KR102373553B1 - Dry cleaning device - Google Patents

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KR102373553B1 KR1020190124906A KR20190124906A KR102373553B1 KR 102373553 B1 KR102373553 B1 KR 102373553B1 KR 1020190124906 A KR1020190124906 A KR 1020190124906A KR 20190124906 A KR20190124906 A KR 20190124906A KR 102373553 B1 KR102373553 B1 KR 102373553B1
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는, 대상체에 공기를 분사하는 블로워; 상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되고 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고, 상기 흡입부는, 상기 유입 공간과 연통되게 구비되는 제1 흡입로; 및 제1 흡입부로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로;를 포함하고, 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로는 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로 사이에 구비된 연통로를 통해 서로 연통되게 구비되며, 상기 연통로는 길이방향으로 폭방향 간격이 변화할 수 있다.A dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a blower for spraying air to an object; a chamber in which the blower is accommodated and includes an inlet space into which particles separated from the object are introduced; and a suction unit connected to the chamber and sucking and discharging the particles, wherein the suction unit includes: a first suction path provided in communication with the inlet space; and a second suction path for discharging particles introduced from the first suction unit to the outside, wherein the first suction path and the second suction path are provided between the first suction path and the second suction path It is provided to communicate with each other through a communication path, and the communication path may have a variable width in the longitudinal direction.

Description

건식 세정 장치{DRY CLEANING DEVICE}Dry cleaning device {DRY CLEANING DEVICE}

본 발명은 건식 세정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a dry cleaning apparatus.

PDP, LCD, AMOLED 등의 디스플레이용 유리기판 또는 필름(Film) 또는 반도체 웨이퍼 등은 세정을 거쳐 표면에 이물질이 없는 표면 상태를 유지해야 한다. 만약 이물질이 표면에 존재한 채로 가공하게 되면 최종 제품에 결점이 생겨 불량제품이 생산되어 생산 수율이 나빠지게 된다Glass substrates or films or semiconductor wafers for displays such as PDP, LCD, and AMOLED must be cleaned to maintain a surface condition free of foreign substances. If foreign substances are present on the surface and processed, defects occur in the final product, resulting in defective products and poor production yield.

세정방법은 크게 습식세정(Wet cleaning)과 건식세정(dry cleaning)이 있다. 습식세정이란 유기세정, 순수 물에 의한 세척, 무기세정 및 건조 단계를 순차적으로 거치는 것으로, 점착성 이물질인 기름때, 테이프자국, 손기름등과 같이 유기바인더로 연결된 무기물을 비접촉식 방법으로 유기바인더를 끊어 무기물화 하는 세정방법이다. 건식세정이란 유기세정 및 무기세정을 거쳐 세정을 완료하는 것으로, 비점착성 이물질인 먼지와 같은 무기물을 비접촉식 방법으로 부유시켜 세정하는 방법이다. 이러한 무기세정방법의 한 종류로서 건식 세정 장치가 사용되었다.The cleaning methods are largely divided into wet cleaning and dry cleaning. Wet cleaning is a sequential process of organic cleaning, washing with pure water, inorganic cleaning and drying. It is a cleaning method. Dry cleaning completes cleaning through organic and inorganic cleaning, and is a method of cleaning by floating inorganic substances such as dust, which are non-adhesive foreign substances, in a non-contact method. A dry cleaning apparatus was used as one of these inorganic cleaning methods.

건식 세정 장치는 일반적으로 초음파를 대상체에 전달하여 대상체 표면의 파티클(particle)을 대상체 표면으로부터 이격시킨 후, 공기를 분사하여 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단, 그리고 진공흡입(Vacuum suction)수단으로 구성되어 기판에 부착된 이물질을 제거하게 된다. 재진대는 기판 위에서 정전기에 의해 (+) 또는 (-)로 대전된 이물질을 중화시켜 점착력을 잃게 하고, 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단은 기판표면 경계층을 깨고 그 안에 존재하는 중화된 상태의 이물질을 부유시키고, 진공흡입(Vacuum suction)수단은 부유된 이물질을 흡입하게 된다. In general, the dry cleaning apparatus transmits ultrasonic waves to an object to separate particles on the surface of the object from the surface of the object, and then sprays air to have a compressed air unit having an excited ultrasonic wave, and vacuum suction. ) means to remove foreign substances attached to the substrate. The re-vibration neutralizes foreign substances charged with (+) or (-) by static electricity on the substrate to lose adhesion, and the compressed air means with excitation ultrasonic waves breaks the substrate surface boundary layer and neutralizes the The foreign matter in the state is suspended, and the vacuum suction means sucks the suspended foreign matter.

이러한 건식 세정 장치의 경우 공기 분사 또는 공기 흡입시 공기의 불균일 유동이 발생할 수 있으며, 이와 같이 공기의 불균일 유동이 발생하면, 세정 효율이 저하되는 문제점이 있다. 따라서, 공기의 분사 또는 흡입시 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있는 건식 세정 장치에 대한 연구가 요구되고 있는 실정이다.In the case of such a dry cleaning apparatus, non-uniform flow of air may occur when air is sprayed or air is sucked, and when the non-uniform flow of air occurs as described above, there is a problem in that cleaning efficiency is reduced. Accordingly, there is a need for research on a dry cleaning apparatus capable of reducing the non-uniform flow of air when air is sprayed or sucked.

본 발명은 공기 분사 시 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있는 건식 세정 장치를 제공하는데 발명의 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a dry cleaning apparatus capable of reducing uneven flow of air during air injection.

또한, 본 발명은 공기 흡입 시 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있는 건식 세정 장치를 제공하는데 발명의 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a dry cleaning apparatus capable of reducing the uneven flow of air upon intake of air.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 대상체에 공기를 분사하는 블로워; 상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되고 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고, 상기 블로워는, 공기가 유입되는 유입구가 일단에 구비되고 외주면에 공기가 배출되는 배출부가 구비된 로드부; 및 상기 로드부의 양측에 배치되어 상기 로드부로부터 배출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 블레이드부;를 포함하고, 상기 배출부는 상기 로드부의 일단측에 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부 및 상기 제1 배출부와 길이방향으로 이격되게 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부를 포함하며, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리는 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리보다 멀게 구비될 수 있다.A dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a blower for spraying air to an object; a chamber in which the blower is accommodated and includes an inlet space into which particles separated from the object are introduced; and a suction unit connected to the chamber and suctioning and discharging the particles, wherein the blower includes: a rod unit having an inlet through which air is introduced at one end and a discharge unit through which air is discharged on an outer circumferential surface; and a blade part disposed on both sides of the rod part to guide the air discharged from the rod part to the object, wherein the exhaust part is disposed at one end of the rod part and includes a first exhaust part including a plurality of holes; and a second discharge unit disposed to be spaced apart from the first discharge unit in the longitudinal direction and including a plurality of holes, wherein the distance between the holes of the second discharge unit may be greater than the distance between the holes of the first discharge unit .

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리 및 상기 제1 배출부와 상기 제2 배출부 사이의 거리는 하기 식 1을 만족할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the distance between the holes of the first discharge unit, the distance between the holes of the second discharge unit, and the distance between the first discharge unit and the second discharge unit are expressed by Equation 1 below. can be satisfied

[식 1][Equation 1]

L1 = 3/5 * L2,L1 = 3/5 * L2,

L3 = 7/3 * L1L3 = 7/3 * L1

(∵L1: 제1 배출부의 홀 사이의 거리, L2: 제2 배출부의 홀 사이의 거리, L3: 제1 배출부와 제2 배출부 사이의 거리)(∵L1: the distance between the holes of the first discharge part, L2: the distance between the holes of the second discharge part, L3: the distance between the first discharge part and the second discharge part)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 배출부와 상기 유입구 사이의 최단 거리 및 상기 제2 배출부와 상기 유입구 사이의 최장 거리는 하기 식 2를 만족할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the shortest distance between the first discharge part and the inlet and the longest distance between the second discharge part and the inlet may satisfy Equation 2 below.

[식 2][Equation 2]

L5 = 10 * L4L5 = 10 * L4

(∵L4: 제1 배출부와 유입구 사이의 최단 거리, L5: 제2 배출부와 유입구 사이의 거리)(∵L4: the shortest distance between the first outlet and the inlet, L5: the distance between the second outlet and the inlet)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 블레이드부는, 상기 로드부의 상측 외면을 감싸고, 상기 로드부와의 사이에서 제1 토출로를 형성하는 커버; 및 상기 커버의 하측에 배치되고, 상기 제1 토출로와 연통되게 구비되어 상기 제1 토출로에서 토출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 제2 토출로를 형성하는 블레이드;를 포함할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the blade part may include a cover surrounding an upper outer surface of the rod part and forming a first discharge path between the blade part and the rod part; and a blade disposed under the cover and provided in communication with the first discharge path to form a second discharge path for guiding the air discharged from the first discharge path to the object.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 토출로는 길이방향 단면 형상이 곡선으로 형성되고, 상기 제2 토출로는 길이방향 단면 형상이 직선으로 형성될 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the first discharge path may have a longitudinal cross-sectional shape formed as a curved line, and the second discharge path may have a longitudinal cross-sectional shape formed with a straight line.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제2 토출로는 슬릿형태로 구비될 수 있으며, 유속 차이를 발생시키도록 길이 방향 단면이 확장되는 공진부를 포함할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the second discharge path may be provided in the form of a slit, and may include a resonance part extending in a longitudinal cross-section to generate a flow velocity difference.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 공진부는 공기 유출측의 단면적이 공기 유입측의 단면적보다 크게 구비될 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the resonator may have a cross-sectional area of the air outlet side greater than a cross-sectional area of the air inlet side.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 흡입부는, 상기 유입 공간과 연통되게 구비되는 제1 흡입로; 및 제1 흡입로로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로;를 포함하고, 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로는 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로 사이에 구비된 연통로를 통해 서로 연통되게 구비되며, 상기 연통로는 길이방향으로 폭방향 간격이 변화할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the suction unit may include: a first suction path provided to communicate with the inflow space; and a second suction path for discharging particles introduced from the first suction path to the outside, wherein the first suction path and the second suction path are provided between the first suction path and the second suction path It is provided to communicate with each other through a communication path, and the communication path may have a variable width in the longitudinal direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 연통로는, 상기 흡입부의 일단에서 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 감소하는 제1 연통로, 상기 제1 연통로의 타단에 연결되고, 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하여 타단의 폭방향 간격이 상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격과 동일하게 구비되는 제2 연통로 및 상기 제2 연통로의 타단에 연결되고 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하는 제3 연통로를 포함할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the communication path includes a first communication path in which a width direction distance decreases from one end of the suction unit to the other end, and is connected to the other end of the first communication path, and the suction unit A second communication path provided with an interval in the width direction increasing toward the other end so that the interval in the width direction of the other end is the same as the interval in the width direction of one end of the first communication path and the other end of the second communication path, and the other end of the suction unit It may include a third communication path having an increasing width in the width direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 연통로의 길이방향 길이, 상기 제2 연통로의 길이 방향 길이 및 상기 제3 연통로의 길이방향 길이는 하기 식 3을 만족할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the longitudinal length of the first communication path, the longitudinal length of the second communication path, and the longitudinal length of the third communication path may satisfy Equation 3 below.

[식 3][Equation 3]

L6 = L7,L6 = L7,

L6 + L7 = L8L6 + L7 = L8

(∵ L5: 제1 연통로의 길이방향 길이, L6: 제2 연통로의 길이방향 길이, L7: 제3 연통로의 길이방향 길이)(∵ L5: longitudinal length of the first communication path, L6: longitudinal length of the second communication path, L7: longitudinal length of the third communication path)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, 상기 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격 및 상기 제3 통로의 타단의 폭방향 간격은 하기 식 4를 만족할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the width direction interval of one end of the first communication path, the width direction interval of the other end of the second communication path, and the width direction interval of the other end of the third passage are represented by Equation 4 can be satisfied

[식 4][Equation 4]

D = G,D = G,

E = 3DE = 3D

(∵ D: 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, G: 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격, E: 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격)(∵ D: spacing in the width direction of one end of the first communication path, G: spacing in the width direction of the other end of the second communication path, E: spacing in the width direction of the other end of the third communication path)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 대상체에 공기를 분사하는 블로워; 상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되고 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고, 상기 흡입부는, 상기 유입 공간과 연통되게 구비되는 제1 흡입로; 및 제1 흡입부로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로;를 포함하고, 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로는 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로 사이에 구비된 연통로를 통해 서로 연통되게 구비되며, 상기 연통로는 길이방향으로 폭방향 간격이 변화할 수 있다.A dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a blower for spraying air to an object; a chamber in which the blower is accommodated and includes an inlet space into which particles separated from the object are introduced; and a suction unit connected to the chamber and sucking and discharging the particles, wherein the suction unit includes: a first suction path provided in communication with the inlet space; and a second suction path for discharging particles introduced from the first suction unit to the outside, wherein the first suction path and the second suction path are provided between the first suction path and the second suction path It is provided to communicate with each other through a communication path, and the communication path may have a variable width in the longitudinal direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 연통로는, 상기 흡입부의 일단에서 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 감소하는 제1 연통로, 상기 제1 연통로의 타단에 연결되고, 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하여 타단의 폭방향 간격이 상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격과 동일하게 구비되는 제2 연통로 및 상기 제2 연통로의 타단에 연결되고 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하는 제3 연통로를 포함할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the communication path includes a first communication path in which a width direction distance decreases from one end of the suction unit to the other end, and is connected to the other end of the first communication path, and the suction unit A second communication path provided with an interval in the width direction increasing toward the other end so that the interval in the width direction of the other end is the same as the interval in the width direction of one end of the first communication path and the other end of the second communication path, and the other end of the suction unit It may include a third communication path having an increasing width in the width direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 연통로의 길이방향 길이, 상기 제2 연통로의 길이 방향 길이 및 상기 제3 연통로의 길이방향 길이는 하기 식 3을 만족할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the longitudinal length of the first communication path, the longitudinal length of the second communication path, and the longitudinal length of the third communication path may satisfy Equation 3 below.

[식 3][Equation 3]

L6 = L7,L6 = L7,

L6 + L7 = L8L6 + L7 = L8

(∵ L5: 제1 연통로의 길이방향 길이, L6: 제2 연통로의 길이방향 길이, L7: 제3 연통로의 길이방향 길이)(∵ L5: longitudinal length of the first communication path, L6: longitudinal length of the second communication path, L7: longitudinal length of the third communication path)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, 상기 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격 및 상기 제3 통로의 타단의 폭방향 간격은 하기 식 4를 만족할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the width direction interval of one end of the first communication path, the width direction interval of the other end of the second communication path, and the width direction interval of the other end of the third passage are represented by Equation 4 can be satisfied

[식 4][Equation 4]

D = G,D = G,

E = 3DE = 3D

(∵ D: 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, G: 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격, E: 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격)(∵ D: spacing in the width direction of one end of the first communication path, G: spacing in the width direction of the other end of the second communication path, E: spacing in the width direction of the other end of the third communication path)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 블로워는, 공기가 유입되는 유입구가 일단에 구비되고 외주면에 공기가 배출되는 복수개의 배출부가 구비된 로드부; 및 상기 로드부의 양측에 배치되어 상기 로드부로부터 배출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 블레이드부;를 포함하고, 상기 배출부는 상기 로드부의 일단측에 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부 및 상기 제1 배출부와 길이방향으로 이격되게 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부를 포함하며, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리는 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리보다 멀게 구비될 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the blower includes: a rod having an inlet through which air is introduced at one end and a plurality of outlets through which air is discharged on an outer circumferential surface; and a blade part disposed on both sides of the rod part to guide the air discharged from the rod part to the object, wherein the exhaust part is disposed at one end of the rod part and includes a first exhaust part including a plurality of holes; and a second discharge unit disposed to be spaced apart from the first discharge unit in the longitudinal direction and including a plurality of holes, wherein the distance between the holes of the second discharge unit may be greater than the distance between the holes of the first discharge unit .

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리 및 상기 제1 배출부와 상기 제2 배출부 사이의 거리는 하기 식 1을 만족하는 건식 세정 장치.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the distance between the holes of the first discharge unit, the distance between the holes of the second discharge unit, and the distance between the first discharge unit and the second discharge unit are expressed by Equation 1 below. Satisfying dry cleaning equipment.

[식 1][Equation 1]

L1 = 3/5 * L2,L1 = 3/5 * L2,

L3 = 7/3 * L1L3 = 7/3 * L1

(∵L1: 제1 배출부의홀 사이의 거리, L2: 제2 배출부의 홀 사이의 거리, L3: 제1 배출부와 제2 배출부 사이의 거리)(∵L1: distance between holes of the first discharge unit, L2: distance between holes of the second discharge unit, L3: distance between the first discharge unit and the second discharge unit)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 배출부와 상기 유입구 사이의 최단 거리 및 상기 제2 배출부와 상기 유입구 사이의 최장 거리는 하기 식 2를 만족할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the shortest distance between the first discharge part and the inlet and the longest distance between the second discharge part and the inlet may satisfy Equation 2 below.

[식 2][Equation 2]

L5 = 10 * L4L5 = 10 * L4

(∵L4: 제1 배출부와 유입구 사이의 최단 거리, L5: 제2 배출부와 유입구 사이의 거리)(∵L4: the shortest distance between the first outlet and the inlet, L5: the distance between the second outlet and the inlet)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 블레이드부는, 상기 로드부의 상측 외면을 감싸고, 상기 로드부와의 사이에서 제1 토출로를 형성하는 커버; 및 상기 커버의 하측에 배치되고, 상기 제1 토출로와 연통되게 구비되어 상기 제1 토출로에서 토출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 제2 토출로를 형성하는 블레이드;를 포함할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the blade part may include a cover surrounding an upper outer surface of the rod part and forming a first discharge path between the blade part and the rod part; and a blade disposed under the cover and provided in communication with the first discharge path to form a second discharge path for guiding the air discharged from the first discharge path to the object.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 토출로는 길이방향 단면 형상이 곡선으로 형성되고, 상기 제2 토출로는 길이방향 단면 형상이 직선으로 형성될 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the first discharge path may have a longitudinal cross-sectional shape formed as a curved line, and the second discharge path may have a longitudinal cross-sectional shape formed with a straight line.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제2 토출로는 슬릿형태로 구비될 수 있으며, 유속 차이를 발생시키도록 길이 방향 단면이 확장되는 공진부를 포함할 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the second discharge path may be provided in the form of a slit, and may include a resonance part extending in a longitudinal cross-section to generate a flow velocity difference.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 공진부는 공기 유출측의 단면적이 공기 유입측의 단면적보다 크게 구비될 수 있다.In the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, the resonator may have a cross-sectional area of the air outlet side greater than a cross-sectional area of the air inlet side.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 세정 구간의 공기 분사 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있는 효과가 있다.The dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention has an effect of preventing the non-uniform flow of air when the air is sprayed in the cleaning section.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 세정 구간의 공기 흡입 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention has an effect of preventing the non-uniform flow of air when air is sucked in the cleaning section.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 후면 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 전면 사시도이다.
도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면 사시도이다.
도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드부의 개략 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 다른 흡입부에 형성된 연통로의 개략 평면도이다.1 is a schematic rear perspective view of a dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a schematic front perspective view of a dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional perspective view taken along line A-A' of FIG. 1 .
4 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 1 .
5 is a schematic perspective view of a rod according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic plan view of a communication path formed in the suction unit according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명의 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the spirit of the present invention is not limited to the presented embodiments, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention may add, change, delete, etc. other elements within the scope of the same spirit, and may use other degenerative inventions or the present invention. Other embodiments included within the scope of the spirit of the invention may be easily proposed, but this will also be included within the scope of the spirit of the present invention.

또한, 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다. In addition, components having the same function within the scope of the same idea shown in the drawings of the embodiments will be described using the same reference numerals.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 후면 사시도고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 전면 사시도이고, 도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면 사시도이고, 도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드부의 개략 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 다른 흡입부에 형성된 연통로의 개략 평면도이다.1 is a schematic rear perspective view of a dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic front perspective view of a dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. is a cross-sectional perspective view according to , FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 1 , FIG. 5 is a schematic perspective view of a rod according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a suction according to an embodiment of the present invention It is a schematic plan view of the communication path formed in the part.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(1)는 블로워(100), 챔버(200) 및 흡입부(300)를 포함할 수 있다.1 to 6 , the dry cleaning apparatus 1 according to an embodiment of the present invention may include a blower 100 , a chamber 200 , and a suction unit 300 .

블로워(100)는 토출 유로(110)를 구비하여 대상체(미도시)에 공기를 분사할 수 있다. 블로워(100)는 로드부(110) 및 로드부(110)의 양측에 배치되어 로드부(110)로부터 배출된 공기를 대상체로 안내하는 블레이드부(120)를 포함할 수 있다.The blower 100 may be provided with a discharge flow path 110 to spray air to an object (not shown). The blower 100 may include the rod part 110 and the blade part 120 disposed on both sides of the rod part 110 to guide the air discharged from the rod part 110 to the object.

로드부(110)의 일단에는 공기가 유입되는 유입구(111)가 구비될 수 있으며, 외주면에는 공기가 배출되는 배출부(112)가 구비될 수 있다. An inlet 111 through which air is introduced may be provided at one end of the rod unit 110 , and an outlet unit 112 through which air is discharged may be provided on an outer peripheral surface of the rod unit 110 .

로드부(110)의 유입구(111)의 일단은 별도의 압축 공기 분사 장치(미도시)에 연결될 수 있으며, 압축 공기 분사 장치가 구동하는 경우 압축 공기는 로드부(110)의 유입구(111)를 통해 로드부(110)로 유입될 수 있다. 유입구(111)로 유입된 압축 공기는 로드부(110)를 따라 길이방향으로 이동할 수 있다. 공기는 길이방향으로 이동 중에 로드부(110)의 외주면에 형성된 배출부(112)를 통해 로드부(110)의 외측으로 배출될 수 있다.One end of the inlet 111 of the rod part 110 may be connected to a separate compressed air spraying device (not shown), and when the compressed air spraying device is driven, the compressed air passes through the inlet 111 of the rod 110 . may be introduced into the rod part 110 through the The compressed air introduced into the inlet 111 may move along the rod 110 in the longitudinal direction. Air may be discharged to the outside of the rod part 110 through the discharge part 112 formed on the outer peripheral surface of the rod part 110 while moving in the longitudinal direction.

배출부(112)는 일로드부(110)의 상측 외주면에 형성될 수 있으며, 로드부(110)에 길이 방향으로 배치될 수 있다. 이러한 배출부(112)는 일 예로서, 로드부(110)의 일단측에 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부(112a) 및 제1 배출부(112a)와 길이방향으로 이격되게 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부(112b)를 포함할 수 있다. 여기서, 제2 배출부(112b)의 홀 사이의 거리(L2)는 제1 배출부(112a)의 홀 사이의 거리(L1)보다 멀게 구비될 수 있다. 여기서, 제2 "l출부(112b)의 홀 사이의 거리는 제1 배출부(112a)와 제2 배출부(112b)사이의 거리보다는 가깝게 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1 배출부(112a)의 홀 사이의 거리(L1), 제2 배출부(112b)의 홀 사이의 거리 및 제1 배출부(112a)와 제2 배출부(112b) 사이의 거리(L3)은 하기 식 1을 만족할 수 있다.The discharge unit 112 may be formed on the upper outer circumferential surface of the work rod unit 110 , and may be disposed on the rod unit 110 in the longitudinal direction. The discharge unit 112 is, for example, disposed at one end of the rod unit 110 and disposed to be longitudinally spaced apart from the first discharge unit 112a and the first discharge unit 112a including a plurality of holes. and may include a second discharge unit 112b including a plurality of holes. Here, the distance L2 between the holes of the second discharge part 112b may be greater than the distance L1 between the holes of the first discharge part 112a. Here, the distance between the holes of the second "l outlet 112b may be provided closer than the distance between the first discharge part 112a and the second discharge part 112b. For example, the first discharge part 112a ), the distance L1 between the holes, the distance between the holes of the second discharge part 112b, and the distance L3 between the first discharge part 112a and the second discharge part 112b satisfy Equation 1 below. can

[식 1][Equation 1]

L1 = 3/5 * L2,L1 = 3/5 * L2,

L3 = 7/3 * L1L3 = 7/3 * L1

(∵L1: 제1 배출부의 홀 사이의 거리, L2: 제2 배출부의 홀 사이의 거리, L3: 제1 배출부와 제2 배출부 사이의 거리)(∵L1: the distance between the holes of the first discharge part, L2: the distance between the holes of the second discharge part, L3: the distance between the first discharge part and the second discharge part)

더하여, 배출부(112)는 제1 배출부(112a)와 유입구(111) 사이의 최단거리(L4) 및 제2 배출부(112b)와 유입구(111) 사이의 최장 거리가(L5)가 하기 식 2를 만족하도록 구비될 수 있다.In addition, the discharge unit 112 has the shortest distance L4 between the first discharge unit 112a and the inlet 111 and the longest distance L5 between the second discharge unit 112b and the inlet 111 as follows. It may be provided to satisfy Equation 2.

[식 2][Equation 2]

L5 = 10 * L4L5 = 10 * L4

(∵L4: 제1 배출부와 유입구 사이의 최단 거리, L5: 제2 배출부와 유입구 사이의 거리)(∵L4: the shortest distance between the first outlet and the inlet, L5: the distance between the second outlet and the inlet)

이와 같이 배출부(112)를 구성함으로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(1)는 제1 배출부(112a)와 제2 배출부(112b)를 구성하는 홀 사이의 거리를 제2 토출로(122a)를 통해 분사되는 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있다. 다시 말해, 로드부(110)의 일단으로 압축 공기가 유입되면, 로드부(110)의 타단측 공기의 유속은 일단측 공기의 유속보다 빠르게 형성된다. 따라서, 제2 배출부(112b)의 홀 사이의 간격(L2)을 제1 배출부(112a)의 홀 사이의 간격(L1)보다 멀게 구비하여 로드부(110) 외부로 배출되는 공기의 유량을 길이방향으로 균일하게 조절할 수 있으며, 이에 의해 제2 토출로(122a)로 이동하는 공기의 유량 및 속도가 균일하게 될 수 있다. 결과적으로 제2 토출로(122a)를 통해 분사되는 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있다.By configuring the discharge unit 112 in this way, the dry cleaning apparatus 1 according to an embodiment of the present invention reduces the distance between the holes constituting the first discharge unit 112a and the second discharge unit 112b. 2 It is possible to reduce the non-uniform flow of the air injected through the discharge path 122a. In other words, when compressed air flows into one end of the rod part 110 , the flow velocity of the air at the other end of the rod part 110 is faster than the flow velocity of the air at the one end. Therefore, the distance L2 between the holes of the second discharge part 112b is provided to be farther than the interval L1 between the holes of the first discharge part 112a to increase the flow rate of the air discharged to the outside of the rod part 110 . It can be adjusted uniformly in the longitudinal direction, whereby the flow rate and speed of the air moving to the second discharge path 122a can be made uniform. As a result, it is possible to reduce the non-uniform flow of the air injected through the second discharge path 122a.

블레이드부(120)는 로드부(110)의 양측에서 로드부(110)를 감싸도록 구비되어 공기가 분사되는 토출로를 형성할 수 있다. 예를 들어, 블레이드부(120)는 로드부(110)의 상측 외면을 감싸고, 로드부(110)와의 사이에서 제1 토출로(121a)를 형성하는 커버(121) 및, 커버(121)의 하측에 배치되고 제1 토출로(121a)와 연통되게 구비되어 제1 토출로(121a)에서 토출된 공기를 대상체로 안내하는 제2 토출로(122a)를 형성하는 블레이드(122)를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 토출로(121a)는 길이방향 단면 형상이 곡선으로 형성될 수 있으며, 제1 토출로(121a)는 길이방향 단면 형상이 직선으로 형성될 수 있다. The blade unit 120 may be provided to surround the rod unit 110 on both sides of the rod unit 110 to form a discharge path through which air is sprayed. For example, the blade part 120 surrounds the upper outer surface of the rod part 110 , and forms a first discharge path 121a between the blade part 110 and the cover 121 and the cover 121 . It may include a blade 122 disposed on the lower side and provided in communication with the first discharge path 121a to form a second discharge path 122a for guiding the air discharged from the first discharge path 121a to the object. there is. Here, the first discharge path 121a may have a curved longitudinal cross-sectional shape, and the first discharge path 121a may have a straight longitudinal cross-sectional shape.

제2 토출로(122a)는 슬릿 형태로 구비될 수 있으며, 유속 차이를 발생시키도록 길이 방향 단면이 확장되는 공진부(122b)를 포함할 수 있다. 공진부(122b)는 공기 유출측의 단면적이 공기 유입측의 단면적보다 크게 구비될 수 있다. 다시 말해서, 상기 공진부(122b)는, 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 제2 토출로(122a)의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이, 상기 제2 토출로(122a)의 중심선을 기준으로 좌우대칭이며 유입측에 꼭지각이 위치하고 유출측에 밑변이 위치하는 이등변 삼각형 형상으로 구비될 수 있다. 제2 토출로(122a)를 통해 공기가 지나가는 경우 공기는 공진부(122b)에 의해 유속과 압력차이가 발생하게 되며 이에 따라 고밀도의 초음파가 발생할 수 있다. 이러한 초음파는 유동이 실린 초음파로서 대상체의 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.The second discharge path 122a may be provided in the form of a slit, and may include a resonance part 122b whose longitudinal cross-section is extended to generate a flow velocity difference. The resonator 122b may have a cross-sectional area of the air outlet side greater than a cross-sectional area of the air inlet side. In other words, the resonator part 122b has a cross-sectional shape cut to reveal the narrowest width of the second discharge path 122a along the direction in which the air moves, so that the center line of the second discharge path 122a is formed. It may be provided in the shape of an isosceles triangle, which is symmetrical as a reference and has an apex angle on the inflow side and a base on the outlet side. When air passes through the second discharge path 122a, a flow velocity and pressure difference of the air is generated by the resonator 122b, and thus high-density ultrasonic waves can be generated. This ultrasonic wave is a flow-carrying ultrasonic wave and can effectively remove particles of an object.

여기서 공기의 이동 경로에 대해 설명하면, 로드부(110)의 일단으로 유입된 압축 공기는 로드부(110)의 길이방향을 따라 이동하며, 배출부(112)를 통해 로드부(110)의 외부로 배출될 수 있다. 이때, 공기는 배출부(112)를 통해 로드부(110)의 상측으로 이동할 수 있다. 이후 공기는 제1 토출로(121a)를 따라 로드부(110)의 하측으로 이동할 수 있다. 이어서 제2 토출로(122a)로 유입되어 블레이드(122) 외측으로 분사될 수 있다.Herein, when the air movement path is described, the compressed air introduced into one end of the rod part 110 moves along the longitudinal direction of the rod part 110 , and the outside of the rod part 110 through the discharge part 112 . can be emitted as At this time, the air may move upwards of the rod unit 110 through the discharge unit 112 . Thereafter, the air may move to the lower side of the rod part 110 along the first discharge path 121a. Then, it may be introduced into the second discharge path 122a to be sprayed to the outside of the blade 122 .

챔버(200)는 블로워(100)를 감싸도록 구비될 수 있다. 다시 말해, 챔버(200)의 내부에는 블로워(100)가 수용될 수 있다. 챔버(200)는 대상체로 부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간(210)을 포함할 수 있다. 유입 공간(210)은 블로워(100)의 폭방향 양측에 구비될 수 있으며, 블로워(100)에 의해 공기가 분사되는 경우 대상체로부터 이탈한 파티클은 유입 공간(210)으로 유입될 수 있다. 보다 구체적으로, 유입 공간(210)은 흡입부(300)와 연통되게 구비되어 흡입부(300) 구동 시 유입 공간(210)의 공기는 흡입부(300)로 흡입될 수 있으며, 이러한 공기 유동에 의해 대상체를 이탈한 파티클은 유입 공간(210)으로 유입될 수 있다.The chamber 200 may be provided to surround the blower 100 . In other words, the blower 100 may be accommodated in the chamber 200 . The chamber 200 may include an inflow space 210 into which particles separated from the object are introduced. The inflow space 210 may be provided on both sides of the blower 100 in the width direction, and when air is sprayed by the blower 100 , particles separated from the object may be introduced into the inflow space 210 . More specifically, the inlet space 210 is provided in communication with the suction unit 300, so that when the suction unit 300 is driven, the air in the inflow space 210 can be sucked into the suction unit 300, and the air flow Particles leaving the object by this may be introduced into the introduction space 210 .

흡입부(300)는 챔버(200)에 연결되어 유입 공간(210)의 공기를 흡입함으로써 파티클을 흡입하여 배출할 수 있다. 이를 위해, 흡입부(300)는 별도의 석션 장치(미도시)에 연결되어 구동될 수 있다. 흡입부(300)는 공기가 이동하는 흡입로(310)를 포함할 수 있다. 예를 들어 흡입부(300)는 유입 공간(210)과 연통되게 구비되는 제1 흡입로(311) 및 제1 흡입로(311)로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로(312)를 포함할 수 있다.The suction unit 300 may be connected to the chamber 200 to suck in air from the inlet space 210 to suck in and discharge the particles. To this end, the suction unit 300 may be connected to and driven by a separate suction device (not shown). The suction unit 300 may include a suction path 310 through which air moves. For example, the suction unit 300 includes a first suction path 311 provided to communicate with the inflow space 210 and a second suction path 312 for discharging particles introduced from the first suction path 311 to the outside. may include.

여기서, 제1 흡입로(311) 및 제2 흡입로(312)는 제1 흡입로(311)와 제2 흡입로(312) 사이에 구비되는 격벽(320)에 형성된 연통로(321)에 의해 서로 연통되게 구비될 수 있다.Here, the first suction path 311 and the second suction path 312 are connected by a communication path 321 formed in the partition wall 320 provided between the first suction path 311 and the second suction path 312 . They may be provided to communicate with each other.

흡입부(300)에서의 공기 유동을 설명하면, 유입 공간(210)으로부터 파티클을 포함하는 공기는 제1 흡입로(311) 및 연통로(321)를 순차적으로 통과하여 제2 흡입로(312)로 유입된 후 최종적으로 외부로 배출될 수 있다.Describing the air flow in the suction unit 300 , the air including particles from the inlet space 210 sequentially passes through the first suction path 311 and the communication path 321 to the second suction path 312 . It can be finally discharged to the outside after being introduced into the furnace.

여기서, 연통로(321)는 길이방향으로 폭방향 간격이 변하도록 구비될 수 있다. 예를 들어, 연통로(321)는 흡입부(300)의 일단에서 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 감소하는 제1 연통로(321a), 제1 연통로(321a)의 타단에 연결되고, 흡입부(300)의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하여 타단의 폭방향 간격이 제1 연통로(321a)의 일단의 폭방향 간격과 동일하게 구비되는 제2 연통로(321b) 및 제2 연통로(321b)의 타단에 연결되고 흡입부(300)의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하는 제3 연통로(321c)를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 연통로(321a)의 길이방향 길이를 'L6'이라하고, 제2 연통로(321b)의 길이방향 길이를 'L7'이라하고, 제3 연통로(321c)의 길이방향 길이를 'L8'이라 했을 때, 제1 연통로(321a) 내지 제3 연통로(321c)는 하기 식 3을 만족할 수 있다.Here, the communication path 321 may be provided so that the interval in the width direction is changed in the longitudinal direction. For example, the communication path 321 is connected to the other end of the first communication path 321a and the first communication path 321a, the width direction of which decreases from one end to the other end of the suction unit 300 , and the suction unit A second communication path 321b and a second communication path ( 300 ) that are provided with an increased width direction spacing toward the other end of the first communication path 321a so that the width direction interval of the other end is the same as the width direction interval of one end of the first communication path 321a ( It may include a third communication path 321c connected to the other end of the 321b) and having an increasing width in the width direction toward the other end of the suction unit 300 . Here, the longitudinal length of the first communication path 321a is referred to as 'L6', the longitudinal length of the second communication path 321b is referred to as 'L7', and the longitudinal length of the third communication path 321c is referred to as 'L6'. When 'L8', the first communication path 321a to the third communication path 321c may satisfy Equation 3 below.

[식 3][Equation 3]

L6 = L7,L6 = L7,

L6 + L7 = L8L6 + L7 = L8

(∵ L6: 제1 연통로의 길이방향 길이, L7: 제2 연통로의 길이방향 길이, L8: 제3 연통로의 길이방향 길이)(∵ L6: longitudinal length of the first communication path, L7: longitudinal length of the second communication path, L8: longitudinal length of the third communication path)

더하여, 제1 연통로(321a)의 일단의 폭방향 간격을 'D'라하고, 제2 연통로(321b)의 타단의 폭방향 간격을 'G'라하고, 제3 연통로(321c)의 타단의 폭방향 간격을 'D'라 했을 때, 제1 연통로(321a) 내지 제3 연통로(321c)는 하기 식 4를 만족할 수 있다.In addition, the width direction spacing of one end of the first communication path 321a is 'D', the width direction spacing of the other end of the second communication path 321b is 'G', and the third communication path 321c When the width direction interval of the other end is 'D', the first communication path 321a to the third communication path 321c may satisfy Equation 4 below.

[식 4][Equation 4]

D = G,D = G,

E = 3DE = 3D

(∵ D: 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, G: 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격, E: 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격)(∵ D: spacing in the width direction of one end of the first communication path, G: spacing in the width direction of the other end of the second communication path, E: spacing in the width direction of the other end of the third communication path)

여기서, 제1 연통로(321a)의 타단의 폭방향 간격과 제2 연통로(321b)의 일단의 폭방향 간격은 동일할 수 있다. 제1 연통로(321a)의 타단의 폭방향 간격은 일단의 폭방향 간격을 'D'라 했을 때 3/4*D에 해당할 수 있다.Here, the width direction spacing of the other end of the first communication path 321a and the width direction spacing of one end of the second communication path 321b may be the same. The width direction spacing of the other end of the first communication path 321a may correspond to 3/4*D when the width direction spacing of one end is 'D'.

이와 같이, 흡입되는 공기의 유속이 빠르게 형성되는 부분의 연통로(321)의 폭방향 간격을 상대적으로 작게 형성하고, 공기의 유속이 느리게 형성되는 부분의 폭방향 간격을 상대적으로 크게 형성함으로써, 본 발명의 일 실시예에 다른 건식 세정 장치(1)는 세정 구간의 공기 흡입 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있다.In this way, by forming a relatively small interval in the width direction of the communication path 321 in the portion where the flow rate of the sucked air is formed quickly, and forming a relatively large interval in the width direction in the portion in which the flow rate of air is formed slowly, this The dry cleaning apparatus 1 according to an embodiment of the present invention may prevent non-uniform flow of air when air is sucked in the cleaning section.

다시 말해, 석션 장치가 구동하는 경우 석션 장치는 흡입부(300), 보다 구체적으로, 제2 흡입로(312)의 공기를 흡입하게 된다. 이때, 제2 흡입로(312)의 일단측에 배치된 공기가 상대적으로 빠른 유속으로 흡입된다. 따라서, 연통로(321)의 일단측 폭방향 간격을 상대적으로 작게 형성하여 제2 흡입로(312)로의 길이방향 전체 경로에서 흡입되는 공기량 및 유속을 일정하게 할 수 있으며 결과적으로 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있다. In other words, when the suction device is driven, the suction device sucks air from the suction unit 300 , more specifically, the second suction path 312 . At this time, the air disposed at one end of the second suction path 312 is sucked at a relatively high flow rate. Accordingly, by forming a relatively small distance in the width direction of one end of the communication path 321, the amount and flow rate of air sucked in the entire lengthwise path to the second suction path 312 can be made constant, and as a result, the non-uniform flow of air can be reduced. can be prevented

전술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(1)는 인접하게 배치되는 배출부(112)의 길이 방향 간격 및 연통로(321)의 폭방향 간격을 공기의 유속에 대응되게 형성함으로써, 세정 구간의 공기 분사 및 흡입 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, in the dry cleaning apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, a longitudinal interval of the discharge unit 112 disposed adjacently and a width direction interval of the communication path 321 are formed to correspond to the flow rate of air. By doing so, there is an effect of preventing non-uniform flow of air during air injection and suction in the cleaning section.

상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명의 속하는 기술분야의 통상의 기술자들에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.In the above, the configuration and characteristics of the present invention have been described based on the embodiments according to the present invention, but the present invention is not limited thereto, and it is within the spirit and scope of the present invention that various changes or modifications can be made. It is apparent to those of ordinary skill in the art that such changes or modifications are intended to fall within the scope of the appended claims.

1: 건식 세정 장치 100: 블로워
110: 로드부 111: 유입구
112: 배출부 120: 블레이드부
200: 챔버 210: 유입 공간
300: 흡입부 310: 흡입로
311: 제1 흡입로 312: 제2 흡입로
320: 격벽 321: 연통로1: dry cleaning device 100: blower
110: rod 111: inlet
112: discharge unit 120: blade unit
200: chamber 210: inlet space
300: suction unit 310: suction path
311: first suction path 312: second suction path
320: bulkhead 321: communication path

Claims (11)

대상체에 공기를 분사하는 블로워;
상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및
상기 챔버에 연결되고 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고,
상기 흡입부는,
상기 유입 공간과 연통되게 구비되고 길이방향 단면적이 일정하게 구비되는 제1 흡입로; 및
상기 제1 흡입로로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하고, 길이방향 일측에서 타측으로 갈수록 길이방향 단면적이 감소하는 구간을 포함하는 제2 흡입로;및
상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로 사이에 구비되며 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로를 연통시키는 연통로가 구비된 격벽;을 포함하고,
상기 연통로는,
길이방향 일단에서 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 감소하는 제1 연통로;
상기 제1 연통로의 길이방향 타단에 길이방향 일단이 연결되고 길이방향 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하여, 길이방향 타단의 폭방향 간격이 상기 제1 연통로의 길이방향 일단의 폭방향 간격과 동일하게 구비되는 제2 연통로; 및
상기 제2 연통로의 길이방향 타단에 길이방향 일단이 연결되고, 길이방향 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하는 제3 연통로를 포함하여,
상기 블로워는,
공기가 유입되는 유입구가 길이방향 일단에 구비되고 외주면에 공기가 배출되는 배출부가 구비된 로드부; 및
상기 로드부의 외면 중 적어도 일부를 감싸도록 구비되고, 상기 로드부로부터 배출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 블레이드부;를 포함하고,
상기 배출부는,
상기 로드부의 길이방향 일단측에 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부 및 상기 제1 배출부와 길이방향으로 이격되게 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부를 포함하며,
상기 제2 배출부의 복수개의 홀 사이의 거리는 상기 제1 배출부의 복수개의 홀 사이의 거리보다 멀게 구비되고,
상기 제1 배출부의 복수개의 홀 및 상기 제2 배출부의 복수개의 홀은 상기 로드부의 외주면 두께방향 상측에 길이방향으로 동일한 직선상에 배치되고,
상기 블레이드부는,
상기 로드부의 외면을 감싸고, 상기 로드부와의 사이에서 길이방향 단면의 형상이 원형의 고리 형상인 제1 토출로를 형성하는 커버; 및
상기 커버의 하측에 배치되어 상기 제1 토출로의 두께방향 하부와 연통되게 구비되고, 상기 제1 토출로에서 토출된 공기를 상기 대상체에 안내하도록 슬릿형태로 구비되는 제2 토출로를 형성하는 블레이드;를 포함하고,
상기 제2 토출로는 길이 방향 단면이 폭방향으로 확장되는 공진부를 포함하되,
상기 공진부는, 공기가 이동하는 방향을 따라 상기 제2 토출로의 폭이 가장 좁게 드러나도록 자른 단면의 형상이, 상기 제2 토출로의 중심선을 기준으로 좌우대칭이며 유입측에 꼭지각이 위치하고 유출측에 밑변이 위치하는 이등변 삼각형 형상으로 구비되고,
상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리 및 상기 제1 배출부와 상기 제2 배출부 사이의 거리는 하기 식 1을 만족하고,
상기 제1 배출부와 상기 유입구 사이의 최단 거리 및 상기 제2 배출부와 상기 유입구 사이의 최장 거리는 하기 식 2를 만족하고,
상기 제1 연통로의 길이방향 길이, 상기 제2 연통로의 길이 방향 길이 및 상기 제3 연통로의 길이방향 길이는 하기 식 3을 만족하고,
상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, 상기 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격 및 상기 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격은 하기 식 4를 만족하는 건식 세정 장치.
[식 1]
L1 = 3/5 * L2,
L3 = 7/3 * L1
(∵L1: 제1 배출부의홀 사이의 거리, L2: 제2 배출부의 홀 사이의 거리, L3: 제1 배출부와 제2 배출부 사이의 거리)
[식 2]
L5 = 10 * L4
(∵L4: 제1 배출부와 유입구 사이의 최단 거리, L5: 제2 배출부와 유입구 사이의 최장 거리)
[식 3]
L6 = L7,
L6 + L7 = L8
(∵ L6: 제1 연통로의 길이방향 길이, L7: 제2 연통로의 길이방향 길이, L8: 제3 연통로의 길이방향 길이)
[식 4]
D = G,
E = 3D
(∵ D: 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, G: 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격, E: 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격)a blower for blowing air into the object;
a chamber in which the blower is accommodated and includes an inlet space into which particles separated from the object are introduced; and
Including; a suction unit connected to the chamber and sucking in and discharging the particles;
The suction part,
a first suction path provided in communication with the inlet space and having a constant longitudinal cross-sectional area; and
A second suction path for discharging the particles introduced from the first suction path to the outside, and including a section in which the longitudinal cross-sectional area decreases from one side to the other in the longitudinal direction; And
a partition wall provided between the first suction path and the second suction path and having a communication path for communicating the first suction path and the second suction path;
The communication path,
a first communication path having a width direction interval decreasing from one end to the other end in the longitudinal direction;
One longitudinal end is connected to the other longitudinal end of the first communication path, and the interval in the width direction increases toward the other end in the longitudinal direction, so that the interval in the width direction of the other end in the longitudinal direction is equal to the interval in the width direction of the other end in the longitudinal direction of the first communication path a second communication path provided in the same way; and
Including a third communication path having one longitudinal end connected to the other longitudinal end of the second communication path, and increasing in width direction toward the other longitudinal end,
The blower is
a rod unit having an inlet through which air is introduced at one end in the longitudinal direction and an outlet through which air is discharged on an outer circumferential surface; and
a blade part provided to surround at least a portion of the outer surface of the rod part and guiding the air discharged from the rod part to the object;
The discharge unit,
A first discharge part disposed on one end side of the rod in the longitudinal direction and including a plurality of holes and a second discharge part disposed to be spaced apart from the first discharge part in the longitudinal direction and including a plurality of holes,
The distance between the plurality of holes of the second discharge unit is provided to be greater than the distance between the plurality of holes of the first discharge unit,
The plurality of holes of the first discharge unit and the plurality of holes of the second discharge unit are disposed on the same straight line in the longitudinal direction above the outer circumferential surface of the rod in the thickness direction,
The blade part,
a cover surrounding the outer surface of the rod part and forming a first discharge path having a circular annular shape in a longitudinal section between the rod part and the rod part; and
A blade disposed under the cover to form a second discharge path provided in communication with the lower portion in the thickness direction of the first discharge path and provided in a slit shape to guide the air discharged from the first discharge path to the object including;
The second discharge path includes a resonance part having a longitudinal section extending in the width direction,
The resonator has a cross-sectional shape cut to reveal the narrowest width of the second discharge path along the direction in which the air moves, is symmetrical with respect to the center line of the second discharge path, and has an apex angle on the inlet side and the outlet side It is provided in the shape of an isosceles triangle in which the base is located,
The distance between the holes of the first discharge unit, the distance between the holes of the second discharge unit, and the distance between the first discharge unit and the second discharge unit satisfy Equation 1 below,
The shortest distance between the first outlet and the inlet and the longest distance between the second outlet and the inlet satisfy Equation 2 below,
The longitudinal length of the first communication path, the longitudinal length of the second communication path, and the longitudinal length of the third communication path satisfy Equation 3 below,
The width direction spacing of one end of the first communication path, the width direction spacing of the other end of the second communication path, and the width direction spacing of the other end of the third communication path are the dry cleaning apparatus satisfying Equation 4 below.
[Equation 1]
L1 = 3/5 * L2,
L3 = 7/3 * L1
(∵L1: the distance between the holes of the first discharge part, L2: the distance between the holes of the second discharge part, L3: the distance between the first discharge part and the second discharge part)
[Equation 2]
L5 = 10 * L4
(∵L4: the shortest distance between the first outlet and the inlet, L5: the longest distance between the second outlet and the inlet)
[Equation 3]
L6 = L7,
L6 + L7 = L8
(∵ L6: longitudinal length of the first communication path, L7: longitudinal length of the second communication path, L8: longitudinal length of the third communication path)
[Equation 4]
D = G,
E = 3D
(∵ D: spacing in the width direction of one end of the first communication path, G: spacing in the width direction of the other end of the second communication path, E: spacing in the width direction of the other end of the third communication path) 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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