KR20200094880A - Flexible instrument - Google Patents

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KR20200094880A KR1020190012027A KR20190012027A KR20200094880A KR 20200094880 A KR20200094880 A KR 20200094880A KR 1020190012027 A KR1020190012027 A KR 1020190012027A KR 20190012027 A KR20190012027 A KR 20190012027A KR 20200094880 A KR20200094880 A KR 20200094880A
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Abstract

The present invention relates to a flexible instrument. According to the present invention, the flexible instrument comprises: a base; a first sheet body isolated from the base and moved in position relative to the base in a first axial direction; a plurality of flexible units installed in the form of a bridge between the base and the first sheet body, each first flexible unit having elasticity in the first axial direction; a crossbeam installed on the base and isolated from the first sheet body; and a second sheet body which is installed to slide on the crossbeam and moves its position relative to the crossbeam in a second axial direction.

Description

가요성 기구 {FLEXIBLE INSTRUMENT}FLEXIBLE INSTRUMENT {FLEXIBLE INSTRUMENT}

본 발명은 운동 플랫폼에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가요성 기구에 관한 것이며, 단행정(short stroke) 정밀 위치고정 플랫폼에 응용하여 운동 정밀도 및 반응 속도를 향상시키는데 사용된다.The present invention relates to a movement platform, and more particularly, to a flexible mechanism, and is used to improve the movement precision and reaction speed by applying to a short stroke precision positioning platform.

반도체 나노 사이즈 기술이 발전함에 따라 반도체 설비 업체들은 정밀도가 높고 반응속도가 빠른 설비를 연구 및 개발하는데 주력하고 있다. 그 중 검출 설비 구성 유닛인 운동 플랫폼은 운동 속도가 빠르기는 하나 관성 작용 때문에 운동 중인 물체를 초단시간 내에 정확한 위치에 정지 시키기가 어렵다. 또한 통상적으로 물체의 운동 속도가 빠를수록 완전히 정지하기 전에 흔들림 정도가 커지기 때문에 상대적으로 필요한 세팅 시간도 길어져 정확한 위치에 빠르게 고정 시키기가 어렵다.With the development of semiconductor nano-sized technology, semiconductor equipment makers are focusing on research and development of equipment with high precision and fast reaction speed. Among them, the movement platform, which is a unit of detection equipment, has a high movement speed, but it is difficult to stop a moving object at an accurate position within a very short time due to its inertial action. In addition, as the movement speed of the object increases, the degree of shaking increases before it stops completely, so the required setting time is relatively long, making it difficult to quickly fix the object at the correct position.

종래기술에서는 운동하는 물체가 관성 때문에 세팅하기 어려운 문제를 해결하기 위하여, 가요성 기구로 위치 이동 후 발생하는 운동 오차를 보정함으로써 세팅 시간을 줄이고 정밀도를 높였다. 종래기술에서는 운동 물체의 운동 위치 오차를 보정하여 가요성 기구의 자체적인 정확도를 확보하였으나, 종래기술의 가요성 기구는 가요성을 제공하는 각 구성 부위를 일체형으로 성형하기 때문에 가요성 기구를 제조할 때 난이도가 높고 국부적인 가요성 구성에 따른 탄성이 부족한 단점이 있다. 또한 수리할 때 가요성 기구가 일체형으로 성형되어 있어 분해한 후 교체해야 하므로 자원 활용도가 떨어진다.In the prior art, in order to solve a problem that is difficult to set due to the inertia of a moving object, the setting time is shortened and the precision is increased by correcting a motion error that occurs after a position movement with a flexible device. In the prior art, the accuracy of the flexible mechanism was secured by correcting the motion position error of the moving object. However, the flexible mechanism of the prior art is formed by integrally forming each component that provides flexibility. There is a disadvantage in that the difficulty is high and the elasticity is insufficient due to the local flexible configuration. Also, when repairing, the flexible mechanism is integrally molded and must be disassembled and replaced, resulting in poor resource utilization.

또한 종래의 운동 플랫폼은 작동할 때 모터를 통해 운동 플랫폼의 위치 이동에 필요한 동력을 제공하여 운동 플랫폼을 설치한 안내용 궤도에 올려놓아 왕복 위치 이동을 진행하도록 만든다. 여기에서 운동 플랫폼을 X축과 Y축 방향으로 이동시키며 2개의 축 방향이 다른 모터를 서로 스태킹(stacking)시키는데, 하방에 위치한 모터가 다른 모터의 중량을 견뎌야하기 때문에 작동 시 부하가 과중해 훼손될 수 있으며 이는 모터의 사용수명에 영향을 줄 수 있다.In addition, when the conventional exercise platform is operated, the motor provides the power required to move the position of the exercise platform and puts it on a guide track in which the exercise platform is installed to proceed with the reciprocating position. Here, the movement platform is moved in the X-axis and Y-axis directions, and the motors of two different axial directions are stacked with each other.Because the motor located below must withstand the weight of the other motor, the load will be excessive and damaged during operation. May affect the service life of the motor.

또한, 종래의 모터는 운동 플랫폼을 직접 구동시키기 위하여 통상적으로 밀려 움직이는 부재와 가까운 위치에 설치하는데, 종래의 모터는 운동 플랫폼 내부 깊숙한 곳에 설치되어 다른 부재에 의해 가려진다. 따라서 모터 작동으로 발생하는 열에너지가 차단되어 제대로 방출되지 않는 문제가 발생하며 이는 모터의 운전 효율에 영향을 줄 수 있다.In addition, the conventional motor is installed in a position close to a member that is generally pushed and moved in order to directly drive the movement platform, and the conventional motor is installed deep inside the movement platform and covered by another member. Therefore, the thermal energy generated by the motor operation is blocked and not properly discharged, which may affect the operation efficiency of the motor.

본 발명의 목적은 분리 가능한 복수개의 독립적인 가요성 유닛으로 구성되어 제조, 조립 가공 및 유지보수가 편리한 가요성 기구를 제안하는 데에 있다.An object of the present invention is to propose a flexible mechanism that is composed of a plurality of detachable independent flexible units and is convenient to manufacture, assemble, process, and maintain.

본 발명의 또 다른 목적은 가로보(cross beam)로 구동 유닛의 중량을 견디어 다른 구동 유닛이 과도한 중량 부하로 인해 손상되는 것을 방지할 수 있는 가요성 기구를 제안하는 데에 있다.Another object of the present invention is to provide a flexible mechanism capable of withstanding the weight of a drive unit with a cross beam and preventing other drive units from being damaged due to excessive weight load.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서 제안하는 가요성 기구는 베이스; 상기 베이스와 격리되고 제1 축방향 상에서 상기 베이스에 상대적으로 위치가 이동하는 제1 시트체; 상기 베이스와 상기 제1 시트체 사이에 브릿지 형태로 설치되고, 각 제1 가요성 유닛에 상기 제1 축방향 상의 탄성이 있는 복수개의 가요성 유닛; 상기 베이스 상에 설치되어 상기 제1 시트체와 격리되는 가로보; 상기 가로보 상에 미끄러지도록 설치되어 제2 축방향 상에서 상기 가로보에 상대적으로 위치가 이동하는 제2 시트체; 및 상기 제1 시트체와 상기 제2 시트체 사이에 브릿지 형태로 설치되고 각 상기 제2 가요성 유닛에 상기 제2 축방향 상의 탄성이 있는 복수개의 제2 가요성 유닛을 포함한다. In order to achieve the above object, the flexible mechanism proposed in the present invention includes a base; A first sheet body isolated from the base and moved in position relative to the base in a first axial direction; A plurality of flexible units installed in the form of a bridge between the base and the first sheet body, each first flexible unit having elasticity in the first axial direction; A crossbeam installed on the base and isolated from the first sheet body; A second sheet body that is installed to slide on the crossbeam and moves in position relative to the crossbeam in a second axial direction; And a plurality of second flexible units installed in the form of a bridge between the first sheet body and the second sheet body, each of the second flexible units having elasticity in the second axial direction.

상기 제1, 제2 가요성 유닛은 각각 제1, 제2 축방향 상에서 탄성을 제공하고, 상기 제1, 제2 가요성 유닛은 각각 그 구조적 설계로 인해 가요성을 가지며, 설치 방식 또는 각도 상의 변경을 통하여 다른 방향 상에서 탄성을 갖도록 만든다.The first and second flexible units provide elasticity in the first and second axial directions, respectively, and the first and second flexible units each have flexibility due to their structural design, and the installation method or angle Make it elastic in different directions through change.

구체적인 기술내용에 있어서, 각 상기 제1 가요성 유닛은 각각 상기 베이스 상에 고정된 제1 몸체부가 있고, 상기 제1 시트체에 연결되는 제2 몸체부는 상기 제1 몸체부와 격리되고, 제1 연성부는 상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부와 연결된다. 여기에서 상기 제1 몸체부에는 개구단이 있고, 상기 제1 연성부 및 상기 제2 몸체부는 상기 제1 몸체부 개구단 내에 위치하고, 상기 제1 연성부에 제1 결합부재, 제1 가요부재 및 2개의 제2 가요부재가 있고, 상기 제2 가요부재는 상기 제1 몸체부 개구단의 내측 벽면과 상기 제1 결합부재 사이에 각각 브릿지 형태로 연결된다. 이를 기반으로 각 상기 제1 가요성 유닛이 상기 제1 축방향 상의 탄성을 갖도록 만든다.In specific technical details, each of the first flexible units has a first body portion fixed on the base, and a second body portion connected to the first sheet body is isolated from the first body portion, and the first The flexible part is connected to the first body part and the second body part. Here, the first body portion has an open end, the first flexible portion and the second body portion are located within the first body portion open end, and the first coupling member, the first flexible member and the first flexible portion There are two second flexible members, and the second flexible members are connected in the form of a bridge between the inner wall surface of the opening end of the first body and the first coupling member. Based on this, each of the first flexible units is made to have elasticity in the first axial direction.

또한 각 상기 제2 가요성 유닛에는 각각 상기 제1 시트체 상에 고정되는 제3 몸체부가 있고, 상기 제2 시트체에 연결되는 제4 몸체부는 상기 제3 몸체부와 격리되고, 제2 연성부는 상기 제3 몸체부 및 상기 제4 몸체부에 연결된다. 여기에서 상기 제3 몸체부에 개구단이 있고, 상기 제2 연성부 및 상기 제4 몸체부는 상기 제3 몸체부 개구단 내에 위치하고, 상기 제2 연성부에 제3 결합부재, 제3 가요부재 및 2개의 제4 가요부재가 있고, 상기 제3 가요부재는 상기 제3 결합부재와 상기 제4 몸체부의 외측 벽면 사이에 브릿지 형태로 연결되고, 각 상기 제4 가요부재는 각각 상기 제3 몸체부 개구단의 내측 벽면과 상기 제3 결합부재 사이에 각각 브릿지 형태로 연결된다. 이를 기반으로 각 상기 제2 가요성 유닛이 상기 제2 축방향 상의 탄성을 갖도록 만든다.In addition, each of the second flexible units has a third body portion fixed on the first sheet body, respectively, a fourth body portion connected to the second sheet body is isolated from the third body portion, and the second flexible portion It is connected to the third body portion and the fourth body portion. Here, the third body portion has an open end, the second flexible portion and the fourth body portion are located within the third body portion opening end, and the third coupling member, the third flexible member, and the second flexible portion There are two fourth flexible members, the third flexible member is connected in the form of a bridge between the third coupling member and the outer wall surface of the fourth body part, and each of the fourth flexible members It is connected in the form of a bridge between the inner wall of the club and the third coupling member. Based on this, each of the second flexible units is made to have elasticity in the second axial direction.

가요성 기구가 장행정(long stroke)의 고속 이동을 한 후 정확한 위치에 빠르게 고정되도록 만들기 위하여, 가요성 기구에 상기 베이스와 상기 제1 시트체 사이에 설치되어 제1 시트체를 구동시키는 제1 구동 유닛; 및 상기 가로보와 상기 제2 시트체 사이에 설치되어 상기 제2 시트체를 구동시키는 제2 구동 유닛을 더 포함시킨다. 상기 부재의 조합을 통하여 제1, 제2 가요성 유닛을 각각 상기 제1, 제2 구동 유닛에 대응하여 매칭시키고, 위치 이동한 가요성 기구의 운동 오차를 보정함으로써 세팅 시간을 줄이고 생산효율을 향상시킨다.In order to make the flexible device quickly fixed in the correct position after high-speed movement of a long stroke, the first is installed between the base and the first sheet body in the flexible device to drive the first sheet body. Drive unit; And a second driving unit installed between the crossbeam and the second sheet body to drive the second sheet body. Through the combination of the members, the first and second flexible units are matched to correspond to the first and second driving units, respectively, and the motion error of the moved flexible device is corrected to reduce setting time and improve production efficiency. Let it.

또한, 제2 구동 유닛을 상기 가로보 상에 설치하여 가로보가 제2 구동 유닛의 중량을 견디도록 만듦으로써 제1 구동 유닛이 제2 구동 유닛의 중량을 견딜 필요가 없도록 하여 제1 구동 유닛이 과도한 중량 부하로 인해 손상되는 것을 방지하였다. 여기에서 가로보와 베이스 연결 방식으로 인해 제2 구동 유닛이 기타 부재에 의해 가려지지 않으므로 작동 시 발생하는 열에너지가 신속하게 방출되며, 제2 구동 유닛에 더욱 효과적인 열 방출 경로를 제공하기 때문에 열에너지가 제2 구동 유닛의 작업효과에 미치는 영향을 줄일 수 있다. 상세하게는, 상기 가로보에는 상기 베이스 상방에 위치하는 보 몸체, 및 각각 상기 보 몸체 양단에서 연장되어 상기 베이스까지 연결되는 2개의 연결부가 있으며, 상기 제1 시트체는 상기 보 몸체 및 상기 베이스 사이에 위치한다.In addition, by installing a second drive unit on the crossbeam to make the crossbeam withstand the weight of the second drive unit, the first drive unit does not have to bear the weight of the second drive unit. It was prevented from being damaged by the load. Here, since the second drive unit is not covered by other members due to the crossbeam and the base connection method, heat energy generated during operation is rapidly released, and since it provides a more effective heat dissipation path to the second drive unit, the heat energy is second The influence on the working effect of the drive unit can be reduced. In detail, the crossbeam has a beam body positioned above the base, and two connecting parts extending from both ends of the beam body and connected to the base, and the first seat body is between the beam body and the base. Located.

여기에서, 가요성 기구 작동 시 각 부재 간의 간섭이 발생하는 것을 방지하기 위하여, 각 고정부와 상기 제2 구동 유닛 사이에 틈새를 두어 상기 제1 구동 유닛이 상기 제1 시트체 및 그 연결된 부재를 작동시킬 때의 마진(margin)을 확보함으로써 동작이 순조롭고 서로 간섭이 일어나지 않도록 한다.Here, in order to prevent interference between the members when operating the flexible mechanism, a gap is provided between each fixing part and the second driving unit so that the first driving unit connects the first seat body and the connected member. By securing a margin when operating, the operation is smooth and there is no interference with each other.

본 발명의 가요성 기구는 분리 가능한 복수개의 독립적인 가요성 유닛으로 구성되어 제조, 조립 가공 및 유지보수가 편리하고; 가로보(cross beam)로 구동 유닛의 중량을 견디어 다른 구동 유닛이 과도한 중량 부하로 인해 손상되는 것을 방지할 수 있다.The flexible mechanism of the present invention is composed of a plurality of detachable independent flexible units, so that manufacturing, assembly processing and maintenance are convenient; By withstanding the weight of the drive unit with a cross beam, it is possible to prevent other drive units from being damaged due to excessive weight load.

도 1은 본 발명에 있어서 실시예 1의 조합 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 있어서 도 1에서 도시하는 제2 시트체를 숨긴 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1에 있어서 도 1에서 도시하는 가로보 및 제2 가요성 유닛을 숨긴 사시도이다.
도 4는 본 발명에 있어서 실시예 1의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1에 있어서 제1 가요성 유닛의 조감도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 1에 있어서 제2 가요성 유닛의 조감도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 1에 있어서 도 1의 분해 작업도이고, 여기에서 제1 구동 유닛은 제1 시트체를 구동하고, 제1 시트체와 연결된 각 부재와 연동하여 제1 축방향 상에서 왕복 이동한다.
도 8은 본 발명의 실시예 1에 있어서 도 1을 다른 각도에서 도시한 분해 작업도이고, 여기에서 제2 구동 유닛은 제2 시트체를 구동하고, 동시에 제2 가요성 유닛에 매칭되어 제2 축방향 상에서 왕복 이동한다.1 is a perspective view of a combination of Example 1 in the present invention.
Fig. 2 is a perspective view showing the second sheet body shown in Fig. 1 hidden in the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view showing a crossbeam and a second flexible unit shown in FIG. 1 in the first embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view of Example 1 in the present invention.
5 is a bird's-eye view of the first flexible unit in Embodiment 1 of the present invention.
6 is a bird's-eye view of a second flexible unit in Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 7 is an exploded view of FIG. 1 in the first embodiment of the present invention, wherein the first drive unit drives the first sheet body and interlocks with each member connected to the first sheet body in the first axial direction. Reciprocate.
FIG. 8 is an exploded view showing FIG. 1 from a different angle according to the first embodiment of the present invention, wherein the second drive unit drives the second sheet body, and at the same time matches the second flexible unit to a second It reciprocates in the axial direction.

도 1 내지 8에서 도시하는 바와 같이, 본 발명의 실시예 1에서 제안하는 가요성 기구는 베이스(10); 상기 베이스(10)와 격리되고 제1 축방향 상에서 상기 베이스(10)에 상대적으로 위치가 이동하는 제1 시트체(20); 상기 베이스(10)와 상기 시트체(20) 사이에 브릿지 형태로 설치되고 각 제1 가요성 유닛(30)에 상기 제1 축방향 X 상의 탄성이 있고 상기 제1 시트체(20)의 이동 방향을 구속하는 데 사용되는 복수개의 가요성 유닛(30); 상기 베이스(10) 상에 설치되어 상기 제1 시트체(20)와 격리되는 가로보(40); 상기 가로보(40) 상에 미끄러지도록 설치되어 제2 축방향 Y 상에서 상기 가로보(40)에 상대적으로 위치가 이동하는 제2 시트체(50); 및 상기 제1 시트체(20)와 상기 제2 시트체(50) 사이에 브릿지 형태로 설치되고 각 상기 제2 가요성 유닛(60)에 상기 제2 축방향 Y 상의 탄성이 있는 복수개의 제2 가요성 유닛(60)을 포함한다. 본 실시예에 있어서, 제1 시트체(20) 및 제2 시트체(50)은 직사각형의 플랫폼 구조이고, 제1 가요성 유닛(30) 및 제2 가요성 유닛(60)의 수량은 각각 4개이고, 모듈화 방식으로 설계되어 제1 시트체(20) 및 제2 시트체(50)의 각 단부 모서리 위치 상에 대응하도록 탑재하며, 각 제1 가요성 유닛(30) 및 제2 가요성 유닛(60)은 모두 독립적으로 교체할 수 있다. 특정 하나의 가요성 유닛(30)이 피로 손상된 경우, 유지보수 작업자는 그것만 교체하면 되므로 전체 가요성 기구를 교체할 필요가 없어 가요성 기구의 유지보수 비용이 크게 줄어들 뿐만 아니라 유지보수, 조정에 따른 편의성이 향상된다.As shown in Figs. 1 to 8, the flexible mechanism proposed in Embodiment 1 of the present invention includes a base 10; A first sheet body (20) isolated from the base (10) and moving in a position relative to the base (10) in a first axial direction; It is installed in the form of a bridge between the base 10 and the seat body 20 and has elasticity in the first axial direction X in each of the first flexible units 30 and the movement direction of the first seat body 20 A plurality of flexible units 30 used to constrain them; A crossbeam (40) installed on the base (10) and isolated from the first sheet body (20); A second sheet body 50 which is installed to slide on the crossbeam 40 so as to move its position relative to the crossbeam 40 in the second axial direction Y; And a plurality of second sheets installed in the form of a bridge between the first sheet body 20 and the second sheet body 50 and having elasticity in the second axial direction Y in each of the second flexible units 60. And a flexible unit 60. In this embodiment, the first sheet body 20 and the second sheet body 50 have a rectangular platform structure, and the number of the first flexible unit 30 and the second flexible unit 60 is 4, respectively. It is designed in a modular, modular manner, and is mounted to correspond to each end edge position of the first sheet body 20 and the second sheet body 50, and each of the first flexible unit 30 and the second flexible unit ( All 60) can be replaced independently. When one specific flexible unit 30 is damaged by fatigue, the maintenance worker only needs to replace it, so there is no need to replace the entire flexible device, so the maintenance cost of the flexible device is greatly reduced, as well as maintenance and adjustment. Convenience is improved.

각 상기 제1 가요성 유닛(30)은 각각 상기 베이스(10) 상에 고정되는 제1 몸체부(31)가 있고, 상기 플랫폼(20)에 연결되는 제2 몸체부(32)는 상기 제1 몸체부(31)와 격리되고, 제1 연성부(33)는 상기 제1 몸체부(31) 및 제2 몸체부(32)와 연결된다. 도 5에서 도시하는 바와 같이 본 실시예에 있어서 상기 제1 몸체부(31)에는 개구단(311)이 있고, 상기 제1 연성부(33) 및 상기 제2 몸체부(32)는 상기 제1 몸체부(31) 개구단(311) 내에 위치하고, 상기 제1 연성부(33)에 제1 결합부재(331), 2개의 제1 가요부재(332) 및 2개의 제2 가요부재(333)가 있고, 상기 제1 가요부재(332)는 서로 격리되어 상기 제1 결합부재(331)와 상기 제2 몸체부(32)의 외측 벽면 사이에 브릿지 형태로 연결되고, 각 상기 제2 가요부재(333)는 각각 상기 제1 몸체부(31) 개구단(311)의 내측 벽면과 상기 제1 결합부재(331) 사이에 브릿지 형태로 연결된다. 또한, 제1 가요부재(332) 및 제2 가요부재(333)의 상대적인 위치, 수량, 형상 또는 구조는 상기에서 공개한 실시예에 국한되지 않으며 실제 상황에 따라 변경할 수 있다.Each of the first flexible units 30 has a first body portion 31 fixed on the base 10, and a second body portion 32 connected to the platform 20 is the first It is isolated from the body portion 31, and the first flexible portion 33 is connected to the first body portion 31 and the second body portion 32. 5, in this embodiment, the first body portion 31 has an open end 311, and the first flexible portion 33 and the second body portion 32 are the first The body part 31 is located within the open end 311, and the first flexible part 33 has a first coupling member 331, two first flexible members 332 and two second flexible members 333 The first flexible member 332 is isolated from each other and is connected in the form of a bridge between the first coupling member 331 and the outer wall surface of the second body 32, and each of the second flexible members 333 ) Are respectively connected in the form of a bridge between the inner wall surface of the opening end 311 of the first body 31 and the first coupling member 331. Further, the relative position, quantity, shape, or structure of the first flexible member 332 and the second flexible member 333 is not limited to the disclosed embodiments and may be changed according to actual circumstances.

또한 각 상기 제2 가요성 유닛(60)에 있는 제3 몸체부(61), 제4 몸체부(62) 및 제2 연성부(63)는 제1 가요성 유닛(30)의 부재와 동일하며, 상기 제2 연성부(63)에 있는 제3 결합부재(631), 제3 가요부재(632) 및 제4 가요부재(633)도 제1 연성부(33)의 부재와 동일하며(도 6에서 도시하는 바와 같음), 그 차이는 제3 몸체부(61)가 제1 시트체(20) 상에 연결되고 제4 몸체부(62)가 제2 시트체(50)에 연결된다는 것뿐이다.In addition, the third body portion 61, the fourth body portion 62, and the second flexible portion 63 in each of the second flexible units 60 are the same as the members of the first flexible unit 30, , The third coupling member 631, the third flexible member 632 and the fourth flexible member 633 in the second flexible part 63 are also the same as the members of the first flexible part 33 (FIG. 6 As shown in), the only difference is that the third body portion 61 is connected on the first sheet body 20 and the fourth body portion 62 is connected to the second sheet body 50.

가요성 기구가 장행정의 고속 이동을 한 후 정확한 위치에 빠르게 고정되도록 만들기 위하여, 가요성 기구에 상기 베이스(10)와 상기 제1 시트체(20) 사이에 설치되어 상기 제1 시트체(20)를 구동시키는 제1 구동 유닛(70); 및 상기 가로보(40)와 상기 제2 시트체(50) 사이에 설치되어 상기 제2 시트체(50)를 구동시키는 제2 구동 유닛(80)을 더 포함시킨다. 상기 부재의 조합을 통하여 제1 가요성 유닛(30), 제2 가요성 유닛(60)을 각각 상기 제1 구동 유닛(70), 제2 구동 유닛(80)에 대응하여 매칭시키고, 위치 이동한 가요성 기구의 운동 오차를 보정함으로써 세팅 시간을 줄이고 생산효율을 향상시킨다.In order to make the flexible device fast fixed to the correct position after high-speed movement of the long stroke, the first sheet body 20 is installed between the base 10 and the first sheet body 20 on the flexible device. ) A first driving unit 70 for driving; And a second driving unit 80 installed between the crossbeam 40 and the second sheet body 50 to drive the second sheet body 50. The first flexible unit 30 and the second flexible unit 60 are matched in correspondence with the first and second driving units 70 and 80 respectively through the combination of the members, and the position is moved. It reduces setting time and improves production efficiency by correcting the motion error of the flexible device.

제1 구동 유닛(70)은 베이스(10) 상에 설치되는 제1 고정자(71) 및 제1 시트체(20)에 설치되어 상기 베이스(10)의 일단면 상에 이웃하는 제1 회전자(72)가 있고, 상기 제1 회전자(72)는 이웃하는 제1 고정자(71) 사이에서 발생하는 자기장 작용을 받아 상기 제1 시트체(20)가 상기 제1 축방향 X를 따라 왕복 운동하도록 만든다. 또한 제2 구동 유닛(80)에 있는 제2 고정자(81) 및 제2 회전자(82)은 상기 제1 구동 유닛(70)의 부재와 동일하게 상기 제2 시트체(50)가 상기 제2 축방향 Y를 따라 왕복 운동하도록 만든다. 본 실시예에 있어서, 제1 시트체(20)에는 상기 제1 회전자(72)를 수용하는 제1 오목홈(21)이 있고, 제2 시트체(50)에는 상기 제2 회전자(82)를 수용하는 제2 오목홈(52)이 있다. 여기에서 제1 오목홈(21) 및 제2 오목홈(52)의 수량은 각각 제1 회전자(72) 및 제2 회전자(82)에 대응하여 탑재된다.The first driving unit 70 is installed on the first stator 71 installed on the base 10 and the first sheet body 20 to be adjacent to one end of the base 10 ( 72), and the first rotor 72 receives a magnetic field action generated between neighboring first stators 71 so that the first seat body 20 reciprocates along the first axial direction X. Make In addition, the second stator 81 and the second rotor 82 in the second drive unit 80 are the same as the members of the first drive unit 70, the second seat body 50 is the second Make it reciprocate along axial Y. In this embodiment, the first seat body 20 has a first concave groove 21 accommodating the first rotor 72, and the second seat body 50 has the second rotor 82 There is a second concave groove 52 to accommodate ). Here, the quantity of the first concave groove 21 and the second concave groove 52 is mounted corresponding to the first rotor 72 and the second rotor 82, respectively.

또한, 제2 구동 유닛(80)을 상기 가로보(40) 상에 조립 설치하여 제2 고정자(81)의 중량을 견디기 때문에, 제1 구동 유닛(70)이 제2 회전자(82)의 중량을 견딜 필요가 없어 제1 구동 유닛(70)이 과도한 중량 부하로 손상되는 것을 방지하였다. 여기에서 가로보(40)와 베이스(10) 연결 방식으로 인해 제2 구동 유닛(80)이 기타 부재에 의해 가려지지 않으므로 작동 시 발생하는 열에너지가 신속하게 방출되며, 제2 구동 유닛(80)에 더욱 효과적인 열 방출 경로를 제공하기 때문에 열에너지가 제2 구동 유닛(80)의 작업효과에 미치는 영향을 줄일 수 있다. 상세하게는, 상기 가로보(40)에는 상기 베이스(10) 상방에 위치하는 보 몸체(41), 및 각각 상기 보 몸체(41) 양단에서 연장되어 상기 베이스(10)까지 연결되는 2개의 연결부(42)가 있으며, 상기 제1 시트체(20)는 상기 보 몸체(41) 및 상기 베이스(10) 사이에 위치한다. 여기에서 제2 구동 유닛(80)의 제2 고정자(81)는 보 몸체(41) 상에 설치된다.In addition, since the second driving unit 80 is assembled and installed on the crossbeam 40 to withstand the weight of the second stator 81, the first driving unit 70 can reduce the weight of the second rotor 82 Since there is no need to endure, the first drive unit 70 is prevented from being damaged by an excessive weight load. Here, due to the connection method of the crossbeam 40 and the base 10, since the second drive unit 80 is not covered by other members, heat energy generated during operation is rapidly released, and the second drive unit 80 Since an effective heat dissipation path is provided, the effect of thermal energy on the working effect of the second drive unit 80 can be reduced. Specifically, the crossbeam 40 has a beam body 41 positioned above the base 10, and two connecting portions 42 extending from both ends of the beam body 41 and connected to the base 10, respectively. ), and the first sheet body 20 is located between the beam body 41 and the base 10. Here, the second stator 81 of the second driving unit 80 is installed on the beam body 41.

본 실시예에 있어서, 제1 시트체(20) 또는 제2 시트체(50)를 중공이 있는 구조로 설계하여 중량을 대폭 줄일 수 있으며, 이를 통하여 강성을 갖추면서도 원가를 절감하고자 하는 수요를 충족시켰다. 또한 제1 구동 유닛(70)의 중량 부하를 더욱 줄임으로써 제1 구동 유닛(70)의 작동으로 인해 발생하는 열에너지를 더욱 감소시켰다.In this embodiment, the weight can be significantly reduced by designing the first sheet body 20 or the second sheet body 50 in a hollow structure, thereby satisfying the demand to reduce cost while having rigidity. Made it. In addition, by further reducing the weight load of the first drive unit 70, heat energy generated by the operation of the first drive unit 70 is further reduced.

또한, 상기 제2 시트체(50)의 바닥면에 복수개의 고정부(51)가 있으며, 각 상기 제2 가요성 유닛(60)의 제4 몸체부(62)와 각각 연결된다. 본 실시예에 있어서, 제2 시트체(50)의 각 단부 모서리 위치 상에 고정부(51)를 설치하여, 상기 제2 시트체(50)의 바닥면과 상기 고정부(51)가 상기 제2 구동 유닛(80)을 수용하는 공간이 되도록 한다.In addition, there are a plurality of fixing portions 51 on the bottom surface of the second seat body 50, and are respectively connected to the fourth body portion 62 of the second flexible unit 60. In this embodiment, by installing the fixing portion 51 on each end edge position of the second sheet body 50, the bottom surface of the second sheet body 50 and the fixing portion 51 2 Make it a space for accommodating the drive unit 80.

여기에서 가요성 기구 작동 시 각 부재 간의 간섭이 발생하는 것을 방지하기 위하여, 각 고정부(51)와 상기 제2 구동 유닛(80) 사이에 틈새(W)를 두어 상기 제1 구동 유닛(70)이 상기 제1 시트체(20) 및 그 연결된 부재를 작동시킬 때의 마진을 확보함으로써 동작이 순조롭고 서로 간섭이 일어나지 않도록 한다.Here, in order to prevent interference between the members when operating the flexible mechanism, a gap W is provided between each fixing part 51 and the second driving unit 80 so that the first driving unit 70 By securing a margin when operating the first sheet body 20 and its connected members, the operation is smooth and interference does not occur.

Claims (10)

베이스;
상기 베이스와 격리되고, 제1 축방향 상에서 상기 베이스에 상대적으로 위치가 이동하는 제1 시트체;
상기 베이스와 상기 제1 시트체 사이에 브릿지 형태로 설치되고, 각 제1 가요성 유닛에 상기 제1 축방향 상의 탄성이 있는 복수개의 제1 가요성 유닛;
상기 베이스 상에 설치되어 상기 제1 시트체와 격리되는 가로보;
상기 가로보 상에 미끄러지도록 설치되어 제2 축방향 상에서 상기 가로보에 상대적으로 위치가 이동하는 제2 시트체; 및
상기 제1 시트체와 상기 제2 시트체 사이에 브릿지 형태로 설치되고, 각 상기 제2 가요성 유닛에 상기 제2 축방향 상의 탄성이 있는 복수개의 제2 가요성 유닛;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.Base;
A first sheet body isolated from the base and moved in position relative to the base in a first axial direction;
A plurality of first flexible units installed in the form of a bridge between the base and the first sheet body and having elasticity in the first axial direction in each of the first flexible units;
A crossbeam installed on the base and isolated from the first sheet body;
A second sheet body that is installed to slide on the crossbeam and moves in position relative to the crossbeam in a second axial direction; And
A plurality of second flexible units installed in the form of a bridge between the first sheet body and the second sheet body, each of the second flexible units having elasticity in the second axial direction;
Flexible device comprising a. 제1항에 있어서,
상기 가로보에는 상기 베이스 상방에 위치하는 보 몸체, 및 각각 상기 보 몸체 양단에서 연장되어 상기 베이스까지 연결되는 2개의 연결부가 있으며, 상기 제1 시트체는 상기 보 몸체 및 상기 베이스 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.The method of claim 1,
The crossbeam has a beam body positioned above the base, and two connecting portions extending from both ends of the beam body and connected to the base, and the first seat body is located between the beam body and the base. Flexible mechanism. 제2항에 있어서,
각 상기 제1 가요성 유닛은 각각 상기 베이스 상에 고정된 제1 몸체부가 있고, 상기 제1 시트체에 연결되는 제2 몸체부는 상기 제1 몸체부와 격리되고, 제1 연성부는 상기 제1 몸체부 및 상기 제2 몸체부와 연결되는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.According to claim 2,
Each of the first flexible units has a first body portion fixed on the base, and a second body portion connected to the first sheet body is isolated from the first body portion, and the first flexible portion is the first body portion. A flexible device, characterized in that connected to the portion and the second body portion. 제3항에 있어서,
각 상기 제2 가요성 유닛에는 각각 상기 제1 시트체 상에 고정되는 제3 몸체부가 있고, 상기 제2 시트체에 연결되는 제4 몸체부는 상기 제3 몸체부와 격리되고, 제2 연성부는 상기 제3 몸체부 및 상기 제4 몸체부에 연결되는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.The method of claim 3,
Each of the second flexible units has a third body portion fixed on the first sheet body, respectively, a fourth body portion connected to the second sheet body is isolated from the third body portion, and the second flexible portion A flexible device, characterized in that connected to the third body portion and the fourth body portion. 제4항에 있어서,
상기 제1 몸체부에는 개구단이 있고, 상기 제1 연성부 및 상기 제2 몸체부는 상기 제1 몸체부 개구단 내에 위치하고, 상기 제1 연성부에 제1 결합부재, 제1 가요부재 및 2개의 제2 가요부재가 있고, 상기 제1 가요부재는 상기 제1 결합부재와 상기 제2 몸체부의 외측 벽면 사이에 브릿지 형태로 연결되고, 각 상기 제2 가요부재는 각각 상기 제1 몸체부 개구단의 내측 벽면과 상기 제1 결합부재 사이에 브릿지 형태로 연결되는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.According to claim 4,
The first body portion has an open end, the first flexible portion and the second body portion are located within the first body portion open end, and the first coupling member, a first flexible member and two There is a second flexible member, the first flexible member is connected in the form of a bridge between the first coupling member and the outer wall surface of the second body portion, and each of the second flexible members is at the opening end of the first body portion. A flexible device, characterized in that it is connected in the form of a bridge between the inner wall surface and the first coupling member. 제5항에 있어서,
상기 제3 몸체부에 개구단이 있고, 상기 제2 연성부 및 상기 제4 몸체부는 상기 제3 몸체부 개구단 내에 위치하고, 상기 제2 연성부에 제3 결합부재, 제3 가요부재 및 2개의 제4 가요부재가 있고, 상기 제3 가요부재는 상기 제3 결합부재와 상기 제4 몸체부의 외측 벽면 사이에 브릿지 형태로 연결되고, 각 상기 제4 가요부재는 각각 상기 제3 몸체부 개구단의 내측 벽면과 상기 제3 결합부재 사이에 브릿지 형태로 연결되는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.The method of claim 5,
The third body portion has an open end, the second flexible portion and the fourth body portion are located within the third body portion open end, and the second flexible portion has a third coupling member, a third flexible member and two There is a fourth flexible member, and the third flexible member is connected in the form of a bridge between the third coupling member and the outer wall surface of the fourth body part, and each of the fourth flexible members is at the opening end of the third body part. A flexible device, characterized in that it is connected in the form of a bridge between the inner wall surface and the third coupling member. 제6항에 있어서,
상기 제2 시트체의 바닥면에 복수개의 고정부가 있으며, 각 상기 제2 가요성 유닛의 제4 몸체부와 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.The method of claim 6,
A flexible device, characterized in that there are a plurality of fixing portions on the bottom surface of the second sheet body, and are respectively connected to the fourth body portions of the second flexible units. 제7항에 있어서,
상기 베이스와 상기 제1 시트체 사이에 설치되어 상기 제1 시트체를 구동시키는데 사용되는 제1 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.The method of claim 7,
And a first driving unit installed between the base and the first sheet body and used to drive the first sheet body. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가로보와 상기 제2 시트체 사이에 설치되어 상기 제2 시트체를 구동시키는데 사용되는 제2 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.The method according to any one of claims 1 to 8,
And a second drive unit installed between the crossbeam and the second seat body and used to drive the second seat body. 제9항에 있어서,
각 상기 고정부와 상기 제2 구동 유닛 사이에 틈새가 있는 것을 특징으로 하는 가요성 기구.The method of claim 9,
A flexible mechanism, characterized in that there is a gap between each of the fixing portions and the second drive unit.
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