WO2020145628A1 - 진공펌프 및 이를 포함하는 진공세퍼레이터 - Google Patents

진공펌프 및 이를 포함하는 진공세퍼레이터 Download PDF

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WO2020145628A1
WO2020145628A1 PCT/KR2020/000276 KR2020000276W WO2020145628A1 WO 2020145628 A1 WO2020145628 A1 WO 2020145628A1 KR 2020000276 W KR2020000276 W KR 2020000276W WO 2020145628 A1 WO2020145628 A1 WO 2020145628A1
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WO
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vacuum
chamber
hole
air
vacuum pump
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PCT/KR2020/000276
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English (en)
French (fr)
Inventor
이효길
Original Assignee
이효길
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/46—Arrangements of nozzles

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pump and a vacuum separator including the same, and more particularly, to a vacuum pump that ejects a fluid through a nozzle to form a vacuum and a vacuum separator including the same.
  • a vacuum chuck is a device that directly or indirectly fixes an object to be processed using vacuum pressure, and is used in a process system such as used to fix an object to be processed during machining.
  • Patent Document 1 a method has been provided for improving the adsorption power to the object to be fixed.
  • vacuum pressure is transmitted by a pneumatic transmission assembly composed of a piping member and a pneumatic transmission pipe from a vacuum pressure forming unit such as a vacuum pump.
  • Vacuum may be defined as a state in a space filled with low pressure gas at atmospheric pressure, and there are ejectors such as Patent Documents 5 and 6 as means for forming such a vacuum.
  • the ejector forms a vacuum using compressed air, also called a vacuum generator, and consists of a simple structure of a nozzle and a diffuser.
  • the nozzle serves to accelerate the flow of compressed air, and the compressed air flows through the nozzle.
  • the diffuser slows the flow rate and draws in the surrounding air to form a vacuum. Air from the diffuser combined with compressed air and ambient air can be discharged through the silencer.
  • the ejector has no moving parts and has a long life, and since it uses compressed air, the control valve can be common and the degree of vacuum is proportional to the supply pressure of compressed air.
  • the conventional ejector has a problem in that the check valve is installed at the inlet where ambient air flows into the nozzle and the diffuser, thereby limiting the size of the check valve, decreasing the vacuum density, and deteriorating durability.
  • a vacuum pump such as an ejector forms a negative pressure on a surface, a vacuum chuck for fixing an object, a transfer tool for picking up and transferring the object using negative pressure, and a transfer tool for adsorbing and fixing an object, and removing liquid from a gas containing liquid. It can be used in various fields such as devices and systems that require the formation of negative pressure, such as a gas-liquid separation device that removes and discharges gas.
  • the machining is performed while the abrasive liquid is sprayed.
  • smooth machining can be achieved only when the liquid is removed together with foreign substances (chips) generated in the machining process.
  • a liquid may be introduced into the vacuum pump together with foreign substances (chips) generated during the machining process.
  • Patent Document 1 KR20-0412828 Y1
  • Patent Document 2 KR10-1472503 B
  • Patent Document 3 KR10-1472503 B
  • Patent Document 4 KR10-0629994 B
  • Patent Document 5 KR10-1472503 B
  • the object of the present invention is to recognize the problems as described above, by forming a nozzle unit and a chamber in which the nozzle unit is installed in a multi-stage structure, and installing a check valve for forming a vacuum in the chamber, forming vacuum in stages such as low vacuum, medium vacuum, and high vacuum. It is possible to provide a vacuum pump that can improve the vacuum tightness and durability by increasing the area of the check valve.
  • Another object of the present invention is to recognize the problems and necessities as described above, it is coupled to a vacuum pump to remove the liquid from the gas containing the liquid to prevent the liquid from entering the vacuum pump to operate the vacuum pump coupled thereto It is to provide a vacuum separator that is smooth and can prevent failure.
  • the air inlet 305 is formed at one end and the air outlet 306 is formed at the other end, and a plurality of through holes 312 along the longitudinal direction on the side surface.
  • a vacuum pump 800 including a chamber 400 in which the nozzle unit 300 is installed.
  • a first insertion hole 412 through which one end of the nozzle unit 300 is inserted and fixed is fixed, and a second insertion hole through which the other end of the nozzle unit 300 is fixed through insertion, and is formed.
  • the first chamber 410 forming an inner space IS surrounding the side surface of the nozzle part 300 and the first side wall in which the first insertion hole 412 is formed in the first chamber 410 are coupled
  • a second chamber 420 forming an air inflow passage communicating with the air inlet 305 of the nozzle part 300 and a vacuum space VS in which a vacuum atmosphere is formed according to air flow through the nozzle part 300
  • a third chamber 430 of the first chamber 410 is coupled to the second side wall on which the second insertion hole is formed to form an air outflow passage communicating with the air outlet 306 of the nozzle part 300. It can contain.
  • the first chamber 410 blocks air flow from the inner space IS to the vacuum space VS on the first side wall while air from the vacuum space VS to the inner space IS.
  • a first check valve 610 to enable flow may be installed.
  • the first chamber 410 divides the inner space IS into a plurality of sub-spaces SS between a plurality of through-holes 312 formed along the longitudinal direction, and the nozzle unit 300
  • the third insertion hole 416 through-inserted may further include one or more partition walls 212 formed thereon.
  • a second check valve 620 may be installed at the partition 212 to block air flow in one direction between neighboring sub-spaces SS.
  • the first chamber 410, the first insertion hole 412 is formed and the first check valve 610 is installed a first sub-chamber (410a) and one that includes the partition 212
  • the second sub-chamber 410b and the third sub-chamber 410c in which the second insertion hole is formed may be included.
  • first sub-chamber 410a, the second sub-chamber 410b, and the third sub-chamber 410c may be sequentially stacked and combined along the longitudinal direction of the nozzle unit 300. .
  • the first check valve 610 and the second check valve 620 may be sequentially opened and closed according to the vacuum level formed according to the air flow by the nozzle unit 300.
  • the cross-sectional area of the air passage formed in the nozzle part 300 and communicating with the through hole 312 may be increased toward the air outlet 306 from the air inlet 305.
  • the nozzle part 300 includes a plurality of through-hole forming members 310 in which at least one through-hole 312 is formed on a side surface, and at least a part of the through-hole forming member 310 is inserted into the through-hole forming the air passage.
  • a plurality of flow path forming members 320 may be included.
  • the through hole forming member 310 may be installed between the flow channel forming member 320.
  • the flow path forming member 320 may be supported by the first insertion hole 412, the second insertion hole 414, and the third insertion hole 416.
  • a plurality of the first insertion hole 412 and the second insertion hole 414 may be formed.
  • the second insertion hole 414 may include a closing member 400 through which one end and the other end are respectively inserted through and close the remaining first insertion hole 412 and the second insertion hole 414.
  • the vacuum pump 800 may further include a silencer 232 installed in the air outflow passage among the third chambers 430 and through which air flowing through the air outflow passage is discharged to the outside.
  • the first check valve 610 is formed on the first side wall, the first through hole 612 to communicate the inner space (IS) and the vacuum space (VS), and the first through hole 612 And a first check valve member 614 that is opened and closed by the pressure difference between the inner space IS and the vacuum space VS.
  • the second check valve 620 is formed in the partition wall portion 212 to communicate with neighboring sub-spaces (SS), the second through hole 622, and the second through hole 622 to the neighboring Among the sub-spaces SS, a second check valve member 624 that is retracted from the air inlet 305 and a distant sub-space SS may be included.
  • the present invention as a vacuum separator 700 for separating liquid and gas, the main body is formed with an inlet through which the mixture of the liquid and gas is introduced and an accommodation space through which the mixture introduced through the inlet is accommodated
  • a vacuum separator 700 comprising a portion, a vacuum pump 800 installed on the upper side of the main body so that the receiving space and the vacuum space VS communicate with each other.
  • the vacuum pump according to the present invention is capable of forming vacuums in stages such as low vacuum, medium vacuum, and high vacuum by forming a nozzle unit and a chamber in which the nozzle unit is installed in a multi-stage structure and installing a check valve for vacuum formation in the chamber. It has the advantage of improving the airtightness and durability by increasing the area of.
  • the vacuum pump according to the present invention there is an advantage that can easily vary the capacity of the vacuum pump by adjusting the number of nozzles installed in the chamber.
  • the vacuum separator according to the present invention is coupled to a vacuum pump to remove liquid from a gas containing liquid to prevent liquid from flowing into the vacuum pump, so that the operation of the vacuum pump coupled thereto is smooth and malfunctions. There is an advantage that can be prevented.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram showing the configuration of a process system according to the present invention.
  • FIG. 2A is a perspective view showing the vacuum chuck module of the process system of FIG. 1, and FIG. 2B is an enlarged view of part A in FIG. 2A.
  • FIG. 3 is a plan view of the vacuum chuck module of FIG. 1.
  • FIG. 4A is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 3.
  • FIG. 4B is a cross-sectional view showing an embodiment of fixing the object to be processed by a magnet as a modification of FIG. 4A.
  • FIG. 5 is an enlarged view of part E in FIG. 3.
  • 6A is a plan view showing an example in which the main oring is installed in the vacuum chuck module of FIG. 1.
  • 6B and 6C are plan and side views, respectively, showing an example in which the auxiliary body is additionally installed in the vacuum chuck module of FIG. 6A.
  • FIG. 7 is a plan view showing a modification of the auxiliary body of FIG. 6B.
  • Fig. 8A is a plan view showing a modification of the main body of the vacuum chuck module of Fig. 1
  • Fig. 8B is a right side view of the main body of Fig. 8A
  • Fig. 8C is a front view of the main body of Fig. 8A
  • Fig. 8D is Fig. 8A.
  • the rear view of the main body FIG. 8E is a bottom view of the main body of FIG. 8A
  • FIG. 8F is an enlarged view showing a portion D in FIG. 8A
  • FIG. 8G is a cross-sectional view in the direction of FF in FIG. 8F.
  • 9A and 9B are cross-sectional views of the C-C direction in FIG. 3, respectively, and are cross-sectional views showing the operation of the vacuum slide valve.
  • 10A and 10B are cross-sectional views of the X-Y plane in FIG. 2A, respectively, and showing the operation of the vacuum slide valve.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing a closed state by a cover member as a modified view of FIG. 10A.
  • FIG. 12 is a plan view showing examples of assembly of a pneumatic transmission pipe and a slide valve in the vacuum chuck module of FIG. 1.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing an assembly example for branching of two pneumatic transmission pipes in the vacuum chuck module of FIG. 1.
  • FIGS. 9A to 12 are perspective views showing an example of the vacuum slide valve shown in FIGS. 9A to 12.
  • FIG. 15 is an exploded perspective view showing the vacuum slide valve of FIG. 14.
  • 16A and 16B are perspective and front views showing a vacuum pump according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 17A is a view showing a cross section in the G-G direction of FIG. 1.
  • 17B is a view showing a cross-section in the H-H direction of FIG. 1.
  • 17C is a diagram showing a modification of FIG. 17B.
  • FIG. 18 is an exploded perspective view showing a part of the configuration of the vacuum pump of FIG. 16A.
  • 19A is a perspective view showing a part of the configuration of the vacuum pump of FIG. 16A.
  • FIG. 19B is an exploded perspective view of FIG. 19A.
  • 19C is a cross-sectional view taken along the line L-L in FIG. 19A.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view along the K-K direction of the vacuum pump of FIG. 18.
  • 21 is a plan view showing a part of the configuration of the vacuum pump of FIG. 18.
  • FIG. 22 is a sectional view taken along the line J-J in FIG. 16B.
  • FIG. 23 is a perspective view showing a state in which the vacuum separator according to the present invention is coupled to the vacuum pump of FIG. 16A.
  • FIG. 24 is a cross-sectional view taken along the line I-I in FIG. 23.
  • 25A is a perspective view showing a modification of the vacuum separator of FIG. 23.
  • 25B is a conceptual view showing a flow path including the vacuum separator of FIG. 25A.
  • 26 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 25A.
  • Fig. 27 is a cross-sectional view taken along the line III-III in Fig. 25A.
  • FIG. 28 is a perspective view showing a link assembly connecting two modules in a state in which fluid communication is possible while being isolated from the outside by being coupled to the vacuum pump of FIG. 16A.
  • FIG. 29 is a perspective view showing the link assembly and the coupling block of FIG. 28.
  • FIG. 30 is a cross-sectional view along the direction IV-IV in FIG. 28.
  • FIG. 31 is an exploded perspective view of the link assembly shown in FIG. 28.
  • 32A and 32B are plan and side views showing a body block in the link assembly of FIG. 31.
  • 33A and 33B are plan and side views showing a coupling block in the link assembly of FIG. 31.
  • the process system according to the present invention as shown in Figure 1, the vacuum chuck module (1) and the vacuum chuck module (1) to be adsorbed and fixed directly or indirectly by vacuum pressure, and the vacuum chuck module (1) preset And a vacuum pressure forming unit 800 that provides pneumatic pressure.
  • the vacuum pressure forming unit 800 is configured to provide a preset vacuum pressure to the vacuum chuck module 1, and any pump can be used as long as it is a vacuum pump capable of forming a vacuum.
  • the vacuum pressure forming unit 800 includes a gas transfer type vacuum pump, a gas capture type vacuum pump, and more specifically, a volume transfer type vacuum pump and an ejector vacuum pump (see Patent Documents 3 and 4). Pumps and the like can be used.
  • the vacuum pressure forming unit 800 will be described later in detail after description of the vacuum chuck module 1.
  • the vacuum chuck module 1 is configured to adsorb and fix the object 2 by the vacuum pressure provided by the vacuum pressure forming unit 800, which requires fixing to the object 2
  • Any device can be any device.
  • the vacuum chuck module 1 is a machining device that performs machining, such as a milling machine, a drilling machine, a grinding machine, and a welding machine, in a state where the object 2 is adsorbed and fixed on the upper surface, particularly automatically machining It can be applied to a CNC machine to perform.
  • machining such as a milling machine, a drilling machine, a grinding machine, and a welding machine
  • the vacuum chuck module 1 is, of course, can be applied to all devices that require adsorption and fixation of the object to be processed by vacuum pressure, such as a coating operation, in addition to a mechanical processing device.
  • the vacuum chuck module 1 is a configuration in which the object 2 is adsorbed and fixed directly or indirectly by vacuum pressure, and various configurations are possible.
  • the vacuum chuck module 1 has a flat plate shape and includes a body 100 for vacuum adsorption on an upper surface.
  • the main body 100 is configured to have a flat plate shape that forms an adsorption surface for vacuum adsorption on the upper surface, and various configurations are possible.
  • the main body 100 is a flat plate made of a metal material, and is connected to a pneumatic transmission assembly 501, which will be described later, to transfer vacuum pressure transmitted by the pneumatic transmission assembly 501 to an adsorption surface and to move from the adsorption surface.
  • the object 2 can be adsorbed and fixed directly or indirectly by pneumatics.
  • a plurality of grid protrusions 130 may be formed by one or more second grid groove lines 120 formed in one or more crossing second directions Y.
  • the first grid home line 110 and the second grid home line 120 are configured to form a plurality of grid protrusions 130 on the upper surface of the main body 10, and may be formed by various methods and structures.
  • first grid groove line 110 and the second grid groove line 120 are orthogonal to each other, as shown in FIGS. 1 to 3 and 6B, as shown in FIG. It can be formed by a variety of cutting, such as cross slope arrangement to make a slope.
  • one or more grid groove lines 150 of a closed curve such as a circle may be further formed.
  • the grid groove line 150 is a home line formed in an independent manner from the formation of the first grid home line 110 and the second grid home line 120, depending on the installation shape of the main oring 190 described later. It can have various shapes and structures.
  • the main O-ring 190 is installed on the first grid groove line 110 and the second grid groove line 120 to form a closed curve of a flat shape smaller than the plane size of the object 2 to be fixed and the closed curve
  • Various configurations are possible as a configuration including one or more vacuum pressure forming holes 142.
  • the main O-ring 190 may be formed of an integral O-ring formed of a closed curve of a preset size.
  • main O-ring 190 is preferably installed so as to protrude higher than the upper surface of the grid protrusion 130 to prevent leakage of negative pressure, that is, vacuum pressure, outside the formed closed curve.
  • the both ends of the O-ring cut to an appropriate size by the user's work so as to correspond to the plane size of the object to be processed (2) can be installed to form the closed curve described above.
  • the main body 100 as shown in FIGS. 1, 3, 6A and 7, 2 in the first direction (X) or the second direction (Y) of the plurality of grid protrusions 130
  • two or more grid protrusions 130 of the plurality of grid protrusions 130 are connected to a pair of relatively long length O-ring coupling protrusions 121, 122) and prevents leakage of vacuum pressure at the interview portion of the main O-ring 190 by installing and installing both ends 191 of the main O-ring 190 between the pair of O-ring coupling protrusions 121 and 122. Or minimize it.
  • the protrusion 120 includes a pair of third grid protrusions 123 formed therein, and the vacuum pressure forming hole 142 may be formed between the pair of third grid protrusions 123.
  • the pair of third grid protrusions 123 are formed with bolt installation grooves 122a and 123a extended larger than the inner diameter of the vacuum pressure forming hole 142 for installation of a closing member 145 such as a bolt to be described later. Can be.
  • the second grid protrusion 122 may replace one of the pair of third grid protrusions 123.
  • the main O-ring 190, synthetic rubber, heat-resistant plastic, such as the object to be processed (2) installed on the upper surface of the main body 100 directly or indirectly by the vacuum pressure to be adsorbed by any material can be any material Do.
  • the main O-ring 190 forms a closed curve of a plane shape of a size smaller than the plane size of the object 2 to be fixed, the closed curve is the at least one vacuum pressure forming hole ( 142), and is inserted into the first grid groove line 110 and the second grid groove line 120 to fix the object 2 to be processed directly or indirectly by vacuum pressure.
  • the second grid home line 120 As another embodiment of the first grid home line 110 and the second grid home line 120, the second grid home line 120, as shown in Figure 6b, radially based on a preset center It is formed as a straight line or a curved line, the first grid groove line 110 may be formed as a closed curve of a circle or polygon crossing the second grid groove line 120.
  • the main body 100 is connected to a vacuum pressure forming unit 800, which will be described later, and one or more coupling holes coupled with a pneumatic transmission assembly 501 that delivers vacuum pressure ( 141) is formed inward from the side of the body 100, the vacuum pressure forming hole 142 on the upper surface of the body 100 may be formed to be connected to the coupling hole (141).
  • the coupling hole 141 and the pneumatic forming hole 142 are combined with the pneumatic transmission assembly 501, which will be described later, as a hole formed in the main body 100 to form a vacuum pressure on the upper side of the pneumatic forming hole 142 It can be formed through machining.
  • the object to be processed 2 with respect to the main body 100 can be fixed by adsorption directly or indirectly.
  • the bottom surface of the object 2 to be processed is interviewed on the top surface of the main oring 190 inserted into the first grid groove line 110 and the second grid groove line 120.
  • the closed object formed by the main O-ring 190 to include the vacuum pressure forming hole 142 and a closed adsorption space that cannot be communicated with outside air by the bottom surface of the object 2 to be processed to form the object 2 Can be adsorbed and fixed.
  • the object 2 may be formed or cut through a hole or slot vertically or cut according to the processing method. In this case, the sealing of the adsorption space is destroyed, so that the adsorption and fixation of the object 2 is impossible. There is a problem.
  • a fixing jig 181 that is fixed to the adsorption on the main body 100 is installed and the object 2 to be processed can be fixed to the fixing jig 181.
  • the fixing jig 181 is a configuration for fixing the object 2 for the processing of the object 2 while the bottom surface is adsorbed and fixed to the main body 100, and the fixing method for the object 2 is fixed. Therefore, various configurations are possible.
  • the fixing jig 181 As shown in Figures 4a and 4b, the bottom surface of the main O-ring 190 inserted into the first grid groove line 110 and the second grid groove line 120 It is installed by interview on the upper surface, and by forming a closed suction space that cannot be communicated with external air by the closed curve formed by the main O-ring 190 to include the vacuum pressure forming hole 142 and the bottom surface of the fixing jig 181 It may be adsorbed and fixed to the body 100.
  • the object to be processed 2 can be fixed by various methods such as fixing by a magnet, fixing by a double-sided tape, fixing by bolting.
  • the fixing jig 181 may be any member as long as it is a member that can be adsorbed and fixed by the vacuum chuck module 100, and may have various materials such as synthetic resin materials such as acrylic and metal materials.
  • the fixing jig 181 is screwed by the bolt 182 to the main body 100
  • the hole 183 may be formed and fixed by bolting.
  • the fixing jig 181 may maintain a more robust coupling state with respect to the main body 100.
  • the fixing jig 181 in the fixing method of the fixing jig 181 with respect to the main body 100, it can be fixed by a variety of methods other than bolt coupling, as shown in Figure 4b, the main body 100 and the fixing fixture 184
  • the fixing jig 181 may be fixed by the magnets 184 and 185 installed on at least one of them.
  • the rest must have a magnetic material that can be attached to the magnet.
  • both the main body 100 and the adsorption fixing jig 184 may be fixedly coupled to each other by installing magnets on both the main body 100 and the adsorption fixing jig 184.
  • the fixing method of the main body 100 and the adsorption fixing jig 184 as described above can be applied to the coupling between the main body 100 and the auxiliary body 1000, which will be described later.
  • the fixing of the object 2 to the adsorption fixing jig 184 can be fixed by various methods, and can be fixed by an adhesive means 187 such as a double-sided tape.
  • the object to be processed (2) due to the structure and the plane shape of the machining, it may be difficult to be fixed to the main body 100 in the manner described above.
  • the main body 100 as shown in Figures 6b, 6c and 7, the plurality of first grid groove line 110 and the second grid groove line 120 is inserted into both ends of the O-ring coupling protrusions It may further include an auxiliary body 1000 having a plane shape larger than the plane shape formed by the one or more main o-rings 190 inserted in the 121 and 122 and having a bottom surface contacting the one or more main o-rings 190. Can.
  • the auxiliary body 1000 as shown in Figures 6b, 6c and 7, as a structure for indirectly fixing the object to be processed (2) corresponding to the structure, the plane shape of the machining, the bottom surface is the first A closed curve formed to interview and install the top surfaces of the main O-ring 190 inserted into the grid home line 110 and the second grid home line 120, and to include the vacuum pressure forming hole 142 by the main O-ring 190. And it can be fixed to the main body 100 by forming a closed adsorption space that can not communicate with the outside air by the bottom surface of the auxiliary body (1000).
  • the auxiliary body 1000 may have a structure similar to the main body 100 described above on the upper surface.
  • the auxiliary body 1000 as shown in Figure 6b or 7, may have a variety of planar shapes depending on the planar shape and the processing structure of the object (2).
  • the auxiliary body 1000 as shown in Figure 7, a plurality of first grid groove lines 1110 formed in the first direction (X) on the upper surface, one or more crossing the first direction (X)
  • a plurality of grid protrusions 1120 are formed by one or more second grid groove lines 1120 formed in the second direction Y, and the vacuum pressure formed on the bottom surface of the auxiliary body 1000 is the first grid groove line 1110 )
  • one or more vacuum pressure transmission through holes 1142 may be formed to penetrate through the vertical grid so as to be transmitted to the second grid home line 1120.
  • the first grid home line 1110 and the second grid home line 1120 may be formed similarly to the first grid home line 110 and the second grid home line 120 of the main body 100 described above. have. However, the first grid home line 1110 and the second grid home line 1120 are additionally provided with an auxiliary body 1000 in consideration of a case in which adsorption and fixation are difficult directly by the main body 100. It may be formed differently from the formation pattern of the first grid home line 110 and the second grid home line 120.
  • the auxiliary body 1000 forms a closed curve of a flat shape of a size smaller than the plane size of the object to be fixed (2), the closed curve includes a vacuum pressure transmission through hole 1220
  • the auxiliary O-ring 1190 is formed separately from the "first grid home line 1110 and the second grid home line 1120" and the "first grid home line 1110 and the second grid home line 1120". Inserted into the O-ring insertion groove 1131, the object to be processed 2 can be fixed directly or indirectly by vacuum pressure.
  • the auxiliary body 1000 and the auxiliary O-ring 1190, the main body 100 and the main O-ring 190 and the material and shape are additionally installed in consideration of the case where the adsorption and fixation is difficult directly by the main body 100 It can be configured similarly except that.
  • the fixing jig 181 may be configured such that a flat bottom surface is formed and is in contact with the main O-ring 190 installed in the main body 100 to be adsorbed and fixed by vacuum pressure formed in the closed curve formed by the main O-ring 190.
  • the fixing jig 181 can fix the object 2 by various structures and methods.
  • the fixing jig 181 may fix the object 2 by including fixing means such as a bit used in machining.
  • the main body 100 constituting the vacuum chuck module 1 having the above-described configuration, various modifications are possible except for the configuration in which the first grid home line 110 and the second grid home line 120 are formed. .
  • a plurality of grid protrusions 130 may be formed by one or more second grid groove lines 120 formed in one or more second directions Y crossing (X).
  • the main body 100 it is preferable to have a metal material for a solid fixing in consideration of the high load acts, such as machining, it can be installed on the upper side of the base member of high weight.
  • the coupling structure with the base member as shown in Figure 8d and 8e, the main body 100, a plurality of magnetic force generating member (161) on the bottom surface so that it can be stably fixed to the upper surface of the base member made of a magnetic material ) Can be installed.
  • the magnetic force generating members 161 is a structure in which the main body 100 is fixed by magnetic force on the upper surface of the base member, and any member is possible as long as it is a member capable of generating magnetic force such as permanent magnets and electromagnets.
  • the main body 100 may be provided with a plurality of stoppers 192 for preventing horizontal movement on the top surface of the base member.
  • the stopper 192 is installed on the main body 100 to prevent horizontal movement on the top surface of the base member, and various configurations are possible.
  • the stopper 192 may be formed of a member formed with a slot 192a that is linked to a fixing member 193 fixed to a side surface of the main body 100.
  • the stopper 192 protrudes upward while the object 2, the fixing jig 181, and the like are installed on the upper surface of the main body 100, and the object 2, the fixing jig 181 After being in close contact with the side surface, the stopper 192 may be fixed by the fixing member 193.
  • the main body 100, the object to be processed (2), the fixing jig 181, the position fixing means for fixing the position with the object to be adsorbed and fixed on the upper surface may be further provided.
  • the positioning means as shown in Figures 8a, 8f and 8g, the positioning insertion groove 132, the positioning pin 194 is inserted into at least some of the grid projections 130 Can be formed.
  • the positioning insertion groove 132 is a groove formed to insert the positioning pin 194 coupled to the object 2, the fixing jig 181, and the like, and may have various structures.
  • the positioning insertion groove 132 may be provided with a pin groove forming member 195 having a pin groove 195a into which the positioning pin 194 is inserted for precise positioning.
  • the pin groove forming member 195 is a member in which the pin groove 195a into which the positioning pin 194 is inserted may be coupled to the positioning insertion groove 132 by screwing or the like.
  • main body 100 such as a fixed coupling means for a rigid fixed coupling with the object to be adsorbed and fixed on the upper surface may be further provided.
  • the fixed coupling means may have a screw coupling groove 133 through which the fixed coupling screws 198 are screwed on at least some of the grid protrusions 130. have.
  • the screw coupling groove 133 is a groove in which a fixed coupling screw 198 is screwed to at least some of the grid protrusions 130, and a female screw portion is formed on an inner circumferential surface to be screwed with the fixed coupling screw 198.
  • the screw coupling groove 133 may be provided with a female screw forming member 196 having a female screw portion 197 screwed with a fixed coupling screw 198 on an inner circumferential surface for precise coupling with the fixed coupling screw 198. have.
  • the female screw forming member 196 is a member having a female screw portion 197 formed to be screwed with a fixed coupling screw 198 on an inner circumferential surface for precise coupling with the fixed coupling screw 198, and various configurations are possible.
  • the object to be processed (2) and the fixing jig 181 are stably fixed on the main body 100, thereby enabling precise machining.
  • the vacuum chuck module in particular, the main body 100, can receive the vacuum pressure by the pneumatic transmission assembly 501 connected to the vacuum pressure forming unit 800.
  • the pneumatic transmission assembly 501 is connected to a vacuum pressure forming unit 800 that forms a negative pressure, that is, a vacuum pressure, from the vacuum pressure forming unit 800 to the vacuum chuck module 1, that is, the vacuum pressure in the body 100
  • a vacuum pressure forming unit 800 that forms a negative pressure, that is, a vacuum pressure
  • the vacuum pressure forming unit 800 to the vacuum chuck module 1, that is, the vacuum pressure in the body 100
  • various configurations are possible according to the structure of the vacuum pressure transmission flow path.
  • the pneumatic transmission assembly 501 is connected to at least one pneumatic transmission pipe 591, and at least one pneumatic connection block 580 connected to the pneumatic transmission pipe 591 to branch the pneumatic flow path or change the direction of the pneumatic flow path ), and a pipe coupling member 570 coupled to a pneumatic connection block 590 or the like to couple the pneumatic transmission pipe 591.
  • the pneumatic transmission pipe 591 is installed as one or more, a variety of pipes can be used as a pipe for transmitting the negative pressure, that is, the vacuum pressure formed by the vacuum pressure forming unit 800, while installing and assembling while withstanding the vacuum pressure It is preferable to use a material that is free of warpage to facilitate this.
  • the at least one pneumatic connection block 580 is connected to the pneumatic transmission pipe 591 to diverge the pneumatic flow path or to change the direction of the pneumatic flow path, and various configurations are possible.
  • the pneumatic connection block 580 as shown in Figures 1 to 3, 9a to 10b, 12a to 13, as shown in the'T' shaped flow path is formed of a block body 581 Can.
  • the block main body 581 is, for example, a main flow path 582 formed in the longitudinal direction of a polygonal block such as a cylindrical block or a square pillar having a predetermined length to form a'T'-shaped flow path, and the main flow path from the side ( 582), a branch flow path 583 formed to communicate may be formed.
  • the pipe joint member 540 is fitted at both ends, the piping coupling member 570 for coupling of the pneumatic transmission pipe 591 described above is coupled to communicate with other members, or the cover member ( 146) can be combined and closed.
  • the pipe joint member 540 one end is fitted into the coupling hole 141 or the main flow path 582 formed in the main body 100 constituting the vacuum chuck module 1, the other end is exposed to the outside and the pipe coupling member ( 570), a slide valve 500, a cover member 146, and the like, which are described later, can be configured in various ways.
  • the pipe joint member 540 another member to which at least one end is coupled, for example, the coupling hole 141 or the main ring 582 in the case of a simple fitting coupling, the O-ring 542 is interposed and another member coupled
  • An annular groove 548 into which a wedge shape formed at the end of the fixing screw 594 is inserted may be formed on the outer circumferential surface so as to be fixed to the fixing screw 594 installed therethrough.
  • the cover member 146 is a member for preventing external air from entering when a flow path such as a pneumatic transmission pipe 591 is unnecessary in the main flow path 582 and may have various configurations depending on a coupling structure.
  • the cover member 146 is a member for blocking external air from being transferred to the vacuum pressure transmission flow path in the formation of the vacuum pressure transmission flow path, and is illustrated in FIGS. 1, 2, 11 and 12A to 12B. As can be, it can be installed in various locations.
  • the cover member 146 may be coupled to the pneumatic connection block 580, as shown in FIGS. 1 and 2.
  • the cover member 146 may be coupled to the main body 100, as shown in FIG.
  • an adapter member 149 may be additionally installed on a member to which the cover member 146 is coupled, such as the body 100 for coupling the cover member 146.
  • the pipe joint member 540 is coupled to another member to which at least one end is coupled, for example, a branch flow path 583 or a cover member 146 is coupled to the fixing screw 594 described above.
  • a male screw portion may be formed on the outer circumferential surface to be screwed with the branch flow path 583 or the cover member 146 in a state where the O-ring is difficult to be fixed.
  • the pipe joint member 540 as shown in Figures 9a and 9b, the vacuum chuck module 1, that is, when fitted into the coupling hole 141 formed in the body 100, the pipe joint member 540 A filter member 549 for preventing foreign matter from entering the furnace may be combined.
  • the filter member 549 is a configuration for preventing the inflow of foreign substances into the pipe joint member 540 when fitted in the coupling hole 141 formed in the vacuum chuck module 1, that is, the main body 100, which is an object of inflow prevention.
  • Various configurations are possible depending on the type of foreign material.
  • the filter member 549 is configured as a mesh member to prevent the inflow of generated chips (particles). Can be.
  • the pipe coupling member 570 is coupled to a pneumatic connection block 590 or the like, and is capable of various configurations as a configuration for coupling the pneumatic transmission pipe 591.
  • the pipe coupling member 570 one end of the pipe joint member 540 described above is coupled to the inside is coupled, the other end is coupled to the inside of the pneumatic transmission pipe 591, the coupling body 571,
  • the other end of the coupling body 571 is screwed with the male screw portion formed on the outer circumferential surface of the coupling body 571 in the state fitted to the pneumatic transmission pipe 591 to securely fix the pneumatic transmission pipe 591 to the coupling body 571
  • the pneumatic transmission assembly 501 transmits vacuum pressure by being coupled to the main body 100 of the vacuum chuck module 1 or coupled to the pneumatic connection block 580, where a negative pressure, that is, a vacuum pressure is formed in the flow path.
  • a negative pressure that is, a vacuum pressure is formed in the flow path.
  • the pneumatic transmission assembly 501 is installed in a vacuum pressure transmission flow path, as shown in FIGS. 9A to 10B and 12A to 15, and transmits vacuum pressure from the first stage to the second stage. And it is preferable to further include a vacuum slide valve 500 to perform the shut-off.
  • the vacuum slide valve 500 is installed in a vacuum pressure transmission flow path and is configured to perform vacuum pressure transmission and blocking from the first stage to the second stage, and various configurations are possible.
  • the vacuum slide valve is installed in a vacuum pressure transmission flow path and is formed in a longitudinal direction at both ends, and is formed with a first communication portion 513 and a second communication portion 514 isolated from each other, and the first communication portion ( 513) and the second communication portion 514, the first through-hole 511 and the second through-hole 512 to communicate with each of the valve body 510 formed through the side, and the outer peripheral surface of the valve body 510
  • the slide member 520 is installed to allow linear movement with respect to the valve body 510 while in contact with the inner circumferential surface, and performs communication and release of communication between the first communication unit 513 and the second communication unit 514 by linear movement. ).
  • the valve body 510 is installed in a vacuum pressure transmission flow path, is formed in the longitudinal direction at both ends, and is formed with a first communication portion 513 and a second communication portion 514 isolated from each other, and the first communication portion 513 ) And the second communication portion 514, the first through-hole 511 and the second through-hole 512 are formed to penetrate through the side, so various configurations are possible.
  • valve body 510 may be composed of a rod having a cylindrical shape in which a first communication portion 513 is formed from one end and a second communication portion 514 is formed from the other end.
  • the second communication unit 513 and the second communication unit 514 are formed without being connected to each other.
  • valve body 510, the first through-hole 511 and the second through-hole 512 are formed through the side so as to communicate with the first communication portion 513 and the second communication portion 514, respectively.
  • the first through hole 511 and the second through hole 512 are holes formed to communicate with each of the first communicating portion 513 and the second communicating portion 514 at the side of the valve body 510, It may be formed of one or more.
  • the gap between the first through hole 511 and the second through hole 512 is formed smaller than the length of the communication groove 523 formed in the slide member 520 to be described later.
  • the vacuum slide valve 500 is preferably provided with a coupling structure for coupling with other flow path forming members installed in the vacuum pressure transmission flow path, for example, the valve body 510, at least once at both ends
  • the other flow path forming member may be inserted and coupled inside, or the other flow path forming member may be inserted inside and coupled.
  • the coupling structure with the other flow path forming member is possible in various embodiments, the valve body 510, the male screw portion is formed on the outer circumferential surface so that at least one end of both ends is screwed with the female screw portion formed on the inner circumferential surface of the other flow path forming member Can.
  • the flow path forming member the main body 100 of the vacuum chuck module 1 having a coupling hole 141 formed therein, a pipe joint member 540 coupled to the main body 100 of the vacuum chuck module 1, a pneumatic connection block
  • Any member can be used as long as it is a member capable of forming a vacuum pressure transmission channel, such as 580.
  • the slide member 520 is installed to enable linear movement with respect to the valve body 510 while the outer circumferential surface of the valve body 510 is in contact with the inner circumferential surface, and the first communication portion 513 and the second communication portion by linear movement
  • Various configurations are possible as a configuration for performing communication and releasing communication between the 514s.
  • the slide member 520 As an example, the slide member 520, an annular communication groove 523 formed on the inner circumferential surface to release mutual communication and communication between the first through hole 511 and the second through hole 512 by linear movement, A second through hole 512 of a pair of O-ring installation grooves 521 and 522, and a pair of O-ring installation grooves 521 and 522, which are respectively installed at both ends of the communication groove 523 ) Is formed in the vicinity and when the communication between the first through hole 511 and the second through hole 512 is released by linear movement, the second through hole 512 communicates with the outside air to the second through hole 512. It may include a release groove (524) of the annular flow.
  • the slide member 520 may be composed of a cylinder member having an inner diameter equal to or greater than a preset outer diameter of the outer circumferential surface on which the first through hole 511 and the second through hole 512 are formed.
  • the slide member 520 communicates and releases communication between the first through hole 511 and the second through hole 512 by the aforementioned communication groove 523 by the relative linear movement with the valve body 510. By doing so, communication and release of communication between the first communication unit 513 and the second communication unit 514 may be performed.
  • the communication groove 523 is formed on the inner circumferential surface of the slide member 520 to release mutual communication and communication between the first through hole 511 and the second through hole 512 by linear movement. desirable.
  • the pair of O-ring installation grooves 521 and 522 are formed on the inner circumferential surface of the slide member 520 so that the O-rings 551 and 552 are respectively installed at both ends of the communication recesses 523, and are preferably formed in an annular shape.
  • the inflow of outside air into the communication groove 523 may be blocked by the O-rings 551 and 552 installed in the O-ring installation grooves 521 and 522.
  • the release groove 524 is formed in the vicinity of the second through hole 512 of the pair of O-ring installation grooves 521 and 522, and the first through hole 511 and the second through hole 512 by linear movement. ) Is formed on the inner circumferential surface of the slide member 520 so as to communicate with the second through hole 512 and allow outside air to flow into the second through hole 512 when the communication between them is released.
  • the release groove 524 is preferably formed to allow the inflow of external air.
  • a plurality of ventilation holes 525 formed on side and end surfaces of the slide member 520 and a slide member at the ends of the slide member 520 The inner circumferential surface of 520 is formed at a distance from the outer circumferential surface of the valve body 510, thereby allowing external air to flow into the release groove 524.
  • the vacuum slide valve 500 having the above-described configuration is installed on the vacuum pressure transmission flow path and can release the vacuum pressure on either end of both ends by a simple operation.
  • the vacuum slide valve 500 having the above-described configuration has been described as an example applied to the vacuum chuck module 1 shown in FIGS. 1 to 7, but a fluid forming flow path forming a flow path of fluid such as vacuum pressure.
  • a fluid forming flow path forming a flow path of fluid such as vacuum pressure.
  • it can be used as a valve that is installed in the first stage to perform the transfer and blocking of fluid from the second stage.
  • a vacuum slide valve that performs vacuum pressure transfer and shut-off from the first stage to the second stage, it is installed in the vacuum pressure transmission flow path and can release the vacuum pressure at either end of the both ends by simple operation.
  • the vacuum slide valve 500 is coupled to the upstream end of both ends of the valve body 510 based on the flow direction of the fluid in the vacuum pressure transmission flow path, the first communication portion 513 and the second communication portion 514
  • a filter member 549 for preventing foreign matters from flowing into any one of them may be additionally combined.
  • the filter member 549 as shown in Figures 9a to 10b, when the vacuum chuck module (1), that is fitted in the coupling hole 141 formed in the body 100, foreign matter to the pipe joint member 540 As a configuration to prevent the inflow of the various configurations are possible depending on the type of foreign material to be prevented.
  • the filter member 549 is configured as a mesh member to prevent the inflow of generated chips (particles). Can be.
  • the vacuum chuck module and the process system having the same facilitate the preparation of the vacuum chuck module by forming an O-ring connecting protrusion where both ends of the O-ring are interviewed and inserted in the formation of a grid groove formed on the upper surface.
  • the sealing force of the O-ring installation can be greatly improved.
  • the vacuum chuck module and the process system having the same according to the present invention are installed in a transmission path of vacuum pressure to further include a vacuum slide valve that performs vacuum pressure transfer and blocking from the first stage to the second stage. It can be installed on the transmission flow path to release the vacuum pressure on either end of both ends by simple operation.
  • Vacuum pump 800 according to the present invention, as shown in Figures 16a to 23, the air inlet 305 is formed at one end and the air outlet 306 is formed at the other end, a plurality along the longitudinal direction on the side
  • One or more hollow nozzle portion 300 is formed through the hole 312 of the;
  • the nozzle unit 300 includes a chamber 400 installed therein.
  • the nozzle unit 300 as one or more hollow members are formed with an air inlet 305 at one end, an air outlet 306 at the other end, a plurality of through holes 312 are formed along the longitudinal direction on the side Various configurations are possible.
  • the air flowing through the air inlet 305 of one end of the nozzle part 300 flows along the air flow path formed by the hollow inside the nozzle part 300 and then discharged to the outside through the air outlet 306 of the other end.
  • the plurality of through holes 312 are formed along the longitudinal direction (air flow direction through the nozzle unit 300) on the side surface of the nozzle unit 300 and can communicate with the air passage inside the nozzle unit 300, Accordingly, air around the nozzle unit 300 may be discharged through the air outlet 306 together with air introduced through the air inlet 305 after flowing into the nozzle unit 300 through the through hole 312. .
  • the cross-sectional area of the air passage may be increased from the air inlet 305 to the air outlet 306. At this time, the cross-sectional area of the air flow path can be varied by varying the diameter DA of the air flow path.
  • the nozzle part 300 has a larger cross-sectional area of the internal air passage from the air inlet 305 to the air outlet 306, and a plurality of through holes 312 communicating with the air passage on the side length on the side of the nozzle part 300 Various shapes and structures are possible if formed in the direction.
  • the nozzle unit 300, a plurality of through-hole forming members 310, one or more through-holes 312 are formed on the side, and at least a portion is inserted into the through-hole forming member 310 to form the air passage It may include a plurality of flow path forming member 320.
  • the through-hole forming member 310 is a hollow column, and each through-hole forming member 310 is preferably formed to have the same outer diameter and inner diameter along the longitudinal direction.
  • each of the plurality of through-hole forming members 310 may be configured to have the same shape and size to improve manufacturability.
  • each through hole forming member 310 may be formed with two through holes 312 along the circumferential direction on the side surface.
  • the flow path forming member 320 is at least partially inserted into one end of the through hole forming member 310 to form a part of the air flow path of the nozzle unit 300, and various configurations are possible.
  • the through-hole forming member 310 may be installed between neighboring flow path forming members 320.
  • the neighboring flow path forming members 320 may face each other at a distance from each other at a position corresponding to the through hole 312 of the through forming member 310 coupled therebetween.
  • the flow path forming member 320 and the through hole forming member 310 are alternately positioned so that a plurality of through holes 312 can be positioned along the longitudinal direction of the nozzle unit 300 and through holes 312 and flow passages.
  • the air passages formed by the forming member 320 may communicate with each other.
  • one end of the flow path forming member 320 positioned at one end of the nozzle unit 300 may correspond to the air inlet 305 described above, and the plurality of flow path forming members ( Among the 320), the end of the flow path forming member 320 positioned at the other end of the nozzle unit 300 may correspond to the air outlet 306 described above.
  • a coupling portion coupled to the chamber 400 to be described later may be formed on the outer surface of the flow path forming member 320.
  • One or more O-ring members 302 may be installed in the coupling portion for close coupling with the chamber 400 described below.
  • the above-described hole forming member 310 and the channel forming member 320 may be fixedly coupled in various ways such as mutual assembly and adhesion, but may be made of various materials, but preferably made of a metal material for durability and longevity. It can be done.
  • a plurality of nozzle units 300 having the above-described configuration may be disposed along the circumferential direction around the first through hole 612.
  • the capacity of the vacuum pump 800 is determined by the installation number of the nozzle unit 300.
  • the chamber 400 is a configuration in which the nozzle unit 300 is installed inside, and various configurations are possible.
  • the chamber 400 includes a first insertion hole 412 through which one end of the nozzle unit 300 is inserted and fixed, and a second insertion hole 414 through which the other end of the nozzle unit 300 is fixed through insertion.
  • a first side wall 410 forming the inner space IS surrounding the side surface of the nozzle part 300 and the first side wall of the first chamber 410 having the first insertion hole 412 formed thereon
  • a second chamber 420 which is combined to form an air inlet passage communicating with the air inlet 305 of the nozzle part 300 and a vacuum space VS in which a vacuum atmosphere is formed according to air flow through the nozzle part 300
  • a third chamber 430 coupled to a second side wall in which the second insertion hole 414 of the first chamber 410 is formed to form an air outflow passage communicating with the air outlet 306 of the nozzle unit 300 It may include.
  • the first chamber 410 has a first insertion hole 412 through which one end of the nozzle unit 300 is inserted and fixed, and a second insertion hole 414 through which the other end of the nozzle unit 300 is inserted through and fixed. This is formed, and a variety of configurations are possible as a configuration for forming an inner space IS surrounding the side surface of the nozzle unit 300.
  • the first insertion hole 412, one end (air inlet 305 side) of the nozzle unit 300, more specifically, the flow path forming member 320 positioned at one end of the nozzle unit 300 is inserted through As it is a fixed fixture, various configurations are possible.
  • a plurality of first insertion holes 412 for installing a plurality of nozzle units 300 may be formed in the first chamber 410.
  • the second insertion hole 414, the other end of the nozzle unit 300 (air outlet 306 side), more specifically, the flow path forming member 320 positioned at the other end of the nozzle unit 300 is inserted through Various configurations are possible with fixed fixtures.
  • a plurality of second insertion holes 414 for installing a plurality of nozzle units 300 may be formed in the first chamber 410.
  • the flow path forming member 320 of the nozzle part 300 may be supported by the first insertion hole 412 and the second insertion hole 414 of the corresponding first chamber 410.
  • the first chamber 410 may form an internal space IS surrounding the nozzle unit 300 fixed to the first insertion hole 412 and the second insertion hole 414.
  • the second chamber 420 is coupled to the first side wall in which the first insertion hole 412 of the first chamber 410 is formed, and an air inflow passage and nozzle communicating with the air inlet 305 of the nozzle unit 300 Various configurations are possible with the configuration of forming a vacuum space (VS) in which a vacuum atmosphere is formed according to the air flow through the unit 300.
  • VS vacuum space
  • the second chamber 420 is coupled to the first side wall in which the first insertion hole 412 of the first chamber 410 is formed, so that the air inlet of the nozzle part 300 through the first insertion hole 412 ( 305) and an air inlet space communicating with the air inlet space to form a vacuum space (VS).
  • VS vacuum space
  • the air inlet space is a space in which an air inlet flow path communicating with the air inlet 305 of the nozzle unit 300 is formed, and various shapes and structures are possible.
  • the second chamber 420 as shown in Figure 20, the first insertion hole 412 and the air inlet space to communicate with the engaging surface coupled to the first side wall of the first chamber 410
  • a communication hole 426 may be formed.
  • the communication port 426 may be formed in various shapes and sizes according to the arrangement and size of the air inlet space.
  • one or more air supply ports 424 coupled to an air supply unit for supplying external air (compressed air) through an air inlet space may be formed on one side of the second chamber 420.
  • the vacuum space VS is a space in which a vacuum atmosphere is formed according to air flow through the nozzle unit 300, and various configurations are possible.
  • the second chamber 420 as shown in Figure 20, the inner space (IS) and the vacuum of the first chamber 410 on the engaging surface coupled to the first side wall of the first chamber 410
  • a communication port 425 communicating the space VS may be formed.
  • the communication port 425 may be formed in various shapes and sizes according to the arrangement and size of the vacuum space VS.
  • a component that requires vacuum formation eg, a component that is coupled to the vacuum separator 700 and needs to form a vacuum formed in the vacuum space VS
  • One or more vacuum transmission holes 427 may be formed for delivery to the vacuum separator 700.
  • the third chamber 430 is coupled to a second side wall in which the second insertion hole is formed in the first chamber 410 to form an air outflow passage communicating with the air outlet 306 of the nozzle unit 300. Configuration is possible.
  • the third chamber 430 has an opening 436 formed on a coupling surface with the first chamber 410 to communicate with the air outlet 306 of the nozzle unit 300 inserted into the second insertion hole.
  • an outlet 434 through which air discharged through the air outlet 306 is discharged to the outside may be formed.
  • the vacuum pump 800 may further include a silencer 232 installed in an air outflow passage of the third chamber 430 and through which air flowing through the air outflow passage is discharged to the outside.
  • the silencer 232 is configured to reduce noise caused by the discharged air, and various configurations are possible.
  • the silencer 232 may be installed in the above-described outlet 434.
  • the first chamber 410 is the air flow from the inner space (IS) to the vacuum space (VS) of the second chamber 420 on the first side wall.
  • a first check valve 610 may be installed to block air flow from the vacuum space VS to the interior space IS while blocking.
  • the first check valve 610 is formed on the first side wall to communicate the inner space IS of the first chamber 410 and the vacuum space VS of the second chamber 420. ), and a first check valve member 614 for covering the first through hole 612 on the inner space IS side.
  • the first through hole 612 may be formed in various shapes and sizes, and may be formed in plural.
  • the first through hole 612 may be formed in a fan shape and may be formed in a plurality in the circumferential direction around the center of the first chamber 410.
  • the inner space IS of the first chamber 410 and the vacuum space VS of the second chamber 420 may communicate with each other through the first through hole 612.
  • a coupling region 615 coupled with a first check valve member 614, which will be described later, may be formed.
  • the first check valve member 614 is coupled to the first chamber 410 in the coupling region of the first side wall center portion of the first chamber 410 to form a plurality of first through holes 612 formed along the circumferential direction. It is a check valve member that allows air flow from the vacuum space (VS) to the internal space (IS) while blocking the air flow from the internal space (IS) to the vacuum space (VS). Do.
  • the first valve member 614 may be a valve plate made of rubber.
  • the first chamber 410 of the above-described vacuum chamber 10, as shown in Figures 16a to 18 and 22, the longitudinal direction of the nozzle unit 300 (air flow through the nozzle unit 300) A plurality of through-holes 312 formed along the direction) may further include at least one partition 212 that divides the inner space IS of the first chamber 410 into a plurality of sub-spaces SS. Can.
  • a third insertion hole 416 through which the nozzle portion 300 is inserted may be formed in the partition wall portion 212.
  • the partition portion 212 is positioned between neighboring through holes 312 based on the longitudinal direction, and the coupling portion of the flow path forming member 320 of the nozzle portion 300 is supported by the third insertion hole 416. Can be.
  • the O-ring member 302 may be installed along the circumference of the outer surface of the flow path forming member 320 for airtightness between the subspaces SS partitioned by the partition 212.
  • a second check valve 620 that blocks one-way air flow between neighboring sub-spaces SS may be installed at the partition 212. .
  • the second check valve 620 is formed in the partition 212, the second through-hole 622 for communicating the adjacent sub-space (SS), and the second through-hole 622 adjacent to the sub-space ( Among the SS) may include a second check valve member 624 that is retracted from the air inlet 305 and the distant subspace SS.
  • the second through hole 622 may be formed in various shapes and sizes, and may be formed in plural.
  • the second through hole 622 may be formed in a fan shape and may be formed in a plurality in the circumferential direction around the center of the partition 212.
  • Neighboring sub-spaces SS may communicate through the second through hole 622.
  • a coupling region 625 coupled with a second check valve member 624, which will be described later, may be formed.
  • Various shapes and materials are possible as a check valve member that enables air flow to the space (SS).
  • the second valve member 624 may be a valve plate made of rubber.
  • the first chamber 410 as shown in Figures 16a to 18 and 22, the first insertion hole 412 is formed and the first check valve 610 is installed first
  • the sub-chamber 410a, one or more second sub-chambers 410b including the partition 212, and a third sub-chamber 410c in which the second insertion hole is formed may be included.
  • first sub-chamber 410a, the second sub-chamber 410b, and the third sub-chamber 410c may be sequentially stacked and combined along the longitudinal direction of the nozzle unit 300.
  • FIGS. 16A to 18 and 22 an exemplary embodiment in which two second sub-chambers 410b are sequentially coupled between the first sub-chamber 410a and the third sub-chamber 410c is shown. will be.
  • the inner space IS of the first chamber 410 may be divided into three sub-spaces SS arranged in the longitudinal direction of the nozzle unit 300.
  • a first check valve 610 and a second check valve 620 may be installed in the first sub-chamber 410a and the second sub-chamber 410b, respectively.
  • the first check valve 610 and the second check valve 620 may be sequentially opened and closed according to a vacuum level formed according to air flow by the nozzle unit 300.
  • the compressed air is introduced into the air inlet passage through the communication port of the second chamber 420 and the compressed air introduced is introduced into the air passage inside the nozzle part 300 through the air inlet 305 of the nozzle part 300. Flows along.
  • the pressure inside the nozzle unit 300 decreases, and accordingly, the nozzle unit corresponding to the air in the subspace SS of the first chamber 410 It may be introduced into the air passage of the nozzle unit 300 through the through hole 312 of (300).
  • the pressure of the subspace SS may be gradually lowered.
  • the vacuum pump 800 further includes two second check valves 620 in addition to one first check valve 610, the first check valve 610 and the first according to the vacuum degree
  • the opening and closing operation of the 2 check valve 620 is as follows.
  • the second check valve 620 installed at 410b is closed first.
  • the second sub-chamber 410b is formed in the sub-space SS closer to the air inlet 305.
  • the second check valve 620 is then closed.
  • the vacuum space VS of the second chamber 420 may be closed by closing the first check valve 610.
  • Compressed air introduced through the second chamber 420 and air introduced into the nozzle unit 300 through the through hole 312 are combined and then discharged to the outside through the silencer 232 through the outlet of the third chamber 430.
  • the vacuum step formed by the vacuum pump 800 may be further subdivided by increasing the number of second subchambers 410b constituting the first chamber 410.
  • the nozzle unit 300 installed in the first chamber 410 may also include corresponding through hole forming members 310 corresponding to the number of sub-spaces SS divided in the second sub-chamber 410b.
  • FIGS. 16A to 18 and 22 show four nozzle portions 300 by forming four first insertion holes 412, second insertion holes, and third insertion holes 416 in the chamber 400, respectively. ) Is illustrated as the maximum capacity, but the embodiment of the present invention is not limited thereto.
  • An embodiment in which two, four, eight nozzle units 300 are installed is also possible, and at least some of the nozzle units 300 are removed, and corresponding first insertion holes 412, second insertion holes, And an embodiment in which the capacity of the vacuum pump 800 is varied by closing the third insertion hole 416.
  • the vacuum pump 800 for the variable capacity, the first insertion of the plurality of first insertion holes 412 and the plurality of second insertion holes, the nozzle portion 300 is not inserted through One end and the other end of the ball 412 and the second insertion hole may be further inserted, and may further include a closing member 400 closing the first insertion hole 412 and the second insertion hole.
  • the closing member 400 is a stick member having the same external shape as the nozzle part 300 without an air passage inside and a through hole 312 formed on the side surface, and may function as a dummy nozzle part.
  • the closing member 400 may be made of the same shape as the nozzle unit 300 except for the air passage and the through hole 312.
  • the chamber 200 can be adjusted between the number of nozzles 300 installed from 1 to N-1 (N is a natural number of 2 or more), the remaining first insertion hole 412 where the nozzle unit 300 is not installed, and
  • N is a natural number of 2 or more
  • the closing member 400 in the second insertion hole 414 (including the third insertion hole 416 when the third insertion hole 416 is formed)
  • the capacity of the vacuum pump can be easily varied.
  • the chamber 200 shows a case where three nozzles 300 and one closing member 400 are installed, in which case the maximum capacity of the chamber 200 shown (four nozzles ( 300) can be used as a vacuum pump of a smaller capacity than the capacity when installed.
  • the O-ring member 302 installed on the outer surface of the nozzle unit 300 described above is also installed on the outer surface of the closing member 400. Of course it can.
  • the vacuum pump 800 having the configuration as described above, a vacuum chuck that forms an underpressure on the surface to fix an object, a transport tool for picking up and transporting the object using the negative pressure, and a transport tool for adsorbing and fixing an object, and a liquid It can be used in a variety of fields, such as devices and systems that require the formation of a negative pressure, such as a gas-liquid separation device that discharges gas by removing the liquid from the gas included.
  • vacuum pump 800 may be used in various ways by being coupled to components that require vacuum formation.
  • the vacuum pump 800 vacuum separator for removing foreign matter, in the state of adsorbing and fixing the object to be processed (2) by vacuum pressure, to perform machining such as a milling machine, drilling machine, grinding machine, welding machine It can be utilized in the vacuum chuck module (1).
  • the vacuum pump 800 is not limited to the above-described vacuum module 1, but can be applied to various vacuum modules 1 as long as the object 2 can be adsorbed and fixed.
  • the liquid is removed from the gas introduced through the inlet portion 750 and the inlet portion 750 flowing into the mixed state of the liquid and gas on the upper side
  • a vacuum separator 700 is installed at the bottom of the separation housing 710 and includes a liquid discharge unit 740 for discharging the liquid removed from the gas introduced through the inlet portion 750 to the outside.
  • the inlet portion 750 is installed on the upper side of the separating housing 710 and has a configuration in which liquid and gas are mixed in the upper side, and various configurations are possible depending on the fluid inflow structure.
  • the inlet portion 750 is preferably composed of a pipe extending downward through the upper plate 720, which will be described later, for efficient separation of the liquid after the gas containing the liquid flows into the separation housing 710. Do.
  • the inlet portion 750 is composed of a pipe extending downward through the upper plate 720, the liquid contained in the gas can be effectively removed by being discharged into the liquid contained in the separation housing 710.
  • the inlet portion 750 is a structure in which gas is sucked by the negative pressure formed in the inner space of the separating housing 710, a vacuum chuck module for adsorbing and fixing the object by the negative pressure, and a transport tool for adsorbing and fixing the object at the end , It may be connected to a suction nozzle or the like to remove and remove foreign substances.
  • an auxiliary vacuum separator 701 capable of removing a foreign substance in a solid state may be additionally installed in front of the inlet portion 750 based on the flow of fluid, which is effective for liquid separation.
  • the auxiliary vacuum separator 701 is installed on the front side of the inlet portion 750 to remove foreign substances contained in the inhaled gas, and various configurations are possible according to the foreign substance removal principle and method.
  • the discharge portion 760 is a configuration in which liquid is removed from the gas introduced through the inlet portion 750 and discharged, and various configurations are possible.
  • the discharge part 760 may be configured with a through hole 761 formed to penetrate the upper plate 720.
  • the discharge unit 760, the vacuum pump 800 for the formation of a negative pressure, that is, vacuum pressure in the inner space of the separation housing 710 may be coupled.
  • the vacuum pump 800 has been described with reference to the ejector vacuum pump described with reference to FIGS. 16A to 22, but a gas transfer type vacuum pump, a gas capture type vacuum pump, and more specifically, a volume transfer type vacuum A pump, a dynamic vacuum pump including an ejector vacuum pump, or the like can be used.
  • the discharge unit 760 when the liquid discharge of the liquid discharge unit 740, which will be described later, when the negative pressure, that is, vacuum pressure is formed in the inner space, the discharge of the liquid is not smooth, which is transferred from the vacuum pump 800 It is preferable that a check valve 762 for blocking vacuum pressure is additionally installed.
  • the check valve 762 when the liquid is discharged from the liquid discharge unit 740, the negative pressure, that is, the discharge of the liquid is not smooth when vacuum pressure is formed in the internal space, and the vacuum pressure transmitted from the vacuum pump 800 is applied.
  • Various configurations are possible as a configuration for blocking.
  • a filter may be installed to block foreign substances inside the separation housing 710 from entering the vacuum pump 800.
  • the filter is installed with and/or in place of the installation of the check valve 762, and various configurations are possible as a configuration for blocking foreign substances inside the separation housing 710 from flowing into the vacuum pump 800.
  • a switching valve for connecting or releasing a flow path with a component may be installed between a vacuum pressure connecting pipe (not shown) and an inlet portion 750 connected to components requiring vacuum formation, such as the vacuum chuck module.
  • the switching valve may perform a flow path connection in which the vacuum pressure of the vacuum pump 800 described above is connected to the vacuum pressure connection pipe, and cut off the vacuum pressure to the vacuum pressure connection pipe.
  • the switching valve may operate to transmit atmospheric pressure to the inlet portion 750.
  • the separation housing 710 in particular, the upper plate 720, the negative pressure release check valve 763 to release the negative pressure in the internal space of the separation housing 710 when the liquid discharged from the liquid discharge unit 740 Can be installed.
  • the negative pressure release check valve 763, the separation housing 710 is particularly installed on the upper plate 720, when the liquid discharge unit 740 discharges the liquid, the outside air flows into the interior space of the separation housing 710 Various configurations are possible as a valve to open as much as possible.
  • the separation housing 710 the inlet portion 750 flowing in a state in which liquid and gas are mixed in the upper side, and an outlet portion 760 in which liquid is removed and discharged from the gas introduced through the inlet portion 750
  • the separation housing 710 the inlet portion 750 flowing in a state in which liquid and gas are mixed in the upper side
  • an outlet portion 760 in which liquid is removed and discharged from the gas introduced through the inlet portion 750
  • Various configurations are possible as the configuration is provided.
  • the separation housing 710 is provided with an inlet portion 750 and an outlet 760 to form an internal space in which liquid is stored in the gas introduced through the inlet portion 750, FIGS. 23 to As shown in 27, the inlet portion 750 and the outlet plate 760, the upper plate 720 is installed, and the liquid discharge portion 740 is provided with the bottom of the separation housing 710, the liquid discharge portion 740
  • the lower plate 730 is installed, and the upper plate 720 and the lower plate 730 may be combined with the cylinder member 770 to form an inner space isolated from the outside.
  • the upper plate 720 is a configuration in which the inlet portion 750 and the outlet portion 760 are installed, and various configurations are possible according to a coupling structure with other members.
  • the lower plate 730 constitutes the bottom of the separation housing 710 in which the liquid discharge unit 740 is installed, and the liquid discharge unit 740 is installed, and various configurations are possible depending on a coupling structure with other members.
  • the cylinder member 770 is combined with the upper plate 720 and the lower plate 730 to form an internal space isolated from the outside, and various configurations are possible.
  • the cylinder member 770 it is preferable that a member of a transparent material is used so as to check the amount of liquid contained therein.
  • the liquid discharge unit 740 is installed at the bottom of the separating housing 710 and discharges the liquid removed from the gas introduced through the inlet portion 750 to the outside, and various configurations are possible.
  • the liquid discharge part 740 is installed through the bottom of the separation housing 710 and is connected to a check valve 741 that is opened and closed by control, and a check valve 741, and a check valve 741 is provided. It may include a discharge pipe 742 for discharging the liquid removed from the gas introduced through the inlet portion 750 by the opening operation to the outside.
  • the check valve 741 of the liquid discharge unit 740 is operated to separate the gas from the separation housing 710. Liquid can be discharged outside.
  • the separation housing 710 may have at least a part of a transparent material so as to measure the amount of liquid contained therein, and the scale may be displayed in the vertical direction.
  • the separation housing 710 may be additionally installed with a sensor for measuring the amount of liquid contained therein, such as a water level sensor, to automatically discharge the liquid contained in the interior space.
  • a sensor for measuring the amount of liquid contained therein such as a water level sensor
  • the vacuum pump 800 when the vacuum pump 800 is connected to the discharge part 760, it may not be smooth to discharge liquid to the outside due to negative pressure, that is, vacuum pressure, in the inner space of the separation housing 710.
  • the discharge unit 760 a check valve 762 for blocking the vacuum pressure transmitted from the vacuum pump 800 is additionally installed, the check valve 762, the liquid of the liquid discharge unit 740 When discharged, the vacuum pressure transmitted from the vacuum pump 800 may be blocked.
  • the separation housing 710 in particular, the upper plate 720, the negative pressure release check valve 763 to release the negative pressure in the internal space of the separation housing 710 when the liquid discharged from the liquid discharge unit 740 Is additionally installed and the negative pressure release check valve 763 is also operated together with the operation of the check valve 762 to smoothly discharge the liquid through the liquid discharge unit 740.
  • the inflow of the liquid and gas through the inlet 750 and the exhaust of the gas through the outlet 760 are continuously made.
  • a secondary vacuum separator 200 for receiving the liquid discharged from the liquid discharge unit 740 and discharging it to the outside is additionally included so that the liquid accumulated in the separation housing 710 can be discharged through the liquid discharge unit 740. can do.
  • the secondary vacuum separator 200 is configured to receive and discharge the liquid discharged from the liquid discharge unit 740 so that liquid accumulated in the separation housing 710 can be discharged through the liquid discharge unit 740.
  • Various configurations are possible.
  • the secondary vacuum separator 200 is coupled to the separation housing 710, the discharge housing 210 and the discharge housing 210 to form an isolation space to contain the liquid discharged from the liquid discharge unit 740, discharge housing 210 ) Is installed at the bottom of the secondary discharge unit 240 for discharging the liquid contained in the discharge housing 210 to the outside; It may be provided in the discharge housing 210 may include an air inlet 260 for introducing the external air into the isolation space to allow the discharge of the liquid through the secondary discharge unit 240.
  • the regular discharge housing 210 is coupled to the separation housing 710 to form an isolation space to contain the liquid discharged from the liquid discharge unit 740, and various configurations are possible.
  • the always discharge housing 210, the separation housing 710, that is, the secondary lower plate 230 and the lower plate 730, which is installed at a distance from the lower plate 730 of the separation housing 710, and the lower plate 730 and It may include a secondary cylinder member 270 coupled to the secondary lower plate 230 to form an isolation space to contain the liquid discharged from the liquid discharge unit 740.
  • the secondary lower plate 230 is configured to be spaced apart from the lower plate 730 of the separation housing 710, and may have a configuration similar to the lower plate 730 of the separation housing 710 described above. .
  • the secondary cylinder member 270 is combined with the lower plate 730 and the secondary lower plate 230 to form an isolation space to contain the liquid discharged from the liquid discharge unit 740, the liquid discharge unit
  • the 740 is configured to be positioned corresponding to the inside of the isolation space, and may have a configuration similar to the cylinder member 770 of the separation housing 710 described above.
  • the secondary discharge unit 240 is installed at the bottom of the discharge housing 210 to discharge the liquid contained in the discharge housing 210 to the outside, and various configurations are possible, and the liquid discharge unit 740 described above It may have a similar configuration.
  • the secondary discharge unit 240 is installed at the bottom of the discharge housing 210, that is, through the secondary lower plate 230, a check valve 241 and a check valve 241 that are opened and closed by control. It is connected to the check valve 241 may include a discharge pipe 742 for discharging the liquid contained in the discharge housing 210 by the opening operation to the outside.
  • the air inlet unit 260 is provided in the discharge housing 210 and is configured to inject external air into the isolation space so that liquid can be discharged through the secondary outlet unit 240, and various configurations are possible.
  • the air inlet 260 is combined with the lower check valve 261 and the lower check valve 261 installed on the discharge housing 210, for example, the secondary lower plate 230, and external air. It may include an air inlet pipe 263 is installed extending to the upper side to be discharged to the upper side of the discharge housing (210).
  • the lower check valve 261 is configured to inject external air into the discharge housing 210 so that liquid discharge is smooth when the liquid is discharged by the secondary discharge unit 240, and various configurations are possible.
  • the check valve 741 of the liquid discharge unit 740 installed in the separation housing 710 is blocked to separate the separation housing 710 ) Can be prevented from affecting the negative pressure formed in the inner space, that is, the vacuum pressure.
  • the air inlet pipe 263 is coupled to the lower check valve 261 and extends upward so that external air can be discharged to the upper side of the discharge housing 210, and various configurations are possible.
  • the air inlet 260 as another example, as shown in Figures 25a and 25b, instead of installing the lower check valve 261, in the flow of the flow path in front of the flow path of the inlet portion 750 It is connected to the installed switching valve 980 and may be configured to receive external atmospheric pressure or vacuum pressure of the vacuum pump 800.
  • the switching valve 980 is installed on the front side of the flow path of the inlet portion 750 to discharge the liquid contained in the interior space of the discharge housing 210 to the outside by communicating with the atmospheric pressure communication member to release atmospheric pressure It is to be transferred to the interior space of the housing 210, and when the discharge of the liquid contained in the interior space of the discharge housing 210 is completed, the vacuum pressure of the vacuum pump 800 is transferred to the interior space of the discharge housing 210.
  • the vacuum pressure transmitted by the switching valve 980 is equal in pressure between the inner space of the discharge housing 210 and the inner space of the separation housing 710.
  • the check valve 741 of the liquid discharge unit 740 is configured to operate open when the pressure in the inner space of the discharge housing 210 is equal to or lower than the pressure in the inner space of the separation housing 710. If the pressure in the inner space of the discharge housing 210 without the control equipment is equal to or lower than the pressure in the inner space of the separation housing 710, the liquid contained in the separation housing 710 may be automatically discharged to the discharge housing 210.
  • the liquid separated from the gas is discharged from the separation housing 710 by operating the check valve 741 of the liquid discharge unit 740. ).
  • the check valve 241 installed in the lower check valve 261 and the discharge housing 210 described above is cut off to separate the housing 710. It can be prevented from affecting the negative pressure, that is, the vacuum pressure formed in the internal space of the.
  • the check valve 741 of the liquid discharge unit 740 when the pressure in the inner space of the discharge housing 210 is equal to or lower than the pressure in the inner space of the separation housing 710, the separation housing 710 It may be configured to automatically discharge the liquid contained in the discharge housing 210.
  • the check valve 741 of the liquid discharge unit 740 is automatically operated without additional control equipment.
  • the pressure in the inner space of the discharge housing 210 is equal to or lower than the pressure in the inner space of the separation housing 710, the liquid contained in the separation housing 710 can be automatically discharged to the discharge housing 210.
  • the check valve 241 of the secondary discharge unit 240 is operated to discharge the liquid from the discharge housing 210 to the outside. .
  • the discharge housing 210 at least a portion may have a transparent material so as to measure the amount of liquid contained therein, the scale may be displayed in the vertical direction.
  • the discharge housing 210 a sensor for measuring the amount of liquid contained in the water level sensor or the like to automatically perform the discharge of the liquid contained in the interior space may be additionally installed.
  • the air inlet unit 260 may discharge the liquid contained in the discharge housing 210 when connected to the switching valve 980 as follows.
  • the check valve 241 of the secondary discharge unit 240 is operated to discharge liquid from the discharge housing 210 to the outside. .
  • the switching valve 980 is operated so that liquid discharge is smooth, and external air is injected into the discharge housing 210, That is, atmospheric pressure is formed in the isolation space of the discharge housing 210.
  • the switching valve 980 is operated to form a vacuum pressure in the isolation space of the discharge housing 210, thereby stopping the liquid discharge to the secondary discharge portion 240. do.
  • the check valve 241 of the secondary discharge part 240 may be automatically operated by a pressure difference.
  • the check valve 741 of the liquid discharge unit 740 is opened to separate the housing 710.
  • the liquid contained in the interior space is transferred to the isolation space of the discharge housing 210.
  • the vacuum separator 700 having the above-described configuration, when it is difficult to separate the liquid contained in the inhaled gas at once, the vacuum separator 700 shown in FIGS. 23 to 27 is serial or parallel based on the flow of the fluid. It is possible to effectively separate the liquid contained in the inhaled gas by being disposed in plural by a back.
  • two modules such as the vacuum pump 800 and the vacuum separator 700 described above, need to be coupled to enable fluid communication in an isolated state from the outside.
  • a link assembly 900 is provided for connecting two modules, such as a vacuum pump 800 and a vacuum separator 700, to enable fluid communication in an isolated state from the outside.
  • the link assembly 900 is configured to connect two modules, such as a vacuum pump 800 and a vacuum separator 700, to allow fluid communication in an isolated state from the outside, and various configurations are possible.
  • the link assembly 900 as shown in Figures 28 to 33b, the first communication hole 911 in the center is formed through the main block 910 and the main block 910 in the center respectively
  • the first module and the second module are fixedly coupled and a pair of coupling blocks 920 formed with a second communication hole 921 in communication with the first communication hole 911 and the main block 910 are coupled to the main block 910 and a fixed block 930 for fixedly coupling a pair of coupling blocks 920.
  • the main block 910 is a block having a rectangular parallelepiped shape and a first communication hole 911 formed in the center, and is preferably formed of a solid material.
  • main block 910 is a female screw portion 915 through which the coupling screws are screwed so that the fixing blocks 930 are fixedly coupled to the main blocks 910 through the fixing blocks 930 to be described later on all four sides. Is formed.
  • the main block 910 has a concave groove 912 into which the coupling key 931 formed on the inner circumferential surface of the fixing block 930 is inserted so as to maintain a solid coupling state with the fixing block 930. It is formed in a position corresponding to.
  • the pair of coupling blocks 920 with the main block 910 in the center, is fixedly coupled to the first module and the second module, respectively, and the second communication hole 921 is in communication with the first communication hole 911.
  • the formed configuration Various configurations are possible as the formed configuration.
  • the pair of coupling blocks 920 are formed with threaded holes 927 through which coupling screws are inserted to be fixedly coupled to the first module and the second module, respectively.
  • the pair of coupling blocks 920 the flat shape has a rectangular shape
  • the grooves 922 on which the coupling keys 931 formed on the inner circumferential surface of the fixed block 930 are inserted on four sides are combined keys 931. It is formed in a position corresponding to.
  • a tapered surface 925 is formed at an edge of the opposite surface of the surface opposite to the surface.
  • the tapered surface 925 is pressurized by a pressing protrusion 932 protruding from the edge of the fixing block 930 when the fixing block 930 is coupled to the main block 910, and the main block 910 and a pair The coupling block 920 is fixedly coupled.
  • O-rings 902 and 903 are installed on the surfaces of the main block 910 and the pair of coupling blocks 920 facing each other to block the inflow of external air.
  • O-ring installation grooves 913 are formed on surfaces where the main block 910 and the pair of coupling blocks 920 face each other.
  • the pair of coupling blocks 920, O-rings (901, 904) are installed to block the inflow of external air on the surface coupled to the first module or the second module, the O-ring (901, 904) is stable
  • an O-ring installation groove 926 is formed on a surface coupled with the first module or the second module.
  • the fixed block 930 is configured to be fixedly coupled to the main block 910 and a pair of coupling blocks 920 by being coupled to the main block 910, to at least one of the four sides of the main block 910. Combined, the main block 910 and a pair of coupling blocks 920 may be fixed.
  • the fixed block 930, a pair of pressing projections 932 are formed to press the tapered surface 925 formed on the coupling block 920 at the edge, and the coupling screw penetrates to the main block 910.
  • a screw hole 931 through which the coupling screw penetrates is formed to be screwed.
  • the tapered surface 925 is formed to decrease in thickness as it goes from the second communication hole 921 of the coupling block 920 to the edge, and correspondingly, the pressure protrusion 932 also corresponds to the tapered surface 925. In addition, the tapered surface 935 can be achieved.
  • the main block 910 and the pair of mating blocks 920 are firmly fixed by pressing the face-to-face surfaces of the taper surface 925 of the coupling block 920 and the taper surface 935 of the fixing block 930 as described above. Combined.
  • the fixing block 930 may be formed with a coupling key 931 inserted into a groove 912 formed in the main body block 910 so as to maintain a solid coupling state with the fixing block 930.
  • the above-described link assembly 900 may implement various coupling structures of the first module and the second module.
  • the auxiliary block 990 is configured to enable fluid communication with the link assembly 900, and has a shape of a rectangular parallelepiped, and communication holes 993, 994, and 995 are provided on at least two or more of the six surfaces. It is formed, it is possible to implement a variety of fluid communication structure by coupling the link assembly 900 to two or more of the communication holes (993, 994, 995).
  • a communication hole 993 to which the link assembly 900 is not coupled may be hermetically coupled by the sealing member 902.
  • auxiliary block 990 may be utilized in various ways, such as a separate valve member such as a switching valve 980.
  • the vacuum separator according to the present invention is coupled to a vacuum pump to remove the liquid from the gas containing the liquid to prevent the liquid from entering the vacuum pump, the operation of the vacuum pump coupled thereto is smooth and prevents failure. There is this.
  • the vacuum separator according to the present invention includes a liquid discharge part having a check valve at the bottom of a separating housing where liquid is collected after the gas containing liquid is introduced, thereby removing liquid from the gas by the operation of the check valve and efficiently discharging liquid to the outside. It has the advantage of being able to be discharged to effectively remove the liquid from the gas.
  • the vacuum separator according to the present invention is coupled to the separation housing and is checked by further comprising a secondary vacuum separator including a secondary discharge unit having a check valve at the bottom of the discharge housing containing the liquid discharged from the liquid discharge unit. It has the advantage of being able to efficiently remove liquid from the gas as it is removed from the gas by the operation of the valve and the liquid can be efficiently discharged to the outside.
  • the liquid accumulated in the separating housing is discharged through the liquid discharge part by continuously installing and discharging the liquid through the inlet part and the gas through the discharge part by additional installation of the secondary vacuum separator. Since it can be removed from the gas and the liquid can be efficiently discharged to the outside, there is an advantage of efficiently removing the liquid from the gas.
  • the pressure inside the vacuum tank is converted to atmospheric pressure, and then the liquid can be discharged, and thus the operation of the device is inefficient.
  • the liquid can be discharged to the outside while maintaining the internal pressure in a vacuum, thereby greatly improving the operating efficiency of the device.

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Abstract

본 발명은, 진공펌프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 노즐을 통해 유체를 분출시켜 진공을 형성하는 진공펌프에 관한 것이다. 본 발명은 일단에 공기유입구(305)가 형성되고 타단에 공기유출구(306)가 형성되며, 측면에 길이방향을 따라 복수의 통공(312)들이 형성되는 하나 이상의 중공형 노즐부(300)와; 상기 노즐부(300)가 내부에 설치되는 챔버(400)를 포함하며, 상기 챔버(400)는, 상기 노즐부(300)의 일단이 관통삽입되어 고정되는 제1삽입공(412)과 상기 노즐부(300)의 타단이 관통삽입되어 고정되는 제2삽입공이 형성되며 상기 노즐부(300)의 측면을 둘러싸는 내부공간(IS)을 형성하는 제1챔버(410)와, 상기 제1챔버(410) 중 상기 제1삽입공(412)이 형성된 제1측벽에 결합되어 상기 노즐부(300)의 공기유입구(305)와 연통되는 공기유입유로 및 상기 노즐부(300)를 통한 공기흐름에 따라 진공분위기가 조성되는 진공공간(VS)을 형성하는 제2챔버(420)와, 상기 제1챔버(410) 중 상기 제2삽입공이 형성된 제2측벽에 결합되어 상기 노즐부(300)의 공기유출구(306)와 연통되는 공기유출유로를 형성하는 제3챔버(430)를 포함하는 진공펌프(800)를 개시한다.

Description

진공펌프 및 이를 포함하는 진공세퍼레이터
본 발명은, 진공펌프 및 이를 포함하는 진공세퍼레이터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 노즐을 통해 유체를 분출시켜 진공을 형성하는 진공펌프 및 이를 포함하는 진공세퍼레이터에 관한 것이다.
진공척이란, 진공압을 이용하여 가공대상물을 직접 또는 간접으로 고정하는 장치로서, 기계가공시 가공대상물의 고정하는 데 사용되는 등 공정시스템에 사용되고 있다.
한편 기계가공의 경우 알루미늄, 알루미늄합금, 스틸 등 금속 재질, 수지 등의 합성수지 재질 등 다양한 재질의 가공대상물에 대하여 드릴링, 밀링 등을 수행하게 되는데 기계가공시 가공대상물에 매우 큰 하중이 가해짐에 따라서 가공대상물의 고정에 대한 신뢰성의 한계로 진공척이 사용되는데 많은 제약이 있는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하고자 진공척 모듈의 선행기술로서 특허문헌 1과 같이, 고정되는 가공대상물에 대한 흡착력의 향상을 위한 방안이 제공되고 있다.
그러나 특허문헌 1에 제시된 구조의 경우 그리드 홈에 삽입된 오링의 끝단을 본딩에 의하여 결합시킴에 따라 진공척 모듈의 준비가 번거로우며 오링에 도포된 본드가 진공척의 그리드 홈에 함께 도포되어 오링이 진공척에 고정되어 유지보수가 불편한 문제점이 있다.
한편 상기와 같은 진공척 모듈은, 진공펌프와 같은 진공압 형성부로부터 배관부재 및 공압전달관으로 구성된 공압전달조립체에 의하여 진공압이 전달됨이 일반적이다.
그런데 진공척 모듈에 결합된 공압전달조립체는, 일부 공압전달관 등의 분리, 일부분에 대한 진공압 전달 해제 등이 필요한 경우 진공펌프의 작동을 멈춘 후에야 일부 공압전달관 등의 분리, 일부분에 대한 진공압 전달 해제가 가능하여 분리 작업이 복잡하며 진공압 손실에 따른 에너지 손실의 문제점이 있다.
또한, 진공척 모듈에 가공대상물을 직접 또는 간접으로 고정하기 위해서는 진공척 모듈에 진공을 형성할 필요가 있다.
진공이란 대기압에서 낮은 압력 기체로 가득찬 공간 안의 상태로 정의될 수 있고, 이러한 진공을 형성하기 위한 수단으로서 특허문헌 5, 6 등의 이젝터가 있다.
이젝터는 압축공기를 이용하여 진공을 형성하는 것으로 진공발생기로도 불리며, 노즐과 디퓨져의 단순한 구조로 이루어져 있다.
노즐은 압축공기의 흐름을 가속하는 역할로 노즐에 압축공기를 흘려보내며 디퓨져는 흐르는 속도를 감속시켜 주위의 공기를 끌어들임으로써 진공을 형성할 수 있다. 디퓨져에서 소음기를 통해 압축공기와 주위공기가 합쳐진 공기가 배출될 수 있다.
이젝터는 별도의 가동부가 없고 수명이 길며, 압축공기를 이용하므로 제어밸브를 공통화할 수 있고 진공도는 압축공기의 공급압에 비례하므로 미세한 제어가 가능한 이점이 있다.
그러나, 종래의 이젝터는 주위 공기가 노즐 및 디퓨저로 유입되는 유입구에 체크밸브가 설치되므로, 체크밸브의 크기에 제한이 있고 진공기밀도가 떨어지며 내구성이 떨어지는 문제점이 있다.
한편 이젝터 등의 진공펌프는, 표면에 부압을 형성하여 대상물을 고정하는 진공척, 대상물을 부압을 이용하여 픽업하여 이송하는 이송툴 함으로써 물건을 흡착고정하는 이송툴, 액체가 포함된 기체에서 액체를 제거하여 기체를 배출하는 기액분리장치 등 부압 형성을 요구하는 장치, 시스템 등 다양한 분야에 사용될 수 있다.
그런데 부압 형성에 의하여 외부공기를 흡입하는 과정에서 파티클, 액체 등이 포함된 상태로 진공펌프에 유입되게 되는 경우 진공펌프가 파손되거나 진공압 손실이 발생되어 진공펌프의 효율을 저하시키는 문제점이 있다.
특히 밀링, 연삭, 드릴링 등 마찰 등을 이용한 기계가공시 연마액이 분사되면서 기계가공이 이루어지는데 기계가공 과정에서 발생하는 이물질(칩)과 함께 액체가 제거되어야만 원활한 기계가공이 이루어질 수 있다.
이때 가공대상물을 진공척을 이용하여 고정하는 경우 기계가공 과정에서 발생하는 이물질(칩)과 함께 액체가 진공펌프로 유입될 수 있다.
이에 진공펌프의 원활한 작동 및 고장을 방지하기 위해서는 부압 형성시 액체 등 이물질이 진공펌프로 유입되는 것을 방지할 필요가 있다.
(특허문헌 1) KR20-0412828 Y1
(특허문헌 2) KR10-1472503 B
(특허문헌 3) KR10-1472503 B
(특허문헌 4) KR10-0629994 B
(특허문헌 5) KR10-1472503 B
(특허문헌 6) KR10-0629994 B
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 인식하여, 노즐부 및 노즐부가 설치되는 챔버를 다단구조로 형성하고 챔버에 진공 형성을 위한 체크밸브를 설치함으로써 저진공, 중진공, 및 고진공 등의 단계별 진공형성이 가능하며 체크밸브의 면적을 크게 할 수 있어 진공기밀성과 내구성을 개선할 수 있는 진공펌프를 제공하는데 있다.
또한 본 발명의 목적은 챔버에 설치되는 노즐부의 개수를 조절함으로써 진공펌프의 용량을 간편하게 가변할 수 있는 진공펌프를 제공하는 데 있다.
또한 본 발명의 다른 목적은 상기와 같은 문제점 및 필요성을 인식하여, 진공펌프에 결합되어 액체가 포함된 기체에서 액체를 제거하여 진공펌프에 액체가 유입되는 것을 방지하여 이에 결합된 진공펌프의 작동이 원활하며 고장을 방지할 수 있는 진공세퍼레이터를 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 일단에 공기유입구(305)가 형성되고 타단에 공기유출구(306)가 형성되며, 측면에 길이방향을 따라 복수의 통공(312)들이 형성되는 하나 이상의 중공형 노즐부(300)와; 상기 노즐부(300)가 내부에 설치되는 챔버(400)를 포함하는 진공펌프(800)를 개시한다.
상기 챔버(400)는, 상기 노즐부(300)의 일단이 관통삽입되어 고정되는 제1삽입공(412)과 상기 노즐부(300)의 타단이 관통삽입되어 고정되는 제2삽입공이 형성되며 상기 노즐부(300)의 측면을 둘러싸는 내부공간(IS)을 형성하는 제1챔버(410)와, 상기 제1챔버(410) 중 상기 제1삽입공(412)이 형성된 제1측벽에 결합되어 상기 노즐부(300)의 공기유입구(305)와 연통되는 공기유입유로 및 상기 노즐부(300)를 통한 공기흐름에 따라 진공분위기가 조성되는 진공공간(VS)을 형성하는 제2챔버(420)와, 상기 제1챔버(410) 중 상기 제2삽입공이 형성된 제2측벽에 결합되어 상기 노즐부(300)의 공기유출구(306)와 연통되는 공기유출유로를 형성하는 제3챔버(430)를 포함할 수 있다.
상기 제1챔버(410)는, 상기 제1측벽에 상기 내부공간(IS)에서 상기 진공공간(VS)으로의 공기흐름은 차단하면서 상기 진공공간(VS)에서 상기 내부공간(IS)으로의 공기흐름은 가능하게 하는 제1체크밸브(610)가 설치될 수 있다.
상기 제1챔버(410)는, 상기 길이방향을 따라 형성된 복수의 통공(312)들 사이에서 상기 내부공간(IS)을 복수의 서브공간(SS)들로 구획하며, 상기 노즐부(300)가 관통삽입되는 제3삽입공(416)이 형성되는 하나 이상의 격벽부(212)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 격벽부(212)에는 이웃하는 서브공간(SS)들 사이의 일방향 공기흐름을 차단하는 제2체크밸브(620)가 설치될 수 있다.
상기 제1챔버(410)는, 상기 제1삽입공(412)이 형성되고 상기 제1체크밸브(610)가 설치되는 제1서브챔버(410a)와, 상기 격벽부(212)를 포함하는 하나 이상의 제2서브챔버(410b)와, 상기 제2삽입공이 형성되는 제3서브챔버(410c)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1서브챔버(410a), 상기 제2서브챔버(410b), 및 상기 제3서브챔버(410c)는, 상기 노즐부(300)의 길이방향을 따라 순차적으로 적층되어 결합될 수 있다.
상기 제1체크밸브(610) 및 상기 제2체크밸브(620)는, 상기 노즐부(300)에 의한 공기흐름에 따라 형성되는 진공레벨에 따라 순차적으로 개폐될 수 있다.
상기 노즐부(300) 내부에 형성되며 상기 통공(312)과 연통되는 공기유로의 단면적은, 상기 공기유입구(305)에서 상기 공기유출구(306)로 갈수록 커질 수 있다.
상기 노즐부(300)는, 상기 통공(312)이 측면에 하나 이상 형성되는 복수의 통공형성부재(310)들과, 적어도 일부가 상기 통공형성부재(310)에 삽입되어 상기 공기유로를 형성하는 복수의 유로형성부재(320)들을 포함할 수 있다.
상기 통공형성부재(310)는, 상기 유로형성부재(320) 사이에 설치될 수 있다.
상기 유로형성부재(320)는, 상기 제1삽입공(412), 상기 제2삽입공(414), 및 상기 제3삽입공(416)에 의해 지지될 수 있다.
상기 제1삽입공(412) 및 상기 제2삽입공(414)은 복수개 형성될 수 있다.
상기 진공펌프(800)는, 상기 복수의 제1삽입공(412)들 및 상기 복수의 제2삽입공(414)들 중 상기 노즐부(300)가 관통삽입되지 않는 나머지 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)에 일단 및 타단이 각각 관통삽입되어 상기 나머지 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)을 폐쇄하는 폐쇄부재(400)를 포함할 수 있다.
상기 진공펌프(800)는, 상기 제3챔버(430) 중 상기 공기유출유로에 설치되며 상기 공기유출유로를 통해 흐르는 공기가 외부로 배출되는 소음기(232)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제1체크밸브(610)는, 상기 제1측벽에 형성되어 상기 내부공간(IS)과 상기 진공공간(VS)을 연통시키는 제1관통구(612)와, 상기 제1관통구(612)를 상기 내부공간(IS) 측에서 복개하며 상기 내부공간(IS)과 상기 진공공간(VS) 사이의 압력차에 의해 개폐되는 제1체크밸브부재(614)를 포함할 수 있다.
상기 제2체크밸브(620)는, 상기 격벽부(212)에 형성되어 이웃하는 서브공간(SS)들을 연통시키는 제2관통구(622)와, 상기 제2관통구(622)를 상기 이웃하는 서브공간(SS)들 중 상기 공기유입구(305)와 먼 서브공간(SS) 측에서 복개하는 제2체크밸브부재(624)를 포함할 수 있다.
다른 측면에서, 본 발명은, 액체와 기체를 분리하기 위한 진공세퍼레이터(700)로서, 액체와 기체가 혼합된 혼합물이 유입되는 유입구와 상기 유입구를 통해 유입된 혼합물이 수용되는 수용공간이 형성되는 본체부와, 상기 수용공간과 상기 진공공간(VS)이 연통되도록 상기 본체부의 상측에 설치되는 진공펌프(800)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공세퍼레이터(700)를 개시한다.
본 발명에 따른 진공펌프는, 노즐부 및 노즐부가 설치되는 챔버를 다단구조로 형성하고 챔버에 진공 형성을 위한 체크밸브를 설치함으로써 저진공, 중진공, 및 고진공 등의 단계별 진공형성이 가능하며 체크밸브의 면적을 크게 할 수 있어 진공기밀성과 내구성을 개선할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 진공펌프는, 챔버에 설치되는 노즐부의 개수를 조절함으로써 진공펌프의 용량을 간편하게 가변할 수 있는 이점이 있다.
다른 측면에소, 본 발명에 따른 진공세퍼레이터는, 진공펌프에 결합되어 액체가 포함된 기체에서 액체를 제거하여 진공펌프에 액체가 유입되는 것을 방지하여 이에 결합된 진공펌프의 작동이 원활하며 고장을 방지할 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 공정시스템의 구성을 보여주는 개념도이다.
도 2a는, 도 1의 공정시스템의 진공척 모듈을 보여주는 사시도이며, 도 2b는, 도 2a에서 A부분을 확대한 확대도이다.
도 3은, 도 1의 진공척 모듈의 평면도이다.
도 4a는, 도 3에서 B-B 방향의 단면도이다.
도 4b는, 도 4a의 변형례로서 자석에 의하여 가공대상물을 고정하는 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 5는, 도 3에서 E 부분의 확대도이다
도 6a는, 도 1의 진공척 모듈에 메인오링이 설치된 예를 보여주는 평면도이다.
도 6b 및 도 6c는, 각각 도 6a의 진공척 모듈에 보조본체가 추가로 설치된 예를 보여주는 평면도 및 측면도이다.
도 7은, 도 6b의 보조본체의 변형례를 보여주는 평면도이다.
도 8a는, 도 1의 진공척 모듈의 본체의 변형례를 보여주는 평면도, 도 8b는, 도 8a의 본체의 우측면도, 도 8c는, 도 8a의 본체의 정면도, 도 8d는, 도 8a의 본체의 배면도, 도 8e는, 도 8a의 본체의 저면도, 도 8f는, 도 8a에서 D 부분을 보여주는 확대도, 도 8g는, 도 8f에서 F-F 방향의 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는, 각각 도 3에서 C-C방향의 단면도로서, 진공슬라이드밸브의 작동을 보여주는 단면도들이다.
도 10a 및 도 10b는, 각각 도 2a에서 X-Y평면에 대한 단면도 일부로서, 진공슬라이드밸브의 작동을 보여주는 단면도들이다.
도 11은, 도 10a의 변형도면으로서 커버부재에 의하여 밀폐된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 12은, 도 1의 진공척 모듈에서 공압전달관, 슬라이드 밸브의 조립 예들을 보여주는 평면도이다.
도 13는, 도 1의 진공척 모듈에서 2개의 공압전달관의 분기를 위한 조립 예를 보여주는 횡단면도이다.
도 14은, 도 9a 내지 도 12에 도시된 진공슬라이드밸브의 일예를 보여주는 사시도이다.
도 15는, 도 14의 진공슬라이드밸브를 보여주는 분해사시도이다.
도 16a 및 도 16b는, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공펌프를 보여주는 사시도 및 정면도이다.
도 17a는, 도 1의 G-G방향 단면을 보여주는 도면이다.
도 17b는, 도 1의 H-H방향 단면을 보여주는 도면이다.
도 17c는, 도 17b의 변형례를 보여주는 도면이다.
도 18은, 도 16a의 진공펌프의 구성 일부를 보여주는 분해사시도이다.
도 19a는, 도 16a의 진공펌프의 구성 일부를 보여주는 사시도이다.
도 19b는, 도 19a의 분해사시도이다.
도 19c는, 도 19a의 L-L방향 단면도이다.
도 20는, 도 18의 진공펌프의 K-K방향 단면도이다.
도 21은, 도 18의 진공펌프의 구성 일부를 보여주는 평면도이다.
도 22은, 도 16b의 J-J방향 단면도이다.
도 23은, 도 16a의 진공펌프에 본 발명에 따른 진공세퍼레이터가 결합된 상태를 보여주는 사시도이다.
도 24는, 도 23에서 Ⅰ-Ⅰ방향의 단면도이다.
도 25a는, 도 23의 진공세퍼레이터의 변형례를 보여주는 사시도이다.
도 25b는, 도 25a의 진공세퍼레이터를 포함한 유로를 보여주는 개념도이다.
도 26은, 도 25a에서 Ⅱ-Ⅱ 방향의 단면도이다.
도 27는, 도 25a에서 Ⅲ-Ⅲ 방향의 단면도이다.
도 28은, 도 16a의 진공펌프에 결합되어 외부와 격리된 상태로 유체연통이 가능한 상태로 두 개의 모듈을 연결하는 링크조립체를 보여주는 사시도이다.
도 29는, 도 28의 링크조립체 및 결합블록을 보여주는 사시도이다.
도 30는, 도 28에서 Ⅳ-Ⅳ 방향의 단면도이다.
도 31은, 도 28에 도시된 링크조립체의 분해사시도이다.
도 32a 및 도 32b는, 도 31의 링크조립체 중 본체블록을 보여주는 평면도 및 측면도이다.
도 33a 및 도 33b는, 도 31의 링크조립체 중 결합블록을 보여주는 평면도 및 측면도이다.
이하 본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템, 그에 사용되는 진공슬라이드밸브에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 공정시스템은, 도 1에 도시된 바와 같이, 진공압에 의하여 가공대상물(2)이 직접 또는 간접으로 흡착고정하는 진공척 모듈(1)과, 진공척 모듈(1)에 미리 설정된 진공압을 제공하는 진공압 형성부(800)를 포함한다.
상기 진공압 형성부(800)는, 진공척 모듈(1)에 미리 설정된 진공압을 제공하는 구성으로서, 부압 즉 진공압을 형성할 수 있는 진공펌프이면 어떠한 펌프도 가능하다.
예로서, 상기 진공압 형성부(800)는, 가스이송식 진공펌프, 가스 포획식 진공펌프, 보다 구체적으로 용적이송식 진공펌프, 이젝터 진공펌프(특허문헌 3 및 4 참조)를 포함하는 동역학 진공펌프 등이 사용될 수 있다.
상기 진공압 형성부(800)는, 이하 진공척 모듈(1)에 대한 설명 후 자세히 후술하기로 한다.
본 발명에 따른 진공척 모듈(1)은, 진공압 형성부(800)에 의하여 제공되는 진공압에 의하여 가공대상물(2)을 흡착 고정하는 구성으로서, 가공대상물(2)에 대한 고정을 요하는 장치이면 어떠한 장치도 가능하다.
예로서, 상기 진공척 모듈(1)은, 상면에 가공대상물(2)을 흡착고정한 상태에서 밀링머신, 드릴링머신, 연삭머신, 용접머신 등 기계가공을 수행하는 기계가공장치, 특히 자동으로 기계가공을 수행하는 CNC 머신 등에 적용될 수 있다.
또한 상기 진공척 모듈(1)은, 기계가공장치 이외에 코팅작업 등 진공압에 의하여 가공대상물을 흡착고정을 요하는 장치에는 모두 적용이 가능함은 물론이다.
상기 진공척 모듈(1)은, 진공압에 의하여 가공대상물(2)이 직접 또는 간접으로 흡착고정하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 진공척 모듈(1)은, 평판 형상을 가지며 상면에 진공흡착을 위한 본체(100)를 포함한다.
상기 본체(100)는, 상면에서 진공흡착을 위한 흡착면을 형성하는 평판 형상을 가지는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 본체(100)는, 금속재질의 평판플레이트로서, 후술하는 공압전달조립체(501)와 연결되어 공압전달조립체(501)에 의하여 전달된 진공압을 흡착면으로 전달하여 흡착면에서 진공압에 의하여 가공대상물(2)을 직접 또는 간접으로 흡착고정할 수 있다.
그리고 상기 본체(100)는, 도 1 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성될 수 있다.
상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)은, 본체(10)의 상면에 다수의 그리드 돌기(130)를 형성하는 구성으로서 다양한 방법 및 구조에 의하여 형성될 수 있다.
특히 상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)은, 도 1 내지 도 3, 도 6b에 도시된 바와 같이, 서로 직교하는 직교배치, 도 7에 도시된 바와 같이, 서로 경사를 이루어 교차하는 경사교차배치 등 다양한 방삭에 의하여 형성될 수 있다.
또한 상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 더하여 도 7에 도시된 바와 같이, 원형 등 폐곡선의 하나 이상의 그리드홈라인(150)이 추가로 형성될 수 있다.
상기 그리드홈라인(150)은, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)의 형성과 독립적 방식에 의하여 형성되는 홈라인으로서 후술하는 메인오링(190)의 설치 형상에 따라 다양한 형상 및 구조를 가질 수 있다.
여기서 상기 메인오링(190)은, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 설치되어 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 폐곡선이 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 메인오링(190)은, 미리 설정된 크기의 폐곡선으로 형성된 일체의 오링으로 구성될 수 있다.
그리고 상기 메인오링(190)은, 형성되는 폐곡선 외측으로 부압, 즉 진공압의 누설을 방지할 수 있도록 그리드 돌기(130)의 상면보다 더 높게 돌출되도록 설치됨이 바람직하다.
한편 상기 메일오링(19) 설치의 다른 예로서, 가공대상물(2)의 평면크기에 대응할 수 있도록 사용자의 작업에 의하여 적절한 크기로 절단된 오링으로 양단이 면접하여 앞서 설명한 폐곡선을 이루도록 설치될 수 있다.
이때 상기 메인오링(190)이 일정한 길이로 절단된 상태에서 양단이 면접하여 설치되는 경우 면접한 부분에서 진공압이 누설될 수 있다.
이에, 상기 본체(100)는, 도 1, 도 3, 도 6a 및 도 7에 도시된 바와 같이, 다수의 그리드 돌기(130)들 중 제1방향(X) 또는 제2방향(Y)으로 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제1그리드돌기(121)와, 제1그리드돌기(121)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제2그리드돌기(122)를 포함하여, 상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 사이에서 하나 이상의 메인오링(190)의 양끝단이 서로 면접되는 오링결합돌기(121, 122)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 본체(100)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 다수의 그리드 돌기(130) 중 2개 이상의 그리드 돌기(130)들이 연결되어 상대적으로 긴 길이의 한 쌍의 오링결합돌기(121, 122)를 구비하고, 한 쌍의 오링결합돌기(121, 122)들 사이에 메인오링(190)의 양단(191)이 면접하여 설치됨으로써 메인오링(190)의 면접 부위에서의 진공압 누설을 방지하거나 최소화할 수 있다.
한편 상기 본체(100)는, 제1그리드돌기(121) 및 제2그리드돌기(122) 중 본체(100)의 가장자리로부터 멀리 위치된 제2그리드돌기(122)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드돌기(120)가 연결되어 형성된 한 쌍의 제3그리드돌기(123)을 포함하며, 이 때 진공압형성공(142)은, 한 쌍의 제3그리드돌기(123) 사이에 형성될 수 있다.
그리고 상기 한 쌍의 제3그리드돌기(123)는, 후술하는 볼트와 같은 폐쇄부재(145)의 설치를 위하여 진공압형성공(142)의 내경보다 크게 확장된 볼트설치홈(122a, 123a)이 형성될 수 있다.
한편 상기 제2그리드돌기(122)는, 한 쌍의 제3그리드돌기(123) 중 하나를 대체할 수도 있음은 물론이다.
한편 상기 메인오링(190)은, 합성고무, 내열성 플라스틱 등 본체(100)의 상면에 설치된 가공대상물(2)과 직접 또는 간접으로 면접하여 진공압에 의하여 흡착되도록 할 수 있는 재질이면 어떠한 재질도 가능하다.
즉, 상기 메인오링(190)은, 도 1 및 도 7에 도시된 바와 같이, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며, 폐곡선이 상기 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하며, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정할 수 있다.
한편 상기 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)의 다른 실시예로서, 제2그리드홈라인(120)은, 도 6b에 도시된 바와 같이, 미리 설정된 중심을 기준으로 방사상으로 연장된 직선 또는 곡선으로 형성되고, 제1그리드홈라인(110)은 제2그리드홈라인(120)과 교차하는 원 또는 다각형의 폐곡선으로 형성될 수 있다.
한편 상기 본체(100)는, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 후술하는 진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되고, 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 결합홀(141)과 연결되도록 형성될 수 있다.
상기 결합홀(141) 및 공압형성공(142)은, 후술하는 공압전달조립체(501)와 결합되어 공압형성공(142)의 상측에 진공압을 형성하기 위하여 본체(100)에 형성되는 홀로서 기계가공 등을 통하여 형성될 수 있다.
그리고 상기 결합홀(141) 및 공압형성공(142)은, 도 1, 도 9a 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 공압전달조립체(501)에 결합됨에도 불구하고 가공대상물(2)의 흡착고정에 사용되지 않은 경우 도 9b에 도시된 바와 같이, 진공압 차단을 위하여, 즉 사용시 개방되고 비사용시 볼트와 같은 폐쇄부재(145)가 결합될 수 있다.
그리고 상기 결합홀(141) 및 진공압 형성홀(142)의 형성 위치는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 평면 형상이 직사각형, 원형인 본체(100)의 평면 상 가장자리를 따라서 하나 이상으로 배치될 수 있다.
한편 상기 본체(100)에 대하여 가공대상물(2)은, 직접 또는 간접으로 흡착고정될 수 있다.
예로서, 상기 본체(100)의 상측에는, 가공대상물(2)의 저면이 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입된 메인오링(190)의 상단면에 면접하여 설치되며, 메인오링(190)에 의하여 진공압형성공(142)을 포함하도록 형성된 폐곡선 및 가공대상물(2)의 저면에 의하여 외부 공기와 연통될 수 없는 밀폐된 흡착공간을 형성됨으로서 가공대상물(2)이 흡착고정될 수 있다.
한편 상기 가공대상물(2)은, 가공방식에 따라서 홀, 슬롯 등이 상하로 관통되어 형성되거나, 절단될 수 있는데 이 경우 흡착공간의 실링이 파괴되어 가공대상물(2)의 흡착고정이 불가능하게 되는 문제점이 있다.
이에 상기 본체(100)의 상측에는, 본체(100) 상에 흡착고정되는 고정지그(181)가 설치되고 가공대상물(2)은 고정지그(181)에 고정될 수 있다.
상기 고정지그(181)는, 저면이 본체(100)에 흡착고정됨과 아울러 가공대상물(2)의 가공을 위하여 가공대상물(2)을 고정하기 위한 구성으로서, 가공대상물(2)에 대한 고정방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 고정지그(181)는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 저면이 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입된 메인오링(190)의 상단면에 면접하여 설치되며, 메인오링(190)에 의하여 진공압형성공(142)을 포함하도록 형성된 폐곡선 및 고정지그(181)의 저면에 의하여 외부 공기와 연통될 수 없는 밀폐된 흡착공간을 형성함으로써 본체(100)에 흡착고정될 수 있다.
그리고 상기 고정지그(181)는, 자석에 의한 고정, 양면테이프에 의한 고정, 볼트결합에 의한 고정 등 다양한 방법에 의하여 가공대상물(2)이 고정될 수 있다.
그리고 상기 고정지그(181)는, 진공척 모듈(100)에 의하여 흡착고정될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며, 아크릴 등의 합성수지 재질, 금속 재질 등 다양한 재질을 가질 수 있다.
한편 상기 가공대상물(2), 또는 고정지그(181)가 설치된 경우 고정지그(181)는, 도 3 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 볼트(182)에 의하여 나사결합되도록 본체(100)에 나사공(183)이 형성되어 볼트결합에 의하여 고정될 수 있다.
상기 볼트결합에 의하여, 가공대상물(2), 또는 고정지그(181)가 설치된 경우 고정지그(181)는, 본체(100)에 대한 보다 견고한 결합상태를 유지할 수 있다.
또한 상기 본체(100)에 대한 고정지그(181)의 고정방식에 있어서, 볼트 결합 이외에 다양한 방식에 의하여 고정될 수 있으며, 도 4b에 도시된 바와 같이, 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 중 적어도 하나에 설치된 자석(184, 185)에 의하여 고정지그(181)가 고정될 수 있다.
이때 상기 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 중 어느 하나에만 자석이 설치된 경우 나머지는 자석에 부착될 수 있는 자성체 재질을 가져야 한다.
한편 상기 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 모두 비자성체 재질의 경우 상기 본체(100) 및 흡착고정지그(184) 모두에 자석이 설치됨으로써 서로 고정결합될 수 있다.
한편 상기와 같은 본체(100) 및 흡착고정지그(184)의 고정방식은, 후술하는 본체(100) 및 보조본체(1000) 사이의 결합에도 적용될 수 있음은 물론이다.
그리고 상기 흡착고정지그(184)에 대한 가공대상물(2)의 고정은 다양한 방식에 의하여 고정될 수 있으며, 양면테이프 등 접착수단(187)에 의하여 고정될 수 있다.
한편 상기 가공대상물(2)은, 기계가공의 구조, 평면 형상으로 인하여 앞서 설명한 방식에 의하여 본체(100)에 흡착고정되는 것이 어려운 경우가 있다.
이에, 상기 본체(100)는, 도 6b, 도 6c 및 도 7에 도시된 바와 같이, 복수의 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 양단이 오링결합돌기(121, 122)에 삽입되는 하나 이상의 메인오링(190)에 의하여 형성되는 평면형상보다 큰 평면형상을 가지며 하나 이상의 메인오링(190)에 접하는 저면을 구비하는 보조본체(1000)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 보조본체(1000)는, 도 6b, 도 6c 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기계가공의 구조, 평면 형상에 대응하여 가공대상물(2)을 간접적으로 고정하기 위한 구성으로서, 저면이 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)에 삽입된 메인오링(190)의 상단면에 면접하여 설치되며, 메인오링(190)에 의하여 진공압형성공(142)을 포함하도록 형성된 폐곡선 및 보조본체(1000)의 저면에 의하여 외부 공기와 연통될 수 없는 밀폐된 흡착공간을 형성함으로써 본체(100)에 흡착고정될 수 있다.
한편 상기 보조본체(1000)는, 상면에 앞서 설명한 본체(100)와 유사한 구조를 가질 수 있다. 다만 상기 보조본체(1000)는, 도 6b 또는 도 7에 도시된 바와 같이, 가공대상물(2)의 평면형상, 가공구조에 따라서 다양한 평면형상을 가질 수 있다.
즉, 상기 보조본체(1000)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상면에 제1방향(X)으로 형성된 복수의 제1그리드홈라인(1110), 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(1120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(1120)들이 형성되고, 보조본체(1000)의 저면에 형성된 진공압이 제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)에 전달되도록 하나 이상의 진공압전달관통공(1142)이 상하로 관통형성될 수 있다.
상기 제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)은, 앞서 설명한 본체(100)의 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)과 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 상기 제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)은, 본체(100)에 의하여 직접적으로 흡착고정이 어려운 경우를 고려하여 보조본체(1000)를 추가로 설치한바, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)의 형성패턴과 다르게 형성될 수 있다.
한편 상기 보조본체(1000)는, 도 6b 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 폐곡선이 진공압전달관통공(1220)을 포함하는 보조오링(1190)이 "제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)" 및 "제1그리드홈라인(1110) 및 제2그리드홈라인(1120)"와 별도로 형성된 보조오링삽입홈(1131)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정할 수 있다.
상기 보조본체(1000) 및 보조오링(1190)은, 본체(100) 및 메인오링(190)와 재질 및 형상은, 본체(100)에 의하여 직접적으로 흡착고정이 어려운 경우를 고려하여 추가로 설치되는 것을 제외하고 유사하게 구성될 수 있다.
한편 상기 고정지그(181)는, 평평한 저면이 형성되어 본체(100)에 설치된 메인오링(190)에 접하여 메인오링(190)에 의하여 형성된 폐곡선 내 형성된 진공압에 의하여 흡착고정되도록 구성될 수 있다.
그리고 상기 고정지그(181)는, 다양한 구조 및 방법에 의하여 가공대상물(2)을 고정할 수 있다.
예로서, 상기 고정지그(181)는, 기계가공 등에서 사용되고 있는 바이트와 같은 고정수단을 포함하여 가공대상물(2)을 고정할 수 있다.
한편 상기와 같은 구성을 가지는 진공척 모듈(1)을 구성하는 본체(100)는, 제1그리드홈라인(110) 및 제2그리드홈라인(120)가 형성된 구성을 제외하고 다양한 변형예가 가능하다.
예로서, 상기 본체(100)는, 도 8a 내지 도 8e에 도시된 바와 같이, 상면에 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성될 수 있다.
아울러, 상기 본체(100)는, 기계가공과 같이 고하중이 작용함을 고려하여 견고한 고정을 위하여 금속재질을 가짐이 바람직하며, 고중량의 기저부재의 상측에 설치될 수 있다.
여기서 상기 기저부재와의 결합구조는, 도 8d 및 도 8e에 도시된 바와 같이, 자성체 재질의 기저부재의 상면에 안정적으로 고정될 수 있도록 본체(100)는, 저면에 복수의 자력발생부재(161)들이 설치될 수 있다.
상기 자력발생부재(161)들은, 기저부재의 상면에 자력에 의하여 본체(100)가 고정되는 구성으로서, 영구자석, 전자석 등 자력을 발생시킬 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하다.
한편 상기 본체(100)는, 기저부재의 상면에서 수평 이동을 방지하기 위한 복수의 스토퍼(192)가 설치될 수 있다.
상기 스토퍼(192)는 기저부재의 상면에서 수평 이동을 방지하기 위하여 본체(100)에 설치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 스토퍼(192)는, 본체(100)의 측면에 고정되는 고정부재(193)에 링크결합되는 슬롯((192a)이 형성된 부재로 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 스토퍼(192)는, 본체(100)의 상면에 가공대상물(2), 고정지그(181) 등이 설치된 상태에서 상측으로 돌출되며, 가공대상물(2), 고정지그(181)의 측면에 밀착된 후 고정부재(193)에 의하여 스토퍼(192)가 고정될 수 있다.
한편 상기 본체(100)는, 가공대상물(2), 고정지그(181) 등 상면에서 흡착고정되는 대상과의 위치고정을 위한 위치고정수단이 추가로 구비될 수 있다.
예로서, 상기 위치고정수단은, 도 8a, 도 8f 및 도 8g에 도시된 바와 같이, 그리드 돌기(130)들 중 적어도 일부에 위치결정핀(194)이 삽입되는 위치결정삽입홈(132)이 형성될 수 있다.
상기 위치결정삽입홈(132)은, 가공대상물(2), 고정지그(181) 등에 결합된 위치결정핀(194)이 삽입되도록 형성되는 홈으로써 다양한 구조를 가질 수 있다.
더 나아가 상기 위치결정삽입홈(132)은, 정밀한 위치 설정을 위하여 위치결정핀(194)이 삽입되는 핀홈(195a)이 형성된 핀홈형성부재(195)가 설치될 수 있다.
상기 핀홈형성부재(195)는, 위치결정핀(194)이 삽입되는 핀홈(195a)이 형성되는 부재로서 나사결합 등에 의하여 위치결정삽입홈(132)에 결합될 수 있다.
또한 상기 본체(100)는, 가공대상물(2), 고정지그(181) 등 상면에서 흡착고정되는 대상과의 견고한 고정결합을 위한 위한 고정결합수단이 추가로 구비될 수 있다.
항기 고정결합수단은, 도 8a, 도 8f 및 도 8g에 도시된 바와 같이, 그리드 돌기(130)들 중 적어도 일부에 고정결합나사(198)이 나사결합되는 나사결합홈(133)이 형성될 수 있다.
상기 나사결합홈(133)은, 그리드 돌기(130)들 중 적어도 일부에 고정결합나사(198)이 나사결합되는 홈으로서 내주면에 암나사부가 형성되어 고정결합나사(198)와 나사결합될 수 있다.
또한 상기 나사결합홈(133)은, 고정결합나사(198)와의 정밀한 결합을 위하여 내주면에 고정결합나사(198)와 나사결합되는 암나사부(197)가 형성된 암나사형성부재(196)가 설치될 수 있다.
상기 암나사형성부재(196)는, 고정결합나사(198)와의 정밀한 결합을 위하여 내주면에 고정결합나사(198)와 나사결합되도록 암나사부(197)가 형성된 부재로서 다양한 구성이 가능하다.
상기와 같은 위치결정수단에 의하여, 본체(100) 상에 가공대상물(2), 고정지그(181)를 정확한 위치에 위치시킴으로써 정밀한 기계가공이 가능하다.
또한 상기와 같은 고정결합수단에 의하여, 본체(100) 상에 가공대상물(2), 고정지그(181)를 안정적으로 고정함으로써 정밀한 기계가공이 가능하다.
한편 상기 진공척 모듈(1), 특히 본체(100)는, 진공압 형성부(800)과 연결된 공압전달조립체(501)에 의하여 진공압을 전달받을 수 있다.
상기 공압전달조립체(501)는, 부압, 즉 진공압을 형성하는 진공압 형성부(800)와 연결되어 진공압 형성부(800)로부터 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 진공압을 전달하는 진공압 전달유로를 형성하는 구성으로서, 진공압 전달유로 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 공압전달조립체(501)은, 하나 이상의 공압전달관(591)과, 공압전달관(591)과 연결되어 공압유로를 분기하거나 공압유로의 방향을 전환하는 하나 이상의 공압연결블록(580)과, 공압연결블록(590) 등에 결합되어 공압전달관(591)를 결합시키는 배관결합부재(570)을 포함할 수 있다.
상기 공압전달관(591)은, 하나 이상으로 설치되어 진공압 형성부(800)에 의하여 형성된 부압, 즉 진공압을 전달하기 위한 배관으로서 다양한 배관이 사용될 수 있으며, 진공압을 견디면서 설치 및 조립이 용이하도록 휨이 자유로운 재질의 부재를 사용함이 바람직하다.
상기 하나 이상의 공압연결블록(580)은, 공압전달관(591)과 연결되어 공압유로를 분기하거나 공압유로의 방향을 전환하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 공압연결블록(580)은, 도 1 내지 도 3, 도 9a 내지 도 10b, 도 12a 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 'T'자형 유로가 형성된 블록본체(581)를 포함할 수 있다.
상기 블록본체(581)는, 예로서, 'T'자형 유로를 형성하도록 미리 설정된 길이를 가지는 원기둥블록, 사각기둥과 같은 다각기둥의 길이방향으로 메인유로(582)형성되고, 측면에서 메인유로(582)와 연통되도록 형성된 분기유로(583)이 형성될 수 있다.
그리고 상기 메인유로(582)는, 양단에 관이음부재(540)가 끼워져 앞서 설명한 공압전달관(591)의 결합을 위한 배관결합부재(570)가 결합되어 타부재와 연통되거나거나, 커버부재(146)가 결합되어 폐쇄될 수 있다.
여기서 상기 관이음부재(540)는, 일단이 진공척 모듈(1)을 이루는 본체(100)에 형성된 결합홀(141) 또는 메인유로(582)에 끼워지며 타단이 외부로 노출되어 배관결합부재(570), 후술하는 슬라이드 밸브(500), 커버부재(146) 등이 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
그리고 상기 관이음부재(540)는, 적어도 일단이 결합되는 타부재, 예를 들면 결합홀(141) 또는 메인유로(582)에 단순 끼움 결합의 경우 오링(542)이 개재됨과 아울러 결합되는 타부재를 관통하여 설치된 고정나사(594)에 고정될 수 있도록 외주면에 고정나사(594)의 끝단에 형성된 쐐기 형상이 삽입되는 환상의 요홈(548)이 형성될 수 있다.
상기 커버부재(146)는, 메인유로(582)에서 공압전달관(591) 등 유로 형성이 불필요한 경우 외부의 공기가 유입되는 것을 차단하기 위한 부재로서 결합구조에 따라서 다양한 구성을 가질 수 있다.
한편 상기 커버부재(146)는, 진공압 전달유로의 형성에 있어서 외기가 진공압 전달유로로 전달되는 것을 차단하기 위한 부재로서, 도 1, 도 2, 도 11 및 도 12a 내지 도 12b에 도시된 바와 같이, 다양한 위치에 설치될 수 있다.
예로서, 상기 커버부재(146)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공압연결블록(580)에 결합될 수 있다.
또한 상기 커버부재(146)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(100)에 결합될 수 있다. 이때 상기 커버부재(146)가 직접적으로 결합되기 어려운 경우 커버부재(146)의 결합 위한 본체(100) 등 커버부재(146)가 결합되는 부재에 어댑터부재(149)가 추가로 설치될 수 있다.
다른 예로서, 상기 관이음부재(540)는, 적어도 일단이 결합되는 타부재, 예를 들면 분기유로(583)에 결합되거나, 커버부재(146)가 결합되는 경우 앞서 설명한 고정나사(594)에 의한 고정이 어려운바 오링이 개재된 상태로 분기유로(583) 또는 커버부재(146)와 나사결합될 수 있도록 외주면에 수나사부가 형성될 수 있다.
한편 상기 관이음부재(540)는, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 형성된 결합공(141)에 끼워지는 경우 관이음부재(540)로의 이물질 유입을 방지하기 위한 필터부재(549)가 결합될 수 있다.
상기 필터부재(549)는, 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 형성된 결합공(141)에 끼워지는 경우 관이음부재(540)로의 이물질의 유입을 방지하기 위한 구성으로서 유입방지 대상인 이물질의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 진공척 모듈(1)이 가공대상물(2)이 마모 등을 이용한 기계가공이 수행되는 되는 경우 필터부재(549)는, 발생되는 칩(파티클)의 유입을 방지하도록 매쉬부재로 구성될 수 있다.
상기 배관결합부재(570)는, 공압연결블록(590) 등에 결합되어 공압전달관(591)를 결합시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서 상기 배관결합부재(570)는, 일단이 앞서 설명한 관이음부재(540)의 끝단이 내측으로 끼워겨 결합되며 타단이 공압전달관(591)의 내측으로 끼워지는 결합본체(571)와, 결합본체(571)의 타단이 공압전달관(591)에 끼워진 상태에서 결합본체(571)의 외주면에 형성된 수나사부와 나사결합되어 공압전달관(591)을 결합본체(571)에 견고하게 고정시키는 고정부재(572)를 포함할 수 있다.
한편 상기 공압전달조립체(501)는, 진공척 모듈(1)의 본체(100)에 결합되거나, 공압연결블록(580)에 결합됨으로써 진공압을 전달하는데, 유로 내에 부압, 즉 진공압이 형성된 경우 공압전달조립체(501) 중 공압전달관(591) 등의 분리시 진공압의 차단을 요한다.
이에 본 발명에 따른 공압전달조립체(501)는, 도 9a 내지 도 10b, 도 12a 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 진공압의 전달유로 중에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 진공슬라이드밸브(500)를 추가로 포함함이 바람직하다.
상기 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압의 전달유로 중에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 진공슬라이드밸브는, 진공압 전달유로 중에 설치되며 양단에서 길이방향으로 형성되며 서로 격리된 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)가 형성되며, 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 측면에서 관통되어 형성된 밸브본체(510)와, 밸브본체(510)의 외주면이 내주면에 접하면서 밸브본체(510)에 대하여 선형이동이 가능하도록 설치되며 선형이동에 의하여 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행하는 슬라이드부재(520)를 포함할 수 있다.
상기 밸브본체(510)는, 진공압 전달유로 중에 설치되며 양단에서 길이방향으로 형성되며 서로 격리된 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)가 형성되며, 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 측면에서 관통되어 형성되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 밸브본체(510)는, 일단으로부터 제1연통부(513)이 형성되고 타단으로부턴 제2연통부(514)가 형성되는 원기둥의 로드로 구성될 수 있다.
이떄 상기 제2연통부(513) 및 제2연통부(514)는, 서로 연결되지 않은 상태로 형성된다.
그리고 상기 밸브본체(510)는, 측면에서 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 관통형성된다.
상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)는, 밸브본체(510)의 측면에서 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 각각과 연통되도록 형성되는 홀로서, 하나 이상으로 형성될 수 있다.
이때 상기 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 간격은, 후술하는 슬라이드부재(520)에 형성된 연통요홈(523)의 길이보다 작게 형성된다.
한편 상기 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압 전달유로 중에 설치되는 바 타 유로형성부재와의 결합을 위한 결합구조를 구비하는 것이 바람직하며, 예로서, 밸브본체(510)는, 양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 내측으로 삽입되어 결합되거나, 타 유로형성부재의 끝단이 내측으로 삽입되어 결합될 수 있다.
또한 타 유로형성부재와의 결합구조는 다양한 실시예가 가능하며, 밸브본체(510)는, 양단 중 적어도 일단이 타 유로형성부재의 끝단의 내주면에 형성된 암나사부와 나사결합되도록 외주면에 수나사부가 형성될 수 있다.
여기서 상기 유로형성부재는, 결합공(141)이 형성된 진공척 모듈(1)의 본체(100), 진공척 모듈(1)의 본체(100)에 결합된 관이음부재(540), 공압연결블록(580) 등 진공압 전달유로를 형성할 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하다.
상기 슬라이드부재(520)는, 밸브본체(510)의 외주면이 내주면에 접하면서 밸브본체(510)에 대하여 선형이동이 가능하도록 설치되며 선형이동에 의하여 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 슬라이드부재(520)는, 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 상호 연통 및 연통 해제되도록 내주면에 형성된 환상의 연통요홈(523)과, 연통요홈(523)의 양단에 각각 오링(551, 552)이 설치되는 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)과, 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)들 중 제2관통공(512) 부근에 형성되어 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 해제시 제2관통공(512)과 연통되어 외부 공기가 제2관통공(512)로 유입시키는 환상의 해제요홈(524)를 포함할 수 있따.
먼저 상기 슬라이드부재(520)는, 제1관통공(511) 및 제2관통공(512)이 형성된 외주면의 외경과 같거나 미리 설정된 오차범위 내로 큰 내경을 가지는 실린더 부재로 구성될 수 있다.
그리고 상기 슬라이드부재(520)는, 밸브본체(510)와의 상대 선형이동에 의하여 앞서 설명한 연통요홈(523)에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 및 연통해제에 의하여 제1연통부(513) 및 제2연통부(514)들 간의 연통 및 연통해제를 수행할 수 있다.
상기 연통요홈(523)은, 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 상호 연통 및 연통 해제되도록 슬라이드부재(520)의 내주면에 형성되며, 환상으로 형성됨이 바람직하다.
상기 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)은, 연통요홈(523)의 양단에 각각 오링(551, 552)이 설치되도록 슬라이드부재(520)의 내주면에 형성되며, 환상으로 형성됨이 바람직하다.
여기서 상기 오링설치홈(521, 522)에 설치된 오링(551, 552)에 의하여 연통요홈(523)에 대한 외기의 유입을 차단할 수 있다.
상기 해제요홈(524)은, 한 쌍의 오링설치홈(521, 522)들 중 제2관통공(512) 부근에 형성되어 선형이동에 의하여 제1관통공(511) 및 제2관통공(512) 사이의 연통 해제시 제2관통공(512)과 연통되어 외부 공기가 제2관통공(512)로 유입시키도록 슬라이드부재(520)의 내주면에 형성되며, 환상으로 형성됨이 바람직하다.
여기서 상기 해제요홈(524)는, 외부 공기의 유입이 가능하도록 형성됨이 바람직한바 슬라이드부재(520)의 측면, 단부면에 형성된 복수의 통기홀(525), 슬라이드부재(520)의 단부에서 슬라이드부재(520)의 내주면이 밸브본체(510)의 외주면과 간격을 두고 형성됨으로써 해제요홈(524)로의 외부공기 유입이 가능해진다.
한편 상기와 같은 구성을 가지는 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압 전달유로에 설치되어 간단한 조작에 의하여 양단 중 어느 일단에 대한 진공압을 해제할 수 있다.
또한 상기와 같은 구성을 가지는 진공슬라이드밸브(500)는, 도 1 내지 도 7에 도시된 진공척 모듈(1)에 적용되는 예를 들어 설명하였으나, 진공압 등 유체의 유로를 형성하는 유체형성유로에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 유체의 전달 및 차단을 수행하는 밸브로서 활용될 수도 있음은 물론이다.
제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 진공슬라이드밸브를 추가로 포함함으로써 진공압 전달유로에 설치되어 간단한 조작에 의하여 양단 중 어느 일단에 대한 진공압을 해제할 수 있다.
한현 상기 진공슬라이드밸브(500)는, 진공압 전달유로 중 유체의 흐름 방향을 기준으로 밸브본체(510)의 양단 중 상류 단에 결합되어 제1연통부(513) 및 제2연통부(514) 중 어느 하나에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위한 필터부재(549)가 추가로 결합될 수 있다.
상기 필터부재(549)는, 도 9a 내지 도 10b에 도시된 바와 같이, 진공척 모듈(1), 즉 본체(100)에 형성된 결합공(141)에 끼워지는 경우 관이음부재(540)로의 이물질의 유입을 방지하기 위한 구성으로서 유입방지 대상인 이물질의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 진공척 모듈(1)이 가공대상물(2)이 마모 등을 이용한 기계가공이 수행되는 되는 경우 필터부재(549)는, 발생되는 칩(파티클)의 유입을 방지하도록 매쉬부재로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템은, 상면에 형성된 그리드홈의 형성에 있어서 오링의 양단이 면접하여 삽입되는 오링연결돌기를 형성함으로써 진공척 모듈의 준비작업이 용이하며, 공정대상물의 고정을 위한 흡착력을 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템은, 오링의 양단이 면접하여 삽입되는 오링연결돌기를 형성함에 있어서 다른 돌기에 비하여 상대적으로 긴 길이로 형성함으로써 오링의 양단의 면접을 안정적으로 유지하면서 오링설치에 따른 실링력을 크게 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템은, 진공압의 전달유로 중에 설치되어 제1단으로부터 제2단으로의 진공압 전달 및 차단을 수행하는 진공슬라이드밸브를 추가로 포함함으로써 진공압 전달유로에 설치되어 간단한 조작에 의하여 양단 중 어느 일단에 대한 진공압을 해제할 수 있다.
본 발명에 따른 진공펌프(800)는, 도 16a 내지 도 23에 도시된 바와 같이, 일단에 공기유입구(305)가 형성되고 타단에 공기유출구(306)가 형성되며, 측면에 길이방향을 따라 복수의 통공(312)들이 형성되는 하나 이상의 중공형 노즐부(300)와; 상기 노즐부(300)가 내부에 설치되는 챔버(400)를 포함한다.
상기 노즐부(300)는, 일단에 공기유입구(305)가 형성되고 타단에 공기유출구(306)가 형성되며, 측면에 길이방향을 따라 복수의 통공(312)들이 형성되는 하나 이상의 중공형 부재로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 노즐부(300)의 일단의 공기유입구(305)를 통해 유입되는 공기는 노즐부(300) 내부 중공에 의해 형성되는 공기유로를 따라 흐르다가 타단의 공기유출구(306)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
상기 복수의 통공(312)들은, 노즐부(300)의 측면에 길이방향(노즐부(300)를 통한 공기흐름방향)을 따라 형성되며 노즐부(300) 내부의 공기유로와 연통될 수 있고, 그에 따라 노즐부(300) 주변의 공기는 통공(312)을 통해 노즐부(300) 내부로 유입된 후 공기유입구(305)를 통해 유입된 공기와 함께 공기유출구(306)를 통해 배출될 수 있다.
상기 공기유로의 단면적은, 공기유입구(305)에서 공기유출구(306)로 갈수록 커질 수 있다. 이때, 상기 공기유로의 단면적은 공기유로의 직경(DA)를 달리함으로써 가변될 수 있다.
상기 노즐부(300)는 공기유입구(305)에서 공기유출구(306)로 갈수록 내부 공기유로의 단면적이 커지며 측면에 공기유로와 연통되는 복수의 통공(312)들이 노즐부(300)의 측면에 길이방향으로 형성된다면 다양한 형상 및 구조가 가능하다.
예로서, 상기 노즐부(300)는, 통공(312)이 측면에 하나 이상 형성되는 복수의 통공형성부재(310)들과, 적어도 일부가 통공형성부재(310)에 삽입되어 상기 공기유로를 형성하는 복수의 유로형성부재(320)들을 포함할 수 있다.
상기 통공형성부재(310)는 중공형 기둥으로 각 통공형성부재(310)들은 모두 길이방향을 따라 동일한 외경 및 내경을 가지도록 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 복수의 통공형성부재(310)들 각각은 제조성 향상을 위하여 모두 같은 형상 및 크기를 가지도록 구성될 수 있다.
예로서, 상기 각 통공형성부재(310)는 측면에 둘레방향을 따라 두 개의 통공(312)이 형성될 수 있다.
상기 유로형성부재(320)는 적어도 일부가 통공형성부재(310)의 일단에 삽입되어 노즐부(300)의 공기유로의 일부를 형성하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
이때, 상기 통공형성부재(310)는 이웃하는 유로형성부재(320) 사이에 설치될 수 있다.
상기 이웃하는 유로형성부재(320)는 사이에 결합된 통공형성부재(310)의 통공(312)에 대응되는 위치에서 서로 간격을 둔 상태로 대향할 수 있다.
예로서, 상기 노즐부(300)는, 도 19a 내지 도 19c에 도시된 바와 같이, 3개의 통공형성부재(310)와 4개의 유로형성부재(320)를 포함할 수 있고, 각 유로형성부재(320) 및 통공형성부재(310)가 교번하여 길이방향을 따라 다단적층된 구조로 이루어질 수 있다.
이를 통해, 상기 유로형성부재(320) 및 상기 통공형성부재(310)가 교번하여 위치됨으로써 복수의 통공(312)들이 노즐부(300)의 길이방향을 따라 위치될 수 있고 통공(312)과 유로형성부재(320)에 의해 형성되는 공기유로가 서로 연통될 수 있다.
상기 복수의 유로형성부재(320)들 중 노즐부(300)의 일단에 위치되는 유로형성부재(320)의 끝단은 상술한 공기유입구(305)에 대응될 수 있고, 상기 복수의 유로형성부재(320)들 중 노즐부(300)의 타단에 위치되는 유로형성부재(320)의 끝단은 상술한 공기유출구(306)에 대응될 수 있다.
상기 유로형성부재(320)의 외측면에는 후술하는 챔버(400)와 결합되는 결합부가 형성될 수 있다.
상기 결합부에는 후술하는 챔버(400)와의 밀착결합을 위하여 하나 이상의 오링부재(302)가 설치될 수 있다.
한편, 상술한 통공형성부재(310) 및 유로형성부재(320)는 상호 조립, 접착 등 다양한 방식으로 고정결합될 수 있고, 다양한 재질로 이루어질 수 있으나, 바람직하게는 내구성 및 수명을 위하여 금속재질로 이루어질 수 있다.
그리고 상기와 같은 구성을 가지는 노즐부(300)는, 제1관통구(612)를 중심으로 원주방향을 따라서 복수로 배치될 수 있다.
이때 상기 노즐부(300)의 설치 숫자에 의하여 진공펌프(800)의 용량이 결정된다.
상기 챔버(400)는, 노즐부(300)가 내부에 설치되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 챔버(400)는, 노즐부(300)의 일단이 관통삽입되어 고정되는 제1삽입공(412)과 노즐부(300)의 타단이 관통삽입되어 고정되는 제2삽입공(414)이 형성되며 노즐부(300)의 측면을 둘러싸는 내부공간(IS)을 형성하는 제1챔버(410)와, 제1챔버(410) 중 제1삽입공(412)이 형성된 제1측벽에 결합되어 노즐부(300)의 공기유입구(305)와 연통되는 공기유입유로 및 노즐부(300)를 통한 공기흐름에 따라 진공분위기가 조성되는 진공공간(VS)을 형성하는 제2챔버(420)와, 제1챔버(410) 중 제2삽입공(414)이 형성된 제2측벽에 결합되어 노즐부(300)의 공기유출구(306)와 연통되는 공기유출유로를 형성하는 제3챔버(430)를 포함할 수 있다.
상기 제1챔버(410)는, 노즐부(300)의 일단이 관통삽입되어 고정되는 제1삽입공(412)과 노즐부(300)의 타단이 관통삽입되어 고정되는 제2삽입공(414)이 형성되며 노즐부(300)의 측면을 둘러싸는 내부공간(IS)을 형성하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 제1삽입공(412)은, 노즐부(300)의 일단(공기유입구(305)측), 보다 구체적으로는, 노즐부(300)의 일단에 위치되는 유로형성부재(320)가 관통삽입되어 고정되는 고정구로 다양한 구성이 가능하다.
도 21에 도시된 바와 같이, 상기 제1챔버(410)에는 복수의 노즐부(300)들을 설치하기 위한 복수의 제1삽입공(412)들이 형성될 수 있다.
상기 제2삽입공(414)은, 노즐부(300)의 타단(공기유출구(306)측), 보다 구체적으로는 노즐부(300)의 타단에 위치되는 유로형성부재(320)가 관통삽입되어 고정되는 고정구로 다양한 구성이 가능하다.
도 17a 내지 도 17b에 도시된 바와 같이, 상기 제1챔버(410)에는 복수의 노즐부(300)들을 설치하기 위한 복수의 제2삽입공(414)들이 형성될 수 있다.
즉, 상기 노즐부(300)의 유로형성부재(320)는 대응되는 제1챔버(410)의 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)에 지지될 수 있다.
이때, 상기 제1챔버(410)는 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)에 고정된 노즐부(300)를 둘러싸는 내부공간(IS)을 형성할 수 있다.
상기 제2챔버(420)는, 제1챔버(410) 중 제1삽입공(412)이 형성된 제1측벽에 결합되어 노즐부(300)의 공기유입구(305)와 연통되는 공기유입유로 및 노즐부(300)를 통한 공기흐름에 따라 진공분위기가 조성되는 진공공간(VS)을 형성하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 제2챔버(420)는, 제1챔버(410) 중 제1삽입공(412)이 형성된 제1측벽에 결합됨으로써, 제1삽입공(412)을 통해 노즐부(300)의 공기유입구(305)와 연통되는 공기유입공간 및 공기유입공간과는 구분되는 진공공간(VS)을 형성할 수 있다.
상기 공기유입공간은 노즐부(300)의 공기유입구(305)와 연통되는 공기유입유로가 형성되는 공간으로 다양한 형상 및 구조가 가능하다.
예로서, 상기 제2챔버(420)는, 도 20에 도시된 바와 같이, 제1챔버(410)의 제1측벽과 결합되는 결합면에 제1삽입공(412)과 공기유입공간을 연통시키는 연통구(426)가 형성될 수 있다. 상기 연통구(426)는, 공기유입공간의 배치 및 크기에 따라 다양한 형상 및 크기로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 제2챔버(420)의 일측면에는 공기유입공간을 통해 외부공기(압축공기)를 공급하기 위한 공기공급부와 결합되는 하나 이상의 공기공급구(424)가 형성될 수 있다.
상기 진공공간(VS)은 노즐부(300)를 통한 공기흐름에 따라 진공분위기가 조성되는 공간으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제2챔버(420)는, 도 20에 도시된 바와 같이, 제1챔버(410)의 제1측벽과 결합되는 결합면에 제1챔버(410)의 내부공간(IS)과 진공공간(VS)을 연통시키는 연통구(425)가 형성될 수 있다. 상기 연통구(425)는, 진공공간(VS)의 배치 및 크기에 따라 다양한 형상 및 크기로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 제2챔버(420)의 일측면에는 진공형성이 필요한 구성요소(예로서, 진공세퍼레이터(700)에 결합되어 진공공간(VS)에 형성된 진공을 진공형성이 필요한 구성요소(예로서, 진공세퍼레이터(700)로 전달하기 위한 하나 이상의 진공전달구(427)가 형성될 수 있다.
상기 제3챔버(430)는, 제1챔버(410) 중 제2삽입공이 형성된 제2측벽에 결합되어 노즐부(300)의 공기유출구(306)와 연통되는 공기유출유로를 형성하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제3챔버(430)는 제2삽입공에 삽입된 노즐부(300)의 공기유출구(306)와 연통되기 위해 제1챔버(410)와의 결합면에 개방구(436)가 형성되며, 다른 측면에 공기유출구(306)를 통해 배출된 공기가 외부로 배출되는 배출구(434)가 형성될 수 있다.
이때, 상기 진공펌프(800)는, 제3챔버(430) 중 공기유출유로에 설치되며 공기유출유로를 통해 흐르는 공기가 외부로 배출되는 소음기(232)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 소음기(232)는, 배출되는 공기에 의한 소음을 저감하기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 예로서 상술하는 배출구(434)에 설치될 수 있다.
한편, 상술한 구성을 포함하는 진공펌프(800)에서, 상기 제1챔버(410)는 제1측벽에 내부공간(IS)에서 제2챔버(420)의 진공공간(VS)으로의 공기흐름은 차단하면서 진공공간(VS)에서 내부공간(IS)으로의 공기흐름은 가능하게 하는 제1체크밸브(610)가 설치될 수 있다.
상기 제1체크밸브(610)는, 제1측벽에 형성되어 제1챔버(410)의 내부공간(IS)과 제2챔버(420)의 진공공간(VS)을 연통시키는 제1관통구(612)와, 제1관통구(612)를 내부공간(IS) 측에서 복개하는 제1체크밸브부재(614)를 포함할 수 있다.
상기 제1관통구(612)는, 다양한 형상 및 크기로 형성될 수 있고, 복수개로 형성될 수 있다.
예로서, 상기 제1관통구(612)는, 도 21에 도시된 바와 같이, 부채꼴 형상으로 이루어져 제1챔버(410)의 중앙부를 중심으로 원주방향을 따라 복수개 형성될 수 있다.
상기 제1관통구(612)를 통해 제1챔버(410)의 내부공간(IS)과 제2챔버(420)의 진공공간(VS)이 연통될 수 있다.
상기 제1챔버(410)의 중앙부에는, 후술하는 제1체크밸브부재(614)와 결합되는 결합영역(615)이 형성될 수 있다.
상기 제1체크밸브부재(614)는, 제1챔버(410)의 제1측벽 중앙부의 결합영역에서 제1챔버(410)와 결합되어 원주방향을 따라 형성된 복수의 제1관통구(612)들을 복개하며, 내부공간(IS)에서 진공공간(VS)으로의 공기흐름은 차단하면서 진공공간(VS)에서 내부공간(IS)으로의 공기흐름은 가능하게 하는 체크밸브부재로 다양한 형상 및 재질이 가능하다.
예로서, 상기 제1밸브부재(614)는, 고무재질의 밸브플레이트일 수 있다.
한편, 상술한 진공챔버(10)의 제1챔버(410)는, 도 16a 내지 도 18 및 도 22에 도시된 바와 같이, 노즐부(300)의 길이방향(노즐부(300)를 통한 공기흐름방향)을 따라 형성된 복수의 통공(312)들 사이에서 제1챔버(410)의 내부공간(IS)을 복수의 서브공간(SS)들로 구획하는 하나 이상의 격벽부(212)를 추가로 포함할 수 있다.
이때, 상기 격벽부(212)에는 노즐부(300)가 관통삽입되는 제3삽입공(416)이 형성될 수 있다.
상기 격벽부(212)는 길이방향을 기준으로 이웃하는 통공(312)들 사이에 위치되며, 상기 제3삽입공(416)에 의해 노즐부(300)의 유로형성부재(320)의 결합부가 지지될 수 있다.
이때, 상기 격벽부(212)에 의해 구획된 서브공간(SS)들 사이의 기밀을 위하여 유로형성부재(320)의 외측면 둘레를 따라 오링부재(302)가 설치될 수 있다.
상기 격벽부(212)에는, 도 16a 내지 도 18 및 도 22에 도시된 바와 같이, 이웃하는 서브공간(SS)들 사이의 일방향 공기흐름을 차단하는 제2체크밸브(620)가 설치될 수 있다.
상기 제2체크밸브(620)는, 격벽부(212)에 형성되어 이웃하는 서브공간(SS)들을 연통시키는 제2관통구(622)와, 제2관통구(622)를 이웃하는 서브공간(SS)들 중 공기유입구(305)와 먼 서브공간(SS) 측에서 복개하는 제2체크밸브부재(624)를 포함할 수 있다.
상기 제2관통구(622)는, 다양한 형상 및 크기로 형성될 수 있고, 복수개로 형성될 수 있다.
예로서, 상기 제2관통구(622)는, 도 21에 도시된 바와 같이, 부채꼴 형상으로 이루어져 격벽부(212)의 중앙부를 중심으로 원주방향을 따라 복수개 형성될 수 있다.
상기 제2관통구(622)를 통해 이웃하는 서브공간(SS)들이 연통될 수 있다.
상기 격벽부(212)의 중앙부에는, 후술하는 제2체크밸브부재(624)와 결합되는 결합영역(625)이 형성될 수 있다.
상기 제2체크밸브부재(624)는, 제2관통구(622)를 이웃하는 서브공간(SS)들 중 공기유입구(305)와 먼 서브공간(SS) 측에서 복개하여, 공기유입구(305)와 가까운 측의 서브공간(SS)에서 먼 측의 서브공간(SS)으로의 공기흐름은 차단하면서 공기유입구(305)와 먼 측의 서브공간(SS)에서 공기유입구(305)와 가까운 측의 서브공간(SS)으로의 공기흐름은 가능하게 하는 체크밸브부재로 다양한 형상 및 재질이 가능하다.
예로서, 상기 제2밸브부재(624)는, 고무재질의 밸브플레이트일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1챔버(410)는, 도 16a 내지 도 18 및 도 22에 도시된 바와 같이, 제1삽입공(412)이 형성되고 제1체크밸브(610)가 설치되는 제1서브챔버(410a)와, 격벽부(212)를 포함하는 하나 이상의 제2서브챔버(410b)와, 제2삽입공이 형성되는 제3서브챔버(410c)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1서브챔버(410a), 제2서브챔버(410b), 및 제3서브챔버(410c)는, 노즐부(300)의 길이방향을 따라 순차적으로 적층되어 결합될 수 있다.
예로서, 도 16a 내지 도 18 및 도 22의 경우, 제1서브챔버(410a)와 제3서브챔버(410c) 사이에 두 개의 제2서브챔버(410b)가 순차적으로 결합된 실시예를 도시한 것이다.
이를 통해 제1챔버(410)의 내부공간(IS)이 노즐부(300)의 길이방향으로 배치되는 3개의 서브공간(SS)으로 구획될 수 있다.
이때, 상기 제1서브챔버(410a) 및 제2서브챔버(410b)에는 각각 제1체크밸브(610)와 제2체크밸브(620)가 설치될 수 있다.
상기 제1체크밸브(610) 및 상기 제2체크밸브(620)는, 노즐부(300)에 의한 공기흐름에 따라 형성되는 진공레벨에 따라 순차적으로 개폐될 수 있다.
이하, 도 22를 참조하여, 상술한 구성을 포함하는 진공펌프(800)에서 이루어지는 진공형성과정을 자세히 설명한다.
먼저, 압축공기가 제2챔버(420)의 연통구를 통해 공기유입유로로 유입되고 유입된 압축공기는 노즐부(300)의 공기유입구(305)를 통해 노즐부(300) 내부의 공기유로를 따라 흐른다.
노즐부(300) 내부의 공기유로를 따라 압축공기가 흐름에 따라 노즐부(300) 내부의 압력이 낮아지게 되고 그에 따라 제1챔버(410)의 서브공간(SS)의 공기가 대응되는 노즐부(300)의 통공(312)을 통해 노즐부(300)의 공기유로로 유입될 수 있다.
이를 통해, 서브공간(SS)의 압력이 점차 낮아질 수 있다.
도 22를 기준으로, 진공펌프(800)가 하나의 제1체크밸브(610)에 더하여 두 개의 제2체크밸브(620)를 추가로 포함하는 경우 진공도에 따른 제1체크밸브(610)와 제2체크밸브(620)의 개폐동작은 다음과 같다.
제2챔버(420)를 통해 압축공기를 공급하면, 통공(312)을 통해 서브공간(SS)의 공기가 노즐부(300)로 유입됨에 따라 제1체크밸브(610) 및 두 개의 제2체크밸브(620)가 모두 개방된다.
압축공기 공급에 따라 서브공간(SS)에 어느 정도의 공기가 남아 있는 저진공 상태가 되면, 노즐부(300)의 공기유입구(305)에서 가장 먼 서브공간(SS)을 형성하는 제2서브챔버(410b)에 설치된 제2체크밸브(620)가 가장 먼저 닫힌다.
압축공기를 더 유입시켜 저진공 상태 보다 서브공간(SS)의 공기가 희박한 중진공 상태가 되면, 그 다음 공기유입구(305)에 가까운 서브공간(SS)을 형성하는 제2서브챔버(410b)에 설치된 제2체크밸브(620)가 다음으로 닫힌다.
중진공 상태에서 압축공기를 더 유입시켜 서브공간(SS)이 고진공 상태가 되면, 제1체크밸브(610)까지 닫혀 제2챔버(420)의 진공공간(VS)이 고진공상태가 될 수 있다.
제2챔버(420)를 통해 유입된 압축공기와 통공(312)을 통해 노즐부(300)로 유입된 공기는 합쳐진 후 제3챔버(430)의 배출구를 통해 소음기(232)를 거쳐 외부로 배출될 수 있다.
상기 진공펌프(800)에 의해 형성되는 진공단계는, 제1챔버(410)를 구성하는 제2서브챔버(410b)의 개수를 증가시킴으로써 보다 세분화될 수 있다. 이때, 제1챔버(410)에 설치되는 노즐부(300) 또한 제2서브챔버(410b)에 구획되는 서브공간(SS)의 수만큼의 대응되는 통공형성부재(310)들을 포함할 수 있다.
또한, 도 16a 내지 도 18 및 도 22는, 챔버(400)에 각각 4개의 제1삽입공(412), 제2삽입공, 제3삽입공(416)을 형성함으로써, 4개의 노즐부(300)를 최대 용량으로 하는 실시예를 도시하였으나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
2개, 4개, 8개 등의 노즐부(300)가 설치되는 실시예도 가능하며, 노즐부(300) 중 적어도 일부를 제거하고, 대응되는 제1삽입공(412), 제2삽입공, 및 제3삽입공(416)을 폐쇄함으로써 진공펌프(800)의 용량을 가변하는 실시예도 가능하다.
보다 구체적으로, 상기 진공펌프(800)는, 용량가변을 위하여, 복수의 제1삽입공(412)들 및 복수의 제2삽입공들 중 노즐부(300)가 관통삽입되지 않는 나머지 제1삽입공(412) 및 제2삽입공에 일단 및 타단이 각각 관통삽입되어 제1삽입공(412) 및 제2삽입공을 폐쇄하는 폐쇄부재(400)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 폐쇄부재(400)는, 노즐부(300)가 관통삽입되지 않는 나머지 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)(제3삽입공(416)이 형성되는 경우 제3삽입공(416) 포함)을 폐쇄하는 구성으로 다양한 형성 및 재질이 가능하다.
예로서, 상기 폐쇄부재(400)는, 내부에 공기유로와 측면에 통공(312)이 형성되지 않으며 노즐부(300)와 동일한 외형을 가지는 스틱부재로, 더미 노즐부로써 기능할 수 있다.
즉, 상기 폐쇄부재(400)는, 도 17c에 도시된 바와 같이, 공기유로와 통공(312)을 제외하고는 노즐부(300)와 동일한 형상으로 이루어질 수 있다.
그에 따라, 챔버(200)에 노즐부(300) 최대 N개 설치될 수 있는 경우(N개의 제1삽입공(412), N개의 제2삽입공(414)이 형성되는 경우), 챔버(200)에 설치되는 노즐부(300)의 개수를 1개 에서 N-1개(N은 2이상의 자연수) 사이에서 조절할 수 있고, 노즐부(300)가 설치되지 않은 나머지 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)(제3삽입공(416)이 형성되는 경우 제3삽입공(416) 포함)에 폐쇄부재(400)를 설치함으로써 진공펌프의 용량이 간편하게 가변될 수 있다. 도 17c의 경우, 챔버(200)에 3개의 노즐부(300)와 1개의 폐쇄부재(400)가 설치된 경우를 도시한 것이고, 이러한 경우 도시된 챔버(200)의 최대용량(4개의 노즐부(300)가 설치되는 경우의 용량)보다 적은 용량의 진공펌프로 활용될 수 있다.
이때, 상기 폐쇄부재(400) 또한 챔버(400)에 결합되어 지지되므로 상술한 노즐부(300)의 외측면에 설치되는 오링부재(302)가 폐쇄부재(400)의 외측면에도 동일하게 설치될 수 있음은 물론이다.
한편 상기와 같은 구성을 가지는 진공펌프(800)는, 표면에 부압을 형성하여 대상물을 고정하는 진공척, 대상물을 부압을 이용하여 픽업하여 이송하는 이송툴 함으로써 물건을 흡착고정하는 이송툴, 액체가 포함된 기체에서 액체를 제거하여 기체를 배출하는 기액분리장치 등 부압 형성을 요구하는 장치, 시스템 등 다양한 분야에 사용될 수 있다.
한편 상술한 진공펌프(800)는, 진공형성이 필요한 구성요소에 결합되어 다양하게 활용될 수 있다.
예로서, 상기 진공펌프(800)는, 이물질 제거를 위한 진공세퍼레이터, 진공압에 의하여 가공대상물(2)을 흡착고정한 상태에서, 밀링머신, 드릴링머신, 연삭머신, 용접머신 등 기계가공을 수행하는 진공척 모듈(1)에 활용될 수 있다.
여기서, 상기 진공펌프(800)는, 상술한 진공적 모듈(1)에 한정되지 않고 가공대상물(2)을 흡착고정할 수 있다면 다양한 진공적 모듈(1)에 적용가능함은 물론이다.
그런데 상기 진공펌프(800)는, 부압 형성에 의하여 외부공기를 흡입하는 과정에서 파티클, 액체 등이 포함된 상태로 진공펌프에 유입되게 되는 경우 진공펌프가 파손되거나 진공압 손실이 발생되어 진공펌프의 효율을 저하시키는 문제점이 있다.
이에 본 발명에 따른 진공세퍼레이터(700)로서, 본 발명은, 상측에 액체 및 기체가 혼합된 상태로 유입되는 유입부(750)와, 유입부(750)을 통하여 유입된 기체 중 액체가 제거되어 배출되는 배출부(760)가 구비된 분리하우징(710)과; 분리하우징(710)의 저부에 설치되어 유입부(750)을 통하여 유입된 기체에서 제거된 액체를 외부로 배출하는 액체배출부(740)를 포함하는 진공세퍼레이터(700)를 제시한다.
상기 유입부(750)는, 분리하우징(710)의 상측에 설치되어 상측에 액체 및 기체가 혼합된 상태로 유입되는 구성으로서 유체 유입구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 유입부(750)는, 액체를 포함한 기체가 분리하우징(710)에 유입된 후 액체의 효율적 분리를 위하여 후술하는 상부플레이트(720)를 관통하여 하측으로 연장된 파이프로 구성됨이 바람직하다.
상기 유입부(750)는, 상부플레이트(720)를 관통하여 하측으로 연장된 파이프로 구성되면 분리하우징(710) 내부에 담긴 액체 내로 배출됨으로써 기체에 포함된 액체가 효과적으로 제거될 수 있다.
한편 상기 유입부(750)는, 분리하우징(710)의 내부공간에 형성된 부압에 의하여 기체가 흡입되는 구조로서, 부압에 의하여 대상물을 흡착고정하는 진공척 모듈, 끝단에 대상물을 흡착고정하는 이송툴, 이물질을 흡입 제거하는 흡입노즐 등과 연결될 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공세퍼레이터의 경우 액체 분리에 효율적인바 유체 흐름을 기준으로 유입부(750)의 전방에 고체상태의 이물질을 제거할 수 있는 보조진공세퍼레이터(701)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 보조진공세퍼레이터(701)는, 유입부(750)의 전방 측에 설치되어 흡입되는 기체 내에 포함된 이물질을 제거하기 위한 구성으로서, 이물질 제거원리 및 방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 배출부(760)는, 유입부(750)을 통하여 유입된 기체 중 액체가 제거되어 배출되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 배출부(760)는, 상부플레이트(720)를 관통하도록 형성된 관통공(761)로 구성될 수 있다.
그리고 상기 배출부(760)는, 분리하우징(710)의 내부공간에 부압, 즉 진공압의 형성을 위하여 진공펌프(800)가 결합될 수 있다.
상기 진공펌프(800)는, 본 발명의 실시예의 경우 도 16a 내지 도 22를 참조하여 설명한 이젝터 진공펌프를 들어 설명하였으나, 가스이송식 진공펌프, 가스 포획식 진공펌프, 보다 구체적으로 용적이송식 진공펌프, 이젝터 진공펌프를 포함하는 동역학 진공펌프 등이 사용될 수 있다.
한편 상기 배출부(760)는, 후술하는 액체배출부(740)의 액체 배출시 내부공간에 부압, 즉 진공압이 형성되는 경우 액체의 배출이 원활하지 못한바, 진공펌프(800)로부터 전달되는 진공압을 차단하기 위한 체크밸브(762)가 추가로 설치됨이 바람직하다.
상기 체크밸브(762)는, 액체배출부(740)의 액체 배출시 내부공간에 부압, 즉 진공압이 형성되는 경우 액체의 배출이 원활하지 못한바, 진공펌프(800)로부터 전달되는 진공압을 차단하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 체크밸브(762)의 설치와 함께 및 또는 대체하여, 분리하우징(710) 내부의 이물질이 진공펌프(800)로 유입되는 것을 차단하기 위한 필터가 설치될 수 있다.
상기 필터는, 체크밸브(762)의 설치와 함께 및 또는 대체하여 설치되어, 분리하우징(710) 내부의 이물질이 진공펌프(800)로 유입되는 것을 차단하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 진공척 모듈 등 진공형성이 필요한 구성요소와 연결되는 진공압 연결관(미도시) 및 유입부(750) 사이에 구성요소와의 유로 연결 또는 해제를 위한 전환밸브가 설치될 수 있다.
상기 전환밸브는, 앞서 설명한 진공펌프(800)의 진공압이 진공압 연결관으로 연결하는 유로 연결, 진공압 연결관으로의 진공압 차단을 수행할 수 있다.
또한 상기 전환밸브 작동 중 진공압 연결관으로의 진공압 차단시, 전환밸브는, 유입부(750)로 대기압을 전달하도록 작동할 수 있다.
그리고 상기 분리하우징(710)은, 특히 상부플레이트(720)는, 액체배출부(740)의 액체 배출시 분리하우징(710)의 내부공간에서의 부압이 해제될 수 있도록 부압해제체크밸브(763)가 설치될 수 있다.
상기 부압해제체크밸브(763)는, 분리하우징(710)은, 특히 상부플레이트(720)에 설치되어 액체배출부(740)의 액체 배출시 분리하우징(710)의 내부공간 내부로 외부공기가 유입되도록 개방하는 밸브로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 분리하우징(710)은, 상측에 액체 및 기체가 혼합된 상태로 유입되는 유입부(750)와, 유입부(750)을 통하여 유입된 기체 중 액체가 제거되어 배출되는 배출부(760)가 구비된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
즉, 상기 분리하우징(710)은, 유입부(750) 및 배출구(760)을 구비하여 유입부(750)을 통하여 유입된 기체 중 액체가 저장되는 내부공간을 형성하는 구성으로서, 도 23 내지 도 27에 도시된 바와 같이, 유입부(750) 및 배출부(760)이 설치된 상부플레이트(720)와, 액체배츨부(740)가 설치된 분리하우징(710)의 저부를 이루며 액체배출부(740)가 설치된 하부플레이트(730)과, 상부플레이트(720) 및 하부플레이트(730)와 결합되어 외부와 격리된 내부공간을 형성하는 실린더부재(770)를 포함할 수 있다.
상기 상부플레이트(720)는, 유입부(750) 및 배출부(760)이 설치되는 구성으로서 타 부재와의 결합구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 하부플레이트(730)는, 액체배츨부(740)가 설치된 분리하우징(710)의 저부를 이루며 액체배출부(740)가 설치된 구성으로서 타 부재와의 결합구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 실린더부재(770)는, 상부플레이트(720) 및 하부플레이트(730)와 결합되어 외부와 격리된 내부공간을 형성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 실린더부재(770)는, 내부에 담긴 액체의 양을 확인할 수 있도록 투명한 재질의 부재가 사용됨이 바람직하다.
상기 액체배출부(740)는, 분리하우징(710)의 저부에 설치되어 상기 유입부(750)을 통하여 유입된 기체에서 제거된 액체를 외부로 배출하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 액체배출부(740)는, 분리하우징(710)의 저부를 관통하여 설치되어 제어에 의하여 개폐하는 체크밸브(741)와, 체크밸브(741)과 연결되며 체크밸브(741)가 개방작동에 의하여 유입부(750)을 통하여 유입된 기체에서 제거된 액체를 외부로 배출하는 배출관(742)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 구성에 의하여, 분리하우징(710)의 내부공간에 미리 설정된 양 이상의 액체가 담기는 경우 액체배출부(740)의 체크밸브(741)를 작동시킴으로써 분리하우징(710)으로부터 기체로부터 분리된 액체를 외부로 배출할 수 있다.
이때 상기 분리하우징(710)은, 내부에 담긴 액체의 양을 계량할 수 있도록 적어도 일부가 투명한 재질을 가질 수 있으며 상하방향으로 눈금이 표시될 수 있다.
더 나아가 상기 분리하우징(710)은, 내부공간에 담긴 액체 배출을 자동으로 수행할 수 있도록 수위센서 등 내부에 담긴 액체의 양을 측정하기 위한 센서가 추가로 설치될 수 있다.
한편 이때 상기 배출부(760)에 진공펌프(800)와 연결된 경우 분리하우징(710)의 내부공간에 부압, 즉 진공압으로 인하여 액체가 외부로 배출되는 것이 원활하지 못할 수 있다.
이에, 상기 배출부(760)는, 진공펌프(800)로부터 전달되는 진공압을 차단하기 위한 체크밸브(762)가 추가로 설치되어, 체크밸브(762)는, 액체배출부(740)의 액체 배출시 진공펌프(800)로부터 전달되는 진공압을 차단할 수 있다.
그리고 상기 분리하우징(710)은, 특히 상부플레이트(720)는, 액체배출부(740)의 액체 배출시 분리하우징(710)의 내부공간에서의 부압이 해제될 수 있도록 부압해제체크밸브(763)가 추가로 설치되어 체크밸브(762)의 작동과 함께 부압해제체크밸브(763)도 함께 작동되어 액체배출부(740)를 통한 액체배출을 원활하게 수행할 수 있다.
한편 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같은 진공세퍼레이터(700)의 경우, 분리하우징(710)의 내부공간에 액체를 배출하는 경우 체크밸브(762)이 작동에 의하여 진공압이 차단됨으로써 진공세퍼레이터(700)가 결합된 기기의 작동이 원활치 못한 문제점이 있다.
이에, 발명에 따른 진공세퍼레이터(700)는, 도 25a 및 도 27에 도시된 바와 같이, 유입부(750)를 통한 액체 및 기체의 유입 및 배출부(760)를 통한 기체의 배출이 연속적으로 이루어지면서 분리하우징(710)에 고인 액체를 액체배출부(740)를 통하여 배출할 수 있도록 액체배출부(740)로부터 배출된 액체를 전달받아 외부로 배출하는 2차 진공세퍼레이터(200)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 2차 진공세퍼레이터(200)는, 분리하우징(710)에 고인 액체를 액체배출부(740)를 통하여 배출할 수 있도록 액체배출부(740)로부터 배출된 액체를 전달받아 외부로 배출하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 2차 진공세퍼레이터(200)는, 분리하우징(710)에 결합되어 액체배출부(740)에서 배출되는 액체가 담기도록 격리공간을 형성하는 배출하우징(210)과, 배출하우징(210)의 저부에 설치되어 배출하우징(210)에 담긴 액체를 외부로 배출하는 2차배출부(240)와; 배출하우징(210)에 구비되어 2차배출부(240)을 통하여 액체의 배출이 가능하도록 외부 공기를 격리공간으로 유입시키는 공기유입부(260)를 포함할 수 있다.
상시 배출하우징(210)은, 분리하우징(710)에 결합되어 액체배출부(740)에서 배출되는 액체가 담기도록 격리공간을 형성하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상시 배출하우징(210)은, 분리하우징(710), 즉 분리하우징(710)의 하부플레이트(730)과 간격을 두고 설치되는 2차하부플레이트(230)와, 하부플레이트(730) 및 2차하부플레이트(230)와 결합되어 액체배출부(740)에서 배출되는 액체가 담기도록 격리공간을 형성하는 2차실린더부재(270)를 포함할 수 있다.
상기 2차하부플레이트(230)는, 분리하우징(710)의 하부플레이트(730)과 간격을 두고 설치되는 구성으로서, 앞서 설명한 분리하우징(710)의 하부플레이트(730)과 유사한 구성을 가질 수 있다.
상기 2차실린더부재(270)는, 하부플레이트(730) 및 2차하부플레이트(230)와 결합되어 액체배출부(740)에서 배출되는 액체가 담기도록 격리공간을 형성하는 구성으로서, 액체배출부(740)가 격리공간의 내측에 대응되어 위치되도록 구성되며 앞서 설명한 분리하우징(710)의 실린더부재(770)과 유사한 구성을 가질 수 있다.
상기 2차배출부(240)는, 배출하우징(210)의 저부에 설치되어 배출하우징(210)에 담긴 액체를 외부로 배출하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 앞서 설명한 액체배출부(740)과 유사한 구성을 가질 수 있다.
구체적으로 상기 2차배출부(240)는, 배출하우징(210)의 저부, 즉 2차하부플레이트(230)를 관통하여 설치되어 제어에 의하여 개폐하는 체크밸브(241)와, 체크밸브(241)과 연결되며 체크밸브(241)가 개방작동에 의하여 배출하우징(210)에 담긴 액체를 외부로 배출하는 배출관(742)을 포함할 수 있다.
상기 공기유입부(260)는, 배출하우징(210)에 구비되어 2차배출부(240)을 통하여 액체의 배출이 가능하도록 외부 공기를 격리공간으로 유입시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 공기유입부(260)는, 배출하우징(210), 예를 들면 2차하부플레이트(230)에 설치되는 하부체크밸브(261)와, 하부체크밸브(261)와 결합되어 외부공기가 배출하우징(210)의 상측으로 배출될 수 있도록 상측으로 연장되어 설치된 공기유입파이프(263)를 포함할 수 있다.
상기 하부체크밸브(261)는, 2차배출부(240)에 의한 액체 배출시 액체배출이 원할하도록 배출하우징(210) 내부로 외부공기를 주입하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 하부체크밸브(261)가 작동되어 배출하우징(210) 내부로 외부공기가 유입되는 경우 분리하우징(710)에 설치된 액체배출부(740)의 체크밸브(741)가 차단되어 분리하우징(710)의 내부공간에 형성된 부압, 즉 진공압에 영향을 주는 것을 방지할 수 있다.
상기 공기유입파이프(263)는, 하부체크밸브(261)와 결합되어 외부공기가 배출하우징(210)의 상측으로 배출될 수 있도록 상측으로 연장되어 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 공기유입부(260)는, 다른 예로서, 도 25a 및 도 25b에 도시된 바와 같이, 하부체크밸브(261)를 설치하는 대신에 유로의 흐름 중 유입부(750)의 유로 전방 측에 설치된 전환밸브(980)와 연결되어 외부의 대기압 또는 진공펌프(800)의 진공압을 전달받도록 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 전환밸브(980)는, 유입부(750)의 유로 전방 측에 설치되어 배출하우징(210)의 내부공간에 담긴 액체를 외부로 배출하고자 하는 경우 대기압 연통부재와 연통시켜 대기압이 배출하우징(210)의 내부공간으로 전달되도록 하고, 배출하우징(210)의 내부공간에 담긴 액체의 배출이 완료되면 진공펌프(800)의 진공압이 배출하우징(210)의 내부공간으로 전달되도록 한다.
여기서 상기 전환밸브(980)에 의하여 전달된 진공압은, 배출하우징(210)의 내부공간 및 분리하우징(710)의 내부공간 사이의 압력이 같게 된다.
아울러, 상기 액체배출부(740)의 체크밸브(741)는, 배출하우징(210)의 내부공간의 압력이 분리하우징(710)의 내부공간의 압력가 같거나 낮아지는 경우 개방 작동하도록 구성됨으로써 별도의 제어장비 없이 배출하우징(210)의 내부공간의 압력이 분리하우징(710)의 내부공간의 압력가 같거나 낮아지면 분리하우징(710)에 담긴 액체가 자동으로 배출하우징(210)으로 배출될 수 있다.
상기와 같은 2차 진공세퍼레이터를 진공세퍼레이터의 작동은 다음과 같다.
상기 분리하우징(710)의 내부공간에 미리 설정된 양 이상의 액체가 담기는 경우 액체배출부(740)의 체크밸브(741)를 작동시킴으로써 분리하우징(710)으로부터 기체로부터 분리된 액체를 배출하우징(210)의 격리공간으로 배출할 수 있다.
이때 상기 액체배출부(740)의 체크밸브(741)의 작동에 의하여 개방되는 경우 앞서 설명한 하부체크밸브(261) 및 배출하우징(210)에 설치된 체크밸브(241)는 차단되어 분리하우징(710)의 내부공간에 형성된 부압, 즉 진공압에 영향을 주는 것을 방지할 수 있다.
한편 상기 액체배출부(740)에 의한 액체 배출이 완료되면, 액체배출부(740)의 체크밸브(741)의 작동에 의하여 분리하우징(710) 및 배출하우징(210) 사이의 연통이 해제된다.
한편 다른 예로서, 상기 액체배출부(740)의 체크밸브(741)는, 배출하우징(210)의 내부공간의 압력이 분리하우징(710)의 내부공간의 압력가 같거나 낮아지면 분리하우징(710)에 담긴 액체가 자동으로 배출하우징(210)으로 배출되도록 구성될 수 있다.
이 경우 상기 배출하우징(210)의 내부공간의 압력이 분리하우징(710)의 내부공간의 압력이 같게 유지되는 경우 액체배출부(740)의 체크밸브(741)는, 자동으로 별도의 제어장비 없이 배출하우징(210)의 내부공간의 압력이 분리하우징(710)의 내부공간의 압력가 같거나 낮아지면 분리하우징(710)에 담긴 액체를 자동으로 배출하우징(210)으로 배출할 수 있다.
한편 상기 배출하우징(210)의 격리공간에 미리 설정된 양 이상의 액체가 담기는 경우 2차배출부(240)의 체크밸브(241)를 작동시킴으로써 배출하우징(210)으로부터 액체를 외부로 배출할 수 있다.
이때 상기 하부체크밸브(261)가 작동되어 개방됨으로써 2차배출부(240)에 의한 액체 배출시 액체배출이 원할하도록 배출하우징(210) 내부로 외부공기가 주입된다.
한편 상기 배출하우징(210)으로부터 액체배출이 완료되면 2차배출부(240)의 체크밸브(241) 및 하부체크밸브(261)가 작동되어 차단된다.
이때 상기 배출하우징(210)은, 내부에 담긴 액체의 양을 계량할 수 있도록 적어도 일부가 투명한 재질을 가질 수 있으며 상하방향으로 눈금이 표시될 수 있다.
더 나아가 상기 배출하우징(210)은, 내부공간에 담긴 액체 배출을 자동으로 수행할 수 있도록 수위센서 등 내부에 담긴 액체의 양을 측정하기 위한 센서가 추가로 설치될 수 있다.
한편 상기 공기유입부(260)는, 도 25a 및 도 25b에 도시된 바와 같이, 전환밸브(980)와 연결된 경우 배출하우징(210)에 담긴 액체는 다음과 같이 배출될 수 있다.
먼저 상기 배출하우징(210)의 격리공간에 미리 설정된 양 이상의 액체가 담기는 경우 2차배출부(240)의 체크밸브(241)를 작동시킴으로써 배출하우징(210)으로부터 액체를 외부로 배출할 수 있다.
이때 상기 하부체크밸브(261)가 작동되어 개방됨으로써 2차배출부(240)에 의한 액체 배출시 액체배출이 원할하도록 전환밸브(980)가 작동되어 배출하우징(210) 내부로 외부공기가 주입, 즉 배출하우징(210)의 격리공간에 대기압이 형성된다.
그리고 상기 배출하우징(210)의 격리공간에 대기압이 형성, 즉 압력이 상승하면 액체배출부(740)의 체크밸브(741)에 의하여 배출하우징(210)의 격리공간 및 분리하우징(710)의 내부공간이 서로 격리된다.
한편 상기 2차배출부(240)에 의한 액체 배출이 완료되면 전환밸브(980)가 작동되어 배출하우징(210)의 격리공간에 진공압이 형성됨으로써 2차배출부(240)로의 액체배출이 정지된다. 여기서 2차배출부(240)의 체크밸브(241)는 압력차에 의하여 자동으로 작동될 수 있다.
그리고 상기 배출하우징(210)의 격리공간의 압력 하강에 의하여 분리하우징(710)의 내부공간의 압력과 같거나 낮아지게 되면 액체배출부(740)의 체크밸브(741)가 개방되어 분리하우징(710)의 내부공간에 담긴 액체는 배출하우징(210)의 격리공간으로 전달된다.
상기와 같은 구성을 가지는 진공세퍼레이터(700)는, 흡입되는 기체 내에 담긴 액체를 한번에 분리하기 어려운 경우에는, 도 23 내지 도 27에 도시된 진공세퍼레이터(700)가 유체의 흐름을 기준으로 직렬 또는 병렬 등으로 복수로 배치되어 흡입되는 기체 내에 담긴 액체를 효과적으로 분리할 수 있다.
한편 앞서 설명한 진공펌프(800) 및 진공세퍼레이터(700) 등 2개의 모듈이 외부와 격리된 상태로 유체연통이 가능하게 결합될 필요가 있다.
그런데 2개 이상의 모듈을 결합함에 그 결합구조에 따라서, 제조시, 유지보수를 위한 조립 또는 분리시 작업이 용이하게 구성될 필요가 있다.
이에 본 발명의 다른 측면으로서, 진공펌프(800) 및 진공세퍼레이터(700) 등 2개의 모듈을 외부와 격리된 상태로 유체연통이 가능하게 연결하는 링크조립체(900)를 제시한다.
상기 링크조립체(900)는, 진공펌프(800) 및 진공세퍼레이터(700) 등 2개의 모듈을 외부와 격리된 상태로 유체연통이 가능하게 연결하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서 상기 링크조립체(900)는, 도 28 내지 도 33b에 도시된 바와 같이, 중앙에 제1연통공(911)이 관통형성된 메인블록(910)과, 메인블록(910)을 중앙에 두고 각각 제1모듈 및 제2모듈과 고정결합되며 제1연통공(911)과 연통되는 제2연통공(921)이 형성된 한 쌍의 결합블록(920)과, 메인블록(910)과 결합되어 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)을 고정결합시키는 고정블록(930)을 포함할 수 있다.
상기 메인블록(910)은, 직육면체 형상을 가지며 중앙에 제1연통공(911)이 형성된 블록으로서 견고한 재질로 형성됨이 바람직하다.
그리고 상기 메인블록(910)은, 4개의 측면 모두에 후술하는 고정블록(930)을 관통하여 고정블록(930)을 메인블록(910)에 고정결합되도록 결합나사가 나사결합되는 암나사부(915)가 형성된다.
그리고 상기 메인블록(910)은, 고정블록(930)과의 견고한 결합상태를 유지할 수 있도록 고정블록(930)의 내주면에 형성된 결합키(931)가 삽입되는 요홈(912)가 결합키(931)에 대응되는 위치에 형성된다.
상기 한 쌍의 결합블록(920)은, 메인블록(910)을 중앙에 두고 각각 제1모듈 및 제2모듈과 고정결합되며 제1연통공(911)과 연통되는 제2연통공(921)이 형성된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 한 쌍의 결합블록(920)은, 각각 제1모듈 및 제2모듈과 고정결합될 수 있도록 결합나사가 관통되는 나사공(927)이 형성된다.
그리고 상기 한 쌍의 결합블록(920)은, 평면 형상이 직사각형 형상을 가지며 4개의 변에는 고정블록(930)의 내주면에 형성된 결합키(931)가 삽입되는 요홈(922)가 결합키(931)에 대응되는 위치에 형성된다.
한편 상기 한 쌍의 결합블록(920)은, 메인블록(910)에 대한 고정블록(930)의 결합시 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)을 고정결합되도록 메인블록(910)과 대향되는 면의 반대면의 가장자리에 테이퍼면(925)가 형성된다.
상기 테이퍼면(925)은, 메인블록(910)에 대한 고정블록(930)의 결합시 고정블록(930)의 가장자리에 돌출형성된 가압돌기(932)에 의하여 가압됨으로써 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)이 고정결합된다.
한편 상기 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)이 서로 대향되는 면에는, 외부공기의 유입을 차단하기 위하여 오링(902, 903)이 설치된다.
이때 상기 오링(902, 903)의 안정적 설치를 위하여 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)이 서로 대향되는 면에는 오링설치홈(913)이 형성된다.
그리고 상기 한 쌍의 결합블록(920)은, 제1모듈 또는 제2모듈과 결합되는 면에도 외부공기의 유입을 차단하기 위하여 오링(901, 904)이 설치되며, 오링(901, 904)의 안정적 설치를 위하여 제1모듈 또는 제2모듈과 결합되는 면에는 오링설치홈(926)이 형성된다.
상기 고정블록(930)은, 메인블록(910)과 결합되어 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)을 고정결합시키는 구성으로서, 메인블록(910)의 4개의 측면 중 적어도 하나에 결합되어 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)을 고정할 수 있다.
예로서, 상기 고정블록(930)은, 가장자리에 결합블록(920)에 형성된 테이퍼면(925)를 가압하도록 한 쌍의 가압돌기(932)가 형성되며 결합나사가 관통하여 메인블록(910)에 나사결합되도록 결합나사가 관통하는 나사공(931)이 형성된다.
상기 테이퍼면(925)는, 결합블록(920)의 제2연통공(921)으로부터 가장자리로 가면서 두께가 감소하도록 형성되며, 이에 대응되어 가압돌기(932) 또한 테이퍼면(925)에 대응되는 면 또한 테이퍼면(935)을 이룰 수 있다.
상기와 같은 결합블록(920)의 테이퍼면(925) 및 고정블록(930)의 테이퍼면(935)의 면대면 가압에 의하여 메인블록(910) 및 한 쌍의 결합블록(920)이 견고하게 고정결합된다.
한편 상기 고정블록(930)은, 고정블록(930)과의 견고한 결합상태를 유지할 수 있도록 본체브록(910)에 형성된 요홈(912)에 삽입되는 결합키(931)가 형성될 수 있다.
상술한 상기 링크조립체(900)는, 제1모듈 및 제2모듈의 다양한 결합구조를 구현할 수 있다.
예를 들면, 도 15에 도시된 바와 같이, 보조블록(990)를 중심으로 링크조립체(900)를 90°의 각도로 결합시키는 등 다양한 결합구조가 가능하다.
여기서 상기 보조블록(990)은, 링크조립체(900)와 함께 유체 연통이 가능하도록 하는 구성으로서, 직육면체의 형상을 가지며 6개의 면 중 적어도 2개 이상의 면에 연통공(993, 994, 995)들이 형성되어 연통공(993, 994, 995)들 중 2개 이상에 링크조립체(900)가 결합됨으로써 다양한 유체 연통구조를 구현할 수 있다.
한편 상기 보조블록(990)은, 링크조립체(900)가 결합되지 않은 연통공(993)이 밀폐부재(902)에 의하여 밀폐결합될 수 있다.
또한 상기 보조블록(990)은, 앞서 설명한 바와 같이, 전환밸브(980) 등 별도의 밸브부재 등이 결합되는 등 다양하게 활용될 수 있다.
본 발명에 따른 진공세퍼레이터는, 진공펌프에 결합되어 액체가 포함된 기체에서 액체를 제거하여 진공펌프에 액체가 유입되는 것을 방지하여 이에 결합된 진공펌프의 작동이 원활하며 고장을 방지할 수 있는 이점이 있다.
특히 본 발명에 따른 진공세퍼레이터는, 액체가 포함된 기체가 유입된 후 액체가 고이는 분리하우징 저부에 체크밸브를 구비한 액체배출부를 포함함으로써 체크밸브의 작동에 의하여 기체로부터 제거되 액체를 외부로 효율적으로 배출할 수 있어 기체로부터 액체를 효율적으로 제거할 수 있는 이점이 있다.
더 나아가, 본 발명에 따른 진공세퍼레이터는, 분리하우징에 결합되어 액체배출부로부터 배출된 액체를 담는 배출하우징 저부에 체크밸브를 구비한 2차배출부를 포함하는 2차 진공세퍼레이터를 추가로 구비함으로써 체크밸브의 작동에 의하여 기체로부터 제거되 액체를 외부로 효율적으로 배출할 수 있어 기체로부터 액체를 효율적으로 제거할 수 있는 이점이 있다.
특히 본 발명에 따른 진공세퍼레이터는, 2차 진공세퍼레이터의 추가 설치에 의하여, 유입부를 통한 액체 및 기체의 유입 및 배출부를 통한 기체의 배출이 연속적으로 이루어지면서 분리하우징에 고인 액체를 액체배출부를 통하여 배출할 수 있어 기체로부터 제거되 액체를 외부로 효율적으로 배출할 수 있어 기체로부터 액체를 효율적으로 제거할 수 있는 이점이 있다.
즉, 종래에는 진공탱크에 담긴 액체의 배출시 진공탱크 내부의 압력을 대기압으로 변환한 후 액체를 배출할 수 있어 장치의 작동이 비효율적이나, 본 발명에 따른 진공세퍼레이터는, 진공탱크, 즉 분리하우징 내부의 압력을 진공으로 유지하면서 액체를 외부로 배출할 수 있어 장치의 작동효율을 크게 향상시킬 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

Claims (12)

  1. 일단에 공기유입구(305)가 형성되고 타단에 공기유출구(306)가 형성되며, 측면에 길이방향을 따라 복수의 통공(312)들이 형성되는 하나 이상의 중공형 노즐부(300)와;
    상기 노즐부(300)가 내부에 설치되는 챔버(400)를 포함하며,
    상기 챔버(400)는,
    상기 노즐부(300)의 일단이 관통삽입되어 고정되는 제1삽입공(412)과 상기 노즐부(300)의 타단이 관통삽입되어 고정되는 제2삽입공이 형성되며 상기 노즐부(300)의 측면을 둘러싸는 내부공간(IS)을 형성하는 제1챔버(410)와, 상기 제1챔버(410) 중 상기 제1삽입공(412)이 형성된 제1측벽에 결합되어 상기 노즐부(300)의 공기유입구(305)와 연통되는 공기유입유로 및 상기 노즐부(300)를 통한 공기흐름에 따라 진공분위기가 조성되는 진공공간(VS)을 형성하는 제2챔버(420)와, 상기 제1챔버(410) 중 상기 제2삽입공이 형성된 제2측벽에 결합되어 상기 노즐부(300)의 공기유출구(306)와 연통되는 공기유출유로를 형성하는 제3챔버(430)를 포함하며,
    상기 제1챔버(410)는, 상기 제1측벽에 상기 내부공간(IS)에서 상기 진공공간(VS)으로의 공기흐름은 차단하면서 상기 진공공간(VS)에서 상기 내부공간(IS)으로의 공기흐름은 가능하게 하는 제1체크밸브(610)가 설치된 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1챔버(410)는, 상기 길이방향을 따라 형성된 복수의 통공(312)들 사이에서 상기 내부공간(IS)을 복수의 서브공간(SS)들로 구획하며, 상기 노즐부(300)가 관통삽입되는 제3삽입공(416)이 형성되는 하나 이상의 격벽부(212)를 추가로 포함하며,
    상기 격벽부(212)에는 이웃하는 서브공간(SS)들 사이의 일방향 공기흐름을 차단하는 제2체크밸브(620)가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1챔버(410)는,
    상기 제1삽입공(412)이 형성되고 상기 제1체크밸브(610)가 설치되는 제1서브챔버(410a)와, 상기 격벽부(212)를 포함하는 하나 이상의 제2서브챔버(410b)와, 상기 제2삽입공이 형성되는 제3서브챔버(410c)를 포함하며,
    상기 제1서브챔버(410a), 상기 제2서브챔버(410b), 및 상기 제3서브챔버(410c)는, 상기 노즐부(300)의 길이방향을 따라 순차적으로 적층되어 결합되는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1체크밸브(610) 및 상기 제2체크밸브(620)는, 상기 노즐부(300)에 의한 공기흐름에 따라 형성되는 진공레벨에 따라 순차적으로 개폐되는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 노즐부(300) 내부에 형성되며 상기 통공(312)과 연통되는 공기유로의 단면적은, 상기 공기유입구(305)에서 상기 공기유출구(306)로 갈수록 커지는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 노즐부(300)는, 상기 통공(312)이 측면에 하나 이상 형성되는 복수의 통공형성부재(310)들과, 적어도 일부가 상기 통공형성부재(310)에 삽입되어 상기 공기유로를 형성하는 복수의 유로형성부재(320)들을 포함하며,
    상기 통공형성부재(310)는, 상기 유로형성부재(320) 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 유로형성부재(320)는, 상기 제1삽입공(412), 상기 제2삽입공(414), 및 상기 제3삽입공(416)에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1삽입공(412) 및 상기 제2삽입공(414)은 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 진공펌프(800)는,
    상기 복수의 제1삽입공(412)들 및 상기 복수의 제2삽입공(414)들 중 상기 노즐부(300)가 관통삽입되지 않는 나머지 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)에 일단 및 타단이 각각 관통삽입되어 상기 나머지 제1삽입공(412) 및 제2삽입공(414)을 폐쇄하는 폐쇄부재(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공펌프(800)는, 상기 제3챔버(430) 중 상기 공기유출유로에 설치되며 상기 공기유출유로를 통해 흐르는 공기가 외부로 배출되는 소음기(232)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  11. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1체크밸브(610)는, 상기 제1측벽에 형성되어 상기 내부공간(IS)과 상기 진공공간(VS)을 연통시키는 제1관통구(612)와, 상기 제1관통구(612)를 상기 내부공간(IS) 측에서 복개하며 상기 내부공간(IS)과 상기 진공공간(VS) 사이의 압력차에 의해 개폐되는 제1체크밸브부재(614)를 포함하며,
    상기 제2체크밸브(620)는, 상기 격벽부(212)에 형성되어 이웃하는 서브공간(SS)들을 연통시키는 제2관통구(622)와, 상기 제2관통구(622)를 상기 이웃하는 서브공간(SS)들 중 상기 공기유입구(305)와 먼 서브공간(SS) 측에서 복개하는 제2체크밸브부재(624)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프(800).
  12. 액체와 기체를 분리하기 위한 진공세퍼레이터(700)로서,
    액체와 기체가 혼합된 혼합물이 유입되는 유입구와 상기 유입구를 통해 유입된 혼합물이 수용되는 수용공간이 형성되는 본체부와, 상기 수용공간과 상기 진공공간(VS)이 연통되도록 상기 본체부의 상측에 설치되는 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 하나의 항에 따른 진공펌프(800)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공세퍼레이터(700).
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