KR102559675B1 - Ultra Sonic Dry Cleaner - Google Patents

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Abstract

공기가 이동하도록 슬릿형태로 형성된 토출유로를 구비하여 대상체에 공기를 분하는 블로워; 상기 블로워 주변에 구비되는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버의 내부공간의 공기를 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 토출유로는, 유속차이를 발생시키도록 상기 토출유로의 단면이 확장되는 구간인 공진부; 상기 공진부를 통과한 공기의 유속이 상승하도록 상기 토출유로의 단면이 감소하는 구간인 병목부; 및 상기 토출유로의 단면이 일정하게 유지되어 상기 병목부를 통과한 공기가 외부로 토출되도록 하는 토출부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 초음파 건식 세정 장치를 제공하여, 토출유로를 통해 토출되는 공기의 유속을 향상시켜 대상체의 파티클 제거효율을 극대화시킬 수 있다. A blower having a discharge passage formed in the form of a slit to move the air to distribute the air to the target object; a chamber provided around the blower; and a suction unit connected to the chamber to suck in air from an internal space of the chamber, wherein the discharge path includes: a resonator unit in which a cross section of the discharge path is expanded to generate a flow velocity difference; a bottleneck section in which the cross-section of the discharge passage decreases to increase the flow rate of the air passing through the resonator; And a discharge part for maintaining a constant cross-section of the discharge passage so that the air passing through the bottle neck is discharged to the outside. By providing an ultrasonic dry cleaning apparatus, the flow rate of air discharged through the discharge passage can be improved to maximize the particle removal efficiency of the object.

Description

초음파 건식 세정 장치{Ultra Sonic Dry Cleaner}Ultrasonic dry cleaning device {Ultra Sonic Dry Cleaner}

본 발명은 초음파 건식 세정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 토출되는 공기의 유속을 향상시킬 수 있는 토출유로를 구비하는 초음파 건식 세정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an ultrasonic dry cleaning device, and more particularly, to an ultrasonic dry cleaning device having a discharge passage capable of improving the flow rate of discharged air.

PDP, LCD, AMOLED 등의 디스플레이용 유리기판 또는 필름(Film) 또는 반도체 웨이퍼 등은 세정을 거쳐 표면에 이물질이 없는 표면 상태를 유지해야 한다. Glass substrates or films or semiconductor wafers for displays such as PDP, LCD, AMOLED, etc. must be cleaned to maintain a surface state free of foreign substances on the surface.

만약, 이물질이 표면에 존재한 채로 가공하게 되면 최종 제품에 결점이 생겨 불량제품이 되므로 생산수율이 나빠지게 된다. If the foreign matter is processed while still present on the surface, the final product will have defects and become a defective product, resulting in poor production yield.

한편, 세정방법은 크게 습식세정(Wet Cleaning)과 건식세정(Dry Cleaning)이 있다. 습식세정이란 유기세정, 순수 물에 의한 세척, 무기세정 및 건조 단계를 순차적으로 거치는 것으로, 점착성 이물질인 기름때, 테이프자국, 손기름 등과 같이 유기 바인더로 연결된 무기물을 비접촉식 방법으로 유기 바인더를 끊어 무기물화 하는 세정방법이다. 건식세정이란 유기세정 및 무기세정을 거쳐 세정을 완료하는 것으로, 비점착성 이물질인 먼지와 같은 무기물을 비접촉식 방법으로 부유시켜 세정하는 방법이다. 이러한 무기물 세정방법의 한 종류로서 건식 세정장치가 사용되고 있다. On the other hand, cleaning methods are largely divided into wet cleaning and dry cleaning. Wet cleaning is a cleaning method in which organic cleaning, washing with pure water, inorganic cleaning, and drying steps are sequentially performed, and inorganic substances connected to organic binders, such as adhesive foreign substances such as oil stains, tape marks, and hand oil, are broken into organic binders in a non-contact method. Dry cleaning is to complete cleaning through organic cleaning and inorganic cleaning, and is a method of cleaning by floating inorganic substances such as dust, which are non-adhesive foreign substances, in a non-contact method. As one type of inorganic cleaning method, a dry cleaning device is used.

건식 세정장치는 일반적으로 초음파를 대상체에 전달하여 대상체 표면의 파티클(particle)을 대상체 표면으로부터 이격시킨 후, 공기를 분사하여 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단, 그리고 진공흡입(Vacuum suction)수단으로 구성되어 기판에 부착된 이물질을 제거하게 된다. 재진대는 기판 위에서 정전기에 의해 (+) 또는 (-)로 대전된 이물질을 중화시켜 점착력을 잃게 하고, 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단은 기판표면 경계층을 깨고 그 안에 존재하는 중화된 상태의 이물질을 부유시키고, 진공흡입(Vacuum suction)수단은 부유된 이물질을 흡입하게 된다. A dry cleaning apparatus generally transmits ultrasonic waves to an object to separate particles on the surface of the object from the surface of the object, then sprays air to generate compressed air having ultrasonic waves, and a vacuum suction means to remove foreign substances attached to the substrate. The measuring table neutralizes (+) or (-) charged foreign substances by static electricity on the substrate to lose adhesion, and the pressure air means having excited ultrasonic waves breaks the boundary layer on the surface of the substrate and floats the neutralized foreign substances present therein, and the vacuum suction means sucks the suspended foreign substances.

한편, 상술한 바와 같이, 건식 세정 장치는 초음파를 대상체에 전달하여야 파티클을 대상체 표면으로부터 효과적으로 이격시킬 수 있는데, 본 출원인은 별도의 초음파 발진장치 없이도, 공기의 유동을 통해 초음파를 발진시킬 수 있는 유로구조에 대해 등록특허 제10-2207537호(2021.01.20.)에서 소개한 바 있다. On the other hand, as described above, the dry cleaning device can effectively separate particles from the surface of the object only when ultrasonic waves are transmitted to the object. The present applicant has introduced a flow path structure capable of oscillating ultrasonic waves through the flow of air without a separate ultrasonic oscillation device in Registration Patent No. 10-2207537 (January 20, 2021).

다른 한편으로, 파티클 제거효율을 보다 상승시키기 위해서는 압축공기 수단에서 토출되는 유속을 높여야 한다. 이와 같이, 토출되는 유속을 높이기 위해서 블로워(Blower)의 용량을 높이는 방법이 있으나, 공간의 제약, 전기 사용량 증가로 인한 비용증대 등으로 인하여 한계가 있는 것이 현실이다. On the other hand, in order to further increase the particle removal efficiency, it is necessary to increase the flow rate discharged from the compressed air means. In this way, there is a method of increasing the capacity of a blower in order to increase the discharged flow rate, but the reality is that there are limitations due to space limitations and cost increase due to increased electricity consumption.

이에 공기의 유동을 통해 초음파를 발진시킴과 동시에 토출되는 공기의 유속도 함께 향상시킬 수 있는 유로구조에 대한 연구가 필요한 실정이다. Therefore, it is necessary to study a flow path structure capable of oscillating ultrasonic waves through air flow and simultaneously improving the flow rate of discharged air.

등록특허 제10-2207537호(2021.01.20.)Registered Patent No. 10-2207537 (2021.01.20.)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 공기의 유동을 통해 초음파를 발진시킴과 동시에 토출되는 공기의 유속을 향상시킬 수 있는 토출유로를 구비하는 초음파 건식 세정 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic dry cleaning apparatus having a discharge passage capable of oscillating ultrasonic waves through air flow and simultaneously improving the flow rate of discharged air.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치는, 공기가 이동하도록 슬릿형태로 형성된 토출유로를 구비하여 대상체에 공기를 분하는 블로워; 상기 블로워 주변에 구비되는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버의 내부공간의 공기를 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 토출유로는, 유속차이를 발생시키도록 상기 토출유로의 단면이 확장되는 구간인 공진부; 상기 공진부를 통과한 공기의 유속이 상승하도록 상기 토출유로의 단면이 감소하는 구간인 병목부; 및 상기 토출유로의 단면이 일정하게 유지되어 상기 병목부를 통과한 공기가 외부로 토출되도록 하는 토출부;를 구비할 수 있다. An ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention includes a blower having a discharge passage formed in a slit shape to move air and distributing air to an object; a chamber provided around the blower; and a suction unit connected to the chamber to suck in air from an internal space of the chamber, wherein the discharge path includes: a resonator unit in which a cross section of the discharge path is expanded to generate a flow rate difference; a bottleneck section in which the cross-section of the discharge passage decreases to increase the flow rate of the air passing through the resonator; and a discharge unit configured to maintain a constant cross-section of the discharge passage so that the air passing through the bottleneck is discharged to the outside.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 토출유로는, 공기가 상기 공진부를 통과하기 이전에 압력이 상승되도록 상기 토출유로의 단면이 감소하는 압력변환부를 더 구비할 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention, the discharge passage may further include a pressure converter for reducing a cross section of the discharge passage so that the pressure increases before air passes through the resonator.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 압력변환부는 유입측의 폭이 유출측의 폭보다 10 내지 20배 클 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention, the width of the inlet side of the pressure converter may be 10 to 20 times larger than the width of the outlet side.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 압력변환부는 유입측에서 유출측으로 갈수록 그 폭이 일정한 비율로 감소할 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention, the width of the pressure converter may decrease at a constant rate from the inlet side to the outlet side.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 압력변환부는 외벽이 중심선과 5 내지 10도의 각도를 이루며 그 폭이 감소할 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning device according to the present invention, the outer wall of the pressure converter forms an angle of 5 to 10 degrees with the center line, and the width thereof may be reduced.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 토출유로는, 상기 압력변환부와 상기 공진부 사이에 그 폭이 일정하게 유지되는 제1유속유지구간을 더 구비할 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention, the discharge flow path may further include a first flow rate maintenance section in which a width is maintained constant between the pressure conversion unit and the resonator unit.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 토출유로는, 상기 공진부와 상기 병목부 사이에 그 폭이 일정하게 유지되는 제2유속유지구간을 더 구비할 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention, the discharge passage may further include a second flow rate maintaining section, the width of which is maintained constant, between the resonator part and the bottle neck part.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 제2유속유지구간, 상기 병목부, 및 상기 토출부의 길이의 합은 상기 제1유속유지구간과 같거나 크되, 상기 제1유속유지구간의 2배를 초과하지 않을 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning device according to the present invention, the sum of the lengths of the second flow rate maintaining section, the bottleneck, and the discharge portion is equal to or greater than that of the first flow rate maintaining section, but may not exceed twice the first flow rate maintaining section.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 병목부는 유입측의 폭이 유출측의 폭보다 5 내지 15% 더 클 수 있다.In the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention, the width of the inlet side of the bottleneck may be 5 to 15% larger than the width of the outlet side.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 병목부의 길이와 상기 토출부의 길이는 동일할 수 있다.In the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention, the length of the bottle neck portion and the length of the discharge portion may be the same.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치에서, 상기 공진부는, 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이, 상기 토출유로의 중심선을 기준으로 좌우대칭이며 유입측에 꼭지각이 위치하고 유출측에 밑변이 위치하는 이등변 삼각형 형상으로 구비될 수 있다. In the ultrasonic dry cleaning device according to the present invention, the resonator unit may have an isosceles triangular shape in which a cross section of the resonator section is symmetrical with respect to the center line of the discharge passage, and the apex angle is located on the inlet side and the base is located on the outlet side.

본 발명에 의한 초음파 건식 세정장치는 토출유로를 통해 토출되는 공기의 유속을 향상시켜 대상체의 파티클 제거효율을 극대화시킬 수 있다. The ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention can maximize the particle removal efficiency of the target object by improving the flow rate of air discharged through the discharge passage.

아울러, 본 발명에 의한 초음파 건식 세정 장치는 압력변환부를 통해 공진부로 진입되는 공기의 유속을 증가시켜 하나의 공진부만으로도 초음파 발생이 가능할 수 있다. In addition, the ultrasonic dry cleaning apparatus according to the present invention may generate ultrasonic waves with only one resonator by increasing the flow rate of air entering the resonator through the pressure converter.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 초음파 건식 세정 장치의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A'에 따른 절개 사시도.
도 3은 도 1의 A-A'에 따른 개략 단면도.
도 4는 도 3의 B의 확대도.1 is a perspective view of an ultrasonic dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view cut along A-A' of FIG. 1;
Fig. 3 is a schematic cross-sectional view taken along AA' in Fig. 1;
Figure 4 is an enlarged view of B in Figure 3;

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명의 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다. Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the spirit of the present invention is not limited to the presented embodiments, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention may easily suggest other degenerative inventions or other embodiments included within the scope of the spirit of the present invention by adding, changing, or deleting other elements within the scope of the same spirit, but this will also be included within the scope of the spirit of the present invention.

또한, 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다. In addition, components having the same function within the scope of the same idea appearing in the drawings of the embodiment are described using the same reference numerals.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 초음파 건식 세정 장치(100)의 개략 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A'에 따른 개략 절개 사시도이고, 도 3은 도 1의 A-A'에 따른 개략 단면도이다. 1 is a schematic perspective view of an ultrasonic dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic cut-away perspective view taken along AA' of FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along AA' of FIG.

한편, 방향에 대해서 정의하면, 도 1에서 도시되고 있는 x축은 폭방향, y축은 길이방향, z축은 깊이방향으로 정의한다. On the other hand, if the direction is defined, the x-axis shown in FIG. 1 is defined as the width direction, the y-axis is defined as the longitudinal direction, and the z-axis is defined as the depth direction.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 건식 세정 장치(100)는 블로워(100), 챔버(120), 및 흡입부(130)를 포함할 수 있다. 1 to 3 , an ultrasonic dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a blower 100, a chamber 120, and a suction part 130.

블로워(110)는 토출유로(111)를 구비하여 대상체(S)에 공기를 분사할 수 있다. Blower 110 may be provided with a discharge passage 111 to inject air to the target object (S).

챔버(120)는 상기 블로워(110)의 주변에 구비될 수 있으며, 상기 블로워(110)에 의해 분사되는 공기에 의해 상기 대상체(S)의 표면으로부터 이탈된 파티클이 유입되는 공간일 수 있다. The chamber 120 may be provided around the blower 110, and may be a space into which particles separated from the surface of the object S are introduced by air sprayed by the blower 110.

이때에, 상기 챔버(120)는 상기 블로워(110)의 양측에 한 쌍으로 구비될 수 있다. At this time, the chamber 120 may be provided as a pair on both sides of the blower 110 .

흡입부(130)는 상기 챔버(120)에 연결되어 상기 챔버의 내부공간에 유입된 공기를 흡입할 수 있는데, 이때에 상기 대상체(S)의 표면으로부터 이탈된 파티클을 함께 유입함으로써 상기 대상체(S) 표면의 파티클을 제거할 수 있다. The suction unit 130 is connected to the chamber 120 to suck in the air introduced into the inner space of the chamber. At this time, the particle separated from the surface of the object S is introduced together, so that particles on the surface of the object S can be removed.

다시 말해서, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 건식 세정 장치(100)는, 상기 블로워(110)를 통해 공기를 분사함으로써, 대상체(S) 표면의 파티클을 이탈시키고, 이탈된 상기 파티클을 상기 흡입부(130)를 통해 흡입함으로써 대상체(S) 표면의 파티클을 제거할 수 있다. In other words, the ultrasonic dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may eject particles from the surface of the object S by blowing air through the blower 110, and remove the particles from the surface of the object S by sucking the separated particles through the suction unit 130.

한편, 상기 토출유로(111)는 길이방향(Z축 방향)을 따라 일정한 단면으로 형성된 슬릿형태로 구비될 수 있으며, 공기가 통과하는 순서대로, 압력변환부(111a), 제1유속유지구간(111b), 공진부(111c), 제2유속유지구간(111d), 병목부(111e), 및 토출부(111f)를 포함할 수 있다. On the other hand, the discharge passage 111 may be provided in the form of a slit formed with a constant cross section along the longitudinal direction (Z-axis direction), and may include a pressure converter 111a, a first flow rate maintenance section 111b, a resonator section 111c, a second flow rate maintenance section 111d, a bottleneck section 111e, and a discharge section 111f in the order in which air passes.

압력변환부(111a)는 상기 토출유로(111)의 단면이 감소하는 구간일 수 있으며, 상기 압력변환부(111a)를 통과하는 공기의 압력이 상승되도록 할 수 있다. The pressure conversion unit 111a may be a section in which the cross section of the discharge passage 111 decreases, and the pressure of air passing through the pressure conversion unit 111a may increase.

다시 말해서, 상기 압력변환부(111a)는 유입측에서 유출측으로 갈수록 그 폭이 일정한 비율로 감소할 수 있다.In other words, the width of the pressure converter 111a may decrease at a constant rate from the inlet side to the outlet side.

이에 따라, 상기 압력변환부(111a)는 유입측의 폭(W1)이 유출측의 폭(W2)보다 클 수 있다. 보다 상세하게는, 상기 압력변환부(111a)는 유입측의 폭(W1)이 유출측의 폭(W2)보다 10 내지 20배 클 수 있다. Accordingly, the pressure converter 111a may have an inlet width W1 greater than an outlet width W2. More specifically, in the pressure converter 111a, the width W1 of the inlet side may be 10 to 20 times greater than the width W2 of the outlet side.

이를 위해, 상기 압력변환부(111a)는 외벽이 중심선과 이루는 각(θ)이 5 내지 10도일 수 있다. 다시 말해서, 상기 압력변환부(111a)는 외벽이 중심선과 5 내지 10도의 각도를 이루며 그 폭이 감소할 수 있다. To this end, the pressure conversion unit 111a may have an angle θ between the outer wall and the center line of 5 to 10 degrees. In other words, the outer wall of the pressure converter 111a forms an angle of 5 to 10 degrees with the center line, and the width thereof may decrease.

또한, 상기 압력변환부(111a)는 상기 토출유로(111)의 중심선을 기준으로 좌우대칭일 수 있다. 즉, 상기 압력변환부(111a)는 상기 토출유로(111)의 중심을 지나는 yz 평면을 기준으로 좌우대칭일수 있다. In addition, the pressure converter 111a may be symmetrical with respect to the center line of the discharge passage 111 . That is, the pressure converter 111a may be symmetrical with respect to a yz plane passing through the center of the discharge passage 111 .

제1유속유지구간(111b)는 상기 압력변환부(111a)를 통과한 공기의 유속이 일정하게 유지되도록 그 폭이 일정하게 유지되는 구간일 수 있다. The first flow rate maintaining section 111b may be a section in which the width is maintained constant so that the flow rate of air passing through the pressure converter 111a is maintained constant.

즉, 제1유속유지구간(111b)는 상기 압력변환부(111a)의 유출측의 폭(W2)과 동일한 크기로 그 폭이 일정하게 유지되는 구간일 수 있다. That is, the first flow velocity maintaining section 111b may be a section in which the width is maintained constant with the same size as the width W2 of the outlet side of the pressure conversion unit 111a.

공진부(111c)는 상기 제1유속유지구간(111b)을 지난 공기가 유속차이를 발생시키도록 그 단면이 확장되는 구간일 수 있다. The resonance unit 111c may be a section in which the cross section of the air passing through the first flow rate maintaining section 111b generates a flow rate difference.

도 2 및 도 3에서 도시하는 바와 같이, 상기 공진부(111c)는 상기 토출유로(111)의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상, 즉 xy평면으로 자른 단면의 형상이 대략 다각형이거나 원형일 수 있으며, 바람직하게는 삼각형 형상일 수 있다. As shown in FIGS. 2 and 3 , the cross section of the resonator 111 c is cut to reveal the narrowest width of the discharge passage 111, that is, the shape of the cross section cut along the xy plane may be a polygon or a circle, preferably a triangular shape.

아울러, 상기 공진부(111c)는 유입측이 좁고, 유출측이 넓을 수 있는데, 도 2 및 도 3을 기준으로 상측은 좁고, 하측이 넓을 수 있다. In addition, the resonator 111c may have a narrow inlet side and a wide outlet side, and may have a narrow upper side and a wide lower side, based on FIGS. 2 and 3 .

또한, 상기 공진부(111c)는 상기 토출유로(111)의 중심선을 기준으로 좌우대칭일 수 있다. 즉, 상기 공진부(111c)는 상기 토출유로의 중심을 지나는 yz 평면을 기준으로 좌우대칭일수 있다. In addition, the resonator 111c may be symmetrical with respect to the center line of the discharge passage 111 . That is, the resonator 111c may be symmetrical with respect to a yz plane passing through the center of the discharge passage.

다시 말해서, 상기 공진부(111c)는 유입측에 꼭지각이 위치하고 유출측에 밑변이 위치하는 이등변 삼각형 형상으로 구비될 수 있다. In other words, the resonator 111c may have an isosceles triangular shape in which a vertex angle is located on the inlet side and a base is located on the outlet side.

여기에서, 도 2 및 도 3에서 도시하는 바와 같이, 상기 공진부(111c)가 공기가 이동하는 방향을 따라 형성된 길이를 L3라 하고, 상기 공진부(111c)의 유출측의 폭을 W3라고 할 때, 상기 공진부(111c)의 형상은 L3:W3 = 1:1.5 내지 1:3을 만족하는 형상일 수 있다. Here, as shown in FIGS. 2 and 3, when the length of the resonator 111c formed along the direction in which air moves is L3 and the width of the outlet side of the resonator 111c is W3, the shape of the resonator 111c may be a shape that satisfies L3:W3 = 1:1.5 to 1:3.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의 한 초음파 건식 세정 장치(100)는, 토출유로(111)가 공진부(111c)를 구비함으로써, 상기 토출유로(111)를 통해 공기가 지나가면서 유속과 압력차이가 발생하도록 하여 고밀도의 초음파가 발생하도록 할 수 있다.As described above, in the ultrasonic dry cleaning apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, since the discharge passage 111 includes the resonator 111c, air passes through the discharge passage 111 to generate a flow velocity and pressure difference, thereby generating high-density ultrasonic waves.

보다 구체적으로, 상기 초음파 건식 세정 장치(100)는 상기 압력변환부(111a)를 통해서 공기의 유속을 높여 고속의 유동이 형성되도록 한 후, 상기 제1유속유지구간(111b)을 통해 공기의 유동을 안정시켜, 안정된 고속의 공기가 상기 공진부(111c)를 통과하도록 함으로써 하나의 상기 공진부(111c)만으로도 고밀도의 초음파가 발생하도록 할 수 있다. More specifically, the ultrasonic dry cleaning apparatus 100 increases the flow rate of air through the pressure converter 111a to form a high-speed flow, and then stabilizes the flow of air through the first flow rate maintenance section 111b to allow the stable high-speed air to pass through the resonator 111c, so that high-density ultrasonic waves can be generated with only one resonator 111c.

이를 통하여 발생된 초음파는 유동이 실린 초음파로 대상체(S)의 파티클을 효과적으로 제거 및 분리할 수 있게 된다. The ultrasonic waves generated through this can effectively remove and separate the particles of the target object (S) with the ultrasonic waves loaded with the flow.

또한, 초음파는 종파 방향의 특성을 보유하고 있어 대상체(S)의 표면까지 도달하는 특성을 보유하여 보다 효과적인 파티클 제거에 기여할 수 있게 된다. In addition, since ultrasonic waves have characteristics of a longitudinal wave direction and thus have characteristics of reaching the surface of the object S, they can contribute to more effective particle removal.

도 4는 도 3의 B 영역을 확대한 확대도이다. FIG. 4 is an enlarged view of region B of FIG. 3 .

도 4를 참조하면, 제2유속유지구간(111d)는 상기 공진부(111c)를 통과한 공기의 유속이 일정하게 유지되도록 그 폭이 일정하게 유지되는 구간일 수 있다. Referring to FIG. 4 , the second flow rate maintenance section 111d may be a section in which the width of the second flow rate maintenance section 111d is maintained constant so that the flow rate of air passing through the resonance unit 111c is maintained constant.

이때에, 상기 제2유속유지구간(111d)의 폭(W2)은 상기 제1유속유지구간(111b)의 폭(W2)과 동일할 수 있다. At this time, the width W2 of the second flow rate maintaining section 111d may be the same as the width W2 of the first flow rate maintaining section 111b.

병목부(111e)는 상기 공진부(111c) 및 상기 제2유속유지구간(111d)를 통과한 공기의 유속이 상승하도록 상기 토출유로(111)의 단면이 감소하는 구간일 수 있다. The bottleneck 111e may be a section in which the cross section of the discharge passage 111 decreases so that the flow rate of air passing through the resonator 111c and the second flow rate maintaining section 111d increases.

다시 말해서, 상기 병목부(111e)는 유입측에서 유출측으로 갈수록 그 폭이 일정한 비율로 감소할 수 있다.In other words, the width of the bottleneck 111e may decrease at a constant rate from the inlet side to the outlet side.

이에 따라, 도 4에서 도시하는 바와 같이 상기 병목부(111e)는 유입측의 폭(W2)이 유출측의 폭(W4)보다 클 수 있다. 보다 상세하게는, 상기 병목부(111e)는 유입측의 폭(W2)이 유출측의 폭(W4)보다 5 내지 15%만큼 더 클 수 있다. Accordingly, as shown in FIG. 4 , the width W2 of the inlet side of the bottleneck 111e may be greater than the width W4 of the outlet side. More specifically, in the bottleneck 111e, the width W2 of the inlet side may be greater than the width W4 of the outlet side by 5 to 15%.

또한, 상기 병목부(111e)는 상기 토출유로(111)의 중심선을 기준으로 좌우대칭일 수 있다. 즉, 상기 병목부(111e)는 상기 토출유로(111)의 중심을 지나는 yz 평면을 기준으로 좌우대칭일수 있다. Also, the bottleneck 111e may be symmetrical with respect to the center line of the discharge passage 111 . That is, the bottleneck 111e may be symmetrical with respect to a yz plane passing through the center of the discharge passage 111 .

토출부(111f)는 상기 병목부(111e)를 통과한 공기가 상기 대상체(S)에 토출되도록 하는 구간일 수 있다. The discharge unit 111f may be a section through which air passing through the bottleneck 111e is discharged to the object S.

이때에, 상기 토출부(111f)는 상기 토출유로(111)의 단면이 일정하게 유지되는 구간일 수 있으며, 상기 토출부(111f)의 길이(L6)는 상기 병목부(111e)의 길이와 동일할 수 있다. At this time, the discharge part 111f may be a section in which the cross section of the discharge passage 111 is kept constant, and the length L6 of the discharge part 111f may be the same as the length of the bottle neck part 111e.

한편, 상기 제2유속유지구간(111d)의 길이(L4), 상기 병목부(111e)의 길이(L5), 및 상기 토출부(111f)의 길이(L6)의 길이의 합은, 상기 제1유속유지구간(111b)의 길이(L2)와 같거나 크되, 상기 제1유속유지구간(111b)의 길이(L2)의 2배를 초과하지 않을 수 있다. Meanwhile, the sum of the lengths L4 of the second flow rate maintaining section 111d, the length L5 of the bottleneck 111e, and the length L6 of the discharge portion 111f is equal to or greater than the length L2 of the first flow rate maintaining section 111b, but may not exceed twice the length L2 of the first flow rate maintaining section 111b.

다시 말해서, 상기 제1유속유지구간(111b)의 길이(L2), 상기 제2유속유지구간(111d)의 길이(L4), 상기 병목부(111e)의 길이(L5), 및 상기 토출부(111f)의 길이(L6) 사이에는 L2:L4+L5+L6 = 1:1 내지 1:2 를 만족할 수 있다. In other words, between the length L2 of the first flow rate maintaining section 111b, the length L4 of the second flow rate maintaining section 111d, the length L5 of the bottleneck 111e, and the length L6 of the discharge portion 111f, L2: L4 + L5 + L6 = 1: 1 to 1: 2 may be satisfied.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 초음파 건식 세정 장치(100)는, 블로워(110)가 구비하는 토출유로(111)가 압력변환부(111a), 제1유속유지구간(111b), 공진부(111c), 제2유속유지구간(111d), 병목부(111e), 및 토출부(111f)를 포함하여, 압력변환부(111a)를 통해 공진부(111c)로 진입되는 공기의 유속을 증가시켜 하나의 공진부(111c)만으로도 초음파 발생이 가능할 뿐만 아니라, 병목부(111e)를 통해 토출되는 공기의 유속을 향상시켜 대상체(S)의 파티클 제거효율을 극대화시킬 수 있다. As described above, in the ultrasonic dry cleaning device 100 according to an embodiment of the present invention, the discharge passage 111 provided in the blower 110 includes a pressure conversion unit 111a, a first flow rate maintaining section 111b, a resonator 111c, a second flow rate maintaining section 111d, a bottle neck section 111e, and a discharge section 111f. By increasing the flow rate of air entering the resonator 111c through 11a), ultrasonic waves can be generated with only one resonator 111c, and the particle removal efficiency of the object S can be maximized by improving the flow rate of air discharged through the bottleneck 111e.

이상에서, 본 발명의 일 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다. In the above, although one embodiment of the present invention has been described in detail, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention described in the claims. It will be apparent to those skilled in the art.

100: 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치
110: 블로워 111: 토출유로
111a: 압력변환부 111b: 제1유속유지구간
111c: 공진부 111d: 제2유속유지구간
111e: 병목부 111f: 토출부
120: 챔버 130: 흡입부100: dry cleaning device according to an embodiment of the present invention
110: blower 111: discharge flow path
111a: pressure conversion unit 111b: first flow rate maintenance section
111c: resonance unit 111d: second flow rate maintenance section
111e: bottle neck part 111f: discharge part
120: chamber 130: inlet

Claims (11)

공기가 이동하도록 슬릿형태로 형성된 토출유로를 구비하여 대상체에 공기를 분하는 블로워;
상기 블로워 주변에 구비되는 챔버; 및
상기 챔버에 연결되어 상기 챔버의 내부공간의 공기를 흡입하는 흡입부;를 포함하고,
상기 토출유로는,
유속차이를 발생시키도록 상기 토출유로의 단면이 확장되는 구간인 공진부;
상기 공진부를 통과한 공기의 유속이 상승하도록 상기 토출유로의 단면이 감소하는 구간인 병목부;
상기 토출유로의 단면이 일정하게 유지되어 상기 병목부를 통과한 공기가 외부로 토출되도록 하는 토출부;
공기가 상기 공진부를 통과하기 이전에 압력이 상승되도록 상기 토출유로의 단면이 감소하는 압력변환부;
상기 압력변환부와 상기 공진부 사이에 그 폭이 일정하게 유지되는 제1유속유지구간; 및
상기 공진부와 상기 병목부 사이에 그 폭이 일정하게 유지되는 제2유속유지구간;을 구비하고,
상기 제2유속유지구간, 상기 병목부, 및 상기 토출부의 길이의 합은 상기 제1유속유지구간과 같거나 크되, 상기 제1유속유지구간의 2배를 초과하지 않고,
상기 병목부는 유입측의 폭이 유출측의 폭보다 5 내지 15% 더 크며,
상기 병목부의 길이와 상기 토출부의 길이는 동일하고,
상기 공진부는,
공기가 이동하는 방향을 따라 상기 토출유로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이, 상기 토출유로의 중심선을 기준으로 좌우대칭이며 유입측에 꼭지각이 위치하고 유출측에 밑변이 위치하는 이등변 삼각형 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 초음파 건식 세정 장치.
A blower having a discharge passage formed in the form of a slit to move the air to distribute the air to the target object;
a chamber provided around the blower; and
Including; a suction unit connected to the chamber to suck air in the inner space of the chamber,
As the discharge flow path,
a resonator section in which the cross section of the discharge passage is expanded to generate a flow velocity difference;
a bottleneck section in which the cross-section of the discharge passage decreases to increase the flow rate of the air passing through the resonator;
a discharge unit configured to maintain a constant cross-section of the discharge passage so that the air passing through the bottleneck is discharged to the outside;
a pressure converter for reducing the cross-section of the discharge passage so that the pressure increases before air passes through the resonator;
a first flow rate maintenance section in which the width is maintained constant between the pressure conversion unit and the resonator unit; and
A second flow rate maintenance section in which the width is kept constant between the resonator and the bottleneck;
The sum of the lengths of the second flow rate maintaining section, the bottleneck, and the discharge portion is equal to or greater than the first flow rate maintaining section, but does not exceed twice the first flow rate maintaining section,
The width of the inlet side of the bottleneck is 5 to 15% larger than the width of the outlet side,
The length of the bottle neck and the length of the discharge part are the same,
The resonance part,
The shape of the cross section cut so that the width of the discharge passage is narrowest along the direction in which the air moves is symmetrical with respect to the center line of the discharge passage, and the apex angle is located on the inlet side and the base is located on the outlet side. Ultrasonic dry cleaning device, characterized in that it is provided in the shape of an isosceles triangle.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 압력변환부는 유입측의 폭이 유출측의 폭보다 10 내지 20배 큰 것을 특징으로 하는 초음파 건식 세정 장치.
According to claim 1,
The ultrasonic dry cleaning device, characterized in that the width of the inlet side of the pressure converter is 10 to 20 times larger than the width of the outlet side.
 제1항에 있어서,
상기 압력변환부는 유입측에서 유출측으로 갈수록 그 폭이 일정한 비율로 감소하는 것을 특징으로 하는 초음파 건식 세정 장치.
According to claim 1,
The ultrasonic dry cleaning device, characterized in that the width of the pressure converter decreases at a constant rate from the inlet side to the outlet side.
 제4항에 있어서,
상기 압력변환부는 외벽이 중심선과 5 내지 10도의 각도를 이루며 그 폭이 감소하는 것을 특징으로 하는 초음파 건식 세정 장치.
According to claim 4,
The ultrasonic dry cleaning device, characterized in that the outer wall of the pressure converter forms an angle of 5 to 10 degrees with the center line and its width decreases.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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