KR20210019675A - Display device and method for manufacturing the same - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 69
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 67
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 30
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 27
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 claims description 26
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 12
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 10
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 563
- 239000010408 film Substances 0.000 description 50
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 21
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 19
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 18
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 18
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 14
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 11
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 10
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 8
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 8
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 8
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 7
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 6
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- -1 ITO or IZO Substances 0.000 description 6
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 6
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 6
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 4
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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-
- H01L51/52—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
-
- H01L27/3211—
-
- H01L51/56—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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Abstract
Description
본 발명은 영상을 표시하는 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display device that displays an image.
정보화 사회가 발전함에 따라 영상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 따라, 최근에는 액정표시장치(LCD, Liquid Crystal Display), 플라즈마표시장치(PDP, Plasma Display Panel), 퀀텀닷발광 표시장치 (QLED: Quantum dot Light Emitting Display), 유기발광 표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)와 같은 여러 가지 표시장치가 활용되고 있다.As the information society develops, demands for display devices for displaying images are increasing in various forms. Accordingly, recently, a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), a quantum dot light emitting display (QLED), an organic light emitting display (OLED, organic Various display devices such as Light Emitting Display) are being used.
최근에는 이와 같은 표시장치를 포함한 헤드 장착형 디스플레이(head mounted display)가 개발되고 있다. 헤드 장착형 디스플레이(Head Mounted Display, HMD)는 안경이나 헬멧 형태로 착용하여 사용자의 눈앞 가까운 거리에 초점이 형성되는 가상현실(Virtual Reality, VR) 또는 증강현실(Augmented Reality)의 안경형 모니터 장치이다. 이러한 헤드 장착형 디스플레이는 성능 향상을 위하여 화소 간격을 줄이고 발광 영역을 늘리는 것이 중요하다.Recently, a head mounted display including such a display device has been developed. Head Mounted Display (HMD) is a glasses-type monitor device of Virtual Reality (VR) or Augmented Reality in which a focus is formed at a close distance in front of the user's eyes by wearing it in the form of glasses or a helmet. In such a head-mounted display, it is important to reduce the pixel spacing and increase the light emitting area to improve performance.
본 발명은 화소 간격을 줄일 수 있는 표시장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.An object of the present invention is to provide a display device capable of reducing a pixel gap.
본 발명은 발광 영역을 늘릴 수 있는 표시장치를 제공하는 것을 다른 기술적 과제로 한다.Another technical object of the present invention is to provide a display device capable of increasing a light emitting area.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 기판, 기판 상에서 제1 서브 화소 및 제1 서브 화소에 인접하게 배치된 제2 서브 화소 각각에 구비된 제1 전극, 제1 전극 상에 구비된 버퍼층, 버퍼층 상에 구비된 발광층 및 발광층 상에 구비된 제2 전극을 포함한다. A display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a substrate, a first electrode provided on each of a first sub-pixel on the substrate and a second sub-pixel disposed adjacent to the first sub-pixel, a buffer layer provided on the first electrode, And a light emitting layer provided on the buffer layer and a second electrode provided on the light emitting layer.
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 기판 상에 절연 물질층을 형성하는 단계, 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계, 금속 물질층 및 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계, 및 제1 전극 및 상기 트렌치 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a display device according to another embodiment of the present invention includes forming an insulating material layer on a substrate, forming a metal material layer on the insulating material layer, and performing an etching process on the metal material layer and the insulating material layer at the same time. And forming a trench by performing a pattern, forming a first electrode pattern for each sub-pixel, and forming a buffer layer on the first electrode and the trench.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 기판 상에 절연 물질층을 형성하는 단계, 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계, 금속 물질층 상에 비전도성 물질층을 형성하는 단계, 금속 물질층, 비전도성 물질층 및 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극 및 버퍼층을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계를 포함한다.In another embodiment of the present invention, a method of manufacturing a display device includes forming an insulating material layer on a substrate, forming a metal material layer on the insulating material layer, and forming a non-conductive material layer on the metal material layer. And forming a trench by simultaneously performing an etching process on the metal material layer, the non-conductive material layer, and the insulating material layer, and patterning the first electrode and the buffer layer for each sub-pixel.
본 발명에 따르면, 제1 전극 및 절연층을 동시에 식각하여 트렌치를 형성함으로써, 비발광 영역을 최소화시킬 수 있다. 본 발명은 서브 화소들 사이의 간격을 최소화시킬 수 있다.According to the present invention, by simultaneously etching the first electrode and the insulating layer to form a trench, it is possible to minimize the non-emission area. The present invention can minimize the spacing between sub-pixels.
또한, 본 발명은 제1 전극 상에 비전도성 물질로 이루어진 버퍼층을 형성한다. 본 발명은 버퍼층이 제1 전극의 가장자리에 형성됨으로써, 제1 전극의 가장자리에 집중된 전류에 의하여 발광효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the present invention, a buffer layer made of a non-conductive material is formed on the first electrode. In the present invention, since the buffer layer is formed on the edge of the first electrode, it is possible to prevent the luminous efficiency from being lowered by the current concentrated on the edge of the first electrode.
또한, 본 발명은 제1 전극의 상면에 버퍼층을 얇게 형성함으로써, 버퍼층이 제1 전극의 상면 전체에 형성되더라도 제1 전극의 상면 전체에서 발광이 이루어질 수 있도록 한다. 이에 따라, 본 발명은 제1 전극이 형성된 영역 모두 발광 영역이 되므로, 발광 영역을 극대화시킬 수 있다. 본 발명은 개구율을 극대화하여 전류 밀도를 최소화시키고 소자 수명을 향상시킬 수 있다.In addition, according to the present invention, by forming a thin buffer layer on the upper surface of the first electrode, even if the buffer layer is formed on the entire upper surface of the first electrode, light emission can be made on the entire upper surface of the first electrode. Accordingly, in the present invention, since all regions in which the first electrode is formed become light emitting regions, the light emitting region can be maximized. The present invention can maximize the aperture ratio to minimize current density and improve device life.
또한, 본 발명은 트렌치에 의하여 전하 생성층을 단절시킴으로써, 서브 화소들 사이의 간격을 줄이더라도 인접한 서브 화소 간에 누설 전류가 발생하지 않을 수 있다.In addition, according to the present invention, by disconnecting the charge generation layer by a trench, even if the interval between the sub-pixels is reduced, leakage current may not be generated between adjacent sub-pixels.
또한, 본 발명은 제1 전극을 서브 화소 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요하지 않으며, 별도의 마스크를 제작할 필요가 없다. 이에 따라, 본 발명은 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, according to the present invention, a separate process for forming a pattern of the first electrode for each sub-pixel is not required, and a separate mask is not required. Accordingly, in the present invention, the process is simplified and the process cost can be greatly reduced.
위에서 언급된 본 발명의 효과 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition to the effects of the present invention mentioned above, other features and advantages of the present invention will be described below or will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from such technology and description.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 제1 기판을 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 서브 화소의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4은 복수의 서브 화소들의 제1 전극, 버퍼층 및 트렌치를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 5는 도 2의 I-I의 일 예를 보여주는 단면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 복수의 서브 화소들의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 7은 도 5의 A영역을 보여주는 확대도이다.
도 8은 도 2의 I-I의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 9은 도 8의 B영역을 보여주는 확대도이다.
도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 13a 내지 도 13h는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.
도 14a내지 도 14c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치에 관한 것으로서, 이는 헤드 장착형 표시(HMD) 장치에 관한 것이다.1 is a perspective view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a plan view schematically showing a first substrate.
3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a sub-pixel included in a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a plan view schematically illustrating a first electrode, a buffer layer, and a trench of a plurality of sub-pixels.
5 is a cross-sectional view illustrating an example of II of FIG. 2.
6 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a plurality of sub-pixels included in a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view showing area A of FIG. 5.
8 is a cross-sectional view illustrating another example of II of FIG. 2.
9 is an enlarged view showing area B of FIG. 8.
10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
11A to 11H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
12 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
13A to 13H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
14A to 14C relate to a display device according to another embodiment of the present invention, which relates to a head mounted display (HMD) device.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to examples described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the examples disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these examples are intended to complete the disclosure of the present invention, and to those of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the scope of the invention, and the invention is only defined by the scope of the claims.
본 발명의 예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 발명 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shapes, sizes, ratios, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining examples of the present invention are exemplary, and thus the present invention is not limited to the illustrated matters. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification. In addition, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of related known technologies may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted. When'include','have','consists of' and the like mentioned in the present invention are used, other parts may be added unless'only' is used. In the case of expressing the constituent elements in the singular, it includes the case of including the plural unless specifically stated otherwise.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the constituent elements, it is interpreted as including an error range even if there is no explicit description.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of a description of the positional relationship, for example, if the positional relationship of two parts is described as'upper','upper of','lower of','next to','right' Or, unless'direct' is used, one or more other parts may be located between the two parts.
제 1, 제 2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 구성요소일 수도 있다.First, second, etc. are used to describe various elements, but these elements are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. Accordingly, the first component mentioned below may be a second component within the technical idea of the present invention.
본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In describing the constituent elements of the present invention, terms such as first and second may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, order, or number of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected or connected to that other component, but other components between each component It is to be understood that is "interposed", or that each component may be "connected", "coupled" or "connected" through other components.
본 발명의 여러 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each of the features of the various examples of the present invention can be partially or entirely combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each of the examples can be implemented independently of each other or can be implemented together in an association relationship. .
