KR20200079388A - 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브에 관한 것으로, 공급되는 약액을 단속하는 약액 작동부, 상기 약액 작동부와 연결되어 있고 약액이 유동하도록 상기 약액 작동부를 작동시키는 작동 제어부 및 상기 약액 작동부와 연결되어 있고 유동하는 상기 약액이 차단되도록 상기 약액 작동부를 작동시키는 작동 복귀부를 포함하며, 상기 약액 작동부는 약액 유입부, 약액 배출부, 약액 유입부와 연결된 제1 챔버 및 약액 배출부와 연결된 제2 챔버를 가지며, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버는 연결되어 있고 상기 약액 작동부가 상기 약액을 차단하면 상기 제2 약액 챔버의 체적이 증가하고 상기 약액 배출부 측의 약액은 상기 제2 챔버로 흡입된다.

Description

흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브{FLOW AMOUNT CONTROL VALVE FOR WITH SUCTION FEATURE}
본 발명은 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브에 관한 것이다.
반도체 제조공정 중 현상액이나, 세정액과 같은 약액을 공급하는 장치는 웨이퍼의 표면에 약액을 균일하게 공급하여야 후속공정에 있어 공정의 균일도 및 불량발생이 최소화될 수 있다.
약액을 웨이퍼에 도포하는 방법으로는 약액을 표면에 공급하고 웨이퍼를 일정속도로 회전시켜 도포하는 방법과 분사노즐을 통하여 웨이퍼 표면에 약액을 분사하는 방법이 있다.
약액 도포 방법은 웨이퍼가 회전하는 원심력에 의해 약액이 웨이퍼 표면에 고르게 확산되도록 하는 방법이나 중심부와 외곽부위 사이에 다소 편차가 발생하게 되며 웨이퍼의 직경이 커지게 되면 이와 같은 편차는 더욱 심하게 된다.
약액 분사 방법은 웨이퍼의 직경이 커지더라도 중심과 외곽에서의 두께의 차이를 발생하지 않는다. 약액 분사 방식은 약액이 웨이퍼의 표면에 편중되지 않고 고르게 도포하기 위하여 약액과 함께 질소가스를 혼합 분사하는 방식을 취하여 사용하여 왔다.
약액 분사 방법은 약액 탱크의 채워진 약액이 솔레노이드 밸브의 동작을 제어하는 제어부의 조작에 의해 노즐을 통하여 분사된다. 이때 제어부에서 설정된 시간만큼 노즐에서 약액이 분사된다. 약액 공급 이후 일정시간(세정공정이 진행 중이나 완료 후)이 경과하면 약액을 분사하고 난 노즐 내에 잔류되어 있던 약액이 방울로 맺혀서 노즐의 선단에 모이게 된다. 맺혀 있는 약액은 미세한 진동에도 노즐에서 웨이퍼의 표면으로 떨어지는 현상이 발생하게 된다. 떨어진 약액은 웨이퍼를 표면을 오염시키게 되며, 후속 공정의 진행에 있어 공정불량의 원인이 된다.
공개특허 제10-2017-0121849호 (2017.11.03.) 등록특허 제10-0895234호 (2009.04.21.)
본 발명은 약액 공급 이후에 약액 배출부에서 약액이 웨이퍼로 떨어지지 않도록 하여 약액에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하여 후속공정에서의 공정결함을 줄일 수 있는 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브를 제공한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브는, 유동하는 약액을 제어하는 약액 작동부, 상기 약액 작동부와 연결되어 있고 약액이 유동하도록 상기 약액 작동부를 작동시키는 작동 제어부 및 상기 약액 작동부와 연결되어 있고 유동하는 상기 약액이 차단되도록 상기 약액 작동부를 작동시키는 작동 복귀부를 포함한다.
상기 약액 작동부는, 약액 유입부, 약액 배출부, 약액 유입부와 연결된 제1 챔버 및 약액 배출부와 연결된 제2 챔버를 가지며, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버는 연결되어 있고 상기 약액 작동부가 상기 약액을 차단하면 상기 제2 약액 챔버의 체적이 증가하고 상기 약액 배출부 측의 약액은 상기 제2 챔버로 흡입될 수 있다.
