KR20210034257A - Apparatus for inspecting objects using terahertz wave with swinging mirror - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an apparatus for inspecting a terahertz beam using a swinging mirror, which is able to conduct a non-destructive imaging test using a high-output terahertz wave. In addition, according to the present invention, the apparatus for inspecting the terahertz beam using the swinging mirror comprises: an oscillation unit which generates a terahertz beam; a first light collection unit which makes the terahertz beam generated from the oscillation unit pass through and gather at a point; the swinging mirror which makes a swinging motion within a certain angle range for reflecting the terahertz beam passing through the first light collection unit within a certain angle range; a second light collection unit which makes the terahertz beam reflected by the swinging mirror gather at a point; and a reception unit which receives the terahertz beam passing through the second light collection unit, and detects a spectrum of the terahertz beam.

Description

요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING OBJECTS USING TERAHERTZ WAVE WITH SWINGING MIRROR}A terahertz beam inspection device using a swinging mirror {APPARATUS FOR INSPECTING OBJECTS USING TERAHERTZ WAVE WITH SWINGING MIRROR}

본 발명은 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 고출력 테라헤르츠파를 이용한 비파괴 영상 검사를 할 수 있는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a terahertz beam inspection apparatus using an oscillation mirror, and more particularly, to a terahertz beam inspection apparatus using an oscillation mirror capable of performing a non-destructive image inspection using a high-power terahertz wave.

자동차, 항공기 및 유압, 공압기기에 사용되는 고무튜브, 수지계열의 부품 내부의 결함을 검출하기 위해 소재에 손상을 가하지 않는 비파괴 검사를 이용하여 안정성을 확보하고자 하는 노력이 행해지고 있다.Efforts are being made to secure stability by using non-destructive testing that does not damage materials in order to detect defects inside rubber tubes and resin-based parts used in automobiles, aircraft, hydraulics, and pneumatic devices.

하지만 기존의 비파괴 검사법은 대부분 검사자의 숙련된 지식과 기술이 요구될 뿐 만 아니라 표면검출이 불가하거나, 방사선 안전 관리가 요구되고, 부품 표면 근처 결함만 탐지가능하며 도체 및 비자성체만 검사할 수 있는 문제점이 있어 일부 샘플링 검사만 이루어지고 제조공정상에서 부품의 전수검사가 사실상 불가능한 문제가 있다.However, most of the existing non-destructive testing methods require not only the expert knowledge and skills of the inspector, but also the surface detection is impossible or radiation safety management is required. There is a problem that only some sampling inspections are performed, and a total inspection of parts in the manufacturing process is virtually impossible.

따라서 이를 보완하기 위해 성분, 재질, 크기 등이 다른 다양한 종류의 피검물에 대하여 기존 X-ray, 금속검출기 등의 비파괴 검출기에서 측정이 어려운 수지계열의 검사에도 적용 가능한 테라헤르츠파(T-ray)를 이용한 이물질 검출 기술이 개발되었다.Therefore, to compensate for this, a terahertz wave (T-ray) that can be applied to resin-based inspections that are difficult to measure with non-destructive detectors such as conventional X-rays and metal detectors for various types of specimens with different components, materials, and sizes. A foreign substance detection technology using the was developed.

기존의 테라헤르츠파 검출기는 넓은 범위의 스캔을 하기 위해 테라소스에서 테라헤르츠파를 발신하여 렌즈의 굴절률에 따라 빔을 확산 또는 집산시켜서 디텍터에 포커싱을 맞추는 구조로 출력이 약하여 투과능이 떨어지는 단점이 있고, 이는 개발 기술이 적용되는 차량, 항공기용 고무, 플라스틱 등의 두꺼운 소재의 피검물을 검사하기 어렵다는 문제점이 있었다.Conventional terahertz wave detectors have a disadvantage in that their transmittance is low due to weak output as a structure that focuses on the detector by transmitting terahertz waves from terasource to perform a wide range of scans and diffusing or concentrating the beam according to the refractive index of the lens. However, this has a problem in that it is difficult to inspect a specimen of thick materials such as rubber and plastic for vehicles to which the developed technology is applied.

따라서 본 발명은 위와 같은 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 전파빔의 출력을 높여 투과력을 향상시킬 수 있는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a terahertz beam inspection apparatus using an oscillating mirror capable of improving transmittance by increasing an output of a radio wave beam as conceived to solve the above problems.

본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치는 테라헤르츠 빔을 발생시키는 발진부, 상기 발진부로부터 발생되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제1 집광부, 상기 제1 집광부를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 소정의 각도 범위 내로 반사하도록 상기 소정의 각도 범위 내로 요동 운동하는 요동 밀러, 상기 요동 밀러에 의해 반사되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제2 집광부 및 상기 제2 집광부를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 수신하여 상기 테라헤르츠 빔의 스펙트럼을 검출하는 수신부를 포함하는 것을 특징으로 한다.A terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror according to an embodiment of the present invention includes an oscillating unit generating a terahertz beam, a first condensing unit allowing the terahertz beam generated from the oscillating unit to pass through and converging to one point, and the first 1 A shaking mirror that oscillates within the predetermined angular range so that the terahertz beam that has passed through the condenser is reflected within a predetermined angular range, and an agent that collects the terahertz beam reflected by the shaking mirror to a point while passing through it. And a receiving unit configured to receive the terahertz beam passing through the 2 condensing unit and the second condensing unit to detect a spectrum of the terahertz beam.

상기 제2 집광부와 상기 수신부의 사이에 물체를 이송시키는 이송부를 포함할 수 있다.It may include a transfer unit for transferring an object between the second condensing unit and the receiving unit.

상기 요동 밀러와 연결되고, 상기 요동 밀러를 1초당 1000번 이상 요동시키는 구동부를 포함할 수 있다.It is connected to the swing mirror, it may include a driving unit that swings the swing mirror 1000 times per second or more.

상기 구동부는 상기 요동 밀러를 20°~ 30°각도 범위 사이로 요동시킬 수 있다.The driving unit may swing the swinging mirror within a range of 20° to 30°.

상기 요동 밀러는 상기 수신부 측으로 경사지게 형성될 수 있다.The swing mirror may be formed to be inclined toward the receiving unit.

상기 제2 집광부는 소정의 곡률을 형성할 수 있다.The second light collecting part may form a predetermined curvature.

상기 요동 밀러 및 상기 제2 집광부를 내부에 설치하는 하우징을 포함하고, 상기 제2 집광부는 상기 하우징에 상측 및 하측으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치될 수 있다.The oscillating mirror and the second condensing unit may include a housing installed therein, and the second condensing unit may be installed in the housing so as to be slidable upward and downward.

상기 수신부는 상부에 설치된 복수 개의 수신소자 및 상부에 라운드되게 형성된 곡면부를 포함할 수 있다.The receiving unit may include a plurality of receiving elements installed on an upper portion and a curved portion formed to be rounded on the upper portion.

본 발명에 따르면, 테라헤르츠 빔의 출력을 높여 투과력을 극대화하는 효과가 있다.According to the present invention, there is an effect of maximizing transmittance by increasing the output of a terahertz beam.

또한, 테라헤르츠 빔의 투과력을 극대화하여 차량, 항공기 등의 부피가 크며 재질이 두꺼운 피검물의 이물질 검출을 가능하게 하는 효과가 있다.In addition, by maximizing the transmittance of the terahertz beam, there is an effect of enabling the detection of foreign matter on a specimen having a large volume and a thick material, such as a vehicle or an aircraft.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치에서 요동 밀러의 동작에 따라 반사되는 테라헤르츠 빔을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사장치를 설치한 비파괴검사기를 개략적으로 도시한 사용상태도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치를 정면에서 개략적으로 도시한 정면도이다.1 is a perspective view schematically showing a terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram schematically showing a terahertz beam reflected according to an operation of the oscillation mirror in the terahertz beam inspection apparatus using the oscillation mirror according to an embodiment of the present invention.
3 is a state diagram schematically showing a non-destructive tester equipped with a terahertz beam test apparatus using a shaking mirror according to an embodiment of the present invention.
4 is a front view schematically showing a terahertz beam inspection apparatus using a swinging mirror according to another embodiment of the present invention from the front.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과하고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The terms or words used in the specification and claims should not be construed as being limited to their usual or dictionary meanings, and the inventor may appropriately define the concept of terms in order to describe his own invention in the best way. It should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that there is. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. It should be understood that there may be equivalents.

도면에서 각 구성요소 또는 그 구성요소를 이루는 특정 부분의 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 따라서, 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그러한 설명은 생략하도록 한다.In the drawings, the size of each component or a specific part constituting the component is exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of description. Therefore, the size of each component does not fully reflect the actual size. If it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, such a description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치는 테라헤르츠 빔을 발생시키는 발진부(100), 상기 발진부(100)로부터 발생되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제1 집광부(200), 상기 제1 집광부(200)를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 소정의 각도 범위 내로 반사하도록 상기 소정의 각도 범위 내로 요동 운동하는 요동 밀러(300), 상기 요동 밀러(300)에 의해 반사되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제2 집광부(400) 및 상기 제2 집광부(400)를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 수신하여 상기 테라헤르츠 빔의 스펙트럼(spectrum)을 검출하는 수신부(500)를 포함한다.As shown in FIG. 1, the terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror according to an embodiment of the present invention includes an oscillation unit 100 generating a terahertz beam, and the terahertz beam generated from the oscillation unit 100 A first light condensing unit 200 that gathers at one point while passing through, and a swinging mirror that swings within the predetermined angular range so that the terahertz beam that has passed through the first condensing unit 200 is reflected within a predetermined angular range ( 300), the terahertz beam reflected by the oscillation mirror 300 passes through and receives the terahertz beam that has passed through the second condensing unit 400 and the second condensing unit 400 to converge at one point Thus, it includes a receiving unit 500 for detecting a spectrum of the terahertz beam.

제1 집광부(200)는 발진부(100)로부터 발생되어 확산해 가는 테라헤르츠 빔(B)을 요동 밀러(300)의 소정의 지점을 향해 집광시킬 수 있다.The first condensing unit 200 may condense the terahertz beam B generated from the oscillation unit 100 and diffused toward a predetermined point of the oscillation mirror 300.

제1 집광부(200)는 콜리메이트 렌즈(collimate lens) 등과 같은 테라헤르츠 빔(B)을 집광할 수 있는 렌즈일 수 있다.The first condensing unit 200 may be a lens capable of condensing the terahertz beam B, such as a collimate lens.

요동 밀러(300)는 테라헤르츠 빔(L)을 반사시킬 수 있는 소재로 형성되고, 제1 집광부(200)를 통과한 테라헤르츠 빔(L)을 반사시켜 수신부(500)의 소정의 지점으로 수신되게 할 수 있다. The oscillation mirror 300 is formed of a material capable of reflecting the terahertz beam L, and reflects the terahertz beam L passing through the first condensing unit 200 to a predetermined point of the receiving unit 500. Can be received.

테라헤르츠 빔(L)을 수신부(500) 측을 향해 반사시키기 위해 요동 밀러(300)를 수신부(500) 측으로 소정 각도 경사지게 형성 할 수 있다.In order to reflect the terahertz beam L toward the receiving unit 500, the swinging mirror 300 may be formed to be inclined at a predetermined angle toward the receiving unit 500.

요동 밀러(300)의 일측에 구동부(310)가 연결되고, 구동부(310)의 동력에 의해 요동 밀러(300)는 20°~ 30°각도 범위 사이로 요동할 수 있다.The driving unit 310 is connected to one side of the swinging mirror 300, and the swinging mirror 300 may swing within a range of 20° to 30° by the power of the driving unit 310.

그리고 구동부(310)는 요동 밀러(300)를 1초당 1000번 이상 요동시킬 수 있다.In addition, the driving unit 310 may swing the swing mirror 300 1000 times per second or more.

