KR20200086071A

KR20200086071A - 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템

Info

Publication number: KR20200086071A
Application number: KR1020190002232A
Authority: KR
Inventors: 이효길
Original assignee: 이효길
Priority date: 2019-01-08
Filing date: 2019-01-08
Publication date: 2020-07-16
Also published as: KR102194573B1

Abstract

본 발명은, 진공척에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압을 이용하여 공정대상물을 고정하는 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고, 진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되며, 상기 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 상기 결합홀(141)과 연결되도록 형성되며, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 상기 폐곡선이 상기 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하는 메인오링(190)이 상기 제1그리드홈라인(110) 및 상기 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈을 개시한다.

Description

진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템 {Vacuum chuck and processing system having the same}

본 발명은, 진공척에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압을 이용하여 공정대상물을 고정하는 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템에 관한 것이다.

진공척이란, 진공압을 이용하여 가공대상물을 직접 또는 간접으로 고정하는 장치로서, 기계가공시 가공대상물의 고정하는 데 사용되는 등 공정시스템에 사용되고 있다.

한편 기계가공의 경우 알루미늄, 알루미늄합금, 스틸 등 금속 재질, 수지 등의 합성수지 재질 등 다양한 재질의 가공대상물에 대하여 드릴링, 밀링 등을 수행하게 되는데 기계가공시 가공대상물에 매우 큰 하중이 가해짐에 따라서 가공대상물의 고정에 대한 신뢰성의 한계로 진공척이 사용되는데 많은 제약이 있는 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해결하고자 진공척 모듈의 선행기술로서 특허문헌 1과 같이, 고정되는 가공대상물에 대한 흡착력의 향상을 위한 방안이 제공되고 있다.

그러나 특허문헌 1에 제시된 구조의 경우 그리드 홈에 삽입된 오링의 끝단을 본딩에 의하여 결합시킴에 따라 진공척 모듈의 준비가 번거로우며 오링에 도포된 본드가 진공척의 그리드 홈에 함께 도포되어 오링이 진공척에 고정되어 유지보수가 불편한 문제점이 있다.

(특허문헌 1) KR20-0412828 Y1

(특허문헌 2) KR10-1472503 B

(특허문헌 3) KR10-1472503 B

(특허문헌 4) KR10-0629994 B

본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 상면에 형성된 그리드홈의 형성에 있어서 오링의 양단이 면접하여 삽입되는 오링연결돌기를 형성함으로써 진공척 모듈의 준비작업이 용이하며, 공정대상물의 고정을 위한 흡착력을 크게 향상시킬 수 있는 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템을 제공하는데 있다.

본 발명은, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고, 진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되며, 상기 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 상기 결합홀(141)과 연결되도록 형성되며, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 상기 폐곡선이 상기 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하는 메인오링(190)이 상기 제1그리드홈라인(110) 및 상기 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈을 개시한다.

상기 본체(100)는, 상기 다수의 그리드 돌기(130)들 중 상기 제1방향(X) 또는 상기 제2방향(Y)으로 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제1그리드돌기(121)와, 상기 제1그리드돌기(121)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제2그리드돌기(122)를 포함하여, 상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 사이에서 하나 이상의 메인오링(190)의 양끝단이 서로 면접되는 오링결합돌기(121, 122)를 포함할 수 있다.

상기 본체(100)는, 상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 중 상기 본체(100)의 가장자리로부터 멀리 위치된 제2그리드돌기(122)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드돌기(120)가 연결되어 형성된 제3그리드돌기(123)을 포함하며, 상기 진공압형성공(142)은, 상기 제2그리드돌기(122) 및 상기 제3그리드돌기(123) 사이에 형성될 수 있다.

상기 진공척 모듈(1)은, 상기 복수의 제1그리드홈라인(110) 및 상기 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 양단이 상기 오링결합돌기(121, 122)에 삽입되는 하나 이상의 메인오링(190)에 의하여 형성되는 평면형상보다 큰 평면형상을 가지며 상기 하나 이상의 메인오링(190)에 접하는 저면을 구비하는 보조본체(1000)를 추가로 포함하며, 상기 보조본체(1000)는, 상기 보조본체(1000)의 상면에 제1방향(X)으로 형성된 복수의 제1그리드홈라인(1110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(1120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(1120)들이 형성되고, 상기 보조본체(1000)의 저면에 형성된 진공압이 상기 제1그리드홈라인(1110) 및 상기 제2그리드홈라인(1120)에 전달되도록 하나 이상의 진공압전달관통공(1220)이 상하로 관통형성되고, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 상기 폐곡선이 상기 진공압전달관통공(1220)을 포함하는 보조오링(1190)이 "상기 제1그리드홈라인(1110) 및 상기 제2그리드홈라인(1120)" 및 "상기 제1그리드홈라인(1110) 및 상기 제2그리드홈라인(1120)"와 별도로 형성된 보조오링삽입홈(1131)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정할 수 있다

상기 진공압형성공(142)은, 사용시 개방되고 비사용시 폐쇄부재(145)가 결합되어 폐쇄될 수 있다.

본 발명에 따른 진공척 모듈은, 진공압을 형성하는 진공압형성부(800)로부터 진공압을 상기 본체(100)에 전달하는 진공압 전달유로를 형성하는 공압전달조립체(501)를 포함할 수 있다.

상기 공압전달조립체(501)는, 상기 진공압 전달유로 중에 설치되며 양단에서 길이방향으로 형성되며 서로 격리된 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)가 형성되며, 상기 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 측면에서 관통되어 형성된 밸브본체(510)와, 상기 밸브본체(510)의 외주면이 내주면에 접하면서 상기 밸브본체(510)에 대하여 선형이동이 가능하도록 설치되며 선형이동에 의하여 상기 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행하는 슬라이드부재(520)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 밸브본체(510)는, 양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 내측으로 삽입되어 결합되거나, 타 유로형성부재의 끝단이 내측으로 삽입되어 결합될 수 있다.

상기 밸브본체(510)는, 양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 끝단의 내주면에 형성된 암나사부와 나사결합되도록 외주면에 수나사부가 형성될 수 있다.

상기 슬라이드부재(520)는, 선형이동에 의하여 상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 상호 연통 및 연통 해제되도록 내주면에 형성된 환상의 연통요홈(523)과, 상기 연통요홈(523)의 양단에 각각 오링(551, 552)이 설치되는 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)과, 상기 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)들 중 상기 제2관통공(512) 부근에 형성되어 선형이동에 의하여 상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 해제시 상기 제2관통공(512)과 연통되어 외부 공기가 상기 제2관통공(512)로 유입시키는 환상의 해제요홈(524)를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템은, 상면에 형성된 그리드홈의 형성에 있어서 오링의 양단이 면접하여 삽입되는 오링연결돌기를 형성함으로써 진공척 모듈의 준비작업이 용이하며, 공정대상물의 고정을 위한 흡착력을 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템은, 오링의 양단이 면접하여 삽입되는 오링연결돌기를 형성함에 있어서 다른 돌기에 비하여 상대적으로 긴 길이로 형성함으로써 오링의 양단의 면접을 안정적으로 유지하면서 오링설치에 따른 실링력을 크게 향상시킬 수 있다.

또한 본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템은, 진공압의 전달유로 중에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 진공슬라이드밸브를 추가로 포함함으로써 진공압 전달유로에 설치되어 간단한 조작에 의하여 양단 중 어느 일단에 대한 진공압을 해제할 수 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 공정시스템의 구성을 보여주는 개념도이다.
도 2a는, 도 1의 공정시스템의 진공척 모듈을 보여주는 사시도이며, 도 2b는, 도 2a에서 A부분을 확대한 확대도이다.
도 3은, 도 1의 진공척 모듈의 평면도이다.
도 4a는, 도 3에서 B-B 방향의 단면도이다.
도 4b는, 도 4a의 변형례로서 자석에 의하여 가공대상물을 고정하는 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 5는, 도 3에서 E 부분의 확대도이다
도 6a는, 도 1의 진공척 모듈에 메인오링이 설치된 예를 보여주는 평면도이다.
도 6b 및 도 6c는, 각각 도 6a의 진공척 모듈에 보조본체가 추가로 설치된 예를 보여주는 평면도 및 측면도이다.
도 7은, 도 6b의 보조본체의 변형례를 보여주는 평면도이다.
도 8a는, 도 1의 진공척 모듈의 본체의 변형례를 보여주는 평면도, 도 8b는, 도 8a의 본체의 우측면도, 도 8c는, 도 8a의 본체의 정면도, 도 8d는, 도 8a의 본체의 배면도, 도 8e는, 도 8a의 본체의 저면도, 도 8f는, 도 8a에서 D 부분을 보여주는 확대도, 도 8g는, 도 8f에서 F-F 방향의 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는, 각각 도 3에서 C-C방향의 단면도로서, 진공슬라이드밸브의 작동을 보여주는 단면도들이다.
도 10a 및 도 10b는, 각가 도 3에서 D-D방향의 단면도로서, 진공슬라이드밸브의 작동을 보여주는 단면도들이다.
도 11은, 도 10a의 변형도면으로서 커버부재에 의하여 밀폐된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 12은, 도 1의 진공척 모듈에서 공압전달관, 슬라이드 밸브의 조립 예들을 보여주는 평면도이다.
도 13는, 도 1의 진공척 모듈에서 2개의 공압전달관의 분기를 위한 조립 예를 보여주는 횡단면도이다.
도 14은, 도 9a 내지 도 12에 도시된 진공슬라이드밸브의 일예를 보여주는 사시도이다.
도 15는, 도 14의 진공슬라이드밸브를 보여주는 분해사시도이다.

이하 본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템, 그에 사용되는 진공슬라이드밸브에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 공정시스템은, 도 1에 도시된 바와 같이, 진공압에 의하여 가공대상물(2)이 직접 또는 간접으로 흡착고정하는 진공척 모듈(1)과, 진공척 모듈(1)에 미리 설정된 진공압을 제공하는 진공압 형성부(800)를 포함한다.

상기 진공압 형성부(800)는, 진공척 모듈(1)에 미리 설정된 진공압을 제공하는 구성으로서, 부압 즉 진공압을 형성할 수 있는 진공펌프이면 어떠한 펌프도 가능하다.

예로서, 상기 진공압 형성부(800)는, 가스이송식 진공펌프, 가스 포획식 진공펌프, 보다 구체적으로 용적이송식 진공펌프, 이젝터 진공펌프(특허문헌 3 및 4 참조)를 포함하는 동역학 진공펌프 등이 사용될 수 있다.

본 발명에 따른 진공척 모듈(1)은, 진공압 형성부(800)에 의하여 제공되는 진공압에 의하여 가공대상물(2)을 흡착 고정하는 구성으로서, 가공대상물(2)에 대한 고정을 요하는 장치이면 어떠한 장치도 가능하다.

예로서, 상기 진공척 모듈(1)은, 상면에 가공대상물(2)을 흡착고정한 상태에서 밀링머신, 드릴링머신, 연삭머신, 용접머신 등 기계가공을 수행하는 기계가공장치, 특히 자동으로 기계가공을 수행하는 CNC 머신 등에 적용될 수 있다.

또한 상기 진공척 모듈(1)은, 기계가공장치 이외에 코팅작업 등 진공압에 의하여 가공대상물을 흡착고정을 요하는 장치에는 모두 적용이 가능함은 물론이다.

상기 진공척 모듈(1)은, 진공압에 의하여 가공대상물(2)이 직접 또는 간접으로 흡착고정하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 진공척 모듈(1)은, 평판 형상을 가지며 상면에 진공흡착을 위한 본체(100)를 포함한다.

상기 본체(100)는, 상면에서 진공흡착을 위한 흡착면을 형성하는 평판 형상을 가지는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 본체(100)는, 금속재질의 평판플레이트로서, 후술하는 공압전달조립체(501)와 연결되어 공압전달조립체(501)에 의하여 전달된 진공압을 흡착면으로 전달하여 흡착면에서 진공압에 의하여 가공대상물(2)을 직접 또는 간접으로 흡착고정할 수 있다.

그리고 상기 본체(100)는, 도 1 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성될 수 있다.

상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)은, 본체(10)의 상면에 다수의 그리드 돌기(130)를 형성하는 구성으로서 다양한 방법 및 구조에 의하여 형성될 수 있다.

특히 상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)은, 도 1 내지 도 3, 도 6b에 도시된 바와 같이, 서로 직교하는 직교배치, 도 7에 도시된 바와 같이, 서로 경사를 이루어 교차하는 경사교차배치 등 다양한 방삭에 의하여 형성될 수 있다.

또한 상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 더하여 도 7에 도시된 바와 같이, 원형 등 폐곡선의 하나 이상의 그리드홈라인(150)이 추가로 형성될 수 있다.

상기 그리드홈라인(150)은, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)의 형성과 독립적 방식에 의하여 형성되는 홈라인으로서 후술하는 메인오링(190)의 설치 형상에 따라 다양한 형상 및 구조를 가질 수 있다.

여기서 상기 메인오링(190)은, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 설치되어 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 폐곡선이 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 메인오링(190)은, 미리 설정된 크기의 폐곡선으로 형성된 일체의 오링으로 구성될 수 있다.

그리고 상기 메인오링(190)은, 형성되는 폐곡선 외측으로 부압, 즉 진공압의 누설을 방지할 수 있도록 그리드 돌기(130)의 상면보다 더 높게 돌출되도록 설치됨이 바람직하다.

한편 상기 메일오링(19) 설치의 다른 예로서, 가공대상물(2)의 평면크기에 대응할 수 있도록 사용자의 작업에 의하여 적절한 크기로 절단된 오링으로 양단이 면접하여 앞서 설명한 폐곡선을 이루도록 설치될 수 있다.

이때 상기 메인오링(190)이 일정한 길이로 절단된 상태에서 양단이 면접하여 설치되는 경우 면접한 부분에서 진공압이 누설될 수 있다.

이에, 상기 본체(100)는, 도 1, 도 3, 도 6a 및 도 7에 도시된 바와 같이, 다수의 그리드 돌기(130)들 중 제1방향(X) 또는 제2방향(Y)으로 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제1그리드돌기(121)와, 제1그리드돌기(121)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제2그리드돌기(122)를 포함하여, 상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 사이에서 하나 이상의 메인오링(190)의 양끝단이 서로 면접되는 오링결합돌기(121, 122)를 포함할 수 있다.

즉, 상기 본체(100)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 다수의 그리드 돌기(130) 중 2개 이상의 그리드 돌기(130)들이 연결되어 상대적으로 긴 길이의 한 쌍의 오링결합돌기(121, 122)를 구비하고, 한 쌍의 오링결합돌기(121, 122)들 사이에 메인오링(190)의 양단(191)이 면접하여 설치됨으로써 메인오링(190)의 면접 부위에서의 진공압 누설을 방지하거나 최소화할 수 있다.

한편 상기 본체(100)는, 제1그리드돌기(121) 및 제2그리드돌기(122) 중 본체(100)의 가장자리로부터 멀리 위치된 제2그리드돌기(122)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드돌기(120)가 연결되어 형성된 한 쌍의 제3그리드돌기(123)을 포함하며, 이 때 진공압형성공(142)은, 한 쌍의 제3그리드돌기(123) 사이에 형성될 수 있다.

그리고 상기 한 쌍의 제3그리드돌기(123)는, 후술하는 볼트와 같은 폐쇄부재(145)의 설치를 위하여 진공압형성공(142)의 내경보다 크게 확장된 볼트설치홈(122a, 123a)이 형성될 수 있다.

한편 상기 제2그리드돌기(122)는, 한 쌍의 제3그리드돌기(123) 중 하나를 대체할 수도 있음은 물론이다.

한편 상기 메인오링(190)은, 합성고무, 내열성 플라스틱 등 본체(100)의 상면에 설치된 가공대상물(2)과 직접 또는 간접으로 면접하여 진공압에 의하여 흡착되도록 할 수 있는 재질이면 어떠한 재질도 가능하다.

즉, 상기 메인오링(190)은, 도 1 및 도 7에 도시된 바와 같이, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며, 폐곡선이 상기 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하며, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정할 수 있다.

한편 상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)의 다른 실시예로서, 제2그리드홈라인(120)은, 도 6b에 도시된 바와 같이, 미리 설정된 중심을 기준으로 방사상으로 연장된 직선 또는 곡선으로 형성되고, 제1그리드홈라인(110)은 제2그리드홈라인(120)과 교차하는 원 또는 다각형의 폐곡선으로 형성될 수 있다.

한편 상기 본체(100)는, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 후술하는 진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되고, 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 결합홀(141)과 연결되도록 형성될 수 있다.

상기 결합홀(141) 및 공압형성공(142)은, 후술하는 공압전달조립체(501)와 결합되어 공압형성공(142)의 상측에 진공압을 형성하기 위하여 본체(100)에 형성되는 홀로서 기계가공 등을 통하여 형성될 수 있다.

