KR20210019675A - Display device and method for manufacturing the same - Google Patents

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백승민
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Abstract

The present invention provides a display device capable of minimizing a gap between sub-pixels and maximizing a light emitting area. According to an embodiment of the present invention, the display device comprises: a substrate; a first electrode provided in each of a first sub-pixel and a second sub-pixel disposed adjacent to the first sub-pixel on the substrate; a buffer layer provided on the first electrode; a light emitting layer provided on the buffer layer; and a second electrode provided on the light emitting layer.

Description

표시장치 및 이의 제조방법{DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}Display device and its manufacturing method {DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 영상을 표시하는 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display device that displays an image.

정보화 사회가 발전함에 따라 영상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 따라, 최근에는 액정표시장치(LCD, Liquid Crystal Display), 플라즈마표시장치(PDP, Plasma Display Panel), 퀀텀닷발광 표시장치 (QLED: Quantum dot Light Emitting Display), 유기발광 표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)와 같은 여러 가지 표시장치가 활용되고 있다.As the information society develops, demands for display devices for displaying images are increasing in various forms. Accordingly, recently, a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), a quantum dot light emitting display (QLED), an organic light emitting display (OLED, organic Various display devices such as Light Emitting Display) are being used.

최근에는 이와 같은 표시장치를 포함한 헤드 장착형 디스플레이(head mounted display)가 개발되고 있다. 헤드 장착형 디스플레이(Head Mounted Display, HMD)는 안경이나 헬멧 형태로 착용하여 사용자의 눈앞 가까운 거리에 초점이 형성되는 가상현실(Virtual Reality, VR) 또는 증강현실(Augmented Reality)의 안경형 모니터 장치이다. 이러한 헤드 장착형 디스플레이는 성능 향상을 위하여 화소 간격을 줄이고 발광 영역을 늘리는 것이 중요하다.Recently, a head mounted display including such a display device has been developed. Head Mounted Display (HMD) is a glasses-type monitor device of Virtual Reality (VR) or Augmented Reality in which a focus is formed at a close distance in front of the user's eyes by wearing it in the form of glasses or a helmet. In such a head-mounted display, it is important to reduce the pixel spacing and increase the light emitting area to improve performance.

본 발명은 화소 간격을 줄일 수 있는 표시장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.An object of the present invention is to provide a display device capable of reducing a pixel gap.

본 발명은 발광 영역을 늘릴 수 있는 표시장치를 제공하는 것을 다른 기술적 과제로 한다.Another technical object of the present invention is to provide a display device capable of increasing a light emitting area.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 기판, 기판 상에서 제1 서브 화소 및 제1 서브 화소에 인접하게 배치된 제2 서브 화소 각각에 구비된 제1 전극, 제1 전극 상에 구비된 버퍼층, 버퍼층 상에 구비된 발광층 및 발광층 상에 구비된 제2 전극을 포함한다. A display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a substrate, a first electrode provided on each of a first sub-pixel on the substrate and a second sub-pixel disposed adjacent to the first sub-pixel, a buffer layer provided on the first electrode, And a light emitting layer provided on the buffer layer and a second electrode provided on the light emitting layer.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 기판 상에 절연 물질층을 형성하는 단계, 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계, 금속 물질층 및 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계, 및 제1 전극 및 상기 트렌치 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a display device according to another embodiment of the present invention includes forming an insulating material layer on a substrate, forming a metal material layer on the insulating material layer, and performing an etching process on the metal material layer and the insulating material layer at the same time. And forming a trench by performing a pattern, forming a first electrode pattern for each sub-pixel, and forming a buffer layer on the first electrode and the trench.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법은 기판 상에 절연 물질층을 형성하는 단계, 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계, 금속 물질층 상에 비전도성 물질층을 형성하는 단계, 금속 물질층, 비전도성 물질층 및 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극 및 버퍼층을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계를 포함한다.In another embodiment of the present invention, a method of manufacturing a display device includes forming an insulating material layer on a substrate, forming a metal material layer on the insulating material layer, and forming a non-conductive material layer on the metal material layer. And forming a trench by simultaneously performing an etching process on the metal material layer, the non-conductive material layer, and the insulating material layer, and patterning the first electrode and the buffer layer for each sub-pixel.

본 발명에 따르면, 제1 전극 및 절연층을 동시에 식각하여 트렌치를 형성함으로써, 비발광 영역을 최소화시킬 수 있다. 본 발명은 서브 화소들 사이의 간격을 최소화시킬 수 있다.According to the present invention, by simultaneously etching the first electrode and the insulating layer to form a trench, it is possible to minimize the non-emission area. The present invention can minimize the spacing between sub-pixels.

또한, 본 발명은 제1 전극 상에 비전도성 물질로 이루어진 버퍼층을 형성한다. 본 발명은 버퍼층이 제1 전극의 가장자리에 형성됨으로써, 제1 전극의 가장자리에 집중된 전류에 의하여 발광효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the present invention, a buffer layer made of a non-conductive material is formed on the first electrode. In the present invention, since the buffer layer is formed on the edge of the first electrode, it is possible to prevent the luminous efficiency from being lowered by the current concentrated on the edge of the first electrode.

또한, 본 발명은 제1 전극의 상면에 버퍼층을 얇게 형성함으로써, 버퍼층이 제1 전극의 상면 전체에 형성되더라도 제1 전극의 상면 전체에서 발광이 이루어질 수 있도록 한다. 이에 따라, 본 발명은 제1 전극이 형성된 영역 모두 발광 영역이 되므로, 발광 영역을 극대화시킬 수 있다. 본 발명은 개구율을 극대화하여 전류 밀도를 최소화시키고 소자 수명을 향상시킬 수 있다.In addition, according to the present invention, by forming a thin buffer layer on the upper surface of the first electrode, even if the buffer layer is formed on the entire upper surface of the first electrode, light emission can be made on the entire upper surface of the first electrode. Accordingly, in the present invention, since all regions in which the first electrode is formed become light emitting regions, the light emitting region can be maximized. The present invention can maximize the aperture ratio to minimize current density and improve device life.

또한, 본 발명은 트렌치에 의하여 전하 생성층을 단절시킴으로써, 서브 화소들 사이의 간격을 줄이더라도 인접한 서브 화소 간에 누설 전류가 발생하지 않을 수 있다.In addition, according to the present invention, by disconnecting the charge generation layer by a trench, even if the interval between the sub-pixels is reduced, leakage current may not be generated between adjacent sub-pixels.

또한, 본 발명은 제1 전극을 서브 화소 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요하지 않으며, 별도의 마스크를 제작할 필요가 없다. 이에 따라, 본 발명은 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, according to the present invention, a separate process for forming a pattern of the first electrode for each sub-pixel is not required, and a separate mask is not required. Accordingly, in the present invention, the process is simplified and the process cost can be greatly reduced.

위에서 언급된 본 발명의 효과 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition to the effects of the present invention mentioned above, other features and advantages of the present invention will be described below or will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from such technology and description.

도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 제1 기판을 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 서브 화소의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4은 복수의 서브 화소들의 제1 전극, 버퍼층 및 트렌치를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 5는 도 2의 I-I의 일 예를 보여주는 단면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 복수의 서브 화소들의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 7은 도 5의 A영역을 보여주는 확대도이다.
도 8은 도 2의 I-I의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 9은 도 8의 B영역을 보여주는 확대도이다.
도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 13a 내지 도 13h는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.
도 14a내지 도 14c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치에 관한 것으로서, 이는 헤드 장착형 표시(HMD) 장치에 관한 것이다.
1 is a perspective view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a plan view schematically showing a first substrate.
3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a sub-pixel included in a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a plan view schematically illustrating a first electrode, a buffer layer, and a trench of a plurality of sub-pixels.
5 is a cross-sectional view illustrating an example of II of FIG. 2.
6 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a plurality of sub-pixels included in a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view showing area A of FIG. 5.
8 is a cross-sectional view illustrating another example of II of FIG. 2.
9 is an enlarged view showing area B of FIG. 8.
10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
11A to 11H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
12 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
13A to 13H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
14A to 14C relate to a display device according to another embodiment of the present invention, which relates to a head mounted display (HMD) device.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to examples described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the examples disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these examples are intended to complete the disclosure of the present invention, and to those of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the scope of the invention, and the invention is only defined by the scope of the claims.

본 발명의 예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 발명 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shapes, sizes, ratios, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining examples of the present invention are exemplary, and thus the present invention is not limited to the illustrated matters. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification. In addition, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of related known technologies may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted. When'include','have','consists of' and the like mentioned in the present invention are used, other parts may be added unless'only' is used. In the case of expressing the constituent elements in the singular, it includes the case of including the plural unless specifically stated otherwise.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the constituent elements, it is interpreted as including an error range even if there is no explicit description.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of a description of the positional relationship, for example, if the positional relationship of two parts is described as'upper','upper of','lower of','next to','right' Or, unless'direct' is used, one or more other parts may be located between the two parts.

제 1, 제 2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 구성요소일 수도 있다.First, second, etc. are used to describe various elements, but these elements are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. Accordingly, the first component mentioned below may be a second component within the technical idea of the present invention.

본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In describing the constituent elements of the present invention, terms such as first and second may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, order, or number of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected or connected to that other component, but other components between each component It is to be understood that is "interposed", or that each component may be "connected", "coupled" or "connected" through other components.

본 발명의 여러 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each of the features of the various examples of the present invention can be partially or entirely combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each of the examples can be implemented independently of each other or can be implemented together in an association relationship. .

이하에서는 본 발명에 따른 표시장치의 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다.Hereinafter, an example of a display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to elements of each drawing, the same elements may have the same numerals as possible even if they are indicated on different drawings.

도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 보여주는 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 표시패널(100), 소스 드라이브 집적회로(integrated circuit, 이하 "IC"라 칭함)(210), 연성필름(220), 회로보드(230), 및 타이밍 제어부(240)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a display device according to an embodiment of the present invention includes a display panel 100, a source drive integrated circuit (hereinafter referred to as "IC") 210, a flexible film 220, and a circuit board. (230), and a timing control unit (240).

표시패널(100)은 제1 기판(111)과 제2 기판(112)을 포함한다. 제2 기판(112)은 봉지 기판일 수 있다. The display panel 100 includes a first substrate 111 and a second substrate 112. The second substrate 112 may be an encapsulation substrate.

제2 기판(112)과 마주보는 제1 기판(111)의 일면 상에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성된다. 화소들은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 구조에 의해 정의되는 영역에 마련된다.Gate lines, data lines, and pixels are formed on one surface of the first substrate 111 facing the second substrate 112. The pixels are provided in a region defined by an intersection structure of gate lines and data lines.

화소들 각각은 박막 트랜지스터와 제1 전극, 발광층, 및 제2 전극을 구비하는 발광소자를 포함할 수 있다. 화소들 각각은 박막 트랜지스터를 이용하여 게이트 라인으로부터 게이트 신호가 입력되는 경우 데이터 라인의 데이터 전압에 따라 유기발광소자에 소정의 전류를 공급한다. 이로 인해, 화소들 각각의 유기발광소자는 소정의 전류에 따라 소정의 밝기로 발광할 수 있다. 화소들 각각의 구조에 대한 설명은 도 3 내지 도 9를 결부하여 후술한다.Each of the pixels may include a light emitting device including a thin film transistor, a first electrode, a light emitting layer, and a second electrode. Each of the pixels supplies a predetermined current to the organic light emitting device according to the data voltage of the data line when a gate signal is input from the gate line using the thin film transistor. Accordingly, the organic light emitting device of each of the pixels can emit light with a predetermined brightness according to a predetermined current. A description of the structure of each of the pixels will be described later with reference to FIGS. 3 to 9.

표시패널(100)은 화소들이 형성되어 화상을 표시하는 표시 영역과 화상을 표시하지 않는 비표시 영역으로 구분될 수 있다. 표시영역에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성될 수 있다. 비표시 영역에는 게이트 구동부 및 패드들이 형성될 수 있다.The display panel 100 may be divided into a display area in which pixels are formed to display an image and a non-display area in which an image is not displayed. Gate lines, data lines, and pixels may be formed in the display area. Gate drivers and pads may be formed in the non-display area.

게이트 구동부는 타이밍 제어부(240)로부터 입력되는 게이트 제어신호에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 게이트 구동부는 표시패널(100)의 표시 영역의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비표시 영역에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성될 수 있다. 또는, 게이트 구동부는 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 표시패널(100)의 표시 영역의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비표시 영역에 부착될 수도 있다.The gate driver supplies gate signals to the gate lines according to the gate control signal input from the timing controller 240. The gate driver may be formed in a non-display area outside one or both sides of the display area of the display panel 100 in a GIP (gate driver in panel) method. Alternatively, the gate driver may be fabricated as a driving chip, mounted on a flexible film, and attached to a non-display area outside one or both sides of the display area of the display panel 100 in a TAB (tape automated bonding) method.

소스 드라이브 IC(210)는 타이밍 제어부(240)로부터 디지털 비디오 데이터와 소스 제어신호를 입력받는다. 소스 드라이브 IC(210)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 소스 드라이브 IC(210)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(220)에 실장될 수 있다.The source drive IC 210 receives digital video data and a source control signal from the timing controller 240. The source drive IC 210 converts digital video data into analog data voltages according to a source control signal and supplies them to data lines. When the source drive IC 210 is manufactured as a driving chip, it may be mounted on the flexible film 220 in a chip on film (COF) or chip on plastic (COP) method.

표시패널(100)의 비표시 영역에는 데이터 패드들과 같은 패드들이 형성될 수 있다. 연성필름(220)에는 패드들과 소스 드라이브 IC(210)를 연결하는 배선들, 패드들과 회로보드(160)의 배선들을 연결하는 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(220)은 이방성 도전 필름(antisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(220)의 배선들이 연결될 수 있다.Pads such as data pads may be formed in the non-display area of the display panel 100. Wires connecting the pads and the source drive IC 210 and wires connecting the pads and the wires of the circuit board 160 may be formed on the flexible film 220. The flexible film 220 is attached on the pads using an anisotropic conducting film, whereby the pads and the wires of the flexible film 220 may be connected.

회로보드(230)는 연성필름(220)들에 부착될 수 있다. 회로보드(230)는 구동 칩들로 구현된 다수의 회로들이 실장될 수 있다. 예를 들어, 회로보드(230)에는 타이밍 제어부(240)가 실장될 수 있다. 회로보드(230)는 인쇄회로보드(printed circuit board) 또는 연성 인쇄회로보드(flexible printed circuit board)일 수 있다.The circuit board 230 may be attached to the flexible films 220. The circuit board 230 may be mounted with a plurality of circuits implemented with driving chips. For example, the timing controller 240 may be mounted on the circuit board 230. The circuit board 230 may be a printed circuit board or a flexible printed circuit board.

타이밍 제어부(240)는 회로보드(230)의 케이블을 통해 외부의 시스템 보드로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력받는다. 타이밍 제어부(240)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 소스 드라이브 IC(210)들을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 타이밍 제어부(240)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부에 공급하고, 소스 제어신호를 소스 드라이브 IC(210)들에 공급한다.The timing controller 240 receives digital video data and a timing signal from an external system board through a cable of the circuit board 230. The timing controller 240 generates a gate control signal for controlling the operation timing of the gate driver and a source control signal for controlling the source driver ICs 210 based on the timing signal. The timing controller 240 supplies a gate control signal to the gate driver and supplies a source control signal to the source drive ICs 210.

도 2는 제1 기판을 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 서브 화소의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.2 is a plan view schematically illustrating a first substrate, and FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a sub-pixel included in a display device according to an exemplary embodiment.

도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 기판(111)은 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)으로 구분되며, 비표시 영역(NDA)에는 패드들이 형성되는 패드 영역(PA)이 형성될 수 있다.2 and 3, the first substrate 111 is divided into a display area DA and a non-display area NDA, and a pad area PA in which pads are formed is formed in the non-display area NDA. Can be.

표시 영역(DA)에는 데이터 라인들, 데이터 라인들과 교차되는 게이트 라인들이 형성된다. 또한, 표시 영역(DA)에는 데이터 라인들과 게이트 라인들의 교차 영역에 매트릭스 형태로 화상을 표시하는 화소(P)들이 형성된다.Data lines and gate lines crossing the data lines are formed in the display area DA. Further, in the display area DA, pixels P that display an image in a matrix form are formed in a crossing area between the data lines and the gate lines.

