KR20200100909A - 롤투롤 필름 검사 장치 및 롤투롤 필름 검사 방법 - Google Patents

롤투롤 필름 검사 장치 및 롤투롤 필름 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일실시예는 필름의 결함을 더욱 정확하게 검사할 수 있는 롤투롤 필름 검사 장치 및 롤투롤 필름 검사 방법을 제공한다. 여기서, 롤투롤 필름 검사 장치는 촬영부 및 구동부를 포함한다. 촬영부는 제1방향으로 이송되는 필름의 상측에 구비되고 필름을 촬영한다. 구동부는 필름을 가로지르도록 제1방향에 교차하는 제2방향으로 촬영부를 왕복 이동시킨다.

Description

롤투롤 필름 검사 장치 및 롤투롤 필름 검사 방법{APPARATUS FOR INSPECTING ROLL-TO-ROLL FILM AND METHOD OF INSPECTING ROLL-TO-ROLL FILM}
본 발명은 롤투롤 필름 검사 장치 및 롤투롤 필름 검사 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 필름의 결함을 더욱 정확하게 검사할 수 있는 롤투롤 필름 검사 장치 및 롤투롤 필름 검사 방법에 관한 것이다.
롤투롤 상태의 필름 또는 평판의 제조 공정에서 발생할 수 있는 결함을 검출하기 위해서 기존에는 필름을 시트 형태로 자른 다음 육안으로 검사하는 방법이 사용되었다. 그러나 이러한 육안 검사 방법은 신뢰도가 떨어지고 검사 시간이 많이 소요되므로 필름 및 평판에 존재하는 결함을 자동으로 검사하는 시스템에 대한 개발이 이루어 지고 있다.
필름의 결함을 효과적으로 검사하기 위해 투과 검사와 반사 검사가 수행된다. 투과 검사는 필름의 내부에 존재하는 결함을 검사하기 위한 것으로, 필름을 중심으로 조명을 카메라와 반대 방향에 위치시킴으로써 조명으로부터 조사된 빛이 필름을 투과하여 카메라로 입력되도록 하는 방식이다. 반사 검사는 필름을 중심으로 조명과 카메라를 동일한 방향에 위치시켜 조명으로부터 조사된 빛이 필름 표면에 반사되어 카메라로 입력되도록 하는 방식이다.
롤투롤 상태의 필름 또는 평판은 일방향으로 계속해서 이송되므로 하나의 필름의 결함을 검사할 때 이와 같은 투과 검사와 반사 검사가 동시에 수행되기도 한다.
그런데 통상적으로 롤투롤 공정에서 필름은 롤러에 의해 일방향으로 이송되며, 카메라와 조명은 고정된 위치에서 동작한다. 따라서, 결함이 관측되는 시야 방향에 따라 결함이 검출되지 못하는 경우가 발생할 수 있다. 예를 들어, 필름에 발생한 결함이 필름의 이송방향으로 연장되는 스크래치와 같은 형태를 가지는 경우, 고정 설치된 카메라에 의해 촬영되는 결함의 영상은 점의 형태로 왜곡되어 나타나게 되는데, 이러한 점의 크기가 결함 판정 기준 이내의 크기인 경우 결함으로 판정되지 못하게 되는 등 결함 검출의 정확성이 저하될 수 있는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제2011-0026920호(2011.03.16. 공개)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 필름의 결함을 더욱 정확하게 검사할 수 있는 롤투롤 필름 검사 장치 및 롤투롤 필름 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 제1방향으로 이송되는 필름의 상측에 구비되고 상기 필름을 촬영하는 촬영부; 그리고 상기 필름을 가로지르도록 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 상기 촬영부를 왕복 이동시키는 구동부를 포함하는 롤투롤 필름 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 실시에에 있어서, 상기 제1방향으로 이송되는 필름의 이송속도에 대응하는 제1펄스 신호를 출력하는 제1인코더부; 그리고 상기 촬영부의 이동속도에 대응하는 제2펄스 신호를 출력하는 제2인코더부를 포함하고, 상기 구동부는 상기 제1펄스 신호의 제1펄스 주파수에 비례하여 상기 촬영부의 이동속도를 증감시키고, 상기 촬영부는 상기 제2펄스 신호의 제2펄스 주파수에 비례하여 촬영속도를 증감할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 촬영부는, 상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받고, 상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받지 않을 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 촬영부의 기본촬영면적은 상기 제1방향을 기준으로 제1촬영거리를 가지고, 상기 구동부는 상기 촬영부가 상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동한 후, 다시 상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동이 완료되었을 때, 상기 제1촬영거리 이내에 위치되도록 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1방향을 따라 상기 촬영부와 이격되게 상기 필름의 상측에 구비되고, 고정된 상태에서 이송되는 상기 필름을 촬영하는 추가 촬영부를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 제1방향으로 이송되는 필름의 상측에 구비되는 촬영부가 상기 필름을 가로지르도록, 구동부가 상기 촬영부를 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 왕복 이동시키는 카메라 이동단계: 그리고 상기 촬영부가 상기 구동부에 의해 이동하면서 상기 필름을 촬영하는 촬영단계를 포함하는 롤투롤 필름 검사 방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 제1인코더부가 상기 제1방향으로 이송되는 필름의 이송속도에 대응하는 제1펄스 신호를 출력하는 제1신호발생단계; 그리고 제2인코더부가 상기 촬영부의 이동속도에 대응하는 제2펄스 신호를 출력하는 제2신호발생단계를 포함하고, 상기 카메라 이동단계에서, 상기 구동부는 상기 제1펄스 신호의 제1펄스 주파수에 비례하여 상기 촬영부의 이송속도를 증감시키고, 상기 촬영단계에서, 상기 촬영부는 상기 제2펄스 신호의 제2펄스 주파수에 비례하여 촬영속도를 증감할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 촬영부는, 상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받고, 상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받지 않을 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 구동부는 상기 촬영부가 상기 필름의 일측의 이동시작위치에 위치되는 시점에서 상기 제1인코더부가 출력하는 상기 제1펄스 주파수에 대응되도록 미리 매칭된 이동속도로 상기 촬영부를 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 구동부는 상기 제1인코더부가 실시간으로 출력하는 상기 제1펄스 주파수에 대응되도록 미리 매칭된 이동속도로 상기 촬영부를 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 촬영부의 기본촬영면적은 상기 제1방향을 기준으로 제1촬영거리를 가지고, 상기 구동부는 상기 촬영부가 상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동한 후, 다시 상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동이 완료되었을 때, 상기 제1촬영거리 이내에 위치되도록 할 수 있다.
본 발명의 실시에에 따르면, 롤투롤 방식으로 이송하는 필름의 이송방향과 교차하는 방향으로 촬영부를 이송시켜 촬영함으로써, 종래에 촬영부가 고정된 상태에서 촬영이 이루어지던 검사장치에서 검출이 불가능했던 결함에 대한 검출이 가능하다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 필름의 이송속도 정보를 촬영부의 이동속도 제어를 위한 트리거로 사용하고, 촬영부의 이동속도 정보를 촬영부의 촬영속도 제어를 위한 트리거로 사용할 수 있다. 이를 통해, 필름의 이송속도에 대응하여 촬영부의 이동속도 및 촬영부의 촬영속도를 매칭시킬 수 있으며, 촬영된 영상의 왜곡을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 구동부는 촬영부가 이동시작위치에서 이동정지위치로 순행이동한 후, 다시 이동정지위치에서 이동시작위치로 복귀이동이 완료되었을 때, 촬영부가 제1촬영거리 이내에 위치되도록 할 수 있다. 이에 따라 촬영부가 다시 순행이동하면서 촬영하게 되는 촬영영역은 이전 촬영영역과 일부분이 겹쳐지게 될 수 있고, 이를 통해 획득되는 영상의 누락이 방지될 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치를 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1의 롤투롤 필름 검사 장치를 개략적으로 나타낸 예시도이다.
도 3은 도 1의 롤투롤 필름 검사 장치의 인코더부에서 출력하는 펄스 신호의 활용예를 설명하기 위한 예시도이다.
도 4 내지 도 6은 도 2의 롤투롤 필름 검사 장치의 작동예를 설명하기 위한 평면예시도이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치의 다른 구동예를 설명하기 위한 평면예시도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치를 개략적으로 나타낸 예시도이다.
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치를 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1의 롤투롤 필름 검사 장치를 개략적으로 나타낸 예시도이고, 도 3은 도 1의 롤투롤 필름 검사 장치의 인코더부에서 출력하는 펄스 신호의 활용예를 설명하기 위한 예시도이다.
도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 롤투롤 필름 검사 장치는 촬영부(100) 그리고 구동부(200)를 포함할 수 있다.
촬영부(100)는 제1방향(A1)으로 이송되는 필름(10)의 상측에 구비되어 필름(10)을 촬영할 수 있다. 촬영부(100)는 에어리어 카메라일 수 있다.
그리고, 롤투롤 필름 검사 장치는 촬영부(100)가 촬영할 수 있도록 조명광(151)을 제공하는 조명부(150)를 포함할 수 있다.
본 발명에서는 촬영부(100) 및 조명부(150)가 모두 필름(10)의 상측에 구비되는 반사 검사의 형태를 예로 설명하지만, 조명부(150)는 필름(10)의 하측에 구비되어 투과 검사의 형태로 구현될 수도 있다.
구동부(200)는 촬영부(100)를 필름(10)을 가로지르도록 제1방향(A1)에 교차하는 제2방향(A2)으로 왕복 이동시킬 수 있다.
구동부(200)는 촬영부(100)와 함께 조명부(150)도 제2방향(A2)으로 왕복 이동시킬 수 있다. 구동부(200)는 촬영부(100)와 조명부(150)의 상대위치가 일정한 상태를 유지하면서 제2방향(A2)으로 왕복 이동되도록 할 수 있다. 즉, 촬영부(100) 및 조명부(150)는 일정한 형태로 설치되며, 구동부(200)는 이와 같이 설치된 촬영부(100) 및 조명부(150)를 동시에 이동시킬 수 있다. 이하에서 구동부(200)가 촬영부(100)를 이동시킨다고 할 때, 이는 구동부(200)가 촬영부(100)와 함께 조명부(150)도 동시에 이동시키는 것을 기본으로 한다.
그리고, 롤투롤 필름 검사 장치는 제1인코더부(300) 그리고 제2인코더부(400)를 포함할 수 있다.
제1인코더부(300)는 롤투롤 방식에 의해 제1방향(A1)으로 이송되는 필름(10)의 이송속도에 대응하는 제1펄스 신호(310)를 출력할 수 있다.
이를 위해, 제1인코더부(300)는 필름(10)을 이송시키는 이송롤러(20)의 회전정보를 측정할 수 있다. 즉, 필름(10)을 롤투롤 방식으로 이송시키는 이송롤러(20)는 제1모터(미도시)에 의해 회전동력을 전달받아 회전될 수 있다.
제1인코더부(300)는 상기 제1모터의 제1구동축(미도시)에 결합되어 상기 제1구동축과 함께 회전하는 원판을 가질 수 있다. 제1인코더부(300)는 상기 원판의 회전량에 따르는 제1펄스 신호(310)를 출력할 수 있다. 그리고, 제1펄스 신호(310)를 기초로 상기 이송롤러의 회전속도를 산출하고, 다시 이를 기초로 필름(10)의 이송속도를 산출할 수 있다.
다른 예로, 제1인코더부(300)는 필름(10)의 이송속도를 직접 검출할 수 있다. 예를 들면, 제1인코더부(300)는 이송하는 필름에 직접 광을 조사하고, 필름에서 반사되거나 필름을 투과하는 광을 수광하는 방식을 이용하여 필름(10)의 이송속도에 대응하는 제1펄스 신호(310)를 출력할 수도 있다.
제1인코더부(300)에서 출력되는 제1펄스 신호(310)는 도 3에 도시되는 펄스신호(PS)의 형태를 가질 수 있다. 이러한 펄스신호(PS)는 필름(10)의 이송속도가 느리면 펄스의 폭(W)이 길고 주파수가 작아질 수 있다. 즉, 단위시간(T) 동안 출력되는 펄스의 개수는 감소할 수 있다(도 3의 (a) 참조). 반면, 필름(10)의 이송속도가 빠르면 펄스의 폭(W)은 짧고 주파수가 커질 수 있다. 즉, 단위시간(T) 동안 출력되는 펄스의 개수는 증가할 수 있다(도 3의 (b) 참조).
제1인코더부(300)로는 펄스 인코더, 광전식 인코더, 용량식 인코더, 자기식 인코더 등 다양한 방식의 인코더가 사용될 수 있다.
그리고, 구동부(200)는 제1펄스 신호(310)의 제1펄스 주파수에 비례하여 촬영부(100)의 이동속도를 증감시킬 수 있다. 즉, 제1인코더부(300)에서 출력하는 제1펄스 주파수는 구동부(200)의 기동을 위한 트리거(Trigger)로 사용될 수 있다.
필름(10)의 이송속도가 빨라지면 제1인코더부(300)가 출력하는 제1펄스 신호(310)의 제1펄스 주파수가 커지게 된다. 그러면 구동부(200)는 제1펄스 주파수를 기초로 촬영부(100)의 이동속도를 증가시킬 수 있다. 그리고, 필름(10)의 이송속도가 느려지면 제1인코더부(300)가 출력하는 제1펄스 신호(310)의 제1펄스 주파수가 작아지게 된다. 그러면 구동부(200)는 제1펄스 주파수를 기초로 촬영부(100)의 이동속도를 감소시킬 수 있다. 이때, 촬영부(100)의 이동속도는 제1펄스 주파수에 따라 미리 매칭되도록 설정된 상태일 수 있다.
제2인코더부(400)는 촬영부(100)의 이동속도에 대응하는 제2펄스 신호(410)를 출력할 수 있다.
이를 위해, 제2인코더부(400)는 구동부(200)의 구동정보를 측정할 수 있다. 일 예로, 구동부(200)는 촬영부(100)를 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제2모터(미도시)를 가지며, 구동부(200)는 상기 제2모터의 제2구동축(미도시)의 회전속도를 조절함으로써 촬영부(100)의 이동속도를 조절할 수 있다.
제2인코더부(400)는 제1인코더부(300)와 동일한 구성으로 구현될 수 있으며, 제2인코더부(400)는 상기 제2구동축에 결합되어 상기 제2구동축과 회전하는 원판의 회전량에 따르는 제2펄스 신호(410)를 출력할 수 있다. 그리고 제2펄스 신호(410)를 기초로 상기 제2구동축의 회전속도를 산출하고, 다시 이를 기초로 촬영부(100)의 이동속도를 산출할 수 있다.
제2인코더부(400)에서 출력되는 제2펄스 신호(410)도 도 3에 도시되는 펄스신호(PS)의 형태를 가질 수 있으며, 제2펄스 신호(410)도 제1펄스 신호(310)를 예로 설명한 특성과 동일한 특성을 가질 수 있다.
촬영부(100)는 제2펄스 신호(410)의 제2펄스 주파수에 비례하여 촬영속도를 증감할 수 있다.
즉, 촬영부(100)의 이동속도가 빨라지면 제2인코더부(400)가 출력하는 제2펄스 신호(410)의 제2펄스 주파수가 커지게 된다. 그러면 촬영부(100)는 촬영속도를 증가시킬 수 있다. 그리고, 촬영부(100)의 이동속도가 느려지면 제2인코더부(400)가 출력하는 제2펄스 신호(410)의 제2펄스 주파수가 작아지게 된다. 그러면 촬영부(100)는 촬영속도를 감소시킬 수 있다.
이처럼, 제2인코더부(400)에서 출력하는 제2펄스 주파수는 촬영부(100)의 촬영작동을 위한 트리거로 사용될 수 있다.
본 실시예에서는 필름(10)의 이송속도 정보를 촬영부(100)의 이동속도 제어를 위한 트리거로 사용하고, 촬영부(100)의 이동속도 정보를 촬영부(100)의 촬영속도 제어를 위한 트리거로 사용할 수 있다. 이를 통해, 필름(10)의 이송속도에 대응하여 촬영부(100)의 이동속도 및 촬영부(100)의 촬영속도를 매칭시킬 수 있으며, 촬영된 영상의 왜곡을 방지할 수 있다.
또한, 촬영부(100)가 롤투롤 방식으로 필름(10)이 이송하는 제1방향(A1)과 교차하는 제2방향(A2)으로 이동하면서 촬영하기 때문에, 종래에 촬영부가 고정된 상태에서 촬영이 이루어지던 검사장치에서 검출이 불가능했던 결함에 대한 검출이 가능할 수 있다.
한편, 제1인코더부(300)는 제1펄스 신호(310)를 실시간으로 출력할 수 있다. 그리고, 구동부(200)는 실시간으로 출력되는 제1펄스 신호(310)를 기초로 촬영부(100)의 이동속도를 실시간으로 조절할 수 있다. 이렇게 하면, 필름(10)의 이송속도가 미세하게 변하더라도 이에 대응하여 촬영부(100)의 이동속도 및 촬영속도를 실시간으로 매칭시킬 수 있기 때문에 영상의 왜곡을 더욱 효과적으로 방지하고 보다 정확한 검사가 가능할 수 있다.