이하에서는 본 발명에 따른 표시장치의 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다.Hereinafter, an example of a display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to elements of each drawing, the same elements may have the same numerals as possible even if they are indicated on different drawings.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 보여주는 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 표시패널(100), 소스 드라이브 집적회로(integrated circuit, 이하 "IC"라 칭함)(210), 연성필름(220), 회로보드(230), 및 타이밍 제어부(240)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a display device according to an embodiment of the present invention includes a display panel 100, a source drive integrated circuit (hereinafter referred to as "IC") 210, a
표시패널(100)은 제1 기판(111)과 제2 기판(112)을 포함한다. 제2 기판(112)은 봉지 기판일 수 있다. The display panel 100 includes a
제2 기판(112)과 마주보는 제1 기판(111)의 일면 상에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성된다. 화소들은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 구조에 의해 정의되는 영역에 마련된다.Gate lines, data lines, and pixels are formed on one surface of the
화소들 각각은 박막 트랜지스터와 제1 전극, 발광층, 및 제2 전극을 구비하는 발광소자를 포함할 수 있다. 화소들 각각은 박막 트랜지스터를 이용하여 게이트 라인으로부터 게이트 신호가 입력되는 경우 데이터 라인의 데이터 전압에 따라 유기발광소자에 소정의 전류를 공급한다. 이로 인해, 화소들 각각의 유기발광소자는 소정의 전류에 따라 소정의 밝기로 발광할 수 있다. 화소들 각각의 구조에 대한 설명은 도 3 내지 도 9를 결부하여 후술한다.Each of the pixels may include a light emitting device including a thin film transistor, a first electrode, a light emitting layer, and a second electrode. Each of the pixels supplies a predetermined current to the organic light emitting device according to the data voltage of the data line when a gate signal is input from the gate line using the thin film transistor. Accordingly, the organic light emitting device of each of the pixels can emit light with a predetermined brightness according to a predetermined current. A description of the structure of each of the pixels will be described later with reference to FIGS. 3 to 9.
표시패널(100)은 화소들이 형성되어 화상을 표시하는 표시 영역과 화상을 표시하지 않는 비표시 영역으로 구분될 수 있다. 표시영역에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성될 수 있다. 비표시 영역에는 게이트 구동부 및 패드들이 형성될 수 있다.The display panel 100 may be divided into a display area in which pixels are formed to display an image and a non-display area in which an image is not displayed. Gate lines, data lines, and pixels may be formed in the display area. Gate drivers and pads may be formed in the non-display area.
게이트 구동부는 타이밍 제어부(240)로부터 입력되는 게이트 제어신호에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 게이트 구동부는 표시패널(100)의 표시 영역의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비표시 영역에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성될 수 있다. 또는, 게이트 구동부는 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 표시패널(100)의 표시 영역의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비표시 영역에 부착될 수도 있다.The gate driver supplies gate signals to the gate lines according to the gate control signal input from the
소스 드라이브 IC(210)는 타이밍 제어부(240)로부터 디지털 비디오 데이터와 소스 제어신호를 입력받는다. 소스 드라이브 IC(210)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 소스 드라이브 IC(210)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(220)에 실장될 수 있다.The source drive
표시패널(100)의 비표시 영역에는 데이터 패드들과 같은 패드들이 형성될 수 있다. 연성필름(220)에는 패드들과 소스 드라이브 IC(210)를 연결하는 배선들, 패드들과 회로보드(160)의 배선들을 연결하는 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(220)은 이방성 도전 필름(antisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(220)의 배선들이 연결될 수 있다.Pads such as data pads may be formed in the non-display area of the display panel 100. Wires connecting the pads and the
회로보드(230)는 연성필름(220)들에 부착될 수 있다. 회로보드(230)는 구동 칩들로 구현된 다수의 회로들이 실장될 수 있다. 예를 들어, 회로보드(230)에는 타이밍 제어부(240)가 실장될 수 있다. 회로보드(230)는 인쇄회로보드(printed circuit board) 또는 연성 인쇄회로보드(flexible printed circuit board)일 수 있다.The
타이밍 제어부(240)는 회로보드(230)의 케이블을 통해 외부의 시스템 보드로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력받는다. 타이밍 제어부(240)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 소스 드라이브 IC(210)들을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 타이밍 제어부(240)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부에 공급하고, 소스 제어신호를 소스 드라이브 IC(210)들에 공급한다.The
도 2는 제1 기판을 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 서브 화소의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.2 is a plan view schematically illustrating a first substrate, and FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a sub-pixel included in a display device according to an exemplary embodiment.
도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 기판(111)은 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)으로 구분되며, 비표시 영역(NDA)에는 패드들이 형성되는 패드 영역(PA)이 형성될 수 있다.2 and 3, the
표시 영역(DA)에는 데이터 라인들, 데이터 라인들과 교차되는 게이트 라인들이 형성된다. 또한, 표시 영역(DA)에는 데이터 라인들과 게이트 라인들의 교차 영역에 매트릭스 형태로 화상을 표시하는 화소(P)들이 형성된다.Data lines and gate lines crossing the data lines are formed in the display area DA. Further, in the display area DA, pixels P that display an image in a matrix form are formed in a crossing area between the data lines and the gate lines.
화소(P)들 각각은 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들을 포함할 수 있다. 각 서브 화소(P1, P2, P3)는 도 3에 도시된 바와 같이 제1 전극(120), 제2 전극(140), 제1 전극(120)과 제2 전극(140) 사이에 구비된 발광층(130)을 포함한다. 각 서브 화소(P1, P2, P3)는 제1 전극(120) 및 제2 전극(140) 각각에 전압이 인가되면, 제1 전극(120)과 제2 전극(140) 사이에 구비된 발광층(130)이 소정의 밝기로 발광할 수 있다. 발광층(130)의 구성에 대한 설명은 도 6을 결부하여 후술한다.Each of the pixels P may include a plurality of sub-pixels P1, P2, and P3. Each sub-pixel (P1, P2, P3) is a light emitting layer provided between the
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치에 포함된 서브 화소(P1, P2, P3)는 도 3에 도시된 바와 같이 제1 전극(120)과 발광층(130) 사이에 버퍼층(150)을 포함한다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 형성되며, 비전도성 물질로 이루어질 수 있다. 이러한 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면 전체에서 발광이 이루어질 수 있도록 하는 동시에 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류에 의하여 발광효율이 저하되는 것을 방지하는 역할을 한다.Meanwhile, the sub-pixels P1, P2, and P3 included in the display device according to the exemplary embodiment of the present invention include a
이하에서는 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들의 구조를 보다 상세히 살펴본다.Hereinafter, structures of a plurality of sub-pixels P1, P2, and P3 according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 4 to 7.
도 4는 복수의 서브 화소들의 제1 전극, 버퍼층 및 트렌치를 개략적으로 보여주는 평면도이며, 도 5는 도 4의 I-I의 일 예를 보여주는 단면도이다. 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 복수의 서브 화소들의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 7은 도 5의 A영역을 보여주는 확대도이다.4 is a plan view schematically illustrating a first electrode, a buffer layer, and a trench of a plurality of sub-pixels, and FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an example of I-I of FIG. 4. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a plurality of sub-pixels included in a display device according to an exemplary embodiment, and FIG. 7 is an enlarged view illustrating a region A of FIG. 5.
화소(P)들 각각은 제1 서브 화소(P1), 제2 서브 화소(P2) 및 제3 서브 화소(P3)를 포함할 수 있다. 제1 서브 화소(P1)는 적색 광을 방출하고, 제2 서브 화소(P2)는 녹색 광을 방출하고, 제3 서브 화소(P3)는 청색 광을 방출하도록 구비될 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 화소들 각각은 백색(W)의 광을 발광하는 제4 서브 화소가 더 구비될 수 있다. 또한, 각각의 서브 화소(P1, P2, P3)의 배열 순서는 다양하게 변경될 수 있다.Each of the pixels P may include a first sub-pixel P1, a second sub-pixel P2, and a third sub-pixel P3. The first sub-pixel P1 may be provided to emit red light, the second sub-pixel P2 to emit green light, and the third sub-pixel P3 to emit blue light, but is limited thereto. It is not. Each of the pixels may further include a fourth sub-pixel that emits white (W) light. In addition, the arrangement order of each of the sub-pixels P1, P2, and P3 may be variously changed.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 제2 기판(112)과 마주보는 제1 기판(111)의 일면 상에는 구동 트랜지스터(TFT), 절연층(115), 제1 전극(120), 발광층(130), 제2 전극(140), 봉지막(160), 컬러필터(170), 버퍼층(150) 및 트렌치(T)가 형성된다.4 to 7, a driving transistor (TFT), an insulating
제1 기판(111)은 유리 또는 플라스틱으로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체 물질로 이루어질 수도 있다. 제1 기판(111)은 투명한 재료로 이루어질 수도 있고 불투명한 재료로 이루어질 수도 있다.The
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 발광된 광이 상부쪽으로 방출되는 상부 발광(top emission) 방식으로 이루질 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치가 발광된 광이 상부쪽으로 방출되는 상부 발광(top emission) 방식으로 이루어지는 경우, 제1 기판(111)은 투명한 재료뿐만 아니라 불투명한 재료가 이용될 수도 있다. 한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 발광된 광이 하부쪽으로 방출되는 소위 하부 발광(bottom emission) 방식으로 이루어지는 경우, 제1 기판(111)은 투명한 재료가 이용될 수 있다.The display device according to the exemplary embodiment of the present invention may be formed in a top emission method in which emitted light is emitted upward, but is not limited thereto. When the display device according to an exemplary embodiment of the present invention is configured in a top emission method in which emitted light is emitted upward, the
제1 기판(111) 상에는 각종 신호 배선들, 박막 트랜지스터, 및 커패시터 등을 포함하는 회로 소자가 화소(P1, P2, P3) 별로 형성된다. 상기 신호 배선들은 게이트 배선, 데이터 배선, 전원 배선, 및 기준 배선을 포함하여 이루어질 수 있고, 상기 박막 트랜지스터는 스위칭 박막 트랜지스터, 구동 트랜지스터(TFT) 및 센싱 박막 트랜지스터를 포함하여 이루어질 수 있다.Circuit elements including various signal lines, thin film transistors, capacitors, and the like are formed on the
상기 스위칭 박막 트랜지스터는 상기 게이트 배선에 공급되는 게이트 신호에 따라 스위칭되어 상기 데이터 배선으로부터 공급되는 데이터 전압을 상기 구동 박막 트랜지스터에 공급하는 역할을 한다. The switching thin film transistor is switched according to a gate signal supplied to the gate line and serves to supply a data voltage supplied from the data line to the driving thin film transistor.
