KR20200104182A - Stem unit and semiconductor device raser diode package - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 스템 유닛 및 반도체 레이저 다이오드 패키지에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 레이저 다이오드가 장착되는 스템 유닛 및 스템 유닛에 장착된 레이저 다이오드를 통해 레이저빔을 발진하는 반도체 레이저 다이오드 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a stem unit and a semiconductor laser diode package, and more particularly, to a stem unit in which a laser diode is mounted and a semiconductor laser diode package for oscillating a laser beam through a laser diode mounted on the stem unit.
일반적으로, 레이저 다이오드(Laser Diode)에서 발진되는 레이저빔은 주파수 폭이 좁고 지향성이 높기 때문에 광통신, 다중통신, 우주통신 등과 같은 여러 분야에 응용되고 있다.In general, since a laser beam oscillated from a laser diode has a narrow frequency width and high directivity, it is applied in various fields such as optical communication, multiple communication, space communication, and the like.
현대에는 원거리 통신 서비스에 대한 요구가 증가함에 따라 광통신 망과 함께 레이저 다이오드의 주요한 응용분야 중의 하나인 광디스크 즉, 컴팩트 디스크 플레이어(Compact Disk Player) 및 컴팩트 디스크 재생/기록(Compact Disk Reading/Writing System)장치에서는 저 전류 발진이 가능하고 장시간 작동할 수 있는 우수한 특성을 갖는 레이저 다이오드가 요구되고 있다.In modern times, as the demand for telecommunication services increases, optical disks that are one of the main application fields of laser diodes along with optical communication networks, namely, Compact Disk Player and Compact Disk Reading/Writing System. In the device, a laser diode having excellent characteristics that can oscillate at a low current and operate for a long time is required.
이와 같은 레이저 다이오드는 일반적으로 반도체 레이저 다이오드 패키지로 구성되어 PCB 등에 고정되어 사용된다. 반도체 레이저 다이오드 패키지는 광소자, 광소자를 고정하는 스템 유닛, PCB와 광소자를 전기적으로 연결시키는 단자핀 및 접지핀으로 구성된다.Such a laser diode is generally composed of a semiconductor laser diode package and fixed to a PCB or the like. The semiconductor laser diode package consists of an optical element, a stem unit that fixes the optical element, a terminal pin and a ground pin for electrically connecting the PCB and the optical element.
대한민국등록특허공보 10-1121065는 스템을 형성하는 베이스 부재와 히트싱크를 별개로 제작하여 베이스 부재 및 히트싱크의 형상의 다양하게 구현하기 위해, "광소자가 실장되는 스템 유닛으로서, 금속 판재로 이루어지는 베이스 부재와; 상기 베이스 부재와 별개로 제작되어 상기 베이스 부재의 상면에 접합되고, 상기 광소자가 고정되는 히트싱크부재와; 상기 베이스 부재와 상기 히트싱크를 접합시키는 접합부재를 포함하고, 상기 히트싱크는 광소자가 실장되는 실장부 및 실장부의 양측에서 연장되어 상기 광소자를 둘러싸도록 절곡되는 연장부를 포함하며, 상기 접합부재는 상기 베이스 부재와 히트싱크의 재료보다 녹는점이 낮은 재료가 사용되어, 브레이징 방법으로 상기 베이스 부재와 히트싱크 간을 접합하는 스템 유닛"을 개시하고 있다.Republic of Korea Patent Publication No. 10-1121065, in order to realize various shapes of the base member and heat sink by separately manufacturing the base member forming the stem and the heat sink, "As a stem unit on which an optical element is mounted, a base made of a metal plate A member; A heat sink member manufactured separately from the base member and bonded to an upper surface of the base member to which the optical element is fixed; and a bonding member for bonding the base member and the heat sink, wherein the heat sink A mounting portion on which the optical element is mounted and an extension portion extending from both sides of the mounting portion and bent to surround the optical element, and the bonding member is made of a material having a lower melting point than that of the base member and the heat sink, and the base is used as a brazing method. A stem unit for joining a member and a heat sink is disclosed.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 열전도도 및 기밀접합성이 향상되면서 동시에 낮은 원가로 제작될 수 있는 스템 유닛 및 반도체 레이저 다이오드 패키지를 제공하는 데 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a stem unit and a semiconductor laser diode package that can be manufactured at low cost while improving thermal conductivity and hermetic bonding.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 스템의 접합강도가 향상된 스템 유닛 및 반도체 레이저 다이오드 패키지를 제공하는 데 있다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a stem unit and a semiconductor laser diode package with improved bonding strength of the stem.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한, 본 발명에 따른 스템 유닛은, 복수의 크라스홀이 형성된 클래드(clad), 상기 클래드의 상면에 접합되고 광소자가 고정되는 히트싱크를 포함하는 스템 유닛에 있어서, 상기 클래드는, 동(Cu)으로 형성되며, 상면에 상기 히트싱크가 고정되는 상부층; 동(Cu)으로 형성된 하부층; 및 상기 하부층 및 상기 상부층 사이에 위치하며, 철(Fe)로 형성되는 중간층을 포함할 수 있다.In order to achieve the problem to be solved, the stem unit according to the present invention includes a clad having a plurality of cras holes formed thereon, and a heat sink bonded to an upper surface of the clad to fix an optical element, The clad is formed of copper (Cu), the upper layer to which the heat sink is fixed to the upper surface; A lower layer formed of copper (Cu); And an intermediate layer positioned between the lower layer and the upper layer and formed of iron (Fe).
상기 클래드는, 상기 상부층 위에 위치하며, 링형으로 형성되어 상기 복수의 크라스홀 및 상기 히트싱크 주위를 둘러쌓는 링층을 더 포함할 수 있다. 상기 링층은, 철(Fe)로 형성될 수 있다.The clad may further include a ring layer positioned on the upper layer and formed in a ring shape to surround the plurality of cradle holes and the heat sink. The ring layer may be formed of iron (Fe).
상기 히트싱크 또는 상기 링층은, 은(Ag) 및 동(Cu)의 합금이 사용되어 브레이징 방법으로 상기 상부층에 접합될 수 있다.As the heat sink or the ring layer, an alloy of silver (Ag) and copper (Cu) may be used and may be bonded to the upper layer by a brazing method.
상기 상부층의 상면 중 상기 링층 내측에 위치하는 영역에서 상기 히트싱크가 부착된 영역이 반 이상을 단면적을 차지할 수 있다.A region to which the heat sink is attached may occupy a cross-sectional area of at least half of the upper surface of the upper layer in a region located inside the ring layer.
상기 히트싱크는 동(Cu)으로 형성될 수 있다.The heat sink may be formed of copper (Cu).
상기 해결하고자 하는 다른 과제를 달성하기 위한, 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지는, 본 발명에 따른 스템 유닛; 상기 스템 유닛에 고정되는 하나 또는 하나 이상의 광소자; 상기 스템 유닛의 복수의 크라스홀 중 하나에 부착되는 하나 또는 하나 이상의 단자핀; 및 상기 스템 유닛의 복수의 크라스홀 중 나머지 하나에 부착되는 접지핀을 포함할 수 있다.In order to achieve another object to be solved above, a semiconductor laser diode package according to the present invention includes a stem unit according to the present invention; One or more optical elements fixed to the stem unit; One or more terminal pins attached to one of a plurality of cras holes of the stem unit; And a ground pin attached to the other one of the plurality of cras holes of the stem unit.
본 발명에 따른 스템 유닛 및 반도체 레이저 다이오드 패키지에 의하면, 클래드가 동(Cu)로 형성된 상부층, 철(Fe)로 형성된 중간층 및 동으로 형성된 하부층으로 구성되어 있어, 열전도도가 높은 상부층 통해 광소자의 열을 전달받고, 열전도도가 높은 하부층을 통해 전달받은 열을 외부로 전달함으로써 열방출성이 우수하며, 열패창계수가 낮은 중간층으로 인해 열에 의한 상부층 및 하부층의 부피 변화가 상쇄되어 기밀접합성이 향상되면서, 중간층이 단가가 낮은 철로 형성됨으로써 낮은 원가로 제작될 수 있으며, 상부층, 중간층 및 하부층의 황금비율은 제공함으로써, 스템의 접합강도가 향상되는 효과가 있다.According to the stem unit and the semiconductor laser diode package according to the present invention, the clad is composed of an upper layer formed of copper (Cu), an intermediate layer formed of iron (Fe), and a lower layer formed of copper, so that the heat of the optical device through the upper layer having high thermal conductivity It is excellent in heat dissipation by transferring the heat transferred through the lower layer with high thermal conductivity to the outside, and the volume change of the upper and lower layers due to heat is canceled due to the intermediate layer with a low heat sealing coefficient, thereby improving the hermetic bonding, Since the intermediate layer is formed of low-cost iron, it can be manufactured at a low cost, and by providing a golden ratio of the upper layer, the intermediate layer, and the lower layer, there is an effect of improving the bonding strength of the stem.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 분해사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 수직단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 수평단면도이다.
도 5는 비교예 1에 대한 수직단면도이다.
도 6은 비교예 2에 대한 수직단면도이다.
도 7은 비교예 3에 대한 수직단면도이다.1 is an exploded perspective view of a preferred embodiment of a semiconductor laser diode package according to the present invention.
2 is a perspective view of a preferred embodiment of a semiconductor laser diode package according to the present invention.
3 is a vertical cross-sectional view of a preferred embodiment of a semiconductor laser diode package according to the present invention.
4 is a horizontal sectional view of a preferred embodiment of a semiconductor laser diode package according to the present invention.
5 is a vertical cross-sectional view of Comparative Example 1.
6 is a vertical cross-sectional view of Comparative Example 2.
7 is a vertical cross-sectional view of Comparative Example 3.
이하에서 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 스템 유닛 및 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대해 상세하게 설명한다. 이때 도면에 도시되고 또 이것에 의해서 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.Hereinafter, a stem unit and a semiconductor laser diode package according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. At this time, the configuration and operation of the present invention shown in the drawings and described by it are described as at least one embodiment, by which the technical idea of the present invention and its core configuration and operation are not limited.
본 발명에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 이는 당해 기술분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 관례 또는 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 상세히 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 발명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가지는 의미와 본 발명의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 함을 밝혀 두고자 한다.The terms used in the present invention have been selected as currently widely used general terms as possible while considering functions in the present invention, but this may vary according to the intention or custom of a person skilled in the art or the emergence of new technologies. In addition, in certain cases, there are terms arbitrarily selected by the applicant, and in this case, the meaning of the terms will be described in detail in the description of the corresponding invention. Therefore, it is to be noted that the terms used in the present invention should be defined based on the meaning of the term and the overall contents of the present invention, not a simple name of the term.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 분해사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 수직단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지에 대한 바람직한 일실시예의 수평단면도이다.1 is an exploded perspective view of a preferred embodiment of a semiconductor laser diode package according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of a preferred embodiment of the semiconductor laser diode package according to the present invention, and Figure 3 is a semiconductor laser according to the present invention A vertical cross-sectional view of a preferred embodiment of the diode package, and FIG. 4 is a horizontal cross-sectional view of a preferred embodiment of a semiconductor laser diode package according to the present invention.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드 패키지(10)는 광소자(20), 스템 유닛(30), 단자핀(300) 및 접지핀(400)을 포함할 수 있다.1 to 4, the semiconductor
광소자(20)는 레이저빔을 조사시키는 광원이다. 광소자(20)는 동일한 위상을 갖는 레이저빔을 동일한 방향으로 조사할 수 있다. 광소자(20)는 레이저 다이오드로 구현될 수 있다. 반도체 레이저 다이오드 패키지(10)는 하나 또는 하나 이상의 광소자(20)를 포함할 수 있다.The
스템 유닛(30)은 그에 광소자(20)가 부착되고, 부착된 광소자(20)의 작동시 발생되는 고열을 방출하는 것이다. 스템 유닛(30)은 복수의 크라스홀(101, 103)이 형성된 클래드(clad)(100) 및 클래드(100)의 상면에 접합되고 광소자(20)가 고정되는 히트싱크(200)을 포함할 수 있다. The
클래드(100)는 금속으로 이루어지며, 히트싱크(200), 단자핀(300) 및 접지핀(400)이 결합된다. 클래드(100)는 원통형, 반원통형 및 다각통형 등의 입체도형으로 구현될 수 있고, 판상형, 타원형, 복합형 등의 판재로 구현될 수 있다.The
클래드(100)에는 단자핀(300)이 결합되는 하나 또는 하나 이상의 크라스홀(101, 103)이 상하로 관통되어 형성될 수 있고, 광소자(20)가 조사한 레이저빔을 감지하는 포토 다이오드가 실장되는 안착홈(105)이 형성될 수 있다. 안착홈(105)에 포토 다이오드가 실장될 수 있다.The
클래드(100)는 하부층(110), 중간층(120), 상부층(130) 및 링층(140)을 포함할 수 있다. 하부층(110)은 중간층(120) 하부에 위치하며, 동(Cu)으로 형성될 수 있다. 중간층(120)은 하부층(110) 및 상부층(130) 사이에 위치하며, 철(Fe)로 형성될 수 있다. 상부층(130)은 중간층(120) 상부에 형성되며 동(Cu)으로 형성될 수 있다. 상부층(130)에 상면에 히트싱크(200)가 고정될 수 있고, 안착홈(105)이 형성될 수 있다. 본 발명에서 상부층(130)이 열전도도가 높은 동으로 형성되어 있어 히트싱크(200)을 통해 광소자(20)의 열을 전달받고, 동으로 형성된 하부층(110)을 통해 전달받은 열을 외부로 전달함으로써 열전도도 및 열방출성이 우수하며, 중간층(120)이 열패창계수가 낮은 철로 형성되어 있어 열에 의한 상부층(130) 및 하부층(110)의 부피 변화가 상쇄되어 기밀접합성이 향상되면서, 중간층(120)이 단가가 낮은 철로 형성됨으로써 낮은 원가로 제작될 수 있는 효과가 있다.The
바람직하게, 하부층(110), 중간층(120), 상부층(130)은 1:2:1의 두께비를 가질 수 있다. 이에 따라, 클래드(100)은 열방출성 및 기밀접합성은 우수하게 유지되면서 생산 비용인 감소되는 최적의 효과가 있다.Preferably, the
링층(140)은 상부층(130) 위에 위치하며, 링형으로 형성되어 복수의 크라스홀(101, 103), 안착홈(105) 및 히트싱크(200) 주위를 둘러쌓을 수 있다. 링층(140)은, 은(Ag) 및 동(Cu)의 합금이 사용되어 브레이징 방법으로 상부층(130)에 접합될 수 있고 상부층(130)과 일체형으로 형성될 수 있다. 링층(140)은 철(Fe)로 형성될 수 있다. 이에 따라 링층(140)은 열패창계수가 낮은 철로 형성되어 열패창계수가 높은 동(Cu)으로 형성된 상부층(130)의 부피 변화를 상쇄시켜 기밀접합성을 향상시키는 기능 및 작용을 할 수 있다.The
단자핀(300)은 광소자(20) 및 포토 다이오드에 전원을 공급하기 위한 수단으로서, 클래드(100)에 형성된 크라스홀(101)을 관통하여 클래드(100)의 상하부로 돌출되게 고정될 수 있다. 이때 단자핀(300)과 클래드(100) 사이는 절연체(190)에 의해 절연될 수 있다. 이에 따라, 단자핀(300)의 일측은 광소자(20) 및 포토 다이오드와 와이어(21)로 연결되고, 타측은 외부와 연결될 수 있다. 여기서 상기 외부에 PCB 등의 기판이 위치할 수 있고, 단자핀(300)의 타측은 상기 기판과 연결될 수 있다. 또한 크라스홀(103)에는 단자핀(310)이 관통하여 클래드(100)의 상하부로 돌출되게 고정될 수 있다.The
접지핀(400)은 클래드(100)의 하면에 접합되어 물리적 및 전기전으로 연결될 수 있다. 이때 접지핀(400)은 단순한 용접으로 고정될 수도 있고, 용접소재(401)를 매개로 클래드(100)에 고정될 수 있다. 접지핀(400)은 스템 유닛(30)을 접지시킬 수 있다.The
히트싱크(200)는 광소자(20)가 실장되고, 광소자(20)에서 발생되는 고열을 직접 방출시키는 기능 및 작용을 하는 것으로, 클래드(100)와 일체로 제작되거나 별개로 제작될 수 있다. 또한 히트싱크(200)는 클래드(100)의 상면에서 돌출되게 제작될 수 있다. 일부 실시예로, 히트싱크(200)는 은(Ag) 및 동(Cu)의 합금이 사용되어 브레이징 방법으로 상부층(130)에 접합될 수 있다.The
바람직하게, 히트싱크(200)는 상부층(130)의 상면 중 링층(140) 내측에 위치하는 영역에서 히트싱크(200)가 부착된 영역이 반 이상의 단면적을 차지하게 제작될 수 있다. 이에 따라 본 발명은 열전도도가 향상될 수 있다.Preferably, the
바람직하게, 히트싱크(200)는 클래드(30)의 중심을 포함하는 영역을 차지하게 부착되고, 크라스홀(101)의 중점 및 크라스홀(103)의 중점을 지나는 직선과 클래드(30)의 중심 사이의 거리는, 링층(140)이 내측 반지름의 길이의 반보다, 작게 형성될 수 있다. 이에 따라, 클래드(30)에 부착되는 히트싱크(200)의 단면적을 증가시킬 수 있고, 클래드(30)의 열방출성을 향상시킬 수 있다.Preferably, the
바람직하게, 히트싱크(200)는 동(Cu)으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 광소자(20)가 발산하는 열이 열전전도가 우수한 동을 통해 클래드(100)로 전달됨으로써, 열전도도 및 열방출성이 우수하며, 히트싱크(200) 및 상부층(130)이 같은 소재로 되어 있어 클래드(100) 및 히트싱크(200)간의 열전도성 및 접합성이 보다 우수한 효과가 있다.Preferably, the
도 5는 비교예 1에 대한 수직단면도이고, 도 6은 비교예 2에 대한 수직단면도이며, 도 7은 비교예 3에 대한 수직단면도이다.5 is a vertical cross-sectional view of Comparative Example 1, FIG. 6 is a vertical cross-sectional view of Comparative Example 2, and FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of Comparative Example 3.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예와 비교예의 특성을 비교하는 실험을 실시하고 그 결과를 다음 표 1에 나타냈다. 실시예와 비교예에 있어서, 클래드 및 히트싱크의 두께는 같게 하였고, 클래드의 최장 단면적을 같게 하였으며, 비교예 3을 제외하고 클래드 및 히트싱크는 은(Ag) 및 동(Cu)의 합금을 사용하여 브레이징 방법으로 접합하였다. 다만, 실시예 1의 히트싱크의 단면적은 링층 내측 영역의 반 이상이 차지하게 제작하였고, 실시예 2의 히트싱크의 단면적은 링층 내측 영역의 반보다 작게 제작하였으며, 비교예 1 내지 3의 히트싱크의 단면적은 실시예 2의 단면적과 동일하게 제작하였다. 또한 비교예 1 내지 3의 구조 형상은 각각 도 5 내지 7과 같다.5 to 7, an experiment was conducted to compare the characteristics of the examples of the present invention and the comparative examples, and the results are shown in Table 1 below. In the Examples and Comparative Examples, the thickness of the clad and the heat sink were the same, and the longest cross-sectional area of the clad was the same, except for Comparative Example 3, the clad and heat sink were made of silver (Ag) and copper (Cu) alloys. And joined by a brazing method. However, the cross-sectional area of the heat sink of Example 1 was made to occupy more than half of the inner area of the ring layer, and the cross-sectional area of the heat sink of Example 2 was made smaller than half of the inner area of the ring layer, and the heat sinks of Comparative Examples 1 to 3 The cross-sectional area of was prepared equal to the cross-sectional area of Example 2. In addition, the structural shapes of Comparative Examples 1 to 3 are the same as in FIGS. 5 to 7 respectively.
철(Fe)
구리(Cu)Copper (Cu)
Iron (Fe)
Copper (Cu)
철(Fe)
구리(Cu)Copper (Cu)
Iron (Fe)
Copper (Cu)
(5: 매우 우수, 4: 우수, 3: 보통, 2: 나쁨, 1: 매우 나쁨)(5: very good, 4: excellent, 3: moderate, 2: bad, 1: very bad)
표 1의 실험 결과에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 실시예 1 및 2는 열방출성, 기밀접합성 및 원가가 저렴하여 종래의 비교예 1 내지 3 보다 종합 평가에서 우수함을 알 수 있다. 특히 실시예 1은 일체형 구리로 제조된 비교예3와 동등한 열방출성을 나타내고 있음을 확인할 수 있다.As can be seen from the experimental results of Table 1, it can be seen that Examples 1 and 2 according to the present invention are superior to the conventional Comparative Examples 1 to 3 in the comprehensive evaluation because heat release properties, airtight bonding and cost are inexpensive. In particular, it can be seen that Example 1 exhibits heat release property equivalent to Comparative Example 3 made of integral copper.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.Although the preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and without departing from the gist of the present invention claimed in the claims, in the technical field to which the present invention pertains. Anyone of ordinary skill in the art can implement various modifications, as well as such modifications will be within the scope of the claims.
반도체 레이저 다이오드 패키지(10) 광소자(20)
스템 유닛(30) 클래드(100)
히트싱크(200) 단자핀(300)
접지핀(400) Semiconductor Laser Diode Package(10) Optical Device(20)
Stem unit (30) Clad (100)
Heat sink (200) terminal pin (300)
Ground pin (400)
Claims (7)
상기 클래드는,
동(Cu)으로 형성되며, 상면에 상기 히트싱크가 고정되는 상부층;
동(Cu)으로 형성된 하부층; 및
상기 하부층 및 상기 상부층 사이에 위치하며, 철(Fe)로 형성되는 중간층을 포함하는 것을 특징으로 하는 스템 유닛.In the stem unit comprising a clad (clad) in which a plurality of crasholes are formed, a heat sink bonded to an upper surface of the clad to fix an optical element,
The clad,
An upper layer formed of copper (Cu) and on which the heat sink is fixed;
A lower layer formed of copper (Cu); And
It is located between the lower layer and the upper layer, the stem unit, characterized in that it comprises an intermediate layer formed of iron (Fe).
상기 클래드는,
상기 상부층 위에 위치하며, 링형으로 형성되어 상기 복수의 크라스홀 및 상기 히트싱크 주위를 둘러쌓는 링층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스템 유닛.The method of claim 1,
The clad,
And a ring layer disposed on the upper layer and formed in a ring shape to surround the plurality of cras holes and the heat sink.
상기 링층은,
철(Fe)로 형성되는 것을 특징으로 하는 스템 유닛.The method of claim 2,
The ring layer,
Stem unit, characterized in that formed of iron (Fe).
상기 히트싱크 또는 상기 링층은,
은(Ag) 및 동(Cu)의 합금이 사용되어 브레이징 방법으로 상기 상부층에 접합되는 것을 특징으로 하는 스템 유닛.The method of claim 2,
The heat sink or the ring layer,
A stem unit, characterized in that an alloy of silver (Ag) and copper (Cu) is used and bonded to the upper layer by a brazing method.
상기 상부층의 상면 중 상기 링층 내측에 위치하는 영역에서 상기 히트싱크가 부착된 영역이 반 이상을 단면적을 차지하는 것을 특징으로 하는 스템 유닛.The method of claim 2,
A stem unit, characterized in that at least half of the area to which the heat sink is attached occupies a cross-sectional area of the upper surface of the upper layer in a region located inside the ring layer.
상기 히트싱크는 동(Cu)으로 형성된 것을 특징으로 하는 스템 유닛.The method of claim 1,
The heat sink is a stem unit, characterized in that formed of copper (Cu).
상기 스템 유닛에 고정되는 하나 또는 하나 이상의 광소자;
상기 스템 유닛의 복수의 크라스홀 중 하나에 부착되는 하나 또는 하나 이상의 단자핀; 및
상기 스템 유닛의 복수의 크라스홀 중 나머지 하나에 부착되는 접지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 다이오드 패키지.
A stem unit according to any one of claims 1 to 6;
One or more optical elements fixed to the stem unit;
One or more terminal pins attached to one of a plurality of cras holes of the stem unit; And
A semiconductor laser diode package comprising a ground pin attached to the other of the plurality of cras holes of the stem unit.
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