KR20210015170A - Apparatus for supplying droplet - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a chemical solution supply device for applying a chemical solution to a substrate. The chemical solution supply device comprises a filter unit, a chemical solution buffer unit, and the like. The filter unit can be connected to a nozzle, and filter the residue remaining in the chemical solution supplied to the nozzle. Each of the two chemical buffer units is connected to the filter unit, and when any one of the two chemical buffer units supplies the chemical solution to the filter unit, the other one can recover the chemical solution discharged from the filter unit, and when the other one supplies the chemical solution to the filter unit, any one can be provided to recover the chemical solution discharged from the filter unit.

Description

약액 공급 장치{APPARATUS FOR SUPPLYING DROPLET}Chemical liquid supply device {APPARATUS FOR SUPPLYING DROPLET}

본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 포토레지스트 등과 약액을 토출하는 노즐로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid supply device. In more detail, the present invention relates to a chemical liquid supply device for supplying a chemical liquid to a nozzle for discharging a chemical liquid such as a photoresist.

유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판에 포토레지스트 등과 같은 약액을 도포하는 약액 도포 공정을 수행할 수 있다. 약액 도포 공정은 노즐, 특히 슬릿 노즐을 사용하여 기판으로 포토레지스트 등과 같은 약액을 토출함에 의해 달성할 수 있다.In manufacturing a display device such as an organic EL device, a chemical solution coating process of applying a chemical solution such as a photoresist or the like to a substrate may be performed. The chemical liquid coating process can be achieved by discharging a chemical liquid such as a photoresist or the like onto the substrate using a nozzle, particularly a slit nozzle.

그리고 약액에 파티클 등과 같은 잔류물이 잔류한 상태로 기판에 토출될 경우 공정 불량이 발생할 수 있다. 이에, 노즐로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치는 필터부를 사용하여 약액 내에 잔류하는 잔류물을 필터링한 후 노즐로 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.In addition, when the chemical is discharged to the substrate while the residue such as particles remains, a process failure may occur. Accordingly, a chemical solution supplying device for supplying a chemical solution to the nozzle may be provided to supply the chemical solution to the nozzle after filtering residues remaining in the chemical solution using a filter unit.

언급한 필터부를 사용하는 잔류물의 필터링에서는 약액 내의 버블 또한 필터링될 수 있기 때문에 필터부로부터 버블을 제거해야 할 것이다. 필터부로부터 버블의 제거는 주로 필터부로부터 일정량, 예를 들면 필터부로 공급되는 전체 총량 대비 10% 정도의 약액을 폐액 탱크로 배출시킴에 의해 이루어질 수 있다.In the filtering of the residue using the filter unit mentioned above, since bubbles in the chemical solution can also be filtered, the bubbles must be removed from the filter unit. The removal of the bubbles from the filter unit may be mainly performed by discharging a certain amount of the chemical solution from the filter unit, for example, about 10% of the total amount supplied to the filter unit to the waste liquid tank.

그러나 필터부로부터 일정량의 약액을 폐액 탱크로 배출시켜야 하기 때문에 약액의 소모량이 증가하고, 그 결과 디스플레이 소자의 제조에 따른 제조비가 상승하는 문제점이 발생할 수 있다.However, since a certain amount of the chemical liquid must be discharged from the filter unit to the waste liquid tank, the consumption amount of the chemical liquid increases, and as a result, there may be a problem that the manufacturing cost according to the manufacture of the display device increases.

특히, 포토레지스트 등과 같은 약액은 상대적으로 고가이기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 제조비의 상승에 심각한 영향을 끼칠 수 있을 것이다.In particular, since a chemical solution such as a photoresist is relatively expensive, it may have a serious effect on an increase in manufacturing cost due to manufacturing a display device.