구동 트랜지스터(TFT)는 상기 스위칭 박막 트랜지스터로부터 공급되는 데이터 전압에 따라 스위칭되어 상기 전원 배선에서 공급되는 전원으로부터 데이터 전류를 생성하여 제1 전극(120)에 공급하는 역할을 한다. The driving transistor TFT is switched according to the data voltage supplied from the switching thin film transistor to generate a data current from power supplied from the power line and supply it to the
상기 센싱 박막 트랜지스터는 화질 저하의 원인이 되는 상기 구동 박막 트랜지스터의 문턱 전압 편차를 센싱하는 역할을 하는 것으로서, 상기 게이트 배선 또는 별도의 센싱 배선에서 공급되는 센싱 제어 신호에 응답하여 상기 구동 박막 트랜지스터의 전류를 상기 기준 배선으로 공급한다. The sensing thin film transistor serves to sense a threshold voltage variation of the driving thin film transistor that causes image quality deterioration, and the current of the driving thin film transistor in response to a sensing control signal supplied from the gate wire or a separate sensing wire. Is supplied to the reference wiring.
상기 커패시터는 구동 트랜지스터(TFT)에 공급되는 데이터 전압을 한 프레임 동안 유지시키는 역할을 하는 것으로서, 구동 트랜지스터(TFT)의 게이트 단자 및 소스 단자에 각각 연결된다.The capacitor serves to maintain the data voltage supplied to the driving transistor TFT for one frame, and is connected to the gate terminal and the source terminal of the driving transistor TFT, respectively.
절연층(115)은 구동 트랜지스터(TFT)를 포함한 회로 소자 상에 형성된다. 절연층(115)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 절연층(115)은 유기막, 예를 들어 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수도 있다. 또는 절연층(115)은 적어도 하나의 무기막 및 적어도 하나의 유기막으로 구성된 다중막으로 형성될 수도 있다.The insulating
제1 전극(120)은 절연층(115) 상에서 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성된다. 제1 서브 화소(P1)에 하나의 제1 전극(121)이 형성되고, 제2 서브 화소(P2)에 다른 하나의 제1 전극(122)이 형성되고, 제3 서브 화소(P3)에 또 다른 하나의 제1 전극(123)이 형성된다.The
제1 전극(120)은 구동 트랜지스터(TFT)와 연결된다. 구체적으로, 제1 전극(120)은 절연층(115)을 관통하는 컨택홀(CH)을 통해 구동 트랜지스터(TFT)의 소스 단자 또는 드레인 단자에 접속되어, 광을 발광시키기 위한 전압이 인가된다.The
제1 전극(120)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 및 반사율이 높은 금속물질 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다. The
표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)은 반사율이 높은 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질과 투명한 금속물질의 적층 구조로 이루어질 수 있다. 예컨대, 제1 전극(120)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. When the display device is made of a top emission type, the
표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 이러한 제1 전극(120)은 애노드 전극일 수 있다.When the display device is made of a bottom emission type, the
트렌치(T)는 절연층(115) 및 제1 전극(120)에 형성된다. 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120)을 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다. 이하에서 트렌치(T)는 설명의 편의를 위하여 제1 전극(120)을 관통하고, 절연층(115)이 파이거나 관통된 부분을 나타낸다.The trench T is formed in the insulating
보다 구체적으로, 트렌치(T)는 제1 전극(120)의 상면으로부터 기판(111)을 향하는 방향으로 형성될 수 있다. 이러한 트렌치(T)는 제1 면(T1), 제2 면(T2) 및 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결하는 제3 면(T3)으로 이루어진다. More specifically, the trench T may be formed in a direction from the top surface of the
트렌치(T)의 제1 면(T1)은 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a) 및 절연층(115)의 제1 면(115a)으로 이루어질 수 있다. 또한, 트렌치(T)는 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. The first surface T1 of the trench T may be formed of a
트렌치(T)의 제2 면(T2)은 상기 하나의 서브 화소와 인접하게 배치된 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)의 측면(122a) 및 절연층(115)의 제2 면(115b)으로 이루어질 수 있다. 트렌치(T)는 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)의 측면(122a)을 노출시키도록 형성될 수 있다.The second surface T2 of the trench T is a
트렌치(T)의 제3 면(T3)은 제1 면(T1)과 제2 면(T2) 사이에 구비되어, 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결한다. 트렌치(T)의 제3 면(T3)은 일단이 제1 면(T1)과 연결되고, 타단이 제2 면(T2)연결된다. 트렌치(T1)의 제3 면(T3)은 절연층(115)의 제1 면(115a)과 제2 면(115b)을 연결하는 제3 면(115c)으로 이루어질 수 있다.The third surface T3 of the trench T is provided between the first surface T1 and the second surface T2 to connect the first surface T1 and the second surface T2. The third surface T3 of the trench T has one end connected to the first surface T1 and the other end connected to the second surface T2. The third surface T3 of the trench T1 may be formed of a
본 발명의 일 실시예에 따른 트렌치(T)는 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 형성되는 것을 특징으로 한다. The trench T according to an embodiment of the present invention is characterized in that it is formed by simultaneously etching the
구체적으로, 기판(111) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 형성하고, 절연 물질층 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층을 형성한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성되는 것이 아니라, 복수의 서브 화소들(P1, P2, P3) 전체에 하나로 형성될 수 있다. Specifically, an insulating material layer constituting the insulating
다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)가 형성될 수 있다. 이와 함께, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다.Next, the trench T may be formed by simultaneously etching the metal material layer forming the
상술한 바와 같은 공정에 의하여 형성된 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T formed by the above-described process is the
이때, 트렌치(T)는 제1 전극(121, 122, 123)들 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 제1 전극(121)과 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 또한, 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122)과 제3 서브 화소(P3)에 구비된 제1 전극(123) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다.In this case, the trench T may have a width W equal to the separation distance d1 between the
트렌치(T)의 폭은 발광층(130)의 두께 및 증착 방식을 고려하여 결정될 수 있다. 발광층(130)이 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)으로 이루어진 경우, 트렌치(T)는 전하 생성층(132)이 트렌치(T)에서 단절되는 동시에 제2 스택(133)의 적어도 일부가 트렌치(T)에서 연결될 수 있는 폭을 가질 수 있다. The width of the trench T may be determined in consideration of the thickness of the
트렌치(T)의 폭(W)이 작게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 전하 생성층(132)이 서로 연결될 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 트렌치(T)가 형성되고, 트렌치(T)에 발광층(130)의 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 차례로 적층될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W1)이 0.09㎛미만으로 작게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 맞닿을 수 있다. 이로 인하여, 제1 스택(131) 상에 적층되는 전하 생성층(132)이 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2)에서 서로 연결되어 인접한 서브 화소(P1, P2)들 간에 누설 전류가 발생할 수 있다. When the width W of the trench T is small, the charge generation layers 132 of adjacent sub-pixels may be connected to each other. Specifically, a trench T is formed between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2, and the
제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않고 이격되도록, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.09㎛ 보다 크게 형성할 수 있다.The
반면, 트렌치(T)의 폭(W)이 크게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 제2 전극(140)이 트렌치(T)에서 서로 연결되지 않고 단절될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W)이 0.20㎛ 보다 크게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)까지 트렌치(T)에 의하여 단절될 수 있다.On the other hand, when the width W of the trench T is formed to be large, the
이때, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제1 면(T1) 상에 형성될 수 있다. 제1 서브 화소(P1)에 구비된 전하 생성층(132a)의 측면이 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132a)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. In this case, the
제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제2 면(T2) 상에 형성될 수 있다. 제2 서브 화소(P2)에 구비된 전하 생성층(132b)의 측면이 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132b)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다.The
제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)이 서로 연결될 수 있도록, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.20㎛ 미만으로 형성할 수 있다.In order that the
버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T) 상에 형성된다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)가 구비된 제1 기판(111) 상에서 표시 영역(DA)을 덮도록 형성된다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)를 덮도록 형성된다.The
버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 접하도록 구비된다. 이때, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면의 전부에 구비된다. 버퍼층(150)은 비전도성 물질로 이루어지나, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 발광층(130)으로 넘어갈 수 있도록 매우 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 두께가 50Å 미만으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)이 50Å 미만으로 얇게 형성되는 경우, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자는 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다.The
이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있어, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.Accordingly, the area where the upper surface of the
버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면뿐만 아니라 트렌치(T) 상에도 구비된다. 구체적으로, 트렌치(T)에는 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)이 노출되어 있다. 버퍼층(150)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)에 접하도록 구비된다.The
버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 측면에 접하도록 구비되어, 제1 전극(120)의 측면을 보호한다. 제1 전극(120)은 측면이 버퍼층(150)에 의하여 덮이므로, 발광층(130)의 전하 생성층(132)과 접하지 않을 수 있다. 이에 따라, 전하 생성층(132)과 제1 전극(120)이 합선되는 것을 방지할 수 있다.The
한편, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면 상에서부터 제1 전극(120)의 측면 상까지 연장되어 형성된다. 즉, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성된다. 제1 전극(120)은 에지 효과(edge effect)로 인하여 가장자리에 전류가 집중될 수 있다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다. 이를 위하여, 버퍼층(150)은 10Å 이상의 두께로 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 10Å 보다 얇게 형성하게 되면, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하될 수 있다.Meanwhile, the
한편, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 구비된 제1 전극(121, 122, 123)들뿐만 아니라, 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에 구비된 트렌치(T) 상에도 구비된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 버퍼층(150)을 전면에 형성함으로써, 버퍼층(150)을 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 추가되거나 별도의 마스크를 제작할 필요가 없다. Meanwhile, the
한편, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서도 연결되므로, 비전도성 물질로 이루어져야 한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 버퍼층(150)을 비전도성 물질로 형성함으로써, 버퍼층(150)이 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 연결되더라도 누설 전류가 발생하지 않는다.Meanwhile, since the
예를 들어, 버퍼층(150)은 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.For example, the
발광층(130)은 버퍼층(150) 상에 형성된다. 발광층(130)은 백색 광을 발광하는 백색 발광층일 수 있다. 이 경우, 발광층(130)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다.The
발광층(130)은 도 5에 도시된 바와 같이 제1 색의 광을 발광하는 제1 스택(131), 제2 색의 광을 발광하는 제2 스택(133), 및 상기 제1 스택과 제2 스택 사이에 구비된 전하 생성층(132, Charge Generating Layer; CGL)을 포함한다.As shown in FIG. 5, the
제1 스택(131)은 버퍼층(150) 상에 구비된다. 제1 스택(131)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 인접한 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다. 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다.The
상술한 바와 같은 제1 스택(131)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The
이러한 제1 스택(131)은 도 6에 도시된 바와 같이 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.As shown in FIG. 6, the
전하 생성층(132)은 제1 스택(131) 상에 구비된다. 전하 생성층(132)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132c)은 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다. 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다. The
상술한 바와 같은 전하 생성층(132)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The
이러한 전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The
제2 스택(133)은 전하 생성층(132) 상에 구비된다. 제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.
