KR20210023140A - 캐리어 이송 장치 - Google Patents

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KR20210023140A
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Abstract

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는, 캐리어가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 하우징과 상기 캐리어를 상기 하우징 내부로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고, 주행 레일을 따라 주행하며 상기 캐리어들을 이송하는 이송 유닛 및 상기 주행 레일의 양측 중 적어도 일측에 구비되며, 상기 이송 유닛에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위해 다단 형태로 배열되는 선반들을 갖는 버퍼 유닛을 포함할 수 있다.

Description

캐리어 이송 장치{Apparatus for transferring a carrier}
본 발명은 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 캐리어를 이송하는 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 캐리어 이송 장치에 의해 이송된다. 상기 캐리어 이송 장치는 상기 캐리어를 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 이송하거나, 상기 캐리어들을 보관하는 스토커의 포트로 이송할 수 있다.
상기 스토커로 이송된 상기 캐리어는 로봇에 의해 상기 포트에서 선반에 이송되어 적재된다. 상기 캐리어를 상기 캐리어의 선반에 적재하기까지 과정이 복잡하고 많은 시간이 소요된다.
본 발명은 캐리어를 신속하게 적재할 수 있는 캐리어 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는, 캐리어가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 하우징과 상기 캐리어를 상기 하우징 내부로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고, 주행 레일을 따라 주행하며 상기 캐리어들을 이송하는 이송 유닛 및 상기 주행 레일의 양측 중 적어도 일측에 구비되며, 상기 이송 유닛에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위해 다단 형태로 배열되는 선반들을 갖는 버퍼 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 이송 장치는, 상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 상관없이 상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치하도록 상기 하우징의 무게 중심을 조절하는 무게 중심 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 무게 중심 조절부는, 상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 따라 변화하는 상기 하우징의 기울기를 감지하는 기울기 센서와, 상기 하우징에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비되는 상기 질량체 및 상기 질량체와 연결되며, 상기 기울기 센서의 감지 결과에 따라 상기 수평 방향을 따라 상기 질량체를 이동시켜 상기 질량체의 위치를 변경시키는 질량체 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 포크부는, 상기 하우징의 내부에 상기 버퍼 유닛을 향해 이동 가능하도록 구비되며, 상기 하우징과 상기 버퍼 유닛의 선반들 사이에서 상기 캐리어를 이송하는 포크 및 상기 하우징의 내부에 상기 포크와 연결되도록 구비되고, 상기 포크를 상기 버퍼 유닛을 향해 이동시키는 포크 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 하우징은 상기 포크부가 상기 버퍼 유닛의 선반을 향하도록 회전 가능할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 반사판을 더 포함하고, 상기 이송 유닛은, 상기 하우징에 구비되며, 상기 제1 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제1 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 광센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은, 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반들의 내부에서 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 제2 반사판을 더 포함하고, 상기 이송 유닛은, 상기 포크부에 구비되며, 상기 제2 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제2 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제2 광센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 캐리어 이송 장치에서 상기 이송 유닛이 상기 버퍼 유닛의 선반들에 다수의 상기 캐리어들을 적재할 수 있다. 상기 캐리어들을 적재하는 과정이 단순하고 상기 캐리어들의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
상기 이송 유닛이 상기 하우징과 상기 포크부를 가지므로, 상기 캐리어를 상기 다단 형태로 배열되는 선반들로 용이하게 적재할 수 있다.
상기 캐리어 이송 장치는 상기 무게 중심 조절부가 상기 하우징의 무게 중심을 조절한다. 따라서, 상기 캐리어의 유무에 상관없이 상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치할 수 있다.
상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치하므로, 상기 하우징의 기울어짐을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 포크부가 상기 버퍼 유닛의 선반을 향하도록 상기 하우징을 안정적으로 회전시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 무게 중심 조절부를 설명하기 위한 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 무게 중심 조절부를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치(300)는 반도체 제조 공정에서 대상물의 운반을 위해 사용되는 캐리어(20)를 이송한다.
상기 캐리어 이송 장치(300)는 반도체 제조 공정 라인에 설치된 주행 레일(10)을 따라 주행하면서 상기 캐리어(20)를 후속 공정을 위한 반도체 공정 장치로 이송하는 이송 유닛(100)과, 상기 캐리어(20)를 상기 반도체 공정 장치로 이송하는 과정에서 상기 캐리어(20)를 임시 수납하기 위한 버퍼 유닛(200)을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 이송 유닛(100)은, 주행부(110), 프레임부(120), 슬라이드부(130), 호이스트부(140), 하우징(150), 포크부(160) 및 무게 중심 정렬부(170)를 포함한다.
상기 주행부(110)는 상기 이송 유닛(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행부(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 이송 유닛(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예를 들면, 상기 이송 유닛(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.
