KR20200067594A - 클린텐트 - Google Patents

클린텐트 Download PDF

Info

Publication number
KR20200067594A
KR20200067594A KR1020180154625A KR20180154625A KR20200067594A KR 20200067594 A KR20200067594 A KR 20200067594A KR 1020180154625 A KR1020180154625 A KR 1020180154625A KR 20180154625 A KR20180154625 A KR 20180154625A KR 20200067594 A KR20200067594 A KR 20200067594A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fluid
supply flow
clean
flow generating
tent
Prior art date
Application number
KR1020180154625A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102167729B1 (ko
Inventor
육영춘
이응식
용상순
Original Assignee
한국항공우주연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국항공우주연구원 filed Critical 한국항공우주연구원
Priority to KR1020180154625A priority Critical patent/KR102167729B1/ko
Publication of KR20200067594A publication Critical patent/KR20200067594A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102167729B1 publication Critical patent/KR102167729B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F24F3/161—
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04H—BUILDINGS OR LIKE STRUCTURES FOR PARTICULAR PURPOSES; SWIMMING OR SPLASH BATHS OR POOLS; MASTS; FENCING; TENTS OR CANOPIES, IN GENERAL
    • E04H15/00—Tents or canopies, in general
    • E04H15/02—Tents combined or specially associated with other devices
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04H—BUILDINGS OR LIKE STRUCTURES FOR PARTICULAR PURPOSES; SWIMMING OR SPLASH BATHS OR POOLS; MASTS; FENCING; TENTS OR CANOPIES, IN GENERAL
    • E04H15/00—Tents or canopies, in general
    • E04H15/32—Parts, components, construction details, accessories, interior equipment, specially adapted for tents, e.g. guy-line equipment, skirts, thresholds
    • E04H15/54—Covers of tents or canopies
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

일 실시예에 따른 클린텐트는 유체의 유동을 생성하는 송풍팬과 유체를 여과하는 필터를 구비하는 공급 유동생성부, 상기 공급 유동생성부의 후방에 배치되어서 상기 공급 유동생성부로부터 유체를 전달받는 프레임부, 상기 프레임부의 일 단에 배치되어서 유체의 유동을 생성하는 배기 유동생성부, 및 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부로 유체를 안내하는 가이드부를 포함할 수 있고, 상기 프레임부는 상부벽 및 측벽을 포함하고 상기 상부벽 및 측벽에 의해 격리 공간이 형성되어서 상기 공급 유동생성부와 상기 배기 유동생성부를 사이에서 유체를 연통시킬 수 있으며, 상기 배기 유동생성부는 상기 공급 유동생성부에 의해 상기 프레임부 내부로 전달되는 유체를 배출할 수 있다.

Description

클린텐트{CLEAN TENT}
클린텐트가 개시된다. 구체적으로, 클린텐트 내부에 균일한 이상 온도를 제공할 수 있는 클린텐트가 개시된다.
클린텐트는 오염 제어가 이루어지는 제한된 공간으로, 공기 속에 포함되어 있는 먼지뿐 아니라 온도, 습도, 실내 공기압, 가스성분, 정전기, 미진동, 전자파 등 환경 조건이 제어되는 공간을 의미한다.
이러한 공간은 생물이나 미세입자를 제어할 수 있는 작은 실험용 벤치에서부터 반도체나 디스플레이 등의 산업용 제품을 생산할 수 있는 공간을 포함한다.
현재의 클린텐트는 ISO(International Organization for Standardization) 기준 14644-1에 다음과 같이 정의되어 있다. 공간 내부에서 부유입자의 농도가 제어되고, 입자의 유입, 발생, 보유를 최소화하기 위한 방법으로 건설되어 유지되며, 필요에 따라 연관된 변수인 온도, 습도, 압력 등이 조절되는 공간을 의미한다.
산업용 클린텐트는 제품의 품질과 신뢰성을 높이고 가동시 원료에 대한 제품의 수율을 향상시키는 목적이 있으며, 주로 미립자를 제어 대상으로 한다. 또한, 청정도 이외에도 필요에 따라 온도, 습도, 압력, 기류, 소음, 진동 등의 환경조건도 제어되어야 하며, 최근 반도체 제조, 우주항공, 전자, 정밀산업 등의 발전으로 인해 제품의 정밀화, 미세화, 고품질화 및 고신뢰성이 요구되고 있다. 전자공업, 필름공장 또는 정밀 기계공장 등에서는 실내 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되어 제품의 불량을 초래하고, 사용 목적에 접합한 제품생상에 저해요소가 되어 제품의 신뢰성과 수율(생산원가)에 막대한 영향을 미치므로, 공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서는 필요에 대응하는 청정한 상태가 유지되도록 하여야 한다.
이에 반해, 바이오 산업용 클린텐트는 생물학적 오염(bio-contamination), 예를 들어 생물성 입자(viable particle) 또는 생물 관련 입자들에 의해 자재, 장치, 작업자 표면, 액체, 가스 및 공기 오염이 제어되는 청정실이다.
이러한 클린텐트에 관한 기술은 대한민국 특허등록번호 제1415695호 "합성보를 이용한 클린룸 골조"에 기술되어 있다.
일 실시예에 따른 목적은 텐트 내부에 균일한 공기의 흐름을 형성할 수 있는 클린텐트를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 다른 목적은 텐트 내부에 100클래스의 청정도를 달성하기 위한 클린텐트를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 다른 목적은 팬에서 발생하는 열이 클린텐트 내로 재 유입되는 것을 방지하는 클린텐트를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 다른 목적은 클린텐트 내부 온도 분포가 보다 균일해지는 클린텐트를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 다른 목적은 이동이 용이한 클린텐트를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 다른 목적은 내부에 양압이 형성되는 클린텐트를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 다른 목적은 구조 안정성이 향상되는 클린텐트를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 다른 목적은 설치와 개폐가 용이한 클린텐트를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 클린텐트는 유체의 유동을 생성하는 송풍팬과 유체를 여과하는 필터를 구비하는 공급 유동생성부, 상기 공급 유동생성부의 후방에 배치되어서 상기 공급 유동생성부로부터 유체를 전달받는 프레임부, 상기 프레임부의 일 단에 배치되어서 유체의 유동을 생성하는 배기 유동생성부, 및 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부로 유체를 안내하는 가이드부를 포함할 수 있고, 상기 프레임부는 상부벽 및 측벽을 포함하고 상기 상부벽 및 측벽에 의해 격리 공간이 형성되어서 상기 공급 유동생성부와 상기 배기 유동생성부를 사이에서 유체를 연통시킬 수 있으며, 상기 배기 유동생성부는 상기 공급 유동생성부에 의해 상기 프레임부 내부로 전달되는 유체를 배출할 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 가이드부는 상기 공급 유동생성부의 전방에 배치되는 제1 가이드부재, 상기 배기 유동생성부의 후방에 배치되는 제2 가이드부재 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 상기 제1 가이드부재는 상방이 개방되어서 상기 공급 유동생성부의 상방에 있는 유체를 상기 공급 유동생성부로 안내할 수 있으며, 상기 제2 가이드부재는 상방이 개방되어서 상기 배기 유동생성부에서 배출되는 유체를 상방으로 안내할 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 제1 가이드부재는 전방향과 측방향이 폐쇄되고 상기 제2 가이드부재는 후방향과 측방향은 폐쇄될 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트는 상기 공급 유동생성부의 후방에 설치되는 제1 펀칭 플레이트, 및 상기 배기 유동생성부 전방에 설치되는 제2 펀칭 플레이트를 더 포함할 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 제1 펀칭 플레이트의 펀칭 비율은 상기 제2 펀칭 플레이트의 펀칭 비율보다 클 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트는 상기 프레임부, 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부의 하부에서 이동을 위한 이동부를 더 포함할 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 측벽은 비닐 커튼으로 형성될 수 있다.