서브 화소(P1, P2, P3)들 각각의 전하 생성층(132)은 트렌치(T) 내부에서 서로 단절되므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 전하 생성층(132)을 통해 전하가 이동하기 어렵다.Since the charge generation layers 132 of each of the sub-pixels P1, P2, and P3 are disconnected from each other in the trench T, the
이와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광층(130)은 누설 전류로 인해 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)가 영향을 받는 것을 최소화할 수 있다.In the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 발광층(130)은 별도의 마스크를 사용하지 않고 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들에 일괄 증착될 수 있다.In addition, the
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)이 형성되면서, 트렌치(T) 내부에 에어 갭(Air Gap, AG)이 형성될 수 있다. 발광층(130)의 제1 스택(131)은 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면에서 트렌치(T)의 측면(T1, T2)으로 꺽이는 곳에서 두껍게 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 제1 전극(120)의 상면 및 트렌치(T)의 제1 측면(T1)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제1 측면(T1) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 또한 제1 전극(120)의 상면 및 트렌치(T)의 제2 측면(T2)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제2 측면(T2) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 트렌치(T) 내부는 하부에서 상부로 갈수록 좁아지게 되고, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 형성되면서 에어 갭(AG)이 형성될 수 있다.Meanwhile, in the display panel 100 according to an exemplary embodiment of the present invention, while the
본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 트렌치(T) 내부에 형성된 에어 갭(AG)을 통해 발광층(130)에서 트렌치(T)로 진행하는 광을 굴절시켜 전방으로 향할 수 있도록 할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)에서 발광된 광이 소실되는 것을 최소화시켜 광 효율을 향상시킬 수 있다. The display panel 100 according to an exemplary embodiment of the present invention refracts light traveling from the
제2 전극(140)은 발광층(130) 상에 형성된다. 제2 전극(140)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다.The
이러한 제2 전극(140)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 이러한 제2 전극(140)은 캐소드 전극일 수 있다.The
봉지막(160)은 제2 전극(140)을 덮도록 형성될 수 있다. 봉지막(160)은 발광층(130)과 제2 전극(140)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이를 위하여, 봉지막(160)은 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함할 수 있다.The
구체적으로, 봉지막(160)은 제1 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 봉지막(160)은 제2 무기막을 더 포함할 수 있다.Specifically, the
제1 무기막은 제2 전극(140)을 덮도록 형성된다. 유기막은 제1 무기막 상에 형성되며, 이물들(particles)이 제1 무기막을 뚫고 발광층(130)과 제2 전극(140)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 길이로 형성되는 것이 바람직하다. 제2 무기막은 유기막을 덮도록 형성된다.The first inorganic layer is formed to cover the
제1 및 제2 무기막들 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 무기막들은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기법 또는 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 증착될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Each of the first and second inorganic layers may be formed of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, or titanium oxide. The first and second inorganic layers may be deposited by a chemical vapor deposition (CVD) technique or an atomic layer deposition (ALD) technique, but the present invention is not limited thereto.
유기막은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다. 유기막은 유기물을 사용하는 기상 증착(vapour deposition), 프린팅(printing), 슬릿 코팅(slit coating) 기법으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 유기막는 잉크젯(ink-jet) 공정으로 형성될 수도 있다.The organic film may be formed of an acrylic resin, an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamide resin, or a polyimide resin. The organic film may be formed by a vapor deposition, printing, or slit coating technique using an organic material, but is not limited thereto, and the organic film may be formed by an ink-jet process. .
컬러필터(170)는 봉지막(160) 상에 형성된다. 컬러필터(170)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 대응되도록 배치된 제1 컬러필터(CF1), 제2 컬러필터(CF2) 및 제3 컬러필터(CF3)를 포함한다. 제1 컬러필터(CF1)는 적색 광을 투과시키는 적색 컬러필터일 수 있고, 제2 컬러필터(CF2)는 녹색 광을 투과시키는 녹색 컬러필터일 수 있으며, 제3 컬러필터(CF3)는 청색 광을 투과시키는 청색 컬러필터일 수 있다.The
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하는 것을 특징으로 한다. The display device according to the exemplary embodiment of the present invention is characterized in that the trench T is formed by simultaneously etching the
종래의 표시장치는 제1 전극(120)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성한 후, 뱅크를 형성한다. 이때, 뱅크는 서브 화소(P1, P2, P3) 각각에 패턴 형성된 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성되어, 발광 영역(EA)을 정의한다. 즉, 각각의 서브 화소(P1, P2, P3)에서 뱅크가 형성되지 않고 제1 전극(120)이 노출된 영역이 발광 영역(EA)이 된다. 반면, 발광 영역(EA)을 제외한 영역은 비발광 영역이 된다.In a conventional display device, after patterning the
뱅크는 제1 전극(120)의 상면 가장자리뿐만 아니라 제1 전극(120)의 측면도 덮도록 형성되며, 더 나아가, 절연층(115)의 상면까지 연장 형성된다. 이와 같이, 뱅크가 제1 전극(120)뿐만 아니라 절연층(115)에까지 형성되면서, 비발광 영역이 증가하게 된다. 이에, 서브 화소(P1, P2, P3)들 간에 화소 간격은 뱅크가 제1 전극(120)의 가장자리를 덮고 더 연장되어 절연층(115)에 형성되는 영역까지 고려해야하기 때문에, 수치를 줄이는데 한계가 있다.The bank is formed to cover not only the top edge of the
헤드 장착형 디스플레이와 같은 초고해상도가 요구되는 경우, 하나의 서브 화소의 발광 영역(EA)이 매우 작아지고 전류 밀도가 높아져서 소자 수명이 저하된다는 문제가 있다. When ultra-high resolution such as a head-mounted display is required, there is a problem that the light emitting area EA of one sub-pixel is very small and the current density is increased, thereby reducing the life of the device.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하고, 별도의 뱅크를 형성하지 않는다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 되므로, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.In the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)가 형성된 영역만이 비발광 영역이 되므로, 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 최소화시킬 수 있다. 더 나아가, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 개구율을 극대화하여 전류 밀도를 최소화시키고 소자 수명을 향상시킬 수 있다.In the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, since only the area in which the trench T is formed becomes the non-emission area, the interval between the sub-pixels P1, P2, and P3 can be minimized. Furthermore, the display device according to an exemplary embodiment of the present invention maximizes an aperture ratio, thereby minimizing current density and improving device life.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요없으며, 별도의 마스크를 제작할 필요도 없다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, in the display device according to an exemplary embodiment of the present invention, a separate process for patterning the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120) 및 트렌치(T) 상에 버퍼층(150)이 형성되는 것을 특징으로 한다. 이때, 버퍼층(150)은 비전도성 물질로 10Å 내지 50Å로 얇게 형성될 수 있다.In addition, the display device according to the exemplary embodiment of the present invention is characterized in that the
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면에 얇게 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있다. In the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 측면에 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 측면을 보호할 수 있다. 제1 전극(120)은 측면이 버퍼층(150)에 의하여 덮이므로, 발광층(130)의 전하 생성층(132)과 접하지 않을 수 있다. 이에 따라, 전하 생성층(132)과 제1 전극(120)이 합선되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment, the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment, the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 전면에 형성되므로, 버퍼층(150)을 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 추가되거나 별도의 마스크를 제작할 필요가 없다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, since the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)에 의하여 발광층(130)의 전하 생성층(132)이 단절될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 줄이더라도 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 형성된 전하 생성층(132)이 서로 연결되지 않으므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 간에 누설 전류가 발생하지 않을 수 있다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the
도 5 및 도 7에서는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)뿐만 아니라 트렌치(T) 상에도 형성되는 것으로 도시하고 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 다른 일 실시예에 있어서, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에만 형성될 수도 있다. 이하에서는 도 8 및 도 9을 참조하여 다른 일 실시예에 따른 표시패널에 대하여 설명하도록 한다.5 and 7 illustrate that the
도 8은 도 2의 I-I의 다른 예를 보여주는 단면도이고, 도 9은 도 8의 B영역을 보여주는 확대도이다.FIG. 8 is a cross-sectional view showing another example of I-I of FIG. 2, and FIG. 9 is an enlarged view showing region B of FIG. 8.
도 8 및 도 9을 참조하면, 제2 기판(112)과 마주보는 제1 기판(111)의 일면 상에는 구동 트랜지스터(TFT), 절연층(115), 제1 전극(120), 발광층(130), 제2 전극(140), 봉지막(160), 컬러필터(170), 버퍼층(150) 및 트렌치(T)가 형성된다.Referring to FIGS. 8 and 9, a driving transistor (TFT), an insulating
도 8 및 도 9에 도시된 표시패널(100)은 트렌치(T), 버퍼층(150) 및 발광층(130)을 제외한 나머지 구성이 도 5 내지 도 7에 도시된 표시패널(100)과 실질적으로 동일하다. 이하에서는 트렌치(T), 버퍼층(150) 및 발광층(130)을 중점적으로 설명하며, 도 5 내지 도 7에 도시된 표시패널(100)과 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 생략하도록 한다.The display panel 100 illustrated in FIGS. 8 and 9 is substantially the same as the display panel 100 illustrated in FIGS. 5 to 7 except for the trench T, the
버퍼층(150)은 제1 전극(120) 상에 형성된다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 상에서 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성된다. 이때, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 접하며, 제1 전극(120)과 동일한 면적을 가지도록 형성될 수 있다. 즉, 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 구비된 버퍼층(150)은 끝단이 제1 전극(120)의 끝단과 동일할 수 있다.The
버퍼층(150)은 비전도성 물질로 이루어지나, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 발광층(130)으로 넘어갈 수 있도록 매우 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 두께가 50Å 미만으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)이 50Å 미만으로 얇게 형성되는 경우, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자는 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다.The
이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 된다. 즉, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있어, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.Accordingly, the area where the upper surface of the
한편, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면 전부에 형성된다. 즉, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리 상에도 형성된다. 제1 전극(120)은 에지 효과(edge effect)로 인하여 가장자리에 전류가 집중될 수 있다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리 상에 형성되어, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다. 이를 위하여, 버퍼층(150)은 10 이상의 두께로 제1 전극(120)의 가장자리 상에 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 10 보다 얇게 형성하게 되면, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하될 수 있다.Meanwhile, the
이러한 버퍼층(150)은 비전도성 물질, 예를 들어, 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.The
트렌치(T)는 절연층(115), 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)에 형성된다. 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)을 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다. 이하에서 트렌치(T)는 설명의 편의를 위하여 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)을 관통하고, 절연층(115)이 파이거나 관통된 부분을 나타낸다.The trench T is formed in the insulating
보다 구체적으로, 트렌치(T)는 제1 전극(120)의 상면으로부터 기판(111)을 향하는 방향으로 형성될 수 있다. 이러한 트렌치(T)는 제1 면(T1), 제2 면(T2) 및 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결하는 제3 면(T3)으로 이루어진다. More specifically, the trench T may be formed in a direction from the top surface of the
트렌치(T)의 제1 면(T1)은 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(151)의 측면(151a), 제1 전극(121)의 측면(121a) 및 절연층(115)의 제1 면(115a)으로 이루어질 수 있다. 트렌치(T)는 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(151)의 측면(151a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 또한, 트렌치(T)는 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 이때, 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)은 측면(121a)이 상면(121b)에 형성된 버퍼층(151)에 의하여 덮이지 않고 트렌치(T)에서 노출될 수 있다.The first surface T1 of the trench T is a side surface 151a of the
트렌치(T)의 제2 면(T2)은 상기 하나의 서브 화소와 인접하게 배치된 다른 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(152)의 측면(152a), 제1 전극(122)의 측면(122a) 및 절연층(115)의 제2 면(115b)으로 이루어질 수 있다. 트렌치(T)는 다른 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(152)의 측면(152a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 또한, 트렌치(T)는 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)의 측면(122a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 이때, 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)은 측면(122a)이 상면(122b)에 형성된 버퍼층(152)에 의하여 덮이지 않고 트렌치(T)에서 노출될 수 있다.The second surface T2 of the trench T is a side surface 152a of the
트렌치(T)의 제3 면(T3)은 제1 면(T1)과 제2 면(T2) 사이에 구비되어, 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결한다. 트렌치(T)의 제3 면(T3)은 일단이 제1 면(T1)과 연결되고, 타단이 제2 면(T2)연결된다. 트렌치(T1)의 제3 면(T3)은 절연층(115)의 제1 면(115a)과 제2 면(115b)을 연결하는 제3 면(115c)으로 이루어질 수 있다.The third surface T3 of the trench T is provided between the first surface T1 and the second surface T2 to connect the first surface T1 and the second surface T2. The third surface T3 of the trench T has one end connected to the first surface T1 and the other end connected to the second surface T2. The third surface T3 of the trench T1 may be formed of a
본 발명의 다른 실시예에 따른 트렌치(T)는 버퍼층(150), 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 형성되는 것을 특징으로 한다. The trench T according to another embodiment of the present invention is characterized in that it is formed by simultaneously etching the
구체적으로, 기판(111) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 형성하고, 절연 물질층 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층을 형성한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성되는 것이 아니라, 복수의 서브 화소들(P1, P2, P3) 전체에 하나로 형성될 수 있다. Specifically, an insulating material layer constituting the insulating
다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층 상에 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층을 형성한다. 이때, 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층은 금속 물질층과 같이 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성되는 것이 아니라, 복수의 서브 화소들(P1, P2, P3) 전체에 하나로 형성될 수 있다.Next, a non-conductive material layer constituting the
다음, 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)가 형성될 수 있다. 이와 함께, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다. 또한, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 구비된 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 상면에 패턴 형성될 수 있다.Next, a trench T may be formed by simultaneously etching a non-conductive material layer constituting the
상술한 바와 같은 공정에 의하여 형성된 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T formed by the above-described process is the
이때, 트렌치(T)는 제1 전극(121, 122, 123)들 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 제1 전극(121)과 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 또한, 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122)과 제3 서브 화소(P3)에 구비된 제1 전극(123) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다.In this case, the trench T may have a width W equal to the separation distance d1 between the
또한, 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 버퍼층(150)들을 서로 이격시키면서, 버퍼층(150)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.In addition, the trench T exposes side surfaces of each of the buffer layers 150 while separating the buffer layers 150 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3 from each other.
이때, 트렌치(T)는 버퍼층(150)들 사이의 이격 거리(d2)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 버퍼층(150)와 제2 서브 화소(P2)에 구비된 버퍼층(150) 사이의 이격 거리(d2)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 또한, 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 버퍼층(150)와 제3 서브 화소(P3)에 구비된 버퍼층(150) 사이의 이격 거리(d2)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다.In this case, the trench T may have a width W equal to the separation distance d2 between the buffer layers 150. Specifically, the trench T provided between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2 is formed in the
트렌치(T)의 폭은 발광층(130)의 두께 및 증착 방식을 고려하여 결정될 수 있다. 발광층(130)이 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)으로 이루어진 경우, 트렌치(T)는 전하 생성층(132)이 트렌치(T)에서 단절되는 동시에 제2 스택(133)의 적어도 일부가 트렌치(T)에서 연결될 수 있는 폭을 가질 수 있다. The width of the trench T may be determined in consideration of the thickness of the
트렌치(T)의 폭(W)이 작게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 전하 생성층(132)이 서로 연결될 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 트렌치(T)가 형성되고, 트렌치(T)에 발광층(130)의 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 차례로 적층될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W1)이 0.09㎛미만으로 작게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 맞닿을 수 있다. 이로 인하여, 제1 스택(131) 상에 적층되는 전하 생성층(132)이 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2)에서 서로 연결되어 인접한 서브 화소(P1, P2)들 간에 누설 전류가 발생할 수 있다. When the width W of the trench T is small, the charge generation layers 132 of adjacent sub-pixels may be connected to each other. Specifically, a trench T is formed between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2, and the
제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않고 이격되도록, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.09㎛ 보다 크게 형성할 수 있다.The
반면, 트렌치(T)의 폭(W)이 크게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 제2 전극(140)이 트렌치(T)에서 서로 연결되지 않고 단절될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W)이 0.20㎛ 보다 크게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)까지 트렌치(T)에 의하여 단절될 수 있다.On the other hand, when the width W of the trench T is formed to be large, the
이때, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제1 면(T1) 상에 형성될 수 있다. 제1 서브 화소(P1)에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a)이 여전히 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 제1 전극(121)의 측면(121a)과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. 또는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 전하 생성층(132a)의 측면이 여전히 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132a)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. In this case, the
제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제2 면(T2) 상에 형성될 수 있다. 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121b)이 여전히 노출되어 있을 수 있으며, 이러한 경우, 제1 전극(121)의 측면(121b)과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. 또는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 전하 생성층(132b)의 측면이 여전히 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132b)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다.The
제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)이 서로 연결될 수 있도록, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.20㎛ 미만으로 형성할 수 있다.In order that the
발광층(130)은 버퍼층(150) 상에 형성된다. 발광층(130)은 백색 광을 발광하는 백색 발광층일 수 있다. 이 경우, 발광층(130)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다.The
발광층(130)은 도 8에 도시된 바와 같이 제1 색의 광을 발광하는 제1 스택(131), 제2 색의 광을 발광하는 제2 스택(133), 및 상기 제1 스택과 제2 스택 사이에 구비된 전하 생성층(132, Charge Generating Layer; CGL)을 포함한다.As shown in FIG. 8, the
제1 스택(131)은 버퍼층(150) 상에 구비된다. 제1 스택(131)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 인접한 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다.The
그리고, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(121)의 측면(121a)을 덮는다. 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(122)의 측면(122a)을 덮는다. 이에 따라, 제1 전극(121, 122)들은 측면(121a, 122a)이 보호되며, 서로 영향을 주지 않을 수 있다. 한편, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다.In addition, the
상술한 바와 같은 제1 스택(131)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The
이러한 제1 스택(131)은 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
전하 생성층(132)은 제1 스택(131) 상에 구비된다. 전하 생성층(132)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132c)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다. 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다. The
상술한 바와 같은 전하 생성층(132)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The
이러한 전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The
제2 스택(133)은 전하 생성층(132) 상에 구비된다. 제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.
