KR20200051204A - 약액 공급 장치 및 이의 제어 방법 - Google Patents

약액 공급 장치 및 이의 제어 방법 Download PDF

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KR20200051204A
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Abstract

본 기재의 약액 공급 장치는 약액을 저장하고, 약액을 외부로 공급할 수 있는 압력을 유지하는 약액 저장 유닛; 약액 저장 유닛에 연결되어 약액의 흐름을 제어하는 밸브 유닛; 밸브 유닛에 연결되어 외부로 배출되는 약액의 유량을 측정하는 유량 측정 부재; 및 밸브 유닛을 개방시킨 상태에서, 약액 저장 유닛의 압력을 변화시키면서 유량 측정 부재에서 측정한 유량을 감지하고, 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출하며, 검출된 압력을 약액 저장 유닛의 시작 압력으로 설정하는 제어부;를 포함한다.

Description

약액 공급 장치 및 이의 제어 방법{Chemical liquid feeding apparatus and control method therefor}
본 발명은 약액 공급 장치 및 이의 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체를 제조하는데 사용될 수 있는 약액 공급 장치 및 이의 제어 방법에 관한 것이다.
미세 가공 기술을 필요로 하는 반도체 장치 또는 평판 디스플레이 장치의 제조 공정은 다양한 반복적인 단위 공정들을 실시할 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 막을 식각하여 미세 패턴들을 형성하기 위한 식각 공정, 기판의 특정 부위의 전기적 특성을 변화시키기 위하여 기판의 표면 부위에 불순물을 주입하기 위한 이온 주입 공정, 기판에 대한 식각 마스크 또는 보호막을 형성하기 위하여 기판 상에 포토레지스트 막 또는 패턴을 형성하는 포토리소그래피 공정 등이 전기적 특성을 갖는 미세 패턴들을 형성하기 위하여 반복적으로 수행될 수 있다.
이러한 공정들 중에서 포토리소그래피 공정은 반도체 기판 또는 유리 기판 상에 포토레지스트막을 도포하기 위한 도포 공정, 도포된 포토레지스트막을 경화시키기 위한 베이크 공정, 경화된 포토레지스트막에 목적하는 이미지 패턴을 전사하기 위한 노광 공정, 노광된 포토레지스트막을 현상하기 위한 현상 공정 등을 포함할 수 있다.
특히, 도포 공정의 경우, 회전되는 기판 상에 포토레지스트액을 공급하고, 원심력에 의해 포토레지스트액이 기판의 표면을 따라서 자연스럽게 도포되는 방법이 사용될 수 있다.
이와 같은 도포 공정을 수행하기 위한 기판 처리 시스템은 기판을 파지하고 핸들링하며 실질적인 공정이 수행되는 기판 처리 장치와 기판 처리 장치로 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치를 포함할 수 있다. 상기와 같은 약액 공급 장치는 약액이 저장된 저장 탱크에 일정한 압력을 유지시켜놓고, 밸브를 개방하여 약액을 기판 처리 장치로 공급할 수 있다.
한편, 저장 탱크의 압력은 약액 공급 장치에 내장된 펌프의 위치, 약액이 이송되는 배관의 구조, 밸브의 위치에 따른 높이 차이를 전혀 고려하지 않고 특정 값으로 강제로 설정된다. 여기서, 밸브는 내장된 모터에 의해 개폐될 수 있다. 약액의 공급이 차단되어야 하거나 약액의 공급이 실시되어야 하는 경우, 밸브에 내장된 모터가 동작되어야 한다. 저장 탱크는 밸브와 배관에 의해 연결되어 있으므로, 약액은 저장 탱크의 압력에 의하여 배관에 채워질 수 있고, 저장 탱크의 압력은 밸브에 그대로 전해질 수 있다.
따라서, 저장 탱크의 압력이 과도하게 높으면, 모터는 저장 탱크의 압력보다 더욱 강한 힘을 발생시켜야 함으로써, 모터에서 지속적으로 전류를 소모한다. 이 과정에서 발생되는 발열에 의해 모터의 동작이 불안정해지고, 밸브가 오동작하면서 약액의 흐름을 정상적으로 제어하기 어려울 수 있다.