한편, 상기 주행부(110)는 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 이송 유닛(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임부(120)는 상기 주행부(110)가 하부면에 고정된다. 상기 프레임부(120)는 상기 캐리어(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 캐리어(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임부(120)는 하부면과 상기 Y축 방향 일측면 또는 양측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드부(130)는 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드부(130)는 상기 호이스트부(140)를 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트부(140)는 상기 프레임부(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
구체적으로, 상기 슬라이드부(130)는 가이드 레일, 이동 블록, 제1 고정 브래킷 및 제2 고정 브래킷을 포함할 수 있다.
상기 가이드 레일은 상기 Y축 방향을 따라 배치된다. 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 가이드 레일 및 상기 이동 블록은 LM 가이드일 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 가이드 레일을 고정한다.
상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 이동 블록과 결합된다.
한편, 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 회전시킬 수 있다.
상기 호이스트부(140)는 상기 슬라이드부(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다.
상기 호이스트부(140)는 상기 하우징(150)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부(140)는 다수의 벨트(142)들로 상기 하우징(150)을 고정한다. 상기 호이스트부(140)는 상기 벨트(142)들을 권취하거나 권출하여 상기 하우징(150)을 승강시킬 수 있다.
상기 하우징(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정된다. 상기 하우징(150)은 상기 캐리어(20) 및 상기 포크부(160)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 포크부(160)가 상기 캐리어(20)를 상기 Y축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 하우징(150)은 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드부(130)는 상기 하우징(150)을 상기 Y축 방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 하우징(150)을 회전시킬 수 있다. 상기 호이스트부(140)는 상기 하우징(150)을 상기 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 하우징(150)은 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향 이동 및 회전이 가능하다.
상기 하우징(150)의 회전에 따라 상기 포크부(160)가 상기 버퍼 유닛(200)을 향할 수 있다.
상기 포크부(160)는 상기 하우징(150)의 내부에 구비된다. 상기 포크부(160)는 상기 캐리어(20)를 상기 Y축 방향으로 반입 및 반출한다 .따라서, 상기 포크부(160)는 상기 하우징(150)과 상기 버퍼 유닛(200) 간에 상기 캐리어(20)를 이송할 수 있다. 즉, 상기 포크부(160)는 상기 캐리어(20)를 상기 하우징(150)으로부터 상기 버퍼 유닛(200)으로 반출하고, 상기 버퍼 유닛(200)으로부터 상기 캐리어(20)를 상기 하우징(150)으로 반입한다.
상기 포크부(160)는 포크(162) 및 포크 구동부(164)를 포함할 수 있다.
상기 포크(162)는 상기 하우징(150)의 내부에 배치되며, 상기 버퍼 유닛(200)을 향해 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 상기 포크(162)는 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 포크(162)는 상기 캐리어(20)를 상기 버퍼 유닛(200)으로 반입하거나, 상기 버퍼 유닛(200)으로부터 상기 캐리어(20)를 반출할 수 있다.
상기 포크 구동부(164)는 상기 하우징(150)의 내부에 배치되며, 상기 포크(162)를 상기 버퍼 유닛(200)을 향해 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 포크 구동부(164)는 상기 포트(162)를 상기 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 무게 중심 조절부(170)는 상기 하우징(150)에 구비되며, 상기 하우징(150)의 무게 중심을 조절한다.
상기 하우징(150)에 상기 캐리어(20)가 수납되지 않은 경우와 상기 하우징(150)에 상기 캐리어(20)가 수납된 경우에 따라 상기 하우징(150)의 무게 중심이 달라진다. 이 경우, 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하기 어렵다. 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하지 않고 편심되는 경우, 상기 벨트들(142)에 일정한 하중이 가해지지 않는다. 따라서, 상기 하우징(150)이 수평 상태를 유지하기 어렵다.
구체적으로, 상기 무게 중심 조절부(170)는 기울기 센서(172), 질량체(174) 및 질량체 구동부(176)를 포함할 수 있다.
상기 기울기 센서(172)는 상기 하우징(150)의 상부면에 구비되며, 상기 캐리어(20)의 수납 여부에 따라 변화하는 상기 하우징(150)의 기울기를 감지한다. 상기 기울기 센서(172)는 상기 하우징(150)의 상부면 중앙 부위에 하나가 구비되거나, 상기 하우징(150)의 상부면을 이루는 네 변의 중앙 부위에 각각 구비되거나, 상기 하우징(150)의 상부면 중앙 부위 및 상기 하우징(150)의 상부면을 이루는 네 변의 중앙 부위에 각각 구비될 수 있다.
상기 질량체(174)는 상기 하우징(150)의 상부면에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 질량체(174)는 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 질량체(174)는 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다.
상기 질량체 구동부(176)는 상기 질량체(174)와 연결되며, 상기 기울기 센서(172)의 감지 결과에 따라 상기 수평 방향을 따라 상기 질량체(174)를 이동시켜 상기 질량체(174)의 위치를 변경시킬 수 있다.
상기 질량체(174) 및 상기 질량체 구동부(176)는 단수로 구비되거나 복수로 구비될 수 있다.
상기 무게 중심 조절부(170)는 상기 캐리어(20)의 수납 여부에 상관없이 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하도록 조절할 수 있다. 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하므로, 상기 벨트들(142)에 일정한 하중이 가해져 상기 하우징(150)이 수평 상태를 유지할 수 있다.
상기 하우징(150)이 수평 상태를 유지하므로, 상기 하우징(150)이 회전할 때 상기 프레임부(120)와 충돌하지 않고 안정적으로 회전할 수 있다.
상기 버퍼 유닛(200)은 상기 주행 레일(10)의 양측 중 적어도 일측에 구비되어 천장에 고정되며, 상기 이송 유닛(100)에 의해 이송된 캐리어(20)를 수납할 수 있다. 상기 버퍼 유닛(200)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 이송되는 상기 캐리어(20)를 임시 보관할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트에 캐리어(20)가 적재되어 있는 경우, 상기 이송 유닛(100)은 상기 캐리어(20)를 상기 버퍼 유닛(200)으로 이송할 수 있다.
상기 버퍼 유닛(200)은 다수의 선반들(210) 및 지지프레임들(220)을 포함할 수 있다.
상기 선반들(210)은 다수의 캐리어(20)들을 수납하기 위해 다단 형태로 배열될 수 있다. 예를 들면 선반들(210)은 상기 Z축 방향을 따라 배열될 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 캐리어(20)들을 추가로 적재하기 위해 상기 선반들(210)은 상기 Z축 방향 및 상기 X축 방향을 따라 배열될 수도 있다.
상기 선반들(210)은 상기 캐리어(20)의 출입을 위해 상기 Y축 방향 측면이 개방될 수 있다. 상기 이송 유닛(100)은 상기 선반들(210)의 개방된 측면을 상기 하우징(150)에 수납된 캐리어(20)를 상기 선반들(210)에 적재하고, 상기 선반들(210)의 개방된 측면을 통해 상기 선반들(210)에 수납된 캐리어(20)를 상기 하우징(150)으로 반출한다.
상기 각 선반들(210)의 바닥면에는 상기 한 쌍의 지지 프레임(220)이 구비될 수 있다. 상기 지지 프레임들(220)은 서로 이격되어 마주하게 위치하며, 상기 각 선반들(210)에 수납된 상기 캐리어(20)를 지지할 수 있다. 특히, 상기 지지 프레임들(220)은 상기 이송 유닛(100)의 포크부(160)가 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)에 용이하게 적재 및 반출할 수 있도록 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)의 바닥면으로부터 이격시켜 지지한다.
상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 각 선반들(210)이 빈 상태인지를 감지하기 위한 캐리어 감지부를 더 포함할 수 있다.
상기 캐리어 감지부는 광을 반사할 수 있는 제1 광센서(180) 및 제1 반사판(230)을 포함할 수 있다.
상기 제1 광센서(180)는 상기 이송 유닛(100)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 와(182)는 상기 하우징(150)에 구비될 수 있다.
상기 제1 반사판(230)은 상기 버퍼 유닛(200)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 반사판(230)은 상기 각 선반들(210)에서 개방된 측면과 반대되는 측면에 각각 구비되며, 상기 측면과 수평하게 배치될 수 있다.
상기 하우징(150)이 상기 각 선반들(210) 중 어느 하나와 동일한 높이에 위치한 상태에서 상기 제1 광센서(180)가 상기 제1 반사판(230)을 향해 광을 조사하고, 상기 제1 반사판(230)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 선반들(210)이 빈 상태인지를 감지할 수 있다.
상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 포크부(160)가 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)로 적재 및 상기 선반들(210)로부터 반출시 상기 포크(162)의 위치를 가이드하기 위한 포크 얼라인부를 더 포함할 수 있다.
상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)에 적재하는 경우, 상기 캐리어(20)는 상기 포크(162)에 적재된 상태로 상기 선반들(210) 내부로 삽입되어 상기 지지 프레임들(220) 상에 적재된다. 또한, 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)로부터 반출시, 상기 포크(162)가 상기 선반들(210) 내부로 삽입된 후 상기 지지 프레임(220)에 적재된 상기 캐리어(20)를 픽업하여 상기 하우징(150)으로 이송한다.