서브 화소(P1, P2, P3)들 각각의 전하 생성층(132)은 트렌치(T) 내부에서 서로 단절되므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 전하 생성층(132)을 통해 전하가 이동하기 어렵다.Since the charge generation layers 132 of each of the sub-pixels P1, P2, and P3 are disconnected from each other in the trench T, the
이와 같은 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광층(130)은 누설 전류로 인해 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)가 영향을 받는 것을 최소화할 수 있다.In the
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광층(130)은 별도의 마스크를 사용하지 않고 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들에 일괄 증착될 수 있다.In addition, the
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)이 형성되면서, 트렌치(T) 내부에 에어 갭(Air Gap, AG)이 형성될 수 있다. 발광층(130)의 제1 스택(131)은 버퍼층(150)의 상면에서 트렌치(T)의 측면(T1, T2)으로 꺽이는 곳에서 두껍게 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)의 상면 및 트렌치(T)의 제1 측면(T1)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제1 측면(T1) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 또한 버퍼층(150)의 상면 및 트렌치(T)의 제2 측면(T2)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제2 측면(T2) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 트렌치(T) 내부는 하부에서 상부로 갈수록 좁아지게 되고, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 형성되면서 에어 갭(AG)이 형성될 수 있다.Meanwhile, in the display panel 100 according to another exemplary embodiment of the present invention, while the
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 트렌치(T) 내부에 형성된 에어 갭(AG)을 통해 발광층(130)에서 트렌치(T)로 진행하는 광을 굴절시켜 전방으로 향할 수 있도록 할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)에서 발광된 광이 소실되는 것을 최소화시켜 광 효율을 향상시킬 수 있다. The display panel 100 according to another exemplary embodiment of the present invention refracts light traveling from the
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150), 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하는 것을 특징으로 한다. The display device according to another exemplary embodiment of the present invention is characterized in that the
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150), 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하고, 별도의 뱅크를 형성하지 않는다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 되므로, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.In the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, the
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)가 형성된 영역만이 비발광 영역이 되므로, 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 최소화시킬 수 있다. 더 나아가, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 개구율을 극대화하여 전류 밀도를 최소화시키고 소자 수명을 향상시킬 수 있다.In the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, since only the area in which the trench T is formed becomes the non-emission area, the spacing between the sub-pixels P1, P2, and P3 can be minimized. Furthermore, the display device according to another exemplary embodiment of the present invention maximizes the aperture ratio, thereby minimizing current density and improving device life.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요없으며, 별도의 마스크를 제작할 필요도 없다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, in the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, there is no need for a separate process for patterning the
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요없으며, 별도의 마스크를 제작할 필요도 없다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, in the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, a separate process for forming a pattern of the
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 비전도성 물질로 10Å 내지 50Å로 얇게 형성될 수 있다.In addition, in the display device according to another embodiment of the present invention, the
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면에 얇게 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있다. In the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, the
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면 가장자리에 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the display device according to another embodiment of the present invention, since the
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)에 의하여 발광층(130)의 전하 생성층(132)이 단절될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 줄이더라도 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 형성된 전하 생성층(132)이 서로 연결되지 않으므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 간에 누설 전류가 발생하지 않을 수 있다.In addition, in the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, the
도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이고, 도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 11A to 11H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
먼저, 기판(111) 상에 회로 소자 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다(S901).First, an insulating
보다 구체적으로, 도 11a와 같이 기판(111) 상에 구동 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다.More specifically, as shown in FIG. 11A, a driving thin film transistor TFT is formed on the
그리고 나서, 구동 박막 트랜지스터(TFT) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 유기막, 예를 들어 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수도 있다. 또는 절연층(115)은 적어도 하나의 무기막 및 적어도 하나의 유기막으로 구성된 다중막으로 형성될 수도 있다.Then, the insulating
다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다(S902).Next, a
보다 구체적으로, 도 11b와 같이 절연 물질층(117) 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 컨택홀(CH)을 통해 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 단자 또는 드레인 단자에 접속된다.More specifically, as shown in FIG. 11B, a
제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치(100)가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 표시장치(100)가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다.The
다음, 트렌치(T)를 형성한다(S903).Next, a trench T is formed (S903).
보다 구체적으로, 도 11c와 같이 절연 물질층(117) 및 금속 물질층(125)을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)를 형성한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 제1 전극(120)을 이루는 물질(125) 및 절연층(115)을 한번에 건식 식각하여 트렌치(T)를 형성할 수 있다. 이와 동시에, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다. More specifically, a trench T is formed by simultaneously etching the insulating
트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120)를 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다.The trench T may be formed so as to penetrate the
트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T exposes the side surfaces of each of the
다음, 버퍼층(150)을 형성한다(S904).Next, a
보다 구체적으로, 도 11d와 같이 제1 전극(120) 및 트렌치(T) 상에 버퍼층(150)을 형성한다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)가 구비된 제1 기판(111) 상에서 표시 영역(DA)을 덮도록 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)를 덮도록 형성될 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 11D, the
버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 형성되며, 트렌치(T) 상에도 형성된다. 구체적으로, 트렌치(T)에는 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)이 노출되어 있다. 버퍼층(150)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)에 접하도록 구비된다.The
버퍼층(150)은 비전도성 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.The
버퍼층(150)은 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 50Å미만의 두께로 제1 전극(120)의 상면에 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)이 50Å미만으로 얇게 형성되는 경우, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자는 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다.The
한편, 버퍼층(150)은 10Å이상의 두께로 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 10Å보다 얇게 형성하게 되면, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하될 수 있다.Meanwhile, the
다음, 발광층(130)을 형성한다(S905).Next, the
도 11e와 같이 버퍼층(150) 상에 발광층(130)을 형성한다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150) 상에 제1 스택(131)을 형성한다. 제1 스택(131)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제1 스택(131)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제1 스택(131)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.As shown in FIG. 11E, a
제1 스택(131)은 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조일 수 있다.The
제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The first emission layer EML1 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.
그리고 나서, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132)을 형성한다. 이때, 전하 생성층(132)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.Then, a
전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The
그리고 나서, 전하 생성층(132) 상에 제2 스택(133)을 형성한다. 제2 스택(133)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제2 스택(133)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제2 스택(133)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 서로 연결된다.Then, a
제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.
다음, 제2 전극(140)을 형성한다(S906).Next, the
보다 구체적으로, 도 11f와 같이 발광층(130) 상에 제2 전극(140)을 형성한다. 제2 전극(140)은 스퍼터링법(sputtering)과 같은 물리적 기상 증착법(physics vapor deposition)으로 형성될 수 있다. 또는 제2 전극(140)은 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수도 있다.More specifically, as shown in FIG. 11F, the
제2 전극(140)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 이러한 제2 전극(140)은 캐소드 전극일 수 있다.The
다음, 봉지막(160)을 형성한다(S907).Next, an
보다 구체적으로, 도 11g와 같이 제2 전극(140) 상에 봉지막(160)을 형성한다. 봉지막(160)은 제1 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 봉지막(160)은 제2 무기막을 더 포함할 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 11G, an
제2 전극(140) 상에 제1 무기막을 형성한다. 그리고 나서, 제1 무기막 상에 유기막을 형성한다. 유기막은 이물들(particles)이 제1 무기막을 뚫고 발광층(130)과 제2 전극(140)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 그리고 나서, 유기막 상에 제2 무기막을 형성한다.A first inorganic layer is formed on the
제1 및 제2 무기막들 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 무기막들은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기법 또는 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 증착될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Each of the first and second inorganic layers may be formed of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, or titanium oxide. The first and second inorganic layers may be deposited by a chemical vapor deposition (CVD) technique or an atomic layer deposition (ALD) technique, but the present invention is not limited thereto.
유기막은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다. 유기막는 유기물을 사용하는 기상 증착(vapour deposition), 프린팅(printing), 슬릿 코팅(slit coating) 기법으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 유기막는 잉크젯(ink-jet) 공정으로 형성될 수도 있다.The organic film may be formed of an acrylic resin, an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamide resin, or a polyimide resin. The organic film may be formed by a vapor deposition, printing, or slit coating technique using an organic material, but is not limited thereto, and the organic film may be formed by an ink-jet process. .