상기 약액 작동부는, 상기 약액 유입부, 상기 약액 배출부, 상기 약액 유입부, 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버가 형성된 약액 하우징, 상기 제1 챔버에 승강할 수 있게 배치되어 있는 밸브, 상기 밸브와 상기 제1 챔버 둘레를 연결하는 밸브 다이어프램, 상기 제2 챔버에 승강할 수 있게 배치되어 상기 밸브와 연결된 승강로드 및 상기 승강로드와 상기 제2 챔버 둘레를 연결하는 승강로드 다이어프램을 포함할 수 있다.
상기 제1 챔버에는 둘레를 따라 상승한 상기 밸브가 접하는 걸림턱이 형성되어 있고, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버는 상기 걸림턱에 의해 형성된 유동홀을 통해 연결되며, 상기 승강로드는 상기 유동홀을 관통하여 상기 밸브와 연결될 수 있다.
상기 작동 복귀부는, 상기 약액 하우징과 연결된 복귀 하우징, 상기 복귀 하우징 내부에 승강할 수 있게 배치되어 있고 상기 밸브와 연결된 복귀로드 및 상기 밸브가 상기 걸림턱에 밀착되도록 상기 복귀로드에 탄성력을 가하는 복귀 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 작동 제어부는, 내부에 제어공간과 상기 제어공간으로 공기를 유입시키는 공기유입홀이 형성되어 있으며 상기 약액 하우징과 연결되어 있는 제어 하우징, 상기 제어공간에 위치하여 상기 승강로드 다이어프램 위에 배치된 체적블록, 상기 체적블록을 관통하여 상기 승강로드와 연결된 가이드, 상기 가이드와 연결되어 상기 제어 하우징 상부로 노출된 가압로드 및 상기 체적블록에 배치되어 있고 상기 가이드가 상기 체적블록에서 멀어지는 방향으로 이동하도록 탄성력을 가하는 가이드 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 공기유입홀을 통해 상기 제어공간으로 유입된 공기는 상기 가이드 상면에 압력을 가하여 상기 밸브가 상기 걸림턱에서 떨어질 수 있다.
상기 체적블록과 상기 승강로드 다이어프램 사이에는 체적확장공간이 형성되어 있고, 상기 제어 하우징에는 상기 체적확장공간과 연결된 체적 배기홀이 형성되어 있으며, 상기 밸브가 상기 걸림턱에 접하면 상기 승강로드 다이어프램은 상기 체적확장공간으로 이동하고 상기 체적확장공간의 공기는 상기 체적 배기홀을 통해 상기 제어 하우징 외부로 배출될 수 있다.
상기 가이드가 상기 작동 복귀부 방향으로 작동하면 상기 가이드와 상기 체적블록 사이의 공기가 배출되도록 상기 제어 하우징에는 상기 제어공간과 연결된 공기 배기홀이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 약액 공급이 차단되면 승강로드가 상승하면서 승강로드 다이어프램이 체적확장공간으로 이동하게 되면서 제2 챔버의 체적이 증가한다. 약액 배출부에 잔존한 약액은 체적이 증가된 제2 챔버로 유동하게 되어 약액 배출부 단부의 약액은 약액 배출부 내부로 유입된다. 약액 배출부에 진동이 발생하여도 약액은 웨이퍼의 표면으로 떨어지지 않는다. 현상이나 세정공정 후 약액이 웨이퍼에 떨어져서 웨이퍼의 표면이 오염되는 것을 예방할 수 있다. 웨이퍼 표면의 오염을 방지하여 후속공정에서의 공정불량 원인을 제거하므로 설비의 안정화 및 제품의 수율을 높일 수 있다
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브로서 약액이 유동하는 상태를 나타낸 개략도.
도 2는 도 1의 A 부분 확대도.
도 3은 도 1의 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브로서 약액의 유동이 차단된 상태를 나타낸 개략도.
도 4는 도 3의 B 부분 확대도.
도 5는 도 3의 C 부분 확대도.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
그러면 본 발명의 한 실시예에 따른 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브에 대하여 도 1 내지 도 4를 참고하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브로서 약액이 유동하는 상태를 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 A 부분 확대도이며, 도 3은 도 1의 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브로서 약액의 유동이 차단된 상태를 나타낸 개략도이고, 도 4는 도 3의 B 부분 확대도이며, 도 5는 도 3의 C 부분 확대도이다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 본 실시예에 따른 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브(1)는 약액 공급 이후에 약액 배출부에서 웨이퍼로 떨어지지 않도록 하여 약액에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하여 후속공정에서의 공정결함을 줄일 수 있도록 한다. 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브(1)는, 약액 작동부(10), 작동 제어부(30) 및 작동 복귀부(20)를 포함한다. 작동 복귀부(20), 약액 작동부(10) 및 작동 제어부(30)는 순차적으로 적층되어 있다.
약액 작동부(10)는 약액 하우징(11), 밸브 다이어프램(13), 승강로드 다이어프램(15), 밸브(12) 및 승강로드(14)를 포함하며 웨이퍼로 공급되는 약액의 유동을 제어한다. 이에 약액의 유량, 공급, 차단 등을 약액 작동부(10)가 실시할 수 있다.
약액 하우징(11)의 내부에는 상하 방향으로 관통되어 있으며, 내부는 제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)로 구획되어 있다. 제1 챔버(111)의 둘레에는 걸림턱(113)이 형성되어 있다. 제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)는 걸림턱(113)에 의해 형성된 관통홀(113a)에 의해 연결되어 있다. 약액 하우징(11)에는 제1 챔버(111)와 연결된 약액 유입부(114), 그리고 제2 챔버(112)와 연결된 약액 배출부(115)가 형성되어 있다. 약액은 약액 유입부(114)를 통해 제1 챔버(111)로 유입되어 관통홀(113a) 및 제2 챔버(112)을 유동하여 약액 배출부(115)를 통해 배출되어 웨이퍼 표면에 분사될 수 있다.
밸브 다이어프램(13)은 약액 하우징(11)의 하면에 배치되어 제1 챔버(111)를 막고 있다. 승강로드 다이어프램(15)은 약액 하우징(11)의 상면에 배치되어 제2 챔버(112)를 막고 있다. 밸브 다이어프램(13)과 승강로드 다이어프램(15)은 제1 챔버(111) 및 제2 챔버(112)의 약액 정도에 따라 약액 하우징(11)에서 볼록해지고 오목해질 수 있다.
밸브(12)는 걸림턱(113) 아래에 위치하여 제1 챔버(111)에 배치되어 있으며 밸브 다이어프램(13)과 결합되어 있다. 밸브(12)의 상부측 외부 둘레 지름은 관통홀(113a)의 지름보다 크다. 밸브(12)는 제1 챔버(111)에서 움직일 수 있다. 밸브(12)는 작동 제어부(30) 방향에서 가해지는 압력에 의해 걸림턱(113)에서 떨어진다. 이와 반대로 밸브(12)는 작동 복귀부(20) 방향에서 가해지는 압력에 의해 걸림턱(113)에 접할 수 있다.
밸브(12) 상면이 걸림턱(113)에 접하면 관통홀(113a)이 막히게 되면서 제1 챔버(111)의 약액은 제2 챔버(112)로 유동하지 못한다. 그러나 밸브(12)의 상면이 걸림턱(113)에서 떨어지면 관통홀(113a)을 통해 제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)가 연결되어 제1 챔버(111)의 약액은 제2 챔버(112)로 유동할 수 있다. 이에 밸브(12) 작동으로 약액의 공급과 차단을 제어한다.
여기서 밸브(12)가 걸림턱(113)에 접하면 밸브 다이어프램(13)은 약액 하우징(11) 하면에서 오목해지며 밸브(12)가 걸림턱(113)에서 떨어지면 약액 하우징(11) 하면에서 볼록해진다.