요동 밀러(300)가 구동부(310)에 의해 20°~ 30°각도 사이 범위로 1초당 1000번 이상 요동함에 따라 테라헤르츠 빔(B)을 수신부(500)의 전체 영역에 수신되도록 할 수 있다.As the oscillation mirror 300 oscillates at least 1000 times per second in a range between 20° and 30° by the driving unit 310, the terahertz beam B may be received in the entire area of the receiving unit 500.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치에서 요동 밀러의 동작에 따라 반사되는 테라헤르츠 빔을 개략적으로 도시한 구성도이다.2 is a block diagram schematically showing a terahertz beam reflected according to an operation of the oscillation mirror in the terahertz beam inspection apparatus using the oscillation mirror according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치의 요동 밀러(300)는 수신부(500) 측으로 소정 각도 경사진 상태에서 20°~ 30°각도 범위 사이로 1초당 1000번 이상 요동함에 따라 L1에서 L2 범위 내에 테라헤르츠 빔을 반사시킬 수 있다.As shown in Figure 2, the shaking mirror 300 of the terahertz beam inspection apparatus using the shaking mirror according to an embodiment of the present invention is in a state in which a predetermined angle is inclined toward the receiving unit 500 in a range of 20° to 30° As it oscillates more than 1000 times per second through the gap, it can reflect the terahertz beam within the range of L1 to L2.

제2 집광부(400)는 요동 밀러(300)와 수신부(500)의 사이에 위치하고, 요동 밀러(300)에 의해 반사되는 테라헤르츠 빔을 수신부(500)의 한 지점으로 집광시킬 수 있다.The second condensing unit 400 may be positioned between the shaking mirror 300 and the receiving unit 500 and may condense a terahertz beam reflected by the shaking mirror 300 to one point of the receiving unit 500.

제2 집광부(400)는 F-θ 렌즈 등과 같은 테라헤르츠 빔을 집광시키고 곡률을 형성할 수 있는 렌즈일 수 있다.The second condensing unit 400 may be a lens capable of condensing a terahertz beam such as an F-θ lens and forming a curvature.

제2 집광부(400)는 도 2에서 제2 집광부(400)의 평평한 L3위치를 통과하는 테라헤르츠 빔은 R3와 같이 수신부(500)에 수직 방향으로 수신될 수 있다. 그리고 제2 집광부(400)에 소정의 곡률을 형성하는 L1 위치를 통과하는 테라헤르츠 빔은 R1과 같이 수신부(500)에 소정의 각도 방향으로 수신되게 할 수 있다. 그리고 제2 집광부(400)에 소정의 곡률을 형성하는 L2 위치를 통과하는 테라헤르츠 빔은 R2와 같이 수신부(500)에 소정의 각도 방향으로 수신되게 할 수 있다.In FIG. 2, the second condensing unit 400 may receive a terahertz beam passing through the flat L3 position of the second condensing unit 400 in a vertical direction to the receiving unit 500 like R3. In addition, the terahertz beam passing through the position L1 forming a predetermined curvature in the second condensing unit 400 may be received by the receiving unit 500 in a predetermined angular direction like R1. In addition, the terahertz beam passing through the position L2 forming a predetermined curvature in the second condensing unit 400 may be received by the receiving unit 500 in a predetermined angular direction like R2.

즉 제2 집광부(400)는 소정의 곡률을 형성하여 제2 집광부(400)를 통과하는 테라헤르츠 빔이 수신부(500)에 수신되는 각도 방향을 조정할 수 있다.That is, the second condensing unit 400 may form a predetermined curvature to adjust the angular direction in which the terahertz beam passing through the second condensing unit 400 is received by the receiving unit 500.

수신부(500)는 제2 집광부(400)를 통과한 테라헤르츠 빔을 수신하기 위해 제2 집광부(400)를 바라보는 상부에 복수 개의 수신소자(510)를 설치할 수 있다.The receiving unit 500 may install a plurality of receiving elements 510 above the second condensing unit 400 to receive the terahertz beam that has passed through the second condensing unit 400.

수신부(500)는 제2 집광부(400)의 크기보다 같거나 크게 형성될 수 있다.The receiving unit 500 may be formed equal to or larger than the size of the second condensing unit 400.

그리고 복수 개의 수신소자(510)는 제2 집광부(400)의 면적의 넓이보다 같거나 넓은 수신부(500)의 영역에 배열되게 설치될 수 있다.In addition, the plurality of receiving elements 510 may be installed to be arranged in an area of the receiving unit 500 that is equal to or wider than the area of the second condensing unit 400.

제2 집광부(400)와 수신부(500)의 사이에 이송부(600)(도 3 참고)를 설치할 수 있다.A transfer unit 600 (refer to FIG. 3) may be installed between the second condensing unit 400 and the receiving unit 500.

이송부(600)는 검사하기 위한 피검물인 물체(M)를 이송하기 위한 것으로 이송 컨베이어 및 지그 중 어느 하나 이상일 수 있다. The transfer unit 600 is for transferring the object M, which is a specimen for inspection, and may be at least one of a transfer conveyor and a jig.

제2 집광부(400)를 통과하여 수신부(500)로 수신되는 테라헤르츠 빔은 이송부(600)에 의해 이송되는 물체(M)를 관통하여 수신부(500)에 수신되고, 수신부(500)는 물체(M)를 관통한 테라헤르츠 빔의 스팩트럼을 제어부(미도시)로 전송하여 물체(M)에 이물질이 포함되었는지 여부를 판단할 수 있다.The terahertz beam passed through the second condenser 400 and received by the receiving unit 500 is received by the receiving unit 500 through the object M transferred by the transfer unit 600, and the receiving unit 500 is an object By transmitting the spectrum of the terahertz beam passing through (M) to a control unit (not shown), it is possible to determine whether or not a foreign substance is contained in the object (M).

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사장치를 설치한 비파괴검사기를 개략적으로 도시한 사용상태도이다.3 is a state diagram schematically showing a non-destructive tester equipped with a terahertz beam test apparatus using a shaking mirror according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치가 설치된 비파괴검사기는 투입부(10), 이물검출부(20), 양품 배출부(30) 및 불량품 배출부(40)를 포함할 수 있다.As shown in Figure 3, the non-destructive tester in which a terahertz beam inspection device using a swinging mirror according to an embodiment of the present invention is installed is an input unit 10, a foreign matter detection unit 20, a good product discharge unit 30, and a defective product. It may include a discharge unit 40.

투입부(10)는 이물질의 검사를 위한 물체를 이송부(600)에 투입하는 부분일 수 있다.The input unit 10 may be a part for inputting an object for inspection of foreign substances into the transfer unit 600.

이물검출부(20)는 물체에서 이물질의 여부를 검사하기 위해 본 발명의 테라헤르츠 빔 검사 장치를 내부에 설치한 부분일 수 있다.The foreign material detection unit 20 may be a part in which the terahertz beam inspection apparatus of the present invention is installed in order to check whether there is a foreign material in the object.

양품 배출부(30)는 이물검출부(20)에서 검사한 물체에 이물질이 없는 경우 양품의 물체를 배출하는 부분일 수 있다.The good product discharging unit 30 may be a part for discharging a good object when there is no foreign substance in the object inspected by the foreign substance detecting unit 20.

불량품 배출부(40)는 이물검출부(20)에서 검사한 물체에 이물질이 있을 경우 불량품의 물체를 보관하는 장소로 불량품의 물체를 배출하는 부분일 수 있다.The defective article discharging unit 40 may be a portion for discharging the defective article as a place to store the defective article when there is a foreign material in the object inspected by the foreign material detecting unit 20.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치는 요동 밀러를 1초에 1,000번 이상 요동하여 물체(M)를 1,000Hz 이상의 테라헤르츠 빔으로 검출하기 때문에 이송하는 물체(M)의 속도가 빨라도 검출되어 제어부에서 출력되는 화면에서 물체 영상이 왜곡되지 않고 정상적으로 나타나게 할 수 있다.As described above, since the terahertz beam inspection apparatus using the oscillating mirror according to an embodiment of the present invention detects the object M as a terahertz beam of 1,000 Hz or more by oscillating the oscillating mirror 1,000 times or more per second, transfer Even if the speed of the object M is high, the object image may be detected and displayed normally without distortion on the screen output from the control unit.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치를 정면에서 개략적으로 도시한 정면도이다.4 is a front view schematically showing a terahertz beam inspection apparatus using a swinging mirror according to another embodiment of the present invention from the front.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 테라헤르츠 빔 검사 장치는 요동 밀러(300) 및 제2 집광부(400)를 내부에 설치하는 하우징(700)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 3, the terahertz beam inspection apparatus according to another embodiment of the present invention may include a housing 700 that installs a swing mirror 300 and a second condenser 400 therein.

하우징(700)은 하부에 제2 집광부(400)를 상측 및 하측으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치하는 슬라이딩 가이드부(710)를 형성할 수 있다.The housing 700 may form a sliding guide part 710 installed at a lower portion of the second condensing part 400 to be slidable upward and downward.

슬라이딩 가이드부(710)의 상부는 하우징(700)의 내부와 연통되게 형성되어 요동 밀러(300)로부터 제2 집광부(400)로 테라헤르츠 빔의 이동로를 형성할 수 있다.The upper part of the sliding guide part 710 is formed to be in communication with the inside of the housing 700 to form a moving path of the terahertz beam from the swinging mirror 300 to the second condensing part 400.

그리고 슬라이딩 가이드부(710)의 하부는 외부와 연통되게 형성되어 제2 집광부(400)로부터 수신부(500)로 테라헤르츠 빔이 연결되도록 이동로를 형성할 수 있다.In addition, a lower portion of the sliding guide unit 710 may be formed to communicate with the outside to form a moving path so that a terahertz beam is connected from the second condensing unit 400 to the receiving unit 500.

제2 집광부(400)는 일측에 슬라이딩 가이드부(710)를 관통하여 외부까지 연장된 슬라이딩 핸들부(410)를 포함하여, 외부에서 작업자가 제2 집광부(400)를 상측 및 하측으로 슬라이딩 이동 가능하게 할 수 있다.The second condensing unit 400 includes a sliding handle unit 410 extending to the outside by penetrating the sliding guide unit 710 on one side, and an operator slides the second condensing unit 400 upward and downward from the outside. You can make it moveable.

수신부(500)는 상부에 라운드(round) 형성된 곡면부(520)를 형성하고, 수신소자(510)가 수신부(500)의 곡면부(520)를 따라 설치되게 하여 수신부(500)의 상부 넓이 면적 크기를 줄일 수 있다.The receiving unit 500 forms a curved portion 520 having a round shape thereon, and the receiving element 510 is installed along the curved portion 520 of the receiving unit 500 so that the upper area of the receiving unit 500 You can reduce the size.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 테라헤르츠 빔의 출력을 높여 투과력을 극대화하는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, there is an effect of maximizing transmittance by increasing the output of a terahertz beam.

또한, 테라헤르츠 빔의 투과력을 극대화하여 차량, 항공기 등의 부피가 크며 재질이 두꺼운 피검물의 이물질 검출을 가능하게 하는 효과가 있다.In addition, by maximizing the transmittance of the terahertz beam, there is an effect of enabling the detection of foreign matter on a specimen having a large volume and a thick material, such as a vehicle or an aircraft.

이상과 같이 본 발명에 따른 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치를 예시된 도면을 참고하여 설명하였으나, 본 발명은 이상에서 설명된 실시예와 도면에 의해 한정되지 않으며, 특허청구범위 내에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들에 의해 다양한 실시가 가능하다.As described above, a terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror according to the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings described above, and the present invention is within the scope of the claims. Various implementations are possible by those of ordinary skill in the art to which this belongs.