상기 캐리어(20)가 상기 포크(162)에 지지되어 상기 선반들(210)로 반입 또는 반출되므로, 상기 포크부(162)가 상기 선반들(210) 내부에서 정위치에 위치되지 못할 경우 상기 캐리어(20)가 상기 포크(162) 또는 상기 지지 프레임들(220) 상에 정상적으로 적재되지 않을 수 있다. 이로 인해, 상기 캐리어(20)가 이송 과정에서 파손될 수 있다.
상기 포크 얼라인부는 광을 반사할 수 있는 제2 광센서(182) 및 제2 반사판(240)을 포함할 수 있다.
상기 제2 와(182)는 상기 이송 유닛(100)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 와(182)는 상기 포크(162)의 하부면에 구비될 수 있다.
상기 제2 반사판(240)은 상기 버퍼 유닛(200)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 반사판(240)은 상기 각 선반들(210)의 상기 바닥면에 각각 구비되며, 상기 바닥면과 수평하게 배치될 수 있다.
상기 포크(162)가 상기 각 선반들(210)의 내부에 위치한 상태에서 상기 제2 광센서(182)가 상기 제2 반사판(240)을 향해 광을 조사하고, 상기 제2 반사판(240)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크(162)를 정렬할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 버퍼 유닛(200)은 상기 선반들(210)의 다단 형태로 배열되므로, 상기 버퍼 유닛(200)에 다수의 캐리어(20)들을 수납할 수 있다. 상기 캐리어(20)들을 적재하는 과정이 단순하고 상기 캐리어(20)들의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있으므로, 상기 캐리어 이송 장치(300)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 무게 중심 조절부(170)가 상기 하우징(150)의 무게 중심을 조절하여 상기 캐리어(20)의 유무에 상관없이 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(150)이 기울어지지 않고 수평 상태를 유지할 수 있으며, 상기 포크부(160)가 상기 버퍼 유닛(200)의 선반들(210)을 향하도록 상기 하우징(150)을 안정적으로 회전시킬 수 있다.
상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 캐리어 감지부를 이용하여 상기 선반들(210)이 빈 상태인지를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(20)의 신속한 이송과 함께 상기 캐리어 이송 장치(300)의 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 포크 얼라인부를 이용하여 상기 각 선반들(210) 내부에서 상기 포크(162)를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(20)의 안전한 반입 및 반출을 도모할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 캐리어 이송 장치는 상기 버퍼 유닛에 다수의 캐리어들을 수납할 수 있다. 상기 캐리어들을 적재하는 과정이 단순하고 상기 캐리어들의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있으므로, 상기 캐리어 이송 장치의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 주행 레일 20 : 캐리어
100 : 이송 유닛 110 : 주행부
120 : 프레임부 130 : 슬라이드부
140 : 호이스트부 150 : 하우징
160 : 포크부 162 : 포크
164 : 포크 구동부 170 : 무게 중심 조절부
172 : 기울기 센서 174 : 질량체
176 : 질량체 구동부 180 : 제1 광센서
182 : 제2 광센서 200 : 버퍼 유닛
210 : 선반 220 : 지지프레임
230 : 제1 반사판 240 : 제2 반사판
300 : 캐리어 이송 장치

Claims (7)

  1. 캐리어가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 하우징과 상기 캐리어를 상기 하우징 내부로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고, 주행 레일을 따라 주행하며 상기 캐리어들을 이송하는 이송 유닛; 및
    상기 주행 레일의 양측 중 적어도 일측에 구비되며, 상기 이송 유닛에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위해 다단 형태로 배열되는 선반들을 갖는 버퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 상관없이 상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치하도록 상기 하우징의 무게 중심을 조절하는 무게 중심 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 무게 중심 조절부는,
    상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 따라 변화하는 상기 하우징의 기울기를 감지하는 기울기 센서;
    상기 하우징에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비되는 상기 질량체; 및
    상기 질량체와 연결되며, 상기 기울기 센서의 감지 결과에 따라 상기 수평 방향을 따라 상기 질량체를 이동시켜 상기 질량체의 위치를 변경시키는 질량체 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 포크부는,
    상기 하우징의 내부에 상기 버퍼 유닛을 향해 이동 가능하도록 구비되며, 상기 하우징과 상기 버퍼 유닛의 선반들 사이에서 상기 캐리어를 이송하는 포크; 및
    상기 하우징의 내부에 상기 포크와 연결되도록 구비되고, 상기 포크를 상기 버퍼 유닛을 향해 이동시키는 포크 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 하우징은 상기 포크부가 상기 버퍼 유닛의 선반을 향하도록 회전 가능한 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 반사판을 더 포함하고,
    상기 이송 유닛은, 상기 하우징에 구비되며, 상기 제1 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제1 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 광센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은, 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반들의 내부에서 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 제2 반사판을 더 포함하고,
    상기 이송 유닛은, 상기 포크부에 구비되며, 상기 제2 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제2 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제2 광센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
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