다음, 컬러필터(170)를 형성한다(S908).Next, a
보다 구체적으로, 도 11h와 같이 봉지막(160) 상에 컬러필터(170)를 형성한다. 컬러필터(170)는 제1 서브 화소(P1)에 대응되도록 배치된 제1 컬러필터(CF1), 제2 서브 화소(P2)에 대응되도록 배치된 제2 컬러필터(CF2) 및 제3 서브 화소(P3)에 대응되도록 배치된 제3 컬러필터(CF3)를 포함할 수 있다. 제1 컬러필터(CF1)는 적색 광을 투과시키는 적색 컬러필터일 수 있고, 제2 컬러필터(CF2)는 녹색 광을 투과시키는 녹색 컬러필터일 수 있으며, 제3 컬러필터(CF3)는 청색 광을 투과시키는 청색 컬러필터일 수 있다.More specifically, the
도 12은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이고, 도 13a 내지 도 13h는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.12 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 13A to 13H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
먼저, 기판(111) 상에 회로 소자 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다(S1101).First, an insulating
보다 구체적으로, 도 13a와 같이 기판(111) 상에 구동 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다.More specifically, a driving thin film transistor TFT is formed on the
그리고 나서, 구동 박막 트랜지스터(TFT) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 유기막, 예를 들어 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수도 있다. 또는 절연층(115)은 적어도 하나의 무기막 및 적어도 하나의 유기막으로 구성된 다중막으로 형성될 수도 있다.Then, the insulating
다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다(S1102).Next, a
보다 구체적으로, 도 13b와 같이 절연 물질층(117) 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 컨택홀(CH)을 통해 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 단자 또는 드레인 단자에 접속된다.More specifically, as shown in FIG. 13B, a
제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치(100)가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 표시장치(100)가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다.The
다음, 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)을 형성한다(S1103).Next, a
보다 구체적으로, 도 13c와 같이 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125) 상에서 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)을 전면에 증착한다. More specifically, a
버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)은 예를 들어, 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.The
버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)은 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)은 10Å 내지 50Å 미만의 두께로 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125) 상 얇게 형성될 수 있다.The
다음, 트렌치(T)를 형성한다(S1104).Next, a trench T is formed (S1104).
보다 구체적으로, 도 13d와 같이 비전도성 물질층(155), 절연 물질층(117) 및 금속 물질층(125)을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)를 형성한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155), 제1 전극(120)을 이루는 물질(125) 및 절연층(115)을 한번에 건식 식각하여 트렌치(T)를 형성할 수 있다. 이와 동시에, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다. 또한, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다.More specifically, as shown in FIG. 13D, a trench T is formed by simultaneously etching the
트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)을 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다.The trench T may be formed to penetrate the
트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T exposes the side surfaces of each of the
또한, 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 버퍼층(150)들을 서로 이격시키면서, 버퍼층(150)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.In addition, the trench T exposes side surfaces of each of the buffer layers 150 while separating the buffer layers 150 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3 from each other.
다음, 발광층(130)을 형성한다(S1105).Next, the
도 13e와 같이 버퍼층(150) 상에 발광층(130)을 형성한다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150) 상에 제1 스택(131)을 형성한다. 제1 스택(131)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제1 스택(131)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제1 스택(131)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.13E, the
제1 스택(131)은 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조일 수 있다.The
제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The first emission layer EML1 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.
그리고 나서, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132)을 형성한다. 이때, 전하 생성층(132)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.Then, a
전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The
그리고 나서, 전하 생성층(132) 상에 제2 스택(133)을 형성한다. 제2 스택(133)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제2 스택(133)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제2 스택(133)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 서로 연결된다.Then, a
제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.
다음, 제2 전극(140)을 형성한다(S1106).Next, the
보다 구체적으로, 도 13f와 같이 발광층(130) 상에 제2 전극(140)을 형성한다. 제2 전극(140)은 스퍼터링법(sputtering)과 같은 물리적 기상 증착법(physics vapor deposition)으로 형성될 수 있다. 또는 제2 전극(140)은 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수도 있다.More specifically, as shown in FIG. 13F, the
제2 전극(140)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 이러한 제2 전극(140)은 캐소드 전극일 수 있다.The
다음, 봉지막(160)을 형성한다(S1107).Next, an
보다 구체적으로, 도 13g와 같이 제2 전극(140) 상에 봉지막(160)을 형성한다. 봉지막(160)은 제1 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 봉지막(160)은 제2 무기막을 더 포함할 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 13G, an
제2 전극(140) 상에 제1 무기막을 형성한다. 그리고 나서, 제1 무기막 상에 유기막을 형성한다. 유기막은 이물들(particles)이 제1 무기막을 뚫고 발광층(130)과 제2 전극(140)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 그리고 나서, 유기막 상에 제2 무기막을 형성한다.A first inorganic layer is formed on the
제1 및 제2 무기막들 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 무기막들은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기법 또는 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 증착될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Each of the first and second inorganic layers may be formed of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, or titanium oxide. The first and second inorganic layers may be deposited by a chemical vapor deposition (CVD) technique or an atomic layer deposition (ALD) technique, but the present invention is not limited thereto.
유기막은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다. 유기막는 유기물을 사용하는 기상 증착(vapour deposition), 프린팅(printing), 슬릿 코팅(slit coating) 기법으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 유기막는 잉크젯(ink-jet) 공정으로 형성될 수도 있다.The organic film may be formed of an acrylic resin, an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamide resin, or a polyimide resin. The organic film may be formed by a vapor deposition, printing, or slit coating technique using an organic material, but is not limited thereto, and the organic film may be formed by an ink-jet process. .
다음, 컬러필터(170)를 형성한다(S1108).Next, a
보다 구체적으로, 도 13h와 같이 봉지막(160) 상에 컬러필터(170)를 형성한다. 컬러필터(170)는 제1 서브 화소(P1)에 대응되도록 배치된 제1 컬러필터(CF1), 제2 서브 화소(P2)에 대응되도록 배치된 제2 컬러필터(CF2) 및 제3 서브 화소(P3)에 대응되도록 배치된 제3 컬러필터(CF3)를 포함할 수 있다. 제1 컬러필터(CF1)는 적색 광을 투과시키는 적색 컬러필터일 수 있고, 제2 컬러필터(CF2)는 녹색 광을 투과시키는 녹색 컬러필터일 수 있으며, 제3 컬러필터(CF3)는 청색 광을 투과시키는 청색 컬러필터일 수 있다.More specifically, a
도 14a내지 도 14c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치에 관한 것으로서, 이는 헤드 장착형 표시(HMD) 장치에 관한 것이다. 도 14a는 개략적인 사시도이고, 도 14b는 VR(Virtual Reality) 구조의 개략적인 평면도이고, 도 14c는 AR(Augmented Reality) 구조의 개략적인 단면도이다. 14A to 14C relate to a display device according to another embodiment of the present invention, which relates to a head mounted display (HMD) device. 14A is a schematic perspective view, FIG. 14B is a schematic plan view of a virtual reality (VR) structure, and FIG. 14C is a schematic cross-sectional view of an Augmented Reality (AR) structure.
도 14a에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 헤드 장착형 표시 장치는 수납 케이스(10), 및 헤드 장착 밴드(30)를 포함하여 이루어진다.As can be seen from FIG. 14A, the head mounted display device according to the present invention includes a
수납 케이스(10)는 그 내부에 표시 장치, 렌즈 어레이, 및 접안 렌즈 등의 구성을 수납하고 있다. The
헤드 장착 밴드(30)는 수납 케이스(10)에 고정된다. 헤드 장착밴드(30)는 사용자의 머리 상면과 양 측면들을 둘러쌀 수 있도록 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 헤드 장착 밴드(30)는 사용자의 머리에 헤드 장착형 디스플레이를 고정하기 위한 것으로, 안경테 형태 또는 헬멧 형태의 구조물로 대체될 수 있다.The
도 14b에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 VR(Virtual Reality) 구조의 헤드 장착형 표시 장치는 좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11), 렌즈 어레이(13), 및 좌안 접안 렌즈(20a)와 우안 접안 렌즈(20b)를 포함하여 이루어진다. As can be seen from FIG. 14B, the head-mounted display device having a virtual reality (VR) structure according to the present invention includes a left-
좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11), 렌즈 어레이(13), 및 좌안 접안 렌즈(20a)와 우안 접안 렌즈(20b)는 전술한 수납 케이스(10)에 수납된다. The left-
좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11)는 동일한 영상을 표시할 수 있으며, 이 경우 사용자는 2D 영상을 시청할 수 있다. 또는, 좌안용 표시 장치(12)는 좌안 영상을 표시하고 우안용 표시장치(11)는 우안 영상을 표시할 수 있으며, 이 경우 사용자는 입체 영상을 시청할 수 있다. 좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11) 각각은 전술한 도 1 내지 도 9에 따른 표시 장치로 이루어질 수 있다. 이때, 도 1 내지 도 9에서 화상이 표시되는 면에 해당하는 상측 부분, 예로서 컬러필터(170)이 상기 렌즈 어레이(13)와 마주하게 된다. The left-
렌즈 어레이(13)는 좌안 접안 렌즈(20a)와 좌안용 표시 장치(12) 각각과 이격되면서 좌안 접안 렌즈(20a)와 좌안용 표시 장치(12) 사이에 구비될 수 있다. 즉, 렌즈 어레이(13)는 좌안 접안 렌즈(20a)의 전방 및 좌안용 표시 장치(12)의 후방에 위치할 수 있다. 또한, 렌즈 어레이(13)는 우안 접안 렌즈(20b)와 우안용 표시 장치(11) 각각과 이격되면서 우안 접안 렌즈(20b)와 우안용 표시 장치(11) 사이에 구비될 수 있다. 즉, 렌즈 어레이(13)는 우안 접안 렌즈(20b)의 전방 및 우안용 표시 장치(11)의 후방에 위치할 수 있다.The
렌즈 어레이(13)는 마이크로 렌즈 어레이(Micro Lens Array)일 수 있다. 렌즈 어레이(13)는 핀홀 어레이(Pin Hole Array)로 대체될 수 있다. 렌즈 어레이(13)로 인해 좌안용 표시장치(12) 또는 우안용 표시장치(11)에 표시되는 영상은 사용자에게 확대되어 보일 수 있다. The
좌안 접안 렌즈(20a)에는 사용자의 좌안(LE)이 위치하고, 우안 접안 렌즈(20b)에는 사용자의 우안(RE)이 위치할 수 있다. The user's left eye LE may be positioned on the
도 14c에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 AR(Augmented Reality) 구조의 헤드 장착형 표시 장치는 좌안용 표시 장치(12), 렌즈 어레이(13), 좌안 접안 렌즈(20a), 투과 반사부(14), 및 투과창(15)을 포함하여 이루어진다. 도 14c에는 편의상 좌안쪽 구성만을 도시하였으며, 우안쪽 구성도 좌안쪽 구성과 동일하다. As can be seen from FIG. 14C, the head mounted display device having an Augmented Reality (AR) structure according to the present invention includes a left-
좌안용 표시 장치(12), 렌즈 어레이(13), 좌안 접안 렌즈(20a), 투과 반사부(14), 및 투과창(15)은 전술한 수납 케이스(10)에 수납된다. The left-
좌안용 표시 장치(12)는 투과창(15)을 가리지 않으면서 투과 반사부(14)의 일측, 예로서 상측에 배치될 수 있다. 이에 따라서, 좌안용 표시 장치(12)가 투과창(15)을 통해 보이는 외부 배경을 가리지 않으면서 투과 반사부(14)에 영상을 제공할 수 있다. The left
좌안용 표시 장치(12)는 전술한 도 1 내지 도 9에 따른 표시 장치로 이루어질 수 있다. 이때, 도 1 내지 도 9에서 화상이 표시되는 면에 해당하는 상측 부분, 예로서 컬러필터(170)이 투과 반사부(14)와 마주하게 된다. The left
렌즈 어레이(13)는 좌안 접안 렌즈(20a)와 투과반사부(14) 사이에 구비될 수 있다. The
좌안 접안 렌즈(20a)에는 사용자의 좌안이 위치한다. The user's left eye is positioned in the
투과 반사부(14)는 렌즈 어레이(13)와 투과창(15) 사이에 배치된다. 투과 반사부(14)는 광의 일부를 투과시키고, 광의 다른 일부를 반사시키는 반사면(14a)을 포함할 수 있다. 반사면(14a)은 좌안용 표시 장치(12)에 표시된 영상이 렌즈 어레이(13)로 진행하도록 형성된다. 따라서, 사용자는 투과층(15)을 통해서 외부의 배경과 좌안용 표시 장치(12)에 의해 표시되는 영상을 모두 볼 수 있다. 즉, 사용자는 현실의 배경과 가상의 영상을 겹쳐 하나의 영상으로 볼수 있으므로, 증강현실(Augmented Reality, AR)이 구현될 수 있다.The
투과층(15)은 투과 반사부(14)의 전방에 배치되어 있다. The
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. . Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.
