KR20200145069A - Gate valve system - Google Patents

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KR20200145069A
KR20200145069A KR1020190073509A KR20190073509A KR20200145069A KR 20200145069 A KR20200145069 A KR 20200145069A KR 1020190073509 A KR1020190073509 A KR 1020190073509A KR 20190073509 A KR20190073509 A KR 20190073509A KR 20200145069 A KR20200145069 A KR 20200145069A
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최대규
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Abstract

The present invention relates to a monotype gate valve system in which a sealing member is formed stepwise so that a passage can be opened and closed only by rising movement of a door, wherein the monotype gate valve system comprises: a valve housing formed with a passage having a first lower surface and a second lower surface at least one part thereof and formed with a door replacement area on the other part thereof; a monotype door installed with a first sealing member corresponding to the first lower surface and the second lower surface of the passage so that the passage is opened and closed; an elevating platform supporting the door; an elevating shaft elevating the elevating platform; and a door replacement moving device opening and closing the passage when the door is elevated at a first location, and moving the door from the first location to a second location so that the door can be moved to the door replacement area when the door is elevated to the second location.

Description

게이트 밸브 시스템{Gate valve system}Gate valve system

본 발명은 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어를 교체할 수 있는 게이트 밸브 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve system, and more particularly, to a gate valve system capable of replacing a door without breaking the overall vacuum.

일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.In general, the chamber is an industrial facility facility used to manufacture advanced semiconductor devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, etc., or display devices or other medical devices that require a vacuum or high clean working environment. The gate valve attached to the chamber serves as an entrance to the chamber, and is a type of device that opens the door to move semiconductor chips or wafers into the chamber space, and closes the door again to maintain an airtight state in the chamber.

한편, 이러한 종래 게이트 밸브는 일반적으로 오링을 이용하여 기밀 상태를 유지하는 것으로서, 내부의 공정 환경이나 진공, 고압, 고온 등의 악조건에 의해 탄성 재질로 제조되는 오링이 쉽게 마모되거나 변형되어 주기적으로 교환해야 하는 번거로움이 있었다.On the other hand, these conventional gate valves generally use O-rings to maintain an airtight state, and the O-rings made of elastic materials are easily worn or deformed due to the internal process environment or adverse conditions such as vacuum, high pressure, and high temperature, and are replaced periodically. There was a hassle to do.

이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허 제10-2006-0069287호에 개시된 바와 같이, 밸브 하우징의 일부분에 설치된 개폐 덮개를 열고, 밸브체로부터 밀봉 부재(오링)만을 교환할 수 있는 기술이 개발된 바 있다.As a conventional technology to solve this problem, as disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0069287, a technology capable of opening the opening/closing cover installed on a part of the valve housing and replacing only the sealing member (O-ring) from the valve body Has been developed.

그러나, 이러한 오링만을 교환하는 종래의 기술은 최근 추세인 일체형 오링이 적용된 도어에서는 사용할 수 없고, 설사 오링만 교환한다 하더라도 오링을 좁은 오링홈에 끼우는 작업이 매우 번거롭고 수작업으로 이루어지기 때문에 부주의로 인하여 부품이 손상되거나 오링이 불완전하게 설치되어 기밀 유지가 어려웠었던 문제점들이 있었다.However, the conventional technology for replacing only such O-rings cannot be used in doors with integrated O-rings, which is a recent trend, and even if only the O-rings are replaced, the work of inserting the O-rings into the narrow O-ring grooves is very cumbersome and is made by hand. There were problems in which it was difficult to maintain airtightness due to damage or incomplete installation of O-rings.

또한, 이러한 종래의 오링 교환 기술은 오링을 교환하기 위해서 매우 넓은 영역이 개방되어야 하는 데, 이러한 넓은 영역으로 인하여 장비의 부피가 커져서 장비의 제조 단가가 비싸지는 것은 물론이고, 장비의 내부 공간이 넓어져서 진공압을 형성하는 데에 시간과 비용이 많이 소요되는 등 많은 문제점들이 있었다.In addition, such conventional O-ring exchange technology requires a very wide area to be opened in order to exchange O-rings. Due to this large area, the volume of the equipment becomes large, which increases the manufacturing cost of the equipment, as well as increases the internal space of the equipment. There are many problems, such as taking a lot of time and cost to form a vacuum pressure.

한편, 종래에는 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되어 비교적 구조가 간단하고 작동성이 우수한 모노 타입 게이트 밸브 시스템이 널리 적용되고 있다.On the other hand, conventionally, the sealing member is formed stepwise so that the passage can be opened and closed only by the raising of the door, so that a mono-type gate valve system having a relatively simple structure and excellent operability has been widely applied.

본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 모노 타입 도어에서도 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하는 게이트 밸브 시스템을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The idea of the present invention is to solve these problems, and since the entire door including O-rings can be replaced even in a mono-type door, the replacement cost and time can be greatly reduced, and the unit cost and cost of equipment can be reduced by reducing the volume of the equipment. It is to provide a gate valve system that can reduce the time and cost of pneumatic formation and, for example, allow replacement of the door without breaking the overall vacuum of the valve housing. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어; 상기 도어를 지지하는 승하강대; 상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및 상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;를 포함할 수 있다.The mono-type gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problem includes: a valve housing in which a passage having a first lower surface and a second lower surface is formed at least in part, and a door replacement area is formed in another part; A mono-type door in which a first sealing member corresponding to the first and second lower surfaces of the passage is installed so as to open and close the passage; A lifting platform supporting the door; An elevating shaft for elevating the elevating platform; And a door replacement for moving the door from the first position to the second position so that the door can be opened and closed when the door is raised or lowered from the first position, and can be moved to the door replacement area when the door is raised or lowered from the second position. It may include a moving device for;

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부분에 개폐문이 설치되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부 또는 상기 승하강대에 상기 도어 교체 영역의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, in the valve housing, the door replacement area is disposed above the passage, an opening/closing door is installed in a part of the door replacement area, and at the entrance of the door replacement area or the hoisting platform. A second sealing member for sealing the door replacement area may be installed.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축에 설치되고, 상기 승하강대를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device may be a hoisting platform forward and backward device installed on the elevating shaft and moving the hoisting platform forward and backward.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device may include an elevating shaft forward and backward moving device for moving the elevating shaft forward and backward.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징에 형성되는 승하강축 가이드홀부; 및 상기 승하강축과 상기 밸브 하우징의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징에 설치되는 벨로우즈관;을 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device includes: an elevating shaft guide hole formed in the valve housing to guide the forward and backward movement of the elevating shaft; And a bellows pipe installed in the valve housing in a shape surrounding the elevating shaft guide hole to protect the elevating shaft and the inside of the valve housing.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 도어 교체 영역의 방향에 맞추어 상기 승하강축의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device may include an elevating shaft angle adjusting device that adjusts an angle of the elevating shaft in accordance with the direction of the door replacement area.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강대에 설치되고, 상기 도어를 전후진시키는 도어 전후진 장치일 수 있다.In addition, according to the present invention, the moving device for replacing the door may be a door forward and backward device installed on the hoisting platform and moving the door forward and backward.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 전후진 장치는, 상기 승하강대를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 또는 상기 승하강대로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door forward and backward device may be a sliding type that slides along the elevating platform or a telescopic type that extends or contracts from the elevating platform.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부에 개폐문이 형성되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치가 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, in the valve housing, the door replacement area is disposed below the passage, an opening and closing door is formed in a part of the door replacement area, and when the door is replaced at the entrance of the door replacement area, the A temporary closure device may be installed to temporarily seal the door replacement area.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 임시 밀폐 장치는, 밀폐문이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치 또는 밀폐문이 회전되는 회전식 밀폐 장치일 수 있다.In addition, according to the present invention, the temporary sealing device may be a telescopic sealing device in which the sealing door is extended or contracted, or a rotary sealing device in which the sealing door is rotated.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은, 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 지지하는 가동대; 상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 컨베이어 장치를 이용하여 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 전진시키는 도어 순환 교체 장치;를 포함할 수 있다.On the other hand, the door circulation replacement type gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problem, a valve housing in which a passage is formed and a door exchange area is formed in a part; A door having a sealing member installed to open and close the passage; A movable table supporting the door; A door moving device capable of moving the door in the direction of the passage; And a door circulation replacement device installed in the door exchange area, taking over the old door from the movable table and moving the new door in standby to the movable table direction by using a conveyor device.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 컨베이어 장치는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠; 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠; 및 상기 제 1 스프로킷휠과 상기 제 2 스프로킷휠 사이에 순환되도록 권취되는 벨트;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the conveyor device includes: a first sprocket wheel capable of driving rotation; A second sprocket wheel capable of driven rotation; And a belt wound to circulate between the first sprocket wheel and the second sprocket wheel.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 순환 교체 장치는, 상기 벨트에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어와 체결되어 상기 구형 도어를 상기 벨트 상에 안착시키는 도어 체결 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door circulation replacement device may further include a door fastening device installed on the belt and fastened with the falling spherical door to seat the spherical door on the belt.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 체결 장치는, 상기 도어의 삽입홈에 삽입될 수 있는 삽입 돌기 또는 상기 도어가 삽입될 수 있는 수용홈부일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door fastening device may be an insertion protrusion that can be inserted into an insertion groove of the door or an accommodation groove in which the door can be inserted.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어; 상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치; 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치; 및 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치;를 포함할 수 있다.On the other hand, the gate valve system according to the idea of the present invention for solving the above problem, a valve housing in which a passage is formed in at least a portion and a door replacement area is formed in the other portion; A door having a first sealing member installed so as to open and close the passage, and formed in a shape corresponding to the passage; A bracket installed in the door replacement area, a plurality of door accommodating grooves formed so as to load the plurality of doors, and installed to be able to move forward and backward along a forward and backward rail; A bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward; A fastening device selectively fastened to at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket; And an elevating device for elevating the door fastened with the fastening device in the direction of the passage.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고, 상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다.In addition, according to the present invention, the valve housing has the passage having a first lower surface and a second lower surface formed at least in part, and the door comprises the first lower surface and the first lower surface of the passage so as to open and close the passage. It may be a mono-type door in which the first sealing member corresponding to the second lower surface is installed.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은, 도어 수용시, 상기 도어를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부에 안내 경사면이 형성될 수 있다.In addition, according to the present invention, the bracket may have a guide inclined surface formed in the door receiving groove so as to guide the door to the correct position when receiving the door.

또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;을 더 포함할 수 있다.In addition, the gate valve system according to the present invention further includes a separator installed between the door receiving groove of the bracket and the adjacent door receiving groove to prevent contamination of the door by a contaminated door or an external environment. can do.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓 전후진 장치는, 상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및 상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the bracket forward and backward device includes: a camshaft member in which a front end is engaged with a clearance groove formed on a lower surface of the bracket, and a rear end is rotated by a rotation shaft; And a rotating device for axially rotating the camshaft member.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치는, 상기 도어에 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;을 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the fastening device may include a connecting block in which at least one insertion protrusion that can be forcibly inserted into a fastening hole formed on a lower surface of the door is formed.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성될 수 있다.In addition, according to the present invention, the insertion protrusion of the fastening device may have a branch groove formed to facilitate elastic deformation of its tip, and an inclined guide surface to guide the insertion position.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은 상기 도어의 중심부 하방에 배치되고, 상기 커넥팅 블록은, 상기 도어의 좌우 단부 하방에 각각 배치될 수 있다.In addition, according to the present invention, the bracket may be disposed below the central portion of the door, and the connecting block may be disposed below the left and right ends of the door.

또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 상기 도어가 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, the gate valve system according to the present invention may further include a temporary fixing device for temporarily fixing the door to the bracket so that the door is fixed to the door receiving groove of the bracket and does not shake.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 복수개의 상기 도어를 적재한 브라켓을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계; 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;를 포함할 수 있다.On the other hand, in the door replacement method of the gate valve system according to the idea of the present invention for solving the above problem, a bracket having a plurality of the doors is moved to a first position by using a bracket forward and backward device that moves the bracket forward or backward. Reversing; Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the first position using a fastening device; Separating the door fastened with the fastening device from the bracket using an elevating device and raising and lowering the door in the direction of the passage; Separating the door that has been used using the elevating device from the fastening device and re-accommodating it in the bracket; Moving the bracket forward or backward to a second position using a bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward; Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the second position using the fastening device; And elevating the door fastened with the fastening device in the direction of the passage by using the elevating device.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to some embodiments of the present invention made as described above, the entire door including the O-ring can be replaced in the mono-type door, so that the replacement cost and time can be greatly reduced, and the unit cost of the equipment is reduced by reducing the volume of the equipment. It is possible to reduce the time and cost of forming vacuum pressure, and for example, it is possible to replace the door without breaking the overall vacuum of the valve housing, thereby simplifying the operation and operation of the equipment, thereby improving the durability and performance of the equipment. . Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치를 나타내는 사시도이다.
도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.
도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 체결 장치를 나타내는 사시도이다.
도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.
도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 나타내는 단면도이다.
도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 사시도이다.
도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 정면도이다.
도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 후진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 브라켓 전후진 장치를 나타내는 사시도이다.
도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.
도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 스토퍼를 나타내는 단면도이다.
도 41은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 42는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 43은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.1 and 2 are operational views showing a mono-type gate valve system according to some embodiments of the present invention.
3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
13 and 14 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
17 is a perspective view illustrating an example of a door of a mono-type gate valve system according to still another embodiment of the present invention.
18 is a cross-sectional view illustrating a door circulation replacement gate valve system according to some embodiments of the present invention.
FIG. 19 is a plan view illustrating an example of a door separation device of the gate valve system of FIG. 18.
FIG. 20 is a plan view showing another example of a door separation device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
21 is a perspective view showing a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
22 is a cross-sectional view showing stepwise an operation process of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
23 is a cross-sectional view showing an example of a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
24 is a cross-sectional view showing another example of a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
25 is a cross-sectional view showing another example of a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
26 is an exterior perspective view of a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
27 is an exploded perspective view of a part showing the gate valve system of FIG. 26.
28 is a cross-sectional view illustrating the gate valve system of FIG. 26.
29 is a perspective view illustrating a bracket and a fastening device of the gate valve system of FIG. 26.
30 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the fastening device of the gate valve system of FIG. 29.
31 is a cross-sectional view illustrating a fastening device of the gate valve system of FIG. 30.
FIG. 32 is a perspective view illustrating a bracket of the gate valve system of FIG. 30.
33 is a front view showing a bracket of the gate valve system of FIG. 30.
FIG. 34 is a side view showing an advanced state of the bracket of the gate valve system of FIG. 30.
FIG. 35 is a side view illustrating a bracket of the gate valve system of FIG. 30 in a reversed state.
FIG. 36 is a perspective view illustrating a bracket and a bracket forward and backward device of the gate valve system of FIG. 29.
37 is a cross-sectional view showing stepwise a process of moving the bracket forward and backward of the gate valve system of FIG. 26.
38 is a cross-sectional view showing an example of a temporary fixing device of the gate valve system of FIG. 26.
39 is a cross-sectional view showing another example of the temporary fixing device of the gate valve system of FIG. 26.
40 is a cross-sectional view showing a stopper of the gate valve system of FIG. 26.
41 is a cross-sectional view showing stepwise a door replacement process of a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
42 is a cross-sectional view showing stepwise a door replacement process of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
43 are cross-sectional views showing stepwise a door replacement process of a gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
44 is a flowchart illustrating a method of replacing a door of a gate valve system according to some embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more completely describe the present invention to those of ordinary skill in the art, and the following examples may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is as follows. It is not limited to the examples. Rather, these embodiments are provided to make the present disclosure more faithful and complete, and to completely convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. In addition, in the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated for convenience and clarity of description.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terms used in this specification are used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. As used herein, the singular form may include the plural form unless the context clearly indicates another case. Further, as used herein, "comprise" and/or "comprising" specifies the presence of the mentioned shapes, numbers, steps, actions, members, elements and/or groups thereof. And does not exclude the presence or addition of one or more other shapes, numbers, actions, members, elements, and/or groups.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing ideal embodiments of the present invention. In the drawings, for example, depending on manufacturing techniques and/or tolerances, variations of the illustrated shape can be expected. Accordingly, the embodiments of the inventive concept should not be construed as being limited to the specific shape of the region shown in the present specification, but should include, for example, a change in shape caused by manufacturing.

이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100~800)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, mono-type gate valve systems 100 to 800 according to various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 작동 도면들이다.1 and 2 are operational views showing a mono-type gate valve system 100 according to some embodiments of the present invention.

먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 모노 타입의 도어(20)와, 승하강대(30)와, 승하강축(40) 및 도어 교체용 이동 장치(50)를 포함할 수 있다.First, as shown in Figs. 1 and 2, the mono-type gate valve system 100 according to some embodiments of the present invention is largely a valve housing 10, a mono-type door 20, and up and down. It may include a pole 30, an elevating shaft 40, and a moving device 50 for replacing a door.

예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 모노 타입의 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상술된 상기 도어(20)와, 상기 승하강대(30)와, 상기 승하강축(40) 및 상기 도어 교체용 이동 장치(50) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the valve housing 10 has a mono-type passage 10a having a first lower surface F1 and a second lower surface F2 at least in part, A structure in the form of a hollow box in which a door replacement area (A) is formed in the other part, wherein the door 20, the elevating platform 30, the elevating shaft 40, and the door replacement moving device It may be a structure having sufficient strength and durability to support 50 and the like, and to be connected to various chambers, vacuum lines, gas lines, and the like. However, the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and a wide variety of types and types of passages or valve housings may be applied.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분에 개폐문(D)이 설치되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부 또는 상기 승하강대(30)에 상기 도어 교체 영역(A)의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, in the valve housing 10, the door replacement area A is disposed above the passage 10a, and the door replacement area A second sealing member (S2) for sealing the door replacement area (A) at the entrance of the door replacement area (A) or the elevating platform (30), and the opening and closing door (D) is installed in a part of (A) Can be installed.

또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 형상으로 형성되고, 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어(20)일 수 있다.In addition, for example, as shown in Figs. 1 and 2, the door 20, the first lower surface (F1) and the second lower surface of the passage (10a) to open and close the passage (10a). It may be a mono-type door 20 formed in a shape corresponding to (F2) and in which a first sealing member S1 such as an O-ring or a gasket for airtightness is installed.

도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어(20)의 일례를 나타내는 사시도이다.17 is a perspective view illustrating an example of a door 20 of a mono-type gate valve system according to still other embodiments of the present invention.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 17에 도시된 바와 같이, 모노 타입의 도어(20)에 적용되는 상기 제 1 실링 부재(S1)는 상기 도어(20)의 상승 동작만으로 수평 방향으로 형성된 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 3차원적으로 단차지게 형성될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 도어(20)는 도 17에 국한되지 않고, 단일 동작만으로 상기 통로를 개폐시킬 수 있는 모노 타입의 모든 도어들이 모두 적용될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 17, the first sealing member S1 applied to the mono-type door 20 is the passage formed in the horizontal direction only by the raising operation of the door 20 ( 10a) can be formed to be stepped in three dimensions to open and close. However, the door 20 is not limited to FIG. 17, and all mono-type doors capable of opening and closing the passage with only a single operation may be applied.

또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강대(30)는, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 수평 방향으로 연장되게 형성되는 테이블 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.Further, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, the elevating platform 30 may be a table-shaped structure extending in a horizontal direction to support the door 20. However, it is not necessarily limited to the drawings, and may be formed in a wide variety of shapes.

또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강축(40)은, 상기 승하강대(30)를 승하강시킬 수 있도록 상기 승하강대(30)의 하면으로부터 수직 방향으로 연장되는 막대 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, the elevating shaft 40 is a rod extending in a vertical direction from the lower surface of the elevating platform 30 so as to elevate and descend the elevating platform 30 It may be a type of structure. However, it is not necessarily limited to the drawings, and may be formed in a wide variety of shapes.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역(A)으로 이동될 수 있도록 상기 도어(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 장치일 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 1 and 2, the door replacement moving device 50 can open and close the passage 10a when the door 20 is elevating or descending from the first position, and the second position The door 20 may be a device for moving the door 20 from the first position to the second position so that the door 20 can be moved to the door replacement area A when elevating or descending.

여기서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)에 설치되고, 상기 승하강대(30)를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치(51)일 수 있다.Here, as shown in Figs. 1 and 2, the door replacement moving device 50 is installed on the elevating shaft 40 and moving the elevating platform 30 forward and backward ( 51).

이러한, 상기 승하강대 전후진 장치(51)는 각종 유압 또는 공압 실린더 장치나, 솔레노이드나, 모터 또는 리니어 모터 등 각종 구동 장치나 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있는 것으로서, 상세한 설명은 생략한다. As such, the hoisting platform forward and backward device 51 may be applied to various types of driving devices or actuators such as various hydraulic or pneumatic cylinder devices, solenoids, motors or linear motors, and detailed descriptions thereof will be omitted.

따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type gate valve system 100 according to some embodiments of the present invention, first, as shown in Figure 1 (a), when the door is opened, the door 20 Is waiting in a state in which the passage 10a is opened by the lowering of the elevating shaft 40, and then, as shown in FIG. 1(b), the door 20 is the elevating shaft 40 It is possible to close the passage 10a with only a single operation, that is, the lifting operation of

이어서, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강대 전후진 장치(51)에 의해서, 상기 승하강대(30)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 2, when the door is replaced, the hoisting platform 30 may be moved backward from the first position to the second position by the hoisting platform forward/removing device 51. . In this case, as shown in (d) of FIG. 2, the door 20 may also be moved backward to the second position.

이어서, 도 2의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 2, when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved in the direction of the door replacement area (A) by the elevating shaft 40 And the door replacement area A can be sealed by the second sealing member S2 installed at the entrance of the door replacement area A, and the vacuum environment of the valve housing 10 is not broken. It is possible to replace the door 20 with a new product by making only the door replacement area A in a standby state.

그러므로, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있다.Therefore, it is possible to replace the entire door including the O-ring in the mono-type door, so that the replacement cost and time can be greatly reduced, and the unit cost of the equipment and the time and cost of forming vacuum pressure can be reduced by reducing the volume of the equipment. By simply lowering the movable table, the door can be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, simplifying the operation and operation of the equipment, and improving the durability and performance of the equipment.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)을 나타내는 작동 도면들이다.3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system 200 according to some other embodiments of the present invention.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치(52)와, 상기 승하강축(40)의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)에 형성되는 승하강축 가이드홀부(53) 및 상기 승하강축(40)과 상기 밸브 하우징(10)의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부(53)를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징(10)에 설치되는 벨로우즈관(54)을 포함할 수 있다.3 and 4, the moving device 50 for door replacement of the mono-type gate valve system 200 according to some other embodiments of the present invention moves the elevating shaft 40 forward and backward. The elevating shaft guide hole 53 and the elevating shaft 40 and the elevating shaft guide hole 53 formed in the valve housing 10 to guide the forward and backward movement of the elevating shaft 40 and the elevating shaft 40 It may include a bellows pipe 54 installed in the valve housing 10 in a shape surrounding the elevating shaft guide hole 53 so as to protect the inside of the valve housing 10.

따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type gate valve system 200 according to some embodiments of the present invention, first, as shown in Figure 3 (a), when the door is opened, the door 20 Is waiting in a state in which the passage 10a is opened by the lowering of the elevating shaft 40, and then, as shown in FIG. 3(b), the door 20 is the elevating shaft 40 It is possible to close the passage 10a with only a single operation, that is, the lifting operation of

이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 전후진 장치(52)에 의해서, 상기 승하강축(40)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 4, when the door is replaced, the elevating shaft 40 may be retracted from the first position to the second position by the elevating shaft forward/reverse device 52. . In this case, as shown in (d) of FIG. 4, the door 20 may also be retracted to the second position.

이어서, 도 4의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 4, when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved in the direction of the door replacement area (A) by the elevating shaft 40 And the door replacement area A can be sealed by the second sealing member S2 installed at the entrance of the door replacement area A, and the vacuum environment of the valve housing 10 is not broken. It is possible to replace the door 20 with a new product by making only the door replacement area A in a standby state.

도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)을 나타내는 작동 도면들이다.5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system 300 according to some other embodiments of the present invention.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어 교체 영역(A)의 방향에 맞추어 상기 승하강축(40)의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치(55)를 포함할 수 있다.5 and 6, the door replacement moving device 50 of the mono-type gate valve system 300 according to some other embodiments of the present invention includes a direction of the door replacement area A. It may include an elevating shaft angle adjustment device 55 for adjusting the angle of the elevating shaft 40 in accordance with.

따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type gate valve system 300 according to some embodiments of the present invention, first, as shown in Fig. 5 (a), when the door is opened, the door 20 Is waiting in the state in which the passage 10a is opened by the lowering of the elevating shaft 40, and as shown in FIG. 5(b), the door 20 is the elevating shaft 40 It is possible to close the passage 10a with only a single operation, that is, the lifting operation of

이어서, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 각도 조절 장치(55)에 의해 수직으로 세워진 상기 승하강축(40)이 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 제 1 위치(제 1 각도)에서 제 2 위치(제 2 각도)로 기울어질 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 6, when the door is replaced, the elevating shaft 40 vertically erected by the elevating shaft angle adjusting device 55 is as shown in (d) of FIG. Likewise, it may be inclined from a first position (a first angle) to a second position (a second angle).

이어서, 도 6의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치(각도)로 기울어지면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 6, when the door 20 is inclined to the second position (angle), the door 20 is moved by the elevating shaft 40 to the door replacement area ( The door replacement region (A) can be sealed by a second sealing member (S2) that is raised in the direction of A) and installed at the inlet of the door replacement region (A), and the vacuum of the valve housing 10 It is possible to replace the door 20 with a new one by making only the door replacement area A in a standby state without breaking the environment.

도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)을 나타내는 작동 도면들이다.7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system 400 according to some other embodiments of the present invention.

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강대(30)에 설치되고, 상기 도어(20)를 전후진시키는 도어 전후진 장치(56)를 포함할 수 있다.7 and 8, the door replacement moving device 50 of the mono-type gate valve system 400 according to some other embodiments of the present invention is installed on the hoisting platform 30, and , It may include a door forward and backward device 56 for moving the door 20 forward and backward.

따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type gate valve system 400 according to some other embodiments of the present invention, first, as shown in Figure 7 (a), when the door is opened, the door ( 20) is waiting in a state in which the passage 10a is opened by the lowering of the elevating shaft 40, and then, as shown in FIG. 7(b), the door 20 is moved to the elevating shaft ( It is possible to close the passage 10a with only the raising operation of 40), that is, a single operation.

이어서, 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 도어 전후진 장치(56)에 의해서, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 8, when the door is replaced, the door 20 may be moved backward from the first position to the second position by the door forward and backward device 56.

이어서, 도 8의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 승하강대(30)에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 8, when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved in the direction of the door replacement area (A) by the elevating shaft 40 And the door replacement area (A) may be sealed by the second sealing member (S2) installed on the lifting platform (30), and the door replacement without breaking the vacuum environment of the valve housing (10) The door 20 can be replaced with a new one by making only the area A in a standby state.

여기서, 상기 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 하단부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-1)일 수 있다.Here, the door forward and backward device 56 may be a sliding-type door forward and backward device 56-1 that is connected to the lower end of the door 20 and slides along the lifting platform 30.

도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)을 나타내는 작동 도면들이다.9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system 500 according to some other embodiments of the present invention.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-2)일 수 있다.9 and 10, the door forward/reverse device 56 of the mono-type gate valve system 500 according to some other embodiments of the present invention includes the door along the hoisting platform 30. It may be a sliding-type door forward and backward device 56-2 that is connected to the middle portion of 20 and slides.

도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)을 나타내는 작동 도면들이다.11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system 600 according to some other embodiments of the present invention.

또한, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 도어 전후진 장치(56)는, 또는 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 상기 승하강대(30)로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입 도어 전후진 장치(56-3)일 수 있다.In addition, as shown in Figs. 11 and 12, the door forward/reverse device 56 of the mono-type gate valve system 600 according to some other embodiments of the present invention, or the middle of the door 20 It may be a telescopic type door forward and backward device 56-3 that is connected to the unit and extends or contracts from the elevating platform 30.

따라서, 이러한 상기 도어 전후진 장치(56)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 각종 동력 전달 장치나, 실린더나 모터나 리니어 모터 등 매우 다양한 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.Therefore, the door forward/reverse device 56 is not necessarily limited to the drawings, and various types of power transmission devices having a wide variety of shapes, cylinders, motors, linear motors, etc. may be applied.

도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)을 나타내는 작동 도면들이다.13 and 14 are operational views illustrating a mono-type gate valve system 700 according to some other embodiments of the present invention.

도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부에 개폐문(D)이 형성되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치(60)가 설치될 수 있다.13 and 14, in the valve housing 10 of the mono-type gate valve system 700 according to some other embodiments of the present invention, the door replacement area A is the passage 10a. A temporary seal that is disposed below the door replacement area (A) and has an opening and closing door (D) formed in a part of the door replacement area (A), and temporarily seals the door replacement area when the door is replaced at the entrance of the door replacement area (A). Device 60 can be installed.

여기서, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치(61)일 수 있다. Here, as shown in FIGS. 13 and 14, the temporary sealing device 60 may be a telescopic sealing device 61 in which the sealing door G is extended or contracted.

따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 13의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type gate valve system 700 according to some other embodiments of the present invention, first, as shown in Figure 13 (a), when the door is opened, the door ( 20) is waiting in a state in which the passage 10a is opened by the lowering of the elevating shaft 40, and as shown in FIG. 13(b), the door 20 is the elevating shaft ( It is possible to close the passage 10a with only the raising operation of 40), that is, a single operation.

이어서, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 14의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 신장되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 14, when the door is replaced, in the first position state in which the elevating shaft 40 is raised, as shown in FIG. 14(d), the door 20 ) Is lowered to the second position, and the sealing door (G) of the temporary sealing device 60 is extended to temporarily seal the door replacement area (A), as shown in (e) of FIG. 14 In addition, without breaking the vacuum environment of the valve housing 10, only the door replacement area A is made to stand-by, and the door 20 can be replaced with a new one.

도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)을 나타내는 작동 도면들이다.15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system 800 according to some other embodiments of the present invention.

도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 회전되는 회전식 밀폐 장치(62)일 수 있다.15 and 16, the temporary sealing device 60 of the mono-type gate valve system 800 according to some other embodiments of the present invention is a rotary sealing device in which the sealing door G is rotated. It may be (62).

따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 15의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 15의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, describing the operation process of the mono-type gate valve system 800 according to some other embodiments of the present invention, first, as shown in FIG. 15A, when the door is opened, the door ( 20) is waiting in a state in which the passage 10a is opened by the lowering of the elevating shaft 40, and then, as shown in FIG. 15B, the door 20 is moved to the elevating shaft ( It is possible to close the passage 10a with only the raising operation of 40), that is, a single operation.

이어서, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 16의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 16의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 회전되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 16, when the door is replaced, in the first position state in which the elevating shaft 40 is raised, as shown in (d) of FIG. 16, the door 20 ) Is lowered to the second position, and the sealing door (G) of the temporary sealing device 60 is rotated to temporarily seal the door replacement area (A), as shown in (e) of FIG. In addition, without breaking the vacuum environment of the valve housing 10, only the door replacement area A is made to stand-by, and the door 20 can be replaced with a new one.

이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 여기서, 도면에 예시된 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은 L타입을 예시하였으나, 상술된 모노 타입에도 동일하게 적용될 수 있다. Hereinafter, a gate valve system 1100 for door circulation replacement according to various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Here, the door circulating exchangeable gate valve system illustrated in the drawings exemplifies an L type, but may be equally applied to the mono type described above.

도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 단면도이다. 그리고, 도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 일례를 나타내는 평면도이고, 도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 다른 일례를 나타내는 평면도이고, 도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)를 나타내는 사시도이다.18 is a cross-sectional view illustrating a door circulation replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present invention. 19 is a plan view showing an example of the door separation device 160 of the door circulation replacement gate valve system 1100 of FIG. 18, and FIG. 20 is a door of the door circulation replacement gate valve system 1100 of FIG. It is a plan view showing another example of the separating device 160, and FIG. 21 is a perspective view showing the door circulation replacement device 150 of the door circulation replacement type gate valve system 1100 of FIG. 18.

먼저, 도 18 및 도 21에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 가동대(30)와, 도어 이동 장치(40) 및 도어 순환 교체 장치(150)를 포함할 수 있다.First, as shown in Figs. 18 and 21, the door circulating replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present invention includes a valve housing 10, a door 20, and a movable table. 30, and a door moving device 40 and a door circulation replacement device 150 may be included.

예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 통로(10a)가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상기 도어(20)와, 상기 가동대(30)와, 상기 도어 이동 장치(40) 및 상기 도어 순환 교체 장치(150) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIG. 18, the valve housing 10 is a structure in the form of a hollow box in which a passage 10a is formed and a door exchange area A is formed in a part, and the door 20 Wow, it is possible to support the movable table 30, the door moving device 40, the door circulation replacement device 150, etc., and sufficient strength and durability to be connected to various chambers, a vacuum line, a gas line, etc. It may be a structure having. However, the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and a wide variety of types and types of passages or valve housings may be applied.

또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 실링 부재(S)가 설치되고, 상기 가동대(30)와 착탈 가능하게 설치되며, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 도어(20)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 도어들이 모두 적용될 수 있다.In addition, for example, as shown in Fig. 18, the door 20 is provided with a sealing member (S) to open and close the passage (10a), and is installed detachably from the movable table (30) , It may be a structure formed in a shape corresponding to the passage (10a). However, the door 20 is not necessarily limited to the drawings, and doors having a wide variety of shapes may be applied.

또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는, 상기 도어(20)를 착탈 가능하게 지지하는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 가동대(30)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 가동 장치들이 모두 적용될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 18, the movable table 30 may be a structure that supports the door 20 in a detachable manner. However, the movable table 30 is not necessarily limited to the drawings, and all movable devices having a wide variety of shapes may be applied.

또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)는, 승하강축(41)을 이용하여 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 상세하게 도시하진 않았지만, 각종 실린더나 모터나 리니어 모터 등 다양한 동력 전달 장치나 구동 장치를 포함하는 각종 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 18, the door moving device 40 is a device capable of moving the door 20 in the direction of the passage 10a using the elevating shaft 41, and detailed Although not illustrated, various actuators including various power transmission devices or driving devices such as various cylinders, motors, and linear motors may be applied.

한편, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 도어 교환 영역(A)에 설치되고, 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계받아 컨베이어 장치(151)를 이용하여 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 전진시키는 장치일 수 있다.On the other hand, for example, as shown in FIG. 18, the door circulation replacement device 150 is installed in the door exchange area (A), and takes over the old door 20-2 from the movable table 30 to a conveyor It may be a device that advances the new door 20-1 on standby by using the device 151 in the direction of the movable table 30.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)의 상기 컨베이어 장치(151)는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠(152)과, 상기 제 1 스프로킷휠(152)에 의해 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠(153) 및 상기 제 1 스프로킷휠(152)과 상기 제 2 스프로킷휠(153) 사이에 순환되도록 권취되는 벨트(154)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 18, the conveyor device 151 of the door circulation replacement device 150 includes a first sprocket wheel 152 capable of driving rotation, and the first sprocket wheel A second sprocket wheel 153 capable of driven rotation by 152 and a belt 154 wound to circulate between the first sprocket wheel 152 and the second sprocket wheel 153 may be included.

여기서, 이러한 상기 컨베이어 장치(151)는 도면에 반드시 국한되지 않고, 밸트 타입 컨베이어, 롤러 타입 컨베이어, 체인 타입 컨베이어, 무한궤도 타입 컨베이어, 타이밍 밸트 타입 컨베이어 등 매우 다양한 컨베이어 장치들이 모두 적용될 수 있다.Here, the conveyor device 151 is not necessarily limited to the drawings, and various conveyor devices such as a belt type conveyor, a roller type conveyor, a chain type conveyor, a caterpillar type conveyor, and a timing belt type conveyor can be applied.

또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 벨트(154)에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어(20-2)와 체결되어 상기 구형 도어(20-2)를 상기 벨트(154) 상에 안착시키는 도어 체결 장치(155)를 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 18, the door circulation replacement device 150 is installed on the belt 154 and is fastened with the spherical door 20-2 falling down, so that the spherical door 20- 2) may further include a door fastening device 155 for seating on the belt 154.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 체결 장치(155)는, 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입될 수 있는 삽입 돌기(155-1)가 적용될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 18, the door fastening device 155 may have an insertion protrusion 155-1 that can be inserted into the insertion groove 20a of the door 20. have.

여기서, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 상기 도어(20)와의 결합시 선택적으로 신장되어 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입되고, 상기 도어(20)와 분리된 다음, 상기 벨트(154)에 의해 이동시에는 공간을 활용할 수 있도록 수축이 가능한 신축형 삽입 돌기(155-1a)가 적용될 수 있다.Here, as shown in FIG. 18, the insertion protrusion 155-1 is selectively extended when combined with the door 20 and inserted into the insertion groove 20a of the door 20, and the door ( After being separated from 20), when moving by the belt 154, a retractable insertion protrusion 155-1a capable of contraction may be applied to utilize the space.

그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 예컨대, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 신축이 불가능한 일반적인 삽입 돌기나, 마그넷 자석 부착 장치 등 매우 다양한 도어 체결 장치들이 모두 적용될 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and for example, a wide variety of door fastening devices, such as a general insertion protrusion or a magnet magnet attachment device, that cannot be stretched to support the door 20 may be applied.

또한, 예컨대, 도 18 및 도 19에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 상기 가동대(30)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 낙하시키는 도어 분리 장치(160)을 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in Figures 18 and 19, the door circulation replacement type gate valve system 1100 according to some embodiments of the present invention separates the door 20 from the movable table 30 Thus, it may further include a door separation device 160 falling in the direction of the door circulation replacement device 150.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 19 및 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 도어 분리 장치(160)는, 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 도어(20)와 물림 결합되는 적어도 하나의 물림축(161) 및 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 물림축(161)로부터 상기 도어(20)를 분리시킬 수 있도록 상기 도어(20)를 가압하는 적어도 하나의 가압축(162)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in Figs. 19 and 20, the door separation device 160 is installed to be extended and contracted on the movable table 30, and is engaged with the door 20 At least one engaging shaft 161 to be coupled and the movable table 30 are installed to be elongated and contracted, and the door 20 is provided to separate the door 20 from the engaging shaft 161. It may include at least one pressing shaft 162 to pressurize.

여기서, 예컨대, 도 19의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 가압축(162)가 설치되고, 중심에 상기 물림축(161)이 설치되는 경우, 도 19의 (b)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.Here, for example, as shown in (a) of FIG. 19, when two pressure shafts 162 are installed on both sides of the movable table 30, and the engagement shaft 161 is installed at the center , As shown in (b) of FIG. 19, when the two pressing shafts 162 press the door 20, the engagement shaft 161 loses the coupling force, thereby causing the door 20 ) May be separated from the movable table 30 by gravity and fall downward.

또한, 예컨대, 도 20의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 물림축(161)이 설치되고, 중심에 상기 가압축(162)가 설치되는 경우, 도 20의 (b)에 도시된 바와 같이, 중심의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 2개의 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.In addition, for example, as shown in (a) of FIG. 20, when two engagement shafts 161 are installed on both sides of the movable table 30, and the pressure shaft 162 is installed at the center , As shown in (b) of FIG. 20, when the central pressure shaft 162 presses the door 20, the two gripping shafts 161 lose their coupling force, thereby causing the door 20 may be separated from the movable table 30 by gravity and fall downward.

도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.FIG. 22 is a cross-sectional view showing stepwise an operation process of the gate valve system 1100 of FIG. 18.

따라서, 도 22에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 22의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 폐쇄시에는, 상기 도어(20)가 상기 통로(10a) 방향으로 전진되어 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Accordingly, as shown in FIG. 22, when explaining the operation process of the door circulating replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present invention step by step, first, as shown in FIG. 22(a) Likewise, when the door is closed, the door 20 may advance in the direction of the passage 10a to close the passage 10a.

이어서, 이러한 과정을 반복하면서, 도 22의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 상기 도어 분리 장치(160)을 이용하여 상기 도어(20)를 분리시켜서 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 자연 낙하시킬 수 있다.Subsequently, while repeating this process, as shown in (b) of FIG. 22, the door 20 is the old door 20 in the new door 20-1 such that the sealing member S is worn or deformed. When the state is changed to -2), the door 20 may be separated using the door separation device 160 described above, so that the door 20 may naturally fall in the direction of the door circulation replacement device 150.

이어서, 도 22의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)에 의해 상기 가동대(30)는 상기 도어 순환 교체 장치(150)에서 대기 중인 신형 도어(20-1)와 체결될 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 22, the movable table 30 is fastened with the new door 20-1 waiting in the door circulation replacement device 150 by the door moving device 40. Can be.

이어서, 도 22의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 이용하여 낙하된 상기 구형 도어(20-2)를 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시키는 동시에, 대기 중인 신형 도어(20-1) 및 수용된 구형 도어(20-2)를 전진시켜서, 새로 발생될 구형 도어(20-2)를 수용할 수 있는 공간을 미리 확보할 수 있다.Subsequently, as shown in (d) of FIG. 22, the old door 20-2 that has fallen using the door circulation replacement device 150 is moved in the direction of the door exchange area A, while waiting By advancing the new door 20-1 and the housed old door 20-2, a space for accommodating the newly generated old door 20-2 can be secured in advance.

이어서, 도 22의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 과정들을 반복할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 22, the state of the door 20 is changed from the new door 20-1 to the old door 20-2, such as the sealing member S is worn or deformed. If changed, the above-described processes can be repeated.

이후, 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 수용된 모든 도어(20)들이 구형화되면 외부로 언로딩시키고 새로운 도어들을 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 패키지 상태로 로딩할 수 있다.Thereafter, when all the doors 20 accommodated in the door circulation replacement device 150 become spherical, they may be unloaded to the outside and new doors may be loaded into the door circulation replacement device 150 in a package state.

그러므로, 복수개의 상기 도어(20)들을 동시에 컨베이어 형태로 전진시켜서 구형 도어(20-2)를 신형 도어(20-1)로 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 신속한 교체가 가능하다.Therefore, by simultaneously advancing a plurality of the doors 20 in the form of a conveyor, the entire door can be replaced with the old door 20-2 with the new door 20-1, so that the replacement cost and time can be greatly reduced, By reducing the volume of the equipment, the unit cost of the equipment and the time and cost of forming the vacuum pressure can be reduced. For example, the door 20 can be quickly replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing 10.

도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 일례를 나타내는 단면도들이다.FIG. 23 is a cross-sectional view illustrating an example of the door circulation replacement device 150 of the door circulation replacement gate valve system 1100 of FIG. 18.

즉, 도 23의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 구형 도어(20-2)를 수용하고, 이를 전방으로 전진시켜서 새로운 공간을 확보하고, 다시 구형 도어(20-2)를 수용하는 일련의 단계들을 반복하면서 내부 진공을 깨뜨리지 않고도 복수개의 신형 도어(20-1)들을 장시간 사용할 수 있다.That is, as shown in (a) of Fig. 23, the door circulation replacement device 150 accommodates the old door 20-2, advances it forward to secure a new space, and again the old door 20 It is possible to use a plurality of new doors 20-1 for a long time without breaking the internal vacuum while repeating a series of steps to accommodate -2).

도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.24 is a cross-sectional view showing another example of the door circulation replacement device 150 of the door circulation replacement type gate valve system 1100 of FIG. 18.

도 24에 도시된 바와 같이, 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례로서, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 가이드 부재(G)에 의해 접철이 가능한 접철형 삽입 돌기(155-1b)일 수 있다.As shown in FIG. 24, as another example of the door circulation replacement device 150 of the door circulation replacement gate valve system 1100 of FIG. 18, the insertion protrusion 155-1 is attached to the guide member G. It may be a foldable insertion protrusion 155-1b that is foldable.

여기서, 접철되는 방향은 전후방향 또는 좌우방향 또는 경사진 방향 등 다양한 각도로 접철될 수 있다.Here, the folded direction may be folded at various angles such as a front-rear direction, a left-right direction, or an inclined direction.

따라서, 상기 삽입 돌기(155-1)들은 컨베이어 이송시 좁은 공간에서 선택적으로 신장과 수축이 가능하여 공간 확보 측면에서도 유리할 수 있다.Accordingly, the insertion protrusions 155-1 can be selectively extended and contracted in a narrow space during conveyor transfer, and thus, it may be advantageous in terms of securing space.

도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.25 is a cross-sectional view showing another example of the door circulation replacement device 150 of the door circulation replacement type gate valve system 1100 of FIG. 18.

도 25에 도시된 바와 같이, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례로서, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 도어(20)가 삽입될 수 있는 수용홈부(155-2)를 포함할 수 있다.25, as another example of the door circulation replacement device 150 of the door circulation replacement type gate valve system 1100, the door circulation replacement device 150, the door 20 is inserted It may include a capable receiving groove (155-2).

따라서, 상기 도어(20)는 자유 낙하되어 상기 수용홈부(155-2)에 의해 안내 및 지지될 수 있다.Accordingly, the door 20 may freely fall and be guided and supported by the receiving groove part 155-2.

한편, 도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)에 설치된 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치(80)를 더 포함하 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 18, the door circulation replacement gate valve system 1100 according to some embodiments of the present invention, the identifier installed on the door 20 so that the operation is allowed only when matching identification information ( 81) may further include an identification device 80 capable of identifying the identification information.

도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 식별 장치(80)는, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)의 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 장치로서, 예컨대, 상기 식별자(81)는 RFID 태그 등이 적용될 수 있고, 상기 식별 장치(80)는 RFID 센서나 RFID 제어 장치 등을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 18, the identification device 80 of the door circulating exchangeable gate valve system 1100 according to some still other embodiments of the present invention allows the door to be operated only when matching identification information. As a device capable of identifying the identification information of the identifier 81 of 20), for example, the identifier 81 may be applied with an RFID tag, and the identification device 80 includes an RFID sensor or an RFID control device. can do.

따라서, 상기 도어(20)들이 정품으로 식별되는 경우에만 장비의 가동을 가능하게 하여 제품의 안정성과 원활한 작동을 보장할 수 있다.Therefore, it is possible to ensure the stability and smooth operation of the product by enabling the operation of the equipment only when the door 20 is identified as genuine.

도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 외관 사시도이고, 도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 단면도이고, 도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 체결 장치(90)를 나타내는 사시도이다.FIG. 26 is an external perspective view showing a gate valve system 2100 according to some embodiments of the present invention, FIG. 27 is an exploded perspective view of parts showing the gate valve system 2100 of FIG. 26, and FIG. 28 is A cross-sectional view showing the valve system 2100, and FIG. 29 is a perspective view showing the bracket 70 and the fastening device 90 of the gate valve system 2100 of FIG. 26.

먼저, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 브라켓(70)과, 브라켓 전후진 장치(80)와, 체결 장치(90) 및 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIGS. 26 to 29, the gate valve system 2100 according to some embodiments of the present invention includes a valve housing 10, a door 20, a bracket 70, and a bracket. It may include a forward and backward device 80, a fastening device 90, and an elevating device 57.

예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 적어도 일부분에 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 전체적으로 통형상 또는 프레임 형상의 구조체일 수 있다.For example, as shown in FIGS. 26 to 29, the valve housing 10 has an overall cylindrical or frame shape in which a passage 10a is formed in at least a portion and a door replacement area A is formed in the other portion. It can be a structure.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 28에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 상기 통로(10a)가 형성되는 것으로서, 일반적으로 트랜스퍼 챔버와 공정 챔버 사이 또는 트랜스퍼 챔버 내부에 설치되는 모노 타입의 게이트 밸브 하우징일 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 28, the valve housing 10 has the passage 10a having a first lower surface F1 and a second lower surface F2 at least partially formed therein. , In general, it may be a mono-type gate valve housing installed between the transfer chamber and the process chamber or inside the transfer chamber.

또한, 예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되고, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 일종의 실링 플레이트로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 상기 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다. 여기서, 이러한 모노 타입의 도어는 도 17에 도시된 바와 같이, 3차원적인 형상으로 단차지거나 절곡된 형상으로 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 26 to 29, the door 20 is provided with a first sealing member S1 to open and close the passage 10a, and correspond to the passage 10a. As a type of sealing plate formed in a shape that is formed in, more specifically, for example, the door 20 includes the first lower surface F1 of the passage 10a and the first lower surface F1 of the passage 10a so that the passage 10a can be opened and closed. 2 It may be a mono-type door in which the first sealing member S1 corresponding to the lower surface F2 is installed. Here, such a mono-type door may be formed in a stepped or bent shape in a three-dimensional shape, as shown in FIG. 17.

또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 상기 도어 교체 영역(A)에 설치되는 것으로서, 복수개의 상기 도어(20)를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부(71)가 형성되며, 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 일종의 가동체일 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 27 to 29, the bracket 70 is installed in the door replacement area (A), and accommodates a plurality of doors so that a plurality of the doors 20 can be loaded. The groove portion 71 is formed, and may be a kind of movable body installed so as to be able to move forward and backward along the forward and backward rail (R).

또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 장치이고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)와 선택적으로 체결되는 장치이며, 상기 승하강 장치(57)는 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 27 to 29, the bracket forward and backward device 80 is a device that moves the bracket 70 forward and backward, and the fastening device 90 is the bracket 70 It is a device that is selectively fastened with at least one door 20 located on a moving line among the doors 20 accommodated in, and the elevating device 57 is the door fastened with the fastening device 90 ( It may include an elevating device 57 that can elevate 20) in the direction of the passage 10a.

또한, 예컨대, 도 27 및 도 28에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)와 이웃하는 도어 수용홈부(71) 사이의 사이홈부(H4)에 설치되는 격리판(SP)을 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 27 and 28, the gate valve system 2100 according to some embodiments of the present invention includes the bracket to prevent contamination of the door due to a contaminated door or an external environment. It may further include a separator (SP) installed in the groove portion (H4) between the door receiving groove portion 71 and the adjacent door receiving groove portion 71 of (70).

여기서, 이러한 상기 격리판(SP)의 형상은 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분을 구분할 수 있도록 상기 도어 교체 영역(A)의 형상 또는 상기 도어(20)의 형상과 유사할 수 있다.Here, the shape of the separator SP may be similar to the shape of the door replacement area A or the shape of the door 20 so as to distinguish a part of the door replacement area A.

또한, 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 안정적으로 배치될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 국한되지 않고, 예컨대, 상기 브라켓(70)이 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 배치되고, 상기 체결 장치(90)가 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되는 등 다양한 배치 형태가 적용될 수 있다. In addition, as shown in FIG. 29, the bracket 70 is disposed below the center of the door 20, and the fastening device 90 is stably disposed below the left and right ends of the door 20. Can be. However, it is not necessarily limited thereto, for example, the bracket 70 is disposed below the left and right ends of the door 20, the fastening device 90 is disposed below the center of the door 20, etc. Arrangement can be applied.

이러한 장치들에 대하여 보다 상세한 설명은 도 30 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 다양한 부품들을 통해서 이루어질 수 있다. 그러나 이러한 장치들은 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 다양한 변경과 수정이 가능하다.A more detailed description of these devices may be made through various parts, as shown in FIGS. 30 to 37. However, these devices are not necessarily limited to the drawings, and various changes and modifications are possible.

도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 확대하여 나타내는 확대 사시도이고, 도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 나타내는 단면도이다.FIG. 30 is an enlarged perspective view illustrating the fastening device 90 of the gate valve system 2100 of FIG. 29, and FIG. 31 is a cross-sectional view illustrating the fastening device 90 of the gate valve system 2100 of FIG. 30.

도 30 및 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)에 하면에 형성된 체결홀(H2)에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기(92)가 형성되는 커넥팅 블록(91)을 포함할 수 있다.30 and 31, the fastening device 90 has at least one insertion protrusion 92 that can be forcibly inserted into a fastening hole H2 formed on a lower surface of the door 20. It may include a connecting block 91.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)의 상기 삽입 돌기(92)는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈(H3)이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면(GF)이 형성될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 31, the insertion protrusion 92 of the fastening device 90 has a branch groove H3 formed so that the tip is elastically deformed, and the insertion position is guided. An inclined guide surface GF may be formed to be able to be formed.

따라서, 상기 도어(20)는 상기 체결 장치(90)와 체결되어 승하강하면서 상기 밸브 하우징(10)의 상기 통로(10a)를 개폐시킬 수 있다.Accordingly, the door 20 may be fastened with the fastening device 90 to open and close the passage 10a of the valve housing 10 while moving up and down.

이 때, 상기 도어(20)는 처음에 상기 체결 장치(90)에 헐겁게 체결되더라도 상기 통로(10a)와 밀착되면서 상기 삽입 돌기(92)가 상기 도어(20)의 상기 체결홀(H2)에 완전히 삽입되어 억지 물림됨으로써 견고하게 고정될 수 있다.At this time, even if the door 20 is initially loosely fastened to the fastening device 90, it is in close contact with the passage 10a so that the insertion protrusion 92 is completely in the fastening hole H2 of the door 20. It can be firmly fixed by being inserted and being bitten.

도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 사시도이고, 도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 정면도이고, 도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 후진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 브라켓 전후진 장치(80)를 나타내는 사시도이고, 도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.FIG. 32 is a perspective view showing the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. 30, FIG. 33 is a front view showing the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. 30, and FIG. 34 A side view showing an advanced state of the bracket 70 of the gate valve system 2100, FIG. 35 is a side view showing a reverse state of the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. 30, and FIG. A perspective view showing the bracket 70 and the bracket back and forth device 80 of the gate valve system 2100, and FIG. 37 is a cross-sectional view showing a stepwise forward and backward process of the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. 26 admit.

도 32 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 도어 수용시, 상기 도어(20)를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부(71)에 안내 경사면이 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 32 to 37, the bracket 70 may have a guide inclined surface formed in the door receiving groove 71 so as to guide the door 20 to the correct position when the door is received. .

여기서, 상기 브라켓(70)은 전후진 방향으로 길게 장공이 형성된 상기 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능한 것으로서, 상기 브라켓(70)에는 상기 전후진 레일(R)과의 마찰력을 최소화할 수 있도록 예컨대, 복수개, 도면에서는 2개의 베어링(B) 등이 설치될 수 있다. 2개의 상기 베어링(B)이 설치되는 경우, 상기 브라켓(70)의 전후진시 상기 브라켓(70)의 각도를 항상 일정하게 유지할 수 있어서 상기 도어(20)의 수평 방향으로의 이동을 용이하게 할 수 있다.Here, the bracket 70 is capable of moving backwards and forwards along the forward and backward rail (R) formed with a long hole in the forward and backward direction, and the bracket 70 can minimize the friction force with the forward and backward rail (R). For example, a plurality of, in the drawing, two bearings (B), etc. may be installed. When the two bearings (B) are installed, the angle of the bracket (70) can always be kept constant when the bracket (70) moves back and forth, so that the door 20 can easily move in the horizontal direction. have.

또한, 예컨대, 도 36에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)의 하면에 형성된 여유홈(H1)에 선단 돌기(T)가 물림 결합되고, 후단이 회전축(82)에 의해 회동되는 캠축 부재(81) 및 상기 캠축 부재(81)를 축회전시키는 회전 장치(83)를 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in Figure 36, the bracket forward and backward (80), the front end protrusion (T) is engaged with the clearance groove (H1) formed on the lower surface of the bracket (70), the rear end is a rotating shaft It may include a camshaft member 81 that is rotated by 82 and a rotation device 83 that axially rotates the camshaft member 81.

따라서, 도 36의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 정회전하면 상기 브라켓(70)이 전진하거나 또는 도 36의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 역회전하면 상기 브라켓(70)이 후진할 수 있다.Therefore, as shown in (a) of FIG. 36, when the camshaft member 81 rotates forward, the bracket 70 moves forward or, as shown in FIG. 36(b), the camshaft member 81 When) rotates in the reverse direction, the bracket 70 may move backward.

그러므로, 도 37에 도시된 바와 같이, 예컨대, 3개의 상기 도어(20)가 적재된 경우, 도 37의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 0도인 경우, 첫 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있고, 도 37의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 90도인 경우, 두 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있으며, 도 37의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 180도인 경우, 세 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있도록 상기 브라켓(70)을 단계적으로 전후진시킬 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 37, for example, when three doors 20 are loaded, when the chamfer shaft member 81 is 0 degrees, as shown in (a) of FIG. 37, the first The door 20 can be used, and as shown in (b) of FIG. 37, when the chamber shaft member 81 is 90 degrees, the second door 20 can be used, and (c) of FIG. 37 As shown in FIG. 2, when the chamfer shaft member 81 is 180 degrees, the bracket 70 may be moved back and forth stepwise so that the third door 20 can be used.

그러므로, 내부의 진공을 깨뜨리지 않고도 모노 타입의 게이트 밸브에서도 복수개의 상기 도어(20)들을 쉽게 교체하면서 장기간 사용할 수 있다.Therefore, it can be used for a long time while easily replacing the plurality of doors 20 even in a mono-type gate valve without breaking the internal vacuum.

도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 일례를 나타내는 단면도이고, 도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 38 is a cross-sectional view showing an example of the temporary fixing device E of the gate valve system 2100 of FIG. 26, and FIG. 39 is a view showing another example of the temporary fixing device E of the gate valve system 2100 of FIG. 26 It is a cross-sectional view.

도 38 및 도 39에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 상기 도어(20)가 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)에 임시 고정시키는 임시 고정 장치(E)를 더 포함할 수 있는 것으로서, 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10)에 설치되고, 상기 도어(20)를 탄성 가압하는 탄성체(E1)일 수 있다.38 and 39, in the gate valve system 2100 according to some embodiments of the present invention, the door 20 is fixed to the door receiving groove 71 of the bracket 70 It may further include a temporary fixing device (E) for temporarily fixing the door 20 to the bracket 70 so as not to shake, as shown in FIG. 38, the temporary fixing device (E), the valve It may be an elastic body E1 installed in the housing 10 and elastically pressing the door 20.

따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 탄성체(E1)가 상기 브라켓(70)에 견고하게 임시 고정시킴으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.Accordingly, by temporarily fixing the doors 20 waiting in the door replacement area A to the bracket 70 by the elastic body E1, unnecessary collisions between components may be prevented.

이외에도, 도 39에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 브라켓(70)에 설치되고, 상기 도어(20)에 설치된 자성체(M)와 자력에 의해 결합되는 자성 부재(E2)일 수 있다.In addition, as shown in Figure 39, the temporary fixing device (E) is installed on the valve housing (10) or the bracket (70), by the magnetic body (M) installed in the door 20 and magnetic force. It may be a magnetic member E2 to be coupled.

따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 자성 부재(E2)의 자력에 의해 견고하게 임시 고정됨으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.Accordingly, by temporarily fixing the doors 20 waiting in the door replacement area A by the magnetic force of the magnetic member E2, unnecessary collisions between parts can be prevented.

도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 스토퍼(ST)를 나타내는 단면도이다.40 is a cross-sectional view illustrating a stopper ST of the gate valve system 2100 of FIG. 26.

도 40에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 통로(10a)에 상기 도어(20)의 밀림 현상을 방지할 수 있도록 스토퍼(ST)가 설치될 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)의 밀림 현상 및 이탈 현상을 방지하여 장치의 내구성과 정밀도를 향상시킬 수 있다. As shown in FIG. 40, a stopper ST may be installed in the passage 10a of the valve housing 10 to prevent the door 20 from being pushed. Accordingly, it is possible to improve durability and precision of the device by preventing the door 20 from being pushed and separated from the door 20.

도 41 내지 도 43은 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.41 to 43 are cross-sectional views showing stepwise a door replacement process of gate valve systems according to various embodiments of the present invention.

도 41 내지 도 43에 도시된 바와 같이, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 41에 도시된 바와 같이, 3개의 상기 도어(20)들을 수용한 경우, (1 Plate) 과정에서 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.41 to 43, a step-by-step description of the door replacement process of the gate valve systems according to various embodiments of the present invention, first, as shown in FIG. 41, the three doors 20 In the case of accommodating them, the bracket 70 loaded with the plurality of doors 20 is moved to the first position by using the bracket forward and backward device 80 that moves the bracket 70 forward and backward in the (1 Plate) process. You can reverse it.

이어서, (1 Plate Up) 과정에서 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 첫 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.Subsequently, at least one first door positioned on the moving line among the doors 20 accommodated in the bracket 70 positioned at the first position using the fastening device 90 in the (1 Plate Up) process (20) is selectively fastened, and the door 20 fastened with the fastening device 90 is separated from the bracket 70 by using the elevating device 57 to rise in the direction of the passage 10a. You can descend.

이어서, (1 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.Subsequently, the door 20, which has been used by using the elevating device in the (1 Plate Down) process, can be separated from the fastening device 90 and re-accommodated in the bracket 70.

이어서, (90도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.Subsequently, in the (90-degree rotation replacement) process, the bracket 70 may be moved forward or backward to the second position by using the bracket forward and backward device 80 for moving the bracket 70 forward and backward.

이어서, (2 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 두 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.Subsequently, in the (2 Plate Up) process, at least one of the doors 20 located on the moving line among the doors 20 accommodated in the bracket 70 located at the second position using the fastening device 90 The door 20 may be selectively fastened, and the door 20 fastened with the fastening device 90 may be moved up and down in the direction of the passage 10a by using the lifting device.

이어서, (2 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.Subsequently, the door 20, which has been used by using the elevating device in the (2 Plate Down) process, can be separated from the fastening device 90 and re-accommodated in the bracket 70.

이어서, (180도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 3 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.Subsequently, in the (180 degree rotation replacement) process, the bracket 70 may be moved forward or backward to the third position by using the bracket forward and backward device 80 for moving the bracket 70 forward and backward.

이어서, (3 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 세 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.Subsequently, in the (3 Plate Up) process, at least one third of the doors 20 accommodated in the bracket 70 positioned at the second position using the fastening device 90 The door 20 may be selectively fastened, and the door 20 fastened with the fastening device 90 may be moved up and down in the direction of the passage 10a by using the lifting device.

따라서, 3개의 상기 도어(20)들을 모두 사용할 때까지 진공을 깨뜨리고 상기 도어를 교체할 필요가 없기 때문에 장비의 중단 시간을 줄여서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.Accordingly, since there is no need to break the vacuum and replace the door until all three of the doors 20 are used, it is possible to significantly improve productivity by reducing equipment downtime.

한편, 도 42는 2개의 상기 도어(20)들을 수용하면서 상기 통로(10a)의 방향이 뒤바뀐 다른 형태의 상기 밸브 하우징(10)에 적용된 경우인데, 이러한 경우에도, 도시된 (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)들 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다.On the other hand, Figure 42 is a case applied to the valve housing 10 of another type in which the direction of the passage 10a is reversed while accommodating the two doors 20, even in this case, shown (1 Plate Up), Any one of the two doors 20 can be selected and used through a series of processes such as (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), and (2 Plate Down).

그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 도 43에 도시된 바와 같이, (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)를 모두 승하강시키다가 어느 하나를 상기 도어 교체 영역(A)에 남겨두고 나머지 상기 도어(20)를 선택하여 사용하는 것도 가능하다.However, it is not necessarily limited thereto, and as shown in FIG. 43, a series of processes such as (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down), etc. It is also possible to move the two doors 20 up and down through the process, leave one of them in the door replacement area A, and select and use the remaining doors 20.

이러한, 상기 도어(20)들의 선택 개수와 사용 개수는 작업 환경이나 다양한 장비들에 따라 다양한 개수와 형태로 적용될 수 있다.The number of selected and used doors 20 may be applied in various numbers and shapes according to a work environment or various equipments.

도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.44 is a flowchart illustrating a door replacement method of the gate valve system 2100 according to some embodiments of the present invention.

따라서, 도 26 내지 도 44에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S100)와, 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S200)와, 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S300)와, 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용하는 단계(S400)와, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S500)와, 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S600) 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S700)를 포함할 수 있다.Therefore, as shown in FIGS. 26 to 44, the door replacement method of the gate valve system according to some embodiments of the present invention uses a bracket forward and backward device 80 for moving the bracket 70 back and forth. The step (S100) of moving the bracket 70 on which the two doors 20 are loaded to a first position (S100), and accommodated in the bracket 70 located at the first position using the fastening device 90 The step of selectively fastening at least one door 20 located on the moving line among the doors 20 (S200), and the fastening device 90 fastened to the fastening device 90 using the elevating device 57 Separating the door 20 from the bracket 70 and raising and lowering the door 20 in the direction of the passage 10a (S300), and the fastening device 90 ) And re-accommodating in the bracket (70) (S400), and the bracket (70) is moved to a second position by using a bracket forward and backward device (80) for moving the bracket (70) forward or backward. The step of reversing (S500), and at least one door 20 located on the moving line among the doors 20 accommodated in the bracket 70 located at the second position using the fastening device 90 ) Selectively fastening (S600) and lifting the door 20 fastened with the fastening device 90 in the direction of the passage (10a) using the lifting device (S700). I can.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those of ordinary skill in the art will appreciate that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

10: 밸브 하우징
10a: 통로
A: 도어 교체 영역
D: 개폐문
F1: 제 1 하면
F2: 제 2 하면
S1: 제 1 실링 부재
S2: 제 2 실링 부재
20: 도어
30: 승하강대
40: 승하강축
50: 도어 교체용 이동 장치
51: 승하강대 전후진 장치
52: 승하강축 전후진 장치
53: 승하강축 가이드홀부
54: 벨로우즈관
55: 승하강축 각도 조절 장치
56: 도어 전후진 장치
56-1, 56-2: 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치
56-3: 신축 타입 도어 전후진 장치
60: 임시 밀폐 장치
G: 밀폐문
61: 신축식 밀폐 장치
62: 회전식 밀폐 장치
100~800: 모노 타입 게이트 밸브 시스템
160: 도어 분리 장치
161: 물림축
162: 가압축
80: 식별 장치
81: 식별자
1100, 2100: 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템10: valve housing
10a: passage
A: Door replacement area
D: opening door
F1: When the first
F2: second side
S1: first sealing member
S2: second sealing member
20: door
30: hoisting platform
40: elevating axis
50: door replacement movement device
51: hoisting platform forward and backward device
52: elevating shaft forward and backward device
53: elevating shaft guide hole portion
54: bellows tube
55: elevating shaft angle adjustment device
56: door forward and backward device
56-1, 56-2: Sliding type door forward and backward device
56-3: telescopic type door forward and backward device
60: temporary closure device
G: closed door
61: telescopic closure device
62: rotary obturator
100-800: Mono type gate valve system
160: door separation device
161: bite shaft
162: pressure shaft
80: identification device
81: identifier
1100, 2100: Door circulation interchangeable gate valve system

Claims (10)

적어도 일부분에 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징;
상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어;
상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓;
상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치;
상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치; 및
상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치;
를 포함하는, 게이트 밸브 시스템. A valve housing having a passage formed in at least a portion and a door replacement region formed in the other portion;
A door having a first sealing member installed so as to open and close the passage, and formed in a shape corresponding to the passage;
A bracket installed in the door replacement area, a plurality of door accommodating grooves formed so as to load the plurality of doors, and installed to be able to move forward and backward along a forward and backward rail;
A bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward;
A fastening device selectively fastened to at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket; And
An elevating device capable of lifting the door fastened with the fastening device in the direction of the passage;
Containing, the gate valve system. 제 1 항에 있어서,
상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고,
상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어인, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
The valve housing is formed with the passage having a first lower surface and a second lower surface at least in part,
The door is a mono-type door in which the first sealing member corresponding to the first lower surface and the second lower surface of the passage is installed so as to open and close the passage. 제 1 항에 있어서,
오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;
을 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
A separator installed between the door receiving groove portion of the bracket and the adjacent door receiving groove portion to prevent contamination of the door by a contaminated door or an external environment;
The gate valve system further comprising. 제 1 항에 있어서,
상기 브라켓 전후진 장치는,
상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및
상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;
를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
The bracket forward and backward device,
A camshaft member in which the front end is engaged with the clearance groove formed on the lower surface of the bracket and the rear end is rotated by the rotation shaft; And
A rotating device for axially rotating the camshaft member;
Containing, the gate valve system. 제 1 항에 있어서,
상기 체결 장치는,
상기 도어에 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;
을 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
The fastening device,
A connecting block in which at least one insertion protrusion that can be forcibly inserted into a fastening hole formed on a lower surface of the door is formed;
Including a gate valve system. 제 5 항에 있어서,
상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성되는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 5,
In the insertion protrusion of the fastening device, a branch groove is formed to facilitate elastic deformation of a tip end, and an inclined guide surface is formed to guide the insertion position. 제 1 항에 있어서,
상기 도어가 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;
를 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
A temporary fixing device for temporarily fixing the door to the bracket so that the door is fixed to the door receiving groove of the bracket and does not shake;
The gate valve system further comprising. 제 7 항에 있어서,
상기 임시 고정 장치는, 상기 밸브 하우징에 설치되고, 상기 도어를 탄성 가압하는 탄성체인, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 7,
The temporary fixing device is an elastic body installed in the valve housing and elastically pressing the door, a gate valve system. 제 7 항에 있어서,
상기 임시 고정 장치는, 상기 밸브 하우징 또는 상기 브라켓에 설치되고, 상기 도어에 설치된 자성체와 자력에 의해 결합되는 자성 부재인, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 7,
The temporary fixing device is a magnetic member installed on the valve housing or the bracket and coupled to a magnetic body installed on the door by magnetic force, a gate valve system. 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 복수개의 상기 도어를 적재한 브라켓을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계;
체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계;
승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;
상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계;
상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계;
상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및
상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;
를 포함하는, 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법.Advancing or retreating the brackets loaded with the plurality of doors to a first position by using a bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward;
Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the first position using a fastening device;
Separating the door fastened with the fastening device from the bracket using an elevating device and raising and lowering the door in the direction of the passage;
Separating the door that has been used using the elevating device from the fastening device and re-accommodating it in the bracket;
Moving the bracket forward or backward to a second position using a bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward;
Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the second position using the fastening device; And
Elevating and lowering the door fastened with the fastening device in the direction of the passage by using the elevating device;
Including, the door replacement method of the gate valve system.
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