit and another wiring line unit.

도 4 및 도 6에서는 리세스 패턴(500)이 배선 라인부(401)와 인접하되, 배선 라인부(401)로부터 일정 간격 이격되어 있는 것을 예시하고 있으나, 이에 제한되지 않으며, 리세스 패턴(500)은 적어도 부분적으로 배선 라인부(401)와 접하도록 형성될 수도 있다. 4 and 6 illustrate that the recess pattern 500 is adjacent to the wiring line unit 401 but spaced apart from the wiring line unit 401 by a predetermined interval, but is not limited thereto, and the recess pattern 500 is not limited thereto. ) may be formed to be at least partially in contact with the wiring line unit 401 .

이와 같이, 기판(10) 상에 적어도 하나 이상의 무기 절연막을 관통하는 리세스 패턴(500)이 형성되는 경우, 어레이 기판의 제조 공정, 검사 공정 및 운반 공정 등에서 가해진 충격에 의해 발생되는 크랙의 전파가 억제될 수 있다. 즉, 각종 충격에 의해 발생한 크랙은 기판(10)의 무기 절연막을 통해 성장하거나, 전파되는 경향성을 갖는데, 상술한 바와 같이 무기 절연막을 제거한 리세스 패턴(500)을 배치하는 경우, 리세스 패턴(500)이 크랙이 진행하는 경로를 차단하여, 크랙이 전파되는 것을 억제할 수 있다. 즉, 비표시 영역(NDA)에서 발생한 크랙이 성장하여, 표시 영역(DA)까지 도달하는 것을 차단할 수 있다. 바꾸어 말하면, 리세스 패턴(500)은 크랙 스토퍼(Crack Stopper)의 역할을 할 수 있다. As described above, when the recess pattern 500 penetrating the at least one inorganic insulating film is formed on the substrate 10 , the propagation of cracks generated by the impact applied in the manufacturing process of the array substrate, the inspection process, and the transport process, etc. can be suppressed. That is, cracks generated by various impacts have a tendency to grow or propagate through the inorganic insulating film of the substrate 10. As described above, when the recess pattern 500 from which the inorganic insulating film is removed is disposed, the recess pattern ( 500) by blocking the path along which the crack proceeds, it is possible to suppress the propagation of the crack. That is, cracks generated in the non-display area NDA may be prevented from growing to reach the display area DA. In other words, the recess pattern 500 may serve as a crack stopper.

제2 절연막(35) 상에는 유기 절연막(75)이 배치될 수 있다. 유기 절연막(75)은 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예시적으로 유기 절연막(75)는 아크릴, BCB(Benzocyclicbutene) 및 폴리이미드로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 유기 절연막(75)은 감광이 가능한 물질로 이루어질 수 있다. . An organic insulating layer 75 may be disposed on the second insulating layer 35 . The organic insulating layer 75 may be made of an organic material. For example, the organic insulating layer 75 may include at least one material selected from the group consisting of acryl, benzocyclic butene (BCB), and polyimide, but is not limited thereto. In addition, the organic insulating layer 75 may be made of a photosensitive material. .

배선 라인부(401)가 형성되는 영역에서 제2 절연막(35) 상에 배치되는 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(500)을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. (도 6 참조) 즉, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(500)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 바꾸어 말하면, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(500)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면의 전부 또는 일부를 노출시킬 수 있다. The organic insulating layer 75 disposed on the second insulating layer 35 in the region where the wiring line part 401 is formed may at least partially expose the recess pattern 500 . (See FIG. 6 ) That is, the organic insulating layer 75 may at least partially expose the upper surface of the substrate 10 exposed by the recess pattern 500 . In other words, the organic insulating layer 75 may expose all or part of the upper surface of the substrate 10 exposed by the recess pattern 500 .

배선 패드부(402)가 배치되는 영역에서 유기 절연막(75)은 제2 절연막(35) 및 제2 절연막(35) 상에 배치되는 배선 패드부(402)의 일부를 덮을 수 있다. (도 7 참조) 즉, 유기 절연막(75)은 배선 패드부(402)의 일부를 노출시킬 수 있다. 다시 말하면, 유기 절연막(75)은 유기 절연막(75)을 관통하여 배선 패드부(402)의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 콘택부(72)를 포함할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 배선 패드부(402)에는 기판(10)의 성능을 검사하기 위한 각종 검사 장치 또는 인쇄회로기판(10)과 연결된 연성회로기판(10)(Flexible Printed Circuit, FPC)등이 접속될 수 있다. 즉, 콘택부는 배선 패드부(402)를 노출시킴으로써, 상기한 장치 등과 배선 패드부(402)가 접속되도록 유도할 수 있다. In the region where the wiring pad unit 402 is disposed, the organic insulating layer 75 may cover the second insulating layer 35 and a portion of the wiring pad unit 402 disposed on the second insulating layer 35 . (See FIG. 7 ) That is, the organic insulating layer 75 may expose a portion of the wiring pad part 402 . In other words, the organic insulating layer 75 may include a contact part 72 penetrating through the organic insulating layer 75 and at least partially exposing the upper surface of the wiring pad part 402 . As described above, to the wiring pad part 402, various test devices for inspecting the performance of the board 10 or a flexible printed circuit board 10 (Flexible Printed Circuit, FPC) connected to the printed circuit board 10 may be connected. can That is, by exposing the wiring pad unit 402 , the contact unit may induce the device and the like to be connected to the wiring pad unit 402 .

예시적인 실시예에서 유기 절연막(75)은 표시 영역(DA)의 평탄화막(70)과 실질적으로 동일한 물질로 형성될 수 있다. 바꾸어 말하면, 유기 절연막(75)은 표시 영역(DA)에서 평탄화막 (70)을 형성함과 동시에 형성할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 표시 영역(DA)의 평탄화막(70)과 비표시 영역(NDA)의 유기 절연막(75)은 각각 별개의 구성으로서, 각자가 독립적으로 형성될 수도 있다. In an exemplary embodiment, the organic insulating layer 75 may be formed of substantially the same material as the planarization layer 70 of the display area DA. In other words, the organic insulating layer 75 may be formed simultaneously with the formation of the planarization layer 70 in the display area DA. However, this is by way of example and is not limited thereto, and the planarization layer 70 of the display area DA and the organic insulating layer 75 of the non-display area NDA are separate, and may be independently formed. have.

이하, 본 발명의 다른 실시예들에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서 이미 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 번호로서 지칭하며, 중복 설명은 생략하거나 간략화하기로 한다.Hereinafter, other embodiments of the present invention will be described. In the following embodiments, the same components as those already described are referred to by the same reference numerals, and duplicate descriptions will be omitted or simplified.

도 8은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 8을 참조하면, 본 발명의 변형예에 따른 어레이 기판은 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에 복수개의 리세스 패턴(507)이 형성되는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 8 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modification of FIG. 4 . Referring to FIG. 8 , the array substrate according to the modified example of the present invention is different from the embodiment of FIG. 4 in that a plurality of recess patterns 507 are formed between one wiring line unit and another adjacent wiring line unit. to be.

하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에는 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(507)이 배치될 수 있다. 도 8은 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에 3 개의 리세스 패턴(507)이 일렬로 정렬되어 배치되는 것을 예시하고 있으나, 리세스 패턴(507)의 개수와 배열은 이에 제한되지 않는다. 즉, 리세스 패턴(507)은 복수개 일 수 있으며, 복수개의 리세스 패턴(507)은 일렬로 정렬되거나 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배열될 수도 있다. 이에 대해서는 후술한다.At least one recess pattern 507 may be disposed between one wiring line unit and another adjacent wiring line unit. 8 illustrates that three recess patterns 507 are arranged in a line between one wiring line unit and another adjacent wiring line unit, but the number and arrangement of the recess patterns 507 are limited thereto. doesn't happen That is, there may be a plurality of recess patterns 507 , and the plurality of recess patterns 507 may be arranged in a line or in a matrix shape having a plurality of columns and rows. This will be described later.

도 9는 도 8의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 9를 참조하면, 본 발명의 변형예에 따른 어레이 기판은 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에 복수개의 리세스 패턴(508)이 배치되되, 복수개의 리세스 패턴(508)이 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배열된 점이 도 8의 변형예와 다른 점이다. 9 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 8 . Referring to FIG. 9 , in an array substrate according to a modified example of the present invention, a plurality of recess patterns 508 are disposed between one wiring line part and another adjacent wiring line part, and the plurality of recess patterns 508 are disposed. It is different from the modified example of FIG. 8 in that it is arranged in a matrix having columns and rows.

앞서 설명한 바와 같이 하나의 배선 라인부와 인접하는 다른 배선 라인부 사이에는 복수개의 리세스 패턴(508)이 배치될 수 있다. 복수개의 리세스 패턴(508)은 일렬로 정렬되거나 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 도 9는 복수개의 리세스 패턴(508)이 3행 곱하기 2열 형태인 것을 예시하나, 이는 예시적인 것으로, 리세스 패턴(508)의 배열 형상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 행의 수와 열의 수는 2보다 크거나 같을 수 있다. 또한, 도 9는 복수개의 리세스 패턴(508)이 규칙적으로 배열된 것을 예시하나, 이에 제한되는 것은 아니며, 복수개의 리세스 패턴(508)은 불규칙적으로 산개하여 배치될 수도 있다. As described above, a plurality of recess patterns 508 may be disposed between one wiring line unit and another adjacent wiring line unit. The plurality of recess patterns 508 may be arranged in a line or may be arranged in a matrix shape having a plurality of columns and rows. 9 illustrates that the plurality of recess patterns 508 are in the form of 3 rows by 2 columns, but this is exemplary and the arrangement shape of the recess patterns 508 is not limited thereto. That is, the number of rows and the number of columns may be greater than or equal to two. In addition, although FIG. 9 illustrates that the plurality of recess patterns 508 are regularly arranged, the present invention is not limited thereto, and the plurality of recess patterns 508 may be arranged irregularly and scattered.

도 10은 도 4의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이고, 도 11는 도 10의 Ⅴ-Ⅴ' 라인을 따라 절단한 단면도이며, 도 12은 도 10의 Ⅵ-Ⅵ'라인을 따라 절단한 단면도이다. 10 is a partially enlarged view of the array substrate according to the modified example of FIG. 4 , FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line V-V' of FIG. 10, and FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of FIG. 10 . It is one cross section.

