KR20210032624A - 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치 - Google Patents

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KR20210032624A KR1020190113848A KR20190113848A KR20210032624A KR 20210032624 A KR20210032624 A KR 20210032624A KR 1020190113848 A KR1020190113848 A KR 1020190113848A KR 20190113848 A KR20190113848 A KR 20190113848A KR 20210032624 A KR20210032624 A KR 20210032624A
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Abstract

본 발명은, 하나 이상의 센서 장착 웨이퍼를 내부에 수납하는 수납함과, 센서 장착 웨이퍼와 통신하기 위한 통신 회로 및 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 충전시키기 위한 충전 회로 중 적어도 하나를 내부에 구비하는 본체와, 수납함 내부에서 상하로 이동되며 센서 장착 웨이퍼의 통신 안테나 및 충전 안테나 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치되는 안테나부를 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치를 제공한다.

Description

센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치{Apparatus For Auto Information Collection Of Sensor Mounted Wafer}
본 발명은 반도체 공정 모니터링에 사용되는 센서 장착 웨이퍼의 정보를 자동적으로 수집하는 장치에 관한 것으로, 특히 효율적으로 무선 통신 및 무선 충전을 수행할 수 있는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치에 관한 것이다.
반도체 제조에는 일반적으로 광학, 증착과 성장 및 식각 공정 등 다수의 공정을 거친다.
반도체 제조 공정에는 각 공정에서 공정 조건과 장비의 작동 상태를 주의 깊게 모니터링해야 한다. 예를 들면, 챔버나 웨이퍼의 온도, 가스 주입 상태, 압력 상태 또는 플라스마 밀도나 노출 거리 등을 제어하면서 최적의 반도체 수율을 위해 정밀한 모니터링이 필수적이다.
온도, 플라즈마, 압력, 유량 및 가스 등과 관련된 공정 조건에 오차가 발생하거나 장비가 오동작 하는 경우에는 불량이 다수 발생하여 전체 수율에 치명적이다.
한편, 종래 기술에서는 반도체 제조에서 챔버 내의 공정 조건을 간접적으로 측정하였으나 반도체 수율 향상을 위해 챔버의 내부 조건이나 그 챔버에 로딩된 웨이퍼의 상태 등을 직접 측정하기 위한 연구가 개발되고 있다. 그 중 하나가 웨이퍼의 온도 센싱 기술로서 SOW(Sensor On Wafer)가 개발 되었다.
SOW(Sensor On Wafer)는 테스트용 웨이퍼 상에 온도 센서를 장착하고, 이 온도 센서를 이용하여 반도체 제조 공정에서의 온도를 챔버 내에서 직접 센싱하는 기술이다.
한편, 센서 장착 웨이퍼는 공정 모니터링이 완료된 후에 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치에 수납되는데, 이 때, 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치에 센서 장착 웨이퍼가 수납된 상태에서, 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치는 센서 장착 웨이퍼와 무선 통신을 통해 제어 정보 및 센싱 정보를 송수신하고, 센서 장착 웨이퍼에 구비된 배터리를 무선 충전시킨다. 이에 따라, 무선 통신 및 무선 충전을 효율적으로 수행할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.
본 발명은, 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치와 센서 장착 웨이퍼 간 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 전술한 목적을 달성하기 위하여, 하나 이상의 센서 장착 웨이퍼를 내부에 수납하는 수납함과, 센서 장착 웨이퍼와 통신하기 위한 통신 회로 및 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 충전시키기 위한 충전 회로 중 적어도 하나를 내부에 구비하는 본체와, 수납함 내부에서 상하로 이동되며 센서 장착 웨이퍼의 통신 안테나 및 충전 안테나 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치되는 안테나부를 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치를 제공한다.
여기서, 수납함은, 복수의 센서 장착 웨이퍼를 수납하기 위해 수납함 전면을 기준으로 좌우 내측면에 상하 방향으로 서로 대향하여 배치되는 복수의 슬롯을 구비할 수 있다.