10: 투입부
20: 이물검출부
30: 양품 배출부
40: 불량품 배출부
100: 발진부
200: 제1 집광부
300: 요동 밀러
310: 구동부
400: 제2 집광부
410: 슬라이딩 핸들부
500: 수신부
510: 수신소자
600: 이송부
700: 하우징
710: 슬라이딩 가이드부10: input section
20: foreign matter detection unit
30: good product discharge unit
40: defective product discharge unit
100: oscillation part
200: first condensing unit
300: rocking miller
310: drive unit
400: second condensing unit
410: sliding handle part
500: receiver
510: receiving element
600: transfer unit
700: housing
710: sliding guide part

Claims (8)

테라헤르츠 빔을 발생시키는 발진부(100);
상기 발진부(100)로부터 발생되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제1 집광부(200);
상기 제1 집광부(200)를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 소정의 각도 범위 내로 반사하도록 상기 소정의 각도 범위 내로 요동 운동하는 요동 밀러(300);
상기 요동 밀러(300)에 의해 반사되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제2 집광부(400); 및
상기 제2 집광부(400)를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 수신하여 상기 테라헤르츠 빔의 스펙트럼(spectrum)을 검출하는 수신부(500); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.An oscillation unit 100 generating a terahertz beam;
A first condensing unit 200 for collecting the terahertz beam generated from the oscillation unit 100 at one point while passing through;
A swing mirror 300 for swinging motion within the predetermined angular range so as to reflect the terahertz beam passing through the first condensing part 200 within a predetermined angular range;
A second condensing unit 400 for collecting the terahertz beam reflected by the oscillation mirror 300 to one point while passing through; And
A receiving unit 500 configured to receive the terahertz beam that has passed through the second condensing unit 400 and detect a spectrum of the terahertz beam; Terahertz beam inspection apparatus using a swinging mirror comprising a. 청구항 1에 있어서,
상기 제2 집광부(400)와 상기 수신부(500)의 사이에 물체를 이송시키는 이송부(600)를 포함하는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.The method according to claim 1,
A terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror, comprising: a transfer unit 600 for transferring an object between the second condensing unit 400 and the receiving unit 500. 청구항 1에 있어서,
상기 요동 밀러(300)와 연결되고, 상기 요동 밀러(300)를 1초당 1000번 이상 요동시키는 구동부(310)를 포함하는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.The method according to claim 1,
A terahertz beam inspection apparatus using a shaking mirror, characterized in that it comprises a driving unit (310) connected to the shaking mirror (300) and swinging the shaking mirror (300) at least 1,000 times per second. 청구항 3에 있어서,
상기 구동부(310)는 상기 요동 밀러(300)를 20°~ 30°각도 범위 사이로 요동시키는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.The method of claim 3,
The driving unit 310 is a terahertz beam inspection apparatus using a swinging mirror, characterized in that the swinging mirror 300 is swinging between a 20° to 30° angle range. 청구항 1에 있어서,
상기 요동 밀러(300)는 상기 수신부(500) 측으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.The method according to claim 1,
The vibration mirror 300 is a terahertz beam inspection apparatus using a swing mirror, characterized in that formed to be inclined toward the receiving unit (500). 청구항 1에 있어서,
상기 제2 집광부(400)는 소정의 곡률을 형성하는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.The method according to claim 1,
The second condensing unit 400 is a terahertz beam inspection apparatus using a swing mirror, characterized in that forming a predetermined curvature. 청구항 1에 있어서,
상기 요동 밀러(300) 및 상기 제2 집광부(400)를 내부에 설치하는 하우징(700)을 포함하고,
상기 제2 집광부(400)는 상기 하우징(700)에 상측 및 하측으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.The method according to claim 1,
Including a housing 700 to install the shaking mirror 300 and the second light collecting part 400 therein,
The second condensing part 400 is a terahertz beam inspection apparatus using a swinging mirror, characterized in that it is installed to be slidable upward and downward in the housing 700. 청구항 1에 있어서,
상기 수신부(500)는
상부에 설치된 복수 개의 수신소자(510) 및
상부에 라운드되게 형성된 곡면부(520)를 포함하는 것을 특징으로 하는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치.
The method according to claim 1,
The receiving unit 500 is
A plurality of receiving elements 510 installed on the upper part and
Terahertz beam inspection apparatus using a swinging mirror, characterized in that it comprises a curved portion 520 formed to be rounded on the top.
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