도 10 내지 도 12을 참조하면, 도 4의 변형예예에 따른 어레이 기판은 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)이 배선 패드부(402) 사이까지 연장되어 형성되는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 10 to 12 , in the array substrate according to the modified example of FIG. 4 , a recess pattern 501 disposed between the wiring line parts 401 is formed by extending between the wiring pad parts 402 . It is different from the 4th embodiment.

한 배선 라인부(401)와 다른 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)은 한 배선 라인부와 연결된 배선 패드부와 다른 배선 라인부와 연결된 배선 패드부 사이까지 연장될 수 있다. 즉, 서로 인접하는 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)은 기판(10)의 일측을 향해 연장될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 배선 패드부(402)의 폭은 배선 라인부(401)의 폭에 비해 상대적으로 클 수 있다. 이에 따라, 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)의 폭(d1)에 비해 배선 패드부(402) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)의 폭(d2)이 상대적으로 작을 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 배선 라인부(401) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)과 배선 패드부(402) 사이에 배치되는 리세스 패턴(501)의 폭은 실질적으로 동일할 수도 있다. The recess pattern 501 disposed between one wiring line unit 401 and another wiring line unit 401 may extend between a wiring pad unit connected to one wiring line unit and a wiring pad unit connected to another wiring line unit. have. That is, the recess pattern 501 disposed between the interconnection line portions 401 adjacent to each other may extend toward one side of the substrate 10 . As described above, the width of the wiring pad part 402 may be relatively larger than the width of the wiring line part 401 . Accordingly, the width d2 of the recess pattern 501 disposed between the wiring pad parts 402 is relatively higher than the width d1 of the recess pattern 501 disposed between the wiring line parts 401 . can be small However, the present invention is not limited thereto, and the width of the recess pattern 501 disposed between the wiring line part 401 and the recess pattern 501 disposed between the wiring pad part 402 may be substantially the same. .

도 13은 도 11의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이고, 도 14는 도 12의 변형예예에 따른 어레이 기판의 단면도이다. 13 is a cross-sectional view of the array substrate according to the modified example of FIG. 11 , and FIG. 14 is a cross-sectional view of the array substrate according to the modified example of FIG. 12 .

도 13 및 도 14를 참조하면, 제2 절연막(35) 상에 배치되는 유기 절연막(75)이 리세스 패턴(501)에 의해 노출된 기판(10)을 덮는 점이 도 11 및 도 12의 실시예와 다른 점이다.13 and 14 , the organic insulating layer 75 disposed on the second insulating layer 35 covers the substrate 10 exposed by the recess pattern 501 in the embodiment of FIGS. 11 and 12 . is different from

앞서 설명한 바와 같이 제2 절연막(35) 상에는 유기 절연막(75)이 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(501)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면을 완전하게 덮을 수 있다.즉, 유기 절연막(75)은 제2 절연막(35), 리세스 패턴(500)의 측벽 및 리세스 패턴(500)의 바닥면을 덮을 수 있다. 도 11 및 도 12는 유기 절연막(75)이 리세스 패턴(501)에 의해 노출되는 기판(10)의 상면 을 완전하게 덮는 것을 예시하고 있지만, 이에 제한되는 것은 아니며, 유기 절연막(75)은 리세스 패턴(501)에 의해 노출되는 기판(10) 상면의 전부 또는 일부를 노출시킬 수 있다. 유기 절연막(75)에 배선 패드부(402)를 적어도 부분적으로 노출시키는 콘택부(72)가 형성될 수 있음은 앞서, 도 7에서 설명한 바와 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.As described above, the organic insulating layer 75 may be disposed on the second insulating layer 35 . In an exemplary embodiment, the organic insulating layer 75 may completely cover the upper surface of the substrate 10 exposed by the recess pattern 501 . That is, the organic insulating layer 75 includes the second insulating layer 35 , A sidewall of the recess pattern 500 and a bottom surface of the recess pattern 500 may be covered. 11 and 12 illustrate that the organic insulating film 75 completely covers the upper surface of the substrate 10 exposed by the recess pattern 501, but is not limited thereto, and the organic insulating film 75 is All or part of the upper surface of the substrate 10 exposed by the recess pattern 501 may be exposed. The contact portion 72 exposing the wiring pad portion 402 at least partially may be formed in the organic insulating layer 75 is substantially the same as that described above with reference to FIG. 7 , and thus a detailed description thereof will be omitted. .

도 15는 도 10의 변형예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 16은 도 15의 Ⅶ-Ⅶ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.15 is a partially enlarged view of an array substrate according to a modified example of FIG. 10 . 16 is a cross-sectional view taken along line VII-VII' of FIG. 15 .

도 15 및 도 16을 참조하면, 도 10의 변형예에 따른 어레이 기판은 배선 패드부(402)의 내측에 배치되며, 배선 패드부(402)를 관통하여 기판(10)의 상면을 노출시키는 리세스 홈(502)을 더 포함하는 점이 도 8과 다른 점이다. 15 and 16 , the array substrate according to the modified example of FIG. 10 is disposed inside the wiring pad unit 402 and passes through the wiring pad unit 402 to expose the upper surface of the substrate 10 . It is different from FIG. 8 in that it further includes a set groove 502 .

배선 패드부(402)의 내측에는 리세스 홈(502)이 배치될 수 있다. 구체적으로 리세스 홈(502)은 배선 패드부(402)의 외주의 내측에 배치될 수 있다. A recess groove 502 may be disposed inside the wiring pad part 402 . Specifically, the recess groove 502 may be disposed inside the outer periphery of the wiring pad part 402 .

리세스 홈(502)은 배선 패드부(402), 제2 절연막(35), 제1 절연막(25), 버퍼층(12) 및 배리어층(11)을 순차적으로 관통하여 기판(10)의 상면을 노출시킬 수 있다. 즉, 리세스 홈(502)의 바닥면은 기판(10)의 상면을 포함하고, 리세스 홈(502)의 측벽은 배선 패드부(402), 제2 절연막(35), 제1 절연막(25), 버퍼층(12) 및 배리어층(11)의 내측면을 포함할 수 있다.The recess groove 502 sequentially penetrates the wiring pad part 402 , the second insulating layer 35 , the first insulating layer 25 , the buffer layer 12 , and the barrier layer 11 to form the upper surface of the substrate 10 . can be exposed. That is, the bottom surface of the recess groove 502 includes the top surface of the substrate 10 , and sidewalls of the recess groove 502 include the wiring pad part 402 , the second insulating layer 35 , and the first insulating layer 25 . ), the inner surface of the buffer layer 12 and the barrier layer 11 may be included.

앞서 설명한 바와 같이 제2 절연막(35) 및 배선 패드부(402) 상에는 유기 절연막(75)이 배치될 수 있다. 도 16은 유기 절연막(75)이 제2 절연막(35), 배선 패드부(402) 및 리세스 홈(502)에 의해 노출된 기판(10)의 상면을 전부 노출시키는 것을 예시하고 있지만, 상술한 바와 같이 이에 제한되는 것은 아니며, 유기 절연막(75)은 리세스 홈(502)에 의해 노출된 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 덮을 수도 있다. 배선 패드부(402)에 배선 패드부(402)를 관통하여 기판(10)의 상면을 노출시키는 리세스 홈(502)이 배치되는 경우, 배선 패드부(402)에 기판(10) 검사 장치나 FPC 등이 접속되거나, 접속 해제 시 배선 패드부(402)에 가해지는 충격에 의해 발생한 크랙이 배선 패드부(402) 또는 배선 패드부(402) 하부에 배치되는 무기 절연막을 통해 표시 영역(DA)으로 전파되는 것을 차단할 수 있다. As described above, the organic insulating layer 75 may be disposed on the second insulating layer 35 and the wiring pad part 402 . 16 exemplifies that the organic insulating film 75 exposes all of the upper surface of the substrate 10 exposed by the second insulating film 35 , the wiring pad portion 402 and the recess groove 502 . However, the present invention is not limited thereto, and the organic insulating layer 75 may at least partially cover the upper surface of the substrate 10 exposed by the recess groove 502 . When the recess groove 502 penetrating through the wiring pad unit 402 and exposing the upper surface of the substrate 10 is disposed in the wiring pad unit 402 , the wiring pad unit 402 includes a substrate 10 inspection device or When the FPC or the like is connected or disconnected, a crack generated by an impact applied to the wiring pad unit 402 is formed through the wiring pad unit 402 or an inorganic insulating film disposed under the wiring pad unit 402 to the display area DA. can be prevented from spreading.

도 17은 도 6의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다. 도 18은 도 7의 변형예에 따른 어레이 기판의 단면도이다. 17 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 6 . 18 is a cross-sectional view of an array substrate according to a modification of FIG. 7 .

도 17 및 도 18을 참조하면, 도 6 및 도 7의 변형예에 따른 어레이 기판은 제2 절연막(35)이 제1 서브 절연막(31) 및 제2 서브 절연막(32)을 포함하는 점이 도 6 및 도 7의 실시예와 다른 점이다. Referring to FIGS. 17 and 18 , in the array substrate according to the modified example of FIGS. 6 and 7 , the second insulating layer 35 includes the first sub insulating layer 31 and the second sub insulating layer 32 in FIG. 6 . and different from the embodiment of FIG. 7 .

앞서 설명한 바와 같이, 제2 절연막(35)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 적어도 두개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 설명의 편의상, 제1 절연막(25)을 덮는 절연막을 제1 서브 절연막(31), 제1 서브 절연막(31)을 덮는 절연막을 제2 서브 절연막(32)으로 지칭하기로 한다. As described above, the second insulating layer 35 may have a single layer structure, but is not limited thereto, and may have a multilayer structure including at least two insulating layers. For convenience of description, the insulating layer covering the first insulating layer 25 will be referred to as the first sub insulating layer 31 and the insulating layer covering the first sub insulating layer 31 will be referred to as the second sub insulating layer 32 .