화소(P)들 각각은 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들을 포함할 수 있다. 각 서브 화소(P1, P2, P3)는 도 3에 도시된 바와 같이 제1 전극(120), 제2 전극(140), 제1 전극(120)과 제2 전극(140) 사이에 구비된 발광층(130)을 포함한다. 각 서브 화소(P1, P2, P3)는 제1 전극(120) 및 제2 전극(140) 각각에 전압이 인가되면, 제1 전극(120)과 제2 전극(140) 사이에 구비된 발광층(130)이 소정의 밝기로 발광할 수 있다. 발광층(130)의 구성에 대한 설명은 도 6을 결부하여 후술한다.Each of the pixels P may include a plurality of sub-pixels P1, P2, and P3. Each sub-pixel (P1, P2, P3) is a light emitting layer provided between the first electrode 120, the second electrode 140, the first electrode 120 and the second electrode 140, as shown in FIG. It includes (130). When a voltage is applied to each of the first and second electrodes 120 and 140 of each of the sub-pixels P1, P2, and P3, a light emitting layer provided between the first electrode 120 and the second electrode 140 ( 130) may emit light with a predetermined brightness. A description of the configuration of the light emitting layer 130 will be described later with reference to FIG. 6.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치에 포함된 서브 화소(P1, P2, P3)는 도 3에 도시된 바와 같이 제1 전극(120)과 발광층(130) 사이에 버퍼층(150)을 포함한다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 형성되며, 비전도성 물질로 이루어질 수 있다. 이러한 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면 전체에서 발광이 이루어질 수 있도록 하는 동시에 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류에 의하여 발광효율이 저하되는 것을 방지하는 역할을 한다.Meanwhile, the sub-pixels P1, P2, and P3 included in the display device according to the exemplary embodiment of the present invention include a buffer layer 150 between the first electrode 120 and the emission layer 130 as shown in FIG. 3. Include. The buffer layer 150 is formed on the upper surface of the first electrode 120 and may be made of a non-conductive material. The buffer layer 150 serves to emit light from the entire top surface of the first electrode 120 and prevents a decrease in luminous efficiency due to a current concentrated at the edge of the first electrode 120.

이하에서는 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들의 구조를 보다 상세히 살펴본다.Hereinafter, structures of a plurality of sub-pixels P1, P2, and P3 according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 4 to 7.

도 4는 복수의 서브 화소들의 제1 전극, 버퍼층 및 트렌치를 개략적으로 보여주는 평면도이며, 도 5는 도 4의 I-I의 일 예를 보여주는 단면도이다. 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 포함된 복수의 서브 화소들의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 7은 도 5의 A영역을 보여주는 확대도이다.4 is a plan view schematically illustrating a first electrode, a buffer layer, and a trench of a plurality of sub-pixels, and FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an example of I-I of FIG. 4. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a plurality of sub-pixels included in a display device according to an exemplary embodiment, and FIG. 7 is an enlarged view illustrating a region A of FIG. 5.

화소(P)들 각각은 제1 서브 화소(P1), 제2 서브 화소(P2) 및 제3 서브 화소(P3)를 포함할 수 있다. 제1 서브 화소(P1)는 적색 광을 방출하고, 제2 서브 화소(P2)는 녹색 광을 방출하고, 제3 서브 화소(P3)는 청색 광을 방출하도록 구비될 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 화소들 각각은 백색(W)의 광을 발광하는 제4 서브 화소가 더 구비될 수 있다. 또한, 각각의 서브 화소(P1, P2, P3)의 배열 순서는 다양하게 변경될 수 있다.Each of the pixels P may include a first sub-pixel P1, a second sub-pixel P2, and a third sub-pixel P3. The first sub-pixel P1 may be provided to emit red light, the second sub-pixel P2 to emit green light, and the third sub-pixel P3 to emit blue light, but is limited thereto. It is not. Each of the pixels may further include a fourth sub-pixel that emits white (W) light. In addition, the arrangement order of each of the sub-pixels P1, P2, and P3 may be variously changed.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 제2 기판(112)과 마주보는 제1 기판(111)의 일면 상에는 구동 트랜지스터(TFT), 절연층(115), 제1 전극(120), 발광층(130), 제2 전극(140), 봉지막(160), 컬러필터(170), 버퍼층(150) 및 트렌치(T)가 형성된다.4 to 7, a driving transistor (TFT), an insulating layer 115, a first electrode 120, and a light emitting layer 130 are provided on one surface of the first substrate 111 facing the second substrate 112. , The second electrode 140, the encapsulation layer 160, the color filter 170, the buffer layer 150, and the trench T are formed.

제1 기판(111)은 유리 또는 플라스틱으로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체 물질로 이루어질 수도 있다. 제1 기판(111)은 투명한 재료로 이루어질 수도 있고 불투명한 재료로 이루어질 수도 있다.The first substrate 111 may be made of glass or plastic, but is not limited thereto, and may be made of a semiconductor material such as a silicon wafer. The first substrate 111 may be made of a transparent material or an opaque material.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 발광된 광이 상부쪽으로 방출되는 상부 발광(top emission) 방식으로 이루질 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치가 발광된 광이 상부쪽으로 방출되는 상부 발광(top emission) 방식으로 이루어지는 경우, 제1 기판(111)은 투명한 재료뿐만 아니라 불투명한 재료가 이용될 수도 있다. 한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 발광된 광이 하부쪽으로 방출되는 소위 하부 발광(bottom emission) 방식으로 이루어지는 경우, 제1 기판(111)은 투명한 재료가 이용될 수 있다.The display device according to the exemplary embodiment of the present invention may be formed in a top emission method in which emitted light is emitted upward, but is not limited thereto. When the display device according to an exemplary embodiment of the present invention is configured in a top emission method in which emitted light is emitted upward, the first substrate 111 may be formed of a transparent material as well as an opaque material. Meanwhile, when the display device according to the exemplary embodiment of the present invention is formed in a so-called bottom emission method in which emitted light is emitted downward, a transparent material may be used for the first substrate 111.

제1 기판(111) 상에는 각종 신호 배선들, 박막 트랜지스터, 및 커패시터 등을 포함하는 회로 소자가 화소(P1, P2, P3) 별로 형성된다. 상기 신호 배선들은 게이트 배선, 데이터 배선, 전원 배선, 및 기준 배선을 포함하여 이루어질 수 있고, 상기 박막 트랜지스터는 스위칭 박막 트랜지스터, 구동 트랜지스터(TFT) 및 센싱 박막 트랜지스터를 포함하여 이루어질 수 있다.Circuit elements including various signal lines, thin film transistors, capacitors, and the like are formed on the first substrate 111 for each of the pixels P1, P2, and P3. The signal lines may include a gate line, a data line, a power line, and a reference line, and the thin film transistor may include a switching thin film transistor, a driving transistor (TFT), and a sensing thin film transistor.

상기 스위칭 박막 트랜지스터는 상기 게이트 배선에 공급되는 게이트 신호에 따라 스위칭되어 상기 데이터 배선으로부터 공급되는 데이터 전압을 상기 구동 박막 트랜지스터에 공급하는 역할을 한다. The switching thin film transistor is switched according to a gate signal supplied to the gate line and serves to supply a data voltage supplied from the data line to the driving thin film transistor.

구동 트랜지스터(TFT)는 상기 스위칭 박막 트랜지스터로부터 공급되는 데이터 전압에 따라 스위칭되어 상기 전원 배선에서 공급되는 전원으로부터 데이터 전류를 생성하여 제1 전극(120)에 공급하는 역할을 한다. The driving transistor TFT is switched according to the data voltage supplied from the switching thin film transistor to generate a data current from power supplied from the power line and supply it to the first electrode 120.

상기 센싱 박막 트랜지스터는 화질 저하의 원인이 되는 상기 구동 박막 트랜지스터의 문턱 전압 편차를 센싱하는 역할을 하는 것으로서, 상기 게이트 배선 또는 별도의 센싱 배선에서 공급되는 센싱 제어 신호에 응답하여 상기 구동 박막 트랜지스터의 전류를 상기 기준 배선으로 공급한다. The sensing thin film transistor serves to sense a threshold voltage variation of the driving thin film transistor that causes image quality deterioration, and the current of the driving thin film transistor in response to a sensing control signal supplied from the gate wire or a separate sensing wire. Is supplied to the reference wiring.

상기 커패시터는 구동 트랜지스터(TFT)에 공급되는 데이터 전압을 한 프레임 동안 유지시키는 역할을 하는 것으로서, 구동 트랜지스터(TFT)의 게이트 단자 및 소스 단자에 각각 연결된다.The capacitor serves to maintain the data voltage supplied to the driving transistor TFT for one frame, and is connected to the gate terminal and the source terminal of the driving transistor TFT, respectively.

절연층(115)은 구동 트랜지스터(TFT)를 포함한 회로 소자 상에 형성된다. 절연층(115)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 절연층(115)은 유기막, 예를 들어 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수도 있다. 또는 절연층(115)은 적어도 하나의 무기막 및 적어도 하나의 유기막으로 구성된 다중막으로 형성될 수도 있다.The insulating layer 115 is formed on a circuit device including a driving transistor TFT. The insulating layer 115 may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or multiple layers thereof, but is not limited thereto. The insulating layer 115 is formed of an organic film, for example, an acrylic resin, an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamide resin, a polyimide resin, or the like. It can also be formed. Alternatively, the insulating layer 115 may be formed as a multilayer composed of at least one inorganic film and at least one organic film.

제1 전극(120)은 절연층(115) 상에서 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성된다. 제1 서브 화소(P1)에 하나의 제1 전극(121)이 형성되고, 제2 서브 화소(P2)에 다른 하나의 제1 전극(122)이 형성되고, 제3 서브 화소(P3)에 또 다른 하나의 제1 전극(123)이 형성된다.The first electrode 120 is patterned for each of the sub-pixels P1, P2, and P3 on the insulating layer 115. One first electrode 121 is formed in the first sub-pixel P1, the other first electrode 122 is formed in the second sub-pixel P2, and another first electrode 122 is formed in the third sub-pixel P3. Another first electrode 123 is formed.

제1 전극(120)은 구동 트랜지스터(TFT)와 연결된다. 구체적으로, 제1 전극(120)은 절연층(115)을 관통하는 컨택홀(CH)을 통해 구동 트랜지스터(TFT)의 소스 단자 또는 드레인 단자에 접속되어, 광을 발광시키기 위한 전압이 인가된다.The first electrode 120 is connected to the driving transistor TFT. Specifically, the first electrode 120 is connected to the source terminal or the drain terminal of the driving transistor TFT through the contact hole CH penetrating the insulating layer 115, and a voltage for emitting light is applied.

제1 전극(120)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 및 반사율이 높은 금속물질 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다. The first electrode 120 may be formed of at least one of a transparent metal material, a transflective metal material, and a metal material having a high reflectivity.

표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)은 반사율이 높은 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질과 투명한 금속물질의 적층 구조로 이루어질 수 있다. 예컨대, 제1 전극(120)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. When the display device is made of a top emission type, the first electrode 120 may be formed of a metal material having a high reflectivity or a stacked structure of a metal material having a high reflectivity and a transparent metal material. For example, the first electrode 120 is a laminated structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), a laminated structure of aluminum and ITO (ITO/Al/ITO), an Ag alloy, and a laminated structure of Ag alloy and ITO (ITO /Ag alloy/ITO) can be formed of a highly reflective metal material. The Ag alloy may be an alloy such as silver (Ag), palladium (Pd), and copper (Cu).

표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 이러한 제1 전극(120)은 애노드 전극일 수 있다.When the display device is made of a bottom emission type, the first electrode 120 may be a transparent metallic material such as ITO or IZO, or magnesium (Mg), silver (Ag), or Alternatively, it may be formed of a semi-transmissive conductive material such as an alloy of magnesium (Mg) and silver (Ag). The first electrode 120 may be an anode electrode.

트렌치(T)는 절연층(115) 및 제1 전극(120)에 형성된다. 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120)을 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다. 이하에서 트렌치(T)는 설명의 편의를 위하여 제1 전극(120)을 관통하고, 절연층(115)이 파이거나 관통된 부분을 나타낸다.The trench T is formed in the insulating layer 115 and the first electrode 120. The trench T may be formed so as to penetrate the first electrode 120 between the sub-pixels P1, P2, and P3, and a part of the insulating layer 115 to be recessed, but is not limited thereto. The trench T may also be formed to penetrate the insulating layer 115. Hereinafter, for convenience of description, the trench T penetrates the first electrode 120 and represents a portion where the insulating layer 115 is cut or penetrated.

보다 구체적으로, 트렌치(T)는 제1 전극(120)의 상면으로부터 기판(111)을 향하는 방향으로 형성될 수 있다. 이러한 트렌치(T)는 제1 면(T1), 제2 면(T2) 및 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결하는 제3 면(T3)으로 이루어진다. More specifically, the trench T may be formed in a direction from the top surface of the first electrode 120 toward the substrate 111. The trench T includes a first surface T1, a second surface T2, and a third surface T3 connecting the first surface T1 and the second surface T2.

트렌치(T)의 제1 면(T1)은 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a) 및 절연층(115)의 제1 면(115a)으로 이루어질 수 있다. 또한, 트렌치(T)는 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. The first surface T1 of the trench T may be formed of a side surface 121a of the first electrode 121 provided in one sub-pixel and a first surface 115a of the insulating layer 115. Further, the trench T may be formed to expose the side surface 121a of the first electrode 121 provided in one sub-pixel.

트렌치(T)의 제2 면(T2)은 상기 하나의 서브 화소와 인접하게 배치된 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)의 측면(122a) 및 절연층(115)의 제2 면(115b)으로 이루어질 수 있다. 트렌치(T)는 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)의 측면(122a)을 노출시키도록 형성될 수 있다.The second surface T2 of the trench T is a side surface 122a of the first electrode 122 provided in another sub-pixel disposed adjacent to the one sub-pixel, and a second surface of the insulating layer 115. It may be made of a surface (115b). The trench T may be formed to expose the side surface 122a of the first electrode 122 provided in the other sub-pixel.

트렌치(T)의 제3 면(T3)은 제1 면(T1)과 제2 면(T2) 사이에 구비되어, 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결한다. 트렌치(T)의 제3 면(T3)은 일단이 제1 면(T1)과 연결되고, 타단이 제2 면(T2)연결된다. 트렌치(T1)의 제3 면(T3)은 절연층(115)의 제1 면(115a)과 제2 면(115b)을 연결하는 제3 면(115c)으로 이루어질 수 있다.The third surface T3 of the trench T is provided between the first surface T1 and the second surface T2 to connect the first surface T1 and the second surface T2. The third surface T3 of the trench T has one end connected to the first surface T1 and the other end connected to the second surface T2. The third surface T3 of the trench T1 may be formed of a third surface 115c connecting the first surface 115a and the second surface 115b of the insulating layer 115.

본 발명의 일 실시예에 따른 트렌치(T)는 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 형성되는 것을 특징으로 한다. The trench T according to an embodiment of the present invention is characterized in that it is formed by simultaneously etching the first electrode 120 and the insulating layer 115.

구체적으로, 기판(111) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 형성하고, 절연 물질층 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층을 형성한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성되는 것이 아니라, 복수의 서브 화소들(P1, P2, P3) 전체에 하나로 형성될 수 있다. Specifically, an insulating material layer constituting the insulating layer 115 is formed on the substrate 111, and a metal material layer constituting the first electrode 120 is formed on the insulating material layer. In this case, the metal material layer forming the first electrode 120 may not be patterned for each of the sub-pixels P1, P2, and P3, but may be formed as one of the plurality of sub-pixels P1, P2, and P3.

다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)가 형성될 수 있다. 이와 함께, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다.Next, the trench T may be formed by simultaneously etching the metal material layer forming the first electrode 120 and the insulating material layer forming the insulating layer 115. In addition, the first electrodes 121, 122, and 123 may be patterned for each of the sub-pixels P1, P2, and P3.

상술한 바와 같은 공정에 의하여 형성된 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T formed by the above-described process is the first electrodes 121, 122, and 123 spaced apart from the first electrodes 121, 122, and 123 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3. Each side of the field is exposed.

이때, 트렌치(T)는 제1 전극(121, 122, 123)들 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 제1 전극(121)과 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 또한, 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122)과 제3 서브 화소(P3)에 구비된 제1 전극(123) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다.In this case, the trench T may have a width W equal to the separation distance d1 between the first electrodes 121, 122, and 123. Specifically, the trench T provided between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2 is the first electrode 121 and the second sub-pixel P2 provided in the first sub-pixel P1. ) May have the same width W as the separation distance d1 between the first electrodes 122. In addition, the trench T provided between the second sub-pixel P2 and the third sub-pixel P3 is the first electrode 122 and the third sub-pixel P3 provided in the second sub-pixel P2. It may have the same width W as the separation distance d1 between the first electrodes 123 provided in the.

트렌치(T)의 폭은 발광층(130)의 두께 및 증착 방식을 고려하여 결정될 수 있다. 발광층(130)이 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)으로 이루어진 경우, 트렌치(T)는 전하 생성층(132)이 트렌치(T)에서 단절되는 동시에 제2 스택(133)의 적어도 일부가 트렌치(T)에서 연결될 수 있는 폭을 가질 수 있다. The width of the trench T may be determined in consideration of the thickness of the emission layer 130 and a deposition method. When the emission layer 130 is formed of the first stack 131, the charge generation layer 132, and the second stack 133, the trench T is removed at the same time that the charge generation layer 132 is disconnected from the trench T. 2 At least a portion of the stack 133 may have a width that can be connected in the trench T.

트렌치(T)의 폭(W)이 작게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 전하 생성층(132)이 서로 연결될 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 트렌치(T)가 형성되고, 트렌치(T)에 발광층(130)의 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 차례로 적층될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W1)이 0.09㎛미만으로 작게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 맞닿을 수 있다. 이로 인하여, 제1 스택(131) 상에 적층되는 전하 생성층(132)이 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2)에서 서로 연결되어 인접한 서브 화소(P1, P2)들 간에 누설 전류가 발생할 수 있다. When the width W of the trench T is small, the charge generation layers 132 of adjacent sub-pixels may be connected to each other. Specifically, a trench T is formed between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2, and the first stack 131 of the emission layer 130 and the charge generation layer 132 are formed in the trench T. ) And the second stack 133 may be sequentially stacked. For example, when the width W1 of the trench T is formed to be less than 0.09 μm, the first stack 131a stacked on the first sub-pixel P1 and the first stacked stacked on the second sub-pixel P2 One stack 131b may abut each other at the top of the trench T. Accordingly, the charge generation layer 132 stacked on the first stack 131 is connected to each other in the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2 to leak between adjacent sub-pixels P1 and P2. Current can be generated.

