KR102260865B1 - 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치 - Google Patents

센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102260865B1
KR102260865B1 KR1020190113847A KR20190113847A KR102260865B1 KR 102260865 B1 KR102260865 B1 KR 102260865B1 KR 1020190113847 A KR1020190113847 A KR 1020190113847A KR 20190113847 A KR20190113847 A KR 20190113847A KR 102260865 B1 KR102260865 B1 KR 102260865B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer
sensor
unit
antenna
storage
Prior art date
Application number
KR1020190113847A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210032623A (ko
Inventor
이동석
조승래
Original Assignee
(주)제이디
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)제이디 filed Critical (주)제이디
Priority to KR1020190113847A priority Critical patent/KR102260865B1/ko
Publication of KR20210032623A publication Critical patent/KR20210032623A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102260865B1 publication Critical patent/KR102260865B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H01L22/34—Circuits for electrically characterising or monitoring manufacturing processes, e. g. whole test die, wafers filled with test structures, on-board-devices incorporated on each die, process control monitors or pad structures thereof, devices in scribe line

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)

Abstract

본 발명은, 센서 장착 웨이퍼와 통신하기 위한 통신 회로 및 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 충전시키기 위한 충전 회로 중 적어도 하나를 내부에 구비하는 본체와, 본체 상부에 배치되며 센서 장착 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 트레이와, 웨이퍼 트레이에서 상하로 이동되며 센서 장착 웨이퍼의 통신 안테나 및 충전 안테나 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치되는 안테나부와, 웨이퍼 트레이를 개폐하는 커버를 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치를 제공한다.

Description

센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치{Apparatus For Storage And Information Collection Of Sensor Mounted Wafer}
본 발명은 반도체 공정 모니터링에 사용되는 센서 장착 웨이퍼를 보관하고 센서 장착 웨이퍼의 정보를 수집하는 장치에 관한 것으로, 특히 효율적으로 무선 통신 및 무선 충전을 수행할 수 있는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치에 관한 것이다.
반도체 제조에는 일반적으로 광학, 증착과 성장 및 식각 공정 등 다수의 공정을 거친다.
반도체 제조 공정에는 각 공정에서 공정 조건과 장비의 작동 상태를 주의 깊게 모니터링해야 한다. 예를 들면, 챔버나 웨이퍼의 온도, 가스 주입 상태, 압력 상태 또는 플라스마 밀도나 노출 거리 등을 제어하면서 최적의 반도체 수율을 위해 정밀한 모니터링이 필수적이다.
온도, 플라즈마, 압력, 유량 및 가스 등과 관련된 공정 조건에 오차가 발생하거나 장비가 오동작 하는 경우에는 불량이 다수 발생하여 전체 수율에 치명적이다.
한편, 종래 기술에서는 반도체 제조에서 챔버 내의 공정 조건을 간접적으로 측정하였으나 반도체 수율 향상을 위해 챔버의 내부 조건이나 그 챔버에 로딩된 웨이퍼의 상태 등을 직접 측정하기 위한 연구가 개발되고 있다. 그 중 하나가 웨이퍼의 온도 센싱 기술로서 SOW(Sensor On Wafer)가 개발 되었다.
SOW(Sensor On Wafer)는 테스트용 웨이퍼 상에 온도 센서를 장착하고, 이 온도 센서를 이용하여 반도체 제조 공정에서의 온도를 챔버 내에서 직접 센싱하는 기술이다.
한편, 센서 장착 웨이퍼는 공정 모니터링이 완료된 후에 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치에 보관되는데, 이 때, 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치에 센서 장착 웨이퍼가 보관된 상태에서, 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치는 센서 장착 웨이퍼와 무선 통신을 통해 제어 정보 및 센싱 정보를 송수신하고, 센서 장착 웨이퍼에 구비된 배터리를 무선 충전시킨다. 이에 따라, 무선 통신 및 무선 충전을 효율적으로 수행할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.
