KR20200063659A - Carrier buffer apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 캐리어 버퍼 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OHT의 비히클에 의해 이송되는 캐리어를 임시로 보관하기 위한 버퍼 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier buffer device, and more particularly, to a buffer device for temporarily storing a carrier transported by the vehicle of the OHT.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor process devices for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus while being accommodated in a carrier, or recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier.
상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)의 비히클에 의해 이송된다. 상기 비히클은 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.The carrier is transported by a vehicle of OHT (Overhead Hoist Transport). The vehicle transfers the carrier containing the object to a load port of the semiconductor processing apparatuses, and picks up the carrier containing the processed object from the load port and transports it to the outside.
상기 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어가 존재하는 경우, 상기 비히클에 의해 이송된 캐리어를 임시로 수납하기 위한 캐리어 버퍼 장치가 구비된다. When a carrier is present in the load pod of the semiconductor processing apparatus, a carrier buffer device is provided for temporarily receiving a carrier transported by the vehicle.
상기 캐리어 버퍼 장치는 단층 구조를 가지므로, 상기 캐리어 버퍼 장치에 적재할 수 있는 캐리어의 개수가 상대적으로 적다. 특히, 상기 캐리어 버퍼 장치에 상기 캐리어로 질소 가스를 공급하기 위한 기구물이 구비되는 경우, 상기 캐리어 버퍼 장치에 적재할 수 있는 캐리어의 개수가 더욱 감소할 수 있다. Since the carrier buffer device has a single layer structure, the number of carriers that can be loaded on the carrier buffer device is relatively small. Particularly, when a mechanism for supplying nitrogen gas to the carrier is provided in the carrier buffer device, the number of carriers that can be loaded in the carrier buffer device can be further reduced.
본 발명은 다수의 캐리어를 적재할 수 있는 캐리어 버퍼 장치를 제공한다. The present invention provides a carrier buffer device capable of loading multiple carriers.
본 발명에 따른 비히클이 주행하는 주행 레일과 인접하도록 천장에 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어를 임시로 적재하는 캐리어 버퍼 장치는, 상기 천장에 고정되며, 상기 캐리어를 다층으로 적재하기 위해 다층 구조를 갖는 프레임과, 상기 프레임에서 각 층의 바닥면에 각각 구비되며, 상기 캐리어를 지지하는 플레이트들 및 상기 바닥면을 개방하여 상기 캐리어들을 적재하거나 배출하기 위한 통로를 형성하기 위해 최하층에 위치하는 플레이트들을 제외한 나머지 층의 플레이트들을 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. A carrier buffer device that is provided on the ceiling so as to be adjacent to a traveling rail on which the vehicle travels according to the present invention, and temporarily loads a carrier transported by the vehicle, is fixed to the ceiling, and has a multi-layer structure to stack the carrier in multiple layers. A frame having a, and provided on the bottom surface of each layer in the frame, the plate supporting the carrier and the plate located at the bottom layer to open the bottom surface to form a passage for loading or discharging the carriers It may include a driving unit for moving the plates of the rest of the layer.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 캐리어가 공급 및 배출되는 상기 프레임의 전방을 제외한 나머지 방향으로 상기 플레이들을 회전시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the driving unit may rotate the plays in a direction other than the front of the frame through which the carrier is supplied and discharged.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 캐리어가 공급 및 배출되는 상기 프레임의 전방이나 상기 전방과 반대되는 후방으로 전면이나 후면을 향해 상기 플레이들을 수평 이동시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the driving unit may horizontally move the plays toward the front or the rear toward the front of the frame to which the carrier is supplied and discharged, or to the rear opposite to the front.