승강로드(14)는 제2 챔버(112)에 배치되어 승강로드 다이어프램(15)과 연결되어 있다. 이때 승강로드(14)는 승강로드 다이어프램(15)을 기준으로 상, 하 방향으로 각각 돌출되어 있다. 승강로드(14)의 하부측 외부둘레 지름은 관통홀(113a)의 지름보다 작다. 승강로드(14)의 하부측은 관통홀(113a)을 관통하여 밸브(12) 내부로 삽입되어 있다. 승강로드(14)와 밸브(12)는 면 접촉하고 있으며 분리될 수도 있다.
승강로드(14)는 작동 제어부(30) 방향에서 가해지는 압력에 의해 하강하며 밸브(12)의 상면이 걸림턱(113)에서 떨어지도록 한다. 승강로드 다이어프램(15)이 약액 하우징(11) 상면에서 오목해지면 승강로드(14)는 하강하여 밸브(12)에 압력을 가하고 있다. 이와 반대로 승강로드 다이어프램(15)이 약액 하우징(11) 상면에서 볼록해지면 승강로드(14)는 상승하며 밸브(12) 상면은 걸림턱(113)과 접한다.
작동 복귀부(20)는 복귀 하우징(21), 복귀로드(22) 및 복귀 탄성부재(23)를 포함하며, 걸림턱(113)과 떨어져 있는 밸브(12)가 걸림턱(113)에 밀착되도록 한다.
복귀 하우징(21)은 약액 하우징(11) 하면에 결합되어 있으며 내부에는 상면 방향으로 개방된 작동공간(21a)이 형성되어 있다. 밸브 다이어프램(13)은 그 가장자리가 복귀 하우징(21)과 약액 하우징(11) 사이에서 고정되며 그 사이에는 기밀부재가 배치되어 있다.
복귀로드(22)는 작동공간(21a)에 승강할 수 있게 배치되어 있으며 상측이 밸브(12) 하면을 통해 그 내부로 삽입되어 있다. 복귀로드(22)와 밸브(12)는 분리되지 않는다. 복귀로드(22) 하부는 복귀 하우징(21)에 형성된 가이드홈(21b)에 삽입되어 있다. 가이드홈(21b)에 의해 승강하는 복귀로드(22)는 흔들리지 않고 반듯하게 움직일 수 있다. 복귀로드(22)는 밸브(12) 상면이 걸림턱(113)에서 떨어질 때 하강할 수 있다.
복귀 탄성부재(23)는 작동공간(21a)에 배치되어 있으며 하강한 복귀로드(22)가 상승할 수 있도록 복귀로드(22)에 탄성력을 가한다. 복귀로드(22)가 상승하면 걸림턱(113)에서 떨어진 밸브(12)는 걸림턱(113) 방향으로 이동할 수 있다.
작동 제어부(30)는 제어 하우징(31), 체적블록(32), 가이드(33), 가압로드(34) 및 가이드 탄성부재(35)를 포함하며, 밸브(12)가 걸림턱(113)에서 떨어지도록 밸브(12)에 압력을 가한다.
제어 하우징(31)은 약액 하우징(11) 상면에 결합되어 있다. 제어 하우징(31) 내부에는 하면이 개방된 제어공간(311)이 형성되어 있다. 제어 하우징(31)에는 제어공간(311)과 연결된 공기 유입홀(311a), 공기 배기홀(311b) 및 체적 배기홀(311c)이 형성되어 있다. 공기 유입홀(311a)은 제어 하우징(31) 상부측에 형성되어 있고 체적 배기홀(311c)은 제어 하우징(31) 하부측에 형성되어 있으며 체적 배기홀(311c)은 제어 하우징(31)의 중앙 부분에 형성되어 있다. 공기 유입홀(311a)을 통해 제어공간(311)으로 공기가 유입될 수 있다.
체적블록(32)은 제어 하우징(31)의 하부 내측에 위치하여 제어공간(311)에 배치되어 있다. 제어 하우징(31)이 약액 하우징(11)과 결합될 때 체적블록(32)은 승강로드 다이어프램(15)의 가장자리를 제어 하우징(31) 상면으로 가압하여 고정한다.
체적블록(32)의 내부는 상하 관통되어 있으며 하부측 내부에는 원주방향을 따라 체적확장공간(321)이 형성되어 있다. 볼록해지는 승강로드 다이어프램(15)은 체적확장공간(321)으로 삽입될 수 있다. 체적확장공간(321)의 공기가 배출될 수 있도록 체적블록(32) 하부에는 체적확장공간(321)과 체적 배기홀(311c)을 연결하는 체적 연결유로(322)가 형성되어 있다. 체적 연결유로(322)는 체적블록(32) 외부 둘레를 따라 형성되어 체적 배기홀(311c)과 연결된 띠홈(322a) 그리고 띠홈(322a)과 체적확장공간(321)을 연결하는 유동유로(322b)를 갖는다.
가이드(33)는 피스톤(331)과 로드(332)를 포함하며 승강로드(14)가 하강하도록 압력을 가한다.
피스톤(331)은 체적블록(32) 위에 위치하여 제어공간(311)에 배치되어 있으며 제어공간(311)에서 승강할 수 있다. 피스톤(331)의 외부 둘레에는 제어공간(311)의 둘레와 접하는 기밀부재가 배치되어 있다. 공기 유입홀(311a)을 통해 제어공간(311)으로 유입된 공기는 피스톤(331) 상면에 압력을 가할 수 있다. 상면에 압력을 받은 피스톤(331)은 하강할 수 있다.
피스톤(331)과 체적블록(32) 사이의 공간(제어공간)은 공기 배기홀(311b)과 연결되어 있다. 피스톤(331)이 체적블록(32) 방향으로 이동할 때 피스톤(331)과 체적블록(32) 사이 공간은 공기 배기홀(311b)을 통해 제어 하우징(31) 외부로 배출될 수 있다. 이와 반대로 피스톤(331)이 체적블록(32)에서 멀어지는 방향으로 이동할 제어 하우징(31) 외부 공기는 공기 배기홀(311b)을 통해 피스톤(331)과 체적블록(32) 사이 공간으로 유입될 수 있다.
로드(332)는 피스톤(331) 하면에서 돌출되어 체적블록(32) 내부를 관통하고 있다. 로드(332)의 하부는 승강로드(14)와 결합되어 있다. 로드(332)와 체적블록(32) 사이에는 기밀 유지를 위한 기밀부재로 결합되어 있다. 로드(332)는 피스톤(331)이 하강할 때 승강로드(14)를 가압하여 밸브(12)가 걸림턱(113)에서 떨어지도록 한다.
가이드 탄성부재(35)는 체적블록(32)과 피스톤(331) 사이에 위치하며 피스톤(331)이 하강할 때 압축될 수 있다. 가이드 탄성부재(35)는 피스톤(331)에 탄성력을 가하여 체적블록(32)에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있도록 한다.
가압로드(34)는 제어공간(311)에 위치하여 상측이 제어 하우징(31) 외부로 돌출되어 있다. 가압로드(34)의 하부는 피스톤(331) 상면과 접하고 있으며 피스톤(331)을 누르고 있다.
다음은 위에서 설명한 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브의 작용에 대하여 설명한다.
약액 공급 전에는 도면 도 3 및 도 4에서 도시한 바와 같이 밸브(12)의 상면이 걸림턱(113)에 접하고 있다. 제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)는 연결이 차단된 상태를 유지한다. 이에 약액은 약액 배출부(115)를 통해 배출되지 않는다.
도면 도 1에서 도시한 바와 같이 약액 공급을 위해 공기 유입홀(311a)을 통해 제어공간(311)으로 공기를 주입한다. 공기는 피스톤(331) 상면에 압력을 가하며, 피스톤(331)은 작동 복귀부(20) 방향으로 하강한다. 이때 가이드 탄성부재(35)는 압축되며 피스톤(331)과 체적블록(32) 사이의 공기는 공기 배기홀(311b)을 통해 배출된다.
하강한 피스톤(331)은 승강로드(14)를 가압하여 승강로드(14)가 하강하도록 한다. 이때 승강로드 다이어프램(15)은 오목한 상태가 된다. 하강한 승강로드(14)는 밸브(12)를 누르게 된다. 밸브(12)는 작동 복귀부(20) 방향으로 하강하게 되면서 걸림턱(113)에서 떨어진다. 제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)는 관통홀(113a)을 통해 연결된다. 밸브(12)가 이동할 때 복귀로드(22)를 가압하게 되며 복귀 탄성부재(23)는 압축된다. 하강하는 밸브(12)에 의해 밸브 다이어프램(13)은 볼록해질 수 있다.
제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)의 연결로 약액 유입부(114)로 유입된 약액은 제1 챔버(111), 관통홀(113a), 제2 챔버(112) 및 약액 배출부(115)를 통해 웨이퍼 표면으로 분사된다. 여기서 밸브(12)가 걸림턱(113)으로부터 떨어진 정도에 따라 유량이 제어되어 약액의 분사량이 달라질 수 있다. 약액의 분사는 제어부(도시하지 않음) 제어로 일정시간 동안 진행될 수 있다.
약액 분사 종료를 위해 제어공간(311)으로 유입되는 공기를 차단하면 피스톤(331) 상면에 압력이 가해지지 않는다. 이때 압축된 가이드 탄성부재(35)의 탄성 복원력에 의해 피스톤(331)은 체적블록(32)에서 멀어지는 방향으로 이동한다. 그리고 복귀 탄성부재(23) 탄성력에 의해 복귀로드(22)는 상승하면서 밸브(12)가 작동 제어부(30) 방향으로 이동하도록 압력을 가한다. 걸림턱(113)에 밸브(12)가 밀착되면서 제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)의 연결이 차단되어 약액 공급은 완전하게 차단된다. 밸브(12)가 작동 제어부(30) 방향으로 이동할 때 승강로드(14)를 상승시킨다. 이때 승강로드 다이어프램(15)은 볼록한 상태가 되면서 체적확장공간(321)으로 삽입된다. 체적확장공간(321)의 공기는 배기유로(322)와 체적 배기홀(311c)을 통해 제어 하우징(31) 외부로 배출된다.
제1 챔버(111)와 제2 챔버(112)가 차단된 상태에서 승강로드 다이어프램(15)이 체적확장공간(321)으로 삽입되면서 제2 챔버(112)의 체적이 증가한다. 이때 약액 배출부(115)에 잔존한 약액은 증가한 체적만큼 제2 챔버(112)로 흡입된다. 이에 약액 배출부(115) 단부에 약액이 방물 형태로 맺히지 않는다.
따라서, 약액 배출부(115)에 진동이 발생하여도 약액은 웨이퍼의 표면으로 떨어지지 않는다. 현상이나 세정공정 후 약액이 웨이퍼에 떨어져서 웨이퍼의 표면이 오염되는 것을 예방할 수 있다. 웨이퍼 표면의 오염을 방지하여 후속공정에서의 공정불량 원인을 제거하므로 설비의 안정화 및 제품의 수율을 높일 수 있다
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1: 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브 10: 약액 작동부
11: 약액 하우징 111: 제1 챔버
112: 제2 챔버 113: 걸림턱
113a: 관통홀 114: 약액 유입부
115: 약액 배출부 12: 밸브
13: 밸브 다이어프램 14: 승강로드
15: 승강로드 다이어프램 20: 작동 복귀부
21: 복귀 하우징 21a: 작동공간
21b: 가이드홈 22: 복귀로드
23: 복귀 탄성부재 30: 작동 제어부
31: 제어 하우징 311: 제어공간
311a: 공기 유입홀 311b: 공기 배기홀
311c: 체적 배기홀 32: 체적블록
321: 체적확장공간 322: 체적 연결유로
322a: 띠홈 322b: 유동유로
33: 가이드 331: 피스톤
332: 로드 34: 가압로드
35: 가이드 탄성부재

Claims (6)

  1. 유동하는 약액을 제어하는 약액 작동부,
    상기 약액 작동부와 연결되어 있고 약액이 유동하도록 상기 약액 작동부를 작동시키는 작동 제어부 및
    상기 약액 작동부와 연결되어 있고 유동하는 상기 약액이 차단되도록 상기 약액 작동부를 작동시키는 작동 복귀부
    를 포함하며,
    상기 약액 작동부는 약액 유입부, 약액 배출부, 약액 유입부와 연결된 제1 챔버 및 약액 배출부와 연결된 제2 챔버를 가지며, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버는 연결되어 있고 상기 약액 작동부가 상기 약액을 차단하면 상기 제2 약액 챔버의 체적이 증가하고 상기 약액 배출부 측의 약액은 상기 제2 챔버로 흡입되는
    흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브.
  2. 제1항에서,
    상기 약액 작동부는,
    상기 약액 유입부, 상기 약액 배출부, 상기 약액 유입부, 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버가 형성된 약액 하우징,
    상기 제1 챔버에 승강할 수 있게 배치되어 있는 밸브,
    상기 밸브와 상기 제1 챔버 둘레를 연결하는 밸브 다이어프램,
    상기 제2 챔버에 승강할 수 있게 배치되어 상기 밸브와 연결된 승강로드 및
    상기 승강로드와 상기 제2 챔버 둘레를 연결하는 승강로드 다이어프램
    을 포함하며,
    상기 제1 챔버에는 둘레를 따라 상승한 상기 밸브가 접하는 걸림턱이 형성되어 있고, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버는 상기 걸림턱에 의해 형성된 유동홀을 통해 연결되며, 상기 승강로드는 상기 유동홀을 관통하여 상기 밸브와 연결된
    흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브.
  3. 제2항에서,
    상기 작동 복귀부는,
    상기 약액 하우징과 연결된 복귀 하우징,
    상기 복귀 하우징 내부에 승강할 수 있게 배치되어 있고 상기 밸브와 연결된 복귀로드 및
    상기 밸브가 상기 걸림턱에 밀착되도록 상기 복귀로드에 탄성력을 가하는 복귀 탄성부재
    를 포함하는
    흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브.
  4. 제2항에서,
    상기 작동 제어부는,
    내부에 제어공간과 상기 제어공간으로 공기를 유입시키는 공기유입홀이 형성되어 있으며 상기 약액 하우징과 연결되어 있는 제어 하우징,
    상기 제어공간에 위치하여 상기 승강로드 다이어프램 위에 배치된 체적블록,
    상기 체적블록을 관통하여 상기 승강로드와 연결된 가이드,
    상기 가이드와 연결되어 상기 제어 하우징 상부로 노출된 가압로드 및
    상기 체적블록에 배치되어 있고 상기 가이드가 상기 체적블록에서 멀어지는 방향으로 이동하도록 탄성력을 가하는 가이드 탄성부재
    를 포함하며,
    상기 공기유입홀을 통해 상기 제어공간으로 유입된 공기는 상기 가이드 상면에 압력을 가하여 상기 밸브가 상기 걸림턱에서 떨어지도록 하는
    흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브.
  5. 제4항에서,
    상기 체적블록과 상기 승강로드 다이어프램 사이에는 체적확장공간이 형성되어 있고, 상기 제어 하우징에는 상기 체적확장공간과 연결된 체적 배기홀이 형성되어 있으며, 상기 밸브가 상기 걸림턱에 접하면 상기 승강로드 다이어프램은 상기 체적확장공간으로 이동하고 상기 체적확장공간의 공기는 상기 체적 배기홀을 통해 상기 제어 하우징 외부로 배출되는
    흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브.
  6. 제5항에서,
    상기 가이드가 상기 작동 복귀부 방향으로 작동하면 상기 가이드와 상기 체적블록 사이의 공기가 배출되도록 상기 제어 하우징에는 상기 제어공간과 연결된 공기 배기홀이 형성되어 있는 흡입 기능을 갖는 유량 제어 밸브.
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