KR20210036255A - Table and breaking device - Google Patents

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KR20210036255A
KR20210036255A KR1020200104994A KR20200104994A KR20210036255A KR 20210036255 A KR20210036255 A KR 20210036255A KR 1020200104994 A KR1020200104994 A KR 1020200104994A KR 20200104994 A KR20200104994 A KR 20200104994A KR 20210036255 A KR20210036255 A KR 20210036255A
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KR
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mounting
brake
frame
opening
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KR1020200104994A
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토시유키 사카이
츠토무 우에노
토모히로 니시구치
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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    • C03B33/03Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations

Abstract

An objective of the present invention is to provide a table and a braking device to prevent a member mounting a substrate thereon from being bent. According to the present invention, a table (3, 3') mounting a substrate (S) thereon and braked by a three-point bending brake comprises a frame (31'), mounting members (33, 33'), and fixing members (35, 35'). The frames (31, 31') have an opening (O3). The mounting members (33, 33') are flexible and cover the opening (O3) of frames (31, 31') to form a mounting table mounting the substrate thereon. The fixing members (35, 35') fix end parts of the mounting members (33, 33') to the frames (31, 31') when the mounting members (33, 33') are pulled by predetermined tensile force.

Description

테이블 및 브레이크 장치{TABLE AND BREAKING DEVICE}Table and brake device {TABLE AND BREAKING DEVICE}

본 발명은 3점 굽힘 브레이크로 브레이크하는 기판을 재치(載置)하는 테이블 및 당해 테이블을 구비하는 브레이크 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a table on which a substrate to be braked by a three-point bending brake is placed, and a brake apparatus including the table.

유리 등의 기판을 절단(브레이크)하는 방법으로, 기판에 형성한 스크라이브 라인을 사이에 둔 2점으로 기판을 지지하면서 스크라이브 라인의 형성 부분 근방을 누름으로써 기판을 브레이크하는 "3점 굽힘 브레이크"가 알려져 있다. 또, 3점 굽힘 브레이크를 이용한 브레이크 장치로서 벨트컨베이어에 반송된 기판을 벨트컨베이어에 탑재한 상태로 브레이크하는 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1을 참조).This is a method of cutting (braking) a substrate such as glass, and a "3-point bending brake" that breaks the substrate by pressing near the portion where the scribe line is formed while supporting the substrate with two points between the scribe lines formed on the substrate. Is known. In addition, as a brake device using a three-point bending brake, a device that brakes a substrate conveyed by a belt conveyor in a state of being mounted on a belt conveyor is known (see, for example, Patent Document 1).

일본 특개2015-140289호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-140289

벨트컨베이어에 재치한 상태로 기판을 3점 굽힘 브레이크하는 장치에서는, 3점 굽힘 브레이크를 실행하는 개소(箇所)에서 벨트컨베이어가 휘어지게 되어, 기판의 3점 굽힘 브레이크를 적절하게 실행할 수 없는 가능성이 있었다. 예를 들면, 벨트컨베이어의 휘어짐에 의해 브레이크 후의 기판들이 접촉하여 브레이크 후의 기판이 파손되는 것을 생각할 수 있다.In a device that performs a three-point bending brake on a substrate while mounted on a belt conveyor, the belt conveyor is bent at a location where the three-point bending brake is applied, and there is a possibility that the three-point bending brake of the substrate cannot be properly executed. there was. For example, it is conceivable that the substrates after the brake are in contact with each other due to the bending of the belt conveyor and the substrates after the brake are damaged.

본 발명의 목적은, 3점 굽힘 브레이크 방식에 의한 기판의 절단(브레이크)에 있어서, 기판을 재치하는 부재의 휘어짐을 억제하는 데 있다.An object of the present invention is to suppress the bending of a member on which the substrate is mounted in cutting (braking) a substrate by a three-point bending brake method.

이하에 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양태를 설명한다. 이들 양태는 필요에 따라 임의로 조합할 수 있다.Hereinafter, a plurality of aspects will be described as a means for solving the problem. These aspects can be arbitrarily combined as needed.

본 발명의 하나의 견지에 관한 테이블은 3점 굽힘 브레이크 방식으로 절단(브레이크)하는 기판을 재치하는 테이블이다. 테이블은 프레임과, 재치부재(載置部材)와, 고정부재를 구비한다. 프레임은 개구부를 갖는다. 재치부재는 가요성(可撓性)을 가지며, 프레임의 개구(開口)를 덮어서 기판을 재치하는 재치대를 형성한다. 고정부재는 재치부재를 소정의 인장력으로 당긴 상태로 재치부재의 단부를 프레임에 고정한다.A table according to one aspect of the present invention is a table on which a substrate to be cut (braking) is placed in a three-point bending brake method. The table includes a frame, a mounting member, and a fixing member. The frame has an opening. The mounting member is flexible, and forms a mounting table for mounting the substrate by covering the opening of the frame. The fixing member fixes the end of the mounting member to the frame while pulling the mounting member with a predetermined tensile force.

상기의 테이블에서는, 기판을 재치하는 재치대가 되는 재치부재가 프레임의 개구를 덮은 상태로 소정의 인장력으로 당겨져 프레임에 고정되고 있다. 즉, 가요성이 있는 재치부재가 프레임에 설치된 개구라는 제한된 공간을 덮은 구성을 갖는다. 이로 인해 기판이 재치되는 재치대의 영역에서 재치부재의 휨을 억제할 수 있다.In the above table, a mounting member serving as a mounting table for mounting a substrate is pulled with a predetermined tensile force while covering the opening of the frame and fixed to the frame. That is, the flexible mounting member has a configuration covering a limited space called an opening provided in the frame. Accordingly, it is possible to suppress the bending of the placement member in the area of the placement table on which the substrate is placed.