본 발명은, 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치와 센서 장착 웨이퍼 간 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 센서 장착 웨이퍼와 통신하기 위한 통신 회로 및 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 충전시키기 위한 충전 회로 중 적어도 하나를 내부에 구비하는 본체와, 본체 상부에 배치되며 센서 장착 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 트레이와, 웨이퍼 트레이에서 상하로 이동되며 센서 장착 웨이퍼의 통신 안테나 및 충전 안테나 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치되는 안테나부와, 웨이퍼 트레이를 개폐하는 커버를 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치를 제공한다.
여기서, 안테나부는, 통신 회로와 연결되는 통신 안테나 및 충전 회로와 연결되는 충전 안테나 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
또한, 안테나부는, 센서 장착 웨이퍼가 웨이퍼 트레이에 안착되면 상승하고, 센서 장착 웨이퍼가 웨이퍼 트레이에 안착 전 하강할 수 있다.
또한, 웨이퍼 트레이는, 중앙에 안테나부가 상하로 이동할 수 있도록 유동홀을 구비하고, 안테나부는 유동홀에 배치될 수 있다.
본 발명의 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치는, 안테나부를 상하로 이동시키는 구동부와, 안테나부를 상하로 이동시키기 위한 조작부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 구동부는, 조작부의 회전에 의해 수평방향으로 이동되는 제1 구동 부재와, 제1 구동 부재의 이동에 의해 수직방향으로 이동되는 제2 구동 부재를 포함할 수 있다.
또한, 안테나부는 제2 구동 부재의 이동에 의해 상하로 이동될 수 있다.
또한, 안테나부는 조작부의 회전 방향에 따라 상승 또는 하강하며, 조작부의 회전수에 따라 이동 길이가 조절될 수 있다.
또한, 본체 및 웨이퍼 트레이는 일체형으로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명의 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치는, 안테나부가 상승되면 통신 회로 및 충전 회로 중 적어도 하나를 동작시키는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부를 상하로 이동할 수 있도록 구성하여, 안테나부와 센서 장착 웨이퍼의 안테나 간 간격이 일정 거리 이하로 좁아지도록 함으로써, 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있다.
본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼 및 이를 보관 및 정보 수집하는 장치의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부, 구동부 및 조작부의 결합 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부, 구동부 및 조작부의 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부, 구동부 및 조작부의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부가 상하 이동하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략할 수 있고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에서, “또는”, “적어도 하나” 등의 표현은 함께 나열된 단어들 중 하나를 나타내거나, 또는 둘 이상의 조합을 나타낼 수 있다. 예를 들어, “A 또는 B”, “A 및 B 중 적어도 하나”는 A 또는 B 중 하나만을 포함할 수 있고, A와 B를 모두 포함할 수도 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 평면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼 및 이를 보관하는 장치의 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼(1)는 센서(10), 통신 회로(25), 제어부(30), 배터리(50), 충전 회로(45) 및 메모리(60)를 구비할 수 있다.
이와 같은 센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)에 복수 개가 구비되며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 정해진 센싱 위치에 내장되어 해당 위치에서 공정 모니터링을 위한 센싱을 수행한다. 또한, 센서(10)는 온도 센서 및 압력 센서 등을 포함할 수 있으며 다양한 공정 환경을 센싱할 수 있다.
예를 들어, 센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 로딩된 챔버 내부 상태(온도, 압력 및 기체 등)나 챔버에 로딩된 센서 장착 웨이퍼(1)의 자체 상태(온도 등)를 센싱할 수 있다.
통신 회로(25)는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)와의 무선 통신을 위한 구성으로 센서(10)에 의해 센싱된 센싱 정보를 무선으로 송신하고, 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 무선으로 수신한다.
여기서, 제어 정보는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제어 정보는 센서 장착 웨이퍼(1)가 어느 공정에 사용되는지를 정의하고, 그 정의된 공정에서의 센싱 온도, 센싱 시간 및 센싱 방식 등에 대한 설정 값을 포함할 수 있다.
제어부(30)는 제어 정보를 이용하여 센서(10)의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 제어부(30)는 제어 정보에 포함된 설정 값에 기반하여 센서(10)가 동작하도록 제어할 수 있다.