또한, 안테나부는, 통신 회로와 연결되는 통신 안테나 및 충전 회로와 연결되는 충전 안테나 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
또한, 본체는, 수납함 내부에 배치되며, 슬롯에 삽입되도록 양측면에 날개부를 구비할 수 있다.
또한, 안테나부는, 센서 장착 웨이퍼가 슬롯에 삽입되면 상승하고, 센서 장착 웨이퍼가 슬롯에 삽입 전 하강할 수 있다.
또한, 본체는, 수납함 내부 또는 외부에 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치는, 안테나부를 상하로 이동시키는 구동부와, 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 구동부는 본체 내부에 배치되고, 제어부는 본체 내부 또는 외부에 배치될 수 있다.
또한, 제어부는, 안테나부가 상승되면 통신 회로 및 충전 회로 중 적어도 하나를 동작시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치는, 슬롯에 삽입된 센서 장착 웨이퍼를 감지하는 제1 감지부를 더 포함할 수 있다.
또한, 안테나부는, 제1 감지부에 의해 센서 장착 웨이퍼가 감지된 후 설정 시간이 지나면 상승될 수 있다.
또한, 본 발명의 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치는, 안테나부의 상승 및 하강을 감지하는 제2 감지부를 더 포함할 수 있다.
또한, 안테나부는, 제1 감지부에 의해 센서 장착 웨이퍼가 감지되면 설정 위치까지 상승할 수 있다.
본 발명에 따르면, 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 안테나부를 상하로 이동할 수 있도록 구성하여, 안테나부와 센서 장착 웨이퍼의 안테나 간 간격이 일정 거리 이하로 좁아지도록 함으로써, 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있다.
본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼 및 이의 자동 정보 수집 장치의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 정면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 후면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 본체의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 본체의 내부 구성도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 사용 상태도로서 안테나부가 상승 및 하강된 상태를 도시한 도면이다
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략할 수 있고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에서, “또는”, “적어도 하나” 등의 표현은 함께 나열된 단어들 중 하나를 나타내거나, 또는 둘 이상의 조합을 나타낼 수 있다. 예를 들어, “A 또는 B”, “A 및 B 중 적어도 하나”는 A 또는 B 중 하나만을 포함할 수 있고, A와 B를 모두 포함할 수도 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 평면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼 및 이의 자동 정보 수집 장치의 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼(1)는 센서(10), 통신 회로(25), 제어부(30), 배터리(50), 충전 회로(45) 및 메모리(60)를 구비할 수 있다.
이와 같은 센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)에 복수 개가 구비되며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 정해진 센싱 위치에 내장되어 해당 위치에서 공정 모니터링을 위한 센싱을 수행한다. 또한, 센서(10)는 온도 센서 및 압력 센서 등을 포함할 수 있으며 다양한 공정 환경을 센싱할 수 있다.
예를 들어, 센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 로딩된 챔버 내부 상태(온도, 압력 및 기체 등)나 챔버에 로딩된 센서 장착 웨이퍼(1)의 자체 상태(온도 등)를 센싱할 수 있다.
통신 회로(25)는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)와의 무선 통신을 위한 구성으로 센서(10)에 의해 센싱된 센싱 정보를 무선으로 송신하고, 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 무선으로 수신한다.
여기서, 제어 정보는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제어 정보는 센서 장착 웨이퍼(1)가 어느 공정에 사용되는지를 정의하고, 그 정의된 공정에서의 센싱 온도, 센싱 시간 및 센싱 방식 등에 대한 설정 값을 포함할 수 있다.
제어부(30)는 제어 정보를 이용하여 센서(10)의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 제어부(30)는 제어 정보에 포함된 설정 값에 기반하여 센서(10)가 동작하도록 제어할 수 있다.
통신 회로(25)는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)와 무선 통신을 수행하기 위해 통신 안테나(20)에 연결된다. 여기서, 통신 안테나(20)는 나선 루프의 코일로 이루어지며 센서 장착 웨이퍼(1)의 중앙에 고리 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
배터리(50)는, 센서(10), 통신 회로(25), 충전 회로(45) 및 제어부(30)를 포함하여 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 구성 요소들의 구동을 위한 전원을 공급한다.
충전 회로(45)는 배터리(50)에 대한 무선 충전을 수행하며, 무선 충전을 위해 충전 안테나(40)와 연결된다. 여기서, 충전 안테나(40)는 나선 루프의 코일로 이루어지며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 중앙에 원형으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같이, 고리 형상의 통신 안테나(20) 안에 원형의 충전 안테나(40)가 구비될 수 있다.
메모리(60)는 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 저장하고, 센서(10)에 의해 센싱된 센싱 정보를 저장할 수 있다. 또한, 메모리(60)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용된 공정을 기록한 로그 데이터를 저장할 수 있다.
로그 데이터는 센서 장착 웨이퍼(1)가 어떤 공정에서 어떤 조건으로 사용되었는지에 대한 정보를 포함할 수 있다
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 정면 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 후면 사시도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 본체의 사시도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 본체의 내부 구성도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)는, 본체(110), 수납함(120), 안테나부(130) 및 도어(140)를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)는 센서 장착 웨이퍼(1)를 수납함(120) 내부에 수납하는 동안 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 자동으로 충전시키고, 센서 장착 웨이퍼(1)의 공정 모니터링을 위한 제어 정보를 자동으로 설정하고, 센서 장착 웨이퍼(1)에 장착된 센서(10)가 센싱한 센싱 정보를 자동으로 입력 받을 수 있다.
수납함(120)은 하나 이상의 센서 장착 웨이퍼(1)를 내부에 수납하며 센서 장착 웨이퍼(1)의 입출입을 위해 전면이 개방될 수 있다.
또한, 수납함(120)은 복수의 센서 장착 웨이퍼(1)를 수납하기 위해 수납함(120) 전면을 기준으로 좌우 내측면에 상하 방향으로 서로 대향하여 배치되는 복수의 슬롯(121)을 구비한다.
본체(110)는, 함체 형태로 형성될 수 있으며, 수납함(120) 내부 또는 외부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 본체(110)가 수납함(120) 내부에 배치되는 경우, 본체(110)는 양측면에 날개부(110a)를 구비하고, 이 날개부(110a)가 수납함(120) 내측면에 구비된 슬롯(121)에 삽입될 수 있다.
또한, 본체(110)는 센서 장착 웨이퍼(1)와 통신하기 위한 통신 회로(112) 및 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 충전시키기 위한 충전 회로(111) 중 적어도 하나를 내부에 구비할 수 있다.
여기서, 통신 회로(112)는, 센서 장착 웨이퍼(1)에 장착된 센서(1)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 송신하고, 센서(1)가 센싱한 센싱 정보를 수신하는 역할을 수행한다. 이러한 통신 회로(112)는 블루투스(Bluetooth; BLE) 또는 NFC(Near Field Communication)를 채용할 수 있다.
또한, 충전 회로(111)는 자기 유도 방식(Inductive Charging)을 채용 할 수 있다. 여기서, 자기 유도 방식이란 전력 송신측 1차 코일(센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)의 안테나부(130)에 구비된 충전 안테나)에서 자기장을 발생시키면 이 자기장이 수신측 2차 코일(센서 장착 웨이퍼(1)의 충전 안테나(40))에 유도됨으로써 전류가 공급되는 전자기 유도 원리를 이용한 기술이다.
안테나부(130)는, 수납함(120) 내부에서 상하로 이동될 수 있으며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 통신 안테나(20) 및 충전 안테나(40) 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 또한, 안테나부(130)는 수납함(120)내부에 복수개로 구비될 수 있다.
이와 같은 안테나부(130)는 통신 회로(112)와 연결되는 통신 안테나 및 충전 회로(111)와 연결되는 충전 안테나 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
여기서, 통신 안테나 및 충전 안테나는 나선 루프의 코일로 이루어지며, 이들과 각각 대응되는 센서 장착 웨이퍼(1)의 통신 안테나(20) 및 충전 안테나(40)의 위치 및 형상으로 구비될 수 있다. 예를 들어, 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비된 안테나(20, 40)가 센서 장착 웨이퍼(1) 중앙에 원형 및 고리형으로 형성되는 경우 안테나부(130)에 구비된 통신 안테나 및 충전 안테나도 원형 및 고리형으로 형성될 수 있다.
본체(110)가 수납함 내부에 배치되는 경우, 본체(110)는 상부 중앙에 안테나부(130)가 상하로 이동할 수 있도록 유동홀을 구비하고, 이 유동홀에 안테나부(130)가 배치될 수 있다. 이에 따라 안테나부(130)가 상승하면 유동홀 상부로 안테나부(130)가 돌출되고, 안테나부(130)가 하강하면 원래 위치로 복귀할 수 있다.
예를 들어, 안테나부(130)는, 본체(110)의 상부면에서 일정 지점(예컨대, 9.5mm)까지 위로 이동되고, 이동된 일정 지점에서 다시 아래로 이동되어 원래 위치로 복귀할 수 있다.
도어(140)는 수납함(120) 전면을 개폐할 수 있다. 즉, 도어(140)는 수납함(120) 전면을 개방하여 슬롯(121)에 센서 장착 웨이퍼(1)가 삽입하고, 이 후 수납함(120) 전면을 폐쇄할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)는, 안테나부(130)를 상하로 이동시키는 구동부(150)와, 구동부(150)를 제어하는 제어부(113)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 구동부(150)는 본체(110) 내부에 배치되고, 제어부(113)는 본체(110) 내부 또는 외부에 배치될 수 있다.
예를 들어, 도 6을 참조하면, 본체(110)는 수납함(120) 내부에 배치되어, 구동부(150)와 제어부(113)를 내부에 구비할 수 있다. 이와 달리, 본체(110)가 수납함(120) 외부에 배치되는 경우, 제어부(113)는 본체(110) 내부에 배치되고, 구동부(150)는 수납함(120) 내부에 배치될 수 있다. 즉, 수납함(120) 내부에 배치된 구동부(150)는 수납함(120) 외부에 배치된 제어부(113)의 제어에 따라 안테나부(130)를 상하로 이동시키게 된다.
여기서, 안테나부(130)가 수납함(120) 내부에 복수 개로 구비되는 경우 이들 안테나부(130)를 상하로 각각 이동시키는 구동부(150)도 복수 개로 구비될 수 있다.
구동부(150)는, 안테나부(130)가 안착되는 안착부(151)와, 안착부(151) 양단에 각각 연결되는 부시(152)와, 부시(152) 내부에 삽입되는 샤프트(153)와, 안착부(151) 하부에 결합되는 모터(154), 모터(154)의 회전축에 결합되는 피니언 기어(155), 피니어 기어(155)와 맞물리는 랙 기어(156)를 포함하여 구성될 수 있다.
안테나부(130)는 이와 같이 구성된 구동부(150)에 의해 상하로 이동된다. 구체적으로, 모터(154)가 회전하게 되면 피니언 기어(155)가 랙 기어(156)와 맞물리면서 상하로 이동하게 됨으로써, 안착부(151)에 안착된 안테나부(130)가 상하로 이동하게 된다.
제어부(113)는 모터(154)의 구동 여부 및 회전 방향을 제어한다. 그리고, 안테나부(130)가 상승되면 통신 회로(112) 및 충전 회로(111) 중 적어도 하나를 동작시킬 수 있을 뿐만 아니라, 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100) 구비된 모든 구성 요소들의 동작을 제어할 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치의 사용 상태도로서 안테나부가 상승 및 하강된 상태를 도시한 도면이다
도 7 (a)를 참조하면, 안테나부(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 슬롯(121)에 삽입 전에는 하강한 상태가 된다. 구체적으로, 모터(154)의 회전축이 반시계 방향으로 회전하면 피니언 기어(155)는 랙 기어(156)를 따라 하강하고 안착부(151)에 안착된 안테나부(130)도 하강하게 된다.
이와 같이 센서 장착 웨이퍼(1)를 슬롯(121)에 삽입하기 전에 안테나부(130)를 하강시키는 이유는, 센서 장착 웨이퍼(1)는 이송 로봇에 의해 수납함(120)에 수납 및 인출되는데, 이송 로봇이 센서 장착 웨이퍼(1)를 이송하여 이를 수납합(120)에 수납 시 상승된 안테나부(130)로 인한 기계적 간섭을 방지하기 위함이다.
도 7 (b)를 참조하면, 안테나부(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 슬롯(121)에 삽입되면 상승하게 된다. 구체적으로, 모터(154)의 회전축이 시계 방향으로 회전하면 피니언 기어(155)는 랙 기어(156)를 따라 상승하고 안착부(151)에 안착된 안테나부(130)도 상승하게 된다.
이에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)의 안테나부(130)와 센서 장착 웨이퍼(1)의 안테나(20, 40) 간 간격이 일정 거리 이하로 좁아져 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)의 안테나부(130)의 상하 이동은 자동으로 이루어질 수 있다.
구체적으로, 안테나부(130)의 자동 이동을 위해, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)는 슬롯(121)에 삽입된 센서 장착 웨이퍼(1)를 감지하는 제1 감지부(114a)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 제1 감지부(114a)는 거리 감지 센서(예컨대, 광센서)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 안착 여부를 감지할 수 있는 센서이면 무방하다. 한편, 전술한 통신 회로(112)가 NFC를 채용하는 경우 통신 회로(112) 자체에서 센서 장착 웨이퍼(1)를 감지할 수 있기 때문에 제1 감지부(114a)를 구비하지 않아도 무방하다.
이와 같은 제1 감지부(114a)는 센서 장착 웨이퍼(1)를 감지하기 위해 본체(110) 상부에 배치될 수 있다.
안테나부(130)는 제1 감지부(114a)에 의해 센서 장착 웨이퍼(1)가 감지되면 자동으로 상승될 수 있고, 센서 장착 웨이퍼(1)가 감지되지 않으면 자동으로 하강될 수 있다.
안테나부(130)는 제1 감지부(114a)에 의해 센서 장착 웨이퍼(1)가 감지된 후 설정 시간(예컨대, 3초)이 지나면 상승될 수 있다. 그리고, 제1 감지부(114a)에 의해 센서 장착 웨이퍼(1)가 감지되면 설정 위치(예컨대, 9.5mm)까지 상승할 수 있다. 여기서, 설정 시간 및 설정 위치는 미리 설정되어 메모리(116)에 저장될 수 있으며, 미세 조정이 가능하다.
제어부(113)는 제1 감지부(114a)로부터 센서 장착 웨이퍼(1) 감지 신호를 수신 받으면 설정 시간 후 안테나부(130)를 설정 위치로 이동시킬 수 있다.
한편, 본체(110) 내부에는 안테나부(130)의 상승 및 하강을 감지하는 제2 감지부(114b)를 구비할 수 있다. 이와 같은 제2 감지부(114b)는 구동부(150) 일측에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)는 사용자 인터페이스(UI)(140), 배터리(117), 표시부(118) 및 RTC 회로(160)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 배터리(117)로의 전원 충전을 위한 전원 라인으로 POWER USB나 ADAPTER, 센싱 정보 및 제어 정보를 저장할 수 있는 메모리(116), 외부와의 유선 통신을 위한 통신 라인으로 USB 단자나 LAN 단자 등을 더 포함할 수 있다.
사용자 인터페이스(UI)(140)는 디스플레이(Display)나 키보드와 같은 입출력 디바이스를 포함하는 것으로, 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함하는 제어 정보를 설정하기 위한 구성이다. 예를 들어, 사용자 인터페이스(110)를 통해 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정을 설정하고, 그 설정된 공정에서의 센싱 온도, 센싱 시간 및 센싱 방식 등에 대한 값을 설정할 수 있다.
배터리(117)는 충전회로(111), 통신 회로(112) 및 제어부(113)를 포함하여 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)에 구비되는 구성 요소들의 구동을 위한 전원을 공급한다. 아울러, 배터리(117)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)에 충전 전원을 공급한다.
표시부(118)는, 수납함(120) 후면에 구비될 수 있으며(도 4 참조), 제어부(113)의 제어에 따라 충전 회로(111)의 온오프 동작 상태와 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)와 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)의 배터리(117)의 충전 상태를 표시할 수 있다.
사용자는 표시부(150)에 의해 표시되는 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)의 충전 상태를 확인하여 센서 장착 웨이퍼(1)가 현재 공정 모니터링에 사용 가능한지를 판단할 수 있다.
이와 같이 센서 장착 웨이퍼(1)가 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)에 수납된 상태에서는 충전과 공정 모니터링의 조건 설정을 위한 동작이 실시된다.
반면에, 센서 장착 웨이퍼(1)가 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)로부터 이탈할 시에는 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정 모니터링에 사용되는 경우일 수 있다. 이에 따라 공정에서의 공정 시간을 계산하기 위한 표준 시간이 설정되어야 한다.
RTC(Real-time clock) 회로(119)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정에서의 공정 시간을 계산하기 위한 표준 시간을 설정하는 구성이다. 구체적으로, 제어부(113)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부에 따라 RTC 회로(119)의 동작을 제어한다. 이에 따라, RTC 회로(119)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 제어 정보 중에서 공정 시간을 계산하기 위해 설정되는 표준 시간을 제공한다.
여기서, 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부는 전술한 본체(110)에 구비되는 제1 감지부(114a)에 의해 판단할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치(100)는, 안테나부(130)를 상하로 이동할 수 있도록 구성하여, 안테나부(130)와 센서 장착 웨이퍼(1)의 안테나(20, 40) 간 간격이 일정 거리 이하로 좁아지도록 함으로써, 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있게 된다.
지금까지 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위 내에서 변형된 형태로 구현할 수 있을 것이다.
본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치
110: 본체
120: 수납함
130: 안테나부
140: 도어

Claims (14)

  1. 하나 이상의 센서 장착 웨이퍼를 내부에 수납하는 수납함;
    상기 센서 장착 웨이퍼와 통신하기 위한 통신 회로 및 상기 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 충전시키기 위한 충전 회로 중 적어도 하나를 내부에 구비하는 본체; 및
    상기 수납함 내부에서 상하로 이동되며 상기 센서 장착 웨이퍼의 통신 안테나 및 충전 안테나 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치되는 안테나부;
    를 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수납함은
    상기 복수의 센서 장착 웨이퍼를 수납하기 위해 상기 수납함 전면을 기준으로 좌우 내측면에 상하 방향으로 서로 대향하여 배치되는 복수의 슬롯을 구비하는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 통신 회로와 연결되는 통신 안테나 및 상기 충전 회로와 연결되는 충전 안테나 중 적어도 하나를 포함하는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체는
    상기 수납함 내부 또는 외부에 배치되는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 슬롯에 삽입되면 상승하는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 슬롯에 삽입 전 하강하는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체는
    상기 수납함 내부에 배치되며, 상부 중앙에 상기 안테나부가 상하로 이동할 수 있도록 유동홀을 구비하고,
    상기 안테나부는 상기 유동홀에 배치되는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부를 상하로 이동시키는 구동부; 및
    상기 구동부를 제어하는 제어부
    를 더 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 본체 내부에 배치되고, 상기 제어부는 상기 본체 내부 또는 외부에 배치되는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 안테나부가 상승되면 상기 통신 회로 및 상기 충전 회로 중 적어도 하나를 동작시키는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 슬롯에 삽입된 상기 센서 장착 웨이퍼를 감지하는 제1 감지부
    를 더 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 제1 감지부에 의해 상기 센서 장착 웨이퍼가 감지된 후 설정 시간이 지나면 상승되는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부의 상승 및 하강을 감지하는 제2 감지부
    를 더 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 제1 감지부에 의해 상기 센서 장착 웨이퍼가 감지되면 설정 위치까지 상승하는
    센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치.






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