제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)은 무기 재질로 이루어진 무기 절연막일 수 있다. 예컨대, 제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)은 산화규소 및 질화규소에서 선택된 하나 이상을 포함할 수 있으나, 제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)의 재질이 이에 제한되지 않는다. 제1 서브 절연막(31)과 제2 서브 절연막(32)은 서로 상이한 물질로 이루어질 수 있다.The first sub insulating layer 31 and the second sub insulating layer 32 may be inorganic insulating layers made of an inorganic material. For example, the first sub insulating layer 31 and the second sub insulating layer 32 may include at least one selected from silicon oxide and silicon nitride, but the materials of the first sub insulating layer 31 and the second sub insulating layer 32 are different. It is not limited thereto. The first sub insulating layer 31 and the second sub insulating layer 32 may be made of different materials.

제2 절연막(35)이 다층막 구조를 갖는 것은 표시 영역(DA)의 구조에 기인할 수 있다. 구체적으로, 도면에 도시하지는 않았지만, 표시 영역(DA)에는 박막 트랜지스터와 인접하게 스토리지 캐패시터가 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 스토리지 캐패시터는 게이트 절연막(20) 상에 배치되는 제1 게이트 메탈, 제1 게이트 메탈 상에 배치되는 제1 서브 절연막(31), 제1 서브 절연막(31) 상에 배치되는 제2 서브 절연막(32) 및 제2 서브 절연막(32) 상에 배치되는 제2 게이트 메탈을 포함할 수 있다. 또한, 이 같은 스토리지 캐패시터에 대응하여, 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극(62)은 제2 서브 절연막(32) 상에 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 표시 영역(DA)의 구체적인 구조가 이에 제한되지 않음은 물론이다.The fact that the second insulating layer 35 has a multilayer structure may be due to the structure of the display area DA. Specifically, although not shown in the drawings, a storage capacitor may be disposed adjacent to the thin film transistor in the display area DA. In an exemplary embodiment, the storage capacitor includes a first gate metal disposed on the gate insulating layer 20 , a first sub insulating layer 31 disposed on the first gate metal, and a first sub insulating layer 31 disposed on the first sub insulating layer 31 . It may include the second sub insulating layer 32 and the second gate metal disposed on the second sub insulating layer 32 . Also, in response to the storage capacitor, the source/drain electrodes 62 of the thin film transistor may be disposed on the second sub insulating layer 32 . However, this is an example, and the specific structure of the display area DA is not limited thereto.

도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 20은 도 19의 Ⅷ-Ⅷ'선을 따라 절단한 단면도이다. 19 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention. 20 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII' of FIG. 19 .

도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 배선 라인부(411)가 기판(10)의 일측을 향해 연장되되, 지그 재그 형상을 갖는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 19 and 20 , in the array substrate according to another embodiment of the present invention, the wiring line part 411 extends toward one side of the substrate 10, and has a zigzag shape compared to the embodiment of FIG. 4 . It's different.

배선 라인부(411)는 적어도 하나 이상의 절곡부를 가질 수 있다. 예시적인 실시예에서 배선 라인부(411)는 지그 재그 형상을 가지며, 기판(10)의 일측을 향해 연장될 수 있다. 설명의 편의상 기판(10)의 일측을 향하는 방향을 제1 방향으로 정의하기로 한다. 또한, 제1 방향과 수직한 방향을 제2 방향, 제2 방향과 반대 방향을 제3 방향으로 지칭하기로 한다.The wiring line part 411 may have at least one bent part. In an exemplary embodiment, the wiring line part 411 has a zigzag shape and may extend toward one side of the substrate 10 . For convenience of description, a direction toward one side of the substrate 10 will be defined as a first direction. Also, a direction perpendicular to the first direction will be referred to as a second direction, and a direction opposite to the second direction will be referred to as a third direction.

도 19에 도시된 바와 같이, 제1 방향으로 연장되는 배선 라인부(411)는 제2 방향으로 일정 간격 연장되고, 다시 제1 방향으로 일정 간격 연장된 후에, 제3 방향으로 일정 간격 연장되고, 재차 제1 방향으로 연장될 수 있다. 즉, 제1 방향, 제2 방향, 제1 방향, 제3 방향 및 제1 방향의 순서로 순차적으로 연장될 수 있다. As shown in FIG. 19 , the wiring line portions 411 extending in the first direction extend at a predetermined interval in the second direction, extend again in the first direction at a predetermined interval, and then extend at a predetermined interval in the third direction, It may extend in the first direction again. That is, it may sequentially extend in the order of the first direction, the second direction, the first direction, the third direction, and the first direction.

예시적인 실시예에서 제2 방향으로 연장된 거리와 제3 방향으로 연장된 거리는 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. In an exemplary embodiment, the distance extending in the second direction and the distance extending in the third direction may be substantially the same, but is not limited thereto.

다시 말하면, 배선 라인부(411)는 제1 방향, 제2 방향, 제1 방향, 제3 방향 및 제1 방향의 순서로 순차적으로 연장되되, 이와 같은 순서를 적어도 한 번 이상 반복하며 연장될 수 있다. In other words, the wiring line unit 411 sequentially extends in the order of the first direction, the second direction, the first direction, the third direction, and the first direction, and may be extended by repeating this order at least once or more. have.

상술한 바와 같이 배선 라인부(411)가 제1 방향, 제2 방향, 제1 방향, 제3 방향 및 제1 방향의 순서로 순차적으로 연장되면, 제2 방향, 제1 방향 및 제3 방향 또는 제3 방향, 제1 방향 및 제2 방향으로 연장된 배선 라인부(411)의 내측에는 일정한 공간이 구획될 수 있다. 예시적인 실시예에서 리세스 패턴(503)은 제2 방향, 제1 방향 및 제3 방향 또는 제3 방향, 제1 방향 및 제2 방향으로 연장된 배선 라인부(411)에 의해 구획되는 공간에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 배선 라인부(411)는 각 리세스 패턴(503) 외주와 인접하게 배치되며, 각 리세스 패턴(503) 외주의 일부를 따라 배치될 수 있다. 바꾸어 말하면, 리세스 패턴(503)은 지그 재그 형상으로 연장되는 각 배선 라인부(411)의 사이 사이에 배치될 수 있다. 즉, 리세스 패턴(503)은 각 배선 라인부(411) 사이에서 적어도 하나 이상 배치될 수 있다. As described above, when the wiring line part 411 sequentially extends in the first direction, the second direction, the first direction, the third direction, and the first direction, the second direction, the first direction and the third direction or A predetermined space may be defined inside the wiring line part 411 extending in the third direction, the first direction, and the second direction. In an exemplary embodiment, the recess pattern 503 is formed in a space defined by the wiring line portion 411 extending in the second direction, the first direction, and the third direction, or in the third direction, the first direction, and the second direction. can be placed. In other words, the wiring line part 411 may be disposed adjacent to the outer periphery of each recess pattern 503 , and may be disposed along a portion of the outer periphery of each recess pattern 503 . In other words, the recess pattern 503 may be disposed between the respective wiring line portions 411 extending in a zigzag shape. That is, at least one recess pattern 503 may be disposed between each wiring line unit 411 .

리세스 패턴(503)을 기준으로 다시 설명하면, 복수개의 리세스 패턴(503)이 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배치되고, 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상을 갖는 리세스 패턴(503) 사이 사이에 지그 재그 형상으로 연장된 배선 라인부(411)가 배치될 수 있다. 도 19는 복수개의 리세스 패턴(503)이 행 방향으로 일직선을 따라 정렬되고, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되는 경우를 예시하고 있으나, 리세스 패턴(503)의 배열 형상이 이에 제한되는 것은 아니며, 복수개의 리세스 패턴(503)은 행과 열 방향으로 일직선을 따라 정렬되거나, 행 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 열 방향으로 일직선으로 정렬되거나, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 행 방향으로 일직선을 따라 정렬될 수도 있다. Referring back to the recess pattern 503 , a plurality of recess patterns 503 are arranged in a matrix shape having columns and rows, and between the recess patterns 503 having a matrix shape having a plurality of columns and rows. A wiring line portion 411 extending in a zigzag shape may be disposed. 19 illustrates a case in which the plurality of recess patterns 503 are aligned in a straight line in the row direction and alternately aligned in the column direction, but the arrangement shape of the recess patterns 503 is not limited thereto. The recess patterns 503 may be aligned in a straight line in the row and column directions, staggered in the row direction, aligned in a straight line in the column direction, staggered in the column direction, and aligned along a straight line in the row direction. have.

또한, 배선 라인부(411)는 매트릭스 형상으로 배열된 리세스 패턴(503) 사이 사이에 배치될 수 있으며, 하나의 배선 라인부(411)와 다른 배선 라인부(411) 사이에는 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(503)이 배치될 수 있다. Also, the wiring line unit 411 may be disposed between the recess patterns 503 arranged in a matrix shape, and at least one or more ridges are disposed between one wiring line unit 411 and the other wiring line unit 411 . A set pattern 503 may be disposed.

도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 부분 확대도이다. 도 21을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 배선 라인부(421)가 피치(pitch)를 갖는 곡선 형태로 연장되는 점이 도 4의 실시예와 다른 점이다. 21 is a partially enlarged view of an array substrate according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 21 , the array substrate according to another embodiment of the present invention is different from the embodiment of FIG. 4 in that the wiring line parts 421 extend in a curved shape having a pitch.

본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판에서 배선 라인부(421)는 피치를 갖는 곡선 형태로 연장될 수 있다. 다시 말하면, 배선 라인부(421)는 주름진 형상을 가질 수 있다. 바꾸어 말하면, 배선 라인부(421)는 완만한 곡선을 그리며 구불구불하게 연장될 수 있다. In the array substrate according to another embodiment of the present invention, the wiring line part 421 may extend in a curved shape having a pitch. In other words, the wiring line portion 421 may have a corrugated shape. In other words, the wiring line portion 421 may extend in a meandering manner while drawing a gentle curve.

배선 라인부(421)가 피치를 갖는 곡선 형태로 연장되는 경우, 배선 라인부(421)의 양측에는 골부와 마루부가 형성될 수 있다. 즉, 각 배선 라인부(421)의 일측에는 골부와 마루부가 적어도 한 번 이상 반복되고, 이와 대응되도록 각 배선 라인부(421)의 타측에는 마루부와 골부가 적어도 한 번 이상 반복될 수 있다. When the wiring line unit 421 extends in a curved shape having a pitch, valleys and ridges may be formed on both sides of the wiring line unit 421 . That is, the valleys and the ridges may be repeated at least once on one side of each wiring line unit 421 , and the valleys and the valleys may be repeated at least once on the other side of each wiring line unit 421 to correspond thereto.

리세스 패턴(504)은 배선 라인부(421)의 골부와 인접하도록 배치될 수 있다. 리세스 패턴(504)은 각 배선 라인부(421) 일측 및 타측에 형성된 골부와 인접하도록 적어도 하나 이상 배치될 수 있다. 도 19는 배선 라인부(421)가 골부와 인접한 경우를 예시하나, 이에 제한되는 것은 아니며, 리세스 패턴(504)은 배선 라인부(421)의 골부와 부분적으로 접할 수도 있다. The recess pattern 504 may be disposed to be adjacent to the valley portion of the wiring line portion 421 . At least one recess pattern 504 may be disposed adjacent to valleys formed on one side and the other side of each wiring line unit 421 . 19 illustrates a case in which the wiring line part 421 is adjacent to the valley, but is not limited thereto, and the recess pattern 504 may partially contact the valley of the wiring line part 421 .

리세스 패턴(504)을 기준으로 다시 설명하면, 복수개의 리세스 패턴(504)이 열과 행을 갖는 매트릭스 형상으로 배치되고, 복수개의 열과 행을 갖는 매트릭스 형상을 갖는 리세스 패턴(504) 사이 사이에 피치를 갖는 곡선 형상을 가지며 연장된 배선 라인부(421)가 배치될 수 있다.Referring back to the recess pattern 504 , a plurality of recess patterns 504 are arranged in a matrix shape having columns and rows, and between the recess patterns 504 having a matrix shape having a plurality of columns and rows. A wiring line portion 421 that has a curved shape with a pitch and is extended may be disposed.

도 19는 복수개의 리세스 패턴(504)이 행 방향으로 일직선을 따라 정렬되고, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되는 경우를 예시하고 있으나, 리세스 패턴(504)의 배열 형상이 이에 제한되는 것은 아니며, 복수개의 리세스 패턴(504)은 행과 열 방향으로 일직선을 따라 정렬되거나, 행 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 열 방향으로 일직선으로 정렬되거나, 열 방향으로 엇갈려서 정렬되고, 행 방향으로 일직선을 따라 정렬될 수도 있다. 19 illustrates a case in which the plurality of recess patterns 504 are aligned along a straight line in the row direction and alternately aligned in the column direction, but the arrangement shape of the recess patterns 504 is not limited thereto. The recess patterns 504 may be aligned in a straight line in the row and column directions, staggered in the row direction, aligned in a straight line in the column direction, staggered in the column direction, and aligned along a straight line in the row direction. have.

또한, 배선 라인부(421)는 매트릭스 형상으로 배열된 리세스 패턴(504) 사이 사이에 배치될 수 있으며, 하나의 배선 라인부(421)와 다른 배선 라인부(421) 사이에는 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(504)이 배치될 수 있다. In addition, the wiring line part 421 may be disposed between the recess patterns 504 arranged in a matrix shape, and at least one or more recesses are disposed between one wiring line part 421 and the other wiring line part 421 . A set pattern 504 may be disposed.

도 222는 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이다. 도 23은 도 22의 'C'부분을 확대한 부분 확대도이다. 도 24는 도 23의 Ⅸ-Ⅸ' 라인을 따라 절단한 단면도이다. 도 25는 도 22의 'D'부분을 확대한 부분 확대도이다. 도 26는 도 25의 Ⅹ-Ⅹ라인을 따라 절단한 단면도이다.222 is a plan view of an array substrate according to another embodiment of the present invention. 23 is a partially enlarged view of part 'C' of FIG. 22 . 24 is a cross-sectional view taken along line IX-IX' of FIG. 23 . FIG. 25 is a partially enlarged view of part 'D' of FIG. 22 . 26 is a cross-sectional view taken along line X-X of FIG. 25 .

도 22 내지 도 25를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 비표시 영역(NDA)에 셀아이디 패턴(45) 및/또는 절단 라인(700)이 형성된 점이 도 1의 실시예와 다른 점이다. 22 to 25 , in the array substrate according to another embodiment of the present invention, the cell ID pattern 45 and/or the cutting line 700 are formed in the non-display area NDA, which is different from the embodiment of FIG. 1 . It's different.

본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판은 비표시 영역(NDA)에 셀아이디 패턴(45) 및/또는 절단 라인(700)을 포함할 수 있다. The array substrate according to another embodiment of the present invention may include the cell ID pattern 45 and/or the cutting line 700 in the non-display area NDA.

셀아이디 패턴(45)은 비표시 영역(NDA)에 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 셀아이디 패턴(45)은 복수개의 배선 라인부(401) 중 최외곽에 배치된 배선 라인부(401) 외측에 배치될 수 있다. 즉, 최외곽에 배치되는 배선 라인부(401)와 인접하도록 배치될 수 있다. 셀아이디 패턴(45) 상에는 어레이 기판을 식별하기 위한 고유 번호나 각종 도형 및 식별 부호 등이 패터닝될 수 있다. 즉, 셀아이디 패턴(45) 상에 패터닝된 고유 번호, 각종 도형 및 식별 부호 등을 통해 어레이 기판에 대한 정보를 취득할 수 있다. The cell ID pattern 45 may be disposed in the non-display area NDA. In an exemplary embodiment, the cell ID pattern 45 may be disposed outside the wiring line unit 401 disposed at the outermost of the plurality of wiring line units 401 . That is, it may be disposed to be adjacent to the wiring line part 401 disposed at the outermost part. A unique number for identifying the array substrate or various figures and identification codes may be patterned on the cell ID pattern 45 . That is, information on the array substrate may be acquired through unique numbers, various figures, and identification codes patterned on the cell ID pattern 45 .

셀 아이디 패턴에 대한 자세한 설명을 위해, 도 23 내지 24가 참조된다. For a detailed description of the cell ID pattern, reference is made to FIGS. 23 to 24 .

도 23 및 도 24는 셀아이디 패턴(45)이 사각형 형상을 갖는 것을 예시한다. 다만, 셀아이디 패턴(45)의 형상이 이에 제한되는 것은 아니며, 셀아이디 패턴(45)의 형상은 원 형상이거나, 적어도 부분적으로 곡선을 포함하는 형상일 수 있다. 23 and 24 illustrate that the cell ID pattern 45 has a rectangular shape. However, the shape of the cell ID pattern 45 is not limited thereto, and the shape of the cell ID pattern 45 may be a circular shape or a shape at least partially including a curve.

앞서 설명한 바와 같이 셀아이디 패턴(45) 상에는 고유 번호, 각종 도형 또는 식별 부호 등이 패터닝될 수 있다. 도 23은 셀아이디 패턴(45) 상에 십자가 형상의 도형(46)이 패터닝된 경우를 예시하나, 이는 예시적인 것으로, 셀아이디 패턴(45) 상에 형성되는 각종 도형 등의 형상이 이에 제한되는 것은 아니다. As described above, a unique number, various figures, or identification codes may be patterned on the cell ID pattern 45 . 23 illustrates a case in which a cross-shaped figure 46 is patterned on the cell ID pattern 45, but this is an example, and the shapes of various figures formed on the cell ID pattern 45 are limited thereto. it is not

예시적인 실시예에서 셀아이디 패턴(45)은 버퍼층(12) 상에 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 셀아이디 패턴(45)의 위치가 이에 제한되는 것은 아니다. 셀아이디 패턴(45)이 버퍼층(12) 상에 배치되는 경우, 셀아이디 패턴(45)은 표시 영역(DA)의 반도체층(40)과 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 표시 영역(DA)의 반도체층(40)과 동시에 비표시 영역(NDA)의 셀아이디 패턴(45)을 형성할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니며, 셀 아이디 패턴은 표시 영역(DA)의 반도체층(40)과 별개로 독립적으로 형성될 수도 있다.In an exemplary embodiment, the cell ID pattern 45 may be disposed on the buffer layer 12 . However, this is exemplary and the position of the cell ID pattern 45 is not limited thereto. When the cell ID pattern 45 is disposed on the buffer layer 12 , the cell ID pattern 45 may be made of substantially the same material as the semiconductor layer 40 of the display area DA. That is, the cell ID pattern 45 of the non-display area NDA may be formed simultaneously with the semiconductor layer 40 of the display area DA. However, this is not limited thereto, and the cell ID pattern may be formed independently of the semiconductor layer 40 of the display area DA.

셀아이디 패턴(45) 외주를 따라 리세스 패턴(505)이 배치될 수 있다. 리세스 패턴(505)은 셀아이디 패턴(45) 외주와 접하거나, 외주와 인접하도록 배치될 수 있다. 셀아이디 패턴(45)이 사각형 형상을 갖는 예시적인 실시예에서 리세스 패턴(505)은 중공을 갖는 사각형 형상일 수 있으나, 앞서 설명한 바와 같이 셀아이디 패턴(45)의 형상은 제한되지 않으며, 리세스 패턴(505)은 셀아이디 패턴(45)의 외주의 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 셀아이디 패턴(45) 외주를 따라 리세스 패턴(505)이 배치되는 경우, 어레이 기판의 제조 공정 또는 운반 공정 중에 발생한 크랙이 셀아이디 패턴(45)으로 전파되어, 셀아이디 패턴(45)에 손상을 가하는 것을 막을 수 있다. A recess pattern 505 may be disposed along the outer periphery of the cell ID pattern 45 . The recess pattern 505 may be in contact with or adjacent to the outer periphery of the cell ID pattern 45 . In an exemplary embodiment in which the cell ID pattern 45 has a rectangular shape, the recess pattern 505 may have a hollow rectangular shape, but as described above, the shape of the cell ID pattern 45 is not limited, and the shape of the cell ID pattern 45 is not limited. The set pattern 505 may have a shape corresponding to the shape of the outer periphery of the cell ID pattern 45 . When the recess pattern 505 is disposed along the outer periphery of the cell ID pattern 45 , cracks generated during the manufacturing process or transport process of the array substrate propagate to the cell ID pattern 45 and damage the cell ID pattern 45 . can be prevented from being applied.

본 발명의 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 비표시 영역(NDA)에는 절단 라인(700)이 형성될 수 있다. 제품의 종류에 따라, 어레이 기판 비표시 영역(NDA)의 모서리부는 절단될 수 있다. 즉, 어레이 기판의 모서리 부분이 모따기(chamfering) 될 수 있다. A cutting line 700 may be formed in the non-display area NDA of the array substrate according to another embodiment of the present invention. Depending on the type of product, a corner portion of the non-display area NDA of the array substrate may be cut. That is, a corner portion of the array substrate may be chamfered.

이를 위해, 어레이 기판 상에는 절단 라인(700)이 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서 절단 라인(700)은 어레이 기판 비표시 영역(NDA)의 양측에 사선 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 즉, 절단 라인(700)은 어레이 기판을 적어도 부분적으로 가로지를 수 있다. To this end, a cutting line 700 may be formed on the array substrate. In an exemplary embodiment, the cutting line 700 may be formed to extend in an oblique direction on both sides of the non-display area NDA of the array substrate. That is, the cutting line 700 may at least partially cross the array substrate.

절단 라인(700)과 어레이 기판 일측변이 이루는 각은 제한되지 않는다. 즉, 적용되는 제품에 따라 절단 라인(700)과 어레이 기판의 일측변이 이루는 각은 달라질 수 있다. An angle between the cutting line 700 and one side of the array substrate is not limited. That is, an angle between the cutting line 700 and one side of the array substrate may vary depending on an applied product.

절단 과정에서 발생할 수 있는 크랙을 예방하기 위해, 절단 라인(700)은 제2 절연막(35) 상면으로부터 소정 간격 리세스될 수 있다. 즉, 도 26의 단면도에서 도시한 바와 같이 절단 라인(700)은 제2 절연막(35) 상면으로부터 리세스 되어 기판(10)의 상면을 노출시킬 수 있다. 다시 말하면, 절단 라인(700)의 바닥면은 기판(10)의 상면을 포함하고, 절단 라인(700)의 측벽은 배리어층(11), 버퍼층(12), 제1 절연막(25) 및 제2 절연막(35)의 내측면을 포함할 수 있다. In order to prevent cracks that may occur during the cutting process, the cutting line 700 may be recessed at a predetermined distance from the upper surface of the second insulating layer 35 . That is, as shown in the cross-sectional view of FIG. 26 , the cutting line 700 may be recessed from the top surface of the second insulating layer 35 to expose the top surface of the substrate 10 . In other words, the bottom surface of the cutting line 700 includes the top surface of the substrate 10 , and the sidewalls of the cutting line 700 are the barrier layer 11 , the buffer layer 12 , the first insulating film 25 and the second An inner surface of the insulating layer 35 may be included.

절단 라인(700)과 인접하도록 리세스 패턴(506)이 배치될 수 있다. 구체적으로 리세스 패턴(506)은 절단 라인(700)의 타측부와 인접하게 배치될 수 있다. 다시 말하면, 절단 공정에 의해 어레이 기판이 절단 라인(700)을 따라 절단되면, 절단 라인(700)의 일측부는 제거되고, 절단 라인(700)의 타측부는 그대로 유지될 수 있다. 리세스 패턴(506)은 절단 라인(700)의 타측부와 인접하게 배치되며, 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(506)이 산개되어 배치될 수 있다. 리세스 패턴(506)은 열과 행 방향으로 정렬되어 배치될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 규칙적 또는 불규칙적으로 배치될 수 있다. A recess pattern 506 may be disposed adjacent to the cut line 700 . Specifically, the recess pattern 506 may be disposed adjacent to the other side of the cutting line 700 . In other words, when the array substrate is cut along the cutting line 700 by the cutting process, one side of the cutting line 700 may be removed and the other side of the cutting line 700 may be maintained as it is. The recess pattern 506 may be disposed adjacent to the other side of the cutting line 700 , and at least one or more recess patterns 506 may be disposed to be spread out. The recess patterns 506 may be arranged in column and row directions, but are not limited thereto, and may be arranged regularly or irregularly.

절단 공정에 의해 절단 라인(700)의 일측부가 제거되면, 절단 라인(700)의 타측부는 충격에 취약해질 수 있다. 이 경우, 절단 라인(700)의 타측부에 충격이 가해지면, 그 충격으로 인해 크랙이 발생하고, 발생한 크랙이 성장하여, 표시 영역(DA)까지 전파될 수 있다. 절단 라인(700)의 타측부와 인접하게 적어도 하나 이상의 리세스 패턴(506)이 배치되는 경우, 리세스 패턴(506)은 크랙 스토퍼(Crack stopper)의 역할을 할 수 있다. 즉, 발생한 크랙의 전파가 리세스 패턴(506)에 의해 차단될 수 있다. When one side of the cutting line 700 is removed by the cutting process, the other side of the cutting line 700 may be vulnerable to impact. In this case, when an impact is applied to the other side of the cutting line 700 , a crack may be generated due to the impact, and the generated crack may grow and propagate to the display area DA. When at least one or more recess patterns 506 are disposed adjacent to the other side of the cutting line 700 , the recess patterns 506 may serve as a crack stopper. That is, the propagation of the generated crack may be blocked by the recess pattern 506 .

도 27은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다. 27 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment.

도 27을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA) 외측에 배치되는 비표시 영역(NDA)을 갖는 어레이 기판으로서, 비표시 영역(NDA)은 기판(10), 기판(10) 상에 배치되는 배리어층(11), 배리어층(11) 상에 배치되는 버퍼층(12), 버퍼층(12) 상에 배치되는 제1 절연막(25), 제1 절연막(25) 상에 배치되는 제2 절연막(35), 제1 절연막(25)과 제2 절연막(35) 사이에 개재되거나, 제2 절연막(35) 상에 배치되되, 서로 이격되어 기판(10)의 일측을 향해 연장 형성되는 복수개의 배선 패턴 제2 절연막(35) 상면으로부터 소정 깊이 리세스되어 기판(10)의 상면을 적어도 부분적으로 노출시키는 리세스 패턴 및 상기 제2 절연막 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면을 적어도 부분적으로 노출하는 유기 절연막(75)을 포함하는 어레이 기판 및 어레이 기판 상에 배치되는 봉지 부재를 포함한다. Referring to FIG. 27 , an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment is an array substrate having a display area DA and a non-display area NDA disposed outside the display area DA, and the non-display area ( NDA) is a substrate 10 , a barrier layer 11 disposed on the substrate 10 , a buffer layer 12 disposed on the barrier layer 11 , and a first insulating layer 25 disposed on the buffer layer 12 . , a second insulating layer 35 disposed on the first insulating layer 25 , interposed between the first insulating layer 25 and the second insulating layer 35 , or disposed on the second insulating layer 35 , spaced apart from each other A plurality of wiring patterns extending toward one side of the substrate 10 are recessed by a predetermined depth from the upper surface of the second insulating film 35 to at least partially expose the upper surface of the substrate 10 and on the second insulating film an array substrate including an organic insulating layer 75 at least partially exposing an upper surface of the substrate exposed by the recess pattern; and an encapsulation member disposed on the array substrate.

도 27은 설명의 편의를 위해 하나의 단위 화소 영역을 한정하여 도시한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치가 이에 제한되지 않음은 물론이다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수개의 단위 화소 영역을 포함할 수 있음은 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 어레이 기판에서 설명한 바와 같다. 27 illustrates one unit pixel area by limiting it for convenience of description, and it goes without saying that the organic light emitting diode display according to the exemplary embodiment is not limited thereto. That is, the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention may include a plurality of unit pixel areas as described above with respect to the array substrate according to some embodiments of the present invention.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서 어레이 기판의 표시 영역(DA)에 대해 설명하기로 한다. First, the display area DA of the array substrate in the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention will be described.

기판(10)은 판 형상을 갖는 부재로서, 후술하는 다른 구성들을 지지하는 역할을 할 수 있다. 기판(10)은 절연 기판(10)으로서, 유리 또는 플라스틱을 포함하는 고분자 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 기판(10)은 폴리 이미드(Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 기판(10)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The substrate 10 is a member having a plate shape, and may serve to support other components to be described later. The substrate 10 is an insulating substrate 10 and may be formed of a polymer material including glass or plastic. In an exemplary embodiment, the substrate 10 may be formed of poly imide (PI), but this is exemplary and the material of the substrate 10 is not limited thereto.

기판(10)은 경성(rigid) 기판(10)일 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 연성이나 가요성을 갖는 기판(10)일 수 있다. 즉, 본 명세서에서, "기판(10)"이라 함은 구부리거나(bending), 접거나(folding), 마는 것(rolling)이 가능한 플렉서블 기판(10)을 포함하는 개념으로 이해될 수 있다.The substrate 10 may be a rigid substrate 10 , but is not limited thereto, and may be a flexible or flexible substrate 10 . That is, in this specification, the term "substrate 10" may be understood as a concept including a flexible substrate 10 capable of bending, folding, or rolling.

도 27에 도시된 바와 같이, 기판(10)은 단일층 구조를 가질 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 즉, 다른 예시적인 실시예에서 기판(10)은 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다. 다시 말하면, 기판(10)은 베이스층 및 베이스층 상에 배치되는 보호층을 포함할 수 있다. 27 , the substrate 10 may have a single-layer structure, but is not limited thereto. That is, in another exemplary embodiment, the substrate 10 may have a stacked structure in which two or more layers are stacked. In other words, the substrate 10 may include a base layer and a protective layer disposed on the base layer.

베이스 층은 절연 물질로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서 베이스층은 폴리이미드 (Poly imide, PI)로 형성될 수 있으나, 베이스 층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 베이스층 상에는 보호층이 배치될 수 있다. 보호층은 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 보호층은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, Polyehtylene terephthalate) 및 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN, Polyethylene naphthalate)에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하여 이루어질 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 보호층의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The base layer may be formed of an insulating material. In an exemplary embodiment, the base layer may be formed of poly imide (PI), but the material of the base layer is not limited thereto. A protective layer may be disposed on the base layer. The protective layer may be made of an organic material. For example, the protective layer may include any one or more selected from polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), but this is exemplary and the material of the protective layer is not limited thereto. .

기판(10) 상에는 배리어층(11)이 배치될 수 있다. 배리어층(11)은 불순 원소의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하는 역할을 할 수 있다. 예시적이 실시예에서 배리어층(11)은 산화규소(SiOx) 또는 질화규소(SiNx)를 포함하여 형성될 수 있으나, 배리어층(11)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 다른 예시적인 실시예에서 배리어층(11)은 기판(10)의 재질 또는 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다. A barrier layer 11 may be disposed on the substrate 10 . The barrier layer 11 may serve to prevent penetration of impurity elements and planarize the surface. In an exemplary embodiment, the barrier layer 11 may include silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx), but the material of the barrier layer 11 is not limited thereto. Also, in another exemplary embodiment, the barrier layer 11 may be omitted depending on the material of the substrate 10 or process conditions.

배리어층(11) 상에는 배리어층(11)을 덮는 버퍼층(12)이 배치될 수 있다. 버퍼층(12)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 버퍼층(12)은 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 산화알루미늄(AlOx) 및 산질화규소(SiON)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하여 형성될 수 있으나, 버퍼층(12)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 버퍼층(12)은 단일막 구조 또는 두 개 이상의 층이 적층된 적층 구조를 가질 수 있다, 버퍼층(12)이 두 개의 층을 갖는 예시적인 실시예에서, 두 개의 층은 서로 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 층은 산화 규소로 이루어지고, 제2 층은 질화 규소로 이루어질 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 버퍼층(12)의 구조가 이에 제한되지는 않는다. A buffer layer 12 covering the barrier layer 11 may be disposed on the barrier layer 11 . The buffer layer 12 may be an inorganic layer formed of an inorganic material. In an exemplary embodiment, the buffer layer 12 may be formed including at least one selected from the group consisting of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), aluminum oxide (AlOx), and silicon oxynitride (SiON), but the buffer layer ( 12) is not limited thereto. In addition, the buffer layer 12 may have a single layer structure or a stacked structure in which two or more layers are stacked. In an exemplary embodiment in which the buffer layer 12 has two layers, the two layers are formed of different materials. can be For example, the first layer may be made of silicon oxide and the second layer may be made of silicon nitride. However, this is exemplary and the structure of the buffer layer 12 is not limited thereto.

반도체층(40)은 비정질 규소 또는 다결정 규소를 포함하여 이루어질 수 있다. 예시적인 실시예에서 반도체층(40)은 비정질 규소를 도포하고 패터닝한 후 이를 결정화하는 방법으로 형성될 수 있으나, 반도체층(40)의 형성 방법이 이에 제한되는 것은 아니다. 본 명세서에서 "반도체층(40)"이라고 지칭되는 것은 산화물 반도체를 포함하는 것으로 이해될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The semiconductor layer 40 may include amorphous silicon or polycrystalline silicon. In an exemplary embodiment, the semiconductor layer 40 may be formed by applying and patterning amorphous silicon and then crystallizing it, but the method of forming the semiconductor layer 40 is not limited thereto. As used herein, the term “semiconductor layer 40” may be understood to include an oxide semiconductor, but is not limited thereto.

반도체층(40) 상에는 게이트 절연막(20)이 형성될 수 있다. 게이트 절연막(20)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 게이트 절연막(20) 의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 게이트 절연막(20)(20)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. A gate insulating layer 20 may be formed on the semiconductor layer 40 . The gate insulating layer 20 may include silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx), but the material of the gate insulating layer 20 is not limited thereto. The gate insulating layers 20 and 20 may have a single layer structure, but are not limited thereto, and may have a multilayer structure including at least two insulating layers having different physical properties.

게이트 절연막(20) 상에는 게이트 라인(50), 게이트 전극(51) 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선이 배치될 수 있다. 게이트 배선은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하여 형성될 수 있으나, 게이트 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 게이트 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A gate line including a gate line 50 , a gate electrode 51 , and a gate pad may be disposed on the gate insulating layer 20 . Gate wiring consists of aluminum-based metals such as aluminum (Al) and aluminum alloys, silver-based metals such as silver (Ag) and silver alloys, copper-based metals such as copper (Cu) and copper alloys, and molybdenum-based metals such as molybdenum (Mo) and molybdenum alloys. , chromium (Cr), tantalum (Ta) and titanium (Ti) may be formed including any one or more materials selected from the group consisting of, but the material of the gate wiring is not limited thereto, and as a conductive material, transparent or A translucent material may be used to form the gate wiring.

게이트 라인(50)은 앞서 설명한 바와 같이 복수개 배치되며, 서로 평행하도록 일 방향으로 연장될 수 있다. As described above, a plurality of gate lines 50 may extend in one direction to be parallel to each other.

게이트 배선 상에는 게이트 배선을 덮는 층간 절연막(30)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(30)은 무기 물질로 형성된 무기막일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 층간 절연막(30)은 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 포함할 수 있으나, 층간 절연막(30)(20)의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. 층간 절연막(30)(20)은 단일막 구조일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 다층막 구조를 갖는 층간 절연막(30)에 대해서는 후술하기로 한다.An interlayer insulating layer 30 covering the gate wiring may be disposed on the gate wiring. The interlayer insulating layer 30 may be an inorganic layer formed of an inorganic material. In an exemplary embodiment, the interlayer insulating layer 30 may include silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx), but the material of the interlayer insulating layer 30 and 20 is not limited thereto. The interlayer insulating layers 30 and 20 may have a single layer structure, but is not limited thereto, and may have a multilayer structure including at least two insulating layers having different physical properties. The interlayer insulating film 30 having a multilayer structure will be described later.

층간 절연막(30) 상에는 소스 전극(61), 드레인 전극(62) 및 데이터 라인(60)을 포함하는 데이터 배선이 배치될 수 있다. 데이터 배선은 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있으나, 데이터 배선의 재질이 이에 제한되는 것은 아니며, 전도성을 갖는 물질로서 투명 또는 반투명한 물질은 데이터 배선을 형성하는데 사용될 수 있다. A data line including a source electrode 61 , a drain electrode 62 , and a data line 60 may be disposed on the interlayer insulating layer 30 . The data wiring may be formed of a refractory metal such as molybdenum, chromium, tantalum and titanium or an alloy thereof, but the material of the data wiring is not limited thereto, and a transparent or translucent material as a conductive material is used to form the data wiring. can be used

데이터 라인(60)은 데이터 신호를 전달하며, 게이트 라인(50)과 교차하도록 배치될 수 있다. 즉, 예시적인 실시예에서 게이트 라인(50)은 가로 방향으로 연장되고, 데이터 라인(60)은 이와 교차하도록 세로 방향으로 연장될 수 있다. The data line 60 transmits a data signal and may be disposed to cross the gate line 50 . That is, in the exemplary embodiment, the gate line 50 may extend in a horizontal direction, and the data line 60 may extend in a vertical direction to intersect the same.

예시적인 실시예에서 데이터 라인(60) 및 게이트 라인(50) 은 절곡부를 포함할 수도 있다. 다만, 이는 당업자에게 자명한 것으로 본 발명의 범위가 모호해지는 것을 막기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다. In an exemplary embodiment, the data line 60 and the gate line 50 may include bent portions. However, this is obvious to those skilled in the art, and detailed description thereof will be omitted to avoid obscuring the scope of the present invention.

소스 전극(61) 은 데이터 라인(60) 의 일부로서 데이터 라인(60) 과 동일선 상에 배치될 수 있다. 드레인 전극(62) 은 소스 전극(61) 과 나란하게 뻗도록 형성될 수 있으며, 이 경우, 드레인 전극(62) 은 데이터 라인(60) 의 일부와 나란할 수 있다. The source electrode 61 is a part of the data line 60 and may be disposed on the same line as the data line 60 . The drain electrode 62 may be formed to extend parallel to the source electrode 61 . In this case, the drain electrode 62 may be parallel to a portion of the data line 60 .

게이트 전극(51), 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62) 은 반도체층(40) 과 함께 하나의 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(61) 과 드레인 전극(62) 사이의 반도체층(40) 에서 형성될 수 있다. The gate electrode 51 , the source electrode 61 , and the drain electrode 62 form one thin film transistor (TFT) together with the semiconductor layer 40 , and the channel of the thin film transistor is the source electrode ( 61 ) and the semiconductor layer 40 between the drain electrode 62 .

데이터 배선 상에는 데이터 배선 및 층간 절연막(30)을 덮는 평탄화막(70)이 배치될 수 있다. 평탄화막(70)의 두께는 층간 절연막(30)에 비해 상대적으로 두꺼울 수 있다. 이러한, 두께차로 인하여, 평탄화막(70)의 상면은 층간 절연막(30) 및 소스/드레인 전극(62)과 접하는 하면에 비해 상대적으로 평탄할 수 있다. A planarization layer 70 covering the data line and the interlayer insulating layer 30 may be disposed on the data line. The thickness of the planarization layer 70 may be relatively thicker than that of the interlayer insulating layer 30 . Due to the thickness difference, the upper surface of the planarization film 70 may be relatively flat compared to the lower surface in contact with the interlayer insulating film 30 and the source/drain electrodes 62 .

평탄화막(70)에는 드레인 전극(62)을 적어도 부분적으로 노출시키는 제1 콘택홀이 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 콘택홀은 평탄화막(70)을 관통하며, 드레인 전극(62)의 상면을 부분적으로 노출시킬 수 있다. A first contact hole for at least partially exposing the drain electrode 62 may be formed in the planarization layer 70 . Specifically, the first contact hole may pass through the planarization layer 70 and partially expose the top surface of the drain electrode 62 .

평탄화막(70) 및 노출된 드레인 전극(62) 상에는 제1 전극(80)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 전극(80)이 평탄화막(70), 제1 콘택홀의 측벽 및 드레인 전극(62)의 상면을 덮도록 배치될 수 있으며, 이에 의해 제1 전극(80)과 드레인 전극(62)이 전기적으로 연결될 수 있다. 예시적인 실시예에서 제1 전극(80)은 애노드(Anode) 전극일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 제1 전극(80)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide, IZO) 등으로 이루어질 수 있으나, 제1 전극(80)(70)의 재질이 이에 제한되지는 않는다.A first electrode 80 may be disposed on the planarization layer 70 and the exposed drain electrode 62 . That is, the first electrode 80 may be disposed to cover the planarization layer 70 , the sidewall of the first contact hole, and the upper surface of the drain electrode 62 , whereby the first electrode 80 and the drain electrode 62 . This can be electrically connected. In an exemplary embodiment, the first electrode 80 may be an anode electrode, but is not limited thereto. The first electrode 80 may be made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), but the material of the first electrodes 80 and 70 is not limited thereto. does not

제1 전극(80) 상에는 화소 정의막이 배치될 수 있다. 화소 정의막은 제1 전극(80)을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 화소 정의막(40)은 벤조사이클로부텐(Benzo Cyclo Butene, BCB), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리아마이드(poly amide, PA), 아크릴 수지 및 페놀수지 등으로부터 선택된 적어도 하나의 유기 물질을 포함하여 이루어지거나, 실리콘 질화물 등과 같은 무기 물질을 포함하여 이루어질 수도 있다. 화소 정의막(40)은 또한 검정색 안료를 포함하는 감광제로 이루어질 수 있는데, 이 경우 화소 정의막(40)은 차광 부재의 역할을 할 수 있다.A pixel defining layer may be disposed on the first electrode 80 . The pixel defining layer may at least partially expose the first electrode 80 . The pixel defining layer 40 includes at least one organic material selected from benzocyclobutene (BCB), polyimide (PI), polyamide (PA), acrylic resin, and phenolic resin. It may be made of, or may be made of, including an inorganic material such as silicon nitride. The pixel defining layer 40 may also be made of a photosensitive material including a black pigment. In this case, the pixel defining layer 40 may serve as a light blocking member.

화소 정의막에 의해 노출된 제1 전극(80) 상에는 유기층이 배치될 수 있다. 유기층(91)은 유기 발광 표시 장치(100)에 포함되는 유기 물질층들, 즉, 발광층(organic light emitting layer, EML), 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transport layer, HTL), 전자 주입층(electron injection layer, EIL), 전자 수송층(electron transport layer, ETL) 등을 포함할 수 있다. 유기층(91)은 상기 유기 물질층들 중에서 선택된 하나를 포함하는 단일막 구조를 갖거나 2 이상을 포함하는 다층막 구조를 가질 수 있다.An organic layer may be disposed on the first electrode 80 exposed by the pixel defining layer. The organic layer 91 is an organic material layer included in the organic light emitting display device 100 , that is, an organic light emitting layer (EML), a hole injection layer (HIL), a hole transport layer, HTL), an electron injection layer (EIL), an electron transport layer (ETL), and the like. The organic layer 91 may have a single-layer structure including one selected from the organic material layers or a multi-layer structure including two or more organic material layers.

유기층(91) 상에는 제2 전극(92)이 형성될 수 있다. 제2 전극(92)은 화소 정의막(90) 및 유기층(91)을 덮을 수 있다. 예시적인 실시예에서 제2 전극(92)은 화소 정의막(90) 및 유기층(91)을 덮는 전면 전극일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 예시적인 실시예에서 제2 전극(92)은 캐소드(Cathode)전극일 수 있다. A second electrode 92 may be formed on the organic layer 91 . The second electrode 92 may cover the pixel defining layer 90 and the organic layer 91 . In an exemplary embodiment, the second electrode 92 may be a front electrode covering the pixel defining layer 90 and the organic layer 91 , but is not limited thereto. Also, in an exemplary embodiment, the second electrode 92 may be a cathode electrode.

제2 전극(92)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide, IZO) 등으로 이루어질 수 있으나, 제2 전극(92)의 재질이 이에 제한되지는 않는다.The second electrode 92 may be made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), but the material of the second electrode 92 is not limited thereto.

어레이 기판의 비표시 영역(NDA)은 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 대한 어레이 기판에서 설명한 바와 실질적으로 동일할 수 있으며, 따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.The non-display area NDA of the array substrate may be substantially the same as that described above for the array substrate according to some embodiments of the present invention, and thus a detailed description thereof will be omitted.

*어레이 기판 상에는 봉지부재가 배치될 수 있다. 본 명세서에서 봉지 부재는 봉지막(803) 또는 봉지 기판(800)일 수 있다. 도 27은 봉지 부재가 봉지 기판(800)인 경우를 예시하나, 봉지 부재가 이에 제한되는 것은 아니다. 봉지 부재가 봉지막(803)인 경우에 대해서는 도 28에서 설명하기로 한다. 예시적인 실시예에서, 봉지 기판(800)(10)은 봉지재(도시하지 않음)에 의해 어레이 기판과 접착되어 밀봉될 수 있다. * An encapsulation member may be disposed on the array substrate. In this specification, the encapsulation member may be the encapsulation film 803 or the encapsulation substrate 800 . 27 illustrates a case in which the encapsulation member is the encapsulation substrate 800 , but the encapsulation member is not limited thereto. A case in which the encapsulation member is the encapsulation film 803 will be described with reference to FIG. 28 . In an exemplary embodiment, the encapsulation substrates 800 and 10 may be sealed by being adhered to the array substrate by an encapsulant (not shown).

봉지 기판(800) 이 어레이 기판과 접착될 수 있도록 하기 위해, 봉지재는 접착성이 있는 에폭시 접착제, 자외선 경화 접착제, 프릿트(frit) 및 그 등가물 중 선택된 적어도 어느 하나일 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 봉지재의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. In order to allow the encapsulation substrate 800 to be adhered to the array substrate, the encapsulant may be at least any one selected from an adhesive epoxy adhesive, an ultraviolet curing adhesive, a frit, and the like, but this is exemplary. The material of the encapsulant is not limited thereto.

봉지기판(10)은 상술한 봉지재에 의해 어레이 기판과 접착되어 결합될 수 있다. 예시적인 실시예에서 봉지 기판(800) 은 투명 글래스, 투명 플라스틱, 투명 폴리머 및 그 등가물 중 선택된 어느 하나로 형성될 수 있으나, 봉지 기판(800) 의 재질이 이에 제한되는 것은 아니다. The encapsulation substrate 10 may be bonded and bonded to the array substrate by the above-described encapsulant. In an exemplary embodiment, the encapsulation substrate 800 may be formed of any one selected from transparent glass, transparent plastic, transparent polymer, and the like, but the material of the encapsulation substrate 800 is not limited thereto.

어레이 기판과 대향하는 봉지 기판(800) 의 일면에는 도전막(801)이 형성될 수 있다. 이러한 도전막(801)은 유기 발광 표시 장치 외부에서 발생되어 봉지기판(10)을 통해 유입되는 정전기를 접지시키는 역할을 할 수 있다. 다만, 이에 대한 것은 당업자에게 자명한 것으로, 본 발명의 범위를 모호하게 하지 않기 위해, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.A conductive layer 801 may be formed on one surface of the encapsulation substrate 800 facing the array substrate. The conductive layer 801 may serve to ground static electricity generated outside the organic light emitting diode display and flowing through the encapsulation substrate 10 . However, this is obvious to those skilled in the art, and detailed description thereof will be omitted so as not to obscure the scope of the present invention.

도 28은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.28 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment.

도 28을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 봉지 부재가 봉지막인 점이 도 28 의 실시예와 다른 점이다. Referring to FIG. 28 , the organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment is different from the exemplary embodiment of FIG. 28 in that an encapsulation member is an encapsulation film.

앞서 설명한 바와 같이 예시적인 실시예에서 봉지 부재는 봉지막(803)일 수 있다. 봉지막(803)은 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)를 덮을 수 있다. 예시적인 실시예에서 봉지막(803)은 배선 라인부(401) 및/또는 배선 패드부(402)를 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. As described above, in the exemplary embodiment, the encapsulation member may be the encapsulation film 803 . The encapsulation layer 803 may cover the display area DA and the non-display area NDA. In an exemplary embodiment, the encapsulation layer 803 may at least partially expose the wiring line unit 401 and/or the wiring pad unit 402 , but is not limited thereto.

봉지막(803)은 유기 물질 및/또는 무기 물질로 이루어질 수 있다. The encapsulation layer 803 may be formed of an organic material and/or an inorganic material.

봉지막(803)을 형성하기 위한 유기 물질은 예컨대, 에폭시, 아크릴레이트 및 우레탄아크릴레이트일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 봉지막(803)을 형성하기 위한 무기 물질은 예컨대, 알루미늄 산화물 또는 실리콘 산화물일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The organic material for forming the encapsulation film 803 may be, for example, epoxy, acrylate, and urethane acrylate, but is not limited thereto. The inorganic material for forming the encapsulation layer 803 may be, for example, aluminum oxide or silicon oxide, but is not limited thereto.

도 28은 봉지막(803)이 단일층 구조를 갖는 것을 예시하나, 봉지막(803)의 구조는 이에 제한되지 않으며, 봉지막(803)은 하나 이상의 층이 적층된 적층구조를 가질 수도 있다. 예시적인 실시예에서 봉지막(803)은 유기막과 무기막이 적어도 한번 교번하여 적층된 구조를 가질 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 봉지막(803)의 구조가 이에 제한되는 것은 아니다. 28 illustrates that the encapsulation film 803 has a single-layer structure, the structure of the encapsulation film 803 is not limited thereto, and the encapsulation film 803 may have a stacked structure in which one or more layers are stacked. In an exemplary embodiment, the encapsulation layer 803 may have a structure in which an organic layer and an inorganic layer are alternately stacked at least once, but this is exemplary and the structure of the encapsulation layer 803 is not limited thereto.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. you will be able to understand Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.

100: 어레이 기판
50: 게이트 라인
60: 데이터 라인
402: 배선 라인부
401: 배선 패드부
403: 배선 접속부
500, 501, 503, 504, 505, 506, 507, 508: 리세스 패턴
502: 리세스 홈
200: 스캔 드라이버
300: 에미션 드라이버
10: 기판
11: 배리어층
12: 버퍼층
20: 게이트 절연막
30: 층간절연막
70: 평탄화막
80: 제1 전극
90: 화소 정의막
91: 유기층
92: 제2 전극
51: 게이트 전극
61: 소스 전극
62: 드레인 전극
72: 콘택부
75: 유기 절연막
35: 제2 절연막
25: 제1 절연막
45: 셀아이디 패턴
700: 절단 라인
800: 봉지 기판
803: 봉지막
100: array substrate
50: gate line
60: data line
402: wiring line part
401: wiring pad part
403: wiring connection part
500, 501, 503, 504, 505, 506, 507, 508: recess pattern
502: recess home
200: scan driver
300: emission driver
10: substrate
11: barrier layer
12: buffer layer
20: gate insulating film
30: interlayer insulating film
70: planarization film
80: first electrode
90: pixel defining layer
91: organic layer
92: second electrode
51: gate electrode
61: source electrode
62: drain electrode
72: contact part
75: organic insulating film
35: second insulating film
25: first insulating film
45: cell ID pattern
700: cutting line
800: encapsulation substrate
803: encapsulation film

Claims (17)

표시 영역 및 비표시 영역을 포함하는 기판;
상기 기판 상에 위치하고 상기 표시 영역 내에 위치하며 반도체층을 포함하는 박막 트랜지스터;
상기 기판 상에 위치하고 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역 내에 위치하는 제1 절연막;
상기 제1 절연막 상에 위치하고 상기 비표시 영역 내에 위치하며 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 배선 패턴;
상기 비표시 영역 내에 위치하고 상기 배선 패턴과 인접하게 배치되되, 상기 제1 절연막을 관통하는 리세스 패턴; 및
상기 배선 패턴 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면과 접하는 유기 절연막을 포함하고,
상기 배선 패턴은 상기 제1 절연막과 직접 접촉하고,
상기 반도체층은 상기 기판과 상기 제1 절연막 사이에 위치하는 어레이 기판.
a substrate including a display area and a non-display area;
a thin film transistor positioned on the substrate, positioned in the display area, and including a semiconductor layer;
a first insulating layer positioned on the substrate and positioned in the display area and the non-display area;
a wiring pattern located on the first insulating layer, located in the non-display area, and electrically connected to the thin film transistor;
a recess pattern positioned in the non-display area and disposed adjacent to the wiring pattern and penetrating the first insulating layer; and
an organic insulating layer disposed on the wiring pattern and in contact with an upper surface of the substrate exposed by the recess pattern;
The wiring pattern is in direct contact with the first insulating film,
The semiconductor layer is an array substrate positioned between the substrate and the first insulating layer.
제1 항에 있어서,
상기 리세스 패턴의 바닥면은 상기 기판의 상면을 포함하고, 상기 리세스 패턴의 측벽은 상기 제1 절연막의 내측면을 포함하는 어레이 기판.
The method of claim 1,
A bottom surface of the recess pattern includes a top surface of the substrate, and a sidewall of the recess pattern includes an inner surface of the first insulating layer.
제1 항에 있어서,
상기 배선 패턴은 복수개이고,
상기 리세스 패턴은 복수개이고, 상기 복수개의 리세스 패턴은 상기 복수개의 배선 패턴 사이사이에 배치되는 어레이 기판.
The method of claim 1,
The wiring pattern is plural,
The plurality of recess patterns is plural, and the plurality of recess patterns are disposed between the plurality of wiring patterns.
제3 항에 있어서,
상기 각 배선 패턴은 상기 기판의 일측을 향해 연장되는 배선 라인부;
타단이 상기 배선 라인부와 적어도 부분적으로 중첩되고, 일단이 상기 배선 라인부보다 넓은 폭을 갖는 배선 패드부; 및
상기 배선 라인부와 상기 배선 패드부가 접하여 전기적으로 연결되는 배선 접속부를 포함하는 어레이 기판.
4. The method of claim 3,
Each of the wiring patterns may include a wiring line portion extending toward one side of the substrate;
a wiring pad unit having a second end at least partially overlapping the wiring line unit and having one end wider than the wiring line unit; and
and a wiring connection part electrically connected to the wiring line part and the wiring pad part in contact with each other.
제4 항에 있어서,
상기 리세스 패턴은 서로 인접하는 배선 라인부 사이에 배치되고, 서로 인접하는 배선 패드부 사이까지 연장되는 어레이 기판.
5. The method of claim 4,
The recess pattern is disposed between adjacent interconnection line portions and extends to between adjacent interconnection pad portions.
제5 항에 있어서,
상기 배선 라인부 사이에 배치되는 리세스 패턴의 폭은 상기 배선 패드부 사이에 배치되는 리세스 패턴의 폭보다 큰 어레이 기판.
6. The method of claim 5,
A width of the recess pattern disposed between the wiring line parts is greater than a width of the recess pattern disposed between the wiring pad parts.
제4 항에 있어서,
상기 배선 라인부는 지그 재그 형상으로 연장되고, 상기 리세스 패턴은 인접하는 상기 배선 라인부 사이에서 적어도 하나 이상 배치되는 어레이 기판.
5. The method of claim 4,
The wiring line portion extends in a zigzag shape, and the recess pattern is at least one disposed between the adjacent wiring line portions.
제7 항에 있어서,
상기 리세스 패턴은 복수개의 배선 라인부 사이사이에 배치되되, 복수개의 열과 복수개의 행을 갖는 매트릭스 형태로 배열되는 어레이 기판.
8. The method of claim 7,
The recess pattern is disposed between a plurality of wiring line portions, and is arranged in a matrix form having a plurality of columns and a plurality of rows.
제4 항에 있어서,
상기 배선 패드부의 내측에 배치되며, 상기 배선 패드부, 상기 제1 절연막 및 버퍼층을 관통하여 상기 기판의 상면을 노출시키는 리세스 홈을 더 포함하는 어레이 기판.
5. The method of claim 4,
and a recess groove disposed inside the wiring pad unit and penetrating through the wiring pad unit, the first insulating layer, and the buffer layer to expose a top surface of the substrate.
제4 항에 있어서,
상기 리세스 패턴은 상기 복수개의 배선 라인부 중 최외곽에 배치되는 배선 라인부의 외측에 배치되는 어레이 기판.
5. The method of claim 4,
The recess pattern is disposed outside the wiring line portion disposed at the outermost of the plurality of wiring line portion.
제10 항에 있어서,
상기 복수개의 배선 라인부 중 최외곽에 배치되는 배선 라인부의 외측에 배치되는 셀아이디 패턴을 더 포함하고, 상기 리세스 패턴은 상기 셀아이디 패턴의 외주를 따라 배치되는 어레이 기판.
11. The method of claim 10,
The array substrate further includes a cell ID pattern disposed outside the outermost wiring line portion among the plurality of wiring line portions, wherein the recess pattern is disposed along an outer periphery of the cell ID pattern.
제1 항에 있어서,
상기 기판 상에 상기 기판을 적어도 부분적으로 가로지르는 적어도 하나 이상의 절단 라인이 정의되고, 상기 리세스 패턴은 상기 절단 라인과 인접하도록 배치되는 어레이 기판.
The method of claim 1,
At least one cut line is defined on the substrate at least partially crossing the substrate, and the recess pattern is disposed adjacent to the cut line.
제1 항에 있어서,
상기 제1 절연막은 산화규소 또는 질화규소를 포함하여 이루어지는 어레이 기판.
The method of claim 1,
The first insulating layer is an array substrate comprising silicon oxide or silicon nitride.
제1 항에 있어서,
상기 기판은 가요성 기판인 어레이 기판.
The method of claim 1,
The substrate is an array substrate which is a flexible substrate.
표시 영역 및 비표시 영역을 포함하는 기판;
상기 기판 상에 위치하고 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역 내에 위치하는 제1 절연막;
상기 제1 절연막 상에 위치하고 상기 표시 영역 내에 위치하며 반도체층을 포함하는 박막 트랜지스터;
상기 제1 절연막 상에 위치하고 상기 비표시 영역 내에 위치하며 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 배선 패턴;
상기 비표시 영역 내에 위치하고 상기 배선 패턴과 인접하게 배치되되, 상기 제1 절연막을 관통하는 리세스 패턴; 및
상기 배선 패턴 상에 배치되되, 상기 리세스 패턴에 의해 노출되는 상기 기판의 상면과 접하는 유기 절연막을 포함하고,
상기 유기 절연막은 상기 리세스 패턴을 정의하는 상기 제1 절연막의 측면과 직접 접촉하는 어레이 기판.
a substrate including a display area and a non-display area;
a first insulating layer positioned on the substrate and positioned in the display area and the non-display area;
a thin film transistor positioned on the first insulating layer, positioned in the display area, and including a semiconductor layer;
a wiring pattern located on the first insulating layer, located in the non-display area, and electrically connected to the thin film transistor;
a recess pattern positioned in the non-display area and disposed adjacent to the wiring pattern and penetrating the first insulating layer; and
an organic insulating layer disposed on the wiring pattern and in contact with an upper surface of the substrate exposed by the recess pattern;
The organic insulating layer is in direct contact with a side surface of the first insulating layer defining the recess pattern.
제15 항에 있어서,
상기 제1 절연막과 상기 배선 패턴 사이에 위치하는 제2 절연막을 더 포함하고,
상기 박막 트랜지스터의 상기 반도체층은 상기 제1 절연막과 상기 제2 절연막 사이에 위치하는 어레이 기판.
16. The method of claim 15,
Further comprising a second insulating film positioned between the first insulating film and the wiring pattern,
The semiconductor layer of the thin film transistor is disposed between the first insulating layer and the second insulating layer.
제16 항에 있어서,
상기 리세스 패턴은 상기 제2 절연막의 측면에 의해 더 정의되고,
상기 유기 절연막은 상기 리세스 패턴을 정의하는 상기 제2 절연막의 측면과 직접 접촉하는 어레이 기판.
17. The method of claim 16,
The recess pattern is further defined by a side surface of the second insulating layer,
The organic insulating layer is in direct contact with a side surface of the second insulating layer defining the recess pattern.
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