KR101439575B1 - Nozzle, dry cleaner, dry cleaner system - Google Patents

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KR101439575B1
KR101439575B1 KR1020097018684A KR20097018684A KR101439575B1 KR 101439575 B1 KR101439575 B1 KR 101439575B1 KR 1020097018684 A KR1020097018684 A KR 1020097018684A KR 20097018684 A KR20097018684 A KR 20097018684A KR 101439575 B1 KR101439575 B1 KR 101439575B1
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히로시 무라타
가즈히로 다타라
아키히코 에마
데츠오 미야타
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닛신 엔지니어링 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기판의 표면에 부착한 부착물을 양호하게 제거할 수 있는 드라이 클리너를 제공한다. 피토출물체(10) 상의 부착물을 제거하기 위한 드라이 클리너에 있어서, 피토출물체와 소정의 간격을 갖고 배치되고, 내부에 압축 공기를 저류하는 저류부(16a)를 갖고, 해당 저류부와 연통한 슬릿 형상의 토출구(16b)를 구비하며, 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상(16c)을 갖고, 토출구가 피토출물체에 가장 근접하는 위치에 마련되는 노즐(16)과, 내부에 상기 노즐을 수용하고, 노즐의 토출구로부터 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출한 압축 공기와 피토출물체 표면을 쓸어낸 압축 공기가 통과하는 개구부(18a)를 갖고, 노즐의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행하는 압축 공기가 진행하는 통로(18b)를 형성하는 하우징(18)과, 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한 압축 공기를 배출하기 위한 배출부(18c)를 구비한다.The present invention provides a dry cleaner capable of satisfactorily removing deposits adhering to the surface of a substrate. A dry cleaner for removing deposits on an object to be peeled (10), the dry cleaner comprising: a storage portion (16a) arranged at a predetermined interval from the object to be poured and storing compressed air therein; And has a slit-like discharge port (16b), and has a convex shape (16c) of a predetermined curvature in a cross-sectional shape orthogonal to a direction in which the discharge port extends at a position where the discharge port is formed, The compressed air discharged from the discharge port of the nozzle in a direction substantially orthogonal to the discharged object and the compressed air sweeping the surface of the discharged object are passed through the nozzle 16 A housing (18) having an opening (18a) and forming a passage (18b) through which compressed air traveling along a convex shape having a predetermined curvature of the nozzle advances; and a convex Along and a discharge section (18c) for discharging the compressed air in progress.

Description

노즐, 드라이 클리너 및 드라이 클리너 시스템{NOZZLE, DRY CLEANER, DRY CLEANER SYSTEM}Nozzle, Dry Cleaner, and Dry Cleaner System {NOZZLE, DRY CLEANER, DRY CLEANER SYSTEM}

본 발명은 피토출물체 상의 부착물을 제거하기 위한 드라이 클리너에 이용되는 노즐, 해당 노즐을 구비한 드라이 클리너 및 해당 드라이 클리너를 구비하는 드라이 클리너 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle used in a dry cleaner for removing deposits on a subject, a dry cleaner having the nozzle, and a dry cleaner system having the dry cleaner.

액정 패널의 조립 제조 공정에 있어서는, 액정 표시 장치용 패널로 사용하는 2장의 유리 기판 사이에, 구형상의 분말(스페이서)을 균일하게 산포하여, 2장의 유리 기판의 간극을 균일하게 유지하는 방법이 이용되고 있다. 스페이서가 유리 기판 상에 응집한 상태로 산포된 경우, 2장의 유리 기판의 간극이 불균일하게 되기 때문에, 산포된 스페이서를 제거하고, 스페이서를 다시 산포할 필요가 있다. 그래서, 유리 기판 상에 산포된 스페이서를 제거하는 장치로서, 초음파 발생기를 구비한 제 1 및 제 2 분출 노즐과, 이들 사이에 배치된 1개의 흡인 노즐을 구비하며, 제 1 및 제 2 분출 노즐로부터 유리 기판의 표면에 초음파 공기를 분출시켜서 중앙의 흡인 노즐에서 스페이서를 흡인하는 제진(除塵) 장치가 제안되어 있다(예컨대, 일본 등록 실용 신안 제 3009694 호, 일본 특허 출원 공개 제 1995-60211 호 공보 참조).In the assembling and manufacturing process of a liquid crystal panel, a method of uniformly dispersing spherical powder (spacer) between two glass substrates used as a panel for a liquid crystal display device and maintaining a gap between two glass substrates uniformly . In the case where the spacers are scattered on the glass substrate in a flocculated state, since the gaps between the two glass substrates become uneven, it is necessary to remove the scattered spacers and scatter the spacers again. Thus, there is provided an apparatus for removing spacers scattered on a glass substrate, comprising: first and second ejection nozzles provided with an ultrasonic generator; and one suction nozzle disposed therebetween, wherein the first and second ejection nozzles There has been proposed a dust removing apparatus that ejects ultrasonic air to the surface of a glass substrate to suck a spacer from a suction nozzle at the center (for example, Japanese Utility Model No. 3009694, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1995-60211 ).

이러한 제진 장치에 있어서는, 제 1 및 제 2 분출 노즐로부터 분출된 초음파 공기를 고효율로 흡인 노즐로부터 흡인할 수 없어서, 그 결과, 유리 기판 상에 부착되어 있는 스페이서를 완전히 전부 제거할 수 없는 경우가 있었다.In such a vibration damping device, the ultrasonic air ejected from the first and second ejection nozzles can not be sucked from the suction nozzle with high efficiency, and as a result, the spacers attached on the glass substrate can not be completely removed completely .

본 발명의 목적은, 피토출물체의 표면에 부착된 부착물, 예를 들면 스페이서나 소입경의 먼지류를 양호하게 제거할 수 있는 드라이 클리너에 이용되는 노즐, 해당 노즐을 구비한 드라이 클리너 및 해당 드라이 클리너를 구비하는 드라이 클리너 시스템을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a nozzle for use in a dry cleaner capable of satisfactorily removing deposits adhering to the surface of an object to be exposed, for example, a spacer or a dust particle of small particle size, a dry cleaner having the nozzle, And to provide a dry cleaner system having a cleaner.

본 발명의 노즐은, 피토출물체와 소정의 간격을 갖고 배치되어 상기 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 압축 공기를 토출하기 위한 노즐에 있어서, 내부에 상기 압축 공기를 저류하는 저류부를 갖고, 해당 저류부와 연통하는 슬릿 형상의 토출구를 구비하며, 상기 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 상기 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 가지며, 상기 토출구가 상기 볼록 형상의 상기 피토출물체에 가장 근접하는 위치에 마련되는 것을 특징으로 한다.A nozzle according to the present invention is a nozzle disposed at a predetermined distance from a target object to discharge compressed air in a direction substantially orthogonal to the target object and has a storage section for storing the compressed air therein, And a slit-shaped discharge port communicating with the storage portion, wherein the discharge port has a convex shape having a predetermined curvature and a cross-sectional shape orthogonal to a direction in which the discharge port extends, at a position where the discharge port is formed, Is provided at a position closest to the object to be exposed.

본 발명의 노즐에 의하면, 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 압축 공기가 토출구로부터 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출됨으로써 피토출물체 표면의 부착물이 박리되고, 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과(Coanda effect)에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한다. 따라서, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다.According to the nozzle of the present invention, since the cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port extends at the position where the discharge port is formed has a convex shape with a predetermined curvature, the compressed air flows from the discharge port to the discharge- The adhered material on the surface of the object is peeled off and the compressed air including the adhered material proceeds along the convex shape having a predetermined curvature by the Coanda effect. Therefore, it is possible to prevent the once-peeled attachment from being attached again to the object to be peeled off.

또한, 본 발명의 노즐은, 피토출물체와 소정의 간격을 갖고 배치되어 상기 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 압축 공기를 토출하기 위한 노즐에 있어서, 내부에 상기 압축 공기를 저류하는 저류부를 갖고, 해당 저류부와 연통하는 슬릿 형상의 토출구를 구비하며, 상기 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 상기 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상이 평면 형상과 이것에 연속해서 형성된 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상이며, 상기 토출구가 상기 평면 형상의 대략 중앙부에 마련되는 것을 특징으로 한다.A nozzle according to the present invention is a nozzle disposed at a predetermined distance from a target object to discharge compressed air in a direction substantially orthogonal to the target object and includes a storage section for storing the compressed air therein And a slit-shaped discharge port communicating with the storage portion, wherein a cross-sectional shape orthogonal to a direction in which the discharge port extends at a position where the discharge port is formed has a planar shape and a predetermined curvature formed continuously therewith And the discharge port is provided at a substantially central portion of the plane shape.

이러한 본 발명의 노즐에 의하면, 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 평면 형상과 이것에 연속해서 형성된 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 압축 공기가 토출구로부터 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출됨으로써 피토출물체 표면의 부착물이 박리되고, 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 평면 형상 및 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한다. 따라서, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다.According to the nozzle of the present invention, since the cross-sectional shape perpendicular to the direction in which the discharge port extends at the position where the discharge port is formed has a planar shape and a convex shape of a predetermined curvature continuously formed thereon, The adhered material on the surface of the object to be peeled is peeled off and the compressed air including the peeled adhered material proceeds along the convex shape having a predetermined curvature by the planar shape and the Coanda effect do. Therefore, it is possible to prevent the once-peeled attachment from being attached again to the object to be peeled off.

또한, 본 발명의 드라이 클리너는, 피토출물체 상의 부착물을 제거하기 위한 드라이 클리너에 있어서, 상기 피토출물체와 소정의 간격을 갖고 배치되고, 내부에 압축 공기를 저류하는 저류부를 갖고, 해당 저류부와 연통하는 슬릿 형상의 토출구를 구비하며, 상기 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 상기 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 가지며, 상기 토출구가 상기 볼록 형상의 상기 피토출물체에 가장 근접하는 위치에 마련되는 노즐과, 내부에 상기 노즐을 수용하고, 상기 노즐의 상기 토출구로부터 상기 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출한 압축 공기와 상기 피토출물체 표면을 쓸어낸 상기 압축 공기가 통과하는 개구부를 가지며, 상기 노즐의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따르는 상기 압축 공기가 진행하는 통로를 형성하는 하우징과, 상기 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한 상기 압축 공기를 배출하기 위한 배기부를 구비하는 것을 특징으로 한다.A dry cleaner according to the present invention is a dry cleaner for removing deposits on an object to be plucked, the dry cleaner having a storage section disposed at a predetermined interval from the object to be poured, for storing compressed air therein, Wherein the discharge port has a convex shape having a predetermined curvature and a cross-sectional shape perpendicular to a direction in which the discharge port extends, at a position where the discharge port is formed, A nozzle provided at a position closest to the object to be inspected, and a nozzle for receiving the compressed air from the discharge port of the nozzle in a direction substantially orthogonal to the object, And a convex shape having a predetermined curvature of the nozzle has an opening through which the swept compressed air passes, A housing for forming a path through which the compressed air advances; and an exhaust unit for discharging the compressed air proceeding along the convex shape having the predetermined curvature.

본 발명의 드라이 클리너에 의하면, 노즐의 토출구로부터 피토출물체에 대해 압축 공기를 대략 직교하는 방향으로 뿜어내기 때문에, 피토출물체에 부착되어 있는 부착물을 확실하게 박리시킬 수 있다. 또한, 노즐의 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서의 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 토출구로부터 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출되어 피토출물체 표면을 쓸어내며, 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 하우징 내를 진행한다. 따라서, 박리된 부착물의 하우징 외로의 비산을 방지할 수 있어서, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다.According to the dry cleaner of the present invention, since the compressed air is blown from the discharge port of the nozzle in a direction substantially perpendicular to the discharged object, the deposit attached to the discharged object can be surely peeled off. Further, since the nozzle has a convex shape with a predetermined curvature as a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port extends at the position where the discharge port of the nozzle is formed, the discharge port is discharged in a direction substantially perpendicular to the discharged object from the discharge port, The compressed air, which sweeps the surface of the object and contains the adhered material detached from the object to be pushed, advances through the housing along the convex shape having a predetermined curvature by the Coanda effect. Accordingly, it is possible to prevent the peeled attachment from scattering out of the housing, and it is possible to prevent the peeled attachment once again from adhering to the peeled article.

또한, 본 발명의 드라이 클리너는, 피토출물체 상의 부착물을 제거하기 위한 드라이 클리너에 있어서, 상기 피토출물체와 소정의 간격을 갖고 배치되고, 내부에 압축 공기를 저류하는 저류부를 갖고, 해당 저류부와 연통하는 슬릿 형상의 토출구를 구비하며, 상기 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 상기 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 평면 형상과 이것에 연속해서 형성된 소정의 곡률의 볼록 형상을 가지며, 상기 토출구가 상기 평면 형상의 대략 중앙부에 마련되는 노즐과, 내부에 상기 노즐을 수용하고, 상기 노즐의 상기 토출구로부터 상기 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출한 상기 압축 공기와 상기 피토출물체 표면을 쓸어낸 상기 압축 공기가 통과하는 개구부를 가지며, 상기 노즐의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따르는 상기 압축 공기가 진행하는 통로를 형성하는 하우징과, 상기 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한 상기 압축 공기를 배출하기 위한 배기부를 구비하는 것을 특징으로 한다.A dry cleaner according to the present invention is a dry cleaner for removing deposits on an object to be exposed. The dry cleaner has a storage section arranged at a predetermined interval from the object to be poured, for storing compressed air therein, And has a planar shape and a convex shape of a predetermined curvature continuously formed thereon as a sectional shape orthogonal to a direction in which the discharge port extends at a position where the discharge port is formed, Wherein the discharge port is provided at a substantially central portion of the planar shape, and the compressed air accommodated in the nozzle is discharged from the discharge port of the nozzle in a direction substantially perpendicular to the discharged object, Having an opening through which the compressed air sweeping the surface passes, and having a predetermined curvature of the nozzle A housing for forming a path through which the compressed air along the convex shape advances; and an exhaust unit for discharging the compressed air proceeding along the convex shape having the predetermined curvature.

본 발명의 드라이 클리너에 의하면, 노즐의 토출구로부터 피토출물체에 대해 압축 공기를 대략 직교하는 방향으로 뿜어내기 때문에 피토출물체에 부착되어 있는 부착물을 확실하게 박리시킬 수 있다. 또한, 노즐의 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서의 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 토출구로부터 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출되어 피토출물체 표면을 쓸어내며, 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 평면 형상 및 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 하우징 내를 진행한다. 따라서, 박리된 부착물의 하우징 외로의 비산을 방지할 수 있어서, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다.According to the dry cleaner of the present invention, since the compressed air is blown out from the discharge port of the nozzle in a direction substantially perpendicular to the discharged object, the deposit adhered to the discharged object can be surely peeled off. Further, since the nozzle has a convex shape with a predetermined curvature as a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port extends at the position where the discharge port of the nozzle is formed, the discharge port is discharged in a direction substantially perpendicular to the discharged object from the discharge port, The compressed air sweeps the surface of the object and the adhered material, which has been peeled off from the object, travels through the housing along a convex shape having a predetermined curvature due to the planar shape and the Coanda effect. Accordingly, it is possible to prevent the peeled attachment from scattering out of the housing, and it is possible to prevent the peeled attachment once again from adhering to the peeled article.

또한, 본 발명의 드라이 클리너는, 상기 배기부가, 상기 노즐의 상방에 상기 노즐의 상기 토출구가 연장하는 방향을 따라 배치되고, 상부에 슬릿 형상의 개구를 갖는 원형관 형상 부재를 구비하며, 상기 압축 공기가 진행하는 상기 통로는, 상기 하우징의 상기 개구부와 상기 원형관 형상 부재의 개구를 대략 일정한 높이의 통로로 연통하는 것을 특징으로 한다.The dry cleaner of the present invention is characterized in that the exhaust portion has a circular tubular member disposed above the nozzle along the direction in which the discharge port of the nozzle extends and having a slit- The passage through which the air travels communicates the opening of the housing and the opening of the circular tubular member with a passage having a substantially constant height.

본 발명의 드라이 클리너에 의하면, 하우징의 개구부로부터 흡인된 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 공기는 통로 내를 거의 일정한 유속으로 진행하고, 원형관 형상 부재의 상부의 슬릿 형상의 개구로부터 원형관 형상 부재 내에 흡인되기 때문에, 폭방향에 대해 균일한 흡인을 실행할 수 있다. 또한, 통로 내를 거의 일정한 유속으로 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 공기가 진행하기 때문에, 통로의 내벽에 한번 박리된 부착물이 재차 부착되는 것을 방지할 수 있으며, 또한 가령 통로의 내벽에 부착물이 재차 부착된 경우에 있어서도, 낙하하기 어렵게 할 수 있다.According to the dry cleaner of the present invention, the air including the adhered material peeled off from the object to be plucked from the opening of the housing advances in the passage at a substantially constant flow rate, and flows from the slit-shaped opening in the upper part of the circular- So that uniform suction can be performed in the width direction. In addition, since the air including the adhered material peeled off from the object is allowed to travel at a substantially constant flow rate in the passage, it is possible to prevent the adhered material once adhered to the inner wall of the passage from reattaching to the inner wall of the passage, It is possible to make it difficult to fall down even when it is attached again.

또한, 본 발명의 드라이 클리너 시스템은, 본 발명의 드라이 클리너와, 피토출물체를 탑재하는 탑재부를 구비하고, 상기 드라이 클리너의 노즐과 상기 피토출물체는, 서로 일정한 간격을 유지해서 상기 노즐의 상기 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동하는 것을 특징으로 한다.The dry cleaner system of the present invention is characterized in that it comprises a dry cleaner of the present invention and a mount portion for mounting the to-be-frozen object, wherein the nozzle of the dry cleaner and the to- And is relatively moved in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the discharge port.

또한, 본 발명의 드라이 클리너 시스템은, 상기 드라이 클리너를 상기 노즐의 상기 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 반송하는 반송 수단 또는 상기 피토출물체를 상기 노즐의 상기 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 반송하는 반송 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.The dry cleaner system of the present invention may further comprise a transporting means for transporting the dry cleaner in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the discharge port of the nozzle or a transporting means for transporting the discharged object in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the discharge port of the nozzle And conveying means for conveying the sheet.

본 발명의 드라이 클리너 시스템에 의하면, 피토출물체와 노즐이 노즐의 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동하기 때문에, 대형의 피토출물체이어도 신속하게 부착물의 제거를 실행할 수 있다.According to the dry cleaner system of the present invention, since the object to be exposed and the nozzle relatively move in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the discharge port of the nozzle, removal of the object can be performed quickly even with a large object.

본 발명의 노즐에 의하면, 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 갖기 때문에, 토출구로부터 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출되어 피토출물체 표면을 쓸어내며, 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한다. 따라서, 박리된 부착물의 하우징 외로의 비산을 방지할 수 있어서, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다.According to the nozzle of the present invention, since the nozzle has a convex shape having a predetermined curvature and a cross-sectional shape perpendicular to the direction in which the discharge port extends at the position where the discharge port is formed, The discharged air sweeps the surface of the object to be poured, and the compressed air containing the adhered material from the object to be pushed proceeds along the convex shape having a predetermined curvature by the Coanda effect. Accordingly, it is possible to prevent the peeled attachment from scattering out of the housing, and it is possible to prevent the peeled attachment once again from adhering to the peeled article.

또한, 본 발명의 드라이 클리너에 의하면, 노즐의 토출구로부터 피토출물체에 대해 압축 공기를 대략 직교하는 방향으로 뿜어내기 때문에, 피토출물체에 부착되어 있는 부착물을 확실하게 박리시킬 수 있다. 또한, 노즐의 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 토출구로부터 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출되어 피토출물체 표면을 쓸어내며, 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 하우징 내를 진행한다. 따라서, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the dry cleaner of the present invention, since the compressed air is blown out from the discharge port of the nozzle in a direction substantially perpendicular to the discharged object, the deposit attached to the discharged object can be surely peeled off. In addition, since the nozzle has a convex shape having a predetermined curvature in a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port extends in the position where the discharge port of the nozzle is formed, the discharge port is discharged in a direction substantially perpendicular to the discharged object from the discharge port, The compressed air, which sweeps the surface of the object and contains the adhered material detached from the object to be pushed, advances through the housing along the convex shape having a predetermined curvature by the Coanda effect. Therefore, it is possible to prevent the once-peeled attachment from being attached again to the object to be peeled off.

또한, 본 발명의 드라이 클리너 시스템에 의하면, 피토출물체와 노즐이 노즐의 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동하기 때문에, 대형의 피토출물체이어도 신속하게 부착물의 제거를 실행할 수 있다.Further, according to the dry cleaner system of the present invention, since the object to be exposed and the nozzle move relative to each other in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the discharge port of the nozzle, it is possible to quickly remove the object even if the object is large.

도 1은 제 1 실시형태에 따른 드라이 클리너 시스템의 구성을 도시하는 도면,1 is a diagram showing a configuration of a dry cleaner system according to a first embodiment,

도 2는 제 1 실시형태에 따른 드라이 클리너의 구성을 도시하는 단면도,2 is a sectional view showing the structure of the dry cleaner according to the first embodiment,

도 3은 제 1 실시형태에 따른 노즐로부터 토출된 압축 공기의 흐름을 설명하기 위한 도면,3 is a view for explaining the flow of compressed air discharged from a nozzle according to the first embodiment,

도 4는 제 2 실시형태에 따른 드라이 클리너의 구성을 도시하는 단면도,4 is a sectional view showing the structure of the dry cleaner according to the second embodiment,

도 5는 제 2 실시형태에 따른 노즐로부터 토출된 압축 공기의 흐름을 설명하기 위한 도면,5 is a view for explaining the flow of compressed air discharged from a nozzle according to the second embodiment,

도 6은 제 3 실시형태에 따른 드라이 클리너의 구성을 도시하는 단면도,6 is a cross-sectional view showing the structure of the dry cleaner according to the third embodiment,

도 7은 제 3 실시형태에 따른 노즐로부터 토출된 압축 공기의 흐름을 설명하기 위한 도면,7 is a view for explaining the flow of compressed air discharged from a nozzle according to the third embodiment,

도 8은 압축 공기의 분출 압력과 배기 장치의 흡인 동력의 관계를 도시하는 그래프,8 is a graph showing the relationship between the ejecting pressure of the compressed air and the suction power of the exhaust device,

도 9는 코안다 효과를 이용하지 않는 드라이 클리너의 구성을 도시하는 단면도.9 is a cross-sectional view showing a configuration of a dry cleaner that does not use the Coanda effect.

이하, 도면을 참조해서, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 드라이 클리너에 대해서 설명한다. 도 1은 제 1 실시형태에 따른 드라이 클리너를 구비한 드라이 클리너 시스템의 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 도 1 중에 도시하는 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해서 설명한다. XYZ 직교 좌표계는, X축 및 Y축이 기판 탑재부의 표면에 대해 평행이 되도록 설정되며, Z축이 기판 탑재부의 표면에 대해 직교하는 방향으로 설정되어 있다. 도면 중의 XYZ 직교 좌표계는, 실제로는 XY 평면이 수평면에 평행한 면으로 설정되고, Z축이 연직 방향으로 설정된다.Hereinafter, a dry cleaner according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a diagram showing a configuration of a dry cleaner system provided with a dry cleaner according to the first embodiment. In the following description, the orthogonal coordinate system shown in Fig. 1 is set, and the positional relationship of the respective members is described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system. In the XYZ Cartesian coordinate system, the X axis and the Y axis are set to be parallel to the surface of the substrate mount portion, and the Z axis is set in a direction orthogonal to the surface of the substrate mount portion. In the XYZ orthogonal coordinate system in the figure, the XY plane is actually set to a plane parallel to the horizontal plane, and the Z axis is set to the vertical direction.

도 1에 도시하는 바와 같이, 드라이 클리너 시스템(2)은, 드라이 클리너 설치부(3)에 설치되어 있는 드라이 클리너(4)와, 피토출물체인 액정 표시 장치용 패널의 기판(10)을 탑재하는 기판 탑재부(8)를 구비하고 있다. 여기서, 기판(10)은 대형의 직사각형 형상을 갖는 유리 기판이며, 기판 탑재부(8)는 대형의 기판(10)을 탑재할 수 있도록 기판(10)보다도 큰 직사각형 형상의 기판 탑재면을 갖고 있다.1, the dry cleaner system 2 includes a dry cleaner 4 mounted on a dry cleaner mounting portion 3, and a circuit board 10 mounted on a panel 10 for a liquid crystal display device, And a substrate mounting portion 8 are provided. Here, the substrate 10 is a glass substrate having a large rectangular shape, and the substrate mounting portion 8 has a rectangular substrate mounting surface larger than the substrate 10 so that the large substrate 10 can be mounted thereon.

드라이 클리너(4)에는 컴프레서(5)로부터 공급관(6)을 거쳐서 압축 공기가 공급된다. 공급된 압축 공기는 노즐(16)(도 2 참조)의 슬릿 형상의 토출구(16b)로부터 토출되고, 기판 탑재부(8)에 탑재되어 있는 액정 표시 장치용 패널의 기 판(10)의 표면에 뿜어져서, 기판(10) 상에 산포된 부착물인 스페이서(및 소입경의 먼지류, 이하 동일)가 제거된다. 즉, 압축 공기를 노즐(16)의 슬릿 형상의 토출구(16b)로부터 토출해서 기판(10)의 표면에 뿜어내고, 기판(10) 상에 산포된 부착물인 스페이서를 기판(10)으로부터 박리시켜서, 박리된 스페이서를 포함하는 압축 공기를 배출관(12)을 거쳐서 블로어(blower)를 구비하는 배기 장치(14)에 의해 배기함으로써, 기판(10) 상의 스페이서를 제거한다. 이 때에 기판 탑재부(8)가 도 1에 도시하는 화살표 방향(Y방향), 즉 토출구(16b)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 컨베이어 등으로 반송되어서, 토출구(16b)와 기판(10)이 서로 일정한 간격을 유지해서 상대적으로 이동함으로써, 기판(10)의 전면에 걸쳐서 스페이서를 제거한다.The compressed air is supplied from the compressor 5 to the dry cleaner 4 via the supply pipe 6. The supplied compressed air is discharged from the slit-shaped discharge port 16b of the nozzle 16 (see FIG. 2), and is discharged to the surface of the substrate 10 of the panel for a liquid crystal display mounted on the substrate mounting portion 8 So that the spacers (and dust particles of small particle diameter, hereinafter the same) that are deposited on the substrate 10 are removed. That is, the compressed air is ejected from the slit-shaped ejection port 16b of the nozzle 16 and is blown onto the surface of the substrate 10, and the spacer, which is an attachment deposited on the substrate 10, is peeled from the substrate 10, The compressed air containing the peeled spacers is exhausted by the exhaust device 14 having a blower via the exhaust pipe 12 to remove the spacers on the substrate 10. [ At this time, the substrate mounting portion 8 is conveyed by a conveyor or the like in the direction of the arrow shown in Fig. 1 (Y direction), that is, the direction orthogonal to the longitudinal direction of the discharge port 16b so that the discharge port 16b and the substrate 10 The spacers are removed over the entire surface of the substrate 10 by moving relative to each other at regular intervals.

도 2는 드라이 클리너(4)의 구성을 설명하기 위한 단면도(드라이 클리너의 폭방향의 중앙부에 있어서의 슬릿 형상의 토출구와 직교하는 방향의 단면도)이다. 또한, 드라이 클리너의 단면 형상은, 드라이 클리너의 폭방향의 어느 위치에 있어서도 같은 형상을 갖는다. 또한, 도면 중의 화살표는 기판의 이동 방향을 도시하고 있다.2 is a cross-sectional view for explaining the structure of the dry cleaner 4 (cross-sectional view in the direction perpendicular to the slit-like discharge port at the center in the width direction of the dry cleaner). The cross-sectional shape of the dry cleaner has the same shape at any position in the width direction of the dry cleaner. Arrows in the drawing indicate the direction of movement of the substrate.

드라이 클리너(4)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 기판(10)의 표면(10a)에 대해 압축 공기를 토출하기 위한 노즐(16)과 노즐(16)을 수용하는 하우징(18)을 구비하고 있다. 노즐(16)은 기판(10)의 폭방향(X방향)으로 연장하는 형상을 가지며, 기판(10)의 폭방향보다도 약간 큰 폭을 갖고 있다. 노즐(16)은 그 내부에 컴프레서(5)로부터 공급관(6)을 거쳐서 공급된 압축 공기를 저류하는 저류부(16a)를 갖고 있다. 여기서, 저류부(16a)는 노즐(16) 내의 대략 전폭에 걸쳐서 형성되어 있다. 또한, 노즐(16)은 저류부(16a)와 연통하는 슬릿 형상의 토출구(16b)를 구비하고 있다. 또한, 노즐(16)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 토출구(16b)가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구(16b)가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상(16c)을 갖고 있으며, 볼록 형상(16c)의 대략 중앙부, 즉 노즐(16)을 기판(10)의 표면(10a)과 소정의 간격을 갖고 배치한 경우에, 기판(10)의 표면(10a)에 가장 근접하게 되는 위치에 토출구(16b)가 마련되어 있다. 또한, 노즐(16)이 갖는 소정의 곡률의 볼록 형상(16c)은, 토출구(16b)의 ―Y측의 곡률 반경을 R1, 토출구(16b)의 Y측의 곡률 반경을 R2라고 한 경우에, R1＝R2이어도 좋고, R1≠R2이어도 좋으며, R1, R2의 크기는 각각 최적인 것으로 적당히 선택 가능하다.2, the dry cleaner 4 includes a nozzle 16 for discharging compressed air to the surface 10a of the substrate 10 and a housing 18 for accommodating the nozzle 16 . The nozzle 16 has a shape extending in the width direction (X direction) of the substrate 10 and a width slightly larger than the width direction of the substrate 10. The nozzle 16 has therein a storage section 16a for storing the compressed air supplied from the compressor 5 through the supply pipe 6. Here, the reservoir portion 16a is formed over the entire width of the nozzle 16. The nozzle 16 also has a slit-like discharge opening 16b communicating with the storage portion 16a. 2, the nozzle 16 has a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port 16b extends at a position where the discharge port 16b is formed, and a convex shape 16c having a predetermined curvature And when the nozzle 16 is arranged at a predetermined distance from the surface 10a of the substrate 10 in the substantially central portion of the convex shape 16c on the surface 10a of the substrate 10 And a discharge port 16b is provided at a position nearest to the discharge port 16b. When the convex shape 16c of the predetermined curvature of the nozzle 16 is R1 on the -Y side of the discharge port 16b and R2 on the Y side of the discharge port 16b, R1 = R2, R1? R2 may be used, and the sizes of R1 and R2 may be appropriately selected to be optimum.

하우징(18)은 그 내부에 노즐(16)을 수용하고, 노즐(16)의 토출구(16b)로부터 기판(10)의 표면(10a)을 향해서 토출한 압축 공기와, 기판(10)의 표면(10a)을 쓸어낸 압축 공기가 통과하도록 토출구(16b)에 대향하는 위치에 X방향으로 연장하는 개구부(18a)를 구비하고 있다. 하우징(18)은, 기판(10)의 표면(10a)을 쓸어내어 개구부(18a)를 통과한 압축 공기가 노즐(18)의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상(16c)을 따라 진행하는 통로(18b)를 형성함과 동시에, 이 압축 공기를 배기관(12)으로 배기하는 배기부(18c)를 구비하고 있다.The housing 18 accommodates the nozzle 16 in its inside and supplies the compressed air discharged from the discharge port 16b of the nozzle 16 toward the surface 10a of the substrate 10 and the surface of the substrate 10 And an opening 18a extending in the X direction at a position opposite to the discharge port 16b so that the compressed air sweeping the discharge port 10a passes. The housing 18 is provided with a passage 18b for sweeping the surface 10a of the substrate 10 and passing compressed air passing through the opening 18a along a convex shape 16c having a predetermined curvature of the nozzle 18 And an exhaust part 18c for exhausting the compressed air to the exhaust pipe 12. [

컴프레서(5)로부터 공급된 압축 공기는, 저류부(16a)를 거쳐서, 슬릿 형상의 토출구(16b)로부터 기판(10)을 향해서 토출되어, 기판(10)의 표면(10a)에 도달한다. 여기서 토출구(16b)와 기판 표면(10a)의 거리는 0.01㎜ 내지 30㎜, 바람직하게는 0.5㎜ 내지 5㎜로 하는 것이 좋으며, 슬릿 형상의 토출구(16b)로부터 토출되 는 압축 공기로서는, 예를 들면 분출 압력을 0.01㎫ 내지 0.95㎫, 바람직하게는 0.1㎫ 내지 0.5㎫로 하는 것이 좋다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 슬릿 형상의 토출구(16b)로부터 토출된 압축 공기는 하우징(18)의 개구부(18a)를 통과하여 기판(10)의 표면(10a)에 도달한 후, 기판(10)의 표면(10a)에 부착되어 있는 스페이서를 박리한다. 그리고, 박리된 스페이서를 포함하는 압축 공기는 개구부(18a)를 통과하여, 도면 중의 화살표로 도시하는 바와 같이, 노즐(16)의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상(16c)을 따라 통로(18b)를 진행하고, 배기부(18c) 및 배기관(12)을 거쳐서 배기 장치(14)에서 흡인되어, 예를 들면 공장의 외부로 배출된다. 그 때에, 기판이 탑재되어 있는 기판 탑재부(8)를 Y방향으로 이동시킴으로써 기판(10)의 표면(10a)의 전체에 걸쳐서 스페이서를 제거할 수 있다.The compressed air supplied from the compressor 5 is discharged from the slit-like discharge port 16b toward the substrate 10 via the storage portion 16a and reaches the surface 10a of the substrate 10. The distance between the discharge port 16b and the substrate surface 10a is preferably from 0.01 mm to 30 mm, more preferably from 0.5 mm to 5 mm. As the compressed air discharged from the discharge port 16b having a slit shape, for example, The blowing pressure is preferably 0.01 MPa to 0.95 MPa, preferably 0.1 MPa to 0.5 MPa. 3, the compressed air discharged from the slit-shaped discharge port 16b passes through the opening 18a of the housing 18 and reaches the surface 10a of the substrate 10, The surface of the spacer 10a is peeled off. The compressed air including the peeled spacer passes through the opening 18a and passes through the passage 18b along the convex shape 16c having the predetermined curvature of the nozzle 16 And is sucked by the exhaust device 14 through the exhaust part 18c and the exhaust pipe 12 and is discharged to the outside of the factory, for example. At this time, the spacers can be removed over the entire surface 10a of the substrate 10 by moving the substrate mounting portion 8 on which the substrate is mounted in the Y direction.

이러한 제 1 실시형태에 따른 드라이 클리너에 의하면, 노즐의 토출구로부터 기판에 대해 압축 공기를 대략 직교하는 방향으로 뿜어내기 때문에, 기판에 부착되어 있는 부착물을 확실하게 박리시킬 수 있다. 또한, 노즐의 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 토출구로부터 기판에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출되어 기판 표면을 쓸어내며, 기판으로부터 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 하우징 내를 진행한다. 따라서, 박리된 부착물이 하우징 외로 비산하는 것을 방지할 수 있으며, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 코안다 효과에 의해 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 노즐의 볼록 형상을 따 라 진행하기 때문에, 배기 장치의 필요 흡인 동력을 저감시킬 수 있다.According to the dry cleaner according to the first embodiment, since the compressed air is blown to the substrate in a direction substantially perpendicular to the substrate from the discharge port of the nozzle, the adherend attached to the substrate can be surely peeled off. In addition, since the nozzle has a convex shape having a predetermined curvature in a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port is formed at the position where the discharge port of the nozzle is formed, the nozzle surface is swept away from the discharge port in a direction substantially perpendicular to the substrate, And the compressed air containing the adhered material detached from the substrate advances in the housing along the convex shape having a predetermined curvature by the Coanda effect. Therefore, it is possible to prevent the peeled attachment from scattering to the outside of the housing, and it is possible to prevent the peeled attachment once again from attaching to the peeled object. Further, since the compressed air including the adhered material peeled off by the Coanda effect progresses along the convex shape of the nozzle, the required suction power of the exhaust device can be reduced.

다음에, 도면을 참조해서, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 드라이 클리너에 대해서 설명한다. 이 드라이 클리너는, 제 1 실시형태와 마찬가지로 하여 드라이 클리너 시스템에 이용된다. 도 4는 드라이 클리너(30)의 구성을 설명하기 위한 단면도(드라이 클리너의 폭방향의 대략 중앙부에 있어서의 슬릿 형상의 토출구와 직교하는 방향의 단면도)이다. 또한, 드라이 클리너의 단면 형상은 드라이 클리너의 폭방향의 어느 위치에 있어서도 같은 형상을 갖는다. 또한, 도면 중의 화살표는 기판의 이동 방향을 도시하고 있다.Next, a dry cleaner according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. This dry cleaner is used in the dry cleaner system in the same manner as in the first embodiment. 4 is a cross-sectional view for explaining the structure of the dry cleaner 30 (a cross-sectional view in a direction perpendicular to the slit-like discharge port at the substantially central portion in the width direction of the dry cleaner). The cross-sectional shape of the dry cleaner has the same shape at any position in the width direction of the dry cleaner. Arrows in the drawing indicate the direction of movement of the substrate.

드라이 클리너(30)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 기판(10)의 표면(10a)에 대해 압축 공기를 토출하기 위한 노즐(32)과 노즐(32)을 수용하는 하우징(34)을 구비하고 있다. 노즐(32)은 기판(10)의 폭방향(X방향)으로 연장하는 형상을 갖고, 기판(10)의 폭방향보다도 약간 큰 폭을 갖고 있다. 노즐(32)은 내부에 컴프레서(5)로부터 공급관(6)을 거쳐서 공급된 압축 공기를 저류하는 저류부(32a)를 갖고 있다. 여기서, 저류부(32a)는 노즐(32) 내의 대략 전폭에 걸쳐서 형성되어 있다. 또한, 노즐(32)은 저류부(32a)와 연통하는 슬릿 형상의 토출구(32b)를 구비하고 있다. 또한, 노즐(32)은, 도 4에 도시하는 바와 같이, 토출구(32b)가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구(32b)가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 평면 형상(32c)과 이것에 연속해서 형성된 소정의 곡률의 볼록 형상(32d)을 갖고 있고, 평면 형상(32c)의 대략 중앙부에 토출구(32b)가 마련되어 있다. 또한, 노즐(32)이 갖는 소정의 곡률의 볼록 형상(32d)은, 토출구(32b)의 ―Y측의 곡률 반경을 R1, 토 출구(32b)의 Y측의 곡률 반경을 R2라고 한 경우에, R1＝R2이어도 좋고, R1≠R2이어도 좋으며, R1, R2의 크기는 각각 최적인 것으로 적당히 선택 가능하다.4, the dry cleaner 30 includes a nozzle 32 for discharging compressed air to the surface 10a of the substrate 10 and a housing 34 for accommodating the nozzle 32 . The nozzle 32 has a shape extending in the width direction (X direction) of the substrate 10 and a width slightly larger than the width direction of the substrate 10. [ The nozzle 32 has a storage portion 32a for storing the compressed air supplied from the compressor 5 through the supply pipe 6 therein. Here, the storage portion 32a is formed over the entire width of the nozzle 32. [ In addition, the nozzle 32 has a slit-shaped discharge port 32b communicating with the storage portion 32a. 4, the nozzle 32 has a planar shape 32c as a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port 32b extends at a position where the discharge port 32b is formed, Convex shape 32d of a predetermined curvature formed continuously and a discharge port 32b is provided in a substantially central portion of the planar shape 32c. When the convex shape 32d of the predetermined curvature of the nozzle 32 is R1 in the curvature radius on the -Y side of the discharge port 32b and the radius of curvature on the Y side of the discharge port 32b is R2 , R1 = R2, R1? R2 may be used, and sizes of R1 and R2 may be appropriately selected to be optimum.

하우징(34)은 그 내부에 노즐(32)을 수용하고, 노즐(32)의 토출구(32b)로부터 기판(10)의 표면(10a)을 향해서 토출한 압축 공기와, 기판(10)의 표면(10a)을 쓸어낸 압축 공기가 통과하도록 토출구(32b)에 대향하는 위치에 X방향으로 연장하는 개구부(34a)를 구비하고 있다. 하우징(34)은, 기판(10)의 표면(10a)을 쓸어내어 개구부(34a)를 통과한 압축 공기가 노즐(32)의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상(32d)을 따라 진행하는 통로(34b)를 형성함과 동시에, 이 압축 공기를 배기관(12)으로 배기하는 배기부(34c)를 구비하고 있다.The housing 34 accommodates the nozzle 32 in the inside thereof and compresses the compressed air discharged from the discharge port 32b of the nozzle 32 toward the surface 10a of the substrate 10 and the surface of the substrate 10 And an opening 34a extending in the X direction at a position opposite to the discharge port 32b so as to allow the compressed air swept out of the discharge port 10a to pass therethrough. The housing 34 is provided with a passage 34b for sweeping the surface 10a of the substrate 10 and passing the compressed air passing through the opening 34a along the convex shape 32d having a predetermined curvature of the nozzle 32 And an exhaust part 34c for exhausting the compressed air to the exhaust pipe 12. The exhaust pipe 12 is provided with an exhaust part 34c.

컴프레서(5)로부터 공급된 압축 공기는, 저류부(32a)를 거쳐서, 슬릿 형상의 토출구(32b)로부터 기판(10)을 향해서 토출되어, 기판(10)의 표면(10a)에 도달한다. 여기서 토출구(32b)와 기판(10)의 표면(10a)의 거리 및 토출구(32b)로부터 토출되는 압축 공기의 압력, 분출 속도는, 제 1 실시형태와 동일하게 하는 것이 바람직하다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 슬릿 형상의 토출구(32b)로부터 토출된 압축 공기는 하우징(34)의 개구부(34a)를 통과하여 기판(10)의 표면(10a)에 도달한 후, 기판(10)의 표면(10a)에 부착되어 있는 스페이서를 박리한다. 그리고, 박리된 스페이서를 포함하는 압축 공기는 개구부(34a)를 통과하여, 노즐(32)의 평면 형상(32c) 및 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상(32d)을 따라 통로(34b)를 진행하고, 배기부(34c) 및 배기관(12)을 거쳐서 배기 장치(14)에서 흡인되어서, 외부로 배출된다. 그 때에, 기판이 탑재되어 있는 기판 탑재부(8)를 Y방향, 즉 토출구(32b)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 이동시킴으로써 기판(10)의 표면(10a)의 전체에 걸쳐서 스페이서를 제거할 수 있다.The compressed air supplied from the compressor 5 is discharged from the slit-like discharge port 32b toward the substrate 10 via the storage portion 32a and reaches the surface 10a of the substrate 10. It is preferable that the distance between the discharge port 32b and the surface 10a of the substrate 10 and the pressure and discharge speed of the compressed air discharged from the discharge port 32b are the same as in the first embodiment. 5, the compressed air discharged from the slit-shaped discharge port 32b passes through the opening 34a of the housing 34 and reaches the surface 10a of the substrate 10, The surface of the spacer 10a is peeled off. The compressed air including the peeled spacer passes through the opening 34a and advances the passage 34b along the planar shape 32c of the nozzle 32 and the convex shape 32d having a predetermined curvature, Is sucked by the exhaust device (14) through the exhaust part (34c) and the exhaust pipe (12), and is discharged to the outside. At this time, the spacer can be removed over the entire surface 10a of the substrate 10 by moving the substrate mounting portion 8 on which the substrate is mounted in the Y direction, that is, the direction orthogonal to the longitudinal direction of the discharge port 32b have.

이러한 제 2 실시형태에 따른 드라이 클리너에 의하면, 노즐의 토출구로부터 기판에 대해 압축 공기를 대략 직교하는 방향으로 뿜어내기 때문에, 기판에 부착되어 있는 부착물을 확실하게 박리시킬 수 있다. 또한, 노즐의 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 토출구로부터 기판에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출되어서 기판 표면을 쓸어내며, 기판으로부터 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 하우징 내를 진행한다. 따라서, 박리된 부착물이 하우징 외로 비산하는 것을 방지할 수 있어서, 한번 박리된 부착물이 재차 기판에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과에 의해 노즐의 볼록 형상을 따라 진행하기 때문에, 배기 장치의 흡인 동력이 낮은 경우에 있어서도 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기의 배기를 확실하게 실행할 수 있다.According to the dry cleaner according to the second embodiment, since the compressed air is blown toward the substrate in a direction substantially perpendicular to the substrate from the discharge port of the nozzle, it is possible to surely remove the adhered matter adhered to the substrate. Further, since the nozzle has a convex shape having a predetermined curvature in a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port is formed at the position where the discharge port of the nozzle is formed, the nozzle surface is discharged in a direction substantially perpendicular to the substrate from the discharge port, And the compressed air containing the adhered material detached from the substrate advances in the housing along the convex shape having a predetermined curvature by the Coanda effect. Therefore, it is possible to prevent the peeled deposit from scattering out of the housing, so that once the peeled deposit is prevented from adhering to the substrate again. Further, since the compressed air including the exfoliated deposit advances along the convex shape of the nozzle by the Coanda effect, even when the suction power of the exhaust device is low, the exhaust of the compressed air including the exfoliated adherence can be reliably performed .

다음에, 도면을 참조해서, 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 드라이 클리너에 대해서 설명한다. 이 드라이 클리너는, 제 1 실시형태와 마찬가지로 해서 드라이 클리너 시스템에 이용된다. 드라이 클리너(50)는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 기판(10)의 표면(10a)에 대해 압축 공기를 토출하기 위한 노즐(56)과 노즐(56)을 수용하는 하우징(58)을 구비하고 있다. 노즐(56)은 기판(10)의 폭방향(X방향)으로 연장하는 형상을 갖고, 기판(10)의 폭방향보다도 약간 큰 폭을 갖고 있다. 노 즐(56)은 내부에 컴프레서(5)로부터 공급관(6)을 거쳐서 공급된 압축 공기를 저류하는 저류부(56a)를 갖고 있다. 여기서, 저류부(56a)는 노즐(56) 내의 대략 전폭에 걸쳐서 형성되어 있다. 또한, 노즐(56)은 저류부(56a)와 연통하는 슬릿 형상의 토출구(56b)를 구비하고 있다. 또한, 노즐(56)은, 도 6에 도시하는 바와 같이, 토출구(56b)가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구(56b)가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상(56c)을 갖고 있으며, 노즐(56)을 기판(10)의 표면(10a)과 소정의 간격을 갖고 배치한 경우에, 기판(10)의 표면(10a)에 가장 근접하게 되는 위치에 토출구(56b)가 마련되어 있다. 또한, 노즐(56)이 갖는 소정의 곡률의 볼록 형상(56c)은, 토출구(56b)의 ―Y측의 곡률 반경을 R1, 토출구(56b)의 Y측의 곡률 반경을 R2라고 한 경우에, R1＝R2이어도 좋고, R1≠R2이어도 좋으며, R1, R2의 크기는 각각 최적인 것으로 적당히 선택 가능하다.Next, a dry cleaner according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. This dry cleaner is used in the dry cleaner system as in the first embodiment. 6, the dry cleaner 50 is provided with a nozzle 56 for discharging compressed air to the surface 10a of the substrate 10 and a housing 58 for housing the nozzle 56 . The nozzle 56 has a shape extending in the width direction (X direction) of the substrate 10 and a width slightly larger than the width direction of the substrate 10. The nozzle 56 has a storage portion 56a for storing the compressed air supplied from the compressor 5 through the supply pipe 6 therein. Here, the reservoir 56a is formed over the entire width of the nozzle 56. [ The nozzle 56 has a slit-like discharge port 56b communicating with the storage portion 56a. 6, the nozzle 56 has a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port 56b extends at the position where the discharge port 56b is formed, and a convex shape 56c having a predetermined curvature And the discharge port 56b is provided at a position closest to the surface 10a of the substrate 10 when the nozzle 56 is disposed at a predetermined distance from the surface 10a of the substrate 10. [ Respectively. When the convex shape 56c of the predetermined curvature of the nozzle 56 is R1 in the curvature radius on the -Y side of the discharge port 56b and the radius of curvature on the Y side of the discharge port 56b is R2, R1 = R2, R1? R2 may be used, and the sizes of R1 and R2 may be appropriately selected to be optimum.

하우징(58)은 그 내부에 노즐(56)을 수용하고, 노즐(56)의 토출구(56b)로부터 기판(10)의 표면(10a)을 향해서 토출한 압축 공기와, 기판(10)의 표면(10a)을 쓸어낸 압축 공기가 통과하도록 토출구(56b)에 대향하는 위치에 X방향으로 연장하는 개구부(58a)를 구비하고 있다. 하우징(58)은, 기판(10)의 표면(10a)을 쓸어내어 개구부(58a)를 통과한 압축 공기가 노즐(56)의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상(56c)을 따라 진행하는, 일정한 높이를 갖는 통로(58b)를 형성함과 동시에, 이 압축 공기를 배기관(12)으로 배기하기 위한 원형관 형상 부재(60)를 구비하고 있다. 원형관 형상 부재(60)는 하우징(58) 내의 노즐(56)의 상방에 노즐(56)의 토출구(56b)가 연장하는 방향을 따라서 배치되고, 상부에 슬릿 형상의 개구(60a)를 갖 는다.The housing 58 accommodates the nozzle 56 in the housing 58 and compresses the compressed air discharged from the discharge port 56b of the nozzle 56 toward the surface 10a of the substrate 10 and the surface of the substrate 10 And an opening 58a extending in the X direction at a position facing the discharge port 56b so that the compressed air sweeping the discharge port 10a passes. The housing 58 has a fixed height 56a that sweeps the surface 10a of the substrate 10 and allows compressed air that has passed through the opening 58a to travel along the convex shape 56c having a predetermined curvature of the nozzle 56 And a circular tubular member 60 for discharging the compressed air to the exhaust pipe 12. The exhaust pipe 12 is provided with a passage 58b, The circular tubular member 60 is disposed above the nozzle 56 in the housing 58 along the direction in which the discharge port 56b of the nozzle 56 extends and has a slit-like opening 60a at the top .

컴프레서(5)로부터 공급된 압축 공기는 저류부(56a)를 거쳐서 슬릿 형상의 토출구(56b)로부터 기판(10)을 향해서 토출되어, 기판(10)의 표면(10a)에 도달한다. 여기서 토출구(56b)와 기판 표면(10a)의 거리는, 0.01㎜ 내지 30㎜, 바람직하게는 0.5㎜ 내지 5㎜로 하는 것이 좋고, 슬릿 형상의 토출구(56b)로부터 토출되는 압축 공기로서는, 예를 들면 분출 압력을 0.01㎫ 내지 0.95㎫, 바람직하게는 0.1㎫ 내지 0.5㎫로 하는 것이 좋다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 슬릿 형상의 토출구(56b)로부터 토출된 압축 공기는 하우징(58)의 개구부(58a)를 통과하여 기판(10)의 표면(10a)에 도달한 후, 기판(10)의 표면(10a)에 부착되어 있는 스페이서를 박리한다. 그리고, 박리된 스페이서를 포함하는 압축 공기는 개구부(58a)를 통과하여, 도면 중의 화살표로 도시하는 바와 같이, 노즐(56)의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상(56c)을 따라 통로(58b)를 진행하고, 개구부(58a)와 원형관 형상 부재(60)의 개구(60a)를 연통하는 대략 일정한 높이의 통로를 진행하며, 개구(60a)로부터 원형관 형상 부재(60) 내에 흡입되어, 배기관(12)을 거쳐서 배기 장치(14)에서 흡인되어, 예를 들면 공장의 외부로 배출된다. 그 때에, 기판이 탑재되어 있는 기판 탑재부(8)를 Y방향으로 이동시킴으로써 기판(10)의 표면(10a)의 전체에 걸쳐서 스페이서를 제거할 수 있다.The compressed air supplied from the compressor 5 is discharged from the slit-shaped discharge port 56b toward the substrate 10 via the storage portion 56a and reaches the surface 10a of the substrate 10. The distance between the discharge port 56b and the substrate surface 10a is preferably from 0.01 mm to 30 mm, and preferably from 0.5 mm to 5 mm. As the compressed air discharged from the slit discharge port 56b, for example, The blowing pressure is preferably 0.01 MPa to 0.95 MPa, preferably 0.1 MPa to 0.5 MPa. 7, the compressed air discharged from the slit-shaped discharge port 56b passes through the opening 58a of the housing 58 and reaches the surface 10a of the substrate 10, The surface of the spacer 10a is peeled off. The compressed air including the peeled spacer passes through the opening portion 58a and passes through the passage 58b along the convex shape 56c having the predetermined curvature of the nozzle 56 The gas is sucked into the circular tubular member 60 from the opening 60a and proceeds through the passage of the substantially constant height communicating the opening 58a with the opening 60a of the circular tubular member 60, 12, and exhausted to the outside of the factory, for example. At this time, the spacers can be removed over the entire surface 10a of the substrate 10 by moving the substrate mounting portion 8 on which the substrate is mounted in the Y direction.

이러한 제 3 실시형태에 따른 드라이 클리너에 의하면, 노즐의 토출구로부터 기판에 대해 압축 공기를 대략 직교하는 방향으로 뿜어내기 때문에, 기판에 부착되어 있는 부착물을 확실하게 박리시킬 수 있다. 또한, 노즐의 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖기 때문에, 토출구로부터 기판에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출되어 기판 표면을 쓸어내며, 기판으로부터 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 코안다 효과에 의해 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 하우징 내를 진행한다. 따라서, 박리된 부착물이 하우징 외로 비산하는 것을 방지할 수 있어서, 한번 박리된 부착물이 재차 피토출물체에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 코안다 효과에 의해 박리된 부착물을 포함하는 압축 공기는 노즐의 볼록 형상을 따라 진행하기 때문에, 배기 장치의 필요 흡인 동력을 저감시킬 수 있다.According to the dry cleaner according to the third embodiment, since the compressed air is blown toward the substrate in a direction substantially perpendicular to the substrate from the discharge port of the nozzle, it is possible to surely remove the adhered matter adhered to the substrate. In addition, since the nozzle has a convex shape having a predetermined curvature in a cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the discharge port is formed at the position where the discharge port of the nozzle is formed, the nozzle surface is swept away from the discharge port in a direction substantially perpendicular to the substrate, And the compressed air containing the adhered material detached from the substrate advances in the housing along the convex shape having a predetermined curvature by the Coanda effect. Therefore, it is possible to prevent the peeled attachment from scattering to the outside of the housing, and it is possible to prevent the peeled attachment once again from adhering to the peeled-off object. Further, since the compressed air including the adhered material peeled by the Coanda effect travels along the convex shape of the nozzle, the required suction power of the exhaust device can be reduced.

또한, 하우징의 개구부로부터 흡입된 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 공기는 통로가 일정한 높이를 갖기 때문에, 통로 내를 일정한 유속으로 진행하여 원형관 형상 부재의 상부의 슬릿 형상의 개구로부터 원형관 형상 부재 내에 흡입되기 때문에, 폭방향에 대해 균일한 흡인을 실행할 수 있다. 또한, 통로 내를 일정한 유속으로 피토출물체로부터 박리된 부착물을 포함하는 공기가 진행하기 때문에, 통로의 내벽에 한번 박리된 부착물이 재차 부착되는 것을 방지할 수 있고, 또한 가령 통로의 내벽에 부착물이 재차 부착된 경우에 있어서도, 낙하하기 어렵게 할 수 있다.In addition, the air including the adhered material that has been peeled off from the object to be pouched from the opening of the housing has a constant height, so that the inside of the passage is moved at a constant flow rate, So that suction can be performed uniformly in the width direction. In addition, since the air including the adhered material peeled off from the adhered object proceeds at a constant flow rate in the path, adherence once peeled off to the inner wall of the path can be prevented from being attached again, It can be made difficult to drop even when it is attached again.

또한, 상술한 실시형태에 있어서는, 드라이 클리너[4(30, 50)]에 대해 기판 탑재부(8)가 Y방향으로 이동하고 있지만, 기판 탑재부(8)에 대해 드라이 클리너[4(30, 50)]가 Y방향으로 이동하도록 해도 좋다. 즉, 드라이 클리너[4(30, 50)]를 컨베이어 등의 반송 수단에 의해 Y방향으로 반송함으로써, 기판 탑재부(8)에 대 해 드라이 클리너(4)를 Y방향으로 이동하도록 해도 좋다.Although the substrate mounting portion 8 moves in the Y direction with respect to the dry cleaner 4 (30, 50) in the above-described embodiment, the dry cleaner 4 (30, 50) May be moved in the Y direction. That is, the dry cleaner 4 may be moved in the Y direction with respect to the substrate mounting portion 8 by transporting the dry cleaner 4 (30, 50) in the Y direction by the conveying means such as a conveyor.

또한, 상술한 실시형태에 따른 피토출물체(10)는 액정 표시 장치용 패널의 기판이며, 부착물은 피토출물체(10) 상에 산포된 스페이서이지만, 피토출물체(10)는, 예컨대 전자 부품을 실장하는 실장 기판, 실리콘 웨이퍼, 필드·이미션·디스플레이 패널(field emission display panel), 플라즈마·디스플레이 패널 등의 기판, 다기능 필름 등이어도 좋고, 부착물은, 예컨대 수 ㎚ 내지 수 ㎛의 기판 커팅 부스러기, 실먼지 등의 진애(塵埃) 등이어도 좋다.The object to be poured 10 according to the above embodiment is a substrate of a panel for a liquid crystal display device and the attachment is a spacer scattered on the object to be poured 10, A silicon wafer, a field emission display panel, a substrate such as a plasma display panel, a multifunctional film, or the like, and the attachment may be, for example, a substrate cutting debris of several nm to several mu m (Dust) such as dust, and the like.

또한, 상술한 실시형태에 있어서는, 공장 시설의 컴프레서를 이용하여 드라이 클리너에 압축 공기를 공급하고 있지만, 드라이 클리너 시스템에 컴프레서를 마련해서, 드라이 클리너에 압축 공기를 공급하도록 해도 좋다.Further, in the above-described embodiment, the compressed air is supplied to the dry cleaner by using the compressor of the factory facility. However, the compressed air may be supplied to the dry cleaner by providing the compressor in the dry cleaner system.

다음에, 상술의 각 실시형태와 같이 코안다 효과를 이용한 드라이 클리너와, 코안다 효과를 이용하지 않는 드라이 클리너에 있어서의, 노즐로부터의 압축 공기의 분출 압력과 배기 장치의 흡인 동력의 관계에 대해서 설명을 실행한다. 여기서 도 8은 노즐로부터의 압축 공기의 분출 압력과 배기 장치의 흡인 동력의 관계를 도시하는 그래프이며, 도 9는 코안다 효과를 이용하지 않는 드라이 클리너의 구성을 도시하는 단면도이다. 도 9에 도시하는 드라이 클리너(100)는 하우징(110) 내에 노즐(120)을 구비하고 있지만, 노즐(120)의 토출구(130)가 형성되어 있는 위치에 있어서의 토출구(130)가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 갖지 않고 있다.Next, the relationship between the jetting pressure of the compressed air from the nozzle and the suction power of the exhaust device in the dry cleaner using the Coanda effect and the dry cleaner using the Coanda effect, as in the above- Execute the description. 8 is a graph showing the relationship between the ejecting pressure of the compressed air from the nozzles and the suction power of the exhaust system, and Fig. 9 is a sectional view showing the structure of the dry cleaner without using the Coanda effect. The dry cleaner 100 shown in Fig. 9 has the nozzle 120 in the housing 110. The dry cleaner 100 shown in Fig. 9 has a structure in which the discharge port 130 of the nozzle 120 is formed, And does not have a convex shape of a predetermined curvature.

도 8의 그래프에 나타내는 바와 같이, 노즐의 토출구와 기판의 간격(갭)을 0.5 내지 2.0(㎜) 사이에서 변화시키고, 노즐로부터의 압축 공기의 분출 압력을 0.2 내지 0.5(㎫) 사이에서 변화시키며, 각각의 경우에 있어서의 배기 장치의 흡인 동력(-)[갭을 0.5(㎜)에 설정하고, 코안다 효과를 이용한 경우의 흡인 부하를 1.0으로 해서, 다른 경우의 흡인 부하를 무차원화한 것]을 측정했지만, 어느 조건의 경우에 있어서도, 코안다 효과를 이용하고 있는 경우의 쪽이 배기 장치의 흡인 동력이 작았다.As shown in the graph of Fig. 8, the gap (gap) between the ejection port of the nozzle and the substrate is varied between 0.5 and 2.0 (mm), and the ejection pressure of the compressed air from the nozzle is varied between 0.2 and 0.5 , Suction power (-) (-) of the exhaust system in each case is set to 0.5 (mm), and the suction load in the case of using the Coanda effect is set to 1.0 and the suction load in other cases is made non-dimensional ], The suction power of the exhaust device was smaller in the case of using the Coanda effect than in any of the cases.

또한, 이상 설명한 실시형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 기재된 것이며, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 전부의 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.In addition, the embodiments described above are described for the purpose of facilitating understanding of the present invention, and are not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents falling within the technical scope of the present invention.

본 개시는 2007년 3월 8일에 제출된 일본 특허 출원 제 2007-58278 호에 포함된 주제에 관련하며, 그 개시의 전부는 여기에 참조 사항으로서 명백히 포함되어 있다.This disclosure is related to the subject matter included in Japanese Patent Application No. 2007-58278 filed on March 8, 2007, the disclosure of which is expressly incorporated herein by reference in its entirety.

이상과 같이, 본 발명의 노즐, 드라이 클리너 및 드라이 클리너 시스템은 제진 장치에 이용하는데 적합하다.As described above, the nozzle, the dry cleaner and the dry cleaner system of the present invention are suitable for use in vibration isolation devices.

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 피토출물체 상의 부착물을 제거하기 위한 드라이 클리너에 있어서,A dry cleaner for removing deposits on an object to be exposed, 상기 피토출물체와 소정의 간격을 갖고 배치되고, 내부에 압축 공기를 저류하는 저류부를 갖고, 상기 저류부와 연통하는 슬릿 형상의 토출구를 구비하며, 상기 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 상기 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 소정의 곡률의 볼록 형상을 가지며, 상기 토출구가 상기 볼록 형상의 상기 피토출물체에 가장 근접하는 위치에 마련되는 노즐과,And a slit-shaped discharge port communicating with the storage section, the discharge port being disposed at a predetermined distance from the object to be pitched, the storage section storing the compressed air therein, and the discharge port A nozzle having a convex shape of a predetermined curvature cross section orthogonal to a direction in which the ejection port extends, the ejection port being provided at a position closest to the convex object of the convex shape, 내부에 상기 노즐을 수용하고, 상기 노즐의 상기 토출구로부터 상기 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출한 상기 압축 공기와 상기 피토출물체 표면을 쓸어낸 상기 압축 공기가 통과하는 개구부를 가지며, 상기 노즐의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따르는 상기 압축 공기가 진행하는 통로를 형성하는 하우징과,The compressed air having been discharged in a direction substantially orthogonal to the discharged object from the discharge port of the nozzle and an opening through which the compressed air sweeping the surface of the discharged object passes, A housing defining a passage through which the compressed air flows along a convex shape having a predetermined curvature of the nozzle; 상기 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한 상기 압축 공기를 배출하기 위한 배기부를 구비하는 것을 특징으로 하는And an exhaust part for exhausting the compressed air proceeding along the convex shape having the predetermined curvature 드라이 클리너.Dry cleaner. 피토출물체 상의 부착물을 제거하기 위한 드라이 클리너에 있어서,A dry cleaner for removing deposits on an object to be exposed, 상기 피토출물체와 소정의 간격을 갖고 배치되고, 내부에 압축 공기를 저류하는 저류부를 갖고, 상기 저류부와 연통하는 슬릿 형상의 토출구를 구비하며, 상기 토출구가 형성되어 있는 위치에 있어서의 상기 토출구가 연장하는 방향과 직교하는 단면 형상으로서 평면 형상과 이것에 연속해서 형성된 소정의 곡률의 볼록 형상을 가지며, 상기 토출구가 상기 평면 형상의 대략 중앙부에 마련되는 노즐과,And a slit-shaped discharge port communicating with the storage section, the discharge port being disposed at a predetermined distance from the object to be pitched, the storage section storing the compressed air therein, and the discharge port A nozzle having a plane shape and a convex shape of a predetermined curvature continuously formed thereon, the discharge port being provided at a substantially central portion of the plane shape, 내부에 상기 노즐을 수용하고, 상기 노즐의 상기 토출구로부터 상기 피토출물체에 대해 대략 직교하는 방향으로 토출한 상기 압축 공기와 상기 피토출물체 표면을 쓸어낸 상기 압축 공기가 통과하는 개구부를 가지며, 상기 노즐의 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따르는 상기 압축 공기가 진행하는 통로를 형성하는 하우징과,The compressed air having been discharged in a direction substantially orthogonal to the discharged object from the discharge port of the nozzle and an opening through which the compressed air sweeping the surface of the discharged object passes, A housing defining a passage through which the compressed air flows along a convex shape having a predetermined curvature of the nozzle; 상기 소정의 곡률을 갖는 볼록 형상을 따라 진행한 상기 압축 공기를 배출하기 위한 배기부를 구비하는 것을 특징으로 하는And an exhaust part for exhausting the compressed air proceeding along the convex shape having the predetermined curvature 드라이 클리너.Dry cleaner. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,The method according to claim 3 or 4, 상기 배기부는, 상기 노즐의 상방에 상기 노즐의 상기 토출구가 연장하는 방향을 따라 배치되고, 상부에 슬릿 형상의 개구를 갖는 원형관 형상 부재를 구비하며,Wherein the exhaust unit includes a circular tubular member disposed above the nozzle along a direction in which the discharge port of the nozzle extends and having a slit- 상기 압축 공기가 진행하는 상기 통로는, 상기 하우징의 상기 개구부와 상기 원형관 형상 부재의 개구를 대략 일정한 높이의 통로로 연통하는 것을 특징으로 하는Characterized in that the passage through which the compressed air travels communicates the opening of the housing and the opening of the circular tubular member with a passage having a substantially constant height 드라이 클리너.Dry cleaner. 제 3 항 또는 제 4 항에 기재된 드라이 클리너와,The dry cleaner according to claim 3 or 4, 피토출물체를 탑재하는 탑재부를 구비하며,And a mounting portion for mounting the object to be plastered, 상기 드라이 클리너의 노즐과 상기 피토출물체는 서로 일정한 간격을 유지하여, 상기 노즐의 상기 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 상대적으로 이동하는 것을 특징으로 하는Characterized in that the nozzle of the dry cleaner and the object to be dirt are relatively spaced from each other and relatively move in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the discharge port of the nozzle 드라이 클리너 시스템.Dry Cleaner System. 제 6 항에 있어서,The method according to claim 6, 상기 드라이 클리너를 상기 노즐의 상기 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 반송하는 반송 수단 또는 상기 피토출물체를 상기 노즐의 상기 토출구의 길이 방향과 직교하는 방향으로 반송하는 반송 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는And conveying means for conveying the dry cleaner in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the ejection orifice of the nozzle or conveyance means for conveying the object in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the ejection orifice of the nozzle doing 드라이 클리너 시스템.Dry Cleaner System.
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