제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않고 이격되도록, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.09㎛ 보다 크게 형성할 수 있다.The first stack 131a stacked on the first sub-pixel P1 and the first stack 131b stacked on the second sub-pixel P2 are not connected to each other above the trench T, but are spaced apart from each other. In the display device according to an exemplary embodiment, the width W of the trench T may be formed to be greater than 0.09 μm.

반면, 트렌치(T)의 폭(W)이 크게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 제2 전극(140)이 트렌치(T)에서 서로 연결되지 않고 단절될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W)이 0.20㎛ 보다 크게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)까지 트렌치(T)에 의하여 단절될 수 있다.On the other hand, when the width W of the trench T is formed to be large, the second electrodes 140 of adjacent sub-pixels may be disconnected without being connected to each other in the trench T. For example, when the width W of the trench T is larger than 0.20 μm, the second electrode 140 stacked on the first sub-pixel P1 and the second electrode 140 stacked on the second sub-pixel P2 The electrode 140 may be disconnected by the trench T.

이때, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제1 면(T1) 상에 형성될 수 있다. 제1 서브 화소(P1)에 구비된 전하 생성층(132a)의 측면이 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132a)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. In this case, the second electrode 140 stacked on the first sub-pixel P1 may be formed on the first surface T1 of the trench T. The side surface of the charge generation layer 132a provided in the first sub-pixel P1 may be exposed, and in this case, the side surface of the charge generation layer 132a and the second electrode 140 contact each other, resulting in a short circuit (short). Can occur.

제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제2 면(T2) 상에 형성될 수 있다. 제2 서브 화소(P2)에 구비된 전하 생성층(132b)의 측면이 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132b)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다.The second electrode 140 stacked on the second sub-pixel P2 may be formed on the second surface T2 of the trench T. The side surface of the charge generation layer 132b provided in the second sub-pixel P2 may be exposed. In this case, the side surface of the charge generation layer 132b and the second electrode 140 contact each other, resulting in a short circuit (short). Can occur.

제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)이 서로 연결될 수 있도록, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.20㎛ 미만으로 형성할 수 있다.In order that the second electrode 140 stacked on the first sub-pixel P1 and the second electrode 140 stacked on the second sub-pixel P2 can be connected to each other, the display device according to the exemplary embodiment of the present invention is The width W of the trench T may be less than 0.20 μm.

버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T) 상에 형성된다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)가 구비된 제1 기판(111) 상에서 표시 영역(DA)을 덮도록 형성된다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)를 덮도록 형성된다.The buffer layer 150 is formed on the first electrode 120 and the trench T. More specifically, the buffer layer 150 is formed to cover the display area DA on the first substrate 111 provided with the first electrode 120 and the trench T. The buffer layer 150 is formed to cover the first electrode 120 and the trench T.

버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 접하도록 구비된다. 이때, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면의 전부에 구비된다. 버퍼층(150)은 비전도성 물질로 이루어지나, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 발광층(130)으로 넘어갈 수 있도록 매우 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 두께가 50Å 미만으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)이 50Å 미만으로 얇게 형성되는 경우, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자는 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다.The buffer layer 150 is provided to contact the upper surface of the first electrode 120. In this case, the buffer layer 150 is provided on the entire upper surface of the first electrode 120. The buffer layer 150 is made of a non-conductive material, but may be formed very thin so that holes or electrons of the first electrode 120 can pass to the emission layer 130. The buffer layer 150 may be formed to have a thickness of less than 50 Å. When the buffer layer 150 is formed to be thinner than 50 Å, holes or electrons of the first electrode 120 may pass to the emission layer 130 by tunneling.

이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있어, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.Accordingly, the area where the upper surface of the first electrode 120 and the buffer layer 150 are in contact with each other becomes the light emitting area EA. That is, in the display panel 100 according to an exemplary embodiment of the present invention, since all regions in which the first electrode 120 is formed may be the emission area EA, the emission area EA may be maximized.

버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면뿐만 아니라 트렌치(T) 상에도 구비된다. 구체적으로, 트렌치(T)에는 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)이 노출되어 있다. 버퍼층(150)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)에 접하도록 구비된다.The buffer layer 150 is provided on the trench T as well as the upper surface of the first electrode 120. Specifically, a side surface of the first electrode 120 and a first surface 115a, a second surface 115b, and a third surface 115c of the insulating layer 115 are exposed in the trench T. The buffer layer 150 is in contact with the side surface of the first electrode 120 exposed in the trench T and the first surface 115a, the second surface 115b, and the third surface 115c of the insulating layer 115. It is equipped.

버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 측면에 접하도록 구비되어, 제1 전극(120)의 측면을 보호한다. 제1 전극(120)은 측면이 버퍼층(150)에 의하여 덮이므로, 발광층(130)의 전하 생성층(132)과 접하지 않을 수 있다. 이에 따라, 전하 생성층(132)과 제1 전극(120)이 합선되는 것을 방지할 수 있다.The buffer layer 150 is provided to contact the side surface of the first electrode 120 to protect the side surface of the first electrode 120. Since the side of the first electrode 120 is covered by the buffer layer 150, it may not come into contact with the charge generation layer 132 of the emission layer 130. Accordingly, it is possible to prevent a short circuit between the charge generation layer 132 and the first electrode 120.

한편, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면 상에서부터 제1 전극(120)의 측면 상까지 연장되어 형성된다. 즉, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성된다. 제1 전극(120)은 에지 효과(edge effect)로 인하여 가장자리에 전류가 집중될 수 있다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다. 이를 위하여, 버퍼층(150)은 10Å 이상의 두께로 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 10Å 보다 얇게 형성하게 되면, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하될 수 있다.Meanwhile, the buffer layer 150 is formed to extend from the top surface of the first electrode 120 to the side surface of the first electrode 120. That is, the buffer layer 150 is formed to cover the edge of the first electrode 120. Current may be concentrated at the edge of the first electrode 120 due to an edge effect. The buffer layer 150 may prevent the current concentrated at the edge of the first electrode 120 from being transmitted to the emission layer 130 as it is. To this end, the buffer layer 150 may be formed to cover the edge of the first electrode 120 with a thickness of 10 Å or more. When the buffer layer 150 is formed to be thinner than 10 Å, the current concentrated at the edge of the first electrode 120 is transferred to the light emitting layer 130 as it is, thereby reducing luminous efficiency.

한편, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 구비된 제1 전극(121, 122, 123)들뿐만 아니라, 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에 구비된 트렌치(T) 상에도 구비된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 버퍼층(150)을 전면에 형성함으로써, 버퍼층(150)을 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 추가되거나 별도의 마스크를 제작할 필요가 없다. Meanwhile, the buffer layer 150 includes not only the first electrodes 121, 122, and 123 provided in each of the sub-pixels P1, P2, and P3, but also a trench provided between the sub-pixels P1, P2, and P3. It is also provided on (T). In the display panel 100 according to the exemplary embodiment of the present invention, since the buffer layer 150 is formed on the entire surface, there is no need to add a separate process for forming the buffer layer 150 or to manufacture a separate mask.

한편, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서도 연결되므로, 비전도성 물질로 이루어져야 한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 버퍼층(150)을 비전도성 물질로 형성함으로써, 버퍼층(150)이 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 연결되더라도 누설 전류가 발생하지 않는다.Meanwhile, since the buffer layer 150 is also connected between the sub-pixels P1, P2, and P3, it must be made of a non-conductive material. In the display panel 100 according to an embodiment of the present invention, since the buffer layer 150 is formed of a non-conductive material, leakage current does not occur even when the buffer layer 150 is connected between the sub-pixels P1, P2, and P3. Does not.

예를 들어, 버퍼층(150)은 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.For example, the buffer layer 150 is aluminum oxide (Al 2 O x ), zinc oxide (ZnO), silicon oxide film (SiOx), silicon nitride film (SiNx), silicon oxynitride film (SiON), monomer, polyimide It can be formed of a resin (polyimide resin) or the like.

발광층(130)은 버퍼층(150) 상에 형성된다. 발광층(130)은 백색 광을 발광하는 백색 발광층일 수 있다. 이 경우, 발광층(130)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다.The emission layer 130 is formed on the buffer layer 150. The emission layer 130 may be a white emission layer that emits white light. In this case, the emission layer 130 may be a common layer commonly formed in the sub-pixels P1, P2, and P3.

발광층(130)은 도 5에 도시된 바와 같이 제1 색의 광을 발광하는 제1 스택(131), 제2 색의 광을 발광하는 제2 스택(133), 및 상기 제1 스택과 제2 스택 사이에 구비된 전하 생성층(132, Charge Generating Layer; CGL)을 포함한다.As shown in FIG. 5, the emission layer 130 includes a first stack 131 emitting light of a first color, a second stack 133 emitting light of a second color, and the first stack and the second stack. And a charge generating layer 132 (CGL) provided between the stacks.

제1 스택(131)은 버퍼층(150) 상에 구비된다. 제1 스택(131)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 인접한 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다. 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다.The first stack 131 is provided on the buffer layer 150. The first stack 131 includes a first stack 131a formed in the first sub-pixel P1 and a first stack 131b formed in the adjacent second sub-pixel P2. At this time, the first stack 131a formed in the first sub-pixel P1 and the first stack 131b formed in the second sub-pixel P2 have a step difference of the trench T as shown in FIGS. 5 and 7. They are disconnected from each other. The first stack 131a formed in the first sub-pixel P1 and the first stack 131b formed in the second sub-pixel P2 are not connected to each other above the trench T.

상술한 바와 같은 제1 스택(131)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The first stack 131 as described above includes the second sub-pixel P2, the third sub-pixel P3, and the trench T provided between the second sub-pixel P2 and the third sub-pixel P3. It can be formed in the same way.

이러한 제1 스택(131)은 도 6에 도시된 바와 같이 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.As shown in FIG. 6, the first stack 131 includes a hole injection layer (HIL), a hole transporting layer (HTL), and a first emitting layer emitting light of a first color. ; EML1), and an electron transporting layer (ETL) may be sequentially stacked, but are not limited thereto. The first emission layer EML1 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

전하 생성층(132)은 제1 스택(131) 상에 구비된다. 전하 생성층(132)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132c)은 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다. 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다. The charge generation layer 132 is provided on the first stack 131. The charge generation layer 132 includes a charge generation layer 132a formed in the first sub-pixel P1 and a charge generation layer 132b formed in the second sub-pixel P2. At this time, the charge generation layer 132a formed in the first sub-pixel P1 and the charge generation layer 132c formed in the second sub-pixel P2 have a step difference of the trench T as shown in FIGS. 5 and 7. They are disconnected from each other. The charge generation layer 132a formed in the first sub-pixel P1 and the charge generation layer 132b formed in the second sub-pixel P2 are not connected to each other over the trench T.

상술한 바와 같은 전하 생성층(132)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The charge generation layer 132 as described above includes a trench T provided between the second sub-pixel P2, the third sub-pixel P3, and the second sub-pixel P2 and the third sub-pixel P3. It can be formed in the same way.

이러한 전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The charge generation layer 132 includes an N-type charge generation layer for providing electrons to the first stack 131 and a P-type charge generation layer for providing holes in the second stack 133. It can be made of a stacked structure.

제2 스택(133)은 전하 생성층(132) 상에 구비된다. 제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The second stack 133 is provided on the charge generation layer 132. The second stack 133 has a structure in which a hole transport layer (HTL), a second emission layer (EML2) emitting light of a second color, an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL) are sequentially stacked. It can be done, but is not necessarily limited thereto. The second emission layer EML2 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.

서브 화소(P1, P2, P3)들 각각의 전하 생성층(132)은 트렌치(T) 내부에서 서로 단절되므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 전하 생성층(132)을 통해 전하가 이동하기 어렵다.Since the charge generation layers 132 of each of the sub-pixels P1, P2, and P3 are disconnected from each other in the trench T, the charge generation layer 132 between adjacent sub-pixels P1, P2, and P3 The electric charge is difficult to move.

이와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광층(130)은 누설 전류로 인해 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)가 영향을 받는 것을 최소화할 수 있다.In the light emitting layer 130 according to the exemplary embodiment of the present invention, it is possible to minimize the effects of adjacent sub-pixels P1, P2, and P3 due to leakage current.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 발광층(130)은 별도의 마스크를 사용하지 않고 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들에 일괄 증착될 수 있다.In addition, the emission layer 130 according to the exemplary embodiment of the present invention may be collectively deposited on the plurality of sub-pixels P1, P2, and P3 without using a separate mask.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)이 형성되면서, 트렌치(T) 내부에 에어 갭(Air Gap, AG)이 형성될 수 있다. 발광층(130)의 제1 스택(131)은 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면에서 트렌치(T)의 측면(T1, T2)으로 꺽이는 곳에서 두껍게 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 제1 전극(120)의 상면 및 트렌치(T)의 제1 측면(T1)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제1 측면(T1) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 또한 제1 전극(120)의 상면 및 트렌치(T)의 제2 측면(T2)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제2 측면(T2) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 트렌치(T) 내부는 하부에서 상부로 갈수록 좁아지게 되고, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 형성되면서 에어 갭(AG)이 형성될 수 있다.Meanwhile, in the display panel 100 according to an exemplary embodiment of the present invention, while the light emitting layer 130 is formed, an air gap (AG) may be formed in the trench T. The first stack 131 of the light emitting layer 130 may be formed to be thick at a place where the buffer layer 150 is bent from the top surface of the first electrode 120 to the side surfaces T1 and T2 of the trench T. More specifically, the thickness of the first stack 131 at the boundary of the top surface of the first electrode 120 and the first side T1 of the trench T is the first side T1 or the bottom of the trench T It may be formed thicker than the thickness of the first stack 131 on the surface T3. In addition, the thickness of the first stack 131 at the boundary between the top surface of the first electrode 120 and the second side surface T2 of the trench T is equal to the second side surface T2 or the bottom surface T3 of the trench T ) May be formed thicker than the thickness of the first stack 131. The inside of the trench T becomes narrower from the bottom to the top, and the air gap AG may be formed as the charge generation layer 132 and the second stack 133 are formed on the first stack 131.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 트렌치(T) 내부에 형성된 에어 갭(AG)을 통해 발광층(130)에서 트렌치(T)로 진행하는 광을 굴절시켜 전방으로 향할 수 있도록 할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)에서 발광된 광이 소실되는 것을 최소화시켜 광 효율을 향상시킬 수 있다. The display panel 100 according to an exemplary embodiment of the present invention refracts light traveling from the light emitting layer 130 to the trench T through the air gap AG formed inside the trench T so that it can be directed forward. I can. The display panel 100 according to the exemplary embodiment of the present invention may improve light efficiency by minimizing loss of light emitted from the light emitting layer 130.

제2 전극(140)은 발광층(130) 상에 형성된다. 제2 전극(140)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다.The second electrode 140 is formed on the emission layer 130. The second electrode 140 may be a common layer commonly formed in the sub-pixels P1, P2, and P3.

이러한 제2 전극(140)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 이러한 제2 전극(140)은 캐소드 전극일 수 있다.The second electrode 140 may be made of a transparent metal material, a transflective metal material, or a metal material having a high reflectivity. When the display device is made of a top emission type, the second electrode 140 may be a transparent metallic material such as ITO or IZO that can transmit light, or magnesium (Mg), silver (Ag), or Alternatively, it may be formed of a semi-transmissive conductive material such as an alloy of magnesium (Mg) and silver (Ag). When the display device is made of a bottom emission method, the second electrode 140 includes a laminate structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), a laminate structure of aluminum and ITO (ITO/Al/ITO), an Ag alloy, and Ag It may be formed of a metal material having a high reflectivity, such as a laminated structure of alloy and ITO (ITO/Ag alloy/ITO). The Ag alloy may be an alloy such as silver (Ag), palladium (Pd), and copper (Cu). The second electrode 140 may be a cathode electrode.

봉지막(160)은 제2 전극(140)을 덮도록 형성될 수 있다. 봉지막(160)은 발광층(130)과 제2 전극(140)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이를 위하여, 봉지막(160)은 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함할 수 있다.The encapsulation layer 160 may be formed to cover the second electrode 140. The encapsulation layer 160 serves to prevent penetration of oxygen or moisture into the light emitting layer 130 and the second electrode 140. To this end, the encapsulation layer 160 may include at least one inorganic layer and at least one organic layer.

구체적으로, 봉지막(160)은 제1 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 봉지막(160)은 제2 무기막을 더 포함할 수 있다.Specifically, the encapsulation layer 160 may include a first inorganic layer and an organic layer. In an embodiment, the encapsulation layer 160 may further include a second inorganic layer.

제1 무기막은 제2 전극(140)을 덮도록 형성된다. 유기막은 제1 무기막 상에 형성되며, 이물들(particles)이 제1 무기막을 뚫고 발광층(130)과 제2 전극(140)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 길이로 형성되는 것이 바람직하다. 제2 무기막은 유기막을 덮도록 형성된다.The first inorganic layer is formed to cover the second electrode 140. The organic layer is formed on the first inorganic layer, and is preferably formed to have a sufficient length to prevent particles from penetrating the first inorganic layer and being introduced into the light emitting layer 130 and the second electrode 140. The second inorganic layer is formed to cover the organic layer.