그리고 상기 결합홀(141) 및 공압형성공(142)은, 도 1, 도 9a 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 공압전달조립체(501)에 결합됨에도 불구하고 가공대상물(2)의 흡착고정에 사용되지 않은 경우 도 9b에 도시된 바와 같이, 진공압 차단을 위하여, 즉 사용시 개방되고 비사용시 볼트와 같은 폐쇄부재(145)가 결합될 수 있다.

그리고 상기 결합홀(141) 및 진공압 형성홀(142)의 형성 위치는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 평면 형상이 직사각형, 원형인 본체(100)의 평면 상 가장자리를 따라서 하나 이상으로 배치될 수 있다.

한편 상기 본체(100)에 대하여 가공대상물(2)은, 직접 또는 간접으로 흡착고정될 수 있다.

예로서, 상기 본체(100)의 상측에는, 가공대상물(2)의 저면이 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입된 메인오링(190)의 상단면에 면접하여 설치되며, 메인오링(190)에 의하여 진공압형성공(142)을 포함하도록 형성된 폐곡선 및 가공대상물(2)의 저면에 의하여 외부 공기와 연통될 수 없는 밀폐된 흡착공간을 형성됨으로서 가공대상물(2)이 흡착고정될 수 있다.

한편 상기 가공대상물(2)은, 가공방식에 따라서 홀, 슬롯 등이 상하로 관통되어 형성되거나, 절단될 수 있는데 이 경우 흡착공간의 실링이 파괴되어 가공대상물(2)의 흡착고정이 불가능하게 되는 문제점이 있다.

이에 상기 본체(100)의 상측에는, 본체(100) 상에 흡착고정되는 고정지그(181)가 설치되고 가공대상물(2)은 고정지그(181)에 고정될 수 있다.

상기 고정지그(181)는, 저면이 본체(100)에 흡착고정됨과 아울러 가공대상물(2)의 가공을 위하여 가공대상물(2)을 고정하기 위한 구성으로서, 가공대상물(2)에 대한 고정방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 고정지그(181)는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 저면이 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입된 메인오링(190)의 상단면에 면접하여 설치되며, 메인오링(190)에 의하여 진공압형성공(142)을 포함하도록 형성된 폐곡선 및 고정지그(181)의 저면에 의하여 외부 공기와 연통될 수 없는 밀폐된 흡착공간을 형성함으로써 본체(100)에 흡착고정될 수 있다.

그리고 상기 고정지그(181)는, 자석에 의한 고정, 양면테이프에 의한 고정, 볼트결합에 의한 고정 등 다양한 방법에 의하여 가공대상물(2)이 고정될 수 있다.

그리고 상기 고정지그(181)는, 진공척 모듈(100)에 의하여 흡착고정될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며, 아크릴 등의 합성수지 재질, 금속 재질 등 다양한 재질을 가질 수 있다.

한편 상기 가공대상물(2), 또는 고정지그(181)가 설치된 경우 고정지그(181)는, 도 3 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 볼트(182)에 의하여 나사결합되도록 본체(100)에 나사공(183)이 형성되어 볼트결합에 의하여 고정될 수 있다.

상기 볼트결합에 의하여, 가공대상물(2), 또는 고정지그(181)가 설치된 경우 고정지그(181)는, 본체(100)에 대한 보다 견고한 결합상태를 유지할 수 있다.

또한 상기 본체(100)에 대한 고정지그(181)의 고정방식에 있어서, 볼트 결합 이외에 다양한 방식에 의하여 고정될 수 있으며, 도 4b에 도시된 바와 같이, 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 중 적어도 하나에 설치된 자석(184, 185)에 의하여 고정지그(181)가 고정될 수 있다.

이때 상기 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 중 어느 하나에만 자석이 설치된 경우 나머지는 자석에 부착될 수 있는 자성체 재질을 가져야 한다.

한편 상기 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 모두 비자성체 재질의 경우 상기 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 모두에 자석이 설치됨으로써 서로 고정결합될 수 있다.

한편 상기와 같은 본체(100) 및 흡착고정지그(184)의 고정방식은, 후술하는 본체(100) 및 보조본체(1000) 사이의 결합에도 적용될 수 있음은 물론이다.

그리고 상기 흡착고정지그(184)에 대한 가공대상물(2)의 고정은 다양한 방식에 의하여 고정될 수 있으며, 양면테이프 등 접착수단(187)에 의하여 고정될 수 있다.

한편 상기 가공대상물(2)은, 기계가공의 구조, 평면 형상으로 인하여 앞서 설명한 방식에 의하여 본체(100)에 흡착고정되는 것이 어려운 경우가 있다.

이에, 상기 본체(100)는, 도 6b, 도 6c 및 도 7에 도시된 바와 같이, 복수의 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 양단이 오링결합돌기(121, 122)에 삽입되는 하나 이상의 메인오링(190)에 의하여 형성되는 평면형상보다 큰 평면형상을 가지며 하나 이상의 메인오링(190)에 접하는 저면을 구비하는 보조본체(1000)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 보조본체(1000)는, 도 6b, 도 6c 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기계가공의 구조, 평면 형상에 대응하여 가공대상물(2)을 간접적으로 고정하기 위한 구성으로서, 저면이 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입된 메인오링(190)의 상단면에 면접하여 설치되며, 메인오링(190)에 의하여 진공압형성공(142)을 포함하도록 형성된 폐곡선 및 보조본체(1000)의 저면에 의하여 외부 공기와 연통될 수 없는 밀폐된 흡착공간을 형성함으로써 본체(100)에 흡착고정될 수 있다.

한편 상기 보조본체(1000)는, 상면에 앞서 설명한 본체(100)와 유사한 구조를 가질 수 있다. 다만 상기 보조본체(1000)는, 도 6b 또는 도 7에 도시된 바와 같이, 가공대상물(2)의 평면형상, 가공구조에 따라서 다양한 평면형상을 가질 수 있다.

즉, 상기 보조본체(1000)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상면에 제1방향(X)으로 형성된 복수의 제1그리드홈라인(1110), 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(1120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(1120)들이 형성되고, 보조본체(1000)의 저면에 형성된 진공압이 제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)에 전달되도록 하나 이상의 진공압전달관통공(1142)이 상하로 관통형성될 수 있다.

상기 제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)은, 앞서 설명한 본체(100)의 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)과 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 상기 제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)은, 본체(100)에 의하여 직접적으로 흡착고정이 어려운 경우를 고려하여 보조본체(1000)를 추가로 설치한바, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)의 형성패턴과 다르게 형성될 수 있다.

한편 상기 보조본체(1000)는, 도 6b 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 폐곡선이 진공압전달관통공(1220)을 포함하는 보조오링(1190)이 "제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)" 및 "제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)"와 별도로 형성된 보조오링삽입홈(1131)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정할 수 있다.

상기 보조본체(1000) 및 보조오링(1190)은, 본체(100) 및 메인오링(190)와 재질 및 형상은, 본체(100)에 의하여 직접적으로 흡착고정이 어려운 경우를 고려하여 추가로 설치되는 것을 제외하고 유사하게 구성될 수 있다.

한편 상기 고정지그(181)는, 평평한 저면이 형성되어 본체(100)에 설치된 메인오링(190)에 접하여 메인오링(190)에 의하여 형성된 폐곡선 내 형성된 진공압에 의하여 흡착고정되도록 구성될 수 있다.

그리고 상기 고정지그(181)는, 다양한 구조 및 방법에 의하여 가공대상물(2)을 고정할 수 있다.

예로서, 상기 고정지그(181)는, 기계가공 등에서 사용되고 있는 바이트와 같은 고정수단을 포함하여 가공대상물(2)을 고정할 수 있다.

한편 상기와 같은 구성을 가지는 진공척 모듈(1)을 구성하는 본체(100)는, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)가 형성된 구성을 제외하고 다양한 변형예가 가능하다.

예로서, 상기 본체(100)는, 도 8a 내지 도 8e에 도시된 바와 같이, 상면에 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성될 수 있다.

아울러, 상기 본체(100)는, 기계가공과 같이 고하중이 작용함을 고려하여 견고한 고정을 위하여 금속재질을 가짐이 바람직하며, 고중량의 기저부재의 상측에 설치될 수 있다.

여기서 상기 기저부재와의 결합구조는, 도 8d 및 도 8e에 도시된 바와 같이, 자성체 재질의 기저부재의 상면에 안정적으로 고정될 수 있도록 본체(100)는, 저면에 복수의 자력발생부재(161)들이 설치될 수 있다.

상기 자력발생부재(161)들은, 기저부재의 상면에 자력에 의하여 본체(100)가 고정되는 구성으로서, 영구자석, 전자석 등 자력을 발생시킬 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하다.

한편 상기 본체(100)는, 기저부재의 상면에서 수평 이동을 방지하기 위한 복수의 스토퍼(192)가 설치될 수 있다.

상기 스토퍼(192)는 기저부재의 상면에서 수평 이동을 방지하기 위하여 본체(100)에 설치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 스토퍼(192)는, 본체(100)의 측면에 고정되는 고정부재(193)에 링크결합되는 슬롯((192a)이 형성된 부재로 구성될 수 있다.

구체적으로, 상기 스토퍼(192)는, 본체(100)의 상면에 가공대상물(2), 고정지그(181) 등이 설치된 상태에서 상측으로 돌출되며, 가공대상물(2), 고정지그(181)의 측면에 밀착된 후 고정부재(193)에 의하여 스토퍼(192)가 고정될 수 있다.

한편 상기 본체(100)는, 가공대상물(2), 고정지그(181) 등 상면에서 흡착고정되는 대상과의 위치고정을 위한 위치고정수단이 추가로 구비될 수 있다.

예로서, 상기 위치고정수단은, 도 8a, 도 8f 및 도 8g에 도시된 바와 같이, 그리드 돌기(130)들 중 적어도 일부에 위치결정핀(194)이 삽입되는 위치결정삽입홈(132)이 형성될 수 있다.

상기 위치결정삽입홈(132)은, 가공대상물(2), 고정지그(181) 등에 결합된 위치결정핀(194)이 삽입되도록 형성되는 홈으로써 다양한 구조를 가질 수 있다.

더 나아가 상기 위치결정삽입홈(132)은, 정밀한 위치 설정을 위하여 위치결정핀(194)이 삽입되는 핀홈(195a)이 형성된 핀홈형성부재(195)가 설치될 수 있다.

상기 핀홈형성부재(195)는, 위치결정핀(194)이 삽입되는 핀홈(195a)이 형성되는 부재로서 나사결합 등에 의하여 위치결정삽입홈(132)에 결합될 수 있다.

또한 상기 본체(100)는, 가공대상물(2), 고정지그(181) 등 상면에서 흡착고정되는 대상과의 견고한 고정결합을 위한 위한 고정결합수단이 추가로 구비될 수 있다.

항기 고정결합수단은, 도 8a, 도 8f 및 도 8g에 도시된 바와 같이, 그리드 돌기(130)들 중 적어도 일부에 고정결합나사(198)이 나사결합되는 나사결합홈(133)이 형성될 수 있다.

상기 나사결합홈(133)은, 그리드 돌기(130)들 중 적어도 일부에 고정결합나사(198)이 나사결합되는 홈으로서 내주면에 암나사부가 형성되어 고정결합나사(198)와 나사결합될 수 있다.

또한 상기 나사결합홈(133)은, 고정결합나사(198)와의 정밀한 결합을 위하여 내주면에 고정결합나사(198)와 나사결합되는 암나사부(197)가 형성된 암나사형성부재(196)가 설치될 수 있다.

상기 암나사형성부재(196)는, 고정결합나사(198)와의 정밀한 결합을 위하여 내주면에 고정결합나사(198)와 나사결합되도록 암나사부(197)가 형성된 부재로서 다양한 구성이 가능하다.

상기와 같은 위치결정수단에 의하여, 본체(100) 상에 가공대상물(2), 고정지그(181)를 정확한 위치에 위치시킴으로써 정밀한 기계가공이 가능하다.

또한 상기와 같은 고정결합수단에 의하여, 본체(100) 상에 가공대상물(2), 고정지그(181)를 안정적으로 고정함으로써 정밀한 기계가공이 가능하다.

한편 상기 진공척 모듈(1), 특히 본체(100)는, 진공압 형성부(800)과 연결된 공압전달조립체(501)에 의하여 진공압을 전달받을 수 있다.

상기 공압전달조립체(501)는, 부압, 즉 진공압을 형성하는 진공압 형성부(800)와 연결되어 진공압 형성부(800)로부터 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 진공압을 전달하는 진공압 전달유로를 형성하는 구성으로서, 진공압 전달유로 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 공압전달조립체(501)은, 하나 이상의 공압전달관(591)과, 공압전달관(591)과 연결되어 공압유로를 분기하거나 공압유로의 방향을 전환하는 하나 이상의 공압연결블록(580)과, 공압연결블록(590) 등에 결합되어 공압전달관(591)를 결합시키는 배관결합부재(570)을 포함할 수 있다.

상기 공압전달관(591)은, 하나 이상으로 설치되어 진공압 형성부(800)에 의하여 형성된 부압, 즉 진공압을 전달하기 위한 배관으로서 다양한 배관이 사용될 수 있으며, 진공압을 견디면서 설치 및 조립이 용이하도록 휨이 자유로운 재질의 부재를 사용함이 바람직하다.

상기 하나 이상의 공압연결블록(580)은, 공압전달관(591)과 연결되어 공압유로를 분기하거나 공압유로의 방향을 전환하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 공압연결블록(580)은, 도 1 내지 도 3, 도 9a 내지 도 10b, 도 12a 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 'T'자형 유로가 형성된 블록본체(581)를 포함할 수 있다.

상기 블록본체(581)는, 예로서, 'T'자형 유로를 형성하도록 미리 설정된 길이를 가지는 원기둥블록, 사각기둥과 같은 다각기둥의 길이방향으로 메인유로(582)형성되고, 측면에서 메인유로(582)와 연통되도록 형성된 분기유로(583)이 형성될 수 있다.

그리고 상기 메인유로(582)는, 양단에 관이음부재(540)가 끼워져 앞서 설명한 공압전달관(591)의 결합을 위한 배관결합부재(570)가 결합되어 타부재와 연통되거나거나, 커버부재(146)가 결합되어 폐쇄될 수 있다.

여기서 상기 관이음부재(540)는, 일단이 진공척 모듈(1)을 이루는 본체(100)에 형성된 결합홀(141) 또는 메인유로(582)에 끼워지며 타단이 외부로 노출되어 배관결합부재(570), 후술하는 슬라이드 밸브(500), 커버부재(146) 등이 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

그리고 상기 관이음부재(540)는, 적어도 일단이 결합되는 타부재, 예를 들면 결합홀(141) 또는 메인유로(582)에 단순 끼움 결합의 경우 오링(542)이 개재됨과 아울러 결합되는 타부재를 관통하여 설치된 고정나사(594)에 고정될 수 있도록 외주면에 고정나사(594)의 끝단에 형성된 쐐기 형상이 삽입되는 환상의 요홈(548)이 형성될 수 있다.

상기 커버부재(146)는, 메인유로(582)에서 공압전달관(591) 등 유로 형성이 불필요한 경우 외부의 공기가 유입되는 것을 차단하기 위한 부재로서 결합구조에 따라서 다양한 구성을 가질 수 있다.

한편 상기 커버부재(146)는, 진공압 전달유로의 형성에 있어서 외기가 진공압 전달유로로 전달되는 것을 차단하기 위한 부재로서, 도 1, 도 2, 도 11 및 도 12a 내지 도 12b에 도시된 바와 같이, 다양한 위치에 설치될 수 있다.

예로서, 상기 커버부재(146)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공압연결블록(580)에 결합될 수 있다.

또한 상기 커버부재(146)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(100)에 결합될 수 있다. 이때 상기 커버부재(146)가 직접적으로 결합되기 어려운 경우 커버부재(146)의 결합 위한 본체(100) 등 커버부재(146)가 결합되는 부재에 어댑터부재(149)가 추가로 설치될 수 있다.

다른 예로서, 상기 관이음부재(540)는, 적어도 일단이 결합되는 타부재, 예를 들면 분기유로(583)에 결합되거나, 커버부재(146)가 결합되는 경우 앞서 설명한 고정나사(594)에 의한 고정이 어려운바 오링이 개재된 상태로 분기유로(583) 또는 커버부재(146)와 나사결합될 수 있도록 외주면에 수나사부가 형성될 수 있다.

한편 상기 관이음부재(540)는, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 형성된 결합공(141)에 끼워지는 경우 관이음부재(540)로의 이물질 유입을 방지하기 위한 필터부재(549)가 결합될 수 있다.

상기 필터부재(549)는, 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 형성된 결합공(141)에 끼워지는 경우 관이음부재(540)로의 이물질의 유입을 방지하기 위한 구성으로서 유입방지 대상인 이물질의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 진공척 모듈(1)이 가공대상물(2)이 마모 등을 이용한 기계가공이 수행되는 되는 경우 필터부재(549)는, 발생되는 칩(파티클)의 유입을 방지하도록 매쉬부재로 구성될 수 있다.

상기 배관결합부재(570)는, 공압연결블록(590) 등에 결합되어 공압전달관(591)를 결합시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서 상기 배관결합부재(570)는, 일단이 앞서 설명한 관이음부재(540)의 끝단이 내측으로 끼워겨 결합되며 타단이 공압전달관(591)의 내측으로 끼워지는 결합본체(571)와, 결합본체(571)의 타단이 공압전달관(591)에 끼워진 상태에서 결합본체(571)의 외주면에 형성된 수나사부와 나사결합되어 공압전달관(591)을 결합본체(571)에 견고하게 고정시키는 고정부재(572)를 포함할 수 있다.

한편 상기 공압전달조립체(501)는, 진공척 모듈(1)의 본체(100)에 결합되거나, 공압연결블록(580)에 결합됨으로써 진공압을 전달하는데, 유로 내에 부압, 즉 진공압이 형성된 경우 공압전달조립체(501) 중 공압전달관(591) 등의 분리시 진공압의 차단을 요한다.

이에 본 발명에 따른 공압전달조립체(501)는, 도 9a 내지 도 10b, 도 12a 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 진공압의 전달유로 중에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 진공슬라이드밸브(500)를 추가로 포함함이 바람직하다.

상기 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압의 전달유로 중에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 진공슬라이드밸브는, 진공압 전달유로 중에 설치되며 양단에서 길이방향으로 형성되며 서로 격리된 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)가 형성되며, 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 측면에서 관통되어 형성된 밸브본체(510)와, 밸브본체(510)의 외주면이 내주면에 접하면서 밸브본체(510)에 대하여 선형이동이 가능하도록 설치되며 선형이동에 의하여 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행하는 슬라이드부재(520)를 포함할 수 있다.

상기 밸브본체(510)는, 진공압 전달유로 중에 설치되며 양단에서 길이방향으로 형성되며 서로 격리된 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)가 형성되며, 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 측면에서 관통되어 형성되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 밸브본체(510)는, 일단으로부터 제1연통부(513)이 형성되고 타단으로부턴 제2연통부(514)가 형성되는 원기둥의 로드로 구성될 수 있다.

이 상기 제2연통부(513) 및 제2연통부(514)는, 서로 연결되지 않은 상태로 형성된다.

그리고 상기 밸브본체(510)는, 측면에서 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 관통형성된다.

상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)는, 밸브본체(510)의 측면에서 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 형성되는 홀로서, 하나 이상으로 형성될 수 있다.

이때 상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 간격은, 후술하는 슬라이드부재(520)에 형성된 연통요홈(523)의 길이보다 작게 형성된다.

한편 상기 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압 전달유로 중에 설치되는 바 타 유로형성부재와의 결합을 위한 결합구조를 구비하는 것이 바람직하며, 예로서, 밸브본체(510)는, 양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 내측으로 삽입되어 결합되거나, 타 유로형성부재의 끝단이 내측으로 삽입되어 결합될 수 있다.

또한 타 유로형성부재와의 결합구조는 다양한 실시예가 가능하며, 밸브본체(510)는, 양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 끝단의 내주면에 형성된 암나사부와 나사결합되도록 외주면에 수나사부가 형성될 수 있다.

여기서 상기 유로형성부재는, 결합공(141)이 형성된 진공척 모듈(1)의 본체(100), 진공척 모듈(1)의 본체(100)에 결합된 관이음부재(540), 공압연결블록(580) 등 진공압 전달유로를 형성할 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하다.

상기 슬라이드부재(520)는, 밸브본체(510)의 외주면이 내주면에 접하면서 밸브본체(510)에 대하여 선형이동이 가능하도록 설치되며 선형이동에 의하여 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 슬라이드부재(520)는, 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 상호 연통 및 연통 해제되도록 내주면에 형성된 환상의 연통요홈(523)과, 연통요홈(523)의 양단에 각각 오링(551, 552)이 설치되는 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)과, 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)들 중 제2관통공(512) 부근에 형성되어 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 해제시 제2관통공(512)과 연통되어 외부 공기가 제2관통공(512)로 유입시키는 환상의 해제요홈(524)를 포함할 수 있따.

먼저 상기 슬라이드부재(520)는, 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 형성된 외주면의 외경과 같거나 미리 설정된 오차범위 내로 큰 내경을 가지는 실린더 부재로 구성될 수 있다.

그리고 상기 슬라이드부재(520)는, 밸브본체(510)와의 상대 선형이동에 의하여 앞서 설명한 연통요홈(523)에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 및 연통해제에 의하여 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행할 수 있다.

상기 연통요홈(523)은, 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 상호 연통 및 연통 해제되도록 슬라이드부재(520)의 내주면에 형성되며, 환상으로 형성됨이 바람직하다.

상기 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)은, 연통요홈(523)의 양단에 각각 오링(551, 552)이 설치되도록 슬라이드부재(520)의 내주면에 형성되며, 환상으로 형성됨이 바람직하다.

여기서 상기 오링설치홈(521, 522)에 설치된 오링(551, 552)에 의하여 연통요홈(523)에 대한 외기의 유입을 차단할 수 있다.

상기 해제요홈(524)은, 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)들 중 제2관통공(512) 부근에 형성되어 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 해제시 제2관통공(512)과 연통되어 외부 공기가 제2관통공(512)로 유입시키도록 슬라이드부재(520)의 내주면에 형성되며, 환상으로 형성됨이 바람직하다.

여기서 상기 해제요홈(524)는, 외부 공기의 유입이 가능하도록 형성됨이 바람직한바 슬라이드부재(520)의 측면, 단부면에 형성된 복수의 통기홀(525), 슬라이드부재(520)의 단부에서 슬라이드부재(520)의 내주면이 밸브본체(510)의 외주면과 간격을 두고 형성됨으로써 해제요홈(524)로의 외부공기 유입이 가능해진다.

한편 상기와 같은 구성을 가지는 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압 전달유로에 설치되어 간단한 조작에 의하여 양단 중 어느 일단에 대한 진공압을 해제할 수 있다.

또한 상기와 같은 구성을 가지는 진공슬라이드밸브(500)는, 도 1 내지 도 7에 도시된 진공척 모듈(1)에 적용되는 예를 들어 설명하였으나, 진공압 등 유체의 유로를 형성하는 유체형성유로에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 유체의 전달 및 차단을 수행하는 밸브로서 활용될 수도 있음은 물론이다.

제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 진공슬라이드밸브를 추가로 포함함으로써 진공압 전달유로에 설치되어 간단한 조작에 의하여 양단 중 어느 일단에 대한 진공압을 해제할 수 있다.

한현 상기 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압 전달유로 중 유체의 흐름 방향을 기준으로 밸브본체(510)의 양단 중 상류 단에 결합되어 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 중 어느 하나에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위한 필터부재(549)가 추가로 결합될 수 있다.

상기 필터부재(549)는, 도 9a 내지 도 10b에 도시된 바와 같이, 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 형성된 결합공(141)에 끼워지는 경우 관이음부재(540)로의 이물질의 유입을 방지하기 위한 구성으로서 유입방지 대상인 이물질의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

100 : 진공척 모듈 800 : 진공압 형성부

Claims

본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고,
진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되며,
상기 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 상기 결합홀(141)과 연결되도록 형성되며,
고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 상기 폐곡선이 상기 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하는 메인오링(190)이 상기 제1그리드홈라인(110) 및 상기 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 다수의 그리드 돌기(130)들 중 상기 제1방향(X) 또는 상기 제2방향(Y)으로 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제1그리드돌기(121)와, 상기 제1그리드돌기(121)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제2그리드돌기(122)를 포함하여, 상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 사이에서 하나 이상의 메인오링(190)의 양끝단이 서로 면접되는 오링결합돌기(121, 122)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 중 상기 본체(100)의 가장자리로부터 멀리 위치된 제2그리드돌기(122)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드돌기(120)가 연결되어 형성된 제3그리드돌기(123)을 포함하며,
상기 진공압형성공(142)은, 상기 제2그리드돌기(122) 및 상기 제3그리드돌기(123) 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 복수의 제1그리드홈라인(110) 및 상기 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 양단이 상기 오링결합돌기(121, 122)에 삽입되는 하나 이상의 메인오링(190)에 의하여 형성되는 평면형상보다 큰 평면형상을 가지며 상기 하나 이상의 메인오링(190)에 접하는 저면을 구비하는 보조본체(1000)를 추가로 포함하며,
상기 보조본체(1000)는, 상기 보조본체(1000)의 상면에 제1방향(X)으로 형성된 복수의 제1그리드홈라인(1110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(1120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(1120)들이 형성되고,
상기 보조본체(1000)의 저면에 형성된 진공압이 상기 제1그리드홈라인(1110) 및 상기 제2그리드홈라인(1120)에 전달되도록 하나 이상의 진공압전달관통공(1220)이 상하로 관통형성되고,
고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 상기 폐곡선이 상기 진공압전달관통공(1220)을 포함하는 보조오링(1190)이 "상기 제1그리드홈라인(1110) 및 상기 제2그리드홈라인(1120)" 및 "상기 제1그리드홈라인(1110) 및 상기 제2그리드홈라인(1120)"와 별도로 형성된 보조오링삽입홈(1131)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 진공압형성공(142)은, 사용시 개방되고 비사용시 폐쇄부재(145)가 결합되어 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
진공압을 형성하는 진공압형성부(800)로부터 진공압을 상기 본체(100)에 전달하는 진공압 전달유로를 형성하는 공압전달조립체(501)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 6에 있어서,
상기 공압전달조립체(501)는,
상기 진공압 전달유로 중에 설치되며 양단에서 길이방향으로 형성되며 서로 격리된 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)가 형성되며, 상기 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 측면에서 관통되어 형성된 밸브본체(510)와,
상기 밸브본체(510)의 외주면이 내주면에 접하면서 상기 밸브본체(510)에 대하여 선형이동이 가능하도록 설치되며 선형이동에 의하여 상기 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행하는 슬라이드부재(520)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 7에 있어서,
상기 밸브본체(510)는, 양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 내측으로 삽입되어 결합되거나, 타 유로형성부재의 끝단이 내측으로 삽입되어 결합되는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 8에 있어서,
상기 밸브본체(510)는,
양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 끝단의 내주면에 형성된 암나사부와 나사결합되도록 외주면에 수나사부가 형성된 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.
청구항 7에 있어서,
상기 슬라이드부재(520)는,
선형이동에 의하여 상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 상호 연통 및 연통 해제되도록 내주면에 형성된 환상의 연통요홈(523)과,
상기 연통요홈(523)의 양단에 각각 오링(551, 552)이 설치되는 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)과,
상기 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)들 중 상기 제2관통공(512) 부근에 형성되어 선형이동에 의하여 상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 해제시 상기 제2관통공(512)과 연통되어 외부 공기가 상기 제2관통공(512)로 유입시키는 환상의 해제요홈(524)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.