통신 회로(25)는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)와 무선 통신을 수행하기 위해 통신 안테나(20)에 연결된다. 여기서, 통신 안테나(20)는 나선 루프의 코일로 이루어지며 센서 장착 웨이퍼(1)의 중앙에 고리 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
배터리(50)는, 센서(10), 통신 회로(25), 충전 회로(45) 및 제어부(30)를 포함하여 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 구성 요소들의 구동을 위한 전원을 공급한다.
충전 회로(45)는 배터리(50)에 대한 무선 충전을 수행하며, 무선 충전을 위해 충전 안테나(40)와 연결된다. 여기서, 충전 안테나(40)는 나선 루프의 코일로 이루어지며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 중앙에 원형으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같이, 고리 형상의 통신 안테나(20) 안에 원형의 충전 안테나(40)가 구비될 수 있다.
메모리(60)는 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 저장하고, 센서(10)에 의해 센싱된 센싱 정보를 저장할 수 있다. 또한, 메모리(60)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용된 공정을 기록한 로그 데이터를 저장할 수 있다.
로그 데이터는 센서 장착 웨이퍼(1)가 어떤 공정에서 어떤 조건으로 사용되었는지에 대한 정보를 포함할 수 있다
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 측면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 분해 사시도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)는, 본체(110), 웨이퍼 트레이(120), 안테나부(130) 및 커버(140)를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)는 센서 장착 웨이퍼(1)를 웨이퍼 트레이(120)에 보관하는 동안 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 충전시키고, 센서 장착 웨이퍼(1)의 공정 모니터링을 위한 제어 정보를 설정하고, 센서 장착 웨이퍼(1)에 장착된 센서(10)가 센싱한 센싱 정보를 입력 받을 수 있다.
본체(110)는, 함체 형태로 형성될 수 있으며, 센서 장착 웨이퍼(1)와 통신하기 위한 통신 회로(112) 및 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 충전시키기 위한 충전 회로(111) 중 적어도 하나를 내부에 구비할 수 있다.
여기서, 통신 회로(112)는, 센서 장착 웨이퍼(1)에 장착된 센서(1)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 송신하고, 센서(1)가 센싱한 센싱 정보를 수신하는 역할을 수행한다. 이러한 통신 회로(112)는 블루투스(Bluetooth; BLE) 또는 NFC(Near Field Communication)를 채용할 수 있다.
또한, 충전 회로(111)는 자기 유도 방식(Inductive Charging)을 채용 할 수 있다. 여기서, 자기 유도 방식이란 전력 송신측 1차 코일(웨이퍼 보관 장치(100)의 충전 안테나(131))에서 자기장을 발생시키면 이 자기장이 수신측 2차 코일(센서 장착 웨이퍼(1)의 충전 안테나(40))에 유도됨으로써 전류가 공급되는 전자기 유도 원리를 이용한 기술이다.
웨이퍼 트레이(120)는 본체(110)와는 별도로 제작되어 결합될 수 있다. 여기서, 웨이퍼 트레이(120)는, 센서 장착 웨이퍼(1)가 안착될 수 있도록 플레이트 형상으로 형성될 수 있으며, 본체(110) 상부에 배치될 수 있다.
이와 달리, 본체(110) 및 웨이퍼 트레이(120)는 일체형으로 이루어질 수도 있다. 이를 통해, 제조 공정을 단순화하고 제조 비용을 절감할 수 있다.
안테나부(130)는, 웨이퍼 트레이(120)에서 상하로 이동될 수 있으며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 통신 안테나(20) 및 충전 안테나(40) 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 즉, 안테나부(130)는, 웨이퍼 트레이(120)에서 일정 지점(예컨대, 3mm)까지 위로 이동되고, 이동된 일정 지점에서 아래로 이동되어 원래 위치로 복귀할 수 있다.
