KR20240029956A - Chemical liquid recycling mothod and chemical liquid supply apparatus suitable for performing the same - Google Patents
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Abstract
약액 재활용 방법은, 기포를 함유하는 약액이 임시 저장부에 저장되고, 임시 저장부에 저장된 약액이 약액의 토출이 가능한 노즐부로 차징되며, 노즐부로 차징된 약액의 제1 일부가 기포와 함께 드레인부로 배출되고, 약액의 나머지 중 제2 일부가 서브 임시 저장부에 저장된다.In the chemical liquid recycling method, a chemical liquid containing bubbles is stored in a temporary storage unit, the chemical liquid stored in the temporary storage unit is charged to a nozzle unit capable of discharging the chemical liquid, and the first part of the chemical liquid charged into the nozzle unit is discharged into the drain unit together with the air bubbles. is discharged, and a second part of the remainder of the chemical solution is stored in the sub-temporary storage unit.
Description
본 발명은 약액 재활용 방법 및 이를 수행하기 적합한 약액 공급 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 제조 소자의 설비에 필요한 약액 재활용 방법 및 이를 수행하기 적합한 약액 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method for recycling a chemical solution and a chemical supply device suitable for carrying out the same. More specifically, it relates to a chemical recycling method required for semiconductor manufacturing device equipment and a chemical supply device suitable for performing the same.
반도체 및/또는 평판 패널 디스플레이 제조 공정에는 다양한 액상의 화학 약품 또는 물이 빈번하게 사용된다. 다양한 액상의 화학 약품은 예를 들어, 불산, 황산, 질산, 인산 등과 같은 산성 용액도 있고, 수산화 칼륨, 수 산화 나트륨, 암모늄 등을 함유하는 알칼리성 용액도 있으며, 세정액에 사용되는 화학 약품 등이 있다.Various liquid chemicals or water are frequently used in semiconductor and/or flat panel display manufacturing processes. Various liquid chemicals include, for example, acidic solutions such as hydrofluoric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, etc., alkaline solutions containing potassium hydroxide, sodium hydroxide, ammonium, etc., and chemicals used in cleaning liquids. .
약액 공급 장치는 반도체 및/또는 평판 패널 디스플레이 제조 공정의 기판 처리 장치로 약액을 공급하기 위한 것이다. 다만, 상기 약액 공급 장치는 기포가 제거된 약액을 공급해야 하므로, 상기 기포를 제거하기 위해 상기 약액의 일부를 상기 기포와 함께 폐기하는 방식을 사용해 왔다. 이러한 과정에서, 상기 약액이 낭비된다.The chemical solution supply device is used to supply a chemical solution to a substrate processing device in a semiconductor and/or flat panel display manufacturing process. However, since the chemical solution supply device must supply a chemical solution from which air bubbles have been removed, a method of discarding part of the chemical solution along with the air bubbles has been used to remove the air bubbles. In this process, the chemical solution is wasted.
본 발명의 일 과제는 약액의 낭비를 줄이는 약액 재활용 방법을 제공하는 것에 있다.One object of the present invention is to provide a chemical recycling method that reduces chemical waste.
본 발명의 다른 과제는 상기 약액 재활용 방법을 수행하기 적합한 약액 공급 장치를 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a chemical solution supply device suitable for performing the chemical solution recycling method.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 일 실시예에 따른 약액 재활용 방법은, 기포를 함유하는 약액이 임시 저장부에 저장되는 단계, 상기 임시 저장부에 저장된 상기 약액이 상기 약액의 토출이 가능한 노즐부로 차징되는 단계, 상기 노즐부로 차징된 상기 약액의 제1 일부가 상기 기포와 함께 드레인부로 배출되는 단계 및 상기 약액의 나머지 중 제2 일부가 서브 임시 저장부에 저장되는 단계를 포함할 수 있다.The chemical recycling method according to an embodiment for achieving the object of the present invention includes the steps of storing a chemical liquid containing bubbles in a temporary storage unit, and the chemical liquid stored in the temporary storage unit through a nozzle capable of discharging the chemical liquid. It may include the steps of charging the chemical liquid into the nozzle unit, discharging a first part of the chemical liquid charged into the nozzle unit to the drain unit together with the bubbles, and storing a second part of the remainder of the chemical liquid in a sub-temporary storage unit.
실시예들에 있어서, 상기 약액 재활용 방법은, 상기 제1 일부가 상기 기포와 함께 상기 드레인부로 배출되는 단계 이전에, 상기 노즐부, 상기 드레인부 및 상기 서브 임시 저장부와 물리적으로 연결되는 방향전환밸브가, 상기 노즐부 및 상기 드레인부만 서로 개방되도록 하는 제1 모드를 채용하는 단계를 더 포함할 수 있다.In embodiments, the chemical recycling method includes a direction change in which the first portion is physically connected to the nozzle portion, the drain portion, and the sub-temporary storage portion before the step of discharging the first portion together with the bubbles into the drain portion. The valve may further include adopting a first mode in which only the nozzle portion and the drain portion are opened to each other.
실시예들에 있어서, 상기 약액 재활용 방법은, 상기 제2 일부가 상기 서브 임시 저장부에 저장되는 단계 이전에, 상기 방향전환밸브가, 상기 노즐부 및 상기 서브 임시 저장부만 서로 개방되도록 하는 제2 모드를 채용하는 단계를 더 포함할 수 있다. In embodiments, the chemical recycling method may include, before the step of storing the second part in the sub-temporary storage, the direction change valve may open only the nozzle portion and the sub-temporary storage to each other. The step of employing mode 2 may further be included.
실시예들에 있어서, 상기 약액 재활용 방법은, 상기 서브 임시 저장부에 저장된 상기 제2 일부가 상기 임시 저장부에 재저장되는 단계를 더 포함할 수 있다.In embodiments, the chemical recycling method may further include re-storing the second part stored in the sub-temporary storage unit in the temporary storage unit.
실시예들에 있어서, 상기 약액 재활용 방법은, 상기 임시 저장부에 재저장된 상기 제2 일부가 상기 노즐부로 재차징되는 단계를 더 포함할 수 있다.In embodiments, the chemical recycling method may further include the step of recharging the second portion re-stored in the temporary storage unit into the nozzle unit.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는, 기포를 함유하는 약액이 저장되는 임시 저장부, 상기 약액의 토출이 가능하고, 상기 임시 저장부에 저장된 상기 약액이 차징되는 노즐부, 상기 노즐부로 차징된 상기 약액의 제1 일부가 상기 기포와 함께 배출되는 드레인부 및 상기 약액의 나머지 중 제2 일부가 저장되는 서브 임시 저장부를 포함할 수 있다.A chemical solution supply device according to an embodiment for achieving another object of the present invention includes a temporary storage part in which a chemical solution containing bubbles is stored, the chemical solution capable of being discharged, and the chemical solution stored in the temporary storage part being charged. It may include a nozzle unit, a drain unit through which a first part of the chemical liquid charged into the nozzle unit is discharged together with the bubbles, and a sub-temporary storage unit where a second part of the remainder of the chemical liquid is stored.
실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 장치는, 상기 노즐부, 상기 드레인부 및 상기 서브 임시 저장부와 물리적으로 연결되고, 상기 노즐부 및 상기 드레인부만 서로 개방되도록 하는 제1 모드를 채용하는 방향전환밸브를 더 포함할 수 있다.In embodiments, the chemical solution supply device is physically connected to the nozzle unit, the drain unit, and the sub-temporary storage unit, and adopts a first mode in which only the nozzle unit and the drain unit are opened to each other. A switching valve may be further included.
실시예들에 있어서, 상기 방향전환밸브는, 상기 노즐부 및 상기 서브 임시 저장부만 서로 개방되도록 하는 제2 모드를 채용할 수 있다.In embodiments, the direction change valve may adopt a second mode in which only the nozzle portion and the sub-temporary storage portion are opened to each other.
실시예들에 있어서, 상기 임시 저장부에, 상기 서브 임시 저장부에 저장된 상기 제2 일부가 재저장될 수 있다.In embodiments, the second part stored in the sub-temporary storage unit may be re-stored in the temporary storage unit.
실시예들에 있어서, 상기 노즐부에, 상기 임시 저장부에 재저장된 상기 제2 일부가 재차징될 수 있다.In embodiments, the second portion re-stored in the nozzle unit and the temporary storage unit may be recharged.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 재활용 방법 및 이를 수행하기 적합한 약액 공급 장치에 따르면, 약액의 일부를 재활용할 수 있다. 따라서, 상기 약액의 구비에 필요한 시간 및 비용을 절약할 수 있다.According to a chemical solution recycling method and a chemical solution supply device suitable for carrying out the method according to an embodiment of the present invention, a part of the chemical solution can be recycled. Accordingly, the time and cost required for providing the chemical solution can be saved.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 재활용 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
도 3은 도 1의 약액 재활용 방법의 '기포를 함유하는 약액이 임시 저장부에 저장되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1의 약액 재활용 방법의 '임시 저장부에 저장된 약액이 약액의 토출이 가능한 노즐부로 차징되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 1의 약액 재활용 방법의 '노즐부로 차징된 약액의 제1 일부가 기포와 함께 드레인부로 배출되는 단계' 등을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 1의 약액 재활용 방법의 '약액의 나머지 중 제2 일부가 서브 임시 저장부에 저장되는 단계' 등을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 1 의 약액 재활용 방법의 '서브 임시 저장부에 저장된 제2 일부가 임시 저장부에 재저장되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 1 의 약액 재활용 방법의 '임시 저장부에 재저장된 제2 일부가 노즐부로 재차징되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.1 is a flowchart illustrating a chemical recycling method according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a configuration diagram for explaining a chemical solution supply device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram for explaining the 'step of storing a chemical solution containing bubbles in a temporary storage unit' of the chemical solution recycling method of FIG. 1.
FIG. 4 is a diagram for explaining the 'step of charging the chemical liquid stored in the temporary storage unit to the nozzle unit capable of discharging the chemical liquid' of the chemical liquid recycling method of FIG. 1.
FIG. 5 is a diagram for explaining the 'step in which the first part of the chemical liquid charged to the nozzle unit is discharged to the drain unit together with air bubbles' of the chemical liquid recycling method of FIG. 1.
FIG. 6 is a diagram for explaining the 'step of storing a second part of the remainder of the chemical solution in the sub-temporary storage unit' of the chemical solution recycling method of FIG. 1.
FIG. 7 is a diagram for explaining the 'step of re-storing the second part stored in the sub-temporary storage unit' in the chemical recycling method of FIG. 1.
FIG. 8 is a diagram for explaining the 'step of recharging the second portion re-stored in the temporary storage unit to the nozzle unit' of the chemical recycling method of FIG. 1.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be subject to various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosed form, and should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention. While describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in this application are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “consist of” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that it does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and unless explicitly defined in the present application, should not be interpreted in an ideal or excessively formal sense. No.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Exemplary embodiments will be described in more detail with reference to the attached drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and duplicate descriptions for the same components are omitted.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 재활용 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 구성도이다.Figure 1 is a flow chart for explaining a chemical solution recycling method according to an embodiment of the present invention, and Figure 2 is a configuration diagram for explaining a chemical solution supply device according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(1000)는 임시 저장부(100), 노즐부(200), 드레인부(300), 서브 임시 저장부(400) 및 방향전환밸브(500)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, the chemical solution supply device 1000 according to one embodiment includes a temporary storage unit 100, a nozzle unit 200, a drain unit 300, a sub-temporary storage unit 400, and a direction change unit. It may include a valve 500.
이하에서, 임시 저장부(100), 노즐부(200), 드레인부(300), 서브 임시 저장부(400) 및 방향전환밸브(500)를 언급하면서 일 실시예에 따른 약액 공급 방법을 먼저 설명하나, 약액 공급 장치(1000)는 이에 제한되지 아니한다.Below, a method of supplying a chemical solution according to an embodiment will first be described while referring to the temporary storage unit 100, the nozzle unit 200, the drain unit 300, the sub-temporary storage unit 400, and the direction change valve 500. However, the chemical solution supply device 1000 is not limited to this.
도 3은 도 1의 약액 재활용 방법의 '기포를 함유하는 약액이 임시 저장부에 저장되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 3 is a diagram for explaining the 'step of storing a chemical solution containing bubbles in a temporary storage unit' of the chemical solution recycling method of FIG. 1.
도 1 및 도 3을 참조하면, 먼저, 기포(1)를 함유하는 약액(10)이 임시 저장부(100)에 저장될 수 있다(S100).Referring to FIGS. 1 and 3 , first, the chemical solution 10 containing bubbles 1 may be stored in the temporary storage unit 100 (S100).
임시 저장부(100)는 메인 저장부(M)와 연결될 수 있는데, 기포(1)를 함유하는 약액(10)은 메인 저장부(M)로부터 공급될 수 있다. The temporary storage unit 100 may be connected to the main storage unit (M), and the chemical solution 10 containing the bubbles 1 may be supplied from the main storage unit (M).
일 실시예에서, 메인 저장부(M)와 임시 저장부(100) 사이에는, 약액(10)에 잔류하는 불순물을 제거하기 위한 불순물 필터부(20) 및 약액(10)에 잔류하는 가스를 제거하기 위한 디개싱 필터부(30)가 구비될 수 있다.In one embodiment, between the main storage unit (M) and the temporary storage unit 100, an impurity filter unit 20 for removing impurities remaining in the chemical solution 10 and a gas remaining in the chemical solution 10 are provided. A degassing filter unit 30 may be provided to do this.
도 4는 도 1의 약액 재활용 방법의 '임시 저장부에 저장된 약액이 약액의 토출이 가능한 노즐부로 차징되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a diagram for explaining the 'step of charging the chemical liquid stored in the temporary storage unit to the nozzle unit capable of discharging the chemical liquid' of the chemical liquid recycling method of FIG. 1.
도 1 및 도 4를 참조하면, 다음으로, 임시 저장부(100)에 저장된 약액(10)이 약액(10)의 토출이 가능한 노즐부(200)로 차징(Charging)될 수 있다(S200).Referring to FIGS. 1 and 4 , next, the chemical liquid 10 stored in the temporary storage unit 100 may be charged to the nozzle unit 200 capable of discharging the chemical liquid 10 (S200).
일 실시예에서, 임시 저장부(100)와 노즐부(200) 사이에는, 펌프(40)가 구비될 수 있고, 펌프(40)의 펌핑 동작에 따라 임시 저장부(100)에 저장된 약액(10)이 노즐부(200)로 차징(Charging)될 수 있다.In one embodiment, a pump 40 may be provided between the temporary storage unit 100 and the nozzle unit 200, and the chemical solution 10 stored in the temporary storage unit 100 may be pumped according to the pumping operation of the pump 40. ) can be charged to the nozzle unit 200.
도 5는 도 1의 약액 재활용 방법의 '노즐부로 차징된 약액의 제1 일부가 기포와 함께 드레인부로 배출되는 단계' 등을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 5 is a diagram for explaining the 'step in which the first part of the chemical liquid charged to the nozzle unit is discharged to the drain unit together with air bubbles' of the chemical liquid recycling method of FIG. 1.
도 1 및 도 5를 참조하면, 다음으로, 노즐부(200)로 차징된 약액(10)의 제1 일부(10A)가 기포(1)와 함께 드레인부(300)로 배출될 수 있다(S300).Referring to FIGS. 1 and 5 , next, the first portion 10A of the chemical liquid 10 charged to the nozzle unit 200 may be discharged to the drain unit 300 together with the air bubbles 1 (S300). ).
다만, 그 전에, 노즐부(200), 드레인부(300) 및 서브 임시 저장부(400)와 물리적으로 연결된 방향전환밸브(500)가, 노즐부(200) 및 드레인부(300)만 서로 개방되도록 하는 제1 모드를 채용할 수 있다(S*). 이에 따라, 노즐부(200)로 차징된 약액(10)의 제1 일부(10A)가 기포(1)와 함께 드레인부(300)로 배출될 수 있는 것이다(S300).However, before that, the direction switching valve 500, which is physically connected to the nozzle unit 200, the drain unit 300, and the sub temporary storage unit 400, opens only the nozzle unit 200 and the drain unit 300 to each other. The first mode that makes it possible can be adopted (S*). Accordingly, the first portion 10A of the chemical liquid 10 charged to the nozzle unit 200 can be discharged to the drain unit 300 together with the air bubbles 1 (S300).
일 실시예에서, 방향전환밸브(500)는 3-방향 밸브일 수 있고, 수동으로 제어될 수 있다.In one embodiment, the diverting valve 500 may be a three-way valve and may be manually controlled.
다른 실시예에서, 방향전환밸브(500)는 3-방향 밸브일 수 있고, 제어부(50)에 의해 제어될 수 있다.In another embodiment, the directional valve 500 may be a three-way valve and may be controlled by the controller 50.
도 6은 도 1의 약액 재활용 방법의 '약액의 나머지 중 제2 일부가 서브 임시 저장부에 저장되는 단계' 등을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 6 is a diagram for explaining the 'step of storing a second part of the remainder of the chemical solution in the sub-temporary storage unit' of the chemical solution recycling method of FIG. 1.
도 1 및 도 6을 참조하면, 다음으로, 약액(10)의 나머지(예를 들어, 약액(10)에서 기포(1)와 제1 일부(10A)를 제외한 나머지) 중 제2 일부(10B)가 서브 임시 저장부(400)에 저장될 수 있다(S400).Referring to Figures 1 and 6, next, a second part (10B) of the remainder of the chemical solution (10) (for example, the remainder excluding the bubbles (1) and the first part (10A) in the chemical solution (10)) may be stored in the sub-temporary storage unit 400 (S400).
다만, 그 전에, 방향전환밸브(500)가, 노즐부(200) 및 서브 임시 저장부(400)만 서로 개방되도록 하는 제2 모드를 상기 제1 모드와 선택적으로 채용할 수 있다(S**). 이에 따라, 약액(10)의 상기 나머지 중 제2 일부(10B)가 서브 임시 저장부(400)에 저장될 수 있는 것이다(S400).However, before that, the direction change valve 500 may selectively adopt the first mode and the second mode in which only the nozzle unit 200 and the sub-temporary storage unit 400 are opened to each other (S** ). Accordingly, the second part 10B of the remainder of the chemical solution 10 can be stored in the sub-temporary storage unit 400 (S400).
도 7은 도 1 의 약액 재활용 방법의 '서브 임시 저장부에 저장된 제2 일부가 임시 저장부에 재저장되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 7 is a diagram for explaining the 'step of re-storing the second part stored in the sub-temporary storage unit' in the chemical recycling method of FIG. 1.
도 1 및 도 7을 참조하면, 다음으로, '서브 임시 저장부(400)에 저장된 제2 일부(10B)가 임시 저장부(100)에 재저장될 수 있다(S500).Referring to FIGS. 1 and 7, next, the second part 10B stored in the sub-temporary storage unit 400 may be re-stored in the temporary storage unit 100 (S500).
일 실시예에서, 서브 임시 저장부(400)와 임시 저장부(100) 사이에는, 약액(10)에 잔류하는 불순물을 제거하기 위한 불순물 필터부(20) 및 약액(10)에 잔류하는 가스를 제거하기 위한 디개싱 필터부(30)가 구비될 수 있다.In one embodiment, between the sub-temporary storage unit 400 and the temporary storage unit 100, an impurity filter unit 20 for removing impurities remaining in the chemical solution 10 and a gas remaining in the chemical solution 10 are provided. A degassing filter unit 30 may be provided for removal.
도 8은 도 1 의 약액 재활용 방법의 '임시 저장부에 재저장된 제2 일부가 노즐부로 재차징되는 단계'를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 8 is a diagram for explaining the 'step of recharging the second portion re-stored in the temporary storage unit to the nozzle unit' of the chemical recycling method of FIG. 1.
도 1 및 도 8을 참조하면, 다음으로, 임시 저장부(100)에 재저장된 제2 일부(10B)가 노즐부(200)로 재차징될 수 있다(S600).Referring to FIGS. 1 and 8 , next, the second part 10B restored in the temporary storage unit 100 may be recharged into the nozzle unit 200 (S600).
일 실시예에 따른 상기 약액 재활용 방법에 따르면, 약액(10)의 일부(예를 들어, 제2 일부(10B))를 재활용할 수 있다. 따라서, 약액(10)의 구비에 필요한 시간 및 비용을 절약할 수 있다.According to the chemical solution recycling method according to one embodiment, a part (eg, the second part 10B) of the chemical solution 10 can be recycled. Accordingly, the time and cost required for providing the chemical solution 10 can be saved.
이하에서, 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 상기 약액 재활용 방법을 수행하기 적합한 약액 공급 장치(1000)를 설명하나, 상기 약액 재활용 방법은 이에 제한되지 아니한다.Hereinafter, a chemical solution supply device 1000 suitable for performing the chemical solution recycling method described with reference to FIGS. 1 to 8 will be described, but the chemical solution recycling method is not limited thereto.
상술한 바와 같이, 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(1000)는, 임시 저장부(100), 노즐부(200), 드레인부(300), 서브 임시 저장부(400) 및 방향전환밸브(500)를 포함할 수 있다.As described above, the chemical solution supply device 1000 according to one embodiment includes a temporary storage unit 100, a nozzle unit 200, a drain unit 300, a sub-temporary storage unit 400, and a direction change valve 500. ) may include.
임시 저장부(100)에는, 기포(1)를 함유하는 약액(10)이 저장될 수 있다.In the temporary storage unit 100, a chemical solution 10 containing bubbles 1 may be stored.
임시 저장부(100)는 메인 저장부(M)와 연결될 수 있는데, 기포(1)를 함유하는 약액(10)은 메인 저장부(M)로부터 공급될 수 있다. The temporary storage unit 100 may be connected to the main storage unit (M), and the chemical solution 10 containing the bubbles 1 may be supplied from the main storage unit (M).
일 실시예에서, 메인 저장부(M)와 임시 저장부(100) 사이에는, 약액(10)에 잔류하는 불순물(미도시)을 제거하기 위한 불순물 필터부(20) 및 약액(10)에 잔류하는 가스를 제거하기 위한 디개싱 필터부(30)가 구비될 수 있다.In one embodiment, between the main storage unit (M) and the temporary storage unit 100, an impurity filter unit 20 for removing impurities (not shown) remaining in the chemical solution 10 and the chemical solution 10. A degassing filter unit 30 may be provided to remove the gas.
노즐부(200)는, 약액(10)의 토출이 가능할 수 있다. 또한, 노즐부(200)에는, 임시 저장부(100)에 저장된 약액(10)이 차징될 수 있다.The nozzle unit 200 may be capable of discharging the chemical liquid 10. Additionally, the nozzle unit 200 may be charged with the chemical liquid 10 stored in the temporary storage unit 100.
일 실시예에서, 임시 저장부(100)와 노즐부(200) 사이에는, 펌프(40)가 구비될 수 있고, 펌프(40)의 펌핑 동작에 따라 임시 저장부(100)에 저장된 약액(10)이 노즐부(200)로 차징(Charging)될 수 있다.In one embodiment, a pump 40 may be provided between the temporary storage unit 100 and the nozzle unit 200, and the chemical solution 10 stored in the temporary storage unit 100 may be pumped according to the pumping operation of the pump 40. ) can be charged to the nozzle unit 200.
드레인부(300)에는, 노즐부(200)로 차징된 약액(10)의 제1 일부(10A)가 기포(1)와 함께 배출될 수 있다.The first portion 10A of the chemical liquid 10 charged with the nozzle unit 200 may be discharged along with the air bubbles 1 to the drain unit 300 .
한편, 방향전환밸브(500)는 노즐부(200), 드레인부(300) 및 서브 임시 저장부(400)와 물리적으로 연결될 수 있고, 노즐부(200) 및 드레인부(300)만 서로 개방되도록 하는 제1 모드를 채용할 수 있다. 이에 따라, 드레인부(300)에, 노즐부(200)로 차징된 약액(10)의 제1 일부(10A)가 기포(1)와 함께 배출될 수 있는 것이다.Meanwhile, the direction change valve 500 may be physically connected to the nozzle unit 200, the drain unit 300, and the sub-temporary storage unit 400, and only the nozzle unit 200 and the drain unit 300 may be opened to each other. The first mode can be adopted. Accordingly, the first portion 10A of the chemical liquid 10 charged with the nozzle unit 200 can be discharged to the drain unit 300 together with the air bubbles 1.
일 실시예에서, 방향전환밸브(500)는 3-방향 밸브일 수 있고, 수동으로 제어될 수 있다.In one embodiment, the diverting valve 500 may be a three-way valve and may be manually controlled.
다른 실시예에서, 방향전환밸브(500)는 3-방향 밸브일 수 있고, 제어부(50)에 의해 제어될 수 있다.In another embodiment, the directional valve 500 may be a three-way valve and may be controlled by the controller 50.
서브 임시 저장부(400)에는, 약액(10)의 나머지(예를 들어, 약액(10)에서 기포(1)와 제1 일부(10A)를 제외한 나머지) 중 제2 일부(10B)가 저장될 수 있다.In the sub-temporary storage unit 400, the second part 10B of the remainder of the chemical solution 10 (for example, the remainder excluding the bubbles 1 and the first part 10A in the chemical solution 10) will be stored. You can.
한편, 방향전환밸브(500)는, 노즐부(200) 및 서브 임시 저장부(400)만 서로 개방되도록 하는 제2 모드를 상기 제1 모드와 선택적으로 채용할 수 있다. 이에 따라, 서브 임시 저장부(400)에, 약액(10)의 상기 나머지 중 제2 일부(10B)가 저장될 수 있는 것이다.Meanwhile, the direction switching valve 500 may selectively adopt a second mode in which only the nozzle unit 200 and the sub-temporary storage unit 400 are opened to each other, in conjunction with the first mode. Accordingly, the second part 10B of the remainder of the chemical solution 10 can be stored in the sub-temporary storage unit 400.
임시 저장부(100)에는, 서브 임시 저장부(400)에 저장된 제2 일부(10B)가 재저장될 수 있다.In the temporary storage unit 100, the second part 10B stored in the sub-temporary storage unit 400 may be re-stored.
일 실시예에서, 서브 임시 저장부(400)와 임시 저장부(100) 사이에는, 약액(10)에 잔류하는 불순물을 제거하기 위한 불순물 필터부(20) 및 약액(10)에 잔류하는 가스를 제거하기 위한 디개싱 필터부(30)가 구비될 수 있다.In one embodiment, between the sub-temporary storage unit 400 and the temporary storage unit 100, an impurity filter unit 20 for removing impurities remaining in the chemical solution 10 and a gas remaining in the chemical solution 10 are provided. A degassing filter unit 30 may be provided for removal.
노즐부(200)에는, 임시 저장부(100)에 재저장된 제2 일부(10B)가 재차징될 수 있다.The second part 10B restored in the temporary storage unit 100 may be recharged in the nozzle unit 200.
일 실시예에 따른 약액 공급 장치(1000)에 따르면, 약액(10)의 일부(예를 들어, 제2 일부(10B))를 재활용할 수 있다. 따라서, 약액(10)의 구비에 필요한 시간 및 비용을 절약할 수 있다.According to the chemical solution supply device 1000 according to one embodiment, a part (eg, the second part 10B) of the chemical solution 10 can be recycled. Accordingly, the time and cost required for providing the chemical solution 10 can be saved.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 약액 재활용 방법 및 이를 수행하기 적합한 약액 공급 장치를 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the chemical recycling method and the chemical liquid supply device suitable for performing the same have been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will not deviate from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following patent claims. It will be understood that various modifications and changes can be made to the present invention within the scope.
1000 : 약액 공급 장치
1 : 기포
10 : 약액
100 : 임시 저장부
200 : 노즐부
300 : 드레인부
400 : 임시 서브 저장부
500 : 방향전환밸브1000: Chemical supply device 1: Air bubbles
10: chemical solution 100: temporary storage unit
200: nozzle part 300: drain part
400: Temporary sub storage unit 500: Direction change valve
Claims (10)
상기 임시 저장부에 저장된 상기 약액이 상기 약액의 토출이 가능한 노즐부로 차징되는 단계;
상기 노즐부로 차징된 상기 약액의 제1 일부가 상기 기포와 함께 드레인부로 배출되는 단계; 및
상기 약액의 나머지 중 제2 일부가 서브 임시 저장부에 저장되는 단계를 포함하는 약액 재활용 방법.storing a chemical solution containing bubbles in a temporary storage unit;
Charging the chemical liquid stored in the temporary storage unit into a nozzle unit capable of discharging the chemical liquid;
discharging a first portion of the chemical liquid charged into the nozzle unit to a drain unit along with the air bubbles; and
A chemical solution recycling method comprising storing a second part of the remainder of the chemical solution in a sub-temporary storage unit.
상기 제1 일부가 상기 기포와 함께 상기 드레인부로 배출되는 단계 이전에,
상기 노즐부, 상기 드레인부 및 상기 서브 임시 저장부와 물리적으로 연결되는 방향전환밸브가, 상기 노즐부 및 상기 드레인부만 서로 개방되도록 하는 제1 모드를 채용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재활용 방법.According to claim 1,
Before the step of discharging the first part together with the bubbles into the drain part,
The direction change valve physically connected to the nozzle unit, the drain unit, and the sub-temporary storage unit further comprises the step of adopting a first mode in which only the nozzle unit and the drain unit are opened to each other. How to recycle chemical liquid.
상기 제2 일부가 상기 서브 임시 저장부에 저장되는 단계 이전에,
상기 방향전환밸브가, 상기 노즐부 및 상기 서브 임시 저장부만 서로 개방되도록 하는 제2 모드를 채용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재활용 방법.According to clause 2,
Before the second part is stored in the sub-temporary storage,
The method of recycling chemical liquid further comprising the step of employing a second mode in which the direction change valve allows only the nozzle portion and the sub-temporary storage portion to be opened to each other.
상기 서브 임시 저장부에 저장된 상기 제2 일부가 상기 임시 저장부에 재저장되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재활용 방법.According to claim 1,
The chemical solution recycling method further comprising the step of re-storing the second part stored in the sub-temporary storage unit in the temporary storage unit.
상기 임시 저장부에 재저장된 상기 제2 일부가 상기 노즐부로 재차징되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재활용 방법.According to clause 4,
The chemical recycling method further comprising the step of recharging the second portion re-stored in the temporary storage unit to the nozzle unit.
상기 약액의 토출이 가능하고, 상기 임시 저장부에 저장된 상기 약액이 차징되는 노즐부;
상기 노즐부로 차징된 상기 약액의 제1 일부가 상기 기포와 함께 배출되는 드레인부; 및
상기 약액의 나머지 중 제2 일부가 저장되는 서브 임시 저장부를 포함하는 약액 공급 장치.a temporary storage unit that stores a chemical solution containing bubbles;
a nozzle unit capable of discharging the chemical liquid and being charged with the chemical liquid stored in the temporary storage unit;
a drain portion through which a first portion of the chemical liquid charged into the nozzle portion is discharged together with the bubbles; and
A chemical solution supply device including a sub-temporary storage unit in which a second part of the remainder of the chemical solution is stored.
상기 노즐부, 상기 드레인부 및 상기 서브 임시 저장부와 물리적으로 연결되고, 상기 노즐부 및 상기 드레인부만 서로 개방되도록 하는 제1 모드를 채용하는 방향전환밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.According to clause 6,
Chemical solution supply characterized in that it is physically connected to the nozzle unit, the drain unit and the sub-temporary storage unit and further comprises a direction change valve employing a first mode that allows only the nozzle unit and the drain unit to be opened to each other. Device.
상기 방향전환밸브는, 상기 노즐부 및 상기 서브 임시 저장부만 서로 개방되도록 하는 제2 모드를 채용하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.According to clause 7,
The chemical liquid supply device characterized in that the direction change valve adopts a second mode in which only the nozzle portion and the sub-temporary storage portion are opened to each other.
상기 임시 저장부에, 상기 서브 임시 저장부에 저장된 상기 제2 일부가 재저장되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.According to clause 6,
A chemical solution supply device, wherein the second part stored in the sub-temporary storage unit is re-stored in the temporary storage unit.
상기 노즐부에, 상기 임시 저장부에 재저장된 상기 제2 일부가 재차징되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.According to clause 9,
A chemical liquid supply device, characterized in that the second part stored in the temporary storage unit is recharged in the nozzle unit.
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