또는, 구동부(200)는 필름(10)의 이송 개시 시점에서의 제1펄스 신호(310)를 기초로 촬영부(100)의 이동속도를 조절할 수도 있다. 필름(10)의 이송속도는 일정하게 제어될 수 있기 때문에, 필름(10)의 이송 개시 시점에서의 제1펄스 신호(310)를 기초로 촬영부(100)의 이동속도를 매칭하고, 촬영부(100)의 이동속도를 기초로 촬영속도를 매칭시키더라도 영상의 왜곡을 효과적으로 방지하고 정확한 검사가 가능할 수 있다. 또한 이러한 방법을 채택하면, 실시간으로 출력되는 제1펄스 신호(310)를 기초로 구동부(200) 및 촬영부(100)의 동작을 실시간으로 조절하는 경우와 비교했을 때 상대적으로 알고리즘 계산량이 줄고 처리속도도 빨라질 수 있다.
도 4 내지 도 6은 도 2의 롤투롤 필름 검사 장치의 작동예를 설명하기 위한 평면예시도이다.
먼저, 도 4에서 보는 바와 같이, 구동부(200)는 필름(10)을 가로지르도록 제1방향(A1)에 교차하는 제2방향(A2)으로 촬영부(100)를 왕복 이동시킬 수 있다. 구동부(200)는 촬영부(100)가 필름(10)의 일측의 이동시작위치(P1)에서 필름(10)의 타측의 이동정지위치(P2)로 순행이동(M1)하도록 하고, 다시 이동정지위치(P2)에서 이동시작위치(P1)로 복귀이동(M2)하도록 할 수 있다. 촬영부(100)가 순행이동(M1) 시에도 필름(10)은 제1방향(A1)으로 이송되기 때문에, 촬영부(100)에 의해 촬영되는 촬영영역(120)은 도 5에 도시되는 형태와 같이 비스듬하게 형성될 수 있다.
제2인코더부(400)는 촬영부(100)가 순행이동(M1) 및 복귀이동(M2) 시에 모두 제2펄스 신호(410)를 출력할 수 있다. 그러나, 촬영부(100)는 이동시작위치(P1)에서 이동정지위치(P2)로 순행이동(M1) 시에는 제2펄스 신호(410)를 입력받고, 이동정지위치(P2)에서 이동시작위치(P1)로 복귀이동(M2) 시에는 제2펄스 신호(410)를 입력받지 않을 수 있다. 이를 통해, 촬영부(100)는 순행이동(M1) 시에만 촬영을 할 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이 촬영부(100)는 에어리어 카메라일 수 있으며, 따라서, 촬영부(100)는 기본촬영면적(110)을 가질 수 있다. 그리고 기본촬영면적(110)은 제1방향(A1)을 기준으로 제1촬영거리(L1)를 가질 수 있다.
구동부(200)는 촬영부(100)가 이동시작위치(P1)에서 이동정지위치(P2)로 순행이동(M1)한 후, 다시 이동정지위치(P2)에서 이동시작위치(P1)로 복귀이동(M2)이 완료되었을 때, 촬영부(100)가 제1촬영거리(L1) 이내에 위치되도록 할 수 있다.
다르게 표현하면, 촬영부(100)가 순행이동(M1) 및 복귀이동(M2)의 하나의 사이클을 수행하는 동안에도 필름(10)은 계속 이송되고 있는데, 필름(10)이 제1촬영거리(L1) 이상으로 이송되기 전에 촬영부(100)는 하나의 사이클을 완료함이 바람직하다.
이렇게 되면, 이후 촬영부(100)가 다시 순행이동(M1)하면서 촬영이 이루질 때, 새로이 촬영되는 촬영영역(120b)은 이전의 촬영영역(120a)과 일부분이 겹치는 겹침영역(221a)을 가질 수 있게 되고, 이를 통해, 촬영 영상의 누락이 방지될 수 있다.
한편, 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치의 다른 구동예를 설명하기 위한 평면예시도인데, 도 7에서 보는 바와 같이, 촬영부 및 조명부는 복수개가 마련될 수 있다. 그리고, 각각의 촬영부 및 조명부는 필름(10)을 가로지르는 제2방향(A2)을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되어 마련될 수 있다. 즉, 각각의 촬영부 및 조명부는 서로 다른 이동시작위치(P1a,P1b,P1c)를 가질 수 있으며, 각각의 이동시작위치(P1a,P1b,P1c)는 제2방향(A2)을 기준으로 동일 선상에 위치될 수 있다.
그리고 각각의 촬영부 및 조명부는 동시에 순행이동 및 복귀이동을 할 수 있다.
또한, 각각의 촬영부에 의해 촬영되는 촬영영역은 일부분이 서로 겹쳐질 수 있다.
즉, 제일 좌측의 이동시작위치(P1a)를 기준으로 순행이동 및 복귀이동하는 촬영부에서 촬영되는 촬영영역(120d1)은 바로 우측의 이동시작위치(P1b)를 기준으로 순행이동 및 복귀이동하는 촬영부에서 촬영되는 촬영영역(120e1)과 일부분이 겹칠 수 있다. 그리고, 이 촬영영역(120e1)은 바로 우측의 이동시작위치(P1c)를 기준으로 순행이동 및 복귀이동하는 촬영부에서 촬영되는 촬영영역(120f1)과 일부분이 겹칠 수 있다.
그리고, 해당 카메라에 의해 이후에 촬영되는 촬영영역은 이전 촬영영역과 일부분이 겹칠 수 있다.
이렇게 하면, 제일 좌측의 이동시작위치(P1a)를 기준으로 촬영되는 촬영영역(120d1,120d2)은 일부분이 서로 겹침과 동시에 바로 우측의 이동시작위치(P1b)를 기준으로 촬영되는 촬영영역(120e1,120e2)과도 일부분이 겹칠 수 있다. 그리고, 이 촬영영역(120e1,120e2)은 바로 우측의 이동시작위치(P1c)를 기준으로 촬영되는 촬영영역(120f1,120f2)과도 일부분이 겹칠 수 있으며, 이를 통해 촬영영역이 누락되는 것이 방지될 수 있다.
본 구동예에 따르면, 각각의 촬영부 및 조명부의 순행이동거리 및 복귀이동거리가 더 짧아질 수 있다. 따라서, 필름(10)의 이송속도를 더욱 빠르게 하더라도 촬영부(100)는 빠짐없이 안정적으로 필름(10)을 촬영할 수 있으며, 이를 통해, 검사 시간도 단축될 수 있다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치를 개략적으로 나타낸 예시도이다. 본 실시예에서는 다른 형태로 필름을 촬영하기 위한 촬영부가 더 마련될 수 있으며, 다른 구성은 전술한 제1실시예와 동일하므로, 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 부여하고 반복되는 내용은 가급적 생략한다.
도 8에서 보는 바와 같이, 본 실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치는 추가 촬영부(500)를 더 포함할 수 있다.
추가 촬영부(500)는 필름(10)의 상측에 구비될 수 있으며, 제1방향(A1)을 따라 촬영부(100)와 이격되게 구비될 수 있다.
추가 촬영부(500)는 고정된 상태에서 이송되는 필름(10)을 촬영할 수 있다. 추가 촬영부(500)의 촬영영역이 필름(10)의 폭 보다 작은 경우, 추가 촬영부(500)는 필름(10)의 폭방향, 즉, 제2방향(A2)으로 복수개가 마련될 수 있다.
그리고 본 실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 장치는 추가 조명부(550)를 포함할 수 있다. 추가 조명부(550)는 추가 촬영부(500)가 촬영할 수 있도록 조명광(551)을 제공할 수 있다.
본 실시예에서는 추가 촬영부(500) 및 추가 조명부(550)가 필름(10)의 상측에 구비되는 반사 검사의 형태를 예로 설명하지만, 추가 조명부(550)는 필름(10)의 하측에 구비되어 투과 검사의 형태로 구현될 수도 있다.
추가 촬영부(500) 및 추가 조명부(550)는 도시된 바와 같이 촬영부(100) 및 조명부(150)보다 전방에 마련되거나, 또는 후방에 마련될 수 있다.
본 실시예에 따른 추가 촬영부(500) 및 추가 조명부(550)는 고정되어 이동하지 않기 때문에, 추가 촬영부(500) 및 추가 조명부(550)를 이동시키기 위한 구동부의 구성은 생략될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 필름(10)의 폭 방향으로 이동하면서 필름(10)을 촬영하는 촬영부(100)와, 고정된 상태에서 필름(10)을 촬영하는 추가 촬영부(500)가 마련되어 필름(10)을 촬영하기 때문에, 필름(10)에 있는 결함이 필름(10)의 어느 방향으로 형성되는 지 등에 제약을 받지 않고, 더욱 정확하게 결함을 검사할 수 있다. 예를 들어, 어느 하나의 촬영부에서 촬영된 영상이 왜곡된 정보를 가지더라도 다른 촬영부에서 촬영된 영상을 참고하여 두 촬영 영상을 비교함으로써 결함을 정확하게 검사할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 롤투롤 필름 검사 방법에 대해서 설명한다.
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 롤투롤 필름 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 9에서 보는 바와 같이, 롤투롤 필름 검사 방법은 카메라 이동단계(S610) 그리고 촬영단계(S620)를 포함할 수 있다.
카메라 이동단계(S610)는 제1방향으로 이송되는 필름의 상측에 구비되는 촬영부가 필름을 가로지르도록, 구동부가 촬영부를 제1방향에 교차하는 제2방향으로 왕복 이동시키는 단계일 수 있다.
카메라 이동단계(S610)에서, 구동부는 촬영부를 필름의 일측의 이동시작위치에서 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동시키고, 다시, 이동정지위치에서 이동시작위치로 복귀이동시킬 수 있다.
촬영단계(S620)는 촬영부가 구동부에 의해 이동하면서 필름을 촬영하는 단계일 수 있다.
그리고, 롤투롤 필름 검사 방법은 제1신호발생단계(S630) 및 제2신호발생단계(S640)를 포함할 수 있다.
제1신호발생단계(S630)는 제1인코더부가 제1방향으로 이송되는 필름의 이송속도에 대응하는 제1펄스 신호를 출력하는 단계일 수 있다.
카메라 이동단계(S610)에서, 구동부는 제1펄스 신호의 제1펄스 주파수에 비례하여 촬영부의 이송속도를 증감시킬 수 있다. 즉, 필름의 이송속도가 증가하여 제1펄스 주파수가 커지게 되면 구동부는 촬영부의 이송속도를 증가시킬 수 있다. 그리고, 필름의 이송속도가 감소하여 제1펄스 주파수가 작아지게 되면 구동부는 촬영부의 이송속도를 감소시킬 수 있다.
구동부는 촬영부가 이동시작위치에 위치되는 시점에서 제1인코더부가 출력하는 제1펄스 주파수에 대응되도록 미리 매칭된 이동속도로 촬영부를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 촬영부는 매칭된 이동속도로 순행이동 및 복귀이동할 수 있다.
또는, 구동부는 제1인코더부가 실시간으로 출력하는 제1펄스 주파수에 대응되도록 미리 매칭된 이동속도로 촬영부를 이동시킬 수도 있다. 이 경우, 촬영부는 실시간으로 매칭되는 이동속도록 순행이동 및 복귀이동할 수 있다.
제2신호발생단계(S640)는 제2인코더부가 촬영부의 이동속도에 대응하는 제2펄스 신호를 출력하는 단계일 수 있다.
제2신호발생단계(S640)에서, 촬영부는, 필름의 일측의 이동시작위치에서 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동 시에는 제2인코더부로부터 제2펄스 신호를 입력받고, 이동정지위치에서 이동시작위치로 복귀이동 시에는 제2인코더부로부터 제2펄스 신호를 입력받지 않을 수 있다.
촬영단계(S620)에서, 촬영부는 제2펄스 신호의 제2펄스 주파수에 비례하여 촬영속도를 증감할 수 있다. 즉, 촬영부의 이동속도가 빨라지면 촬영속도도 빨라질 수 있고, 촬영부의 이동속도가 느려지면 촬영속도도 느려질 수 있다. 이를 통해, 획득되는 영상의 왜곡이 최소화될 수 있다.
한편, 촬영부의 기본촬영면적은 제1방향을 기준으로 제1촬영거리를 가질 수 있다. 구동부는 촬영부가 이동시작위치에서 이동정지위치로 순행이동한 후, 다시 이동정지위치에서 이동시작위치로 복귀이동이 완료되었을 때, 촬영부가 제1촬영거리 이내에 위치되도록 할 수 있다.
이에 따라 촬영부가 다시 순행이동하면서 촬영하게 되는 촬영영역은 이전 촬영영역과 일부분이 겹쳐지게 될 수 있고, 이를 통해 획득되는 영상의 누락이 방지될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 필름
100: 촬영부
150: 조명부
200: 구동부
300: 제1인코더부
310: 제1펄스 신호
400: 제2인코더부
500: 추가 촬영부
550: 추가 조명부

Claims (11)

  1. 제1방향으로 이송되는 필름의 상측에 구비되고 상기 필름을 촬영하는 촬영부; 그리고
    상기 필름을 가로지르도록 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 상기 촬영부를 왕복 이동시키는 구동부를 포함하는 롤투롤 필름 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1방향으로 이송되는 필름의 이송속도에 대응하는 제1펄스 신호를 출력하는 제1인코더부; 그리고
    상기 촬영부의 이동속도에 대응하는 제2펄스 신호를 출력하는 제2인코더부를 포함하고,
    상기 구동부는 상기 제1펄스 신호의 제1펄스 주파수에 비례하여 상기 촬영부의 이동속도를 증감시키고,
    상기 촬영부는 상기 제2펄스 신호의 제2펄스 주파수에 비례하여 촬영속도를 증감하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 촬영부는,
    상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받고,
    상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받지 않는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 촬영부의 기본촬영면적은 상기 제1방향을 기준으로 제1촬영거리를 가지고,
    상기 구동부는 상기 촬영부가 상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동한 후, 다시 상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동이 완료되었을 때, 상기 제1촬영거리 이내에 위치되도록 하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1방향을 따라 상기 촬영부와 이격되게 상기 필름의 상측에 구비되고, 고정된 상태에서 이송되는 상기 필름을 촬영하는 추가 촬영부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 장치.
  6. 제1방향으로 이송되는 필름의 상측에 구비되는 촬영부가 상기 필름을 가로지르도록, 구동부가 상기 촬영부를 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 왕복 이동시키는 카메라 이동단계: 그리고
    상기 촬영부가 상기 구동부에 의해 이동하면서 상기 필름을 촬영하는 촬영단계를 포함하는 롤투롤 필름 검사 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    제1인코더부가 상기 제1방향으로 이송되는 필름의 이송속도에 대응하는 제1펄스 신호를 출력하는 제1신호발생단계; 그리고
    제2인코더부가 상기 촬영부의 이동속도에 대응하는 제2펄스 신호를 출력하는 제2신호발생단계를 포함하고,
    상기 카메라 이동단계에서, 상기 구동부는 상기 제1펄스 신호의 제1펄스 주파수에 비례하여 상기 촬영부의 이송속도를 증감시키고,
    상기 촬영단계에서, 상기 촬영부는 상기 제2펄스 신호의 제2펄스 주파수에 비례하여 촬영속도를 증감하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 촬영부는,
    상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받고,
    상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동 시에는 상기 제2인코더부로부터 상기 제2펄스 신호를 입력받지 않는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 촬영부가 상기 필름의 일측의 이동시작위치에 위치되는 시점에서 상기 제1인코더부가 출력하는 상기 제1펄스 주파수에 대응되도록 미리 매칭된 이동속도로 상기 촬영부를 이동시키는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 제1인코더부가 실시간으로 출력하는 상기 제1펄스 주파수에 대응되도록 미리 매칭된 이동속도로 상기 촬영부를 이동시키는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 방법.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 촬영부의 기본촬영면적은 상기 제1방향을 기준으로 제1촬영거리를 가지고,
    상기 구동부는 상기 촬영부가 상기 필름의 일측의 이동시작위치에서 상기 필름의 타측의 이동정지위치로 순행이동한 후, 다시 상기 이동정지위치에서 상기 이동시작위치로 복귀이동이 완료되었을 때, 상기 제1촬영거리 이내에 위치되도록 하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 검사 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (5)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR20110026920A (ko) 2009-09-09 2011-03-16 주식회사 매크론 시트의 결함 검사 장치 및 방법
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KR101377166B1 (ko) * 2012-08-20 2014-03-26 에스 알 씨 주식회사 근적외선을 이용한 투과성 박막 검사방법 및 검사장치
KR101490084B1 (ko) * 2014-08-21 2015-02-12 주식회사 에이치비테크놀러지 스테이지 이동속도를 재설정하는 비젼 검사 시스템 및 그 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030077090A (ko) * 2002-03-25 2003-10-01 주식회사 수텍 생산품 표면의 불량상태 검사시스템
KR20110026920A (ko) 2009-09-09 2011-03-16 주식회사 매크론 시트의 결함 검사 장치 및 방법
JP2012189482A (ja) * 2011-03-11 2012-10-04 Toppan Printing Co Ltd 枚葉フィルム検査装置
KR101377166B1 (ko) * 2012-08-20 2014-03-26 에스 알 씨 주식회사 근적외선을 이용한 투과성 박막 검사방법 및 검사장치
KR101490084B1 (ko) * 2014-08-21 2015-02-12 주식회사 에이치비테크놀러지 스테이지 이동속도를 재설정하는 비젼 검사 시스템 및 그 방법

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