프레임은 원형이어도 좋다. 이로 인해서 재치부재에 대해 균등하게 인장력을 줄 수 있다.The frame may be circular. Due to this, it is possible to evenly apply a tensile force to the mounting member.

본 발명의 다른 견지에 관련되는 브레이크 장치는 브레이크부와, 테이블을 구비한다. 브레이크부는 3점 굽힘 브레이크로 기판을 브레이크한다. 테이블은 브레이크부에 의해 브레이크하는 기판을 재치한다.A brake device according to another aspect of the present invention includes a brake unit and a table. The brake part brakes the board with a three-point bending brake. The table mounts the substrate to be braked by the brake unit.

브레이크 장치에 구비되는 테이블에서는 프레임과, 재치부재와, 고정부재를 구비한다. 프레임은 개구부를 갖는다. 재치부재는 가요성을 가지며, 프레임의 개구를 덮어서 기판을 재치하는 재치대를 형성한다. 고정부재는 재치부재를 소정의 인장력으로 당긴 상태로 재치부재의 단부를 프레임에 고정한다.A table provided in the brake device includes a frame, a mounting member, and a fixing member. The frame has an opening. The placing member is flexible, and forms a placing table for placing the substrate by covering the opening of the frame. The fixing member fixes the end of the mounting member to the frame while pulling the mounting member with a predetermined tensile force.

상기의 브레이크 장치에 구비되는 테이블에서는, 기판을 재치하는 재치대가 되는 재치부재가 프레임의 개구를 덮은 상태로 소정의 인장력으로 당겨져 프레임에 고정되고 있다. 이로 인해 재치부재가 가요성을 가지더라도 프레임에 설치된 개구가 한정된 공간 내, 즉 기판이 재치되는 한정된 영역 내에서 재치부재의 휨을 억제할 수 있다. 그 결과, 브레이크 장치는 3점 굽힘 브레이크에 의해 기판을 적절하게 브레이크할 수 있다.In the table provided in the above-described brake device, a mounting member serving as a mounting table for mounting a substrate is pulled with a predetermined tensile force while covering the opening of the frame and fixed to the frame. Accordingly, even if the placing member has flexibility, it is possible to suppress the bending of the placing member within a limited space in which the opening provided in the frame is placed, that is, within a limited area in which the substrate is placed. As a result, the brake device can appropriately brake the substrate by the three-point bending brake.

상기의 브레이크 장치는 지지부(保持部)를 추가로 구비해도 좋다. 지지부는 테이블을 탈부착 가능하게 지지(保持)한다. 이에 의해 테이블에의 기판의 재치를 브레이크 장치의 설치 장소와는 다른 장소에서 실행할 수 있다.The above-described brake device may further include a support portion. The support part supports the table detachably. Accordingly, the mounting of the substrate on the table can be performed at a place different from the place where the brake device is installed.

지지부는 테이블의 설치 각도를 조정 가능해도 좋다. 이로 인해 기판을 임의의 방향으로 브레이크할 수 있다.The support portion may be capable of adjusting the mounting angle of the table. This makes it possible to break the substrate in any direction.

3점 굽힘 브레이크에 의해 브레이크하는 기판을 재치하는 재치부재의 휨을 억제하여, 당해 재치부재에 재치된 기판을 3점 굽힘 브레이크에 의해 적절하게 브레이크할 수 있다.The bending of the mounting member on which the board to be braked by the three-point bending brake is mounted can be suppressed, and the board mounted on the mounting member can be properly braked by the three-point bending brake.

도 1은 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치의 상면도이다.
도 2는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치의 A-A선의 단면도이다.
도 3은 제 1 실시형태에 관련되는 테이블의 단면도이다.
도 4a는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치에 의한 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작의 제1예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4b는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치에 의한 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작의 제2예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4c는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치에 의한 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작의 제3예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4d는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치에 의한 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작의 제4예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4e는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치에 의한 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작의 제5예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4f는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치에 의한 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작의 제6예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 제 2 실시형태에 관련되는 테이블의 단면도이다.
1 is a top view of a brake device according to a first embodiment.
2 is a cross-sectional view taken along line AA of the brake device according to the first embodiment.
3 is a cross-sectional view of a table according to the first embodiment.
4A is a diagram schematically showing a first example of a three-point bending brake operation of a substrate by a brake device according to the first embodiment.
4B is a diagram schematically showing a second example of the three-point bending brake operation of the substrate by the brake device according to the first embodiment.
4C is a diagram schematically showing a third example of the three-point bending brake operation of the substrate by the brake device according to the first embodiment.
4D is a diagram schematically showing a fourth example of the three-point bending brake operation of the substrate by the brake device according to the first embodiment.
4E is a diagram schematically showing a fifth example of the three-point bending brake operation of the substrate by the brake device according to the first embodiment.
4F is a diagram schematically showing a sixth example of a three-point bending brake operation of the substrate by the brake device according to the first embodiment.
5 is a cross-sectional view of a table according to a second embodiment.

1. 제 1 실시형태1. First embodiment

(1) 브레이크 장치(1) brake system

이하에 도 1 및 도 2를 이용하여 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치(100)를 설명한다. 도 1은 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치의 상면도이다. 도 2는 제 1 실시형태에 관련되는 도 1 브레이크 장치의 A-A선 단면도이다. 도 1 및 도 2에서는 높이방향을 Z방향으로 하여 화살표로 나타낸다. 또한, 높이방향(Z방향)과는 수직인 수평방향을 X방향으로 하여 화살표로 나타낸다.Hereinafter, a brake device 100 according to a first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. 1 is a top view of a brake device according to a first embodiment. Fig. 2 is a cross-sectional view taken along line A-A of the brake device of Fig. 1 according to the first embodiment. In Figs. 1 and 2, the height direction is indicated by an arrow in the Z direction. In addition, the horizontal direction perpendicular to the height direction (Z direction) is indicated by an arrow as the X direction.

제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치(100)는 "3점 굽힘 브레이크"에 의해 기판(S)을 브레이크하는 장치이다. 구체적으로는 브레이크 장치(100)는 기판(S)에 형성된 스크라이브 라인(SL1, SL2)(도 4)을 사이에 둔 2점으로 기판(S)을 지지하면서, 스크라이브 라인(SL1, SL2)의 형성 부분 근방을 기판(S)의 스크라이브 라인(SL1, SL2)을 형성한 측과는 반대 측에서 누름으로써 기판(S)을 절단(브레이크)한다. 브레이크 장치(100)는 브레이크하는 기판(S)을 가요성이 있는 재치부재(33) 상에 재치한 상태에서 브레이크한다.The brake device 100 according to the first embodiment is a device that brakes the substrate S by a "three-point bending brake". Specifically, the brake device 100 forms the scribe lines SL1 and SL2 while supporting the substrate S with two points interposed between the scribe lines SL1 and SL2 (FIG. 4) formed on the substrate S. The substrate S is cut (brake) by pressing the portion near the side opposite to the side on which the scribe lines SL1 and SL2 of the substrate S are formed. The brake device 100 brakes the brake substrate S in a state in which it is placed on the flexible mounting member 33.

브레이크 장치(100)는 브레이크부(1)와, 테이블(3)과, 지지부(5)를 구비한다. 도 2에 나타내는 것과 같이 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치(100)에서는, 브레이크부(1)는 테이블(3)을 사이에 두고 Z방향으로 한 쌍 설치된다. 한편, 한 쌍의 브레이크부(1)는 X방향에서는 서로 마주하여 설치된다.The brake device 100 includes a brake part 1, a table 3, and a support part 5. As shown in FIG. 2, in the brake device 100 according to the first embodiment, a pair of brake units 1 is provided in the Z direction with the table 3 interposed therebetween. On the other hand, a pair of brake units 1 are installed to face each other in the X direction.

브레이크부(1)는, 테이블(3)(재치부재(33)) 상에 재치된 기판(S)을 3점 굽힘 브레이크로 브레이크한다. 구체적으로 브레이크부(1)는 지지부재(支持部材)(11)와 가압부재(押壓部材)(13)를 갖는다.The brake unit 1 brakes the substrate S placed on the table 3 (placement member 33) with a three-point bending brake. Specifically, the brake unit 1 has a support member 11 and a pressing member 13.

지지부재(11)는 예를 들어 L자형 부재이며, X방향으로 소정의 간격을 두고 한 쌍이 설치된다. 또, 지지부재(11)는 예를 들면 유체 실린더(도시하지 않음) 등의 구동기구에 의해 Z방향으로 이동한다. 지지부재(11)가 Z방향으로 이동하여 기판(S)에 접근하면, 지지부재(11)의 L자 형상의 X방향으로 연장되는 부분(지지 부분(11a)이라 함)이 기판(S)에 접촉하여 당해 지지 부분(11a)에서 기판(S)을 지지할 수 있다.The support member 11 is, for example, an L-shaped member, and a pair is provided at predetermined intervals in the X direction. Further, the support member 11 is moved in the Z direction by a driving mechanism such as a fluid cylinder (not shown), for example. When the support member 11 moves in the Z direction and approaches the substrate S, the L-shaped portion of the support member 11 extending in the X direction (referred to as the support portion 11a) is on the substrate S. The substrate S can be supported by the support portion 11a by contacting.

가압부재(13)는 예를 들어 장척판상(長尺板狀)의 브레이크 바(brake bar)로, 한 쌍의 지지부재(11) 사이에 설치된다. 가압부재(13)는 예를 들면 유체 실린더(도시하지 않음) 등의 구동기구에 의해 Z방향으로 이동한다. 즉, 가압부재(13)는 한 쌍의 지지부재(11) 사이에 Z방향으로 이동가능하게 되어 있다. 가압부재(13)는 기판(S)을 사이에 두고 반대 측 브레이크부(1)의 지지 부분(11a)에 의해 기판(S)을 지지한 상태로 Z방향으로 이동하여 기판(S)에 누름으로써 기판(S)을 브레이크할 수 있다.The pressing member 13 is, for example, a long plate-shaped brake bar, and is provided between the pair of support members 11. The pressing member 13 moves in the Z direction by a driving mechanism such as a fluid cylinder (not shown), for example. That is, the pressing member 13 is movable in the Z direction between the pair of support members 11. The pressing member 13 moves in the Z direction while supporting the substrate S by the support portion 11a of the brake unit 1 on the opposite side with the substrate S interposed therebetween, and is pressed against the substrate S. It is possible to break the substrate S.

테이블(3)은 브레이크부(1)에 의해 브레이크하는 기판(S)을 재치한다. 본 실시형태의 브레이크 장치(100)에서는, 기판(S)의 3점 굽힘 브레이크는 테이블(3)에 당해 기판(S)을 재치한 상태로 실행된다. 기판(S)의 3점 굽힘 브레이크가 가능한 테이블(3)의 구체적인 구성에 관해서는 나중에 자세히 설명한다.The table 3 mounts the substrate S to be braked by the brake unit 1. In the brake device 100 of the present embodiment, the three-point bending brake of the substrate S is performed while the substrate S is mounted on the table 3. The specific configuration of the table 3 capable of a three-point bending brake of the substrate S will be described later in detail.

지지부(保持部)(5)는 테이블(3)을 탈부착 가능하게 지지한다. 구체적으로는 지지부(5)는 테이블(3)을 수납 가능한 제 1 수납 개구(O1)를 갖는다. 도 2에 나타내는 것과 같이, 지지부(5)는 그 상면에서 테이블(3)의 플랜지부(31a)(후술)와 접촉하여 테이블(3)의 하부(재치부재(33))를 제 1 수납 개구(O1)에 수납함으로써 테이블(3)을 지지할 수 있다. 한편, 제 1 수납 개구(O1)에 수납된 테이블(3)을 제 1 수납 개구(O1)에서 분리함으로써 지지부(5)로부터 테이블(3)을 떼어낼 수 있다.The support part 5 supports the table 3 in a detachable manner. Specifically, the support portion 5 has a first storage opening O1 capable of accommodating the table 3. As shown in FIG. 2, the support part 5 contacts the flange part 31a (to be described later) of the table 3 on its upper surface, and opens the lower part (placement member 33) of the table 3 to the first storage opening ( The table 3 can be supported by storing it in O1). On the other hand, by separating the table 3 accommodated in the first storage opening O1 from the first storage opening O1, the table 3 can be removed from the support portion 5.

테이블(3)이 지지부(5)에 대해 탈부착 가능함으로써, 예를 들어 브레이크 장치(100)의 설치 장소로부터 떨어진 장소에서 테이블(3)에 기판(S)을 재치할 수 있다.Since the table 3 is detachable from the support part 5, for example, the substrate S can be mounted on the table 3 at a location away from the installation location of the brake device 100.

도 1 및 도 2에 나타내는 것과 같이, 브레이크 장치(100)는 이동대(7)를 구비한다. 이동대(7)는 지지부(5)를 지지한다. 이동대(7)에는 지지부(5)의 제 1 수납 개구(O1)와 대응하는 제 2 수납 개구(O2)가 설치되어 제 2 수납 개구(O2)를 따라서 가이드 레일(71)이 설치된다. 이 가이드 레일(71)에는 지지부(5)의 하부에서 제 1 수납 개구(O1)를 따라서 설치된 오목부(51)가 끼워진다. 이에 의해 지지부(5)는 Z축 주위에 회전 가능한 상태로 이동대(7)에 지지된다.1 and 2, the brake device 100 includes a moving table 7. The moving platform 7 supports the support 5. The moving table 7 is provided with a second storage opening O2 corresponding to the first storage opening O1 of the support portion 5, and a guide rail 71 is provided along the second storage opening O2. The guide rail 71 is fitted with a concave portion 51 provided along the first storage opening O1 from the lower portion of the support portion 5. Thereby, the support part 5 is supported by the moving table 7 in a state rotatable around the Z-axis.

또, 이동대(7)에는 회전 구동부(73)가 설치된다. 회전 구동부(73)는 지지부(5)를 Z축 주위로 회전하는 장치로, 예를 들면 제 1 기어(73a)와, 구동부(73b)를 갖는다. 제 1 기어(73a)는 지지부(5)의 하부 측면에 설치된 제 2 기어(53)와 맞물린다. 구동부(73b)는 제 1 기어(73a)를 회전시킨다. 이 회전 구동부(73)가 지지부(5)를 Z축 주위로 회전시키면, 지지부(5)는 제 1 수납 개구(O1)에 수납된 테이블(3)을 Z축 주위로 회전시킨다. 이에 의해 지지부(5)는 테이블(3)의 설치 각도를 조정할 수 있다.Further, a rotation driving unit 73 is provided on the moving table 7. The rotation drive part 73 is a device that rotates the support part 5 around the Z-axis, and has, for example, a first gear 73a and a drive part 73b. The first gear 73a meshes with the second gear 53 installed on the lower side of the support 5. The driving unit 73b rotates the first gear 73a. When this rotation drive part 73 rotates the support part 5 around the Z-axis, the support part 5 rotates the table 3 accommodated in the 1st accommodating opening O1 about the Z-axis. Thereby, the support part 5 can adjust the installation angle of the table 3.

테이블(3)의 설치 각도가 조정 가능함으로써, 기판(S)을 임의의 방향으로 브레이크할 수 있다.Since the mounting angle of the table 3 is adjustable, the substrate S can be braked in any direction.

또한, 이동대(7)는 소정의 간격을 두고 배치된 한 쌍의 레일(9)을 따라, X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이에 의해 이동대(7)는 테이블(3)에 재치된 기판(S)을 브레이크부(1)에 대해 X방향으로 이동할 수 있다.Further, the moving platform 7 is movable in the X direction along a pair of rails 9 arranged at predetermined intervals. Accordingly, the moving table 7 can move the substrate S placed on the table 3 in the X direction with respect to the brake unit 1.

(2) 테이블(2) table

다음으로 도 3을 이용하여 3점 굽힘 브레이크로 브레이크하는 기판(S)을 재치하는 테이블(3)의 구성을 설명한다. 도 3은 제 1 실시형태에 관련되는 테이블의 단면도이다. 테이블(3)에서는 기판(S)은 가요성을 가지며, 소정의 인장력으로 당겨진 상태의 재치부재(33) 상에 재치된다.Next, the configuration of the table 3 on which the substrate S to be braked by a three-point bending brake is placed will be described with reference to FIG. 3. 3 is a cross-sectional view of a table according to the first embodiment. In the table 3, the substrate S has flexibility and is placed on the mounting member 33 in a pulled state by a predetermined tensile force.

구체적으로는 테이블(3)은 프레임(31)과, 재치부재(33)와, 고정부재(35)를 갖는다. 프레임(31)은 개구(O3)를 갖는 링 형상(원형)부재이다. 프레임(31)을 링 형상으로 함으로써 재치부재(33)를 프레임(31)에 고정했을 때, 재치부재(33)에 대해 균등하게 인장력을 줄 수 있다. 프레임(31)은 테이블(3)이 지지부(5)에 지지될 때에 지지부(5)의 상면에 접촉하는 플랜지부(31a)와, 재치부재(33)가 고정되는 고정 부분(31b)을 갖는 L자 형상의 부재이다.Specifically, the table 3 has a frame 31, a mounting member 33, and a fixing member 35. The frame 31 is a ring-shaped (circular) member having an opening (O3). By making the frame 31 in a ring shape, when the mounting member 33 is fixed to the frame 31, a tensile force can be applied to the mounting member 33 evenly. The frame 31 has an L having a flange portion 31a that contacts the upper surface of the support portion 5 when the table 3 is supported by the support portion 5, and a fixing portion 31b to which the mounting member 33 is fixed. It is a ruler-shaped member.

재치부재(33)는 예를 들어 가요성이 있는 재료로 구성된 시트 형상의 부재이다. 재치부재(33)는 예를 들면 우레탄 고무제의 시트이다. 재치부재(33)는 고정부재(35)에 의해 소정의 인장력으로 당겨진 상태로 개구(O3)를 덮는다. 재치부재(33)의 개구(O3)를 덮은 부분이 기판(S)을 재치하는 재치대를 형성한다.The mounting member 33 is, for example, a sheet-like member made of a flexible material. The mounting member 33 is, for example, a sheet made of urethane rubber. The mounting member 33 covers the opening O3 in a state pulled by a predetermined tensile force by the fixing member 35. The portion of the mounting member 33 covering the opening O3 forms a mounting table on which the substrate S is mounted.

또, 재치부재(33)의 표면은 요철형상을 갖고 있다. 재치부재(33) 표면의 요철형상은 재치부재(33)와 기판(S)의 접촉면적을 작게 할 수 있으므로, 3점 굽힘 브레이크의 실행시에 재치부재(33) 상에서 기판(S)을 이동하기 쉽게 할 수 있다.Moreover, the surface of the mounting member 33 has an uneven shape. Since the uneven shape on the surface of the placing member 33 can reduce the contact area between the placing member 33 and the substrate S, it is possible to move the substrate S on the placing member 33 when the 3-point bending brake is executed. You can do it easily.

또한, 재치부재(33)는 기판(S)과의 접촉에 대한 마찰계수가 비교적 작은 재료로 구성되어 있는 경우에는 그 표면에 요철형상을 가지고 있지 않아도 좋다.Further, when the mounting member 33 is made of a material having a relatively small coefficient of friction with respect to contact with the substrate S, it may not have an uneven shape on its surface.

고정부재(35)는 재치부재(33)를 소정의 인장력으로 당긴 상태로, 당해 재치부재(33)의 단부를 프레임(31)에 고정하는 부재이다. 고정부재(35)는 예를 들면 리벳 등의 못(釘), 볼트너트, 턴버클 등이다. 고정부재(35)가 턴버클인 경우에는 재치부재(33)의 인장력을 조정하여 재치대에서 재치부재(33)의 휘어진 상태를 조정할 수 있다.The fixing member 35 is a member that fixes the end of the mounting member 33 to the frame 31 in a state in which the mounting member 33 is pulled with a predetermined tensile force. The fixing member 35 is, for example, a nail such as a rivet, a bolt nut, a turnbuckle, or the like. When the fixing member 35 is a turnbuckle, the bending state of the placing member 33 on the placing table may be adjusted by adjusting the tensile force of the placing member 33.

상기의 구성을 갖는 테이블(3)에서는, 재치부재(33)는 프레임(31)에 설치된 개구(O3)라는 한정된 공간(짧은 거리)을 덮는다. 이로 인해 재치부재(33)가 가요성을 가지더라도 기판(S)이 재치되는 재치대의 영역에서 재치부재(33)의 휨을 억제할 수 있다.In the table 3 having the above configuration, the mounting member 33 covers a limited space (a short distance) called an opening O3 provided in the frame 31. Accordingly, even if the mounting member 33 has flexibility, it is possible to suppress the bending of the mounting member 33 in the region of the mounting table on which the substrate S is mounted.

(3) 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작(3) 3-point bending brake operation of the board

이하에, 도 4a~도 4f를 이용하여 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치(100)를 이용해서 테이블(3)에 재치된 기판(S)을 3점 굽힘 브레이크하는 동작을 설명한다. 도 4a~도 4f는 제 1 실시형태에 관련되는 브레이크 장치에 의한 기판의 3점 굽힘 브레이크 동작의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 4a~도 4f에서는 재치부재(33)를 기준으로 했을 때, Z방향에서 기판(S)이 존재하는 측을 상방향으로 하고 개구(O3)가 존재하는 측을 하방향으로 정의한다.Hereinafter, an operation of performing a three-point bending brake on the substrate S placed on the table 3 using the brake device 100 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 4A to 4F. 4A to 4F are diagrams schematically showing an example of a three-point bending brake operation of the substrate by the brake device according to the first embodiment. In Figs. 4A to 4F, when the mounting member 33 is used as a reference, the side where the substrate S is present in the Z direction is defined as the upward direction, and the side where the opening O3 is present is defined as the downward direction.

또, 이하의 설명에서는 기판(S)은 제 1 기판(S1)과 제 2 기판(S2)를 접합한 기판으로 한다. 또, 이하의 설명에서는 브레이크 장치(100)를 이용해서 제 1 기판(S1)에 설치된 제 1 스크라이브 라인(SL1)과 제 2 기판(S2)에 설치된 제 2 스크라이브 라인(SL2)을 따라서 기판(S)을 브레이크하는 경우의 동작을 설명한다.In the following description, the substrate S is a substrate obtained by bonding the first substrate S1 and the second substrate S2. Further, in the following description, the substrate S along the first scribe line SL1 provided on the first substrate S1 and the second scribe line SL2 provided on the second substrate S2 using the brake device 100. ) Will be described.

먼저, 브레이크하고자 하는 기판(S)의 제 1 기판(S1)에 제 1 스크라이브 라인(SL1)을 형성하고, 제 2 기판(S2)에 제 2 스크라이브 라인(SL2)을 형성하여, 그 기판(S)을 테이블(3)의 재치부재(33) 상에 재치한다. 여기서는 도 4a에 나타내는 것과 같이 기판(S)은 제 2 기판(S2)이 하방향을 향하도록 재치되어 있는 것으로 한다.First, a first scribe line SL1 is formed on the first substrate S1 of the substrate S to be braked, and a second scribe line SL2 is formed on the second substrate S2, and the substrate S ) Is placed on the placing member 33 of the table 3. Here, as shown in Fig. 4A, it is assumed that the substrate S is placed so that the second substrate S2 faces downward.

다음에, 도 4a에 나타내는 것과 같이 제 2 기판(S2) 측, 즉 하방에 설치된 한 쌍의 지지부재(11)를 재치부재(33)에 접근시켜 당해 한 쌍의 지지부재(11)로 기판(S)을 제 2 기판(S2)측(하측)에서 지지한다. 이 때, 제 2 스크라이브 라인(SL2)은 한 쌍의 지지부재(11) 사이에 존재한다.Next, as shown in FIG. 4A, a pair of support members 11 provided on the side of the second substrate S2, that is, below, are brought close to the mounting member 33, and the pair of support members 11 is used as the substrate ( S) is supported on the second substrate S2 side (lower side). At this time, the second scribe line SL2 exists between the pair of support members 11.

그 후, 도 4b에 나타내는 것과 같이, 하방의 지지부재(11)에 기판(S)을 하측에서 지지한 상태로 상방의 가압부재(13)를 기판(S)에 접근시켜 상방의 가압부재(13)를 제 1 기판(S1)에 접촉시킨다. 이 가압부재(13)를 제 1 기판(S1)에 접촉시킨 상태에서 더 하방으로 이동시킴으로써, 도 4c에 나타내는 것과 같이 제 2 기판(S2)이 제 2 스크라이브 라인(SL2)을 따라서 브레이크된다.Thereafter, as shown in FIG. 4B, the upper pressing member 13 is brought close to the substrate S while supporting the substrate S on the lower support member 11 from the lower side, and the upper pressing member 13 ) Is brought into contact with the first substrate S1. By moving the pressing member 13 further downward while in contact with the first substrate S1, the second substrate S2 is braked along the second scribe line SL2 as shown in FIG. 4C.

제 2 기판(S2)을 브레이크 후, 도 4d에 나타내는 것과 같이 제 1 기판(S1)측, 즉 상방에 설치된 한 쌍의 지지부재(11)를 제 1 기판(S1)에 접근시켜 당해 한 쌍의 지지부재(11)에 기판(S)을 제 1 기판(S1)측(상측)에서 지지한다. 이 때, 제 1 스크라이브 라인(SL1)은 한 쌍의 지지부재(11) 사이에 존재한다.After breaking the second substrate S2, as shown in FIG. 4D, a pair of support members 11 installed on the side of the first substrate S1, that is, above, are brought close to the first substrate S1, and the pair of The substrate S is supported on the support member 11 from the first substrate S1 side (upper side). At this time, the first scribe line SL1 exists between the pair of support members 11.

그 후, 도 4e에 나타내는 것과 같이 상방의 지지부재(11)로 기판(S)을 상측에서 지지한 상태로 하방의 가압부재(13)를 기판(S)에 접근시켜 하방의 가압부재(13)를 재치부재(33)에 접촉시킨다. 이 가압부재(13)를 재치부재(33)에 접촉시킨 상태에서 더 상방으로 이동시킴으로써, 도 4f에 나타내는 것과 같이 제 1 기판(S1)이 제 1 스크라이브 라인(SL1)을 따라서 브레이크된다.After that, as shown in Fig. 4E, the lower pressing member 13 is brought close to the substrate S while the substrate S is supported by the upper support member 11 from the upper side, and the lower pressing member 13 is Is brought into contact with the mounting member (33). By moving the pressing member 13 further upward in a state in which it is in contact with the mounting member 33, the first substrate S1 is braked along the first scribe line SL1 as shown in FIG. 4F.

상기에서 설명한 것과 같이, 테이블(3)에서는 재치부재(33)가 휘는 것이 억제되고 있으므로, 기판(S)을 브레이크하기 위해 가압부재(13)에 의해서 기판(S)을 가압했을 때 재치부재(33)는 크게 휘지 않는다.As described above, since bending of the placing member 33 is suppressed in the table 3, when the substrate S is pressed by the pressing member 13 to break the substrate S, the placing member 33 ) Does not bend greatly.

이 결과, 재치부재(33)의 휘어짐에 의한 브레이크 후의 기판의 이동이 억제되어 브레이크 후의 2개의 기판이 충돌하여 파손되는 것을 억제할 수 있다.As a result, movement of the substrate after the brake due to the bending of the placing member 33 is suppressed, and it is possible to suppress the two substrates after the brake from colliding and being damaged.

2. 제 2 실시형태2. Second embodiment

상기의 제 1 실시형태에 있어서는, 테이블(3)에서 프레임(31)은 L자 형상의 1개의 부재였으나 이에 한정되지 않는다. 도 5에 나타내는 것과 같이, 제 2 실시형태에 관련되는 테이블(3')에서 프레임(31')은 플랜지부(31a')와, 고정 부분(31b')과, 볼록부재(31c')에 의해 구성된다. 도 5는 제 2 실시형태에 관련되는 테이블의 단면도이다. 도5에 나타내는 것과 같이 플랜지부(31a')와 고정 부분(31b')은 제 1 실시형태와 마찬가지로 L자 형상의 일체(一體)의 부재로 형성된다. 플랜지부(31a')는 제 1 실시형태의 플랜지부(31a)와 마찬가지로 테이블(3')이 지지부(5)에 지지될 때, 지지부(5)의 상면에 접촉한다. 고정 부분(31b')은 그 하면(下面)의 중심부에 오목홈을 가지고 있다.In the first embodiment described above, the frame 31 in the table 3 is one L-shaped member, but is not limited thereto. As shown in Fig. 5, in the table 3'according to the second embodiment, the frame 31' is formed by a flange portion 31a', a fixing portion 31b', and a convex member 31c'. It is composed. 5 is a cross-sectional view of a table according to a second embodiment. As shown in Fig. 5, the flange portion 31a' and the fixing portion 31b' are formed of an L-shaped integral member similarly to the first embodiment. The flange portion 31a' contacts the upper surface of the support portion 5 when the table 3'is supported by the support portion 5, similarly to the flange portion 31a of the first embodiment. The fixing part 31b' has a concave groove in the center of its lower surface.

볼록부재(31c')는 예를 들면 고정 부분(31b')의 오목홈에 대응하는(오목홈의 직경과 같은 직경을 갖는) 링 형상의 부재로, 고정 부분(31b')의 오목홈에 감(嵌合)합하는 볼록부를 가지고 있다.The convex member 31c' is, for example, a ring-shaped member corresponding to the concave groove of the fixed portion 31b' (having the same diameter as that of the concave groove), and is wound around the concave groove of the fixed portion 31b'. (嵌合) It has a convex part to merge.

또한, 테이블(3')의 재치부재(33') 및 고정부재(35')는 각각 제 1 실시형태의 재치부재(33) 및 고정부재(35)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 여기서는 설명을 생략한다.In addition, the mounting member 33 ′ and the fixing member 35 ′ of the table 3 ′ have the same configuration and function as the mounting member 33 and the fixing member 35 of the first embodiment, respectively, so descriptions are made herein. Omit it.

제 2 실시형태에 관련되는 테이블(3')에서는, 재치부재(33')는 고정 부분(31b')의 오목홈과 볼록부재(31c')의 볼록부와의 사이에 끼워진 상태에서 고정부재(35')에 의해 프레임(31')에 고정된다. 보다 구체적으로는 재치부재(33')는 그 단부가 볼록부재(31c')의 볼록부에 의해 고정 부분(31b')의 오목홈에 밀어넣어진 상태에서 고정부재(35')에 의해 프레임(31')에 고정된다.In the table 3 ′ according to the second embodiment, the mounting member 33 ′ is in a state sandwiched between the concave groove of the fixing portion 31b ′ and the convex portion of the convex member 31c ′, and the fixing member ( 35') to the frame 31'. More specifically, the mounting member 33' is framed by the fixing member 35' while its end is pushed into the concave groove of the fixed portion 31b' by the convex portion of the convex member 31c'. 31').

재치부재(33')의 단부가 볼록부재(31c')에 의해 고정 부분(31b')의 오목홈에 밀어넣어짐으로써 재치부재(33')의 재치대가 되는 부분에 보다 확실하게 인장력을 가할 수 있다.The end of the mounting member 33' is pushed into the concave groove of the fixed portion 31b' by the convex member 31c', so that a tensile force can be applied more reliably to the portion that becomes the mounting table of the mounting member 33'. have.

3. 실시형태의 공통사항3. Common matters of the embodiment

상기 제 1~제 2 실시형태는 하기와 같은 구성 및 기능을 공통적으로 가지고 있다.The first to second embodiments have the following configurations and functions in common.

테이블(예를 들면 테이블 3, 3')은 3점 굽힘 브레이크로 브레이크하는 기판(예를 들면 기판 S)을 재치하는 테이블이다. 테이블은 프레임(예를 들면 프레임 31, 31')과, 재치부재(예를 들면 재치부재 33, 33')와, 고정부재(예를 들면 고정부재 35, 35')를 구비한다. 프레임은 개구(예를 들면 개구 O3)를 갖는다. 재치부재는 가요성을 가지며, 프레임의 개구를 덮어서 기판을 재치하는 재치대를 형성한다.고정부재는 재치부재를 소정의 인장력으로 당긴 상태로 재치부재의 단부를 프레임에 고정한다.The table (for example, tables 3 and 3') is a table on which a board (eg, board S) to be braked by a three-point bending brake is placed. The table includes a frame (for example, frames 31, 31'), a mounting member (for example, mounting members 33, 33'), and a fixing member (for example, fixing members 35, 35'). The frame has an opening (for example, opening O3). The mounting member is flexible and forms a mounting table for mounting the substrate by covering the opening of the frame. The fixing member fixes the end of the mounting member to the frame while pulling the mounting member with a predetermined tensile force.

상기의 테이블에서는 기판을 재치하는 재치대가 되는 재치부재가 프레임의 개구를 덮은 상태에서 소정의 인장력으로 당겨져 프레임에 고정되어 있다. 즉, 가요성이 있는 재치부재가 프레임에 설치된 개구라는 제한된 공간을 덮은 구성을 갖는다. 이로 인해 기판이 재치되는 재치대의 영역에서 재치부재의 휘어짐을 억제할 수 있다.In the above table, a mounting member serving as a mounting table for mounting a substrate is pulled with a predetermined tensile force while covering the opening of the frame and fixed to the frame. That is, the flexible mounting member has a configuration covering a limited space called an opening provided in the frame. Accordingly, it is possible to suppress the bending of the placing member in the region of the placing table on which the substrate is placed.