제1 및 제2 무기막들 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 무기막들은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기법 또는 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 증착될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Each of the first and second inorganic layers may be formed of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, or titanium oxide. The first and second inorganic layers may be deposited by a chemical vapor deposition (CVD) technique or an atomic layer deposition (ALD) technique, but the present invention is not limited thereto.

유기막은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다. 유기막은 유기물을 사용하는 기상 증착(vapour deposition), 프린팅(printing), 슬릿 코팅(slit coating) 기법으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 유기막는 잉크젯(ink-jet) 공정으로 형성될 수도 있다.The organic film may be formed of an acrylic resin, an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamide resin, or a polyimide resin. The organic film may be formed by a vapor deposition, printing, or slit coating technique using an organic material, but is not limited thereto, and the organic film may be formed by an ink-jet process. .

컬러필터(170)는 봉지막(160) 상에 형성된다. 컬러필터(170)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 대응되도록 배치된 제1 컬러필터(CF1), 제2 컬러필터(CF2) 및 제3 컬러필터(CF3)를 포함한다. 제1 컬러필터(CF1)는 적색 광을 투과시키는 적색 컬러필터일 수 있고, 제2 컬러필터(CF2)는 녹색 광을 투과시키는 녹색 컬러필터일 수 있으며, 제3 컬러필터(CF3)는 청색 광을 투과시키는 청색 컬러필터일 수 있다.The color filter 170 is formed on the encapsulation layer 160. The color filter 170 includes a first color filter CF1, a second color filter CF2, and a third color filter CF3 arranged to correspond to each of the sub-pixels P1, P2, and P3. The first color filter CF1 may be a red color filter that transmits red light, the second color filter CF2 may be a green color filter that transmits green light, and the third color filter CF3 is blue light. It may be a blue color filter that transmits light.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하는 것을 특징으로 한다. The display device according to the exemplary embodiment of the present invention is characterized in that the trench T is formed by simultaneously etching the first electrode 120 and the insulating layer 115.

종래의 표시장치는 제1 전극(120)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성한 후, 뱅크를 형성한다. 이때, 뱅크는 서브 화소(P1, P2, P3) 각각에 패턴 형성된 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성되어, 발광 영역(EA)을 정의한다. 즉, 각각의 서브 화소(P1, P2, P3)에서 뱅크가 형성되지 않고 제1 전극(120)이 노출된 영역이 발광 영역(EA)이 된다. 반면, 발광 영역(EA)을 제외한 영역은 비발광 영역이 된다.In a conventional display device, after patterning the first electrode 120 for each of the sub-pixels P1, P2, and P3, banks are formed. In this case, the bank is formed to cover the edge of the first electrode 120 patterned in each of the sub-pixels P1, P2, and P3, thereby defining the emission area EA. That is, in each of the sub-pixels P1, P2, and P3, an area where a bank is not formed and the first electrode 120 is exposed becomes the light emitting area EA. On the other hand, an area other than the emission area EA becomes a non-emission area.

뱅크는 제1 전극(120)의 상면 가장자리뿐만 아니라 제1 전극(120)의 측면도 덮도록 형성되며, 더 나아가, 절연층(115)의 상면까지 연장 형성된다. 이와 같이, 뱅크가 제1 전극(120)뿐만 아니라 절연층(115)에까지 형성되면서, 비발광 영역이 증가하게 된다. 이에, 서브 화소(P1, P2, P3)들 간에 화소 간격은 뱅크가 제1 전극(120)의 가장자리를 덮고 더 연장되어 절연층(115)에 형성되는 영역까지 고려해야하기 때문에, 수치를 줄이는데 한계가 있다.The bank is formed to cover not only the top edge of the first electrode 120 but also the side surface of the first electrode 120, and further, extends to the top surface of the insulating layer 115. In this way, as the bank is formed not only in the first electrode 120 but also in the insulating layer 115, the non-emission area increases. Accordingly, the pixel gap between the sub-pixels P1, P2, and P3 is limited in reducing the value because the bank covers the edge of the first electrode 120 and extends further to consider the area formed on the insulating layer 115. have.

헤드 장착형 디스플레이와 같은 초고해상도가 요구되는 경우, 하나의 서브 화소의 발광 영역(EA)이 매우 작아지고 전류 밀도가 높아져서 소자 수명이 저하된다는 문제가 있다. When ultra-high resolution such as a head-mounted display is required, there is a problem that the light emitting area EA of one sub-pixel is very small and the current density is increased, thereby reducing the life of the device.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하고, 별도의 뱅크를 형성하지 않는다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 되므로, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.In the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the first electrode 120 and the insulating layer 115 are simultaneously etched to form a trench T, and a separate bank is not formed. Accordingly, in the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, since all regions in which the first electrode 120 is formed become the emission area EA, the emission area EA can be maximized.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)가 형성된 영역만이 비발광 영역이 되므로, 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 최소화시킬 수 있다. 더 나아가, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 개구율을 극대화하여 전류 밀도를 최소화시키고 소자 수명을 향상시킬 수 있다.In the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, since only the area in which the trench T is formed becomes the non-emission area, the interval between the sub-pixels P1, P2, and P3 can be minimized. Furthermore, the display device according to an exemplary embodiment of the present invention maximizes an aperture ratio, thereby minimizing current density and improving device life.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요없으며, 별도의 마스크를 제작할 필요도 없다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, in the display device according to an exemplary embodiment of the present invention, a separate process for patterning the first electrode 120 for each of the sub-pixels P1, P2, and P3 is not required, and there is no need to manufacture a separate mask. Accordingly, the process of the display device according to the exemplary embodiment of the present invention is simplified, and process cost can be greatly reduced.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120) 및 트렌치(T) 상에 버퍼층(150)이 형성되는 것을 특징으로 한다. 이때, 버퍼층(150)은 비전도성 물질로 10Å 내지 50Å로 얇게 형성될 수 있다.In addition, the display device according to the exemplary embodiment of the present invention is characterized in that the buffer layer 150 is formed on the first electrode 120 and the trench T. In this case, the buffer layer 150 may be formed as thin as 10 Å to 50 Å of a non-conductive material.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면에 얇게 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있다. In the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the buffer layer 150 is formed thinly on the upper surface of the first electrode 120, so that the holes or electrons of the first electrode 120 are tunneling. ). Accordingly, an area in which the upper surface of the first electrode 120 and the buffer layer 150 are in contact with each other may be the emission area EA.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 측면에 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 측면을 보호할 수 있다. 제1 전극(120)은 측면이 버퍼층(150)에 의하여 덮이므로, 발광층(130)의 전하 생성층(132)과 접하지 않을 수 있다. 이에 따라, 전하 생성층(132)과 제1 전극(120)이 합선되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment, the buffer layer 150 may be formed on the side surface of the first electrode 120 to protect the side surface of the first electrode 120. Since the side of the first electrode 120 is covered by the buffer layer 150, it may not come into contact with the charge generation layer 132 of the emission layer 130. Accordingly, it is possible to prevent a short circuit between the charge generation layer 132 and the first electrode 120.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment, the buffer layer 150 is formed to cover the edge of the first electrode 120, so that the current concentrated at the edge of the first electrode 120 is transferred to the light emitting layer 130 as it is. It can be transmitted to prevent the reduction of luminous efficiency.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 전면에 형성되므로, 버퍼층(150)을 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 추가되거나 별도의 마스크를 제작할 필요가 없다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, since the buffer layer 150 is formed on the entire surface, there is no need to add a separate process for forming the buffer layer 150 or to manufacture a separate mask.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)에 의하여 발광층(130)의 전하 생성층(132)이 단절될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 줄이더라도 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 형성된 전하 생성층(132)이 서로 연결되지 않으므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 간에 누설 전류가 발생하지 않을 수 있다.In addition, in the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the charge generation layer 132 of the emission layer 130 may be disconnected by the trench T. Accordingly, in the display device according to an exemplary embodiment of the present invention, the charge generation layer 132 formed on each of the adjacent sub-pixels P1, P2 and P3 is reduced even if the spacing between the sub-pixels P1, P2, and P3 is reduced. Since these are not connected to each other, leakage current may not occur between adjacent sub-pixels P1, P2, and P3.

도 5 및 도 7에서는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)뿐만 아니라 트렌치(T) 상에도 형성되는 것으로 도시하고 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 다른 일 실시예에 있어서, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에만 형성될 수도 있다. 이하에서는 도 8 및 도 9을 참조하여 다른 일 실시예에 따른 표시패널에 대하여 설명하도록 한다.5 and 7 illustrate that the buffer layer 150 is formed not only on the first electrode 120 but also on the trench T, the present invention is not limited thereto. In another embodiment, the buffer layer 150 may be formed only on the upper surface of the first electrode 120. Hereinafter, a display panel according to another exemplary embodiment will be described with reference to FIGS. 8 and 9.

도 8은 도 2의 I-I의 다른 예를 보여주는 단면도이고, 도 9은 도 8의 B영역을 보여주는 확대도이다.FIG. 8 is a cross-sectional view showing another example of I-I of FIG. 2, and FIG. 9 is an enlarged view showing region B of FIG. 8.

도 8 및 도 9을 참조하면, 제2 기판(112)과 마주보는 제1 기판(111)의 일면 상에는 구동 트랜지스터(TFT), 절연층(115), 제1 전극(120), 발광층(130), 제2 전극(140), 봉지막(160), 컬러필터(170), 버퍼층(150) 및 트렌치(T)가 형성된다.Referring to FIGS. 8 and 9, a driving transistor (TFT), an insulating layer 115, a first electrode 120, and a light emitting layer 130 are provided on one surface of the first substrate 111 facing the second substrate 112. , The second electrode 140, the encapsulation layer 160, the color filter 170, the buffer layer 150, and the trench T are formed.

도 8 및 도 9에 도시된 표시패널(100)은 트렌치(T), 버퍼층(150) 및 발광층(130)을 제외한 나머지 구성이 도 5 내지 도 7에 도시된 표시패널(100)과 실질적으로 동일하다. 이하에서는 트렌치(T), 버퍼층(150) 및 발광층(130)을 중점적으로 설명하며, 도 5 내지 도 7에 도시된 표시패널(100)과 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 생략하도록 한다.The display panel 100 illustrated in FIGS. 8 and 9 is substantially the same as the display panel 100 illustrated in FIGS. 5 to 7 except for the trench T, the buffer layer 150, and the emission layer 130. Do. Hereinafter, the trench T, the buffer layer 150 and the emission layer 130 will be mainly described, and a description of the configuration substantially the same as that of the display panel 100 illustrated in FIGS. 5 to 7 will be omitted.

버퍼층(150)은 제1 전극(120) 상에 형성된다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 상에서 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성된다. 이때, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 접하며, 제1 전극(120)과 동일한 면적을 가지도록 형성될 수 있다. 즉, 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 구비된 버퍼층(150)은 끝단이 제1 전극(120)의 끝단과 동일할 수 있다.The buffer layer 150 is formed on the first electrode 120. More specifically, the buffer layer 150 is patterned for each of the sub-pixels P1, P2, and P3 on the first electrode 120. In this case, the buffer layer 150 may be formed to be in contact with the upper surface of the first electrode 120 and to have the same area as the first electrode 120. That is, the end of the buffer layer 150 provided in each of the sub-pixels P1, P2, and P3 may be the same as the end of the first electrode 120.

버퍼층(150)은 비전도성 물질로 이루어지나, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 발광층(130)으로 넘어갈 수 있도록 매우 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 두께가 50Å 미만으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)이 50Å 미만으로 얇게 형성되는 경우, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자는 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다.The buffer layer 150 is made of a non-conductive material, but may be formed very thin so that holes or electrons of the first electrode 120 can pass to the emission layer 130. The buffer layer 150 may be formed to have a thickness of less than 50 Å. When the buffer layer 150 is formed to be thinner than 50 Å, holes or electrons of the first electrode 120 may pass to the emission layer 130 by tunneling.

이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 된다. 즉, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있어, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.Accordingly, the area where the upper surface of the first electrode 120 and the buffer layer 150 are in contact with each other becomes the light emitting area EA. That is, in the display panel 100 according to another exemplary embodiment of the present invention, all regions in which the first electrode 120 is formed may be the emission area EA, and thus the emission area EA may be maximized.

한편, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면 전부에 형성된다. 즉, 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리 상에도 형성된다. 제1 전극(120)은 에지 효과(edge effect)로 인하여 가장자리에 전류가 집중될 수 있다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 가장자리 상에 형성되어, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다. 이를 위하여, 버퍼층(150)은 10

Figure pat00001
이상의 두께로 제1 전극(120)의 가장자리 상에 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 10
Figure pat00002
보다 얇게 형성하게 되면, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하될 수 있다.Meanwhile, the buffer layer 150 is formed on the entire upper surface of the first electrode 120. That is, the buffer layer 150 is also formed on the edge of the first electrode 120. Current may be concentrated at the edge of the first electrode 120 due to an edge effect. The buffer layer 150 is formed on the edge of the first electrode 120 to prevent the current concentrated on the edge of the first electrode 120 from being transferred to the emission layer 130 as it is. To this end, the buffer layer 150 is 10
Figure pat00001
It may be formed on the edge of the first electrode 120 with a thickness of more than that. 10 buffer layer 150
Figure pat00002
If formed thinner, the current concentrated at the edge of the first electrode 120 is transferred to the light emitting layer 130 as it is, so that the luminous efficiency may decrease.

이러한 버퍼층(150)은 비전도성 물질, 예를 들어, 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.The buffer layer 150 is a non-conductive material, for example, aluminum oxide (Al 2 O x ), zinc oxide (ZnO), silicon oxide film (SiOx), silicon nitride film (SiNx), silicon oxynitride film (SiON), monomer ( monomer), polyimide resin, or the like.

트렌치(T)는 절연층(115), 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)에 형성된다. 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)을 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다. 이하에서 트렌치(T)는 설명의 편의를 위하여 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)을 관통하고, 절연층(115)이 파이거나 관통된 부분을 나타낸다.The trench T is formed in the insulating layer 115, the first electrode 120 and the buffer layer 150. The trench T may be formed to penetrate the first electrode 120 and the buffer layer 150 between the sub-pixels P1, P2, and P3, and a part of the insulating layer 115 to be hollow, but must be It is not limited to this. The trench T may also be formed to penetrate the insulating layer 115. Hereinafter, the trench T penetrates the first electrode 120 and the buffer layer 150 for convenience of description, and represents a portion where the insulating layer 115 is cut or penetrated.

보다 구체적으로, 트렌치(T)는 제1 전극(120)의 상면으로부터 기판(111)을 향하는 방향으로 형성될 수 있다. 이러한 트렌치(T)는 제1 면(T1), 제2 면(T2) 및 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결하는 제3 면(T3)으로 이루어진다. More specifically, the trench T may be formed in a direction from the top surface of the first electrode 120 toward the substrate 111. The trench T includes a first surface T1, a second surface T2, and a third surface T3 connecting the first surface T1 and the second surface T2.

트렌치(T)의 제1 면(T1)은 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(151)의 측면(151a), 제1 전극(121)의 측면(121a) 및 절연층(115)의 제1 면(115a)으로 이루어질 수 있다. 트렌치(T)는 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(151)의 측면(151a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 또한, 트렌치(T)는 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 이때, 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(121)은 측면(121a)이 상면(121b)에 형성된 버퍼층(151)에 의하여 덮이지 않고 트렌치(T)에서 노출될 수 있다.The first surface T1 of the trench T is a side surface 151a of the buffer layer 151 provided in one sub-pixel, a side surface 121a of the first electrode 121, and a first surface of the insulating layer 115 It can be made of (115a). The trench T may be formed to expose the side surface 151a of the buffer layer 151 provided in one sub-pixel. Further, the trench T may be formed to expose the side surface 121a of the first electrode 121 provided in one sub-pixel. In this case, the first electrode 121 provided in one sub-pixel may be exposed in the trench T without the side surface 121a being covered by the buffer layer 151 formed on the upper surface 121b.

트렌치(T)의 제2 면(T2)은 상기 하나의 서브 화소와 인접하게 배치된 다른 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(152)의 측면(152a), 제1 전극(122)의 측면(122a) 및 절연층(115)의 제2 면(115b)으로 이루어질 수 있다. 트렌치(T)는 다른 하나의 서브 화소에 구비된 버퍼층(152)의 측면(152a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 또한, 트렌치(T)는 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)의 측면(122a)을 노출시키도록 형성될 수 있다. 이때, 다른 하나의 서브 화소에 구비된 제1 전극(122)은 측면(122a)이 상면(122b)에 형성된 버퍼층(152)에 의하여 덮이지 않고 트렌치(T)에서 노출될 수 있다.The second surface T2 of the trench T is a side surface 152a of the buffer layer 152 provided in another sub-pixel disposed adjacent to the one sub-pixel, and a side surface 122a of the first electrode 122 ) And the second surface 115b of the insulating layer 115. The trench T may be formed to expose a side surface 152a of the buffer layer 152 provided in another sub-pixel. Also, the trench T may be formed to expose the side surface 122a of the first electrode 122 provided in the other sub-pixel. In this case, the first electrode 122 provided in the other sub-pixel may be exposed in the trench T without the side surface 122a being covered by the buffer layer 152 formed on the upper surface 122b.