이와 같은 안테나부(130)는 통신 회로(112)와 연결되는 통신 안테나(132) 및 충전 회로(111)와 연결되는 충전 안테나(131) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
여기서, 통신 안테나(132) 및 충전 안테나(131)는 나선 루프의 코일로 이루어지며, 이들과 각각 대응되는 센서 장착 웨이퍼(1)의 통신 안테나(20) 및 충전 안테나(40)의 위치 및 형상으로 구비될 수 있다. 예를 들어, 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비된 안테나(20, 40)가 센서 장착 웨이퍼(1) 중앙에 원형 및 고리형으로 형성되는 경우 안테나부(130)도 웨이퍼 트레이(120) 중앙에 원형 및 고리형으로 형성될 수 있다.
웨이퍼 트레이(120)는 중앙에 안테나부(130)가 상하로 이동할 수 있도록 유동홀을 구비하고, 이 유동홀에 안테나부(130)가 배치될 수 있다. 이에 따라 안테나부(130)가 상승하면 유동홀 상부로 안테나부(130)가 돌출될 수 있다.
커버(140)는 웨이퍼 트레이(120)를 개폐하도록 웨이퍼 트레이(120) 일측에 결합될 수 있다. 즉, 커버(140)는 웨이퍼 트레이(120)를 개방하고 웨이퍼 트레이(120)에 센서 장착 웨이퍼(1)가 안착되면 웨이퍼 트레이(120)를 폐쇄할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)는 구동부(150) 및 조작부(115)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
구동부(150)는 본체(110) 및 안테나부(130) 사이에 배치되며, 안테나부(130)를 상하로 이동시킬 수 있다. 그리고, 조작부(115)는 사용자가 수동으로 안테나부(130)를 상하로 이동시킬 수 있도록 구동부(150)의 외측에 구비될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부, 구동부 및 조작부의 결합 사시도이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부, 구동부 및 조작부의 분해 사시도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부, 구동부 및 조작부의 단면도이고, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치의 안테나부가 상하 이동하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 내지 도 9를 참조하면, 구동부(150)는 제1 구동 부재(151), 제2 구동 부재(152) 및 구동부 케이스(153)를 포함하여 구성될 수 있다. 그리고, 조작부(115)는 제1 조작부(115a) 및 제2 조작부(115b)를 포함하여 구성될 수 있다. 그리고, 안테나부(130)는 충전 안테나(131), 통신 안테나(132) 및 안테나 커버(133)를 포함하여 구성될 수 있다.
구동부 케이스(153)는 중앙에 제1 구동 부재(151) 및 제2 구동 부재(152)를 수용하기 위한 수용홈이 형성되고, 외측면에 제1 조작부(115a) 및 제2 조작부(115b)가 각각 체결되는 제1 체결홀 및 제2 체결홀이 형성된다.
제1 구동 부재(151)는 일측면에 제1 조작부(115a)의 단부가 체결되는 제3 체결홀이 형성되고, 이 제3 체결홀 내면에는 너트 나사산이 형성된다. 그리고, 타측면에 제1 경사면이 형성된다.
제2 구동 부재(152)는 하부에 제1 구동 부재(151)의 제1 경사면과 맞닿는 제2 경사면이 형성되고, 상부에 충전 안테나(131) 및 통신 안테나(132) 중 적어도 하나가 안착된다.
제1 조작부(115a) 및 제2 조작부(115b)는 봉 형상으로 이루어질 수 있으며, 특히, 제1 조작부(115a)는 단부에 볼트 나사산이 형성될 수 있다.
제1 및 제2 구동 부재(121, 122)는 구동부 케이스(153)의 수용홈에 수용되며 제1 경사면 및 제2 경사면이 맞닿도록 배치된다. 그리고, 제1 조작부(115a)는 구동부 케이스(153)에 구비된 제1 체결홀과 제1 구동 부재(151)에 구비된 제3 체결홀에 순차적으로 체결된다.
그리고, 제2 구동 부재(152) 상부에는 충전 안테나(131) 및 통신 안테나(132) 중 적어도 하나가 안착되며, 이들 안테나(131, 132) 상부는 안테나 커버(133)에 의해 폐쇄된다.
제1 구동 부재(151)는 제1 조작부(115a)의 회전에 의해 수평 방향으로 이동되고, 제2 구동 부재(152)는 제1 구동 부재(151)의 이동에 의해 수직 방향으로 이동된다. 그리고, 안테나부(130)는 제2 구동 부재(152)의 이동에 의해 상하로 이동된다.
구체적으로, 도 9를 참조하면, 제1 구동 부재(151)의 제3 체결홀에 제1 조작부(115a)의 단부가 체결된 상태에서 제1 조작부(115a)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되면 제1 구동 부재(151)는 좌측 또는 우측으로 이동된다. 그리고, 제1 구동 부재(151)의 제1 경사면과 제2 구동 부재(121)의 제2 경사면이 맞닿아 있기 때문에, 제2 구동 부재(152)는 제1 구동 부재(151)의 제1 경사면을 타고 올라가거나 내려간다. 이에 따라, 안테나부(130)는 상하로 이동하게 된다.
안테나부(130)는 제1 조작부(115a)의 회전 방향에 따라 상승 또는 하강하며, 제1 조작부(115a)의 회전수에 따라 그 이동 길이가 조절될 수 있다. 예를 들어, 안테나부(130)는 제1 조작부(115a)를 반시계 방향으로 회전하면 상승하고, 제1 조작부(115a)를 시계 방향으로 회전하면 하강할 수 있다. 그리고, 제1 조작부(115a)를 1회전 할 때마다 안테나부(130)는 일정 길이 예컨대, 0.5mm씩 상승 또는 하강되어 그 이동 길이가 증감될 수 있다.
제2 조작부(115b)는 웨이퍼 트레이(120)가 커버(140)에 의해 폐쇄된 후 커버(140)를 잠그거나 풀기 위한 구성으로서, 구동부 케이스(153)에 구비된 제2 체결홀에 체결된다. 여기서, 커버(140)는 제2 조작부(115b)를 반시계 방향으로 회전하면 잠기고(Lock), 시계 방향으로 회전하면 풀릴 수 있다(Unlock).
도 9 (a)를 참조하면, 안테나부(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 웨이퍼 트레이(120)에 안착되면 상승할 수 있다. 구체적으로, 제1 조작부(115a)가 시계 방향으로 회전되면 제1 구동 부재(151)는 좌측으로 이동된다. 그리고, 제2 구동 부재(152)는 제1 구동 부재(151)의 제1 경사면을 타고 올라가게 되고, 안테나부(130)는 상승하게 된다.
이에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)의 안테나부(130)와 센서 장착 웨이퍼(1)의 안테나들(20, 40) 간 간격이 일정 거리 이하로 좁아져 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있다.
도 9 (b)를 참조하면, 안테나부(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 웨이퍼 트레이(120)에 안착 전에는 하강한 상태가 된다. 구체적으로, 제1 조작부(115a)가 반시계 방향으로 회전되면 제1 구동 부재(151)는 우측으로 이동된다. 그리고, 제2 구동 부재(152)는 제1 구동 부재(151)의 제1 경사면을 타고 내려가게 되고, 안테나부(130)는 하강하게 된다.
이와 같이 센서 장착 웨이퍼(1)를 웨이퍼 트레이(120)에 안착하기 전에 안테나부(130)를 하강시키는 이유는, 센서 장착 웨이퍼(1)는 이송 로봇에 의해 웨이퍼 트레이(120)에 안착 및 인출되는데, 이송 로봇이 센서 장착 웨이퍼(1)를 이송하여 이를 웨이퍼 트레이(120)에 안착 시 상승된 안테나부(130)로 인한 기계적 간섭을 방지하기 위함이다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)는, 제어부(113)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 제어부(113)는 안테나부(130)가 상승되면 통신 회로(112) 및 충전 회로(111) 중 적어도 하나를 동작시킬 수 있을 뿐만 아니라, 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100) 구비된 모든 구성요소들의 동작을 제어할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)는 사용자 인터페이스(UI)(140), 배터리(117), 표시부(118) 및 RTC 회로(160)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 배터리(117)로의 전원 충전을 위한 전원 라인으로 POWER USB나 ADAPTER, 센싱 정보 및 제어 정보를 저장할 수 있는 메모리(116), 외부와의 유선 통신을 위한 통신 라인으로 USB 단자나 LAN 단자 등을 더 포함할 수 있다.
사용자 인터페이스(UI)(140)는 디스플레이(Display)나 키보드와 같은 입출력 디바이스를 포함하는 것으로, 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함하는 제어 정보를 설정하기 위한 구성이다. 예를 들어, 사용자 인터페이스(110)를 통해 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정을 설정하고, 그 설정된 공정에서의 센싱 온도, 센싱 시간 및 센싱 방식 등에 대한 값을 설정할 수 있다.
배터리(117)는 충전회로(111), 통신 회로(112) 및 제어부(113)를 포함하여 웨이퍼 보관 장치(100)에 구비되는 구성 요소들의 구동을 위한 전원을 공급한다. 아울러, 배터리(117)는 웨이퍼의 배터리(50)에 충전 전원을 공급한다.
표시부(118)는, 본체(110) 상부에 배치될 수 있으며, 제어부(113)의 제어에 따라 충전 회로(111)의 온오프 동작 상태와 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)와 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)의 배터리(117)의 충전 상태를 표시할 수 있다.
사용자는 표시부(150)에 의해 표시되는 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)의 충전 상태를 확인하여 센서 장착 웨이퍼(1)가 현재 공정 모니터링에 사용 가능한지를 판단할 수 있다.
이와 같이 센서 장착 웨이퍼(1)가 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)에 보관된 상태에서는 충전과 공정 모니터링의 조건 설정을 위한 동작이 실시된다.
반면에, 센서 장착 웨이퍼(1)가 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)로부터 이탈할 시에는 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정 모니터링에 사용되는 경우일 수 있다. 이에 따라 공정에서의 공정 시간을 계산하기 위한 표준 시간이 설정되어야 한다.
RTC(Real-time clock) 회로(119)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정에서의 공정 시간을 계산하기 위한 표준 시간을 설정하는 구성이다. 구체적으로, 제어부(113)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부에 따라 RTC 회로(119)의 동작을 제어한다. 이에 따라, RTC 회로(119)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 제어 정보 중에서 공정 시간을 계산하기 위해 설정되는 표준 시간을 제공한다.
여기서, 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부는 전술한 웨이퍼 트레이(120) 또는 본체(110)에 구비되는 감지부(114)에 의해 판단할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치(100)는, 안테나부(130)를 상하로 이동할 수 있도록 구성하여, 안테나부(130)와 센서 장착 웨이퍼(1)의 안테나(20, 40) 간 간격이 일정 거리 이하로 좁아지도록 함으로써, 무선 통신을 효율적으로 수행할 수 있고, 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(50)를 효율적으로 무선 충전시킬 수 있게 된다.
지금까지 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위 내에서 변형된 형태로 구현할 수 있을 것이다.