4. 다른 실시형태4. Other embodiments

이상, 본 발명의 복수의 실시형태에 대해 설명했으나, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 발명의 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경이 가능하다. 특히 본 명세서에 쓰여진 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.As described above, a plurality of embodiments of the present invention have been described, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. In particular, a plurality of embodiments and modifications written in the present specification can be arbitrarily combined as necessary.

(A) 상기의 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에 있어서, 제 1 기어(73a) 및 제 2 기어(53)는 복수의 톱니(齒)를 가지는 기어였다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 제 1 기어(73a) 및 제 2 기어(53)를 스프로킷(sprocket)으로 해도 좋다. 이 경우, 제 1 기어(73a) 및 제 2 기어(53)는 체인을 통해서 연결된다.(A) In the first and second embodiments described above, the first gear 73a and the second gear 53 were gears having a plurality of teeth. However, the present invention is not limited thereto, and the first gear 73a and the second gear 53 may be sprockets. In this case, the first gear 73a and the second gear 53 are connected through a chain.

(B) 상기의 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에 있어서, 프레임(31,31')은 원형이었으나, 재치부재(33,33')에 대해 적절하게 인장력을 줄 수 있다면, 프레임 (31,31')은 임의의 형상으로 할 수 있다.(B) In the first and second embodiments described above, the frames 31 and 31 ′ were circular, but if a tensile force can be appropriately applied to the mounting members 33 and 33 ′, the frames 31 and 31 31') can be in any shape.

(C) 상기의 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에 있어서, 지지부(5)의 제 2 기어(53)는 지지부(5)의 전체 둘레(全周)에 걸쳐서 설치됐으나, 이에 한정되지 않고, 지지부(5)의 외주의 일부에만 제 2 기어(53)를 설치해도 좋다. 예를 들면, 지지부(5)의 1/4바퀴(중심각:90도) 분량만큼 제 2 기어(53)을 설치해도 좋다.(C) In the first and second embodiments described above, the second gear 53 of the support portion 5 is provided over the entire circumference of the support portion 5, but is not limited thereto, The second gear 53 may be provided only on a part of the outer periphery of the support 5. For example, the second gear 53 may be provided as much as 1/4 turn (center angle: 90 degrees) of the support part 5.

본 발명은 3점 굽힘 브레이크로 기판을 브레이크 하는 장치에 널리 적용할 수 있다.The present invention can be widely applied to an apparatus for breaking a substrate with a three-point bending brake.

100 브레이크 장치
1 브레이크부
11 지지부재
11a 지지 부분
13 가압부재
3, 3' 테이블
31, 31' 프레임
31a, 31a' 플랜지부
31b, 31b' 고정 부분
31c' 볼록부재
O3 개구
33, 33' 재치부재
35,35' 고정부재
5 지지부
51 오목부
53 제 2 기어
O1 제 1 수납 개구
7 이동대
71 가이드 레일
73 회전 구동부
73a 제 1 기어
73b 구동부
O2 제 2 수납 개구
9 레일
S 기판
S1 제 1 기판
SL1 제 1 스크라이브 라인
S2 제 2 기판
SL2 제 2 스크라이브 라인
100 brake device
1 brake part
11 Support member
11a support part
13 Pressurizing member
3, 3'table
31, 31' frame
31a, 31a' flange part
31b, 31b' fixed part
31c' convex member
O3 opening
33, 33' absence of wit
35,35' fixing member
5 support
51 Recess
53 second gear
O1 first storage opening
7 shifter
71 guide rail
73 rotary drive
73a first gear
73b drive
O2 second storage opening
9 rail
S substrate
S1 first substrate
SL1 1st scribe line
S2 second substrate
SL2 2nd scribe line

Claims (5)

3점 굽힘 브레이크로 브레이크하는 기판을 재치하는 테이블로,
개구를 갖는 프레임과,
가요성을 가지며, 상기 개구를 덮어서 상기 기판을 재치하는 재치대를 형성하는 재치부재와,
상기 재치부재를 소정의 인장력으로 당긴 상태로 상기 재치부재의 단부를 상기 프레임에 고정하는 고정부재를 구비하는 테이블.
It is a table to place the board to be braked with a 3-point bending brake.
A frame having an opening,
A mounting member having flexibility and covering the opening to form a mounting table for mounting the substrate;
A table having a fixing member for fixing an end of the placing member to the frame while the placing member is pulled with a predetermined tensile force.
제1항에 있어서,
상기 프레임은 원형인 테이블.
The method of claim 1,
The frame is a circular table.
3점 굽힘 브레이크로 기판을 브레이크하는 브레이크부와,
상기 브레이크부에 의해 브레이크하는 상기 기판을 재치하는 테이블을 구비하고,
상기 테이블은,
개구를 갖는 프레임과,
가요성을 가지며, 상기 개구를 덮어서 상기 기판을 재치하는 재치대를 형성하는 재치부재와,
상기 재치부재를 소정의 인장력으로 당긴 상태로 상기 재치부재의 단부를 상기 프레임에 고정하는 고정부재를 갖는 브레이크 장치.
A brake that brakes the substrate with a three-point bending brake,
And a table for placing the substrate to be braked by the brake unit,
The table above,
A frame having an opening,
A mounting member having flexibility and covering the opening to form a mounting table for mounting the substrate;
A brake device having a fixing member for fixing an end of the mounting member to the frame while the mounting member is pulled with a predetermined tensile force.
제3항에 있어서,
상기 테이블을 탈부착 가능하게 지지하는 지지부를 더 구비하는 브레이크 장치.
The method of claim 3,
A brake device further comprising a support portion for detachably supporting the table.
제4항에 있어서,
상기 지지부는 상기 테이블의 설치 각도를 조정 가능한 브레이크 장치.
The method of claim 4,
The support part is a brake device capable of adjusting the installation angle of the table.
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JP2015140289A (en) 2014-01-29 2015-08-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 Break apparatus

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