10: 표시장치
111: 기판
TFT: 구동 박막 트랜지스터
115: 절연층
120: 제1 전극
130: 발광층
131: 제1 스택
132: 전하 생성층
133: 제2 스택
140: 제2 전극
150: 버퍼층
160: 봉지막
170: 컬러필터10: display device
111: substrate TFT: driving thin film transistor
115: insulating layer 120: first electrode
130: light emitting layer 131: first stack
132: charge generation layer 133: second stack
140: second electrode 150: buffer layer
160: encapsulation layer 170: color filter
Claims (19)
상기 기판 상에서 제1 서브 화소 및 상기 제1 서브 화소에 인접하게 배치된 제2 서브 화소 각각에 구비된 제1 전극;
상기 제1 전극 상에 구비된 버퍼층;
상기 버퍼층 상에 구비된 발광층; 및
상기 발광층 상에 구비된 제2 전극을 포함하는 표시장치.Board;
A first electrode provided in each of a first sub-pixel and a second sub-pixel disposed adjacent to the first sub-pixel on the substrate;
A buffer layer provided on the first electrode;
A light emitting layer provided on the buffer layer; And
A display device including a second electrode provided on the emission layer.
상기 기판과 상기 제1 전극 사이에 구비된 절연층; 및
상기 제1 서브 화소 및 상기 제2 서브 화소 사이에 구비된 트렌치를 더 포함하고,
상기 트렌치는 상기 절연층 및 상기 제1 전극에 형성되는 표시장치.The method of claim 1,
An insulating layer provided between the substrate and the first electrode; And
Further comprising a trench provided between the first sub-pixel and the second sub-pixel,
The trench is formed in the insulating layer and the first electrode.
상기 트렌치는 상기 제1 전극의 상면으로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 형성되는 표시장치.The method of claim 2,
The trench is formed in a direction from an upper surface of the first electrode toward the substrate.
상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극은 서로 이격되고,
상기 트렌치는 상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면을 노출시키도록 형성되는 표시장치.The method of claim 2,
The first electrode provided in the first sub-pixel and the first electrode provided in the second sub-pixel are spaced apart from each other,
The trench is formed to expose a side surface of a first electrode provided in the first sub-pixel and a side surface of a first electrode provided in the second sub-pixel.
상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극과 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 이격 거리는 상기 트렌치의 폭과 동일한 표시장치.The method of claim 4,
A display device wherein a separation distance between a first electrode provided in the first sub-pixel and a first electrode provided in the second sub-pixel is the same as a width of the trench.
상기 버퍼층은 상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극의 상면 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 상면에 접하도록 구비된 표시장치.The method of claim 1,
The buffer layer is provided to contact an upper surface of a first electrode provided in the first sub-pixel and an upper surface of a first electrode provided in the second sub-pixel.
상기 버퍼층은 상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면에 접하도록 구비된 표시장치.The method of claim 1,
The buffer layer is provided to contact a side surface of a first electrode provided in the first sub-pixel and a side surface of a first electrode provided in the second sub-pixel.
상기 버퍼층은 상기 트렌치에서 노출된 절연층 상에 구비된 표시장치.The method of claim 2,
The buffer layer is provided on the insulating layer exposed in the trench.
상기 버퍼층은 비전도성 물질로 이루어진 표시장치.The method of claim 1,
The buffer layer is a display device made of a non-conductive material.
상기 발광층은 제1 스택, 상기 제1 스택 상에 구비된 전하 생성층, 및 상기 전하 생성층 상에 구비된 제2 스택을 포함하고,
상기 전하 생성층은 상기 제1 서브 화소와 상기 제2 서브 화소 사이에서 상기 트렌치에 의하여 단절되는 표시장치.The method of claim 1,
The light emitting layer includes a first stack, a charge generation layer provided on the first stack, and a second stack provided on the charge generation layer,
The charge generation layer is disconnected between the first sub-pixel and the second sub-pixel by the trench.
상기 제2 스택은 상기 제1 서브 화소와 상기 제2 서브 화소 사이에서 서로 연결되는 표시장치.The method of claim 10,
The second stack is connected to each other between the first sub-pixel and the second sub-pixel.
상기 트렌치는 내부에 상기 발광층 및 상기 버퍼층으로 둘러싸인 에어갭이 형성되는 표시장치.The method of claim 2,
An air gap surrounded by the light emitting layer and the buffer layer is formed in the trench.
상기 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계;
상기 금속 물질층 및 상기 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계; 및
상기 제1 전극 및 상기 트렌치 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조 방법.Forming an insulating material layer on the substrate;
Forming a metal material layer on the insulating material layer;
Simultaneously performing an etching process on the metal material layer and the insulating material layer to form a trench, and patterning a first electrode for each sub-pixel; And
And forming a buffer layer on the first electrode and the trench.
상기 버퍼층은 상기 제1 전극의 상면 및 상기 제1 전극의 측면을 덮는 표시장치의 제조방법.The method of claim 13,
The buffer layer is a method of manufacturing a display device covering an upper surface of the first electrode and a side surface of the first electrode.
상기 버퍼층은 비전도성 물질로 이루어진 표시장치.The method of claim 13,
The buffer layer is a display device made of a non-conductive material.
상기 버퍼층 상에 제1 스택을 형성하는 단계;
상기 제1 스택 상에 전하 생성층을 형성하는 단계; 및
상기 전하 생성층 상에 제2 스택을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 전하 생성층은 상기 트렌치에 의하여 단절되는 표시장치의 제조방법.The method of claim 13,
Forming a first stack on the buffer layer;
Forming a charge generation layer on the first stack; And
Further comprising forming a second stack on the charge generation layer,
The method of manufacturing a display device in which the charge generation layer is disconnected by the trench.
상기 제2 스택 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 제2 전극은 상기 트렌치 상에서 연결되는 표시장치의 제조방법.The method of claim 16,
Further comprising forming a second electrode on the second stack,
The second electrode is a method of manufacturing a display device connected to the trench.
상기 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계;
상기 금속 물질 상에 비전도성 물질층을 형성하는 단계; 및
상기 금속 물질층, 상기 비전도성 물질층 및 상기 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극 및 버퍼층을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법.Forming an insulating material layer on the substrate;
Forming a metal material layer on the insulating material layer;
Forming a layer of a non-conductive material on the metallic material; And
And forming a trench by simultaneously performing an etching process on the metal material layer, the non-conductive material layer, and the insulating material layer, and patterning the first electrode and the buffer layer for each sub-pixel.
상기 버퍼층은 상기 제1 전극의 상면에 접하도록 형성된 표시장치의 제조방법.The method of claim 18,
The method of manufacturing a display device in which the buffer layer is formed to contact an upper surface of the first electrode.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190098566A KR102640476B1 (en) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | Display device and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210019675A true KR20210019675A (en) | 2021-02-23 |
KR102640476B1 KR102640476B1 (en) | 2024-02-23 |
Family
ID=74688293
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102640476B1 (en) |
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