본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치
110: 본체
120: 웨이퍼 트레이
130: 안테나부
140: 커버

Claims (11)

  1. 센서 장착 웨이퍼와 통신하기 위한 통신 회로 및 상기 센서 장착 웨이퍼의 배터리를 충전시키기 위한 충전 회로 중 적어도 하나를 내부에 구비하는 본체;
    상기 본체 상부에 배치되며 상기 센서 장착 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 트레이;
    상기 웨이퍼 트레이에서 상하로 이동되며 상기 센서 장착 웨이퍼의 통신 안테나 및 충전 안테나 중 적어도 하나와 대응하는 위치에 배치되는 안테나부; 및
    상기 웨이퍼 트레이를 개폐하는 커버를 포함하고,
    상기 웨이퍼 트레이는
    중앙에 상기 안테나부가 상하로 이동할 수 있도록 유동홀을 구비하고,
    상기 안테나부는 상기 유동홀에 배치되는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 통신 회로와 연결되는 통신 안테나 및 상기 충전 회로와 연결되는 충전 안테나 중 적어도 하나를 포함하는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 웨이퍼 트레이에 안착되면 상승하는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 웨이퍼 트레이에 안착 전 하강하는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부를 상하로 이동시키는 구동부; 및
    상기 안테나부를 상하로 이동시키기 위한 조작부
    를 더 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 조작부의 회전에 의해 수평방향으로 이동되는 제1 구동 부재; 및
    상기 제1 구동 부재의 이동에 의해 수직방향으로 이동되는 제2 구동 부재를 포함하는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 제2 구동 부재의 이동에 의해 상하로 이동되는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 안테나부는
    상기 조작부의 회전 방향에 따라 상승 또는 하강하며, 상기 조작부의 회전수에 따라 이동 길이가 조절되는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체 및 상기 웨이퍼 트레이는 일체형으로 이루어지는
    센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 안테나부가 상승되면 상기 통신 회로 및 상기 충전 회로 중 적어도 하나를 동작시키는 제어부
    를 더 포함하는 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치.
KR1020190113847A 2019-09-17 2019-09-17 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치 KR102260865B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190113847A KR102260865B1 (ko) 2019-09-17 2019-09-17 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190113847A KR102260865B1 (ko) 2019-09-17 2019-09-17 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210032623A KR20210032623A (ko) 2021-03-25
KR102260865B1 true KR102260865B1 (ko) 2021-06-07

Family

ID=75222598

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190113847A KR102260865B1 (ko) 2019-09-17 2019-09-17 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102260865B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102612209B1 (ko) * 2021-11-15 2023-12-11 주식회사 에스피에스글로벌 반도체 제조용 pvd 챔버 테스트 시스템 및 그의 테스트 방법
KR102636826B1 (ko) * 2021-11-17 2024-02-15 주식회사 에스피에스글로벌 반도체 제조용 냉각 챔버 테스트 시스템 및 그의 테스트 방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7135852B2 (en) * 2002-12-03 2006-11-14 Sensarray Corporation Integrated process condition sensing wafer and data analysis system
KR102016398B1 (ko) * 2017-07-25 2019-09-02 (주)제이디 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210032623A (ko) 2021-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102260865B1 (ko) 센서 장착 웨이퍼의 보관 및 정보 수집 장치
US11569138B2 (en) System and method for monitoring parameters of a semiconductor factory automation system
CN100371839C (zh) 用来获得用于加工操作、优化、监视和控制的数据的方法和设备
US7282889B2 (en) Maintenance unit for a sensor apparatus
JP5019712B2 (ja) 統合化されたプロセス条件検知用ウェハおよびデータ解析システム
KR101155882B1 (ko) 집적 프로세스 상태 감지 웨이퍼 및 데이터 분석 시스템
KR20180068299A (ko) 웨이퍼 반송 용기 내 분위기 계측 장치, 웨이퍼 반송 용기, 웨이퍼 반송 용기 내 청정화 장치 및 웨이퍼 반송 용기 내 청정화 방법
US11589474B2 (en) Diagnostic disc with a high vacuum and temperature tolerant power source
US20220102767A1 (en) Systems and methods for charging battery packs via a charger module
CN113950731A (zh) 用于工艺套件环损耗的检测器
CN110957245A (zh) 用于监测机台的系统及方法
US20240023246A1 (en) Diagnostic disc with a high vacuum and temperature tolerant power source
KR102260866B1 (ko) 센서 장착 웨이퍼의 자동 정보 수집 장치
JP2005202933A (ja) センサー装置を制御する方法及び装置
CN108283006A (zh) 包括识别系统的测量组件和识别方法
WO2021110460A1 (en) Systems and methods for a communications module for a power tool system
KR20180078419A (ko) 캐리어
JP7110663B2 (ja) ウエハ収容容器及びウエハ収容容器の清浄化方法
US20230006456A1 (en) Systems and methods for transferring information and power to a communications module within a power tool system
TW202336899A (zh) 具有充電組件的外殼系統

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant