KR20200129331A - Dry Cleaning Device - Google Patents

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KR20200129331A
KR20200129331A KR1020190053553A KR20190053553A KR20200129331A KR 20200129331 A KR20200129331 A KR 20200129331A KR 1020190053553 A KR1020190053553 A KR 1020190053553A KR 20190053553 A KR20190053553 A KR 20190053553A KR 20200129331 A KR20200129331 A KR 20200129331A
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안진호
남기정
손두열
최종현
오승철
안승재
박명진
노영명
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Abstract

The dry cleaning apparatus comprises: a blower having a discharge flow path through which air flows to spray air to an object; a chamber provided around the blower; and a suction unit connected to the chamber to suck the air in an inner space of the chamber. The discharge flow path is provided in a slit shape, and the discharge flow path includes at least one resonance unit, which is a section that a cross section of the discharge flow path is expanded to generate a difference in flow velocity. Therefore, high-density ultrasonic waves through the flow of the air through the discharge flow path can be oscillated.

Description

건식 세정 장치{Dry Cleaning Device}Dry Cleaning Device {Dry Cleaning Device}

본 발명은 건식 세정 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 초음파 발진을 위한 토출유로를 구비하는 건식 세정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a dry cleaning device, and more specifically to a dry cleaning device having a discharge passage for ultrasonic oscillation.

PDP, LCD, AMOLED 등의 디스플레이용 유리기판 또는 필름(Film) 또는 반도체 웨이퍼 등은 세정을 거쳐 표면에 이물질이 없는 표면 상태를 유지해야 한다. Glass substrates, films, or semiconductor wafers for displays such as PDP, LCD, and AMOLED must be cleaned to maintain the surface state without foreign substances on the surface.

만약, 이물질이 표면에 존재한 채로 가공하게 되면 최종 제품에 결점이 생겨 불량제품이 되므로 생산수율이 나빠지게 된다. If the foreign matter is processed while remaining on the surface, defects in the final product are created, resulting in a defective product, resulting in poor production yield.

한편, 세정방법은 크게 습식세정(Wet Cleaning)과 건식세정(Dry Cleaning)이 있다. 습식세정이란 유기세정, 순수 물에 의한 세척, 무기세정 및 건조 단계를 순차적으로 거치는 것으로, 점착성 이물질인 기름때, 테이프자국, 손기름 등과 같이 유기 바인더로 연결된 무기물을 비접촉식 방법으로 유기 바인더를 끊어 무기물화 하는 세정방법이다. 건식세정이란 유기세정 및 무기세정을 거쳐 세정을 완료하는 것으로, 비점착성 이물질인 먼지와 같은 무기물을 비접촉식 방법으로 부유시켜 세정하는 방법이다. 이러한 무기물 세정방법의 한 종류로서 건식 세정장치가 사용되고 있다. On the other hand, cleaning methods are largely divided into wet cleaning and dry cleaning. Wet cleaning means organic cleaning, cleaning with pure water, inorganic cleaning and drying steps in sequence.Inorganic materials connected with organic binders such as oily dirt, tape marks, hand oil, etc., which are adhesive foreign substances, are separated into inorganic substances by breaking the organic binder in a non-contact method. This is a cleaning method. Dry cleaning is a method in which cleaning is completed through organic cleaning and inorganic cleaning, and is a method in which inorganic substances such as dust, which are non-adhesive foreign substances, are suspended by a non-contact method. As one kind of such inorganic cleaning method, a dry cleaning device is used.

건식 세정장치는 일반적으로 초음파를 대상체에 전달하여 대상체 표면의 파티클(particle)을 대상체 표면으로부터 이격시킨 후, 공기를 분사하여 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단, 그리고 진공흡입(Vacuum suction)수단으로 구성되어 기판에 부착된 이물질을 제거하게 된다. 재진대는 기판 위에서 정전기에 의해 (+) 또는 (-)로 대전된 이물질을 중화시켜 점착력을 잃게 하고, 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단은 기판표면 경계층을 깨고 그 안에 존재하는 중화된 상태의 이물질을 부유시키고, 진공흡입(Vacuum suction)수단은 부유된 이물질을 흡입하게 된다. In general, a dry cleaning device transmits ultrasonic waves to an object to separate particles of the object surface from the object surface, and then injects air into a compressed air means having an excited ultrasonic wave, and a vacuum suction device. ) Means to remove foreign substances attached to the substrate. Re-treatment neutralizes foreign substances charged to positive or negative on the substrate by static electricity to lose adhesion, and the compressed air means with excitation ultrasonic waves breaks the boundary layer on the substrate surface and neutralizes it. The foreign matter in the state is suspended, and the vacuum suction means sucks the suspended foreign matter.

한편, 상술한 바와 같이, 건식 세정 장치는 초음파를 대상체에 전달하여야 파티클을 대상체 표면으로부터 효과적으로 이격시킬 수 있는데, 별도의 초음파 발진장치 없이도, 공기의 유동을 통해 초음파를 발진시킬 수 있는 유로구조에 대한 연구가 필요한 실정이다. Meanwhile, as described above, the dry cleaning device can effectively separate particles from the surface of the object only when ultrasonic waves are transmitted to the object, and the flow path structure capable of oscillating ultrasonic waves through the flow of air without a separate ultrasonic oscillator device. Research is needed.

등록특허 제10-0966100호(2010.06.17)Registered Patent No. 10-0966100 (2010.06.17)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 공기의 유동을 통해 초음파를 발진시킬 수 있는 토출유로를 구비하는 건식 세정 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a dry cleaning apparatus having a discharge passage capable of oscillating ultrasonic waves through the flow of air.

본 발명에 의한 건식 세정 장치는, 공기가 이동하는 토출유로를 구비하여 대상체에 공기를 분사하는 블로워; 상기 블로워의 주변에 구비되는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버의 내부공간의 공기를 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 토출유로는 슬릿형태로 구비되되, 유속차이를 발생시키도록 상기 토출유로의 단면이 확장되는 구간인 공진부를 각각 하나 이상 포함할 수 있다. The dry cleaning apparatus according to the present invention includes: a blower having a discharge passage through which air moves and injecting air to an object; A chamber provided around the blower; And a suction unit connected to the chamber to suck air in the inner space of the chamber, wherein the discharge passage is provided in a slit shape, and a resonance in which the cross section of the discharge passage is expanded to generate a difference in flow velocity. Each may contain more than one wealth.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는, 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이 대략 다각형일 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, the resonator may have a substantially polygonal shape in a cross-section cut to reveal the narrowest width of the discharge passage along a direction in which air moves.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는, 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이 대략 삼각형일 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, the resonator may have an approximately triangular shape in a cross-section cut to reveal the narrowest width of the discharge passage along a direction in which air moves.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는 유입측이 좁고 유출측이 넓을 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, the resonator may have a narrow inlet side and a wide outlet side.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는, 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상은 상기 토출유로의 중심선을 기준으로 좌우 대칭일 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, the resonator may have a cross-sectional shape cut along a direction in which the air moves so that the width of the discharge passage is narrowest to be exposed may be symmetrical with respect to the center line of the discharge passage.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는, 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상에서, 공기가 이동하는 방향을 따라 형성된 길이를 L1이라 하고, 상기 토출유로의 일측으로부터 폭방향으로 최대로 떨어진 지점까지의 거리를 D라고 할 때, L1:D = 1:1.5 내지 1:3 일 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, in the shape of the cross-sectional shape cut so that the width of the discharge passage is exposed to the narrowest along the direction in which the air moves, the length formed along the direction in which the air moves is referred to as L1, When D is the distance from one side of the discharge passage to the point that is the largest in the width direction, L1:D = 1:1.5 to 1:3.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는, 공기가 이동하는 방향을 따라 2개가 형성될 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, two resonance units may be formed along a direction in which air moves.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는 크기가 동일할 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, the resonator may have the same size.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상대적으로 유입측에 형성된 어느 하나의 공진부가 상대적으로 유출측에 형성된 다른 하나의 공진부보다 크기가 클 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, one of the resonance portions formed on the inlet side may be relatively larger in size than the other resonance portion formed on the outlet side.

본 발명에 의한 건식 세정 장치에서, 상기 공진부가 공기가 이동하는 방향을 따라 형성된 길이를 L1이라 하고, 어느 하나의 공진부와 인접한 다른 하나의 공진부 사이의 거리를 L2라 할때, L1 = L2 일 수 있다. In the dry cleaning apparatus according to the present invention, when the length of the resonance part formed along the direction in which air moves is L1, and the distance between one resonance part and the other adjacent resonance part is L2, L1 = L2 Can be

본 발명에 의하면, 슬릿 형태로 구비되는 토출유로에 유속차이를 발생시키도록 토출유로의 단면이 확장되는 공진부를 구비하여, 토출유로를 통한 공기의 유동을 통해 고밀도의 초음파를 발진시킬 수 있다. According to the present invention, it is possible to oscillate high-density ultrasonic waves through the flow of air through the discharge passage by providing a resonator portion in which the cross section of the discharge passage is expanded to generate a difference in flow velocity in the discharge passage provided in a slit shape.

이를 통하여 발생된 초음파는 유동이 실린 초음파로 대상체의 파티클을 효과적으로 제거 및 분리할 수 있게 된다. The ultrasonic waves generated through this are flow-carrying ultrasonic waves, so that particles of the object can be effectively removed and separated.

또한, 이를 통하여 발진된 초음파는 종파 방향의 특성을 보유하고 있어 대상체의 표면까지 도달하는 특성을 보유하여 보다 효과적인 파티클 제거에 기여할 수 있게 된다. In addition, since the ultrasonic waves oscillated through this have properties in the longitudinal direction, they can reach the surface of the object, thereby contributing to more effective particle removal.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 사시도.
도 2는 도 1의 A-A'에 따른 단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 사시도.
도 4는 도 3의 B-B'에 따른 단면도.1 is a schematic perspective view of a dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 1;
3 is a schematic perspective view of a dry cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 3;

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명의 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the spirit of the present invention is not limited to the presented embodiments, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention can add, change, or delete other elements within the scope of the same idea. Other embodiments included within the scope of the inventive concept may be easily proposed, but this will also be said to be included within the scope of the inventive concept.

또한, 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다. In addition, components having the same function within the scope of the same idea shown in the drawings of the embodiments will be described using the same reference numerals.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(100)의 개략 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A'에 따른 개략 단면도이다. 1 is a schematic perspective view of a dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along line AA′ of FIG. 1.

한편, 방향에 대해서 정의하면, 도 1에서 도시되고 있는 x축방향은 길이방향, y축방향은 폭방향, z축 방향은 높이방향으로 정의한다. Meanwhile, when the direction is defined, the x-axis direction shown in FIG. 1 is defined as a length direction, a y-axis direction is a width direction, and a z-axis direction is a height direction.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(100)는 블로워(110), 챔버(120), 및 흡입부(130)를 포함할 수 있다. 1 and 2, the dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a blower 110, a chamber 120, and a suction unit 130.

블로워(110)는 토출유로(111)를 구비하여 대상체(S)에 공기를 분사할 수 있다.The blower 110 may include a discharge passage 111 to inject air to the object S.

챔버(120)는 상기 블로워(110)의 주변에 구비될 수 있으며, 상기 블로워(110)에 의해 분사되는 공기에 의해 상기 대상체(S)의 표면으로부터 이탈된 파티클이 유입되는 공간일 수 있다. The chamber 120 may be provided around the blower 110, and may be a space in which particles separated from the surface of the object S are introduced by air injected by the blower 110.

이때에, 상기 챔버(120)는 상기 블로워(110)의 양측에 한 쌍으로 구비될 수 있다. In this case, the chamber 120 may be provided in a pair on both sides of the blower 110.

흡입부(130)는 상기 챔버(120)에 연결되어 상기 챔버의 내부공간에 유입된 공기를 흡입할 수 있는데, 이때에 상기 대상체(S)의 표면으로부터 이탈된 파티클을 함께 유입함으로써 상기 대상체(S) 표면의 파티클을 제거할 수 있다. The suction unit 130 is connected to the chamber 120 to suck the air introduced into the inner space of the chamber, and at this time, the object S by introducing the particles separated from the surface of the object S together. ) Can remove particles from the surface.

다시 말해서, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(100)는, 상기 블로워(110)를 통해 공기를 분사함으로써, 대상체(S) 표면의 파티클을 이탈시키고, 이탈된 상기 파티클을 상기 흡입부(130)를 통해 흡입함으로써 대상체(S) 표면의 파티클을 제거할 수 있다. In other words, the dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention disengages particles on the surface of the object S by spraying air through the blower 110, and removes the separated particles from the suction unit. By inhaling through 130, particles on the surface of the object S may be removed.

한편, 상기 토출유로(111)는 슬릿형태로 구비될 수 있으며, 유속차이를 발생시키도록 그 단면이 확장되는 구간인 공진부(111a)를 구비할 수 있다. Meanwhile, the discharge passage 111 may be provided in a slit shape, and may include a resonance part 111a, which is a section whose cross-section is extended to generate a difference in flow velocity.

여기에서, 상기 토출유로(111)는 단일 또는 복수개로 나뉘어 구비될 수 있으며, 상기 공진부(111a)는 상기 토출유로(111)에 각각 하나 이상 구비될 수 있다. Here, the discharge passage 111 may be divided into a single or a plurality of portions, and one or more resonator portions 111a may be provided in each of the discharge passage 111.

이때에, 도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 공진부(111a)는 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로(111)의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면 즉, yz평면으로 자른 단면의 형상이 대략 다각형이거나 원형일 수 있으며, 바람직하게는 대략 삼각형일 수 있다. At this time, as shown in FIG. 2, the resonator part 111a has a shape of a cross section cut to reveal the narrowest width of the discharge passage 111 along the direction in which air moves, that is, a cross section cut to the yz plane. It may be approximately polygonal or circular, preferably approximately triangular.

아울러, 상기 공진부(111a)는 유입측은 좁고, 유출측이 넓을 수 있는데, 도 2를 기준으로 상측은 좁고, 하측이 넓을 수 있다. In addition, the resonator 111a may have a narrow inlet side and a wide outlet side, and may have a narrow upper side and a wide lower side based on FIG. 2.

또한, 상기 공진부(111a)는 상기 토출유로(111)의 중심선을 기준으로 좌우대칭일 수 있다. 즉, 상기 공진부(111a)는 상기 토출유로(111)의 중심을 지나는 xz평면을 기준으로 좌우대칭일 수 있다. In addition, the resonance part 111a may be symmetrical with respect to the center line of the discharge passage 111. That is, the resonator 111a may be symmetrical with respect to the xz plane passing through the center of the discharge passage 111.

여기에서, 도 2에서 도시하는 바와 같이, 상기 공진부(111a)가 공기가 이동하는 방향을 따라 형성된 길이를 L1이라하고, 상기 토출유로(111)의 일측으로부터 폭방향으로 최대로 떨어진 지점까지의 거리를 D라고 할 때, 상기 공진부(111a)의 형상은 L1:D = 1:1.5 내지 1:3를 만족하는 형상일 수 있다. Here, as shown in FIG. 2, the length of the resonance part 111a formed along the direction in which the air moves is referred to as L1, and the length from one side of the discharge passage 111 to the maximum distance in the width direction When the distance is D, the shape of the resonance part 111a may be a shape that satisfies L1:D = 1:1.5 to 1:3.

한편, 상기 공진부(111a)는 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로(111)에 각각 2개씩 형성되는 것이 바람직하며, 동일한 토출유로(111)에 형성된 어느 하나의 공진부(111a)와 다른 하나의 공진부 사이의 거리를 L2라고 할때에, L1=L2일 수 있다. On the other hand, it is preferable that two resonators 111a are formed in each of the discharge passages 111 along the direction in which air moves, and different from any one of the resonators 111a formed in the same discharge passage 111 When the distance between one resonance part is L2, it may be L1=L2.

또한, 동일한 토출유로(111)에 형성된 어느 하나의 공진부(111a)와 다른 하나의 공진부(111a)는 동일한 형상으로 구비될 수 있다. In addition, one resonance part 111a and the other resonance part 111a formed in the same discharge passage 111 may have the same shape.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 건식 세장 장치(100)는, 토출유로(111)가 공진부(111a)를 구비함으로써, 상기 토출유로(111)를 통해 공기가 지나가면서 유속과 압력차이가 발생하도록 하여 고밀도의 초음파가 발생하도록 할 수 있다. As described above, in the dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, the discharge passage 111 is provided with the resonance part 111a, so that the difference between the flow rate and the pressure as air passes through the discharge passage 111 It is possible to generate high-density ultrasonic waves.

이를 통하여 발생된 초음파는 유동이 실린 초음파로 대상체(S)의 파티클을 효과적으로 제거 및 분리할 수 있게 된다. The ultrasonic waves generated through this are flow-carrying ultrasonic waves, so that particles of the object S can be effectively removed and separated.

또한, 초음파는 종파 방향의 특성을 보유하고 있어 대상체(S)의 표면까지 도달하는 특성을 보유하여 보다 효과적인 파티클 제거에 기여할 수 있게 된다. In addition, since the ultrasound has a characteristic in the longitudinal direction, it has a characteristic that reaches to the surface of the object S, thereby contributing to more effective particle removal.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식 세정 장치(200)의 개략 사시도이고, 도 4는 도 3의 B-B'에 따른 개략 단면도이다. 3 is a schematic perspective view of a dry cleaning apparatus 200 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 3.

한편, 방향에 대해서 정의하면, 도 3에서 도시되고 있는 x축방향은 길이방향, y축방향은 폭방향, z축 방향은 높이방향으로 정의한다. Meanwhile, when the direction is defined, the x-axis direction shown in FIG. 3 is defined as the longitudinal direction, the y-axis direction is the width direction, and the z-axis direction is the height direction.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식 세정 장치(200)는 블로워(210), 챔버(220), 및 흡입부(230)를 포함할 수 있다. 3 and 4, a dry cleaning apparatus 200 according to another embodiment of the present invention may include a blower 210, a chamber 220, and a suction unit 230.

블로워(210)는 토출유로(211)를 구비하여 대상체(S)에 공기를 분사할 수 있다.The blower 210 may include a discharge passage 211 to inject air onto the object S.

챔버(220)는 상기 블로워(110)의 주변에 구비될 수 있으며, 상기 블로워(210)에 의해 분사되는 공기에 의해 상기 대상체(S)의 표면으로부터 이탈된 파티클이 유입되는 공간일 수 있다. The chamber 220 may be provided around the blower 110, and may be a space into which particles separated from the surface of the object S are introduced by air injected by the blower 210.

이때에, 상기 블로워(210)는 상기 챔버(220)의 양측에 한 쌍으로 구비될 수 있다. 즉, 상기 챔버(220)는 한 쌍의 상기 블로워(210)의 사이에 구비될 수 있다. In this case, the blowers 210 may be provided in a pair on both sides of the chamber 220. That is, the chamber 220 may be provided between the pair of blowers 210.

흡입부(230)는 상기 챔버(220)에 연결되어 상기 챔버의 내부공간에 유입된 공기를 흡입할 수 있는데, 이때에 상기 대상체(S)의 표면으로부터 이탈된 파티클을 함께 유입함으로써 상기 대상체(S) 표면의 파티클을 제거할 수 있다. The suction unit 230 is connected to the chamber 220 to suck the air introduced into the inner space of the chamber, and at this time, the object S by introducing particles separated from the surface of the object S together. ) Can remove particles from the surface.

다시 말해서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식 세정 장치(200)는, 상기 블로워(210)를 통해 공기를 분사함으로써, 대상체(S) 표면의 파티클을 이탈시키고, 이탈된 상기 파티클을 상기 흡입부(230)를 통해 흡입함으로써 대상체(S) 표면의 파티클을 제거할 수 있다. In other words, in the dry cleaning apparatus 200 according to another embodiment of the present invention, by spraying air through the blower 210, the particles on the surface of the object S are separated, and the separated particles are removed by the suction unit. Particles on the surface of the object S may be removed by inhaling through 230.

한편, 상기 토출유로(211)는 슬릿형태로 구비될 수 있으며, 유속차이를 발생시키도록 그 단면이 확장되는 구간인 공진부(211a)를 구비할 수 있다. Meanwhile, the discharge passage 211 may be provided in a slit shape, and may include a resonance part 211a, which is a section in which a cross section of the discharge passage 211 is expanded to generate a difference in flow velocity.

이때에, 상기 토출유로(211)는 대상체(S)와 소정의 각도를 이루도록 꺾여 상기 챔버(220)를 향해 소정의 각도를 이루어 공기를 분사하도록 할 수 있다. In this case, the discharge passage 211 may be bent to form a predetermined angle with the object S to form a predetermined angle toward the chamber 220 to inject air.

여기에서, 상기 토출유로(211)는 단일 또는 복수개로 나뉘어 구비될 수 있으며, 상기 공진부(211a)는 상기 토출유로(211)에 각각 하나 이상 구비될 수 있다. Here, the discharge passage 211 may be divided into a single or a plurality of portions, and one or more resonator portions 211a may be provided in each of the discharge passage 211.

이때에, 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 공진부(211a)는 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로(211)의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면 즉, yz평면으로 자른 단면의 형상이 대략 다각형이거나 원형일 수 있으며, 바람직하게는 대략 삼각형일 수 있다. At this time, as shown in FIG. 4, the resonator part 211a has a shape of a cross section cut to reveal the narrowest width of the discharge passage 211 along the direction in which air moves, that is, a cross section cut to the yz plane. It may be approximately polygonal or circular, preferably approximately triangular.

아울러, 상기 공진부(211a)는 유입측은 좁고, 유출측이 넓을 수 있다. In addition, the resonance part 211a may have a narrow inlet side and a wide outlet side.

또한, 상기 공진부(211a)는 상기 토출유로(211)의 중심선을 기준으로 좌우대칭일 수 있다. 즉, 상기 공진부(211a)는 상기 토출유로(211)의 중심을 지나는 xz평면을 기준으로 좌우대칭일 수 있다. In addition, the resonance part 211a may be symmetrical with respect to the center line of the discharge passage 211. That is, the resonance part 211a may be symmetrical with respect to the xz plane passing through the center of the discharge passage 211.

한편, 상기 공진부(211a)는 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로(111)에 각각 2개씩 형성되는 것이 바람직하며, 동일한 토출유로(211)에 형성된 어느 하나의 공진부(211a)와 다른 하나의 공진부(211a)의 크기가 상이할 수 있다.On the other hand, it is preferable that two resonator parts 211a are formed in each of the discharge passages 111 along the direction in which air moves, and different from any one resonator part 211a formed in the same discharge passage 211 The size of one resonance part 211a may be different.

이때에, 상대적으로 유입측에 형성된 공진부(211a)가 상대적으로 유출측에 형성된 공진부(211a)보다 클 수 있다. In this case, the resonance part 211a formed on the inlet side may be relatively larger than the resonance part 211a formed in the outlet side.

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 의한 건식 세장 장치(200)는, 토출유로(211)가 공진부(211a)를 구비함으로써, 상기 토출유로(211)를 통해 공기가 지나가면서 유속과 압력차이가 발생하도록 하여 고밀도의 초음파가 발생하도록 할 수 있다. As described above, in the dry elongation device 200 according to another embodiment of the present invention, since the discharge passage 211 is provided with the resonance part 211a, the difference between the flow velocity and the pressure as air passes through the discharge passage 211 It is possible to generate high-density ultrasonic waves.

이를 통하여 발생된 초음파는 유동이 실린 초음파로 대상체(S)의 파티클을 효과적으로 제거 및 분리할 수 있게 된다. The ultrasonic waves generated through this are flow-carrying ultrasonic waves, so that particles of the object S can be effectively removed and separated.

또한, 초음파는 종파 방향의 특성을 보유하고 있어 대상체(S)의 표면까지 도달하는 특성을 보유하여 보다 효과적인 파티클 제거에 기여할 수 있게 된다. In addition, since the ultrasound has a characteristic in the longitudinal direction, it has a characteristic that reaches to the surface of the object S, thereby contributing to more effective particle removal.

이상에서, 본 발명의 일 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다. In the above, although one embodiment of the present invention has been described in detail, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible within the scope not departing from the technical spirit of the present invention described in the claims. This will be apparent to those of ordinary skill in the art.

100: 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치
200: 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식 세정장치
110, 210: 블로워 111, 211: 토출유로
111a, 211a: 공진부 120, 220: 챔버
130: 230: 흡입부100: dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention
200: Dry cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention
110, 210: blower 111, 211: discharge passage
111a, 211a: resonance unit 120, 220: chamber
130: 230: suction unit

Claims (9)

공기가 이동하는 토출유로를 구비하여 대상체에 공기를 분사하는 블로워;
상기 블로워의 주변에 구비되는 챔버; 및
상기 챔버에 연결되어 상기 챔버의 내부공간의 공기를 흡입하는 흡입부;를 포함하고,
상기 토출유로는 슬릿형태로 구비되되, 유속차이를 발생시키도록 상기 토출유로의 단면이 확장되는 구간인 공진부를 각각 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
A blower having a discharge passage through which air moves and injecting air to the object;
A chamber provided around the blower; And
Includes; a suction unit connected to the chamber to suck air in the inner space of the chamber,
The discharge passage is provided in the form of a slit, characterized in that the dry cleaning apparatus, characterized in that each comprises at least one resonator portion, which is a section in which the cross section of the discharge passage is expanded to generate a difference in flow velocity.
 제1항에 있어서,
상기 공진부는,
공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이 대략 다각형인 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 1,
The resonance part,
Dry cleaning apparatus, characterized in that the shape of a cross section cut to reveal the narrowest width of the discharge passage along the direction in which air moves is substantially polygonal.
 제2항에 있어서,
상기 공진부는,
공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이 대략 삼각형인 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 2,
The resonance part,
Dry cleaning apparatus, characterized in that the shape of a cross section cut to reveal the narrowest width of the discharge passage along a direction in which air moves is substantially triangular.
 제3항에 있어서,
상기 공진부는 유입측이 좁고 유출측이 넓은 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 3,
Dry cleaning apparatus, characterized in that the resonator portion has a narrow inlet side and a wide outlet side.
 제4항에 있어서,
상기 공진부는,
공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상은 상기 토출유로의 중심선을 기준으로 좌우 대칭인 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 4,
The resonance part,
A dry cleaning apparatus, characterized in that the shape of a cross section cut along the direction in which the air moves to reveal the narrowest width of the discharge passage is horizontally symmetrical with respect to a center line of the discharge passage.
 제5항에 있어서,
상기 공진부는,
공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상에서, 공기가 이동하는 방향을 따라 형성된 길이를 L1이라 하고, 상기 토출유로의 일측으로부터 폭방향으로 최대로 떨어진 지점까지의 거리를 D라고 할 때, L1:D = 1:1.5 내지 1:3 인 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 5,
The resonance part,
In the shape of a cross section cut along the direction in which the air moves to reveal the narrowest width of the discharge passage, the length formed along the direction in which air moves is referred to as L1, and the point at which the maximum distance in the width direction from one side of the discharge passage is When the distance to is D, L1:D = 1:1.5 to 1:3, characterized in that the dry cleaning apparatus.
 제1항에 있어서,
상기 공진부는,
공기가 이동하는 방향을 따라 2개가 형성된 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 1,
The resonance part,
Dry cleaning apparatus, characterized in that two formed along the direction in which air moves.
 제7항에 있어서,
상기 공진부는 크기가 동일한 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 7,
Dry cleaning apparatus, characterized in that the resonator portion is the same size.
 제1항에 있어서,
상기 공진부가 공기가 이동하는 방향을 따라 형성된 길이를 L1이라 하고, 어느 하나의 공진부와 인접한 다른 하나의 공진부 사이의 거리를 L2라 할때, L1 = L2 인 것을 특징으로 하는 건식 세정 장치.
The method of claim 1,
When the length of the resonance part formed along the direction in which the air moves is L1, and the distance between one of the resonance parts and the other adjacent resonance part is L2, L1 = L2.
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