본 발명에 따른 비히클이 주행하는 주행 레일과 인접하도록 천장에 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어를 임시로 적재하는 캐리어 버퍼 장치는, 상기 천장에 고정되며, 상기 캐리어를 다층으로 적재하기 위해 다층 구조를 갖는 프레임과, 상기 프레임에서 각 층의 바닥면에 각각 구비되며, 상기 캐리어를 지지하는 플레이트들 및 상기 캐리어를 상기 플레이트들에 적재하거나, 상기 플레이트들에 적재된 상기 캐리어를 배출하기 위해 상기 플레이트들이 상기 프레임의 전방을 향해 돌출되도록 상기 플레이트들을 수평 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. A carrier buffer device that is provided on the ceiling so as to be adjacent to a traveling rail on which the vehicle travels according to the present invention, and temporarily loads a carrier transported by the vehicle, is fixed to the ceiling, and has a multi-layer structure to stack the carrier in multiple layers. A frame having a, and each plate is provided on the bottom surface of each layer in the frame, the plate for supporting the carrier and the carrier to load on the plates, or to discharge the carrier loaded on the plates It may include a drive for horizontally moving the plates so that they protrude toward the front of the frame.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 플레이트들 중 최상층의 플레이트들은 상기 프레임의 전방을 향해 돌출되지 않도록 고정될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, plates on the uppermost layer of the plates may be fixed so as not to protrude toward the front of the frame.
본 발명에 따른 상기 캐리어 버퍼 장치는 상기 프레임을 다층으로 형성하고, 상기 최하층에 위치하는 플레이트들을 제외한 나머지 층의 플레이트들을 이동시켜 상기 바닥면을 개방할 수 있다. 상기 개방된 바닥면을 통해 상기 캐리어들을 적재하거나 배출하기 위한 통로를 형성하므로, 상기 캐리어들을 다층으로 적재하거나, 상기 다층으로 적재된 캐리어들을 용이하게 배출할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 버퍼 장치에 적재할 수 있는 캐리어의 개수가 증가시킬 수 있다. The carrier buffer device according to the present invention can open the bottom surface by forming the frame in a multi-layer and moving the plates of the remaining layers except for the plates located in the lowermost layer. Since a passage for loading or discharging the carriers is formed through the open bottom surface, the carriers can be stacked in multiple layers, or carriers stacked in multiple layers can be easily discharged. Accordingly, the number of carriers that can be loaded in the carrier buffer device can be increased.
또한, 상기 캐리어 버퍼 장치는 상기 프레임을 다층으로 형성하고, 각 층의 플레이트들을 상기 프레임의 전방을 향해 돌출시켜 상기 캐리어들을 적재하거나 배출할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 버퍼 장치에서 상기 캐리어를 특정 플레이트에 적재하거나, 상기 특정 플레이트에 적재된 캐리어를 배출할 수도 있다. In addition, the carrier buffer device may form the frame in a multi-layer, and protrude the plates of each layer toward the front of the frame to load or discharge the carriers. Therefore, the carrier buffer device may load the carrier on a specific plate or discharge the carrier loaded on the specific plate.
그리고, 상기 캐리어 버퍼 장치에 다수의 캐리어들을 적재할 수 있으므로, 상기 캐리어 버퍼 장치에 상기 캐리어로 질소 가스를 공급하기 위한 기구물이 구비되더라도 상기 캐리어를 충분히 적재할 수 있다. In addition, since a plurality of carriers can be loaded in the carrier buffer device, the carrier buffer device can be sufficiently loaded even if a mechanism for supplying nitrogen gas to the carrier is provided.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 버퍼 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 구동부의 다른 예를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 구동부의 다른 예를 설명하기 위한 측면도이다. 1 is a side view illustrating a carrier buffer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view for explaining another example of the driving unit illustrated in FIG. 1.