트렌치(T)의 제3 면(T3)은 제1 면(T1)과 제2 면(T2) 사이에 구비되어, 제1 면(T1)과 제2 면(T2)을 연결한다. 트렌치(T)의 제3 면(T3)은 일단이 제1 면(T1)과 연결되고, 타단이 제2 면(T2)연결된다. 트렌치(T1)의 제3 면(T3)은 절연층(115)의 제1 면(115a)과 제2 면(115b)을 연결하는 제3 면(115c)으로 이루어질 수 있다.The third surface T3 of the trench T is provided between the first surface T1 and the second surface T2 to connect the first surface T1 and the second surface T2. The third surface T3 of the trench T has one end connected to the first surface T1 and the other end connected to the second surface T2. The third surface T3 of the trench T1 may be formed of a third surface 115c connecting the first surface 115a and the second surface 115b of the insulating layer 115.

본 발명의 다른 실시예에 따른 트렌치(T)는 버퍼층(150), 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 형성되는 것을 특징으로 한다. The trench T according to another embodiment of the present invention is characterized in that it is formed by simultaneously etching the buffer layer 150, the first electrode 120, and the insulating layer 115.

구체적으로, 기판(111) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 형성하고, 절연 물질층 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층을 형성한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성되는 것이 아니라, 복수의 서브 화소들(P1, P2, P3) 전체에 하나로 형성될 수 있다. Specifically, an insulating material layer constituting the insulating layer 115 is formed on the substrate 111, and a metal material layer constituting the first electrode 120 is formed on the insulating material layer. In this case, the metal material layer forming the first electrode 120 may not be patterned for each of the sub-pixels P1, P2, and P3, but may be formed as one of the plurality of sub-pixels P1, P2, and P3.

다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층 상에 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층을 형성한다. 이때, 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층은 금속 물질층과 같이 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성되는 것이 아니라, 복수의 서브 화소들(P1, P2, P3) 전체에 하나로 형성될 수 있다.Next, a non-conductive material layer constituting the buffer layer 150 is formed on the metal material layer constituting the first electrode 120. At this time, the non-conductive material layer constituting the buffer layer 150 is not patterned for each sub-pixel P1, P2, P3 like a metal material layer, but is formed as one in all of the plurality of sub-pixels P1, P2, P3. Can be.

다음, 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)가 형성될 수 있다. 이와 함께, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다. 또한, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 구비된 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 상면에 패턴 형성될 수 있다.Next, a trench T may be formed by simultaneously etching a non-conductive material layer constituting the buffer layer 150, a metal material layer constituting the first electrode 120, and an insulating material layer constituting the insulating layer 115. In addition, the first electrodes 121, 122, and 123 may be patterned for each of the sub-pixels P1, P2, and P3. In addition, the buffer layer 150 may be patterned on the upper surfaces of each of the first electrodes 121, 122, and 123 provided in the sub-pixels P1, P2, and P3.

상술한 바와 같은 공정에 의하여 형성된 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T formed by the above-described process is the first electrodes 121, 122, and 123 spaced apart from the first electrodes 121, 122, and 123 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3. Each side of the field is exposed.

이때, 트렌치(T)는 제1 전극(121, 122, 123)들 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 제1 전극(121)과 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 또한, 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(122)과 제3 서브 화소(P3)에 구비된 제1 전극(123) 사이의 이격 거리(d1)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다.In this case, the trench T may have a width W equal to the separation distance d1 between the first electrodes 121, 122, and 123. Specifically, the trench T provided between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2 is the first electrode 121 and the second sub-pixel P2 provided in the first sub-pixel P1. ) May have the same width W as the separation distance d1 between the first electrodes 122. In addition, the trench T provided between the second sub-pixel P2 and the third sub-pixel P3 is the first electrode 122 and the third sub-pixel P3 provided in the second sub-pixel P2. It may have the same width W as the separation distance d1 between the first electrodes 123 provided in the.

또한, 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 버퍼층(150)들을 서로 이격시키면서, 버퍼층(150)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.In addition, the trench T exposes side surfaces of each of the buffer layers 150 while separating the buffer layers 150 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3 from each other.

이때, 트렌치(T)는 버퍼층(150)들 사이의 이격 거리(d2)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 버퍼층(150)와 제2 서브 화소(P2)에 구비된 버퍼층(150) 사이의 이격 거리(d2)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다. 또한, 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 버퍼층(150)와 제3 서브 화소(P3)에 구비된 버퍼층(150) 사이의 이격 거리(d2)와 동일한 폭(W)을 가질 수 있다.In this case, the trench T may have a width W equal to the separation distance d2 between the buffer layers 150. Specifically, the trench T provided between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2 is formed in the buffer layer 150 and the second sub-pixel P2 provided in the first sub-pixel P1. It may have the same width W as the separation distance d2 between the provided buffer layers 150. In addition, a trench T provided between the second sub-pixel P2 and the third sub-pixel P3 is provided in the buffer layer 150 and the third sub-pixel P3 provided in the second sub-pixel P2. It may have the same width (W) as the separation distance (d2) between the buffer layer 150.

트렌치(T)의 폭은 발광층(130)의 두께 및 증착 방식을 고려하여 결정될 수 있다. 발광층(130)이 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)으로 이루어진 경우, 트렌치(T)는 전하 생성층(132)이 트렌치(T)에서 단절되는 동시에 제2 스택(133)의 적어도 일부가 트렌치(T)에서 연결될 수 있는 폭을 가질 수 있다. The width of the trench T may be determined in consideration of the thickness of the emission layer 130 and a deposition method. When the emission layer 130 is formed of the first stack 131, the charge generation layer 132, and the second stack 133, the trench T is removed at the same time that the charge generation layer 132 is disconnected from the trench T. 2 At least a portion of the stack 133 may have a width that can be connected in the trench T.

트렌치(T)의 폭(W)이 작게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 전하 생성층(132)이 서로 연결될 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2) 사이에 트렌치(T)가 형성되고, 트렌치(T)에 발광층(130)의 제1 스택(131), 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 차례로 적층될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W1)이 0.09㎛미만으로 작게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 맞닿을 수 있다. 이로 인하여, 제1 스택(131) 상에 적층되는 전하 생성층(132)이 제1 서브 화소(P1)와 제2 서브 화소(P2)에서 서로 연결되어 인접한 서브 화소(P1, P2)들 간에 누설 전류가 발생할 수 있다. When the width W of the trench T is small, the charge generation layers 132 of adjacent sub-pixels may be connected to each other. Specifically, a trench T is formed between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2, and the first stack 131 of the emission layer 130 and the charge generation layer 132 are formed in the trench T. ) And the second stack 133 may be sequentially stacked. For example, when the width W1 of the trench T is formed to be less than 0.09 μm, the first stack 131a stacked on the first sub-pixel P1 and the first stacked stacked on the second sub-pixel P2 One stack 131b may abut each other at the top of the trench T. Accordingly, the charge generation layer 132 stacked on the first stack 131 is connected to each other in the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2 to leak between adjacent sub-pixels P1 and P2. Current can be generated.

제1 서브 화소(P1)에 적층된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제1 스택(131b)이 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않고 이격되도록, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.09㎛ 보다 크게 형성할 수 있다.The first stack 131a stacked on the first sub-pixel P1 and the first stack 131b stacked on the second sub-pixel P2 are not connected to each other above the trench T, but are spaced apart from each other. In the display device according to another exemplary embodiment, the width W of the trench T may be formed to be greater than 0.09 μm.

반면, 트렌치(T)의 폭(W)이 크게 형성되면, 인접한 서브 화소들의 제2 전극(140)이 트렌치(T)에서 서로 연결되지 않고 단절될 수 있다. 예를 들어, 트렌치(T)의 폭(W)이 0.20㎛ 보다 크게 형성되면, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)까지 트렌치(T)에 의하여 단절될 수 있다.On the other hand, when the width W of the trench T is formed to be large, the second electrodes 140 of adjacent sub-pixels may be disconnected without being connected to each other in the trench T. For example, when the width W of the trench T is larger than 0.20 μm, the second electrode 140 stacked on the first sub-pixel P1 and the second electrode 140 stacked on the second sub-pixel P2 The electrode 140 may be disconnected by the trench T.

이때, 제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제1 면(T1) 상에 형성될 수 있다. 제1 서브 화소(P1)에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121a)이 여전히 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 제1 전극(121)의 측면(121a)과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. 또는 제1 서브 화소(P1)에 구비된 전하 생성층(132a)의 측면이 여전히 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132a)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. In this case, the second electrode 140 stacked on the first sub-pixel P1 may be formed on the first surface T1 of the trench T. The side surface 121a of the first electrode 121 provided in the first sub-pixel P1 may still be exposed. In this case, the side surface 121a of the first electrode 121 and the second electrode 140 Contact may cause a short circuit (short). Alternatively, the side surface of the charge generation layer 132a provided in the first sub-pixel P1 may still be exposed. In this case, the side surface of the charge generation layer 132a and the second electrode 140 come into contact with each other to cause a short circuit (short circuit). ) May occur.

제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)은 트렌치(T)의 제2 면(T2) 상에 형성될 수 있다. 제2 서브 화소(P2)에 구비된 제1 전극(121)의 측면(121b)이 여전히 노출되어 있을 수 있으며, 이러한 경우, 제1 전극(121)의 측면(121b)과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다. 또는 제2 서브 화소(P2)에 구비된 전하 생성층(132b)의 측면이 여전히 노출될 수 있으며, 이러한 경우, 전하 생성층(132b)의 측면과 제2 전극(140)이 접촉하여 합선(쇼트)가 발생할 수 있다.The second electrode 140 stacked on the second sub-pixel P2 may be formed on the second surface T2 of the trench T. The side surface 121b of the first electrode 121 provided in the second sub-pixel P2 may still be exposed. In this case, the side surface 121b and the second electrode 140 of the first electrode 121 This contact may cause a short circuit (short circuit). Alternatively, the side surface of the charge generation layer 132b provided in the second sub-pixel P2 may still be exposed. In this case, the side surface of the charge generation layer 132b and the second electrode 140 come into contact with each other, causing a short circuit (short circuit). ) May occur.

제1 서브 화소(P1)에 적층된 제2 전극(140)과 제2 서브 화소(P2)에 적층된 제2 전극(140)이 서로 연결될 수 있도록, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)의 폭(W)을 0.20㎛ 미만으로 형성할 수 있다.In order that the second electrode 140 stacked on the first sub-pixel P1 and the second electrode 140 stacked on the second sub-pixel P2 can be connected to each other, the display device according to another exemplary embodiment of the present invention is The width W of the trench T may be less than 0.20 μm.

발광층(130)은 버퍼층(150) 상에 형성된다. 발광층(130)은 백색 광을 발광하는 백색 발광층일 수 있다. 이 경우, 발광층(130)은 서브 화소(P1, P2, P3)들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다.The emission layer 130 is formed on the buffer layer 150. The emission layer 130 may be a white emission layer that emits white light. In this case, the emission layer 130 may be a common layer commonly formed in the sub-pixels P1, P2, and P3.

발광층(130)은 도 8에 도시된 바와 같이 제1 색의 광을 발광하는 제1 스택(131), 제2 색의 광을 발광하는 제2 스택(133), 및 상기 제1 스택과 제2 스택 사이에 구비된 전하 생성층(132, Charge Generating Layer; CGL)을 포함한다.As shown in FIG. 8, the emission layer 130 includes a first stack 131 emitting light of a first color, a second stack 133 emitting light of a second color, and the first stack and the second stack. And a charge generating layer 132 (CGL) provided between the stacks.

제1 스택(131)은 버퍼층(150) 상에 구비된다. 제1 스택(131)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 인접한 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다.The first stack 131 is provided on the buffer layer 150. The first stack 131 includes a first stack 131a formed in the first sub-pixel P1 and a first stack 131b formed in the adjacent second sub-pixel P2. At this time, the first stack 131a formed in the first sub-pixel P1 and the first stack 131b formed in the second sub-pixel P2 have a step difference of the trench T as shown in FIGS. 8 and 9. They are disconnected from each other.

그리고, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(121)의 측면(121a)을 덮는다. 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(122)의 측면(122a)을 덮는다. 이에 따라, 제1 전극(121, 122)들은 측면(121a, 122a)이 보호되며, 서로 영향을 주지 않을 수 있다. 한편, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 제1 스택(131a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 제1 스택(131b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다.In addition, the first stack 131a formed in the first sub-pixel P1 covers the side surface 121a of the first electrode 121 exposed in the trench T. The first stack 131b formed in the second sub-pixel P2 covers the side surface 122a of the first electrode 122 exposed in the trench T. Accordingly, the side surfaces 121a and 122a of the first electrodes 121 and 122 are protected and may not affect each other. Meanwhile, the first stack 131a formed in the first sub-pixel P1 and the first stack 131b formed in the second sub-pixel P2 are not connected to each other above the trench T.

상술한 바와 같은 제1 스택(131)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The first stack 131 as described above includes the second sub-pixel P2, the third sub-pixel P3, and the trench T provided between the second sub-pixel P2 and the third sub-pixel P3. It can be formed in the same way.

이러한 제1 스택(131)은 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The first stack 131 includes a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), a first emission layer (EML1) that emits light of a first color, and an electron transport layer. (Electron Transporting Layer; ETL) may be formed in a sequentially stacked structure, but is not limited thereto. The first emission layer EML1 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

전하 생성층(132)은 제1 스택(131) 상에 구비된다. 전하 생성층(132)은 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)을 포함한다. 이때, 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a) 및 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132c)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 트렌치(T)의 단차로 인하여 서로 단절된다. 제1 서브 화소(P1)에 형성된 전하 생성층(132a)과 제2 서브 화소(P2)에 형성된 전하 생성층(132b)은 트렌치(T) 상부에서 서로 연결되지 않는다. The charge generation layer 132 is provided on the first stack 131. The charge generation layer 132 includes a charge generation layer 132a formed in the first sub-pixel P1 and a charge generation layer 132b formed in the second sub-pixel P2. At this time, the charge generation layer 132a formed in the first sub-pixel P1 and the charge generation layer 132c formed in the second sub-pixel P2 have a step difference of the trench T as shown in FIGS. 8 and 9. They are disconnected from each other. The charge generation layer 132a formed in the first sub-pixel P1 and the charge generation layer 132b formed in the second sub-pixel P2 are not connected to each other over the trench T.

상술한 바와 같은 전하 생성층(132)은 제2 서브 화소(P2), 제3 서브 화소(P3) 및 제2 서브 화소(P2)와 제3 서브 화소(P3) 사이에 구비된 트렌치(T)에도 동일하게 형성될 수 있다.The charge generation layer 132 as described above includes a trench T provided between the second sub-pixel P2, the third sub-pixel P3, and the second sub-pixel P2 and the third sub-pixel P3. It can be formed in the same way.

이러한 전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The charge generation layer 132 includes an N-type charge generation layer for providing electrons to the first stack 131 and a P-type charge generation layer for providing holes in the second stack 133. It can be made of a stacked structure.

제2 스택(133)은 전하 생성층(132) 상에 구비된다. 제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The second stack 133 is provided on the charge generation layer 132. The second stack 133 has a structure in which a hole transport layer (HTL), a second emission layer (EML2) emitting light of a second color, an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL) are sequentially stacked. It can be done, but is not necessarily limited thereto. The second emission layer EML2 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.

서브 화소(P1, P2, P3)들 각각의 전하 생성층(132)은 트렌치(T) 내부에서 서로 단절되므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 전하 생성층(132)을 통해 전하가 이동하기 어렵다.Since the charge generation layers 132 of each of the sub-pixels P1, P2, and P3 are disconnected from each other in the trench T, the charge generation layer 132 between adjacent sub-pixels P1, P2, and P3 The electric charge is difficult to move.

이와 같은 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광층(130)은 누설 전류로 인해 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)가 영향을 받는 것을 최소화할 수 있다.In the light emitting layer 130 according to another embodiment of the present invention, it is possible to minimize the influence of adjacent sub-pixels P1, P2, and P3 due to leakage current.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광층(130)은 별도의 마스크를 사용하지 않고 복수의 서브 화소(P1, P2, P3)들에 일괄 증착될 수 있다.In addition, the emission layer 130 according to another exemplary embodiment of the present invention may be collectively deposited on the plurality of sub-pixels P1, P2, and P3 without using a separate mask.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)이 형성되면서, 트렌치(T) 내부에 에어 갭(Air Gap, AG)이 형성될 수 있다. 발광층(130)의 제1 스택(131)은 버퍼층(150)의 상면에서 트렌치(T)의 측면(T1, T2)으로 꺽이는 곳에서 두껍게 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)의 상면 및 트렌치(T)의 제1 측면(T1)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제1 측면(T1) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 또한 버퍼층(150)의 상면 및 트렌치(T)의 제2 측면(T2)의 경계부에서의 제1 스택(131)의 두께는 트렌치(T)의 제2 측면(T2) 또는 바닥면(T3)에서의 제1 스택(131)의 두께 보다 두껍게 형성될 수 있다. 트렌치(T) 내부는 하부에서 상부로 갈수록 좁아지게 되고, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132) 및 제2 스택(133)이 형성되면서 에어 갭(AG)이 형성될 수 있다.Meanwhile, in the display panel 100 according to another exemplary embodiment of the present invention, while the light emitting layer 130 is formed, an air gap (AG) may be formed in the trench T. The first stack 131 of the light emitting layer 130 may be thickly formed at a place where the upper surface of the buffer layer 150 is bent toward the side surfaces T1 and T2 of the trench T. More specifically, the thickness of the first stack 131 at the boundary between the upper surface of the buffer layer 150 and the first side T1 of the trench T is the first side T1 or the bottom surface of the trench T It may be formed thicker than the thickness of the first stack 131 in T3). In addition, the thickness of the first stack 131 at the boundary between the upper surface of the buffer layer 150 and the second side T2 of the trench T is at the second side T2 or the bottom surface T3 of the trench T. It may be formed to be thicker than the thickness of the first stack 131. The inside of the trench T becomes narrower from the bottom to the top, and the air gap AG may be formed as the charge generation layer 132 and the second stack 133 are formed on the first stack 131.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 트렌치(T) 내부에 형성된 에어 갭(AG)을 통해 발광층(130)에서 트렌치(T)로 진행하는 광을 굴절시켜 전방으로 향할 수 있도록 할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시패널(100)은 발광층(130)에서 발광된 광이 소실되는 것을 최소화시켜 광 효율을 향상시킬 수 있다. The display panel 100 according to another exemplary embodiment of the present invention refracts light traveling from the light emitting layer 130 to the trench T through the air gap AG formed in the trench T so that it can be directed forward. I can. The display panel 100 according to another exemplary embodiment of the present invention may improve light efficiency by minimizing loss of light emitted from the emission layer 130.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150), 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하는 것을 특징으로 한다. The display device according to another exemplary embodiment of the present invention is characterized in that the buffer layer 150, the first electrode 120, and the insulating layer 115 are simultaneously etched to form a trench T.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150), 제1 전극(120) 및 절연층(115)을 동시에 식각하여 트렌치(T)를 형성하고, 별도의 뱅크를 형성하지 않는다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)이 형성된 영역이 모두 발광 영역(EA)이 되므로, 발광 영역(EA)을 극대화시킬 수 있다.In the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, the buffer layer 150, the first electrode 120, and the insulating layer 115 are simultaneously etched to form a trench T, and a separate bank is not formed. Accordingly, in the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, since all regions in which the first electrode 120 is formed become the emission area EA, the emission area EA can be maximized.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)가 형성된 영역만이 비발광 영역이 되므로, 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 최소화시킬 수 있다. 더 나아가, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 개구율을 극대화하여 전류 밀도를 최소화시키고 소자 수명을 향상시킬 수 있다.In the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, since only the area in which the trench T is formed becomes the non-emission area, the spacing between the sub-pixels P1, P2, and P3 can be minimized. Furthermore, the display device according to another exemplary embodiment of the present invention maximizes the aperture ratio, thereby minimizing current density and improving device life.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 제1 전극(120)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요없으며, 별도의 마스크를 제작할 필요도 없다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, in the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, there is no need for a separate process for patterning the first electrode 120 for each of the sub-pixels P1, P2, and P3, and there is no need to manufacture a separate mask. Accordingly, the process of the display device according to another exemplary embodiment of the present invention can be simplified, and process cost can be greatly reduced.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)을 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성하기 위한 별도의 공정이 필요없으며, 별도의 마스크를 제작할 필요도 없다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 공정이 단순화되며, 공정 비용을 크게 절감할 수 있다.In addition, in the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, a separate process for forming a pattern of the buffer layer 150 for each of the sub-pixels P1, P2, and P3 is not required, and there is no need to manufacture a separate mask. Accordingly, the process of the display device according to another exemplary embodiment of the present invention can be simplified, and process cost can be greatly reduced.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 비전도성 물질로 10Å 내지 50Å로 얇게 형성될 수 있다.In addition, in the display device according to another embodiment of the present invention, the buffer layer 150 may be formed of a non-conductive material to be 10 Å to 50 Å thin.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면에 얇게 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자가 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(120)의 상면과 버퍼층(150)이 접하는 영역은 모두 발광 영역(EA)이 될 수 있다. In the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, the buffer layer 150 is formed thinly on the upper surface of the first electrode 120, so that holes or electrons of the first electrode 120 are tunneling. ). Accordingly, an area in which the upper surface of the first electrode 120 and the buffer layer 150 are in contact with each other may be the emission area EA.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 버퍼층(150)이 제1 전극(120)의 상면 가장자리에 형성됨으로써, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the display device according to another embodiment of the present invention, since the buffer layer 150 is formed on the edge of the top surface of the first electrode 120, the current concentrated on the edge of the first electrode 120 is transferred to the emission layer 130 as it is. Thus, it is possible to prevent the luminous efficiency from being lowered.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 트렌치(T)에 의하여 발광층(130)의 전하 생성층(132)이 단절될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이의 간격을 줄이더라도 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 각각에 형성된 전하 생성층(132)이 서로 연결되지 않으므로, 인접한 서브 화소(P1, P2, P3)들 간에 누설 전류가 발생하지 않을 수 있다.In addition, in the display device according to another exemplary embodiment of the present invention, the charge generation layer 132 of the emission layer 130 may be disconnected by the trench T. Accordingly, in the display device according to an exemplary embodiment of the present invention, the charge generation layer 132 formed on each of the adjacent sub-pixels P1, P2 and P3 is reduced even if the spacing between the sub-pixels P1, P2, and P3 is reduced. Since these are not connected to each other, leakage current may not occur between adjacent sub-pixels P1, P2, and P3.

도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이고, 도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 11A to 11H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 기판(111) 상에 회로 소자 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다(S901).First, an insulating material layer 117 constituting the circuit element and the insulating layer 115 is formed on the substrate 111 (S901).

보다 구체적으로, 도 11a와 같이 기판(111) 상에 구동 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다.More specifically, as shown in FIG. 11A, a driving thin film transistor TFT is formed on the substrate 111.

그리고 나서, 구동 박막 트랜지스터(TFT) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 유기막, 예를 들어 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수도 있다. 또는 절연층(115)은 적어도 하나의 무기막 및 적어도 하나의 유기막으로 구성된 다중막으로 형성될 수도 있다.Then, the insulating material layer 117 constituting the insulating layer 115 is formed on the driving thin film transistor TFT. The insulating material layer 117 constituting the insulating layer 115 may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or multiple layers thereof, but is not limited thereto. The insulating material layer 117 constituting the insulating layer 115 is an organic film, for example, acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, polyamide resin. It may also be formed of polyimide resin or the like. Alternatively, the insulating layer 115 may be formed as a multilayer composed of at least one inorganic film and at least one organic film.

다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다(S902).Next, a metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is deposited on the entire surface (S902).

보다 구체적으로, 도 11b와 같이 절연 물질층(117) 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 컨택홀(CH)을 통해 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 단자 또는 드레인 단자에 접속된다.More specifically, as shown in FIG. 11B, a metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is deposited on the insulating material layer 117 on the entire surface. In this case, the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is connected to the source terminal or the drain terminal of the driving thin film transistor TFT through a contact hole CH for each of the sub-pixels P1, P2, and P3.

제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치(100)가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 표시장치(100)가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다.The metal material layer 125 constituting the first electrode 120 may be made of a transparent metal material, a transflective metal material, or a metal material having a high reflectivity. When the display device 100 is formed in a top emission type, the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is a laminated structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), and a laminated structure of aluminum and ITO (ITO). /Al/ITO), Ag alloy, and a metal material having high reflectivity such as a stacked structure of Ag alloy and ITO (ITO/Ag alloy/ITO). The Ag alloy may be an alloy such as silver (Ag), palladium (Pd), and copper (Cu). When the display device 100 is formed in a lower light emission method, the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is a transparent metal material (TCO, transparent conductive material) such as ITO and IZO capable of transmitting light, Alternatively, it may be formed of a semi-transmissive conductive material such as magnesium (Mg), silver (Ag), or an alloy of magnesium (Mg) and silver (Ag).

다음, 트렌치(T)를 형성한다(S903).Next, a trench T is formed (S903).

보다 구체적으로, 도 11c와 같이 절연 물질층(117) 및 금속 물질층(125)을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)를 형성한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 제1 전극(120)을 이루는 물질(125) 및 절연층(115)을 한번에 건식 식각하여 트렌치(T)를 형성할 수 있다. 이와 동시에, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다. More specifically, a trench T is formed by simultaneously etching the insulating material layer 117 and the metal material layer 125 as shown in FIG. 11C. In the display panel 100 according to the exemplary embodiment of the present invention, the trench T may be formed by dry etching the material 125 and the insulating layer 115 constituting the first electrode 120 at a time. At the same time, the first electrodes 121, 122, and 123 may be patterned for each sub-pixel P1, P2, and P3.

트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120)를 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다.The trench T may be formed so as to penetrate the first electrode 120 between the sub-pixels P1, P2, and P3, and a part of the insulating layer 115 to be recessed, but is not limited thereto. The trench T may also be formed to penetrate the insulating layer 115.

트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T exposes the side surfaces of each of the first electrodes 121, 122, and 123 while separating the first electrodes 121, 122, 123 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3 from each other. .

다음, 버퍼층(150)을 형성한다(S904).Next, a buffer layer 150 is formed (S904).

보다 구체적으로, 도 11d와 같이 제1 전극(120) 및 트렌치(T) 상에 버퍼층(150)을 형성한다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)가 구비된 제1 기판(111) 상에서 표시 영역(DA)을 덮도록 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 제1 전극(120) 및 트렌치(T)를 덮도록 형성될 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 11D, the buffer layer 150 is formed on the first electrode 120 and the trench T. More specifically, the buffer layer 150 may be formed to cover the display area DA on the first substrate 111 provided with the first electrode 120 and the trench T. The buffer layer 150 may be formed to cover the first electrode 120 and the trench T.

버퍼층(150)은 제1 전극(120)의 상면에 형성되며, 트렌치(T) 상에도 형성된다. 구체적으로, 트렌치(T)에는 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)이 노출되어 있다. 버퍼층(150)은 트렌치(T)에서 노출된 제1 전극(120)의 측면 및 절연층(115)의 제1 면(115a), 제2 면(115b), 제3 면(115c)에 접하도록 구비된다.The buffer layer 150 is formed on the upper surface of the first electrode 120 and is also formed on the trench T. Specifically, a side surface of the first electrode 120 and a first surface 115a, a second surface 115b, and a third surface 115c of the insulating layer 115 are exposed in the trench T. The buffer layer 150 is in contact with the side surface of the first electrode 120 exposed in the trench T and the first surface 115a, the second surface 115b, and the third surface 115c of the insulating layer 115. It is equipped.

버퍼층(150)은 비전도성 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.The buffer layer 150 may be made of a non-conductive material, for example, aluminum oxide (Al 2 O x ), zinc oxide (ZnO), silicon oxide film (SiOx), silicon nitride film (SiNx), silicon oxynitride film (SiON) , It may be formed of a monomer, polyimide resin, or the like.

버퍼층(150)은 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)은 50Å미만의 두께로 제1 전극(120)의 상면에 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)이 50Å미만으로 얇게 형성되는 경우, 제1 전극(120)의 정공 또는 전자는 터널링(Tunneling) 현상에 의하여 발광층(130)으로 넘어갈 수 있다.The buffer layer 150 may be formed thinly using an ALD (Atomic Layer Deposition) technique. The buffer layer 150 may be formed thinly on the upper surface of the first electrode 120 to a thickness of less than 50 Å. When the buffer layer 150 is formed to be less than 50 Å thin, holes or electrons of the first electrode 120 may pass to the emission layer 130 by a tunneling phenomenon.

한편, 버퍼층(150)은 10Å이상의 두께로 제1 전극(120)의 가장자리를 덮도록 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 10Å보다 얇게 형성하게 되면, 제1 전극(120)의 가장자리에 집중된 전류가 그대로 발광층(130)으로 전달되어 발광효율이 저하될 수 있다.Meanwhile, the buffer layer 150 may be formed to cover an edge of the first electrode 120 with a thickness of 10 Å or more. When the buffer layer 150 is formed to be thinner than 10 Å, the current concentrated at the edge of the first electrode 120 is transferred to the light emitting layer 130 as it is, thereby reducing luminous efficiency.

다음, 발광층(130)을 형성한다(S905).Next, the light emitting layer 130 is formed (S905).

도 11e와 같이 버퍼층(150) 상에 발광층(130)을 형성한다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150) 상에 제1 스택(131)을 형성한다. 제1 스택(131)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제1 스택(131)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제1 스택(131)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.As shown in FIG. 11E, a light emitting layer 130 is formed on the buffer layer 150. More specifically, the first stack 131 is formed on the buffer layer 150. The first stack 131 may be formed by a deposition process or a solution process. When the first stack 131 is formed by a vapor deposition process, it may be formed using an evaporation method. In this case, the first stack 131 is disconnected due to a step difference in the trench T between the sub-pixels P1, P2, and P3.

제1 스택(131)은 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조일 수 있다.The first stack 131 includes a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), a first emission layer (EML1) that emits light of a first color, and an electron transport layer ( Electron Transporting Layer (ETL) may be sequentially stacked.

제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The first emission layer EML1 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

그리고 나서, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132)을 형성한다. 이때, 전하 생성층(132)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.Then, a charge generation layer 132 is formed on the first stack 131. In this case, the charge generation layer 132 is disconnected between the sub-pixels P1, P2, and P3 due to the step of the trench T.

전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The charge generation layer 132 includes an N-type charge generation layer for providing electrons to the first stack 131 and a P-type charge generation layer for providing holes in the second stack 133 It can be made in a structured structure.

그리고 나서, 전하 생성층(132) 상에 제2 스택(133)을 형성한다. 제2 스택(133)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제2 스택(133)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제2 스택(133)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 서로 연결된다.Then, a second stack 133 is formed on the charge generation layer 132. The second stack 133 may be formed by a deposition process or a solution process. When the second stack 133 is formed by a vapor deposition process, it may be formed using an evaporation method. In this case, the second stack 133 is connected to each other between the sub-pixels P1, P2, and P3.

제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The second stack 133 has a structure in which a hole transport layer (HTL), a second emission layer (EML2) emitting light of a second color, an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL) are sequentially stacked. It can be done, but is not necessarily limited thereto. The second emission layer EML2 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.

다음, 제2 전극(140)을 형성한다(S906).Next, the second electrode 140 is formed (S906).

보다 구체적으로, 도 11f와 같이 발광층(130) 상에 제2 전극(140)을 형성한다. 제2 전극(140)은 스퍼터링법(sputtering)과 같은 물리적 기상 증착법(physics vapor deposition)으로 형성될 수 있다. 또는 제2 전극(140)은 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수도 있다.More specifically, as shown in FIG. 11F, the second electrode 140 is formed on the emission layer 130. The second electrode 140 may be formed by a physical vapor deposition method such as sputtering. Alternatively, the second electrode 140 may be formed by using an evaporation method.

제2 전극(140)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 이러한 제2 전극(140)은 캐소드 전극일 수 있다.The second electrode 140 may be made of a transparent metal material, a transflective metal material, or a metal material having a high reflectivity. When the display device is made of a top emission type, the second electrode 140 may be a transparent metallic material such as ITO or IZO that can transmit light, or magnesium (Mg), silver (Ag), or Alternatively, it may be formed of a semi-transmissive conductive material such as an alloy of magnesium (Mg) and silver (Ag). When the display device is made of a bottom emission method, the second electrode 140 includes a laminate structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), a laminate structure of aluminum and ITO (ITO/Al/ITO), an Ag alloy, and Ag It may be formed of a metal material having a high reflectivity, such as a laminated structure of alloy and ITO (ITO/Ag alloy/ITO). The Ag alloy may be an alloy such as silver (Ag), palladium (Pd), and copper (Cu). The second electrode 140 may be a cathode electrode.

다음, 봉지막(160)을 형성한다(S907).Next, an encapsulation film 160 is formed (S907).

보다 구체적으로, 도 11g와 같이 제2 전극(140) 상에 봉지막(160)을 형성한다. 봉지막(160)은 제1 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 봉지막(160)은 제2 무기막을 더 포함할 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 11G, an encapsulation film 160 is formed on the second electrode 140. The encapsulation layer 160 may include a first inorganic layer and an organic layer. In an embodiment, the encapsulation layer 160 may further include a second inorganic layer.

제2 전극(140) 상에 제1 무기막을 형성한다. 그리고 나서, 제1 무기막 상에 유기막을 형성한다. 유기막은 이물들(particles)이 제1 무기막을 뚫고 발광층(130)과 제2 전극(140)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 그리고 나서, 유기막 상에 제2 무기막을 형성한다.A first inorganic layer is formed on the second electrode 140. Then, an organic film is formed on the first inorganic film. The organic layer is preferably formed to have a sufficient thickness to prevent particles from penetrating the first inorganic layer and being introduced into the emission layer 130 and the second electrode 140. Then, a second inorganic film is formed on the organic film.

제1 및 제2 무기막들 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 무기막들은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기법 또는 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 증착될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Each of the first and second inorganic layers may be formed of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, or titanium oxide. The first and second inorganic layers may be deposited by a chemical vapor deposition (CVD) technique or an atomic layer deposition (ALD) technique, but the present invention is not limited thereto.

유기막은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다. 유기막는 유기물을 사용하는 기상 증착(vapour deposition), 프린팅(printing), 슬릿 코팅(slit coating) 기법으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 유기막는 잉크젯(ink-jet) 공정으로 형성될 수도 있다.The organic film may be formed of an acrylic resin, an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamide resin, or a polyimide resin. The organic film may be formed by a vapor deposition, printing, or slit coating technique using an organic material, but is not limited thereto, and the organic film may be formed by an ink-jet process. .

다음, 컬러필터(170)를 형성한다(S908).Next, a color filter 170 is formed (S908).

보다 구체적으로, 도 11h와 같이 봉지막(160) 상에 컬러필터(170)를 형성한다. 컬러필터(170)는 제1 서브 화소(P1)에 대응되도록 배치된 제1 컬러필터(CF1), 제2 서브 화소(P2)에 대응되도록 배치된 제2 컬러필터(CF2) 및 제3 서브 화소(P3)에 대응되도록 배치된 제3 컬러필터(CF3)를 포함할 수 있다. 제1 컬러필터(CF1)는 적색 광을 투과시키는 적색 컬러필터일 수 있고, 제2 컬러필터(CF2)는 녹색 광을 투과시키는 녹색 컬러필터일 수 있으며, 제3 컬러필터(CF3)는 청색 광을 투과시키는 청색 컬러필터일 수 있다.More specifically, the color filter 170 is formed on the encapsulation layer 160 as shown in FIG. 11H. The color filter 170 includes a first color filter CF1 disposed to correspond to the first sub-pixel P1, a second color filter CF2 disposed to correspond to the second sub-pixel P2, and a third sub-pixel. A third color filter CF3 disposed to correspond to P3 may be included. The first color filter CF1 may be a red color filter that transmits red light, the second color filter CF2 may be a green color filter that transmits green light, and the third color filter CF3 is blue light. It may be a blue color filter that transmits light.

도 12은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이고, 도 13a 내지 도 13h는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.12 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 13A to 13H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 기판(111) 상에 회로 소자 및 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다(S1101).First, an insulating material layer 117 constituting the circuit element and the insulating layer 115 is formed on the substrate 111 (S1101).

보다 구체적으로, 도 13a와 같이 기판(111) 상에 구동 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다.More specifically, a driving thin film transistor TFT is formed on the substrate 111 as shown in FIG. 13A.

그리고 나서, 구동 박막 트랜지스터(TFT) 상에 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)을 형성한다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 절연층(115)을 이루는 절연 물질층(117)은 유기막, 예를 들어 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수도 있다. 또는 절연층(115)은 적어도 하나의 무기막 및 적어도 하나의 유기막으로 구성된 다중막으로 형성될 수도 있다.Then, the insulating material layer 117 constituting the insulating layer 115 is formed on the driving thin film transistor TFT. The insulating material layer 117 constituting the insulating layer 115 may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or multiple layers thereof, but is not limited thereto. The insulating material layer 117 constituting the insulating layer 115 is an organic film, for example, acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, polyamide resin. It may also be formed of polyimide resin or the like. Alternatively, the insulating layer 115 may be formed as a multilayer composed of at least one inorganic film and at least one organic film.

다음, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다(S1102).Next, a metal material layer 125 forming the first electrode 120 is deposited on the entire surface (S1102).

보다 구체적으로, 도 13b와 같이 절연 물질층(117) 상에 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)을 전면에 증착한다. 이때, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 컨택홀(CH)을 통해 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 단자 또는 드레인 단자에 접속된다.More specifically, as shown in FIG. 13B, a metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is deposited on the insulating material layer 117 on the entire surface. In this case, the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is connected to the source terminal or the drain terminal of the driving thin film transistor TFT through a contact hole CH for each of the sub-pixels P1, P2, and P3.

제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치(100)가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 표시장치(100)가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다.The metal material layer 125 constituting the first electrode 120 may be made of a transparent metal material, a transflective metal material, or a metal material having a high reflectivity. When the display device 100 is formed in a top emission type, the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is a laminated structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), and a laminated structure of aluminum and ITO (ITO). /Al/ITO), Ag alloy, and a metal material having high reflectivity such as a stacked structure of Ag alloy and ITO (ITO/Ag alloy/ITO). The Ag alloy may be an alloy such as silver (Ag), palladium (Pd), and copper (Cu). When the display device 100 is formed in a lower light emission method, the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 is a transparent metal material (TCO, transparent conductive material) such as ITO and IZO capable of transmitting light, Alternatively, it may be formed of a semi-transmissive conductive material such as magnesium (Mg), silver (Ag), or an alloy of magnesium (Mg) and silver (Ag).

다음, 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)을 형성한다(S1103).Next, a non-conductive material layer 155 forming the buffer layer 150 is formed (S1103).

보다 구체적으로, 도 13c와 같이 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125) 상에서 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)을 전면에 증착한다. More specifically, a non-conductive material layer 155 constituting the buffer layer 150 is deposited on the entire surface of the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 as shown in FIG. 13C.

버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)은 예를 들어, 산화알루미늄(Al2Ox), 산화아연(ZnO), 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화질화막(SiON), 모노머(monomer), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등으로 형성될 수 있다.The non-conductive material layer 155 constituting the buffer layer 150 is, for example, aluminum oxide (Al 2 O x ), zinc oxide (ZnO), a silicon oxide film (SiOx), a silicon nitride film (SiNx), a silicon oxynitride film (SiON). ), a monomer, a polyimide resin, or the like.

버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)은 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 얇게 형성될 수 있다. 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155)은 10Å 내지 50Å 미만의 두께로 제1 전극(120)을 이루는 금속 물질층(125) 상 얇게 형성될 수 있다.The non-conductive material layer 155 constituting the buffer layer 150 may be thinly formed by an ALD (Atomic Layer Deposition) technique. The non-conductive material layer 155 constituting the buffer layer 150 may be thinly formed on the metal material layer 125 constituting the first electrode 120 to a thickness of 10 Å to less than 50 Å.

다음, 트렌치(T)를 형성한다(S1104).Next, a trench T is formed (S1104).

보다 구체적으로, 도 13d와 같이 비전도성 물질층(155), 절연 물질층(117) 및 금속 물질층(125)을 동시에 식각함으로써 트렌치(T)를 형성한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(100)은 버퍼층(150)을 이루는 비전도성 물질층(155), 제1 전극(120)을 이루는 물질(125) 및 절연층(115)을 한번에 건식 식각하여 트렌치(T)를 형성할 수 있다. 이와 동시에, 제1 전극(121, 122, 123)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다. 또한, 버퍼층(150)은 서브 화소(P1, P2, P3) 별로 패턴 형성될 수 있다.More specifically, as shown in FIG. 13D, a trench T is formed by simultaneously etching the non-conductive material layer 155, the insulating material layer 117, and the metal material layer 125. In the display panel 100 according to the exemplary embodiment, the non-conductive material layer 155 constituting the buffer layer 150, the material 125 constituting the first electrode 120, and the insulating layer 115 are dry-etched at a time. Thus, a trench T can be formed. At the same time, the first electrodes 121, 122, and 123 may be patterned for each sub-pixel P1, P2, and P3. In addition, the buffer layer 150 may be patterned for each of the sub-pixels P1, P2, and P3.

트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 제1 전극(120) 및 버퍼층(150)을 관통하고, 절연층(115)의 일부가 움푹하게 파이도록 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 트렌치(T)는 절연층(115)도 관통하도록 형성될 수도 있다.The trench T may be formed to penetrate the first electrode 120 and the buffer layer 150 between the sub-pixels P1, P2, and P3, and a part of the insulating layer 115 to be hollow, but must be It is not limited to this. The trench T may also be formed to penetrate the insulating layer 115.

트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 제1 전극(121, 122, 123)들을 서로 이격시키면서, 제1 전극(121, 122, 123)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.The trench T exposes the side surfaces of each of the first electrodes 121, 122, and 123 while separating the first electrodes 121, 122, 123 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3 from each other. .

또한, 트렌치(T)는 서브 화소(P1, P2, P3)들에 형성된 버퍼층(150)들을 서로 이격시키면서, 버퍼층(150)들 각각의 측면을 노출시키게 된다.In addition, the trench T exposes side surfaces of each of the buffer layers 150 while separating the buffer layers 150 formed in the sub-pixels P1, P2, and P3 from each other.

다음, 발광층(130)을 형성한다(S1105).Next, the light emitting layer 130 is formed (S1105).

도 13e와 같이 버퍼층(150) 상에 발광층(130)을 형성한다. 보다 구체적으로, 버퍼층(150) 상에 제1 스택(131)을 형성한다. 제1 스택(131)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제1 스택(131)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제1 스택(131)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.13E, the light emitting layer 130 is formed on the buffer layer 150. More specifically, the first stack 131 is formed on the buffer layer 150. The first stack 131 may be formed by a deposition process or a solution process. When the first stack 131 is formed by a vapor deposition process, it may be formed using an evaporation method. In this case, the first stack 131 is disconnected due to a step difference in the trench T between the sub-pixels P1, P2, and P3.

제1 스택(131)은 정공주입층(Hole Injecting Layer; HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer; HTL), 제1 색의 광을 발광하는 제1 발광층(Emitting Layer; EML1), 및 전자 수송층(Electron Transporting Layer; ETL)이 차례로 적층된 구조일 수 있다.The first stack 131 includes a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), a first emission layer (EML1) that emits light of a first color, and an electron transport layer ( Electron Transporting Layer (ETL) may be sequentially stacked.

제1 발광층(EML1)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The first emission layer EML1 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

그리고 나서, 제1 스택(131) 상에 전하 생성층(132)을 형성한다. 이때, 전하 생성층(132)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 트렌치(T)의 단차로 인하여 단절된다.Then, a charge generation layer 132 is formed on the first stack 131. In this case, the charge generation layer 132 is disconnected between the sub-pixels P1, P2, and P3 due to the step of the trench T.

전하 생성층(132)은 제1 스택(131)에 전자(electron)를 제공하기 위한 N형 전하 생성층 및 제2 스택(133)에 정공(hole)을 제공하기 위한 P형 전하 생성층이 적층된 구조로 이루어질 수 있다.The charge generation layer 132 includes an N-type charge generation layer for providing electrons to the first stack 131 and a P-type charge generation layer for providing holes in the second stack 133 Can be made in a structure

그리고 나서, 전하 생성층(132) 상에 제2 스택(133)을 형성한다. 제2 스택(133)은 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성될 수 있다. 제2 스택(133)이 증착 공정으로 형성되는 경우, 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 제2 스택(133)은 서브 화소(P1, P2, P3)들 사이에서 서로 연결된다.Then, a second stack 133 is formed on the charge generation layer 132. The second stack 133 may be formed by a deposition process or a solution process. When the second stack 133 is formed by a vapor deposition process, it may be formed using an evaporation method. In this case, the second stack 133 is connected to each other between the sub-pixels P1, P2, and P3.

제2 스택(133)은 정공수송층(HTL), 제2 색의 광을 발광하는 제2 발광층(EML2), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(Electron Injecting Layer; EIL)이 차례로 적층된 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 청색 광을 발광하는 청색 발광층 및 황색 광을 발광하는 황색 발광층 중 적어도 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The second stack 133 has a structure in which a hole transport layer (HTL), a second emission layer (EML2) emitting light of a second color, an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL) are sequentially stacked. It can be done, but is not necessarily limited thereto. The second emission layer EML2 may be at least one of a red emission layer emitting red light, a green emission layer emitting green light, a blue emission layer emitting blue light, and a yellow emission layer emitting yellow light, but is limited thereto. no.

다만, 제2 발광층(EML2)은 제1 발광층(EML1)과 상이한 색의 광을 발광할 수 있다. 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 황색 광을 발광하는 황색 발광층일 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 발광층(EML1)은 청색 광을 발광하는 청색 발광층이고, 제2 발광층(EML2)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층 및 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층일 수 있다.However, the second emission layer EML2 may emit light having a different color than the first emission layer EML1. For example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a yellow emission layer emitting yellow light. For another example, the first emission layer EML1 may be a blue emission layer emitting blue light, and the second emission layer EML2 may be a red emission layer emitting red light and a green emission layer emitting green light.

다음, 제2 전극(140)을 형성한다(S1106).Next, the second electrode 140 is formed (S1106).

보다 구체적으로, 도 13f와 같이 발광층(130) 상에 제2 전극(140)을 형성한다. 제2 전극(140)은 스퍼터링법(sputtering)과 같은 물리적 기상 증착법(physics vapor deposition)으로 형성될 수 있다. 또는 제2 전극(140)은 증발 증착법(Evaporation)을 이용하여 형성될 수도 있다.More specifically, as shown in FIG. 13F, the second electrode 140 is formed on the emission layer 130. The second electrode 140 may be formed by a physical vapor deposition method such as sputtering. Alternatively, the second electrode 140 may be formed by using an evaporation method.

제2 전극(140)은 투명한 금속물질, 반투과 금속물질 또는 반사율이 높은 금속물질로 이루어질 수 있다. 표시장치가 상부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 표시장치가 하부 발광 방식으로 이루어지는 경우, 제2 전극(140)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), Ag 합금, 및 Ag 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/Ag 합금/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. Ag 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu) 등의 합금일 수 있다. 이러한 제2 전극(140)은 캐소드 전극일 수 있다.The second electrode 140 may be made of a transparent metal material, a transflective metal material, or a metal material having a high reflectivity. When the display device is made of a top emission type, the second electrode 140 may be a transparent metallic material such as ITO or IZO that can transmit light, or magnesium (Mg), silver (Ag), or Alternatively, it may be formed of a semi-transmissive conductive material such as an alloy of magnesium (Mg) and silver (Ag). When the display device is made of a bottom emission method, the second electrode 140 includes a laminate structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), a laminate structure of aluminum and ITO (ITO/Al/ITO), an Ag alloy, and Ag It may be formed of a metal material having a high reflectivity, such as a laminated structure of alloy and ITO (ITO/Ag alloy/ITO). The Ag alloy may be an alloy such as silver (Ag), palladium (Pd), and copper (Cu). The second electrode 140 may be a cathode electrode.

다음, 봉지막(160)을 형성한다(S1107).Next, an encapsulation film 160 is formed (S1107).

보다 구체적으로, 도 13g와 같이 제2 전극(140) 상에 봉지막(160)을 형성한다. 봉지막(160)은 제1 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 봉지막(160)은 제2 무기막을 더 포함할 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 13G, an encapsulation layer 160 is formed on the second electrode 140. The encapsulation layer 160 may include a first inorganic layer and an organic layer. In an embodiment, the encapsulation layer 160 may further include a second inorganic layer.

제2 전극(140) 상에 제1 무기막을 형성한다. 그리고 나서, 제1 무기막 상에 유기막을 형성한다. 유기막은 이물들(particles)이 제1 무기막을 뚫고 발광층(130)과 제2 전극(140)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 그리고 나서, 유기막 상에 제2 무기막을 형성한다.A first inorganic layer is formed on the second electrode 140. Then, an organic film is formed on the first inorganic film. The organic layer is preferably formed to have a sufficient thickness to prevent particles from penetrating the first inorganic layer and being introduced into the emission layer 130 and the second electrode 140. Then, a second inorganic film is formed on the organic film.

제1 및 제2 무기막들 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 무기막들은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기법 또는 ALD(Atomic Layer Deposition) 기법으로 증착될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Each of the first and second inorganic layers may be formed of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, or titanium oxide. The first and second inorganic layers may be deposited by a chemical vapor deposition (CVD) technique or an atomic layer deposition (ALD) technique, but the present invention is not limited thereto.

유기막은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다. 유기막는 유기물을 사용하는 기상 증착(vapour deposition), 프린팅(printing), 슬릿 코팅(slit coating) 기법으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않으며, 유기막는 잉크젯(ink-jet) 공정으로 형성될 수도 있다.The organic film may be formed of an acrylic resin, an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamide resin, or a polyimide resin. The organic film may be formed by a vapor deposition, printing, or slit coating technique using an organic material, but is not limited thereto, and the organic film may be formed by an ink-jet process. .

다음, 컬러필터(170)를 형성한다(S1108).Next, a color filter 170 is formed (S1108).

보다 구체적으로, 도 13h와 같이 봉지막(160) 상에 컬러필터(170)를 형성한다. 컬러필터(170)는 제1 서브 화소(P1)에 대응되도록 배치된 제1 컬러필터(CF1), 제2 서브 화소(P2)에 대응되도록 배치된 제2 컬러필터(CF2) 및 제3 서브 화소(P3)에 대응되도록 배치된 제3 컬러필터(CF3)를 포함할 수 있다. 제1 컬러필터(CF1)는 적색 광을 투과시키는 적색 컬러필터일 수 있고, 제2 컬러필터(CF2)는 녹색 광을 투과시키는 녹색 컬러필터일 수 있으며, 제3 컬러필터(CF3)는 청색 광을 투과시키는 청색 컬러필터일 수 있다.More specifically, a color filter 170 is formed on the encapsulation layer 160 as shown in FIG. 13H. The color filter 170 includes a first color filter CF1 disposed to correspond to the first sub-pixel P1, a second color filter CF2 disposed to correspond to the second sub-pixel P2, and a third sub-pixel. A third color filter CF3 disposed to correspond to P3 may be included. The first color filter CF1 may be a red color filter that transmits red light, the second color filter CF2 may be a green color filter that transmits green light, and the third color filter CF3 is blue light. It may be a blue color filter that transmits light.

도 14a내지 도 14c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시장치에 관한 것으로서, 이는 헤드 장착형 표시(HMD) 장치에 관한 것이다. 도 14a는 개략적인 사시도이고, 도 14b는 VR(Virtual Reality) 구조의 개략적인 평면도이고, 도 14c는 AR(Augmented Reality) 구조의 개략적인 단면도이다. 14A to 14C relate to a display device according to another embodiment of the present invention, which relates to a head mounted display (HMD) device. 14A is a schematic perspective view, FIG. 14B is a schematic plan view of a virtual reality (VR) structure, and FIG. 14C is a schematic cross-sectional view of an Augmented Reality (AR) structure.

도 14a에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 헤드 장착형 표시 장치는 수납 케이스(10), 및 헤드 장착 밴드(30)를 포함하여 이루어진다.As can be seen from FIG. 14A, the head mounted display device according to the present invention includes a storage case 10 and a head mounting band 30.

수납 케이스(10)는 그 내부에 표시 장치, 렌즈 어레이, 및 접안 렌즈 등의 구성을 수납하고 있다. The storage case 10 houses a structure such as a display device, a lens array, and an eyepiece therein.

헤드 장착 밴드(30)는 수납 케이스(10)에 고정된다. 헤드 장착밴드(30)는 사용자의 머리 상면과 양 측면들을 둘러쌀 수 있도록 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 헤드 장착 밴드(30)는 사용자의 머리에 헤드 장착형 디스플레이를 고정하기 위한 것으로, 안경테 형태 또는 헬멧 형태의 구조물로 대체될 수 있다.The head mounting band 30 is fixed to the storage case 10. The head mounting band 30 is illustrated to be formed to surround the upper surface of the user's head and both sides, but is not limited thereto. The head mounting band 30 is for fixing the head mounted display to the user's head, and may be replaced with a structure in the form of an eyeglass frame or a helmet form.

도 14b에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 VR(Virtual Reality) 구조의 헤드 장착형 표시 장치는 좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11), 렌즈 어레이(13), 및 좌안 접안 렌즈(20a)와 우안 접안 렌즈(20b)를 포함하여 이루어진다. As can be seen from FIG. 14B, the head-mounted display device having a virtual reality (VR) structure according to the present invention includes a left-eye display device 12, a right-eye display device 11, a lens array 13, and a left-eye eyepiece. 20a) and the right eye eyepiece 20b.

좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11), 렌즈 어레이(13), 및 좌안 접안 렌즈(20a)와 우안 접안 렌즈(20b)는 전술한 수납 케이스(10)에 수납된다. The left-eye display device 12, the right-eye display device 11, the lens array 13, and the left-eye eyepiece 20a and right-eye eyepiece 20b are accommodated in the storage case 10 described above.

좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11)는 동일한 영상을 표시할 수 있으며, 이 경우 사용자는 2D 영상을 시청할 수 있다. 또는, 좌안용 표시 장치(12)는 좌안 영상을 표시하고 우안용 표시장치(11)는 우안 영상을 표시할 수 있으며, 이 경우 사용자는 입체 영상을 시청할 수 있다. 좌안용 표시 장치(12)와 우안용 표시 장치(11) 각각은 전술한 도 1 내지 도 9에 따른 표시 장치로 이루어질 수 있다. 이때, 도 1 내지 도 9에서 화상이 표시되는 면에 해당하는 상측 부분, 예로서 컬러필터(170)이 상기 렌즈 어레이(13)와 마주하게 된다. The left-eye display device 12 and the right-eye display device 11 can display the same image, and in this case, the user can view the 2D image. Alternatively, the left-eye display device 12 may display a left-eye image and the right-eye display device 11 may display a right-eye image. In this case, the user can view a stereoscopic image. Each of the left-eye display device 12 and the right-eye display device 11 may be formed of the display device of FIGS. 1 to 9 described above. In this case, an upper portion corresponding to a surface on which an image is displayed in FIGS. 1 to 9, for example, a color filter 170 faces the lens array 13.

렌즈 어레이(13)는 좌안 접안 렌즈(20a)와 좌안용 표시 장치(12) 각각과 이격되면서 좌안 접안 렌즈(20a)와 좌안용 표시 장치(12) 사이에 구비될 수 있다. 즉, 렌즈 어레이(13)는 좌안 접안 렌즈(20a)의 전방 및 좌안용 표시 장치(12)의 후방에 위치할 수 있다. 또한, 렌즈 어레이(13)는 우안 접안 렌즈(20b)와 우안용 표시 장치(11) 각각과 이격되면서 우안 접안 렌즈(20b)와 우안용 표시 장치(11) 사이에 구비될 수 있다. 즉, 렌즈 어레이(13)는 우안 접안 렌즈(20b)의 전방 및 우안용 표시 장치(11)의 후방에 위치할 수 있다.The lens array 13 may be provided between the left eye eye lens 20a and the left eye display device 12 while being spaced apart from each of the left eye eye lens 20a and the left eye display device 12. That is, the lens array 13 may be positioned in front of the left eye eyepiece 20a and behind the left eye display device 12. Also, the lens array 13 may be provided between the right eye eye lens 20b and the right eye display device 11 while being spaced apart from each of the right eye eye lens 20b and the right eye display device 11. That is, the lens array 13 may be positioned in front of the right eye eyepiece 20b and behind the right eye display device 11.

렌즈 어레이(13)는 마이크로 렌즈 어레이(Micro Lens Array)일 수 있다. 렌즈 어레이(13)는 핀홀 어레이(Pin Hole Array)로 대체될 수 있다. 렌즈 어레이(13)로 인해 좌안용 표시장치(12) 또는 우안용 표시장치(11)에 표시되는 영상은 사용자에게 확대되어 보일 수 있다. The lens array 13 may be a micro lens array. The lens array 13 may be replaced with a pin hole array. An image displayed on the left-eye display device 12 or the right-eye display device 11 due to the lens array 13 may be enlarged and viewed by the user.

좌안 접안 렌즈(20a)에는 사용자의 좌안(LE)이 위치하고, 우안 접안 렌즈(20b)에는 사용자의 우안(RE)이 위치할 수 있다. The user's left eye LE may be positioned on the left eyepiece 20a, and the user's right eye RE may be positioned on the right eyepiece 20b.

도 14c에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 AR(Augmented Reality) 구조의 헤드 장착형 표시 장치는 좌안용 표시 장치(12), 렌즈 어레이(13), 좌안 접안 렌즈(20a), 투과 반사부(14), 및 투과창(15)을 포함하여 이루어진다. 도 14c에는 편의상 좌안쪽 구성만을 도시하였으며, 우안쪽 구성도 좌안쪽 구성과 동일하다. As can be seen from FIG. 14C, the head mounted display device having an Augmented Reality (AR) structure according to the present invention includes a left-eye display device 12, a lens array 13, a left eye eyepiece 20a, and a transmission reflector 14. , And a transmission window 15. 14C shows only the left-inside configuration for convenience, and the right-inside configuration is also the same as the left-inside configuration.

좌안용 표시 장치(12), 렌즈 어레이(13), 좌안 접안 렌즈(20a), 투과 반사부(14), 및 투과창(15)은 전술한 수납 케이스(10)에 수납된다. The left-eye display device 12, the lens array 13, the left-eye eyepiece 20a, the transmission reflection portion 14, and the transmission window 15 are accommodated in the storage case 10 described above.

좌안용 표시 장치(12)는 투과창(15)을 가리지 않으면서 투과 반사부(14)의 일측, 예로서 상측에 배치될 수 있다. 이에 따라서, 좌안용 표시 장치(12)가 투과창(15)을 통해 보이는 외부 배경을 가리지 않으면서 투과 반사부(14)에 영상을 제공할 수 있다. The left eye display device 12 may be disposed on one side of the transmission reflective unit 14, for example, on the upper side, without covering the transmission window 15. Accordingly, the left-eye display device 12 may provide an image to the transmissive reflector 14 without covering an external background visible through the transmissive window 15.

좌안용 표시 장치(12)는 전술한 도 1 내지 도 9에 따른 표시 장치로 이루어질 수 있다. 이때, 도 1 내지 도 9에서 화상이 표시되는 면에 해당하는 상측 부분, 예로서 컬러필터(170)이 투과 반사부(14)와 마주하게 된다. The left eye display device 12 may be formed of the display device according to FIGS. 1 to 9 described above. In this case, an upper portion corresponding to a surface on which an image is displayed in FIGS. 1 to 9, for example, a color filter 170 faces the transmission reflector 14.

렌즈 어레이(13)는 좌안 접안 렌즈(20a)와 투과반사부(14) 사이에 구비될 수 있다. The lens array 13 may be provided between the left eye eyepiece 20a and the transmission reflector 14.

좌안 접안 렌즈(20a)에는 사용자의 좌안이 위치한다. The user's left eye is positioned in the left eye eyepiece 20a.

투과 반사부(14)는 렌즈 어레이(13)와 투과창(15) 사이에 배치된다. 투과 반사부(14)는 광의 일부를 투과시키고, 광의 다른 일부를 반사시키는 반사면(14a)을 포함할 수 있다. 반사면(14a)은 좌안용 표시 장치(12)에 표시된 영상이 렌즈 어레이(13)로 진행하도록 형성된다. 따라서, 사용자는 투과층(15)을 통해서 외부의 배경과 좌안용 표시 장치(12)에 의해 표시되는 영상을 모두 볼 수 있다. 즉, 사용자는 현실의 배경과 가상의 영상을 겹쳐 하나의 영상으로 볼수 있으므로, 증강현실(Augmented Reality, AR)이 구현될 수 있다.The transmission reflection part 14 is disposed between the lens array 13 and the transmission window 15. The transmission reflection part 14 may include a reflective surface 14a that transmits part of the light and reflects another part of the light. The reflective surface 14a is formed so that the image displayed on the left eye display device 12 proceeds to the lens array 13. Accordingly, the user can see both an external background and an image displayed by the left eye display device 12 through the transmission layer 15. That is, since the user can view the real background and the virtual image as a single image, an Augmented Reality (AR) can be implemented.

투과층(15)은 투과 반사부(14)의 전방에 배치되어 있다. The transmission layer 15 is disposed in front of the transmission reflection portion 14.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. . Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

10: 표시장치
111: 기판 TFT: 구동 박막 트랜지스터
115: 절연층 120: 제1 전극
130: 발광층 131: 제1 스택
132: 전하 생성층 133: 제2 스택
140: 제2 전극 150: 버퍼층
160: 봉지막 170: 컬러필터
10: display device
111: substrate TFT: driving thin film transistor
115: insulating layer 120: first electrode
130: light emitting layer 131: first stack
132: charge generation layer 133: second stack
140: second electrode 150: buffer layer
160: encapsulation layer 170: color filter

Claims (19)

기판;
상기 기판 상에서 제1 서브 화소 및 상기 제1 서브 화소에 인접하게 배치된 제2 서브 화소 각각에 구비된 제1 전극;
상기 제1 전극 상에 구비된 버퍼층;
상기 버퍼층 상에 구비된 발광층; 및
상기 발광층 상에 구비된 제2 전극을 포함하는 표시장치.
Board;
A first electrode provided in each of a first sub-pixel and a second sub-pixel disposed adjacent to the first sub-pixel on the substrate;
A buffer layer provided on the first electrode;
A light emitting layer provided on the buffer layer; And
A display device including a second electrode provided on the emission layer.
제1항에 있어서,
상기 기판과 상기 제1 전극 사이에 구비된 절연층; 및
상기 제1 서브 화소 및 상기 제2 서브 화소 사이에 구비된 트렌치를 더 포함하고,
상기 트렌치는 상기 절연층 및 상기 제1 전극에 형성되는 표시장치.
The method of claim 1,
An insulating layer provided between the substrate and the first electrode; And
Further comprising a trench provided between the first sub-pixel and the second sub-pixel,
The trench is formed in the insulating layer and the first electrode.
제2항에 있어서,
상기 트렌치는 상기 제1 전극의 상면으로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 형성되는 표시장치.
The method of claim 2,
The trench is formed in a direction from an upper surface of the first electrode toward the substrate.
제2항에 있어서,
상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극은 서로 이격되고,
상기 트렌치는 상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면을 노출시키도록 형성되는 표시장치.
The method of claim 2,
The first electrode provided in the first sub-pixel and the first electrode provided in the second sub-pixel are spaced apart from each other,
The trench is formed to expose a side surface of a first electrode provided in the first sub-pixel and a side surface of a first electrode provided in the second sub-pixel.
제4항에 있어서,
상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극과 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 이격 거리는 상기 트렌치의 폭과 동일한 표시장치.
The method of claim 4,
A display device wherein a separation distance between a first electrode provided in the first sub-pixel and a first electrode provided in the second sub-pixel is the same as a width of the trench.
제1항에 있어서,
상기 버퍼층은 상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극의 상면 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 상면에 접하도록 구비된 표시장치.
The method of claim 1,
The buffer layer is provided to contact an upper surface of a first electrode provided in the first sub-pixel and an upper surface of a first electrode provided in the second sub-pixel.
제1항에 있어서,
상기 버퍼층은 상기 제1 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면 및 상기 제2 서브 화소에 구비된 제1 전극의 측면에 접하도록 구비된 표시장치.
The method of claim 1,
The buffer layer is provided to contact a side surface of a first electrode provided in the first sub-pixel and a side surface of a first electrode provided in the second sub-pixel.
제2항에 있어서,
상기 버퍼층은 상기 트렌치에서 노출된 절연층 상에 구비된 표시장치.
The method of claim 2,
The buffer layer is provided on the insulating layer exposed in the trench.
제1항에 있어서,
상기 버퍼층은 비전도성 물질로 이루어진 표시장치.
The method of claim 1,
The buffer layer is a display device made of a non-conductive material.
제1항에 있어서,
상기 발광층은 제1 스택, 상기 제1 스택 상에 구비된 전하 생성층, 및 상기 전하 생성층 상에 구비된 제2 스택을 포함하고,
상기 전하 생성층은 상기 제1 서브 화소와 상기 제2 서브 화소 사이에서 상기 트렌치에 의하여 단절되는 표시장치.
The method of claim 1,
The light emitting layer includes a first stack, a charge generation layer provided on the first stack, and a second stack provided on the charge generation layer,
The charge generation layer is disconnected between the first sub-pixel and the second sub-pixel by the trench.
제10항에 있어서,
상기 제2 스택은 상기 제1 서브 화소와 상기 제2 서브 화소 사이에서 서로 연결되는 표시장치.
The method of claim 10,
The second stack is connected to each other between the first sub-pixel and the second sub-pixel.
제2항에 있어서,
상기 트렌치는 내부에 상기 발광층 및 상기 버퍼층으로 둘러싸인 에어갭이 형성되는 표시장치.
The method of claim 2,
An air gap surrounded by the light emitting layer and the buffer layer is formed in the trench.
기판 상에 절연 물질층을 형성하는 단계;
상기 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계;
상기 금속 물질층 및 상기 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계; 및
상기 제1 전극 및 상기 트렌치 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조 방법.
Forming an insulating material layer on the substrate;
Forming a metal material layer on the insulating material layer;
Simultaneously performing an etching process on the metal material layer and the insulating material layer to form a trench, and patterning a first electrode for each sub-pixel; And
And forming a buffer layer on the first electrode and the trench.
제13항에 있어서,
상기 버퍼층은 상기 제1 전극의 상면 및 상기 제1 전극의 측면을 덮는 표시장치의 제조방법.
The method of claim 13,
The buffer layer is a method of manufacturing a display device covering an upper surface of the first electrode and a side surface of the first electrode.
제13항에 있어서,
상기 버퍼층은 비전도성 물질로 이루어진 표시장치.
The method of claim 13,
The buffer layer is a display device made of a non-conductive material.
제13항에 있어서,
상기 버퍼층 상에 제1 스택을 형성하는 단계;
상기 제1 스택 상에 전하 생성층을 형성하는 단계; 및
상기 전하 생성층 상에 제2 스택을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 전하 생성층은 상기 트렌치에 의하여 단절되는 표시장치의 제조방법.
The method of claim 13,
Forming a first stack on the buffer layer;
Forming a charge generation layer on the first stack; And
Further comprising forming a second stack on the charge generation layer,
The method of manufacturing a display device in which the charge generation layer is disconnected by the trench.
제16항에 있어서,
상기 제2 스택 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 제2 전극은 상기 트렌치 상에서 연결되는 표시장치의 제조방법.
The method of claim 16,
Further comprising forming a second electrode on the second stack,
The second electrode is a method of manufacturing a display device connected to the trench.
기판 상에 절연 물질층을 형성하는 단계;
상기 절연 물질층 상에 금속 물질층을 형성하는 단계;
상기 금속 물질 상에 비전도성 물질층을 형성하는 단계; 및
상기 금속 물질층, 상기 비전도성 물질층 및 상기 절연 물질층에 식각 공정을 동시에 실시하여 트렌치를 형성하고, 제1 전극 및 버퍼층을 서브 화소 별로 패턴 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법.
Forming an insulating material layer on the substrate;
Forming a metal material layer on the insulating material layer;
Forming a layer of a non-conductive material on the metallic material; And
And forming a trench by simultaneously performing an etching process on the metal material layer, the non-conductive material layer, and the insulating material layer, and patterning the first electrode and the buffer layer for each sub-pixel.
제18항에 있어서,
상기 버퍼층은 상기 제1 전극의 상면에 접하도록 형성된 표시장치의 제조방법.
The method of claim 18,
The method of manufacturing a display device in which the buffer layer is formed to contact an upper surface of the first electrode.
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