본 발명의 일 과제는 포토레지스트 등과 같은 고가의 약액 일부를 폐액 처리하는 상황을 사전에 차단할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a chemical liquid supply device capable of blocking in advance a situation in which a part of an expensive chemical liquid such as a photoresist is treated as a waste liquid.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 기판에 약액을 도포하기 위한 것으로써 필터부, 약액 버퍼부 등을 포함할 수 있다. 상기 필터부는 노즐과 연결되고, 상기 노즐로 공급되는 약액에 잔류하는 잔류물을 필터링할 수 있다. 상기 약액 버퍼부는 두 개 각각이 상기 필터부와 연결되고, 두 개 중에 어느 하나가 상기 필터부로 약액을 공급할 때에는 나머지 하나가 상기 필터부로부터 배출되는 약액을 회수할 수 있고, 나머지 하나가 상기 필터부로 약액을 공급할 때에는 어느 하나가 상기 필터부로부터 배출되는 약액을 회수할 수 있게 구비될 수 있다.A chemical solution supplying apparatus according to exemplary embodiments for achieving the object of the present invention is for applying a chemical solution to a substrate, and may include a filter unit, a chemical solution buffer unit, and the like. The filter unit is connected to the nozzle and may filter residues remaining in the chemical solution supplied to the nozzle. Each of the two chemical buffer units is connected to the filter unit, and when one of the two supplies a chemical solution to the filter unit, the other one can recover the chemical solution discharged from the filter unit, and the other is to the filter unit. When supplying the chemical liquid, any one may be provided to recover the chemical liquid discharged from the filter unit.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 버퍼부로부터 상기 필터부로 약액을 공급할 때에는 가압 상태를 유지하고, 상기 필터로부터 상기 약액 버퍼부로 약액을 회수할 때에는 대기압 상태를 유지할 수 있도록 상기 약액 버퍼부 두 개는 가압 상태를 유지하다가 대기압 상태로 전환할 수 있거나 또는 대기압 상태를 유지하다가 가압 상태로 전환할 수 있게 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the two chemical solution buffer units maintain a pressurized state when supplying the chemical solution from the chemical solution buffer unit to the filter unit, and maintain atmospheric pressure when recovering the chemical solution from the filter to the chemical solution buffer unit. May be provided to maintain a pressurized state and convert to an atmospheric pressure state, or to maintain an atmospheric pressure state and convert to a pressurized state.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 필터부와 상기 약액 버퍼부 어느 하나는 상기 약액을 공급하는 제1 공급 라인 및 상기 약액을 회수하는 제1 회수 라인이 연결되고, 상기 필터부와 상기 약액 버퍼부 나머지 하나는 상기 약액을 공급하는 제2 공급 라인 및 상기 약액을 회수하는 제2 회수 라인이 연결될 수 있다.In exemplary embodiments, a first supply line for supplying the chemical solution and a first recovery line for recovering the chemical solution are connected to one of the filter unit and the chemical solution buffer unit, and the filter unit and the chemical solution buffer unit The other one may be connected to a second supply line for supplying the chemical solution and a second recovery line for recovering the chemical solution.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 버퍼부 어느 하나로부터 상기 필터부로 상기 약액을 공급함과 아울러 상기 필터부로부터 상기 약액 버퍼부 나머지 하나로 상기 약액을 회수할 때에는 상기 제1 공급 라인 및 상기 제2 회수 라인이 오픈됨과 아울러 상기 제2 공급 라인 및 상기 제1 회수 라인이 클로즈되고, 상기 약액 버퍼부 나머지 하나로부터 상기 필터부로 상기 약액을 공급함과 아울러 상기 필터부로부터 상기 약액 버퍼부 어느 하나로 상기 약액을 회수할 때에는 상기 제2 공급 라인 및 상기 제1 회수 라인이 오픈됨과 아울러 상기 제1 공급 라인 및 상기 제2 회수 라인이 클로즈될 수 있다.In exemplary embodiments, when supplying the chemical solution from one of the chemical solution buffer units to the filter unit and recovering the chemical solution from the filter unit to the other of the chemical solution buffer unit, the first supply line and the second recovery As the line is opened, the second supply line and the first recovery line are closed, and the chemical solution is supplied from the remaining one of the chemical buffer unit to the filter unit, and the chemical solution is recovered from the filter unit to one of the chemical solution buffer units. When doing so, the second supply line and the first recovery line may be opened and the first supply line and the second recovery line may be closed.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 필터부로부터 상기 노즐로 공급되는 약액을 임시 저장한 후 상기 노즐로 공급할 수 있게 상기 필터부와 상기 노즐 사이에 구비되는 임시 버퍼부를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, a temporary buffer unit disposed between the filter unit and the nozzle may be provided to temporarily store the chemical solution supplied from the filter unit to the nozzle and then supply it to the nozzle.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 노즐로 공급하기 위한 약액 내에 잔류하는 잔류물의 필터링시 필터부로부터 배출되는 약액을 회수하고, 다시 필터링하여 노즐로 공급할 수 있을 것이다.The chemical liquid supply device according to exemplary embodiments of the present invention may recover the chemical liquid discharged from the filter unit when filtering residues remaining in the chemical liquid to be supplied to the nozzle, filter it again, and supply it to the nozzle.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액 일부를 버리는 상황을 사전에 차단할 수 있고, 특히 포토레지스트 등과 같은 고가의 약액 일부를 버리는 상황을 사전에 차단할 수 있을 것이다.Accordingly, the chemical liquid supplying device according to exemplary embodiments of the present invention may prevent a situation in which a part of a chemical liquid is discarded in advance, and in particular, a situation in which a part of an expensive chemical liquid such as a photoresist is discarded may be prevented in advance.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 노즐로 약액의 공급시 약액이 다른 용도로 소모되는 상황을 사전에 차단할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 제조비의 감소를 기대할 수 있을 것이다.Therefore, since the chemical solution supplying device according to exemplary embodiments of the present invention can prevent a situation in which the chemical solution is consumed for other purposes when the chemical solution is supplied to the nozzle, it is expected to reduce the manufacturing cost due to the manufacture of the display device. .

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the subject and effect of the present invention are not limited to those mentioned above, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.1 and 2 are schematic diagrams for explaining a chemical solution supplying apparatus according to exemplary embodiments of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.In the present invention, various modifications can be made and various forms can be obtained, and embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form of disclosure, it is to be understood as including all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar elements. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another component. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "consist of" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.In addition, exemplary embodiments will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and duplicate descriptions for the same components are omitted.

도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.1 and 2 are schematic diagrams for explaining a chemical solution supplying apparatus according to exemplary embodiments of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 노즐(21)로 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 특히, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 기판 상에 포토레지스트 등과 같은 약액을 토출하기 위한 슬릿 노즐로 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a chemical liquid supplying device according to exemplary embodiments may be provided to supply a chemical liquid to the nozzle 21. In particular, the chemical liquid supply apparatus according to exemplary embodiments may be provided to supply the chemical liquid to a slit nozzle for discharging a chemical liquid such as a photoresist on a substrate.

예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 필터부(17), 약액 버퍼부(11), 임시 버퍼부(19) 등을 포함할 수 있다. 또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액 버퍼부(11)와 필터부(17) 사이를 연결하는 제1 공급 라인(23), 제2 공급 라인(27), 제1 회수 라인(25), 제2 회수 라인(29) 등을 포함할 수 있다.The chemical solution supplying device according to exemplary embodiments may include a filter unit 17, a chemical solution buffer unit 11, and a temporary buffer unit 19. In addition, the chemical solution supplying device according to exemplary embodiments includes a first supply line 23, a second supply line 27, and a first recovery line connecting the chemical solution buffer unit 11 and the filter unit 17. 25), a second recovery line 29, and the like.

또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 필터부(17)로부터 임시 버퍼부(19)로 약액을 공급하도록 연결되는 연결 라인(31), 임시 버퍼부(19)로부터 노즐(21)로 약액을 공급하도록 연결되는 연결 라인(33) 등을 포함할 수 있고, 더불어 도시하지는 않았지만 약액 버퍼부(11)로 약액을 공급하도록 연결되는 연결 라인 등을 포함할 수 있을 것이다.In addition, the chemical solution supply device according to exemplary embodiments includes a connection line 31 connected to supply a chemical solution from the filter unit 17 to the temporary buffer unit 19, and from the temporary buffer unit 19 to the nozzle 21. A connection line 33 connected to supply the chemical solution may be included, and although not shown, a connection line connected to supply the chemical solution to the chemical solution buffer unit 11 may be included.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액 공급부(도시하지 않음)로부터 약액 버퍼부(11)와 필터부(17)를 순차적으로 경유하여 노즐(21)로 약액을 공급하도록 구비될 수 있거나 또는 약액 공급부로부터 약액 버퍼부(11), 필터부(17)와 임시 버퍼부(19)를 순차적으로 경유하여 노즐(21)로 약액을 공급하도록 구비될 수 있을 것이다.Accordingly, the chemical solution supply device according to exemplary embodiments may be provided to supply the chemical solution to the nozzle 21 through the chemical solution buffer unit 11 and the filter unit 17 sequentially from the chemical solution supply unit (not shown). Alternatively, it may be provided to supply the chemical solution to the nozzle 21 through the chemical solution buffer unit 11, the filter unit 17, and the temporary buffer unit 19 sequentially from the chemical solution supply unit.

필터부(17)는 노즐(21)로 공급하기 위한 약액에 잔류하는 잔류물을 필터링하도록 구비될 수 있다. 따라서 필터부(17)는 노즐(21)과 연결되도록 구비될 수 있다. 다만, 약액 공급 장치가 임시 버퍼부(19)를 구비할 경우 필터부(17)는 임시 버퍼부(19)를 경유하여 노즐(21)로 연결되도록 구비될 수 있을 것이다.The filter unit 17 may be provided to filter residues remaining in the chemical solution to be supplied to the nozzle 21. Accordingly, the filter unit 17 may be provided to be connected to the nozzle 21. However, when the chemical solution supply device includes the temporary buffer unit 19, the filter unit 17 may be provided to be connected to the nozzle 21 via the temporary buffer unit 19.

약액 버퍼부(11)는 필터부(17)로 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 따라서 약액 버퍼부(11)는 필터부(17)와 연결되도록 구비될 수 있다.The chemical buffer unit 11 may be provided to supply the chemical solution to the filter unit 17. Accordingly, the chemical buffer unit 11 may be provided to be connected to the filter unit 17.

그리고 예시적인 실시예들에 따르면, 필터부(17)를 사용하는 약액의 필터링시 약액으로부터 파티클 등과 같은 잔류물과 함께 약액으로부터 버블도 필터링될 수 있다. 특히, 필터부(17)로부터 필터링되는 버블은 일정량의 약액을 필터부(17)로부터 배출시켜야만 필터부(17)로부터 제거가 이루어질 수 있다.Further, according to exemplary embodiments, when filtering the chemical liquid using the filter unit 17, bubbles from the chemical liquid may be filtered together with residues such as particles from the chemical liquid. Particularly, bubbles filtered from the filter unit 17 can be removed from the filter unit 17 only when a certain amount of the chemical is discharged from the filter unit 17.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 필터부(17)로부터 필터링되는 버블의 제거를 위하여 필터부(17)로부터 배출되는 약액을 회수하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.Accordingly, the chemical liquid supply device according to exemplary embodiments may be provided to have a structure for recovering the chemical liquid discharged from the filter unit 17 in order to remove bubbles filtered from the filter unit 17.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액 버퍼부(11)를 필터부(17)로 약액을 공급한 부분과 필터부(17)로부터 약액을 회수하는 부분을 갖도록 구비될 수 있다.Accordingly, the chemical solution supplying device according to exemplary embodiments may be provided to have a portion for supplying the chemical solution to the filter unit 17 through the chemical solution buffer unit 11 and a portion for recovering the chemical solution from the filter unit 17.

구체적으로, 약액 버퍼부(11)는 두 개 각각이 필터부(17)와 연결되도록 구비될 수 있다. 즉, 약액 버퍼부(11)를 필터부(17)로 약액을 공급하는 부분과 필터부(17)로부터 약액을 회수하는 부분이 필터부(17)와 연결되도록 구비될 수 있는 것이다. 특히, 약액 버퍼부(11)는 약액을 공급하는 부분이 경우에 따라 약액을 회수하는 부분으로 전환될 수도 있고, 약액을 회수하는 부분이 경우에 따라 약액을 공급하는 부분으로 전환될 수도 있다.Specifically, each of the two chemical buffer units 11 may be provided to be connected to the filter unit 17. That is, a portion for supplying a chemical solution to the filter unit 17 from the chemical buffer unit 11 and a portion for recovering the chemical solution from the filter unit 17 may be provided to be connected to the filter unit 17. Particularly, in the chemical solution buffer unit 11, a part for supplying the chemical solution may be converted into a part for recovering the chemical solution in some cases, and the part for recovering the chemical solution may be converted into a part for supplying the chemical solution in some cases.

따라서 예시적인 실시예들에 약액 버퍼부(11)는 두 개 각각이 필터부(17)와 연결되고, 두 개 중에 어느 하나(13)가 필터부(17)로 약액을 공급할 때에는 나머지 하나(15)가 필터부(17)로부터 배출되는 약액을 회수할 수 있고, 나머지 하나(15)가 필터부(17)로 약액을 공급할 때에는 어느 하나(13)가 필터부(17)로부터 배출되는 약액을 회수할 수 있도록 구비될 수 있다.Therefore, in exemplary embodiments, two of the chemical buffer units 11 are each connected to the filter unit 17, and when one of the two 13 supplies the chemical solution to the filter unit 17, the other one (15) ) Can recover the chemical liquid discharged from the filter unit 17, and when the remaining one (15) supplies the chemical liquid to the filter unit 17, any one 13 collects the chemical liquid discharged from the filter unit 17 It may be provided to be able to.

약액 버퍼부(11)로부터 필터부(17)로 약액의 공급시 약액의 공급이 이루어지는 부분은 가압 상태를 유지하도록 구비될 수 있고, 필터부(17)로부터 약액 버퍼부(11)로 약액의 회수시 약액의 회수가 이루어지는 부분은 대기압 상태를 유지하도록 구비될 수 있다.When the chemical solution is supplied from the chemical solution buffer unit 11 to the filter unit 17, a portion where the chemical solution is supplied may be provided to maintain a pressurized state, and recovery of the chemical solution from the filter unit 17 to the chemical solution buffer unit 11 The portion where the reagent solution is recovered may be provided to maintain an atmospheric pressure state.

이에, 약액 버퍼부(11)로부터 필터부(17)로 약액을 공급할 때에는 가압 상태를 유지하고, 필터로부터 약액 버퍼부(11)로 약액을 회수할 때에는 대기압 상태를 유지할 수 있도록 약액 버퍼부(11) 두 개, 즉 어느 하나(13) 및 나머지 하나(15)는 가압 상태를 유지하다가 대기압 상태로 전환할 수 있거나 또는 대기압 상태를 유지하다가 가압 상태로 전환할 수 있도록 구비될 수 있다.Accordingly, when the chemical solution is supplied from the chemical solution buffer unit 11 to the filter unit 17, the pressurized state is maintained, and when the chemical solution is recovered from the filter to the chemical solution buffer unit 11, the chemical solution buffer unit 11 can maintain the atmospheric pressure. ) Two, that is, one (13) and the other (15) can be converted to the atmospheric pressure state while maintaining the pressurized state, or may be provided to be converted to the pressurized state while maintaining the atmospheric pressure state.

약액 버퍼부(11)가 가압 상태를 유지할 경우에는 필터부(17)로부터 약액 버퍼부(11)로의 약액의 회수가 불가할 수 있고, 약액 버퍼부(11)가 대기압 상태를 유지할 경우에는 약액 버퍼부(11)로부터 필터부(17)로 약액의 공급이 불가할 수 있기에 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 어느 하나(13)가 가압 상태를 유지할 때에는 나머지 하나(15)가 대기압 상태를 유지할 수 있고, 나머지 하나(15)가 가압 상태를 유지할 때에는 어느 하가나 대기압 상태를 유지할 수 있게 구비될 수 있고 특히, 필요에 따라 가압 상태로부터 대기압 상태로 또는 대기압 상태로부터 가압 상태로 전환할 수 있게 구비될 수 있다.When the chemical buffer part 11 maintains a pressurized state, recovery of the chemical solution from the filter part 17 to the chemical buffer part 11 may not be possible, and when the chemical buffer part 11 maintains the atmospheric pressure, the chemical solution buffer Since the supply of the chemical solution from the unit 11 to the filter unit 17 may not be possible, the chemical solution supplying device according to exemplary embodiments of the present invention has the remaining one 15 when any one 13 maintains a pressurized state. Atmospheric pressure can be maintained, and when the remaining one (15) maintains a pressurized state, any one can be provided to maintain an atmospheric pressure state, and in particular, if necessary, it can be switched from a pressurized state to an atmospheric pressure state or from an atmospheric pressure state to a pressurized state. It can be provided to be able to.

이에, 예시적인 실시예들에서는 약액 버퍼부 어느 하나(13)가 필터부(17)로 약액을 공급하도록 가압 상태를 유지할 경우에는 약액 버퍼부 나머지 하나(15)는 필터부(17)로부터 약액을 회수하도록 대기압 상태를 유지할 수 있을 것이고, 이와 반대로 약액 버퍼부 나머지 하나(15)가 필터부(17)로 약액을 공급하도록 가압 상태를 유지할 경우에는 약액 버퍼부 어느 하나(13)는 필터부(17)로부터 약액을 회수하도록 대기압 상태를 유지할 수 있을 것이다.Accordingly, in exemplary embodiments, when one of the chemical buffer units 13 is maintained in a pressurized state to supply the chemical solution to the filter unit 17, the other chemical buffer unit 15 receives the chemical solution from the filter unit 17. The atmospheric pressure may be maintained to recover, and on the contrary, when the remaining one of the chemical buffer parts 15 is kept in a pressurized state to supply the chemical liquid to the filter 17, one of the chemical buffer parts 13 is the filter part 17 It will be able to maintain atmospheric pressure to recover the chemicals from ).

필터부(17)와 약액 버퍼부 어느 하나(13)는 제1 공급 라인(23) 및 제1 회수 라인(25)이 연결되도록 구비될 수 있고, 필터부(17)와 약액 버퍼부 나머지 하나(15)는 제2 공급 라인(27) 및 제2 회수 라인(29)이 연결되도록 구비될 수 있다.Any one of the filter unit 17 and the chemical buffer unit 13 may be provided to connect the first supply line 23 and the first recovery line 25, and the filter unit 17 and the other chemical buffer unit ( 15) may be provided so that the second supply line 27 and the second recovery line 29 are connected.

특히, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 도 1에서와 같이 약액 버퍼부 어느 하나(13)로부터 필터부(17)로 약액을 공급함과 아울러 필터부(17)로부터 약액 버퍼부 나머지 하나(15)로 약액을 회수할 때에는 제1 공급 라인(23) 및 제2 회수 라인(29)이 오픈됨과 아울러 제2 공급 라인(27) 및 제1 회수 라인(25)이 클로즈되도록 구비될 수 있다. 이때, 약액 버퍼부 어느 하나(13)는 가압 상태를 유지할 수 있고, 약액 버퍼부 나머지 하나(15)는 대기압 상태를 유지할 수 있다.In particular, the chemical solution supplying device according to exemplary embodiments supplies a chemical solution from one of the chemical solution buffer units 13 to the filter unit 17 and the other chemical solution buffer unit from the filter unit 17 ( When recovering the chemical solution with 15), the first supply line 23 and the second recovery line 29 may be opened and the second supply line 27 and the first recovery line 25 may be closed. At this time, one of the chemical buffer units 13 may maintain a pressurized state, and the other chemical buffer unit 15 may maintain an atmospheric pressure state.

또한, 도 2에서와 같이 약액 버퍼부 나머지 하나(15)로부터 필터부(17)로 약액을 공급함과 아울러 필터부(17)로부터 약액 버퍼부 어느 하나(13)로 약액을 회수할 때에는 제2 공급 라인(27) 및 제1 회수 라인(25)이 오픈됨과 아울러 제1 공급 라인(23) 및 상기 제2 회수 라인(29)이 클로즈될 수 있도록 구비될 수 있다. 이때, 약액 버퍼부 어느 하나(13)는 대기압 상태를 유지할 수 있고, 약액 버퍼부 나머지 하나(15)는 가압 상태를 유지할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 2, when the chemical solution is supplied from the remaining chemical buffer unit 15 to the filter unit 17 and the chemical solution is recovered from the filter unit 17 to the chemical solution buffer unit 13, the second supply The line 27 and the first recovery line 25 may be opened, and the first supply line 23 and the second recovery line 29 may be closed. At this time, one of the chemical buffer units 13 may maintain an atmospheric pressure state, and the other chemical solution buffer unit 15 may maintain a pressurized state.

그리고 도 1에서와 같이 약액의 공급 및 약액의 회수가 이루어지다가 도 2에서와 같이 약액의 공급 및 회수가 이루어질 경우 약액 버퍼부 어느 하나(13)는 가압 상태로부터 대기압 상태로 전환될 수 있고, 약액 버퍼부 나머지 하나(15)는 대기압 상태로부터 가압 상태로 전환될 수 있다.In addition, when the supply of the chemical solution and the recovery of the chemical solution are performed as shown in FIG. 1 and the supply and recovery of the chemical solution is performed as shown in FIG. 2, any one of the chemical solution buffer units 13 can be converted from a pressurized state to an atmospheric pressure state. The remaining one of the buffer units 15 may be converted from an atmospheric pressure state to a pressurized state.

아울러, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 언급한 임시 버퍼부(19)를 구비함으로써 필터부(17)로부터 노즐(21)로 공급되는 약액을 임시 저장한 후 노즐(21)로 공급할 수 있다.In addition, the chemical solution supply device according to exemplary embodiments may temporarily store the chemical solution supplied from the filter unit 17 to the nozzle 21 by providing the aforementioned temporary buffer unit 19 and supply it to the nozzle 21. have.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액 버퍼부(11)를 어느 하나(13) 및 나머지 하나(15)로 이루어지도록 구비하고, 필터부(17)로 약액을 공급하도록 약액 버퍼부 어느 하나(13)를 가압할 때에는 약액 버퍼부 나머지 하나(15)를 대기압으로 전환하여 필터부(17)로부터 배출되는 약액을 다시 회수할 수 있고, 이와 반대로 필터부(17)로 약액을 공급하도록 약액 버퍼부 나머지 하나(15)를 가압할 때에는 약액 버퍼부 어느 하나(13)를 대기압으로 전환하여 필터부(17)로부터 배출되는 약액을 다시 회수할 수 있다.As described above, the chemical solution supplying device according to exemplary embodiments of the present invention includes the chemical solution buffer unit 11 to be composed of one (13) and the other one (15), and supplies the chemical solution to the filter unit 17 When one of the chemical buffer parts 13 is pressurized so that the remaining one of the chemical buffer parts 15 is converted to atmospheric pressure, the chemical liquid discharged from the filter part 17 can be recovered again. Conversely, the chemical liquid discharged from the filter part 17 can be recovered. When the remaining one of the chemical buffer units 15 is pressurized to supply the chemical solution, the chemical solution discharged from the filter unit 17 may be recovered by converting one of the chemical buffer units 13 to atmospheric pressure.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액 소모량을 줄임으로써 원가 경쟁력의 향상을 통하여 디스플레이 소자의 제조에 따른 제조비의 감소를 기대할 수 있을 것이다.Accordingly, the chemical solution supplying apparatus according to exemplary embodiments of the present invention may be expected to reduce the manufacturing cost due to the manufacture of the display device through improved cost competitiveness by reducing the consumption of the chemical.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액 버퍼부(11)를 한 개가 아닌 두 개를 사용할 수 있기 때문에 약액의 공급에 따른 공정 소요 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 약액 내에 버블이 잔류하는 문제까지도 어느 정도 해결할 수 있을 것이다.In addition, since the chemical solution supplying device according to exemplary embodiments of the present invention can use two chemical solution buffer units 11 instead of one, it is possible to shorten the process time required for supplying the chemical solution, as well as Even the problem of remaining bubbles can be solved to some extent.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.The chemical solution supplying device according to exemplary embodiments of the present invention may be more actively applied to the manufacture of display devices such as organic EL devices.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

11 : 약액 버퍼부 17 : 필터부
19 : 임시 버퍼부 21 : 노즐
11: chemical buffer part 17: filter part
19: temporary buffer unit 21: nozzle

Claims (5)

노즐과 연결되고, 상기 노즐로 공급되는 약액에 잔류하는 잔류물을 필터링하는 필터부; 및
두 개 각각이 상기 필터부와 연결되고, 두 개 중에 어느 하나가 상기 필터부로 약액을 공급할 때에는 나머지 하나가 상기 필터부로부터 배출되는 약액을 회수할 수 있고, 나머지 하나가 상기 필터부로 약액을 공급할 때에는 어느 하나가 상기 필터부로부터 배출되는 약액을 회수할 수 있게 구비되는 약액 버퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
A filter unit connected to the nozzle and filtering residues remaining in the chemical solution supplied to the nozzle; And
When each of the two is connected to the filter unit, when one of the two supplies the chemical solution to the filter unit, the other can recover the chemical solution discharged from the filter unit, and when the other one supplies the chemical solution to the filter unit Any one of the chemical liquid supply device, characterized in that it comprises a chemical buffer unit provided to recover the chemical liquid discharged from the filter unit.
제1 항에 있어서,
상기 약액 버퍼부로부터 상기 필터부로 약액을 공급할 때에는 가압 상태를 유지하고, 상기 필터로부터 상기 약액 버퍼부로 약액을 회수할 때에는 대기압 상태를 유지할 수 있도록 상기 약액 버퍼부 두 개는 가압 상태를 유지하다가 대기압 상태로 전환할 수 있거나 또는 대기압 상태를 유지하다가 가압 상태로 전환할 수 있게 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
The method of claim 1,
When the chemical solution is supplied from the chemical solution buffer unit to the filter unit, a pressurized state is maintained, and when the chemical solution is recovered from the filter to the chemical solution buffer unit, the two chemical solution buffer units are maintained in a pressurized state to maintain an atmospheric pressure state. A chemical solution supplying device, characterized in that it can be switched to or provided to be switched to a pressurized state while maintaining an atmospheric pressure state.
제1 항에 있어서,
상기 필터부와 상기 약액 버퍼부 어느 하나는 상기 약액을 공급하는 제1 공급 라인 및 상기 약액을 회수하는 제1 회수 라인이 연결되고, 상기 필터부와 상기 약액 버퍼부 나머지 하나는 상기 약액을 공급하는 제2 공급 라인 및 상기 약액을 회수하는 제2 회수 라인이 연결되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
The method of claim 1,
One of the filter unit and the chemical buffer unit is connected to a first supply line for supplying the chemical solution and a first recovery line for recovering the chemical solution, and the filter unit and the remaining one of the chemical solution buffer unit supply the chemical solution. A chemical liquid supplying device, characterized in that a second supply line and a second recovery line for recovering the chemical liquid are connected.
제3 항에 있어서,
상기 약액 버퍼부 어느 하나로부터 상기 필터부로 상기 약액을 공급함과 아울러 상기 필터부로부터 상기 약액 버퍼부 나머지 하나로 상기 약액을 회수할 때에는 상기 제1 공급 라인 및 상기 제2 회수 라인이 오픈됨과 아울러 상기 제2 공급 라인 및 상기 제1 회수 라인이 클로즈되고, 상기 약액 버퍼부 나머지 하나로부터 상기 필터부로 상기 약액을 공급함과 아울러 상기 필터부로부터 상기 약액 버퍼부 어느 하나로 상기 약액을 회수할 때에는 상기 제2 공급 라인 및 상기 제1 회수 라인이 오픈됨과 아울러 상기 제1 공급 라인 및 상기 제2 회수 라인이 클로즈되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
The method of claim 3,
When the chemical solution is supplied from one of the chemical buffer units to the filter unit and the chemical solution is recovered from the filter unit to the other of the chemical solution buffer unit, the first supply line and the second recovery line are opened and the second When the supply line and the first recovery line are closed, the chemical solution is supplied from the remaining one of the chemical buffer unit to the filter unit and the chemical solution is recovered from the filter unit to any of the chemical solution buffer units, the second supply line and And the first supply line and the second recovery line are closed while the first recovery line is opened.
제1 항에 있어서,
상기 필터부로부터 상기 노즐로 공급되는 약액을 임시 저장한 후 상기 노즐로 공급할 수 있게 상기 필터부와 상기 노즐 사이에 구비되는 임시 버퍼부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
The method of claim 1,
And a temporary buffer unit provided between the filter unit and the nozzle to temporarily store the chemical solution supplied from the filter unit to the nozzle and then supply it to the nozzle.
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