3 is a side view for explaining another example of the driving unit shown in FIG. 1.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention can be applied to various changes and may have various forms, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosure form, and it should be understood that it includes all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual for clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, the first component may be referred to as a second component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the second component may be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, terms such as “include” or “have” are intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It should be understood that the presence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms, such as those defined in a commonly used dictionary, should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and should not be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present application. Does not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 버퍼 장치를 설명하기 위한 측면도이다.1 is a side view illustrating a carrier buffer device according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 상기 캐리어 버퍼 장치(100)는 비히클이 주행하는 주행 레일과 인접하도록 천장에 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어(10)를 임시로 적재한다. 상기 캐리어(10)는 FOUP, FOSB, 매거진 등일 수 있다. Referring to FIG. 1, the
상기 캐리어 버퍼 장치(100)는 프레임(110), 플레이트(120) 및 구동부(130)를 포함한다. The
상기 프레임(110)은 상기 천장에 고정된다. 예를 들면, 상기 천장에 몰드바가 구비되며, 고정 부재들이 상기 프레임(110)을 상기 몰드바에 고정한다. 상기 몰드바는 서로 나란한 형태 또는 격자 형태를 가질 수 있다. 상기 고정 부재들의 예로는 전산 볼트, 턴 버클 등을 들 수 있다. 상기 고정 부재들은 상기 천장에 직접 고정될 수도 있다. The
상기 프레임(110)은 대략 육면체 형상을 가지며, 다층 구조를 갖는다. 따라서, 상기 프레임(110)은 상기 캐리어(10)들을 다층으로 적재할 수 있다. The
상기 플레이트(120)들은 상기 프레임(110)에서 각 층의 바닥면에 각각 구비되며, 상기 캐리어(10)들을 지지한다. 상기 플레이트(120)는 대략 사각 평판 형태를 갖는다. 상기 플레이트(120)의 크기는 상기 캐리어(10)의 크기보다 클 수 있다. 따라서, 상기 플레이트(120)들이 상기 캐리어(10)들을 안정적으로 지지할 수 있다. The
한편 도시되지는 않았지만, 각 플레이트(120)들에는 다수의 가이드들 및 반사판이 구비될 수 있다. On the other hand, although not shown, each
상기 가이드들은 각 플레이트(120)들의 가장자리를 따라 구비된다. 상기 가이드들은 상기 각 플레이트(120)들에 적재되는 상기 캐리어(10)를 가이드한다. 따라서, 상기 캐리어(10)가 상기 각 플레이트(120)에 기 설정된 기준 위치에 정확하게 안착될 수 있다. The guides are provided along the edges of each
상기 반사판은 각 플레이트(120)들의 후단에 구비되며, 상기 비히클과 마주 보도록 배치된다. 상기 반사판은 상기 비히클의 광센서로부터 조사된 광을 반사한다. 상기 반사판은 상기 각 플레이트(120)에 상기 캐리어(10)의 위치하는지 여부를 확인하는데 이용될 수 있다. The reflector is provided at the rear end of each
상기 구동부(130)는 상기 플레이트(120)들 중 상기 최하층에 위치하는 플레이트(120)들을 제외한 나머지 층의 플레이트(120)들과 연결되도록 구비된다. 상기 구동부(130)는 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 회전시켜 상기 나머지 층들의 바닥면을 개방하거나 차단할 수 있다.The
구체적으로, 상기 구동부(130)는 수평 상태인 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 수직 상태가 되도록 90도 회전시키거나, 상기 수직 상태인 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 상기 수평 상태가 되도록 90도 회전시킬 수 있다. 상기 나머지 층의 플레이트(120)들은 상기 프레임(110)에 회전 가능하다 힌지 결합되며, 상기 구동부(130)가 상기 플레이트(120)들의 힌지 축을 중심으로 상기 플레이트(120)들을 회전시킨다. 예를 들면, 상기 구동부(130)는 회전 모터일 수 있다. Specifically, the driving
상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 상기 캐리어(10)가 공급 및 배출되는 상기 프레임(110)의 전방을 향해 회전하는 경우, 상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 상기 수직 상태가 되므로, 상기 캐리어(10)의 공급 및 배출을 방해할 수 있다. 따라서, 상기 구동부(130)는 상기 전방을 제외한 나머지 방향으로 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 회전시킬 수 있다. When the
상기 플레이트(120)들이 상기 수직 상태가 되도록 회전하는 경우, 상기 플레이트(120)들이 상기 바닥면을 개방하므로 상기 캐리어(110)들을 적재하거나 배출하기 위한 통로를 형성할 수 있다. 또한, 상기 플레이트(120)들이 상기 수평 상태가 되도록 회전하는 경우, 상기 플레이트(120)들이 상기 바닥면을 차단하므로 상기 플레이트(120)들에 상기 캐리어(110)들을 적재할 수 있다. When the
한편, 상기 프레임(110)에서 상기 최하층을 제외한 나머지 층들에는 상기 플레이트(120)들이 회전하기 위한 공간이 필요하다. 따라서, 상기 프레임(110)에서 상기 나머지 층들의 높이는 상대적으로 높을 수 있다. Meanwhile, a space for the
상기 프레임(110)에서 상기 최하층에는 상기 플레이트(120)들이 회전할 필요가 없으므로, 상기 프레임(110)에서 상기 최하층의 높이는 상대적으로 낮을 수 있다. Since the
이하에서는 상기 캐리어 버퍼 장치(100)에 상기 캐리어(10)들을 적재하는 과정 및 상기 캐리어 버퍼 장치(100)로부터 상기 캐리어(10)들을 배출하는 과정에 대해 설명한다. Hereinafter, a process of loading the
상기 캐리어 버퍼 장치(100)에 상기 캐리어(10)들을 적재하기 위해서는 먼저 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 수직 상태가 되도록 90도 회전시켜 상기 바닥면들을 개방한다. 상기 비히클이 개방된 바닥면을 통해 상기 최하층의 플레이트(120)들에 상기 캐리어(10)를 적재한다. To load the
상기 최하층의 플레이트(120)들에 상기 캐리어(10)가 적재되면, 두 번째 최하층의 플레이트(120)들을 수평 상태가 되도록 90도 회전시켜 상기 두 번째 최하위층의 바닥면을 차단하고, 상기 비히클이 개방된 바닥면을 통해 상기 두 번째 최하위층의 플레이트(120)들에 상기 캐리어(10)를 적재한다. 이후, 세 번째 최하위층부터 최상층까지 순차적으로 각 층의 플레이트(120)들을 수평 상태가 되도록 90도 회전시켜 상기 각 층의 바닥면을 차단하고, 상기 바닥면을 차단한 플레이트(120)들에 상기 캐리어(10)를 적재하는 과정을 반복한다. When the
상기에서와 같이 상기 최하층의 플레이트(120)들부터 상기 최상층의 플레이트(120)들까지 순차적으로 상기 캐리어(10)들을 적재함으로써 상기 캐리어 버퍼 장치(100)의 각 층에 상기 캐리어(10)들을 모두 적재할 수 있다. As described above, by loading the
상기 캐리어 버퍼 장치(100)에 다층으로 적재된 상기 캐리어(10)들을 배출하기 위해서는 먼저 상기 비히클이 상기 최상층에 적재된 상기 캐리어(10)들을 배출한다. In order to discharge the
상기 최상층의 캐리어(10)들이 배출되면, 상기 최상층의 플레이트(120)들을 수직 상태가 되도록 90도 회전시켜 상기 바닥면들을 개방한다. 상기 비히클이 개방된 바닥면을 통해 두 번째 최상층의 캐리어(10)들을 배출한다. When the
이후, 두 번째 최상위층부터 최하층까지 순차적으로 각 층의 플레이트(120)들을 수직 상태가 되도록 90도 회전시켜 상기 각 층의 바닥면을 개방하고, 상기 개방된 바닥면을 통해 캐리어(10)들을 배출하는 과정을 반복한다. Subsequently, the
상기에서와 같이 상기 최상층의 플레이트(120)들에 적재된 상기 캐리어(10)들부터 상기 최하층의 플레이트(120)들에 적재된 상기 캐리어(10)들까지 순차적으로 상기 캐리어(10)들을 배출함으로써 상기 캐리어 버퍼 장치(100)의 각 층으로부터 상기 캐리어(10)들을 모두 배출할 수 있다. As described above, by sequentially discharging the
도 2는 도 1에 도시된 구동부의 다른 예를 설명하기 위한 측면도이다. FIG. 2 is a side view for explaining another example of the driving unit illustrated in FIG. 1.
도 2를 참조하면, 상기 구동부(130)는 상기 플레이트(120)들 중 상기 최하층에 위치하는 플레이트(120)들을 제외한 나머지 층의 플레이트(120)들과 연결되도록 구비된다. 상기 구동부(130)는 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 상기 전방이나 상기 전방과 반대되는 후방으로 수평 왕복 이동시킨다. 상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 상기 수평 왕복 이동함에 따라 상기 나머지 층들의 바닥면이 개방되거나 차단될 수 있다.Referring to FIG. 2, the driving
구체적으로, 상기 구동부(130)는 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 상기 전방을 향해 이동시키거나, 상기 후방을 향해 이동시킴으로써 상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 상기 프레임(110)으로부터 돌출되거나 상기 프레임(110)에 수용될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 프레임(110)에는 상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 전방 이동이나 후방 이동을 안내하기 위해 가이드 부재들이 구비될 수 있다. 상기 가이드 부재들의 예로는 가이드 레일들, LM 가이드들 등을 들 수 있다. Specifically, the driving
상기 구동부(130)는 회전 모터와, 회전 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 볼 스크류를 포함하여 구성되거나, 리니어 모터나 실린더를 포함하여 구성될 수 있다. The driving
상기 플레이트(120)들이 상기 전방이나 상기 후방을 향해 이동하여 상기 프레임(110)으로부터 돌출되는 경우, 상기 플레이트(120)들이 상기 바닥면을 개방하므로, 상기 캐리어(110)들을 적재하거나 배출하기 위한 통로를 형성할 수 있다. 또한, 상기 플레이트(120)들이 상기 전방이나 상기 후방을 향해 이동하여 상기 프레임(110)에 수용되는 경우, 상기 플레이트(120)들이 상기 바닥면을 차단하므로 상기 플레이트(120)들에 상기 캐리어(110)들을 적재할 수 있다. When the
한편, 상기 프레임(110)에서 상기 최하층을 제외한 나머지 층들에서 상기 플레이트(120)들을 수평 이동시키는 경우, 상기 프레임(110)에서 상기 각층의 높이를 상대적으로 낮게 할 수 있다. 따라서, 상기 프레임(110)의 전체 높이를 낮출 수 있다. 그러므로, 상기 캐리어 버퍼 장치(100)의 부피를 줄일 수 있다. Meanwhile, when the
상기 플레이트(120)들을 수평 이동시켜 상기 바닥면을 개방한다는 점을 제외하면 상기 캐리어 버퍼 장치(100)에 상기 캐리어(10)들을 적재하거나 상기 캐리어 버퍼 장치(100)로부터 상기 캐리어(10)들을 배출하는 과정에 대한 구체적인 설명은 상기 도 1을 참고한 상기 캐리어 버퍼 장치(100)에 상기 캐리어(10)들을 적재하거나 상기 캐리어 버퍼 장치(100)로부터 상기 캐리어(10)들을 배출하는 과정에 대한 구체적인 설명과 실질적으로 동일하다. Loading the
도 3은 도 1에 도시된 구동부의 다른 예를 설명하기 위한 측면도이다. 3 is a side view for explaining another example of the driving unit shown in FIG. 1.
도 3을 참조하면, 상기 구동부(130)는 상기 플레이트(120)들 중 상기 최상층에 위치하는 플레이트(120)들을 제외한 나머지 층의 플레이트(120)들과 연결되도록 구비된다. 상기 구동부(130)는 상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 상기 프레임(110)의 전방을 향해 돌출되거나 상기 프레임(110)에 수용되도록 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 수평 왕복 이동시킨다. 상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 돌출된 상태에서 상기 비히클이 상기 캐리어(10)를 상기 플레이트(120)들에 적재하거나, 상기 플레이트(120)들에 적재된 상기 캐리어(10)를 배출할 수 있다. Referring to FIG. 3, the driving
상기 구동부(130)는 회전 모터와, 회전 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 볼 스크류를 포함하여 구성되거나, 리니어 모터나 실린더를 포함하여 구성될 수 있다. The driving
도시되지는 않았지만, 상기 프레임(110)에는 상기 나머지 층의 플레이트(120)들이 전방 이동을 안내하기 위해 가이드 부재들이 구비될 수 있다. 상기 가이드 부재들의 예로는 가이드 레일들, LM 가이드들 등을 들 수 있다. Although not shown, the
상기 플레이트(120)들이 상기 전방을 향해 이동하여 상기 프레임(110)으로부터 돌출되면, 상기 비히클이 상기 캐리어(10)들을 상기 플레이트(120)들에 적재하거나, 상기 플레이트(120)들에 적재된 상기 캐리어(10)들을 배출할 수 있다. 상기 캐리어(10)들의 적재나 배출이 완료되면, 상기 플레이트(120)들이 상기 후방을 향해 이동하여 상기 프레임(110)의 내부로 수용될 수 있다. When the
상기에서는 상기 최상층의 플레이트(120)들은 수평 왕복 이동하지 않는 것으로 설명되었으나, 상기 최상층의 플레이트(120)들에도 상기 구동부(130)가 구비될 수 있다. 따라서, 상기 최상층의 플레이트(120)들이 상기 프레임(110)으로부터 돌출된 상태에서 상기 캐리어(10)들이 적재되거나 배출될 수 있다. In the above, it has been described that the
한편, 상기 프레임(110)에서 상기 최하층을 제외한 나머지 층들에서 상기 플레이트(120)들을 수평 이동시키는 경우, 상기 프레임(110)에서 상기 각층의 높이를 상대적으로 낮게 할 수 있다. 따라서, 상기 프레임(110)의 전체 높이를 낮출 수 있다. 그러므로, 상기 캐리어 버퍼 장치(100)의 부피를 줄일 수 있다. Meanwhile, when the
상기 캐리어 버퍼 장치(100)에 상기 캐리어(10)들을 적재하기 위해서는 먼저 상기 최상층의 플레이트(120)들에 상기 캐리어(10)들을 적재한 후, 두 번째 최상층의 플레이트(120)들부터 최하층의 플레이트(120)들까지 순차적으로 돌출시켜 상기 캐리어(10)들을 적재할 수 있다. In order to load the
이와 달리 상기 최하층의 플레이트(120)들부터 상기 두 번째 최상층의 플레이트(120)들까지 순차적으로 돌출시켜 상기 캐리어(10)들을 적재한 후, 상기 최상층의 플레이트(120)들에 상기 캐리어(10)들을 적재할 수 있다.Alternatively, after loading the
상기 캐리어 버퍼 장치(100)에 상기 캐리어(10)들을 배출하기 위해서는 먼저 상기 최상층의 플레이트(120)들로부터 상기 캐리어(10)들을 배출한 후, 두 번째 최상층의 플레이트(120)들부터 최하층의 플레이트(120)들까지 순차적으로 돌출시켜 상기 캐리어(10)들을 배출할 수 있다. In order to discharge the
이와 달리 상기 최하층의 플레이트(120)들부터 상기 두 번째 최상층의 플레이트(120)들까지 순차적으로 돌출시켜 상기 캐리어(10)들을 배출한 후, 상기 최상층의 플레이트(120)들로부터 상기 캐리어(10)들을 배출할 수 있다.Alternatively, the
한편, 상기 최상층의 플레이트(120)들이 수평 이동 가능하도록 구비되는 경우, 상기 최상층의 플레이트(120)들을 돌출시켜 상기 캐리어(10)들을 적재하거나 배출할 수 있다. Meanwhile, when the
그리고, 상기 캐리어 버퍼 장치(100)에서 상기 최상층을 제외한 나머지 층의 플레이트(120)들이 상기 프레임(110)으로부터 돌출되므로, 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 순차적으로 돌출시켜 상기 캐리어(10)들을 적재하거나 배출할 필요가 없다. 즉, 상기 나머지 층의 플레이트(120)들을 임의로 돌출시켜 상기 캐리어(10)들을 적재하거나 배출할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 버퍼 장치(100)에서 상기 캐리어(10)를 특정 플레이트(120)에 적재하거나, 상기 특정 플레이트(120)에 적재된 캐리어(10)만을 배출할 수도 있다. In addition, since the
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 캐리어 버퍼 장치는 상기 캐리어를 다층으로 적재할 수 있으므로, 상기 캐리어 버퍼 장치에 적재할 수 있는 캐리어의 개수가 증가시킬 수 있다.As described above, since the carrier buffer device according to the present invention can stack the carriers in multiple layers, the number of carriers that can be loaded on the carrier buffer device can be increased.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art may variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.
100 : 캐리어 버퍼 장치
110 : 프레임
120 : 플레이트
130 : 구동부
10 : 캐리어100: carrier buffer device 110: frame
120: plate 130: drive unit
10: carrier
Claims (5)
상기 캐리어 버퍼 장치는,
상기 천장에 고정되며, 상기 캐리어를 다층으로 적재하기 위해 다층 구조를 갖는 프레임;
상기 프레임에서 각 층의 바닥면에 각각 구비되며, 상기 캐리어를 지지하는 플레이트들; 및
상기 바닥면을 개방하여 상기 캐리어들을 적재하거나 배출하기 위한 통로를 형성하기 위해 최하층에 위치하는 플레이트들을 제외한 나머지 층의 플레이트들을 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 버퍼 장치. In the carrier buffer device is provided on the ceiling so as to be adjacent to the traveling rail on which the vehicle travels, the carrier buffer device for temporarily loading the carrier transported by the vehicle,
The carrier buffer device,
A frame fixed to the ceiling and having a multi-layer structure to stack the carrier in a multi-layer structure;
Plates respectively provided on the bottom surface of each layer in the frame, supporting the carrier; And
And a driving unit for moving the plates of the remaining layers except for the plates located at the bottom layer to open the bottom surface to form a passage for loading or discharging the carriers.
상기 캐리어 버퍼 장치는,
상기 천장에 고정되며, 상기 캐리어를 다층으로 적재하기 위해 다층 구조를 갖는 프레임;
상기 프레임에서 각 층의 바닥면에 각각 구비되며, 상기 캐리어를 지지하는 플레이트들; 및
상기 캐리어를 상기 플레이트들에 적재하거나, 상기 플레이트들에 적재된 상기 캐리어를 배출하기 위해 상기 플레이트들이 상기 프레임의 전방을 향해 돌출되도록 상기 플레이트들을 수평 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 버퍼 장치. In the carrier buffer device is provided on the ceiling so as to be adjacent to the traveling rail on which the vehicle travels, the carrier buffer device for temporarily loading the carrier transported by the vehicle,
The carrier buffer device,
A frame fixed to the ceiling and having a multi-layer structure to stack the carrier in a multi-layer structure;
Plates respectively provided on the bottom surface of each layer in the frame, supporting the carrier; And
And a drive unit for horizontally moving the plates so that the plates protrude toward the front of the frame to load the carriers on the plates or discharge the carriers loaded on the plates. .
Priority Applications (1)
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KR1020180149642A KR102141197B1 (en) | 2018-11-28 | 2018-11-28 | Carrier buffer apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family Applications (1)
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KR1020180149642A KR102141197B1 (en) | 2018-11-28 | 2018-11-28 | Carrier buffer apparatus |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001171806A (en) * | 1999-12-17 | 2001-06-26 | Shinko Electric Co Ltd | Station for carrier facility |
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KR20150010962A (en) * | 2012-06-08 | 2015-01-29 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | Conveyance system and temporary storage method of articles in conveyance system |
KR20170051641A (en) * | 2015-10-30 | 2017-05-12 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for loading substrate storage container |
-
2018
- 2018-11-28 KR KR1020180149642A patent/KR102141197B1/en active IP Right Grant
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