한국등록특허 제10-0938240호
본 발명의 목적은 밸브에 가해지는 부하를 최소화하면서 약액을 외부로 안정적으로 공급할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 약액 공급 장치는 약액을 저장하고, 상기 약액을 외부로 공급할 수 있는 압력을 유지하는 약액 저장 유닛; 상기 약액 저장 유닛에 연결되어 상기 약액의 흐름을 제어하는 밸브 유닛; 상기 밸브 유닛에 연결되어 외부로 배출되는 상기 약액의 유량을 측정하는 유량 측정 부재; 및 상기 밸브 유닛을 개방시킨 상태에서, 상기 약액 저장 유닛의 압력을 변화시키면서 상기 유량 측정 부재에서 측정한 유량을 감지하고, 상기 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 상기 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출하며, 상기 검출된 압력을 상기 약액 저장 유닛의 시작 압력으로 설정하는 제어부;를 포함한다.
한편, 상기 제어부는, 상기 약액 저장 유닛의 초기 동작 압력을 0Psi보다 큰 값에서부터 시작하여 기준 수치만큼 단계적으로 증가시킬 수 있다.
한편, 상기 기준 수치는 0.1Psi 내지 0.5Psi에 포함될 수 있다.
한편, 상기 목표 유량은 약액이 외부로 공급될 수 있을 정도의 유량일 수 있다.
한편, 상기 약액은 포토레지스트 공정에 사용되는 감광성 고분자 물질(PR: Photoresist)일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 약액 공급 장치의 제어 방법은 상기 약액 공급 장치를 제어하는 약액 공급 장치의 제어 방법에 있어서, 상기 밸브 유닛을 개방하는 밸브 개방 단계; 상기 약액 저장 유닛 내부의 압력을 변화시키는 압력 가변 단계; 상기 밸브 유닛을 통과한 약액의 유량을 측정하는 유량 측정 단계; 상기 측정된 유량이 목표 유량인지를 판단하는 판단 단계; 상기 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 상기 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출하는 압력 검출 단계; 및 상기 검출된 압력을 상기 약액 저장 유닛의 시작 압력으로 설정하는 압력 설정 단계;를 포함한다.
한편, 상기 압력 가변 단계는, 상기 측정된 유량이 목표 유량이 될 때까지 상기 약액 저장 유닛 내부의 압력을 기준 수치만큼 단계적으로 증가시킬 수 있다.
한편, 상기 목표 유량은 약액이 외부로 공급될 수 있을 정도의 유량일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 유량 측정 부재와 제어부를 포함한다. 제어부는 약액이 공정 챔버로 공급될 수는 있으면서 밸브 유닛에 부하가 가해지지 않을 정도의 압력을 약액 저장 유닛의 시작 압력으로 설정한다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 저장 탱크 내부의 압력을 최적의 값으로 자동으로 설정할 수 있다. 따라서, 밸브 유닛에 가해지는 부하가 최소화될 수 있으므로, 밸브 유닛에서 부하가 발생되는 것을 방지하여 밸브 유닛에 과부하가 걸려서 동작 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 약액 공급 장치는 약액 공급 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 약액 저장 유닛(110), 밸브 유닛(120), 유량 측정 부재(130) 및 제어부(140)를 포함한다.
약액 저장 유닛(110)은 약액을 저장하고, 상기 약액을 외부로 공급할 수 있는 압력을 유지할 수 있다. 상기 약액은 포토레지스트 공정에 사용되는 감광성 고분자 물질(PR: Photoresist)일 수 있다. 그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 감광성 고분자 물질(포토레지스트액)을 공정 챔버(10)로 공급하는 장치일 수 있다.
상기 약액 저장 유닛(110)에 대하여 더욱 상세하게 설명하면, 약액 저장 유닛(110)은 일례로 두 개의 저장 탱크(111a, 111b)와 필터(112)를 포함할 수 있다. 두 개의 저장 탱크(111a, 111b)는 약액을 미도시된 약액 공급원으로부터 공급받을 수 있다.
필터(112)는 두 개의 저장 탱크(111a, 111b)에 연결되어 약액 공급원으로부터 공급된 약액을 필터링한다. 두 개의 저장 탱크(111a, 111b) 각각의 약액이 서로 순환될 수 있으며, 이 과정에서 약액이 필터(112)를 통과하면서 필터링될 수 있다. 즉, 필터(112)는 감광성 고분자 물질의 청정도를 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 약액이 하나의 약액 저장 탱크(111a)로부터 배출되는 동안에 다른 하나의 약액 저장 탱크(111b)에서는 약액 전환을 신속하게 실시하기 위하여 항상 약액을 공급할 수 있는 상태를 유지할 수 있다. 이때, 약액이 외부로 원활하게 공급될 수 있도록, 약액이 각각 저장된 저장 탱크(111) 내부의 압력은 특정값으로 유지될 수 있다. 이와 같은 두 개의 저장 탱크(111a, 111b)와 필터(112)는 일반적인 약액 공급 장치(100)에 포함된 것일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
밸브 유닛(120)은 상기 약액 저장 유닛(110)에 연결되어 상기 약액의 흐름을 제어할 수 있다. 밸브 유닛(120)은 일례로 모터의 동작에 의하여 개폐가 실시될 수 있다. 특히, 밸브 유닛(120)이 다이어프램 방식 밸브인 경우, 스텝 모터(step motor)의 동작에 의하여 다이어프램의 일부분이 변형되면서 유체의 흐름이 차단되거나 개방될 수 있다. 다만, 밸브 유닛(120)이 다이어프램 방식 밸브인 것으로 한정하지는 않는다.
전술한 바와 같이 약액 저장 유닛(110)에 포함된 저장 탱크(111)에 특정 크기의 압력에 가해진 상태이므로, 밸브 유닛(120)이 개방되기만 하면, 약액이 어느 하나의 저장 탱크(111)로부터 외부로 배출되어 밸브 유닛(120)을 통하여 이송될 수 있다.
유량 측정 부재(130)는 상기 밸브 유닛(120)에 연결되어 외부로 배출되는 약액의 유량을 측정할 수 있다. 즉, 유량 측정 부재(130)는 밸브 유닛(120)을 통하여 이송되는 약액이 단위 시간당 이송되는 용량을 측정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 공정 챔버(10)로 약액을 공급할 수 있다. 유량 측정 부재(130)는 공급관에 의해 공정 챔버(10)와 연결될 수 있다. 공정 챔버(10)에서 진행되는 공정의 성격에 따라 필요로 하는 다양한 약액이 공급관을 통하여 공정 챔버(10)에 공급될 수 있다. 따라서, 공급관은 다양한 종류의 약액 저장 장치와 연결될 수 있다.
제어부(140)는 상기 밸브 유닛(120)을 개방시킨 상태에서, 상기 약액 저장 유닛(110)의 압력을 변화시키면서 상기 유량 측정 부재(130)에서 측정한 유량을 감지할 수 있다. 그리고, 상기 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 제어부(140)는 상기 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출하고, 상기 검출된 압력을 상기 약액 저장 유닛(110)의 시작 압력으로 설정할 수 있다.
여기서, 상기 목표 유량은 약액이 외부로 공급될 수 있을 정도의 유량일 수 있다. 약액의 유량이 특정 수치보다 낮은 경우, 약액의 유량이 공급관을 따라 이동하기 어려울 정도이므로, 약액이 공정 챔버(10)에 정상적으로 공급되기 곤란할 수 있다. 이와 다르게, 약액의 유량이 특정 수치 이상인 경우, 약액의 유량이 공급관을 따라 원활하게 이동될 수 있을 정도이므로, 약액이 공정 챔버(10)에 정상적으로 공급될 수 있다.
여기서, 약액이 공정 챔버(10)에 정상적으로 공급될 수 있을 정도의 유량은 사전에 테스트를 통하여 획득할 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
한편, 유량 측정 부재(130)에서 측정한 유량이 목표 유량보다 낮은 경우, 이와 같은 제어부(140)는 상기 약액 저장 유닛(110)의 초기 동작 압력을 0Psi보다 큰 값에서부터 시작하여 기준 수치만큼 단계적으로 증가시킬 수 있다. 여기서, 상기 기준 수치는 0.1Psi 내지 0.5Psi에 포함될 수 있다.
전술한 제어부(140)는 일례로 컴퓨터 장치를 포함할 수 있고, 약액 공급 장치(100)를 전반적으로 제어하며, 유저 인터페이스(UI: User Interface)를 포함할 수 있다. 사용자는 유저 인터페이스를 조작하여 목표 유량과 후술할 기준 수치 등을 입력할 수 있다.
한편, 전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)가 제어부(140)에 의하여 저장 탱크(111) 내부의 압력이 최적의 값으로 자동으로 설정되는 과정을 설명하기로 한다.
목표 유량은 0.010L/min으로 기설정되어 있다. 압력의 단위는 Psi이고, 유량은 단위는 L/min이다. 제어부(140)는 초기 동작 압력을 1.0Psi로 자동으로 설정하고, 기준 수치를 0.1Psi로 설정하여 압력을 0.1Psi씩 증가시키면서 약액의 유량을 측정한다.
표 1은 약액 저장 유닛(110)에 포함된 저장 탱크(111) 내부의 압력에 따른 약액의 유량을 측정한 것이다. 여기서, 압력이 1.2Psi 내지 1.7Psi일때의 유량과 압력이 1.9Psi 내지 2.8Psi일때의 유량은 설명의 편의를 위하여 생략하기로 한다.
압력 (Psi) 유 량 (L/min)
1.0 0.000
1.1 0.001
… …
1.8 0.010
… …
2.9 0.500
3.0 0.550
표 1에 기재된 바와 같이 제어부(140)가 밸브 유닛(120)를 동작시켜서 상기 밸브 유닛(120) 내부의 유로가 개방되게 하고, 약액이 저장된 저장 탱크(111)의 압력을 1.0Psi 에서 시작해서 0.1Psi씩 점차 증가시킬 수 있다. 저장 탱크(111)의 압력이 점차 증가하다가 유량 측정 부재(130)가 측정한 약액의 유량이 목표 유량인 0.010L/min이 될 수 있다.
이때, 제어부(140)는 저장 탱크(111)의 압력 변화를 중단하고, 저장 탱크(111)의 압력은 1.8Psi일 수 있다. 제어부(140)는 1.8Psi을 약액 저장 유닛(110)의 시작 압력으로 설정할 수 있다. 이후 약액 공급 장치(100)는 저장 탱크(111)의 압력이 1.8Psi로 유지된 상태에서, 공정 챔버(10)로 약액의 공급을 실시할 수 있다. 이에 따라, 밸브 유닛(120)은 부하(stress)없이 안정적으로 약액의 흐름을 제어할 수 있다.
한편, 약액 공급 장치(100)는 약액 저장 유닛(110)의 설치 위치 및 내부 구조, 밸브 유닛(120)의 설치 위치 및 동작 방식, 상기 약액 저장 유닛(110)과 밸브 유닛(120)을 연결하는 배관의 구조에 따라 다양한 구조로 이루어질 수 있다. 그리고, 목표 유량이 0.010L/min으로 설정되어 있더라도, 약액 공급 장치(100)의 구조에 따라 최적의 시작 압력은 1.8Psi이 아닌 다른 값이 될 수 있다. 즉, 약액 저장 유닛(110)의 최적의 시작 압력이 전술한 1.8Psi인 것으로 한정하지는 않는다.
앞서 설명한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 유량 측정 부재(130)와 제어부(140)를 포함한다. 제어부(140)는 약액이 공정 챔버(10)로 공급될 수는 있으면서 밸브 유닛(120)에 부하가 가해지지 않을 정도의 압력을 약액 저장 유닛(110)의 시작 압력으로 설정한다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 저장 탱크(111) 내부의 압력을 최적의 값으로 자동으로 설정할 수 있다. 따라서, 밸브 유닛(120)에 가해지는 부하가 최소화될 수 있으므로, 밸브 유닛(120)에서 부하가 발생되는 것을 방지하여 밸브 유닛(120)에 과부하가 걸려서 동작 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 약액 공급 장치(100)는 약액 공급 신뢰성이 향상될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)를 제어하는데 사용될 수 있는 약액 공급 장치의 제어 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 제어 방법(S100)은 밸브 개방 단계(S110), 압력 가변 단계(S120), 유량 측정 단계(S130), 판단 단계(S140), 압력 검출 단계(S150) 및 압력 설정 단계(S160)를 포함한다.
밸브 개방 단계(S110)는 상기 밸브 유닛을 개방할 수 있다. 도면에 도시하지는 않았으나, 밸브 유닛이 다이어프램 방식 밸브인 경우, 내부의 유로를 막고 있는 다이어프램이 스텝 모터에 의해 일부분이 변형되면서 유로가 개방될 수 있다.
압력 가변 단계(S120)는 상기 약액 저장 유닛 내부의 압력을 변화시킬 수 있다. 상기 압력 가변 단계(S120)는 상기 측정된 유량이 목표 유량이 될 때까지 상기 약액 저장 유닛 내부의 압력을 기준 수치만큼 단계적으로 증가시킬 수 있다. 그리고, 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 압력 가변 단계(S120)의 실시가 중단될 수 있다.
유량 측정 단계(S130)는 상기 밸브 유닛을 통과한 약액의 유량을 측정할 수 있다. 유량 측정 단계(S130)는 전술한 바와 같이 유량 측정 부재에 의해 약액의 유량이 측정될 수 있다. 측정된 유량 데이터는 제어부로 전송될 수 있다.
판단 단계(S140)는 상기 측정된 유량이 목표 유량인지를 판단할 수 있다. 제어부는 전송받은 유량 데이터를 기설정된 목표 유량과 비교할 수 있다.
압력 검출 단계(S150)는 상기 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 상기 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출할 수 있다. 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출하는 과정은 전술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
압력 설정 단계(S160)는 상기 검출된 압력을 상기 약액 저장 유닛의 시작 압력으로 설정할 수 있다. 전술한 바와 같이 측정된 유량이 목표 유량과 같게 되면, 제어부는 현재의 저장 탱크의 압력이 저장 탱크의 시작 압력으로 강제로 설정될 수 있다. 이후, 약액이 공정 챔버에 공급될 수 있으며, 약액이 공정 챔버에 공급되지 않는 동안 저장 탱크의 압력은 제어부에서 강제로 설정한 압력을 유지할 수 있다.
그러므로, 밸브 유닛에 부하가 가지않을 정도의 최소한의 부하만 가해지게 됨으로써, 밸브 유닛에 포함된 다이어프램과 스텝 모터 등에 부하가 발생되어 오작동하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 약액 공급 장치의 약액 공급 신뢰성이 종래의 약액 공급 장치와 비교하여 현저하게 향상될 수 있다.
이와 같은 약액 공급 장치의 제어 방법(S100)은 상기 약액 공급 장치를 설명하면서 설명하였으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100: 약액 공급 장치
110: 약액 저장 유닛 111: 저장 탱크
112: 필터 120: 밸브 유닛
130: 유량 측정 부재 140: 제어부

Claims (8)

  1. 약액을 저장하고, 상기 약액을 외부로 공급할 수 있는 압력을 유지하는 약액 저장 유닛;
    상기 약액 저장 유닛에 연결되어 상기 약액의 흐름을 제어하는 밸브 유닛;
    상기 밸브 유닛에 연결되어 외부로 배출되는 상기 약액의 유량을 측정하는 유량 측정 부재; 및
    상기 밸브 유닛을 개방시킨 상태에서, 상기 약액 저장 유닛의 압력을 변화시키면서 상기 유량 측정 부재에서 측정한 유량을 감지하고, 상기 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 상기 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출하며, 상기 검출된 압력을 상기 약액 저장 유닛의 시작 압력으로 설정하는 제어부;를 포함하는 약액 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 약액 저장 유닛의 초기 동작 압력을 0Psi보다 큰 값에서부터 시작하여 기준 수치만큼 단계적으로 증가시키는 약액 공급 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기준 수치는 0.1Psi 내지 0.5Psi에 포함된 약액 공급 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 목표 유량은 약액이 외부로 공급될 수 있을 정도의 유량인 약액 공급 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 약액은 감광성 고분자 물질(PR: Photoresist)인 약액 공급 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 약액 공급 장치를 제어하는 약액 공급 장치의 제어 방법에 있어서,
    상기 밸브 유닛을 개방하는 밸브 개방 단계;
    상기 약액 저장 유닛 내부의 압력을 변화시키는 압력 가변 단계;
    상기 밸브 유닛을 통과한 약액의 유량을 측정하는 유량 측정 단계;
    상기 측정된 유량이 목표 유량인지를 판단하는 판단 단계;
    상기 측정된 유량이 목표 유량이 되는 경우, 상기 측정된 유량과 대응하는 압력을 검출하는 압력 검출 단계; 및
    상기 검출된 압력을 상기 약액 저장 유닛의 시작 압력으로 설정하는 압력 설정 단계;를 포함하는 약액 공급 장치의 제어 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 압력 가변 단계는,
    상기 측정된 유량이 목표 유량이 될 때까지 상기 약액 저장 유닛 내부의 압력을 기준 수치만큼 단계적으로 증가시키는 약액 공급 장치의 제어 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 목표 유량은 약액이 외부로 공급될 수 있을 정도의 유량인 약액 공급 장치의 제어 방법.
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