일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 텐트 내부에 균일한 공기의 흐름을 형성할 수 있는 클린텐트가 제공될 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 텐트 내부에 100클래스의 청정도를 달성하기 위한 클린텐트가 제공될 수 잇다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 팬에서 발생하는 열이 클린텐트 내로 재 유입되는 것을 방지하는 클린텐트가 제공될 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 클린텐트 내부 온도 분포가 보다 균일해지는 클린텐트가 제공될 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 이동이 용이한 클린텐트가 제공될 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 내부에 양압이 형성되는 클린텐트가 제공될 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 구조 안정성이 향상되는 클린텐트가 제공될 수 있다.
또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 설치와 개폐가 용이한 클린텐트가 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트의 사시도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트의 측면도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트의 정면도를 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린 텐트의 내부를 흐르는 유체의 일 유동을 도시한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부를 흐르는 유체의 전체 유동을 도시한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부의 압력을 그래프로 도시한다.
이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)의 사시도를 도시하고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)의 측면도를 도시하며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)의 정면도를 도시한다.
도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)는 공급 유동생성부, 프레임부(120), 배기 유동생성부 및 가이드부를 포함할 수 있다.
공급 유동생성부는 바람직하게 EFU(equipment fan---- unit)일 수 있으며 EFU는 생산설비의 설비 내부 환경유지를 위하여 환기횟수와 청정도 유지, 설비 외부 간의 차압 유지를 위해서 설치한다.
바람직하게 공급 유동생성부는 클린텐트(100) 내부의 환경 유지를 위해 송풍팬(112)과 필터를 포함할 수 있다.
송풍팬(112)은 유체의 유동을 생성할 수 있으며, 송풍팬(112)에 의해 생성되는 유체의 유동은 공급 유동생성부의 후방에 배치되는 프레임부(120)로 전달될 수 있다.
유체가 송풍팬(112)을 지나 프레임부(120)로 전달되기 전이나 후에는 필터가 배치될 수 있다. 필터는 송풍팬(112)을 지나 프레임부(120)로 전달되는 유체를 여과하여 유동의 청정도를 향상시킬 수 있다.
프레임부(120)는 측벽(122)과 상부벽(124)을 포함할 수 있다. 프레임부(120)는 측벽(122)과 상부벽(124)에 의해 둘러싸여서 격리 공간을 형성할 수 있다.
프레임부(120)는 공급 유동생성부의 후방에 배치될 수 있으며 공급 유동생성부를 지나는 유체를 수용할 수 있다.
프레임부(120)의 공급 유동생성부와 연결되는 부분보다 프레임부(120)의 중간 부분의 단면적이 더 넓을 수 있다.
프레임부(120)의 측벽(122)은 아크릴 또는 비닐 커튼으로 형성될 수 있으며, 프레임부(120)의 상부벽(124)은 아크릴로 형성될 수 있다.
프레임부(120)의 측벽(122)이 비닐 커튼으로 형성됨으로써, 클린텐트(100) 전체 무게를 저감하여 이동성을 향상시킬 수 있으며, 유지보수를 용이하게 할 수 있다.
프레임부(120)는 측벽(122)과 상부벽(124)에 의해 기밀될 수 있다.
배기 유동생성부는 프레임부(120)의 후방에 배치될 수 있다. 보다 상세하게, 배기 유동생성부는 프레임부(120)의 일단(전방)에 배치된 공급 유동생성부와 대향하는 위치(프레임부(120)의 후방)에 배치될 수 있으며, 이에 따라 공급 유동생성부와 프레임부(120) 및 배기 유동생성부는 순차적으로 배치될 수 있다.
배기 유동생성부는 공급 유동생성부와 유사하게 송풍팬(132)을 포함할 수 있다.
배기 유동생성부의 송풍팬(132)은 측벽(122)과 상부벽(124)으로 둘러싸인 프레임부(120) 내에 유입되는 유체(공급 유동생성부의 송풍팬(112)에 의해 프레임부(120) 내부로 유입되는 청정한 유체)를 프레임부(120)의 밖으로 배출시킬 수 있다.
프레임부(120)의 배기 유동생성부와 연결되는 부분보다 프레임부(120)의 중간 부분의 단면적이 더 넓을 수 있다.
즉, 클린텐트(100)는 구성요소들이 공급 유동생성부의 송풍팬(112) 또는 필터 중 하나, 송풍팬(112) 또는 필터 중 다른 하나, 보다 단면적이 적은 프레임부(120) 내 공간, 보다 단면적이 큰 프레임부(120)의 중간부분 공간, 보다 단면적이 작은 프레임부(120) 내 공간 및 배기 유동생성부의 송풍팬(132) 순으로 배열될 수 있으며, 클린텐트(100) 구성요소의 배열 순서를 따라, 유체는 공급 유동생성부의 송풍팬(112) 또는 필터 중 하나, 송풍팬(112) 또는 필터 중 다른 하나, 보다 단면적이 적은 프레임부(120) 내 공간, 보다 단면적이 큰 프레임부(120)의 중간부분 공간, 보다 단면적이 작은 프레임부(120) 내 공간 및 배기 유동새엇ㅇ부의 송풍팬(132) 순으로 진행될 수 있다.
가이드부는 공급 유동생성부 또는 배기 유동생성부를 지나는 유체를 안내할 수 있다.
구체적으로, 가이드부는 제1 가이드부재(142)와 제2 가이드부재(144)를 포함할 수 있다.
제1 가이드부재(142)는 공급 유동생성부의 전방에 배치될 수 있고, 보다 상세하게 공급 유동생성부의 후방과 연결되는 프레임부(120)의 대향하는 방향으로 배치될 수 있다.
반면에, 제2 가이드부재(144)는 배기 유동생성부의 후방에 배치될 수 있고, 보다 상세하게 배기 유동생성부의 전방에 연결되는 프레임부(120)의 대향하는 방향으로 배치될 수 있다.
제1 가이드부재(142)는 공급 유동생성부의 전방에서 공급 유동생성부의 위에 있는 유체를 안내하도록 공급 유동생성부의 전방, 측방을 폐쇄하고 상방만 개방시킬 수 있다. 이를 통해 제1 가이드부재(142)는 배기 유동생성부(144)에서 배출되는 유체의 재유입을 저감할 수 있다.
또한, 제2 가이드부재(144)는 배기 유동생성부의 후방에서 송풍팬(132)에 의해 배출되는 유체가 배기 유동생성부(144)의 위 방향으로 유체를 안내하도록 배기 유동생성부의 후방 및 측방을 폐쇄하고 상방만을 개방시킬 수 있다. 이를 통해, 제2 가이드부재(144)는 배기 유동생성부(144)에서 배출되는 유체가 프레임부(120)의 측벽(122)을 가열시키는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린 텐트의 내부를 흐르는 유체의 일 유동을 도시하고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부를 흐르는 유체의 전체 유동을 도시하며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부의 압력을 그래프로 도시한다.
도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)는 펀칭 플레이트를 더 포함하고 펀칭 플레이트는 제1 펀칭 플레이트(152) 및 제2 펀칭 플레이트(154)를 포함한다.
제1 펀칭 플레이트(152)는 공급 유동생성부의 후방에 설치될 수 있고, 제2 펀칭 플레이트(154)는 배기 유동생숭부의 전방에 설치될 수 있다.
제1 펀칭 플레이트(152)는 제2 펀칭 플레이트(154)보다 펀칭률이 더 높을 수 있다.
예를 들어, 제1 펀칭 플레이트(152)의 펀칭률은 51%일 수 있으며, 제2 펀칭 플레이트(154)의 펀칭률은 30%일 수 있다.
도 4를 참조하여, 51% 펀칭률을 갖는 제1 펀칭 플레이트(152)를 지나는 유체는 프레임부(120) 내부 공간을 지나며 아래로 치우쳐져서 30% 펀칭률을 갖는 제2 펀칭 플레이트(154)를 통과할 수 있다. 즉, 제1 펀칭 플레이트(152)와 제2 펀칭 플레이트(154)를 지나는 유체의 유동은 공급 유동생성부부터 배기 유동생성부까지 층류가 형성될 수 있다.
프레임부(120) 내부를 지나는 유체의 유동은 또한, 프레임부(120)의 내부공간의 위치에 따라 속도가 상이할 수 있다.
도 5를 참조하여, 프레임부(120)의 중간부분 단면적은 프레임부(120)의 공급 유동생성부 부근의 단면적 및 배기 유동생성부 부근의 단면적보다 크기 때문에, 프레임부(120) 내부의 유속은 위치에 따라 상이할 수 있다.
구체적으로, 공급 유동생성부 부근의 보다 작은 단면적을 갖는 프레임부(120)의 부분은 유체 유동의 속도가 빠를 수 있고, 프레임부(120)의 중심부분은 유체 유동의 속도가 보다 느릴 수 있으며, 배기 유동생성부 부근의 보다 작은 단면적을 갖는 프레임부(120)의 부분은 유체 유동의 속도가 중간부분보다 빠르고 공급 유동생성부 부근보다 느릴 수 있다.
공급 유동생성부 부근의 제1 펀칭 플레이트(152)는 유체 투과율이 높기 때문에 보다 높은 속도를 유지할 수 있고, 프레임부(120)의 중심 부분은 단면적이 공급 유동생성부 부근 보다 증가되기 때문에 보다 낮은 속도를 유지할 수 있다. 또한, 배기 유동생성부 부근의 제2 펀칭 플레이트(154)는 유체 투과율이 보다 낮기 때문에 공급 유동생성부 부근의 유속보다 다소 낮은 속도를 유지할 수 있다.
이에 따라, 도 6에서 도시되는 바와 같이, 클린텐트 내부에 형성되는 압력분포는 위치에 따라 상이할 수 있다.
도 6에서 상부에 위치되는 도면은 클린텐트의 단면을 도시하고, 도 6에서 하부에 위치되는 도면은, 상부에 위치되는 클렌텐트 단면의 위치에 따른 유체 압력의 변화를 도시한다.
즉, 도 6을 참조하여, 공급 유동생성부의 전방은 0.04Pa 보다 낮은 양압이 생성될 수 있고, 공급 유동생성부 부분에는 0.04Pa의 양압, 프레임부(120)의 중간부분에는 0.06Pa의 양압이 생성될 수 있다. 또한, 배기 유동생성부 전방은 0.04Pa 수준의 양압으로 압력이 다시 줄어들 수 있다.
따라서, 프레임부(120) 내부 공간에는 전반적으로 양압이 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 다시 참조하여, 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)는 이동부(160)를 더 포함할 수 있다.
이동부(160)는 제1 가이드부재(142), 공급 유동생성부, 프레임부(120) 및 배기 유동생성부, 및 제2 가이드부재(142)의 하부에 배치될 수 있다.
바람직하게, 이동부(160)는 바퀴 또는 레일일 수 있으며, 이에 따라 클린텐트의 이동성을 향상시킬 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도균일도 향상을 위한 클린텐트는 클린텐트 내부 공간에 보다 균일한 층류의 공기 흐름을 형성할 수 있고, 바람직하게 100 클래스의 청정도를 달성할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도균일도 향상을 위한 클린텐트는 송풍팬에서 발생하는 열 및 클린텐트 내부에서 발생하는 열이 클린텐트 내부로 재유입되는 것을 방지할 수 있고, 클린텐트 내부 온도 분포를 보다 균일하게 할 수 있으며, 클린텐트의 이동이 용이할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도균일도 향상을 위한 클린텐트는 클린텐트 내부 공간에 양압이 형성될 수 있고, 구조 안정성이 향상될 수 잇으며, 설치와 클린텐트 개폐가 용이할 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100 : 클린텐트
112 : 송풍팬
120 : 프레임부
122 : 측벽
124 : 상부벽
132 : 송풍팬
142 : 제1 가이드부재
144 : 제2 가이드부재
152 : 제1 펀칭 플레이트
154 : 제2 펀칭 플레이트
160 : 이동부

Claims (7)

  1. 유체의 유동을 생성하는 송풍팬과 유체를 여과하는 필터를 구비하는 공급 유동생성부;
    상기 공급 유동생성부의 후방에 배치되어서 상기 공급 유동생성부로부터 유체를 전달받는 프레임부;
    상기 프레임부의 일 단에 배치되어서 유체의 유동을 생성하는 배기 유동생성부; 및
    상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부로 유체를 안내하는 가이드부;
    를 포함하고,
    상기 프레임부는 상부벽 및 측벽을 포함하고 상기 상부벽 및 측벽에 의해 격리 공간이 형성되어서 상기 공급 유동생성부와 상기 배기 유동생성부를 사이에서 유체를 연통시키며,
    상기 배기 유동생성부는 상기 공급 유동생성부에 의해 상기 프레임부 내부로 전달되는 유체를 배출하는, 클린텐트.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 공급 유동생성부의 전방에 배치되는 제1 가이드부재;
    상기 배기 유동생성부의 후방에 배치되는 제2 가이드부재;
    중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 제1 가이드부재는 상방이 개방되어서 상기 공급 유동생성부의 상방에 있는 유체를 상기 공급 유동생성부로 안내하고,
    상기 제2 가이드부재는 상방이 개방되어서 상기 배기 유동생성부에서 배출되는 유체를 상방으로 안내하는, 클린텐트.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 가이드부재는 전방향과 측방향이 폐쇄되고 상기 제2 가이드부재는 후방향과 측방향이 폐쇄되는, 클린텐트.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 공급 유동생성부의 후방에 설치되는 제1 펀칭 플레이트, 및 상기 배기 유동생성부 전방에 설치되는 제2 펀칭 플레이트를 더 포함하는, 클린텐트.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제1 펀칭 플레이트의 펀칭 비율은 상기 제2 펀칭 플레이트의 펀칭 비율보다 큰, 클린텐트.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 프레임부, 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부의 하부에서 이동을 위한 이동부를 더 포함하는, 클린텐트.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 측벽은 비닐 커튼으로 형성되는, 클린텐트.
KR1020180154625A 2018-12-04 2018-12-04 클린텐트 KR102167729B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180154625A KR102167729B1 (ko) 2018-12-04 2018-12-04 클린텐트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180154625A KR102167729B1 (ko) 2018-12-04 2018-12-04 클린텐트

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200067594A true KR20200067594A (ko) 2020-06-12
KR102167729B1 KR102167729B1 (ko) 2020-10-19

Family

ID=71088333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180154625A KR102167729B1 (ko) 2018-12-04 2018-12-04 클린텐트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102167729B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3864198B2 (ja) * 2001-07-05 2006-12-27 独立行政法人放射線医学総合研究所 放射性薬剤合成用クリーンホットセル
JP2011231989A (ja) * 2010-04-28 2011-11-17 Kyowa Kogyo Kk クリーンブース
KR101314278B1 (ko) * 2011-11-30 2013-10-02 (주)신성이엔지 클린 부스

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3864198B2 (ja) * 2001-07-05 2006-12-27 独立行政法人放射線医学総合研究所 放射性薬剤合成用クリーンホットセル
JP2011231989A (ja) * 2010-04-28 2011-11-17 Kyowa Kogyo Kk クリーンブース
KR101314278B1 (ko) * 2011-11-30 2013-10-02 (주)신성이엔지 클린 부스

Also Published As

Publication number Publication date
KR102167729B1 (ko) 2020-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5425793A (en) Coupling-type clean space apparatus
US4723480A (en) Manufacturing apparatus with air cleaning device
US4838150A (en) Clean room
CN1321294C (zh) 薄板状电子组件清洁搬运装置及薄板状电子产品制造系统
WO2008136215A1 (ja) クリーンユニット、クリーンユニットの運転方法および連結クリーンユニット
EP0680584A4 (en) CONTROL UNIT FOR AIR CONDITIONING.
CA2789747C (en) Local clean zone forming apparatus
KR20120057571A (ko) 크린 룸
US10184686B2 (en) System for maintaining a pollutant controlled workspace
KR20200067594A (ko) 클린텐트
JP2006242419A (ja) クリーンブースおよびそのクリーンブースを用いた作業システム
KR101114807B1 (ko) 기재를 진공실내로 유입하는 로드-락 장치
JP3851355B2 (ja) 異質環境の二領域を分離するための装置
JP2018044748A (ja) クリーンルーム
KR20140053348A (ko) 청정공기 취출장치
JP4656296B2 (ja) 局所清浄化装置及びクリーンルーム
US3686836A (en) Dust-free work station with two crossed laminar flows
CN205609481U (zh) 一种半导体制造设备
CN107255904B (zh) 一种开放式光罩存储装置
US20210381702A1 (en) Dry room and method for controlling same
JP2001328780A (ja) 垂直型クリーン搬送装置
JPH07310941A (ja) クリーンルーム
US20240166550A1 (en) Methods and apparatus for manufacturing a glass ribbon
JP2003090576A (ja) クリーン空間構成装置
JP3777060B2 (ja) アイソレータ装置の連通機構

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant